KR20130002623A - Clean room elevator - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An elevator for a clean room is provided to circulate a large quantity of air by separately forming a left and a right air circulating paths. CONSTITUTION: An elevator for a clean room comprises an inner body(110), left and right air path forming plates(121,122), a top plate(130), a bottom plate(140), left and right first filters(151,152), left and right second filters(161,162), and left and right blowers(171,172). The inner body comprises a front door, a rear plate, left and right plates(113,114), a ceiling plate(115), and a footstool(116). The left and right air path forming plates are separated from the left and right plates to form the left and right air paths(121a,122a). The top plate is separated upward from the ceiling plate to form an upper space(130a). The bottom plate separately supports the footstool and forms a lower space(140a). The left and right first filters are installed on a communication path of the left and right air paths to filter air.

Description

클린룸 엘리베이터{Clean room elevator}Clean room elevator

본 발명은 엘리베이터에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 내부 공간을 쾌적한 상태로 유지할 수 있도록 공기청정 시스템을 도입하여 내부 청정도를 향상시킨 클린룸 엘리베이터에 관한 것이다.The present invention relates to an elevator, and more particularly, to a clean room elevator having an improved internal cleanliness by introducing an air cleaning system to maintain an interior space in a comfortable state.

일반적으로 엘리베이터는 건물 등에 설치되어 수직방향으로 승강하면서 사람이나 화물을 목적 층까지 운송시켜주는 역할을 한다. 이러한 엘리베이터는 대부분 탑승자나 탑승물의 안전한 운송을 위하여 내부가 밀폐된 구조로 되어 있으며, 다만 정해진 위치에 도달하였을 때에만 도어가 개폐되어 입출입이 가능하도록 되어 있다.In general, elevators are installed in buildings and the like to lift people in the vertical direction and serve to transport people or cargo to the target floor. Most of these elevators have a closed structure for safe transportation of occupants or vehicles, and the door is opened and closed only when a predetermined position is reached.

엘리베이터에서는 승객이 탑승할 때 또는 화물을 탑재할 때, 내부로 유입되는 각종 미세한 먼지나 분진, 매연, 유해가스, 곰팡이 세균 등이 내부 공기와 함께 공존하게 된다. 특히, 엘리베이터 내부의 밀폐 특성상 내부 공기의 순환이나 배출이 제대로 이루어지지 않게 되며, 이 때문에 엘리베이터 내부는 쾌적하지 못하게 되고, 아울러 엘리베이터는 이용하는 탑승객들에게 건강상 악영향을 미치게 된다. 이러한 문제점을 해결하기 위하여, 외부의 공기를 엘리베이터 내부로 강제 유입시켜 순환되도록 하는 공기청정 기능을 구비한 엘리베이터가 도입되어 사용되고 있다. In an elevator, when a passenger boards or loads a cargo, various fine dusts, dusts, fumes, harmful gases, and fungal bacteria that flow into the interior coexist with the internal air. In particular, due to the airtight nature of the elevator inside the circulation or exhaust of the air is not made properly, because of this, the interior of the elevator is not comfortable, and also the elevator adversely affects the health of passengers using. In order to solve this problem, an elevator having an air cleaning function for forcibly introducing and circulating the outside air into the elevator has been introduced and used.

한편, 반도체 소자 또는 디스플레이용 소자 등과 같은 미세 전자부품을 제조하는 공정에 있어서는 높은 청정도가 요구되기 때문에 클린룸(Clean room)에서 제조가 이루어진다. 클린룸은 온도, 습도뿐만 아니라, 먼지 등과 같은 마이크로 단위의 미세 파티클(Particle) 등을 일정 수준으로 유지하여 제조단계에서 불량이 발생하는 것을 방지하고 있다. 여기서 온도 및 습도는 자동제어시스템 등을 이용하여 일정하게 유지될 수 있으나, 파티클은 작업자 등에 의하여 외부로부터 클린룸 내부로 유입될 수 있기 때문에 클린룸 내에서 파티클을 일정수준 이하로 유지하는 것이 제조불량을 방지하는 중요한 요소 중 하나로 작용하고 있다. Meanwhile, in the process of manufacturing fine electronic components such as semiconductor devices or display devices, high cleanliness is required, so that manufacturing is performed in a clean room. The clean room maintains not only temperature and humidity, but also micro particles such as dust and the like at a predetermined level to prevent defects from occurring during the manufacturing stage. Here, the temperature and humidity can be kept constant by using an automatic control system, but since the particles can be introduced into the clean room from the outside by the worker, etc., it is poor to keep the particles below a certain level in the clean room. It is acting as one of the important factors to prevent this.

