KR20120062309A - 자력을 이용한 이송 장치 - Google Patents

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KR20120062309A
KR20120062309A KR1020100123517A KR20100123517A KR20120062309A KR 20120062309 A KR20120062309 A KR 20120062309A KR 1020100123517 A KR1020100123517 A KR 1020100123517A KR 20100123517 A KR20100123517 A KR 20100123517A KR 20120062309 A KR20120062309 A KR 20120062309A
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Abstract

자력을 이용한 이송 장치는 밀폐가이드부에 의해 상부 진공부와 하부 개방부가 공간적으로 차단되도록 형성된 몸체와, 상기 몸체의 하부 개방부에 설치되는 볼스크류(Ball Screw)와, 상기 볼스크류에 설치되어 상기 볼스크류의 회전 동작에 따라 왕복이동되며 내부에 제1 자성체가 설치되는 제1 슬라이드구 및 상기 몸체의 상부 진공부에 슬라이드 이동가능하도록 설치되며 내부에 제2 자성체가 설치되고, 상기 제2 자성체가 상기 제2 자성체와 자력으로 연결되어 상기 제1 슬라이드구의 이동에 따라 슬라이드 이동되는 제2 슬라이드구를 포함한다. 일 실시예에서, 상기 밀폐가이드구는 횡단면 형상이 하부가 개방된 사각형상으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 슬라이드구는 상기 밀폐가이드구의 상부면에 밀착되는 본체 및 상기 밀폐가이드구의 양측면에 밀착되는 연장부가 일체로 형성되어 슬라이드 이동가능하도록 설치될 수 있다. 일 실시예에서, 상기 제1 자성체는 제1 슬라이드구의 상부에 설치되고, 상기 제2 자성체는 제2 슬라이드구의 본체 하부에 설치될 수 있으며, 상기 제2 슬라이드구의 연장부 내측에는 상기 밀폐가이드구의 측면에 점접촉되는 볼케이지(Ball Cage)가 설치될 수 있다.

Description

자력을 이용한 이송 장치{TRANSFER APPARATUS USING MAGNETIC FORCE}
개시된 기술은 자력을 이용한 이송 장치에 관한 것으로, 특히 진공챔버 내부의 반도체소자 또는 웨이퍼를 이동시키기 위한 자력을 이용한 이송 장치에 관한 것이다.
반도체소자를 제조하는 공정에는 웨이퍼를 제조하는 공정과 웨이퍼를 이용하여 반도체소자를 제조하는 공정을 포함하여 다양한 공정을 거칠 수 있다. 이러한 각 공정들은 매뉴얼 또는 수치제어 등으로 작동되는 자동화장치들에 의해 이루어질 수 있다. 이때, 다양한 자동화장치들에 의해 공정자동화가 이루어지기 위해서는 어느 하나의 장치로부터 다른 하나의 장치로 웨이퍼 또는 반도체소자 등의 중간제조물을 이송하는 과정을 거칠 수 있다.
한편, 반도체소자를 제조함에 있어 중요한 인자로는 작업공간의 오염도와 진공도이다. 따라서, 고정된 장소의 작업공간뿐만 아니라 중간제조물의 이송과정에서도 외부의 오염물질이나 기체가 작업공간(예를 들어, 진공챔버)으로 침투되는 것을 방지해야 할 필요가 있다.
