KR101888530B1 - Apparatus for Transfering of Substrate - Google Patents

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Abstract

본 발명은 습식공정에서의 기판 이송 장치에 관한 것이다.
본 발명에 의한 기판 이송 장치는 하부 롤러부 및 상부 롤러부로 구성되는 더블 롤러 형태로 이루어지고, 이때 상부 롤러부는 회전을 함으로써 기판을 일정 방향으로 이송하는 샤프트축; 샤프트축의 일단을 지지하기 위한 것으로, 상부면이 개방되고 샤프트축이 안착되는 만곡부를 갖는 하우징; 및 하우징의 상부면을 덮으면서 샤프트축을 고정하되, 만곡부와 대응하는 영역은 샤프트축과 이격 간격을 갖도록 하우징과 결합하는 하우징 캡;을 구비한다.The present invention relates to a substrate transfer apparatus in a wet process.
The substrate transfer apparatus according to the present invention is a double roller type comprising a lower roller portion and an upper roller portion, wherein the upper roller portion rotates to transfer the substrate in a predetermined direction; A housing for supporting one end of the shaft shaft, the housing having a curved portion on which an upper surface is opened and a shaft shaft is seated; And a housing cap which covers the upper surface of the housing and fixes the shaft shaft, and the area corresponding to the curved portion has a space separated from the shaft axis.

Description

기판 이송 장치{Apparatus for Transfering of Substrate}[0001] Apparatus for Transferring Substrate [0002]

본 발명은 기판의 습식처리공정에 이용되는 기판 이송용 트랙에서, 특히 기판의 하부와 상부에 배치되는 이중 트랙의 상부 롤러에 해당하는 기판 이송 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a substrate transfer apparatus that corresponds to the upper roller of a double track disposed at the bottom and top of the substrate, particularly in a substrate transfer track used in a wet processing process of a substrate.

평판 표시장치용의 기판을 제작하는 공정은 기판에 박막을 증착하고 패턴을 형성하기 위한 식각 공정을 수차례 반복한다. 또한 기판 제작공정은 기판의 불순물을 제거하기 위한 세정이나 합착 공정을 포함한다. In the step of fabricating the substrate for the flat panel display, the thin film is deposited on the substrate and the etching process for forming the pattern is repeated several times. The substrate manufacturing process includes a cleaning process or a laminating process for removing impurities from the substrate.

이처럼 다양한 기판 제작공정은 특정 공정을 수행하기 위한 배스 또는 챔버 등에서 진행되는데, 이 중 습식 배스는 기판에 대한 습식공정을 수행하는 곳이다. 습식공정은 공정의 목적에 따른 액체 케미컬을 이용하여 기판의 표면을 처리하는 공정이다. 습식공정의 진행은 습식 배스 내부로 기판을 투입하고, 이송롤러를 이용하여 기판을 이송하는 동안에 기판에 습식액을 분사하는 방법을 이용하는 것이 일반적이다. Such a variety of substrate fabrication processes may be performed in a bath or a chamber for performing a specific process, and the wet bath is a place where a wet process is performed on the substrate. The wet process is a process for treating the surface of a substrate using a liquid chemical according to the purpose of the process. The progress of the wet process is generally performed by injecting the substrate into the wet bath and spraying the wet liquid onto the substrate while transferring the substrate using the transfer roller.

그리고 습식 배스 내에서 기판의 이송은 회전하는 이송축에 기판을 안착하고, 이송축의 회전에 따라서 기판이 수평이동하도록 한다. 그리고 특정 공정 또는 배스에 있어서는 기판의 이탈을 방지하기 위해서 기판이 안착되는 이송축과 대응하여 기판의 상부에서 기판을 가압하여 기판의 위치를 유지하는 상부 롤러가 이용되기도 한다. 즉, 기판의 이송을 위한 트랙은 기판의 하부와 상부에서 롤러부가 배치되는 이중 롤러 구조를 갖는다. And the transfer of the substrate in the wet bath seats the substrate on the rotating transfer axis and causes the substrate to move horizontally as the transfer axis rotates. Also, in the case of a specific process or bath, an upper roller may be used which presses the substrate at the upper portion of the substrate in correspondence with the transport axis where the substrate is seated to prevent the substrate from escaping, thereby maintaining the position of the substrate. That is, the track for transporting the substrate has a double roller structure in which the roller portions are disposed at the lower and upper portions of the substrate.

