KR20120058198A - Supporting device for large are substrate - Google Patents

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KR20120058198A
KR20120058198A KR1020100119871A KR20100119871A KR20120058198A KR 20120058198 A KR20120058198 A KR 20120058198A KR 1020100119871 A KR1020100119871 A KR 1020100119871A KR 20100119871 A KR20100119871 A KR 20100119871A KR 20120058198 A KR20120058198 A KR 20120058198A
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정희철
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주식회사 케이씨텍
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Abstract

PURPOSE: A supporting apparatus of the large size of a substrate is provided to improve transfer stability of the large size of the substrate by supporting the edge of the large size of the substrate at the top and bottom. CONSTITUTION: A rigid frame(21) is parallelly arranged to the large size of a substrate transferred to. A moving frame(22) is combined with a hinge section(25) which can be rotated. A top roller(23) is combined to the end of the moving frame which can be rotated. The top roller is rotated according to the rotation of a bottom roller. The angle of the rigid frame and moving frame is acute angle. An elastic member(24) is placed between the moving frame and the rigid frame. The elastic member creates force of restitution.

Description

대면적 기판의 지지장치{Supporting device for large are substrate}Supporting device for large are substrates

본 발명은 대면적 기판의 지지장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 이송되는 대면적 기판의 가장자리를 상하에서 지지하여 대면적 기판의 이송 안정성을 향상시키는 대면적 기판의 지지장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a support apparatus for a large-area substrate, and more particularly, to a support for a large-area substrate for improving the transport stability of a large-area substrate by supporting the upper and lower edges of the large-area substrate to be transported.

일반적으로 대면적의 유리 기판을 사용하는 평판 디스플레이의 제조공정에서는 대면적 기판을 처리하기 위하여 대면적 유리기판을 각 공정배스의 내부와 그 공정배스의 사이에서 이송하는 이송장치가 사용되고 있다.
In general, in the manufacturing process of a flat panel display using a large-area glass substrate, a transfer apparatus for transferring a large-area glass substrate between each process bath and between the process baths is used to treat the large area substrate.

대면적 기판을 이송하는 장치는 그 대면적 기판의 저면에 접촉되는 다수의 롤러를 구비하는 회전축을 다수로 소정간격 이격되게 배치하여, 동기를 맞춰 그 회전축을 회전시킴으로써, 대면적 기판을 원하는 방향으로 이송하고 있다.The apparatus for transporting a large area substrate is arranged by arranging a plurality of rotating shafts having a plurality of rollers in contact with the bottom surface of the large area substrate at predetermined intervals, and rotating the rotating shafts in synchronism with each other in a desired direction. Transporting.

이와 같이 이송되는 대면적 기판은 세정수를 분사하거나, 건조공기를 분사하는 과정에서 이송방향이 틀어지는 경우가 발생할 수 있으며, 이를 보다 견고한 이송지지를 위하여 기판의 상부 가장자리에 접하는 상부롤러를 사용하고 있다.
The large-area substrate to be conveyed may have a case where the conveying direction is distorted in the process of spraying washing water or spraying dry air, and using the upper roller in contact with the upper edge of the substrate for more robust transport support. .

도 1은 종래 대면적 기판 지지장치의 구성도이다.1 is a block diagram of a conventional large area substrate support device.

