KR20120131485A - Subtrate storage container - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A substrate storage container is provided to prevent foreign materials from entering a body part by installing a locking device using a permanent magnet in a door part to seal an opening with the door part. CONSTITUTION: A body part(200) forms an outer part of a container which receives a substrate. A body part includes a main frame(210) and a cover member(230) which seals the main frame. A substrate support unit(300) is installed in the body part and supports a substrate a door part(400) which opens and closes an opening(250) of the body part. A locking device(600) fixes or releases the door part to or from the body part with a noncontact method using a magnetic force.

Description

기판 수납용기{SUBTRATE STORAGE CONTAINER}Substrate Storage Container {SUBTRATE STORAGE CONTAINER}

본 발명은, 기판 수납용기에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 자력을 이용하여 비접촉 방식으로 도어부를 본체부에 고정하는 기판 수납용기에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate storage container, and more particularly, to a substrate storage container for fixing a door part to a body part in a non-contact manner by using magnetic force.

최근 들어 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평면 디스플레이(Flat Panel Display, FPD)가 등장하기 시작하였다.Recently, as the electronic display industry has rapidly developed in the semiconductor industry, a flat panel display (FPD) has begun to emerge.

평면디스플레이(FPD)는, TV나 컴퓨터 모니터 등에 디스플레이(Display)로 종래 주로 사용된 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치인데, 이러한 평면디스플레이는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등으로 그 종류가 다양하다.A flat panel display (FPD) is an image display device that is thinner and lighter than a cathode ray tube (CRT), which is commonly used as a display for a TV or a computer monitor, and such a flat panel display is an LCD (Liquid Crystal Display). , PDP (Plasma Display Panel) and OLED (Organic Light Emitting Diodes).

OLED를 비롯한 평면디스플레이용 기판(이하, 기판이라 함)은, 보통 글래스(Glass) 재질로 이루어져 외부로부터 가해지는 충격에 매우 취약한 특성을 가지고 있고, 기판의 사이즈가 상대적으로 크기 때문에 이송에 있어 보다 각별한 주의가 요구된다.Flat display substrates (hereinafter referred to as substrates), including OLEDs, are usually made of glass and are extremely vulnerable to impacts from the outside. Attention is required.

따라서, 상기 기판들은 기판 수납용기, 소위 카세트(Cassette)라 하는 별도의 적재 박스에 적재된 후 다음 공정으로 이송된다. 즉 기판의 제조공정에서, 임의의 공정이 완료된 기판들은 별도의 로봇에 의해 수 내지 수십 장씩 카세트에 적재되고, 적재가 완료되면 카세트 자체를 다음 공정으로 이송하고, 해당 공정에 도달되면 다시 로봇을 이용하여 카세트 내에 적재된 기판들을 인출하여 해당 공정을 수행하게 된다.Therefore, the substrates are loaded in a separate storage box called a substrate storage container, a so-called cassette, and then transferred to the next process. In other words, in the manufacturing process of the substrate, the substrates of which the arbitrary process is completed are loaded into the cassette by several robots by several separate robots, and when the loading is completed, the cassette itself is transferred to the next process, and when the process is reached, the robot is used again. The substrates loaded in the cassette are taken out to perform the corresponding process.

이와 같이, 기판들은 카세트에 적재된 후에 공정 간에 이송되므로 기판들에 대한 이송 효율을 높이면서 생산량을 향상시키고자 한다면, 규격화된 단위 크기의 카세트에 보다 많은 수의 기판을 적재하는 것이 유리하다.As such, the substrates are transferred between processes after being loaded in the cassette, so that it is advantageous to load a larger number of substrates in a standardized unit size cassette to improve the yield while increasing the transfer efficiency for the substrates.

그리고, 기판들은 고정밀도가 요구되는 제품으로서, 외부의 먼지 등으로부터 격리되어야만 우수한 품질의 평면디스플레이용 기판을 제작할 수 있다.In addition, the substrates are products requiring high precision, and must be isolated from external dust and the like to manufacture a substrate for a flat display of excellent quality.

그러나, 현재의 카세트는 기판이 수납되는 본체부를 상판과 하판을 플레이트로 제작하여 먼지 등이 쌓이는 것을 방지할 뿐이며, 기판이 유입 및 유출되는 입구는 외부와 연통되어 대기에 접촉된 상태이다.However, in the current cassette, only the upper and lower plates are made of plates to prevent the accumulation of dust, and the inlet through which the substrate is introduced and discharged is in communication with the outside and is in contact with the atmosphere.

따라서, 기판을 클린 룸 정도가 낮은 등급하에서 이송할 경우에는 기판에 먼지 등이 부착되어 이송작업 후, 기판을 세정하여야 하는 문제점이 있다.Therefore, when the substrate is transported under a grade of low clean room, dust or the like is attached to the substrate, which causes a problem of cleaning the substrate after the transfer operation.

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 기판이 유입 및 유출되는 본체부의 개구부를 도어부로 밀폐시킴으로써, 본체부 내부에 먼지 등의 이물질이 유입되는 것을 방지할 수 있는 기판 수납용기를 제공하는 것이다.Therefore, the technical problem to be achieved by the present invention is to provide a substrate storage container which can prevent the inflow of foreign matter such as dust into the body portion by sealing the opening of the body portion through which the substrate is introduced and exited with the door portion.

본 발명의 일 측면에 따르면, 전방에 개구부가 형성되고 기판이 수납되는 본체부; 상기 본체부의 개구부를 개방 및 폐쇄하는 도어부; 및 자성체를 이용하여 비접촉 방식으로 상기 도어부를 상기 본체부에 고정하도록 상기 도어부에 설치된 잠금장치를 포함하는 기판 수납용기가 제공될 수 있다.According to an aspect of the invention, the opening is formed in the front and the main body portion is accommodated the substrate; A door part for opening and closing an opening of the main body part; And a locking device provided in the door part to fix the door part to the main body part in a non-contact manner by using a magnetic material.

상기 잠금장치는, 상기 도어부의 내부에 설치되어 상기 자성체를 상기 도어부 내부에서 왕복운동시켜 자력에 의해 상기 도어부가 상기 본체부의 개구부 측에 고정 및 해제되게 하는 주 고정유닛; 및 상기 도어부 내부에 설치되고 상기 주 고정유닛과 연동되어 상기 도어부의 외부로 돌출되어 상기 본체부의 개구부 측에 결합되는 보조 고정유닛을 포함할 수 있다.The locking device may include: a main fixing unit installed inside the door part to reciprocate the magnetic material in the door part to fix and release the door part to the opening side of the main body part by magnetic force; And an auxiliary fixing unit installed in the door part and interlocked with the main fixing unit to protrude out of the door part to be coupled to an opening side of the main body part.

상기 주 고정유닛은, 상기 도어부 내부에 설치된 제1 구동기어; 상기 도어부 내부에 설치되어 상기 제1 구동기어에 치합된 제1 종동기어; 상기 제1 구동기어에 치합되어 상기 도어부의 내부에서 수평방향으로 왕복운동하는 제1 랙기어; 상기 제1 종동기어에 치합되어 상기 도어부의 내부에서 수직방향으로 왕복운동하는 제2 랙기어; 및 상기 제1 및 제2 랙기어의 일측면에 각각 설치된 자성체를 포함할 수 있다.The main fixing unit may include a first drive gear installed inside the door part; A first driven gear installed in the door part and engaged with the first driving gear; A first rack gear meshed with the first drive gear and reciprocating in a horizontal direction in the door part; A second rack gear meshed with the first driven gear to reciprocate vertically in the door part; And magnetic bodies installed on one side surfaces of the first and second rack gears, respectively.

상기 제1 구동기어에는 상기 도어부의 외부로 돌출되게 작동레버가 설치될 수 있다.An operating lever may be installed in the first driving gear to protrude out of the door part.

상기 자성체는 상기 제1 및 제2 랙기어의 일측면에 일정간격 이격되게 복수개 설치되고, 상기 복수의 자성체와 동일선 상에 정렬되도록 상기 본체부 개구부 측 테두리부에는 상기 복수의 자성체와 동일한 간격으로 복수의 스틸블록이 설치될 수 있다.The plurality of magnetic bodies are provided on one side of the first and second rack gears at regular intervals, and the plurality of magnetic bodies are arranged at the same edge as the plurality of magnetic bodies at the edge portion of the main body opening so as to be aligned on the same line with the plurality of magnetic bodies. Steel blocks can be installed.

상기 보조 고정유닛은, 상기 주 고정유닛과 연동되어 상기 도어부 외부로 출몰하여 상기 본체부에 결합되는 돌기부; 및 상기 주 고정유닛에 결합되어 왕복운동함에 따라 상기 돌기부가 상기 도어부 외부로 출몰되도록 안내하는 가이드 부재를 포함할 수 있다.The auxiliary fixing unit may include a protrusion coupled to the main body by being interlocked with the main fixing unit to protrude out of the door part; And coupled to the main fixing unit may include a guide member for guiding the protruding portion to emerge out of the door portion as the reciprocating motion.

상기 돌기부는, 상기 도어부의 외부로 돌출되는 돌출부재; 및 상기 돌출부재의 저면을 지지하는 지지체를 포함하며, 상기 가이드 부재에는 아래방향으로 경사진 슬롯부가 형성되고, 상기 지지체는 상기 슬롯부의 경사면을 따라 슬라이딩되면서 상기 돌출부재를 출몰되게 할 수 있다.The protrusion may include a protruding member protruding to the outside of the door part; And a support for supporting a bottom of the protruding member, wherein the guide member is formed with a slot portion inclined downward, and the support may slide out along the inclined surface of the slot portion.

상기 자성체는 영구자석일 수 있다.The magnetic body may be a permanent magnet.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 전방에 개구부가 형성되고 기판이 수납되는 본체부; 상기 본체부의 개구부를 개방 및 폐쇄하는 도어부; 및 온/오프 동작에 의해 자성을 갖는 마그넷 베이스 블록을 이용하여 비접촉 방식으로 상기 도어부를 상기 본체부에 고정하도록 상기 도어부에 설치된 잠금장치를 포함하는 기판 수납용기가 제공될 수 있다.According to another aspect of the invention, the opening is formed in the front and the body portion is accommodated the substrate; A door part for opening and closing an opening of the main body part; And a locking device provided in the door part to fix the door part to the main body part in a non-contact manner by using a magnet base block having magnetism by an on / off operation.

상기 잠금장치는, 상기 도어부 내부에 설치되어 상기 마그넷 베이스 블록을 온/오프 시켜 자력에 의해 상기 도어부가 상기 본체부의 개구부 측에 고정 및 해제되게 하는 주 고정유닛; 및 상기 도어부 내부에 설치되고 상기 주 고정유닛과 연동되어 상기 도어부의 외부로 돌출되어 상기 본체부의 개구부 측에 결합되는 보조 고정유닛을 포함할 수 있다.The locking device may include: a main fixing unit installed inside the door part to turn the magnet base block on / off so that the door part is fixed and released to the opening side of the main body part by magnetic force; And an auxiliary fixing unit installed in the door part and interlocked with the main fixing unit to protrude out of the door part to be coupled to an opening side of the main body part.

상기 주 고정유닛은, 상기 도어부 내부에 설치된 제1 구동기어; 상기 도어부 내부에 설치되고 상기 제1 구동기어에 치합된 제1 종동기어; 상기 도어부의 테두리부에 설치된 마그넷 베이스 블록; 및 상기 제1 종동기어에 연동되어 상기 마그넷 베이스 블록을 온/오프 시키는 다절 링크부재를 포함할 수 있다.The main fixing unit may include a first drive gear installed inside the door part; A first driven gear installed inside the door part and engaged with the first driving gear; A magnet base block installed at an edge of the door part; And a multi-link member interlocked with the first driven gear to turn on / off the magnet base block.

상기 다절 링크부재는, 상기 제1 종동기어에 결합되고 상기 도어부의 내부에 수평되게 배치된 제1 링크부재; 및 상기 제1 종동기어에 결합되고 상기 도어부의 내부에 수직되게 배치된 제2 링크부재를 포함하며, 상기 제1 및 제2 링크부재는 상기 도어부의 테두리부를 따라 일정간격 이격되게 복수개 설치된 상기 마그넷 베이스 블록을 온/오프 시키는 스위치와 연결될 수 있다.The multiple link member may include: a first link member coupled to the first driven gear and horizontally disposed inside the door part; And a second link member coupled to the first driven gear and disposed perpendicularly to the inside of the door part, wherein the first and second link members are plurally spaced apart from each other along the edge of the door part. Can be connected to the switch to turn the block on / off.

상기 제1 구동기어에는 상기 도어부의 외부로 돌출되게 작동레버가 설치될 수 있다.An operating lever may be installed in the first driving gear to protrude out of the door part.

상기 보조 고정유닛은, 상기 주 고정유닛과 연동되어 상기 도어부 상부에서 외부로 출몰하여 상기 본체부에 결합되는 제1 돌출부재; 및 상기 주 고정유닛과 연동되어 상기 도어부 하부에서 외부로 출몰하여 상기 본체부에 결합되는 제2 돌출부재를 포함할 수 있다.The auxiliary fixing unit may include: a first protruding member interlocked with the main fixing unit and protruded from the upper portion of the door to the outside to be coupled to the main body; And a second protruding member interlocked with the main fixing unit and protruded from the lower part of the door to the outside to be coupled to the main body.

상기 본체부는, 복수의 홀부가 형성된 메인 프레임; 및 상기 메인 프레임의 홀부에 설치되어 상기 메인 프레임의 내부를 밀폐시키는 커버부재를 포함하며, 상기 커버부재는, 판 형상의 커버 플레이트; 및 상기 커버 플레이트의 테두리부에 일측부가 삽입되고, 타측부가 상기 메인 프레임에 형성된 홀부의 테두리부에 삽입된 실링부재를 포함할 수 있다.The main body portion, the main frame formed with a plurality of holes; And a cover member installed at the hole of the main frame to seal the inside of the main frame, wherein the cover member comprises: a plate-shaped cover plate; And a sealing member having one side portion inserted into an edge portion of the cover plate and the other side portion inserted into an edge portion of a hole portion formed in the main frame.

상기 본체부의 내부에 설치되어 수납된 기판을 지지하는 기판 지지부를 더 포함하며, 기판 지지부는, 상기 본체부의 내부 양측벽에서 돌출되게 설치되어 기판의 저면 테두리부를 지지하는 복수의 측면 지지바; 및 상기 본체부의 내부 후방벽에 상기 본체부의 높이방향으로 결합된 지지축와, 상기 지지축의 길이방향을 따라 상기 본체부의 전방 개구부 방향으로 돌출되게 설치된 복수의 고정바를 구비하여 기판의 저면을 지지하는 중앙지지바를 포함할 수 있다.The substrate support further includes a substrate support configured to support the substrate accommodated in the main body, wherein the substrate support includes: a plurality of side support bars protruding from both side walls of the main body to support the bottom edge of the substrate; And a support shaft coupled to the inner rear wall of the main body in the height direction of the main body, and a plurality of fixing bars protruding in the direction of the front opening of the main body along the longitudinal direction of the support shaft to support the bottom of the substrate. It may include a bar.

상기 복수의 측면 지지바 각각과 상기 복수의 고정바 각각은 기판이 수평인 상태로 수납되도록 동일 평면 상에 배치될 수 있다.Each of the plurality of side support bars and each of the plurality of fixing bars may be disposed on the same plane so that the substrate is accommodated in a horizontal state.