이중 롤러 구조는 기판을 사이에 두고 기판에 맞닿아서 기판을 이송하는 것으로, 상/하부 롤러 간의 간격은 기판의 두께에 대응된다. The double roller structure abuts the substrate with the substrate interposed therebetween to transfer the substrate, and the gap between the upper and lower rollers corresponds to the thickness of the substrate.

이때 습식 배스에 투입되는 기판의 두께는 다를 수 있고, 이에 따라서 상/하부 롤러 간의 간격을 재조정할 필요가 있다. 상/하부 롤러 간의 간격은 상부 롤러를 상측으로 승강시키는 것이 일반적이고, 이를 위해서 상부 롤러에서 샤프트축과 롤러를 결합하는 볼트를 분리시킨 후 간격 재조정을 하고 다시 볼트를 체결한다. At this time, the thickness of the substrate to be fed into the wet bath may be different, and accordingly, it is necessary to readjust the gap between the upper and lower rollers. The gap between the upper and lower rollers is generally raised to the upper side of the upper roller. To do this, the bolts for coupling the shaft shaft and the roller are separated from the upper roller, and after the interval is readjusted, the bolts are tightened again.

이처럼 상/하부 롤러 간의 간격을 재조정하는 것은 매우 번거로운 수작업을 이용하게 됨으로써 공정 시간을 지연시키고 별도의 노동력을 요하게 된다. Recalibrating the gap between the upper and lower rollers makes use of a very cumbersome manual operation, thereby delaying the process time and requiring additional labor.

따라서, 본 발명은 상기 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 상/하부 롤러 간의 간격을 조절하는 데에 불편함을 개선하여 공정 진행의 효율을 높일 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는 데에 그 목적이 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a substrate transfer apparatus capable of improving the process efficiency by improving the inconvenience in adjusting the gap between the upper and lower rollers. have.

상기한 문제점을 해결하기 위해서, 본 발명에 의한 기판 이송 장치는 하부 롤러부 및 상부 롤러부로 구성되는 더블 롤러 형태로 이루어지고, 이때 상부 롤러부는 회전을 함으로써 기판을 일정 방향으로 이송하는 샤프트축; 샤프트축의 일단을 지지하기 위한 것으로, 상부면이 개방되고 샤프트축이 안착되는 만곡부를 갖는 하우징; 및 하우징의 상부면을 덮으면서 샤프트축을 고정하되, 만곡부와 대응하는 영역은 샤프트축과 이격 간격을 갖도록 하우징과 결합하는 하우징 캡;을 구비한다.In order to solve the above problems, the substrate transfer apparatus according to the present invention is formed as a double roller formed of a lower roller portion and an upper roller portion, wherein the upper roller portion rotates to rotate the shaft, A housing for supporting one end of the shaft shaft, the housing having a curved portion on which an upper surface is opened and a shaft shaft is seated; And a housing cap which covers the upper surface of the housing and fixes the shaft shaft, and the area corresponding to the curved portion has a space separated from the shaft axis.

샤프트축의 끝단은 기판에 직접 접촉하는 롤러; 및 샤프트축 상의 롤러의 양 끝단에서 롤러를 샤프트축에 고정시키면서 자중을 높이기 위한 클램프;를 더 포함할 수 있다.The end of the shaft shaft being a roller directly contacting the substrate; And a clamp for fixing the roller to the shaft shaft at both ends of the roller on the shaft axis and for increasing the self weight.

그리고 샤프트축은 내부가 일정 부분 비어있는 중공상태로 형성될 수 있다.The shaft shaft may be formed in a hollow state in which a certain portion of the shaft is hollow.

또한 하우징 캡은 구동수 주입을 위한 공급홀이 형성되고, 하우징에는 구동수의 이동 배관인 구동수 드레인 형성될 수 있다.Further, the housing cap may be formed with a supply hole for injecting driving water, and a driving water drain may be formed in the housing, which is a moving pipe of the driving water.

