KR20120034763A - 온도 보상 장치, 방법, 마이크로폰, 전자 장치 및 이동 단말 장치 - Google Patents

온도 보상 장치, 방법, 마이크로폰, 전자 장치 및 이동 단말 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20120034763A
KR20120034763A KR1020127002412A KR20127002412A KR20120034763A KR 20120034763 A KR20120034763 A KR 20120034763A KR 1020127002412 A KR1020127002412 A KR 1020127002412A KR 20127002412 A KR20127002412 A KR 20127002412A KR 20120034763 A KR20120034763 A KR 20120034763A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
signal
microphone
change
amplifier
electrical
Prior art date
Application number
KR1020127002412A
Other languages
English (en)
Inventor
미코 벨리 아이모 서반토
Original Assignee
노키아 코포레이션
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 노키아 코포레이션 filed Critical 노키아 코포레이션
Publication of KR20120034763A publication Critical patent/KR20120034763A/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03F—AMPLIFIERS
    • H03F1/00—Details of amplifiers with only discharge tubes, only semiconductor devices or only unspecified devices as amplifying elements
    • H03F1/30—Modifications of amplifiers to reduce influence of variations of temperature or supply voltage or other physical parameters
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03G—CONTROL OF AMPLIFICATION
    • H03G3/00—Gain control in amplifiers or frequency changers
    • H03G3/20—Automatic control
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R1/00—Details of transducers, loudspeakers or microphones
    • H04R1/02—Casings; Cabinets ; Supports therefor; Mountings therein
    • H04R1/04—Structural association of microphone with electric circuitry therefor
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R19/00—Electrostatic transducers
    • H04R19/005—Electrostatic transducers using semiconductor materials
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R19/00—Electrostatic transducers
    • H04R19/01—Electrostatic transducers characterised by the use of electrets
    • H04R19/016—Electrostatic transducers characterised by the use of electrets for microphones
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03F—AMPLIFIERS
    • H03F2200/00—Indexing scheme relating to amplifiers
    • H03F2200/468—Indexing scheme relating to amplifiers the temperature being sensed
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03F—AMPLIFIERS
    • H03F2203/00—Indexing scheme relating to amplifiers with only discharge tubes or only semiconductor devices as amplifying elements covered by H03F3/00
    • H03F2203/45—Indexing scheme relating to differential amplifiers
    • H03F2203/45284—Sensing the temperature dependence by a temperature dependant sensor, e.g. a resistor, a diode
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03F—AMPLIFIERS
    • H03F2203/00—Indexing scheme relating to amplifiers with only discharge tubes or only semiconductor devices as amplifying elements covered by H03F3/00
    • H03F2203/45—Indexing scheme relating to differential amplifiers
    • H03F2203/45286—Indexing scheme relating to differential amplifiers the temperature dependence of a differential amplifier being controlled
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03G—CONTROL OF AMPLIFICATION
    • H03G3/00—Gain control in amplifiers or frequency changers
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R2201/00—Details of transducers, loudspeakers or microphones covered by H04R1/00 but not provided for in any of its subgroups
    • H04R2201/003—Mems transducers or their use

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Circuit For Audible Band Transducer (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)

Abstract

온도 변화에 기인하는 마이크로폰의 감도 변화를 제거하거나 최소화하기 위한 방법 및 장치. 감도의 온도 유도 변화는 음성-전기 신호 변환기, 마이크로폰 멤브레인, ASIC에서의 변화, 또는 다른 이유에 의해 야기될 수 있다. 마이크로폰 또는 마이크로폰 모듈에서의 한 개 이상의 온도 의존 부품은 감도의 온도 유도 변화를 오프셋하기 위해 사용된다. 마이크로폰의 감도는 특정 음향 자극 및 부하 상태에 대한 출력 전압으로 정의된다.

