KR20120041483A - Ｕｖ ｌｅｄ 모듈 구동시 오프 상태를 감지하는 노광장치 및 그 오프 상태 감지방법 - Google Patents

Ｕｖ ｌｅｄ 모듈 구동시 오프 상태를 감지하는 노광장치 및 그 오프 상태 감지방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 UV LED 모듈 구동시 오프 상태를 감지하는 노광장치는, 반도체 웨이퍼 위에 인쇄될 소정의 회로패턴을 갖는 마스크 위에 배치되어, 자외선 광을 마스크에 조사하는 복수의 UV LED 모듈; UV LED 모듈을 구동시키기 위한 제어신호를 발생시키는 제어부; 제어부로부터 제어신호를 수신하여, UV LED 모듈을 구동시키는 구동부; 및 구동부가 UV LED 모듈을 구동시킴에 따라, UV LED 모듈 중에서 오프 상태인 UV LED 모듈을 감지하는 경우, 오프 상태의 정보를 제어부에 전송하는 오프 상태 감지부;를 포함한다.

Description

ＵＶ ＬＥＤ 모듈 구동시 오프 상태를 감지하는 노광장치 및 그 오프 상태 감지방법{EXPOSURE APPARATUS FOR SENSING OFF STATUS OF ULTRA VIOLET LIGHT EMITTING DIODE MODULE FOR DRIVING ULTRA VIOLET LIGHT EMITTING DIODE MODULE AND METHOD FOR SENSING OFF STATUS OF ULTRA VIOLET LIGHT EMITTING DIODE MODULE THEREOF}
본 발명은 UV LED 모듈 구동시 오프 상태를 감지하는 노광장치 및 그 오프 상태를 감지하는 방법에 관한 것이다.
노광 공정은 반도체 웨이퍼의 가공 공정으로서, 반도체 웨이퍼 위에 특정 패턴을 적절한 파장의 빛과 마스크를 이용하여 정확한 위치 및 크기로 전사하는 공정이다. 이러한 공정은 메모리 소자 생산비용의 35%, 공정시간의 60% 이상을 차지하는 핵심공정이라 할 수 있다.
노광 공정에서 사용되는 장비를 노광장치라 하는데, 노광장치는 마스크를 감광막이 도포된 반도체 웨이퍼 위에 위치시키고 마스크 위에 빛을 노광시킴으로써 반도체 웨이퍼 상에 마스크에 그려진 회로가 전사되도록 하는 장치이다.
다양한 종류의 노광장치 중에 광학계 노광장치가 있는데, 광학계 노광장치에는 자외선 영역의 광을 이용하는 노광장치가 있다. 일반적인 광학계 노광장치는 광원으로서 UV 램프를 사용하고 있다. 그럼, 이하에서 종래의 간접형태의 일반적인 광학계 노광장치를 첨부된 도면을 참조하여 설명하도록 한다.
도 1은 종래의 간접 형태의 광학계 노광장치의 구성도이다. 도 1을 참조하면, 일반적인 광학계 노광장치는 마스크(150)에 자외선 영역의 광을 공급하는 광원계 (110), 광원(115)에서 나오는 광을 균일한 면 광원으로 확산시키는 동시에 일정한 크기로 집속시키는 조명계(130), 반도체 웨이퍼(P) 상에 구현하려는 회로패턴이 설계된 마스크(레티클)(150), 마스크(150)를 통과한 광이 반도체 웨이퍼(P)의 원하는 위치에 일정한 배율로 전사되도록 하는 렌즈계(170) 및 마스크(150)와 반도체 웨이퍼(P)를 원하는 위치에 정렬시키는 위치 정렬계(190)로 구성된다.
이러한 일반적인 광학계 노광장치에서, 광원계(110)는 광원(115)으로서 UV 램프를 사용하고 있다. 여기서, UV 램프는 수은과 불활성 가스가 봉입된 것으로, 특히, 수은은 친환경인 물질이 아니기 때문에, 환경문제를 유발시키는 문제점이 있다.
또한, UV 램프는 노광 시 필요한 자외선 영역 이외에 불필요한 자외선 영역의 광을 방출한다. 그래서, 기존의 일반적인 광학계 노광장치는 조명계(130)를 통하여 불필요한 자외선 영역의 광을 제거하고 있다. 여기서, 이러한 조명계(130)의 부가는 노광장치 전체의 크기를 증대시킬 뿐만 아니라, 조명계(130) 자체의 적지 않은 비용으로 인해 노광장치 전체의 비용이 높아지는 문제점이 있다.
