KR20120120105A - 식각액 관리 시스템, 식각 장치 및 이에 의한 식각액 관리 방법 - Google Patents

식각액 관리 시스템, 식각 장치 및 이에 의한 식각액 관리 방법 Download PDF

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KR20120120105A
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Abstract

본 발명은, 식각액을 보관하는 제1식각액보관탱크; 상기 제1식각액보관탱크에 연결된 식각액폐기라인; 상기 제1식각액보관탱크에 보관된 식각액의 흡광도를 측정하여, 상기 제1식각액보관탱크에 보관된 식각액의 상태를 분석하는 식각액분석장치; 상기 제1식각액보관탱크와 연결된 제2식각액보관탱크; 상기 제2식각액보관탱크와 연결된 식각기; 및 상기 식각액분석장치의 분석결과에 따라 상기 제1식각액보관탱크의 식각액을 상기 식각액폐기라인과 상기 제2식각액보관탱크 중 어느 하나로 이송하도록 제어하는 제어부를 포함하는 식각액 관리 시스템, 식각 장치 및 이에 의한 식각액 관리 방법을 제공한다.

Description

식각액 관리 시스템, 식각 장치 및 이에 의한 식각액 관리 방법{ETCHING SOLUTION CONTROL SYSTEM AND ETCHING APPARATUS AND ETCHING SOLUTION CONTROL METHOD THEREOF}
본 발명은, 식각액의 농도변화에 따른 색변화도를 실시간으로 자동분석하여 식각액의 보관 및 교환 시점을 포함한 사용기준을 설정하여 식각액을 관리할 수 있는 식각액 관리 시스템, 식각 장치 및 이에 의한 식각액 관리 방법에 관한 것이다.
반도체 소자, 액정표시장치 등의 제조공정 중 식각공정에는 다양한 종류의 식각액이 사용되는데, 이러한 식각액은 식각주성분인 산과, 각종 첨가제로 구성된다.
그러나, 이러한 식각액의 성능변화를 관리하여 안정적인 에칭액을 공급하는 시스템이 존재하지 않으므로, 잘못 관리할 경우 시간 및 온도에 따라서 상기 조성이 변하여 초기 상태의 식각액에 비해 색상 변화가 나타날 수 있다. 만약 이러한 식각액으로 액정표시장치의 어레이 기판을 식각하게 되면 식각불량이 발생하게 되고, 이러한 불량은 식각공정을 마친 후에야 검출되어 불량 처리될 수 밖에 없거나 액정표시장치의 어레이 기판을 재생(Rework)하여 사용할 수 밖에 없었다.
따라서, 본 발명의 목적은, 식각액의 농도변화에 따른 색변화도를 실시간으로 자동분석하여 식각액의 보관 및 교환 시점을 포함한 사용기준을 설정하여 식각액을 관리할 수 있는 식각액 관리 시스템, 식각 장치 및 이에 의한 식각액 관리 방법을 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 하나의 실시 상태는 식각액을 보관하는 제1식각액보관탱크; 상기 제1식각액보관탱크에 연결된 식각액폐기라인; 상기 제1식각액보관탱크에 보관된 식각액의 흡광도를 측정하여, 상기 제1식각액보관탱크에 보관된 식각액의 상태를 분석하는 식각액분석장치; 상기 제1식각액보관탱크와 연결된 제2식각액보관탱크; 상기 제2식각액보관탱크와 연결된 식각기; 및 상기 식각액분석장치의 분석결과에 따라 상기 제1식각액보관탱크의 식각액을 상기 식각액폐기라인과 상기 제2식각액보관탱크 중 어느 하나로 이송하도록 제어하는 제어부를 포함하는 식각액 관리 시스템을 제공한다.
여기서, 상기 식각액분석장치는 상기 제1식각액보관탱크의 식각액이 유입되는 플로우셀; 상기 플로우셀의 식각액에 측정광을 조사하는 광원부; 상기 플로우셀의 식각액의 흡광도를 측정하는 분광기; 및 상기 분광기에서 측정된 흡광도 측정값을 기초로 하여 흡광도환산값을 계산하여 출력하는 식각액분석제어부를 포함할 수 있다.
