KR20130005138A - Double-arm type three step cassette lifting robot - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A double-arm type three step cassette lifting robot is provided to minimize the operation space and rotation diameter of a multi-joint robot and to reduce a process space. CONSTITUTION: A mount plate(10) includes a first rotation shaft and a main motor for rotating the first rotation shaft. A mount frame(20) is combined with both sides of the mount plate. A first ball screw(21) is formed in the mount frame. A main elevating motor(110) is connected to the first ball screw and rotates the first ball screw. A first slider(30) is combined with a first sliding rail by a first sliding guide.

Description

더블암식 삼단 카세트 이송 로봇{Double-arm type three step cassette lifting robot}Double arm type three step cassette lifting robot

본 발명은 중심부에는 천장에 설치된 주행 대차에 결합되는 제1 회전축과 상기 제1 회전축을 회전 제어시키는 주회전 모터가 형성된 마운트 플레이트와; ㄷ형 단면의 직선 프레임으로서 개방면이 서로 대향되도록 상기 마운트 플레이트의 양단 하방에 대칭 결합되며, 대면하는 면의 양측 모서리에 제1 슬라이딩 레일이 형성된 마운트 프레임과; 양단에 대칭으로, 상기 마운트 프레임의 ㄷ형 단면 내부에 형성되는 제1 볼스크류와; 양단에 대칭으로, 상기 마운트 프레임의 상방 외측에서 상기 제1 볼스크류에 연결되어 상기 제1 볼스크류를 회전 제어시키는 주승강 모터와; 양단에 대칭으로 상기 제1 슬라이딩 레일에 제1 슬라이딩 가이드에 의하여 대칭 결합되며, 서로 대면하는 면의 양측 모서리에는 제2 슬라이딩 레일이 형성되는 제1 슬라이더와; 양단에 대칭으로 상기 제1 슬라이더의 상단에 고정되고 상기 제1 볼스크류의 스크류 너트에 체결된 제1 슬라이더 구동부와; 양단에 대칭으로 상기 제2 슬라이딩 레일에, 상단에 형성된 제2 슬라이딩 가이드에 의하여 대칭으로 슬라이딩 결합되며, 상기 제2 슬라이딩 가이드 반대면 하단에는 제3 슬라이딩 가이드가 형성되고, 상기 제2 슬라이딩 가이드 반대면 하단에는 제3 슬라이딩 가이드가 형성되고, 양측면에는 제2 볼스크류와 제3 볼스크류가 회동 자재되도록 결합되고, 상측면에는 상기 제2 볼스크류와 제3 볼스크류를 회전 제어시키는 서브 승강모터가 동력전달장치에 의해 연결되어 형성되는 제2 슬라이더와; 양단에 대칭으로 상기 제1 슬라이더의 하단 일측에 고정되고 상기 제2 볼스크류의 스크류 너트에 결합되는 제2 슬라이더 구동부와; 상기 제2 슬라이더에 접하는 면에 제3 슬라이딩 레일이 형성되어, 양단에 대칭으로 상기 제3 슬라이딩 가이드에 결합되는 제3 슬라이더와; 상기 제3 슬라이더의 상단 타측에 고정되고 상기 제3 볼스크류의 스크류 너트에 결합되는 제3 슬라이더 구동부와; 양측이 상기 제3 슬라이더 하단에 결합되며 중심부에 제2 회전축과 상기 제2 회전축을 구동시키는 핸드 회전 모터가 형성된 핸드 플레이트와; 상기 제2 회전축에 결합되는 카세트 핸드로; 구성되는 것을 특징으로 하는 더블암식 삼단 카세트 이송 로봇에 관한 것이다.The present invention includes a mount plate having a main rotating motor coupled to a driving trolley mounted on a ceiling and a main rotating motor configured to control the rotation of the first rotating shaft in a central portion thereof; A c frame having a straight frame having symmetrical coupling at both ends of the mount plate such that the open surfaces thereof face each other, and having first sliding rails formed at both edges of the facing surfaces; A first ball screw symmetrically at both ends and formed in a c-shaped cross section of the mount frame; A main lift motor symmetrically at both ends connected to the first ball screw from above and outside the mount frame to control rotation of the first ball screw; A first slider symmetrically coupled to both ends by a first sliding guide to the first sliding rail, and having a second sliding rail formed at both edges of surfaces facing each other; A first slider driving part fixed to an upper end of the first slider symmetrically at both ends and fastened to a screw nut of the first ball screw; The second sliding guide is symmetrically coupled to the second sliding rail by a second sliding guide formed at an upper end thereof, and a third sliding guide is formed at a lower end of the opposite side of the second sliding guide, and the opposite side of the second sliding guide. A third sliding guide is formed at a lower end thereof, and the second ball screw and the third ball screw are coupled to each other on both sides thereof so as to be rotated, and on the upper side, a sub-lift motor for controlling the rotation of the second ball screw and the third ball screw is driven. A second slider connected to and formed by a delivery device; A second slider driving part fixed to one end of the first slider symmetrically at both ends and coupled to a screw nut of the second ball screw; A third slider formed on a surface in contact with the second slider, the third slider being symmetrically coupled to both ends of the third slider; A third slider driver fixed to the other end of the third slider and coupled to a screw nut of the third ball screw; A hand plate coupled to a lower end of the third slider and having a hand rotating motor formed at a center thereof to drive a second rotating shaft and the second rotating shaft; A cassette hand coupled to the second axis of rotation; It relates to a double-arm type three-stage cassette transfer robot, characterized in that configured.

본 발명은 물체 이송용 싱글암 카세트 리프트 로봇에 관한 것으로서, 특히 반도체 웨이퍼나 액정표시소자 글래스(LCD glass), 솔라셀의 제조공정 라인과 같이 고청정도를 요하는 환경에서 사용되는 로봇에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a single arm cassette lift robot for object transfer, and more particularly, to a robot used in an environment requiring high cleanliness, such as a semiconductor wafer, a liquid crystal display device glass, or a manufacturing line for a solar cell.

반도체 제조 과정에서는, 반도체 웨이퍼를 카세트에 적재하거나 또는 한 공정에서 다음 공정으로 이송하기 위하여, 제조라인에서 웨이퍼를 적재한 카세트를 자동으로 반송하는 다관절 로보트가 사용된다. In the semiconductor manufacturing process, in order to load a semiconductor wafer into a cassette or to transfer it from one process to the next, a multi-joint robot which automatically conveys a cassette loaded with a wafer in a manufacturing line is used.

상기 다관절 로보트는 전동식 핸드를 이용하여 웨이퍼 카세트를 고청정의 환경하에서 다른 로보트 및 설비 사이에 신속, 정확히 전달하는 기능을 수행한다.The articulated robot performs a function of quickly and accurately transferring a wafer cassette between other robots and facilities under a high clean environment by using an electric hand.

