KR20120063348A - 영상 표시패널 검사장치 및 그 검사방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 영상 표시패널을 복수개씩 동시에 자동화 검사할 수 있도록 구성함으로써 영상 표시패널들의 검사 시간 및 검사 효율을 향상시킬 수 있도록 한 영상 표시패널 검사장치 및 그 검사방법에 관한 것으로, 복수의 영상 표시패널이 배열 고정된 스테이지; 상기 스테이지의 로딩시 상기 고정된 각 영상 표시패널의 하부 패턴을 촬영하는 적어도 하나의 제 1 검사 카메라; 로딩된 상기의 스테이지 및 각 영상 표시패널의 상부면을 스캔하여 순차적으로 상기 각 영상 표시패널의 상부 패턴을 촬영하는 적어도 하나의 제 2 검사 카메라; 및 상기 각 영상 표시패널이 고정된 스테이지의 상부에 고정되어 상기 각 영상 표시패널의 상부 패턴을 촬영하는 적어도 하나의 제 3 검사 카메라를 구비한 것을 특징으로 한다.

Description

영상 표시패널 검사장치 및 그 검사방법{INSPECTING CIRCUIT FOR IMAGE DISPLAY PANAL AND METHOD FOR INSPECTING THE SAME}
본 발명은 영상 표시패널의 검사장치에 관한 것으로 특히, 영상 표시패널을 복수개씩 동시에 자동화 검사할 수 있도록 구성함으로써 영상 표시패널들의 검사 시간 및 검사 효율을 향상시킬 수 있도록 한 영상 표시패널 검사장치 및 그 검사방법에 관한 것이다.
최근, 퍼스널 컴퓨터, 휴대용 단말기, 및 각종 정보기기의 모니터 등에 사용되는 영상 표시장치로 경량 박형의 평판 표시장치(Flat Panel Display)가 주로 이용되고 있다. 이러한, 평판 표시장치로는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display), 유기 발광 다이오드 표시장치(Organic Light Emitting Diode Display), 플라즈마 표시패널(Plasma Display Panel), 전계방출 표시장치(Field Emission Display) 등이 대두되고 있다.
이러한 평판 표시장치를 이루는 각각의 영상 표시패널 즉, 액정 패널이나 유기 발광 표시패널 등은 별도의 구동 회로부나 전원 공급부 등과 조립되는 모듈 조립공정에 들어가기에 앞서 점등 검사과정을 통해 불량 여부를 판별하게 된다. 이러한 불량 검사는 오토 프로브 장치(Auto-Probe Apparatus) 등의 검사장치를 이용하여 각 표시패널의 구동 및 화질 불량 유무를 판별하게 된다.
오토 프로브 장치는 완성된 영상 표시패널에 미리 셋팅된 구동회로나 백 라이트 유닛 등을 임시로 연결시키고 영상 표시패널이 소정 시간 동안 구동되도록 함으로써 각 표시패널들의 불량 유무를 판별한다. 이러한 오토 프로브 장치를 이용한 영상 표시패널 검사는 검수자가 직접 눈으로 검사하기도 하였지만, 최근에는 고 해상도의 카메라를 이용하여 자동으로 검사가 이루어지도록 하는 추세이다.
