KR20120031437A - 반송 기구, 반송 지그 및 반송 대차 - Google Patents

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마사히꼬 다까하시
겐따 후까쯔
슈이찌 기무라
가즈히로 데라구찌
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가부시끼가이샤 도시바
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Abstract

본 실시 형태의 일 형태에 관한 반송 기구는, 서로 개구부측을 대향시켜 배치된 처리실과 반송 상자와의 사이에서 작업물을 기밀 상태를 유지하면서 전달하는 반송 기구에 있어서, 상기 처리실의 개구부를 개폐 가능하고, 또한 기밀하게 덮개를 덮음과 함께, 상기 반송 상자측에 오목부를 갖는 처리실 덮개부와, 이 처리실 덮개부를 상기 처리실의 내부측으로 안내하는 가이드 기구와, 상기 처리실 내에 설치된 작업물 지지부와, 상기 반송 상자의 개구부를 개폐 가능하고, 또한 기밀하게 덮개를 덮음과 함께, 상기 오목부에 기밀하게 끼워 넣어지는 반송 상자 덮개부와, 상기 처리실의 개구부의 주위의 전면부와 상기 반송 상자의 개구부의 주위의 전면부를 기밀하게 결합하는 결합부를 구비한다.

Description

반송 기구, 반송 지그 및 반송 대차{TRANSFER APPARATUS, TRANSFER JIG AND TRANSFER CARRIGE}
본 출원은, 2010년 9월 24일에 출원한 선행하는 일본 특허 출원 제2010-214479호에 의한 우선권의 이익에 기초를 두고, 또한 그 이익을 추구하고 있고, 그 내용 전체가 참조로 본 명세서에 원용된다.
본 실시 형태는, 전기 부품이나 전자 부품 등의 작업물(work)이 처리실 간의 이동을 위해 실릴 때에, 예를 들어 건조 상태 등의 소정의 분위기를 유지한 상태에서 반출/반입을 행하는 반송 기구, 반송 지그 및 반송 대차에 관한 것이다.
예를 들어, 2차 전지를 구성하는 전기 부품이나 반도체 부품 등의 작업물을 처리실 내에서 소정의 처리를 행하는 경우, 처리실은 일정한 건조 상태로 유지된다. 한편, 작업물이 처리실 간의 이동을 위해 실릴 때에는, 기밀 구조를 갖는 특수한 캐리어를 사용하여 반송한다.
또한, 캐리어(carrier)는, 각 처리실로부터 작업물을 반출/반입할 때에는, 작업물을 건조 분위기로 유지하기 위해, 2중 도어를 갖는 로드 로크(load lock) 방식을 사용한 반출/반입구로부터 작업물을 반출/반입하고 있었다.
이러한 로드 로크 방식에서는, 2중 도어를 설치하여 분위기의 교체를 행할 필요가 있어, 기구가 복잡해 지거나, 치환을 위해 드라이 분위기를 다시 투입할 필요가 있어, 고비용이었다.
이로 인해, 복잡한 기구 및 치환 가스가 필요해지는 로드 로크 방식을 채용하지 않아도, 소정의 분위기를 유지한 채, 작업물의 반송을 행할 수 있는 반송 기구, 반송 지그 및 반송 대차가 요망되고 있다.
본 발명의 실시 형태는, 복잡한 기구 및 치환 가스가 필요해지는 로드 로크 방식을 채용하지 않아도, 소정의 분위기를 유지한 채, 작업물의 반송을 행하는 것이 가능한 반송 기구, 반송 지그 및 반송 대차를 제공한다.
일 실시 형태에 따른 반송 기구는, 서로 개구부측을 대향시켜 배치된 처리실과 반송 상자와의 사이에서 작업물을 기밀 상태를 유지하면서 전달하는 반송 기구에 있어서, 상기 처리실의 개구부를 개폐 가능하고, 또한 기밀하게 덮개를 덮음과 함께, 상기 반송 상자측에 오목부를 갖는 처리실 덮개부와, 이 처리실 덮개부를 상기 처리실의 내부측으로 안내하는 가이드 기구와, 상기 처리실 내에 설치된 작업물 지지부와, 상기 반송 상자의 개구부를 개폐 가능하고, 또한, 기밀하게 덮개를 덮음과 함께, 상기 오목부에 기밀하게 끼워 삽입되는 반송 상자 덮개부와, 상기 처리실의 개구부의 주위의 전면부와 상기 반송 상자의 개구부의 주위의 전면부를 기밀하게 결합하는 결합부를 구비한다.
