KR20120066414A - 차폐수단을 구비하고, 엑스레이 조사위치를 변경할 수 있는 엑스레이 검사장치 - Google Patents

차폐수단을 구비하고, 엑스레이 조사위치를 변경할 수 있는 엑스레이 검사장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 검사물을 엑스레이 검사영역으로 이동시키기 위한 이동수단, 상기 검사물에 엑스레이를 조사하는 엑스레이 조사부, 상기 엑스레이 조사부가 상기 검사물에 엑스레이를 조사하여 투영되는 이미지를 검출하는 디텍터 및 상기 검사영역에서 검사물에 조사되어 난반사되는 방사선을 차폐하기 위하여 검사물의 이송 경로가 변경되는 이동수단 상에 설치되는 차폐수단을 포함하는 엑스레이 검사장치를 제공한다.
본 발명에 의하면, 검사물에 반사되는 방사선을 차폐시킬 수 있으므로 엑스레이 검사시 방사선의 피폭량을 감소시킬 수 있으며, 또한 엑스레이 조사부를 이동시켜 검사물의 형상 또는 검사하고자 하는 특정 부분에 따라 엑스레이 조사 각도를 변경시킬 수 있으므로 다수의 엑스레이 조사부가 필요없이 하나의 엑스레이 조사부를 가지고 다양한 형태를 갖는 검사물의 불량을 검출할 수 있는 장점이 있다.

Description

차폐수단을 구비하고, 엑스레이 조사위치를 변경할 수 있는 엑스레이 검사장치{X-ray INSPECTION APPARATUS WITH SHIELDING MEANS AND FOR CNANGING X-ray RADIATION POSITION}
본 발명은 엑스레이 검사장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 컨베이어 상에서 이동중인 검사물에 엑스레이를 조사시 반사되는 방사선을 차폐시켜 엑스레이 검사장치 주변영역의 피폭량을 감소시킬 수 있으며, 검사물의 특정부분의 불량을 검출하기 위하여 엑스레이 조사위치를 변경할 수 있는 차폐수단을 구비하고, 엑스레이 조사위치를 변경할 수 있는 엑스레이 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로 엑스레이 검사장치는 엑스레이 차폐를 위한 공간을 형성하도록 제작된 하우징 내부에서 검사영역에 투입되는 플라스틱 성형품, 농산품 등과 같은 검사물에 엑스레이를 조사하고, 상기 검사물을 통해 투영된 영상을 디텍터로 촬상한 다음, 상기 디텍터로부터 출력되는 영상정보(이미지)를 분석하여 검사물의 불량여부를 판정하는 장치이다.
종래 엑스레이 검사장치는 컨베이어를 이용하여 검사물을 투입하는 부분으로 방사선이 유출되어 엑스레이 검사장치 주위에 방사선 피폭정도가 심하다는 문제점이 있다.
또한 종래 엑스레이 검사장치는 엑스레이 조사부가 고정되어 이물질이 있는 위치나 크기 등에 따라 불량을 검출할 수 없는 경우가 발생하므로 검사물의 특정 부분의 이물질을 검사하기 위하여 다수의 엑스레이 조사부를 구비하여 여러 방향에서 조사하여 이물질을 검출하므로 비용이 많이 소요되는 문제점이 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 컨베이어 상에서 이동중인 검사물에 엑스레이를 조사시 반사되는 방사선을 차폐시켜 엑스레이 검사장치 주변영역의 피폭량을 감소시킬 수 있는 엑스레이 검사장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 검사물의 형상 또는 검사하고자 하는 특정 부분에 따라 엑스레이 조사각도를 변경시킬 수 있는 엑스레이 검사장치를 제공하기 위한 것이다.
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 일실시예인 엑스레이 검사장치는 검사물을 엑스레이 검사영역으로 이동시키기 위한 이동수단, 상기 검사물에 엑스레이를 조사하는 엑스레이 조사부, 상기 엑스레이 조사부가 상기 검사물에 엑스레이를 조사하여 투영되는 이미지를 검출하는 디텍터 및 상기 검사영역에서 검사물에 조사되어 난반사되는 방사선을 차폐하기 위하여 검사물의 이송 경로가 변경되는 이동수단 상에 설치되는 차폐수단을 포함한다.