오토 프로브 검사장치들은 고정 방식 또는 이동 방식으로 해당 표시 패널들을 순차적으로 검사하게 되는데, 근래의 영상 표시패널의 크기가 다양하게 요구되는 추세에 있어서는 순차적으로 검사하는 검사 방식의 검사 효율이 저하되는 문제가 발생하였다. 예를 들어, 소형의 영상 표시패널을 검사하는 경우에는 고 해상도의 카메라들 간에 직/간접적인 간섭이 발생하게 되고, 소형 표시패널들을 검사하는데 소요되는 시간이 대형의 표시패널과 큰 차이가 없어 비용적으로나 시간적으로 그 검사 효율이 크게 저하되는 문제가 발생하였다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 영상 표시패널을 복수개씩 동시에 자동화 검사할 수 있도록 구성함으로써 영상 표시패널들의 검사 시간 및 검사 효율을 향상시킬 수 있도록 한 영상 표시패널 검사장치 및 그 검사방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 영상 표시패널 검사장치는 복수의 영상 표시패널이 배열 고정된 스테이지; 상기 스테이지의 로딩시 상기 고정된 각 영상 표시패널의 하부 패턴을 촬영하는 적어도 하나의 제 1 검사 카메라; 로딩된 상기의 스테이지 및 각 영상 표시패널의 상부면을 스캔하여 순차적으로 상기 각 영상 표시패널의 상부 패턴을 촬영하는 적어도 하나의 제 2 검사 카메라; 및 상기 각 영상 표시패널이 고정된 스테이지의 상부에 고정되어 상기 각 영상 표시패널의 상부 패턴을 촬영하는 적어도 하나의 제 3 검사 카메라를 구비한 것을 특징으로 한다.
상기 적어도 하나의 제 1 검사 카메라는 상기 스테이지가 영상 표시패널 검사장치의 지그 상에 로딩되는 경로의 하부에 위치하여 상기 스테이지의 이동시 상기 스테이지에 고정된 각 영상 표시패널의 하부 패턴을 스캔 방식으로 촬영하는 것을 특징으로 한다.
상기 적어도 하나의 제 2 검사 카메라는 상기 지그 상에 로딩된 스테이지의 측면 및 상부를 이동하는 갠트리에 구비되어, 상기 갠트리의 이동 경로에 따라 상기 각 영상 표시패널들의 상부면을 순차적으로 스캔하는 것을 특징으로 한다.
상기 적어도 하나의 제 2 검사 카메라는 상기 각 영상 표시패널의 상부 패턴 촬영시 미리 설정된 기울기로 기울어져 별도의 광 발생 장치의 도움을 받아 각 영상 표시패널의 상부 패턴을 스캔 방식으로 촬영하고, 상기 각 영상 표시패널의 정형계 검사시에는 각 영상 표시패널에 수직한 방향으로 재정렬되어 각 영상 표시패널들의 상부면 수직 패턴을 촬영하는 것을 특징으로 한다.
상기 적어도 하나의 제 3 검사 카메라는 상기 지그 및 스테이지의 상부에 적어도 하나씩 고정 배치되어 상기 각 영상 표시패널의 상부 패턴을 전체적으로 촬영함으로써 상기 각 영상 표시패널의 얼룩을 검사하도록 한 것을 특징으로 한다.
또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 영상 표시패널 검사방법은 복수의 영상 표시패널이 배열 고정된 스테이지의 로딩시 상기 고정된 각 영상 표시패널의 하부 패턴을 촬영하는 단계; 로딩된 상기의 스테이지 및 각 영상 표시패널의 상부면을 스캔하여 순차적으로 상기 각 영상 표시패널의 상부 패턴을 촬영하는 단계; 및 상기 스테이지에 고정된 각 영상 표시패널의 상부 패턴을 전체적으로 한번에 촬영하는 단계를 포함한 것을 특징으로 한다.
상기 각 영상 표시패널의 하부 패턴을 촬영하는 단계는 상기 스테이지가 로딩되는 경로의 하부에 위치한 적어도 하나의 제 1 검사 카메라를 이용하여 상기 스테이지의 이동시 상기 스테이지에 고정된 각 영상 표시패널의 하부 패턴을 스캔 방식으로 촬영하는 것을 특징으로 한다.
상기 각 영상 표시패널의 상부 패턴을 촬영하는 단계는 상기 스테이지의 측면 및 상부를 이동하는 갠트리에 구비된 적어도 하나의 제 2 검사 카메라를 이용하여 상기 갠트리의 이동 경로에 따라 상기 각 영상 표시패널들의 상부면을 순차적으로 스캔하는 것을 특징으로 한다.