또한, UV 램프와 같은 광원을 사용하는 경우에도, 복수의 광원 중에서 특정한 광원에 고장이 발생하는 경우, 특정한 광원이 오프 상태가 된 것을 신속히 감지할 수 없는 문제점이 있다.
본 발명의 실시예는 조명계를 부가하지 않고도 불필요한 자외선 영역의 광을 제거할 수 있도록 하는 UV LED가 구비된 노광장치를 제공한다.
본 발명의 실시예는 UV LED 모듈 구동시 오프 상태를 감지하는 노광장치 및 그 오프 상태를 감지하는 방법을 제공한다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 반도체 웨이퍼 위에 인쇄될 소정의 회로패턴을 갖는 마스크 위에 배치되어, 자외선 광을 상기 마스크에 조사하는 복수의 UV LED 모듈; 상기 UV LED 모듈을 구동시키기 위한 제어신호를 발생시키는 제어부; 상기 제어부로부터 제어신호를 수신하여, 상기 UV LED 모듈을 구동시키는 구동부; 및 상기 구동부가 상기 UV LED 모듈을 구동시킴에 따라, 상기 UV LED 모듈 중에서 오프 상태인 UV LED 모듈을 감지하는 경우, 오프 상태의 정보를 상기 제어부에 전송하는 오프 상태 감지부;를 포함하는 UV LED 모듈 구동시 오프 상태를 감지하는 노광장치를 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 오프 상태 감지부는, 상기 UV LED 모듈의 구동상태를 감지하는 구동상태 감지부; 상기 구동상태 감지부로부터 감지신호를 수신하여, 상기 UV LED 모듈 중에서 오프 상태인 UV LED 모듈이 있는지를 검출하는 오프 상태 검출부; 및 상기 오프 상태 검출부가 상기 UV LED 모듈 중에서 오프 상태인 UV LED 모듈을 검출하는 경우, 오프 상태의 정보를 상기 제어부에 전송하는 오프 상태 정보 전송부;를 포함하는 UV LED 모듈 구동시 오프 상태를 감지하는 노광장치를 제공한다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 오프 상태 검출부는, 상기 구동상태 감지부가 상기 UV LED 모듈의 구동상태를 감지함에 따라, 각각의 UV LED 모듈에서 발생하는 열을 감지하여 설정된 출력신호를 발생시키는 복수의 열 감지부; 및 상기 복수의 열 감지부 중에서 설정된 출력신호를 발생시키지 않는 열 감지부가 있는지를 판단하고, 설정된 출력신호를 발생시키지 않는 열 감지부에 대응되는 UV LED 모듈에 대한 오프 신호를 출력하는 오프 신호 출력부;를 포함하는 UV LED 모듈 구동시 오프 상태를 감지하는 노광장치를 제공한다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 오프 상태 감지부가 오프 상태의 정보를 상기 제어부에 전송하는 경우, 상기 제어부는 오프 상태인 UV LED 모듈에 관한 오프 상태 정보를 갖는 알람신호를 발생시키는 UV LED 모듈 구동시 오프 상태를 감지하는 노광장치를 제공한다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 반도체 웨이퍼 위에 인쇄될 소정의 회로패턴을 갖는 마스크 위에 복수의 UV LED 모듈을 배치하는 단계; 상기 UV LED 모듈을 구동시켜 자외선 광을 상기 마스크에 조사하는 단계; 및 상기 UV LED 모듈 중에서 오프 상태인 UV LED 모듈을 감지하여 오프 상태의 정보를 발생시키는 단계;를 포함하는 노광장치의 오프 상태 감지방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 오프 상태의 정보를 발생시키는 단계는, 상기 UV LED 모듈의 구동상태를 감지하는 단계; 상기 UV LED 모듈 중에서 오프 상태인 UV LED 모듈이 있는지를 검출하는 단계; 및 상기 오프 상태인 UV LED 모듈에 대한 오프 상태의 정보를 발생시키는 단계;를 포함하는 노광장치의 오프 상태 감지방법을 제공한다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 오프 상태인 UV LED 모듈이 있는지를 검출하는 단계는, 복수의 열 감지부를 이용하여, 각각의 UV LED 모듈에서 발생하는 열을 감지하도록 하는 단계; 상기 복수의 열 감지부 중에서 설정된 출력신호를 발생시키지 않는 열 감지부가 있는지를 판단하는 단계; 및 상기 설정된 출력신호를 발생시키지 않는 열 감지부에 대응되는 UV LED 모듈에 대한 오프 신호를 출력하는 단계;를 포함하는 노광장치의 오프 상태 감지방법을 제공한다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 오프 상태인 UV LED 모듈에 관한 오프 상태의 정보를 갖는 알람신호를 발생시키는 단계를 더 포함하는 노광장치의 오프 상태 감지방법을 제공한다.
