KR20120131783A - 액정 표시 장치 및 그 제조 방법 - Google Patents

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KR20120131783A
KR20120131783A KR1020110050195A KR20110050195A KR20120131783A KR 20120131783 A KR20120131783 A KR 20120131783A KR 1020110050195 A KR1020110050195 A KR 1020110050195A KR 20110050195 A KR20110050195 A KR 20110050195A KR 20120131783 A KR20120131783 A KR 20120131783A
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홍승호
권오정
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삼성디스플레이 주식회사
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Abstract

액정 표시 장치 및 그 제조 방법을 제공한다. 본 발명의 한 실시예에 따른 액정 표시 장치는 제1 기판, 상기 제1 기판과 마주보는 제2 기판, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 개재되어 있으며, 액정 분자를 포함하는 액정층, 상기 제1 기판 위에 위치하는 제1 전극, 상기 제1 전극 위에 위치하는 절연막, 상기 절연막 위에 위치하는 제2 전극 그리고 상기 제2 기판 위에 위치하는 제3 전극을 포함하고, 상기 제2 전극은 복수의 가지부 및 이웃하는 상기 가지부 사이의 슬릿을 포함하는 구조를 갖고, 상기 슬릿의 폭은 상기 가지부의 폭보다 2배 이상 5배 이하이다.

Description

액정 표시 장치 및 그 제조 방법{LIQUID CRYSTAL DISPLAY AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}
본 발명은 액정 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
액정 표시 장치는 현재 가장 널리 사용되고 있는 평판 표시 장치 중 하나로서, 화소 전극과 공통 전극 등 전기장 생성 전극이 형성되어 있는 두 장의 표시판과 그 사이에 들어 있는 액정층으로 이루어진다.
전기장 생성 전극에 전압을 인가하여 액정층에 전기장을 생성하고 이를 통하여 액정층의 액정 분자들의 배향을 결정하고 입사광의 편광을 제어함으로써 영상을 표시한다.
액정 표시 장치는 또한 각 화소 전극에 연결되어 있는 스위칭 소자 및 스위칭 소자를 제어하여 화소 전극에 전압을 인가하기 위한 게이트선과 데이터선 등 다수의 신호선을 포함한다.
이러한 액정 표시 장치 중에서도, 전기장이 인가되지 않은 상태에서 액정 분자의 장축을 표시판에 대하여 수직을 이루도록 배열한 수직 배향 방식(vertically aligned mode)의 액정 표시 장치가 대비비가 크고, 기준 시야각이 넓어서 각광받고 있다.
특히, 수직 배향 방식의 액정 표시 장치 가운데 하부 표시판에 미세 슬릿 구조를 갖는 전극을 형성하고, 상부 표시판에 통판 모양의 전극을 형성하여 각각의 전극에 전압을 인가할 수 있다. 하지만, 미세 슬릿의 폭이 작게 설계됨에 따라 전계(field)의 왜곡이 커서 액정이 눕는 정도가 전극이 존재하는 부분과 전극 가장자리 부분, 전극이 존재하지 않는 부분에서 모두 다르게 되어 투과율의 저하 및 응답 시간의 저하와 같은 현상이 발생한다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 전계의 왜곡을 줄이고 응답 속도를 개선한 액정 표시 장치 및 그 제조 방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 한 실시예에 따른 액정 표시 장치는 제1 기판, 상기 제1 기판과 마주보는 제2 기판, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 개재되어 있으며, 액정 분자를 포함하는 액정층, 상기 제1 기판 위에 위치하는 제1 전극, 상기 제1 전극 위에 위치하는 절연막, 상기 절연막 위에 위치하는 제2 전극 그리고 상기 제2 기판 위에 위치하는 제3 전극을 포함하고, 상기 제2 전극은 복수의 가지부 및 이웃하는 상기 가지부 사이의 슬릿을 포함하는 구조를 갖고, 상기 슬릿의 폭은 상기 가지부의 폭보다 2배 이상 5배 이하이다.
상기 제2 전극 및 상기 제3 전극 중 적어도 하나 위에 위치하는 배향막을 더 포함할 수 있다.
상기 액정층 및 상기 배향막 중 적어도 하나는 배향 보조제를 포함할 수 있다.
상기 제1 전극 및 상기 제3 전극은 통판 모양일 수 있다.
상기 제1 전극에 인가되는 전압을 제1 전압, 상기 제2 전극에 인가되는 전압을 제2 전압, 상기 제3 전극에 인가되는 전압을 제3 전압이라고 할 때, 상기 제1 전압과 상기 제2 전압이 서로 다른 값을 갖도록 초기 인가한 후 순차적으로 상기 제1 전압이 상기 제2 전압과 같아지도록 인가한 상태에서 상기 액정층 및 상기 배향막 중 적어도 하나가 노광될 수 있다.
상기 제1 전압을 상기 제2 전압보다 높거나 적어도 같도록 인가하여 상기 액정층 내에 존재하는 전계(field)가 평탄화된 상태에서 구동될 수 있다.
상기 슬릿의 폭은 상기 액정층의 셀 갭의 높이보다 클 수 있다.
상기 제2 전극의 가지부와 대응하는 상기 액정층 부분을 제1 영역이라 하고, 상기 제2 전극의 슬릿과 대응하는 상기 액정층 부분을 제2 영역이라 할 때, 상기 제1 영역의 액정 분자와 상기 제2 영역의 액정 분자의 배향 방향이 서로 다를 수 있다.
상기 제1 전극에 인가되는 전압을 제1 전압, 상기 제2 전극에 인가되는 전압을 제2 전압, 상기 제3 전극에 인가되는 전압을 제3 전압이라고 할 때, 상기 제1 전압과 상기 제2 전압이 서로 다른 값을 가지고 인가된 상태에서 상기 액정층 및 상기 배향막 중 적어도 하나가 노광될 수 있다.
상기 제1 기판 위에 위치하는 게이트선, 상기 제1 기판 위에 위치하고, 상기 게이트선과 교차하는 데이터선, 상기 게이트선 및 상기 데이터선에 연결되어 있는 제1 박막 트랜지스터 및 제2 박막 트랜지스터, 상기 게이트선 및 상기 제2 박막 트랜지스터에 연결되어 있는 제3 박막 트랜지스터 그리고 상기 제3 박막 트랜지스터에 연결되어 있는 기준 전압선을 더 포함하고, 상기 제1 전극은 상기 제1 박막 트랜지스터에 연결되고, 상기 제2 전극은 상기 제2 박막 트랜지스터에 연결될 수 있다.
