KR20120106705A - 전력 소자의 측정을 위한 방법 - Google Patents

전력 소자의 측정을 위한 방법 Download PDF

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보토 히르슈펠트
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캐스캐이드 마이크로텍 드레스덴 게엠베하
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Abstract

프로버 내의 전력 소자를 측정하기 위한 방법이 개시되며, 이 방법은 이 같은 소자를 체크 및 테스트하기 위해 이용된다. 이러한 경우, 전력 소자(20)는 척(22)에 의해 홀딩되고 하나 이상의 전기 프로브(26)가 프로브 홀더(28)에 의해 홀딩되고 전력 소자(20) 또는 프로브(26)는 전기 구동부를 구비한 위치설정 장치를 이용하여 나머지에 대해 위치설정되며 전력 소자(20)와 접촉된다. 이러한 경우, 측정 신호로서 전력 신호를 송신 또는 수신하기 위해 이용되는 신호 유닛(34)과 프로브(26) 사이의 전기 연결이 차단되어 있으며, 프로브(26)와 접촉 영역(21) 사이의 접촉이 설정된 것이 결정되는 경우에만 해제된다.

Description

전력 소자의 측정을 위한 방법 {METHOD FOR MEASURING A POWER COMPONENT}
일반적으로 프로버(prober)로서 지칭되는 적절한 측정 소자를 이용한 전자 부품들의 검사 및 테스트를 위해, 아래에서 일반적으로 전력 소자(power device)들로서 지칭되는 전력 전자 기기(power electronics)의 반도체 소자들, 이 같은 소자들을 구비한 웨이퍼, 및 전력 전자 시스템의 측정을 위한 방법이 공개된다.
전력 전자 기기의 반도체 소자들은 반도체 내에 배치된 전자 부품들로서 아래에서 이해되며, 전자 부품들은 특히 고 전압 및 고-전력 취급 성능 및 높은 차단 성능을 특징으로 한다. 특히 전력 전자 기기의 부품들은 다이오드, 사이리스터, MOSFET, IGBT 등과 같은, 급격한 전류 및 전압 변동을 가지는 고 스위칭 주파수 및 높은 전자적 및 물리적 요구 하에서 이용되는 스위칭 기능을 구비한 부품들이다. 이 같은 전력 소자 또는 일련의(a series of) 이 같은 전력 소자들을 포함하는 웨이퍼는 또한 "측정 대상-DUT"로서 측정과 관련하여 전문가에게 알려져 있다.
프로버에서, 전력 소자는 검사 목적 또는 테스트 또는 전력 소자의 파라미터(parameter)들을 연구하기 위한 다양한 측정으로 처리되어, 측정이 특별한 환경 상태 하에서 수행될 수 있다. 측정을 위해, 전력 소자는 신호를 피딩(feed) 또는 태핑(tap)하기 위해 테스트 프로브(프로브)에 의해 접촉된다. 이를 위해, 프로브 및 전력 소자의 접촉 표면은 서로에 대해 위치설정되어야 하며, 서로 접촉되어야 한다. 자주, 몇몇의(several) 접촉 표면들은 몇몇의 프로브들에 의해 동시에 접촉된다. 측정 과정에 영향을 미치는 방법의 하나의 단계는 이들의 접촉을 형성하기 위해 서로에 대해 전력 소자 또는 프로브 또는 둘다를 이동하는 것이다.
전력 소자의 위치 설정 및 접촉은 종래에는 주로 전자 구동부를 이용하여 발생되었으며, 이에 의해 재-조정이 또한 필요할 수 있었다. 전력 소자들의 접촉 표면들이 이동하기 시작하면, 이러한 부품들의 측정을 위해 요구되는 높은 전압 또는 전류 신호 때문에 비의도적인 방전(discharge)이 발생할 위험이 있다. 방전은 예를 들면 접촉 전 또는 재-조정 동안 신호 유닛을 연결하는 것과 같은 불완전한 측정 절차를 통하여 유발될 수 있고, 방전은 부품 또는 프로브의 손상, 가능하게는 또한 접촉 영역 상으로 테스트 프로브가 녹는 것이 초래될 수 있다. 접촉 표면에 접근하는 공정 중 테스트 프로브가 소정의 거리 보다 작게 떨어진 경우 자동 또는 반자동 뿐만 아니라 특히 수동 측정 절차에서 방전의 위험이 존재한다.