상기 각 영상 표시패널의 상부 패턴을 촬영하는 단계는 상기 각 영상 표시패널의 상부 패턴 촬영시 미리 설정된 기울기로 기울어져 별도의 광 발생 장치의 도움을 받아 상기 각 영상 표시패널의 상부 패턴을 스캔 방식으로 촬영하고, 상기 각 영상 표시패널의 정형계 검사시에는 상기 각 영상 표시패널에 수직한 방향으로 재정렬되어 상기 각 영상 표시패널들의 상부면 수직 패턴을 촬영하는 것을 특징으로 한다.
상기 각 영상 표시패널의 상부 패턴을 전체적으로 한번에 촬영하는 단계는 상기 스테이지의 상부에 적어도 하나씩 고정 배치되는 적어도 하나의 제 3 검사 카메라를 이용하여 상기 각 영상 표시패널의 상부 패턴을 전체적으로 촬영함으로써 상기 각 영상 표시패널의 얼룩을 검사하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 특징들을 갖는 본 발명의 실시 예에 따른 영상 표시패널 검사장치 및 그 검사방법은 영상 표시패널을 복수개씩 동시에 자동화 검사할 수 있도록 구성함으로써 영상 표시패널들의 검사 시간 및 검사 효율을 향상시킬 수 있다. 다시 말해, 복수의 영상 표시패널이 동시에 로딩 및 언로딩 되도록 하는 과정에서 얼룩계, 정형계 및 상/하부 외관 검사까지 동시에 이루어지도록 함으로써 그 검사 효율을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 영상 표시패널 검사장치를 개략적으로 나타낸 구성도.
도 2a 내지 도 2d는 제 1 내지 제 3 검사 카메라들의 촬영 방법을 나타낸 도면.
도 3은 도 1에 도시된 영상 표시패널 검사장치의 수직 배열 형태를 나타낸 구성도.
도 4는 도 1에 도시된 영상 표시패널 검사장치의 수평 배열 형태를 나타낸 구성도.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 영상 표시패널 검사장치를 개략적으로 나타낸 다른 구성도.
도 6은 도 5에 도시된 영상 표시패널 검사장치의 수평 배열 형태를 나타낸 구성도.
이하, 상기와 같은 특징 및 효과를 갖는 본 발명의 실시 예에 따른 영상 표시패널 검사장치 및 그 검사방법을 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 실시 예에 따른 검사장치는 평판 표시장치는 이루는 다양한 패널 즉, 액정패널이나 유기발광 표시패널 및 플라즈마 표시패널 등의 다양한 표시 패널을 검사 대상으로 할 수 있지만, 이하에서는 설명의 편의상 액정패널의 불량을 검사하는 경우만을 일 예로 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 영상 표시패널 검사장치를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 1에 도시된 영상 표시패널 검사장치는 복수의 영상 표시패널(3)이 배열 고정된 스테이지(2); 상기 스테이지(2)의 로딩시 상기 고정된 각 영상 표시패널(3)의 하부 패턴을 촬영하는 적어도 하나의 제 1 검사 카메라(5); 로딩된 상기의 스테이지(2) 및 각 영상 표시패널(3)의 상부면을 스캔하여 순차적으로 상기 각 영상 표시패널(3)의 상부 패턴을 촬영하는 적어도 하나의 제 2 검사 카메라(6); 및 상기 각 영상 표시패널(3)이 고정된 스테이지(2)의 상부에 고정되어 상기 각 영상 표시패널(3)의 상부 패턴을 촬영하는 적어도 하나의 제 3 검사 카메라(7)를 구비한다.