그리고, 본 발명에 따른 식각액 관리 시스템은 상기 제1식각액보관탱크의 식각액을 상기 플로우셀로 공급하는 플로우셀공급라인; 및 상기 플로우셀의 식각액을 상기 제1식각액보관탱크로 공급하는 제1식각액보관탱크공급라인을 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 제어부는, 상기 식각액분석제어부에서 출력된 데이터에 기초하여 상기 흡광도환산값이 10 이상인 경우 상기 제1식각액보관탱크의 식각액을 상기 제2식각액보관탱크로 이송시키고, 상기 흡광도환산값이 10미만인 경우 상기 제1식각액보관탱크의 식각액을 상기 식각액폐기라인으로 방출하도록 제어한다. 여기서, 초기 상기 제1식각액보관탱크에 보관되는 식각액의 흡광도환산값을 초기 흡광도환산값이라고 하였을 때, 상기 플로우셀로 공급된 식각액의 흡광도환산값은 초기 흡광도환산값을 초과하지 않는다. 상기 초기 흡광도환산값은 상기 제1식각액보관탱크에 보관되는 식각액의 종류에 따라 그 값이 다 다르다.
본 발명에 따른 식각액 관리 시스템은 상기 제2식각액보관탱크에 보관된 식각액의 흡광도를 측정하여 상기 제2식각액보관탱크에 보관된 식각액의 상태를 분석하는 추가의 식각액분석장치; 및 상기 제2식각액보관탱크에 연결된 추가의 식각액폐기라인을 더 포함할 수 있다.
이때, 상기 제어부는 상기 추가의 식각액분석장치의 분석결과에 따라 상기 제2식각액보관탱크의 식각액을 상기 추가의 식각액폐기라인과 상기 식각기 중 어느 하나로 이송하도록 제어할 수 있다.
여기서, 상기 추가의 식각액분석장치는 상기 제2식각액보관탱크의 식각액이 유입되는 추가의 플로우셀; 상기 추가의 플로우셀의 식각액에 측정광을 조사하는 추가의 광원부; 상기 추가의 플로우셀의 식각액의 흡광도를 측정하는 추가의 분광기; 및 상기 추가의 분광기에서 측정된 흡광도 측정값을 기초로 하여 흡광도환산값을 계산하여 출력하는 추가의 식각액분석제어부를 포함한다.
그리고 본 발명에 따른 식각액 관리 시스템은 상기 제2식각액보관탱크의 식각액을 상기 추가의 플로우셀로 공급하는 추가의 플로우셀공급라인; 및 상기 추가의 플로우셀의 식각액을 상기 제2식각액보관탱크로 공급하는 추가의 제2식각액보관탱크공급라인을 더 포함할 수 있다.
이때, 상기 제어부는, 상기 추가의 식각액분석제어부에서 출력된 데이터에 기초하여 상기 흡광도환산값이 10이상인 경우 상기 제2식각액보관탱크의 식각액을 상기 식각기로 이송시키고, 상기 흡광도환산값이 10미만인 경우 상기 제2식각액보관탱크의 식각액을 상기 추가의 식각액폐기라인으로 방출하도록 제어한다.
한편, 상기 식각액은 과산화수소를 포함하는 식각액일 수 있으며,한 예로, 상기 식각액은 조성물의 총 중량에 대해 5 내지 15 중량%의 과산화수소, 1 내지 5 중량%의 유기산, 0.5 내지 5 중량% 의 황산염, 0.2 내지 5 중량%의 고리형 아민 화합물, 및 70 내지 93.3 중량%의 물을 포함할 수 있다.
전술한 본 발명에 따른 식각액 관리 시스템은 구리합금과 몰리브덴합금층의 이중금속막 배선형성 제조공정에 사용되는 식각액을 분석하여 관리할 수 있다.