그러나 공기정화장치를 이용하여 엘리베이터 내부의 공기를 정화하더라도, 고청정을 요구하는 클린룸 내에서 물건이나 작업자가 엘리베이터를 통해 이동하면서 유입되는 미세 먼지나 이물질을 제거하는 데에는 한계가 있고, 이 때문에 결국 클린룸 내에서 생산되는 제품의 불량으로 이어지는 경우가 빈번하게 발생하는 문제점이 있다. However, even if the air inside the elevator is used to purify the air inside the elevator, there is a limit to remove the fine dust or foreign substances that are introduced while moving objects through the elevator in a clean room requiring high cleanness, There is a problem that frequently leads to a failure of the product produced in the clean room.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 청정도를 종전 방식보다 더욱 향상시키고 쾌적한 상태를 유지할 수 있도록 하여 클린룸 내에서생산되는 제품의 불량을 최소화할 수 있도록 구조를 개선한 클린룸 엘리베이터를 제공하는 것을 그 목적으로 한다. The present invention was created to solve the above-mentioned problems, the clean room elevator to improve the cleanliness more than the conventional method and to maintain a comfortable state to improve the structure to minimize the defects of products produced in the clean room elevator To provide that purpose.

이상과 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따르면, 개폐가능하게 설치된 전면도어, 상기 전면도어와 대향되게 설치된 후면판, 좌측 및 우측에 각각 설치된 좌측 및 우측판, 상부에 설치되는 천정판 및 하부에 설치되는 발판을 포함하며, 내측공간을 형성하는 내부본체; 상기 좌측 및 우측판으로부터 각각 이격되게 설치되어 좌측 및 우측 공기유로를 형성하는 좌측 및 우측 공기유로형성판; 상기 천정판으로부터 상측으로 이격되게 설치되며, 상기 좌측 및 우측 공기유로와 상기 내부본체에 형성된 내측공간의 상부를 연통하는 상부공간을 형성한 상판; 하부에서 상기 발판을 이격되게 지지하며, 상기 좌측 및 우측 공기유로와 상기 내부본체에 형성된 내측공간의 하부를 연통하는 하부공간을 형성한 바닥판; 상기 하부공간과 상기 좌측 및 우측 공기유로의 연통로 상에 각각 설치되어 유입되는 공기를 여과하는 좌측 및 우측 제1필터; 상기 상부공간에 설치되며, 상기 좌측 및 우측 공기유로와 상기 내측공간의 연통로 상에 각각 설치되어 유입되는 공기를 여과하는 좌측 및 우측 제2필터; 및 상기 상부공간의 좌측 및 우측에 각각 배치되며, 유입되는 공기가 순차적으로 상기 내측공간, 하부공간, 좌측 및 우측 공기유로, 상부공간을 강제 순환하도록 하는 좌측 및 우측 블로어를 구비하는 클린룸 엘리베이터가 제공된다. In order to achieve the above object, according to the present invention, the front door is installed so as to open and close, the rear plate is installed opposite to the front door, the left and right plates are installed on the left and right, respectively, the ceiling plate and the lower installed on the top An inner body including a footrest installed and forming an inner space; Left and right air flow path forming plates spaced apart from the left and right plates, respectively, to form left and right air flow paths; An upper plate spaced upwardly from the ceiling plate and having an upper space communicating the left and right air passages with an upper portion of an inner space formed in the inner body; A bottom plate supporting the scaffold at a lower portion and forming a lower space communicating the left and right air passages with a lower portion of an inner space formed in the inner body; Left and right first filters respectively installed on the communication path between the lower space and the left and right air passages to filter the air introduced therein; Left and right second filters installed in the upper space and respectively installed on the left and right air passages and the communication passages of the inner spaces to filter the air introduced thereto; And clean rooms elevators disposed on the left and right sides of the upper space, respectively, and the left and right blowers are configured to force the inflow of air to sequentially circulate the inner space, the lower space, the left and right air flow paths, and the upper space. Is provided.

여기서 상기 천정판 및 발판에는 공기가 통과할 수 있도록 다수의 공기소통로가 형성된 것이 바람직하다. Here, it is preferable that a plurality of air communication paths are formed in the ceiling plate and the foot plate so that air can pass therethrough.