도 1을 참조하면 종래 대면적 기판의 지지장치는, 기판(S)의 하부측에 설치되고 그 기판(S)의 바닥면에 접하는 다수의 하부롤러(2)를 구비하여 회전하는 장축의 하부회전축(3)과, 상기 하부회전축(3)의 회전방향과는 반대방향으로, 그 하부회전축(3)과 동일속도로 회전하는 단축의 상부회전축(4)과, 상기 상부회전축(4)에 결합되어 상기 기판(S)의 상면 가장자리에 접하여 기판(S)을 견고하게 지지하여 이송하는 상부롤러(5)와, 고정프레임(1)의 상에 고정되어 상기 상부회전축(4)을 회전가능하게 지지함과 아울러 높이의 조절을 통해 상기 하부롤러(2)와 상부롤러(5) 사이의 간격(t)을 조절함이 가능한 높이조절블록(6,7)과, 상기 상기 하부회전축(3)과 상부회전축(4) 각각에 결합되어 상호 맞물려 회전하는 기어(8,9)로 구성된다.
Referring to FIG. 1, a conventional large-area substrate supporting apparatus includes a plurality of lower rollers 2 installed on a lower side of a substrate S and in contact with a bottom surface of the substrate S to rotate on a lower axis of a long axis. (3) is coupled to the upper rotary shaft (4) and the upper rotary shaft (4) of the short axis to rotate at the same speed as the lower rotary shaft (3) in a direction opposite to the rotation direction of the lower rotary shaft (3) An upper roller 5 that firmly supports and transports the substrate S in contact with the upper edge of the substrate S, and is fixed on the fixing frame 1 to rotatably support the upper rotation shaft 4. In addition, the height adjustment block (6,7) and the lower rotary shaft (3) and the upper rotary shaft that can adjust the interval (t) between the lower roller (2) and the upper roller (5) by adjusting the height (4) is composed of gears 8 and 9 coupled to each other and engaged with each other to rotate.

이하 상기와 같은 종래 대면적 기판 지지장치의 구성을 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the configuration of the conventional large area substrate support apparatus as described above will be described in more detail.

먼저, 하부회전축(3)은 도면에는 생략되었지만 일측 또는 양측에 외부의 회전력을 전달받는 기어수단이 마련되어 있으며, 그 외부의 회전력에 따라 일방향, 정속으로 회전한다.First, although the lower rotation shaft 3 is omitted in the drawing, a gear means receiving external rotational force is provided on one side or both sides, and rotates in one direction and at a constant speed according to the external rotational force.

이때의 회전은 하부회전축(3)과 상부회전축(4) 각각에 결합되며, 상호 맞물린 기어(8,9)를 통해 상부회전축(4)을 그 하부회전축(3)과는 반대의 방향으로 회전시킨다.
The rotation at this time is coupled to each of the lower rotary shaft 3 and the upper rotary shaft 4, and rotates the upper rotary shaft 4 in the opposite direction to the lower rotary shaft 3 through the gears 8 and 9 engaged with each other. .

상기 상부회전축(4)의 다른 끝단에는 상부롤러(5)가 고정되어 있으며, 프레임(1)에 고정된 두 높이조절블록(6,7)에 의해 그 상부롤러(5)를 미세한 정도로 높이 조절이 가능하다. 상기 높이조절블록(6,7) 각각은 고정프레임(1)에 고정된 하부블록과 상기 하부블록과는 스크류에 의해 높이조절이 되는 베어링이 마련된 상부블록으로 구성된다.The other end of the upper rotary shaft (4) is fixed to the upper roller (5), by the two height adjustment blocks (6,7) fixed to the frame (1) to adjust the height of the upper roller (5) to a minute degree It is possible. Each of the height adjusting blocks 6 and 7 is composed of a lower block fixed to the fixed frame 1 and an upper block provided with a bearing that is height-adjusted by a screw.

상기 높이조절블록(6,7)을 조작하여 초시설정시 기판(S)을 사이에 두고 상하로 배치되는 상부롤러(5)와 하부롤러(2)의 사이 간격을 일정한 수준으로 설정한다.
By operating the height adjustment block (6,7) to set the interval between the upper roller 5 and the lower roller (2) which is arranged up and down with the substrate (S) in the initial setting during the initial setting.