본 발명의 다른 하나의 실시 상태는 (a) 제1식각액보관탱크에 보관된 식각액의 흡광도를 측정하여, 상기 제1식각액보관탱크에 보관된 식각액의 상태를 분석하는 단계; (b) 분석결과에 따라 상기 제1식각액보관탱크의 식각액을 상기 제1식각액보관탱크에 연결된 제1식각액폐기라인과 상기 제1식각액보관탱크에 연결된 제2식각액보관탱크 중 어느 하나로 이송하는 단계; 및 (c) 상기 제2식각액보관탱크로 이송된 식각액을 상기 제2식각액보관탱크에 연결된 식각기로 공급하는 단계를 포함하는 식각액의 관리 방법을 제공한다.
여기서, 상기 (a) 단계는 (a1) 상기 제1식각액보관탱크의 식각액을 플로우셀로 유입시키는 단계; (a2) 상기 플로우셀의 식각액에 측정광을 조사하는 단계; (a3) 상기 플로우셀의 식각액의 흡광도를 측정하는 단계; 및 (a4) 상기 측정된 식각액의 흡광도 측정값을 기초로 하여 흡광도환산값을 계산하여 출력하는 단계를 포함할 수 있다.
그리고 본 발명에 따른 식각액 관리 방법은 상기 플로우셀을 통과한 식각액을 상기 제1식각액보관탱크로 공급하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 (b) 단계에서는 상기 흡광도환산값이 10이상인 경우 상기 제1식각액보관탱크의 식각액을 상기 제2식각액보관탱크로 이송시키고, 상기 흡광도환산값이 10미만인 경우 상기 제1식각액보관탱크의 식각액을 상기 제1식각액폐기라인으로 이송할 수 있다.
본 발명의 또 다른 하나의 실시 상태는 (a) 제1식각액보관탱크에 보관된 식각액의 흡광도를 측정하여, 상기 제1식각액보관탱크에 보관된 식각액의 상태를 분석하는 단계; (b) 분석결과에 따라 상기 제1식각액보관탱크의 식각액을 상기 제1식각액보관탱크에 연결된 식각액폐기라인과 상기 제1식각액보관탱크에 연결된 제2식각액보관탱크 중 어느 하나로 이송하는 단계; (c) 상기 제2식각액보관탱크로 이송된 식각액의 흡광도를 측정하여, 상기 제2식각액보관탱크에 보관된 식각액의 상태를 분석하는 단계; 및 (d) 분석결과에 따라 상기 제2식각액보관탱크의 식각액을 상기 제2식각액보관탱크에 연결된 추가의 식각액폐기라인과 상기 제2식각액보관탱크에 연결된 식각기 중 어느 하나로 이송하는 단계를 포함하는 식각액의 관리 방법을 제공한다. 여기서, 상기 (a) 단계와 상기 (b)단계는 전술한 내용과 동일하므로 구체적인 설명을 생략하기로 한다.
상기 (c) 단계는 (c1) 상기 제2식각액보관탱크의 식각액을 플로우셀로 유입시키는 단계; (c2) 상기 플로우셀의 식각액에 측정광을 조사하는 단계; (c3) 상기 플로우셀의 식각액의 흡광도를 측정하는 단계; 및 (c4) 상기 측정된 식각액의 흡광도 측정값을 기초로 하여 흡광도환산값을 계산하여 출력하는 단계를 포함할 수 있다.
그리고, 상기 본 발명에 따른 식각액 관리 방법은 상기 플로우셀을 통과한 식각액을 상기 제2식각액보관탱크로 공급하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 (d) 단계에서는 상기 흡광도환산값이 10이상인 경우 상기 제2식각액보관탱크의 식각액을 상기 식각기로 이송시키고, 상기 흡광도환산값이 10미만인 경우 상기 제2식각액보관탱크의 식각액을 상기 추가의 식각액폐기라인으로 이송할 수 있다.
본 발명의 또 다른 하나의 실시 상태는 식각액을 보관하는 제1식각액보관탱크; 상기 제1식각액보관탱크에 연결된 식각액폐기라인; 상기 제1식각액보관탱크에 보관된 식각액의 흡광도를 측정하여, 상기 제1식각액보관탱크에 보관된 식각액의 상태를 분석하는 식각액분석장치; 상기 제1식각액보관탱크와 연결된 제2식각액보관탱크; 상기 제2식각액보관탱크와 연결된 식각기; 및 상기 식각액분석장치의 분석결과에 따라 상기 제1식각액보관탱크의 식각액을 상기 식각액폐기라인과 상기 제2식각액보관탱크 중 어느 하나로 이송하도록 제어하는 제어부를 포함하는 식각 장치를 제공한다.