본 발명에 따르면, 노광장치에 UV LED를 구비하도록 함으로써, 환경문제를 유발시키지 않을 뿐만 아니라, 조명계를 부가하지 않고도 불필요한 자외선 영역의 광을 제거할 수 있게 된다.
또한, 본 발명에 따르면, UV LED 모듈 구동시 오프 상태를 감지하는 노광장치 및 그 오프 상태를 감지하는 방법을 제공함으로써, 복수의 UV LED 모듈 중에서 특정한 UV LED 모듈에 고장이 발생하는 경우, UV LED 모듈 구동시 특정한 UV LED 모듈이 오프 상태가 된 것을 신속히 감지할 수 있다.
도 1은 종래의 간접 형태의 광학계 노광장치의 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 UV LED 모듈 구동시 오프 상태를 감지하는 노광장치의 개략 구성도이다.
도 3은 도 2의 UV 광원의 분해 사시도와 일부 구성의 확대도이다.
도 4는 본 발명에 따른 UV LED 모듈의 정면도와 UV LED 모듈의 UV LED를 확대한 확대도이다.
도 5는 도 4의 오프 상태 감지부의 블록도이다.
도 6은 도 5의 오프 상태 검출부의 블록도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 UV LED 모듈 구동시 오프 상태를 감지하는 방법의 흐름도이다.
도 8은 도 7의 S300의 세부 흐름도이다.
도 9는 도 8의 S320의 세부 흐름도이다.
도면에서 각층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었다. 또한, 각 구성요소의 크기는 실제크기를 전적으로 반영하는 것은 아니다.
본 발명에 따른 실시예의 설명에 있어서, 각 element의 "상(위) 또는 하(아래)(on or under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, 상(위) 또는 하(아래)(on or under)는 직접(directly) 또는 다른 element를 개재하여(indirectly) 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한,“상(위) 또는 하(아래)(on or under)”로 표현되는 경우 하나의 element를 기준으로 위쪽 방향뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 UV LED 모듈 구동시 오프 상태를 감지하는 노광장치 및 그 오프 상태 감지방법을 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 노광장치의 개략 구성도이다. 도 2를 참조하면, 노광장치는, UV 광원(200), 마스크(300), 렌즈(400) 및 위치 정렬계(500)를 포함할 수 있다.
UV 광원(200)은 복수의 UV LED를 갖는다. UV LED는 노광공정시 필요한 자외선 영역의 광을 방출한다. 예를 들어, 365nm, 405nm 및 436nm 파장의 자외선 영역의 광을 방출한다. 이렇게 UV 광원(200)으로는 종래의 UV 램프 대신에 UV LED가 사용되므로, 종래의 UV 램프에서 방출되는 자외선 영역의 광을 필터링하기 위한 조명계를 구비하지 않아도 된다.
마스크(300)는 반도체 위에 인쇄될 소정의 회로패턴을 갖는다.
렌즈(400)는 UV LED와 일대일로 대응되어, UV LED로부터의 자외선 영역의 광을 확산시킨다. 렌즈(400)는 고분자 물질로 형성되는데, 고분자 물질은 PMMA(Polymethyl Methacrylate) 시트 또는 PC(Polycarbonate) 시트로 형성될 수 있다. PMMA 시트 또는 PC 시트는 투명성, 광택성, 내후성 등의 특성이 있다.
위치 정렬계(500)는 렌즈(400)의 아래에 설치되어, 반도체 웨이퍼와 마스크(300)를 이동 및 고정시킨다.