일 실시 형태에 따른 반송 지그는, 바닥이 있는 통 형상의 수용실과, 이 수용실에 대하여 동축적으로 설치된 내통체와, 이 내통체의 외주면에 삽입 분리 가능하게 설치됨과 함께 작업물을 보유 지지하는 외통체와, 이 외통체의 외주면에 설치되고, 상기 수용실의 개구부를 개폐 가능하고, 또한 기밀하게 덮개를 씌우는 덮개부와, 상기 내통체 내부를 축 방향으로 왕복 이동 가능하게 설치된 돌출부와, 이 돌출부에 설치되고, 상기 외통체에 걸어 맞춤 되는 걸어 맞춤부를 구비한다.
일 실시 형태에 따른 반송 대차는, 작업물을 수용하기 위한 수용실과, 이 수용실의 측면에 설치된 개구부와, 기단부가 상기 수용실에 설치되고, 선단부가 상기 개구부로부터 외부로 돌출됨과 함께 상기 개구부에 대하여 직교하는 방향으로 연장 설치된 축 부재와, 상기 수용실 밖으로부터의 구동에 의해 개폐되는 척 기구와, 상기 축 부재에 대하여 왕복 이동 가능하게 배치되고, 상기 작업물을 지지하기 위한 작업물 지지 부재와, 이 작업물 지지 부재에 설치되고, 상기 척 기구의 개폐에 의해 착탈되는 걸어 맞춤부와, 상기 작업물 지지부에 설치되고, 상기 개구부를 상기 수용실의 외부측으로부터 개폐 가능하게 폐색하는 덮개부를 구비한다.
상술한 구성에 따르면, 복잡한 기구 및 치환 가스가 필요한 로드 로크 방식을 채용하지 않아도, 소정의 분위기를 유지한 채, 작업물의 반송을 행하는 것이 가능하게 된다.
도 1은 제1 실시 형태에 따른 반송 기구가 설치된 처리 기구를 모식적으로 도시하는 설명도.
도 2는 반송 기구에 의한 작업물의 처리 기구에의 반입 공정을 모식적으로 도시하는 설명도.
도 3은 반송 기구에 의한 작업물의 처리 기구에의 반입 공정을 모식적으로 도시하는 설명도.
도 4는 반송 기구에 의한 작업물의 처리 기구에의 반입 공정을 모식적으로 도시하는 설명도.
도 5는 반송 기구에 의한 작업물의 처리 기구에의 반입 공정을 모식적으로 도시하는 설명도.
도 6은 제2 실시 형태에 따른 반송 지그 및 제1 처리실을 도시하는 단면도.
도 7은 반송 지그에 의한 제1 처리실로부터의 반출 공정을 도시하는 설명도.
도 8은 반송 지그에 의한 제1 처리실로부터의 반출 공정을 도시하는 설명도.
도 9는 반송 지그에 의한 제2 처리실에의 반입 공정을 도시하는 설명도.
도 10은 반송 지그에 의한 제2 처리실에의 반입 공정을 도시하는 설명도.
도 11은 반송 지그에 의한 제2 처리실에의 반입 공정을 도시하는 설명도.
도 12는 반송 지그에 의한 제2 처리실에의 반입 공정을 도시하는 설명도.
도 13은 반송 지그에 의한 제2 처리실에의 반입 공정을 도시하는 설명도.
도 14는 반송 지그에 의한 제2 처리실에의 반입 공정을 도시하는 설명도.
도 15는 제3 실시 형태에 따른 반송 대차를 도시하는 종단면도.
도 16은 반송 대차에 의한 작업물의 수용 공정을 도시하는 설명도.
도 17은 반송 대차에 의한 작업물의 수용 공정을 도시하는 설명도.