또한 상기 좌측 및 우측 제1필터는 프리필터(Pre-filter)이고, 상기 좌측 및 우측 제2필터는 울파필터(Ulpa-filter) 또는 헤파필터(HEPA-filter)인 것이 바람직하다. In addition, the left and right first filters are pre-filters, and the left and right second filters are Ulpa-filters or HEPA-filters.

더욱이 상기 좌측 제2필터와 우측 제2필터는 상하방향으로 서로 층이 지도록 배치될 수 있다. Furthermore, the left second filter and the right second filter may be arranged to be layered with each other in the vertical direction.

게다가 상기 좌측 및 우측 제2필터는 상기 후면판 방향으로 각각 복수 개 배열될 수 있다. In addition, a plurality of left and right second filters may be arranged in the rear plate direction.

본 발명에 따른 클린룸 엘리베이터에 따르면, 공기의 순화유로를 좌측 및 우측에 별도로 형성함으로써 비교적 다량의 공기가 순환되도록 할 수 있으며, 여과 대상 및 효율을 달리하는 제1필터와 제2필터를 별도로 구비함으로써 집진효율을 증대할 수 있다는 장점을 갖는다. 따라서 고청정도를 요구하는 클린룸 내부가 엘리베이터를 통해 오염되는 것을 효과적이고도 효율적으로 방지할 수 있게 된다.According to the clean room elevator according to the present invention, by forming the air purifying flow path separately on the left and right side, it is possible to circulate a relatively large amount of air, and separately provided with the first filter and the second filter for varying the filtering target and efficiency As a result, the dust collection efficiency can be increased. Therefore, the inside of the clean room requiring high cleanliness can be effectively and efficiently prevented from being contaminated by the elevator.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 클린룸 엘리베이터의 수직 단면도,
도 2는 도 1에 나타낸 클린룸 엘리베이터의 우측 단면도,
도 3은 도 1의 "X"방향에서 본 도면,
도 4는 도 1에 나타낸 클린룸 엘리베이터의 평면도이다.1 is a vertical sectional view of a clean room elevator according to an embodiment of the present invention,
FIG. 2 is a right sectional view of the clean room elevator shown in FIG. 1;
3 is a view seen from the "X" direction of FIG.
4 is a plan view of the clean room elevator shown in FIG. 1.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하도록 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 클린룸 엘리베이터의 수직 단면도, 도 2는 도 1에 나타낸 클린룸 엘리베이터의 우측 단면도, 도 3은 도 1의 "X"방향에서 본 도면, 도 4는 도 1에 나타낸 클린룸 엘리베이터의 평면도이다.1 is a vertical cross-sectional view of a clean room elevator according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a right sectional view of the clean room elevator shown in FIG. 1, FIG. 3 is a view seen from the "X" direction of FIG. 1, and FIG. 4 is FIG. 1. It is a top view of the clean room elevator shown in FIG.

도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 클린룸 엘리베이터는, 내부본체(110)와, 좌측 및 우측 공기유로형성판(121)(122)과, 상판(130)과, 바닥판(140)과, 좌측 및 우측 제1필터(151)(152)와, 좌측 및 우측 제2필터(161)(162)와, 좌측 및 우측 블로어(171)(172)를 구비한다.As shown, the clean room elevator according to an embodiment of the present invention, the inner body 110, the left and right air flow path forming plate 121, 122, the top plate 130, the bottom plate 140 And left and right first filters 151 and 152, left and right second filters 161 and 162, and left and right blowers 171 and 172.

상기 내부본체(110)는, 사각 박스(Box)의 형상을 갖는다. 보다 구체적으로는, 개폐가능하게 설치된 전면도어(111)와, 이러한 전면도어(111)와 대향되게 설치된 후면판(112)과, 좌측 및 우측에 각각 설치된 좌측 및 우측판(113)(114)과, 상부에 설치되는 천정판(115)과, 하부에 설치되는 발판(116)을 포함한다. 상기 전면도어(111), 후면판(112), 좌측 및 우측판(113)(114), 천정판(115) 및 발판(116)은, 전면도어(111)의 개폐에 따라 선택적으로 밀폐되는 내측공간(110a)을 형성한다. The inner body 110 has a shape of a rectangular box (Box). More specifically, the front door 111 provided to be openable and close, the rear plate 112 provided to face the front door 111, the left and right plates 113 and 114 respectively installed on the left and right sides, It includes a ceiling plate 115 is installed on the top, and the footrest 116 is installed on the bottom. The front door 111, the rear plate 112, the left and right plates 113 and 114, the ceiling plate 115 and the foot plate 116, the inner side is selectively sealed according to the opening and closing of the front door 111 The space 110a is formed.