상기 제1 전극과 상기 제2 전극은 전기적으로 연결될 수 있다.
상기 제2 전극은 가로 줄기부 및 이와 교차하는 세로 줄기부를 포함하는 십자형 줄기부 그리고 상기 십자형 줄기부로부터 뻗어 나온 상기 복수의 가지부를 포함할 수 있다.
상기 제2 전극은 상기 십자형 줄기부로부터 상기 복수의 가지부가 서로 다른 방향으로 뻗어 나온 복수의 영역을 포함할 수 있다.
상기 제2 전극의 가지부와 대응하는 상기 액정층 부분에 위치하는 상기 액정 분자는 상기 가지부가 뻗어 있는 방향을 따라 기울어질 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 다른 액정 표시 장치 제조 방법은 제1 기판 위에 제1 전극을 형성하는 단계, 상기 제1 전극 위에 절연막을 형성하는 단계, 상기 절연막 위에 제2 전극을 형성하는 단계, 상기 제1 기판과 마주보는 제2 기판 위에 제3 전극을 형성하는 단계, 상기 제2 전극 및 상기 제3 전극 중 적어도 하나 위에 배향막을 형성하는 단계, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 합착하는 단계, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 개재되어 있으며, 액정 분자를 포함하는 액정층을 형성하는 단계, 상기 제1 전극과 상기 제2 전극에 서로 다른 전압을 인가하는 단계, 상기 제1 전극에 인가되는 전압을 순차적으로 상기 제2 전극에 인가된 전압과 같아지도록 인가하는 단계, 그리고 상기 제1 전극에 인가되는 전압과 상기 제2 전극에 인가되는 전압이 같아진 상태에서 상기 액정층에 광을 조사하는 단계를 포함하고, 상기 제2 전극은 복수의 가지부 및 이웃하는 상기 가지부 사이의 슬릿을 포함하는 구조로 형성되고, 상기 액정층 및 상기 배향막 중 적어도 하나는 배향 보조제를 포함한다.
상기 제1 전극과 상기 제2 전극에 서로 다른 전압을 인가하는 단계에서 상기 제1 전극에 인가되는 전압과 상기 제3 전극에 인가되는 전압은 같을 수 있다.
상기 제1 전극 및 상기 제3 전극은 통판 모양으로 형성할 수 있다.
상기 슬릿의 폭은 상기 액정층의 셀 갭의 높이보다 크도록 형성할 수 있다.
상기 슬릿의 폭은 상기 가지부의 폭보다 2배 이상 5배 이하가 되도록 형성할 수 있다.
상기 가지부의 폭은 상기 슬릿의 폭보다 2배 이상 크도록 형성할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 액정 표시 장치 제조 방법은 제1 기판 위에 제1 전극을 형성하는 단계, 상기 제1 전극 위에 절연막을 형성하는 단계, 상기 절연막 위에 제2 전극을 형성하는 단계, 상기 제1 기판과 마주보는 제2 기판 위에 제3 전극을 형성하는 단계, 상기 제2 전극 및 상기 제3 전극 중 적어도 하나 위에 배향막을 형성하는 단계, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 합착하는 단계, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 개재되어 있으며, 액정 분자를 포함하는 액정층을 형성하는 단계, 상기 제1 전극과 상기 제2 전극에 서로 다른 전압을 인가하는 단계 그리고 상기 제1 전극과 상기 제2 전극에 서로 다른 전압이 인가된 상태에서 상기 액정층에 광을 조사하는 단계를 포함하고, 상기 제2 전극은 복수의 가지부 및 이웃하는 상기 가지부 사이의 슬릿을 포함하는 구조로 형성되고, 상기 액정층 및 상기 배향막 중 적어도 하나는 배향 보조제를 포함한다.
상기 제1 전극과 상기 제2 전극에 서로 다른 전압을 인가하는 단계에서 상기 제1 전극에 인가되는 전압과 상기 제3 전극에 인가되는 전압은 같을 수 있다.
상기 제1 전극과 상시 제2 전극에 서로 다른 전압이 인가된 상태에서 상기 액정층에 광을 조사하는 단계는 상기 제2 전극의 가지부와 대응하는 상기 액정층 부분을 제1 영역이라 하고, 상기 제2 전극의 슬릿과 대응하는 상기 액정층 부분을 제2 영역이라 할 때, 상기 제1 영역의 액정 분자와 상기 제2 영역의 액정 분자의 배향 방향이 서로 다른 상태에서 상기 액정층에 광을 조사할 수 있다.
상기 제1 전극 및 상기 제3 전극은 통판 모양으로 형성할 수 있다.
상기 슬릿의 폭은 상기 액정층의 셀 갭의 높이보다 크도록 형성할 수 있다. 본 발명의 또 다른 실시예에 다른 액정 표시 장치는 제1 기판, 상기 제1 기판과 마주보는 제2 기판, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 개재되어 있으며, 액정 분자를 포함하는 액정층, 상기 제1 기판 위에 위치하는 제1 전극, 상기 제1 전극 위에 위치하는 절연막, 상기 절연막 위에 위치하는 제2 전극 그리고 상기 제2 기판 위에 위치하는 제3 전극을 포함하고, 상기 제2 전극은 복수의 가지부 및 이웃하는 상기 가지부 사이의 슬릿을 포함하는 구조를 갖고, 상기 가지부의 폭은 상기 슬릿의 폭보다 2배 이상 5배 이하이다.
이와 같이 본 발명의 한 실시예에 따르면, 전극의 가지부의 폭을 슬릿의 폭보다 충분히 크게 형성하고, 프리틸트를 형성함으로써 전계의 왜곡을 줄이고, 응답 속도를 개선할 수 있다.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 액정 표시 장치를 나타내는 배치도이다.
도 2는 도 1의 절단선 II-II'을 따라 자른 단면도이고, 도 3은 도 1의 절단선 III-III'을 따라 자른 단면도이다.
도 4는 도 1의 실시예에서 전계 노광시 전계 방향을 나타내는 개략적인 단면도이다.
도 5 내지 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치를 제조하기 위한 선경사각을 형성하는 방법을 나타내는 단면도들이다.
도 8은 도 4 내지 도 7의 실시예에 따라 제조된 액정 표시 장치의 구동시의 전계 방향을 나타내는 개략적인 단면도이다.