이와 같이 종래의 로봇은, 본체의 상단에 회전가능하게 설치된 로봇아암과, 로봇아암의 선단에 설치된 핸드를 구비하여서, 반도체 웨이퍼를 클램핑한 후, 상기 로봇아암의 승강 및 회전운동을 이용하여 이송시키도록 구성되어 있다.  As described above, the conventional robot includes a robot arm rotatably installed at the upper end of the main body and a hand provided at the tip of the robot arm, and clamps the semiconductor wafer to transfer the robot arm by lifting and rotating the robot arm. It is configured to.

그런데, 종래의 로봇은 다관절의 복잡한 구성으로 인하여, 로봇암 자체의 크기가 크고, 다관절의 구동을 위한 회전반경과 작동공간 여유가 크며, 천장에 설치된 이송장치로부터 카세트 까지의 승강거리를 고려하여야 하므로 주변장치 여유공간와 공정 활용공간을 크게 설계해야 하는 문제점이 있다.However, the conventional robot has a large size of the robot arm itself due to the complex configuration of the articulated joint, a large radius of rotation and a large working space for driving the articulated joint, and the lifting distance from the ceiling-mounted conveying device to the cassette is considered. Therefore, there is a problem in that the peripheral space and the process utilization space should be largely designed.

본 발명은 다관절 로봇의 자체의 크기를 최소화시키면서, 반도체 웨이퍼나 액정표시소자 글래스(LCD glass), 솔라셀의 제조공정 라인과 같이 고청정도를 요하는 환경에서 다관절의 구동을 위한 회전반경과 작동공간 여유를 최소화시키고, 천장에 설치된 이송장치로부터 카세트 까지의 승강거리를 여유를 최대한 활용할 수 있게하여, 주변장치 여유공간와 공정 활용공간을 크게 축소시키는 더블암식 삼단 카세트 이송 로봇을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention minimizes the size of the articulated robot itself, and the rotation radius for driving the articulated joints in an environment requiring high cleanliness such as a semiconductor wafer, an LCD glass, or a solar cell manufacturing process line. The purpose is to provide a double-armed three-stage cassette transfer robot that minimizes the working space and makes the most of the lifting distance from the ceiling-mounted transfer device to the cassette. do.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 중심부에는 천장에 설치된 주행 대차에 결합되는 제1 회전축과 상기 제1 회전축을 회전 제어시키는 주회전 모터가 형성된 마운트 플레이트와; ㄷ형 단면의 직선 프레임으로서 개방면이 서로 대향되도록 상기 마운트 플레이트의 양단 하방에 대칭 결합되며, 대면하는 면의 양측 모서리에 제1 슬라이딩 레일이 형성된 마운트 프레임과; 양단에 대칭으로, 상기 마운트 프레임의 ㄷ형 단면 내부에 형성되는 제1 볼스크류와; 양단에 대칭으로, 상기 마운트 프레임의 상방 외측에서 상기 제1 볼스크류에 연결되어 상기 제1 볼스크류를 회전 제어시키는 주승강 모터와; 양단에 대칭으로 상기 제1 슬라이딩 레일에 제1 슬라이딩 가이드에 의하여 대칭 결합되며, 서로 대면하는 면의 양측 모서리에는 제2 슬라이딩 레일이 형성되는 제1 슬라이더와; 양단에 대칭으로 상기 제1 슬라이더의 상단에 고정되고 상기 제1 볼스크류의 스크류 너트에 체결된 제1 슬라이더 구동부와; 양단에 대칭으로 상기 제2 슬라이딩 레일에, 상단에 형성된 제2 슬라이딩 가이드에 의하여 대칭으로 슬라이딩 결합되며, 상기 제2 슬라이딩 가이드 반대면 하단에는 제3 슬라이딩 가이드가 형성되고, 상기 제2 슬라이딩 가이드 반대면 하단에는 제3 슬라이딩 가이드가 형성되고, 양측면에는 제2 볼스크류와 제3 볼스크류가 회동 자재되도록 결합되고, 상측면에는 상기 제2 볼스크류와 제3 볼스크류를 회전 제어시키는 서브 승강모터가 동력전달장치에 의해 연결되어 형성되는 제2 슬라이더와; 양단에 대칭으로 상기 제1 슬라이더의 하단 일측에 고정되고 상기 제2 볼스크류의 스크류 너트에 결합되는 제2 슬라이더 구동부와; 상기 제2 슬라이더에 접하는 면에 제3 슬라이딩 레일이 형성되어, 양단에 대칭으로 상기 제3 슬라이딩 가이드에 결합되는 제3 슬라이더와; 상기 제3 슬라이더의 상단 타측에 고정되고 상기 제3 볼스크류의 스크류 너트에 결합되는 제3 슬라이더 구동부와; 양측이 상기 제3 슬라이더 하단에 결합되며 중심부에 제2 회전축과 상기 제2 회전축을 구동시키는 핸드 회전 모터가 형성된 핸드 플레이트와; 상기 제2 회전축에 결합되는 카세트 핸드로; 구성되는 것을 특징으로 하는 더블암식 삼단 카세트 이송 로봇으로 되는 것을 기술적 요지로 한다.In order to achieve the above object, the present invention includes a mount plate having a main rotating motor coupled to a driving trolley mounted on a ceiling and a main rotating motor for rotating the first rotating shaft; A c frame having a straight frame having symmetrical coupling at both ends of the mount plate such that the open surfaces thereof face each other, and having first sliding rails formed at both edges of the facing surfaces; A first ball screw symmetrically at both ends and formed in a c-shaped cross section of the mount frame; A main lift motor symmetrically at both ends connected to the first ball screw from above and outside the mount frame to control rotation of the first ball screw; A first slider symmetrically coupled to both ends by a first sliding guide to the first sliding rail, and having a second sliding rail formed at both edges of surfaces facing each other; A first slider driving part fixed to an upper end of the first slider symmetrically at both ends and fastened to a screw nut of the first ball screw; The second sliding guide is symmetrically coupled to the second sliding rail by a second sliding guide formed at an upper end thereof, and a third sliding guide is formed at a lower end of the opposite side of the second sliding guide, and the opposite side of the second sliding guide. A third sliding guide is formed at a lower end thereof, and the second ball screw and the third ball screw are coupled to each other on both sides thereof so as to be rotated, and on the upper side, a sub-lift motor for controlling the rotation of the second ball screw and the third ball screw is driven. A second slider connected to and formed by a delivery device; A second slider driving part fixed to one end of the first slider symmetrically at both ends and coupled to a screw nut of the second ball screw; A third slider formed on a surface in contact with the second slider, the third slider being symmetrically coupled to both ends of the third slider; A third slider driver fixed to the other end of the third slider and coupled to a screw nut of the third ball screw; A hand plate coupled to a lower end of the third slider and having a hand rotating motor formed at a center thereof to drive a second rotating shaft and the second rotating shaft; A cassette hand coupled to the second axis of rotation; The technical gist of the present invention is to constitute a double arm type three-stage cassette transfer robot.