본 발명의 일실시예의 일태양에 의하면, 상기 이동수단은 검사물을 이송시키기 위한 적어도 하나 이상의 컨베이어 및 상기 컨베이어상에서 이송되는 검사물의 이송 경로를 변경하여 검사물을 검사영역으로 투입하기 위한 이송가이드를 포함할 수 있다.
본 발명의 일실시예의 일태양에 의하면, 상기 차폐수단은 컨베이어상에서 검사물이 이송되는 제1 이송 경로상에 위치하는 제1차폐판 및 컨베이어상에서 상기 이송가이드에 의하여 변경된 제2 이송 경로상에 위치하는 제2차폐판을 포함할 수 있다.
본 발명의 일실시예의 일태양에 의하면, 상기 제1차폐판 및 제2차폐판은 상기 컨베이어상에서 소정의 거리로 이격되어 차폐영역이 중첩되도록 위치하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일실시예의 일태양에 의하면, 상기 엑스레이 조사부는 제어명령을 입력받는 입력부, 입력받는 제어명령에 따라 X축, Y축 및 Z축으로 이동시키기 위한 제어신호를 구동부로 출력하는 제어부 및 상기 제어신호에 따라 엑스레이 조사부를 X축, Y축 및 Z축으로 이동시키는 구동부;를 포함하여 이루어지며, 검사물상의 특정 부분의 불량을 검출하기 위하여 X축, Y축 및 Z축으로 이동되어지는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 검사물에 반사되어 엑스레이 검사장치 외부로 방출되는 방사선을 차폐시킬 수 있으므로 엑스레이 검사시 방사선의 피폭량을 감소시킬 수 있는 장점이 있다.
또한 엑스레이 조사부를 이동시켜 검사물의 형상 또는 검사하고자 하는 특정 부분에 따라 엑스레이 조사 각도를 변경시킬 수 있으므로 다수의 엑스레이 조사부가 필요없이 하나의 엑스레이 조사부를 가지고 다양한 형태를 갖는 검사물의 불량을 검출할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 차폐수단을 구비한 엑스레이 검사장치의 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 차폐수단을 구비한 엑스레이 검사장치의 사시도이다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 이동수단 및 차폐수단을 설명하기 위한 평면도이다.
도 4는 본 발명의 차폐수단을 설명하기 위한 측면도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 엑스레이 조사부의 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 검사하고자 하는 특정 부분의 불량을 검출하는 과정을 나타내는 적용예이다.
이하의 상세한 설명은 예시에 지나지 않으며, 본 발명의 실시예를 도시한 것에 불과하다. 또한 본 발명의 원리와 개념은 가장 유용하고, 쉽게 설명할 목적으로 제공된다.
따라서, 본 발명의 기본 이해를 위한 필요 이상의 자세한 구조를 제공하고자 하지 않았음은 물론 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 실체에서 실시될 수 있는 여러 가지의 형태들을 도면을 통해 예시한다.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 차폐수단을 구비한 엑스레이 검사장치의 평면도이다.
도 1에서 보는 바와 같이, 엑스레이 검사장치(1000)는 검사물(610)에 포함된 이물질 등을 검사하기 위한 장치로서 이송수단(100,110), 엑스레이 조사부(200), 디텍터(300) 및 차폐수단(310a,310b,320a,320b,330a,330b,340a,340b)을 포함한다.
상기 이송수단은 검사물(610)을 엑스레이가 조사되는 검사영역(500)으로 이송시키는 기능을 수행한다. 여기서 상기 이송 수단은 검사물 투입수단(미도시)과 연결되는 제1컨베이어(110)와 검사물(610)의 이동 경로를 변경하기 위하여 즉 이송폭을 넓히기 위한 공간을 확보하기 위하여 상기 제1컨베이어(110)와 수평적으로 연결되는 제2컨베이어(100)로 이루어질 수 있다. 이송수단에 대한 상세한 설명은 도 3에서 구체적으로 설명하기로 한다.
