KR20120104433A

KR20120104433A - 복굴절 미세구조 광섬유 제조 방법

Info

Publication number: KR20120104433A
Application number: KR1020127021188A
Authority: KR
Inventors: 유리 차모로브스키; 이고르 보로베브; 빅토르 볼로신
Original assignee: 클로즈드 조인트 스탁 컴패니 "프로포테크" (씨제이에스씨 "프로포테크")
Priority date: 2010-03-24
Filing date: 2011-03-22
Publication date: 2012-09-20
Also published as: RU2010111026A; ZA201205637B; KR101500819B1; CN102781859A; WO2011117809A1; RU2437129C1; BR112012021654A2; US20130008210A1

Abstract

광학 물질로 이루어진 튜브(4) 내부로 삽입되는 모재 로드(1) 상에 거울대칭의 그루브(2, 3)을 커팅하는 단계, 모재 로드 및 튜브를 비작동 영역에서 퓨징하는 단계, 퓨징된 모재 로드 및 튜브를 그루브(2, 3)와 튜브(4)에 의해 정의되는 종방향 채널을 구비하는 모재로 풀링하는 단계, 모재(5)를 세그먼트로 커팅하는 단계, 종방향 채널을 에칭하는 단계, 세그먼트 (양)단을 밀봉하는 단계, 세그먼트를 모세관 및 관형 공정 홀더와 어셈블링하는 단계, 관형 공정 홀더의 반대측에서 세그먼트와 모세관을 결합하는 단계, 모재 세그먼트를 광섬유로 연신하고, 연신된 광섬유에 보호강화코팅을 적용하는 단계를 포함하는 광섬유 제조 방법이 개시된다. 이에 의해, 거울대칭 그루브의 크기와 에칭 단계에 의해 영향을 받는 복굴절 특성을 가지는 광섬유가 생산된다.

Description

복굴절 미세구조 광섬유 제조 방법{METHOD FOR MANUFACTURING A BIREFRINGENT MICROSTRUCTURED OPTICAL FIBER}

본 발명은 일반적으로 섬유 광학(fiber optics) 분야에 관련된 것이고, 특히 복굴절 미세구조 광섬유(birefringent microstructured optical fiber) 제조 방법에 관련된 것이다. 설명을 하기 위한, 그러나 이에 의해 한정되는 것은 아닌 예(example)를 제공하기 위하여, 복굴절 미세구조 광섬유는 광학 도메인(optical domain)에서의 신호 처리(processing signal)를 위한 장비에 사용될 수 있을 뿐 아니라, 전류와 같은 물리량을 위한 센서에 사용될 수도 있다.

미세구조 광섬유의 제조 방법은 모재(preform) 제조 단계 및 섬유 연신(drawing) 단계를 포함한다. 모재의 제조에는, 모재에서의 드릴링(drilling), 그라인딩(grinding), 폴리싱(polishing), 에칭(etching) 및 종방향 채널(longitudinal channel)의 확장(expanding)과, 다양한 단면 형상을 가지는 일련의 튜브 및 로드(rod)로 이루어진 석영 모재(quartz preform)의 어셈블리(assembly) 및 풀링(pulling)과, 몰드(mould) 또는 다이(die)를 통과하도록 하는 것에 의한 모재 구조의 형성(이 방법은, 예를 들어 중합체(polymer)와 같이 낮은 녹는점을 가지는 경합금(light-alloy) 물질에 적합) 등을 포함하는 공지의 방법들이 수반된다.

참고문헌 1은 감소된 단파장 클래딩(cladding) 모드 손실을 위한 내부 갭(gap) 클래딩을 구비하는 광섬유 격자(optical fiber grating)를 제조하기 위한 기술을 개시한다. 섬유의 코어(core)는 종방향 공기 채널 층에 의해 반사 클래딩(reflection cladding)으로부터 분리된다. 공기 채널은, 전송파장(transmitted wavelength)보다 작은 두께를 가지며 코어 중심에 대하여 최대전송파장의 2배에서 10배의 거리에서 원주상으로(circumferentially) 배치되는 링크(link) 또는 버팀대(strut)를 구비한다. 코어는 종방향 채널의 공기 또는 다른 기체에서 다소 부유(suspend)한다. 이러한 섬유는 부유 코어를 구비한 미세구조 광섬유(micro-structured optical fibers with a suspended core)로 간주될 수 있고, 아래에서는 "MOFSC"로 짧게 불릴 것이다.

참고문헌 2는 또 다른 공지의 제조기술과 PANDA라고 알려진 섬유를 개시한다. PANDA 광섬유의 선형 복굴절은 편광모드의 고해(beating) 길이를 특징으로 하고, 고해 길이는 복굴절에 반비례하며 측정파장(measurement wavelength)에 정비례한다. 1550nm의 파장의 PANDA 섬유에서 고해 길이는 약 2 mm에 달하는 반면, 전술한 MOFSC 구조에서는 약 100 ㎛에 이른다.

MOFSC 구조는 비교적 작은 광 손실과 함께 높은 선형 복굴절 값을 달성하는 것을 가능케 하고, 예를 들어, 작은 직경과 많은 턴(turn) 수의 민감성 아웃라인 코일(sensitive outline coil)을 전류 센서에 사용할 수 있게 한다. 이로써 (측정되는 전류에 비례하는) 자기장에 대한 높은 민감도가 초래된다. 이는 섬유를 따라 주기적으로 회전하는 섬유의 선형 복굴절축(linear birefringence axis)의 나선형(spiral) 구조에서 특히 그러하다.

참고문헌 3은 다공성(holey) 광섬유를 생산하기 위한 공정 및 장치를 개시한다. 이 공정은 몇몇 단계, 즉 대칭축을 구비하며, 이 대칭축과 평행한 축을 가지는 광학 코어 및 2개의 사이드 채널(side channel)을 포함하는 모재의 생산 단계와, 추가적인 지지 튜브로 상술한 모재를 오버 자켓팅(over hacketing)하는 단계와, 중공 광섬유를 얻기 위해 모재의 연신된 부분의 연화를 가능케 하는 온도에서의 연신 단계를 포함한다. 이 공정은 상술한 모재 생산 단계 후에, 모재의 리세스(recess)(홀(hole))와 커뮤니케이트(communicate)하는 공동(cavity)을 구비하는 중공 챔버(chamber)를 모재의 상단에 타이트하게 부착하는 단계를 더 포함한다. 상기 공동은 공압 조절 장치(pneumatic regulation device)와도 커뮤니케이트한다. 상기 연신 단계는 공압 조절 장치의 도움 하에 공동 및 리세스(홀) 내 기체의 공압 조절을 포함한다.

