KR20070021733A - Cassette for loading plates - Google Patents

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Abstract

본 발명은 LCD, PDP, OLED 등의 FPD(Flat Panel Display)의 제작을 위한 유리기판 등의 기판의 보관 또는 반송시 외부환경에 기판이 노출되지 않게 하기 위해 밀폐가 가능하도록 전면부에 밀폐도어를 가지는 기판수납용 카세트에 관한 것이다.The present invention provides a sealed door on the front portion to enable the sealing to prevent the substrate from being exposed to the external environment during the storage or transport of the substrate such as glass substrate for the production of flat panel display (FPD) such as LCD, PDP, OLED The branch relates to a cassette for storing a substrate.

LCD, PDP, OLED, 유리기판, 카세트, 적재, 밀폐 LCD, PDP, OLED, Glass Substrate, Cassette, Loading, Airtight

Description

기판수납용 카세트{Cassette for loading plates}Cassette for loading plates

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판수납용 카세트의 분해사시도1 is an exploded perspective view of a cassette for storing a substrate according to an embodiment of the present invention;

도 2는 도 1의 절단 분해사시도Figure 2 is an exploded perspective view of Figure 1

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판수납용 카세트의 사시도3 is a perspective view of a substrate storage cassette according to an embodiment of the present invention;

도 4는 도 3의 정면도4 is a front view of FIG. 3

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10: 유리판 100: 카세트하우징10: glass plate 100: cassette housing

110: 컬럼 120: 카세트사이드바110: column 120: cassette sidebar

200: 밀폐용기 210: 연통구200: airtight container 210: communication port

220: 밀폐용기커버220: airtight container cover

본 발명은 기판수납용 카세트에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 보관 또는 반 송시 외부환경에 기판이 노출되지 않게 하기 위해 밀폐가 가능하도록 전면부에 밀폐도어를 가지는 기판수납용 카세트에 관한 것이다.The present invention relates to a cassette for storing a substrate, and more particularly, to a substrate storage cassette having a sealing door in a front portion to be sealed so that the substrate is not exposed to the external environment during storage or transport.

상기 기판수납용 카세트는 LCD, PDP 등의 FPD(Flat Panel Display)의 제작을 위한 유리기판 등의 기판의 반송, 보관용으로서 사용된다. The substrate storage cassette is used for transporting and storing a substrate such as a glass substrate for manufacturing a flat panel display (FPD) such as an LCD and a PDP.

상기 유리기판은 고정밀도가 요구되는 제품으로서, 외부의 먼지 등으로부터 격리되어야만 우수한 품질의 FPD를 제작할 수 있다.The glass substrate is a product that requires high precision, and can be manufactured in excellent quality FPD only when it is isolated from external dust.

그러나, 현재의 유리기판을 저장하는 기판수납용 카세트는 현재 상판과 하판만 플레이트로 되어 먼지가 쌓이는 것을 방지할 뿐이며, 기판수납용 카세트의 입구는 대기(大氣)에 접촉한 상태로 된다.However, the substrate storage cassette for storing the current glass substrate is currently only the upper plate and the lower plate to prevent the accumulation of dust, and the inlet of the substrate storage cassette is in contact with the atmosphere.

이 때, 클린 룸(clean room) 내의 대기상태로 노출시 미세선폭으로의 기술개발의 추이로 볼 때 Particle(분진)에 의한 공정 불량이 점점 늘어나는 추세이다. 이를 근본적으로 불량감소 또는 억제하기 위하여 본 발명이 필요하게 되었다. 또한, 상기 유리 기판을 Clean Room 의 정도가 낮은 등급 하 에서 반송할 경우에는 상기 유리기판에 먼지 등이 부착되어 반송작업 후, 상기 유리기판을 세정하여야 하는 문제점이 발생할 수 있다.At this time, the process defects caused by particles (dust) are gradually increasing in view of the development of technology to fine line width when exposed to the atmosphere in a clean room. In order to fundamentally reduce or suppress the defects, the present invention is required. In addition, when the glass substrate is conveyed under a low degree of clean room, dust or the like may be attached to the glass substrate, and thus, the glass substrate may be cleaned after the conveyance operation.