상기 이유 때문에, 본 발명의 목적은 또한 특히 프로브와 전력 소자의 접촉 표면 사이의 아크(arc) 형성의 자동 제어(automation)를 가능하게 하면서 이 아크 형성의 측정이 회피되는 것이며, 그리고 각각의 단일 측정을 위해 요구되는 시간을 감소시켜, 측정을 더욱 효율적으로 하는 것이다.
본 발명에 따른 방법을 이용하여, 단일 유닛의 일시적인 차단에 후속하여, 프로브와 접촉 표면 사이의 아크의 임의의 형성이 회피된다. 차단은 접촉 표면 상의 프로브의 접촉의 확정(determination)으로, 즉 소위 '접촉 모드'의 확정으로 용융되지 않게 연결되며 측정 신호가 위치설정 동안 프로브와 전력 소자 사이로 인가되지 않도록 한다.
위치설정의 시간 과정을 통하여 이미 결정되는 신호 유닛의 차단 해제(unblocking)는 접촉의 형성과 관련될 뿐만 아니라 접촉 요건을 충족하는 것이 활발하게(actively) 결정된다는 것을 주목하여야 한다. 이는 특히 상기 방법의 일 실시예에 따르는 것과 동시에 몇몇의 프로브들을 통하여 전력 소자를 접촉하기 위해 점점 더 중요해지며, 신호 유닛의 차단 해제는 확실한 기계적 및 이에 따른 전기적 접촉이 각각의 프로브에 대해 결정될 때만 발생된다.
신호 유닛과 프로브 사이의 전기 연결의 활성화는 최종 접근 이동 후에만 발생되는데, 최종 접근 이동은 프로브와 전력 소자 사이의 접촉을 형성하기 위해 기본적으로 적절하게 한정된다. 보통, 이동은 z-방향, 즉 수직 방향으로 발생된다. 프로브 및/또는 전력 소자의 형상 및 상태(order)에 따라, 이는 상이한 이동일 수 있다. '접촉 모드'의 확정은 따라서 기술적 파라미터를 이용한 '접촉 모드'에 대한 시점의 한정을 통하여 발생되며; 프로브와의 접촉이 달성될 때까지 '접촉 모드'의 결정은 전력 소자의 방향으로의 이동의 완료이다. 따라서, 신호 유닛의 차단 해제의 영향은 배제될 수 있으며, 기술적 파라미터들은 자동 제어의 목적을 위해 이제 이용될 수 있다.
또한, 신호 유닛의 차단 해제를 위한 기술적 파라미터의 제공을 통하여, 측정 신호가 피딩 또는 태핑될 때까지 요구되는 시간의 감소가 가능하며 이는 검사 동안 더 많은 유닛의 처리량을 증가시킨다.
차단 해제가 발생하는 어느 방식에서도 각각 측정의 크기, 측정의 상태 및 파라미터, 전력 소자에 대해 또는 다른 요건에 따라 조정될 수 있다. 일반적으로, 이는 기계적, 광학적 또는 전기적 수단을 이용하여 실현될 수 있다.
따라서 '접촉 모드'를 결정하기 위해, 예를 들면 위치설정 소자가 설계될 수 있으며, 위치설정 소자를 통하여 하나 또는 몇몇의 프로브들과 전력 소자 사이의 상대적인 이동은 접촉의 목적을 위해 발생될 수 있으며, 또는 관찰 유닛 또는 심지어 측정 유닛 자체가 신호 유닛을 포함하고 측정의 제어 기능을 한다. 측정의 제어를 위해, 신호 유닛은 적절한 회로를 경유하여 측정 유닛에 분리가능하고 연결가능하다. 이로부터 독립적인 접촉 센서 유닛을 이용하여, 프로브와 접촉 영역 사이의 접촉의 형성이 결정될 수 있다.
접촉을 결정하기 위한 접촉 센서 유닛으로서, 프로브들 자체 또는 보완하는 기준 프로브들이 이용될 수 있어, 보완하는 기준 프로브들이 프로브들과 함께 위치설정되어 접촉된다. 부가적으로 기하학적 또는 시간적 기준에 의한 기준 프로브들로부터의 신호들은 접촉의 결정과 전기 연결의 차단 해제 사이의 측정 상태(order)를 보호하기 위해 필요한 시간 동안 달성될 수 있는 방식으로 프로세싱될 수 있다. 또한, 접촉 센서 또는 거리 센서로부터의 신호들은 전기 연결을 차단 해제하기 위한 유사한 방식으로 이용될 수 있다.