본 발명에 의한 상부 롤러부는 샤프트축과 결합되어 샤프트축을 회전시키기 위한 스퍼기어; 샤프트축이 하우징 내부에서 회전가능하도록 고정시키는 베어링;을 더 구비하고, 하우징 캡은 베어링의 외륜과 대면하는 영역에서 직접 접촉하지 않도록 내측으로 파인 홈이 형성될 수 있다.
The upper roller unit according to the present invention includes a spur gear coupled to a shaft shaft to rotate the shaft shaft; And a bearing for fixing the shaft shaft so as to be rotatable within the housing, wherein the housing cap can be formed with an inwardly recessed groove so as not to come into direct contact with the outer race of the bearing.

본 발명에 따른 기판 이송 장치는 상부 롤러가 기판에 의해서 승강하고 자중에 의해서 기판을 누르면서 고정하기 때문에 별도로 기판 두께에 따라서 롤러부의 간격 조절을 할 필요가 없다. 이에 따라서 노동력과 시간을 절약할 수 있어서 기판 처리 공정의 효율을 높일 수 있다.
The substrate transfer apparatus according to the present invention does not need to adjust the spacing of the roller portions according to the thickness of the substrate because the upper roller is raised and lowered by the substrate and fixed while pressing the substrate by its own weight. Accordingly, labor and time can be saved, and the efficiency of the substrate processing process can be increased.

도 1은 본 발명에 의한 기판 이송 장치를 나타내는 도면.
도 2는 본 발명에 의한 상부 롤러부를 나타내는 사시도.
도 3은 상부 롤러부의 절단면도.
도 4는 상부 롤러부 하우징의 사시도 및 절단면도.
도 6은 하우징 캡의 절단면도.
도 7은 발명의 실시를 나타내는 기판 이송 장치의 사시도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a view showing a substrate transferring apparatus according to the present invention. Fig.
2 is a perspective view showing an upper roller portion according to the present invention.
3 is a sectional view of the upper roller portion.
4 is a perspective view and a cross-sectional view of the upper roller housing;
6 is a sectional view of the housing cap.
FIG. 7 is a perspective view of a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention; FIG.

이하 상기 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 실시 예들을 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 본 실시 예들을 설명함에 있어서 동일 구성에 대해서는 동리 명칭 및 부호가 사용되며, 이에 따른 부가적인 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention in which the above object can be specifically realized will be described with reference to the accompanying drawings. In the description of the embodiments, the same names are denoted by the same names and symbols, and further description thereof will be omitted.

도 1은 본 발명에 의한 기판 이송 장치를 나타내는 사시도이다.1 is a perspective view showing a substrate transfer apparatus according to the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명에 의한 기판 이송 장치는 기판(S)을 안착하는 하부 롤러부(10) 및 기판(S)을 사이에 두고 하부 롤러부(10)와 대응하여 기판(S)을 고정하는 상부 롤러부(100)를 구비한다. 1, a substrate transfer apparatus according to the present invention includes a lower roller unit 10 for mounting a substrate S and a lower roller unit 10 for supporting a substrate S And an upper roller unit 100 for fixing the upper roller unit 100.

하부 롤러부(10)는 이송축에 장착되는 복수 개의 하부 롤러(12)를 구비하고, 구동축(30)에 의해서 이송축이 회전함으로써 기판(S)을 이송시킨다. The lower roller unit 10 includes a plurality of lower rollers 12 mounted on a transport shaft, and the transport shaft is rotated by the drive shaft 30 to transport the substrate S.