상기의 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명의 목적은, 보관 또는 반송시 외부환경에 기판이 노출되지 않게 하기 위해 밀폐가 가능하도록 전면부에 밀폐도어를 가지는 기판수납용 카세트를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention devised to solve the above problems is to provide a cassette for storing a substrate having a sealed door on its front side to be sealed to prevent the substrate from being exposed to the external environment during storage or transportation.

본 발명의 또 다른 목적은, 밀폐가 가능한 기판수납용 카세트의 내부에 청정공기 또는 질소공기를 주입하거나, 내부의 공기를 제거하여 진공상태로 만들 수 있는 연통구가 설치된 기판수납용 카세트를 제공하는 것이다. It is still another object of the present invention to provide a substrate storage cassette provided with a communication port for injecting clean air or nitrogen air into a sealable substrate storage cassette or removing the air therein to make a vacuum state. will be.

본 발명의 또 다른 목적은, 불량요소의 하나인 산화방지를 위하여 공기 중의 산소(O2)를 최소화 하기위한 용기를 제공하는 것이다.Still another object of the present invention is to provide a container for minimizing oxygen (O 2) in the air to prevent oxidation, which is one of the defective elements.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 몸체를 이루는 밀폐용기와, 상기 밀폐용기의 측부에 배설되어 기판을 지지하는 다수의 카세트사이드바와, 상기 밀폐용기의 개구부를 기밀하도록 밀폐할 수 있는 밀폐도어를 포함하는 기판수납용 카세트이다.The present invention for achieving the above object is a sealed container constituting the body, a plurality of cassette side bars disposed on the side of the sealed container to support the substrate, and an airtight door capable of sealing the airtight opening of the sealed container. It is a cassette for storing a substrate comprising a.

상기 밀폐용기의 벽부에는 상기 밀폐용기의 내부와 연통되는 연통구가 설치되는 것을 특징으로 한다.The wall of the sealed container is characterized in that the communication port communicated with the inside of the sealed container is installed.

또, 상기 연통구에는 청정공기공급장치, 질소가스공급장치, 진공장치 중 어느 하나가 선택적으로 연결되는 것을 특징으로 한다.In addition, the communication port is characterized in that any one of a clean air supply device, nitrogen gas supply device, a vacuum device is selectively connected.

또, 상기 밀폐도어는 미닫이형식, 슬라이딩형식, 완전분리형식 중 어느 하나로 선택되어 설치되는 것을 특징으로 한다.In addition, the closed door is characterized in that the installation is selected from any one of the sliding type, sliding type, complete separation type.

또, 상기 밀폐도어는 잠금장치가 설치되는 것을 특징으로 한다.In addition, the closed door is characterized in that the locking device is installed.

또, 상기 밀폐도어의 외벽면에 고유인식장치가 설치되는 것을 특징으로 한다.In addition, the intrinsic recognition device is installed on the outer wall surface of the sealed door.

이하, 본 발명을 실시예 및 도면을 통하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail through examples and drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판수납용 카세트의 분해사시도이고, 도 2는 도 1의 절단 분해사시도이다.1 is an exploded perspective view of a substrate storage cassette according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is an exploded perspective view of FIG.

본 발명의 기판수납용 카세트는 크게 개구부를 가지는 밀폐용기(200)와, 상기 밀폐용기(200)의 개구부를 밀폐하는 밀폐도어(220)와, 상기 밀폐용기(200) 내부에 형성되는 유리기판 등의 기판(10)을 수납할 수 있는 지지수단을 포함하여 구성된다.The substrate storage cassette of the present invention includes a sealed container 200 having a large opening, a sealed door 220 sealing the opening of the sealed container 200, a glass substrate formed in the sealed container 200, and the like. It comprises a support means for accommodating the substrate 10 of the.