본 발명은 다양한 실시예들을 이용하여 아래에서 추가로 설명될 것이다.
도 1은 전력 소자의 측정을 위한 프로버의 일 실시예를 개략적으로 도시하며,
도 2는 전력 소자의 측정을 위한 방법의 설명을 위한 도표이다.
도 1에서 개략적으로 제시되는, 프로버의 일 실시예에서, 또한 DUT(측정 대상)로서 일반적으로 지칭되는, 전력 소자(20)가 척(22) 상에 배치된다. 척(22)은 척(22) 및 이에 따라 전력 소자(20)를 이동하기 위한 X-Y-Z-θ 크로스(cross) 테이블(24)을 가진다. 이러한 크로스 테이블(24)은 x-y 평면 상에서 양 방향으로의 이동을 가능하게 하며, 이 x-y 평면은 척(22)의 수용 표면에 대해 평행하게 위치되는 것으로서 한정된다. 부가적으로 x-y 평면에 대해 수직한 z-방향 및 z-방향으로 형성된 축선 둘레의 각도(세타; θ)의 회전으로의 이동을 가능하게 한다. 척(22)의 각도 정렬은 x-방향 또는 y-방향에 대해 전력 소자(20)의 기준선 또는 기준 에지의 한정된 각도(θ)를 조정하도록 크로스 테이블(24)에서 세타-구동부를 이용하여 발생된다. x-y 평면 상 또는 z-방향으로의 단일 이동의 실행 및 각도 정렬은 각각 자체 구동부를 이용하여 발생되며 이 구동부를 통하여 단일 이동 또는 모든 이동이 전기적으로 작동될 수 있다.
도 1에 따른 실시예에서, 복수의 프로브(26)는 서로 마주하게 위치되는 두 개의 열에 유지되며 이 중 제 1 열만이 시각적으로 가시적이다. 프로브(26)의 배치는 측정되어야 하는 전력 소자(20)의 접촉 영역(21)의 배치에 부합된다.
하나 또는 몇몇의 프로브(26)의 프로브 홀더(28)로서, 다양한 프로브 홀더(28)는 예를 들면 전력 소자(24), 피딩되거나 태핑되는 테스트 신호, 또는 하나의 측정 동안 또는 두 개의 측정 사이에서 프로버에서 요구된 순서의 이동에 따라 공지된다. 예를 들면, 프로브(26)들이 프로브 보드(도 1) 상에 장착되고, 이 프로브 보드를 통해 서로에 대한 프로브(26)들의 정렬 및 고정 그리고 전력 소자(20)의 접촉 표면(21)을 접촉하기 위한 동시 배치뿐만 아니라 프로브(26)들로부터 측정 유닛을 연결하기 위한 인터페이스로의 전기 연결의 설정이 발생된다. 이 같은 프로브 보드들은 대부분 자체 조정기 유닛을 포함하지 않으며; 프로브 보드들은 척(22)에 대해 그리고 이에 따라 전력 소자를 위해 직절하게 하나의 측정 또는 일련의 측정들 전에 위치설정되어 이 위치에 남아 있게 된다. 이러한 경우, 위치설정 및 접촉을 위한 이동이 단지 척(22)을 통한 측정 동안 발생된다.
제시되지 않은 또 다른 실시예에서, 프로브(26), 단일 프로브 또는 그룹으로 조립된 프로브는 소위 프로브 헤드에 장착된다. 또한, 프로브 헤드는 프로브 또는 프로브들(26)의 정렬, 고정 및 전기 연결 기능을 하지만, 부가적으로 프로브 헤드의 이동을 담당하고 수동 또는 모터 작동에 의해 구동되는 조종기 유닛을 포함한다. 수동 또는 모터작동식 조종기 유닛을 통해 실행될 수 있는 이동의 조합은 척(22)의 이동과 유사하다.
다양한 실시예들에서, 조종기 유닛은 척(22)에 대해 전술되는 단일 또는 모든 이동들을 수행할 수 있어, 조종기 유닛을 통하여 실현될 수 있는 이동들 각각이 자체 구동부에 의해 발생된다. 또한, 이러한 구동부들은 선택적으로 또는 이들 모두 전기적으로 작동될 수 있다.