실시예들 중에서, 자력을 이용한 이송 장치는 밀폐가이드부에 의해 상부 진공부와 하부 개방부가 공간적으로 차단되도록 형성된 몸체와, 상기 몸체의 하부 개방부에 설치되는 볼스크류(Ball Screw)와, 상기 볼스크류에 설치되어 상기 볼스크류의 회전 동작에 따라 왕복이동되며 내부에 제1 자성체가 설치되는 제1 슬라이드구 및 상기 몸체의 상부 진공부에 슬라이드 이동가능하도록 설치되며 내부에 제2 자성체가 설치되고, 상기 제2 자성체가 상기 제2 자성체와 자력으로 연결되어 상기 제1 슬라이드구의 이동에 따라 슬라이드 이동되는 제2 슬라이드구를 포함한다. 일 실시예에서, 상기 밀폐가이드구는 횡단면 형상이 하부가 개방된 사각형상으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 슬라이드구는 상기 밀폐가이드구의 상부면에 밀착되는 본체 및 상기 밀폐가이드구의 양측면에 밀착되는 연장부가 일체로 형성되어 슬라이드 이동가능하도록 설치될 수 있다. 일 실시예에서, 상기 제1 자성체는 제1 슬라이드구의 상부에 설치될 수 있고, 상기 제2 자성체는 제2 슬라이드구의 본체 하부에 설치될 수 있으며, 상기 제2 슬라이드구의 연장부 내측에는 상기 밀폐가이드구의 측면에 점접촉되는 볼케이지(Ball Cage)가 설치될 수 있다. 다른 일 실시예에서, 상기 제1 자성체는 제1 슬라이드구의 측면에 설치될 수 있고, 상기 제2 자성체는 제2 슬라이드구의 연장부에 설치될 수 있으며, 상기 제2 슬라이드구의 본체 내측에는 상기 밀폐가이드구의 상부면에 점접촉되는 볼케이지(Ball Cage)가 설치될 수 있다. 일 실시예에서, 상기 볼스크류는 구동 샤프트에 일체로 형성된 수나사와, 상기 수나사에 회전가능하도록 결합되는 너트를 포함하고, 상기 제1 슬라이드구는 상기 너트에 고정설치될 수 있다. 예를 들어, 상기 몸체의 하부 개방부의 양측 종단부 내측에는 상기 볼스크류의 양측 종단부가 회동가능하도록 결합되는 제1 및 제2 지지구가 설치될 수 있으며, 상기 제1 및 제2 지지구의 내측에 볼베어링이 설치되고, 상기 볼베어링과 상기 볼스크류의 양측 종단부가 점접촉할 수 있다.
실시예들 중에서, 자력을 이용한 이송 장치는 밀폐가이드부에 의해 상부와 하부가 공간적으로 차단되도록 형성된 몸체와, 상기 몸체의 하부에 설치되는 왕복이송부와, 상기 왕복이송부에 설치되어 상기 왕복이송부의 동작에 따라 왕복이동되며 내부에 제1 자성체가 설치되는 제1 슬라이드구 및 상기 몸체의 상부에 슬라이드 이동가능하도록 설치되며 내부에 제2 자성체가 설치되고, 상기 제2 자성체가 상기 제1 자성체와 자력으로 연결되어 상기 제1 슬라이드구의 이동에 따라 슬라이드 이동되는 제2 슬라이드구를 포함한다. 일 실시예에서, 상기 왕복이송부는 볼스크류일 수 있다. 예를 들어, 상기 볼스크류는 구동 샤프트에 일체로 형성된 수나사와, 상기 수나사에 회전가능하도록 결합되는 너트를 포함하고, 상기 제1 슬라이드구는 상기 너트에 고정설치될 수 있다. 다른 일 실시예에서, 상기 왕복이송부는 유압실린더 또는 공압실린더일 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 슬라이드구는 상기 유압실린더 또는 공압실린더의 피스톤로드 종단부에 고정설치될 수 있으며, 상기 몸체의 하부에는 제1 슬라이드구의 이동방향으로 가이드바가 고정설치될 수 있고, 상기 제1 슬라이드구의 일측에는 상기 가이드바에 슬라이드 이동가능하도록 설치될 수 있다. 일 실시예에서, 상기 제1 자성체는 제1 슬라이드구의 상부 및 양측면 중 적어도 하나의 면에 설치될 수 있고, 상기 제2 자성체는 제1 자성체의 위치에 대응하여 제2 슬라이드구에 설치될 수 있으며, 상기 제2 슬라이드구의 내측면에는 상기 밀폐가이드부와 점접촉되는 볼케이지(Ball Cage)가 설치될 수 있다.
