KR20130001793A - 질량유량계 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 질량유량계에 관한 것으로, 보다 상세하게는 유로를 통과하는 유체의 흐름을 개폐시키는 피에조 밸브와, 상기 피에조 밸브의 일단에 지렛대식으로 설치되어, 상기 피에조 밸브의 일단이 미세변위만큼 변형되면, 확대변위만큼 움직이도록 된 변위확대수단이 형성된 질량유량계에 관한 것이다.

Description

질량유량계{Mass Flow Meter and Controller}
본 발명은 질량유량계에 관한 것으로, 보다 상세하게는 유로를 통과하는 유체의 흐름을 개폐시키는 피에조 밸브와, 상기 피에조 밸브의 일단에 지렛대식으로 설치되어, 상기 피에조 밸브의 일단이 미세변위만큼 변형되면, 확대변위만큼 움직이도록 된 변위확대수단이 형성된 질량유량계에 관한 것이다.
일반적으로 알려진 질량유량계(MFC)는 반도체 장치의 제조 특히 에칭 및 기상증착공정에 사용되는 인체에 유해하고 대기에 노출되었을 때 고반응성을 갖는 유독성 또는 고반응성 가스와 같은 유체의 질량 유동율을 제어하기 위한 반도체 공정의 정밀유량조절기로 주로 사용되었으나, 최근에는 각 연구소, 실험실 및 산업플랜트 등으로 확산되어 산업 전분야에 걸쳐 Air, O2 를 비롯한 모든 가스 플랜트의 유량지시 및 유량제어의 목적으로 사용되고 있는 실정이다.
이러한 질량유량계에는 일반적으로 가스와 같은 유체가 흐를 수 있는 유로가 형성되며, 상기 유로를 개폐시키는 밸브를 사용한다.
질량유량계에서 사용가능한 다양한 밸브들 중 솔레노이드 밸브는 전기적 신호를 받아 유량이나 공기의 흐름을 제어하는 장치로서, 전자석코일에 펄스신호가 가해지면 플런져가 전자석코일에 흡인되면서, 이에 일체로 형성된 밸브가 개방되면서 작동유체의 흐름경로를 개방시키게 되는 것이다.
따라서, 솔레노이드 밸브의 흐름 경로를 통과하게 되는 유량이나 공기의 흐름량은 전자석코일에 흐르는 전류시간에 의해 조절되는 것이다.
기존 솔레노이드 방식의 밸브는 밸브 내부 부품들이 일렬로 연결되어 제어하는 직동식이며, 이러한 방식은 스트로크(stroke) 길이가 작은 방식이므로, 결국 개폐밸브의 리프트량에 제한이 있어, 대유량 제어가 어렵고, 낮은 압력에서도 사용이 제한된다는 문제점이 있었다.
이러한 문제점은 솔레노이드 방식의 밸브 대신 피에조 방식의 밸브만을 사용한 질량유량계에서도 마찬가지로 여전히 스트로크 길이가 작다는 문제점이 있었다.
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 피에조 밸브와 지랫대 원리를 이용하여, 피에조 밸브의 일단이 미세변위만큼 변형되면, 확대변위만큼 움직이도록 된 변위확대수단이 형성된 질량유량계에 관한 것이다.
이와 같은 과제를 해결하기 위해 본 발명의 청구항 1에 기재된 질량유량계는,
길이 방향으로 유로가 형성된 본체와, 상기 유로를 통과하는 유체의 흐름을 개폐시키는 피에조 밸브와, 상기 피에조 밸브의 일단에 지렛대식으로 설치되어, 상기 피에조 밸브의 일단이 미세변위만큼 변형되면, 확대변위만큼 움직이도록 된 변위확대수단이 형성된 것을 특징으로 한다.
이와 같은 과제를 해결하기 위해 본 발명의 청구항 2에 기재된 질량유량계는,
상기 변위확대수단은 상기 피에조 밸브의 하부에 위치하는 플레이트와, 상기 플레이트의 하부에 설치되어 상기 플레이트를 지지하는 지지부재와, 상기 플레이트 및 상기 본체 사이에 위치하되 상기 지지부재의 우측에 위치하는 스프링과 상기 플레이트의 좌측 하부에 설치되어 상기 유로를 개폐하는 개폐부재를 포함하되, 상기 피에조밸브의 타단은 상기 본체에 대하여 고정되는 것을 특징으로 한다.
