KR20120061348A - 스테이지 청소장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 스테이지 청소장치에 관한 것으로서, 메시부재와, 상기 메시부재의 일측에 연결된 메시 연결부재를 포함하는 것을 특징으로 하므로, 한 번의 동작으로 스테이지에 부착된 이물질을 완벽하게 청소할 수 있을 뿐만 아니라, 스테이지에 접하는 메시부재의 단부가 뾰족하지 않아 스테이지를 손상시키는 경우가 없다는 이점이 있다.

Description

스테이지 청소장치{STAGE SWEEPING APPARATUS}

본 발명은 스테이지 청소장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 웨이퍼용 스테이지나 평판형 디스플레이 패널용 스테이지를 쓸어서 제거하기 위한 스테이지 청소장치에 관한 것이다.

일반적으로, PDP, LCD, LED, 유기EL패널, 무기EL패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판 등 평판형 디스플레이 패널은 유리와 같은 취성의 글래스 패널을 소정 크기로 절단함으로써 얻어지며, 상기 글래스 패널의 절단공정은 글래스 패널보다 경도가 높은 다이아몬드 등으로 이루어진 공구(이하, "스크라이빙 휠"이라 함)를 이용하여 기판의 표면에 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙(Scribing) 공정과, 상기 글래스 패널을 가압하여 휨 모멘트를 가하거나 스크라이빙 라인의 크랙(바람직하게는 '수직크랙'을 말한다) 주위를 가열 또는 냉각시켜 절단하는 브레이킹 공정을 포함한다.

이와 같이 스크라이빙 공정과 브레이킹 공정을 거치면서 글래스 패널로부터 떨어져 나간 미세한 유리 조각이 스테이지에 부착될 수 있고, 이러한 유리조각이 후속하는 글래스 패널과 스테이지 사이에 개재될 경우 글래스 패널에 스크래치가 발생하는 등 불량율이 크게 증가하는 단점이 있었다.

종래에는 상기 스테이지를 청소하기 위한 장치로서 브러시(brush)를 많이 사용했으며 그 대표적인 예를 도 1a와 도 1b에 도시하였다.

도 1a와 도 1b에 도시한 바와 같이, 종래의 스테이지 청소장치(10)는 브러시 고정부재(12)와, 상기 브러시 고정부재(12)에 결합된 브러시(11)로 구성되어 있어, 상기 스테이지 청소장치(10)를 웨이퍼나 글래스 패널의 이송방향으로 이동시킴으로써 브러시(11)가 스테이지(S)에 잔류하는 이물질을 쓸어내는 방식을 채택했다.

그러나 이와 같은 종래의 청소방식에 따르면, 브러시(11)가 다수의 가느다란 구성요소들로 이루어져 있기 때문에 한 번의 작용으로 이물질을 모두 쓸어내지 못하고 다수 회 이동해야 했으므로 작업시간이 연장되고 소요동력이 커지는 단점이 있었다.

또한 브러시(11) 선단이 뾰족하게 형성되어 있어 스테이지(S)에 스크래치 등 손상을 발생시키는 문제도 있었다.

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 발명의 목적은 한 번의 동작으로 스테이지에 부착된 이물질을 쓸어서 제거할 수 있고 스테이지에 손상을 주지 않는 스테이지 청소장치를 제공하는데 있다.

전술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 스테이지 청소장치는 메시부재와, 상기 메시부재의 일측에 연결된 메시 연결부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 메시부재는 수지로 이루어진 것을 특징으로 한다.

그리고, 상기 수지의 표면에는 카본 코팅이 적용된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 메시 연결부재를 수용하는 이물질 수거함이 추가적으로 배치되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 이물질 수거함에는 흡입장치가 연결된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 메시 연결부재를 관통하여 상기 스테이지를 향하는 공기분사공과, 상기 공기분사공과 연결된 공기분사장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 메시부재와 메시 연결부재는 상기 스테이지의 폭방향을 따라 연장 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 이물질 수거함에는 수평이송장치가 연결되어 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 수평이송장치는 상기 이물질 수거함의 이동을 안내하는 가이드와, 상기 이물질 수거함을 이동시키는 구동부로 이루어진 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 구동장치는 압력실린더 또는 모터를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 이물질 수거함을 상기 스테이지를 향해 이동시키는 승강장치가 추가로 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 메시부재는 상기 메시 연결부재에 대하여 수평회전이 가능하게 구성된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 메시부재의 단면형상은 중공형으로 형성될 수 있다.