이와 같이 구성된 본 발명의 영상 표시패널 검사장치는 도면으로는 도시되지 않았지만, 기본적으로 영상 표시패널(3)들을 검사하기 위한 구성 장치 예를 들어, 영상 표시패널(3)에 전압을 인가하는 프로브 장치, 상기 영상 표시패널(3)의 일측과 타측 또는 배면 등에 각각 구비되어 상기 영상 표시패널(3)에 광을 인가하는 광 발생 장치, 상기 각각의 검사 카메라(5,6,7)들에 연동하여 촬영된 각 영상 표시패널의 영상들을 기준 영상들과 비교?분석하는 영상 분석부를 더 구비한다.
스테이지(2)는 투명성 플레이트로 이루어지거나 복수의 개구부 및 패널 고정부가 구비되어, 스테이지(2)의 상부면 또는 스테이지(2)의 각 개구부에 복수의 영상 표시패널(3)이 배열 고정된다. 그리고 영상 표시패널(3)들이 고정된 스테이지(2)는 미리 설정된 경로를 따라 로봇 암이나 컨베이어 등에 의해 영상 표시패널 검사장치의 지그(jig) 상에 로딩 된다.
도 2a 내지 도 2d는 제 1 내지 제 3 검사 카메라들의 촬영 방법을 나타낸 도면이다.
도 2a에 도시된 적어도 하나의 제 1 검사 카메라(5)는 영상 표시패널(3)들이 고정된 스테이지(2)의 로딩 경로에 구비되며, 지그 상에 로딩되는 스테이지(2)의 하부에서 상기 각 영상 표시패널(3)의 하부 패턴을 스캔 방식으로 촬영한다. 다시 말해, 적어도 하나의 제 1 검사 카메라(5)는 스테이지(2)가 지그 상에 로딩되는 경로의 하부에 위치하여, 스테이지(2)의 이동시 별도의 광 발생 장치의 도움을 받아 상기 각 영상 표시패널(3)의 하부 패턴을 스캔 방식으로 촬영한다. 따라서, 적어도 하나의 제 1 검사 카메라(5)는 스테이지(2)의 이동 경로 하부에 구비되는바, 영상 표시패널 검사 장치의 지그를 기준으로는 어느 한 측면 하부에 구비될 수도 있고 그 전면 하부에 구비될 수도 있다. 이때, 각각의 제 1 검사 카메라(5)는 영상 표시패널(3)의 배열 방향에 따라 그 개수가 달리 적용될 수 있으며, 각각의 제 1 검사 카메라(5) 사양은 6.5㎛ 내지 7㎛의 분해능을 가진 스캔형의 12K 라인 카메라가 될 수 있다.
적어도 하나의 제 2 검사 카메라(6)는 로딩된 상기 로딩 플레이트(2)의 측면 및 상부를 이동하는 갠트리(Gantry, 4)에 구비되어, 상기 갠트리(4)의 이동 경로에 따라 각 영상 표시패널(3)들의 상부면을 순차적으로 스캔한다. 도 1의 점선 및 양방향 화살표로 도시한 바와 같이, 적어도 하나의 제 2 검사 카메라(6)는 스테이지(2)의 측면 및 상부를 따라 수평 방향으로 왕복 이동 가능한 갠트리(4)의 상부 지지대에 구비된다. 이러한 각 제 2 검사 카메라(6)는 갠트리(4)의 이동 경로에 따라 스테이지(2) 상의 영상 표시패널(3)들을 순차적으로 촬영한다.
적어도 하나의 제 2 검사 카메라(6)는 도 2c에 도시된 바와 같이, 별도의 광 발생 장치의 도움을 받아 상기 각 영상 표시패널(3)의 상부 패턴을 스캔 방식으로 촬영한다. 이때 각 제 2 검사 카메라(6)는 영상 표시패널(3)의 배열 방향에 따라 그 개수가 달리 적용될 수 있으며, 각각의 제 2 검사 카메라(6) 사양은 6.5㎛ 내지 7㎛의 분해능을 가진 스캔형의 12K TDI 카메라가 될 수 있다.