도 9는 도 1에서 나타낸 액정 표시 장치의 하나의 화소에 대한 등가 회로도이다.
도 10은 도 1에서 나타낸 액정 표시 장치의 화소에 인가되는 신호의 파형도이다.
첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.
도면들에 있어서, 층 및 영역들의 두께는 명확성을 기하기 위하여 과장된 것이다. 또한, 층이 다른 층 또는 기판 "상"에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 층 또는 기판 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 층이 개재될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 의미한다.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 액정 표시 장치를 나타내는 배치도이다. 도 2는 도 1의 절단선 II-II'을 따라 자른 단면도이고, 도 3은 도 1의 절단선 III-III'을 따라 자른 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참고하면, 본 실시예에 따른 액정 표시 장치는 서로 마주하는 하부 표시판(100)과 상부 표시판(200), 이들 두 표시판(100, 200) 사이에 개재되어 있고 액정 분자(310)를 포함하는 액정층(3) 및 표시판(100, 200) 바깥 면에 부착되어 있는 한 쌍의 편광자(미도시)를 포함한다.
먼저, 상부 표시판(200)에 대하여 설명하기로 한다.
상부 표시판(200)은 제2 기판에 해당하고, 투명하고 절연성을 갖는 상부 기판(210) 위에 차광 부재(light blocking member)(220)가 형성되어 있다. 차광 부재(220)는 블랙 매트릭스(black matrix)라고도 하며 추후 설명할 하부 표시판(100)에 위치하는 화소 전극(191, 300) 사이의 빛 샘을 막는다. 차광 부재(220)는 게이트선(121) 및 데이터선(171)에 대응하는 부분과 박막 트랜지스터에 대응하는 부분으로 이루어질 수 있다.
차광 부재(220)는 상부 기판(110) 대신에 하부 기판(110) 위에 형성될 수도 있다.
차광 부재(220) 위에는 덮개막(overcoat)(250)이 형성되어 있다. 덮개막(250)은 절연 물질로 만들어질 수 있으며, 평탄면을 제공한다. 덮개막(250)은 생략할 수 있다.
덮개막(250) 위에는 제3 전극에 해당하는 공통 전극(270)이 형성되어 있다. 여기서, 공통 전극(270)은 화소 영역에서 통판(plate) 모양으로 형성될 수 있다. 통판(plate) 모양은 쪼개지지 아니한 통짜 그대로의 판 모양을 말한다.
다음, 하부 표시판(100)에 대하여 설명하기로 한다.
제1 기판에 해당하고, 절연성을 갖는 하부 기판(110) 위에 복수의 게이트선(121)이 위치한다. 하부 기판(110)은 화소 영역을 포함한다. 게이트선(121)은 게이트 신호를 전달하며 주로 가로 방향으로 뻗어 있다. 게이트선(121)은 제1 게이트 전극(124a), 제2 게이트 전극(124b), 제3 게이트 전극(124c) 및 다른 층 또는 외부 구동 회로와의 접속을 위한 넓은 끝 부분(미도시)을 포함한다.
게이트선(121) 위에는 질화 규소 따위의 절연 물질로 만들어진 게이트 절연막(140)이 형성되어 있다. 게이트 절연막(140) 위에 제1 반도체(154a), 제2 반도체(154b), 및 제3 반도체(154c)가 위치한다.
제1 반도체(154a), 제2 반도체(154b), 및 제3 반도체(154c) 위에는 복수의 저항성 접촉 부재(163a, 165a, 163b, 165b, 163c, 165c)가 위치한다.
저항성 접촉 부재(163a, 165a, 163b, 165b, 163c, 165c) 및 게이트 절연막(140) 위에 제1 소스 전극(173a) 및 제2 소스 전극(173b)을 포함하는 복수의 데이터선(171), 제1 드레인 전극(175a), 제2 드레인 전극(175b), 제3 소스 전극(173a) 및 제3 드레인 전극(175c), 그리고 기준 전압선(177)을 포함하는 데이터 도전체(171, 173c, 175a, 175b, 175c, 177)가 위치한다.
상기 데이터 도전체 및 그 아래에 위치하는 반도체와 저항성 접촉 부재는 하나의 마스크를 사용하여 동시에 형성할 수 있다.
데이터선(171)은 다른 층 또는 외부 구동 회로와의 접속을 위한 넓은 끝부분(미도시)을 포함한다.
기준 전압선(177)은 데이터선(171)과 평행한 두 세로부(177a)와 두 세로부(177a)를 서로 연결하는 가로부(177b)를 포함한다. 기준 전압선(177)의 두 세로부(177a)를 가로부(177b)로 연결함으로써, 기준 전압선(177)에 흐르는 신호의 지연을 방지할 수 있다.
기준 전압선(177)의 세로부(177a)는 화소 전극(191, 300)과 데이터선(171) 사이에 위치하고, 기준 전압선(177)은 제3 드레인 전극(175c)과 연결된다. 기준 전압선(177)의 가로부(177b)는 화소 전극(191, 300)과 게이트선(121) 사이에 위치한다. 이에 따라, 기준 전압선(177)은 화소 전극(191, 300)과 데이터선(171) 사이, 그리고 화소 전극(191, 300)과 게이트선(121) 사이의 신호 간섭을 줄일 수 있다.
제1 게이트 전극(124a), 제1 소스 전극(173a), 및 제1 드레인 전극(175a)은 제1 반도체(154a)와 함께 제1 박막 트랜지스터(Qa)를 형성하며, 박막 트랜지스터의 채널(channel)은 제1 소스 전극(173a)과 제1 드레인 전극(175a) 사이의 반도체 부분(154a)에 형성된다. 이와 유사하게, 제2 게이트 전극(124b), 제2 소스 전극(173b), 및 제2 드레인 전극(175b)은 제2 반도체(154b)와 함께 제2 박막 트랜지스터(Qb)를 형성하며, 박막 트랜지스터의 채널은 제2 소스 전극(173b)과 제2 드레인 전극(175b) 사이의 반도체 부분(154b)에 형성되고, 제3 게이트 전극(124c), 제3 소스 전극(173c), 및 제3 드레인 전극(175c)은 제3 반도체(Qc)와 함께 제3 박막 트랜지스터(Qc)를 형성하며, 박막 트랜지스터의 채널은 제3 소스 전극(173c)과 제3 드레인 전극(175c) 사이의 반도체 부분(154c)에 형성된다.