이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명을 구리합금과 몰리브덴합금층의 이중금속막의 배선형성제조공정(한국공개특허 10-2004-0011041)중 사용되는 식각액을 관리하는 식각액 관리 시스템, 식각 장치 및 이에 의한 식각액 관리 방법에 적용하여 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 식각액 관리 시스템 및 식각 장치는 식각액을 보관하는 제1식각액보관탱크(10); 제1식각액보관탱크(10)에 연결된 제1식각액폐기라인(11); 제1식각액보관탱크(10)에 보관된 식각액의 흡광도를 측정하여, 제1식각액보관탱크(10)에 보관된 식각액의 상태를 분석하는 제1식각액분석장치(100); 제1식각액보관탱크(10)와 연결된 제2식각액보관탱크(20); 제2식각액보관탱크(20)와 연결된 식각기(30); 및 제1식각액분석장치(100)의 분석결과에 따라 제1식각액보관탱크(10)의 식각액을 제1식각액폐기라인(11)과 제2식각액보관탱크(20) 중 어느 하나로 이송하도록 제어하는 제어부(40)를 포함한다.
제1식각액보관탱크(10)로는 식각공정에서 사용되는 식각액을 초기 보관하게 되는 탱크로서, CCSS(CENTRAL CHEMICAL SUPPLY SYSTEM)탱크를 사용한다.
식각액은 한 예로 조성물의 총 중량에 대해 5 내지 15 중량%의 과산화수소, 1 내지 5 중량%의 유기산, 0.5 내지 5 중량% 의 황산염, 0.2 내지 5 중량%의 고리형 아민 화합물, 및 70 내지 93.3 중량%의 물을 포함하는 식각액으로서 액정표시장치용 어레이 기판의 금속배선막 중에서 구리합금층과 몰리브덴합금층의 이중 금속막을 식각하는 식각액일 수 있다.
이러한 식각액의 제1식각액보관탱크(10)에서 온도 및 시간의 변화에 따라 과산화수소 함량 변화 없이 과산화수소와 첨가제의 상호작용에 의해 초기 수용된 식각액에 비해 식각액의 색상변화가 나타날 수 있다. 이 색상변화에 따른 흡광도 변화를 분광기를 이용하여 측정함으로써 식각액의 경시변화를 감시할 수 있다.
즉, 제1식각액분석장치(100)를 포함하는 본 발명에 따른 식각액 관리 시스템 및 식각 장치는 온도 및 시간에 따라 식각액의 성능이 변화하여 액정표시장치용 어레이 기판의 금속배선막 중에서 구리합금층과 몰리브덴합금층의 이중 금속막의 식각 특성이 불량을 야기시키고 생산 공정 상 수율 및 제품의 불량을 초래하는 것을 방지할 수 있게 된다. 한편, 상기 분광기는 UV-VIS 분광기일 수 있으며, 조사되는 광의 파장은 바람직하게 340nm 내지 360nm이며, 더욱 바람직하게는 350nm이다. 그러나 이에 한정되는 것은 아니다.
제1식각액폐기라인(11)은 제1식각액분석장치(100)의 분석결과에 따라 제어부(40)가 제1식각액보관탱크(10)의 식각액이 사용될 수 없는 것이라고 판단하는 경우, 제1식각액보관탱크(10)의 식각액을 제1식각액보관탱크(10) 외부로 배출시키는 역할을 한다.