적어도 하나의 제 2 검사 카메라(6)는 각 영상 표시패널(3)의 상부 패턴 촬영시에는 미리 설정된 기울기로 기울어져 상기 각 영상 표시패널(3)의 상부 패턴을 스캔 방식으로 촬영하지만, 이 후 각각의 제 2 검사 카메라(6)는 각 영상 표시패널(3)에 수직한 방향으로 재정렬되어 갠트리(4)의 이동 경로에 따라 각 영상 표시패널(3)들의 상부면 수직 패턴을 촬영한다.
다시 말해, 각 영상 표시패널(3)의 상부 패턴 촬영시 적어도 하나의 제 2 검사 카메라(6)는 도 2c와 같이 미리 설정된 기울기로 기울어져 별도의 광 발생 장치의 도움을 받아 각 영상 표시패널(3)의 상부 패턴을 스캔 방식으로 촬영한다. 그리고, 각 영상 표시패널(3)의 정형계 검사시 적어도 하나의 제 2 검사 카메라(6)는 도 2d와 같이 각 영상 표시패널(3)에 수직한 방향으로 재정렬되어 각 영상 표시패널(3)들의 상부면 수직 패턴을 촬영한다. 이렇게 각 영상 표시패널(3)을 수직 촬영하여 정형계를 검사하는 경우는 각 영상 표시패널(3)의 배면에 위치한 광 발생 장치의 도움을 받아 각 영상 표시패널(3)을 수직 촬영한다.
도 2b에 도시된 적어도 하나의 제 3 검사 카메라(7)는 검사 장치의 지그 상부 즉, 상기 로딩된 로딩 플레이트(2)의 상부에 적어도 하나씩 고정 배치되어 상기 각 영상 표시패널(3)의 상부 패턴을 전체적으로 촬영함으로써 각 영상 표시패널(3)의 얼룩을 검사한다. 이러한 각 제 3 검사 카메라(7)는 영상 표시패널(3)의 배열 방향에 따라 그 개수가 달리 적용될 수 있으며, 각각의 제 3 검사 카메라(7) 사양은 78㎛ 내지 127.2㎛의 분해능을 가진 고정형의 16M 에어리어(Area) 카메라가 될 수 있다.
상술한 바와 같은 제 1 내지 제 3 검사 카메라(5,6,7)에 대한 보다 구체적인 사양은 하기 첨부한 표 1과 같이 갖추어져 본 발명의 영상 표시패널 검사장치에 적용될 수 있다.
Figure pat00001
영상 표시패널 검사장치의 각 스테이지(2)에는 각각의 영상 표시패널(3)이 그 크기에 따라 여러 형태로 변환하여 배열될 수 있다. 즉, 각 스테이지(2)에는 영상 표시패널(3)이 단수개 혹은 복수개씩 배열 고정될 수 있으며, 복수개의 배열시에는 1×2, 1×3, 2×2, 2×4,... 등과 같이 배열될 수 있다. 그리고 각 영상 표시패널(3)은 그 크기에 따라 가로 또는 세로로 정렬될 수 있다.
상술한 바와 같이, 각각의 영상 표시패널(3)은 그 크기에 따라 여러 배열 형태로 정렬되어 고정되는데, 이러한 배열 형태에 따라 검사장치에 구비되는 제 1 내지 제 3 검사 카메라(5,6,7)의 구성 형태도 하기의 표 2와 같이 변환될 수 있다.
Figure pat00002
도 1에 도시된 경우는, 영상 표시패널(3)이 2×4 형태로 세로로 배열된 일 예를 도시한 것으로, 영상 표시패널(3)의 단축을 기준으로 세로 배열된 영상 표시패널(3)들을 촬영하므로 각각 2개씩의 제 1 내지 제 3 검사 카메라(5,6,7)를 필요로 한다.