상부 롤러부(100)는 하부 롤러부(10)와 자중으로 기판(S)을 가압하여 기판(S)의 흔들림을 방지하며, 하부 롤러부(10)와 함께 기판(S)을 이송시킨다.The upper roller unit 100 presses the substrate S against the lower roller unit 10 and its own weight to prevent the substrate S from shaking and feeds the substrate S together with the lower roller unit 10. [

특히, 본 발명에 의한 상부 롤러부(100)는 샤프트축(110)이 수직 방향으로 상승 운동할 수 있어서 트랙에 투입되는 기판(S)의 두께에 따라서 하부 롤러부(10)와 상부 롤러부(100) 사이의 간격을 다시 설정할 필요가 없다. Particularly, the upper roller unit 100 according to the present invention can move up and down in the vertical direction so that the lower roller unit 10 and the upper roller unit 100) need not be set again.

이하 본 발명에 의한 상부 롤러부(100)의 구성을 더 자세히 살펴보면 다음과 같다.Hereinafter, the structure of the upper roller unit 100 according to the present invention will be described in more detail.

도 2는 본 발명에 의한 상부 롤러부(100)를 나타내는 사시도이고, 도 3은 도 2에서 A-A' 방향을 따라 절단한 단면을 나타내는 단면도이다.FIG. 2 is a perspective view showing an upper roller unit 100 according to the present invention, and FIG. 3 is a cross-sectional view showing a section cut along a direction A-A 'in FIG.

도 2 및 도 3을 참조하면 본 발명에 따른 상부 롤러부(100)는 샤프트축(110), 스퍼기어(150), 베어링(160), 하우징(130) 및 하우징 캡(140)을 구비한다. 2 and 3, the upper roller unit 100 includes a shaft shaft 110, a spur gear 150, a bearing 160, a housing 130, and a housing cap 140.

샤프트축(110)은 일정 방향으로 회전하여 기판(S)을 이송하기 위한 것으로, 내부가 일정영역 비어있는 상태인 중공 상태로 형성된다. 즉, 샤프트축(110)은 속이 빈 원기둥 프레임(112)과 하우징(130) 내부에 탑재되는 원기둥 축(114)이 결합하여, 원기둥 프레임(112)의 내부를 중공 상태로 형성할 수 있다. The shaft shaft 110 rotates in a predetermined direction to transfer the substrate S, and is formed in a hollow state in which a certain area is empty. That is, the shaft shaft 110 is coupled with the hollow cylindrical frame 112 and the cylindrical shaft 114 mounted in the housing 130, so that the inside of the cylindrical frame 112 can be formed in a hollow state.

샤프트축(110)의 일단은 샤프트축(110)의 회전을 위한 스퍼기어(150)와 결합된다. One end of the shaft shaft 110 is engaged with a spur gear 150 for rotating the shaft shaft 110.

그리고 샤프트축(110)에서 스퍼기어(150)와 결합되지 않은 타단은 기판(S)과 직접적으로 접촉하여 기판(S)을 이송하는 롤러(120)가 장착된다. 즉, 롤러(120)는 샤프트축(110)의 회전에 따라서 기판(S)을 이송한다. 이러한 롤러(120)는 클램프(122)를 이용하여 샤프트축(110)에 고정된다. The other end of the shaft shaft 110, which is not engaged with the spur gear 150, is mounted with a roller 120 that directly contacts the substrate S to transfer the substrate S. That is, the roller 120 transfers the substrate S in accordance with the rotation of the shaft shaft 110. [ This roller 120 is secured to the shaft shaft 110 using a clamp 122.

클램프(122)는 샤프트축(110)에 롤러(120)를 고정하면서 샤프트축(110) 타단의 끝단의 무게를 높임으로써 중공상태인 샤프트축(110)의 자중을 높일 수 있다. The clamp 122 can increase the weight of the shaft shaft 110 in a hollow state by increasing the weight of the other end of the shaft shaft 110 while fixing the roller 120 to the shaft shaft 110.

스퍼기어(150)가 체결된 샤프트축(110)의 일단에는 샤프트축(110)을 트랙에 고정하기 위한 하우징(130)이 형성된다. At one end of the shaft shaft 110 to which the spur gear 150 is coupled, a housing 130 for fixing the shaft shaft 110 to the track is formed.