이와 같은 과제를 해결하기 위해 본 발명의 청구항 3에 기재된 질량유량계는, 상기 지지부재는 판스프링인 것을 특징으로 한다.
이와 같은 과제를 해결하기 위해 본 발명의 청구항 4에 기재된 질량유량계는, 상기 본체에는 상기 피에조 밸브의 타단의 고정을 위한 암나사결합부가 형성되며, 상기 피에조 밸브의 타단에는 수나사결합부가 더 형성되는 것을 특징으로 한다.
이와 같은 과제를 해결하기 위해 본 발명의 청구항 5에 기재된 질량유량계는,
상기 변위확대수단은 상기 본체의 상면에 고정되는 고정부재와, 상기 고정부재에 힌지결합되는 상부링크와, 상기 상부링크에 힌지결합되는 하부링크와, 상기 하부링크에 연결되어 상기 유로를 개폐하는 개폐부재와, 상기 개폐부재 및 상기 본체 사이에 설치되는 스프링을 포함하되; 상기 피에조밸브의 타단은 상기 본체에 고정되는 것을 특징으로 한다.
이와 같은 과제를 해결하기 위해 본 발명의 청구항 6에 기재된 질량유량계는,
상기 상부링크에는 암나사결합부가 형성되며, 상기 암나사결합부에 체결되는 수나사결합부재가 더 포함되되, 상기 수나사결합부재의 하단은 상기 피에조밸브의 일단과 접하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의한 질량유량계는 다음과 같은 장점이 있다.
(1) 본 발명에 의한 질량유량계는 피에조 밸브와 지렛대 원리를 사용한 변위확대수단을 사용함에 따라, 기존 솔레노이드 밸브 방식 질량유량계에 비하여 스트로크의 증폭이 가능할 뿐만 아니라, 응답속도의 단축도 가능하다.
(2) 본 발명에 의한 질량유량계는 개폐밸브의 리프트량을 기존 솔레노이드 밸브 방식 질량유량계 대비하여 크게 증가시킬 수 있으므로, 작은 압력에서도 대유량의 제어가 용이하다.
(3) 본 발명에 의한 질량유량계는 기존 솔레노이드 밸브 방식 질량유량계에 비하여 부품수가 적고, 내부구조가 간단하므로, 생산비용이 절감될 뿐만 아니라, 내구성이 우수하다.
(4) 본 발명에 의한 질량유량계는 구조가 간단한 판스프링 또는 힌지구조를 사용한 지렛대 원리를 사용하기 때문에 연속사용시에도 고장의 가능성이 거의 없다.
(5) 변위확대수단에 포함되는 지지부재로 판스프링을 사용할 경우, 백래쉬(판 스프링과 판 스프링에 연결되는 부품을 맞물렸을 때 그 사이에 생기는 틈새)가 없기 때문에, 질량유량계의 정확한 제어 및 작용이 가능하다.
(6) 피에조 밸브의 높낮이를 암나사결합부와 수나사결합부를 통해 조절할 수 있으므로, 피에조 밸브에 전류가 인가되어 변형이 발생시, 플레이트가 눌러지는 정도의 조절이 가능하다.
따라서, 유체가 유로를 통과하는 정도를 암나사결합부와 수나사결합부를 통해 조절가능하다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시례에 의한 질량유량계의 정면도.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시례에 의한 질량유량계의 일부 확대정면도.
도 3은 본 발명의 바람직한 다른 실시례에 의한 질량유량계의 정면도.
도 2는 본 발명의 바람직한 다른 실시례에 의한 질량유량계의 일부 확대정면도.
이하에서는 본 발명에 의한 질량유량계의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 자세하게 설명한다.
먼저 질량유량계에 대한 일반적인 내용 및 역할은 본 출원인에 의한 기출원특허(한국공개특허 제2010-0111885호)를 참고하며, 본 발명의 특징에 대하여 도면을 참조하여 자세하게 설명한다.
먼저 본 발명에 의한 질량유량계(10)는 길이 방향으로 유로(60)가 형성된 본체(50)와, 상기 유로(60)를 통과하는 유체의 흐름을 개폐시키는 피에조 밸브(120)와, 상기 피에조 밸브의 일단(125)에 지렛대식으로 설치되어, 상기 피에조 밸브의 일단(125)이 미세변위만큼 변형되면, 확대변위만큼 움직이도록 된 변위확대수단(100)을 포함한다.
먼저, 유로(60)는 가스 등의 유체가 흐르는 통로의 역할을 한다.
