KR20120077384A

KR20120077384A - 증착물질 공급 장치 및 이를 이용한 증착 장비

Info

Publication number: KR20120077384A
Application number: KR1020100139321A
Authority: KR
Inventors: 안재곤
Original assignee: 엘아이지에이디피 주식회사
Priority date: 2010-12-30
Filing date: 2010-12-30
Publication date: 2012-07-10
Also published as: KR101249679B1

Abstract

본 발명은, 증착 물질이 저장된 용기 내에 열차단 기구가 구성됨으로써 용기의 상부에 위치된 증착 물질만을 가열하고, 용기의 하부에 저장된 증착 물질이 가열되는 것을 최소화시켜, 용기 하부에 저장된 증착 물질이 열화 또는 변성되는 것을 방지할 수 있고, 이에 따라 증착 성능을 개선함과 아울러 이를 통해 제조된 OLED 등의 제품 성능 및 신뢰성을 높일 수 있는 증착물질 공급 장치 및 이를 이용한 증착 장비를 제공한다.

Description

증착물질 공급 장치 및 이를 이용한 증착 장비{Apparatus for supplying evaporation material and evaporation device using it}

본 발명은 OLED(Organic Light Emitting Diode) 기판 등에 박막을 증착하기 위해 유기물 등의 증착물질을 공급하는 장치에 관한 것이다.

일반적으로 OLED는 유기EL이라고도 불리는데, 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계발광현상을 이용하여 스스로 빛을 내는 자체발광형 유기물질을 말한다.

OLED를 이용한 디스플레이 소자는 낮은 전압에서 구동이 가능하고 얇은 박형으로 만들 수 있고, 넓은 시야각과 빠른 응답속도를 갖고 있어 일반 LCD와 달리 바로 옆에서 보아도 화질이 변하지 않으며 화면에 잔상이 남지 않으며, 또한 소형 화면에서는 LCD 이상의 화질과 단순한 제조공정으로 인하여 유리한 가격 경쟁력을 갖는다.

이와 같은 특성을 갖는 OLED를 이용한 디스플레이 소자는 휴대전화, 카오디오, 디지털카메라와 같은 소형기기의 디스플레이 및 조명기기 등에 주로 사용하고 있고, 향후 TV 등 대형기기의 디스플레이, 구부려서 들고 다닐 수 있는 플렉서블 디스플레이 등에 이용될 있는 차세대 디스플레이 소자로 주목받고 있다.

OLED를 활용해 TV나 휴대전화의 디스플레이를 만들거나 조명 기구를 생산할 때 필요한 장비가 OLED 증착 장비이다. OLED 증착 장비는 기판에 유기물질을 증착하여 박막을 형성하는데 사용되는 장비이다.

OLED의 기본 셀구조는 투과성 애노드와 금속성 캐소드 사이에 끼워지는 다량의 극미세 유기층이 형성되는데, 이러한 유기층을 형성할 때 OLED 증착 장비를 이용하게 된다.

일반적으로 OLED 증착 장비에는, 기판이 도입되어 유기물질을 증착시킬 수 있는 증착 공간부가 구비된 챔버와, 이 챔버의 상부 또는 하부 영역에 구비되어 유기물질이 저장되는 도가니(또는 용기)와, 이 용기를 가열하여 유기물질을 증발시키는 가열 기구가 구비된다.

그러나, 종래 기술의 증착 장비는 가열 기구가 도가니의 전체를 가열하면서 내부에 저장된 유기물질(증착물질)을 가열하여 증발시키도록 구성되기 때문에 장시간 가열시에 도가지의 하부에 위치된 유기물질이 열화되는 등 열변성이 발생하는 문제점이 있다. 이로 인하여 증착 성능이 저하됨은 물론 열화된 유기물질의 증착으로 인하여 OLED 제조의 신뢰성이 떨어지는 문제점이 발생한다.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 증착 물질 사이에 열차단 기구를 구성하여, 가열 영역 외에 저장된 증착 물질은 가열하지 않도록 함으로써 증착 성능을 개선함과 아울러 이를 통해 제조된 제품의 신뢰성을 높일 수 있도록 하는 증착물질 공급 장치 및 이를 이용한 증착 장비를 제공하는 데 목적이 있다.