[제1 실시 형태]
도 1은 제1 실시 형태에 따른 반송 기구(20)가 설치된 처리 기구(10)를 모식적으로 도시하는 설명도, 도 2 내지 도 5는, 반송 기구(20)에 의한 작업물(W)의 처리 기구(10)에의 반입 공정을 모식적으로 도시하는 설명도이다. 또한, 후술하는 처리실(12) 및 반송 상자(41) 내부는 모두 건조 분위기(예를 들어 이슬점-60℃)로 유지되고 있고, 외부는 통상의 분위기(예를 들어 이슬점-20℃)이다. 또한, 이들의 도면 중 M은 작업자를 도시하고 있다.
처리 기구(10)는, 바닥면에 재치된 가대(11)와, 이 가대(11)위에 기밀하게 설치된 처리실(12)을 구비하고 있다. 처리실(12)에는 후술하는 프레임(32)을 지지하는 지지대(13)가 설치되어 있다. 반송 기구(20)는, 처리실(12)측에 설치된 수납 기구(30)와, 처리실(12)에 대향 배치된 작업물 반송부(40)를 구비하고 있다.
수납 기구(30)는, 처리실(12)의 전면측에 설치된 개구부(31)와, 이 개구부(31)의 테두리 안을 따라 기밀하게 끼워 넣어진 프레임(32)과, 이 프레임(32)에 일체적으로 형성됨과 함께 폐색하는 처리실 덮개부(33)와, 이 처리실 덮개부(33)를 처리실(12)측으로부터 지지하고, 개구부(31)로부터 처리실(12) 내부측을 향해서 수평 방향으로 안내하는 가이드 기구(34)를 구비하고 있다. 프레임(32)의 도 1 중 우측에는 오목부(32a)가 형성되고, O링(32b)에 의해 후술하는 반송 상자 덮개부(43)가 기밀하게 끼워 넣어진다.
작업물 반송부(40)는, 직육면체 형상의 반송 상자(41)와, 이 반송 상자(41)의 전면측에 설치된 개구부(42)와, 이 개구부(42)를 개폐 가능하게, 또한, 기밀하게 덮개를 씌우는 반송 상자 덮개부(43)를 구비하고 있다. 반송 상자(41) 내부에는 작업물(W)과, 이 작업물(W)을 유지함과 함께 반송 상자 덮개부(43)에 설치된 작업물 보유 지지부(H)가 수용되어 있다. 또한, 처리실(12)의 개구부(31)와, 반송 상자(41)의 개구부(42)는 서로 대향 배치되어 있다.
처리실(12)의 개구부(31)의 주위의 전면부(31a)와 반송 상자(41)의 개구부(42)의 주위의 전면부(42a)는 맞닿는 기밀하게 결합하는 결합부(50)가 된다. 또한, 결합부(50)는 O링(51)을 구비하고 있다.
또한, 처리실 덮개부(33) 및 반송 상자 덮개부(43)의 재질은, 예를 들어, 불소 수지, 비정질 폴리올레핀 수지, SUS 무구, SUS 브라이트(bright) 마무리품, 알루미늄 무구재 등 혹은 불소 코트가 실시되어 있다. 이것들의 재질이나 불소 코트(coating)가 실시되어 있으면 수분 흡착량이 적어, 내부를 건조 분위기로 유지시킬 수 있다.
이렇게 구성된 반송 기구(20)에서는, 다음과 같이 하여, 반송 상자(41) 내의 작업물(W)을 처리실(12) 내에 건조 분위기를 유지한 상태로 반입한다. 즉, 도시하지 않은 반송 대차에 보조되면서 작업자(M)가 작업물 반송부(40)의 반송 상자(41)를 수납 기구(30)에 근접시킨다. 그리고, 도 2에 도시한 바와 같이, 반송 상자 덮개부(43)를 오목부(32a) 내에 끼워 넣게 한다. 동시에, 처리실(12)의 전면부(31a)와 반송 상자(41)의 전면부(42a)가 맞닿고, 결합부(50)를 형성해서 기밀하게 결합한다. 이때, 처리실 덮개부(33)와 반송 상자 덮개부(43)는 서로 밀착한다.