척(22)의 X-Y-Z-θ 크로스 테이블 뿐만 아니라 프로브 홀더(28)의 선택적 조종기 유닛은 프로버의 위치설정 장치의 부품들이며 서로 대응한다.
실시예에서 프로버 홀더(28)에 의해 포함되는 인터페이스(30)를 경유하여, 각각의 프로브(26)는 측정 유닛(32)과 연결되는데, 이 프로브를 통하여 전력 소자(20)로의 접촉이 설정된다. 측정 유닛(32)은 신호 유닛(34)을 포함하며, 이 신호 유닛을 통하여 요구된 측정 신호들이 제공되거나 수신될 수 있다. 프로브들(26)로의 신호 유닛(34)의 연결은 적절한 회로를 경유하여 수동으로 형성되고 및/또는 자동화 또는 분리되는데, 적절한 회로는 아래에서 인터로크(36)로서 지칭된다.
제시된 실시예에서 접촉 센서 유닛(27)은 또한 전력 소자(20)의 측정을 담당하는, 프로브들(26) 모두를 담당한다. 이러한 접촉 센서 유닛(27)에 의해, 접촉의 상태는 라인으로 연결되는 프로브들 모두를 통하여 작은 부차적인 신호를 송신함으로써 결정될 것이며, 이에 따라 프로브들(26) 모두가 접촉 표면(21) 상의 접촉을 설정한 경우에만 '접촉 모드'를 디스플레이하는 차단 해제 신호가 측정될 수 있다. 이러한 차단 해제 신호를 통하여, 인터로크(36)는 직접적 또는 간접적으로 제어될 수 있다. '접촉 모드' 또는 관련된 중단이 결정되지 않는 한, 신호 유닛(34)이 차단된다. 상기 방법의 일 실시예에서, 이 같은 인터로크 이벤트(event)가 디스플레이될 수 있으며, 및/또는 '접촉 모드'의 재-설정에 후속하여, 신호 유닛(24)의 자동 차단 해제 또는 차단이 발생될 수 있다.
라인 내에서 프로브들(26)을 연결하는 이 같은 회로가 전력 소자(20)에 의해 지지되지 않는 한, 다른, 예를 들면 접촉을 결정하고 차단 해제 또는 차단 신호를 시작하기 위한 광학적 또는 기계적 방법들이 이용될 수 있다.
일 실시예에서, 접촉 위치의 설정이 시각적으로 또는 광학 장치(40)를 이용하여 프로세싱되는 이미지를 통하여 결정될 수 있으며, 이에 의해 신호 유닛(34)의 차단 또는 차단 해제가 광학적으로 시작되는 신호에 의해 발생될 수 있다.
또 다른 실시예에서, '접촉 모드'의 설정에 후속하는 차단 해제 신호 또는 위치설정 장치의 제어 유닛(42)을 경유하여 신호 유닛(34)을 제어하기 위한 차단 신호는 척의 이러한 실시예에서 미리-결정된 z-거리를 움직인 후(cover) 발생되는데, 이 미리-결정된 z-거리는 센서 접촉의 형성 전에 확인된다.
위치설정 및 접촉 절차는 도 2를 이용하여 전력 소자(20)의 측정의 부분으로서 설명된다. 상기 방법의 하나의 제 1 실시예에서, 전력 소자(20)는 척(22)의 수용 표면으로 초기에 적용되고 척(22, 50)에 의해 홀딩된다.
전력 소자(20)와 마주하여, 하나 이상의 프로브(26)가 프로브 홀더(28, 52)에 의해 홀딩됨으로써 배열된다.
아래에서, 전력 소자(20) 또는 프로브(26) 또는 둘다 위치설정 장치를 통하여 서로에 대해 위치설정되어, 프로브(26)가 기계식으로 그리고 전기식으로 전력 소자(54)의 접촉 표면(21)과 안전하게 접촉하도록 한다. 위치설정 및 접촉의 과정은 x-y 평면 상의 척을 이동하기 위한 두 개의 전기 구동부(x-구동부 및 y-구동부)를 구비하고 z-방향으로 척(22)을 이동하기 위한 전기 구동부(z-구동부)를 구비한 x-y-z-θ 크로스 테이블(24)을 이용하는 방법의 일 실시예에서 실현된다. 상기 설명은, 보다 용이한 개괄적인 이해를 위해, 전력 소자(20)의 접촉 표면(21)과 프로브(26) 사이의 접촉을 형성하기 위한 위치설정이 프로브 홀더에서 서로에 대한 프로브(26)들의 배치가 서로에 대한 접촉 표면(21)들의 배치와 대응하는 방식으로 형성되는 것과 동일한 방식으로 몇몇의 프로브(26)들을 이용하여 몇몇의 접촉 표면(21)들의 동시 접촉 동안 발생되는 것을 언급한다.