이 공정은 반사 클래딩 내에 그루브(groove)를 형성하는 것에 의해 홀이 형성된 섬유를 얻을 수 있게 한다. 이 방법의 단점은 코어의 불완전한 부유(suspension)로 인해 높은 복굴절의 광섬유는 얻을 수 없다는 것이다. 또 다른 단점은 이 방법은 코어와 클래딩 사이의 굴절률(indices of refraction)에 있어서 식별 가능한(appreciable) 차이를 만들어내는 것에는 좋지 않거나 전혀 적합하지 않다는 것이다.

참고문헌 4는 미세구조 섬유의 제조를 위한 공정을 개시한다. 이 공정에서, 미세구조 섬유를 위한 모재 또는 미세구조 섬유를 위한 모재의 일부가 생산된다. 모재 또는 일부는 종방향의 길이와 그에 수직인 단면을 가지고, 모재 또는 일부의 중앙에 배치되는 로드(rod)와 상기 로드와 동심인 1 이상의 튜브를 포함한다. 로드는 첫 번째 동심 튜브 내부에서 슬리브(sleeved)되고, 로드 및/또는 적어도 하나의 동심 튜브는 각 로드 또는 튜브 내에 동일한 그루브 및/또는 슬릿(slit)을 구비하며, 그루브 또는 슬릿은 종방향으로 연장(extending)하는 것으로, 모재 또는 일부의 중심에 대하여 최내곽(innermost)에서 종방향으로 연장하는 짝수의 그루브 및/또는 슬릿을 구비한다.

참고문헌 4에 따른 방법은 광섬유의 축에 평행한 1 이상의 대칭 공기 채널 층에 의해 코어가 반사 클래딩으로부터 분리된 미세구조 광섬유의 생산을 가능케 한다.

미세구조 섬유는 구조축(structure axis)에 평행한 그루브를 출발(starting) 로드 및/또는 튜브 내에 생성함으로써 얻어진다. 이후, 로드 및 튜브가 조립되고 공기 채널을 구비한 출발 모재를 얻기 위해 축방향으로 대칭적으로 정렬된다. 상기 공기 채널의 수는 컷 그루브(cut groove)을 구비한 사용된 튜브의 수에 종속된다. 이 공정은 필연적으로 축 대칭 출발 모재 구조 및 그에 따른 광섬유를 생성한다. 따라서 참고문헌 4에 따른 방법은 원형 코어를 구비한 MOFSC를 만드는데 적합하다. 이 기술의 단점은 특히 다양한 기하형상의 코어 및 클래딩을 구비한 섬유를 얻을 수 없다는 것이다. 결과적으로, 참고문헌 4의 기술은 복굴절 섬유를 생산하는 것에는 적합하지 않다.

본 발명의 목적은 위에서 규명된 문제점들 중 하나 또는 그 이상을 해결하는 것이다. 다시 말해, 본 발명의 목적은 미세구조 복굴절 광섬유의 생산에 관한 개선점을 제공하는 것이다. 본 발명의 목적은 첨부된 독립항들에 의해 정의되는 방법에 의해 달성된다. 본 특허 명세서 및 도면뿐만 아니라 종속항 역시 추가적인 특징을 제공하고/하거나 추가적인 문제점을 해결하는 특정 실시예를 제공한다.

본 발명의 일측은 광섬유를 제조하기 위한 방법이다. 상기 방법은 다음의 공정 단계를 포함하고, 수월한 논의를 위해 각 공정 단계를 항목화하였다.

a) 모재 로드의 종방향 회전축을 통과하는 적어도 하나의 면(plane)에 대하여 거울대칭(mirror-symmetrical)이며, 각 그루브쌍 내에서 그루브의 형상 및 크기가 유사한 2쌍 이상의 종방향 그루브를 모재 로드의 전체 길이에 걸쳐 모재 로드 상에 생성하는 단계,

b) 모재 로드의 외직경보다 작지 않은 직경의 내면(inner surface)을 가지며 광학 물질로 이루어진 튜브 내부로 모재 로드를 삽입하는 단계,

c) 모재 로드 및 튜브를 비작동(nonworking) 영역에서 퓨징(fusing)하는 단계,

d) 거울대칭 그루브 및 튜브의 내면으로부터 발생된 종방향 채널을 구비하는 모재로 퓨징된 모재 로드 및 튜브를 풀링(pulling into)하는 단계,

e) 모재를 적어도 하나의 모재 세그먼트(segment)로 커팅(cutting)하는 단계,

적어도 하나의 모재 세그먼트를 위한 다음의 단계들을 실행하는 단계,

f) 에칭된 채널을 형성하기 위해 모재 세그먼트의 종방향 채널을 에칭하는 단계,

g) 모재 세그먼트의 양단을 밀봉(sealing)하는 단계,

h) 관형(tubular) 공정 홀더(process holder)를 수반(carrying)하는 모세관(capillary tube) 및 모재 세그먼트의 어셈블리(assembly)를 생성하는 단계,

i) 모재 세그먼트 및 모세관을 관형 공정 홀더의 반대측에서 퓨징하는 단계,

j) 모재 세그먼트 및 모세관의 어셈블리를 광섬유로 연신하는(draw into) 단계, 및

k) 연신된 광섬유 위에 보호강화코팅(protective strengthening coating)을 적용하는 단계.