그리고 하우징(130)에 결합되는 샤프트축(110)의 일단에서는 샤프트축(110)의 측면의 일부를 둘러싸도록 베어링(160)이 결합된다. 이때 베어링(162)의 외륜(164)의 외주면은 하우징(130)에 고정 결합되고, 내륜(162)의 내주면은 샤프트축(110)에 결합된다. 이에 따라서 샤프트축(110)의 회전에 따라서 샤프트축(110)과 결합된 내륜(162)은 하우징(130) 내부에서 회전한다. At one end of the shaft shaft 110 coupled to the housing 130, the bearing 160 is coupled to surround a part of the side surface of the shaft shaft 110. At this time, the outer circumferential surface of the outer ring 164 of the bearing 162 is fixedly coupled to the housing 130, and the inner circumferential surface of the inner ring 162 is coupled to the shaft shaft 110. Accordingly, the inner ring 162 coupled with the shaft shaft 110 rotates in the housing 130 in accordance with the rotation of the shaft shaft 110.

베어링(160)을 둘러싸는 하우징(130)의 상면에는 하우징 캡(140)이 체결된다. The housing cap 140 is fastened to the upper surface of the housing 130 surrounding the bearing 160.

이러한 하우징(130)과 하우징 캡(140)을 좀 더 자세히 살펴보면 다음과 같다. 도 4의 (a) 및 (b)는 하우징(130)의 사시도 및 절단면도이고, 도 5는 하우징 캡(140)의 절단면도이다.The housing 130 and the housing cap 140 will be described in more detail as follows. 4 (a) and 4 (b) are a perspective view and a sectional view of the housing 130, and Fig. 5 is a sectional view of the housing cap 140. Fig.

하우징(130)은 샤프트축(110)을 지지하며, 상부 롤러부(100) 전체 구조물을 트랙에 고정시킨다. 하우징(130)의 외관은 특정할 필요가 없고, 하부 롤러부(10)와 체결을 위해서 하부 롤러부(10)와 대응하는 형태로 대면하는 체결부(137)를 포함한다. 체결부(137)는 홀 형태로서 볼트(미도시) 등의 체결구를 이용하여 하부 롤러부(10)와 결합된다.The housing 130 supports the shaft shaft 110 and fixes the entire structure of the upper roller part 100 to the track. The appearance of the housing 130 does not need to be specified, and includes a fastening portion 137 facing the lower roller portion 10 in a corresponding manner to fasten the lower roller portion 10. The fastening part 137 is in the form of a hole and is engaged with the lower roller part 10 by using fasteners such as bolts (not shown).

하우징(130)의 내측면은 원기둥 형태의 샤프트축(110)을 안착하기 위한 형태를 갖는다. 이를 위해서 하우징(130)에서 서로 대면하는 한 쌍의 측면에는 각각 샤프트축(110)의 외형에 대응하도록 오목하게 굴곡지도록 파인 형태로 형성되어 제 1 만곡부(131)가 형성된다. The inner surface of the housing 130 has a shape for seating the shaft shaft 110 in a cylindrical shape. For this purpose, the first curved portion 131 is formed on the pair of side surfaces facing each other in the housing 130 in a fin shape so as to bend concavely corresponding to the outer shape of the shaft shaft 110, respectively.

또한 하우징(130)의 내측면에는 베어링(160)을 안착하기 위한 베어링 하우징(130)이 형성된다. 베어링 하우징(136)은 베어링(160)의 외륜(164)의 형태에 대응하도록 하우징(136)의 내측면에서 움푹 파이도록 형성될 수 있다. A bearing housing 130 for seating the bearing 160 is formed on the inner surface of the housing 130. The bearing housing 136 may be recessed in the inner surface of the housing 136 to correspond to the shape of the outer ring 164 of the bearing 160.

그리고 하우징(130)의 하부에는 구동수 드레인(132)이 형성된다. 구동수 드레인(132)은 구동수를 하우징(130)의 외부로 배출하기 위한 것으로, 하우징(130)의 내측면과 드레인 홀(134)을 통해서 연결된다. A driving water drain 132 is formed below the housing 130. The driving water drain 132 is for discharging the driving water to the outside of the housing 130 and is connected to the inner side of the housing 130 through the drain hole 134.