여기서 상기 동력전달장치는 상기 제2 슬라이더와 제3 슬라이더가 동일 승강 방향을 형성하도록 상기 제2, 제3 볼스크류를 회전시키는 밸트 또는 나사 결합체인 것을 특징으로 하는 더블암식 삼단 카세트 이송 로봇으로 되는 것이 바람직하다.Here, the power transmission device is a double arm type three-stage cassette transfer robot, characterized in that the belt or screw assembly for rotating the second and third ball screw so that the second slider and the third slider to form the same lifting direction. desirable.

또한, 상기 주승강 모터와 서브 승강모터는 상기 카세트 핸드의 승강시 동일 방향의 승강이 발생되도록 연동 구동되는 것을 특징으로 하는 더블암식 삼단 카세트 이송 로봇으로 되는 것이 바람직하다.In addition, the main lifting motor and the sub-elevating motor is preferably a double-arm three-stage cassette transfer robot, characterized in that the drive driven in the same direction so that the lifting in the same direction when the cassette lifting.

또한, 상기 더블암식 삼단 카세트 이송 로봇은 상기 카세트 핸드 최상단 상승 위치에서 상기 제1 슬라이더와 제2 슬라이더, 제3 슬라이더는 하측면이 일치되도록 길이를 정하되, 상기 카세트 핸드 최상단 상승 위치에서 상기 마운트 프레임의 내부에 상기 카세트 핸드에 결합된 카세트가 전부 수용되도록 상기 마운트 프레임의 길이와 폭를 정하고, 상기 제1 슬라이더와 제2 슬라이더, 제3 슬라이더는 하측면이 상기 카세트의 상측면에 위치되도록 길이를 정하는 것을 특징으로 하는 더블암식 삼단 카세트 이송 로봇으로 되는 것이 바람직하다.In addition, the double-armed three-stage cassette transfer robot determines the length of the first slider, the second slider, and the third slider at the uppermost rising position of the cassette hand so that the lower side is coincident with the lower side of the cassette hand. The length and width of the mount frame are set to accommodate all the cassettes coupled to the cassette hand therein, and the lengths of the first slider, the second slider, and the third slider are set so that the lower side is positioned on the upper side of the cassette. It is desirable to be a double arm type three stage cassette transfer robot characterized by the above-mentioned.

또한, 상기 제2 슬라이더는 사각 통체로 형성되어 상면의 상기 서브 승강 모터를 내부에 삽입하여 설치하고 모터축과 동력전달장치만을 노출시켜 상부 장치의 설치 공간을 최소화시키는 것을 특징으로 하는 더블암식 삼단 카세트 이송 로봇으로 되는 것이 바람직하다.In addition, the second slider is formed of a rectangular cylinder, the double arm type three-stage cassette characterized in that the sub-elevating motor of the upper surface is inserted into the installation and to expose only the motor shaft and the power transmission device to minimize the installation space of the upper device. It is preferable to become a transfer robot.

또한, 상기 마운트 플레이트는 사각 격자 프레임 구조로 형성되어 상기 카세트 핸드 최상단 상승 위치에서 상기 제1 슬라이더와 제2 슬라이더, 제3 슬라이더의 상방 공간 여유를 확보하는 것을 특징으로 하는 더블암식 삼단 카세트 이송 로봇으로 되는 것이 바람직하다.In addition, the mount plate has a rectangular lattice frame structure to secure the upper space of the first slider, the second slider, and the third slider at the uppermost position of the cassette hand to the double-arm three-stage cassette transfer robot, It is desirable to be.

상기한 본 발명에 의하여 반도체 웨이퍼나 액정표시소자 글래스(LCD glass), 솔라셀의 제조공정 라인과 같이 고청정도를 요하는 환경에서 다관절 로봇의 자체의 크기를 최소화시키면서, 다관절의 구동을 위한 회전반경과 작동공간 여유를 최소화시키고, 천장에 설치된 이송장치로부터 카세트 까지의 승강거리를 여유를 최대한 활용할 수 있게하여, 주변장치 여유공간와 공정 활용공간을 크게 축소시키는 더블암식 삼단 카세트 이송 로봇이 제공되는 이점이 있다.According to the present invention described above, while minimizing the size of the articulated robot itself in an environment requiring high cleanliness such as a semiconductor wafer, a liquid crystal display device glass (LCD glass), or a solar cell manufacturing process line, A double-armed three-stage cassette transfer robot is provided that minimizes the radius of rotation and operating space and makes the most of the lifting distance from the ceiling-mounted transfer device to the cassette. There is an advantage.

도 1은 본 발명의 카세트 핸드 최상단 위치에서의 사시도
도 2는 도 1의 상태에서 정면도
도 3은 본 발명의 카세트 핸드 최하단 위치에서의 정면도
도 4는 도 3의 상태에서 부분 사시도
도 5는 도 1의 상태에서 카세트 핸드가 결합된 정면도
도 6은 도 1의 상태에서 측면도
도 7은 도 3의 상태에서 측면도
도 8은 본 발명의 평면도
도 9 내지 도 12는 본 발명의 동력전달장치 예시도
도 13은 도 3의 상태에서 사시도
도 14는 도 5의 상태에서 사시도1 is a perspective view of the cassette hand top position of the present invention;
2 is a front view in the state of FIG.
3 is a front view at the lowermost position of the cassette hand of the present invention;
4 is a partial perspective view in the state of FIG.
5 is a front view of the cassette hand coupled in the state of FIG.
Figure 6 is a side view in the state of Figure 1
7 is a side view in the state of FIG.
8 is a plan view of the present invention
9 to 12 is an exemplary view of the power transmission device of the present invention
13 is a perspective view in the state of FIG.
14 is a perspective view in the state of FIG.

이하 도면을 참조하여 본 발명에 관하여 살펴보기로 하며, 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지기술 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다. Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of related arts or configurations will be omitted when it is determined that the gist of the present invention may be unnecessarily obscured will be.

그리고 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있으므로 그 정의는 본 발명을 설명하는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description are exemplary and explanatory and are intended to be exemplary, self-explanatory, allowing for equivalent explanations of the present invention.