도 3은 도 1에 도시된 영상 표시패널 검사장치의 수직 배열 형태를 나타낸 구성도이며, 도 4는 도 1에 도시된 영상 표시패널 검사장치의 수평 배열 형태를 나타낸 구성도이다.
복수개의 영상 표시패널 검사장치가 활용되는 경우, 각 검사장치들은 그 주변 환경이나 설치 여건에 따라 다양한 형태로 배열될 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 각 검사장치가 직렬로 배치된 경우에는 각 검사장치 중 먼저 검사가 완료되는 검사장치에 검사 대기중이던 스테이지(2)를 로딩시킴으로써 전체적인 검사 시간을 효율적으로 운용할 수 있다.
반면, 도 4에 도시된 바와 같이 각 검사장치들이 병렬로 배치된 경우에는 제 2 검사 카메라(6)들이 구성되는 갠트리(4)가 복수개 스테이지(2)의 측면 및 상부를 이동하도록 구성될 수 있다. 다시 말해, 상기의 갠트리(4)는 병렬 형태로 배치된 복수개의 지그 상에서 복수개 스테이지(2)의 측면 및 상부를 이동하도록 구성됨으로써 상기 갠트리(4)에 구비된 복수의 제 2 검사 카메라(6)들이 해당 영상 표시패널(3)들의 상부 패턴을 촬영하도록 한다. 이렇게 복수의 검사장치가 병렬 형태로 배열된 경우에는 병렬 연결된 복수의 지그 상에 복수의 스테이지(2)가 동시에 로딩되도록 하고 검사 또한 동시에 이루어지도록 하여 갠트리(4)의 활용 효율을 향상시킬 수 있다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 영상 표시패널 검사장치를 개략적으로 나타낸 다른 구성도이다.
도 5에 도시된 영상 표시패널 검사장치는 하나의 지그를 이용하여 하나씩의 스테이지(2)를 로딩시키는 도 1의 검사장치와는 달리 복수개의 지그를 활용하여 복수개의 스테이지(2)를 순차적으로 로딩시킬 수 있는 예를 도시한다.
구체적으로, 각 검사장치의 제 1 지그(14)에는 복수의 영상 표시패널(3)이 배열 고정된 스테이지(2)가 먼저 로딩되고, 상기 스테이지(2)의 로딩시에는 적어도 하나의 제 1 검사 카메라(5)가 상기 각 영상 표시패널(3)의 하부 패턴을 촬영한다. 이 후, 갠트리(4)에 구비된 적어도 하나의 제 2 검사 카메라(6)는 갠트리(4)의 이동에 따라 각 영상 표시패널(3)의 상부면을 스캔하여 순차적으로 상기 각 영상 표시패널(3)의 상부 패턴을 촬영하게 된다.
상술한 바와 같이, 적어도 하나의 제 2 검사 카메라(6)는 각 영상 표시패널(3)의 상부 패턴 촬영시에는 미리 설정된 기울기로 기울어져 상기 각 영상 표시패널(3)의 상부 패턴을 스캔 방식으로 촬영하지만, 이 후 각각의 제 2 검사 카메라(6)는 각 영상 표시패널(3)에 수직한 방향으로 재정렬되어 갠트리(4)의 이동 경로에 따라 각 영상 표시패널(3)들의 상부면 수직 패턴을 촬영한다. 즉, 각 영상 표시패널(3)의 정형계 검사시 제 2 검사 카메라(6)는 각 영상 표시패널(3)에 수직한 방향으로 재정렬되어 각 영상 표시패널(3)들의 상부면 수직 패턴을 촬영한다.
이 후, 정형계 검사까지 이루어진 스테이지(2)는 제 2 지그(12)로 이동되며, 제 2 지그(12)로 스테이지(2)가 로딩된 후에는 제 2 지그(12) 상에 고정된 적어도 하나의 제 3 검사 카메라(7)가 각 영상 표시패널(3)의 상부 패턴을 촬영하여 얼룩을 검사하게 된다. 이렇게 제 2 지그(12)에 스테이지(2)가 옮겨져 로딩된 후에는 상기의 제 1 지그(14)에 새로운 스테이지(2)가 바로 로딩되어 검사가 이루어지도록 할 수 있다.