다음에, 도 3에 도시한 바와 같이, 가이드(guide) 기구(34)에 의해 처리실 덮개부(33)를 이동시키면, 프레임(32)을 통해서 반송 상자 덮개부(43)는 일체로 되어서 도면 중 좌측으로 이동한다. 반송 상자 덮개부(43)에는 작업물 보유 지지부(H)가 설치되어 있으므로, 작업물(W)도 처리실(12) 내부에 반입된다. 또한, 처리실(12)의 전면부(31a)와 반송 상자(41)의 전면부(42a)가 기밀하게 맞닿아 있으므로, 외기가 유입되는 일은 없다.
또한, 도 4에 도시한 바와 같이, 가이드 기구(34)에 의해, 처리실(12)의 안쪽까지 이동시키면, 프레임(32)이 지지대(13)에 척(Chuck)되어 이동을 정지한다. 또한, 도 5에 도시한 바와 같이 가이드 기구(40)가 도면 중 좌측으로 이동하고, 처리실 덮개부(33)와 분리된다. 이 상태에서 작업물(W)에의 처리가 개시된다.
이와 같이, 본 실시 형태에 따른 반송 기구(20)에서는, 처리실 덮개부(33)와 반송 상자 덮개부(43)를 밀착시킴으로써, 외기에 대한 폭로 부분이 발생할 여지를 없애고, 건조 분위기를 유지한 채, 작업물(W)의 반입을 행할 수 있다. 또한, 반출의 경우에는 이 방법의 역순으로 행한다.
따라서, 2중 도어를 설치한 로드 로크식을 사용할 필요가 없고, 간이한 구성이며, 또한, 치환 가스를 사용하는 일 없이, 소정의 분위기를 유지한 채, 저비용으로 작업물의 반송을 행하는 것이 가능해진다.
[제2 실시 형태]
도 6은 제2 실시 형태에 따른 반송 지그(100)를 도시하는 단면도이다. 반송 지그(100)는, 제1 처리실(200)로부터 제2 처리실(210)로 작업물(W)을 건조 분위기를 유지하면서, 반송하는 기능을 갖고 있다. 또한, 도면 중 부호 Q는 반송 대차를 도시하고 있다.
반송 지그(100)는, 반송 대차(Q)에 지지된 바닥이 있는 통 형상의 수용실(110)과, 수용실(110)에 대하여 동축적으로, 또한 기밀하게 설치된 내통체(120)와, 이 내통체(120) 내부를 축 방향으로 왕복 이동 가능하게 설치된 돌출부(150)와, 이 돌출부(150) 내부에 설치되고, 외통체(130)를 착탈 가능하게 걸어 맞추는 걸어 맞춤부(160)를 구비하고 있다.
또한, 도 6중 부호 130은 내통체(120)의 외주면에 삽입 분리 가능하게 설치된 외통체, 부호 140은 외통체(130)의 외주면에 설치되고, 수용실(110)의 개구부(111)를 개폐 가능하고, 또한 기밀하게 덮개를 씌우는 덮개부를 나타내고 있다. 또한, 외통체(130)는 그 외주면에 있어서 작업물(W)을 보유 지지하는 기능을 갖고 있다.
수용실(110)에는, 플랜지부(112)가 설치되고, 패킹(packing: 113)이 개구부(111)의 주위에 배치되어 있다.
내통체(120)에는 축 방향을 따라서 후술하는 핀(pin: 162)을 통과시키기 위한 홈부(121)가 형성되어 있다. 외통체(130)의 내주면에는 후술하는 핀(162)이 걸어 맞추어지는 구멍부(도시 생략)가 형성되어 있다. 걸어 맞춤부(160)는, 축방향으로 연장되는 한 쌍의 동작 막대(161)와, 이 동작 막대(161)로부터 외경 방향으로 돌출하는 핀(162)과, 축방향으로 연장됨과 함께 축 방향으로의 이동이 가능하고, 또한 선단이 외통체(130)의 단부에 대향하는 압입 막대(163)(도 12 참조)를 구비하고 있다.
제1 처리실(200)은, 기밀하게 형성된 하우징(201)과, 이 하우징(201)의 개구부(202)에 설치된 슬라이드(slide) 도어(203)와, 작업물(W)을 보유 지지하는 축 형상의 작업물 보유 지지부(204)를 구비하고 있다.