상기 엑스레이 조사부(200)는 고전압 발생장치 및 상기 고전압 발생장치와 연결되어 엑스레이를 발생하는 엑스레이 튜브로 이루어질 수 있으며, 검사영역에 엑스레이를 조사하는 기능을 수행한다. 한편 상기 엑스레이 조사부(200)는 검사물상의 특정 부분의 불량을 검출하기 위하여 제어장치(도 5참조)에 의하여 X축, Y축 및 Z축으로 이동되어 검사물의 형태에 따라 특정 부분의 이물질을 검사할 수 있도록 조사 각도를 변경할 수 있다.
상기 디텍터(300)는 엑스레이 조사부(200)가 검사물(610)에 엑스레이를 조사할 때 투영되는 영상을 촬상하여 영상신호로 출력하는 기능을 수행한다. 따라서 디텍터(300)에 촬상되는 영상을 분석하여 검사물(610)에 이물질이 포함되어 있는지를 판단하여 불량 검출을 할 수 있다. 한편 디텍터(300)는 검사물을 투영하는 최적의 이미지를 촬상하기 위하여 상기 엑스레이 조사부(200)의 이동에 따라 이동될 수 있다.
상기 차폐수단은 검사물(610)에 엑스레이를 조사하는 경우, 난반사되어 검사물이 투입되는 검사물 투입구(700)로 유출되는 방사선을 차폐시키는 기능을 수행한다. 종래 검사영역은 검사물을 이송시키는 컨베이어상의 검사물 투입구와 일직선상(또는 방사선이 투입구로 유출되는 경로상)에 위치함에 따라 방사선이 외부로 유출되므로 엑스레이 검사장치 주변은 방사선 피폭량이 높게 측정되었다.
따라서 본 발명의 엑스레이 검사장치(1000)는 검사물(610)을 이송시키는 컨베이어상(100,110)에서 검사물 이동 경로를 변경하여 검사영역(500)이 컨베이어상의 검사물 투입구(700)와 일직선상으로 위치되어 외부로 개방되는 것을 방지할 수 있다. 이와 동시에 검사물 이동 경로 변경에 따라 컨베이어 상에 설치되는 차폐수단을 구비하여 방사선이 엑스레이 검사장치(1000) 외부로 방사되는 것을 방지할 수 있다. 여기서 컨베이어상에서 검사물의 이동 경로를 변경하는 이동 수단 및 이동 경로 변경에 따른 차폐수단의 설치에 대한 사항은 후술하는 도2, 도 3a 및 도 3b에서 상세히 설명한다.
본 발명의 차폐수단은 일실시예로서 도 1을 참조하여 설명하면, 검사물의 이동 경로 변경에 따라 검사물 이동 경로 변경전 컨베이어상에 설치되는 제1차폐판(310a) 및 이동 경로 변경후 컨베이어상에 설치되는 제2차폐판(320a)을 포함한다. 또한 검사물이 검사영역(500)을 지나 엑스레이 검사장치(1000) 외부로 배출되는 컨베이어상에 상기 제1차폐판(310a) 및 제2차폐판(320a)과 대응되도록 순차적으로 제2차폐판(320b) 및 제1차폐판(310b)이 위치할 수 있다.
한편 상기 차폐수단은 검사영역상에서 방사선의 방출을 차폐하기 위하여 컨베이어상에서 대응되도록 설치되는 제3차폐판(330a, 330b) 및 엑스레이 조사부(200)에서 검사영역까지 조사되는 경로에서 방사선의 방출을 차폐하기 위하여 컨베이어상에서 대응되도록 설치되는 제4차폐판(340a, 340b)를 더 포함할 수 있다. 이하에서 설명하는 차폐수단은 검사물이 검사영역으로 투입되는 컨베이어상에 설치되는 차폐판에 대하여 설명하며, 검사물이 검사영역에서 배출되는 컨베이어상에 설치되는 차폐판에 대하여는 검사물이 투입되는 컨베이어상에 설치되는 차폐판과 대응되므로 생략한다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 차폐수단을 구비한 엑스레이 검사장치의 사시도이다.