또한, 상기 메시부재의 단면형상은 스테이지에 접촉하는 부분이 볼록한 선형으로 형성될 수 있다.

전술한 바와 같은 구성의 본 발명에 따르면, 한 번의 동작으로 스테이지에 부착된 이물질을 완벽하게 청소할 수 있다는 이점이 있다.

또한, 본 발명에 따르면 스테이지에 접하는 메시부재의 단부가 뾰족하지 않아 스테이지를 손상시키는 경우가 없다.

또한, 본 발명에 따르면 메시부재가 수지로 구성되면 외력이 작용하지 않는 경우 스스로 변형하는 것을 방지할 수 있다.

또한, 상기 메시부재의 표면에 카본 코팅이 적용되면 스테이지와의 접촉부에서 정전기가 방지됨으로써 이물질의 제거가 한층 용이하다는 이점이 있다.

또한, 상기 메시 연결부재를 수용하는 이물질 수거함이 추가적으로 배치되면 이물질을 수용한 후 한번에 제거할 수도 있고 이물질이 주위로 비산하는 것도 방지할 수 있다.

또한, 상기 이물질 수거함에 흡입장치가 연결되는 경우 고속으로 이물질을 완벽하게 제거할 수 있는 이점도 있다.

또한, 상기 메시 연결부재를 관통하여 상기 스테이지를 향하는 공기분사공과, 상기 공기분사공과 연결된 공기분사장치를 포함하는 경우, 메시부재에 의해 이물질을 쓸어내는 동시에 공기분사에 의해 이물질이 탈락되는 것을 도우므로 이물질 제거효과가 한층 확실하게 된다.

또한, 상기 이물질 수거함을 수평으로 이송하는 수평이송장치가 설치되어 있는 경우 균일한 속도로 이물질을 제거함으로써 한층 완벽한 청소이 가능하다는 이점도 있다.

또한, 이물질 수거함을 스테이지를 향해 이동시키는 승강장치가 설치되어 있는 경우 메시부재의 스테이지에 대한 최적의 가압력을 설정하여 이물질 제거를 한층 완벽하게 수행할 수 있다.

도 1a는 종래기술에 따른 스테이지 청소장치의 일 예를 나타내는 사시도이다.
도 1b는 도 1a의 스테이지 청소장치에 의해 스테이지가 청소되는 구성을 나타내는 측면도이다.
도 2a는 본 발명에 따른 스테이지 청소장치로서 메시 연결부재와 메시부재가 연결된 구성을 나타내는 일 예를 나타내는 사시도이다.
도 2b는 본 발명에 따른 스테이지 청소장치로서 메시 연결부재와 메시부재가 연결된 구성을 나타내는 다른 예를 나타내는 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 스테이지 청소장치의 다른 예를 나타내는 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 스테이지 청소장치의 또 다른 예를 나타내는 사시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 스테이지 청소장치의 또 다른 예를 나타내는 사시도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.

도 2a 내지 도 5에는 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 청소장치의 구성이 상세히 개시되어 있다.

도 2a와 도 2b에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 스테이지 청소장치(100)는, 메시부재(110)와, 상기 메시부재(110)의 일측에 연결된 메시 연결부재(120)를 포함한다.

상기 메시부재(110)는 스테이지(S, 도 3 참조)의 표면이나 이면에 접촉하여 이동하면서 이물질을 제거하는 구성요소로서 외력이 작용하지 않을 경우 소정의 단면형상을 가지게 된다.