상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 증착물질 공급 장치는, 증착 물질이 저장된 용기와; 상기 용기 내부에 저장된 증착 물질의 상부측을 가열하는 히팅 기구와; 상기 용기 내의 증착 물질 사이에 위치되어 상기 히팅 기구에서 발생된 열을 차단하는 열차단 기구를 포함한 것을 특징으로 한다.

상기 용기에는 상기 증착 물질의 저장 정도를 감지하는 감지기구가 구비되는 것이 바람직하다.

상기 히팅 기구는 히팅 구동기구에 의해 상하 이동 가능하도록 구성되는 것이 바람직하다.

상기 열차단 기구는 증착 물질 사이를 통과할 수 있도록 메쉬 구조로 이루어지는 것이 바람직하다.

이때, 상기 열차단 기구에서, 메쉬의 홀과 홀 사이를 구분하는 단면은 상측에서 하측으로 갈수록 폭이 좁게 형성되는 것이 바람직하다.

상기 열차단 기구는 증착 물질 사이에 일정 간격을 두고 배치된 복수개로 구성될 수 있다.

상기 복수 개의 열차단 기구는 메쉬 홀이 수평 방향으로 서로 엇갈리게 배치되어 구성되는 것이 바람직하다.

상기 열차단 기구는 용기의 외부에 배치된 차단구동기구에 의해 상하 이동 가능하도록 구성되는 것이 바람직하다.

이때, 상기 차단구동기구는 상기 용기의 외부에서 내측으로 연결되는 선재와, 상기 선재를 당기거나 풀어주는 권선기구로 구성될 수 있다.

상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 증착 장비는, 기판이 도입되어 증착이 이루어지는 증착 공간부를 갖는 증착 챔버와; 상기 증착 공간부 내에 증착 물질을 공급하는 상기한 본 발명에 따른 증착물질 공급 장치를 포함한 것을 특징으로 한다.

상기한 바와 같은 본 발명의 주요한 과제 해결 수단들은, 아래에서 설명될 '발명의 실시를 위한 구체적인 내용', 또는 첨부된 '도면' 등의 예시를 통해 보다 구체적이고 명확하게 설명될 것이며, 이때 상기한 바와 같은 주요한 과제 해결 수단 외에도, 본 발명에 따른 다양한 과제 해결 수단들이 추가로 제시되어 설명될 것이다.

본 발명에 따른 증착물질 공급 장치 및 이를 이용한 증착 장비는, 증착 물질이 저장된 용기 내에 증착 물질 사이에 위치되는 열차단 기구가 구성되기 때문에 용기의 상부에 위치된 증착 물질만을 가열하고, 용기의 하부에 저장된 증착 물질의 가열은 최소화할 수 있고, 이로 인하여 용기 하부에 저장된 증착 물질이 열화 또는 변성되는 것을 방지하여, 증착 성능을 개선함과 아울러 이를 통해 제조된 OLED 등의 제품 성능을 높일 수 있는 효과를 제공한다.

도 1은 본 발명에 따른 증착물질 공급 장치의 일 실시예가 도시된 구성도이다.
도 2는 본 발명에 따른 증착물질 공급 장치의 일 실시예가 도시된 구성도로서, 증착물질 감소시의 작동 상태를 보인 구성도이다.
도 3은 본 발명에 따른 증착물질 공급 장치에서 히팅 기구 및 히팅 기구의 작동 구조를 보인 일 실시예의 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 증착물질 공급 장치에서 열차단 기구 및 열차단 기구의 작동 구조를 보인 일 실시예의 사시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 증착물질 공급 장치에서 열차단 기구 및 열차단 기구의 작동 구조를 보인 다른 실시예의 사시도이다.

첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하면 다음과 같다.

도 1 및 도 2를 참조하여, 본 발명에 따른 증착물질 공급 장치의 전체 구성을 설명하고, 도 3 내지 도 5를 참조하여, 주요 구성 부분에 대하여 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 증착물질 공급 장치의 초기 작동 상태를 보인 도면이고, 도 2는 본 발명에 따른 증착물질 공급 장치의 증착물질 감소시의 작동 상태를 보인 도면이다.