상기 유로(60)를 통과하는 가스 등의 유체는 상기 피에조 밸브(120)의 작용에 의해 개폐부재(170,400)가 열리고 닫힘에 따라 유체의 흐름이 개폐된다.
본 발명의 바람직한 실시예에서는 상기 피에조 밸브의 타단(127)은 상기 본체(50)에 고정된다.
상기 본체(50)에는 상기 피에조 밸브의 타단(127)의 고정을 위한 암나사결합부(55)가 형성된다.
상기 암나사결합부(55)에는 나사산이 형성된다.
상기 피에조 밸브의 타단(127)에는 수나사결합부(128)가 형성되며, 마찬가지로 상기 수나사결합부(128)에는 나사산이 형성된다.
상기 본체의 암나사결합부(55)에 형성된 나사산과 상기 피에조 밸브의 타단에 형성된 수나사결합부(128)의 나사산이 서로 결합함으로써 상기 피에조 밸브의 타단(127)은 상기 본체(50)에 대하여 고정된다.
상기 피에조 밸브의 타단에 형성된 수나사결합부(128)에는 나사산이 형성되어 있으므로, 상기 피에조 밸브(120)의 상기 수나사결합부(128)를 상기 암나사결합부(55)에 대해 얼마나 돌리는가에 따라, 상기 피에조 밸브(120)의 높낮이를 조절할 수 있다.
이와 같이 상기 피에조 밸브(120)의 높낮이를 상기 암나사결합부(55)와 상기 수나사결합부(128)를 통해 조절할 수 있으므로, 상기 피에조 밸브(120)에 변형 발생시, 플레이트(130)가 눌러지는 정도의 조절이 가능하게 된다.
반면에 상기 피에조 밸브의 일단(125)은 자유단으로 고정되지 않으므로, 상기 피에조 밸브(120)에 전류가 인가될 경우에는 상기 피에조 밸브(120)의 길이가 증가하게 된다.
따라서, 상기 피에조 밸브의 일단(125)으로부터 아래 방향으로 변형이 발생한다.
한편, 상기 피에조 밸브의 일단(125)에는 변위확대수단(100)이 형성된다.
상기 피에조 밸브(120)가 길이방향으로 변형을 일으키게 되면, 상기 피에조 밸브의 일단(125)에 인접하여 위치하며, 지렛대식으로 설치된 변위확대수단(100)에 의해, 상기 피에조 밸브의 일단(125)의 미세변위보다 확대된 변위가 발생할 수 있다.
이하에서는 상기 변위확대수단(100)에 대하여 도면을 참조하여 자세하게 설명한다.
상기 변위확대수단(100)은 상기 피에조 밸브(120)의 하부에 위치하는 플레이트(130)와, 상기 플레이트(130)의 하부에 설치되어 상기 플레이트(130)를 지지하는 지지부재(150)와, 상기 플레이트(130) 및 상기 본체(50) 사이에 위치하되 상기 지지부재(150)의 우측에 위치하는 스프링(160)과, 상기 플레이트(130)의 좌측 하부에 설치되어 상기 유로를 개폐하는 개폐부재(170)를 포함한다.
상기 피에조밸브의 타단(127)은 상기 본체(50)에 대하여 고정된다.
상기 피에조 밸브(120), 더욱 자세하게는 피에조 밸브의 일단(125)의 하부에는 플레이트(130)가 위치한다.
상기 플레이트 상부(133)에는 플레이트 상부홈(134)이 형성된다.
상기 피에조 밸브의 일단(125)에 형성된 돌출부(미도시)와 대응되는 위치에 상기 플레이트 상부홈(134)이 형성됨으로써, 상기 피에조 밸브(120)가 상기 플레이트(130)를 정확하게 눌러주는 것을 유도하는 역할을 한다.
상기 플레이트(130)의 하부에는 상기 플레이트(130)를 상기 본체(50)에 대하여 지지하는 지지부재(150)가 형성된다.
상기 지지부재(150)는 수평지지부(152)와 수직지지부(153)로 이루어진다.
상기 지재부재(150)는 먼저 상기 플레이트(130)의 하부의 안착부(132)에 위치하는 수평지지부(152)와, 상기 수평지지부(152)로부터 수직으로 형성된 수직지지부(153)로 이루어진다.
상기 지지부재(150)의 수직지지부(153)는 상기 본체(50)에 위치하며 상기 플레이트(130)를 향해 돌출 형성된 보조지지부(117)의 사이에 삽입된다.