제1식각액분석장치(100)는 제1식각액보관탱크(10)의 식각액이 유입되는 제1플로우셀(101); 제1플로우셀(101)의 식각액에 측정광을 조사하는 제1광원부(102); 제1플로우셀(101)의 식각액의 흡광도를 측정하는 제1분광기(103); 및 제1분광기(103)에서 측정된 흡광도 측정값을 기초로 하여 흡광도환산값을 계산하여 출력하는 제1식각액분석제어부(104)를 포함한다. 여기서, 분광기를 통해 측정되는 흡광도 값은 전류 값으로 나타내어지는데, 상기 흡광도 환산값이란 분광기로 측정한 표준액(물)의 흡광도 값을 전류 값으로 나타낸 표준액 전류 값, 분광기로 측정한 제1플로우셀로 공급된 식각액의 흡광도 값을 전류값으로 나타낸 식각액 전류 값, 및 초기 제1식각액보관탱크에 보관되는 식각액의 흡광도 값을 전류값으로 나타낸 초기 식각액 전류값을 가지고 환산한 값이다.
제1식각액보관탱크(10)의 식각액이 제1플로우셀(101)로 공급될 수 있도록 제1식각액보관탱크(10)와 제1플로우셀(101) 사이에는 제1플로우셀공급라인(12)이 마련되어 있고, 제1플로우셀(101)의 식각액을 제1식각액보관탱크(10)로 공급할 수 있도록 제1플로우셀(101)과 제1식각액보관탱크(10) 사이에는 제1식각액보관탱크공급라인(13)이 마련되어 있다.
제2식각액보관탱크(20)로는 식각공정에서 식각기(30)로 공급되는 식각액을 보관하게되는 탱크로서, ACQC(AUTOMATIC CLEAN QUICK COUPLER)탱크를 사용할 수 있다.
제2식각액보관탱크(20)의 일측은 제1연결라인(14)에 의해 제1식각액보관탱크(10)와 연결되어 있어, 제1식각액보관탱크(10)로부터 식각액을 공급받게 되고, 타측은 제2연결라인(24)에 의해 식각기(30)와 연결되어 있어 제2식각액보관탱크(10) 내의 식각액을 식각기(30)로 공급할 수 있게 된다.
제어부(40)는, 제1식각액분석제어부(104)에서 출력된 데이터에 기초하여 흡광도환산값이 10이상인 경우 제1식각액보관탱크(10)의 식각액을 제2식각액보관탱크(20)로 이송시키고, 흡광도환산값이 10미만인 경우 제1식각액보관탱크(10)의 식각액을 제1식각액폐기라인(11)으로 방출하도록 제어한다.
한편, 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 식각액 관리 시스템 및 식각 장치에 있어서, 제1식각액관리장치(100)와 동일한 원리와 구성을 갖는 제2식각액관리장치(200)를 제2식각액보관탱크(20)에 연결할 수도 있다.
제2식각액분석장치(200)는 제2식각액보관탱크(20)의 식각액이 유입되는 제2플로우셀(201); 제2플로우셀(201)의 식각액에 측정광을 조사하는 제2광원부(202); 제2플로우셀(201)의 식각액의 흡광도를 측정하는 제2분광기(203); 및 제2분광기(203)에서 측정된 흡광도 측정값을 기초로 하여 흡광도환산값을 계산하여 출력하는 제2식각액분석제어부(204)로 구성된다.
그리고, 제2식각액보관탱크(20)의 식각액이 제2플로우셀(201)로 공급될 수 있도록 제2식각액보관탱크(20)와 제2플로우셀(201) 사이에는 제2플로우셀공급라인(22)이 마련되어 있고, 제2플로우셀(201)의 식각액을 제2식각액보관탱크(20)로 공급할 수 있도록 제2플로우셀(201)과 제2식각액보관탱크(20) 사이에는 제2식각액보관탱크공급라인(23)이 마련되어 있다.
여기서, 제어부(40)는, 제2식각액분석제어부(204)에서 출력된 데이터에 기초하여 흡광도환산값이 10이상인 경우 제2식각액보관탱크(20)의 식각액을 식각기(30)로 이송시키고, 흡광도환산값이 10미만인 경우 제2식각액보관탱크(20)의 식각액을 제2식각액폐기라인(21)으로 방출하도록 제어한다.
이하에서는 본 발명에 따른 식각액 관리 시스템 및 식각 장치를 이용한 식각액 관리 방법에 대해 설명하기로 한다.