한편, 상기 천정판(115) 및 발판(116)에는, 후술할 공기의 순환을 위하여 공기가 통과할 수 있는 다수의 공기소통로(115a,116a)가 각각 형성된 것이 바람직하다. 이러한 공기소통로(115a,116a)는 그릴(Grill), 슬롯(Slot), 메쉬(Mesh) 또는 단순한 원의 형상을 가질 수 있으며, 특정 형상으로 한정되지 않고 다양한 형태가 가능하다. On the other hand, the ceiling plate 115 and the scaffold 116 is preferably formed with a plurality of air communication paths (115a, 116a) through which air can pass for the circulation of air to be described later. The air communication paths 115a and 116a may have a shape of a grill, a slot, a mesh, or a simple circle, and various forms are possible without being limited to a specific shape.

상기 좌측 및 우측 공기유로형성판(121)(122)은 상기 좌측 및 우측판(113)(114)으로부터 각각 이격되게 설치된다. 그리고 상기 좌측 및 우측판(113)(114)과의 사이에 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a)를 각각 형성한다.The left and right air flow path forming plates 121 and 122 are installed to be spaced apart from the left and right plates 113 and 114, respectively. The left and right air passages 121a and 122a are formed between the left and right plates 113 and 114, respectively.

상기 상판(130)은 천정판(115)으로부터 상측으로 이격되게 설치된다. 그리고 상기 천정판(115)과의 사이에 상부공간(130a)을 형성한다. 이러한 상부공간(130a)은 상기 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a)와 내부본체(110)에 형성된 내측공간(110a)의 상부를 연통시킨다.The upper plate 130 is installed to be spaced apart from the ceiling plate 115 to the upper side. In addition, an upper space 130a is formed between the ceiling plate 115. The upper space 130a communicates the upper portions of the left and right air passages 121a and 122a with the inner space 110a formed in the inner body 110.

상기 바닥판(140)은, 하부에서 상기 발판(116)을 이격되게 지지한다. 그리고 상기 발판(116)과의 사이에 하부공간(140a)을 형성한다. 이러한 하부공간(140a)은 상기 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a)와 내부본체(110)에 형성된 내측공간(110a)의 하부를 연통한다.The bottom plate 140 supports the foot plate 116 spaced apart from the bottom. The lower space 140a is formed between the scaffold 116. The lower space 140a communicates with the lower left and right air passages 121a and 122a and the lower portion of the inner space 110a formed in the inner body 110.

상기 좌측 및 우측 제1필터(151)(152)는 상기 하부공간(140a)과 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a)의 연통로 상에 각각 설치되어 유입되는 공기를 여과한다. 이러한 좌측 및 우측 제1필터(151)(152)로는 프리필터(Pre-filter)를 사용하는 것이 바람직하다. 여기서 프리필터란 비교적 입자가 큰 먼지나 분진을 걸러내는 필터로서, 효율은 AFI(Air Filter Institute)로 표시하며, 주로 AFI 80%의 제품을 사용한다. 특히 프리필터는, 헤파필터(HEPA filter)나 울파필터(Ulpa filter)와 같은 클린룸의 최종필터를 보호하기 위한 전처리 필터로서 사용된다. The left and right first filters 151 and 152 are installed on the communication paths between the lower space 140a and the left and right air passages 121a and 122a, respectively, to filter the air introduced therethrough. As the left and right first filters 151 and 152, it is preferable to use a pre-filter. Here, the pre-filter is a filter that filters out relatively large dust and dust. The efficiency is expressed by AFI (Air Filter Institute), and mainly uses AFI 80%. In particular, the pre-filter is used as a pretreatment filter for protecting the final filter of a clean room such as a HEPA filter or Ulpa filter.