도 1은 개시된 기술의 일 실시예에 따른 자력을 이용한 이송 장치를 설명하는 구성도이다.
도 2는 도 1의 부분절개 사시도이다.
도 3은 도 2의 분해사시도로서 자성체 및 볼케이지의 설치 위치의 일 예를 설명하는 도면이다.
도 4는 도 2의 분해사시도로서 자성체 및 볼케이지의 설치 위치의 다른 예를 설명하는 도면이다.
도 5는 도 1의 'A-A'선 단면도이다.
도 6은 도 1의 부분절개 측면도이다.
도 7은 개시된 기술의 다른 일 실시예에 따른 자력을 이용한 이송 장치를 설명하는 종방향 부분단면도이다.
도 8은 개시된 기술의 또 다른 일 실시예에 따른 자력을 이용한 이송 장치를 설명하는 종방향 부분단면도이다.
개시된 기술에 관한 설명은 구조적 내지 기능적 설명을 위한 실시예에 불과하므로, 개시된 기술의 권리범위는 본문에 설명된 실시예에 의하여 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 된다. 즉, 실시예는 다양한 변경이 가능하고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로 개시된 기술의 권리범위는 기술적 사상을 실현할 수 있는 균등물들을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
한편, 본 출원에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.
"제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다. 예를 들어, 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
"및/또는"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제1 항목, 제2 항목 및/또는 제3 항목"의 의미는 제1, 제2 또는 제3 항목뿐만 아니라 제1, 제2 또는 제3 항목들 중 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어"있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 한편, 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "포함하다"또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이며, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
여기서 사용되는 모든 용어들은 다르게 정의되지 않는 한, 개시된 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미를 지니는 것으로 해석될 수 없다.
도 1은 개시된 기술의 일 실시예에 따른 자력을 이용한 이송 장치를 설명하는 구성도이고, 도 2는 도 1의 부분절개 사시도이다.
도 1 및 도2를 참조하면, 자력을 이용한 이송 장치(100)는 몸체(110), 밀폐가이드부(120), 볼스크류(130), 제1 슬라이드구(240), 제2 슬라이드구(140)를 포함한다.
몸체(110)는 진공챔버와 같은 작업공간의 하부에 설치되어 중간제조물을 이송하는 공간을 제공한다. 예를 들어, 중간제조물은 실리콘 웨이퍼 및/또는 산화공정, 감광액도포공정, 노광공정, 현상공정, 식각공정, 이온주입공정, 화학기상증착공정, 금속배선공정, 후면연마공정 및/또는 절단공정을 거친 상태의 웨이퍼를 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 몸체(110)는 진공챔버와 연결되는 진공부(101)와 진공챔버로부터 차단된 개방부(102)가 형성될 수 있다.
밀폐가이드부(120)는 몸체(110)의 내부 공간부를 상부 진공부(101)와 하부 개방부(103)로 구획하여 공간적으로 차단한다. 일 실시예에서, 밀폐가이드부(120)는 횡단면 형상이 하부가 개방된 사각형상으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 밀폐가이드부(120)의 하부는 전체 또는 적어도 일부가 제거되어 개방될 수 있다.
볼스크류(130)는 제1 슬라이드구(240)를 전방(도 1에서 좌측하부방향) 또는 후방(도 1에서 우측상부방향)으로 이동시키기 위한 것으로, 구동 샤프트(Shaft)(210), 수나사(220), 너트(230)를 포함한다. 일 실시예에서, 구동 샤프트(210)와 수나사(220)는 일체로 형성될 수 있으며, 너트(230)는 수나사(220)에 회전가능하도록 결합될 수 있다. 예를 들어, 너트(230)는 제1 슬라이드구(240)에 고정설치될 수 있다. 일 실시예에서, 구동 샤프트(210)가 외부의 동력발생장치(예를 들어, 모터)로부터 생성된 회전운동을 전달받으면, 너트(230)가 수나사(220)의 회전방향에 따라 전방 또는 후방으로 이동할 수 있다.