Description

온도 보상 장치, 방법, 마이크로폰, 전자 장치 및 이동 단말 장치{TEMPERATURE COMPENSATED MICROPHONE}
본 개시는 마이크로폰에 관한 것이다. 특히, 본 개시는 온도 변화에 응답하는 마이크로폰의 감도 변화에 관한 마이크로폰의 성능을 개선하는 방법에 관한 것이다.
마이크로폰의 감도가 주위 온도 변화에 따라 변화될 수 있는 것이 알려져 있다. 스테레오 동작을 위해 또는 잡음 제거 알고리즘을 지원하기 위해 하나 이상의 마이크로폰을 사용하는 멀티마이크로폰 시스템에서, 예를 들어 온도 변화에 의해 야기되는 한쪽 마이크로폰으로부터 다른 쪽 마이크로폰으로의 상이한 감도 변화는 마이크로폰 시스템의 성능에 영향을 미칠 수 있다. 그 결과, 업링크(마이크로폰으로부터 증폭기로의)의 품질에 나쁜 영향이 미치게 될 수 있다. 따라서, 온도 차이에 의해 야기되는 감도 변화를 보상하기 위한 방법이 필요하다.
본 발명은 온도 변화에 기인하는 마이크로폰의 감도 변화를 제거하거나 최소화하기 위한 방법 및 장치를 제공한다. 감도의 온도 유도 변화는 음성-전기 신호 변환기, 마이크로폰 멤브레인, ASIC 또는 다른 이유의 변화에 의해 야기될 수 있다. 본 발명은 감도의 온도 유도 변화를 오프셋하기 위해 마이크로폰 또는 마이크로폰 모듈에 하나 이상의 온도 의존 부품을 사용한다. 마이크로폰의 감도는 특정 음향 자극 및 부하 상태에 대한 출력 전압으로 정의된다.
따라서, 본 발명의 제 1 양상은 음성 신호와 전기 출력 사이의 관계에 의해 정의되는 감도값에 기초하여 전기 출력을 제공하기 위해 음성 신호를 나타내는 전기 신호에 응답하도록 구성된 증폭기와, 온도 변화를 나타내는 변화 신호를 제공하도록 구성되되, 변화 신호는 감도값을 변화 신호에 기초한 온도 범위에서 실질적으로 일정하게 유지하기 위해 증폭기의 이득을 변화시키도록 배치된 온도 의존 소자를 포함하는 장치이다.
본 발명의 일실시예에 따르면, 증폭기는 전치 증폭된 신호를 제공하기 위해 전기 신호에 응답하도록 구성된 전치 증폭 모듈과, 전기 출력을 제공하기 위해 전치 증폭된 신호로 구성되되, 변화 신호는 전치 증폭 이득을 전치 증폭 모듈에서 제어하는 전압을 포함하는 제 2 증폭 모듈을 포함한다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 증폭기는 전치 증폭된 신호를 제공하기 위해 전기 신호에 응답하도록 구성된 전치 증폭 모듈과, 전기 출력을 제공하기 위해 전치 증폭된 신호에 응답하도록 구성된 제 2 증폭 모듈을 포함하되, 온도 의존 소자는 전치 증폭 모듈 내의 전치 증폭 이득을 제어하는 전압을 제공하기 위한 전치 증폭 모듈의 일부이다.
본 발명의 각종 실시예에 따르면, 장치는 마이크로폰을 포함하고, 마이크로폰은 음성-전기 신호 변환기를 포함하며, 상기 변환기는 음성 신호를 나타내는 전기 신호를 증폭기에 제공하기 위해 음성 신호에 응답하도록 구성된다.
본 발명의 제 2 양상은 마이크로폰에 사용되는 변화 신호를 제공하기 위한 온도 의존 소자를 배치하는 단계 -변화 신호는 온도 변화를 나타내며 마이크로폰은 이 마이크로폰의 감도값에 기초하여 전기 출력을 제공하기 위해 음성 신호에 응답하도록 구성됨- 와, 마이크로폰의 감도값을 변화 신호에 기초한 온도 범위에서 실질적으로 일정하게 유지하는 단계를 포함하는 방법이다.
본 발명의 일실시예에 따르면, 마이크로폰은 전기 신호를 제공하기 위해 음성 신호에 응답하도록 구성된 음성-전기 신호 변환부와, 이득에 기초하여 전기 출력을 제공하기 위해 전기 신호에 응답하도록 구성된 증폭부를 포함하며, 방법은 감도값을 실질적으로 일정하게 유지하도록 이득을 조정하기 위해 변화 신호를 증폭부에 전송하는 단계를 포함한다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 마이크로폰은 전기 신호를 제공하기 위해 음성 신호에 응답하도록 구성된 음성-전기 신호 변환부와, 증폭부를 포함하고, 방법은 전치 증폭된 신호를 제공하기 위해 전기 신호에 기초하여 전기 신호를 전치 증폭하는 단계와, 전기 출력을 제공하기 위해 전치 증폭된 신호를 더 증폭하는 단계를 포함하되, 전치 증폭은 감도값을 실질적으로 일정하게 유지하기 위해 변화 신호에 기초하여 조정된다.
본 발명의 각종 실시예에 따르면, 변화 신호는 전치 증폭을 조정하는 전압에 제공된다.
본 발명의 제 3 양상은 음성 신호를 나타내는 전기 신호를 제공하기 위해 음성 신호를 수신하도록 구성된 음성-전기 변환부와, 전기 신호에 응답하여, 음성 신호와 전기 출력 사이의 관계를 정의하는 감도값에 기초한 전기 출력을 제공하되, 감도값을 변화 신호에 기초한 온도 범위에서 실질적으로 일정하게 유지하기 위해 온도 변화에 응답하는 이득을 갖는 증폭부를 포함하는 마이크로폰이다.
본 발명의 일실시예에 있어서, 마이크로폰은 온도 변화를 나타내는 변화 신호를 제공하는 온도 의존 소자를 더 포함하되, 변화 신호는 감도값을 변화 신호에 기초한 온도 범위에서 실질적으로 일정하게 유지하기 위해 증폭부의 이득을 변화시키도록 구성된다.
본 발명의 일실시예에 따르면, 증폭부는 전치 증폭된 신호를 제공하기 위해 음성 신호에 응답하도록 구성된 전치 증폭 모듈과, 전기 출력을 제공하기 위해 전치 증폭된 신호에 응답하도록 구성되는 제 2 증폭 모듈을 포함하되, 변화 신호는 전치 증폭 모듈 내의 전치 증폭 이득을 제어하는 전압을 포함한다.
본 발명의 다른 실시예에 의하면, 증폭부는 전치 증폭된 신호를 제공하기 위해 음성 신호에 응답하도록 구성된 전치 증폭 모듈과, 전기 출력을 제공하기 위해 전치 증폭된 신호에 응답하도록 구성되는 제 2 증폭 모듈을 포함하되, 온도 의존 소자는 전치 증폭 모듈 내의 전치 증폭 이득을 제어하는 전압을 제공하기 위해 전치 증폭 모듈의 일부이다.
본 발명의 제 4 양상은 본 발명의 제 3 양상에 기재된 제 1 마이크로폰, 본 발명의 제 3 양상에 기재된 제 2 마이크로폰, 및 제 1 마이크로폰의 감도값을 제 2 마이크로폰의 감도값과 같게 하도록 구성된 제어 모듈을 포함하는 전자 장치이다.
전자 장치는 이동 단말일 수 있다.
본 발명의 제 5 양상은 본 발명의 제 1 양상에 기재된 바와 같은 적어도 1개의 장치를 갖는 이동 단말이다.