본 발명에 따른 식각액 관리 방법은 제1식각액보관탱크(10)에 보관된 식각액을 제1플로우셀공급라인(12)을 통해 제1플로우셀(101)로 공급하고, 제1광원부(102)를 통해 제1플로우셀(101)로 측정광을 조사한 다음, 제1분광기(103)에서 흡광도를 측정하고, 제1식각액보관탱크공급라인(13)을 통해 제1플로우셀(101)의 식각액을 제1식각액보관탱크(10)로 복귀시키며, 제1식각액분석제어부(104)에서는 측정된 식각액의 흡광도 측정값을 기초로 하여 흡광도환산값을 계산하여 이를 출력하는 단계; 제1식각액분석제어부(104)에서 출력된 데이터에 기초하여 흡광도환산값이 10이상 인 경우 제어부(40)는 제1식각액보관탱크(10)의 식각액을 제1연결라인(14)을 통해 제2식각액보관탱크(20로 이송시키고, 흡광도환산값이 10미만인 경우 제1식각액보관탱크(10)의 식각액을 제1식각액폐기라인(11)으로 방출하도록 제어하는 단계; 제2식각액보관탱크(20)로 이송된 식각액은 제2연결라인(24)을 통해 식각기(30)로 공급하도록 제어부(40)가 제어하는 단계를 포함한다.
여기서, 제2식각액보관탱크(20)에서 식각기(30)로 식각액을 공급하기 전에 제1식각액분석장치(100)와 동일한 원리로서 제2식각액분석장치(200)를 이용하여 제2식각액보관탱크(20)의 식각액을 분석하고 그 결과에 따라 제2식각액보관탱크(20)의 식각액을 식각기(30) 또는 제2식각액폐기라인(21)으로 방출시킬 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 식각액의 농도변화에 따른 색변화도를 실시간으로 자동분석하여 식각액의 보관 및 교환 시점을 포함한 사용기준을 설정하여 식각액을 관리할 수 있는 식각액 관리 시스템, 식각 장치 및 이에 의한 식각액 관리 방법이 제공된다.
또한, 본 발명에 따른 식각액분석장치의 분석결과에 따라 식각액의 성능변화를 실시간으로 정확하게 분석할 수 있음에 따라 식각공정에서 안정적으로 식각액을 사용할 수 있어 식각불량 발생을 억제할 수 있고, 식각액의 폐기비용을 절감할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 식각액 관리 시스템 및 식각 장치의 개략도,
도 2는 본 발명의 제2실시예에 따른 식각액 관리 시스템 및 식각 장치의 개략도,
도 3은 시간변화에 대한 온도별 흡광도 환산값과의 관계를 나타낸 그래프,
도 4는 시간에 따라 색상변화된 식각액으로 에칭한 후의 전자주사현미경 사진이다.
이하에서는 본 발명의 이해를 돕기 위해 바람직한 실시예 1(제품명:MA-S07L, 동우화인켐)을 설명하기로 하나, 본 발명의 범위가 이로 한정되는 것은 아니다.
하기 실시예1는 시간에 따른 식각액의 흡광도의 변화 특성을 분석하고, 온도와 보관일 수에 따른 식각액의 특성변화와 연계하여 사용에 대한 안정적인 범위를 설정하는 실시예이다.
실시예 1
Figure pat00001
상기 실시예 1 및 시간변화에 대한 온도에 따른 흡광도 환산값과의 관계를 나타낸 그래프(도 3 참조 )에서 볼 수 있는 바와 같이, 13.56 ~ 10.030 범위 안의 식각액은 안정적으로 사용할 수 있다는 것을 확인할 수 있다.
1일 21일 23일 24일
온도 18℃ 22℃ 25℃ 30℃
환산값 13.560 11.180 10.510 10.030
37일 29일
온도 25℃ 30℃
환산값 9.747 9.834
또한, 실시예 1에서 선별하여 측정한 전자주사현미경의 측정 결과(시간에 따라 색도변화된 식각액을 스프레이모드로 식각하여 프로파일 변화를 흡광도 환산값과의 관계를 나타내는 측정결과; 도 4참조)와 이를 표로 정리한 표 1를 통해서도 13.56 ~ 10.030 범위 안의 식각액은 안정적으로 사용할 수 있다는 것을 확인할 수 있다.