도 2에서, 볼스크류(130)는 제1 지지구(251) 및 제2 지지구(252)에 의해 회전축이 고정될 수 있다. 일 실시에에서, 제1 지지구(251)는 몸체(110)의 하부 개방부(102)의 일측 종단부(도 2에서 좌측하부)의 내측에 고정설치될 수 있고, 제2 지지구(252)는 몸체(110)의 하부 개방부(102)의 다른 일측 종단부(도 2에서 우측상부)의 내측에 고정설치될 수 있으며, 볼스크류(130)의 양측 종단부는 각각 제1 지지구(251) 및 제2 지지구(252)에 회동가능하도록 결합될 수 있다.
제1 슬라이드구(240)는 볼스크류(130)의 너트(230)에 고정결합된다. 일 실시예에서, 제1 슬라이드구(240)는 밀폐가이드구(120)의 개방부(102) 측에 밀착되어 슬라이드 이동될 수 있다. 예를 들어, 밀폐가이드구(120)의 횡단면이 사각형상이면 제1 슬라이드구(240)의 횡단면(도 1에서 좌측상부에서 우측하부로의 방향) 형상이 이에 상응하도록 형성될 수 있다. 일 실시예에서, 제1 슬라이드구(240)의 상부 및/또는 양측면 내부에는 제1 자성체(341)가 설치될 수 있다. 예를 들어, 제1 자성체(341)는 제1 슬라이드구(240)의 외부면에 근접하여 설치될 수 있다.
제2 슬라이드구(140)는 밀폐가이드구(120)의 진공부(101) 측에 밀착되어 슬라이드 이동될 수 있다. 일 실시예에서, 제2 슬라이드구(140)는 평판형의 본체(261)로 형성될 수 있다. 다른 일 실시예에서, 제2 슬라이드구(140)는 평판형의 본체(261) 양측으로, 본체(261)와 직교하도록 연장부(262)를 형성할 수 있다. 예를 들어, 밀폐가이드구(120)의 횡단면이 사각형상이면 제2 슬라이드구(140)의 횡단면 형상은 "ㄷ" 형으로 형성될 수 있다. 일 실시예에서, 제2 슬라이드구(240)의 본체(261) 및/또는 연장부(262)의 내부에는 제2 자성체(342)가 설치될 수 있다. 예를 들어, 제2 자성체(342)는 제2 슬라이드구(140)의 내부면에 근접하여 설치될 수 있다.
제2 슬라이드구(140)에 설치된 제2 자성체(342)는 진공부(101)에서 작업되는 웨이퍼 및/또는 반도체소자에 자력에 의한 영향을 미칠 수 있다. 일 실시예에서, 제2 슬라이드구(140)의 본체(261) 상부에는 자력을 차단하는 차폐층(도시하지 않음)을 더 포함할 수 있다.
도 3은 도 2의 분해사시도로서 자성체 및 볼케이지의 설치 위치의 일 예를 설명하는 도면이다.
도 3을 참조하면, 제1 자성체(341)는 제1 슬라이드구(240)의 상부 내측에 설치되고, 제2 자성체(342)는 제2 슬라이드구(140)의 본체(261) 하부에 설치될 수 있다. 일 실시예에서, 제2 슬라이드구(140)의 연장부(262) 내측에는 볼케이지(Ball Cage)(310)가 설치될 수 있다. 예를 들어, 볼케이지(310)는 밀폐가이드구(120)의 측면에 점접촉될 수 있다. 볼케이지(310)는 제2 슬라이드구(140)가 부드럽고 안정적으로 슬라이드 이동하도록 할 수 있다.
도 4는 도 2의 분해사시도로서 자성체 및 볼케이지의 설치 위치의 다른 예를 설명하는 도면이다.