따라서, 상기와 같은 구성에 의해, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 밀폐도어(220)가 상기 밀폐용기(220)의 개구부를 밀폐한 상태를 유지할 수 있으며, 이를 정면에서 본 모습이 도 4에 도시되었다. Therefore, by the configuration as described above, as shown in FIG. 3, the airtight door 220 may maintain a state in which the opening of the airtight container 220 is sealed. Has been shown.

상기 밀폐용기(200)는 투명한 재료로 제작되는 것이, 내부의 기판이 적재된 모습을 관찰할 수 있어서, 작업현장에서 기판의 재고량 등을 파악하기 용이하므로 바람직하다.The sealed container 200 is preferably made of a transparent material, it is possible to observe the state that the internal substrate is loaded, it is easy to grasp the inventory amount of the substrate at the work site.

상기 밀폐용기(200)는 적재가 용이한 육방형인 것이 바람직하다.The sealed container 200 is preferably a hexagonal shape easy to load.

상기 밀폐도어(220)는 상기 밀폐용기(200)에 밀폐가 용이하도록 단차를 두어 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 상기 밀폐도어(220)의 외측둘레부에 상기 밀폐용기(200)의 개구부와 밀착하여 기밀되도록 시일부재를 설치할 수 있다.The sealed door 220 is preferably formed by placing a step in the closed container 200 to facilitate sealing. In addition, the sealing member may be installed to be in close contact with the opening of the sealed container 200 in the outer peripheral portion of the sealed door 220 to be airtight.

또한, 상기 시일부재의 성능을 높이기 위해, 상기 밀폐도어(220)의 단면적을 확장시킬 수 있는 공지의 확장수단을 설치할 수 있다.In addition, in order to increase the performance of the sealing member, it is possible to install a known expansion means that can expand the cross-sectional area of the sealed door 220.

상기 확장수단으로는 상기 밀폐도어(220)의 외측에 공기를 주입할 수 있는 튜브를 설치하고, 상기 튜브 내에 압축공기를 주입하는 방법 등을 사용할 수 있다.As the expansion means, a tube capable of injecting air may be installed outside the sealed door 220 and a method of injecting compressed air into the tube may be used.

본 발명의 실시예의 상기 밀폐도어(220)는 상기 밀폐용기(200)와 완전 분리되는 완전분리형식으로써, 상기 밀폐도어(220)의 개폐수단은 공지의 로봇 등을 이용하여 상기 밀폐용기(200)에 대하여 일단 외측으로 당겨진 후, 상측, 하측, 좌측, 우측 중 어느 한 방향으로 이동시켜 상기 밀페용기(200)를 개방할 수 있다. 그리고, 그 반대의 순으로 하여 상기 밀폐용기(200)를 폐쇄할 수 있다.The sealed door 220 of the embodiment of the present invention is a fully separated type to be completely separated from the sealed container 200, the opening and closing means of the sealed door 220 is a sealed container 200 using a known robot or the like. Once the outer side with respect to, and then move in any one of the upper side, the lower side, the left side, the right side can open the hermetic container 200. Then, the airtight container 200 can be closed in the reverse order.

상기 공지의 로봇은 예를 들어 흡착수단을 가지는 앤드이펙터가 장착되어, 상기 밀폐도어(220)를 흡착하여 고정한 후, 이를 임의의 위치까지 이동할 수 있는 로봇이다.The known robot is, for example, a robot equipped with an end effector having an adsorption means to adsorb and fix the airtight door 220 and then move it to an arbitrary position.

물론, 상기 밀폐용기(200) 자체에 상기 밀폐도어(220)를 개폐할 수 있는 공지의 유압액츄에이터 등의 개폐수단을 장착하는 것도 가능하다.Of course, it is also possible to mount the opening and closing means such as a known hydraulic actuator that can open and close the closed door 220 in the closed container 200 itself.