도면 부호 10은 증착 챔버를 나타낸다.

증착 챔버(10) 내에는 기판(S)이 도입되어 증착이 이루어지는 증착 공간부(11)가 구비되고, 증착 공간부(11)의 하측에는 증착물질 공급부(12)가 구비된다. 물론 기판(S)은 마스크와 합착된 상태에서 프레임(F) 등의 지지 구조물 또는 이송 구조물에 지지된 상태로 도입되는 것이 바람직하다.

증착 공간부(11)와 증착물질 공급부(12)는 격벽(13)을 통해 분할되고, 이 격벽(13)에는 증착물질이 공급될 때 개방되는 셔터(14)가 구비될 수 있다.

증착 공간부(11)의 구성은 널리 공지되어 있으므로, 구체적인 설명은 생략하고 증착물질 공급부(12)를 중심으로 설명한다.

증착물질 공급부(12)에는 증착물질 공급장치(20)가 구비된다. 또한 증착물질 공급부(12)에는 증착 물질(유기물 또는 무기물)의 증발 양을 측정하는 막두께 측정기(thickness monitor)(15)가 구비될 수 있다.

본 실시예의 도면에서는 증착물질 공급장치(20)가 증착 챔버(10) 내에 구비된 구성을 예시하고 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니고 증착 챔버(10)의 외부에 구비되어 증착 챔버(10) 내측의 증착 공간부(11)로 증착 물질을 증발시켜 공급할 수 있도록 구성하는 것도 가능하다.

이하 설명에서는 증착 챔버(10) 내에 증착물질 공급장치(20)가 설치되어 있는 구성을 중심으로 설명한다.

증착물질 공급장치(20)는 증착 물질이 저장된 용기(21)와, 이 용기(21) 내부에 저장된 증착 물질의 상부를 가열할 수 있도록 이루어진 히팅 기구(31)와, 용기(21) 내의 증착 물질 사이에 위치되어 히팅 기구(31)에서 발생된 열을 차단하는 열차단 기구(41)를 포함하여 구성된다.

먼저, 용기(21)는 분말로 이루어진 증착 물질을 저장할 수 있도록 구성된 것으로, 다양한 형상과 구조로 구성될 수 있으며, 또한 소재 역시 실시 조건에 따라 공지의 소재를 이용하여 다양하게 구성할 수 있다.

이러한 용기(21)는 상부에 히팅 기구(31)에 의해 가열된 증착물질이 배출되는 노즐 또는 배출구(23)가 구비된다.

또한, 용기(21)에는 내부 일측에 증착 물질의 저장 정도를 감지하는 감지기구(25)가 구비되는 것이 바람직하다. 이때 감지기구(25)는 광센서 등 공지의 높이 측정용 센서를 이용하여 구성할 수 있다.

다음, 히팅 기구(31)는 용기(21) 내에 위치되어 증착 물질의 상부를 가열하도록 구성되는 것이 바람직한바, 증착 물질을 가열할 수 있는 구성이면, 고정식 또는 이동식 등 다양한 방식으로 구성 가능하다. 고정식일 경우에는 용기(21)의 상측에 설치되어 증착 물질을 가열할 수 있도록 설치되는 것이 바람직하다.

본 실시예를 예시하는 도면에서는 이동식 구조를 예시하는바, 이 구조에 대하여 설명한다.

도 3은 히팅 기구(31)의 구동 구조를 보여주는 예시도로서, 히팅 기구(31)는 외곽 프레임(32)과 이 외곽 프레임(32) 사이에 일정 간격으로 배치된 히팅 코일(34)로 구성된다.

외곽 프레임(32)은 용기(21)의 형상에 맞게 적절하게 형성하여 구성할 수 있다.

히팅 코일(34)은 후술할 와이어(36) 또는 이 와이어와 함께 도입되는 전선을 통해 전원을 인가받을 수 있도록 구성되고, 용기(21) 내의 증착 물질을 균일하게 가열할 수 있도록 균등 간격으로 설치되는 것이 바람직하다.

여기서 히팅 코일(34) 대신에 레이저 가열 수단 등 증착 물질을 가열할 수 있는 공지의 다른 가열원을 이용하여 구성하는 것도 가능하다.