한편, 적어도 하나의 제 1 검사 카메라(5)는 제 1 지그(14)와 제 2 지그(12)의 사이에 스테이지(2)의 이동 경로 하부에 위치하여 이동하는 각 영상 표시패널(3)의 하부 패턴을 촬영할 수도 있다.
도 6은 도 5에 도시된 영상 표시패널 검사장치의 수평 배열 형태를 나타낸 구성도이다.
도 6과 같이, 제 1 및 제 2 지그(14,12)를 구비한 검사장치를 활용하는 경우에 있어서도 복수의 검사장치를 직렬 또는 병렬 형태로 복수개씩 구성하여 검사가 이루어질 수 있도록 할 수 있다. 특히, 각 검사장치들이 병렬로 배치된 경우에 있어서는 복수의 제 2 검사 카메라(6)들이 구성되는 갠트리(4)가 복수개 스테이지(2)의 측면 및 상부를 이동하도록 구성될 수도 있다. 다시 말해, 갠트리(4)는 병렬 형태로 배치된 복수개의 제 1 지그(14) 상에서 복수개 스테이지(2)의 측면 및 상부를 이동하도록 구성됨으로써 상기 갠트리(4)에 구비된 복수의 제 2 검사 카메라(6)들이 해당 영상 표시패널(3)들의 상부 패턴을 촬영하도록 한다. 이렇게 복수의 검사장치가 병렬 형태로 배열된 경우에는 병렬 연결된 복수의 제 1 지그(14) 상에 복수의 스테이지(2)가 동시에 로딩되도록 하고 검사 또한 동시에 이루어지도록 하여 갠트리(4)의 활용 효율을 향상시킬 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 영상 표시패널 검사장치 및 그 검사방법은 영상 표시패널(3)을 복수개씩 동시에 자동화 검사할 수 있도록 구성함으로써 영상 표시패널(3)들의 검사 시간 및 검사 효율을 향상시킬 수 있다. 즉, 복수의 영상 표시패널(3)이 동시에 로딩 및 언로딩 되도록 하는 과정에서 얼룩계, 정형계 및 상/하부 외관 검사까지 동시에 이루어지도록 함으로써 그 검사 효율을 향상시킬 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.

Claims (10)

  1. 복수의 영상 표시패널이 배열 고정된 스테이지;
    상기 스테이지의 로딩시 상기 고정된 각 영상 표시패널의 하부 패턴을 촬영하는 적어도 하나의 제 1 검사 카메라;
    로딩된 상기의 스테이지 및 각 영상 표시패널의 상부면을 스캔하여 순차적으로 상기 각 영상 표시패널의 상부 패턴을 촬영하는 적어도 하나의 제 2 검사 카메라; 및
    상기 각 영상 표시패널이 고정된 스테이지의 상부에 고정되어 상기 각 영상 표시패널의 상부 패턴을 촬영하는 적어도 하나의 제 3 검사 카메라를 구비한 것을 특징으로 하는 영상 표시패널 검사장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 제 1 검사 카메라는
    상기 스테이지가 영상 표시패널 검사장치의 지그 상에 로딩되는 경로의 하부에 위치하여 상기 스테이지의 이동시 상기 스테이지에 고정된 각 영상 표시패널의 하부 패턴을 스캔 방식으로 촬영하는 것을 특징으로 하는 영상 표시패널 검사장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 제 2 검사 카메라는
    상기 지그 상에 로딩된 스테이지의 측면 및 상부를 이동하는 갠트리에 구비되어, 상기 갠트리의 이동 경로에 따라 상기 각 영상 표시패널들의 상부면을 순차적으로 스캔하는 것을 특징으로 하는 영상 표시패널 검사장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 제 2 검사 카메라는
    상기 각 영상 표시패널의 상부 패턴 촬영시 미리 설정된 기울기로 기울어져 별도의 광 발생 장치의 도움을 받아 각 영상 표시패널의 상부 패턴을 스캔 방식으로 촬영하고,
    상기 각 영상 표시패널의 정형계 검사시에는 각 영상 표시패널에 수직한 방향으로 재정렬되어 각 영상 표시패널들의 상부면 수직 패턴을 촬영하는 것을 특징으로 하는 영상 표시패널 검사장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 제 3 검사 카메라는
    상기 지그 및 스테이지의 상부에 적어도 하나씩 고정 배치되어 상기 각 영상 표시패널의 상부 패턴을 전체적으로 촬영함으로써 상기 각 영상 표시패널의 얼룩을 검사하도록 한 것을 특징으로 하는 영상 표시패널 검사장치.