그러나 이와 같은 구성의 종래 대면적 기판 지지장치는, 지속적인 사용에 의해 상기 간격(t)에 변화가 생길 수 있으며, 그 간격(t)이 좁아지면 기판(S)에 작용되는 압력이 과도하게 되어 기판(S)이 파손될 수 있으며, 반대로 간격(t)이 넓어지면 기판(S)을 안정적으로 지지할 수 없는 문제점이 발생하게 된다.However, in the conventional large area substrate support apparatus having such a configuration, the interval t may change due to continuous use, and when the interval t becomes narrow, the pressure applied to the substrate S becomes excessive. (S) may be damaged, on the contrary, when the interval t is widened, a problem arises in that the substrate S cannot be stably supported.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 별도의 간격 조정이 요구되지 않으며, 항상 일정한 압력으로 이송되는 대면적 기판의 가장자리를 지지할 수 있는 대면적 기판 지지장치를 제공함에 있다.
The problem to be solved by the present invention in consideration of the above problems is to provide a large-area substrate supporting apparatus that can support the edge of the large-area substrate that is always transported at a constant pressure without requiring a separate interval adjustment.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명 대면적 기판 지지장치는, 기판의 저면을 지지하는 다수의 하부 롤러를 구비하여 기판을 이송하는 이송축들과, 상기 이송축들 중 선택된 이송축의 상부에 위치하여 상기 선택된 이송축의 양측 가장자리에 위치하는 하부 롤러에 접하여, 상기 하부 롤러의 회전에 따라 회전하는 상부 롤러를 구비하되, 상기 기판의 진입시 상기 상부 롤러가 상향 이동하여 상기 기판의 상면 가장자리에 압력을 가하여 지지하는 상부롤러부를 포함한다.
The large-area substrate supporting apparatus of the present invention for solving the above problems is provided with a plurality of lower rollers supporting the bottom of the substrate, the transfer shaft for transferring the substrate, and the upper position of the selected transfer shaft among the transfer shaft And an upper roller which is in contact with the lower rollers positioned at both edges of the selected feed shaft, and rotates according to the rotation of the lower roller, wherein the upper roller moves upward when the substrate enters to apply pressure to the upper edge of the substrate. It includes an upper roller portion for supporting.

본 발명 대면적 기판 지지장치는, 상부 롤러를 탄성부에 의해 하향으로의 복원력을 가지는 아이들 롤링 방식의 것으로 변경하여, 간격을 조정하는 별도의 작업이 요구되지 않으며, 항상 일정한 압력으로 기판을 지지하여 기판의 손상이 발생하는 것을 방지함과 아울러 견고한 지지를 할 수 있는 효과가 있다.
The large-area substrate supporting apparatus of the present invention changes the upper roller to an idle rolling method having a restoring force downward by the elastic portion, so that a separate operation for adjusting the gap is not required, and the substrate is always supported by a constant pressure. In addition to preventing damage to the substrate, there is an effect that can be firmly supported.

도 1은 종래 대면적 기판의 지지장치의 구성도이다.
도 2는 본 발명에 따른 대면적 기판의 지지장치의 구성도이다.
도 3은 기판이 진입한 상태의 본 발명에 따른 대면적 기판 지지장치의 구성도이다.1 is a block diagram of a conventional device for supporting a large area substrate.
2 is a block diagram of a support device for a large-area substrate according to the present invention.
3 is a block diagram of a large-area substrate supporting apparatus according to the present invention in a state where the substrate is entered.

이하, 본 발명 대면적 기판의 지지장치의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
Hereinafter, with reference to the accompanying drawings a preferred embodiment of the support device for a large-area substrate of the present invention will be described in detail.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대면적 기판의 지지장치의 구성도이고, 도 3은 도 2에서 기판이 이송되는 상태의 구성도이다.Figure 2 is a block diagram of a support device for a large area substrate according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 3 is a block diagram of a state in which the substrate is transferred in FIG.

도 2와 도 3을 각각 참조하면 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대면적 기판의 지지장치는, 외부의 구동력에 따라 회전하면서 결합된 하부 롤러(11)로 대면적 기판(S)의 저면을 지지하여 일방향으로 이송하는 이송축(10)과, 상기 하부 롤러(11)에 접하여 그 하부 롤러(11)가 회전할 때 함께 회전하며, 대면적 기판(S)이 상기 하부 롤러(11)의 상부측을 지날 때 하향으로 소정의 압력으로 상기 대면적 기판(S)의 가장자리를 눌러 지지하는 상부롤러부(20)를 포함하여 구성된다.Referring to FIGS. 2 and 3, the support apparatus for a large area substrate according to a preferred embodiment of the present invention supports the bottom surface of the large area substrate S by the lower roller 11 coupled while rotating according to an external driving force. And the feed shaft 10 for feeding in one direction and the lower roller 11 in contact with the lower roller 11 to rotate together, the large area substrate (S) is the upper side of the lower roller 11 The upper roller portion 20 is configured to press and support the edge of the large area substrate S at a predetermined pressure downward when passing.