도 2에서 보는 바와 같이, 컨베이어(100,110)상에 설치되는 이송가이드(410)에 의하여 검사물 이동 경로가 변경되므로, 검사영역(500)은 검사물 투입구(700)와 일직선상에 위치하지 않게 된다. 여기서 방사선은 직진성을 가지고 방사되므로 상기 검사영역(500)에서 방출되는 방사선이 검사물 투입구(700)로 유출되는 것을 차폐하기 위하여 컨베이어상에 제3차폐판(330a, 330b)이 설치될 수 있다. 또한 엑스레이 조사부(200)에서 검사영역까지 조사되는 경로에서 방사선의 방출을 차폐하기 위하여 컨베이어상에 제4차폐판(340a, 340b)이 설치될 수 있다. 여기서 상기 제3차폐판(330a, 330b) 및 제4차폐판(340a, 340b)은 컨베이어상에서 중첩되도록 설치됨으로써 엑스레이 검사장치의 측면에서 바라볼 경우 검사영역에서 난반사되는 방사선이 직선적으로 검사물 투입구(700)로 방출되는 경로를 차폐할 수 있다.
도 3a 및 도 3b 본 발명의 이동수단 및 차폐수단을 설명하기 위한 평면도이다.
도 3a에서 보는 바와 같이, 이동수단은 이송가이드(410)를 이용하여 검사물의 이동 경로를 변경할 수 있도록 소정의 이송폭을 갖는 하나의 컨베이어(400)로 이루어질 수 있다. 상기 컨베이어(400)상에서 검사물의 이동 경로는 검사물(610)이 투입되는 제1 이송 경로부터 상기 이송가이드(410)에 의하여 굴곡되어져 검사영역(500)으로 투입되는 제2 이송 경로로 이루어진다. 즉 이송수단에 의하여 검사영역(500)과 검사물이 투입되는 검사물 투입구(700)는 서로 다른 일직선상에 위치함과 동시에 이송 경로가 변경된 부분에 차폐수단이 설치됨으로써 검사영역(500)에서 난반사되는 방사선이 상기 검사물 투입구(700)로 방출되는 것을 방지할 수 있다.
여기서 상기 차폐수단은 일실시예로서 컨베이어(400)상에서 투입되는 검사물의 이송 경로를 변경하기 위한 이송가이드(410)의 굴곡이 시작되는 부분(제1 이송 경로)에 설치되는 제1차폐판(310a) 및 이송가이드(410)의 굴곡이 끝나는 부분(제2 이송 경로)에 설치되는 제2차폐판(320a)이 설치될 수 있다. 여기서 상기 제1차폐판(310a) 및 제2차폐판(320a)은 컨베이어의 이송폭내에서 서로 중첩되는 영역을 갖도록 형성되어 엑스레이 검사장치 외부로 방사선이 방출되는 것을 방지할 수 있다.
여기서 상기 차폐수단에 대하여 이송가이드의 굴곡이 시작되는 부분과 굴곡이 끝나는 부분으로 설명하였으나 이에 한정하지 않고, 검사영역에서 방출되는 방사선의 경로가 검사물 투입구와 일직선이 되지 않는 범위내에서 상기 컨베이어상의 어느 위치에도 설치될 수 있다.
도 3b에서 보는 바와 같이, 검사물(610)을 검사영역으로 이송하기 위한 이송수단은 두 개의 컨베이어(100,110)를 이용하여 이루어질 수 있다. 검사물(610)은 제1 컨베이어(110)를 통하여 투입되고, 이후 제1 컨베이어상의 검사물(610)은 굴곡된 이송가이드(410)를 통하여 제2 컨베이어(100)상으로 이동한다. 즉 검사영역(500)과 검사물 투입구(700)를 서로 다른 일직선상에 위치하도록 이송 경로를 변경하기 위한 컨베이어 이송폭을 확보하기 위하여 적어도 하나 이상의 컨베이어가 서로 수평적으로 연결될 수 있다. 차폐수단에 대하여는 상기 도3a에서 설명하였으므로 여기서는 생략한다.