본 발명의 특징 및 장점은 첨부 도면과 관련하여 제시되는 다음의 상세한 설명을 검토하면 명백해질 것이다.
도 1은 일렉트릿 콘덴서 마이크로폰의 개략적인 단면도이다.
도 2는 미세 전자 기계 시스템(MEMS) 마이크로폰의 개략적인 단면도이다.
도 3은 두 개의 마이크로폰 시스템의 개략적인 표시를 도시한다.
도 4는 마이크로폰의 음성 신호 입력과 전압 출력 사이의 관계를 예시한다.
도 5a는 본 발명의 일실시예에 따른 예시적 마이크로폰의 블록도이다.
도 5b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 마이크로폰의 블록도이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 예시적 온도 감지 회로이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 예시적 전압 제어 증폭기이다.
도 8은 두 개의 마이크로폰 시스템에서의 교정 절차의 플로우차트이다.
도 9는 전치 증폭 단 및 제 2 증폭 단을 갖는 증폭기를 도시하는 블록도이다.
도 10은 이동 단말과 같은 전자 장치를 도시하는 블록도이다.
휴대용 전자 장치에 사용되는 마이크로폰은 일렉트릿 콘덴서 마이크로폰(electret condenser microphone(ECM)) 및 미세 전자 기계 시스템(micro electro mechanical system(MEMS)) 마이크로폰의 두 개의 주요 유형을 포함한다. 도 1은 예시적 일렉트릿 콘덴서 마이크로폰(ECM)의 단면도를 도시한다. ECM은 진동 다이어프램(diaphragm)(10)과 고정 백 플레이트(12) 사이의 정전 용량을 전기 신호로 변환하기 위해 진동 다이어프램(10), 공기 층(14)을 통해 진동 다이터프램에 대향하도록 위치된 고정 백 플레이트(12), 및 응용 주문형 집적 회로(ASIC)와 같은 회로(18)를 포함한다. 마이크로폰은 음향 압력파를 수용하기 위한 하나 이상의 음성 포트(22)를 갖는 케이싱(20) 내에 포함되어 있다. ASIC(18) 및 케이싱(20)은 인쇄 배선 기판(PWB)(24)과 기판 상에 장착되어 있다. 스프링(16)은 백 플레이트(12)를 PWB(24) 및 ASIC(18)에 연결한다. ASIC 칩(18)은 전치 증폭기 및 아날로그 디지털 변환기를 포함한다. 또한, ECM은 전기 신호(도시되지 않은)를 인출하기 위한 외부 연결 수단을 갖는다.
도 2는 미세 전자 기계 시스템(MEMS) 마이크로폰을 도시한다. MEMS 마이크로폰은 MEMS 칩(32) 및 ASIC 칩(34)의 두 개의 칩을 포함한다. 양 칩은 기판(PWB(36)) 상에 실장되어 있다. 두 개의 칩 사이의 연결은 본드 와이어(40)이다. 마이크로폰은 음향 압력파를 수용하기 위한 하나 이상의 음성 포트(44)를 갖는 케이싱(42)에 내장되어 있다. MEMS 칩(32)은 실리콘으로 에칭된 콘덴서 마이크로폰 소자를 포함한다. ASIC 칩(34)은 MEMS 마이크로폰 소자를 바이어스하기 위한 전치 증폭기, 아날로그 디지털 변환기 및 차지 펌프를 포함한다. MEMS 소자를 ASIC에 포함시키는 것이 가능하다. 더욱이, ASIC은 예를 들어 아날로그 디지털 변환기(ADC) 및/또는 차지 펌프를 포함할 수 있다. ASIC은 용량 변화를 검출하고, 그것을 전기 신호로 변환하며, 기저대역 처리기 또는 증폭기와 같은 적절한 처리 수단(마이크로폰의 외부에 있을 수 있는)에 통과시킨다.
마이크로폰의 하나의 중요한 파라미터는 감도이다. 마이크로폰의 감도는 특정 음향 자극 및 부하 상태에 대한 출력 전압으로 정의된다. 그것은 dBV/pa로 표현된다. 디지털 인터페이스의 경우에, 감도는 dBFS로 표현된 풀 스케일 신호에 관해서도 제공될 수 있다. 마이크로폰의 감도의 정의는 도 4에 예시되어 있다.
잡음 제거 마이크로폰은 잡음 주위 환경에서의 클리어 통신이 필요한 상업적, 공업적, 및 군사적 응용에서 폭넓게 사용되고 있다. 기본적으로 수동 잡음 제거 마이크로폰 및 능동 잡음 제거 마이크로폰의 두 종류의 잡음 제거 마이크로폰 설계가 존재한다.
능동 잡음 제거 마이크로폰은 통상 두 개의 개별적인 마이크로폰 소자 및 두 개의 신호를 두 개의 마이크로폰 소자로부터 전자적으로 차분하기 위한 회로 소자를 포함한다. 두 개의 마이크로폰 소자는 제 1 마이크로폰 소자가 소망의 음성 입력 및 음성 부근에 제공되는 배경 잡음을 수신하며, 제 2 마이크로폰 소자가 실질적으로 배경 잡음만을 감지하도록 배치된다. 그러므로, 잡음 저감된 음성 신호는 능동 잡음 제거 마이크로폰의 회로 소자에 의해 제 2 마이크로폰 신호를 제 1 마이크로폰 신호로부터 차감할 때 생성될 수 있다.
상술한 잡음 제거 마이크로폰은 도 3에 블록도로 도시되어 있으며, 여기에서 마이크로폰 1 및 2는 마이크로폰 컨트롤러(50)에 연결되어 있다. 컨트롤러(50)는 잡음 제거 알고리즘을 실행시키는 회로를 포함한다.
두 개의 마이크로폰 잡음 제거 알고리즘은 두 개의 마이크로폰 사이의 상대값을 취급한다. 그것은 마이크로폰으로부터의 상대 신호 레벨에 기초하여 두 개의 마이크로폰을 교정하는 내장 교정 기능을 사용할 수 있다.
잡음 제거 마이크로폰 시스템의 동작 중에, 마이크로폰 컨트롤러는 마이크로폰의 출력값을 모니터링할 수 있다. 교정 기능은 처리 전력 및 전류 소모를 절약하기 위해 느린 속도로 제 2 마이크로폰의 이득을 업데이트하며 두 개의 마이크로폰 잡음 제거 알고리즘은 두 개의 마이크로폰에 대한 신호 레벨의 임의 차이가 음향 압력파 레벨 차이로 인한 것으로 가정한다. 그러나, 온도 변화에 의해 야기되는 1개의 마이크로폰 출력의 변화가 존재하며, 교정 기능이 응답하기에 충분히 빠르지 않으면 잡음 제거 알고리즘은 예상한 대로 수행되지 않을 것이다. 실제로, 두 개의 마이크로폰의 감도를 교정값에 대하여 다르게 변화시키는 임의 조건은 전체 시스템의 성능을 악화시킬 것이다.
서로 관련된 마이크로폰의 감도 차이는 마이크로폰 사이의 비교적 빠른 온도 차이에 의해 야기될 수 있다. 이것은 다른 마이크로폰을 예를 들어 섭씨 50도로 가열하는 예를 들어 장치 내의 전력 증폭기에 의해 야기될 수 있다. 사용된 마이크로폰들이 동일하지 않으면, 예를 들어 하나는 MEMS이고 하나는 종래의 ECM이면, 그것들은 주위 온도 변화에 다르게 반응하며 이것은 다른 쪽에서보다 한쪽에서 감도 변화를 더 야기한다.