상기 도어부는, 내부공간이 형성된 케이스 하우징; 상기 케이스 하우징에 관통되게 설치된 필터유닛; 상기 케이스 하우징에 설치된 도어 개폐기용 위치 결정핀 수용부; 및 상기 케이스 하우징에 설치된 견시창을 포함할 수 있다.The door unit may include a case housing having an inner space; A filter unit installed to penetrate the case housing; Positioning pin receiving portion for the door opener installed in the case housing; And it may include a viewing window installed in the case housing.

상기 도어부를 상기 본체부의 개구부에 대하여 안내 및 위치 설정하는 도어부용 가이드 유닛을 더 포함하며, 상기 도어부용 가이드 유닛은, 상기 도어부의 테두리부에 돌출되게 설치된 복수의 돌출부; 및 상기 본체부 개구부 측 테두리부에 돌출되게 설치되어 상기 복수의 돌출부의 진행경로 및 위치설정을 안내하는 복수의 돌출안착부를 포함하며, 상기 도어부가 상기 본체부의 개구부 측에 밀착되는 경우에 상기 돌출부와 상기 돌출안착부는 상호 접촉지지될 수 있다.And a door unit guide unit configured to guide and position the door unit with respect to the opening of the main body unit, wherein the door unit guide unit comprises: a plurality of protrusions protruding from an edge of the door unit; And a plurality of protruding seats protruding from the main body portion opening side edges to guide the progress paths and the positioning of the plurality of the protruding portions, and the protruding portion when the door portion is in close contact with the opening side of the main body portion. The protruding seats may be supported in contact with each other.

본 발명의 실시예들은 도어부에 영구자석 또는 마그넷 베이스 블록을 이용한 잠금장치를 설치하여 비접촉 방식으로 본체부의 개구부를 도어부로 밀폐시킴으로써, 기판을 이송 또는 저장하는 동안 본체부 내부에 수납된 기판에 먼지 등의 이물질이 쌓이는 것을 방지할 수 있다.Embodiments of the present invention by installing a locking device using a permanent magnet or a magnet base block in the door portion to seal the opening of the body portion to the door portion in a non-contact manner, so that dust on the substrate stored inside the body portion during transport or storage It is possible to prevent the accumulation of foreign substances such as.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 수납용기 이송시스템을 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 밀폐형 기판 수납용기를 나타내는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 커버부재를 나타내는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 중앙 지지바를 나타내는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 도어부를 나타내는 분해사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 도어부용 가이드 유닛을 나타내는 측단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 도어부용 가이드 유닛을 나타내는 정면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 도어부에 잠금장치가 설치된 상태를 나타내는 평면도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따라 본체부에서 도어부가 해제된 상태에서 잠금장치를 나타내는 도 8의 A부분 확대도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따라 본체부에 도어부가 고정된 상태에서 잠금장치를 나타내는 도 8의 A부분 확대도이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 밀폐형 기판 수납용기를 나타내는 사시도이다.
도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 도어부에 잠금장치가 설치된 상태를 나타내는 평면도이다.
도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따라 본체부에서 도어부가 해제된 상태에서 잠금장치를 나타내는 도 12의 B부분 확대도이다.
도 14는 본 발명의 다른 실시예에 따라 본체부에 도어부가 고정된 상태에서 잠금장치를 나타내는 도 12의 B부분 확대도이다.
도 15는 본 발명의 다른 실시예에 따라 제2 돌출부재가 본체부에서 해제된 상태를 나타내는 도 12의 C부분 확대도이다.
도 16은 본 발명의 다른 실시예에 따라 제2 돌출부재가 본체부에 고정된 상태를 나타내는 도 12의 C부분 확대도이다.
도 17은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 수납용기 이송장치의 고정장치를 나타내는 부분확대도이다.
도 18 내지 도 21은 본 발명의 일 실시예에 따라 트위스트 록핀이 록핀 수용부의 슬롯부에 고정되는 과정을 나타내는 단면도이다.1 is a perspective view showing a substrate storage container transfer system according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a perspective view showing a sealed substrate storage container according to an embodiment of the present invention.
3 is a perspective view showing a cover member according to an embodiment of the present invention.
4 is a perspective view showing a central support bar according to an embodiment of the present invention.
5 is an exploded perspective view showing a door unit according to an embodiment of the present invention.
Figure 6 is a side cross-sectional view showing a door unit guide unit according to an embodiment of the present invention.
7 is a front view showing a door unit guide unit according to an embodiment of the present invention.
8 is a plan view showing a state in which the locking device is installed in the door unit according to an embodiment of the present invention.
FIG. 9 is an enlarged view of portion A of FIG. 8 illustrating a locking device in a state in which a door part is released from a main body part according to an embodiment of the present invention.
FIG. 10 is an enlarged view of portion A of FIG. 8 illustrating a locking device in a state in which a door part is fixed to a main body part according to an embodiment of the present invention.
11 is a perspective view showing a sealed substrate storage container according to another embodiment of the present invention.
12 is a plan view showing a state in which the locking device is installed in the door unit according to another embodiment of the present invention.
FIG. 13 is an enlarged view of a portion B of FIG. 12 illustrating a locking device in a state in which a door part is released from a main body part according to another embodiment of the present invention.
14 is an enlarged view of a portion B of FIG. 12 illustrating a locking device in a state where a door part is fixed to a main body part according to another embodiment of the present invention.
FIG. 15 is an enlarged view of portion C of FIG. 12 showing a state in which the second protruding member is released from the main body according to another embodiment of the present invention.
16 is an enlarged view of portion C of FIG. 12 showing a state in which the second protruding member is fixed to the main body according to another embodiment of the present invention.
Figure 17 is a partially enlarged view showing a fixing device of the substrate storage container transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.
18 to 21 are cross-sectional views illustrating a process in which a twist lock pin is fixed to a slot part of a lock pin accommodation part according to an exemplary embodiment of the present invention.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, operational advantages of the present invention, and objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings and the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the preferred embodiments of the present invention with reference to the accompanying drawings. Like reference symbols in the drawings denote like elements.

이하에서 설명될 기판은 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등이 포함될 수 있다.The substrate to be described below may include a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), organic light emitting diodes (OLEDs), and the like.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 수납용기 이송시스템을 나타내는 사시도이다.1 is a perspective view showing a substrate storage container transfer system according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 수납용기 이송시스템은, 기판을 수납하도록 밀폐형으로 제작된 기판 수납용기(100)와, 기판 수납용기(100)를 이송하는 기판 수납용기 이송장치(700)를 포함한다.Referring to Figure 1, the substrate storage container transfer system according to an embodiment of the present invention, the substrate storage container 100 and the substrate storage container transfer for transporting the substrate storage container 100 made of a sealed type to receive the substrate Device 700.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 밀폐형 기판 수납용기를 나타내는 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 커버부재를 나타내는 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 중앙 지지바를 나타내는 사시도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 도어부를 나타내는 분해사시도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 도어부용 가이드 유닛을 나타내는 측단면도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 도어부용 가이드 유닛을 나타내는 정면도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 도어부에 잠금장치가 설치된 상태를 나타내는 평면도이고, 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따라 본체부에서 도어부가 해제된 상태에서 잠금장치를 나타내는 도 8의 A부분 확대도이고, 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따라 본체부에 도어부가 고정된 상태에서 잠금장치를 나타내는 도 8의 A부분 확대도이다.Figure 2 is a perspective view showing a sealed substrate storage container according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a perspective view showing a cover member according to an embodiment of the present invention, Figure 4 is a center according to an embodiment of the present invention 5 is an exploded perspective view showing a door part according to an embodiment of the present invention, FIG. 6 is a side cross-sectional view showing a guide unit for a door part according to an embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a front view illustrating a guide unit for a door unit according to an embodiment of the present disclosure, FIG. 8 is a plan view illustrating a state in which a locking device is installed in the door unit according to an embodiment of the present disclosure, and FIG. 9 is according to an embodiment of the present disclosure. A part enlarged view of FIG. 8 showing a locking device in a state in which the door part is released from the main body part, and FIG. 10 is a state in which the door part is fixed to the main body part according to an embodiment of the present invention. 8 is an enlarged view of portion A of FIG. 8 showing the locking device.

도 2 내지 도 10을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따라 밀폐형으로 제작된 기판 수납용기(100)는, 전방에 개구부(250)가 형성되고 기판이 수납되는 본체부(200)와, 본체부(200)의 내부에 설치되어 수납된 기판을 지지하는 기판 지지부(300)와, 본체부(200)의 개구부(250)를 개방 및 폐쇄하는 도어부(400)와, 도어부(400)를 본체부(200)의 개구부(250)에 대하여 안내 및 위치 설정하는 도어부용 가이드 유닛(500)과, 영구자석인 자성체(615)를 이용하여 비접촉 방식으로 도어부(400)를 본체부(200)에 고정 및 해제하는 잠금장치(600)를 포함한다. 2 to 10, the substrate storage container 100 manufactured in a hermetically sealed type according to an embodiment of the present invention includes a main body 200 in which an opening 250 is formed in the front and a substrate is accommodated therein, and a main body. A substrate support part 300 for supporting a substrate accommodated and stored in the part 200, a door part 400 for opening and closing the opening part 250 of the main body part 200, and a door part 400. The door unit 400 may be contacted with the door unit 400 using the door unit guide unit 500 for guiding and positioning the opening 250 of the main body 200 and the magnetic material 615 that is a permanent magnet. And a locking device 600 fixed to and released therefrom.

도 2에서 도시한 바와 같이, 본체부(200)는 기판이 수납되는 용기의 외곽을 형성한다. 이때, 본체부(200)는 외관을 형성하는 메인 프레임(main frame,210)과, 메인 프레임(210)에 설치되어 메인 프레임(210)의 내부를 밀폐시키는 커버부재(230)를 포함한다. 본 실시예에서 본체부(200)는 전방에 개구부(250)를 갖는 프론트 오픈 박스 타입(front open box type)으로 제작된다.As shown in FIG. 2, the main body part 200 forms an outline of a container in which a substrate is accommodated. At this time, the main body 200 includes a main frame (main frame, 210) to form an appearance, and a cover member 230 installed on the main frame 210 to seal the inside of the main frame 210. In the present embodiment, the main body 200 is manufactured in a front open box type having an opening 250 in the front.

그리고, 메인 프레임(210)은 보텀 프레임(bottom frame,211)과, 보텀 프레임(211)의 상부에 일정 간격 이격되게 배치되는 톱 프레임(top frame,213)과, 톱 프레임(213)과 보텀 프레임(211) 사이에 배치되어 톱 프레임(213)과 보텀 프레임(211)을 이격된 상태로 고정하기 위한 복수의 사이드 프레임(side frame,215)을 포함하여, 본체부(200)의 외관을 형성한다.The main frame 210 includes a bottom frame 211, a top frame 213 disposed on the top of the bottom frame 211 so as to be spaced apart at a predetermined interval, and the top frame 213 and the bottom frame. It is disposed between the (211) to include a plurality of side frames (side frame, 215) for fixing the top frame 213 and the bottom frame 211 in a spaced apart state, to form the appearance of the main body portion 200 .

본 실시예에서 메인 프레임(210)은 직육면체 형상을 가지고 있으나, 이에 한정되지 않고 기판의 형상에 따라 그 형상을 달리할 수 있다. 그리고, 본체부(200)의 전방에 형성된 개구부(250) 측에 도어부(400)가 탈착되어 내부를 개방 및 폐쇄할 수 있도록 직육면체를 이루는 복수의 사이드 프레임(215) 중 어느 하나를 생략한다.In the present embodiment, the main frame 210 has a rectangular parallelepiped shape, but the shape of the main frame 210 is not limited thereto and may vary according to the shape of the substrate. In addition, any one of the plurality of side frames 215 constituting a rectangular parallelepiped may be omitted so that the door part 400 is detached to the opening part 250 formed at the front of the main body part 200 to open and close the inside.

메인 프레임(210)은 보텀 프레임(211), 톱 프레임(213) 및 복수의 사이드 프레임(215)을 일체로 하여 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않고 보텀 프레임(211), 톱 프레임(213) 및 복수의 사이드 프레임(215) 각각을 성형한 후 상호 조립하여 형성될 수 있다.The main frame 210 may be formed by integrating the bottom frame 211, the top frame 213, and the plurality of side frames 215, but is not limited thereto. The bottom frame 211, the top frame 213, and Each of the plurality of side frames 215 may be molded and then assembled to each other.

본 실시예에 메인 프레임(210)은 AC4A 등과 같은 금속합금을 이용하고 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 그리고, 최근에는 수납되는 기판의 크기가 점점 커지고 있기 때문에 본체부(200)의 크기도 이에 대응하여 커지고 있으며, 본체부(200)를 경량화하기 위하여 메인 프레임(210)을 구성하는 보텀 프레임(211), 톱 프레임(213) 및 복수의 사이드 프레임(215)에는 복수의 홀부가 형성된다.In the present embodiment, the main frame 210 uses a metal alloy such as AC4A, but is not limited thereto. In addition, since the size of the substrate accommodated in recent years is increasing, the size of the main body part 200 is also correspondingly increased, and the bottom frame 211 constituting the main frame 210 to reduce the weight of the main body part 200. The top frame 213 and the plurality of side frames 215 are provided with a plurality of hole portions.

커버부재(230)는 보텀 프레임(211), 톱 프레임(213) 및 복수의 사이드 프레임(215)에 형성된 복수의 홀부에 설치된다. 본 실시예에서 본체부(200)는 도어부(400)를 이용하여 개방 및 폐쇄할 수 있도록 전방에 개구부(250)가 형성되므로, 커버부재(230)는 본체부(200)의 개구부(250)를 제외하고 메인 프레임(210)에 형성된 복수의 홀부에 설치된다.The cover member 230 is installed in a plurality of hole parts formed in the bottom frame 211, the top frame 213, and the plurality of side frames 215. In the present embodiment, since the main body 200 has an opening 250 formed at the front to be opened and closed using the door 400, the cover member 230 is the opening 250 of the main body 200. Except for being installed in a plurality of holes formed in the main frame 210.

도 3을 참조하면, 커버부재(230)는 본체부(200)의 메인 프레임(210)의 내부를 밀폐시키는 역할을 하며, 판 형상의 커버 플레이트(231)와, 커버 플레이트(231)의 테두리부를 따라 설치된 실링부재(233)를 포함한다.Referring to FIG. 3, the cover member 230 serves to seal the inside of the main frame 210 of the main body 200, and has a plate-shaped cover plate 231 and an edge portion of the cover plate 231. It includes a sealing member 233 installed along.

본체부(200)의 경량화를 위해, 본 실시예에서 커버 플레이트(231)는 무정전 폴리카보네이트(PC), 폴리부틸렌 테레프탈레이트(PBT), 폴리에스터에스터케톤(PEEK), 폴리에스터이미드(PEI), 폴리에스터술폰(PES), 폴리프로필렌(PP) 등과 같은 재질로 형성되고, 실링부재(233)는 열가소성 합성고무(EPDM) 재질로 형성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.In order to reduce the weight of the main body 200, the cover plate 231 in this embodiment is an uninterruptible polycarbonate (PC), polybutylene terephthalate (PBT), polyester ester ketone (PEEK), polyester imide (PEI) And, it is formed of a material such as polyester sulfone (PES), polypropylene (PP), etc., the sealing member 233 may be formed of a thermoplastic synthetic rubber (EPDM) material, but is not limited thereto.