데이터 도전체(171, 173c, 175a, 175b, 175c, 177) 및 노출된 반도체(154a, 154b, 154c) 부분 위에는 제1 패시베이션막(passivation layer)(180a)이 형성되어 있다. 제1 패시베이션막(180a)은 질화 규소와 산화 규소 따위의 무기 절연물로 만들어질 수 있다.
제1 패시베이션막(180a) 위에 유기막(230)이 위치한다. 유기막(230)은 제1 접촉 구멍(185a) 및 제2 접촉 구멍(185b)을 포함한다. 제1 접촉 구멍(185a)은 제1 드레인 전극(175a)을 노출하고, 제2 접촉 구멍(185b)은 제2 드레인 전극(175b)을 노출한다.
유기막(230)은 평탄화 역할을 할 수 있고, 색필터일 수 있다. 색필터로 사용된 유기막(230)은 화소 전극(191, 300)의 열을 따라서 세로 방향으로 길게 뻗을 수 있다. 각 색 필터(230)는 적색, 녹색 및 청색의 삼원색 등 기본색(primary color) 중 하나를 표시할 수 있다. 하지만, 적색, 녹색, 및 청색의 삼원색에 제한되지 않고, 청록색(cyan), 자홍색(magenta), 옐로(yellow), 화이트 계열의 색 중 하나를 표시할 수도 있다.
유기막(230) 위에 덮개막(180b)이 위치한다. 덮개막(180b)은 절연 물질로 만들어질 수 있으며, 색필터(230)가 노출되는 것을 방지하고 평탄면을 제공한다. 덮개막(180b) 위에는 제1 전극(191)이 위치한다. 제1 전극(191)은 ITO 또는 IZO 등의 투명한 도전 물질이나 알루미늄, 은, 크롬 또는 그 합금 등의 반사성 금속으로 만들어질 수 있다.
제1 전극(191) 위에 제2 패시베이션막(180c)이 위치한다. 제2 패시베이션막(180c)은 제1 전극(191)을 노출하는 더미 홀(183)을 포함한다. 제2 패시베이션막(180c) 위에 더미 패턴(83)과 제2 전극(300)이 위치한다. 더미 패턴(83)은 제1 접촉 구멍(185a)과 더미 홀(183)을 채우도록 형성됨으로써 제1 드레인 전극(175a)과 제1 전극(191)을 전기적으로 연결한다.
제2 전극(300)의 세로 줄기부(330)의 한 쪽 끝부분이 길게 뻗어 나와 제2 접촉 구멍(185b)을 통해 제2 드레인 전극(175b)과 전기적으로 연결된다.
제2 전극(300)은 단위 화소 영역 대부분에 위치하고 있으며, 슬릿 구조를 갖는다. 슬릿 구조로 형성된 제2 전극(300)의 전체적인 모양은 사각형이며, 가로 줄기부(320) 및 이와 교차하는 세로 줄기부(330)로 이루어진 십자형 줄기부를 포함한다. 또한, 가로 줄기부(320)와 세로 줄기부(330)에 의해 네 개의 부영역으로 나뉘어지며 각 부영역은 복수의 가지부(340)를 포함한다. 이웃하는 가지부(340) 사이에 제2 전극(300)이 존재하지 않는 부분이 슬릿에 해당한다.
도 3에 나타낸 바와 같이 가지부(340) 사이의 간격에 대응하는 슬릿의 폭(d2)은 가지부(340)의 폭(d1)과 비교할 때, 그 크기가 2배 이상 5배 이하일 수 있다. 또한, 슬릿의 폭(d2)은 액정층(3)의 셀 갭의 높이보다 클 수 있다.
종래의 미세 슬릿 구조로 형성된 전극은 상기 가지부의 폭이 가능한 작게 형성되도록 설계하여 상기 가지부의 양쪽 가장자리에서 상기 가지부 위의 액정 분자를 강하게 밀어주는 힘이 필요하다. 또한, 상기 슬릿의 폭을 충분히 작도록 설계하여 상기 가지부 위에서 움직인 액정 분자들의 탄성력에 의해 전극이 없는 부분인 슬릿 위의 액정 분자들도 움직이기에 충분한 힘이 전달되어야 한다. 하지만, 이러한 경우 미세한 전극 패턴으로 인해 전계(field)의 왜곡이 심하여 액정 분자가 눕는 정도가 전극의 위, 전극의 가장 자리 부분, 그리고 슬릿 위에서 모두 다르게 되어 투과율의 저하 및 응답 시간의 저하가 발생한다. 또한, 미세 슬릿 구조의 경우, 패턴화하는데 어려움이 있고, 이웃하는 전극 사이에 쇼트가 날 가능성도 높다.
하지만, 본 실시예에 따르면 가지부(340)의 폭(d1)이 이웃하는 가지부(340) 사이의 간격에 대응하는 슬릿의 폭(d2)보다 충분히 크게 형성함으로써 투과율 저하 및 응답 시간의 저하를 방지할 수 있다. 또한, 상대적으로 슬릿의 폭(d2)이 충분히 크기 때문에 상대적으로 패턴화하기 쉽고, 이웃하는 전극 간에 쇼트가 발생할 확률도 적어진다.
슬릿의 폭(d2)이 커짐에 따라 전극이 없는 부분 위의 액정 분자들을 움직이기 위한 힘이 부족해진다. 이러한 문제를 해결하기 위해 본 실시예에 따르면, 제1 전극(191)에 인가되는 전압과 제2 전극(300)에 인가되는 전압이 서로 다른 값을 갖도록 초기 인가한 후에 순차적으로 제1 전극(191)에 인가되는 전압이 제2 전극(300)에 인가되는 전압과 같아지도록 전압을 인가한 상태에서 액정층(3) 또는 배향막(11, 21)을 노광한다. 그리고, 제1 전극(191)의 전압을 제2 전극(300)의 전압보다 높거나 적어도 같도록 인가하여 액정층(3) 내에 존재하는 전계(field)가 실질적으로 평탄화된 상태에서 구동한다. 이에 대해서는 이후 자세히 설명하기로 한다.
앞에서 설명한 제2 전극(300)의 구조와 달리 가지부(340)의 폭(d1)이 슬릿의 폭(d2)보다 2배 이상 클 수도 있다.
슬릿 구조를 갖는 제2 전극(300)을 구체적으로 설명하기로 한다.