즉, 하우징 캡(140)의 제 2 공급홀(144)을 통해서 유입되는 구동수는 하우징(130) 내부로 흐르면서 베어링(164)의 윤활 역할 및 세척을 한 이후에 구동수 드레인(132)을 통해서 배출된다. That is, the driving water flowing through the second supply hole 144 of the housing cap 140 flows into the housing 130, and lubricates and cleans the bearing 164 and then flows through the driving water drain 132 .

이러한 구동수는 하우징 캡(140)의 제 1 공급홀(142)을 통해서 공급된다. 제 1 공급홀(142)을 통해서 하우징 캡(140)의 내부로 공급되는 공급수는 제 2 공급홀(144)을 통해서 하우징(130)으로 투입된다. This driving water is supplied through the first supply hole 142 of the housing cap 140. Supply water supplied into the housing cap 140 through the first supply holes 142 is introduced into the housing 130 through the second supply holes 144.

하우징 캡(140)은 하우징(130)의 상부면을 덮으면서 샤프트축(110)을 고정하는 것으로, 일측면은 샤프트축(110)을 고정하는 커버(143)가 형성된다. 커버(143)의 하부는 샤프트축(110)이 삽입되도록 반원형태로 오목하게 굴곡져서 제 2 만곡부(141)가 형성된다. The housing cap 140 covers the upper surface of the housing 130 and fixes the shaft shaft 110. A cover 143 for fixing the shaft shaft 110 is formed on one side surface. The lower portion of the cover 143 is concavely curved in a semicircular shape so that the shaft shaft 110 is inserted, thereby forming the second curved portion 141.

즉, 제 1 및 제 2 만곡부(131,141)는 도 6에서와 같이, 서로 대면하면서 샤프트축(110)이 삽입되는 공간을 규정하는데, 이때 샤프트축(110)은 수평인 상태에서 제 1 만곡부(131)를 형성하는 하우징(130)에 맞닿으면서 안착된다. 그리고, 제 2 만곡부(141)는 샤프트축(110)과 간격(ℓ)을 두고 형성된다.6, the first and second curved portions 131 and 141 define a space into which the shaft shaft 110 is inserted while facing each other. At this time, in a state in which the shaft shaft 110 is horizontal, the first and second curved portions 131 and 131 (Not shown). The second bend section 141 is formed at a distance (l) from the shaft axis 110.

이러한 이격 간격(ℓ)은 샤프트축(110)이 상승운동을 할 수 있도록 공간을 제공한다. This spacing l provides a space for the shaft shaft 110 to move up.

또한 하우징 캡(140)에서 베어링(160)의 외륜(164)과 대면하는 영역에는 제 1 및 제 2 홈(146,148)이 형성된다. 제 1 및 제 2 홈(146,148)은 이격 간격(ℓ)과 마찬가지로 샤프트축(110)의 상승운동을 할 수 있도록 여유 공간을 제공하기 위한 것이다. First and second grooves 146 and 148 are formed in a region of the housing cap 140 facing the outer ring 164 of the bearing 160. [ The first and second grooves 146 and 148 are for providing a clearance space for the upward movement of the shaft shaft 110 in the same manner as the spacing distance l.

도 7은 본 발명에 의한 기판 이송 장치에서 기판(S)의 두께에 따라서 하부 롤러부(10)와 상부 롤러부(100)의 간격이 조절되는 것을 나타내는 도면이다. 7 is a view showing that the gap between the lower roller portion 10 and the upper roller portion 100 is adjusted according to the thickness of the substrate S in the substrate transferring apparatus according to the present invention.

기판(S)이 투입되기 전의 하부 롤러부(10)와 상부 롤러부(100)의 간격(h)은 서로 맞닿아 있거나 최소 간격만큼 이격되어 있을 수 있다. 이때 하부 롤러부(10)와 상부 롤러부(100)의 간격(h)은 하부 롤러부(10)의 하부 롤러(12)와 상부 롤러부(100)의 롤러(120) 사이의 간격을 의미한다. 그리고 최소 간격이라는 것은 서로 다른 두께를 갖는 기판(S)들에서 가장 두께가 얇은 기판(S)의 두께에 대응하는 간격을 의미한다. The interval h between the lower roller portion 10 and the upper roller portion 100 before the substrate S is inserted may be in contact with each other or may be spaced apart by a minimum distance. The interval h between the lower roller portion 10 and the upper roller portion 100 means an interval between the lower roller 12 of the lower roller portion 10 and the roller 120 of the upper roller portion 100 . And the minimum interval means an interval corresponding to the thickness of the thinnest substrate S in the substrates S having different thicknesses.