또한, 커버 플레이트(231)를 투명하게 제작함으로써 본체부(200) 내부에 기판이 적재된 상태를 관찰하고, 작업현장에서 기판의 재고량 등을 용이하게 파악할 수 있다.In addition, by making the cover plate 231 transparent, it is possible to observe the state in which the substrate is loaded inside the main body 200, and easily determine the stock of the substrate at the work site.

메인 프레임(210)에 대한 커버부재(230) 결합은, 커버 플레이트(231)의 테두리부를 실링부재(233)의 일측부를 따라 형성된 제1홈부에 삽입하여 결합하고, 실링부재(233)의 타측부를 따라 형성된 제2홈부를 보텀 프레임(211), 톱 프레임(213) 및 복수의 사이드 프레임(215)에 형성된 홀부의 테두리부에 삽입하여 결합한다.The cover member 230 is coupled to the main frame 210 by inserting the edge of the cover plate 231 into a first groove formed along one side of the sealing member 233, and joining the other side of the sealing member 233. The second groove portion formed along the bottom frame 211, the top frame 213 and the plurality of side frames 215 formed in the edge portion of the hole formed in and coupled to each other.

도 2를 참조하면, 기판 지지부(300)는 본체부(200)의 내부에 수납되는 기판의 저면을 지지함으로써 기판의 처짐을 방지하는 역할을 한다.Referring to FIG. 2, the substrate support part 300 serves to prevent sagging of the substrate by supporting a bottom surface of the substrate accommodated in the body part 200.

기판 지지부(300)는 본체부(200)의 내부 양측벽에서 돌출되게 설치된 복수의 측면 지지바(310)와, 본체부(200)의 내부 공간에 배치된 중앙 지지바(330)를 포함한다.The substrate support part 300 includes a plurality of side support bars 310 protruding from both side walls of the main body part 200, and a central support bar 330 disposed in the inner space of the main body part 200.

복수의 측면 지지바(310)는 기판의 저면 테두리부를 지지하는 역할을 한다. 그리고, 복수의 측면 지지바(310) 각각은 일단부가 본체부(200)의 내부 측벽에 고정되고, 타단부가 본체부(200)의 내부 공간으로 돌출되는 캔틸레버(cantilever) 형상을 갖는다.The plurality of side support bars 310 serve to support the bottom edge of the substrate. Each of the side support bars 310 has a cantilever shape in which one end is fixed to the inner sidewall of the main body 200 and the other end protrudes into the inner space of the main body 200.

또한, 복수의 측면 지지바(310)는 기판이 본체부(200)의 내부에 수평인 상태로 다단 수납되는 경우에 기판의 자중에 의한 휨을 고려하여 본체부(200)의 높이방향으로 일정한 간격을 두고 배열된다.In addition, the plurality of side support bars 310 may have a predetermined interval in the height direction of the main body 200 in consideration of the warpage caused by the weight of the substrate when the substrate is accommodated in multiple stages in a state inside the main body 200. Are placed and arranged.

도 4에서 도시한 바와 같이, 중앙 지지바(330)는 수납되는 기판이 대형화 됨에 따라 기판의 중앙부가 자중에 의해 처지는 것을 방지하는 역할을 한다.As shown in FIG. 4, the central support bar 330 serves to prevent the central portion of the substrate from sagging by its own weight as the substrate to be accommodated becomes larger.

중앙 지지바(330)는 본체부(200)의 내측 후방벽에 본체부(200)의 높이방향으로 결합되는 지지축(331)과, 지지축(331)의 길이방향을 따라 본체부(200)의 전방 개구부(250) 방향으로 돌출되게 설치된 복수의 고정바(333)를 포함한다.The central support bar 330 is a support shaft 331 coupled to the inner rear wall of the main body 200 in the height direction of the main body 200, and the main body 200 along the longitudinal direction of the support shaft 331. It includes a plurality of fixing bars 333 protruding in the direction of the front opening 250 of the.

복수의 고정바(333)는 복수의 측면 지지바(310)와 마찬가지로, 기판의 자중에 의한 휨을 고려하여 본체부(200)의 높이방향으로 일정한 간격을 두고 배열되고, 복수의 고정바(333) 각각과 복수의 측면 지지바(310) 각각은 기판이 수평인 상태로 수납될 수 있도록 동일 평면 상에 배치된다.Like the plurality of side support bars 310, the plurality of fixing bars 333 are arranged at regular intervals in the height direction of the main body part 200 in consideration of the bending caused by the weight of the substrate, and the plurality of fixing bars 333. Each and the plurality of side support bars 310 are disposed on the same plane so that the substrate can be accommodated in a horizontal state.

또한, 중앙 지지바(330)는 수납되는 기판의 크기에 따라 본체부(200)의 내부에 일정 간격을 두고 복수개 설치될 수 있다.In addition, a plurality of central support bars 330 may be installed in the main body 200 at regular intervals according to the size of the substrate accommodated therein.

그리고, 본 실시예에서는 지지축(331)과 복수의 고정바(333)를 일체형으로 형성함으로써, 중앙 지지바(330)를 본체부(200)의 내부에 설치하는 과정에서 지지축(331)과 복수의 고정바(333)를 조립하는 과정을 생략할 수 있어 본체부(200) 내부에서 먼지 등의 파티클이 발생하는 것을 방지할 수 있다.In the present embodiment, the support shaft 331 and the plurality of fixing bars 333 are integrally formed so that the support shaft 331 and the support shaft 331 are installed in the process of installing the central support bar 330 inside the main body 200. A process of assembling the plurality of fixing bars 333 can be omitted, thereby preventing generation of particles such as dust in the main body 200.

도어부(400)는 본체부(200)의 전방에 형성된 개구부(250) 측 테두리부(255)에 밀착되어 본체부(200) 내부를 밀폐시키는 역할을 한다.The door part 400 is in close contact with the edge portion 255 of the opening 250 formed at the front of the main body 200 to seal the inside of the main body 200.

도 5를 참조하면, 도어부(400)는 내부공간이 형성된 케이스 하우징(410)과, 케이스 하우징(410)에 관통되게 설치된 필터유닛(430)과, 케이스 하우징(410)에 설치된 도어 개폐기용 위치 결정핀 수용부(450)와, 케이스 하우징(410)에 설치된 견시창(470)을 포함한다.Referring to FIG. 5, the door unit 400 includes a case housing 410 having an inner space, a filter unit 430 installed to penetrate the case housing 410, and a position of the door opener installed in the case housing 410. The crystal pin accommodating part 450 and the viewing window 470 provided in the case housing 410 are included.

케이스 하우징(410)은 본체부(200)의 개구부(250) 측에 밀착되어 본체부(200)를 밀폐시키는 역할을 하고, 본체부(200)의 개구부(250) 측에 탈착가능한 방식으로 결합된다.The case housing 410 is in close contact with the opening part 250 side of the main body part 200 to seal the main body part 200, and is coupled to the opening part 250 side of the main body part 200 in a detachable manner. .

케이스 하우징(410)은 내부 공간을 갖는 중공형상을 가지며, 외곽을 형성하는 메인 프레임(411)과, 메인 프레임(411)의 하부를 덮고 본체부(200) 측에 밀착되는 하부커버(415)와, 본체부(200) 측의 반대편에 배치되고 메인 프레임(411)의 상부를 덮는 상부커버(413)를 포함한다.The case housing 410 has a hollow shape having an inner space, a main frame 411 forming an outline, a lower cover 415 covering a lower portion of the main frame 411 and being in close contact with the main body 200 side; The upper cover 413 is disposed on the opposite side of the main body 200 and covers the upper portion of the main frame 411.

본 실시예에서 메인 프레임(411)은 사각형 형상을 가지나, 본체부(200)의 개구부(250) 형상에 따라 그 모양을 달리할 수 있다. 그리고, 상부 및 하부 커버는 플레이트 형상으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.In the present exemplary embodiment, the main frame 411 may have a rectangular shape, but the shape of the main frame 411 may vary according to the shape of the opening 250 of the main body 200. The upper and lower covers may be formed in a plate shape, but are not limited thereto.

한편, 본체부(200)에는 케이스 하우징(410)이 밀착되는 면에 실링부재(미도시)가 더 설치될 수 있다. 즉, 케이스 하우징(410)이 본체부(200)의 개구부(250)를 밀폐하는 경우에 케이스 하우징(410)의 하부커버(415)는 본체부(200)의 개구부(250) 측에 밀착된다. 그리고, 하부커버(415)는 본체부(200)의 개구부(250) 측 테두리부(255)를 따라 설치된 실링부재를 가압 및 변형시켜 밀착면에 대하여 견고한 밀폐상태를 확보할 수 있다.On the other hand, the body portion 200 may be further provided with a sealing member (not shown) on the surface in which the case housing 410 is in close contact. That is, when the case housing 410 seals the opening 250 of the main body 200, the lower cover 415 of the case housing 410 is in close contact with the opening 250 side of the main body 200. In addition, the lower cover 415 may secure a tightly sealed state with respect to the contact surface by pressing and deforming the sealing member installed along the edge portion 255 of the opening part 250 side of the main body part 200.

그리고, 도어부(400)를 이용하여 본체부(200)를 밀폐하는 경우에, 본체부(200) 내외부의 압력차가 발생하므로 이러한 압력차를 제거함과 동시에 본체부(200) 내부에 수납되는 기판에서 발생하는 열로 인하여 본체부(200) 내부 온도가 상승하는 발열문제를 해결하기 위하여 도어부(400)에는 외부공기가 유입될 수 있는 관통홀(435)이 형성된다. 따라서, 필터유닛(430)은 관통홀(435)에 삽입 설치되어 본체부(200) 내외부의 공기 유동에 의한 먼지, 미립자, 미생물 등이 본체부(200) 내부로 유입되는 것을 방지한다.When the main body 200 is sealed using the door part 400, a pressure difference between the inside and the outside of the main body part 200 is generated, and thus the pressure difference between the main body part 200 and the substrate accommodated in the main body part 200 is eliminated. In order to solve the heat problem in which the internal temperature of the main body 200 rises due to the generated heat, a through hole 435 through which the outside air is introduced is formed in the door part 400. Therefore, the filter unit 430 is inserted into the through hole 435 to prevent the dust, fine particles, microorganisms, etc. due to the air flow inside and outside the main body 200 to be introduced into the main body 200.

그리고, 도어 개폐기(미도시)를 이용하여 도어부(400)를 본체부(200)에 탈착하는 경우에, 도어 개폐기에 구비된 복수의 진공흡착패드(미도시)는 도어부(400)를 구성하는 케이스 하우징(410)의 상부커버(413)에 흡착된다.In addition, when the door unit 400 is detached from the main body unit 200 using a door opener (not shown), the plurality of vacuum adsorption pads (not shown) included in the door opener constitute the door unit 400. The upper cover 413 of the case housing 410 is adsorbed.

이때, 복수의 진공흡착패드가 밀착되는 위치를 정확하게 결정하기 위해, 도어 개폐기에 구비된 위치 결정핀(미도시)이 수용되는 위치 결정핀 수용부(450)가 케이스 하우징(410)에 설치된다. 여기서, 위치 결정핀 수용부(450)는 내부로 단면적이 감소하도록 테이퍼지게 형성된다.At this time, in order to accurately determine the position where the plurality of vacuum adsorption pads are in close contact, a positioning pin receiving portion 450 in which a positioning pin (not shown) provided in the door opener is accommodated is installed in the case housing 410. Here, the positioning pin receiving portion 450 is tapered to reduce the cross-sectional area therein.

도어 개폐기의 위치 결정핀과 케이스 하우징(410)에 설치된 위치 결정핀 수용부(450)의 결합에 의해 진공흡착패드는 항상 케이스 하우징(410) 상부커버(413)의 일정한 위치에 흡착된다.By combining the positioning pin of the door opener and the positioning pin receiver 450 installed in the case housing 410, the vacuum suction pad is always adsorbed at a predetermined position of the upper cover 413 of the case housing 410.

또한, 진공흡착패드 고장시에 위치 결정핀과 위치 결정핀 수용부(450)의 결합으로 인하여 도어부(400)가 도어 개폐기에서 분리되어 낙하되는 것을 방지할 수 있다.In addition, due to the combination of the positioning pin and the positioning pin receiving portion 450 at the time of the vacuum adsorption pad failure, the door part 400 may be prevented from falling off from the door opener.

한편, 도어부(400)를 구성하는 케이스 하우징(410)에는 도어 개폐기의 진공흡착패드가 밀착되는 부분과 위치 결정핀 수용부(450)가 설치되는 위치에 별도의 보강부재(미도시)가 더 설치될 수 있다.On the other hand, the case housing 410 constituting the door unit 400 is a separate reinforcing member (not shown) in the position where the vacuum suction pad of the door opener is in close contact with the positioning pin receiving portion 450 is further installed. Can be installed.

그리고, 견시창(470)은 도어부(400)가 본체부(200)를 밀폐시키는 경우에 본체부(200) 내부를 볼 수 있도록 투명재질로 형성되며, 케이스 하우징(410)에 복수개 설치될 수 있다.In addition, the viewing window 470 is formed of a transparent material so that the interior of the main body 200 can be seen when the door part 400 seals the main body 200, and may be installed in a plurality of case housings 410. have.

도 6 및 도 7을 참조하면, 도어부용 가이드 유닛(500)은 도어부(400)를 본체부(200)의 개구부(250) 측에 밀착하는 경우에, 도어부(400)를 본체부(200)의 개구부(250) 측으로 안내하고 본체부(200)의 개구부(250) 측에 밀착되게 그 위치를 설정하는 역할을 한다.6 and 7, when the door unit guide unit 500 closely contacts the door part 400 to the opening part 250 side of the main body part 200, the door part 400 may be connected to the main body part 200. Guides toward the opening 250 side and sets its position in close contact with the opening 250 side of the main body 200.

도어부용 가이드 유닛(500)은 도어부(400)를 구성하는 케이스 하우징(410)의 테두리부에 돌출되게 설치된 돌출부(510)와, 본체부(200)의 개구부(250) 측 테두리부(255)에 돌출되게 설치되어 돌출부(510)의 진행 경로 및 위치설정을 안내하는 돌출안착부(530)를 포함한다.The door unit guide unit 500 includes a protrusion 510 protruding from the edge of the case housing 410 constituting the door unit 400, and an edge portion 255 of the opening 250 side of the main body 200. It is installed to protrude in the protrusion includes a protrusion mounting portion 530 for guiding the path and the positioning of the protrusion 510.

한편, 도 2를 참조하면, 본 실시예에서 돌출부(510)는 사각형상 케이스 하우징(410)의 각 변에 3개씩(즉, 각변의 양측 및 중앙에 각각 1개씩), 총 12개가 설치되고, 이에 대응되는 수만큼 본체부(200)의 개구부(250) 측에 돌출안착부(530)가 설치될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.Meanwhile, referring to FIG. 2, in this embodiment, 12 protrusions 510 are provided at each side of the rectangular case housing 410 (that is, one at each side and the center of each side), and a total of 12 protrusions 510 are installed. Protruding seating portion 530 may be installed on the opening 250 side of the body portion 200 by the number corresponding thereto, but is not limited thereto.