a) 단계에서, 공정은 출발 모재 로드 상에 2쌍 이상의 종방향 그루브를 생성하는 것에 의해 시작되고, 상기 출발 모재 로드는 대체로 원통형이며 섬유 광학 어플리케이션에 적합한 광학 물질로 형성된다. 예를 들어, 출발 모재 로드는 고순도의 퓨징된 석영(실리카(silica))로 이루어질 수 있다. 상기 특징은 가능한한 오염 불순물이 없는 모재의 획득을 보장하고, 그것으로 인해 원하는 특성들을 가지며 원하는 굴절률을 보장하는 도펀트(dopant)을 포함하는 최종적으로 완성된 섬유의 획득을 보장한다. 그루브의 배열은, MOFSC의 채널이 섬유의 종방향 회전축 주위에서 완전 회전 대칭을 가지는 종래기술과 차이를 보인다. 예를 들어, 채널의 수가 4이면, 종래기술은 완전한 2π/4 (90°) 회전 대칭을 교시한다. 종래기술에서 미세구조 섬유의 2π/4 (90°) 회전은 채널의 동일한 배열을 초래한다. 이러한 미세구조는 복굴절 광섬유의 제조를 뒷받침하지 않는다. 이 때문에, 종방향 그루브는, 전체 그루브 세트가 출발 모재 로드의 종방향 회전축을 통과하는 적어도 하나의 면에 대하여 거울대칭이도록 생성된다. 각 그루브 쌍에서 그루브의 형상 및 크기는 유사하다. 이는 창의적인 공정에서의 그루브 세트는 종방향 회전축을 통과하는 적어도 하나의 면에 대하여 거울대칭을 가지나, 그루브 세트는 오직 π(180°) 회전 대칭만을 가진다는 것을 의미한다. 이는 복굴절 광학 특성을 가지는 광섬유를 제조 가능하게 하는 거울대칭 및 완전 회전 대칭의 부재(lack)이다. 그루브는 예를 들어 정밀 그라인더에 의해 커팅될 수 있다. 뒤이은 제조 단계에서의 변형 스트레인(strain)의 영향은 반드시 충분히 고려되어야 한다. 그루브를 커팅한 후 출발 모재 로드는 일반적으로 세척 및 건조 등을 통해 청소된다. 청소 단계는 로드로 하여금 완성된 광섬유에서의 손실을 초래할 수 있는 불순물을 가지지 않도록 한다.

다음의 b) 공정 단계는 모재 로드를 석영과 같은 광학 물질로 이루어진 튜브에 삽입하는 것을 포함한다. 튜브의 내면은 모재 로드의 외직경보다 작지 않은 직경을 가지고, 이로써 모재 로드는 최소의 슬랙(slack)으로 튜브에 삽입될 수 있다.

c) 단계는 모재 로드 및 튜브를 비작동 영역에서 퓨징하는 것을 포함한다. 본 명세서에서, 비작동 영역은 추후에 폐기되는(discarded) 영역을 의미한다. 이러한 퓨징은 예를 들어 가스 버너와 같은 국부 가열 장치를 이용하여 이루어질 수 있다. 상기 특징은 튜브가 모재 로드에 고정(secure)되도록 하고, 일단에 밀봉(seal)된 비분리(non-detachable) 조인트(joint)가 얻어지게 한다.

d) 단계는 퓨징된 모재 로드 및 광학물질로 이루어진 튜브를 모재로 풀링(pulling)하는 것을 포함한다. 이 공정 단계는 성공적인 풀링 및 동시에 일어나는 튜브 오버랩(overlap)에 의한 자켓 커버링(jacket covering)을 보장하고, 이로써 모재의 원하는 직경이 얻어진다. 모재는 거울대칭 그루브 및 튜브의 내면으로부터 발생된 종방향 채널에 의해 형성된 내부 구조를 보인다. 모재의 단면 크기는 풀링 전의 모재 로드 및 튜브의 크기와 비교했을 때 매우 감소되고, 날카로운 각(angle)과 같은 예리한 컨투어(contour)는 상당히 라운드지다(rounded).

e) 단계는 모재를 아래에서 모재 세그먼트로 불리는 1 이상의 세그먼트로 커팅하는 것을 포함한다. 명확함을 위하여, 아래에서는 단일 세그먼트로 설명되나 모든 모재 세그먼트는 유사하게 가공될 수 있다. 커팅 단계는 모재의 작동부(working part)의 길이에 대응하는 길이의 모재 세그먼트를 발생시킨다.

f) 단계는 모재 세그먼트의 종방향 채널을 에칭하는 것을 포함하고, 이로써 모재 세그먼트 내에 에칭된 채널이 형성된다. 에칭 공정은 예를 들어 불산(HF acid)을 압력 하에 채널을 통해 펌핑함으로써 이루어질 수 있다. 모재 및 최종 완성 섬유의 미세구조의 크기는 에칭 공정뿐만 아니라 그루브의 최초 형상 및 크기, 튜브의 내직경, 풀링 공정으로부터의 크기 감소에 의하여도 영향을 받는다. 미세구조의 크기 및 물질(material)과 도펀트의 광학 특성은 최종 섬유의 희토류 도핑(rare earth doping)을 위한 레이징(lasing) 특성과 같은 다른 특성들뿐 아니라, 복굴절 특성 또한 결정한다. 또한, 에칭 공정은 링크 버팀대(link strut)의 두께를 얇게 하여 완성된 섬유에서 전송광(transmitted light)의 파장보다 작게 한다. 결과적으로, 에칭 공정 후, 링크 버팀대는 생성된 섬유의 코어로부터 광이 누출되기에는 너무 얇다. 에칭 공정 후, 생성되는 광섬유에서 손실을 일으킬 수 있는 불순물을 제거하기 위해 모재 세그먼트의 내외면은 예를 들어 세척 및 건조를 통해 청소될 수 있다.

g) 단계는 모재 세그먼트의 적어도 일단, 바람직하게는 양단을 밀봉하는 것을 포함한다. c) 단계와 유사하게, 밀봉은 가스 버너와 같은 국부 가열 장치를 통해 이루어질 수 있다. 밀봉 단계는 모재 세그먼트를 주위의 튜브에 부착하고 불순물, 외부 매연 및 기체의 내부 채널로의 유입을 방지한다.

h) 단계는 모재 세그먼트를 관형 공정 홀더를 수반하는 모세관과 함께 어셈블링(assembling)하는 것을 포함한다. i) 단계에서 모재 세그먼트와 모세관은 관형 공정 홀더의 반대측에서 결합(join)한다. 모재 세그먼트와 모세관 사이의 비분리 조인트는 예를 들어 퓨징에 의해 이루어질 수 있다. 석영 모세관의 내면(internal surface)과 모재 세그먼트 사이의 반대 끝에 갭(gap)이 남을 수 있다. 이 공정 단계의 장점은 이어지는 섬유 연신 단계를 위하여 모재가 용이하게 고정된다는 것이다. 또한, 모재의 직경 및 질량이 증가하고, 이는 이 공정이 거의 모든 원하는 직경의 광섬유의 제조를 가능하게 한다는 것에 대한 이유이다.

j) 단계는 모재 세그먼트를 광섬유로 연신하는 단계를 포함하고, k) 단계는 연신된 광섬유에 보호강화코팅을 적용하는 것을 포함한다. 이러한 단계들은 종래기술로부터 알려진 이에 대응되는 단계들과 유사할 수 있다.