도 3은 도 2의 UV 광원의 분해 사시도와 일부 구성의 확대도이고, 도 4는 본 발명에 따른 UV LED 모듈의 정면도와 UV LED 모듈의 UV LED를 확대한 확대도이다. 도 3을 참조하면, UV 광원(200)은 하우징(210), UV LED 모듈(230), 확산시트(250) 및 제어부(270), 구동부(280), 오프 상태 감지부(290)를 포함한다.
하우징(210)은 UV LED 모듈(230)과 확산시트(250)를 수납하기 위한 소정의 수납공간을 가지며, 수납공간을 형성하기 위한 베이스판과, 베이스판의 측면을 둘러싸는 측면판을 가진다. 예를 들면, 도 3에 도시된 바와 같이, 하우징(210)은 UV LED 모듈(230)과 확산시트(250)의 수납이 가능하도록 사각형의 박스형태를 가질 수 있다.
또한, 하우징(210)은 UV LED 모듈(230)로부터의 열을 방열하기 위한 구조와 재질을 갖는다. 여기서, 하우징(210)의 재질로는 알루미늄, 스테인레스 등과 같은 열 전도성이 큰 금속이 사용되는 것이 바람직하다. 방열을 위한 하우징(210)은 하우징(210)은 베이스판의 외면과 측면판의 외면에 연결되고 외부방향으로 연장된 복수의 핀(fin)과, 하우징의 베이스판과 UV LED 모듈(230) 사이에 게재된 방열시트를 더 포함할 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 방열을 위한 하우징(210)은 일반적인 2차원 면 형상을 가져도 무방하며, 방열면적을 넓히기 위해 하우징(210)과 동일하거나 유사한 재질의 복수의 핀들이 장착된 것이 바람직하다.
또한, 하우징(210)의 베이스판 내면에는 UV LED 모듈(230)이 장착되는데, 하우징(210)의 베이스판 내면은 UV LED 모듈(230)의 기판과 면 접촉되는 것이 바람직하다. 하우징(210)과 UV LED 모듈(230)이 면 접촉됨으로써, UV LED 모듈(230)의 UV LED로부터의 열이 효율적으로 하우징(210)으로 전달될 수 있다. 여기서, 하우징 (210)의 베이스판 내면과 UV LED 모듈(230)의 기판 사이에 방열시트(미도시)가 게재될 수 있다. 방열시트(미도시)를 통해 UV LED 모듈(230)의 UV LED로부터의 열이 더욱 효율적으로 하우징(210)으로 전달될 수 있다.
UV LED 모듈(230)은 하우징(210)에 수납되고, 자외선 영역의 광을 방출하는 복수의 UV LED를 장착한 단위모듈을 포함한다. 하우징(210)에 수납시, UV LED 모듈(230)은 하우징(210)의 베이스판의 내면과 면 접촉된다. 또한, UV LED 모듈(230)은 제어부(270)와 전기적으로 연결되어, 제어부(270)의 제어신호에 따라 자외선 영역의 광을 방출한다. UV LED 모듈(230)에 대해서는 첨부된 도 4를 참조하여 구체적으로 살펴보도록 한다. 여기서, 제어부(270)의 제어신호는 UV LED 모듈(230)에 공급되는 전원신호일 수 있고, UV LED 모듈(230)에 공급되는 전원을 차단 또는 공급하는 스위칭 신호일 수 있다.
확산시트(250)는 UV LED 모듈(230)을 덮도록 하우징(210)에 수납되는데, 단위모듈의 아래에 배치되어 UV LED(233)로부터 방출한 자외선 영역의 광을 마스크(300)에 확산시킨다. 즉, 이러한 확산시트(250)는 렌즈(235)를 통해 1차로 확산된 자외선 영역의 광을 2차로 확산한다. 이와 같이, 렌즈(235)와 확산시트(250)를 통해 UV LED(233)에서 방출되는 자외선 영역의 광을 확산시키는 이유는, 점 광원을 2차원의 면 광원으로 만들기 위함이다.
제어부(270)는 하우징(210)의 베이스판의 외면에 장착되고, UV LED 모듈 (230)의 복수의 단위모듈로 제어신호를 보낸다. 여기서, 제어신호는 UV LED 모듈 (230)의 복수의 단위모듈 각각에 장착된 UV LED의 온(on)/오프(off)를 제어하기 위한 신호이다. 이러한 제어부(270)는 외부의 컨트롤러(미도시)와 유/무선으로 연결되어, 컨트롤러(미도시)의 지시에 따른 제어신호를 생성한다.