상기 플레이트(130) 및 상기 본체(50) 사이에는 스프링(160)이 형성된다.
상기 스프링(160)은 상기 지지부재(150)의 우측에 위치한다.
상기 플레이트(130)의 좌측 하부에는 상기 피에조 밸브(120)의 작동에 의해 상기 유로를 개폐하는 개폐부재(170)가 형성된다.
이하에서는 상기 변형확대수단(100)의 작동에 대하여 설명한다.
먼저 상기 피에조 밸브(120)에 전원이 인가되면, 상기 피에조 밸브(120)는 변형이 일어난다.
전술한 바와 같이, 상기 피에조 밸브의 타단(127)은 상기 본체(50)에 대하여 고정되어 있다.
반면에 상기 피에조 밸브의 일단(125)은 고정되지 않은 자유단이므로, 상기 피에조 밸브(120)는 길이 방향으로 변형이 일어난다.
이와 같이 변형된 상기 피에조 밸브(120)는 상기 플레이트(130)를 누르게 된다.
상기 플레이트의 하부(135)에는 상기 스프링(160)이 안착할 수 있도록 플레이트 스프링 홈(137)이 형성되며, 상기 플레이트 스프링 홈(137)에는 스프링(160)의 상부가 끼워진다.
또한 상기 스프링(160)의 하부는 상기 본체(50)에 형성된 본체 스프링 홈(115)에 끼워진다.
전원이 인가되어 변형이 발생한 상기 피에조 밸브(120)가 상기 플레이트(130)를 누르게 되면, 상기 스프링(160)은 탄성부재이므로, 상기 플레이트의 하부(135)에 형성된 상기 플레이트 스프링 홈(137)과 상기 본체 스프링 홈(115)의 사이에 위치한 상기 스프링(160)이 압축된다.
전술한 바와 같이, 상기 플레이트의 하부의 안착부(132)에는 상기 플레이트(130)를 지지하는 지지부재(150)가 위치하며, 상기 지지부재(150)는 수평지지부(152)와 수직지지부(153)로 이루어진다.
전원이 인가되어 변형이 발생한 상기 피에조 밸브(120)가 상기 플레이트(130)를 누르게 되면, 상기 스프(160)이 눌러지게 된다.
따라서, 상기 보조지지부(117)의 사이에 삽입된 상기 수직지지부(153)가 우측으로 휘어지게 된다.
상기 수직지지부(153)가 우측으로 휘어짐에 따라서, 상기 유로(60)를 개폐하는 개폐부재(170)를 위에서 눌러주던 상기 플레이트(130)의 좌측이 올라가게 되므로, 상기 개폐부재(170)가 열리게 된다.
다시, 피에조 밸브(120)에 전원이 인가되지 않을 경우에는 상기 피에조 밸브(120)는 원래의 길이로 되돌아 가게 되고, 상기 피에조 밸브(120)가 상기 플레이트(130)를 눌러주는 힘이 없어지게 되므로, 상기 스프링(160)의 복원력이 상기 플레이트(130)에 작용한다.
따라서, 상기 플레이트(130)의 우측이 다시 올라가게 되고, 상기 플레이트(130)의 좌측 하부에 설치된 상기 개폐부재(170)는 다시 눌리게 된다.
상기 지지부재(150)로는 판스프링을 사용할 수 있으며, 또한 상기 지지부재(150)로 힌지 결합의 사용도 가능하다.
이와 같이 상기 지지부재(150)로 판스프링 또는 힌지 결합을 사용할 경우에도 상기 피에조 밸브(120)의 변형과 상기 스프링(160)의 복원력에 의해 상기 개폐부재(170)의 개폐작동이 가능하다.
이하에서는 본 발명에 의한 질량유량계의 바람직한 다른 실시례를 첨부된 도면을 참조하여 자세하게 설명한다.
상기 변위확대수단(100)은 상기 본체(112)의 상면에 고정되는 고정부재(200)와, 상기 고정부재(200)에 힌지 결합되는 상부링크(250)와, 상기 상부링크(250)에 힌지결합되는 하부링크(300)와, 상기 하부링크(300)에 연결되어 상기 유로(60)를 개폐하는 개폐부재(400)와, 상기 개폐부재(400) 및 상기 본체(50) 사이에 설치되는 스프링(360)을 포함한다.
상기 피에조밸브의 타단(127)은 상기 본체(50)에 고정된다.