이와 같은 히팅 기구(31)는 히팅 구동기구(35)에 의해 상하 이동할 수 있도록 구성될 수 있는데, 이는 용기(21) 내에 증착 물질이 저장된 높이에 따라 그 높이를 가변시키면서 증착물질을 가열하기 위한 것이다.

히팅 구동기구(35)는 히팅 기구(31)를 상하 이동시킬 수 있는 구조이면 공지의 수직 이동 구동기구를 이용하여 다양하게 구성할 수 있다. 본 실시예의 도면에서는 다수의 와이어(36)를 히팅 기구(31)의 외곽 프레임(32)에 연결한 상태에서 와이어(36)를 당기거나 풀어서 히팅 기구(31)를 상하 이동시킬 수 있도록 구성된 실시예를 보여준다.

물론, 와이어(36)는 용기(21)를 통과한 상태로 연결되게 설치되며, 이때 용기(21)에는 와이어(36)가 통과하는 홀에 실링 부재(미도시)가 구비되는 것이 바람직하다.

또한 용기(21)의 상측 또는 용기(21)의 주변 구조물에는 상기 다수의 와이어(36)의 이동을 안내하는 하나 또는 그 이상의 롤러(37)가 설치될 수 있으며, 와이어(36)의 끝단에는 와이어(36)를 당기거나 풀어주는 권선 롤러(38) 및 이를 회전 구동시키는 구동 모터(미도시)가 구비되는 것이 바람직하다.

한편, 상기에서는 히팅 기구(31)가 용기(21)의 내부에 설치된 구성을 설명하였으나, 반드시 이에 한정되지 않고, 용기(21)의 외부에 설치되어 용기(21) 내에 위치된 증착 물질을 가열시켜 증발하도록 구성하는 것도 가능하고, 또한 용기(21)의 벽면에 내장되게 설치되어 증착 물질을 가열하도록 구성하는 것도 가능하다.

다음, 열차단 기구(41)는 분말로 이루어진 증착 물질 사이를 통과할 수 있도록 메쉬(mesh) 구조로 이루어지는 것이 바람직하다.

도 4를 참조하면, 열차단 기구(41)는 전체 열차단 기구를 지지하는 외곽부(42)와, 이 외곽부(42) 안쪽에 메쉬 구조로 형성된 열차단부(43)로 구성되는 것이 바람직하다.

외곽부(42)의 구성은 히팅 기구(31)의 외곽 프레임(32)과 마찬가지로 용기(21)의 형상 및 구조에 따라 다양한 모양 또는 구조로 형성할 수 있다. 다만, 열차단 기구(41)의 외곽부(32)는 히팅 기구(31)의 외곽 프레임(32)과 달리 열을 차단할 수 있는 소재로 구성되는 것이 바람직하다.

열차단부(43)는 용기(21)에 저장된 증착물질 사이를 통과할 수 있도록 구성되면서 상측의 히팅 기구(31)로부터 전달되는 열을 차단할 수 있도록 구성된다.

이러한 열차단부(43)는 증착물질 사이를 보다 용이하게 통과하면서 열차단 면적은 확대할 수 있도록 메쉬의 홀(43a)과 홀(43a) 사이를 구분하는 단면(43b)은 상측에서 하측으로 갈수록 폭이 좁게 형성되고, 반대로 각각의 홀(43a)은 상측에서 하측으로 갈수록 넓게 형성되는 것이 바람직하다.

또한 열차단부(43)는 상기 열차단 기구(41)의 외곽부(42)와 동일한 소재로 형성되거나, 열차단이 가능한 소재, 즉, 열전달율이 낮은 소재로 형성되는 것이 바람직하다. 예를 들면, 복합 수지재, 세라믹 등의 비금속 소재, 또는 열전도율이 낮은 스테인리스 스틸 등의 금속성 소재로 구성할 수 있다.

한편, 상기 열차단 기구(41)를 하나만 설치하여 구성하는 것도 가능하나, 본 발명에 따른 실시예의 도면에서는 열차단 기구(41)가 증착 물질 사이에 일정 간격을 두고 복수개(도면에서는 2개)가 배치된 구성을 보여준다.