섬유 코어의 미세구조에서 종래기술과의 차이를 볼 수 있고, 이러한 차이는 그루브의 배열, 형상 및 크기, 튜브의 내직경, 에칭 공정에 의해 결정된다. 따라서, 원하는 복굴절 특성을 가진 광섬유가 생산된다.

생성되는 섬유 코어의 복굴절은 다음과 같이 주어진다.

여기서, K는 비례인자, a 및 b는 그루브에 의해 새겨진 타원(ellipse)의 장축(major axis) 및 단축(minor axis)이다. (a-b)/(a+b)의 비는 그루브에 의해 새겨진 타원의 타원율(elliptcity)이고, △n은 코어와 클래딩의 굴절률 차이다. 복굴절을 달성하기 위해, 그루브에 의해 새겨진 타원의 장축 및 단축은 반드시 크기가 달라야 한다. 실제로, 타원율은 0.05 이상이어야 한다.

상기 창의적인 제조 공정은 다양한 기하형상의 광섬유 코어에 넓게 적용 가능하다. 상기 공정은 1^*10^-2 이상의 선형 복굴절을 가지는 광섬유의 제조가 가능하다. 테스트 결과, 이 공정은 1550 nm의 파장에서 약 2 db/km의 광학 손실을 가지는 광섬유를 제조할 수 있음이 밝혀졌다. 손실은 주로 석영의 질, 미세 횡균열(transverse micro-crack)의 수 및 크기에 종속된다. 이러한 점에서, 종래기술에서 사용된 채널 드릴링 방법은 지나친 양의 미세 균열 및 채널 내의 오염을 야기했다는 점은 특히 언급할 만하다. 또한, 종래기술에서 사용된 드릴링 방법은 추후에 모재를 광학 튜브에 삽입함으로써 폐쇄되는 열린 그루브를 커팅(예를 들어 그라인딩에 의해)하는 것에 의해 채널이 형성되는 상기 창의적인 공정과 비교했을 때 더 비싼 고정밀 드릴링 장비를 요구한다.

본 문서의 도입부에 언급하였듯이, 1550nm 파장의 PANDA 섬유에서 고해 길이는 약 2 mm에 달한다. 이와는 반대로, 본 발명의 제조 공정은 고해 길이가 20:1 개선인 약 100 ㎛인 MOFSC 구조를 제조할 수 있다.

특정 실시예에 대한 아래의 설명에서, "제1실시예"부터 "제3실시예"의 용어는 다양한 기하형상 및/또는 섬유 코어의 제조 기술을 의미한다. "선택적 특징"은 추가적인 장점을 제공하고/하거나 나머지 문제점을 해결하는 특징을 의미하고, 이러한 선택적 특징은 서로 결합되고/되거나 넘버링된 실시예들 중 어느 것과도 결합될 수 있다.

선택적 특징 중 하나에 따르면, 모재 세그먼트는 모재 세그먼트를 광섬유로 연신하는 단계 중 회전할 수 있고, 이로써 나선형 축 구조를 얻을 수 있다. 이러한 나선형 축 구조는 섬유를 따라 전파하는 타원형 편광모드의 가능성을 제공하고, 이는 예를 들어 전류 센싱 어플리케이션에서 특히 유용하다.

또 다른 선택적 특징에 따르면, 모재는 양단이 밀봉될 수 있고, 선택적으로, 밀봉 전에 가압된 기체로 채워질 수 있다. 이 기술은 섬유 코어를 지나친 압축 및 파열로부터 보호하고, 미세균열을 감소시켜 생성되는 섬유의 미세구조를 개선하는 것을 돕는다.

창의적인 방법은 아래에 자세하게 설명된 한정되지 않는 특정 실시예에 의해 더 쉽게 이해될 수 있고, 첨부된 도면에 있어서 유사한 참조부호 또는 숫자는 유사한 아이템(item)을 가리킨다.
도 1은 2쌍의 그루브를 채용한 일실시예의 코어 모재 상의 그루브의 대표적인 배열 및 형상을 도시한 것이다.
도 2는 석영 튜브를 구비한 모재 로드의 단면 어셈블리를 도시한 것이다.
도 3은 석영 튜브를 구비한 모재 로드의 퓨전(fusion)을 위한 다이어그램을 도시한 것이다.
도 4는 모재 로드 및 석영 튜브를 모재로 풀링하기 위한 다이어그램을 도시한 것이다.
도 5는 모재에 채널을 에칭하기 위한 다이어그램을 도시한 것이다.
도 6은 모재 양단을 밀봉하기 위한 다이어그램을 도시한 것이다.
도 7은 모재 및 모세관의 퓨전을 위한 다이어그램을 도시한 것이다.
도 8은 MOFSC의 단면을 도시한 것이다.
도 9는 창의적인 제조 공정의 제2실시예, 특히 코어 모재 상에서 커팅되는 그루브의 배열 및 형상 및 크기를 도시한 것이다.
도 10은 제2실시예에 의해 얻어진 6 채널을 구비한 MOFSC 코어의 단면에 대한 현미경 사진(micrograph)이다.
도 11은 제2실시예에 의해 얻어진 6 채널을 구비한 MOFSC의 단면에 대한 현미경 사진이다.
도 12-16B는 창의적인 제조 공정의 제3실시예를 도시한 것이다.

제1실시예

도 1 내지 8에서의 참조번호는 다음과 같다. 1- 모재 로드, 2- 제1그루브쌍I-I, 3- 제2그루브쌍II-II, 4- 유리(석영) 튜브, 5- 모재, 6- 퓨전포인트(fusion point), 7- 풀링된 모재, 8- 출발 채널 프로파일(profile), 9- 에칭된 채널 프로파일, 10- 채널 링크 버팀대, 11- 모재 코어 영역, 12- 밀봉된 모재 양단, 13- 모세관, 14- 관형 홀더, 15- 모재 세그먼트(7) 및 모세관(13)의 퓨전포인트, 16- 갭(gap), 17- 보호강화코팅, 18- MOFSC 코어 영역, 19- 섬유 공정 매트릭스(matrix) 영역.