제2 전극(300)의 가지부(340)는 총 4개의 집단을 가질 수 있는데, 그 중 한 집단은 가로 줄기부(320) 또는 세로 줄기부(330)에서부터 왼쪽 위 방향으로 비스듬하게 뻗어 있으며, 다른 한 집단은 가로 줄기부(320) 또는 세로 줄기부(330)에서부터 오른쪽 위 방향으로 비스듬하게 뻗어 있다. 또한 다른 또 하나의 집단은 가로 줄기부(320) 또는 세로 줄기부(330)에서부터 왼쪽 아래 방향으로 뻗어 있으며, 나머지 한 집단은 가로 줄기부(320) 또는 세로 줄기부(330)에서부터 오른쪽 아래 방향으로 비스듬하게 뻗어 있다. 이웃하는 두 부영역의 가지부(340)는 서로 직교할 수 있다. 도시하지 않았으나 가지부(340)의 폭은 점진적으로 넓어질 수 있다.
제1 전극(191)은 단위 화소 영역 내에서 사각 형상을 갖는 통판(plate) 모양일 수 있다. 통판(plate) 모양은 쪼개지지 아니한 통짜 그대로의 판 모양을 말한다.
단위 화소 영역은 게이트선(121)과 데이터선(171)이 교차하여 이루는 영역일 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
각 표시판(100, 200)의 안쪽 면에는 배향막(11, 21)이 위치하고, 이들은 수직 배향막일 수 있다.
표시판(100, 200)의 바깥쪽 면에는 편광자(polarizer)(미도시)가 구비되어 있는데, 두 편광자의 편광축은 직교하며 이중 한 편광축은 게이트선(121)에 대하여 나란한 것이 바람직하다. 반사형 액정 표시 장치의 경우에는 두 개의 편광자 중 하나가 생략될 수 있다.
두 표시판(100, 200) 사이에는 액정층(3)이 들어있으며, 액정층(3)에포함된 액정 분자(310)는 음의 유전율 이방성을 가질 수 있다. 액정층(3)의 액정 분자(310)들은 장축이 제2 전극(300)의 가지부(340)의 길이 방향에 대략 평행한 방향을 따라 선경사(pretilt)를 가지고 있으며 전계가 가해지지 않은 상태에서 두 표시판(100, 200)의 표면에 대하여 수직을 이루도록 배향되어 있을 수 있다. 또한, 액정층(3)은 반응성 메소겐(reactive mesogen)을 포함하는 배향 보조제(50)를 더 포함하여, 이러한 배향 보조제(50)에 의하여 액정 분자(310)들은 그것의 장축이 제2 전극(300)의 미세 가지부(340)의 길이 방향에 대략 평행한 방향을 따라 선경사를 가질 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에서는 액정층(3) 대신에 배향막(11, 21)에 상술한 배향 보조제가 포함될 수 있다. 이 때, 배향막(11, 21)은 주쇄(main-chain) 및 측쇄(side-chain)를 포함하며, 상기 배향 보조제는 상기 측쇄와 연결될 수 있고, 전기적으로 음성일 수 있다.
이하에서는, 도 1 내지 도 7을 참고하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법을 설명하기로 한다. 도 4는 도 1의 실시예에서 전계 노광시 전계 방향을 나타내는 개략적인 단면도이다. 도 5 내지 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치를 제조하기 위한 선경사각을 형성하는 방법을 나타내는 단면도들이다. 도 5 내지 도 7에 나타낸 선은 등전위선에 해당한다.
도 1 내지 도 3을 참고하면, 먼저 제1 표시판(100)과 제2 표시판(200)을 각각 제조한다.
상부 표시판(200)은 다음과 같은 방법으로 제조한다.
상부 기판(210) 위에 차광 부재(220)를 형성한 후, 그 위에 덮개막(250)을 형성한다. 덮개막(250) 위에 공통 전극(270)을 형성한다. 공통 전극(270) 위에 배향막(21)을 형성한다.
하부 표시판(100)은 다음과 같은 방법으로 제조한다.
하부 기판(110) 위에 복수의 박막을 적층 및 패터닝하여 게이트 전극(124a, 124b, 124c)을 포함하는 게이트선(121), 게이트 절연막(140), 반도체층(151, 154a, 154b, 154c), 소스 전극(173a, 173b, 173c)을 포함하는 데이터선(171), 드레인 전극(175a, 175b, 175c) 및 제1 패시베이션막(180a)을 차례로 형성한다.
제1 패시베이션막(180a) 위에 유기막(230)을 형성한다.
유기막(230) 위에 덮개막(180b)을 형성하고, 덮개막(180b) 위에 ITO 또는 IZO 따위의 도전층을 적층하고 패터닝하여 단위 화소 영역의 일부분에 위치하며 통판 모양인 제1 전극(191)을 형성한다. 이어서 제1 전극(191) 위에 제2 패시베이션막(180c)을 형성한다.
제2 패시베이션막(180c)을 패터닝하여 제1 드레인 전극(175a)을 노출하는 제1 접촉 구멍(185a), 제2 드레인 전극(175b)을 노출하는 제2 접촉 구멍(185b), 및 제1 전극(191)을 노출하는 더미 홀(183)을 형성한다.
제2 패시베이션막(180c) 위에 ITO 또는 IZO 따위의 도전층을 적층하고 패터닝하여 제1 드레인 전극(175a)과 제1 전극(191)을 전기적으로 연결하는 더미 패턴(83)과 제2 전극(300)을 형성한다. 이어서 제2 전극(300) 위에 배향막(11)을 도포한다.
다음으로, 상기와 같은 방법으로 제조된 하부 표시판(100)과 상부 표시판(200)을 합착(assembly)하고, 그 사이에 액정 분자(310) 및 배향 보조제(50)의 혼합물을 주입하여 액정층(3)을 형성한다. 그러나 액정층(3)은 하부 표시판(100) 또는 상부 표시판(200) 위에 액정 분자(310) 및 배향 보조제(50)의 혼합물을 적하하는 방식으로 형성할 수도 있다. 본 실시예에서는 배향 보조제(50)가 액정층(3)에 포함되어 있으나, 다른 실시예로써 액정층(3)이 아닌 배향막(11, 21)에 배향 보조제(50)가 포함되도록 형성할 수 있다.