먼저 상기 본체의 상면(65)에는 일단이 고정되는 고정부재(200)가 형성된다.
상기 고정부재(200)의 타단과 힌지 결합(210)하는 상부링크(250)가 형성되며, 상기 고정부재(200)의 타단과 상기 상부링크(250)의 일단이 힌지 결합한다.
상기 상부링크(250)의 타단과 힌지 결합(240)하는 하부링크(300)가 형성되며, 상기 상부링크(250)의 타단과 상기 하부링크(300)의 일단이 힌지 결합한다.
상기 하부링크(300)의 타단은 상기 유로(60)를 개폐하는 개폐부재(400)와 연결된다.
상기 개폐부재(400)는 상기 본체의 상면(65)에 형성된 본체 개폐부 홈(370)에 위치한다.
상기 본체 개폐부 홈(370)에는 스프링(360)이 위치하며, 상기 스프링의 상부는 스프링 상부 지지부재(380)가, 상기 스프링의 하부는 스프링 하부 지지부재(390)이 결합한다.
상기 스프링(360)은 상기 피에조 밸브(120)에 전원이 인가되지 않는 경우, 상기 스프링 상부 지지부재(380)는 상기 본체(50)에 형성된 홈(미도시)에 끼워진다.
전원이 상기 피에조 밸브(120)에 인가되지 않은 경우, 상기 스프링(360)은 상기 스프링 하부 지지부재(390)를 아래 방향으로 밀게 되므로, 상기 개폐부재(400)는 상기 유로(60)에 대해 닫혀있게 된다.
이하에서는 상기 변형확대수단(100)의 작동에 대하여 설명한다.
상기 피에조 밸브(120)에 전원이 인가되면, 변형이 발생한다.
전술한 바와 같이, 상기 피에조 밸브의 타단(127)은 상기 본체(50)에 고정되어 있으며, 고정되지 않은 상기 피에조 벨브의 일단(125)이 길이방향으로 변위를 발생한다.
길이방향으로 늘어난 상기 피에조 밸브의 일단(125)이 상기 상부링크(250)를 위로 밀게 된다.
상기 상부링크(250)는 각각 고정부재(200)와 하부링크(300)와 힌지 결합을 하고 있는 것은 전술한 바 있다.
따라서 상기 상부링크(250)를 위로 밀게 되면, 고정부재(200)와 하부링크(300)가 힌지 결합(210)하고 있는 상기 고정부재(200)를 축으로 상기 상부링크(250)는 회전하게 된다.
마찬가지로 상기 상부링크(250)는 상기 하부링크(300)와 힌지 결합(240)을 하고 있으므로, 상기 피에조 밸브(120)의 변위 발생에 따라 상기 하부링크(300)도 위로 올라가게 된다.
상기 하부링크(300)가 위로 올라감에 따라, 상기 하부링크(300)에 연결되어 유로를 개폐하는 개폐부재(400)는 상기 스프링(360)을 압축한다.
상기 스프링(360)은 상기 스프링 상부 지지부재(380)와 상기 스프링 하부 지지부재(390)의 사이에 위치하며, 전술한 바와 같이 상기 스프링 상부 지지부재(380)는 상기 본체(50)에 형성된 홈(미도시)에 끼워진 상태이다.
반면에 상기 스프링 하부 지지부재(390)는 상기 본체 개폐부 홈(370)에 위치하며, 상하 방향으로의 이동이 가능하다.
따라서, 상기 하부링크(300)가 위로 올라감에 따라, 상기 개폐부재(400)는 상기 스프링(360)을 압축하면서 위로 올라가고, 유로가 열리게 된다.
다시, 상기 피에조 밸브(120)에 전원이 인가되지 않으면, 상기 스프링(360)의 복원력이 상기 스프링 상부 지지부재(380)와 상기 스프링 하부 지지부재(390)에 작용하게 된다.
따라서, 상하 방향으로의 이동이 가능한 상기 스프링 하부 지지부재(390)가 아래로 내려가게 된다.
상기 스프링 하부 지지부재(390)와 연결된 상기 개폐부재(400)가 다시 아래로 내려가게 되고, 유로가 닫히게 된다.
이하에서는 본 발명에 의한 질량유량계의 바람직한 다른 실시례를 첨부된 도면을 참조하여 자세하게 설명한다.
상기 상부링크(250)에는 상부링크 암나사결합부(255)가 형성된다.
상기 상부링크 암나사결합부(255)에 체결되는 수나사결합부재(260)가 형성된다.