제2 처리실(210)은, 도 9에 도시한 바와 같이, 기밀하게 형성된 하우징(211)과, 이 하우징(211)의 개구부(212)에 설치된 슬라이드 도어(213)와, 작업물(W)을 보유 지지하는 축 형상의 작업물 보유 지지부(214)를 구비하고 있다.
이렇게 구성된 반송 지그(100)는, 다음과 같이 하여 작업물(W)을 제1 처리실(200)로부터 제2 처리실(210)로 반송한다. 또한, 제1 처리실(200)의 하우징(201)의 작업물 보유 지지부(204)에는, 복수의 외통체(130)가 축 방향으로 나란히 배열되어 보유 지지되어 있다. 또한, 외통체(130)에는 작업물(W)이 보유 지지되어 있다.
도 6에 도시한 바와 같이, 수용실(110)을 제1 처리실(200)의 개구부(202)에 대향시킨다. 다음에, 도 7에 도시한 바와 같이, 수용실(110)의 개구부(111)와 제1 처리실(200)의 개구부(202)를 대향시킨다. 이때, 수용실(110)의 플랜지부(112)가 패킹(113)을 통해서 제1 처리실(200)의 하우징(201)에 밀착되므로, 수용실(110)과 제1 처리실(200)이 연통한 채 기밀 상태가 유지된다. 이 상태에서, 슬라이드 도어(203)를 개방하고, 돌출부(150)를 작업물 보유 지지부(204)에 부딪치게 한다. 여기서, 핀(162)을 외측으로 개방하고, 외통체(130)의 구멍부에 걸어 맞춘다.
다음에, 도 8에 도시한 바와 같이, 돌출부(150)를 도면 중 우측 방향으로 이동시켜, 외통체(130)를 내통체(120)에 끼워 맞춘다. 이때, 핀(162)은 외경측으로 돌출하고 있지만, 내통체(120)에 홈부(121)가 형성되어 있으므로, 외통체(130)는 도면에 도시한 바와 같이 안측까지 이동한다. 이에 의해, 외통체(130)에 설치된 덮개부(140)가 개구부(111)를 폐색하고, 수용실(110) 내는 기밀 상태로 됨과 함께, 외기에 노출되어 있지 않으므로 건조 분위기가 유지된다. 그리고, 슬라이드 도어(203)를 폐쇄한다.
다음에, 반송 대차(Q)에 의해, 반송 지그(100)를 제2 처리실(210)로 이동시킨다. 도 9에 도시한 바와 같이, 수용실(110)을 제2 처리실(210)의 개구부(212)에 대향시킨다. 다음에, 도 10에 도시한 바와 같이, 수용실(110)의 개구부(111)와 제2 처리실(210)의 개구부(212)를 대향시킨다. 이때, 수용실(110)의 플랜지부(112)가 패킹(113)을 통해서 제2 처리실(210)의 하우징(211)에 밀착되므로, 수용실(110)과 제2 처리실(210)이 연통한 채 기밀 상태가 유지된다. 이 상태에서, 슬라이드 도어(213)를 개방하고, 돌출부(150)를 작업물 보유 지지부(214)에 부딪치게 한다.
여기서, 도 11에 도시한 바와 같이, 핀(162)을 내측으로 폐쇄하고, 외통체(130)의 구멍부와의 걸어 맞춤을 해제한다. 또한, 도 12에 도시한 바와 같이, 압입 막대(163)에 의해, 외통체(130)의 단부를 누르고, 외통체(130)를 작업물 보유 지지부(214)에 이동 탑재한다.
다음에, 도 13에 도시한 바와 같이, 돌출부(150)를 도면 중 우측 방향으로 이동시킨다. 그리고, 도 14에 도시한 바와 같이, 반송 대차(Q)를 제2 처리실(210)로부터 이격시켜, 슬라이드 도어(203)를 폐쇄한다.
이와 같이, 본 실시 형태에 따른 반송 지그(100)에서는, 반송 지그(100)의 개구부(110)와 처리실의 개구부를 대향시키고, 덮개부(140)을 직접 처리실 내로 반입하도록 하고 있기 때문에, 건조 분위기를 유지한 채, 작업물(W)의 반입을 행할 수 있다.