도 1 내지 8에서의 참조부호는 다음과 같다. A- 단면 상에서의 모재 로드의 타원의 장축, B- 단면 상에서의 모재 로드의 타원의 단축, d- 모재 로드 직경, D- 석영 튜브의 내직경, DH- 석영 튜브의 외직경, Dp- 풀링된 모재의 직경, Dk- 석영 모세관의 외직경, dk- 석영 모세관의 내직경, L- 모모재(pre-preform) 세그먼트 길이, S- 에칭되지 않은 채널 링크 버팀대 두께, s- 에칭된 채널 링크 버팀대 두께, GB- 가스버너.

도 1을 참조하면, 창의적인 방법의 설명적 실시예가 다음과 같이 구현되어 있다. 상기 방법은 직경 d의 원통형 출발 모재 로드(1)를 생성하는 것으로 시작된다. 다음으로, 출발 모재 로드(1)에서 최대한 불순물을 제거하는 청소를 한다. 목표 굴절률 인자와 같은 원하는 특성을 얻기 위해 필요에 따라 도펀트(dopant)가 추가될 수 있다. 어떠한 어플리케이션(application)을 위해서는 출발 모재 로드(1)는 순수 석영으로 이루어질 수 있다. 다른 어플리케이션을 위해서, 해당 어플리케이션에서 요구되는 특성을 부여하기 위해 석영은 도핑(dope)될 수 있다. 예를 들어, 레이저 특성을 얻기 위해 석영은 희토류 원소(rare earth element)로 도핑될 수 있다. 또는, (브래그(Bragg) 격자를 기록하기 위해) 굴절률의 감광성(photosensitivity)을 높이기 위해 석영은 다른 도펀트로 도핑될 수 있다. 종방향 그루브는 종방향 그라인딩과 같은 기계 가공 또는 화학 공정 또는 레이저 커팅 또는 이러한 공정 기술들의 조합에 의해 모재 로드의 외면 상에 생성된다. 이는 노동집약(labour-intensive) 및 모재 로드의 채널의 종방향 드릴링과 같은 정밀 공정을 피할 수 있게 하고, 채널 표면으로 하여금 도파관(waveguide) 손실을 증가시키는 미세 횡균열로부터 자유로울 수 있게 한다. 단면 상에서 거의 타원형인 부유 코어(suspended core)를 구비하는 MOFSC를 얻기 위한 하나의 예(example)가 도 8에서 보여질 것이고, 짝수의 그루브는 쌍으로 생성되며, 이러한 2이상의 그루브쌍은 출발 모재 로드(1)의 종방향 회전축을 통과하는 적어도 하나의 면(plane)에 대하여 거울대칭(mirror-symmetrically)으로 생성된다. 도 1에 도시된 실시예에서, 참조번호 2 및 3은 제1그루브쌍I-I 및 제2그루브쌍II-II을 각각 가리킨다. 각 그루브쌍(2, 3) 내에서, 그루브의 형상 및 크기는 동일하거나 주어진 제조 공차 하에서 최대한 동일하다. 그루브쌍의 수, 이들의 크기(깊이, 폭, 단면 형상) 및 배열은 원하는 MOFSC 구조에 종속되고, 이어지는 제조 단계에서의 스트레인(strain) 변형의 영향이 고려된다. 도 1에 도시된 예는 직각으로(orthogonally) 배치되는 4개의 그루브를 구비한다. 생성된 그루브(2, 3)를 구비하는 모재 로드(1)는 최종 광섬유에 손실을 일으킬 수 있는 불순물을 제거하기 위해 세척 및 건조된다.

도 2는 모재에 채널(channel)을 생성하는 공정을 도시한 것이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 생성된 그루브(2, 3)를 구비하는 모재 로드(1)는 광학 및 기계 특성이 모재 로드(1)의 그것과 유사하거나 근접한 튜브(4)와 어셈블링된다. 예를 들어, 튜브(4)는 유리, 석영 또는 유사 물질일 수 있다. 석영 튜브(4)의 내직경(D)은 모재 로드(1)의 외직경(d)과 매칭되거나 이를 약간 초과하여, 모재 로드(1)는 튜브(4) 내부로 삽입될 수 있다.

도 3은 유리 도는 석영 튜브(4)를 구비한 모재 로드(1)의 퓨전(fusion)을 도시한 것이다. 포인트 가스버너(GB)를 이용함으로써 모재 로드(1)와 석영 튜브(4)는 비작동 영역(6)에서 퓨징되어 고정 조인트를 생산하고, 이는 추가 작업에 편의를 제공한다. 이 공정은 내부 채널을 구비한 모재 로드(1)의 직경(d)을 이어지는 풀링에 적합한 크기 DH로 증가시킨다. 이와 같이 형성된 어셈블리는 참조번호 5로 표시된다.

도 4는 모재 로드(1) 및 석영 튜브(4)가 참조번호 7로 표시된 모재로 풀링(pulling)되는 공정 단계를 도시한 것이다. 이 단계에서, 풀링은 기하학적 상사의 원리(principle of geometrical similarity)를 따르고, 중앙부의 형상은 변하지 않는다. 결과물은 원하는 직경(Dp)의 풀링된 모재(7)이다. 다음으로, 모재(7)는 이어지는 섬유 연신(drawing)을 위해 사용되도록 모재의 작동부의 길이에 대응하는 길이(L)의 세그먼트로 커팅된다. 세그먼트의 길이(L)는 사용되는 장비의 능력에 종속된다.

도 5는 모재(7)의 단면도를 나타내고, 쇄선(8)은 그루브(2, 3)에 의해 형성된 채널의 초기 형상 및 튜브(4)의 내벽을 나타낸다. 도 5에 도시된 바와 같이, 채널(8)의 형상은 도 4와 관련되어 논의된 풀링 공정에서 라운드지게 된다.

도 5는 코어 모재의 채널(8)이 예를 들어 불산(HF acid)에 의해 에칭되는 공정 단계 또한 나타낸다. 에칭 공정의 결과, 채널의 크기는 참조번호 9로 표시된 형상으로 증가한다. 동시에, 링크 버팀대(10)의 두께는 S에서 s로 감소된다. 코어 모재의 내면 및 외면은 청소되고 건조된다. 예를 들어, 아르곤(argon)과 같은 비활성기체(noble gas)의 유동은 불산 및 오염물을 제거하는데 사용될 수 있다.