여기서, 도 6에서 도시한 바와 같이, 돌출부(510) 및 돌출안착부(530)의 하단부는 도어부(400) 및 본체부(200)의 개구부(250) 측에 삽입 설치되고, 상단부는 반원형상의 단면을 갖도록 형성될 수 있다. 그리고, 도 7에서 도시한 바와 같이, 돌출부(510) 및 돌출안착부(530)는 각각 도어부(400)의 케이스 하우징(410)의 테두리부 및 본체부의 개구부(250) 내측 테두리부(255)를 따라 길게 설치될 수 있다.Here, as shown in FIG. 6, the lower end of the protrusion 510 and the protruding seat 530 is inserted into the opening 250 of the door 400 and the main body 200, and the upper end is semi-circular. It may be formed to have a cross section. As shown in FIG. 7, the protruding portion 510 and the protruding seating portion 530 each have an edge portion 255 inside the edge portion of the case housing 410 of the door portion 400 and the opening portion 250 of the body portion. It can be installed along the length.

따라서, 도어부(400)를 개구부(250) 측으로 점진적으로 이동시키는 경우에 돌출부(510)와 돌출안착부(530)의 반원형상의 상단부는 상호 접촉 지지되면서 도어부(400)가 개구부(250) 측으로 슬라이딩되고, 도어부(400)를 설정된 본체부(200) 개구부(250) 위치에 정확하게 배치되게 안내한다. 그리고, 도어부(400)가 본체부(200)의 개구부(250) 측에 밀착되는 경우에 돌출부(510)와 돌출안착부(530)는 상호 접촉지지된다.Therefore, when the door part 400 is gradually moved toward the opening part 250, the semicircular upper ends of the protrusion part 510 and the protruding seating part 530 are in contact with each other while the door part 400 is moved toward the opening part 250. It slides and guides the door part 400 to be accurately disposed at the position of the opening part 250 of the main body part 200. In addition, when the door part 400 is in close contact with the opening part 250 side of the main body part 200, the protrusion part 510 and the protruding seating part 530 are contacted with each other.

그리고, 도어부용 가이드 유닛(500)을 통하여 도어부(400)를 본체부(200)의 개구부(250) 측에 밀착되게 위치시킨 경우에, 케이스 하우징(410)의 내부에 설치된 잠금장치(600)를 통하여 도어부(400)를 본체부(200)의 개구부(250) 측에 고정한다.And, when the door 400 is placed in close contact with the opening 250 side of the main body 200 through the door guide unit 500, the locking device 600 provided in the case housing 410 The door part 400 is fixed to the opening part 250 side of the main body part 200 through the door part 400.

도 8을 참조하면, 잠금장치(600)는 도어부(400) 케이스 하우징(410)의 내부 모서리 부위에 각각 설치될 수 있다. Referring to FIG. 8, the locking device 600 may be installed at inner corners of the case housing 410 of the door part 400.

도 9 및 도 10을 참조하면, 잠금장치(600)는 도어부(400), 즉 케이스 하우징(410)의 내부에 설치되고 영구자석인 자성체(615)를 케이스 하우징(410)의 내부에서 왕복운동시켜 비접촉 방식으로 도어부(400)를 본체부(200)의 개구부(250) 측에 고정하는 주 고정유닛(610)과, 주 고정유닛(610)에 의해 도어부(400)가 본체부(200)의 개구부(250) 측에 고정된 경우에 케이스 하우징(410)의 내부에 설치되고 주 고정유닛(610)과 연동되어 도어부(400)가 본체부(200)의 개구부(250) 측에서 이탈되는 것을 방지하는 보조 고정유닛(630)을 포함한다.9 and 10, the locking device 600 is a reciprocating motion of the magnetic body 615, which is installed inside the door part 400, that is, the case housing 410, and which is a permanent magnet, in the case housing 410. The main fixing unit 610 for fixing the door unit 400 to the opening 250 side of the main body 200 in a non-contact manner, and the main door unit 400 by the main fixing unit 610 In the case of being fixed to the opening 250 side of the door) is installed in the case housing 410 and interlocked with the main fixing unit 610, the door part 400 is separated from the opening 250 side of the main body 200 It includes an auxiliary fixing unit 630 to prevent it.

주 고정유닛(610)은 영구자석(615)을 이용하여 도어부(400)를 본체부(200)의 개구부(250) 측에 고정하는 역할을 한다.The main fixing unit 610 serves to fix the door part 400 to the opening part 250 side of the main body part 200 using the permanent magnet 615.

주 고정유닛(610)은 케이스 하우징(410)의 내부에 고정되게 설치된 제1 구동기어(611)와, 제1 구동기어(611)의 일측에 치합되어 회전되도록 케이스 하우징(410)의 내부에 고정되게 설치된 제1 종동기어(612)와, 제1 구동기어(611)의 타측에 치합되고 제1 구동기어(611)의 회전에 따라 케이스 하우징(410)의 내부에서 수평방향으로 왕복운동하는 제1 랙기어(613)와, 제1 종동기어(612)에 치합되고 제1 종동기어(612)의 회전에 따라 케이스 하우징(410)의 내부에서 수직방향으로 왕복운동하는 제2 랙기어(614)와, 제1 및 제2 랙기어(613,614)의 일측면에 각각 설치된 자성체(615)를 포함한다.The main fixing unit 610 is fixed to the inside of the case housing 410 such that the first driving gear 611 is fixedly installed in the case housing 410 and is engaged with one side of the first driving gear 611 to rotate. A first driven gear 612 and a first driven gear 612 that are meshed with the other side of the first drive gear 611 and reciprocate in a horizontal direction in the case housing 410 according to the rotation of the first drive gear 611. A second rack gear 614 meshed with the rack gear 613 and the first driven gear 612 and vertically reciprocating in the case housing 410 according to the rotation of the first driven gear 612; And magnetic bodies 615 installed on one side surfaces of the first and second rack gears 613 and 614, respectively.

제1 구동기어(611)에는 케이스 하우징(410)의 외부로 돌출되게 작동레버(616)가 설치될 수 있으며, 작동레버(616)가 도어 개폐기에 의해 시계 또는 반시계방향으로 회전됨에 따라 제1 구동기어(611)가 시계 또는 반시계방향으로 회전된다.An actuating lever 616 may be installed at the first driving gear 611 to protrude out of the case housing 410. As the actuating lever 616 is rotated clockwise or counterclockwise by the door opener, the first actuating lever 616 may be installed. The drive gear 611 is rotated clockwise or counterclockwise.

본 실시예에서 작동레버(616)의 회전각도는 제1 구동기어(611)에 치합되어 왕복운동하는 제1 랙기어(613)의 이동거리를 고려하여 결정된다. 본 실시예에서는 도 9에서 도시한 바와 같이 작동레버(616)가 90°인 경우에 도어부(400)가 본체부(200)에서 해제된 상태를 나타내고, 도 10에서 도시한 바와 같이 작동레버(616)가 0°인 경우에 도어부(400)가 본체부(200)에 고정된 상태를 나타낸다.In this embodiment, the rotation angle of the actuating lever 616 is determined in consideration of the moving distance of the first rack gear 613 engaged with the first drive gear 611 to reciprocate. In the present embodiment, when the operating lever 616 is 90 ° as shown in FIG. 9, the door 400 is released from the main body 200, and as shown in FIG. 10. When 616 is 0 °, the door part 400 is fixed to the main body part 200.

도 8 내지 도 10에서 도시한 바와 같이, 제 1랙기어는 케이스 하우징(410)의 상부 및 하부에 수평방향으로 배치되고, 제1 구동기어(611)의 회전에 따라 수평방향으로 슬라이딩 왕복운동을 할 수 있다. 그리고, 제1 랙기어(613)의 측면, 즉 본체부(200)의 개구부(250) 측에 대향된 면에는 자성체(615)가 설치된다.As shown in FIGS. 8 to 10, the first rack gear is disposed in the horizontal direction at the top and the bottom of the case housing 410, and the sliding reciprocating motion in the horizontal direction is performed in accordance with the rotation of the first drive gear 611. can do. In addition, the magnetic body 615 is installed on the side surface of the first rack gear 613, that is, the surface of the main body part 200 facing the opening 250.

자성체(615)는 제1 랙기어(613)의 길이방향을 따라 일정간격 이격되게 배치된 복수의 영구자석일 수 있다. 한편, 본체부(200)의 개구부(250) 측 테두리부(255)에는 제1 랙기어(613)에 설치된 복수의 영구자석(615)과 동일한 간격으로 도 2에서 도시한 바와 같이 복수의 스틸블록(steel block,617)이 설치된다.The magnetic body 615 may be a plurality of permanent magnets spaced at a predetermined interval along the longitudinal direction of the first rack gear 613. On the other hand, the plurality of steel blocks in the opening portion 250 side edge portion 255 of the main body 200 at the same interval as the plurality of permanent magnets 615 installed in the first rack gear 613, as shown in FIG. (steel block 617) is installed.

그리고, 도 8에서 도시한 바와 같이, 케이스 하우징(410)의 양측면에 수직되게 배치된 제2 랙기어(614)는 제1 구동기어(611)의 회전에 의해 연동되는 제1 종동기어(612)에 의해 케이스 하우징(410)의 양측면에서 수직방향으로 슬라이딩 왕복운동한다.As shown in FIG. 8, the second rack gear 614 disposed perpendicular to both side surfaces of the case housing 410 is the first driven gear 612 linked by the rotation of the first drive gear 611. The sliding reciprocating motion in the vertical direction on both sides of the case housing 410.

또한, 제2 랙기어(614)의 측면, 즉 본체부(200)의 개구부(250) 측에 인접한 면에는 자성체(615)가 설치된다. 자성체(615)는 제2 랙기어(614)의 길이방향을 따라 일정간격 이격되게 배치된 복수의 영구자석일 수 있다. 또한, 본체부의 개구부(250) 측 테두리부(255)에는 제2 랙기어(614)에 설치된 복수의 영구자석(615)과 동일한 간격으로 도 2에서 도시한 바와 같이 복수의 스틸블록(617)이 설치된다. In addition, the magnetic body 615 is installed on the side of the second rack gear 614, that is, the surface adjacent to the opening 250 side of the main body 200. The magnetic body 615 may be a plurality of permanent magnets spaced at a predetermined interval along the longitudinal direction of the second rack gear 614. In addition, a plurality of steel blocks 617 are formed in the edge portion 255 of the opening part 250 of the main body at the same interval as the plurality of permanent magnets 615 installed in the second rack gear 614. Is installed.

주 고정유닛(610)에 의해 도어부(400)가 본체부(200)의 개구부(250) 측에 탈착되는 과정을 설명하면 다음과 같다. 하기에서는 도 9 및 10에서 도시한 바와 같이, 도어부(400)의 상부 오른편에 설치된 주 고정유닛(610)을 예를 들어 설명하기로 한다.The process of detaching the door part 400 to the opening part 250 side of the main body part 200 by the main fixing unit 610 is as follows. Hereinafter, as shown in FIGS. 9 and 10, the main fixing unit 610 installed on the upper right side of the door part 400 will be described as an example.

도 9를 참조하면, 작동레버(616)가 90°인 상태, 즉 제1 구동기어(611)가 시계방향으로 회전된 경우에 제1 랙기어(613)가 도어부(400)의 상부에서 오른쪽 방향으로 수평되게 슬라이딩되면서 복수의 영구자석(615)과 스틸블록이 동일선상에서 어긋나게 배치되어 도어부(400)가 본체부(200)의 개구부(250) 측에서 해제된다.Referring to FIG. 9, when the operating lever 616 is 90 °, that is, when the first driving gear 611 is rotated clockwise, the first rack gear 613 is rightward from the upper part of the door part 400. The permanent magnet 615 and the steel block are deviated on the same line while sliding horizontally in the direction so that the door part 400 is released from the opening part 250 side of the main body part 200.

그리고, 제1 구동기어(611)가 시계방향으로 회전된 경우에 제1 종동기어(612)는 반시계방향으로 회전되어 제2 랙기어(614)가 도어부(400)의 측면에서 상부방향으로 수직으로 슬라이딩되면서 복수의 영구자석(615)과 스틸블록이 동일선상에서 어긋나게 배치되어 도어부(400)가 본체부(200)의 개구부(250) 측에서 해제된다.When the first drive gear 611 is rotated in the clockwise direction, the first driven gear 612 is rotated in the counterclockwise direction so that the second rack gear 614 is upward from the side of the door part 400. While sliding vertically, the plurality of permanent magnets 615 and the steel blocks are disposed to be offset on the same line, so that the door part 400 is released from the opening part 250 side of the main body part 200.

이와 반대로, 도 10을 참조하면, 작동레버(616)가 0°인 상태, 즉 제1 구동기어(611)가 반시계방향으로 회전된 경우에 제1 랙기어(613)가 도어부(400)의 상부에서 왼쪽방향으로 수평으로 슬라이딩되면서 복수의 영구자석(615)과 스틸블록이 동일선상에 정렬되어 비접촉 방식으로 복수의 영구자석(615)의 자력에 의해 도어부(400)가 본체부(200)의 개구부(250) 측에 고정된다.On the contrary, referring to FIG. 10, when the operating lever 616 is 0 °, that is, when the first driving gear 611 is rotated counterclockwise, the first rack gear 613 is the door part 400. Sliding horizontally in the upper direction from the upper side of the plurality of permanent magnets 615 and the steel block is aligned on the same line by the magnetic force of the plurality of permanent magnets 615 in a non-contact manner the main body portion 200 ) Is fixed to the opening 250 side.

그리고, 제1 구동기어(611)가 반시계방향으로 회전된 경우에 제1 종동기어(612)는 시계방향으로 회전되어 제2 랙기어(614)가 도어부(400) 측면에서 하부방향으로 수직되게 슬라이딩되면서 복수의 영구자석(615)과 스틸블록(617)이 동일선 상에 정렬되어 비접촉 방식으로 복수의 영구자석(615)의 자력에 의해 도어부(400)가 본체부(200)의 개구부(250) 측에 고정된다.When the first drive gear 611 is rotated counterclockwise, the first driven gear 612 is rotated clockwise so that the second rack gear 614 is vertically downward from the side of the door part 400. As the plurality of permanent magnets 615 and the steel blocks 617 are aligned on the same line while sliding, the door part 400 is opened by the magnetic force of the plurality of permanent magnets 615 in a non-contact manner. 250) is fixed to the side.

도 9 및 도 10을 참조하면, 보조 고정유닛(630)은 주 고정유닛(610)에 의해 도어부(400)가 본체부(200)의 개구부(250) 측에 고정된 상태에서 자성체(615)가 자성을 잃는 경우에 도어부(400)가 본체부(200)의 개구부(250) 측으로부터 이탈되는 것을 방지하는 역할을 한다.9 and 10, the auxiliary fixing unit 630 has a magnetic material 615 in a state in which the door part 400 is fixed to the opening 250 side of the main body part 200 by the main fixing unit 610. When the magnetic loss of the door portion 400 serves to prevent the departure from the opening 250 side of the main body portion 200.