구동부(280)는 제어부(270)로부터 제어신호를 수신하여, UV LED 모듈(230)을 구동시킨다. 예를 들어, 구동부(280)는 UV LED에 정전류를 공급하기 위한 정전류 구동 드라이버일 수 있다. 구동부(280)가 정전류 구동 드라이버일 경우, 정전류 구동 드라이버는 제어부(270)에 구비된 SMPS(Switch Mode Power Supply)로부터 전류를 공급받아 UV LED에 일정한 양의 전류를 흘려보낸다. 이와 같이, 정전류 구동 드라이버에 의한 정전류 구동방식은, 현재 대부분 UV LED에 장착된 정전압 방식의 구동 드라이버와 대비하여 UV LED의 수명을 늘려주고 유지보수 비용도 절감시킨다. 그리고, 정전류 구동 드라이버는 전선을 이용하여 UV LED와 분리하여 설치하는 것이 가능하다. 정전압 구동방식의 경우, UV LED와 멀리 떨어지게 되면 정전압 구동 드라이버의 출력이 저하되므로, 정전류 구동방식이 정전압 구동방식에 비하여 우수하다.
오프 상태 감지부(290)는 구동부(280)가 UV LED 모듈(230)을 구동시킴에 따라, UV LED 모듈(230) 중에서 오프 상태인 UV LED 모듈(230)을 감지하는 경우, 오프 상태의 정보를 제어부(270)에 전송한다. 오프 상태 감지부(290)에 대해서는 도 5 및 도 6을 참조하여 구체적으로 살펴보도록 한다.
도 4를 참조하면, UV LED 모듈(230)은 복수의 기판(231), 복수의 기판(231)각각에 복수로 배치된 UV LED(233), UV LED(233)를 각각 덮는 렌즈(235)를 포함한다. 여기서, 하나의 기판(231), 하나의 기판(231) 각각에 복수로 배치된 UV LED (233) 및 복수의 UV LED(233)를 각각 덮는 렌즈(235)는 하나의 단위모듈을 구성한다. 즉, UV LED 모듈(230)은 복수의 단위모듈로 구성된다.
도 4에서는 UV LED 모듈(230)이 24개의 단위모듈로 구성되는 예를 보이고 있는데, 24개의 단위모듈은 독립적으로 구동된다. 즉, 24개의 단위모듈은 각각 제어부(270)로부터 개별적으로 제어신호를 받아 구동되고, 24개의 단위모듈은 각각 제어부(270)로부터 서로 다른 제어신호를 받아 구동될 수 있다. 즉, 24개의 단위모듈은 일괄적으로 온/오프될 수 있을 뿐만 아니라, 일부의 단위모듈은 온되고 나머지 단위모듈들은 오프될 수 있다.
UV LED(233)는 제어부(270)의 제어신호에 따라 온 또는 오프된다. UV LED(233)는 온될 때 노광시에 필요한 자외선 영역의 광을 방출한다. 예를 들면, 365nm, 405nm, 436nm대 파장의 자외선 영역의 광을 방출할 수 있다. 이렇게 UV LED(233)에서 방출되는 광의 파장이 365nm, 405nm, 436nm인 경우, 도 1에 도시된 조명계(130)가 불필요하다. 즉, 도 2에 도시된 바와 같이, 마스크(300) 위에 직접 자외선 영역의 광을 조사할 수 있다. 따라서, 도 2에 도시된 노광장치는 도 1에 도시된 조명계(130)가 필요하지 않으므로, 공간상 및 비용상의 이점이 있다.
렌즈(235)는 UV LED(233)와 일대일로 대응되어, UV LED(233)로부터의 자외선 영역의 광을 확산시킨다. 이러한 렌즈(235)는 UV LED(233)에서 방출되는 자외선 영역의 광을 1차로 확산한다. 렌즈(235)는 고분자 물질로 형성되는데, 예를 들면, 고분자 물질은 PMMA 시트 또는 PC 시트일 수 있다.
도 5는 도 4의 오프 상태 감지부의 블록도이고, 도 6은 도 5의 오프 상태 검출부의 블록도이다. 도 5를 참조하면, 오프 상태 감지부(290)는 구동상태 감지부(291), 오프 상태 검출부(292), 오프 상태 정보 전송부(293)를 포함한다.