스테레오 마이크로폰은 휴대용 설계에서도 보다 일반적인 것으로 되어 있다.
따라서, 스테레오 마이크로폰에서의 다수의 마이크로폰 각각의 감도는 다수의 마이크로폰 사이에서 감도의 고정된 관계를 유지하기 위해 온도 독립인 것이 바람직하다.
본 발명은 잡음 제거 마이크로폰 시스템에서 마이크로폰 소자의 온도 변화 유도 감도 변화를 보상하기 위한 방법 및 장치를 제공한다. MEMS 잡음 제거 마이크로폰 시스템에서, 예를 들어 이것은 각 마이크로폰 소자의 전치 증폭(온도 의존 이득) 또는 차지 펌프(온도 의존 차지 펌프 출력) 중 어느 하나로 온도 보상 회로를 구현함으로써 행해질 수 있다.
통상, 온도는 온도 감지 회로에 의해 감지될 수 있다. 온도 감지 회로의 출력은 예를 들어 전압 제어 증폭기의 이득을 제어함으로써 마이크로폰의 감도를 조정하는데 사용될 수 있다. 도 5a에 도시된 바와 같은 본 발명의 실시예에 있어서, 마이크로폰은 3개의 부품을 포함한다. 블록 110은 전기 신호를 음성 신호에 응답하여 증폭기(120)의 입력에 제공하는 음성/전기 신호 변환기를 나타낸다. 증폭기(120)의 이득은 온도 감지 회로(160)에 의해 조정될 수 있다. 이와 같이, 마이크로폰의 감도는 온도 감지 신호에 의해 조정될 수 있다. 증폭기(120)의 이득은 상이한 방법으로 조정되거나 제어될 수 있다. 예를 들어, 증폭기(120)는 전치 증폭기(도 9 참조)를 가질 수 있고 전치 증폭기의 이득은 전압 제어된다. 제어 전압은, 이 경우에, 온도 감지 신호일 수 있다. 따라서, 본 발명의 일실시예에 있어서, ASIC은 전치 증폭기를 포함한다. 아울러, ASIC은 ADC도 포함한다.
본 발명의 다른 실시예에 있어서, 온도 감지 부품 또는 회로(125)는 도 5b에 도시된 바와 같이 증폭기(120')의 일부이다.
도 6은 온도 의존 전압 출력을 갖는 예시적 온도 감지 회로를 예시한다. 도 6에 도시된 바와 같이, 회로는 두 개의 전압을 연산 증폭기에 제공하기 위한 두 개의 분압기를 갖는다. 회로에서, R1, R2는 통상의 저항기이다. R3는 조정가능 저항기이고 R4는 서미스터와 같은 온도 감지 저항기이다. 온도가 변화됨에 따라, 연산 증폭기의 출력도 변화된다. 따라서, 연산 증폭기로부터의 출력은 온도 변화에 기인하는 마이크로폰의 감도를 조정하는데 사용될 수 있다. 온도 의존 출력 신호가 증폭 단의 일부로서 신호 처리에 송신되는 것이 가능하다. 증폭은 예를 들어 ASIC에서 수행될 수 있다. 하나의 가능성은 출력 신호가 시그마 델타 변조기와 같은 ADC에 전송된다는 것이다. 통상, 시그마 델타 변조기는 고해상도 신호를 펄스 델타 변조(PDM)를 사용하여 저해상도로 인코딩한다. 예를 들어, 신호의 dBFS 레벨은 온도 의존 전압 출력으로부터 입력을 취함으로써 제어될 수 있다.
일부의 경우에 마이크로폰의 온도 의존성은 마이크로폰 소자의 온도 의존성에 의해 야기되지 않는다. 그 대신에, 온도 의존성은 ASIC에 의해 야기된다. 예로서, 도 7에 도시된 바와 같이 증폭기는 마이크로폰의 온도 독립 이득 및 온도 독립 감도를 달성하기 위해 온도 보상 증폭기로 사용될 수 있다. 도 7에 도시된 바와 같이, 분압기 상의 다이오드는 온도 의존 부품이다. 다이오드의 저항 또는 다이오드를 통과하는 전류는 온도의 함수일 수 있다. 온도 변화에 기인하는 전류 변화량은 증폭기의 이득이 온도 독립이도록 설계되어 있다. 이와 같이, 마이크로폰의 감도는 온도에 실질적으로 독립적일 수 있거나, 증폭기의 감도값은 소정 온도 범위를 통해 실질적으로 일정하다.
온도 변화가 공기 온도와 같은 환경 특성에 의해 야기될 수 있지만, 그것이 마이크로폰 또는 마이크로폰 시스템 그 자체에 의해서도 야기될 수 있다는 것에 주목해야 한다. 증폭기의 이득 변화는 마이크로폰 멤브레인, 변환기, 또는 ASIC과 같은 마이크로폰의 다른 부품에서 변화를 오프셋하는데 사용될 수 있다. 온도 의존 이득은 마이크로폰의 전체 감도 변화를 제거 또는 최소화하도록 설계되어 있다. 따라서, 본 발명은 온도 범위에 걸쳐 마이크로폰의 실질적으로 일정한 감도를 달성하는 방법 및 장치를 제공한다. 온도 범위는 예를 들어 -22°F에서 140°F까지(-3O℃ 내지 6O℃)일 수 있다. 본 발명의 각종 실시예에 따르면, 온도 감지 부품 또는 부품들은 도 5a에 도시된 바와 같이 증폭기로부터 분리될 수 있다. 대안으로, 하나 이상의 온도 의존 부품은 도 5b에 도시된 바와 같이 증폭기의 일부로 사용될 수 있다. 온도 의존 회로는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 예를 들어 ASIC 내에서 구현될 수 있다. 온도 의존 부품 또는 부품들이 마이크로폰에 매우 근접해서 또는 마이크로폰 모듈 내부에 위치되는 것이 유리하고 바람직하다.
본 발명에 따른 마이크로폰의 온도 보상 감도는 단일 마이크로폰 또는 멀티마이크로폰 시스템에 유용하다. 멀티마이크로폰 시스템은 2개 또는 3개 또는 보다 더 많은 마이크로폰을 가질 수 있다. 예를 들어, 지향성 마이크로폰 시스템(빔 형성기)에서, 4개 이상의 마이크로폰이 사용될 수 있다.
본 발명의 각종 실시예에 따른 온도 독립 감도의 예시적 적용은 잡음 제거 시나리오에 사용될 수 있고, 두 개의 마이크로폰이 도 3에 도시된 바와 같이 사용될 수 있다. 그러한 잡음 제거 시나리오에서, 마이크로폰 각각의 감도를 교정하는 것이 필요해질 것이다.
도 8은 두 개의 마이크로폰으로 잡음 제거 마이크로폰 시스템을 교정하는 예시적 흐름도를 도시한다. 시스템이 먼저 사용될 때, 제 2 마이크로폰이 오프되며, 시스템은 교정될 때까지 제 1 마이크로폰 모드에 있게 된다. 내장 교정 기능은 양 마이크로폰에 대한 신호가 동일한 것으로 가정되는 상태를 예를 들어 배경 잡음에 의해 지배되는 영역에서 대기시킨다. 잡음 필드는 교정 기능을 개시하기에 충분히 시끄럽고 충분히 지속적이다. 단계 61에서, 제 1 마이크로폰의 출력 레벨이 측정된다. 그 다음, 단계 62에서, 마이크로폰 2의 출력 레벨이 측정된다. 마이크로폰 1 및 마이크로폰 2의 출력 레벨이 같지 않으면, 마이크로폰 2의 전치 증폭기는 마이크로폰 1 및 2의 출력 레벨이 동일해지도록 조정된다(단계 64). 이어서, 시스템은 마이크로폰의 설정을 저장한다(단계 65). 초기 교정 후에, 제 1 및 제 2 마이크로폰은 둘 다 유지될 것이다. 잡음 제거 마이크로폰 시스템의 동작 동안, 마이크로폰 컨트롤러는 마이크로폰의 출력값을 모니터링한다(단계 66). 교정 기능은 처리 전력 및 전류 소모를 절약하기 위해 느린 속도로 제 2 마이크로폰의 이득을 업데이트하고(단계 68) 두 개의 마이크로폰 잡음 제거 알고리즘은 두 개의 마이크로폰에 대한 신호 레벨의 임의 차이가 음향 압력파 레벨 차이로 인한 것으로 가정한다.