이하의 도 1은 본 발명의 카세트 핸드 최상단 위치에서의 사시도이며, 도 2는 도 1의 상태에서 정면도이며, 도 3은 본 발명의 카세트 핸드 최하단 위치에서의 정면도이며, 도 4는 도 3의 상태에서 부분 사시도이며, 도 5는 도 1의 상태에서 카세트 핸드가 결합된 정면도이며, 도 6은 도 1의 상태에서 측면도이며, 도 7은 도 3의 상태에서 측면도이며, 도 8은 본 발명의 평면도이며, 도 9 내지 도 12는 본 발명의 동력전달장치 예시도이며, 도 13은 도 3의 상태에서 사시도이며, 도 14는 도 5의 상태에서 사시도이다.
1 is a perspective view from the uppermost position of the cassette hand of the present invention, FIG. 2 is a front view from the state of FIG. 1, FIG. 3 is a front view from the lowermost position of the cassette hand of the present invention, and FIG. 5 is a front perspective view of the cassette hand coupled in the state of FIG. 1, FIG. 6 is a side view in the state of FIG. 1, FIG. 7 is a side view in the state of FIG. 3, and FIG. 8 is a plan view of the present invention. 9 to 12 are exemplary views of the power transmission device of the present invention, Figure 13 is a perspective view in the state of Figure 3, Figure 14 is a perspective view in the state of Figure 5.

본 발명은 카세트 이송 로봇에 관한 것으로서, 크게 제1 회전축(100)과 주회전 모터(미도시)와 마운트 플레이트(10)와 제1 슬라이딩 레일(22)과 마운트 프레임(20)과 제1 볼스크류(21)와 주승강 모터(110)와 제2 슬라이딩 레일(31)과 제1 슬라이더(30)와 제1 볼스크류의 스크류 너트(210)와 제1 슬라이더 구동부(23)와 제2 볼스크류(41)와 제3 볼스크류(42)와 서브 승강모터(400)와 동력전달장치(미도시)와 제2 슬라이더(40)와 제2 볼스크류의 스크류 너트(410)와 제2 슬라이더 구동부(34)와 제3 슬라이딩 레일(51)과 제3 슬라이더(50)와 제3 볼스크류의 스크류 너트(420)와 제3 슬라이더 구동부(52)와 제2 회전축(610)과 핸드 회전 모터(61)와 핸드 플레이트(60)와 카세트 핸드(62)로 구성된다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cassette transfer robot, and includes a first rotating shaft 100, a main rotating motor (not shown), a mounting plate 10, a first sliding rail 22, a mounting frame 20, and a first ball screw. (21), the main lifting motor 110, the second sliding rail 31, the first slider 30, the screw nut 210 of the first ball screw, the first slider drive 23 and the second ball screw ( 41, the third ball screw 42, the sub-lift motor 400, the power transmission device (not shown), the second slider 40, the screw nut 410 and the second slider drive portion 34 of the second ball screw (34) ), The third sliding rail 51, the third slider 50, the screw nut 420 of the third ball screw, the third slider drive 52, the second rotating shaft 610, and the hand rotating motor 61 It consists of a hand plate 60 and a cassette hand 62.

본 발명은 1개의 고정 프레임에 3개의 슬라이더가 순차 대칭 형성되어진 카세트 이송 로봇용 승강장치가 된다.The present invention provides a lifting device for a cassette transfer robot in which three sliders are sequentially formed in one fixed frame.

상기 고정 프레임은 주회전 장치에 의하여 천장에 부착된 주행 대차에 결합되어 전체 장치의 회전과 주행이 결정된다.The fixed frame is coupled to the traveling cart attached to the ceiling by the main rotating device to determine the rotation and running of the entire device.

본 발명의 상기 마운트 플레이트(10)는 도 1에 도시된 바와 같이 중심부에 천장에 설치된 상기 주행 대차에 결합되는 제1 회전축(100)과 상기 제1 회전축(100)을 회전 제어시키는 주회전 모터(미도시)가 형성된 지지판이다.(상기 주회전 모터는 주행 대차에 형성되어져도 된다.)As shown in FIG. 1, the mount plate 10 of the present invention includes a main rotating motor configured to control rotation of the first rotating shaft 100 and the first rotating shaft 100 coupled to the traveling truck mounted on the ceiling at the center thereof. It is a support plate in which (not shown) was formed. (The said main rotation motor may be formed in the travel truck.)

상기 주행 대차는 공장의 설비에 속하는 것으로서, 공정의 라인에 따라 미리 설계되어진다.The traveling trolley belongs to a facility of a factory and is designed in advance according to a line of a process.

본 발명의 마운트 플레이트(10)는 상기 제1 회전축(100)을 매개 삼아 상기 주행대차에 결합되며, 상기 제1 회전축(100)은 상기 주회전 모터(미도시)에 의하여 회전되므로 이하의 상기 마운트 플레이트(10)에 설치되는 장치가 전체적으로 회전된다.
Mounting plate 10 of the present invention is coupled to the driving cart via the first rotation shaft 100, the first rotation shaft 100 is rotated by the main rotation motor (not shown), so the following mount The device installed on the plate 10 is rotated as a whole.

본 발명의 마운트 프레임(20)은 상기 고정 프레임에 해당되는 장치이다.Mount frame 20 of the present invention is a device corresponding to the fixed frame.

상기 마운트 프레임(20)은 도 1에 도시된 바와 같이 ㄷ형 단면의 직선 프레임(ㄷ형강)으로서 개방면이 서로 대향되도록 상기 마운트 플레이트(10)의 양단 하방에 대칭 결합된다. As shown in FIG. 1, the mount frame 20 is a straight frame (c-shaped steel) having a c-shaped cross section and is symmetrically coupled at both ends of the mount plate 10 so that the open surfaces thereof face each other.

ㄷ형 단면 구조는 본 발명의 공간 절약형 설계를 위한 것인데, 상기 마운트 플레이트(10) 양단에 대칭으로 ㄷ형 단면의 대향하는 개방면 양측 모서리부에는 제1 슬라이딩 레일(22)이 형성되며, ㄷ형 단면의 개방부 내부에는 제1 볼스크류(21)가 형성된다.The c-shaped cross-sectional structure is for a space-saving design of the present invention, the first sliding rail 22 is formed on both sides of the opposite open surface of the c-shaped cross-section symmetrically on both ends of the mount plate 10, the c-shaped cross section open The first ball screw 21 is formed inside the part.

상기 마운트 프레임(20)의 상방 외측에는 상기 제1 볼스크류(21)에 연결되어 상기 제1 볼스크류(21)를 회전 제어시키는 주승강 모터(110)가 형성된다.
The main lift motor 110 is connected to the first ball screw 21 on the outer side of the mount frame 20 to control the rotation of the first ball screw 21.

본 발명의 제1 슬라이더(30)는 상기한 '1개의 고정 프레임에 순차 결합되는 3개의 슬라이더' 중에서 첫번째 슬라이더이다.The first slider 30 of the present invention is the first slider among the 'three sliders sequentially coupled to one fixed frame'.

상기 제1 슬라이더(30)는 상기 마운트 프레임(20) 양단 내측에 대칭적으로 상기 제1 슬라이딩 레일(22)에 슬라이딩 결합되는 직선 프레임이다.The first slider 30 is a linear frame slidingly coupled to the first sliding rail 22 symmetrically inside both ends of the mount frame 20.