상기 메시부재(110)의 단면형상은, 도 2a에 도시한 바이 같은 메시 연결부재(120)에 양측 테두리가 연결되어 중공형으로 이루어지거나, 도 2b에 도시한 바와 같이 일측 테두리만이 연결되어 선형으로 이루어질 수 있다.

특히 도 2b에 도시한 바와 같이, 상기 메시부재(110)의 단면형상이 선형인 경우에는 상기 스테이지(S)에 접촉하는 부분이 볼록하게 절곡되어 스테이지(S)에 손상을 주는 경우가 없도록 하는 것이 좋다.

구체적으로, 상기 메시부재(100)는 외력이 작용하지 않을 경우 원래의 형상을 유지하며, 실제 스테이지(S)에 접한 상태에서 이동할 경우 스테이지(S)에 의한 반력이 작용하므로 접촉하는 부분에서 변형이 이루어지도록 유연성을 함께 구비하는 것이 바람직하다.

상기 메시부재(110)의 소재로는 수지(플라스틱)이 바람직하며, 보다 바람직하게는 상기 수지의 표면에 카본 코팅이 적용된 것이 좋다.

상기 카본 코팅에 의해 스테이지(S)와의 접촉부에서 정전기를 제거할 수 있으므로 유착된 이물질을 한층 용이하게 제거할 수 있다.

도 3에 도시한 바와 같이, 상기 메시부재(110)와 메시 연결부재(120)는 상기 스테이지(S)의 폭방향을 따라 연장 형성되어 있어 한번의 동작에 이물질이 다량 제거될 수 있도록 하는 것이 좋다. 물론, 메시부재(110)의 길이를 충분히 크게 할 수 없는 경우에는 스테이지(S)의 폭방향으로 이동한 상태에서 추가적인 작동이 이루어지도록 할 수 있다.

한편, 상기 메시 연결부재(120)를 수용하고, 메시부재(110)쪽에 개구(131)가 형성된 이물질 수거함(130)이 추가적으로 배치되는 것이 바람직하다. 이 경우 상기 개구(131)와 스테이지(S) 사이의 간격을 최소화하여 스테이지(S)로부터 탈락된 이물질이 주위로 비산하는 것을 방지하도록 하는 것이 좋다.

상기 이물질 수거함(130)에 의해, 스테이지(S)로부터 제거된 이물질이 주변으로 비산하는 경우를 방지할 수 있고 이물질 수거함(130)의 바닥에 떨어진 이물질을 한꺼번에 제거할 수 있다.

특히, 상기 이물질 수거함(130)에는 흡입구멍(132)을 형성하고 상기 흡입구멍(132)에는 흡입장치(150)를 연결함으로써 이물질 수거함(130)의 바닥에 떨어지거나 부유하는 이물질을 별도의 배출공간(미도시)으로 흡입하는 것이 좋다.

또 다른 실시예로서, 상기 이물질 수거함(130)의 내부에 물 등 액체를 수용하여 이물질이 부유하는 것 자체를 방지하고, 추후 이물질이 포함된 물을 바닥에서 배출시키는 방식을 채택할 수도 있다.

이 경우, 상기 이물질 수거함(130)에는 펌프(미도시)를 연결하여 물과 이물질이 함께 배출되도록 하는 것이 좋다.

또한 도 4에 도시한 바와 같이, 상기 메시 연결부재(120)에는 상기 메시부재(110)를 관통하며 분사구가 상기 스테이지(S)를 향하는 공기분사공(122)이 형성될 수 있다. 상기 공기분사공(122)을 통해 공기를 스테이지(S)를 향해 분사하면 스테이지(S)에 부착된 이물질을 한층 용이하게 분리할 수 있다.

한편 도 3과 도 5에 도시한 바와 같이, 상기 이물질 수거함(130)에는 수평이송장치(140)가 연결되어 있어 청소을 위한 이송이 이루어지게 되어 있다.

상기 수평이송장치(140)는 상기 이물질 수거함(130)의 이동을 안내하는 가이드(141)와, 상기 이물질 수거함(130)을 이동시키는 구동장치(142)로 이루어져 있다.