상기 밀폐용기(200)의 개구부를 개폐하는 밀폐도어의 다른 형태는, 하나 또는 2개의 도어로 구성되어 상기 밀폐용기(200)와 회전힌지되어 개방되는 미닫이형식, 상기 밀폐용기(200)에 대하여 수평방향으로 움직이도록 가이드 및 슬라이더가 장착된 슬라이딩형식을 포함할 수 있다.Another form of the airtight door for opening and closing the opening of the airtight container 200 is a sliding type that is composed of one or two doors and is rotated and hinged to the airtight container 200, horizontal to the airtight container 200. It may include a sliding type mounted with a guide and a slider to move in the direction.

또한, 본 발명의 실시예는 상기 밀폐용기(200) 내부에 카세트 하우징(100) 및 다수의 컬럼(110)을 설치하고, 상기 컬럼(110)에 기판의 지지수단인 다수의 카세트 사이드바(120)를 설치하여, 기존의 기판수납용 카세트를 이용할 수 있도록 하였다.In addition, the embodiment of the present invention installs a cassette housing 100 and a plurality of columns 110 inside the hermetically sealed container 200, and a plurality of cassette sidebars 120 serving as substrate support means in the column 110. ), It was possible to use the existing substrate storage cassettes.

상기 카세트 사이드바(120)는 일정한 높이간격(피치)을 두고 설치되며, 상기 피치는 상기 카세트 사이드바(120)에 놓일 유리기판의 휨을 고려하여 결정된다. The cassette sidebar 120 is installed at a constant height interval (pitch), the pitch is determined in consideration of the bending of the glass substrate to be placed on the cassette sidebar 120.

또한, 상기 밀폐용기(200)의 외벽면에 밀폐용기의 고유번호 인식장치(2차원,3차원코드,전기장안테나, RFID 등)를 설치하여 자동화 장치 운용시 가능토록한다.In addition, a unique number recognition device (2D, 3D code, electric field antenna, RFID, etc.) of the airtight container is installed on the outer wall of the airtight container 200 to enable the operation of the automated device.

상기 밀폐용기(200)의 측면에는 연통구(210)가 설치된다.The communication port 210 is installed on the side of the sealed container 200.

또한, 상기 밀폐용기(200)와 상기 밀폐도어(220)가 특정한 자 이외의 자가 개방할 수 없도록 하거나, 반송시 충격 등으로 쉽게 열리지 않도록 잠금장치가 설치되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the sealing container 200 and the sealing door 220 is installed so that a person other than a specific person can not be opened, or is not easily opened due to impact during transportation.

상기 잠금장치의 일반적인 도어의 잠금장치에 사용되는 잠금쇠와 같은 공지의 기술을 사용할 수 있다.Known techniques such as clasps used in the locking device of the general door of the locking device can be used.

상기 연통구(210)는 상기 밀폐용기(200)의 내부와 외부를 연결할 수 있는 통로로써, 공지의 청정공기공급장치, 불활성기체공급장치, 진공장치 중 어느 하나가 연결될 수 있다.The communication port 210 is a passage for connecting the inside and the outside of the sealed container 200, any one of a known clean air supply device, inert gas supply device, a vacuum device may be connected.

즉, 상기 청정공기공급장치는 상기 밀폐용기(200)의 개구부가 닫히기 전에 내부에 청정공기를 불어넣어, 상기 밀폐용기(200) 내부의 먼지를 깨끗하게 제거할 수 있도록 하고, 이 상태에서 상기 밀폐도어(220)를 닫아 청정상태를 유지하도록 한다.That is, the clean air supply device blows clean air into the inside of the airtight container 200 before the opening of the airtight container 200 is closed, so that dust in the airtight container 200 can be removed cleanly. Close 220 to maintain a clean state.