보조 고정유닛(630)은 주 고정유닛(610)과 연동되어 도어부(400) 외부로 출몰하여 본체부(200)에 결합되는 돌기부(635)와, 주 고정유닛(610)에 결합되어 왕복운동함에 따라 돌기부(635)가 도어부(400) 외부로 출몰되도록 안내하는 가이드 부재(631)를 포함한다.The auxiliary fixing unit 630 is interlocked with the main fixing unit 610 to protrude to the outside of the door 400 and the protrusion 635 coupled to the main body 200 and the main fixing unit 610 to reciprocate As such, the protrusion 635 includes a guide member 631 for guiding the door part 400 to be protruded to the outside.

가이드 부재(631)는 돌기부(635)를 도어부(400)의 외부, 즉 케이스 하우징(410)에서 외부로 출몰되게 하는 역할을 한다. 가이드 부재(631)는 일측에 결합된 제1 랙기어(613)와 함께 왕복운동한다. 그리고, 가이드 부재(631)의 타측에는 끝단부로 갈수로 아래방향으로 경사지게 형성된 슬롯부(632)가 마련된다.The guide member 631 serves to cause the protrusion 635 to be protruded to the outside of the door part 400, that is, the case housing 410. The guide member 631 reciprocates with the first rack gear 613 coupled to one side. And the other side of the guide member 631 is provided with a slot portion 632 formed to be inclined downward toward the end portion.

그리고, 돌기부(635)는 슬롯부(632)에 삽입되고 슬롯부(632)의 경사면을 따라 슬라이딩하는 지지체(636)와, 저면이 지지체(636)에 결합되어 지지되며 가이드 부재(631) 및 케이스 하우징(410)을 관통하여 외부로 돌출되는 돌출부재(637)를 포함한다.The protrusion 635 is inserted into the slot 632 and slides along the inclined surface of the slot 632. The protrusion 635 is coupled to and supported by the support 636, and the guide member 631 and the case. It includes a protruding member 637 penetrating the housing 410 to protrude to the outside.

주 고정유닛(610)에 의해 도어부(400)가 본체부(200)의 개구부(250) 측에 고정되는 경우에 돌출부재(637)는 본체부(200)의 개구부(250) 측에 마련된 삽입홈부(미도시)에 삽입되어 결합된다.When the door part 400 is fixed to the opening part 250 of the main body part 200 by the main fixing unit 610, the protruding member 637 is inserted into the opening part 250 side of the main body part 200. Inserted into the groove (not shown) is coupled.

보조 고정유닛(630)인 돌기부(635)가 본체부(200)의 개구부(250) 측에 탈착되는 과정을 설명하면 다음과 같다. 하기에서는 도 9 및 10에서 도시한 바와 같이, 도어부(400)의 상부 오른편에 설치된 보조 고정유닛(630)을 예를 들어 설명하기로 한다.A process of detaching the protrusion 635 which is the auxiliary fixing unit 630 to the opening 250 side of the main body 200 will be described below. Hereinafter, as shown in FIGS. 9 and 10, the auxiliary fixing unit 630 installed on the upper right side of the door part 400 will be described by way of example.

도 9를 참조하면, 제1 구동기어(611)를 시계방향으로 회전시키면, 가이드 부재(631)는 제1 랙기어(613)가 도어부(400)의 상부에서 오른쪽 방향으로 이동된다.Referring to FIG. 9, when the first drive gear 611 is rotated clockwise, the guide member 631 moves the first rack gear 613 in the right direction from the upper portion of the door part 400.

그리고, 지지체(636)는 가이드 부재(631)의 슬롯부(632)에서 경사면을 따라 도어부(400)의 하부방향으로 슬라이딩되고, 지지체(636)에 결합된 돌출부재(637)는 도어부(400)의 하부방향으로 수직되게 하강되고 도어부(400)의 케이스 하우징(410)의 내부로 유입된다.In addition, the support 636 slides in the downward direction of the door part 400 along the inclined surface in the slot 632 of the guide member 631, and the protruding member 637 coupled to the support 636 is a door part ( It is lowered vertically in the downward direction of 400 and flows into the case housing 410 of the door part 400.

따라서, 돌출부재(637)의 끝단부는 본체부(200)의 개구부(250) 측에 형성된 삽입홈부에서 분리되고, 도어부(400)는 본체부(200)의 개구부(250) 측에서 해제된다.Accordingly, the end of the protruding member 637 is separated from the insertion groove formed in the opening 250 of the main body 200, and the door 400 is released from the opening 250 of the main body 200.

이와 반대로, 도 10을 참조하면, 제1 구동기어(611)를 반시계방향으로 회전시키면, 가이드 부재(631)는 제1 랙기어(613)가 슬라이딩되는 방향, 즉 도어부(400)의 상부에서 왼쪽 방향으로 이동된다. On the contrary, referring to FIG. 10, when the first drive gear 611 is rotated counterclockwise, the guide member 631 may move in the direction in which the first rack gear 613 slides, that is, the upper part of the door part 400. In the left direction.

그리고, 지지체(636)는 가이드 부재(631)의 슬롯부(632)에서 경사면을 따라 도어부(400)의 상부방향으로 슬라이딩되고, 지지체(636)에 결합된 돌출부재(637)는 도어부(400)의 상부방향으로 수직되게 상승되고 도어부(400)의 케이스 하우징(410)을 관통하여 외부로 돌출된다.In addition, the support 636 slides upward from the slot 632 of the guide member 631 in the upper direction of the door 400 along the inclined surface, and the protruding member 637 coupled to the support 636 is a door part ( It is vertically raised in the upper direction of 400 and penetrates through the case housing 410 of the door part 400 to the outside.

따라서, 돌출부재(637)의 끝단부는 본체부(200)의 개구부(250) 측에 형성된 삽입홈부에 삽입되고, 도어부(400)는 본체부(200)의 개구부(250) 측에 고정된다.Therefore, the end of the protruding member 637 is inserted into the insertion groove formed on the opening 250 side of the main body 200, and the door 400 is fixed to the opening 250 side of the main body 200.

이하에서는 본 발명의 다른 실시예에 따른 밀폐형으로 제작된 기판 수납용기를 설명하기로 한다.Hereinafter, a substrate storage container manufactured in a hermetic type according to another embodiment of the present invention will be described.

도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 밀폐형 기판 수납용기를 나타내는 사시도이고, 도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 도어부에 잠금장치가 설치된 상태를 나타내는 평면도이고, 도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따라 본체부에서 도어부가 해제된 상태에서 잠금장치를 나타내는 도 12의 B부분 확대도이고, 도 14는 본 발명의 다른 실시예에 따라 본체부에 도어부가 고정된 상태에서 잠금장치를 나타내는 도 12의 B부분 확대도이고, 도 15는 본 발명의 다른 실시예에 따라 제2 돌출부재가 본체부에서 해제된 상태를 나타내는 도 12의 C부분 확대도이고, 도 16은 본 발명의 다른 실시예에 따라 제2 돌출부재가 본체부에 고정된 상태를 나타내는 도 12의 C부분 확대도이다.11 is a perspective view showing a sealed substrate storage container according to another embodiment of the present invention, Figure 12 is a plan view showing a state in which the locking device is installed in the door unit according to another embodiment of the present invention, Figure 13 is a view of the present invention 12 is an enlarged view of a portion B of FIG. 12 illustrating a locking device in a state in which the door part is released from the main body part, and FIG. 14 illustrates a locking device in a state in which the door part is fixed to the main body part according to another embodiment of the present invention. 12 is an enlarged view of a portion B of FIG. 12, and FIG. 15 is an enlarged view of a portion C of FIG. 12 showing a state in which the second protruding member is released from the main body according to another embodiment of the present invention, and FIG. 16 is another embodiment of the present invention. According to an example, FIG. 12C is an enlarged view of the second protruding member fixed to the main body.

도 11 내지 도 16을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따라 밀폐형으로 제작된 기판 수납용기(100a)는, 전방에 개구부(250a)가 형성되고 기판이 수납되는 본체부(200a)와, 본체부(200a)의 내부에 설치되어 수납된 기판을 지지하도록 측면 지지바(310a)와 중앙 지지바(330a)를 포함하는 기판 지지부(300a)와, 외관을 형성하는 케이스 하우징(410a)과, 필터유닛(430a)과 위치 결정핀 수용부(450a)와 견시창(470a)을 포함하며 본체부(200a)의 개구부(250a)를 개방 및 폐쇄하는 도어부(400a)와, 도어부(400a)를 본체부(200a)의 개구부(250a)에 대하여 안내 및 위치 설정하도록 도어부에 설치된 돌출부(510a)와 본체부(200a)의 개구부(250a) 측에 설치된 돌출안착부(530a)를 포함하는 도어부용 가이드 유닛(500a)과, 온/오프에 의해 자성을 띠는 마그넷 베이스 블록(613a)을 이용하여 비접촉 방식으로 도어부(400a)를 본체부(200a)에 고정 및 해제하는 잠금장치(600a)를 포함한다. 11 to 16, the substrate storage container 100a manufactured in a hermetically sealed type according to another embodiment of the present invention includes a main body portion 200a in which an opening 250a is formed in front and a substrate is accommodated therein, and a main body. A substrate support part 300a including a side support bar 310a and a central support bar 330a to support a substrate installed inside the part 200a, a case housing 410a forming an appearance, and a filter A door portion 400a including a unit 430a, a positioning pin receiving portion 450a, a viewing window 470a, which opens and closes the opening 250a of the main body portion 200a, and the door portion 400a. For the door part including a protrusion 510a provided in the door part to guide and position the opening 250a of the main body part 200a and a protrusion seating part 530a provided in the opening part 250a side of the main body part 200a. By using the guide unit 500a and the magnet base block 613a magnetically turned on / off in a non-contact manner A fisherman (400a) comprises a fixed and unlocking device (600a) to the main body part (200a).

본 발명의 다른 실시예에 따라 밀폐형으로 제작된 기판 수납용기(100a)의 본체부(200a), 기판 지지부(300a), 도어부용 가이드 유닛(500a)은 본 발명의 일 실시예에 따라 밀폐형으로 제작된 기판 수납용기(100)에서 설명한 본체부(200), 기판 지지부(300), 도어부용 가이드 유닛(500)과 동일하므로 아래에서는 차이점인 본 발명의 다른 실시예에 따른 잠금장치(600a)에 대하여 설명하기로 한다.According to another embodiment of the present invention, the main body part 200a, the substrate support part 300a, and the door part guide unit 500a of the substrate storage container 100a manufactured in a closed type are manufactured in a closed type according to an embodiment of the present invention. Since the same as the main body 200, the substrate support 300, the door unit guide unit 500 described in the substrate storage container 100 has been described below with respect to the locking device 600a according to another embodiment of the present invention Let's explain.

본 발명의 다른 실시예에 따른 잠금장치(600a)는 도어부(400a), 즉 케이스 하우징(410a)의 내부에 설치되고 온/오프 동작에 의해 자성을 띠는 마그넷 베이스 블록(613a)을 이용하여 비접촉 방식으로 도어부(400a)를 본체부(200a)의 개구부(250a) 측에 고정하는 주 고정유닛(610a)과, 주 고정유닛(610a)에 의해 도어부(400a)가 본체부(200a)의 개구부(250a) 측에 고정된 경우에 케이스 하우징(410a)의 내부에 설치되고 주 고정유닛(610a)과 연동되어 도어부(400a)가 본체부(200a)의 개구부(250a) 측에서 이탈되는 것을 방지하는 보조 고정유닛(630a)을 포함한다.The locking device 600a according to another embodiment of the present invention uses the magnet base block 613a installed inside the door part 400a, that is, the case housing 410a, and is magnetic by on / off operation. The main fixing unit 610a for fixing the door part 400a to the opening 250a side of the main body part 200a in a non-contact manner, and the door part 400a is connected to the main body part 200a by the main fixing unit 610a. When fixed to the opening (250a) side of the case is installed inside the case housing (410a) and in conjunction with the main fixing unit (610a) door 400a is separated from the opening (250a) side of the main body portion (200a) It includes an auxiliary fixing unit (630a) to prevent.

도 12을 참조하면, 주 고정유닛(610a)은 도어부(400a) 케이스 하우징(410a)의 내부에 대각선 방향으로 설치될 수 있다.Referring to FIG. 12, the main fixing unit 610a may be installed in a diagonal direction inside the case housing 410a of the door part 400a.

주 고정유닛(610a)은 온/오프(on-off) 동작에 의해 자성을 갖는 마그넷 베이스 블록(613a)을 이용하여 도어부(400a)를 본체부(200a)의 개구부(250a) 측에 고정하는 역할을 한다.The main fixing unit 610a fixes the door part 400a to the opening part 250a of the main body part 200a by using a magnet base block 613a having magnetic properties by an on / off operation. Play a role.

주 고정유닛(610a)은 케이스 하우징(410a)의 내부에 고정되게 설치된 제1 구동기어(611a)와, 제1 구동기어(611a)에 치합되어 회전되도록 케이스 하우징(410a)의 내부에 고정되게 설치된 제1 종동기어(612a)와, 케이스 하우징(410a)의 테두리부에 설치된 마그넷 베이스 블록(613a)과, 제1 종동기어(612a)에 연동되어 마그넷 베이스 블록(613a)을 온/오프시키는 다절 링크부재(614a)를 포함한다.The main fixing unit 610a is fixedly installed in the case housing 410a so as to be rotated by being engaged with the first drive gear 611a and the first drive gear 611a that are fixedly installed in the case housing 410a. A multi-link link for turning on / off the magnet base block 613a in conjunction with the first driven gear 612a, the magnet base block 613a provided at the edge of the case housing 410a, and the first driven gear 612a. Member 614a.

제1 구동기어(611a)에는 케이스 하우징(410a)의 외부로 돌출되게 작동레버(617a)가 설치될 수 있으며, 작동레버(617a)가 도어 개폐기(미도시)에 의해 시계 또는 반시계방향으로 회전됨에 따라 제1 구동기어(611a)가 시계 또는 반시계방향으로 회전된다.An actuating lever 617a may be installed at the first driving gear 611a to protrude out of the case housing 410a, and the actuating lever 617a is rotated clockwise or counterclockwise by a door opener (not shown). As the first drive gear 611a is rotated clockwise or counterclockwise.

본 실시예에서 작동레버(617a)의 회전각도는 마그넷 베이스 블록(613a)에 설치된 온/오프 스위치를 작동시키기 위한 다절 링크부재(614a)의 이동거리를 고려하여 결정된다. 본 실시예에서는 도 13에서 도시한 바와 같이 작동레버(617a)가 90°인 경우에 도어부(400a)가 본체부(200a)에서 해제된 상태를 나타내고, 도 14에서 도시한 바와 같이 작동레버(617a)가 0°인 경우에 도어부(400a)가 본체부(200a)에 고정된 상태를 나타낸다.In this embodiment, the rotation angle of the actuating lever 617a is determined in consideration of the moving distance of the multiple link member 614a for actuating the on / off switch installed in the magnet base block 613a. In this embodiment, as shown in FIG. 13, when the operating lever 617a is 90 °, the door 400a is released from the main body 200a, and as shown in FIG. 14, the operating lever ( When 617a) is 0 °, the door part 400a is fixed to the main body part 200a.

제1 종동기어(612a)는 제1 구동기어(611a)에 치합되어, 제1 구동기어(611a)의 회전에 따라 마그넷 베이스 블록(613a)을 온/오프시키는 다절 링크부재(614a)를 동작시키는 역할을 한다.The first driven gear 612a is meshed with the first drive gear 611a to operate the multiple link member 614a for turning on / off the magnet base block 613a according to the rotation of the first drive gear 611a. Play a role.