이를 위하여 상기 제1 슬라이더(30)에는 도 1과 도 2에 도시된 바와 같이 상기 제1 슬라이딩 레일(22)과 접하는 부분에 제1 슬라이딩 가이드(32)가 마련되어야 할 것이다.To this end, as shown in FIGS. 1 and 2, the first slider 30 should be provided with a first sliding guide 32 at a portion in contact with the first sliding rail 22.

상기한 '1개의 고정 프레임에 순차 결합되는 3개의 슬라이더'를 형성시키기 위하여 상기 제1 슬라이더(30)에는 서로 대면하는 면의 양측 모서리에 제2 슬라이딩 레일(31)을 형성시킨다.In order to form the 'three sliders sequentially coupled to one fixed frame', the first slider 30 is formed with the second sliding rails 31 at both edges of the surfaces facing each other.

도 2의 (a)에는 상기 마운트 프레임(20) 부분 내부가 도시되어져 있는데, 상기 도 2의 (a)에 도시된 바와 같이 상기 제1 슬라이더(30)를 승강 제어시키는 제1 슬라이더 구동부(23)는 상기 제1 슬라이더(30)의 상단에 고정되고 상기 제1 볼스크류의 스크류 너트(210)에 체결된 연결 프레임으로 형성된다.In FIG. 2A, the inside of the mount frame 20 is illustrated, and as shown in FIG. 2A, the first slider driver 23 for raising and lowering the first slider 30 is shown. Is fixed to the upper end of the first slider 30 is formed of a connecting frame fastened to the screw nut 210 of the first ball screw.

따라서, 상기 제1 슬라이더 구동부(23)는 ㄷ형 단면의 마운트 프레임(20)에 설치되는 제1 슬라이딩 레일(22)과 제1 볼스크류()의 구조상 상기 제1 슬라이딩 가이드(32)의 가운데 부분에 형성되어지며, 상기 제1 슬라이더(30) 자체에 지지되어지고 상기 제1 볼스크류(21) 회전에 의해 승강된다. Accordingly, the first slider driving unit 23 is disposed at the center portion of the first sliding guide 32 due to the structure of the first sliding rail 22 and the first ball screw installed in the mount frame 20 having a c-shaped cross section. It is formed, is supported by the first slider 30 itself and is elevated by the rotation of the first ball screw 21.

상기 제1 슬라이딩 구동부(23)와 제1 슬라이딩 가이드(32) 설치부가 상단인 것은 상기 제1 슬라이더(30)의 하단 연장 길이를 최대화하기 위해서이며, 상기 제1 슬라이딩 가이드(32)와 제1 슬라이딩 구동부(23)가 동일한 상단에 위치하므로 슬라이딩 구동을 지지시키기 위하여 상기 제1 슬라이딩 가이드(32)를 넓게 형성시킨다.
The upper end of the first sliding drive 23 and the first sliding guide 32 is to maximize the extension length of the lower end of the first slider 30, the first sliding guide 32 and the first sliding. Since the driving unit 23 is located at the same upper end, the first sliding guide 32 is broadly formed to support the sliding drive.

본 발명의 제2 슬라이더(40)는 상기 제1 슬라이더(30)에 대칭으로 상기 제2 슬라이딩 레일(31)에 대칭으로 제2 슬라이딩 가이드(43)에 의해 슬라이딩 결합된다.The second slider 40 of the present invention is slidably coupled by the second sliding guide 43 symmetrically to the second sliding rail 31 symmetrically to the first slider 30.

상기 제2 슬라이더(40)의 상기 제2 슬라이딩 가이드(43) 반대면 하단에는 제3 슬라이딩 가이드(44)가 형성되고, 양측면에는 제2 볼스크류(41)와 제3 볼스크류(42)가 회동 자재되도록 결합되고, 상측면에는 상기 제2 볼스크류(41)와 제3 볼스크류(42)를 회전 제어시키는 서브 승강모터(400)가 동력전달장치(미도시)에 의해 연결되어 형성된다.A third sliding guide 44 is formed at a lower end of the second slider 40 opposite to the second sliding guide 43, and the second ball screw 41 and the third ball screw 42 are rotated on both sides. The sub-elevation motor 400 for controlling the rotation of the second ball screw 41 and the third ball screw 42 is coupled to the upper side by a power transmission device (not shown).

여기서 상기 동력전달장치(미도시)는 상기 제2 슬라이더(40)와 제3 슬라이더(50)가 동일 승강 방향을 형성하도록 상기 제2 볼스크류(41)와 제3 볼스크류(42)를 회전시키는 밸트 또는 나사 결합체로 형성시킨다.
The power transmission device (not shown) rotates the second ball screw 41 and the third ball screw 42 so that the second slider 40 and the third slider 50 form the same lifting direction. It is formed by belt or screw assembly.

즉, 상기 제2 슬라이더(40)는 슬라이딩 레일이 설치되지 않고 제2 볼스크류(41)와 제3 볼스크류(42)만 설치되는 특징을 가진다. That is, the second slider 40 is characterized in that only the second ball screw 41 and the third ball screw 42 is installed without a sliding rail.

상기 제2 슬라이더 구동부(34)는 도 2 (a)에 도시된 바와 같이 양단에 대칭으로 상기 제1 슬라이더(30)의 하단 일측에 고정되고 상기 제2 볼스크류의 스크류 너트(410)에 결합된다.The second slider driver 34 is fixed to one side of the lower end of the first slider 30 symmetrically at both ends, as shown in FIG. 2 (a), and is coupled to the screw nut 410 of the second ball screw. .

즉, 상기 제2 슬라이더(40)는 상기 제1 슬라이더(30)에 의지하여 자체에 형성된 제2 볼스크류(41)의 회전에 의해 승강된다.That is, the second slider 40 is lifted by the rotation of the second ball screw 41 formed on the first slider 30.

상기 제2 슬라이더(40)의 최대 승강거리를 확보시키기 위하여 상기 제2 슬라이더 구동부(34)는 상기 제1 슬라이더(30)의 하단에 고정되고, 상기 제2 슬라이딩 가이드(43)는 상기 제2 슬라이더(40)의 상단에 형성된다.
In order to secure the maximum lifting distance of the second slider 40, the second slider driver 34 is fixed to the lower end of the first slider 30, and the second sliding guide 43 is the second slider. 40 is formed at the top.

본 발명의 제3 슬라이더(50)는 상기한 '1개의 고정 프레임에 순차 결합되는 3개의 슬라이더' 중에서 3번째 슬라이더로서, 상기 제2 슬라이더(40)에 접하는 면에 제3 슬라이딩 레일(51)이 형성되어, 양단에 대칭으로 상기 제2 슬라이더(40)에 결합된다.The third slider 50 of the present invention is the third slider among the 'three sliders sequentially coupled to one fixed frame', and the third sliding rail 51 is disposed on the surface in contact with the second slider 40. It is formed, and is coupled to the second slider 40 symmetrically at both ends.