프로브(26) 및 전력 소자(20)는, z-구동부를 이용하여 해결되는, z-방향으로 x-y 평면 상의 프로브의 위치와 관계없이 프로브(26)의 팁이 시종일관 전력 소자(20)의 접촉 표면(21)에 대한 양(positive)의 거리를 가지는 방식(50,52)으로 척(22) 및 프로브 홀더(28)에 의해 서로에 대해 홀딩된다. 3개의 구동부의 제어는 위치설정 장치의 일 부분인, 제어 유닛(42)에 의해 발생된다.
시작 위치로부터 시작하여, 전력 소자(20) 및 이에 따라 전력 소자의 접촉 표면은 x-y 평면 상에서 척(22)의 두 개의 구동부를 이용하여, 하나의 측정 위치로 이동되며, 하나의 측정 위치에서, 접촉 위치에 비해, x-y 평면 상의 접촉 표면(21)의 위치가 이러한 평면 상의 프로브(26)의 위치에 부합되지만, 이전에 조정된 z-거리를 이용한다. 측정 위치에 대한 이동은 예를 들면 수개의 부-단계들로 이루어질 수 있거나, 단지 하나의 방향으로 하나의 단계를 포함할 수 있다. 예를 들면 반도체 부품들의 그리드가 웨이퍼 상에 스캔되고 그리드가 x-방향 및 y-방향으로 조정되는 경우, 단지 하나의 방향으로 하나의 단계를 포함하는 것이 적용된다.
후속적으로, 프로브(26)의 팁이 접촉 표면(21)(접촉 위치)과 확실히 터치할 때까지 z-방향으로 프로브(26)를 향하여 접촉 표면(21)의 접근 이동이 발생된다. 위치설정 및 접촉 절차 동안, 연속적인 검사는 프로브(26)와 전력 소자(20)의 접촉 표면(21) 사이의 접촉 모드를 발생하여, 프로브(26)와 신호 유닛(24) 사이의 전기 연결이 인터로크(36)를 통하여 차단된다.
더 근접한 이동의 진행 전 또는 이 진행 동안 까지, 요구된 접근 이동과 실제 접근 이동 사이의 각도의 변화가, 예를 들면 설정된 측정 위치로부터 요구된 하나의 측정 위치로부터의 일탈(divergence) 때문에, 접근 이동이 x-y 평면 상의 측정 위치의 정정을 수행하는 것이 중단되거나 실행되지 않을 수 있다. 이러한 경우, 신호 유닛(34)으로의 분리된 연결의 결과로서 측정 신호가 아직 프로브(26)에 인가되지 않기 때문에, 접촉 표면(21)으로 근접하는 프로브(26)의 후속 정정이 문제가 되지 않는다.
동일한 방식으로, 몇몇의 프로브(26)들을 이용하여 전력 소자(20)의 몇몇의 접촉 표면(21)들이 접촉되는 경우 전력 소자(20)와 접촉하기 위한 추가 이동이 요구될 수 있다. 상기 방법의 이러한 실시예들에서, x-y 평면 상 및 z-방향 상의 이동들은 프로브 홀더(28)의 전술된 조종기 유닛에 의해 또한 발생될 수 있다. 예를 들면, 척(22)의 개략적인 위치설정은 프로브(26)의 미세한 위치설정에 의해 보완될 수 있다. 이러한 경우, 척(22) 및 프로브(26)의 이동들의 적절한 조합을 통한 측정 위치의 조정은 접촉 위치를 설정하기 위한 접근 이동 전에 발생된다. 접촉 상태의 결정은 단지 모든 프로브 팁들이 전력 소자(20)의 대응하는 접촉 표면(21) 상에 배치되는 경우에만 발생된다.