상기 좌측 및 우측 제2필터(161)(162)는 상기 상부공간(130a)에 설치되는데, 보다 자세하게는 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a)와 내측공간(110a)의 연통로 상에 각각 설치되어 유입되는 공기를 여과한다. 이러한 좌측 및 우측 제2필터(161)(162)로는 울파필터(Ulpa-filter) 또는 헤파필터(HEPA-filter)를 사용하는 것이 바람직하다. 여기서 울파필터는 슈퍼 클린룸용에 사용할 수 있는 최종 필터로서, 제거대상 먼지 사이즈는 0.1마이크로미터 이상의 먼지나 바이러스이다. 효율은 DOP(Dioctyl Phthalate)로 나타내며, 주로 DOP 99.9995% 또는 99.99995%의 제품을 주로 사용할 수 있다. 그리고 상기 헤파필터는 클린룸을 만들기 위해 사용하는 최종필터로서, 제거 대상 먼지 사이즈는 0.3마이크로미터 이상의 미세한 세균이나 먼지이다. 효율은 울파필터와 같이 DOP로 나타내며, 주로 DOP 99.97%의 제품을 사용한다.The left and right second filters 161 and 162 are installed in the upper space 130a. More specifically, the left and right second filters 161 and 162 are respectively disposed on the communication path between the left and right air passages 121a and 122a and the inner space 110a. Installed to filter the incoming air. As the left and right second filters 161 and 162, it is preferable to use an Ulpa-filter or a HEPA-filter. The ulpa filter is a final filter that can be used for a super clean room, and the dust size to be removed is dust or virus of 0.1 micrometer or more. Efficiency is expressed as DOP (Dioctyl Phthalate), and mainly DOP 99.9995% or 99.99995% products can be used. The HEPA filter is a final filter used to create a clean room, and the size of the dust to be removed is 0.3 micrometer or more fine bacteria or dust. The efficiency is expressed in DOP like the Ulpa filter, and mainly uses 99.97% of DOP.

한편, 도 1에 도시된 바와 같이 상기 좌측 제2필터(161)와 우측 제2필터(162)는 상하방향으로 서로 층이 지도록 배치할 수 있다. 이렇게 함으로써 내측공간(110a)의 좌측 부분과 좌측 공기유로(121a)를 순환한 공기와, 내측공간(110a)의 루측 부분과 우측 공기유로(122a)를 순환한 공기가, 반대편 쪽에 위치된 제2필터(161,162)의 측부에 부딪혀서 자연스럽게 내측공간(110a) 쪽으로 유동할 수 있기 때문이다. Meanwhile, as shown in FIG. 1, the left second filter 161 and the right second filter 162 may be arranged to be layered with each other in the vertical direction. In this way, the air circulated through the left portion and the left air passage 121a of the inner space 110a, and the air circulated through the base portion and the right air passage 122a of the inner space 110a, are located on the opposite side. This is because it hits the sides of the filters 161 and 162 and flows naturally toward the inner space 110a.

또한 필터의 효율을 향상시키기 위하여, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 좌측 및 우측 제2필터(161)(162)는 상기 후면판(112) 방향으로 각각 복수 개 배열될 수 있다 In addition, in order to improve the efficiency of the filter, as shown in FIG. 4, a plurality of left and right second filters 161 and 162 may be arranged in the rear plate 112 direction.

상기 좌측 및 우측 블로어(171)(172)는 상부공간(130a)의 좌측 및 우측에 각각 배치된다. 이러한 좌측 및 우측 블로어(171)(172)는 유입되는 공기가 순차적으로 상기 내측공간(110a), 하부공간(140a), 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a), 상부공간(130a)을 강제 순환하도록 한다.The left and right blowers 171 and 172 are disposed on the left and right sides of the upper space 130a, respectively. The left and right blowers 171 and 172 sequentially force the inflowing air into the inner space 110a, the lower space 140a, the left and right air passages 121a and 122a, and the upper space 130a. Let's cycle.

이하 본 발명의 실시예에 따른 클린룸 엘리베이터의 작용 및 효과를 첨부도면을 참조하여 설명하도록 한다.Hereinafter, the operation and effects of a clean room elevator according to an exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

먼저 각 블로어(171,172)에 의하여 순환되거나 전면도어(111)의 개폐에 의해 새롭게 유입되어 내부본체(110)의 내측공간(110a)을 유동하는 공기는 발판(116)의 공기 소통로(116a)를 통해 하부공간(140a)으로 이동한다.First, the air circulated by the blowers 171 and 172 or newly introduced by opening and closing of the front door 111 flows through the inner space 110a of the inner body 110 to open the air communication path 116a of the scaffold 116. It moves to the lower space 140a through.