열차단 기구(41)가 복수 개로 설치되는 이유는 용기(21)의 하측에 저장된 증착물질로의 열전달을 최소화하기 위해서이다. 이러한 방식으로 3개 이상 다수 개를 설치하여 구성하는 것도 가능하다.

이때, 상하로 배치된 열차단 기구(41)는 열차단 효과를 높일 수 있도록 도 1에 예시된 바와 같이 메쉬의 홀(43a)이 서로 엇갈리게 배치되는 것이 바람직하다.

상기한 바와 같은 하나 또는 복수개로 구성된 열차단 기구(41) 역시 용기(21)의 내부에서 상하 이동할 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다. 이는 용기(21) 내에 저장된 증착 물질의 저장량 즉, 높이에 따라 열차단 기구(41)를 증착물질의 사이로 이동시키면서 상기 히팅 기구(31)로부터 전달되는 열을 차단할 수 있도록 구성하기 위한 것이다.

열차단 기구(41)의 상하 구동을 위해, 용기(21)의 외부에서 용기(21)의 내측으로 연결되는 차단구동기구(45)가 구성된다.

차단구동기구(45)는 앞서 설명한 히팅 구동기구(35)와 동일한 방법으로, 도 4에 예시된 바와 같이 와이어(46), 롤러(47), 권선 롤러(48), 권선 모터(미도시) 등으로 구성할 수 있다. 이때 와이어(36)는 본 발명의 선재를 구성하고, 권선 롤러(37) 및 권선 모터 등은 본 발명의 권선기구를 구성하게 된다.

열차단 기구(41)가 도면에 예시된 바와 같이 2개로 구성된 경우에는 각 열차단 기구(41)에 각각의 와이어(36) 및 권선 기구를 이용하여 구성하거나, 함께 연결하여 구성할 수 있다. 또한 상기한 히팅 기구(31)의 히팅 구동기구(35)와 함께 구성하는 것도 가능하다. 이때에는 각 와이어가 히팅 기구, 열차단 기구를 함께 연결하도록 구성할 수 있다.

한편, 도 4에서 점선으로 표시된 부분과 같이 와이어(36) 전체를 엔드리스(endless) 타입으로 구성하여 열차단 기구(41)를 상하 이동시키는 것도 가능하다. 이때에는 열차단 기구(41)를 하측에서 당겨줄 수 있으므로, 열차단 기구(41)가 증착 물질 내부에서 다소 저항이 발생하더라도 보다 용이하게 이동시킬 수 있게 된다. 물론, 용기(21)의 하부 쪽에는 와이어(36)가 통과할 수 있도록 홀이 형성되고, 이 홀에는 밀폐 기능을 갖는 실링 부재가 설치되는 것이 바람직하다.

도 5는 상기 열차단 기구(41)를 구동하는 차단구동기구(45)의 다른 실시예를 보여주는 도면으로서, 앞서 설명한 실시예와 달리 와이어(46)를 이용하지 않고, 용기(21)의 외부에서 구동 자성체(51)를 이용하여 열차단 기구(41)를 상하 이동시킬 수 있도록 구성된다.

열차단 기구(41)의 외곽부(42)는 자석 또는 자성체에 붙는 철, 니켈, 코발트 또는 이들의 합금 등으로 이루어진 강자성체로 구성되는 것이 바람직하다.

구동 자성체(51)는 용기(21)의 외부에서 상기 열차단 기구(41)를 이동시킬 수 있는 구조이면, 실시 조건에 따라 다양하게 구성될 수 있다. 바람직하게 구동 자성체(51)는 용기(21)의 외면을 따라 상하 이동하는 링 구조로 형성되는 것이 바람직하다. 즉, 용기(21)가 육면체형 구조이면, 사각 링 구조로 구성되는 것이다.

이러한 구동 자성체(51)는 직선 구동기구에 의해 상하 이동할 수 있도록 구성되는데, 직선 구동기구는 공지의 볼 스크류, 리니어 모터, 유압 또는 공압 실린더 등을 이용하여 구성할 수 있다. 또한 도면에 예시된 바와 같이 벨트류(55)를 이용하여 구동 자성체(51)를 상하 이동시키도록 구성하는 것도 가능하다.