제1 종동기어(612a)의 일측에는 다절 링크부재(614a)의 이동길이를 고려하여 제1 구동기어(611a)와 치합되는 기어산이 형성되고, 타측은 다절 링크부재(614a)와 결합된다.One side of the first driven gear 612a is formed with a gear mountain engaged with the first drive gear 611a in consideration of the moving length of the multi-link member 614a, and the other side is coupled with the multi-link member 614a.

한편, 마그넷 베이스 블록(613a)은 스위치의 온/오프 동작에 의해 자력이 발생 또는 소멸되는데, 케이스 하우징(410a)의 내부에서 테두리부를 따라 일정간격 이격되게 복수개 배치된다. 구체적으로, 마그넷 베이스 블록(613a)은 케이스 하우징(410a)의 내부에서 본체부(200a)의 개구부(250a) 측에 대향되는 면에 설치되고, 마그넷 베이스 블록(613a)이 설치되는 간격을 따라 본체부(200a)의 개구부(250a) 측 테두리부(255a)에는 도 11에서 도시한 바와 같이 스틸블록(617a)이 설치된다. 즉, 마그넷 베이스 블록(613a)과 스틸블록(617a)은 동일선상에 배치되도록 설치된다.On the other hand, the magnetic base block 613a is generated or disappeared by the on / off operation of the switch, a plurality of spaced apart at regular intervals along the edge in the case housing (410a). Specifically, the magnet base block 613a is installed on the surface of the case housing 410a opposite to the opening 250a side of the main body 200a, and the main body along the interval at which the magnet base block 613a is installed. As shown in FIG. 11, a steel block 617a is installed at the edge portion 255a of the opening portion 250a of the portion 200a. That is, the magnet base block 613a and the steel block 617a are provided to be arranged on the same line.

다절 링크부재(614a)는 마그넷 베이스 블록(613a)을 동작시키는 스위치에 연결되어 제1 종동기어(612a)의 회전에 따라 스위치를 온/오프시키는 역할을 한다.The multi-link member 614a is connected to a switch for operating the magnet base block 613a and serves to turn on / off the switch according to the rotation of the first driven gear 612a.

다절 링크부재(614a)는 제1 종동기어(612a)에 결합되고 케이스 하우징(410a) 내부의 상부 또는 하부에 수평되게 배치된 제1 링크부재(615a)와, 제1 종동기어(612a)에 결합되고 케이스 하우징(410a)의 양측부에 수직되게 배치된 제2 링크부재(616a)를 포함한다.The multi-member link member 614a is coupled to the first driven gear 612a and coupled to the first link member 615a disposed horizontally on the upper or lower portion of the case housing 410a and to the first driven gear 612a. And second link members 616a vertically disposed at both sides of the case housing 410a.

여기서, 제1 링크부재(615a)와 제2 링크부재(616a)는 별도의 연결부재(618a,619a)를 통하여 제1 종동기어(612a)에 결합될 수 있으며, 제1 및 제2 링크부재(615a,616a)와 복수의 마그넷 베이스 블록(613a)의 스위치와 결합은 제1 및 제2 링크부재(615a,616a)의 왕복운동에 따라 스위치가 온/오프되는 동작을 수행할 수 있으면 어떠한 연결부재(미도시)도 사용될 수 있다.Here, the first link member 615a and the second link member 616a may be coupled to the first driven gear 612a through separate connecting members 618a and 619a, and the first and second link members ( 615a, 616a and the switch and the coupling of the plurality of magnet base block 613a is any connection member if the switch can be turned on / off in accordance with the reciprocating motion of the first and second link members (615a, 616a) (Not shown) may also be used.

주 고정유닛(610a)에 의해 도어부(400a)가 본체부(200a)의 개구부(250a) 측에 탈착되는 과정을 설명하면 다음과 같다. 하기에서는 도 13 및 14에서 도시한 바와 같이, 도어부(400a)의 상부 오른편에 설치된 주 고정유닛(610a)을 예를 들어 설명하기로 한다.The process of detaching the door part 400a by the main fixing unit 610a from the opening part 250a of the main body part 200a will be described below. Hereinafter, as shown in FIGS. 13 and 14, the main fixing unit 610a installed on the upper right side of the door part 400a will be described as an example.

도 13을 참조하면, 제1 구동기어(611a)의 작동레버(617a)가 90°인 상태, 즉 제1 구동기어(611a)를 반시계방향으로 회전된 경우 제1 종동기어(612a)는 시계방향으로 회전되고, 제1 종동기어(612a)에 결합되고 도어부(400a)의 상부에 수평되게 배치된 제1 링크부재(615a)는 오른편으로 수평이동되어 마그넷 베이스 블록(613a)의 스위치를 오프(off)시켜 마그넷 베이스 블록(613a)의 자성을 상실시킨다.Referring to FIG. 13, when the operating lever 617a of the first drive gear 611a is 90 °, that is, when the first drive gear 611a is rotated counterclockwise, the first driven gear 612a is clockwise. Direction, the first link member 615a coupled to the first driven gear 612a and horizontally disposed above the door part 400a is horizontally moved to the right to switch off the magnet base block 613a. (off) to lose the magnetism of the magnet base block 613a.

또한, 도어부(400a)의 측부에 수직되게 배치된 제2 링크부재(616a)는 도어부(400a)의 하부방향으로 수직이동되어 마그넷 베이스 블록(613a)의 스위치를 오프(off)시켜 마그넷 베이스 블록(613a)의 자성을 상실시킨다.In addition, the second link member 616a disposed perpendicularly to the side of the door part 400a is vertically moved downwardly of the door part 400a to switch off the magnet base block 613a to turn off the magnet base. The magnetism of block 613a is lost.

따라서, 마그넷 베이스 블록(613a)이 자성을 상실하여 도어부(400a)가 본체부(200a)의 개구부(250a) 측에서 해제된다.Therefore, the magnet base block 613a loses its magnetism, and the door part 400a is released from the opening part 250a of the main body part 200a.

이와는 반대로, 도 14를 참조하면, 제1 구동기어(611a)의 작동레버(617a)가 0°인 상태, 즉 제1 구동기어(611a)를 시계방향으로 회전된 경우 제1 종동기어(612a)는 반시계방향으로 회전되고, 제1 종동기어(612a)에 결합되고 도어부(400a)의 상부에 수평되게 배치된 제1 링크부재(615a)는 왼편으로 수평이동되어 마그넷 베이스 블록(613a)의 스위치를 온(on)시켜 마그넷 베이스 블록(613a)이 자성을 갖도록 한다.On the contrary, referring to FIG. 14, when the operating lever 617a of the first drive gear 611a is 0 °, that is, when the first drive gear 611a is rotated clockwise, the first driven gear 612a is rotated. Rotate in a counterclockwise direction, the first link member 615a coupled to the first driven gear 612a and horizontally disposed on the upper portion of the door part 400a is horizontally moved to the left to move the left side of the magnet base block 613a. The switch is turned on so that the magnet base block 613a is magnetic.

또한, 도어부(400a)의 측부에 수직되게 배치된 제2 링크부재(616a)는 도어부(400a)의 상부방향으로 수직이동되어 마그넷 베이스 블록(613a)의 스위치를 온(on)시켜 마그넷 베이스 블록(613a)이 자성을 갖도록 한다.In addition, the second link member 616a disposed perpendicularly to the side of the door part 400a is vertically moved upwardly of the door part 400a to turn on the switch of the magnet base block 613a to turn on the magnet base. Block 613a is magnetic.

따라서, 자성을 띠는 마그넷 베이스 블록(613a)과 본체부(200a)에 설치된 스틸블록(617a)에 의해 도어부(400a)는 본체부(200a)의 개구부(250a) 측에 고정된다. Therefore, the door part 400a is fixed to the opening 250a side of the main body 200a by the magnetic base block 613a and the steel block 617a provided in the main body 200a.

도 12를 참조하면, 보조 고정유닛(630a)은 주 고정유닛(610a)에 의해 도어부(400a)가 본체부(200a)의 개구부(250a) 측에 고정된 상태에서 마그넷 베이스 블록(613a)이 자성을 상실한 경우에 도어부(400a)가 본체부(200a)의 개구부(250a) 측으로부터 이탈되는 것을 방지하는 역할을 한다.Referring to FIG. 12, the auxiliary fixing unit 630a has a magnet base block 613a in a state where the door part 400a is fixed to the opening 250a side of the main body part 200a by the main fixing unit 610a. When the magnetic properties are lost, the door part 400a prevents the door part 400a from being separated from the opening part 250a of the main body part 200a.

보조 고정유닛(630a)은, 도 12의 도어부(400a)의 오른쪽 상부에 도시한 바와 같이, 주 고정유닛(610a)의 제1 종동기어(612a)와 연동되어 케이스 하우징(410a)의 상부에서 외부로 출몰하여 상기 본체부(200a)의 개구부(250a) 측에 결합되는 제1 돌출부재(631a)와, 도 12의 오른쪽 하부에 도시한 바와 같이, 주 고정유닛(610a)의 제2 링크부재(616a)와 연동되어 케이스 하우징(410a)의 하부에서 외부로 출몰하여 상기 본체부(200a)의 개구부(250a)측에 결합되는 제2 돌출부재(632a)를 포함한다.As shown in the upper right side of the door part 400a of FIG. 12, the auxiliary fixing unit 630a is interlocked with the first driven gear 612a of the main fixing unit 610a in the upper part of the case housing 410a. The first protruding member 631a coupled to the opening 250a side of the main body part 200a and the second link member of the main fixing unit 610a as shown in the lower right of FIG. 12. And a second protruding member 632a coupled to the opening 250a side of the main body 200a by releasing from the lower portion of the case housing 410a to the outside in cooperation with the 616a.

구체적으로, 제1 돌출부재(631a)는 주 고정유닛(610a)의 제1 종동기어(612a)에 결합되어 케이스 하우징(410a)의 상부에서 상부방향으로 수직되게 상승하여 케이스 하우징(410a)의 외부로 돌출되고, 제2 돌출부재(632a)는 제2 링크부재(616a)의 제1 종동기어(612a)와 결합되는 반대편에 결합되어 케이스 하우징(410a)의 하부에서 하부방향으로 수직되게 하강하여 케이스 하우징(410a)의 외부로 돌출된다.Specifically, the first protruding member 631a is coupled to the first driven gear 612a of the main fixing unit 610a to rise vertically upward from the upper portion of the case housing 410a to the outside of the case housing 410a. The second protruding member 632a is coupled to the opposite side that is coupled to the first driven gear 612a of the second link member 616a and descends vertically downward from the bottom of the case housing 410a. It protrudes out of the housing 410a.

도 15 및 16에서 도시한 바와 같이, 제2 링크부재(616a)의 끝단부에는 별도의 제1 연결부재(633a)의 일단부가 연결되고, 제1 연결부재(633a)의 타단부에는 제1 종동기어(612a)의 회전에 따라 슬라이딩하는 제2 링크부재(616a)의 운동에 따라 제2 돌출부재(632a)를 케이스 하우징(410a)의 외부로 출몰하게 하는 제2 연결부재(634a)가 결합된다. 또한, 제2 돌출부재(632a)는 케이스 하우징(410a)의 모서리부에서 지지브라켓(635a)에 의해 지지되고, 스프링 등과 같은 탄성부재(636a)에 의해 탄력지지될 수 있다.As shown in FIGS. 15 and 16, one end of a separate first connection member 633a is connected to the end of the second link member 616a, and the first driven member is connected to the other end of the first connection member 633a. The second connecting member 634a is coupled to the second protruding member 632a to protrude out of the case housing 410a according to the movement of the second link member 616a sliding along the rotation of the gear 612a. . In addition, the second protruding member 632a may be supported by the support bracket 635a at the corner of the case housing 410a and may be elastically supported by an elastic member 636a such as a spring.

주 고정유닛(610a)에 의해 도어부(400a)가 본체부(200a)의 개구부(250a) 측에 고정된 경우에 제1 및 제2 돌출부재(631a,632a)는 본체부(200a)의 개구부(250a) 측에 마련된 삽입홈부(미도시)에 삽입되어 결합된다.When the door part 400a is fixed to the opening part 250a of the body part 200a by the main fixing unit 610a, the first and second protruding members 631a and 632a are the opening parts of the body part 200a. Inserted into the insertion groove (not shown) provided on the (250a) side is coupled.

보조 고정유닛(630a)인 제1 및 제2 돌출부재(631a,632a)가 본체부(200a)의 개구부(250a) 측에 탈착되는 과정을 설명하면 다음과 같다. 하기에서는 도 13 및 도 16에서 도시한 바와 같이 도어부(400a)의 오른편 상부 및 하부에 설치된 보조 고정유닛(630a)을 예를 들어 설명하기로 한다.A process of detaching the first and second protruding members 631a and 632a which are the auxiliary fixing units 630a from the opening 250a side of the main body 200a will be described below. Hereinafter, as shown in FIGS. 13 and 16, an auxiliary fixing unit 630a installed at the upper right and lower sides of the door part 400a will be described as an example.

도 13을 참조하면, 제1 구동기어(611a)를 반시계방향으로 회전시키면, 제1 종동기어(612a)는 제1 구동기어(611a)에 연동되어 시계방향으로 회전된다. 그리고, 제1 종동기어(612a)에 연결된 제1 돌출부재(631a)는 도어부(400a) 하부방향으로 수직되게 하강되고 도어부(400a)의 케이스 하우징(410a)의 내부로 유입된다.Referring to FIG. 13, when the first drive gear 611a is rotated in a counterclockwise direction, the first driven gear 612a is rotated in a clockwise direction in association with the first drive gear 611a. The first protruding member 631a connected to the first driven gear 612a is lowered vertically in the lower direction of the door part 400a and flows into the case housing 410a of the door part 400a.

그리고, 도 15에서 도시한 바와 같이, 제2 링크부재(616a)의 제1 종동기어(612a)와 결합되는 반대편에 결합된 제2 돌출부재(632a)는 도어부(400a) 상부방향으로 수직되게 상승되고 도어부(400a)의 케이스 하우징(410a)의 내부로 유입된다.And, as shown in Figure 15, the second protruding member 632a coupled to the opposite side coupled to the first driven gear 612a of the second link member 616a is vertical to the upper direction of the door portion 400a. It is lifted up and flows into the case housing 410a of the door part 400a.

따라서, 제1 및 제2 돌출부재(631a,632a)의 끝단부는 본체부(200a)의 개구부(250a)에 형성된 삽입홈부에서 분리되고, 도어부(400a)는 본체부(200a)의 개구부(250a) 측에서 해제된다.Accordingly, the end portions of the first and second protruding members 631a and 632a are separated from the insertion groove portions formed in the opening 250a of the main body portion 200a, and the door portion 400a is the opening portion 250a of the main body portion 200a. ) Is released on the side.

이와 반대로, 도 14를 참조하면, 제1 구동기어(611a)를 시계방향으로 회전시키면 제1 종동기어(612a)는 반시계방향으로 회전된다. 그리고, 제1 종동기어(612a)에 연결된 제1 돌출부재(631a)는 도어부(400a) 상부방향으로 수직되게 상승되고 도어부(400a)의 케이스 하우징(410a)을 관통하여 외부로 돌출된다.On the contrary, referring to FIG. 14, when the first driving gear 611a is rotated clockwise, the first driven gear 612a is rotated counterclockwise. In addition, the first protruding member 631a connected to the first driven gear 612a is vertically raised upward toward the door 400a and protrudes outward through the case housing 410a of the door 400a.