상기 상부롤러부(20)는 상기 대면적 기판(S)의 진행방향과 평행한 방향으로 긴 형태로 고정되는 고정프레임(21)과, 상기 고정프레임(21)의 끝단에서 힌지 결합되는 이동프레임(22)과, 상기 이동프레임(22)의 끝단에 베어링으로 회전가능하게 결합되어 아이들 방식으로 회전하는 상부 롤러(23)와, 양단이 상기 고정프레임(21)과 이동프레임(22) 각각에 연결되어 압축상태에서 복원력을 가지는 탄성부(24)를 포함하여 구성된다.
The upper roller part 20 has a fixed frame 21 fixed in an elongated form in a direction parallel to the traveling direction of the large area substrate (S), and a moving frame hinged at the end of the fixed frame 21 ( 22), the upper roller 23 is rotatably coupled to the end of the moving frame 22 by a bearing and rotated in an idle manner, and both ends are connected to the fixed frame 21 and the moving frame 22, respectively. It is configured to include an elastic portion 24 having a restoring force in a compressed state.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대면적 기판의 지지장치의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.
Hereinafter, the configuration and operation of the support device for a large-area substrate according to a preferred embodiment of the present invention configured as described above will be described in more detail.

먼저, 상기 이송축(10)은 상호 소정거리 이격되는 위치에 배치되어, 회전하면서 대면적 기판(S)을 일방향으로 이송한다. 상기 이송축(10) 각각에는 다수의 하부 롤러(11)가 결합되어 있다.
First, the transfer shaft 10 is disposed at a position spaced apart from each other by a predetermined distance, and transfers the large area substrate S in one direction while rotating. A plurality of lower rollers 11 are coupled to each of the transfer shafts 10.

상기 다수의 이송축(10)들은 상호 동기를 맞춰 외부의 구동력에 의해 회전하며, 상기 상부롤러부(20)는 전체 이송축(10)에 대응하여 마련되지 않고 소정의 간격으로 대응하도록 마련되어 있다.
The plurality of feed shafts 10 are rotated by an external driving force in synchronization with each other, and the upper roller portion 20 is provided so as to correspond at predetermined intervals rather than corresponding to the entire feed shaft 10.

또한 상기 이송축(10)에 마련된 다수의 하부 롤러(11) 각각에 상기 상부롤러부(20)의 상부 롤러(23)가 접하지 않고, 대면적 기판(S)의 가장자리를 지지하는 양측 가장자리의 두 하부 롤러(11) 상에만 선택적으로 그 상부 롤러(23)가 접하도록 구성되어 있다.
In addition, the upper roller 23 of the upper roller portion 20 is not in contact with each of the plurality of lower rollers 11 provided on the feed shaft 10, and the edges of both sides that support the edge of the large-area substrate S are not in contact with each other. The upper roller 23 is selectively configured to contact only the two lower rollers 11.

상기 상부롤러부(20)는 상기 이송축(10)들이 연속적으로 배치된 방향을 따라 길게 배치되는 고정프레임(21)을 구비하고 있다. 상기 고정프레임(21)은 바람직하게 이송되는 대면적 기판(S)과 평행하게 배치된다.The upper roller part 20 is provided with a fixed frame 21 is arranged long along the direction in which the feed shaft 10 is disposed continuously. The fixed frame 21 is preferably arranged in parallel with the large area substrate (S) to be transferred.