도 4를 참조하면, 제1 자성체(341)는 제1 슬라이드구(240)의 측면에 설치되고, 제2 자성체(342)는 제2 슬라이드구(140)의 연장부(262)에 설치될 수 있으며, 제2 슬라이드구(140)의 본체(261) 내측에는 볼케이지(310)가 설치될 수 있다.
제1 자성체(341), 제2 자성체(342) 및 볼케이지(310)의 설치위치는 당업자의 요구에 따라 다양하게 변형될 수 있음은 당연하다.
도 5는 도 1의 'A-A'선 단면도이다.
도 5를 참조하면, 제1 지지구(251) 및 제2 지지구(252)의 내측에는 각각 볼베어링(551)(552)이 설치되고, 볼베어링(551)(552)과 구동 샤프트(210)의 양측 종단부가 점접촉하여 결합될 수 있다. 볼베어링(551)(552)은 구동 샤프트(210)가 회전축을 중심으로 안정적으로 회전할 수 있도록 할 수 있다.
도 5에서, 미설명 부호 "510"은 작업이 수행되는 진공 상태의 챔버이다.
도 6은 도 1의 부분절개 측면도이다.
도 6을 참조하면, 도 3 및 도 4의 볼케이지(310)는 밀폐가이드구(120)와 점접촉하는 볼(610)을 포함할 수 있다.
도 6에서, 볼케이지(310)는 밀폐가이드구(120)의 우측면에 밀착되어 설치되는 것으로 나타내었으나 이에 한정하는 것은 아니며, 밀폐가이드구(120)의 좌측면 및/또는 상부면에 더 설치될 수 있다.
도 7은 개시된 기술의 다른 일 실시예에 따른 자력을 이용한 이송 장치를 설명하는 종방향 부분단면도이다.
도 7을 참조하면, 자력을 이용한 이송 장치(100)는 몸체(110)의 전방(도 7에서 좌측방향)에 제1 실린더(710)가 고정설치될 수 있고, 몸체(110)의 후방(도 7에서 우측방향)에 제2 실린더(720)가 고정설치될 수 있다. 일 실시예에서, 제1 슬라이드구(240)의 일측면(예를 들어, 전방)에는 제1 실린더(710)의 피스톤로드(711) 종단부가 고정설치될 수 있고, 제1 슬라이드구(240)의 다른 일측면(예를 들어, 후방)에는 제2 실린더(720)의 피스톤로드(721) 종단부가 고정설치될 수 있다. 예를 들어, 제1 실린더(710) 및/또는 제2 실린더(720)는 유압실린더일 수 있다. 다른 예로, 제1 실린더(710) 및/또는 제2 실린더(720)는 공압실린더일 수 있다. 일 실시예에서, 제1 실린더(710) 및 제2 실린더(720)는 개별적으로 유체(또는 기체)를 공급 또는 배출하여 동작할 수 있다. 다른 일 실시예에서, 제1 실린더(710)의 유체(또는 기체)가 제2 실린더(720)로 공급되어 제1 슬라이드구(240)가 전방으로 이동하거나, 제2 실린더(720)의 유체(또는 기체)가 제1 실린더(710)로 공급되어 제1 슬라이드구(240)가 후방으로 이동할 수 있다.
도 8은 개시된 기술의 또 다른 일 실시예에 따른 자력을 이용한 이송 장치를 설명하는 종방향 부분단면도이다.
도 8을 참조하면, 자력을 이용한 이송 장치(100)는 몸체(110)의 전방(도 7에서 좌측방향)에 제1 실린더(710)가 고정설치될 수 있으며, 몸체(110)의 하부인 개방부(102)에는 제1 슬라이드구(240)의 이동방향(도 8에서 좌우측방향)으로 가이드바(810)가 고정설치 될 수 있고, 제1 슬라이드구(240)의 일측에는 가이드바(810)에 슬라이드 이동가능하도록 설치되는 이동가이드구(820)가 고정설치될 수 있다. 일 실시예에서, 가이드바(810)는 이동가이드구(820)에 관통되어 설치될 수 있다. 예를 들어, 이동가이드구(820)의 내부에는 가이드바(810)와 점접촉하는 볼베어링(미부호)을 설치할 수 있다.