그리고, 도 16에서 도시한 바와 같이, 제2 링크부재(616a)의 제1 종동기어(612a)와 결합되는 반대편에 결합된 제2 돌출부재(632a)는 도어부(400a) 하부방향으로 수직되게 하강되고 도어부(400a)의 케이스 하우징(410a)의 외부로 돌출된다.As shown in FIG. 16, the second protruding member 632a coupled to the opposite side coupled to the first driven gear 612a of the second link member 616a may be perpendicular to the lower direction of the door part 400a. It descends and protrudes out of the case housing 410a of the door part 400a.

따라서, 제1 및 제2 돌출부재(631a,632a)의 끝단부는 본체부(200a)의 개구부(250a)에 형성된 삽입홈부에 삽입되고, 도어부(400a)는 본체부(200a)의 개구부(250a) 측에 고정된다. Accordingly, the end portions of the first and second protruding members 631a and 632a are inserted into the insertion grooves formed in the opening 250a of the main body 200a, and the door 400a is the opening 250a of the main body 200a. ) Is fixed to the side.

한편, 도 1을 참조하면, 기판의 제조공정에서 임의의 공정이 완료된 기판들은 기판 수납용기(100)에 적재되고, 기판 적재가 완료되면 기판 수납용기(100,100a)를 다음 공정으로 이송한다. 여기서, 기판 수납용기(100,100a)를 로딩, 정렬, 언로딩하는 기판 수납용기 이송장치(700)가 사용될 수 있다. 기판 수납용기 이송장치(700)는 기판이 수납되어 있는 본체부(200.200a) 또는 기판을 꺼낸 빈 본체부(200,200a)를 다음 공정을 수행하기 위하여 이송하는 역할을 한다.Meanwhile, referring to FIG. 1, substrates in which a certain process is completed in the manufacturing process of the substrate are loaded into the substrate storage container 100, and when the substrate loading is completed, the substrate storage containers 100 and 100a are transferred to the next process. Here, the substrate storage container transfer apparatus 700 for loading, aligning, and unloading the substrate storage containers 100 and 100a may be used. The substrate storage container transfer device 700 serves to transfer the main body portion 200.200a in which the substrate is stored or the empty main body portions 200 and 200a from which the substrate is taken out to perform the next process.

기판 수납용기 이송장치(700)는 프레임부(710)와, 기판 수납용기(100,100a)를 프레임부(710)에 고정하는 고정장치(720)를 포함한다.The substrate storage container transport apparatus 700 includes a frame portion 710 and a fixing device 720 for fixing the substrate storage containers 100 and 100a to the frame portion 710.

도 17은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 수납용기 이송장치의 고정장치를 나타내는 부분확대도이다.Figure 17 is a partially enlarged view showing a fixing device of the substrate storage container transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.

프레임부(710)는 기판 수납용기(100,100a)를 로딩 및 언로딩시켜 기판 수납용기(100,100a)를 임의의 공정으로 이송하는 역할을 한다.The frame unit 710 loads and unloads the substrate storage containers 100 and 100a to transfer the substrate storage containers 100 and 100a to an arbitrary process.

도 17을 참조하면, 고정장치(720)는 기판 수납용기(100,100a)를 프레임부(710)에 안정되게 고정하는 역할을 한다.Referring to FIG. 17, the fixing device 720 may stably fix the substrate storage containers 100 and 100a to the frame part 710.

고정장치(720)는 프레임부(710)에 설치된 트위스트 록핀(lock pin,730)과, 프레임부(710)에 설치되고 트위스트 록핀(730)과 연동되게 연결된 록 실린더(750)와, 트위스트 록핀(730)의 위치를 감지하는 감지부(760)를 포함한다. 이때, 기판 수납용기(100,100a)의 본체부(200,200a) 상부에는 트위스트 록핀(730)과 결합되는 슬롯부(741)가 형성된 록핀 수용부(740)가 더 설치된다. Fixing device 720 is a twist lock pin (lock pin 730) installed in the frame portion 710, a lock cylinder 750 installed in the frame portion 710 and connected to the twist lock pin 730 and twist lock pin ( It includes a detector 760 for detecting the position of the 730. In this case, a lock pin accommodating part 740 having a slot part 741 coupled to the twist lock pin 730 is further installed on the main body parts 200 and 200 a of the substrate storage container 100 and 100 a.

본 실시예에서 고정장치(720)는 기판 수납용기(100,100a)가 직육면체 형상을 갖는 경우에, 기판 수납용기(100,100a)의 본체부(200,200a) 상부면 모서리에 각각 대응되어 결합될 수 있도록 프레임부(710)의 모서리에 각각 설치될 수 있다.In the present embodiment, when the substrate storage containers 100 and 100a have a rectangular parallelepiped shape, the fixing device 720 may correspond to the upper edges of the main body parts 200 and 200a of the substrate storage containers 100 and 100a, respectively. It may be installed at each corner of the frame portion 710.

트위스트 록핀(730)은 프레임부(710)의 하부에 설치된 T형 헤드를 갖도록 구성될 수 있다. 트위스트 록핀(730)은 프레임부(710)의 하부에 베어링(732)에 의해 회전가능하게 지지되고, 트위스트 록핀(730)의 스톡(stock,731)에 나사부를 가공하여 이에 고정너트(735)를 결합하는 방식으로 프레임부(710)에 고정된다.The twist lock pin 730 may be configured to have a T-shaped head installed under the frame portion 710. The twist lock pin 730 is rotatably supported by the bearing 732 at the lower part of the frame part 710, and the fixing nut 735 is attached thereto by machining the threaded portion of the stock (731) of the twist lock pin 730. It is fixed to the frame portion 710 in a coupled manner.

또한, 트위스트 록핀(730)은 고정너트(735)의 풀림을 방지하기 위해, 스톡(731)에 관통구멍을 형성하고 고정너트(735)에도 고정홈(736)을 형성하여 나사부에 고정너트(735)를 결합한 후 고정너트(735)의 고정홈(736)을 통해 스톡(731)의 관통구멍에 고정핀(734)을 삽입한다.In addition, the twist lock pin 730 forms a through hole in the stock 731 and a fixing groove 736 in the fixing nut 735 in order to prevent loosening of the fixing nut 735. ), And then, the fixing pin 734 is inserted into the through hole of the stock 731 through the fixing groove 736 of the fixing nut 735.

한편, 기판 수납용기(100,100a)의 상부면, 즉 본체부(200,200a)의 상부에 설치되는 록핀 수용부(740)는 트위스트 록핀(730)이 삽입된 후 90°회전되어 고정되도록 상부에 장공(elongated hole)의 슬롯부(741)가 형성된 블록구조일 수 있다. 그리고, 록핀 수용부(740)의 내부에는 트위스트 록핀(730)이 삽입된 후 내부에서 회전가능하게 공간부(742)가 구비된다.On the other hand, the lock pin receiving portion 740 which is installed on the upper surface of the substrate storage container (100, 100a), that is, the upper portion of the main body portion (200, 200a) is a long hole on the top to be rotated by 90 ° after the twist lock pin 730 is inserted It may have a block structure in which a slot portion 741 of an elongated hole is formed. The lock pin accommodating part 740 has a space 742 rotatably provided therein after the twist lock pin 730 is inserted therein.

록 실린더(750)는 트위스트 록핀(730)의 일측에 연결되고, 구동함에 따라 트위스트 록핀(730)을 회전시키는 역할을 한다. 록 실린더(750)의 실린더 로드가 트위스트 록핀(730)의 스톡(731)에 설치된 트위스트 레버(737)에 연결되고, 실린더 로드의 신축에 따라 트위스트 록핀(730)이 회전방향이 결정된다.The lock cylinder 750 is connected to one side of the twist lock pin 730 and serves to rotate the twist lock pin 730 as it is driven. The cylinder rod of the lock cylinder 750 is connected to the twist lever 737 provided in the stock 731 of the twist lock pin 730, and the rotation direction of the twist lock pin 730 is determined by the expansion and contraction of the cylinder rod.

감지부(760)는 트위스트 록핀(730)이 하강되어 록핀 수용부(740)의 슬롯부(741)와 동일선상에 정확히 배치되는지 여부를 감지하는 역할을 한다.The sensing unit 760 detects whether the twist lock pin 730 is lowered and is disposed exactly on the same line as the slot unit 741 of the lock pin receiving unit 740.

감지부(760)는 프레임부(710)의 하부에서 트위스트 록핀(730)과 일정간격 이격되고 평행되게 설치된 가이드바(761)와, 트위스트 록핀(730)의 위치 및 잠김상태를 판단하는 제어부(미도시)를 포함한다. 이때, 기판 수납용기(100,100a)의 본체부(200,200a) 상부에는 가이드바(761)의 끝단부가 수용되는 가이드바 수용부(763)가 설치될 수 있다.The detection unit 760 is a control unit for determining the position and the locked state of the guide bar 761 and the twist lock pin 730 installed at a predetermined interval spaced in parallel with the twist lock pin 730 in the lower portion of the frame (710) City). In this case, a guide bar receiving part 763 may be installed on the main body parts 200 and 200a of the substrate storage container 100 and 100a to accommodate the end of the guide bar 761.

프레임부(710)가 하강함에 따라 가이드바(761)는 기판 수납용기(100,100a)에 근접하게 되고, 가이드바(761)의 끝단부가 가이드바 수용부(763)에 삽입된다. 가이드바(761)가 가이드바 수용부(763)에 삽입된 경우, 제어부는 트위스트 록핀(730)이 록핀 수용부(740)의 슬롯부(741)의 상부에 동일선상에 정확히 배치된 것으로 판단한다.As the frame part 710 descends, the guide bar 761 approaches the substrate storage containers 100 and 100a, and an end of the guide bar 761 is inserted into the guide bar receiving part 763. When the guide bar 761 is inserted into the guide bar accommodating part 763, the controller determines that the twist lock pin 730 is disposed exactly on the same line on the upper portion of the slot part 741 of the rock pin accommodating part 740. .

그리고, 프레임부(710)가 더욱 하강하여 트위스트 록핀(730)이 록핀 수용부(740)의 슬롯부(741)에 삽입된 후, 트위스트 록핀(730)의 헤드가 록 실린더(750)에 의해 90°회전되어 록핀 수용부(740)의 슬롯부(741)에 걸려 고정되는 경우에 제어부는 기판 수납용기 이송장치(700)가 기판 수납용기(100,100a)에 고정된 상태인 것으로 판단한다.Then, after the frame portion 710 is further lowered so that the twist lock pin 730 is inserted into the slot portion 741 of the lock pin receiving portion 740, the head of the twist lock pin 730 is closed by the lock cylinder 750. When it is rotated and locked to the slot part 741 of the lock pin accommodation part 740, the control unit determines that the substrate storage container transfer device 700 is fixed to the substrate storage containers 100 and 100a.

상기한 기판 수납용기 이송장치(700)가 기판 수납용기(100,100a)에 고정되는 동작을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the substrate storage container transfer apparatus 700 is fixed to the substrate storage containers (100, 100a) as follows.

도 18 내지 도 21은 본 발명의 일 실시예에 따라 트위스트 록핀이 록핀 수용부의 슬롯부에 고정되는 과정을 나타내는 단면도이다.18 to 21 are cross-sectional views illustrating a process in which a twist lock pin is fixed to a slot part of a lock pin accommodation part according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 18에서 도시한 바와 같이, 먼저 기판 수납용기 이송장치의 프레임부(710)를 기판 수납용기(100,100a)의 본체부(200) 상부로 하강시키고, 트위스트 록핀(730)을 록핀 수용부(740)의 슬롯부(741)의 상부에 정렬(align)시킨다.As shown in FIG. 18, first, the frame portion 710 of the substrate storage container transfer device is lowered to the upper portion of the main body 200 of the substrate storage containers 100 and 100a, and the twist lock pin 730 is the lock pin accommodation portion 740. The top of the slot portion 741 of the ().

이때, 프레임부(710)의 하부에 설치된 감지부(760)의 가이드바(761)가 기판 수납용기(100,100a)의 본체부(200,200a)의 상부에 설치된 가이드바 수용부(763)에 삽입된 경우, 감지부(760)의 제어부는 트위스트 록핀(730)이 록핀 수용부(740)의 슬롯부(741)의 상부에 동일선상에 정확히 배치된 것으로 판단한다.At this time, the guide bar 761 of the sensing unit 760 installed below the frame unit 710 is inserted into the guide bar receiving unit 763 installed on the main body parts 200 and 200a of the substrate storage container 100 and 100a. In this case, the control unit of the sensing unit 760 determines that the twist lock pin 730 is disposed exactly on the same line on the upper portion of the slot unit 741 of the lock pin receiving unit 740.

그리고, 도 19에서 도시한 바와 같이, 프레임부(710)를 더욱 하강시켜 트위스트 록핀(730)을 록핀 수용부(740)의 슬롯부(741)에 삽입한다. 이때, 트위스트 록핀(730)은 T형 헤드가 록핀 수용부(740) 내에서 회전될 수 있는 공간부(742)까지 하강된다.As shown in FIG. 19, the frame portion 710 is further lowered to insert the twist lock pin 730 into the slot portion 741 of the lock pin accommodation portion 740. At this time, the twist lock pin 730 is lowered to the space portion 742 that the T-type head can be rotated in the lock pin receiving portion 740.

그리고, 도 20에서 도시한 바와 같이, 록 실린더(750)를 이용하여 트위스트 록핀(730)을 록핀 수용부(740)의 내부 공간부(742)에서 90°회전시킨다.As shown in FIG. 20, the twist lock pin 730 is rotated by 90 ° in the inner space 742 of the lock pin accommodation portion 740 using the lock cylinder 750.

그리고, 도 21에서 도시한 바와 같이, 90°회전된 트위스트 록핀(730)을 상승시켜 록핀 수용부(740)에 T형 헤드가 걸리도록 한다.As shown in FIG. 21, the twist lock pin 730 rotated by 90 ° is raised so that the T-shaped head is caught by the lock pin accommodating part 740.

본 실시예에서와 같이, 트위스트 록핀(730)으로 구성된 트위스트 록핀(730)과 기판 수납용기(100,100a)의 본체부(200,200a)의 상부에 설치된 록핀 수용부(740)의 결합에 의해 기판 수납용기(100,100a)를 견고하게 지지할 수 있음은 물론 용이하게 기판 수납용기(100,100a)를 임의의 공정을 수행할 수 있도록 이송할 수 있다.As in this embodiment, the substrate is accommodated by the combination of the twisted lock pin 730 consisting of a twisted lock pin 730 and the lock pin receiving portion 740 provided on the main body portion 200, 200a of the substrate storage container (100, 100a) Not only can the container 100, 100a be firmly supported, but also the substrate storage container 100, 100a can be easily transported to perform any process.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정 예 또는 변형 예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.As described above, the present invention is not limited to the described embodiments, and various modifications and changes can be made without departing from the spirit and scope of the present invention, which will be apparent to those skilled in the art. Accordingly, such modifications or variations are intended to fall within the scope of the appended claims.