따라서, 상기 제2 슬라이더(40)에는 상기 제3 슬라이딩 레일(51)에 접하는 부분 하단에 슬라이딩 접속을 위한 제3 슬라이딩 가이드(44)가 형성되어져야 할 것이다.Therefore, a third sliding guide 44 for sliding connection should be formed at the lower end of the second slider 40 in contact with the third sliding rail 51.

도 2(b)는 도 2(a) 부분의 배면을 도시한 부분인데, 상기 도 2(b)에 도시된 바와 같이 상기 제3 슬라이더 구동부(52)는 상기 제3 슬라이더(50)의 상단 타측에 고정되고 상기 제3 볼스크류의 스크류 너트(420)에 결합된다.FIG. 2 (b) shows a rear surface of the portion of FIG. 2 (a). As shown in FIG. 2 (b), the third slider driver 52 has the other side of the upper end of the third slider 50. It is fixed to and coupled to the screw nut 420 of the third ball screw.

상기 제3 슬라이더(50)의 최대 승강거리를 확보시키기 위하여 상기 제3 슬라이더 구동부(52)는 상기 제2 슬라이더(40)의 하단에 고정되고, 상기 제3 슬라이딩 가이드(44)는 상기 제3 슬라이더(50)의 상단에 형성된다.
In order to secure the maximum lifting distance of the third slider 50, the third slider driver 52 is fixed to the lower end of the second slider 40, and the third sliding guide 44 is connected to the third slider. It is formed at the top of 50.

본 발명의 핸드 플레이트(60)는 양측이 상기 제3 슬라이더(50) 하단에 결합되며 중심부에 제2 회전축(610)과 상기 제2 회전축(610)을 구동시키는 핸드 회전 모터(61)가 형성되며, 상기 제2 회전축(610)에는 카세트 핸드(62)가 결합된다.
The hand plate 60 of the present invention has both sides coupled to the lower end of the third slider 50, and a hand rotating motor 61 for driving the second rotating shaft 610 and the second rotating shaft 610 is formed at the center thereof. A cassette hand 62 is coupled to the second rotation shaft 610.

본 발명은 이와 같이 1개의 고정 프레임인 마운트 프레임(20)에 3개의 제1 슬라이더(30), 제2 슬라이더(40), 제3 슬라이더(50)가 순차 결합된 것으로 주행 대차와 주회전 모터(미도시)에 의해 장치 전체가 주행 및 회전되고, 제2 회전축(610)에 의하여 카세트 핸드(62)가 회전되는 삼단 더블암식 카세트 이송장치가 제공된다.
In the present invention, the three first sliders 30, the second sliders 40, and the third sliders 50 are sequentially coupled to the mount frame 20 which is one fixed frame. A three-stage double arm cassette transfer device is provided in which the entire apparatus is driven and rotated, and the cassette hand 62 is rotated by the second rotating shaft 610.

상기 제1 슬라이더(30), 제2 슬라이더(40), 제3 슬라이더(50)의 승강 방향은 동일하게 발생되도록 상기 주승강 모터(110)와 서브 승강모터(400)는 연동 구동되도록 하며, 상기 제2 볼스크류(41)와 제3 볼스크류(42)로 회전력을 전달시키는 동력전달장치(미도시)도 조정한다.The main elevating motor 110 and the sub elevating motor 400 are cooperatively driven so that the lifting directions of the first slider 30, the second slider 40, and the third slider 50 are the same. A power transmission device (not shown) for transmitting rotational force to the second ball screw 41 and the third ball screw 42 is also adjusted.

상기 동력전달장치는 상기 제2 볼스크류(41)와 제3 볼스크류(42)의 상단에 상기 서브 승강모터(400) 회전축을 연결시키며 형성될 수 있는데, 제2 볼스크류(41)와 제3 볼스크류(42)의 회전 나사의 방향이 같을 경우에는 도 9의 기어 결합체나 도 11의 밸트로 형성시킬 수 있으며, 제2 볼스크류(41)와 제3 볼스크류(42)의 회전 나사방향이 다를 경우에는 도 10의 기어 결합체나 도 12의 밸트로 형성시킬 수 있다.
The power transmission device may be formed by connecting a rotation shaft of the sub lift motor 400 to an upper end of the second ball screw 41 and the third ball screw 42, wherein the second ball screw 41 and the third ball screw are connected to each other. When the direction of the rotation screw of the ball screw 42 is the same, it can be formed by the gear assembly of Figure 9 or the belt of Figure 11, the rotation screw direction of the second ball screw 41 and the third ball screw 42 If different, it may be formed by the gear assembly of Figure 10 or the belt of Figure 12.

본 발명에서 한편, 상기 제1 슬라이더(30)와 제2, 제3 슬라이더(50)의 슬라이딩 거리는 달리 구성되는데, 이는 도 14에 도시된 바와 같이 상기 마운트 프레임(20) 내부에 카세트(60)가 결합된 상태로 삽입되게 하여, 최소 공간을 이용하여 최대 효용성을 이루기 위함이다.In the present invention, on the other hand, the sliding distance between the first slider 30 and the second and third sliders 50 is configured differently, as shown in FIG. 14, in which the cassette 60 is mounted inside the mount frame 20. It is to be inserted in a combined state, to achieve maximum efficiency using the minimum space.

이를 위하여 상기 제2 슬라이더(40)와 제3 슬라이더(50)의 슬라이딩 거리는 동일하게 형성시키며, 도 5와 도 14에 도시된 바와 같이 상기 카세트 핸드(62) 최상단 상승 위치에서 상기 제1 슬라이더(30)와 제2 슬라이더(40), 제3 슬라이더(50)는 하측면이 일치되도록 길이를 정한다.To this end, the sliding distance between the second slider 40 and the third slider 50 is the same, and as shown in FIGS. 5 and 14, the first slider 30 at the uppermost raised position of the cassette hand 62. ), The second slider 40, and the third slider 50 determine the length so that the lower side coincides.

또한, 상기 카세트 핸드(62) 최상단 상승 위치에서 상기 마운트 프레임(20)의 내부에 상기 카세트 핸드(62)에 결합된 카세트(60)가 전부 수용되도록 상기 마운트 프레임(20)의 길이와 폭를 정하고, 상기 제1 슬라이더(30)와 제2 슬라이더(40), 제3 슬라이더(50)는 하측면이 상기 카세트(60)의 상측면에 위치되도록 길이를 정한다.In addition, the length and width of the mount frame 20 are determined so that the cassette 60 coupled to the cassette hand 62 is completely accommodated in the mount frame 20 at the uppermost raised position of the cassette hand 62. The first slider 30, the second slider 40, and the third slider 50 are defined in length so that the lower side is positioned on the upper side of the cassette 60.

상기와 같은 구성에 의하면, 마운트 프레임(20) 내부 공간을 최대한 활용하는 제1 슬라이더(30), 제2 슬라이더(40), 제3 슬라이더(50) 및 카세트(60)의 구성이 이루어진다.According to the above configuration, the first slider 30, the second slider 40, the third slider 50, and the cassette 60 are configured to make the best use of the internal space of the mount frame 20.