다음으로 도 4를 참고하면, 제1 전극(191)과 제2 전극(300)에 전압을 인가한다. 제1 전극(191)에 인가되는 전압을 인가되는 전압을 제1 전압(V1), 제2 전극(300)에 인가되는 전압을 제2 전압(V2), 공통 전극(270)에 인가되는 전압을 제3 전압(V3)이라고 할 때, 제1 전압(V1)이 제2 전압(V2)보다 낮은 전압을 갖도록 하여 제1 전극(191)과 제2 전극(300)에 전압을 인가한다. 제1 전압(V1)과 제3 전압(V3)은 같을 수 있다. 구체적으로, 제1 전압(V1)과 제3 전압(V3)은 0이고, 제2 전압(V2)은 7V일 수 있다.
즉, 제3 전압(V3)을 기준으로 제1 전압(V1)보다 제2 전압(V2)에 더 큰 전압을 인가함으로써 프린지 필드(E)를 형성한다. 발생된 프린지 필드(fringe field)에 의해 액정 분자(310)가 기울어진다. 이 때, 가지부(340) 위에 위치하는 액정 분자(310)와 가지부(340)의 가장 자리에 위치하는 액정 분자(310)들은 수직 전계 및 프린지 필드에 의해 기울어질 수 있으나, 슬릿에 위치하는 액정 분자(310)는 제1 전압(V1)과 제3 전압(V3)이 같기 때문에 방향성을 갖기 어렵다. 도 5에 나타난 바와 같이, 슬릿의 폭(d2)이 넓어 가지부(340)의 가장 자리에서 눕는 액정 분자(310)에 의한 탄성력이 약하기 때문에 액정 분자(340)는 표시판(100, 200)에 대해 수직 배향한 상태를 유지한다. 제2 전극(300)의 가지부(340)와 대응하는 액정층(3) 부분에 위치하는 액정 분자(310)는 가지부(340)가 뻗어 있는 방향으 따라 기울어 질 수 있다.
이 후, 제1 전압(V1)을 제2 전압(V2)과 같아지도록 순차적으로 증가시킬 수 있다. 또는 불연속적으로 최초 인가된 제1 전압(V1)보다 크고, 제2 전압(V2)보다 작은 전압을 제1 전극(191)에 인가할 수 있다. 이 때, 도 6에 나타난 바와 같이 슬릿에 위치하는 액정 분자(310)는 제1 전극(191)과 제3 전극(270) 사이에 전계에 의해 기울어질 수 있는 힘을 받게 되며, 가지부(340)의 가장 자리에 위치하는 액정 분자(310)가 기울어진 방향을 따라 약간 기울어진다.
다음으로, 도 7에 나타난 바와 같이 제1 전압(V1)을 제2 전압(V2)과 같아지도록 증가시키면 슬릿에 위치하는 액정 분자(310)는 가지부(340)의 가장 자리에 위치하는 액정 분자(310)가 기울어진 방향과 거의 동일하게 눕는다. 이러한 상태에서 액정층(3)을 노광한다. 이에 따라 액정 분자(310)는 선경사(pretilt)를 가질 수 있다.
도 8은 도 4 내지 도 7의 실시예에 따라 제조된 액정 표시 장치의 구동시의 전계 방향을 나타내는 개략적인 단면도이다.
도 8을 참고하면, 도 4 내지 도 7에서 나타낸 실시예에 따라 제조된 액정 표시 장치는 다음과 같은 조건으로 구동될 수 있다. 제1 전극(191)에 인가되는 제1 전압(V1)을 제2 전극(300)에 인가되는 제2 전압(V2)보다 높거나 적어도 같도록 인가하여 액정층(3) 내에 존재하는 전계(field)가 실질적으로 평탄화된 상태에서 본 실시예에 따른 액정 표시 장치를 구동한다. 이와 같이 차등 전압을 인가하는 한 예로, 도 1 내지 도 3에서 설명한 본 실시예에 따른 액정 표시 장치의 구조에 의해 바와 같이 제1 전극(191)에는 데이터선(171)을 통해 데이터 전압이 인가되고, 저항 분배를 통해 감소된 전압이 제2 전극(300)에 인가될 수 있다. 공통 전극(270)에는 일정한 크기를 갖는 전압인 공통 전압이 인가된다. 따라서, 액정 표시 장치의 구동시에 액정 분자(310)의 대부분이 공통 전극(270)과 제1 전극(191) 사이에서 발생하는 수직 전계(E)에 의해 거동함으로써 수평 전계에 의한 투과율 감소를 최소화하고, 고속 응답을 구현할 수 있다.
이하에서는 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정 표시 장치 및 그 제조 방법에 대해 설명하기로 한다.
본 실시예에서는 앞에서 설명한 노광 방법과 달리 제1 전극(191)과 제2 전극(300)에 서로 다른 전압을 인가한 상태에서 액정층(3)을 노광한다. 도 6을 다시 참고하면, 가지부(340)에서의 액정 분자(310)와 가지부(340) 사이의 슬릿 부분의 액정 분자(310)가 서로 다른 경사각 및 방위각을 가지고 배향될 수 있다. 도 6에서 나타낸 액정 배향 상태에서 노광을 하여 선경사각(pretilt angle) 및 방위각이 서로 다른 영역을 형성한다.
제2 전극(300)의 가지부(340)와 대응하는 액정층(3) 부분을 제1 영역이라 하고, 제2 전극(300)의 슬릿과 대응하는 액정층(3) 부분을 제2 영역이라 할 때, 본 실시예에 따른 액정 표시 장치의 구동시에 상기 제1 영역의 액정 분자(310)와 상기 제2 영역의 액정 분자(310)의 배향 방향이 서로 다르다. 따라서, 화소가 분할된 것과 같은 효과를 나타냄으로써 시인성이 좋아질 수 있다.
이상에서 설명한 차이점을 제외하고, 도 1 내지 도 7의 실시예에 대한 설명 대부분은 본 실시예에도 적용될 수 있다.
이제, 도 9 및 도 10을 참고하여, 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치의 신호선 및 화소의 배치와 그 구동 방법에 대한 한가지 예시를 설명하기로 한다. 도 9는 도 1에서 나타낸 액정 표시 장치의 하나의 화소에 대한 등가 회로도이다. 도 10은 도 1에서 나타낸 액정 표시 장치의 화소에 인가되는 신호의 파형도이다.