구동상태 감지부(291)는 UV LED 모듈(230)의 구동상태를 감지한다.
오프 상태 검출부(292)는 구동상태 감지부(291)로부터 감지신호를 수신하여, UV LED 모듈(230) 중에서 오프 상태인 UV LED 모듈(230)이 있는지를 검출한다. 오프 상태 검출부(292)는 복수의 열 감지부(292-1)와 오프 신호 출력부(292-2)를 포함한다.
열 감지부(292-1)는 구동상태 감지부(291)가 UV LED 모듈(230)의 구동상태를 감지함에 따라, 각각의 UV LED 모듈(230)에서 발생하는 열을 감지하여 설정된 출력신호를 발생시킨다. 열 감지부(292-1)는 열 감지기로 구현될 수 있다. 오프 신호 출력부(292-2)는 복수의 열 감지부(292-1) 중에서 설정된 출력신호를 발생시키지 않는 열 감지부(292-1)가 있는지를 판단하고, 설정된 출력신호를 발생시키지 않는 열 감지부(292-1)에 대응되는 UV LED 모듈(230)에 대한 오프 신호를 출력한다.
오프 상태 정보 전송부(293)는 오프 상태 검출부(292)가 UV LED 모듈(230) 중에서 오프 상태인 UV LED 모듈(230)을 검출하는 경우, 오프 상태의 정보를 제어부에 전송한다. 오프 상태 감지부(290)가 오프 상태의 정보를 제어부(270)에 전송하는 경우, 제어부(270)는 오프 상태인 UV LED 모듈(230)에 관한 오프 상태 정보를 갖는 알람신호를 발생시킨다. 알람신호는 디스플레이 수단을 통하여 출력되는 메시지, 또는 경고음일 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 UV LED 모듈 구동시 오프 상태를 감지하는 방법의 흐름도이고, 도 8은 도 7의 S300의 세부 흐름도이며, 도 9는 도 8의 S320의 세부 흐름도이다.
먼저, 반도체 웨이퍼 위에 인쇄될 소정의 회로패턴을 갖는 마스크 위에 복수의 UV LED 모듈을 배치한다(S100).
S100 단계 이후, UV LED 모듈을 구동시켜 자외선 영역의 광을 상기 마스크에 조사한다(S200).
S200 단계 이후, UV LED 모듈 중에서 오프 상태인 UV LED 모듈을 감지하여 오프 상태의 정보를 발생시킨다(S300). 오프 상태의 정보를 발생시키는 단계(300)는, UV LED 모듈의 구동상태를 감지하고(S310), UV LED 모듈 중에서 오프 상태인 UV LED 모듈이 있는지를 검출한 후(S320), 오프 상태인 UV LED 모듈에 대한 오프 상태의 정보를 발생시킨다(S330). 오프 상태인 UV LED 모듈에 대한 오프 상태의 정보 발생시(S330), 오프 상태인 UV LED 모듈에 관한 오프 상태의 정보를 갖는 알람신호를 발생시킬 수 있다. 알람신호는 디스플레이 수단을 통하여 출력되는 메시지, 또는 경고음일 수 있다.
오프 상태인 UV LED 모듈이 있는지를 검출하는 단계(S320)는, 복수의 열 감지부를 이용하여, 각각의 UV LED 모듈에서 발생하는 열을 감지하고(S321), 복수의 열 감지부 중에서 설정된 출력신호를 발생시키지 않는 열 감지부가 있는지를 판단한 후(S322), 설정된 출력신호를 발생시키지 않는 열 감지부에 대응되는 UV LED 모듈에 대한 오프 신호를 출력한다(S323).