접촉 위치 설정을 통하여, 결정되고 '접촉 모드'(58)에 도달하고 이를 디스플레이하는 차단 해제 신호가 발생되며, 이에 후속하여 인터록크(36)가 신호 유닛(34, 60)을 차단 해제한다. 단지 이러한 차단 해제에 후속하여, 전력 소자(20)의 측정이 시작된다(62).
도달하는 경우, '접촉 모드'가 인터커넥팅되고(interconnect) 프로브(26)와 접촉 표면(21) 사이의 접촉을 결정하고 이에 따라 탐지가능한 파라미터의 측정 기술에 의해, 측정의 실제 실행으로부터 분리되어, 프로버가 매스터로서 기능하고 프로버가 슬레이브로서 측정 유닛(32)으로 연결되도록 한다.
전력 소자(20)의 측정에 후속하여, 상기 방법의 또 다른 실시예에서, 예를 들면 웨이퍼 상의 인접한 다음의 웨이퍼가 측정될 수 있다. 임의의 문제점 없이 프로브(26)와 접촉 표면(21) 사이의 접촉을 중단하기 위해, 제 1 전력 소자(20, 64)의 측정의 완료 후 신호 유닛(34)과 프로브(26) 사이의 전기 연결이 다시 차단된다. 이를 위해, 차단 신호는 신호 유닛(34)을 이용하여 발생될 수 있으며, 이에 후속하여 신호 유닛(34)과 프로브(26) 사이의 전기 연결이 인터로크(36)를 이용하여 다시 차단된다. 단지 후속적으로 예를 들면 척(22, 66)을 하강시킴으로써 접촉이 해제되고 새로운 위치설정 및 접촉 절차가 시작될 수 있다.

Claims (8)

  1. 전력 소자를 측정하기 위한 방법으로서,
    - 척을 통하여 상기 전력 소자를 홀딩하는 단계,
    - 프로브 홀더를 통하여 하나 이상의 전기 프로브를 홀딩하는 단계,
    - 위치설정 장치를 이용하여 서로에 대해 상기 전력 소자, 또는 상기 프로브를 선택적으로 위치설정하여, 상기 프로브가 상기 전력 소자의 접촉면과 접촉하여 상기 전력 소자의 전기 접촉을 수행하는 단계,
    - 이에 의해 신호 유닛과 상기 프로브들 사이의 전기 연결이 차단되고, 이에 의해 전력 신호가 측정 신호로서 송신되거나 수신되는 단계,
    - 프로브와 접촉 영역 사이의 접촉이 형성되는 결정에 후속하여 신호 유닛과 프로브 사이의 전기 연결을 차단 해제하는 단계, 및
    - 상기 전력 소자를 측정하는 단계를 포함하는,
    전력 소자를 측정하기 위한 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 전력 소자의 측정에 후속하여 그리고 상기 접촉 영역으로부터 상기 탐침의 접촉을 해제하기 전에, 상기 신호 유닛과 상기 프로브 사이의 전기 연결이 다시 차단되는,
    전력 소자를 측정하기 위한 방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    프로브와 접촉 영역 사이의 접촉의 형성 동안, 상기 신호 유닛과 상기 프로브 사이의 전기 연결을 차단 해제하기 위해 차단 해제 신호가 발생되는,
    전력 소자를 측정하기 위한 방법.
  4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 측정에 후속하여, 상기 신호 유닛과 상기 프로브 사이의 전기 연결을 차단하도록 차단 신호가 발생되는,
    전력 소자를 측정하기 위한 방법.
  5. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,
    상기 신호 유닛은 측정 유닛의 일 부분이며, 상기 측정 유닛 내에서, 상기 차단 해제 신호 및/또는 상기 차단 신호가 발생되는,
    전력 소자를 측정하기 위한 방법.
  6. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,
    상기 위치설정 장치는 제어 유닛을 포함하며, 상기 제어 유닛 내에서, 상기 차단 해제 신호 및/또는 차단 신호가 발생되는,
    전력 소자를 측정하기 위한 방법.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 프로브와 상기 접촉 영역 사이의 접촉의 형성이 광학적으로 확인되는,
    전력 소자를 측정하기 위한 방법.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    하나 보다 많은 프로브를 통한 상기 전력 소자의 접촉이 발생되고, 대응하는 접촉 영역 상의 프로브 모두의 접촉이 결정된 경우, 상기 신호 유닛과 상기 프로브 사이의 전기 연결의 차단 해제가 발생되는,
    전력 소자를 측정하기 위한 방법.
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