상기 수나사결합부의 하단(265)에는 상기 수나사결합부의 하단홈(270)이 형성된다.
상기 수나사결합부의 하단홈(270)에는 상기 피에조밸브의 일단(125)의 돌출부(미도시)가 삽입된다.
즉, 상기 수나사결합부의 하단홈(270)에 상기 피에조밸브의 일단(125)의 돌출부(미도시)가 삽입됨에 따라, 상기 피에조 밸브(120)에 변위가 발생하게 되면, 상기 상부링크(250)를 보다 확실하게 위로 밀어 올릴 수 있게 된다.
또한, 상기 수나사결합부재(260)는 상기 상부링크 암나사결합부(255)와 나사결합을 함에 따라, 상기 수나사결합부재(260)를 상기 상부링크 암나사결합부(255)에 대해 얼마나 돌리는가에 따라, 상기 수나사결합부재(260)의 높낮이를 조절할 수 있다.
결국 상기 수나사결합부재(260)의 높낮이를 조절함에 따라서 상기 피에조 밸브(120)에 의해 야기되는 확대변위량 및 유체의 흐름량 제어가 가능하다.
전술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시례를 참조하여 설명하였지만, 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 변경 또는 변형하여 실시할 수 있음은 해당기술분야의 당업자라면 자명하다 할 것이다.
10 : 질량유량계 50 : 본체
55 : 암나사결합부 60 : 유로
65 : 본체의 상면 100 : 변위확대수단
115 : 본체 스프링 홈 117 : 보조지지부
120 : 피에조 밸브 125 : 피에조 밸브의 일단
127 : 피에조 밸브의 타단 128 : 수나사결합부
130 : 플레이트 132 : 플레이트 하부의 안착부
133 : 플레이트 상부 134 : 플레이트 상부홈
135 : 플레이트 하부 137 : 플레이트 스프링 홈
150 : 지지부재 152 : 수평지지부
153 : 수직지지부 160, 360 : 스프링
170, 400 : 개폐부재 200 : 고정부재
250 : 상부링크 255 : 상부링크 암나사결합부
260 : 수나사결합부재 265 : 수나사결합부의 하단
270 : 수나사결합부의 하단 홈 300 : 하부링크
370 : 본체 개폐부 홈 380 : 스프링 상부 지지부재
390 : 스프링 하부 지지부재

Claims (6)

  1. 길이 방향으로 유로가 형성된 본체;
    상기 유로를 통과하는 유체의 흐름을 개폐시키는 피에조 밸브;
    상기 피에조 밸브의 일단에 지렛대식으로 설치되어, 상기 피에조 밸브의 일단이 미세변위만큼 변형되면, 확대변위만큼 움직이도록 된 변위확대수단이 형성된 것을 특징으로 하는 질량유량계
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 변위확대수단은 상기 피에조 밸브의 하부에 위치하는 플레이트;
    상기 플레이트의 하부에 설치되어 상기 플레이트를 지지하는 지지부재;
    상기 플레이트 및 상기 본체 사이에 위치하되 상기 지지부재의 우측에 위치하는 스프링;
    상기 플레이트의 좌측 하부에 설치되어 상기 유로를 개폐하는 개폐부재를 포함하되, 상기 피에조밸브의 타단은 상기 본체에 대하여 고정되는 것을 특징으로 하는 질량유량계
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 지지부재는 판스프링인 것을 특징으로 하는 질량유량계
  4. 제 2항에 있어서, 상기 본체에는 상기 피에조 밸브의 타단의 고정을 위한 암나사결합부가 형성되며, 상기 피에조 밸브의 타단에는 수나사결합부가 더 형성되는 것을 특징으로 하는 질량유량계
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 변위확대수단은 상기 본체의 상면에 고정되는 고정부재;
    상기 고정부재에 힌지 결합되는 상부링크;
    상기 상부링크에 힌지 결합되는 하부링크;
    상기 하부링크에 연결되어 상기 유로를 개폐하는 개폐부재;
    상기 개폐부재 및 상기 본체 사이에 설치되는 스프링을 포함하되;
    상기 피에조밸브의 타단은 상기 본체에 고정되는 것을 특징으로 하는 질량유량계
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 상부링크에는 암나사결합부가 형성되며, 상기 암나사결합부에 체결되는 수나사결합부재가 더 포함되되, 상기 수나사결합부재의 하단은 상기 피에조밸브의 일단과 접하는 것을 특징으로 하는 질량유량계
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