한편, 상기 용기(21)의 내면 및 용기(21)의 외면에는 상기 열차단 기구(41)의 상하 이동 및 구동 자성체(51)의 상하 이동을 안내할 수 있는 직선 이동 가이드 기구(22)(57)가 각각 구비되는 것이 바람직하다.

상기한 바와 같은 본 발명은, 용기(21)에 증착 물질이 저장된 초기에는 도 1에서와 같이 히팅 기구(31)가 용기(21)의 상부에 위치된 상태에서 증착 물질을 가열하게 되고, 이때 열차단 기구(41)는 증착 물질의 중간부에 위치되어 열을 차단함으로써 용기(21)의 하측에 저장된 증착 물질이 열화되는 것을 방지하게 된다.

이와 같은 상태에서 도 2에서와 같이 상부의 증착 물질이 증발되어 증착 물질의 높이가 낮아지게 되면, 히팅 기구(31)가 하강하면서 증착 물질을 가열하고, 이때 열차단 기구(41)도 증착 물질 내부에서 하강한 상태에서 열을 차단하게 된다. 물론, 용기(21)에 저장된 증착 물질의 높이가 일정 이하로 되는 경우에는 더 이상 열을 차단할 필요가 없으므로, 열차단 기구(41)는 용기(21)의 바닥에 위치된다.

히팅 기구(31) 및 열차단 기구(41)의 상하 이동은 용기 내에 설치되어 증착 물질의 높이를 감지하는 감지기구(25)의 감지 결과에 따라 제어부(미도시)의 구동 신호에 의해 작동될 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.

상기한 바와 같은, 본 발명의 실시예들에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며, 서로 조합되어 실시될 수 있다. 또한, 본 발명은 도면 및 발명의 상세한 설명에 기재된 실시예를 통하여 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다. 따라서, 본 발명의 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.

Claims

증착 물질이 저장된 용기와;
상기 용기 내부에 저장된 증착 물질의 상부측을 가열하는 히팅 기구와;
상기 용기 내의 증착 물질 사이에 위치되어 상기 히팅 기구에서 발생된 열을 차단하는 열차단 기구를 포함한 것을 특징으로 하는 증착물질 공급 장치.
청구항1에 있어서,
상기 용기에는 상기 증착 물질의 저장 정도를 감지하는 감지기구가 구비된 것을 특징으로 하는 증착물질 공급 장치.
청구항1에 있어서,
상기 히팅 기구는 히팅 구동기구에 의해 상하 이동 가능하도록 구성된 것을 특징으로 하는 증착물질 공급 장치.
청구항1에 있어서,
상기 열차단 기구는 증착 물질 사이를 통과할 수 있도록 메쉬 구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 증착물질 공급 장치.
청구항4에 있어서,
상기 열차단 기구에서, 메쉬의 홀과 홀 사이를 구분하는 단면은 상측에서 하측으로 갈수록 폭이 좁게 형성된 것을 특징으로 하는 증착물질 공급 장치.
청구항1에 있어서,
상기 열차단 기구는 증착 물질 사이에 일정 간격을 두고 배치된 복수개로 구성된 것을 특징으로 하는 증착물질 공급 장치.
청구항4에 있어서,
상기 복수 개의 열차단 기구는 메쉬 홀이 수평 방향으로 서로 엇갈리게 배치된 것을 특징으로 하는 증착물질 공급 장치.
청구항1에 있어서,
상기 열차단 기구는 용기의 외부에 배치된 차단구동기구에 의해 상하 이동 가능하도록 구성된 것을 특징으로 하는 증착물질 공급 장치.
청구항6에 있어서,
상기 차단구동기구는 상기 용기의 외부에서 내측으로 연결되는 선재와, 상기 선재를 당기거나 풀어주는 권선기구로 구성된 것을 특징으로 하는 증착물질 공급 장치.
기판이 도입되어 증착이 이루어지는 증착 공간부를 갖는 증착 챔버와;
상기 증착 공간부 내에 증착 물질을 공급하는 청구항1 내지 청구항7 중 어느 한 항에 기재된 증착물질 공급 장치를 포함한 것을 특징으로 하는 증착 장비.