따라서, 2중 도어를 설치한 로드 로크식을 사용할 필요가 없고, 간이한 구성으로, 또한 치환 가스를 사용하지 않고, 소정의 분위기를 유지한 채, 저비용으로 작업물의 반송을 행하는 것이 가능해진다.
[제3 실시 형태]
도 15는 제3 실시 형태에 따른 반송 대차(300)을 도시하는 종단면도이다. 반송 대차(300)는, 작업물(W)을 건조 분위기를 유지한 상태에서 반송하는 기능을 갖고 있다.
반송 대차(300)는, 작업물(W)을 수용하기 위한 수용실(310)을 구비하고 있다. 수용실(310)에는, 측면에 개구부(311)가 설치됨과 함께 저부에 대차(312)가 설치되어 있다.
수용실(310)에는, 축 부재(320)가 설치되어 있다. 축 부재(320)는, 그 기단부(321)가 수용실(310)의 내벽면에 설치됨과 함께, 선단부(322)가 개구부(311)로부터 외부로 돌출되어 있다. 또한, 축 부재(320)의 축 방향과 개구부(311)는 직교하고 있다.
축 부재(320)의 외주면에는, 축 부재(320)의 축 방향으로 왕복 이동 가능하게 설치된 통 형상의 작업물 지지 부재(330)가 배치되어 있다. 작업물 지지 부재(330)의 주위에는 작업물(W)을 착탈 가능하게 보유 지지하는 보유 지지부(331)가 형성되어 있다. 또한, 작업물 지지 부재(330)의 도면 중 좌측 단부측에, 후술하는 척 기구(350)에 걸어 맞추어지는 걸어 맞춤부(332)가 형성되어 있다. 또한, 작업물 지지 부재(330)의 도면 중 우측 단부측에는, 개구부(311)를 외부측로부터 폐색하는 덮개부(340)가 설치되어 있다.
축 부재(320)의 기단부(321)측에는, 척 장치(350)가 축 부재(320)에 대하여 동축적으로 설치되어 있다. 척 기구(350)는, 그 개폐에 의해 걸어 맞춤부(332)에 걸어 맞춤?해제를 행하는 갈고리부(351)와, 이 갈고리부(351)를 폐쇄한 상태에서 선단측으로 끌어당기는 링크 기구(352)와, 이 링크 기구(352)를 수용실(310) 외부로부터 구동하는 회전 핸들(353)을 구비하고 있다.
이와 같이 구성된 반송 대차(300)는, 다음과 같이 하여 작업물(W)을 반송한다. 반송 대차(300)를 작업물(W)이 적재된 처리실(도시하지 않음)로 반입한다. 이때, 작업물 지지 부재(330)는 설치되어 있지 않다.
다음에, 도 16에 도시하는 바와 같이 회전 핸들(353)을 돌려 갈고리부(351)를 개방한 상태에서 개구부(311)까지 이동시킨다. 처리실에 있어서, 작업물(W)이 설치된 작업물 지지 부재(330)를 개구부(311)에 근접시켜, 작업물 지지 부재(330)의 중공부 내로 축 부재(320)를 지나게 한다.
다음에, 회전 핸들(handle : 353)을 돌려, 도 17에 도시한 바와 같이, 갈고리부(351)를 폐쇄하고, 걸어 맞춤부(332)에 걸어 맞춘다. 또한, 회전 핸들(353)을 돌려, 갈고리부(351)를 수용실(310) 내부로 끌어 들인다.
최종적으로, 도 15에 도시한 바와 같이, 덮개부(340)가 개구부(311)를 폐색할 때까지 작업물 지지 부재(330)를 끌어 들인다. 그리고 다른 처리실(도시하지 않음)로 이동시킨다. 또한, 덮개부(340)의 개폐를 처리실에서 행함으로써, 처리실의 건조 분위기를 반송 대차(300)의 수용실(310) 내부에 있어서도 유지시킬 수 있다.
이와 같이, 본 실시 형태에 따른 반송 대차(300)에서는, 처리실 내에 직접 들어가서, 그 내부에서 덮개부(340)의 개폐를 행함으로써, 건조 분위기를 유지한 채, 작업물(W)의 반입을 행할 수 있다.