이러한 기판 이송 장치에 기판(S)이 투입될 때에 기판(S)의 두께(d)가 롤러 간격(h)과 일치한다면, 즉 롤러 간격(h)에 대응하는 가장 얇은 기판(S)이 투입되면 일반적인 방법으로 상부 롤러부(100)의 상승 움직임 없이 기판(S)이 삽입되어 이송된다.If the thickness d of the substrate S coincides with the roller spacing h when the substrate S is inserted into the substrate transfer apparatus, that is, the thinnest substrate S corresponding to the roller interval h is inserted The substrate S is inserted and transported in a general manner without the upward movement of the upper roller part 100.

그리고 롤러 간격(h)보다 두꺼운 두께를 갖는 기판(S)이 투입되면, 상부 롤러부(100)는 기판(S)에 밀리면서 상승 운동한다. 그리고 기판(S)의 두께(d)에 대응하는 간격만큼 상부 롤러부(100)가 상승하여 기판(S)이 투입된 이후에는 상부 롤러부(100)는 자중에 의해서 기판(S)을 일정 압력으로 고정한다. When the substrate S having a thickness greater than the roller gap h is inserted, the upper roller unit 100 is moved upward while being pushed by the substrate S. After the upper roller portion 100 rises and the substrate S is charged by an interval corresponding to the thickness d of the substrate S, the upper roller portion 100 moves the substrate S to a predetermined pressure Fixed.

즉, 상부 롤러부(100) 클램프(122)의 무게로 인해서 클램프(122) 사이에 결합되는 롤러(120)가 기판(S)을 누르게 된다. 특히, 샤프트축(110)은 중공 상태의 구조를 갖기 때문에 샤프트축(110)에서 롤러(120)가 결합된 영역이 자중이 높게 된다. That is, the roller 120, which is coupled between the clamps 122 due to the weight of the clamp 122 of the upper roller unit 100, presses the substrate S. Particularly, since the shaft shaft 110 has a hollow structure, the area of the shaft shaft 110 coupled with the roller 120 has a high self weight.

이와 같이, 본 발명에 의한 이송장치는, 상기 상부 롤러부(100)가 상기 하부 롤러부(10)에 대응하여 상기 기판(S)의 양측에 개별적으로 분리되어 구비되도록 이루어지며, 기판(S)의 두께(d)에 따라서 상부 롤러부(100)가 자동으로 상승하고, 기판(S)이 투입된 이후에는 자중에 의해서 기판(S)의 상면을 누르면서 고정한다. 이에 따라서 기판(S)의 두께에 따라서 롤러 간격(h)을 조절할 필요가 없기 때문에 습식처리 공정의 효율을 높일 수 있다. As described above, the transfer device according to the present invention is such that the upper roller part 100 is separately provided on both sides of the substrate S corresponding to the lower roller part 10, The upper roller unit 100 is automatically raised according to the thickness d of the substrate S and is fixed while pressing the upper surface of the substrate S by its own weight after the substrate S is inserted. Accordingly, since it is not necessary to adjust the roller interval h according to the thickness of the substrate S, the efficiency of the wet processing process can be increased.

위에서 몇몇의 실시예가 예시적으로 설명되었음에도 불구하고, 본 발명이 이의 취지 및 범주에서 벗어남 없이 다른 여러 형태로 구체화될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 따라서, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아닌 예시적인 것으로 여겨져야 하며, 첨부된 청구항 및 이의 동등 범위 내의 모든 실시예는 본 발명의 범주 내에 포함된다.
It is to be understood by those skilled in the art that the present invention may be embodied in many other forms without departing from the spirit and scope of the invention, Accordingly, the above-described embodiments are to be considered illustrative and not restrictive, and all embodiments within the scope of the appended claims and their equivalents are intended to be included within the scope of the present invention.