도 9를 참고하면, 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치의 한 화소(PX)는 게이트 신호를 전달하는 게이트선(GL) 및 데이터 신호를 전달하는 데이터선(DL), 분압 기준 전압을 전달하는 기준 전압선(RL)을 포함하는 복수의 신호선, 그리고 복수의 신호선에 연결되어 있는 제1 스위칭 소자(Qa), 제2 스위칭 소자(Qb), 및 제3 스위칭 소자(Qc)와 제1 액정 축전기(Clca) 및 제2 액정 축전기(Clcb)를 포함한다.
제1 스위칭 소자(Qa) 및 제2 스위칭 소자(Qb)는 각각 게이트선(GL) 및 데이터선(DL)에 연결되어 있으며, 제3 스위칭 소자(Qc)는 제2 스위칭 소자(Qb)의 출력 단자 및 기준 전압선(RL)에 연결되어 있다.
제1 스위칭 소자(Qa) 및 제2 스위칭 소자(Qb)는 박막 트랜지스터 등의 삼단자 소자로써, 그 제어 단자는 게이트선(GL)에 연결되어 있고, 입력 단자는 데이터선(DL)과 연결되어 있으며, 제1 스위칭 소자(Qa)의 출력 단자는 제1 액정 축전기(Clca)에 연결되어 있고, 제2 스위칭 소자(Qb)의 출력 단자는 제2 액정 축전기(Clcb) 및 제3 스위칭 소자(Qc)의 입력 단자에 연결되어 있다.
제3 스위칭 소자(Qc) 역시 박막 트랜지스터 등의 삼단자 소자로서, 제어 단자는 게이트선(GL)과 연결되어 있고, 입력 단자는 제2 액정 축전기(Clcb)와 연결되어 있으며, 출력 단자는 기준 전압선(RL)에 연결되어 있다.
도 10을 참고하면, 게이트선(GL)에 게이트 온(Von) 신호가 인가되면, 이에 연결된 제1 스위칭 소자(Qa), 제2 스위칭 소자(Qb), 그리고 제3 스위칭 소자(Qc)가 턴 온 된다. 이에 따라 데이터선(DL)에 인가된 데이터 전압은 턴 온 된 제1 스위칭 소자(Qa) 및 제2 스위칭 소자(Qb)를 통해 각각 제1 전극(PEa) 및 제2 전극(PEb)에 인가된다. 이 때, 제1 전극(PEa) 및 제2 전극(PEb)에 인가된 데이터 전압은 서로 동일한 값으로 충전될 수 있다. 하지만, 본 발명의 실시예에 따르면, 제2 전극(PEb)에 인가되는 전압은 제2 스위칭 소자(Qb)와 직렬 연결되어 있는 제3 스위칭 소자(Qc)를 통해 분압이 된다. 따라서, 제2 전극(PEb)에 인가되는 전압(Vb)은 제1 전극(PEa)에 인가되는 전압(Va)보다 더 작게 된다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
121 게이트선 171 데이터선
180a 제1 패시베이션막 180b 덮개막
180c 제2 패시베이션막 230 유기막
191 제1 전극 270 공통 전극
280 절연막 300 제2 전극

Claims (28)

  1. 제1 기판,
    상기 제1 기판과 마주보는 제2 기판,
    상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 개재되어 있으며, 액정 분자를 포함하는 액정층,
    상기 제1 기판 위에 위치하는 제1 전극,
    상기 제1 전극 위에 위치하는 절연막,
    상기 절연막 위에 위치하는 제2 전극 그리고
    상기 제2 기판 위에 위치하는 제3 전극을 포함하고,
    상기 제2 전극은 복수의 가지부 및 이웃하는 상기 가지부 사이의 슬릿을 포함하는 구조를 갖고, 상기 슬릿의 폭은 상기 가지부의 폭보다 2배 이상 5배 이하인 액정 표시 장치.
  2. 제1항에서,
    상기 제2 전극 및 상기 제3 전극 중 적어도 하나 위에 위치하는 배향막을 더 포함하는 액정 표시 장치.
  3. 제2항에서,
    상기 액정층 및 상기 배향막 중 적어도 하나는 배향 보조제를 포함하는 액정 표시 장치.
  4. 제3항에서,
    상기 제1 전극 및 상기 제3 전극은 통판 모양인 액정 표시 장치.
  5. 제4항에서,
    상기 제1 전극에 인가되는 전압을 제1 전압, 상기 제2 전극에 인가되는 전압을 제2 전압, 상기 제3 전극에 인가되는 전압을 제3 전압이라고 할 때, 상기 제1 전압과 상기 제2 전압이 서로 다른 값을 갖도록 초기 인가한 후 순차적으로 상기 제1 전압이 상기 제2 전압과 같아지도록 인가한 상태에서 상기 액정층 및 상기 배향막 중 적어도 하나가 노광된 액정 표시 장치.
  6. 제5항에서,
    상기 제1 전압을 상기 제2 전압보다 높거나 적어도 같도록 인가하여 상기 액정층 내에 존재하는 전계(field)가 평탄화된 상태에서 구동되는 액정 표시 장치.
  7. 제6항에서,
    상기 슬릿의 폭은 상기 액정층의 셀 갭의 높이보다 큰 액정 표시 장치.
  8. 제3항에서,
    상기 제2 전극의 가지부와 대응하는 상기 액정층 부분을 제1 영역이라 하고, 상기 제2 전극의 슬릿과 대응하는 상기 액정층 부분을 제2 영역이라 할 때, 상기 제1 영역의 액정 분자와 상기 제2 영역의 액정 분자의 배향 방향이 서로 다른 액정 표시 장치.
  9. 제8항에서,
    상기 제1 전극 및 상기 제3 전극은 통판 모양인 액정 표시 장치.
  10. 제9항에서,
    상기 제1 전극에 인가되는 전압을 제1 전압, 상기 제2 전극에 인가되는 전압을 제2 전압, 상기 제3 전극에 인가되는 전압을 제3 전압이라고 할 때, 상기 제1 전압과 상기 제2 전압이 서로 다른 값을 가지고 인가된 상태에서 상기 액정층 및 상기 배향막 중 적어도 하나가 노광된 액정 표시 장치.
  11. 제10항에서,
    상기 슬릿의 폭은 상기 액정층의 셀 갭의 높이보다 큰 액정 표시 장치.