상기한 마운트 프레임(20) 내부의 공간 활용을 위하여 본 발명은 또한, 상기 제2 슬라이더(40)는 사각 통체(ㄷ자형 형강 구조도 가능하다.)로 형성되어 도 4와 도 13에 도시된 바와 같이 상면의 상기 서브 승강모터(400)를 내부에 삽입하여 설치하고 모터축과 동력전달장치만을 노출시켜 상부 장치의 설치 공간을 최소화시킨다.
In order to utilize the space inside the mount frame 20, the present invention further provides that the second slider 40 is formed of a rectangular cylinder (a C-shaped steel structure is also possible), as shown in FIGS. 4 and 13. As described above, the sub lifting motor 400 of the upper surface is inserted and installed therein, thereby minimizing the installation space of the upper device by exposing only the motor shaft and the power transmission device.

또한, 상기 마운트 플레이트(10)는 사각 격자 프레임 구조로 형성되어 상기 카세트 핸드(62) 최상단 상승 위치에서 상기 제1 슬라이더(30)와 제2 슬라이더(40), 제3 슬라이더(50)의 상단부가 마운트 플레이트(10)와 충돌되지 않도록 한다.In addition, the mount plate 10 is formed in a rectangular lattice frame structure so that the upper end portions of the first slider 30, the second slider 40, and the third slider 50 at the uppermost rising position of the cassette hand 62. Do not collide with the mounting plate 10.

즉, 상기 마운트 플레이트(10)의 사각 격자 프레임 구조는 상기 제1 슬라이더(30), 제2 슬라이더(40), 제3 슬라이더(50)의 상방 공간 여유를 확보하여 상기 동력전달장치(미도시) 등으로 인한 장치가 보호되게 한다.
That is, the rectangular grid frame structure of the mount plate 10 secures an upper space of the first slider 30, the second slider 40, and the third slider 50 to allow the power transmission device (not shown). To protect the device due to, for example.

이상 설명한 본 발명에 의하면, 천장에 설치된 주행대차에 의하여 도 1, 도 2의 상태로 카세트(60) 위치로 이송되며, 주회전 모터(미도시)로 카세트(60)의 위치를 맞추며, 하강하여 도 3에 도시된 바와 같이 카세트(60)를 결합시키고. 승강시 핸드 회전 모터(61)로 카세트(60)의 승강 방향을 정하며, 도 5에 도시된 바와 같이 카세트(60)를 결합한 상태로 승강한 후에 이송된다.According to the present invention described above, it is transported to the cassette 60 position in the state of Figs. 1 and 2 by the traveling cart installed on the ceiling, while adjusting the position of the cassette 60 by the main rotating motor (not shown), Join cassette 60 as shown in FIG. The lifting direction of the cassette 60 is determined by the hand rotary motor 61 during the lifting, and as shown in FIG. 5, the cassette 60 is moved up and down while being coupled to the cassette 60.

이와 같이 본 발명에 의하면 반도체 웨이퍼나 액정표시소자 글래스(LCD glass), 솔라셀의 제조공정 라인과 같은 환경에서 승강 전 장치가 차지한 공간과 동일 공간을 차지하는 공간 효율적 더블암식 삼단 카세트 이송 로봇이 제공된다.
As described above, according to the present invention, a space-efficient double-arm three-stage cassette transfer robot is provided which occupies the same space as the space occupied by the pre-lifting device in an environment such as a semiconductor wafer, an LCD glass, or a solar cell manufacturing process line. .

이상 본 발명의 설명을 위하여 도시된 도면은 본 발명이 구체화되는 하나의 실시예로서 도면에 도시된 바와 같이 본 발명의 요지가 실현되기 위하여 다양한 형태의 조합이 가능함을 알 수 있다.It will be apparent to those skilled in the art that the present invention may be embodied in many other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof.

따라서 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다. Therefore, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various changes can be made by any person having ordinary skill in the art without departing from the gist of the present invention as claimed in the following claims. It will be said that the technical spirit of this invention is to the extent possible.

10 : 마운트 플레이트 20 : 마운트 프레임
21 : 제1 볼스크류 22 : 제1 슬라이딩 레일
23 : 제1 슬라이더 구동부 30 : 제1 슬라이더
31 : 제2 슬라이딩 레일 34 : 제2 슬라이더 구동부
40 : 제2 슬라이더 41 : 제2 볼스크류
42 : 제3 볼스크류 50 : 제3 슬라이더
51 : 제3 슬라이딩 레일 52 : 제3 슬라이더 구동부
60 : 핸드 플레이트 61 : 핸드 회전 모터
62 : 카세트 핸드 100 : 제1 회전축
110 : 주승강 모터 210 : 제1 볼스크류의 스크류 너트
400 : 서브 승강모터 410 : 제2 볼스크류의 스크류 너트
420 : 제3 볼스크류의 스크류 너트 610 : 제2 회전축10: mount plate 20: mount frame
21: first ball screw 22: first sliding rail
23: first slider drive 30: first slider
31: second sliding rail 34: second slider drive
40: second slider 41: second ball screw
42: third ball screw 50: third slider
51: third sliding rail 52: third slider drive
60: hand plate 61: hand rotary motor
62: cassette hand 100: first rotating shaft
110: main lift motor 210: screw nut of the first ball screw
400: sub lift motor 410: screw nut of the second ball screw
420: screw nut of the third ball screw 610: second axis of rotation

Claims (6)