상기 구동장치(142)는 압력실린더(도 5 참조) 또는 모터로 이루어질 수 있다. 상기 구동장치(142)로서 모터는 선형모터(도 3 참조)를 사용하든지, 회전모터(미도시)에 피니언을 연결하고 래크와 맞물리게 함으로써 구성할 수 있다.

또한, 도 5에 도시한 바와 같이, 상기 이물질 수거함(130)을 스테이지(S)를 향해 상승 또는 하강 이동시키는 승강장치(160)가 추가로 설치되는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 상기 메시부재(110)의 스테이지(S)에 대한 최적의 가압력을 설정하여 이물질 제거를 한층 완벽하게 수행할 수 있다.

또한, 상기 메시부재(110)는 메시 연결부재(120)에 대하여 수평회전이 가능하게 구성된 것이 좋다. 이와 같이 구성하면, 메시부재(110)가 스테이지(S)에 대하여 가장 이송저항이 작고 청소효과가 좋은 자세에서 청소을 위한 이송이 이루어질 수 있다.

상기 메시 연결부재(120)에 대한 메시부재(110)의 수평 회전은, 수동으로 소정 각도 회전시킨 후 고정하는 방식이나 스텝모터 등에 의해 회전하는 방식을 채택할 수 있다.

또한, 도면에서는 스테이지 청소장치가 스테이지(S)의 하부에 배치된 구성이 도시되어 있으나 스테이지(S)의 상부에 배치된 구성으로 하는 것도 물론 가능하다.

100... 스테이지 청소장치
110... 메시부재
120... 메시 연결부재
130... 이물질 수거함
140... 수평이송장치
141... 가이드
142... 구동장치
S... 스테이지

Claims (14)

1. 메시부재와, 상기 메시부재의 일측에 연결된 메시 연결부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지 청소장치.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 메시부재는 수지로 이루어진 것을 특징으로 하는 스테이지 청소장치.
   
3. 제2항에 있어서,
   상기 수지의 표면에는 카본 코팅이 적용된 것을 특징으로 하는 스테이지 청소장치.
   
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 메시 연결부재를 수용하는 이물질 수거함이 추가적으로 배치되는 것을 특징으로 하는 스테이지 청소장치.
   
5. 제4항에 있어서,
   상기 이물질 수거함에는 흡입장치가 연결된 것을 특징으로 하는 스테이지 청소장치.
   
6. 제4항에 있어서,
   상기 스테이지 청소장치는 상기 메시 연결부재를 관통하여 상기 스테이지를 향하는 공기분사공과, 상기 공기분사공과 연결된 공기분사장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지 청소장치.
   
7. 제4항에 있어서,
   상기 메시부재와 메시 연결부재는 상기 스테이지의 폭방향을 따라 연장 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 스테이지 청소장치.
   
8. 제4항에 있어서,
   상기 이물질 수거함에는 수평이송장치가 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 스테이지 청소장치.
   
9. 제8항에 있어서,
   상기 수평이송장치는 상기 이물질 수거함의 이동을 안내하는 가이드와, 상기 이물질 수거함을 이동시키는 구동부로 이루어진 것을 특징으로 하는 스테이지 청소장치.
   
10. 제9항에 있어서,
    상기 구동장치는 압력실린더 또는 모터인 것을 특징으로 하는 스테이지 청소장치.
    
11. 제8항에 있어서,
    상기 이물질 수거함을 상기 스테이지를 향해 이동시키는 승강장치가 추가로 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 스테이지 청소장치.
    
12. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 메시부재는 상기 메시 연결부재에 대하여 수평회전이 가능하게 구성된 것을 특징으로 하는 스테이지 청소장치.
    
13. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 메시부재의 단면형상은 중공형인 것을 특징으로 하는 스테이지 청소장치.
    
14. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 메시부재의 단면형상은 상기 스테이지에 접촉하는 부분이 볼록한 선형인 것을 특징으로 하는 스테이지 청소장치.
    

Images