  12. 제1항에서,
    상기 제1 기판 위에 위치하는 게이트선,
    상기 제1 기판 위에 위치하고, 상기 게이트선과 교차하는 데이터선,
    상기 게이트선 및 상기 데이터선에 연결되어 있는 제1 박막 트랜지스터 및 제2 박막 트랜지스터,
    상기 게이트선 및 상기 제2 박막 트랜지스터에 연결되어 있는 제3 박막 트랜지스터 그리고
    상기 제3 박막 트랜지스터에 연결되어 있는 기준 전압선을 더 포함하고,
    상기 제1 전극은 상기 제1 박막 트랜지스터에 연결되고, 상기 제2 전극은 상기 제2 박막 트랜지스터에 연결되는 액정 표시 장치.
  13. 제12항에서,
    상기 제1 전극과 상기 제2 전극은 전기적으로 연결되어 있는 액정 표시 장치.
  14. 제1항에서,
    상기 제2 전극은 가로 줄기부 및 이와 교차하는 세로 줄기부를 포함하는 십자형 줄기부 그리고
    상기 십자형 줄기부로부터 뻗어 나온 상기 복수의 가지부를 포함하는 액정 표시 장치.
  15. 제14항에서,
    상기 제2 전극은 상기 십자형 줄기부로부터 상기 복수의 가지부가 서로 다른 방향으로 뻗어 나온 복수의 영역을 포함하는 액정 표시 장치.
  16. 제1항에서,
    상기 제2 전극의 가지부와 대응하는 상기 액정층 부분에 위치하는 상기 액정 분자는 상기 가지부가 뻗어 있는 방향을 따라 기울어져 있는 액정 표시 장치.
  17. 제1 기판 위에 제1 전극을 형성하는 단계,
    상기 제1 전극 위에 절연막을 형성하는 단계,
    상기 절연막 위에 제2 전극을 형성하는 단계,
    상기 제1 기판과 마주보는 제2 기판 위에 제3 전극을 형성하는 단계,
    상기 제2 전극 및 상기 제3 전극 중 적어도 하나 위에 배향막을 형성하는 단계,
    상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 합착하는 단계,
    상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 개재되어 있으며, 액정 분자를 포함하는 액정층을 형성하는 단계,
    상기 제1 전극과 상기 제2 전극에 서로 다른 전압을 인가하는 단계,
    상기 제1 전극에 인가되는 전압을 순차적으로 상기 제2 전극에 인가된 전압과 같아지도록 인가하는 단계, 그리고
    상기 제1 전극에 인가되는 전압과 상기 제2 전극에 인가되는 전압이 같아진 상태에서 상기 액정층에 광을 조사하는 단계를 포함하고,
    상기 제2 전극은 복수의 가지부 및 이웃하는 상기 가지부 사이의 슬릿을 포함하는 구조로 형성되고,
    상기 액정층 및 상기 배향막 중 적어도 하나는 배향 보조제를 포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  18. 제17항에서,
    상기 제1 전극과 상기 제2 전극에 서로 다른 전압을 인가하는 단계에서 상기 제1 전극에 인가되는 전압과 상기 제3 전극에 인가되는 전압은 같은 액정 표시 장치의 제조 방법.
  19. 제18항에서,
    상기 제1 전극 및 상기 제3 전극은 통판 모양으로 형성하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  20. 제19항에서,
    상기 슬릿의 폭은 상기 액정층의 셀 갭의 높이보다 크도록 형성하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  21. 제20항에서,
    상기 슬릿의 폭은 상기 가지부의 폭보다 2배 이상 5배 이하가 되도록 형성하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  22. 제20항에서,
    상기 가지부의 폭은 상기 슬릿의 폭보다 2배 이상 크도록 형성하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  23. 제1 기판 위에 제1 전극을 형성하는 단계,
    상기 제1 전극 위에 절연막을 형성하는 단계,
    상기 절연막 위에 제2 전극을 형성하는 단계,
    상기 제1 기판과 마주보는 제2 기판 위에 제3 전극을 형성하는 단계,
    상기 제2 전극 및 상기 제3 전극 중 적어도 하나 위에 배향막을 형성하는 단계,
    상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 합착하는 단계,
    상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 개재되어 있으며, 액정 분자를 포함하는 액정층을 형성하는 단계,
    상기 제1 전극과 상기 제2 전극에 서로 다른 전압을 인가하는 단계 그리고
    상기 제1 전극과 상기 제2 전극에 서로 다른 전압이 인가된 상태에서 상기 액정층에 광을 조사하는 단계를 포함하고,
    상기 제2 전극은 복수의 가지부 및 이웃하는 상기 가지부 사이의 슬릿을 포함하는 구조로 형성되고,
    상기 액정층 및 상기 배향막 중 적어도 하나는 배향 보조제를 포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  24. 제23항에서,
    상기 제1 전극과 상기 제2 전극에 서로 다른 전압을 인가하는 단계에서 상기 제1 전극에 인가되는 전압과 상기 제3 전극에 인가되는 전압은 같은 액정 표시 장치의 제조 방법.
  25. 제24항에서,
    상기 제1 전극과 상시 제2 전극에 서로 다른 전압이 인가된 상태에서 상기 액정층에 광을 조사하는 단계는
    상기 제2 전극의 가지부와 대응하는 상기 액정층 부분을 제1 영역이라 하고, 상기 제2 전극의 슬릿과 대응하는 상기 액정층 부분을 제2 영역이라 할 때, 상기 제1 영역의 액정 분자와 상기 제2 영역의 액정 분자의 배향 방향이 서로 다른 상태에서 상기 액정층에 광을 조사하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  26. 제25항에서,
    상기 제1 전극 및 상기 제3 전극은 통판 모양으로 형성하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  27. 제26항에서,
    상기 슬릿의 폭은 상기 액정층의 셀 갭의 높이보다 크도록 형성하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  28. 제1 기판,
    상기 제1 기판과 마주보는 제2 기판,
    상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 개재되어 있으며, 액정 분자를 포함하는 액정층,
    상기 제1 기판 위에 위치하는 제1 전극,
    상기 제1 전극 위에 위치하는 절연막,
    상기 절연막 위에 위치하는 제2 전극 그리고
    상기 제2 기판 위에 위치하는 제3 전극을 포함하고,
    상기 제2 전극은 복수의 가지부 및 이웃하는 상기 가지부 사이의 슬릿을 포함하는 구조를 갖고, 상기 가지부의 폭은 상기 슬릿의 폭보다 2배 이상 5배 이하인 액정 표시 장치.
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