KR20120076110A

KR20120076110A - 필름형 프로브장치

Info

Publication number: KR20120076110A
Application number: KR1020100138121A
Authority: KR
Inventors: 박상현
Original assignee: 주식회사 코디에스
Priority date: 2010-12-29
Filing date: 2010-12-29
Publication date: 2012-07-09

Abstract

본 발명은 필름형 프로브장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 바디블록에 완충부재를 구비하는 한편, 가동몸체는 고정몸체에 대하여 승강하지 않고 위치고정시키는 필름형 프로브장치에 관한 것이다.
본 발명에 의한 필름형 프로브장치는 스테이지에 고정되는 고정몸체; 상기 고정몸체의 측벽을 따라 승강이 가능한 가동몸체; 상기 가동몸체를 상기 고정몸체의 소정위치에 고정하는 위치조절나사; 상기 가동몸체의 저면에 고정되며 완충부재를 구비하는 바디블록; 및 상기 바디블록의 저면에 고정되는 절연필름에 패턴배선이 형성되고, 상기 패턴배선이 피검사체와 접촉하는 프로브시트;를 포함한다.

Description

필름형 프로브장치{FILM TYPE PROBE APPARATUS}

본 발명은 필름형 프로브장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 바디블록에 완충부재를 구비하는 한편, 가동몸체는 고정몸체에 대하여 승강하지 않고 위치고정시키는 필름형 프로브장치에 관한 것이다.

일반적으로 평판표시소자나 반도체 등의 제조공정에서는 수차례의 전기적 검사를 한다.

이 중 평판표시소자는 TFT기판과 칼라필터기판 사이에 액정을 주입하는 셀공정과, 셀에 구동IC를 부착하는 모듈공정과, 모듈에 프레임을 장착하는 세트공정으로 이루어지는데, 예를 들어 모듈공정 전에 셀의 전기적 검사를 수행하게 된다.

보다 구체적으로 설명하면, 셀의 자장자리 부분에는 전기적 신호(영상신호, 동기신호, 색상신호 등)가 인가되도록 하는 수십 내지 수 백개의 접속단자가 고밀도로 배치되는 패드가 복수개 형성되는데, 이러한 셀의 패드에 구동IC를 부착하기 전에 셀의 전기적 검사를 수행하는 것이다.

이러한 각 공정의 전기적 검사를 수행하기 위하여 종래에는 블레이드 타입의 프로브 장치가 이용된다.

도 1을 참조하면, 종래의 프로브장치(1)는 피검사체(P)가 안착되는 스테이지(미도시)의 상부에 고정되는 고정몸체(10)와, 상기 고정몸체(10)의 전면에 장착되는 가동몸체(20)가 구비되며, 상기 가동몸체(20)의 저면에는 블레이드(31)가 구비된 프로브블록(30)이 볼트(B)에 의해 고정된다. 상기 블레이드(B)의 일측 끝단은 피검사체(P)에 접촉하고, 타측 끝단은 TAB IC에 접촉한다.

이 때 상기 블레이드(31)의 일측 끝단이 피검사체(P)에 접촉할 때, 복수의 블레이드(31)가 피검사체(P)에 균일하게 접촉하기 위하여 OD(over drive)를 가하는데, 이 때 접촉충격을 흡수하기 위하여 상기 가동몸체(20)를 고정몸체(10)에 대하여 상승시킨다. 종래의 프로브장치(1)는 상기 가동몸체(20)를 고정몸체(10)에 대하여 승강시키기 위한 구성요소로 LM가이드(40)를 구비한다. 상기 LM가이드(40)는 내장된 구를 회전시켜 직선왕복운동을 하는 공지의 요소이다.

그러나 상기 LM가이드(40)를 별도로 구비하기 때문에 구성부품이 많고, 원가가 비싸며, 고장이 빈번히 발생한다는 문제점이 있다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 바디블록에 완충부재를 구비하는 한편, 가동몸체는 고정몸체에 대하여 승강하지 않고 위치고정시키는 필름형 프로브장치을 제공함에 있다.

위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 필름형 프로브장치는 스테이지에 고정되는 고정몸체; 상기 고정몸체의 측벽을 따라 승강이 가능한 가동몸체; 상기 가동몸체를 상기 고정몸체의 소정위치에 고정하는 위치조절나사; 상기 가동몸체의 저면에 고정되며 완충부재를 구비하는 바디블록; 및 상기 바디블록의 저면에 고정되는 절연필름에 패턴배선이 형성되고, 상기 패턴배선이 피검사체와 접촉하는 프로브시트;를 포함한다.

또한 상기 가동몸체에는 상기 위치조절나사가 관통하는 장홀이 형성되는 것이 바람직하다.

또한 상기 고정몸체와 가동몸체 중 어느 하나에는 가이드홈이 형성되며, 다른 하나에는 상기 가이드홈에 형상맞춤되는 가이드돌기가 구비되는 것이 바람직하다.

또한 상기 가동몸체를 원점으로 복귀시키는 스프링이 더 구비되는 것이 바람직하다.

또한 상기 완충부재는 상기 패턴배선이 상기 피검사체에 접촉할 때 접촉충격을 완화하는 것이 바람직하다.

또한 상기 프로브시트는 상기 절연필름상에 상기 피검사체의 구동신호를 출력하는 구동IC가 실장되는 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 바디블록에 완충부재를 구비하는 한편, 가동몸체는 고정몸체에 대하여 승강하지 않고 위치고정시키기 때문에 승강을 위한 부품이 감소하고 구조가 단순하다.