상기 고정프레임(21)은 그 중앙부가 상기 상부 롤러(23)가 접하는 하부 롤러(11)의 상부측에 위치하도록 되어 있으며, 그 끝단은 회전조인트 등의 힌지 부(25)가 마련되어, 이동프레임(22)이 회전가능한 상태로 결합된다.
The fixed frame 21 is located at the center of the upper side of the lower roller 11 in contact with the upper roller 23, the end is provided with a hinge portion 25, such as a rotary joint, the moving frame ( 22 is coupled in a rotatable state.

상기 이동프레임(22)의 끝단은 상부 롤러(23)가 결합되어 있으며, 그 상부 롤러(23)는 별도의 구동원에 의한 구동 방식이 아닌 접촉에 의해 회전하는 방식인 아이들(Idle) 방식으로 회전할 수 있도록 베어링에 의해 고정된다.
The upper end of the movable frame 22 is coupled to the upper roller 23, the upper roller 23 is to be rotated by the idle (Idle) method, which is a method of rotating by contact rather than a drive by a separate drive source. So that it is fixed by the bearing.

상기 이동프레임(22)과 고정프레임(21)의 각도는 예각으로 구성되어 있으며, 이때 상기 대면적 기판(S)의 진입 방향은 상기 힌지부(25)로부터 상부 롤러(23) 측을 향하도록 진입된다.
An angle between the movable frame 22 and the fixed frame 21 is formed at an acute angle, and the entrance direction of the large-area substrate S enters from the hinge portion 25 toward the upper roller 23 side. do.

상기 이동프레임(22)과 고정프레임(21)의 사이에는 탄성부(24)가 마련되어 있으며, 그 탄성부(24)는 압축 상태에서 원래의 상태로 복원되려는 복원력을 가지는 것으로 한다.
An elastic portion 24 is provided between the movable frame 22 and the fixed frame 21, and the elastic portion 24 has a restoring force to be restored to its original state in a compressed state.

상기 대면적 기판(S)이 진입하지 않은 상태에서 상기 이동프레임(22)은 탄성부(24)에 의해 상기 고정프레임(21)으로 부터 가장 멀리 이격되는 위치가 되어, 그 상부 롤러(23)가 하부 롤러(11)에 접하여 회전하는 상태가 된다.In the state where the large-area substrate S does not enter, the movable frame 22 is positioned farthest from the fixed frame 21 by the elastic part 24, and the upper roller 23 is The state comes into contact with the lower roller 11 and rotates.

즉, 상기 이동프레임(22)과 고정프레임(21)의 사이 각이 가장 큰 상태로 위치하게 된다.
That is, the angle between the movable frame 22 and the fixed frame 21 is positioned in the largest state.

이와 같은 상태에서 도 3과 같이 대면적 기판(S)이 진입하게 되면, 상기 상부 롤러(23)에 상향의 힘이 작용하게 되며, 따라서 그 탄성부(24)가 압축되어 상기 상부 롤러(23)는 상향으로 이동하게 된다.In this state, when the large-area substrate S enters as shown in FIG. 3, upward force acts on the upper roller 23, and thus, the elastic part 24 is compressed to the upper roller 23. Will move upward.

즉, 상기 이동프레임(22)과 고정프레임(21)이 이루는 각도가 줄어들게 되며, 이때 탄성부(24)는 원래의 상태로 복원되려는 복원력이 발생하게 된다.
That is, the angle formed by the movable frame 22 and the fixed frame 21 is reduced, and at this time, the elastic portion 24 generates a restoring force to be restored to its original state.

상기 탄성부(24)의 복원력에 의하여 이동프레임(22)은 하향의 압력이 작용하며, 따라서 상부 롤러(23)는 대면적 기판(S)의 상면 가장자리를 눌러 대면적 기판(S)이 안정된 상태로 이송될 수 있도록 지지하게 된다.
Due to the restoring force of the elastic part 24, the downward movement of the moving frame 22 acts, so that the upper roller 23 presses the upper edge of the large area substrate S to stabilize the large area substrate S. It is supported to be transported to.