도 8에서, 하나의 실린더만으로 제1 슬라이드구(240)를 전방 또는 후방으로 이동시킬 수 있으며, 가이드바(810) 및 이동가이드구(820)는 제1 슬라이드구(240)가 자중에 의해 밑으로 처지는 것을 방지하기 위하여 사용될 수 있다. 다시 말해, 가이드바(810)와 이동가이드구(820)는 제1 슬라이드구(240)가 안정적으로 전후이동을 하도록 도와주는 기능을 수행하는 것이며, 당업자의 요구에 따라 다양한 형상 및 구조로 변경될 수 있음은 물론이다.
개시된 기술은 다음의 효과를 가질 수 있다. 다만, 특정 실시예가 다음의 효과를 전부 포함하여야 한다거나 다음의 효과만을 포함하여야 한다는 의미는 아니므로, 개시된 기술의 권리범위는 이에 의하여 제한되는 것으로 이해되어서는 아니 될 것이다.
일 실시예에 따른 자력을 이용한 이송 장치는 제품의 성능을 향상시킬 수 있다. 제조 공정에서 자동화장치들간의 중간제조물(예를 들어, 웨이퍼 또는 반도체소자) 이송시에도 외부와 작업공간의 차단이 충분히 이루어지기 때문이다.
또한, 일 실시예에 따른 자력을 이용한 이송 장치는 이송 장치의 수명을 향상시킬 수 있다. 작업시 발생하는 하중을 밀폐가이드부에서 흡수할 수 있도록 함으로써, 작업시 발생하는 하중이 볼스크류에 가해지지 않도록 할 수 있기 때문이다.
또한, 일 실시예에 따른 자력을 이용한 이송 장치는 시간경과에 따른 자동제어의 오차발생을 최소화할 수 있다. 작업시 발생하는 하중에 의한 볼스크류의 샤프트 변형을 방지할 수 있기 때문이다. 따라서, 제조되는 반도체소자의 품질을 향상시킬 수 있다.
상기에서는 본 출원의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 출원의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 출원을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (18)

  1. 밀폐가이드부에 의해 상부 진공부와 하부 개방부가 공간적으로 차단되도록 형성된 몸체;
    상기 몸체의 하부 개방부에 설치되는 볼스크류(Ball Screw);
    상기 볼스크류에 설치되어 상기 볼스크류의 회전 동작에 따라 왕복이동되며 내부에 제1 자성체가 설치되는 제1 슬라이드구; 및
    상기 몸체의 상부 진공부에 슬라이드 이동가능하도록 설치되며 내부에 제2 자성체가 설치되고, 상기 제2 자성체가 상기 제2 자성체와 자력으로 연결되어 상기 제1 슬라이드구의 이동에 따라 슬라이드 이동되는 제2 슬라이드구를 포함하는 자력을 이용한 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 밀폐가이드구는 횡단면 형상이 하부가 개방된 사각형상인 것을 특징으로 하는 자력을 이용한 이송 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제2 슬라이드구는
    상기 밀폐가이드구의 상부면에 밀착되는 본체; 및
    상기 밀폐가이드구의 양측면에 밀착되는 연장부가 일체로 형성되어 슬라이드 이동가능하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 자력을 이용한 이송 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1 자성체는 제1 슬라이드구의 상부에 설치되고,
    상기 제2 자성체는 제2 슬라이드구의 본체 하부에 설치되는 것을 특징으로 하는 자력을 이용한 이송 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제2 슬라이드구의 연장부 내측에는
    상기 밀폐가이드구의 측면에 점접촉되는 볼케이지(Ball Cage)가 설치되는 것을 특징으로 하는 자력을 이용한 이송 장치.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 제1 자성체는 제1 슬라이드구의 측면에 설치되고,
    상기 제2 자성체는 제2 슬라이드구의 연장부에 설치되는 것을 특징으로 하는 자력을 이용한 이송 장치
  7. 제6항에 있어서, 상기 제2 슬라이드구의 본체 내측에는
    상기 밀폐가이드구의 상부면에 점접촉되는 볼케이지(Ball Cage)가 설치되는 것을 특징으로 하는 자력을 이용한 이송 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 볼스크류는 구동 샤프트에 일체로 형성된 수나사와, 상기 수나사에 회전가능하도록 결합되는 너트를 포함하고,
    상기 제1 슬라이드구는 상기 너트에 고정설치되는 것을 특징으로 하는 자력을 이용한 이송 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 몸체의 하부 개방부의 양측 종단부 내측에는 상기 볼스크류의 양측 종단부가 회동가능하도록 결합되는 제1 및 제2 지지구가 설치되는 것을 특징으로 하는 자력을 이용한 이송 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 지지구의 내측에 볼베어링이 설치되고, 상기 볼베어링과 상기 볼스크류의 양측 종단부가 점접촉하는 것을 특징으로 하는 자력을 이용한 이송 장치.