  6. 복수의 영상 표시패널이 배열 고정된 스테이지의 로딩시 상기 고정된 각 영상 표시패널의 하부 패턴을 촬영하는 단계;
    로딩된 상기의 스테이지 및 각 영상 표시패널의 상부면을 스캔하여 순차적으로 상기 각 영상 표시패널의 상부 패턴을 촬영하는 단계; 및
    상기 스테이지에 고정된 각 영상 표시패널의 상부 패턴을 전체적으로 한번에 촬영하는 단계를 포함한 것을 특징으로 하는 영상 표시패널 검사방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 각 영상 표시패널의 하부 패턴을 촬영하는 단계는
    상기 스테이지가 로딩되는 경로의 하부에 위치한 적어도 하나의 제 1 검사 카메라를 이용하여 상기 스테이지의 이동시 상기 스테이지에 고정된 각 영상 표시패널의 하부 패턴을 스캔 방식으로 촬영하는 것을 특징으로 하는 영상 표시패널 검사방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 각 영상 표시패널의 상부 패턴을 촬영하는 단계는
    상기 스테이지의 측면 및 상부를 이동하는 갠트리에 구비된 적어도 하나의 제 2 검사 카메라를 이용하여 상기 갠트리의 이동 경로에 따라 상기 각 영상 표시패널들의 상부면을 순차적으로 스캔하는 것을 특징으로 하는 영상 표시패널 검사방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 각 영상 표시패널의 상부 패턴을 촬영하는 단계는
    상기 각 영상 표시패널의 상부 패턴 촬영시 미리 설정된 기울기로 기울어져 별도의 광 발생 장치의 도움을 받아 상기 각 영상 표시패널의 상부 패턴을 스캔 방식으로 촬영하고,
    상기 각 영상 표시패널의 정형계 검사시에는 상기 각 영상 표시패널에 수직한 방향으로 재정렬되어 상기 각 영상 표시패널들의 상부면 수직 패턴을 촬영하는 것을 특징으로 하는 영상 표시패널 검사방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 각 영상 표시패널의 상부 패턴을 전체적으로 한번에 촬영하는 단계는
    상기 스테이지의 상부에 적어도 하나씩 고정 배치되는 적어도 하나의 제 3 검사 카메라를 이용하여 상기 각 영상 표시패널의 상부 패턴을 전체적으로 촬영함으로써 상기 각 영상 표시패널의 얼룩을 검사하는 것을 특징으로 하는 영상 표시패널 검사방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100994305B1 (ko) * 2009-11-10 2010-11-12 엘지디스플레이 주식회사 표시장치용 검사장치 및 그의 검사방법

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115532656A (zh) * 2021-06-30 2022-12-30 京东方科技集团股份有限公司 一种显示面板缺陷检测方法、设备和系统
KR102517177B1 (ko) * 2022-09-06 2023-04-03 파워오토메이션 주식회사 하이브리드 이형부품 삽입로봇용 부품 사전 검사 장치

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