또한, 상기 불활성기체공급장치는 상기 청정공기공급장치에 의해 공기를 불어넣을 경우에 공기와 기판이 접촉하여 화학변화가 발생할 수 있으므로, 청정공기 대신에 헬륨, 질소 등의 불활성기체를 상기 밀폐도어(220) 내부에 불어 넣어 상기 화학변화를 방지하도록 한다.In addition, in the inert gas supply device, when the air is blown by the clean air supply device, chemical contact may occur due to contact between air and the substrate. Therefore, inert gas such as helium, nitrogen, or the like may be used instead of the clean air. 220) Blow into the inside to prevent the chemical change.

그리고, 상기 진공장치는 상기 밀폐용기(200) 내부의 공기를 제거하여, 보다 적극적으로 공기와 기판이 접촉하여 발생할 수 있는 화학변화를 방지할 수 있도록 한다.In addition, the vacuum device removes the air inside the sealed container 200 to more effectively prevent chemical changes that may occur due to the contact between the air and the substrate.

본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.The present invention is not limited to the above-described specific preferred embodiments, and various modifications can be made by any person having ordinary skill in the art without departing from the gist of the present invention claimed in the claims. Of course, such changes will fall within the scope of the claims.

본 발명을 통하여 LCD, PDP, OLDE 등의 FPD의 제작을 위한 유리기판 등의 기판의 반송, 보관시 외부환경에 기판이 노출되지 않도록 할 수 있다.Through the present invention, it is possible to prevent the substrate from being exposed to the external environment during the transport and storage of a substrate such as a glass substrate for manufacturing FPDs such as LCD, PDP, and OLDE.

따라서, 본 발명을 사용하는 유리기판은 먼지의 부착을 극소화하여 제품의 완성도를 높일 수 있으며, 유리기판에 부착되는 먼지를 제거하기 위한 세정공정이 생략될 수 있어서, 제품의 제작비용을 절감시킬 수 있다. Therefore, the glass substrate using the present invention can minimize the adhesion of dust to increase the completeness of the product, the cleaning process for removing the dust attached to the glass substrate can be omitted, thereby reducing the production cost of the product have.

Claims (6)

몸체를 이루는 밀폐용기와, 상기 밀폐용기의 측부에 배설되어 기판을 지지하는 다수의 카세트사이드바와, 상기 밀폐용기의 개구부를 기밀하도록 밀폐할 수 있는 밀폐도어를 포함하는 기판수납용 카세트.And a sealed container constituting a body, a plurality of cassette side bars disposed on the side of the sealed container and supporting the substrate, and a sealed door capable of sealing the opening of the sealed container. 제1항에 있어서, 상기 밀폐용기의 벽부에는 상기 밀폐용기의 내부와 연통되는 연통구가 설치되는 것을 특징으로 하는 기판수납용 카세트.2. The substrate storage cassette according to claim 1, wherein a communication port communicating with the inside of the sealed container is provided at a wall of the sealed container. 제2항에 있어서, 상기 연통구에는 청정공기공급장치, 불활성기체공급장치, 진공장치 중 어느 하나가 선택적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 기판수납용 카세트.3. The substrate storage cassette of claim 2, wherein one of the clean air supply device, the inert gas supply device, and the vacuum device is selectively connected to the communication port. 제1항에 있어서, 상기 밀폐도어는 미닫이형식, 슬라이딩형식, 완전분리형식 중 어느 하나로 선택되어 설치되는 것을 특징으로 하는 기판수납용 카세트.2. The substrate storage cassette of claim 1, wherein the sealed door is selected and installed in one of a sliding type, a sliding type, and a fully separated type. 제1항에 있어서, 상기 밀폐도어는 잠금장치가 설치되는 것을 특징으로 하는 기판수납용 카세트.The method of claim 1, wherein the sealed door is a substrate storage cassette, characterized in that the locking device is installed. 제1항에 있어서, 상기 밀폐도어의 외벽면에 고유인식장치가 설치되는 것을 특징으로 하는 기판수납용 카세트.2. The substrate storage cassette according to claim 1, wherein a unique recognition device is provided on an outer wall surface of the sealed door.
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US8733547B2 (en) 2011-07-07 2014-05-27 Samsung Display Co., Ltd. Cassette for accomodating substrates

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