10 : 제1식각액보관탱크
11 : 제1식각액폐기라인
12 : 제1플로우셀공급라인
13 : 제1식각액보관탱크공급라인
14 : 제1연결라인
20 : 제2식각액보관탱크
21 : 제2식각액폐기라인
22 : 제2플로우셀공급라인
23 : 제2식각액보관탱크공급라인
24 : 제2연결라인
30 : 식각기
40 : 제어부
100, 200 : 제1 및 제2 식각액분석장치
101, 201 : 제1 및 제2플로우셀
102, 202 : 광원부(light source)
103, 203 : 제1 및 제2분광기
104, 204 : 제1 및 제2식각액분석제어부

Claims (16)

  1. 식각액을 보관하는 제1식각액보관탱크;
    상기 제1식각액보관탱크에 연결된 식각액폐기라인;
    상기 제1식각액보관탱크에 보관된 식각액의 흡광도를 측정하여, 상기 제1식각액보관탱크에 보관된 식각액의 상태를 분석하는 식각액분석장치;
    상기 제1식각액보관탱크와 연결된 제2식각액보관탱크;
    상기 제2식각액보관탱크와 연결된 식각기; 및
    상기 식각액분석장치의 분석결과에 따라 상기 제1식각액보관탱크의 식각액을 상기 식각액폐기라인과 상기 제2식각액보관탱크 중 어느 하나로 이송하도록 제어하는 제어부
    를 포함하는 식각액 관리 시스템.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 식각액분석장치는
    상기 제1식각액보관탱크의 식각액이 유입되는 플로우셀;
    상기 플로우셀의 식각액에 측정광을 조사하는 광원부;
    상기 플로우셀의 식각액의 흡광도를 측정하는 분광기; 및
    상기 분광기에서 측정된 흡광도 측정값을 기초로 하여 흡광도환산값을 계산하여 출력하는 식각액분석제어부
    를 포함하는 식각액 관리 시스템.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 제1식각액보관탱크의 식각액을 상기 플로우셀로 공급하는 플로우셀공급라인; 및
    상기 플로우셀의 식각액을 상기 제1식각액보관탱크로 공급하는 제1식각액보관탱크공급라인
    을 더 포함하는 식각액 관리 시스템.
  4. 청구항 2에 있어서, 상기 제어부는, 상기 식각액분석제어부에서 출력된 데이터에 기초하여 상기 흡광도환산값이 10이상인 경우 상기 제1식각액보관탱크의 식각액을 상기 제2식각액보관탱크로 이송시키고, 상기 흡광도환산값이 10미만인 경우 상기 제1식각액보관탱크의 식각액을 상기 식각액폐기라인으로 방출하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 식각액 관리 시스템.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 제2식각액보관탱크에 보관된 식각액의 흡광도를 측정하여 상기 제2식각액보관탱크에 보관된 식각액의 상태를 분석하는 추가의 식각액분석장치; 및
    상기 제2식각액보관탱크에 연결된 추가의 식각액폐기라인을 더 포함하며,
    상기 제어부는 상기 추가의 식각액분석장치의 분석결과에 따라 상기 제2식각액보관탱크의 식각액을 상기 추가의 식각액폐기라인과 상기 식각기 중 어느 하나로 이송하도록 제어하는 식각액 관리 시스템.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 추가의 식각액분석장치는
    상기 제2식각액보관탱크의 식각액이 유입되는 추가의 플로우셀;
    상기 추가의 플로우셀의 식각액에 측정광을 조사하는 추가의 광원부;
    상기 추가의 플로우셀의 식각액의 흡광도를 측정하는 추가의 분광기; 및
    상기 추가의 분광기에서 측정된 흡광도 측정값을 기초로 하여 흡광도환산값을 계산하여 출력하는 추가의 식각액분석제어부
    를 포함하는 식각액 관리 시스템.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 제2식각액보관탱크의 식각액을 상기 추가의 플로우셀로 공급하는 추가의 플로우셀공급라인; 및
    상기 추가의 플로우셀의 식각액을 상기 제2식각액보관탱크로 공급하는 추가의 제2식각액보관탱크공급라인
    을 더 포함하는 식각액 관리 시스템.