도 6은 모재 세그먼트(7)의 양단이 밀봉되는 공정 단계를 도시한 것이다. 참조번호 12는 밀봉 포인트를 나타낸다. 이후, 도 7에 도시된 바와 같이, 모재(7)는 모세관(13)과 어셈블링된다. 결과적으로, 모재의 부피(material volume)은 증가한다. 풀링 단계에서 모재를 고정하기 더 편리하도록 보조 관형 공정 홀더(14)는 모세관(13)에 밀봉된다. 모재 세그먼트(7)와 모세관(13)을 관형 공정 홀더(14) 반대측 포인트(15)에서 퓨징하는 것을 통해 모재가 얻어진다. 관형 공정 홀더(15)측 일단(16)에서, 모재 세그먼트(7)와 석영 모세관(13)의 내면 사이에 갭(16)이 남겨진다. 밀봉 단계는 내부에 구속된 기체가 섬유 코어를 압축으로부터 보호하는 효과를 가진다.

다음으로, 도 8에 도시된 바와 같이, 모재는 섬유 코어 영역(18) 및 MOFSC 공정 매트릭스 영역(19)을 구비하는 광섬유로 연신된다. 보호강화코팅(17)은 광섬유에 적용된다. MOFSC에 기계적 강도를 부여하고 핸들링(handling)을 간략화하기 위하여 공정 매트릭스 영역(19)이 사용된다. 양단이 밀봉된 모재 세그먼트(7)로 모재를 연신하는 것을 통해 채널은 균일하게 연장되고 격벽(partition wall)(버팀대)은 균일하게 얇아진다. 이로써, 고복굴절과 저감쇠(low attenuation)의 채널이 얻어진다. 도 8에 도시된 단면에서, 섬유 코어는 새겨진 타원의 크기에 의해 결정되는 크기를 가진 규칙적인 별 형상(star-shaped) 구조를 가지고, 빔(beam)은 채널 간의 링크 버팀대이다. 링크 버팀대의 두께는 약 100nm 이하이다.

연신 공정 단계의 창의적인 방법의 변형예에서, 모재는 광섬유 모재의 동시(simultaneous)의 회전에 더하여 보호강화코팅의 적용을 포함하는 광섬유로 될 수 있다. 연신 중의 광섬유 모재의 동시 회전의 효과는 나선형 구조 복굴절축을 가진 MOFSC이다. 잘 정의된(well-defined) 나선형 구조를 가지는 이러한 복굴절축은 전기 전류 센서 또는 자기장 센서와 같은 물리량 센서에 사용될 수 있다.

명확함을 위해, 상기 본 발명의 작동원리의 설명에서는 현실의 크기(real-world dimension)는 생략되었다. 특정 사용예(use case)에 대한 아래의 설명에는 대표적인 크기가 제공되고, 이러한 크기는 본 발명의 절대적인 한정 조건이 아니라 가이드라인으로 설명되는 것이다.

제2실시예

도 9는 대략 1^*10^-2와 같은 높은 선형 복굴절을 가지는 MOFSC 제조 방법의 일실시예를 나타낸다. 직경 d=19mm, 길이 L=150-200mm의 원통형 출발 로드(1)가 생성된다. 세 쌍의 그루브(2A, 2B, 3)가 모재의 종방향 회전축을 통과하는 면에 대하여 거울대칭으로 생성되고, 한 쌍의 그루브(3)는 하나의 축을 따라 상부(top)에서 2mm의 반지름을 가지는 5mm 깊이의 반원 그루브(3)이고, 다른 두 쌍의 그루브(2A, 2B)는 3.5mm 크기의 (중앙에 더 가까운) 내부 베이스와 8.75mm 길이를 가지는 부분원(partial circle)인 외부 베이스를 구비하는 사다리꼴(trapezoidal) 그루브(2A, 2B)이며, 다른 축을 따라 6.5mm의 깊이를 가진다. 본 실시예에서, 불규칙한 그루브 형상은 코어가 9mm x 6mm의 기설계된 크기를 가지도록 하고, 모든 링크 버팀대(10)는 2mm와 같이 동일한 두께를 가지도록 한다. 로드(1) 상의 그루브(2A, 2B, 3)는 예를 들어 모재 로드(1)의 고정 및 주기적인 회전을 가능케 하는 장치를 갖춘 종방향 디스크(disc)의 (로드에 대한) 움직임과 함께 프로파일 표면 그라인더에서 그라인딩되어 생성될 수 있다. 상기 그루브를 구비한 모재 로드(1)는 세척 및 건조된다.

제1실시예(도 3-4)와 유사하게, 생성된 로드 구조는 내직경 D=20mm, 외직경 DH=25mm의 석영 튜브(4) 내부로 삽입되고, 비작동영역(도 3에서 포인트 6)에서 퓨징되며, 직경 Dp=1.1mm의 모재 구조(7)로 풀링된다. 풀링은 세심하게 조절된 연신된 모재 구조의 직경과 함께 전기적으로 가열된 고온의 노(furnace)를 이용하는 연신 타워(drawing tower)에서 미리 이루어진다. 모재(7)는 모재의 작동부 길이에 대응하는 길이인 150-200mm의 세그먼트로 커팅된다. 코어 영역에서의 목표 크기(관련된 크기로서, A=400 ㎛, B=270 ㎛, 링크 버팀대의 최소 폭=10-40 ㎛)에 이르기 위해 모재 구조(7)는 내부적으로 에칭(도 5 참조)된다. 코어 모재의 내면 및 외면은 산(acid) 및 오염물을 제거하기 위해 건조 아르곤 유동을 이용하여 세척 및 건조된다. 보조 관형 홀더(14)는 모세관(13)에 밀봉(도 7참조)된다. 직경 Dp=1.1mm의 생성되는 구조(7)는 양단으로부터 밀봉되고 홀더(14)를 수반하는 석영 모세관(13) 내부에 Dk=14.5mm 및 적어도 dk=1.11mm의 내직경의 기설계된 비(ratio)로 삽입된다. 석영 모세관(13)의 내면과 모재 세그먼트(7) 사이의 반대 끝에 최소 0.01mm 갭(간격)(16)이 남겨진다. 따라서, 얻어진 구조는 섬유 직경 80 ㎛, 대략 2.5 ㎛ x 1.6 ㎛의 코어 크기 및 약 100nm 폭의 링크 버팀대의 기설계된 비를 가지는 광섬유가 연신된다. 섬유는 연신타워에서 광섬유로 연신되고, 동시에 보호강화코팅(17)이 적용되며, 예를 들어 이는 아크릴산 코팅일 수 있다. 연신된 섬유의 직경은 계측 시스템(instrumentation system)을 이용하여 약 1 ㎛와 같이 높은 정밀도로 유지된다. 예를 들어, 이러한 계측 시스템은 섬유의 직경에 대한 정확한 측정을 수행하고 섬유 연신 공정을 제어하는 제어 시스템에 피드백 신호를 제공할 수 있다.