이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고, 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 특허청구범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
200 : UV 광원 210 : 하우징
230 : UV LED 모듈 231a : 단위모듈
231 : 기판 233 : UV LED
235 : 렌즈 250 : 확산시트
270 : 제어부 280 : 구동부
290 : 오프 상태 감지부 291 : 구동상태 감지부
292 : 오프 상태 검출부 292-1 : 열 감지부
292-2 : 오프 신호 출력부 293 : 오프 상태 정보 전송부
300 : 마스크 400 : 렌즈
500 : 위치 정렬계

Claims (8)

  1. 반도체 웨이퍼 위에 인쇄될 소정의 회로패턴을 갖는 마스크 위에 배치되어, 자외선 광을 상기 마스크에 조사하는 복수의 UV LED 모듈;
    상기 UV LED 모듈을 구동시키기 위한 제어신호를 발생시키는 제어부;
    상기 제어부로부터 제어신호를 수신하여, 상기 UV LED 모듈을 구동시키는 구동부; 및
    상기 구동부가 상기 UV LED 모듈을 구동시킴에 따라, 상기 UV LED 모듈 중에서 오프 상태인 UV LED 모듈을 감지하는 경우, 오프 상태의 정보를 상기 제어부에 전송하는 오프 상태 감지부;
    를 포함하는 UV LED 모듈 구동시 오프 상태를 감지하는 노광장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 오프 상태 감지부는,
    상기 UV LED 모듈의 구동상태를 감지하는 구동상태 감지부;
    상기 구동상태 감지부로부터 감지신호를 수신하여, 상기 UV LED 모듈 중에서 오프 상태인 UV LED 모듈이 있는지를 검출하는 오프 상태 검출부; 및
    상기 오프 상태 검출부가 상기 UV LED 모듈 중에서 오프 상태인 UV LED 모듈을 검출하는 경우, 오프 상태의 정보를 상기 제어부에 전송하는 오프 상태 정보 전송부;
    를 포함하는 UV LED 모듈 구동시 오프 상태를 감지하는 노광장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 오프 상태 검출부는,
    상기 구동상태 감지부가 상기 UV LED 모듈의 구동상태를 감지함에 따라, 각각의 UV LED 모듈에서 발생하는 열을 감지하여 설정된 출력신호를 발생시키는 복수 의 열 감지부; 및
    상기 복수의 열 감지부 중에서 설정된 출력신호를 발생시키지 않는 열 감지부가 있는지를 판단하고, 설정된 출력신호를 발생시키지 않는 열 감지부에 대응되는 UV LED 모듈에 대한 오프 신호를 출력하는 오프 신호 출력부;
    를 포함하는 UV LED 모듈 구동시 오프 상태를 감지하는 노광장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 오프 상태 감지부가 오프 상태의 정보를 상기 제어부에 전송하는 경우, 상기 제어부는 오프 상태인 UV LED 모듈에 관한 오프 상태 정보를 갖는 알람신호를 발생시키는 UV LED 모듈 구동시 오프 상태를 감지하는 노광장치.
  5. 반도체 웨이퍼 위에 인쇄될 소정의 회로패턴을 갖는 마스크 위에 복수의 UV LED 모듈을 배치하는 단계;
    상기 UV LED 모듈을 구동시켜 자외선 광을 상기 마스크에 조사하는 단계; 및
    상기 UV LED 모듈 중에서 오프 상태인 UV LED 모듈을 감지하여 오프 상태의 정보를 발생시키는 단계;
    를 포함하는 노광장치의 오프 상태 감지방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 오프 상태의 정보를 발생시키는 단계는,
    상기 UV LED 모듈의 구동상태를 감지하는 단계;
    상기 UV LED 모듈 중에서 오프 상태인 UV LED 모듈이 있는지를 검출하는 단계; 및
    상기 오프 상태인 UV LED 모듈에 대한 오프 상태의 정보를 발생시키는 단계;
    를 포함하는 노광장치의 오프 상태 감지방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 오프 상태인 UV LED 모듈이 있는지를 검출하는 단계는,
    복수의 열 감지부를 이용하여, 각각의 UV LED 모듈에서 발생하는 열을 감지하는 단계;
    상기 복수의 열 감지부 중에서 설정된 출력신호를 발생시키지 않는 열 감지부가 있는지를 판단하는 단계; 및
    상기 설정된 출력신호를 발생시키지 않는 열 감지부에 대응되는 UV LED 모듈에 대한 오프 신호를 출력하는 단계;
    를 포함하는 노광장치의 오프 상태 감지방법.
  8. 제6항에 있어서,
    오프 상태인 UV LED 모듈에 관한 오프 상태의 정보를 갖는 알람신호를 발생시키는 단계를 더 포함하는 노광장치의 오프 상태 감지방법.
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KR101532352B1 (ko) * 2013-10-30 2015-06-29 주식회사 인피테크 노광용 led 광원 장치 및 노광용 led 광원장치 관리시스템
WO2017193661A1 (en) * 2016-05-13 2017-11-16 Boe Technology Group Co., Ltd. Uv mask device and method for using the same

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