도 4는 본 발명의 차폐수단을 설명하기 위한 측면도이다.
도 4에서 보는 바와 같이, 컨베이어상에 설치되는 차폐수단은 검사영역에서 방출되는 방사선의 유출 경로가 검사물 투입구와 일직선이 되지 않도록 제1차폐판(310a)과 제2차폐판(320a)이 중첩되어 형성될 수 있다. 여기서 상기 제1차폐판(310a)과 제2차폐판(320a)의 일실시예로 컨베이어(400)상에서 검사물이 통과하는 영역을 제외한 다른 부분은 차폐물질로 이루어져 검사물 투입구(700)로 방출되는 방사선의 피폭량을 최소화할 수 있다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 엑스레이 조사부의 단면도이다.
도 5에서 보는 바와 같이, 엑스레이 조사부는 제어명령을 입력받는 입력부(251), 입력받는 제어명령에 따라 X축, Y축 및 Z축으로 이동시키기 위한 제어신호를 구동부로 출력하는 제어부(252) 및 상기 제어신호에 따라 엑스레이 조사부를 X축, Y축 및 Z축으로 이동시키는 구동부(253)를 포함할 수 있다. 검사물내 이물질이 포함될 수 있는 특정부분을 조사하기 위하여 엑스레이 조사부는 상기 구동부(253)의 제어명령에 따라 X축 구동모터(220), Y축 구동모터(210) 및 Z축 구동모터(230)를 구동하여 X축 가이드 레일, Y축 가이드 레일 및 Z축 가이드 레일(231)을 따라 X축, Y축 및 Z축으로 이동될 수 있다. 여기서 구동 수단으로 모터를 예로 들어 설명하였으나, 구동 수단으로써 구동부(253)의 제어명령에 따라 유압 실린더 또는 공기압 실린더를 이용하여 구현될 수 있다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 검사하고자 하는 특정 부분의 불량을 검출하는 과정을 나타내는 적용예이다.
엑스레이 조사부(200)는 조사 각도에 따라 검사물(610)의 특정 위치에 이물질(620)이 있는 경우 이물질을 검출할 수 없는 상황이 발생할 수 있다. 즉 종래의 경우 엑스레이 조사부가 고정되어 있기 때문에 검사물에서 이물질이 있는 위치나 크기 등에 따라 검사물의 불량여부를 검출할 수 없다.
예를 들어 도 6a에서 보는 바와 같이, 이물질(620)이 검사물(610, 여기서는 병)의 밑부분의 볼록한 부분에 위치하고 엑스레이 조사부(200)가 고정되어 있는 경우 엑스레이가 병(610) 밑 볼록한 부분을 통과한 다음 이물질(620)을 통과하기 때문에 밀도가 낮은 이물질이나 크기가 작은 이물질 같은 경우는 디텍터(300)에 투영되는 이미지(301)만으로는 이물질의 유무를 분석할 수 없다.
따라서 본 발명에서는 도 6b에서 보는 바와 같이, 특정 위치에 있는 이물질(620)을 검사하기 위하여 엑스레이 조사부를 X축, Y축 및 Z축으로 이동시킨 후 검사물(610, 여기서는 병)의 밑 부분에 위치한 이물질(620)에 대하여 대각선으로 엑스레이를 조사함으로써 디텍터(300)에 촬상되는 투영 이미지(301) 및 불량 이미지(302)를 분석하여 이물질을 간편하게 검출할 수 있다.
또한 도 6b에서 보는 바와 같이, 검사물의 주입량을 검사할 경우에도 엑스레이 조사부를 이동시켜 측정하고자 하는 위치에 위치시킴으로써 주입량 측정 시 예상할 수 있는 오류률을 상당부분 감소시킬 수 있다.