따라서 원가가 감소되고, 고장발생이 현저히 감소된다.

도 1은 종래 프로브장치를 나타낸 것이다.
도 2 내지 도 6은 본 발명에 의한 프로브장치를 나타낸 것이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성 및 작용을 설명한다.

도 2를 참조하면, 본 발명에 의한 프로브장치(100)는 스테이지(미도시)에 고정되는 고정몸체(110)와, 상기 고정몸체(110)의 전면에 구비되는 가동몸체(120)와, 상기 가동몸체(120)를 고정몸체(110)에 고정하는 위치조절나사(도 5의 124 참조)와, 상기 가동몸체(120)의 저면에 고정되는 바디블록(130)을 포함한다.

상기 바디블록(130)의 저면에는 프로브시트(132)와 FPC(133)가 구비되며, 상기 프로브시트(132)에 형성된 패턴배선을 피검사체에 접촉할 때 발생하는 접촉충격을 완화하는 완충부재(131)가 구비된다.

또한 상기 고정몸체(110)와 가동몸체(120) 사이에는 압축스프링(S)이 구비되어 상기 가동몸체(110)를 원점으로 복귀시킨다.

도 3 내지 도 5를 참조하면, 상기 고정몸체(110)의 일측벽에는 가이드홈(111)이 형성되며, 상기 가동몸체(120)의 대향되는 측벽에는 상기 가이드홈(111)에 형상맞춤되는 가이드돌기(121)가 구비된다. 따라서 상기 가동몸체(120)는 상기 고정몸체(110)의 측벽을 따라 상하방향으로 움직임이 가능한 구조이다.

또한 상기 가동몸체(120)와 고정몸체(110)를 관통하여 체결함으로서 상기 가동몸체(120)를 고정몸체(110)의 소정위치에 고정하는 위치조절나사(124)가 구비되고, 따라서, 상기 고정몸체(110)에는 볼트홀(112)이 형성되고, 특히, 상기 가동몸체(120)에는 상기 위치조절나사(124)가 관통하는 장홀(122)이 형성된다. 따라서 상기 위치조절나사(124)를 완전히 분리하지 않고 느슨하게 한 상태에서 상기 가동몸체(120)를 승강하여 위치를 조절한 다음, 상기 위치조절나사(124)를 체결하여 고정몸체(110)에 가동몸체(120)를 완전히 고정하는 것이다.

또한 상기 가동몸체(120)의 저면에 형성된 고정부에 바디블록을 볼트(B)로 고정한다.

도 6을 참조하면, 상기 바디블록에는 프로브시트(132)가 구비되는데, 상기 프로브시트(132)는 절연필름(132a)에 패턴배선이 형성되고, 상기 절연필름상에는 구동IC(C)가 실장된다. 상기 구동IC(C)는 상기 피검사체를 구동하는 구동신호를 출력하는 구성요소이며, 상기 프로브시트(132)는 액정패널의 TAB IC일 수 있다. 또한 구동IC를 기준으로 전방에 형성된 패턴배선(132b)은 피검사체에 접촉하고, 후방에 형성된 패턴배선(132c)은 FPC(도 2의 133참조)와 연결된다.

도 2를 참조하여 본 발명에 의한 프로브장치(100)의 작동상태를 설명한다. 상기 프로브시트(132)의 패턴배선을 피검사체에 접촉하여 구동IC(C)에서 출력된 구동신호를 피검사체에 인가하여 피검사체를 검사한다.

이와 같이 프로브시트(132)의 패턴배선이 피검사체에 접촉할 때 발생하는 접촉충격은 패턴배선의 상부에 구비된 완충부재(131)에 의해 흡수한다. 따라서 종래의 프로브장치와 달리 가동몸체(120)를 고정몸체(110)에 대하여 상승하지 않아도 완충부재에서 접촉충격을 흡수하기 때문에 피검사체를 보호할 수 있는 것이다.

100: 프로브장치 110: 고정몸체
120: 가동몸체 130: 바디블록
131: 완충부재

Claims

스테이지에 고정되는 고정몸체;
상기 고정몸체의 측벽을 따라 승강이 가능한 가동몸체;
상기 가동몸체를 상기 고정몸체의 소정위치에 고정하는 위치조절나사;
상기 가동몸체의 저면에 고정되며 완충부재를 구비하는 바디블록; 및
상기 바디블록의 저면에 고정되는 절연필름에 패턴배선이 형성되고, 상기 패턴배선이 피검사체와 접촉하는 프로브시트;를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름형 프로브장치.
제1항에 있어서,
상기 가동몸체에는 상기 위치조절나사가 관통하는 장홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 필름형 프로브장치.
제1항에 있어서,
상기 고정몸체와 가동몸체 중 어느 하나에는 가이드홈이 형성되며, 다른 하나에는 상기 가이드홈에 형상맞춤되는 가이드돌기가 구비되는 것을 특징으로 하는 필름형 프로브장치.
제1항에 있어서,
상기 가동몸체를 원점으로 복귀시키는 스프링이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 필름형 프로브장치.
제1항에 있어서,
상기 완충부재는 상기 패턴배선이 상기 피검사체에 접촉할 때 접촉충격을 완화하는 것을 특징으로 하는 필름형 프로브장치.
제1항에 있어서,
상기 프로브시트는 상기 절연필름상에 상기 피검사체의 구동신호를 출력하는 구동IC가 실장되는 것을 특징으로 하는 필름형 프로브장치.