그러나, 마이크로폰에서 온도 변화에 의해 야기되는 1개의 마이크로폰 출력의 변화가 존재하며 교정 기능이 응답하기에 충분히 빠르지 않으면, 잡음 제거 알고리즘은 예상한 대로 수행되지 않을 것이다. 실제로, 두 개의 마이크로폰의 감도를 교정값에 대하여 다르게 변화시키는 임의 조건은 전체 시스템의 성능을 악화시킬 것이다.
도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 증폭기(120)를 도시하는 블록도이다. 도 9에 도시된 바와 같이, 증폭기(120)는 전치 증폭 단 또는 모듈(122)의 뒤를 잇는 제 2 증폭 단 또는 모듈(124)을 포함한다. 전치 증폭 단(122)의 이득은 예를 들어 전압 제어된다. 온도 감지 소자(160)는 전압을 전치 증폭 단(122)에 제공하기 위해 도 6에 도시된 회로의 것과 유사할 수 있다. 대안으로, 온도 의존 소자는 도 7에 도시된 회로와 유사한 전치 증폭 단(122)의 일부이다.
본 발명의 각종 실시예에 따른 마이크로폰(100)은 하나 이상의 마이크로폰을 갖는 이동 단말, 스테레오 마이크로폰, 지향성 마이크로폰 시스템(빔 형성기) 등에 사용될 수 있다. 도 10은 본 발명의 각종 실시예에 따른 두 개의 온도 보상 마이크로폰을 갖는 이동 단말을 도시하는 블록도이다.
요약하면, 본 발명은 온도 변화에 기인하는 마이크로폰의 감도 변화를 제거하거나 최소화하기 위한 방법 및 장치를 제공한다. 감도의 온도 유도 변화는 음성-전기 신호 변환기, 마이크로폰 멤브레인, ASIC에서의 변화 또는 다른 이유에 의해 야기될 수 있다. 본 발명은 감도의 온도 유도 변화를 오프셋하기 위해 마이크로폰 또는 마이크로폰 모듈에 하나 이상의 온도 의존 부품을 사용한다. 마이크로폰의 감도는 특정 음향 자극 및 부하 상태에 대한 출력 전압으로 정의된다.
따라서, 본 발명의 제 1 양상은 마이크로폰의 실질적으로 일정한 감도를 유지하기 위한 방법이며, 여기에서 마이크로폰은 음성-전기 신호 변환부 및 신호 증폭부를 포함하고, 음성-전기 신호 변환부는 온도 의존 변환 계수를 포함하며, 신호 증폭부는 온도 의존 변환 계수의 변화가 온도 의존 이득의 변화에 의해 실질적으로 제거되도록 온도 의존 이득을 포함한다.
다른 실시예에 있어서, 방법은 마이크로폰에 사용되는 변화 신호를 제공하기 위한 온도 의존 소자를 배치하되, 변화 신호는 온도 변화를 나타내며 마이크로폰은 이 마이크로폰의 감도값에 기초하여 전기 출력을 제공하기 위해 음성 신호에 응답하도록 구성되는 단계, 및 마이크로폰의 감도값을 변화 신호에 기초한 온도 범위에서 실질적으로 일정하게 유지하는 단계를 포함한다. 마이크로폰은 전기 신호를 제공하기 위해 음성 신호에 응답하도록 구성된 음성-전기 신호 변환부, 및 이득에 기초하여 전기 출력을 제공하기 위해 전기 신호에 응답하도록 구성된 증폭부를 포함하며, 방법은 감도값을 실질적으로 일정하게 유지하기 위해 이득을 조정하도록 변화 신호를 증폭부에 전송하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 제 2 양상은 음성-전기 변환부 및 신호 증폭부를 포함하는 마이크로폰이고, 음성-전기 신호 변환부는 온도 의존 변환 계수를 포함하고, 신호 증폭부는 이득을 포함하며, 마이크로폰은 온도 의존 변환 계수의 변화가 온도 의존 이득의 변화에 의해 실질적으로 제거되도록 이득을 변화시키기 위한 온도 의존 부품을 더 포함한다.
다른 실시예에 있어서, 마이크로폰은 음성 신호와 전기 출력 사이의 관계에 의해 정의되는 감도값에 기초하여 전기 출력을 제공하기 위해 음성 신호를 나타내는 전기 신호에 응답하도록 구성된 증폭기, 및 온도 변화를 나타내는 변화 신호를 제공하도록 구성된 온도 의존 소자를 포함하되, 변화 신호는 감도값을 변화 신호에 기초한 온도 범위에서 실질적으로 일정하게 유지하기 위해 증폭기의 이득을 변화시키도록 구성된다. 증폭기는 전치 증폭된 신호를 제공하기 위해 음성 신호에 응답하도록 구성된 전치 증폭 모듈, 및 전기 출력을 제공하기 위해 전치 증폭된 신호에 응답하도록 구성된 제 2 증폭 모듈을 포함하되, 변화 신호는 전치 증폭 모듈 내의 전치 증폭 이득을 제어하는 전압을 포함한다. 증폭기는 전치 증폭된 신호를 제공하기 위해 음성 신호에 응답하도록 구성된 전치 증폭 모듈, 및 전기 출력을 제공하기 위해 전치 증폭된 신호에 응답하도록 구성된 제 2 증폭 모듈을 포함하되, 온도 의존 소자는 전치 증폭 모듈 내의 전치 증폭 이득을 제어하는 전압을 제공하기 위해 전치 증폭 모듈의 일부이다.
다른 실시예에 있어서, 마이크로폰은 음성 신호를 나타내는 전기 신호를 제공하기 위해 음성 신호를 수신하도록 구성된 음성-전기 변환부, 및 음성 신호와 전기 출력 사이의 관계를 정의하는 감도값에 기초하여 전기 출력을 제공하기 위해 전기 신호에 응답하되, 감도값을 변화 신호에 기초한 온도 범위에서 실질적으로 일정하게 유지하기 위해 온도 변화에 응답하도록 정해진 이득을 갖는 증폭부를 포함한다. 또한, 마이크로폰은 온도 변화를 나타내는 변화 신호를 제공하는 온도 의존 소자를 포함하되, 변화 신호는 감도값을 변화 신호에 기초한 온도 범위에서 실질적으로 일정하게 유지하기 위해 증폭부의 이득을 변화시키도록 구성된다.
본 발명의 제 3 양상은 본 발명의 각종 실시예에 따른 하나 이상의 마이크로폰을 포함하는 전자 장치이다.
본 발명이 하나 이상의 실시예에 관하여 설명되었지만, 형태 및 상세에 있어서의 전술한 그리고 다양한 다른 변화, 생략 및 변경이 본 발명의 범위로부터 벗어나지 않고 이루어질 수 있다는 것이 당업자에 의해 이해될 것이다.