하부공간(140a)으로 이동된 공기는 그 이동경로에 따라 좌측 및 우측으로 나누어져 좌측 공기유로(121a) 및 우측 공기유로(122a)를 따라 상측으로 이동한다. 이와 같이 공기의 순화유로(121a,122a)를 좌측 및 우측에 별도로 형성함으로써 비교적 다량의 공기가 순환되도록 할 수 있다. The air moved to the lower space 140a is divided into left and right sides according to the movement path, and moves upward along the left air passage 121a and the right air passage 122a. Thus, by forming the air purifying passages 121a and 122a separately on the left and right sides, a relatively large amount of air can be circulated.

한편 순환하는 공기는 상기 하부공간(140a)과 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a)의 연통로 상에 각각 설치된 좌측 및 우측 제1필터(151)(152), 보다 상세하게는 프리필터를 통과하면서 비교적 입자가 큰 먼지나 이물질 등이 제거된 여과 공기 상태로 순환을 하게 된다.Meanwhile, the air circulating includes the left and right first filters 151 and 152 respectively installed on the communication paths between the lower space 140a and the left and right air passages 121a and 122a. As it passes, it circulates in the filtered air state where relatively large particles and foreign matters are removed.

다음으로 각각 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a)를 유동하는 순환공기는 상부공간(130a)으로 이동한다.Next, the circulating air flowing through the left and right air passages 121a and 122a moves to the upper space 130a, respectively.

상부공간으로 이동된 순환공기는 상기 상부공간(130a)에 설치되는 것으로서 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a)와 내측공간(110a)의 연통로 상에 각각 배치된 좌측 및 우측 제2필터(161)(162), 보다 상세하게는 헤파필터 또는 우파필터를 통과하면서 마이크로 단위의 미세 먼지나 세균이 제거된 청정의 공기상태로 순환을 하게 된다. The circulating air moved to the upper space is installed in the upper space 130a, and the left and right second filters respectively disposed on the communication path between the left and right air passages 121a and 122a and the inner space 110a ( 161, 162, and more specifically, it passes through a hepa filter or a right wave filter to circulate in a clean air state in which fine dust or bacteria in micro units are removed.

끝으로 제2필터(161,162)를 통과한 청정한 공기는 천정판(115)의 공기 소통로(115a)를 통해 내측공간(110a)으로 이동하며 순환 사이클을 형성하게 된다. Finally, the clean air passing through the second filters 161 and 162 moves to the inner space 110a through the air communication path 115a of the ceiling plate 115 to form a circulation cycle.

이상에서 설명된 바와 같이, 본 발명의 실시예에서는 여과 대상 및 효율을 달리하는 제1필터와 제2필터를 별도로 구비함으로써 집진효율을 증대할 수 있다는 장점을 갖는다.As described above, the embodiment of the present invention has an advantage that the dust collecting efficiency can be increased by separately providing the first filter and the second filter that differ in the filtering target and the efficiency.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다. While the present invention has been described with reference to exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.

110 : 내부본체 111 : 전면도어
112 : 후면판 113,114 : 좌측 및 우측판
115 : 천정판 115a,116a : 공기소통로
116 : 발판 121,122 : 좌측 및 우측 공기유로형성판
130 : 상판 130a : 상부공간
140 : 바닥판 140a : 하부공간
151,152 : 좌측 및 우측 제1필터 161,162 : 좌측 및 우측 제2필터
171,172 : 좌측 및 우측 블로어110: inner body 111: front door
112: rear panel 113, 114: left and right side plates
115: ceiling plate 115a, 116a: air communication path
116: scaffold 121,122: left and right air flow path forming plate
130: top plate 130a: upper space
140: bottom plate 140a: lower space
151,152: Left and right first filter 161,162: Left and right second filter
171,172: Left and Right Blowers

Claims (5)