엑스레이 영상을 촬상하는 디텍터가 고정되어 있는 경우, 엑스레이 조사부와 촬상하고자 하는 검사물이 가까울수록 영상이 크게 확대되는 특성이 있다. 디텍터에 촬상되는 영상의 배율은 FID / FOD 로 정의된다. 여기서 FID는 엑스레이 조사부와 디텍터까지의 거리, FOD는 엑스레이 조사부와 촬상하고자 하는 검사물까지의 거리를 나타낸다. 본 발명에서와 같이 엑스레이 조사부를 X축, Y축 또는 Z축으로 이동시켜 엑스레이 조사부를 촬상하고자 하는 검사물 쪽으로 가까이 붙여, 이물질이 있을거라고 예상하는 특정 부위만 크게 확대하여 영상을 획득할 수가 있다. 따라서 엑스레이 조사부가 고정되어 있을 때는 획득할 수 없었던 작은 이물질까지 디텍터에서 영상을 획득하여 검출할 수 있음으로 검사한 검사물의 신뢰성 향상에 크게 도움이 될 수 있다.
따라서 본 발명의 검사물의 이동 경로 변경을 위한 이동수단 및 차폐수단을 구비한 엑스레이 검사장치를 이용하여 검사물의 불량 여부를 검사함에 있어서 엑스레이 검사장치 외부로 방출되는 방사선의 피폭량을 감소시킬 수 있다.
또한 검사물의 형태(형상)에 따라 엑스레이 조사부를 이동시켜 엑스레이 조사 각도를 변경함으로써 복수의 엑스레이 조사부가 필요없이 하나의 엑스레이 조사부를 가지고 특정 부분의 이물질이 있는지 검사할 수 있다.
이상에서는 대표적인 실시 예를 통하여 본 발명에 대하여 상세하게 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 상술한 실시 예에 대하여 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변형이 가능함을 이해할 것이다.
그러므로 본 발명의 권리범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
10 : 하우징 100,110,400 : 컨베이어
200 : 엑스레이 조사부
300 : 디텍터 310a,310b : 제1차폐판
320a,320b : 제2차폐판 410 : 이송가이드
500 : 검사영역 700 : 검사물 투입구
1000 : 엑스레이 검사장치

Claims (5)

  1. 검사물을 엑스레이 검사영역으로 이동시키기 위한 이동수단;
    상기 검사물에 엑스레이를 조사하는 엑스레이 조사부;
    상기 엑스레이 조사부가 상기 검사물에 엑스레이를 조사하여 투영되는 이미지를 검출하는 디텍터; 및
    상기 검사영역에서 검사물에 조사되어 난반사되는 방사선을 차폐하기 위하여 검사물의 이송 경로가 변경되는 이동수단 상에 설치되는 차폐수단;을 포함하는 엑스레이 검사장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 이동수단은
    검사물을 이송시키기 위한 적어도 하나 이상의 컨베이어; 및
    상기 컨베이어상에서 이송되는 검사물의 이송 경로를 변경하여 검사물을 검사영역으로 투입하기 위한 이송가이드;를 포함하는 엑스레이 검사장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 차폐수단은
    컨베이어상에서 검사물이 이송되는 제1 이송 경로상에 위치하는 제1차폐판; 및
    컨베이어상에서 상기 이송가이드에 의하여 변경된 제2 이송 경로상에 위치하는 제2차폐판;을 포함하는 엑스레이 검사장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제1차폐판 및 제2차폐판은
    상기 컨베이어상에서 소정의 거리로 이격되어 차폐영역이 중첩되도록 위치하는 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 엑스레이 조사부는
    제어명령을 입력받는 입력부;
    입력받는 제어명령에 따라 X축, Y축 및 Z축으로 이동시키기 위한 제어신호를 구동부로 출력하는 제어부; 및
    상기 제어신호에 따라 엑스레이 조사부를 X축, Y축 및 Z축으로 이동시키는 구동부;를 포함하여 이루어지며,
    검사물상의 특정 부분의 불량을 검출하기 위하여 X축, Y축 및 Z축으로 이동되어지는 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사장치.
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