110 : 샤프트축 120 : 롤러
122 : 클램프 130 : 하우징
131 : 제 1 만곡부 132 : 드레인
134 : 드레인 홀 140 : 하우징 캡
141 : 제 2 만곡부 143 : 커버
142,144 : 제 1 및 제 2 공급홀
146,148 : 제 1 및 제 2 홈
150 : 스퍼기어110: shaft shaft 120: roller
122: clamp 130: housing
131: first bend section 132: drain
134: drain hole 140: housing cap
141: second bend section 143: cover
142, 144: first and second supply holes
146, 148: first and second grooves
150: Spur gear

Claims (6)

하부 롤러부 및 상부 롤러부로 구성되는 더블 롤러 형태인 기판 이송 장치에 있어서,
상기 상부 롤러부는
회전을 함으로써 기판을 일정 방향으로 이송하는 샤프트축;
상기 샤프트축의 일단을 지지하기 위한 것으로, 상부면이 개방되고 상기 샤프트축이 안착되는 만곡부를 갖는 하우징; 및
상기 하우징의 상부면을 덮으면서 상기 샤프트축을 고정하되, 상기 만곡부와 대응하는 영역은 상기 샤프트축과 이격 간격을 갖도록 상기 하우징과 결합하는 하우징 캡;을 포함하며,
상기 하우징 캡은 외부에서 하우징 캡 내부로 구동수 주입을 위한 제1 공급홀 및 하우징 캡 내부에서 하우징으로 구동수를 배출하는 제2 공급홀을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
A substrate transfer apparatus in the form of a double roller composed of a lower roller portion and an upper roller portion,
The upper roller portion
A shaft shaft for transferring the substrate in a predetermined direction by rotation;
A housing for supporting one end of the shaft shaft, the housing having an upper surface opened and a curved portion on which the shaft shaft is seated; And
And a housing cap which covers the upper surface of the housing and fixes the shaft shaft, the housing cap having a space corresponding to the curved portion and spaced apart from the shaft shaft,
Wherein the housing cap includes a first supply hole for injecting driving water from the outside into the housing cap, and a second supply hole for discharging the driving water from the housing cap to the housing.
제 1 항에 있어서,
상기 샤프트축의 끝단은 상기 기판에 직접 접촉하는 롤러; 및
상기 샤프트축 상의 상기 롤러의 양 끝단에서 상기 롤러를 상기 샤프트축에 고정시키면서 자중을 높이기 위한 클램프;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
The method according to claim 1,
An end of the shaft shaft being in direct contact with the substrate; And
Further comprising: a clamp for fixing the roller to the shaft shaft at both ends of the roller on the shaft shaft and for increasing the weight of the roller.
제 1 항에 있어서,
상기 샤프트축은 내부가 일정 부분 비어있는 중공상태인 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the shaft shaft is in a hollow state in which a certain portion of the shaft shaft is hollow.
제 1 항에 있어서,
상기 샤프트축과 결합되어 상기 샤프트축을 회전시키기 위한 스퍼기어; 및
상기 샤프트축이 상기 하우징 내부에서 회전가능하도록 고정시키는 베어링;을 더 구비하고,
상기 하우징 캡은 상기 베어링의 외륜과 대면하는 영역에서 직접 접촉하지 않도록 내측으로 파인 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
The method according to claim 1,
A spur gear coupled to the shaft and rotating the shaft; And
And a bearing for fixing the shaft shaft so as to be rotatable within the housing,
Wherein the housing cap is formed with an inwardly recessed groove so as not to come into direct contact with an area of the housing cap facing the outer ring of the bearing.
삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 하우징은
상기 제 2 공급홀을 경유하여 하우징의 내측벽을 따라서 흐른 구동수를 배출하기 위한 구동수 드레인이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.


The method according to claim 1,
The housing
And a driving water drain for discharging the driving water flowing along the inner wall of the housing via the second supply hole is formed.


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