상기 탄성부(24)를 복원력을 적당한 것으로 하여, 대면적 기판(S)의 가장자리에 가해지는 압력이 적당하게 되도록 선택할 수 있으며, 따라서 본 발명은 상부 롤러(23)와 하부 롤러(11) 사이의 간격을 조정할 필요가 없어 구조적으로 단순하게 되며, 사용의 편의성을 향상시킬 수 있게 된다.
The elastic portion 24 may be selected so that the restoring force is appropriate, so that the pressure applied to the edge of the large-area substrate S is appropriate. Therefore, according to the present invention, the upper roller 23 and the lower roller 11 There is no need to adjust the spacing, which makes the construction simple and improves the ease of use.

전술한 바와 같이 본 발명의 바람직한 실시예를 들어 상세히 설명하였지만, 본 발명은 전술한 실시예들에 한정되는 것이 아니고, 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명에 속한다.
As described above, the preferred embodiments of the present invention have been described in detail, but the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications are made within the scope of the claims and the detailed description of the invention and the accompanying drawings. It is possible to implement and this also belongs to the present invention.

10:이송축 11:하부 롤러
20:상부롤러부 21:고정프레임
22:이동프레임 23:상부 롤러
24:탄성부 25:힌지부
31~33:제1 내지 제3롤러 40:실린더
41:로드 42:지지플레이트10: Feed shaft 11: Lower roller
20: upper roller part 21: fixed frame
22: moving frame 23: upper roller
24: elastic part 25: hinge part
31 to 33: first to third roller 40: cylinder
41: rod 42: support plate

Claims (3)

기판의 저면을 지지하는 다수의 하부 롤러를 구비하여 기판을 이송하는 이송축들; 및
상기 이송축들 중 선택된 이송축의 상부에 위치하여 상기 선택된 이송축의 양측 가장자리에 위치하는 하부 롤러에 접하여, 상기 하부 롤러의 회전에 따라 회전하는 상부 롤러를 구비하되, 상기 기판의 진입시 상기 상부 롤러가 상향 이동하여 상기 기판의 상면 가장자리에 압력을 가하여 지지하는 상부롤러부를 포함하는 대면적 기판의 지지장치.
Feed shafts for transporting the substrate having a plurality of lower rollers for supporting the bottom surface of the substrate; And
An upper roller positioned on an upper side of the selected transfer shaft among the transfer shafts and in contact with lower rollers positioned at both edges of the selected transfer shaft, the upper roller rotating according to the rotation of the lower roller, wherein the upper roller moves upward when the substrate enters the substrate; And an upper roller portion moving and supporting the upper edge of the substrate.
제1항에 있어서,
상기 상부롤러부는,
상기 기판의 이송방향에 대하여 평행하게 위치하는 고정프레임;
상기 고정프레임에 힌지 결합되며, 타단에 상기 상부 롤러가 회전가능하게 결합되는 이동프레임; 및
상기 고정프레임과 이동프레임의 사이에 위치하여, 압축시 복원력을 발생시키는 탄성부를 포함하는 대면적 기판의 지지장치.
The method of claim 1,
The upper roller portion,
A fixed frame positioned parallel to the transfer direction of the substrate;
A moving frame hinged to the fixed frame and the upper roller rotatably coupled to the other end; And
Located between the fixed frame and the moving frame, the apparatus for supporting a large area substrate comprising an elastic portion for generating a restoring force during compression.
제2항에 있어서,
상기 고정프레임과 상기 이동프레임이 이루는 각은 예각이며,
상기 기판은 상기 고정프레임과 이동프레임의 연결부분으로부터 상기 상부 롤러 측을 향하도록 이송되는 것을 특징으로 하는 대면적 기판의 지지장치.

The method of claim 2,
The angle formed by the fixed frame and the moving frame is an acute angle,
The substrate is a support device for a large-area substrate, characterized in that the transfer to the upper roller side from the connecting portion of the fixed frame and the moving frame.

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101712595B1 (en) * 2016-04-21 2017-03-06 공정민 Laminating apparatus and laminating method
KR20190001038A (en) * 2017-06-26 2019-01-04 한양대학교 에리카산학협력단 Device for Substrate Grip
KR102020973B1 (en) * 2019-03-26 2019-09-11 주식회사제이에스텍 Laminating apparatus for electrode assembly

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