참고문헌 5는 제2실시예의 방법에 의해 제조되는 MOFSC 섬유를 설명하나, 실제 제조 방법은 개시되지 않았다. MOFSC 섬유는 실험 데이터에 의해 증명된 1^*10^-2의 복굴절 값을 가진다. 도 10은 6채널의 MOFSC가 여기에서 설명되는 방법에 의해 생산된다는 것을 증명하는 코어 현미경 사진을 보여준다. 도 11은 본 창의적인 방법에 의해 생산되는 6채널의 MOFSC의 단면에 대한 현미경 사진을 보여준다. 도 10 및 11에 표시된 크기는 전자 현미경의 디스플레이로부터 얻어진 실제 측정치이고, 이러한 측정치로 인해 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 도 10 및 11로부터 본 발명의 두 가지 중요 장점을 명확히 알 수 있다. 첫째, 생성되는 MOFSC는 서로 다른 크기의 장축 및 단축을 가진 코어를 명백하게 구비한다. 이 특징은 원하는 기설정된 복굴절을 가져다 준다. 둘째, 코어를 지지하는 버팀대(10)의 두께가 빛의 파장보다 확실히 작고, 이는 버팀대가 섬유의 코어로부터의 빛을 외피로 누수(leak)하지 않는다는 것을 의미한다.

제3실시예는 섬유 코어의 보통의(moderate) 타원율 및 4 그루브 클래딩 구조를 가지는 복굴절 미세구조 섬유를 제조하기 위한 방법에 관한 것이다. 예를 들어, 이 방법은 단축이 장축의 약 80%인 섬유 코어를 가지는 복굴절 미세구조 섬유를 제조하는데 적합하다.

실시예들 간에 섬유 코어의 모양은 다르나, 제3실시예의 제조 단계는 실질적으로 제1실시예의 그것과 유사하다.

첫째, 도 12에 도시된 바와 같이, 모재 로드(1)는 그라인딩 및 폴리싱에 의한 그루브에 의해 제공된다. 모재 로드의 코어부의 상대적 크기는 생성되는 광섬유의 타원율을 결정한다. 본 실시예에서, 다음의 크기가 사용되었다. d=20mm, A=12.8mm, B=10.8mm, S=3, 6mm. 다음으로, 모재 로드는 청소되고 건조된다. 이후, 도 13에 도시된 것처럼, 모재 로드는 직경 D_H= 25 mm의 적절한 크기의 실리카 튜브(4)로 삽입되고, 일단에서 퓨징된다.

실리카 튜브(4)에 삽입하고 퓨징한 후, 모재 로드(1)는 모재 로드에서 모재(7)로 변환하기 위해 타워(tower)에서 연신된다. 모재(7)의 단면은 모재 로드와 비교했을 때 매우 감소된 외측 크기를 가진다. 도 14는 연신 타워에서 얻어진 모재의 단면도를 나타낸다. 본 실시예에서, 크기는 다음과 같다. Dp=1.40mm, A'=0.72mm, B'=0.61mm, R'=0.56mm, s=0.2mm.

내부 채널(8)은 불산으로 에칭된다. 에칭된 채널(9)은 청소되고 건조된다. 도 15는 에칭 공정 후의 섬유 코어의 단면도를 나타낸다. 본 실시예에서, 에칭 공정은 채널을 △R=0.08mm 만큼 개방하고, 에칭 후 버팀대의 폭은 s'=0.04mm이다. 마지막으로, 도 16A에 도시된 바와 같이, 모재는 추가적인 두꺼운 벽의 튜브(19-21)에 삽입되고, 이러한 어셈블리는 완성 섬유로 연신된다. 본 실시예에서, 두꺼운 벽의 튜브는 공정 매트릭스 영역(19)을 포함하고, 이 공정 매트릭스 영역(19)은 연질층(soft layer)(20)에 의해 둘러싸이며, 연질층(20)은 경질층(hard layer)(21)에 의해 둘러싸인다. 도 8에 도시된 2층 코팅에 비교했을 때, 도 16A에 도시된 3층 코팅은 넓은 온도 범위 내에서의 저감쇠와 같은 개선된 광학 특성을 제공한다. 도 16B는 섬유의 중앙부에 대한 확대도로, 도 16A를 2:1의 비율로 확대한 것이다.

제3실시예의 공정의 세부 사항은 제1실시예와 유사하게 구현될 수 있다. 예를 들어, 모재는 세그먼트로 커팅되고, 각 세그먼트는 양단에서 밀봉된다. 연신 단계 중에 보호코팅이 적용되고, 전류 센서를 위한 센싱 섬유를 위해서 모재 및 튜브를 포함하는 어셈블리는 연신 단계 중 회전하여 나선형 축 구조를 얻을 수 있다. 제1실시예는 보다 간단한 코팅 배열로 설명되고 제3실시예는 보다 복잡한 코팅과 함께 설명되나, 코팅 배열이 섬유 코어가 제조되는 방법에 대하여 독립적인 것은 자명하다.

제3실시예의 제조 공정의 장점은 그루브 커팅 공정을 위해 보다 간단한 장비가 요구된다는 것이다. 이는 제1실시예에서는 만곡된 벽이 사용되는데 반해 제3실시예에서는 모재 로드에 커팅되는 모든 그루브는 오직 면상(planar)의 (평평한) 벽만을 가지기 때문이다. 간단한 장비가 요구됨에도 불구하고, 제3실시예의 공정은 모재 로드의 타원율을 변경하기 위한 간단한 방법을 제공한다. 여기에서, 타원율은 그루브 커팅 후의 모재 로드에 의한 타원형의 외피의 장축 및 단축의 비(ratio)를 의미한다. 모재 로드의 타원율은 생성되는 광섬유의 타원율 및 광학 특성, 특히 복굴절에 영향을 미친다.