  11. 밀폐가이드부에 의해 상부와 하부가 공간적으로 차단되도록 형성된 몸체;
    상기 몸체의 하부에 설치되는 왕복이송부;
    상기 왕복이송부에 설치되어 상기 왕복이송부의 동작에 따라 왕복이동되며 내부에 제1 자성체가 설치되는 제1 슬라이드구; 및
    상기 몸체의 상부에 슬라이드 이동가능하도록 설치되며 내부에 제2 자성체가 설치되고, 상기 제2 자성체가 상기 제1 자성체와 자력으로 연결되어 상기 제1 슬라이드구의 이동에 따라 슬라이드 이동되는 제2 슬라이드구를 포함하는 자력을 이용한 이송 장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 왕복이송부는 볼스크류인 것을 특징으로 하는 자력을 이용한 이송 장치.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 볼스크류는 구동 샤프트에 일체로 형성된 수나사와, 상기 수나사에 회전가능하도록 결합되는 너트를 포함하고,
    상기 제1 슬라이드구는 상기 너트에 고정설치되는 것을 특징으로 하는 자력을 이용한 이송 장치.
  14. 제11항에 있어서, 상기 왕복이송부는 유압실린더 또는 공압실린더인 것을 특징으로 하는 자력을 이용한 이송 장치.
  15. 제14항에 있어서, 상기 제1 슬라이드구는
    상기 유압실린더 또는 공압실린더의 피스톤로드 종단부에 고정설치되는 것을 특징으로 하는 자력을 이용한 이송 장치.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 몸체의 하부에는 제1 슬라이드구의 이동방향으로 가이드바가 고정설치되고,
    상기 제1 슬라이드구의 일측에는 상기 가이드바에 슬라이드 이동가능하도록 설치되는 이동가이드구가 고정설치되는 것을 특징으로 하는 자력을 이용한 이송 장치.
  17. 제11항에 있어서,
    상기 제1 자성체는 제1 슬라이드구의 상부 및 양측면 중 적어도 하나의 면에 설치되고,
    상기 제2 자성체는 제1 자성체의 위치에 대응하여 제2 슬라이드구에 설치되는 것을 특징으로 하는 자력을 이용한 이송 장치.
  18. 제11항에 있어서, 상기 제2 슬라이드구의 내측면에는
    상기 밀폐가이드부와 점접촉되는 볼케이지(Ball Cage)가 설치되는 것을 특징으로 하는 자력을 이용한 이송 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN107299323A (zh) * 2017-08-25 2017-10-27 北京泰科诺科技有限公司 磁力传动大面积蒸发镀膜机
KR20180131426A (ko) * 2017-05-31 2018-12-10 파스포드 테크놀로지 주식회사 반도체 제조 장치 및 반도체 장치의 제조 방법
WO2024181719A1 (ko) * 2023-02-27 2024-09-06 주식회사 뉴로메카 컵 이송 장치 및 이를 포함하는 음료 제조시스템

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