Claims (15)

  1. 음성 신호와 전기 출력 사이의 관계에 의해 정의되는 감도값에 기초하여, 상기 음성 신호를 나타내는 전기 신호에 응답하도록 구성되어 상기 전기 출력을 제공하는 증폭기와,
    온도 변화를 나타내는 변화 신호를 제공하도록 구성된 온도 의존 소자를 포함하되,
    상기 변화 신호는 상기 감도값을 상기 변화 신호에 기초한 온도 범위에서 실질적으로 일정하게 유지하기 위해 상기 증폭기의 이득을 변화시키도록 구성되는
    장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 증폭기는,
    전치 증폭된(pre-amplified) 신호를 제공하기 위해 상기 전기 신호에 응답하도록 구성된 전치 증폭 모듈(pre-amplification module)과,
    상기 전기 출력을 제공하기 위해 상기 전치 증폭된 신호에 응답하도록 구성된 제 2 증폭 모듈을 포함하되, 상기 변화 신호는 상기 전치 증폭 모듈에서 전치 증폭 이득을 제어하는 전압을 포함하는
    장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 증폭기는,
    전치 증폭된 신호를 제공하기 위해 상기 전기 신호에 응답하도록 구성된 전치 증폭 모듈과,
    상기 전기 출력을 제공하기 위해 상기 전치 증폭된 신호에 응답하도록 구성된 제 2 증폭 모듈을 포함하되, 상기 온도 의존 소자는 상기 전치 증폭 모듈 내의 전치 증폭 이득을 제어하는 전압을 제공하기 위한 상기 전치 증폭 모듈의 일부인
    장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    마이크로폰을 포함하되,
    상기 마이크로폰은 음성-전기 신호 변환기를 포함하며, 상기 변환기는 상기 음성 신호를 나타내는 상기 전기 신호를 상기 증폭기에 제공하기 위해 상기 음성 신호에 응답하도록 구성된
    장치.
  5. 마이크로폰에서 사용할 변화 신호를 제공하는 온도 의존 소자를 배치하는 단계 -상기 변화 신호는 온도 변화를 나타내고, 상기 마이크로폰은 상기 마이크로폰의 감도값에 기초한 전기 출력을 제공하기 위해 음성 신호에 응답하도록 구성됨- 와,
    상기 마이크로폰의 감도값을 상기 변화 신호에 기초한 온도 범위에서 실질적으로 일정하게 유지하는 단계를 포함하는
    방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 마이크로폰은,
    전기 신호를 제공하기 위해 상기 음성 신호에 응답하도록 구성된 음성-전기 신호 변환부와,
    이득에 기초하여 상기 전기 출력을 제공하기 위해 상기 전기 신호에 응답하도록 구성된 증폭부를 포함하되,
    상기 방법은,
    상기 감도값을 실질적으로 일정하게 유지하도록 이득을 조정하기 위해 상기 변화 신호를 상기 증폭부에 전송하는 단계를 포함하는
    방법.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 마이크로폰은,
    전기 신호를 제공하기 위해 상기 음성 신호에 응답하도록 구성된 음성-전기 신호 변환부와,
    증폭부를 포함하되,
    상기 방법은,
    전치 증폭된 신호를 제공하기 위해 상기 전기 신호에 기초하여 상기 전기 신호를 전치 증폭하는 단계와,
    상기 전기 출력을 제공하기 위해 상기 전치 증폭된 신호를 더 증폭하는 단계를 포함하되, 상기 전치 증폭은 상기 감도값을 실질적으로 일정하게 유지하도록 상기 변화 신호에 기초하여 조정되는
    방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 변화 신호는 상기 전치 증폭을 조정하는 전압에 제공되는
    방법.
  9. 음성 신호를 나타내는 전기 신호를 제공하기 위해 상기 음성 신호를 수신하도록 구성된 음성-전기 변환부와,
    상기 전기 신호에 응답하여, 상기 음성 신호와 전기 출력 사이의 관계를 정의하는 감도값에 기초한 전기 출력을 제공하는 증폭부를 포함하되, 상기 증폭부는 상기 감도값을 변화 신호에 기초한 온도 범위에서 실질적으로 일정하게 유지하기 위해 온도 변화에 응답하는 이득을 갖는
    마이크로폰.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 온도 변화를 나타내는 변화 신호를 제공하는 온도 의존 소자를 더 포함하되, 상기 변화 신호는 상기 감도값을 상기 변화 신호에 기초한 온도 범위에서 실질적으로 일정하게 유지하기 위해 증폭부의 이득을 변화시키도록 구성되는
    마이크로폰.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 증폭부는,
    전치 증폭된 신호를 제공하기 위해 상기 전기 신호에 응답하도록 구성된 전치 증폭 모듈과,
    상기 전기 출력을 제공하기 위해 상기 전치 증폭된 신호에 응답하도록 구성된 제 2 증폭 모듈을 포함하되, 상기 변화 신호는 상기 전치 증폭 모듈 내의 전치 증폭 이득을 제어하는 전압을 포함하는
    마이크로폰.
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 증폭부는,
    전치 증폭된 신호를 제공하기 위해 상기 전기 신호에 응답하도록 구성된 전치 증폭 모듈과,
    상기 전기 출력을 제공하기 위해 상기 전치 증폭된 신호에 응답하도록 구성된 제 2 증폭 모듈을 포함하되, 상기 전치 증폭 모듈은 상기 전치 증폭 모듈 내의 전치 증폭 이득을 제어하기 위해 상기 변화 신호를 나타내는 전압을 제공하는 온도 의존 소자를 포함하는
    마이크로폰.
  13. 제 9 항에 따른 제 1 마이크로폰과,
    제 9 항에 따른 제 2 마이크로폰과,
    상기 제 1 마이크로폰의 감도값을 상기 제 2 마이크로폰의 감도값과 같게 하도록 구성된 제어 모듈을 포함하는
    전자 장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    이동 단말을 포함하는
    전자 장치.
  15. 제 1 항에 따른 적어도 하나의 장치를 포함하는
    이동 단말 장치.
KR1020127002412A 2009-06-29 2009-06-29 온도 보상 장치, 방법, 마이크로폰, 전자 장치 및 이동 단말 장치 KR20120034763A (ko)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/IB2009/006115 WO2011001195A1 (en) 2009-06-29 2009-06-29 Temperature compensated microphone