언급되었듯이, 다양한 실시예들 간에 제조 단계는 실질적으로 유사하고, 실시예들 간의 차이점은 주로 모재 로드와 최종 완성 섬유의 중앙 코어부이다. 이러한 차이점에 영향을 미치는 2가지 주요 인자가 있다. 첫째, 모재-튜브 어셈블리의 밀봉된 양단은 내부 채널 내부의 증가된 압력을 야기하고, 이 증가된 압력은 모재의 단면 상에서의 채널 영역의 더 큰 비율을 야기한다. 둘째, 연신 단계 중의 표면장력은 단면 형상의 스무드닝(smoothening)를 야기한다. 즉, 증가된 표면장력으로 인해 날카로운 각은 라운드지게 된다.

모재 로드 상에 커팅된 전체 그루브 배열이 두 축(도 1, 5, 8(제1실시예), 9(제2실시예), 12-16(제3실시예)에 도시된 수직 및 수평축)에 대하여 거울대칭인 것은 상술한 세 실시예의 공통된 특징이다. 전체 그루브 배열은 모재 로드의 종방향 축에 대하여 오직 π(180°) 회전대칭을 가진다. 거울대칭의 존재 및 2π/n 회전대칭의 부재(n은 그루브의 수로, 4개의 그루브이면 90°의 회전대칭)는 광섬유의 원하는 복굴절 특성이 그루브의 적절한 배열과 크기에 의해 달성될 수 있도록 한다. 여기에서 중요한 점은 그루브의 전체적인 배치, 크기 및 형상이 생성되는 섬유 코어의 타원율을 결정하고, 따라서 복굴절에 영향을 미치며, (그루브로부터 생성된) 채널 사이의 링크 버팀대를 전송광의 파장보다 작은 두께로 에칭하는 것을 통해 섬유 코어로부터의 빛의 누수가 감소 또는 제거될 수 있다.

상술한 특정 실시예 및 선택적 특징에 관한 설명은 설명적인 것이지 한정적인 것이 아니다. 본 발명이 해당 분야의 통상의 기술자에 의하여 아래의 특허청구범위에 의해 정의되는 보호범위로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있음은 자명하다.

참고문헌

1. US Patent 6415079, 2002. Optical Fiber Gratings Having Internal Gap Cladding for Reduced Short Wavelength Cladding Mode Loss.

2. PM1550G-80. 1550 ㎛ Polarization Maintaining Gyroscope & Sensor Fiber [Electronic recourse]. Website: Nufern - Access mode: http://www.nufern.com/fiber_detail.php/44 free.

3. US Patent 5 167684, 1992. Process and Device Producing a Hollow Optical Fiber.

4. US Patent 7 155 097, 2006. Fabrication of Microstructured Fibers.

5. Miniature microstructured fiber coil with high magneto-optical sensitivity. Yu.K. Chamorovskiy, N.I. Starostin, M.V. Ryabko , A.I. Sazonov, S.K. Morshnev, V.P. Gubin, I.L. Vorob'ev, S.A. Nikitov. Optics Communications, 282, (2009), 4618-4621.

Claims

모재 로드(1)의 종방향 회전축을 통과하는 적어도 하나의 면에 대하여 거울대칭이며, 각 그루브쌍(2, 3) 내에서 상기 그루브의 형상 및 크기가 유사한 2쌍 이상의 종방향 그루브(2, 3)를 상기 모재 로드(1)의 전체 길이에 걸쳐 상기 모재 로드(1) 상에 생성하는 단계;
상기 모재 로드(1)의 외직경보다 작지 않은 직경의 내면을 가지며 광학 물질로 이루어진 튜브(4) 내부로 상기 모재 로드(1)를 삽입하는 단계;
상기 모재 로드(1) 및 상기 튜브(4)를 비작동 영역(6)에서 퓨징하는 단계;
상기 퓨징된 모재 로드(1) 및 튜브(4)를 상기 거울대칭 그루브(2, 3) 및 상기 튜브(4)의 상기 내면에 의해 발생된 종방향 채널(8)을 구비하는 모재(5)로 풀링하는 단계;
상기 모재(5)를 적어도 하나의 모재 세그먼트로 커팅하는 단계;
상기 적어도 하나의 모재 세그먼트를 위한 다음의 단계를 실행하는 단계;
에칭된 채널(9)을 형성하기 위해 상기 모재 세그먼트의 상기 종방향 채널(8)을 에칭하는 단계;
상기 모재 세그먼트의 양단(2)을 밀봉하는 단계;
관형 공정 홀더(14)를 수반(carry)하는 모세관(13) 및 모재 세그먼트의 어셈블리를 생성하는 단계;
상기 관형 공정 홀더(14)의 반대측(15)에서 모재 세그먼트 및 모세관(13)을 결합하는 단계;
상기 모재 세그먼트 및 모세관의 상기 어셈블리를 광섬유로 연신하는 단계; 및
상기 연신된 광섬유 위에 보호강화코팅(17)을 적용하는 단계;
를 포함하여,
상기 거울대칭 그루브 및 상기 에칭 단계에 의해 영향을 받는 복굴절 특성을 가지는 상기 광섬유가 생산되는 광섬유 제조 방법.
제1항에 있어서,
상기 모재 세그먼트를 상기 광섬유로 연신하는 단계 중에 상기 모재 세그먼트를 회전시키는 단계를 더 포함하는 광섬유 제조 방법.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 모재 세그먼트의 양단(12)을 밀봉하는 단계를 더 포함하는 광섬유 제조 방법.
제3항에 있어서,
상기 밀봉 전에 상기 모재에 가압된 기체를 채우는 단계를 더 포함하는 광섬유 제조 방법.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 에칭에는 불산이 사용되는 광섬유 제조 방법.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 모재 세그먼트의 내면 및 외면을 세척 및 건조하는 단계를 더 포함하는 광섬유 제조 방법.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 그루브쌍의 수는 적어도 2인 광섬유 제조 방법.
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 그루브쌍의 수는 적어도 3인 광섬유 제조 방법.
제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 그루브는 타원율이 적어도 0.05인 타원을 새기는(inscribe) 광섬유 제조 방법.