중심부에는 천장에 설치된 주행 대차에 결합되는 제1 회전축과 상기 제1 회전축을 회전 제어시키는 주회전 모터가 형성된 마운트 플레이트와;
ㄷ형 단면의 직선 프레임으로서 개방면이 서로 대향되도록 상기 마운트 플레이트의 양단 하방에 대칭 결합되며, 대면하는 면의 양측 모서리에 제1 슬라이딩 레일이 형성된 마운트 프레임과;
양단에 대칭으로, 상기 마운트 프레임의 ㄷ형 단면 내부에 형성되는 제1 볼스크류와;
양단에 대칭으로, 상기 마운트 프레임의 상방 외측에서 상기 제1 볼스크류에 연결되어 상기 제1 볼스크류를 회전 제어시키는 주승강 모터와;
양단에 대칭으로 상기 제1 슬라이딩 레일에 제1 슬라이딩 가이드에 의하여 대칭 결합되며, 서로 대면하는 면의 양측 모서리에는 제2 슬라이딩 레일이 형성되는 제1 슬라이더와;
양단에 대칭으로 상기 제1 슬라이더의 상단에 고정되고 상기 제1 볼스크류의 스크류 너트에 체결된 제1 슬라이더 구동부와;
양단에 대칭으로 상기 제2 슬라이딩 레일에, 상단에 형성된 제2 슬라이딩 가이드에 의하여 대칭으로 슬라이딩 결합되며, 상기 제2 슬라이딩 가이드 반대면 하단에는 제3 슬라이딩 가이드가 형성되고, 상기 제2 슬라이딩 가이드 반대면 하단에는 제3 슬라이딩 가이드가 형성되고, 양측면에는 제2 볼스크류와 제3 볼스크류가 회동 자재되도록 결합되고, 상측면에는 상기 제2 볼스크류와 제3 볼스크류를 회전 제어시키는 서브 승강모터가 동력전달장치에 의해 연결되어 형성되는 제2 슬라이더와;
양단에 대칭으로 상기 제1 슬라이더의 하단 일측에 고정되고 상기 제2 볼스크류의 스크류 너트에 결합되는 제2 슬라이더 구동부와;
상기 제2 슬라이더에 접하는 면에 제3 슬라이딩 레일이 형성되어, 양단에 대칭으로 상기 제3 슬라이딩 가이드에 결합되는 제3 슬라이더와;
상기 제3 슬라이더의 상단 타측에 고정되고 상기 제3 볼스크류의 스크류 너트에 결합되는 제3 슬라이더 구동부와;
양측이 상기 제3 슬라이더 하단에 결합되며 중심부에 제2 회전축과 상기 제2 회전축을 구동시키는 핸드 회전 모터가 형성된 핸드 플레이트와;
상기 제2 회전축에 결합되는 카세트 핸드로;
구성되는 것을 특징으로 하는 더블암식 삼단 카세트 이송 로봇.A center plate having a first rotating shaft coupled to a traveling bogie mounted on a ceiling and a main rotating motor configured to control rotation of the first rotating shaft;
A c frame having a straight frame having symmetrical coupling at both ends of the mount plate such that the open surfaces thereof face each other, and having first sliding rails formed at both edges of the facing surfaces;
A first ball screw symmetrically at both ends and formed in a c-shaped cross section of the mount frame;
A main lift motor symmetrically at both ends connected to the first ball screw from above and outside the mount frame to control rotation of the first ball screw;
A first slider symmetrically coupled to both ends by a first sliding guide to the first sliding rail, and having a second sliding rail formed at both edges of surfaces facing each other;
A first slider driving part fixed to an upper end of the first slider symmetrically at both ends and fastened to a screw nut of the first ball screw;
The second sliding guide is symmetrically coupled to the second sliding rail by a second sliding guide formed at an upper end thereof, and a third sliding guide is formed at a lower end of the opposite side of the second sliding guide, and the opposite side of the second sliding guide. A third sliding guide is formed at a lower end thereof, and the second ball screw and the third ball screw are coupled to each other on both sides thereof so as to be rotated, and on the upper side, a sub-lift motor for controlling the rotation of the second ball screw and the third ball screw is driven. A second slider connected to and formed by a delivery device;
A second slider driving part fixed to one end of the first slider symmetrically at both ends and coupled to a screw nut of the second ball screw;
A third slider formed on a surface in contact with the second slider, the third slider being symmetrically coupled to both ends of the third slider;
A third slider driver fixed to the other end of the third slider and coupled to a screw nut of the third ball screw;
A hand plate coupled to a lower end of the third slider and having a hand rotating motor formed at a center thereof to drive a second rotating shaft and the second rotating shaft;
A cassette hand coupled to the second axis of rotation;
Double arm type three-stage cassette transfer robot, characterized in that configured. 제1항에 있어서 상기 동력전달장치는
상기 제2 슬라이더와 제3 슬라이더가 동일 승강 방향을 형성하도록 상기 제2, 제3 볼스크류를 회전시키는 밸트 또는 나사 결합체인 것을 특징으로 하는 더블암식 삼단 카세트 이송 로봇.According to claim 1, wherein the power transmission device
And a belt or screw assembly for rotating the second and third ball screws such that the second slider and the third slider form the same lifting direction. 제2항에 있어서 상기 주승강 모터와 서브 승강모터는
상기 카세트 핸드의 승강시 동일 방향의 승강이 발생되도록 연동 구동되는 것을 특징으로 하는 더블암식 삼단 카세트 이송 로봇.The method of claim 2, wherein the main lifting motor and the sub lifting motor
Double-arm type three-stage cassette transfer robot, characterized in that the drive driven so as to cause the lifting in the same direction when the cassette hand. 제1항에 있어서 상기 더블암식 삼단 카세트 이송 로봇은
상기 카세트 핸드 최상단 상승 위치에서 상기 제1 슬라이더와 제2 슬라이더, 제3 슬라이더는 하측면이 일치되도록 길이를 정하되,
상기 카세트 핸드 최상단 상승 위치에서 상기 마운트 프레임의 내부에 상기 카세트 핸드에 결합된 카세트가 전부 수용되도록 상기 마운트 프레임의 길이와 폭를 정하고, 상기 제1 슬라이더와 제2 슬라이더, 제3 슬라이더는 하측면이 상기 카세트의 상측면에 위치되도록 길이를 정하는 것을 특징으로 하는 더블암식 삼단 카세트 이송 로봇.The method of claim 1, wherein the double-armed three-stage cassette transfer robot
The first slider, the second slider, and the third slider are defined in length so that their lower sides coincide with each other at the uppermost position of the cassette hand.
The length and width of the mount frame are set so that the cassette coupled to the cassette hand is completely accommodated in the mount frame at the uppermost position of the cassette hand, and the first slider, the second slider, and the third slider have a lower side thereof. Double-arm three-stage cassette transfer robot, characterized in that the length is determined to be located on the upper side of the cassette. 제1항 내지 제4항 중 어느 하나의 항에 있어서
상기 제2 슬라이더는 사각 통체로 형성되어 상면의 상기 서브 승강 모터를 내부에 삽입하여 설치하고 모터축과 동력전달장치만을 노출시켜 상부 장치의 설치 공간을 최소화시키는 것을 특징으로 하는 더블암식 삼단 카세트 이송 로봇.The method according to any one of claims 1 to 4
The second slider is formed of a rectangular cylinder to insert the sub-elevating motor on the upper surface inside and install the double arm three-stage cassette transfer robot, characterized in that to minimize the installation space of the upper device by exposing only the motor shaft and power transmission device. . 제5항에 있어서 상기 마운트 플레이트는
사각 격자 프레임 구조로 형성되어 상기 카세트 핸드 최상단 상승 위치에서 상기 제1 슬라이더와 제2 슬라이더, 제3 슬라이더의 상방 공간 여유를 확보하는 것을 특징으로 하는 더블암식 삼단 카세트 이송 로봇.The method of claim 5 wherein the mount plate
The double arm type three-stage cassette transfer robot, which is formed in a rectangular grid frame structure and secures an upper space allowance of the first slider, the second slider, and the third slider at the uppermost position of the cassette hand.
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