  8. 청구항 6에 있어서, 상기 제어부는, 상기 추가의 식각액분석제어부에서 출력된 데이터에 기초하여 상기 흡광도환산값이 10이상인 경우 상기 제2식각액보관탱크의 식각액을 상기 식각기로 이송시키고, 상기 흡광도환산값이 10미만인 경우 상기 제2식각액보관탱크의 식각액을 상기 추가의 식각액폐기라인으로 방출하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 식각액 관리 시스템.
  9. 청구항 1에 있어서, 상기 식각액은 과산화수소를 포함하는 것을 특징으로 하는 식각액 관리 시스템.
  10. 청구항 9에 있어서, 상기 식각액은 조성물의 총 중량에 대해 5 내지 15 중량%의 과산화수소, 1 내지 5 중량%의 유기산, 0.5 내지 5 중량% 의 황산염, 0.2 내지 5 중량%의 고리형 아민 화합물, 및 70 내지 93.3 중량%의 물을 포함하는 것인 식각액 관리 시스템.
  11. 청구항 1 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 있어서, 상기 식각액 관리 시스템은 구리합금과 몰리브덴합금층의 이중금속막 배선형성 제조공정에 사용되는 식각액을 분석하여 관리하는 것인 식각액 관리 시스템.
  12. (a) 제1식각액보관탱크에 보관된 식각액의 흡광도를 측정하여, 상기 제1식각액보관탱크에 보관된 식각액의 상태를 분석하는 단계;
    (b) 분석결과에 따라 상기 제1식각액보관탱크의 식각액을 상기 제1식각액보관탱크에 연결된 제1식각액폐기라인과 상기 제1식각액보관탱크에 연결된 제2식각액보관탱크 중 어느 하나로 이송하는 단계; 및
    (c) 상기 제2식각액보관탱크로 이송된 식각액을 상기 제2식각액보관탱크에 연결된 식각기로 공급하는 단계
    를 포함하는 식각액의 관리 방법.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 (a) 단계는
    (a1) 상기 제1식각액보관탱크의 식각액을 플로우셀로 유입시키는 단계;
    (a2) 상기 플로우셀의 식각액에 측정광을 조사하는 단계;
    (a3) 상기 플로우셀의 식각액의 흡광도를 측정하는 단계; 및
    (a4) 상기 측정된 식각액의 흡광도 측정값을 기초로 하여 흡광도환산값을 계산하여 출력하는 단계
    를 포함하는 식각액의 관리 방법.
  14. 청구항 13에 있어서, 상기 플로우셀을 통과한 식각액을 상기 제1식각액보관탱크로 공급하는 단계를 더 포함하는 식각액의 관리 방법.
  15. 청구항 13에 있어서,
    상기 (b) 단계에서는 상기 흡광도환산값이 10이상인 경우 상기 제1식각액보관탱크의 식각액을 상기 제2식각액보관탱크로 이송시키고, 상기 흡광도환산값이 10미만인 경우 상기 제1식각액보관탱크의 식각액을 상기 제1식각액폐기라인으로 이송하는 것인 식각액의 관리 방법.
  16. 식각액을 보관하는 제1식각액보관탱크;
    상기 제1식각액보관탱크에 연결된 식각액폐기라인;
    상기 제1식각액보관탱크에 보관된 식각액의 흡광도를 측정하여, 상기 제1식각액보관탱크에 보관된 식각액의 상태를 분석하는 식각액분석장치;
    상기 제1식각액보관탱크와 연결된 제2식각액보관탱크;
    상기 제2식각액보관탱크와 연결된 식각기; 및
    상기 식각액분석장치의 분석결과에 따라 상기 제1식각액보관탱크의 식각액을 상기 식각액폐기라인과 상기 제2식각액보관탱크 중 어느 하나로 이송하도록 제어하는 제어부
    를 포함하는 식각 장치.
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