개폐가능하게 설치된 전면도어(111), 상기 전면도어(111)와 대향되게 설치된 후면판(112), 좌측 및 우측에 각각 설치된 좌측 및 우측판(113)(114), 상부에 설치되는 천정판(115) 및 하부에 설치되는 발판(116)을 포함하며, 내측공간(110a)을 형성하는 내부본체(110);
상기 좌측 및 우측판(113)(114)으로부터 각각 이격되게 설치되어 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a)를 형성하는 좌측 및 우측 공기유로형성판(121)(122);
상기 천정판(115)으로부터 상측으로 이격되게 설치되며, 상기 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a)와 상기 내부본체(110)에 형성된 내측공간(110a)의 상부를 연통하는 상부공간(130a)을 형성한 상판(130);
하부에서 상기 발판(116)을 이격되게 지지하며, 상기 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a)와 상기 내부본체(110)에 형성된 내측공간(110a)의 하부를 연통하는 하부공간(140a)을 형성한 바닥판(140);
상기 하부공간(140a)과 상기 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a)의 연통로 상에 각각 설치되어 유입되는 공기를 여과하는 좌측 및 우측 제1필터(151)(152);
상기 상부공간(130a)에 설치되며, 상기 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a)와 상기 내측공간(110a)의 연통로 상에 각각 설치되어 유입되는 공기를 여과하는 좌측 및 우측 제2필터(161)(162); 및
상기 상부공간(130a)의 좌측 및 우측에 각각 배치되며, 유입되는 공기가 순차적으로 상기 내측공간(110a), 하부공간(140a), 좌측 및 우측 공기유로(121a)(122a), 상부공간(130a)을 강제 순환하도록 하는 좌측 및 우측 블로어(171)(172)를 구비하는 클린룸 엘리베이터. The front door 111 installed to be openable and close, the back plate 112 installed to face the front door 111, the left and right plates 113 and 114 respectively installed on the left and right sides, and the ceiling plate installed on the top ( 115 and an inner body 110 including a footrest 116 installed at the bottom, and forming an inner space 110a;
Left and right air flow path forming plates 121 and 122 installed to be spaced apart from the left and right plates 113 and 114 to form left and right air flow paths 121a and 122a, respectively;
An upper space 130a installed to be spaced apart from the ceiling plate 115 and communicating with an upper portion of the left and right air passages 121a and 122a and an upper portion of the inner space 110a formed in the inner body 110. Formed top plate 130;
Supporting the footrest 116 spaced apart from the bottom, the lower space 140a for communicating the lower left and right air passage 121a, 122a and the lower portion of the inner space 110a formed in the inner body 110 Formed bottom plate 140;
Left and right first filters 151 and 152 installed on the communication passages of the lower space 140a and the left and right air passages 121a and 122a, respectively, to filter the air introduced thereto;
Left and right second filters installed in the upper space 130a and installed on the communication paths between the left and right air passages 121a and 122a and the inner space 110a, respectively, 161, 162; And
It is disposed on the left and right sides of the upper space 130a, respectively, and the incoming air is sequentially in the inner space 110a, the lower space 140a, the left and right air passages 121a and 122a, and the upper space 130a. Cleanroom elevator with left and right blowers (171, 172) to force circulation. 제1항에 있어서
상기 천정판(115) 및 발판(116)에는 공기가 통과할 수 있도록 다수의 공기소통로(115a,116a)가 형성된 것을 특징으로 하는 클린룸 엘리베이터. The method of claim 1, wherein
The ceiling plate 115 and the footrest 116, a clean room elevator, characterized in that a plurality of air communication paths (115a, 116a) is formed so that air can pass through. 제1항에 있어서
상기 좌측 및 우측 제1필터(151)(152)는 프리필터(Pre-filter)이고,
상기 좌측 및 우측 제2필터(161)(162)는 울파필터(Ulpa-filter) 또는 헤파필터(HEPA-filter)인 것을 특징으로 하는 클린룸 엘리베이터. The method of claim 1, wherein
The left and right first filters 151 and 152 are pre-filters,
The left and right second filter (161) (162) is a clean room elevator, characterized in that the Ulpa filter (Ulpa-filter) or HEPA-filter (HEPA-filter). 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서
상기 좌측 제2필터(161)와 우측 제2필터(162)는 상하방향으로 서로 층이 지도록 배치된 것을 특징으로 하는 클린룸 엘리베이터. The method according to any one of claims 1 to 3
The left second filter (161) and the right second filter (162) is a clean room elevator, characterized in that arranged in each other in the vertical direction. 제4항에 있어서
상기 좌측 및 우측 제2필터(161)(162)는 상기 후면판(112) 방향으로 각각 복수 개 배열된 것을 특징으로 하는 클린룸 엘리베이터. The method of claim 4
The left and right second filter 161, 162 is a plurality of clean room elevator, characterized in that arranged in the rear plate 112 direction.
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