따라서, 2중 도어를 설치한 로드 로크식을 사용할 필요가 없고, 간이한 구성으로, 또한, 치환 가스를 사용하지 않고, 소정의 분위기를 유지한 채, 저비용으로 작업물(W)의 반송을 행하는 것이 가능해진다.
본 발명의 몇몇 실시 형태를 설명했지만, 이것들의 실시 형태는, 예로서 제시한 것이며, 발명의 범위를 한정하는 것으로 의도된 것이 아니다. 이들 신규한 실시 형태는, 그 밖의 여러가지 형태로 실시될 수 있으며, 발명의 요지를 이탈하지 않는 범위에서, 다양한 생략, 치환, 변경을 행할 수 있다. 이들 실시 형태나 그 변형은, 발명의 범위나 요지에 포함되는 동시에, 특허청구범위에 기재된 발명과 그 균등한 범위에 포함된다.

Claims (8)

  1. 서로 개구부측을 대향시켜 배치된 처리실과 반송 상자와의 사이에서 작업물을 기밀 상태를 유지하면서 전달하는 반송 기구로서,
    상기 처리실의 개구부를 개폐 가능하고, 또한 기밀하게 덮개를 덮음과 함께, 상기 반송 상자측에 오목부를 갖는 처리실 덮개부와,
    상기 처리실 덮개부를 상기 처리실의 내부측으로 안내하는 가이드 기구와,
    상기 처리실 내에 설치된 작업물 지지부와,
    상기 반송 상자의 개구부를 개폐 가능하고, 또한 기밀하게 덮개를 덮음과 함께, 상기 오목부에 기밀하게 끼워 넣어지는 반송 상자 덮개부와,
    상기 처리실의 개구부의 주위의 전면부와 상기 반송 상자의 개구부의 주위의 전면부를 기밀하게 결합하는 결합부
    를 구비하는, 반송 기구.
  2. 제1항에 있어서, 상기 처리실 덮개부 또는 상기 반송 상자 덮개부는, 수분 흡착량이 적은 재료로 형성되어 있는, 반송 기구.
  3. 반송 지그로서,
    바닥이 있는 통 형상의 수용실과,
    상기 수용실에 대해 동축적으로 설치된 내통체와,
    상기 내통체의 외주면에 삽입 분리 가능하게 설치됨과 함께 작업물을 보유 지지하는 외통체와,
    상기 외통체의 외주면에 설치되고, 상기 수용실의 개구부를 개폐 가능하고, 또한 기밀하게 덮개를 덮는 덮개부와,
    상기 내통체 내부를 축 방향으로 왕복 이동 가능하게 설치된 돌출부와,
    상기 돌출부에 설치되고, 상기 외통체에 걸어 맞추는 걸어 맞춤부
    를 구비하는, 반송 지그.
  4. 제3항에 있어서, 상기 덮개부는 수분 흡착량이 적은 재료로 형성되어 있는, 반송 지그.
  5. 반송 대차로서,
    작업물을 수용하기 위한 수용실과,
    상기 수용실의 측면에 설치된 개구부와,
    기단부가 상기 수용실에 설치되고, 선단부가 상기 개구부로부터 외부로 돌출됨과 함께 상기 개구부에 대해 직교하는 방향으로 연장 설치된 축 부재와,
    상기 수용실 밖으로부터의 구동에 의해 개폐되는 척 기구와,
    상기 축 부재에 대해 왕복 이동 가능하게 배치되고, 상기 작업물을 지지하기 위한 작업물 지지 부재와,
    상기 작업물 지지 부재에 설치되고, 상기 척 기구의 개폐에 의해 착탈되는 걸어 맞춤부와,
    상기 작업물 지지부에 설치되고, 상기 개구부를 상기 수용실의 외부측으로부터 개폐 가능하게 폐색하는 덮개부
    를 구비하는, 반송 대차.
  6. 제5항에 있어서, 상기 작업물 지지 부재는 상기 축 부재의 외주면에 미끄럼 이동 가능하게 형성되어 있는, 반송 대차.
  7. 제5항에 있어서, 상기 척 기구는 상기 축 부재에 동축적으로 형성되어 있는, 반송 대차.
  8. 제5항에 있어서, 상기 덮개부는 수분 흡착량이 적은 재료로 형성되어 있는, 반송 대차.
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