100, 100a: 기판 수납용기 200, 200a: 본체부
300, 300a: 기판 지지부 400, 400a: 도어부
500, 500a: 도어부용 가이드 유닛 600, 600a: 잠금장치
610, 610a: 주 고정유닛 611: 제1 구동기어
612: 제1 종동기어 613: 제1 랙기어
614: 제2 랙기어 615: 자성체
616: 작동레버 630, 630a: 보조 고정유닛
631: 가이드 부재 632: 슬롯부
635: 돌기부 636: 지지체
637: 돌기출부재 700: 기판 수납용기 이송장치
710: 프레임부 720: 고정장치
730: 트위스트 록핀 740: 록핀 수용부
741: 슬롯부 750: 록 실린더
760: 감지부 100, 100a: substrate storage container 200, 200a: main body
300, 300a: substrate support 400, 400a: door
500, 500a: Door unit 600, 600a: Locking device
610, 610a: main fixed unit 611: first drive gear
612: first driven gear 613: first rack gear
614: second rack gear 615: magnetic material
616: operating lever 630, 630a: auxiliary fixing unit
631: guide member 632: slot portion
635: protrusion 636: support
637: protrusion member 700: substrate storage container transfer apparatus
710: frame portion 720: fixing device
730: twisted rock pin 740: rock pin receiving portion
741: slot portion 750: lock cylinder
760: detection unit

Claims (19)

전방에 개구부가 형성되고 기판이 수납되는 본체부;
상기 본체부의 개구부를 개방 및 폐쇄하는 도어부; 및
자성체를 이용하여 비접촉 방식으로 상기 도어부를 상기 본체부에 고정하도록 상기 도어부에 설치된 잠금장치를 포함하는 기판 수납용기.An opening part formed at a front side thereof and having a substrate accommodated therein;
A door part for opening and closing an opening of the main body part; And
And a locking device provided in the door part to fix the door part to the main body part in a non-contact manner by using a magnetic material. 제1항에 있어서,
상기 잠금장치는,
상기 도어부의 내부에 설치되어 상기 자성체를 상기 도어부 내부에서 왕복운동시켜 자력에 의해 상기 도어부가 상기 본체부의 개구부 측에 고정 및 해제되게 하는 주 고정유닛; 및
상기 도어부 내부에 설치되고 상기 주 고정유닛과 연동되어 상기 도어부의 외부로 돌출되어 상기 본체부의 개구부 측에 결합되는 보조 고정유닛을 포함하는 기판 수납용기.The method of claim 1,
The locking device comprises:
A main fixing unit installed inside the door part to reciprocate the magnetic material in the door part to fix and release the door part to the opening side of the main body part by magnetic force; And
And an auxiliary fixing unit installed inside the door unit and interlocked with the main fixing unit to protrude out of the door unit to be coupled to an opening side of the main body unit. 제2항에 있어서,
상기 주 고정유닛은,
상기 도어부 내부에 설치된 제1 구동기어;
상기 도어부 내부에 설치되어 상기 제1 구동기어에 치합된 제1 종동기어;
상기 제1 구동기어에 치합되어 상기 도어부의 내부에서 수평방향으로 왕복운동하는 제1 랙기어;
상기 제1 종동기어에 치합되어 상기 도어부의 내부에서 수직방향으로 왕복운동하는 제2 랙기어; 및
상기 제1 및 제2 랙기어의 일측면에 각각 설치된 자성체를 포함하는 기판 수납용기.The method of claim 2,
The main fixed unit,
A first drive gear installed in the door part;
A first driven gear installed in the door part and engaged with the first driving gear;
A first rack gear meshed with the first drive gear and reciprocating in a horizontal direction in the door part;
A second rack gear meshed with the first driven gear to reciprocate vertically in the door part; And
Substrate storage container including a magnetic material provided on each side of the first and second rack gear. 제3항에 있어서,
상기 제1 구동기어에는 상기 도어부의 외부로 돌출되게 작동레버가 설치된 것을 특징으로 하는 기판 수납용기.The method of claim 3,
The first driving gear is a substrate storage container, characterized in that the operating lever is installed to protrude to the outside of the door portion. 제3항에 있어서,
상기 자성체는 상기 제1 및 제2 랙기어의 일측면에 일정간격 이격되게 복수개 설치되고,
상기 복수의 자성체와 동일선 상에 정렬되도록 상기 본체부 개구부 측 테두리부에는 상기 복수의 자성체와 동일한 간격으로 복수의 스틸블록이 설치된 것을 특징으로 하는 기판 수납용기.The method of claim 3,
The magnetic material is provided in plural to be spaced apart at regular intervals on one side of the first and second rack gear,
And a plurality of steel blocks at the same interval as that of the plurality of magnetic bodies, the main body opening-side edge portion being aligned with the plurality of magnetic bodies on the same line. 제2항에 있어서,
상기 보조 고정유닛은,
상기 주 고정유닛과 연동되어 상기 도어부 외부로 출몰하여 상기 본체부에 결합되는 돌기부; 및
상기 주 고정유닛에 결합되어 왕복운동함에 따라 상기 돌기부가 상기 도어부 외부로 출몰되도록 안내하는 가이드 부재를 포함하는 기판 수납용기.The method of claim 2,
The auxiliary fixing unit,
A protrusion coupled to the main body by being interlocked with the main fixing unit and protruding out of the door; And
And a guide member coupled to the main fixing unit to guide the protrusion to the outside of the door as the reciprocating motion is performed. 제6항에 있어서,
상기 돌기부는,
상기 도어부의 외부로 돌출되는 돌출부재; 및
상기 돌출부재의 저면을 지지하는 지지체를 포함하며,
상기 가이드 부재에는 아래방향으로 경사진 슬롯부가 형성되고, 상기 지지체는 상기 슬롯부의 경사면을 따라 슬라이딩되면서 상기 돌출부재를 출몰되게 하는 것을 특징으로 하는 기판 수납용기.The method according to claim 6,
The protruding portion
A protruding member protruding to the outside of the door part; And
It includes a support for supporting the bottom of the protruding member,
The guide member is provided with a slot portion inclined downward, the support is a substrate storage container, characterized in that the protruding member is protruded while sliding along the inclined surface of the slot portion. 제1항에 있어서,
상기 자성체는 영구자석인 것을 특징으로 하는 기판 수납용기.The method of claim 1,
The magnetic body is a substrate storage container, characterized in that the permanent magnet. 전방에 개구부가 형성되고 기판이 수납되는 본체부;
상기 본체부의 개구부를 개방 및 폐쇄하는 도어부; 및
온/오프 동작에 의해 자성을 갖는 마그넷 베이스 블록을 이용하여 비접촉 방식으로 상기 도어부를 상기 본체부에 고정하도록 상기 도어부에 설치된 잠금장치를 포함하는 기판 수납용기.An opening part formed at a front side thereof and having a substrate accommodated therein;
A door part for opening and closing an opening of the main body part; And
And a locking device provided in the door part to fix the door part to the main body part in a non-contact manner by using a magnet base block having magnetic properties by an on / off operation. 제9항에 있어서,
상기 잠금장치는,
상기 도어부 내부에 설치되어 상기 마그넷 베이스 블록을 온/오프 시켜 자력에 의해 상기 도어부가 상기 본체부의 개구부 측에 고정 및 해제되게 하는 주 고정유닛; 및
상기 도어부 내부에 설치되고 상기 주 고정유닛과 연동되어 상기 도어부의 외부로 돌출되어 상기 본체부의 개구부 측에 결합되는 보조 고정유닛을 포함하는 기판 수납용기.10. The method of claim 9,
The locking device comprises:
A main fixing unit installed inside the door part to turn on / off the magnet base block so that the door part is fixed and released to the opening side of the main body part by magnetic force; And
And an auxiliary fixing unit installed inside the door unit and interlocked with the main fixing unit to protrude out of the door unit to be coupled to an opening side of the main body unit. 제10항에 있어서,
상기 주 고정유닛은,
상기 도어부 내부에 설치된 제1 구동기어;
상기 도어부 내부에 설치되고 상기 제1 구동기어에 치합된 제1 종동기어;
상기 도어부의 테두리부에 설치된 마그넷 베이스 블록; 및
상기 제1 종동기어에 연동되어 상기 마그넷 베이스 블록을 온/오프 시키는 다절 링크부재를 포함하는 기판 수납용기.The method of claim 10,
The main fixed unit,
A first drive gear installed in the door part;
A first driven gear installed inside the door part and engaged with the first driving gear;
A magnet base block installed at an edge of the door part; And
A substrate storage container including a multi-link member for interlocking with the first driven gear to turn on / off the magnet base block. 제11항에 있어서,
상기 다절 링크부재는,
상기 제1 종동기어에 결합되고 상기 도어부의 내부에 수평되게 배치된 제1 링크부재; 및
상기 제1 종동기어에 결합되고 상기 도어부의 내부에 수직되게 배치된 제2 링크부재를 포함하며,
상기 제1 및 제2 링크부재는 상기 도어부의 테두리부를 따라 일정간격 이격되게 복수개 설치된 상기 마그넷 베이스 블록을 온/오프 시키는 스위치와 연결된 것을 특징으로 하는 기판 수납용기.The method of claim 11,
The multi-link member,
A first link member coupled to the first driven gear and horizontally disposed inside the door part; And
A second link member coupled to the first driven gear and disposed vertically in the door part;
And the first and second link members are connected to a switch for turning on / off the plurality of magnet base blocks installed at a predetermined interval along the edge of the door part. 제11항에 있어서,
상기 제1 구동기어에는 상기 도어부의 외부로 돌출되게 작동레버가 설치된 것을 특징으로 하는 기판 수납용기.The method of claim 11,
The first driving gear is a substrate storage container, characterized in that the operating lever is installed to protrude to the outside of the door portion. 제10항에 있어서,
상기 보조 고정유닛은,
상기 주 고정유닛과 연동되어 상기 도어부 상부에서 외부로 출몰하여 상기 본체부에 결합되는 제1 돌출부재; 및
상기 주 고정유닛과 연동되어 상기 도어부 하부에서 외부로 출몰하여 상기 본체부에 결합되는 제2 돌출부재를 포함하는 기판 수납용기.The method of claim 10,
The auxiliary fixing unit,
A first protruding member interlocked with the main fixing unit and protruded from the upper part of the door to the outside to be coupled to the main body; And
And a second protruding member interlocked with the main fixing unit to protrude outward from the lower part of the door and coupled to the main body. 제1항 또는 제9항에 있어서,
상기 본체부는,
복수의 홀부가 형성된 메인 프레임; 및
상기 메인 프레임의 홀부에 설치되어 상기 메인 프레임의 내부를 밀폐시키는 커버부재를 포함하며,
상기 커버부재는,
판 형상의 커버 플레이트; 및
상기 커버 플레이트의 테두리부에 일측부가 삽입되고, 타측부가 상기 메인 프레임에 형성된 홀부의 테두리부에 삽입된 실링부재를 포함하는 기판 수납용기.10. The method of claim 1 or 9,
Wherein,
A main frame having a plurality of holes formed therein; And
A cover member installed in the hole of the main frame to seal the inside of the main frame,
The cover member
Plate-shaped cover plate; And
And a sealing member having one side portion inserted into an edge portion of the cover plate and the other side portion inserted into an edge portion of a hole portion formed in the main frame. 제1항 또는 제9에 있어서,
상기 본체부의 내부에 설치되어 수납된 기판을 지지하는 기판 지지부를 더 포함하며,
기판 지지부는,
상기 본체부의 내부 양측벽에서 돌출되게 설치되어 기판의 저면 테두리부를 지지하는 복수의 측면 지지바; 및
상기 본체부의 내부 후방벽에 상기 본체부의 높이방향으로 결합된 지지축와, 상기 지지축의 길이방향을 따라 상기 본체부의 전방 개구부 방향으로 돌출되게 설치된 복수의 고정바를 구비하여 기판의 저면을 지지하는 중앙지지바를 포함하는 기판 수납용기.The method according to claim 1 or 9,
Further comprising a substrate support for supporting a substrate installed in the body portion accommodated,
The substrate support part,
A plurality of side support bars installed to protrude from both inner walls of the main body to support the bottom edge of the substrate; And
A support shaft coupled to the inner rear wall of the main body in the height direction of the main body, and a plurality of fixing bars protruding in the direction of the front opening of the main body along the longitudinal direction of the support shaft; Substrate storage container containing. 제16항에 있어서,
상기 복수의 측면 지지바 각각과 상기 복수의 고정바 각각은 기판이 수평인 상태로 수납되도록 동일 평면 상에 배치된 것을 특징으로 하는 기판 수납용기.17. The method of claim 16,
Each of the plurality of side support bars and the plurality of fixing bars are arranged on the same plane so that the substrate is received in a horizontal state. 제1항에 있어서,
상기 도어부는,
내부공간이 형성된 케이스 하우징;
상기 케이스 하우징에 관통되게 설치된 필터유닛;
상기 케이스 하우징에 설치된 도어 개폐기용 위치 결정핀 수용부; 및
상기 케이스 하우징에 설치된 견시창을 포함하는 기판 수납용기.The method of claim 1,
The door portion
A case housing in which an inner space is formed;
A filter unit installed to penetrate the case housing;
Positioning pin receiving portion for the door opener installed in the case housing; And
Substrate storage container comprising a viewing window installed in the case housing. 제1항에 있어서,
상기 도어부를 상기 본체부의 개구부에 대하여 안내 및 위치 설정하는 도어부용 가이드 유닛을 더 포함하며,
상기 도어부용 가이드 유닛은,
상기 도어부의 테두리부에 돌출되게 설치된 복수의 돌출부; 및
상기 본체부 개구부 측 테두리부에 돌출되게 설치되어 상기 복수의 돌출부의 진행경로 및 위치설정을 안내하는 복수의 돌출안착부를 포함하며,
상기 도어부가 상기 본체부의 개구부 측에 밀착되는 경우에 상기 돌출부와 상기 돌출안착부는 상호 접촉지지되는 것을 특징으로 하는 기판 수납용기.The method of claim 1,
And a door unit guide unit configured to guide and position the door unit with respect to the opening of the main body unit.
The door guide unit,
A plurality of protrusions protruding from an edge of the door part; And
A plurality of protrusion seating parts protruding from the main body part opening side edge part to guide the progress paths and the positioning of the plurality of protrusions;
And the protruding portion and the protruding seating portion are in contact with each other when the door portion is in close contact with the opening side of the main body portion.
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102498995B1 (en) 2020-11-30 2023-02-13 주식회사 삼에스코리아 Tray bonding structure of panel storage container
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KR102446066B1 (en) 2021-04-22 2022-09-23 주식회사 삼에스코리아 Tray installed in the panel storage container

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5788082A (en) * 1996-07-12 1998-08-04 Fluoroware, Inc. Wafer carrier
JP3904772B2 (en) * 1999-09-30 2007-04-11 信越ポリマー株式会社 Precision substrate storage container
US20070175792A1 (en) * 2006-02-02 2007-08-02 Barry Gregerson Magnetic seal for wafer containers
US8424703B2 (en) * 2008-05-01 2013-04-23 Brooks Automation, Inc. Substrate container sealing via movable magnets

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9627236B2 (en) 2014-04-11 2017-04-18 Semes Co., Ltd. Substrate treating apparatus

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