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020137031109A Division KR20130137050A (ko) 2009-06-29 2009-06-29 온도 보상 장치, 방법, 마이크로폰, 전자 장치 및 이동 단말 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20120034763A true KR20120034763A (ko) 2012-04-12

Family

ID=41668322

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020127002412A KR20120034763A (ko) 2009-06-29 2009-06-29 온도 보상 장치, 방법, 마이크로폰, 전자 장치 및 이동 단말 장치
KR1020137031109A KR20130137050A (ko) 2009-06-29 2009-06-29 온도 보상 장치, 방법, 마이크로폰, 전자 장치 및 이동 단말 장치

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020137031109A KR20130137050A (ko) 2009-06-29 2009-06-29 온도 보상 장치, 방법, 마이크로폰, 전자 장치 및 이동 단말 장치

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9247331B2 (ko)
EP (1) EP2449796A1 (ko)
KR (2) KR20120034763A (ko)
CN (1) CN102804807B (ko)
WO (1) WO2011001195A1 (ko)

Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5872163B2 (ja) 2011-01-07 2016-03-01 オムロン株式会社 音響トランスデューサ、および該音響トランスデューサを利用したマイクロフォン
US9380380B2 (en) 2011-01-07 2016-06-28 Stmicroelectronics S.R.L. Acoustic transducer and interface circuit
US8948420B2 (en) * 2011-08-02 2015-02-03 Robert Bosch Gmbh MEMS microphone
EP2677765B1 (en) * 2012-06-20 2018-11-28 AKG Acoustics GmbH Headphone for active noise suppression
US9202453B2 (en) * 2012-12-05 2015-12-01 Bose Corporation Asymmetric temperature compensation of microphone sensitivity at an active noise reduction system
CN103200497A (zh) * 2012-12-31 2013-07-10 哈尔滨固泰电子有限责任公司 硅麦克传感器的电子随频喇叭的发声方法
DE112014006617T5 (de) * 2014-04-23 2017-01-26 Epcos Ag Mikrofonanordnung und Verfahren zum Verringern der Temperaturabhängigkeit einer Mikrofonanordnung
US9831844B2 (en) * 2014-09-19 2017-11-28 Knowles Electronics, Llc Digital microphone with adjustable gain control
US10142718B2 (en) 2014-12-04 2018-11-27 Invensense, Inc. Integrated temperature sensor in microphone package
US9743167B2 (en) * 2014-12-17 2017-08-22 Knowles Electronics, Llc Microphone with soft clipping circuit
EP3275210B1 (en) 2015-03-24 2020-04-29 TDK Corporation Charge pump assembly
EP3275209B1 (en) * 2015-03-24 2019-11-27 TDK Corporation Mems microphone with improved sensitivity
CN106303775B (zh) * 2015-06-26 2019-12-13 小米科技有限责任公司 移动终端及移动终端拾音优化方法
CN105025416B (zh) * 2015-07-10 2019-03-15 武汉科技大学 一种便携式双传声器声源识别与定位装置
WO2017015516A1 (en) * 2015-07-23 2017-01-26 Knowles Electronics, Llc Microphone with humidity sensor
CN105050013B (zh) * 2015-07-28 2019-03-05 瑞声声学科技(深圳)有限公司 一种mems麦克风及该mems麦克风的工作控制方法
US9967677B2 (en) 2015-12-04 2018-05-08 Infineon Technologies Ag System and method for sensor-supported microphone
CN106937207A (zh) * 2015-12-29 2017-07-07 北京卓锐微技术有限公司 用于外部传感器的温度补偿装置及方法
JP6373318B2 (ja) * 2016-05-17 2018-08-15 エーエーシー テクノロジーズ ピーティーイー リミテッドＡａｃ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ Ｐｔｅ．Ｌｔｄ． 圧力センサー
JP6291545B2 (ja) * 2016-05-17 2018-03-14 エーエーシー テクノロジーズ ピーティーイー リミテッドＡａｃ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ Ｐｔｅ．Ｌｔｄ． Ｍｅｍｓマイクロフォン
GB2561404A (en) * 2017-04-13 2018-10-17 Cirrus Logic Int Semiconductor Ltd MEMS Device
DE102017223496B4 (de) * 2017-12-21 2021-05-20 Infineon Technologies Ag Verarbeitungseinrichtung, ein mobiles gerät mit der verarbeitungseinrichtung und ein verfahren zur kalibrierung einer schaltungsanordnung
CN108337616B (zh) * 2017-12-26 2020-08-07 潍坊歌尔微电子有限公司 Mems声学传感器的噪音抑制方法
CN110995169B (zh) * 2019-11-29 2021-08-06 浙江大学 一种片上可变增益温度补偿放大器
US11743666B2 (en) * 2020-12-30 2023-08-29 Knowles Electronics, Llc. Microphone assembly with transducer sensitivity drift compensation and electrical circuit therefor
US11671775B2 (en) * 2020-12-30 2023-06-06 Knowles Electronics, Llc Microphone assembly with transducer sensitivity drift compensation and electrical circuit therefor

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU462333B2 (en) * 1973-04-25 1975-06-19 Matsushita Electric Industrial, Co. Ltd Record reproducing'system
SE398588B (sv) 1977-03-23 1977-12-27 Ericsson Telefon Ab L M Temperaturstabil elektretmikrofon
DE2951024A1 (de) * 1979-12-19 1981-06-25 Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt Verstaerkerschaltung
US5633935A (en) * 1993-04-13 1997-05-27 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Stereo ultradirectional microphone apparatus
WO2000065873A1 (en) * 1999-04-28 2000-11-02 Gennum Corporation Programmable multi-mode, multi-microphone system
US7142682B2 (en) * 2002-12-20 2006-11-28 Sonion Mems A/S Silicon-based transducer for use in hearing instruments and listening devices
US8358296B2 (en) 2004-01-13 2013-01-22 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Temperature compensated MEMS device
US7120393B2 (en) * 2004-08-06 2006-10-10 Broadcom Corporation Temperature sensor insensitive to device offsets with independent adjustment of slope and reference temperature
JP2006050385A (ja) 2004-08-06 2006-02-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd 耐熱型エレクトレットコンデンサマイクロホン
SG131039A1 (en) 2005-09-14 2007-04-26 Bse Co Ltd Condenser microphone and packaging method for the same
TW200746868A (en) * 2006-02-24 2007-12-16 Yamaha Corp Condenser microphone
GB0605576D0 (en) * 2006-03-20 2006-04-26 Oligon Ltd MEMS device
ATE460771T1 (de) 2006-04-27 2010-03-15 Harman Becker Automotive Sys Thermomanagement-verfahren und system für verstärker
JP5236890B2 (ja) * 2007-04-03 2013-07-17 株式会社アコー マイクロホンユニット、騒音計及び音響校正器
JP2009118264A (ja) * 2007-11-07 2009-05-28 Panasonic Corp マイクロホン装置
WO2009143434A2 (en) * 2008-05-23 2009-11-26 Analog Devices, Inc. Wide dynamic range microphone

Also Published As

Publication number Publication date
EP2449796A1 (en) 2012-05-09
CN102804807B (zh) 2015-11-25
CN102804807A (zh) 2012-11-28
KR20130137050A (ko) 2013-12-13
US9247331B2 (en) 2016-01-26
US20120269363A1 (en) 2012-10-25
WO2011001195A8 (en) 2012-02-23
WO2011001195A1 (en) 2011-01-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20120034763A (ko) 온도 보상 장치, 방법, 마이크로폰, 전자 장치 및 이동 단말 장치
KR101512583B1 (ko) 음향 트랜스듀서 및 그 음향 트랜스듀서를 이용한 마이크로폰
US10027298B2 (en) System and method for adjusting the sensitivity of a capacitive signal source
US9374634B2 (en) System for controlling displacement of a loudspeaker
KR101459831B1 (ko) 저왜곡 용량성 신호 소스 증폭기를 위한 시스템 및 방법
US20210136493A1 (en) System and method for calibrating microphone cut-off frequency
KR20130059296A (ko) 마이크로폰 및 마이크로폰을 캘리브레이션하기 위한 방법
US10250980B2 (en) Digital microphone and control method therefor
CN111630873B (zh) 传感器装置和麦克风组件
US10080082B2 (en) Microphone system having high acoustical overload point
JP5872687B2 (ja) アナログデータ処理ユニットを備えるアセンブリ及び当該アセンブリを使用する方法
KR101601229B1 (ko) 마이크로폰
US9560455B2 (en) Offset calibration in a multiple membrane microphone
CN109756819B (zh) 传感器输出装置、音响输出装置及乐器
CN108028629B (zh) 用于麦克风的电子电路和麦克风
WO2015161874A1 (en) Microphone assembly and method of reducing a temperature dependency of a microphone assembly
US10244331B1 (en) MEMs devices
US10327072B2 (en) Phase correcting system and a phase correctable transducer system
US11671775B2 (en) Microphone assembly with transducer sensitivity drift compensation and electrical circuit therefor
KR101351894B1 (ko) 온도를 기준으로 하는 음압 조절 기능을 지닌 음향변환장치
KR20060070999A (ko) 일렉트렛 콘덴서 마이크

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
A107 Divisional application of patent
AMND Amendment
J201 Request for trial against refusal decision
B601 Maintenance of original decision after re-examination before a trial
J301 Trial decision

Free format text: TRIAL DECISION FOR APPEAL AGAINST DECISION TO DECLINE REFUSAL REQUESTED 20131122

Effective date: 20140829