KR20120027703A - Unit for supporting substrate and apparatus for treating substrate having the same - Google Patents

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KR20120027703A
KR20120027703A KR1020100089448A KR20100089448A KR20120027703A KR 20120027703 A KR20120027703 A KR 20120027703A KR 1020100089448 A KR1020100089448 A KR 1020100089448A KR 20100089448 A KR20100089448 A KR 20100089448A KR 20120027703 A KR20120027703 A KR 20120027703A
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Abstract

PURPOSE: A substrate placing unit and a substrate processing device using the same are provided to emit a lift pin which supports a substrate when a substrate placing unit is loaded or unloaded, thereby shortening time for loading or unloading the substrate. CONSTITUTION: A pair of mobile stage parts(210) are installed on a base table. The intervals between the mobile stage parts are adjusted corresponding to the size of a substrate. A substrate placing unit is arranged between the mobile stage parts. The substrate placing unit comprises a fixed stage bar(220) on which the center of the substrate is placed. A substrate processing unit is installed on the base table to process a substrate placed on the substrate placing unit.

Description

기판 안착 유닛 및 이를 이용한 기판 처리 장치{UNIT FOR SUPPORTING SUBSTRATE AND APPARATUS FOR TREATING SUBSTRATE HAVING THE SAME}Substrate mounting unit and substrate processing apparatus using the same {UNIT FOR SUPPORTING SUBSTRATE AND APPARATUS FOR TREATING SUBSTRATE HAVING THE SAME}

본 발명은 기판 안착 유닛 및 이를 이용한 기판 처리 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 하나의 장치에서 다양한 사이즈의 기판을 처리할 수 있도록 하는 기판 안착 유닛 및 이를 이용한 기판 처리 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a substrate mounting unit and a substrate processing apparatus using the same. More particularly, the present invention relates to a substrate mounting unit and a substrate processing apparatus using the same.

평판 디스플레이는 음극선관 (CRT, Cathode Ray Tube) 디스플레이를 비롯하여, 액정 디스플레이(LCD, Liquid Crystal Display) 등으로 분류되는데, 이중에서도 LCD는 소비전력이 적고, 무게가 가볍다는 장점이 있어 최근 각광을 받고 있다.Flat panel displays are categorized into Cathode Ray Tube (CRT) displays and Liquid Crystal Displays (LCDs). Among them, LCDs have recently been in the spotlight due to their low power consumption and light weight. have.

상기 LCD는 어레이 기판과, 대향 기판, 액정층 등으로 구성되는데, 이 중 어레이 기판에는 매트릭스 형상으로 배열되는 복수의 화소 전극, 복수의 화소 전극의 행을 따라 배치되는 복수의 주사선과 열을 따라 배치되는 복수의 신호선이 형성된다.The LCD is composed of an array substrate, an opposing substrate, a liquid crystal layer, etc. Among these, a plurality of pixel electrodes arranged in a matrix shape and a plurality of scan lines and columns arranged along rows of the plurality of pixel electrodes are arranged in the array substrate. A plurality of signal lines to be formed are formed.

한편, 상기 어레이 기판의 제조 과정에서 전기적 신호선이 중접되는 등 결함이 발생할 수 있는데, 결함이 발생하면 올바른 화상을 형성할 수 없게 된다. 따라서, 중첩된 신호선을 절단하여 상호 중첩되지 않도록 하여야 하는데, 이 과정을 "리페어"라고 한다.On the other hand, a defect may occur such that an electrical signal line is overlapped in the manufacturing process of the array substrate. If a defect occurs, a correct image cannot be formed. Therefore, the overlapping signal lines should be cut so as not to overlap each other. This process is called "repair".

종래의 리페어 장치는 리페어 대상인 기판을 지지하는 스테이지와, 스테이지 상부에 마련되어 기판을 확대 촬영하고, 레이저 빔을 이용하여 불량 영역을 리페어하는 레이저스코프와, 상기 레이저스코프로 빛을 전달하는 광원 및 스테이지 또는 레이저스코프를 X축, Y축으로 이동시키는 이동수단으로 구성되어 있다.Conventional repair apparatus includes a stage for supporting a substrate to be repaired, a laser scope provided on the stage to enlarge an image, and repairing a defective area using a laser beam, a light source and a stage for transmitting light to the laser scope, or It consists of the moving means which moves a laser scope to an X-axis and a Y-axis.

종래의 리페어 장치를 이용하여 기판을 리페어하는 방법을 살펴보면, 반송로봇(미도시)에 의해 기판이 스테이지 상부에 배치되면 스테이지를 관통하여 리프트핀이 상승하여 기판을 안착한 다음, 기판을 안착한 상태로 리프트핀이 하강하면서 기판을 스테이지 상부에 안착시키게 된다. 그런 다음, 기판에 대한 결함 영역 정보가 입력되면, 상기 입력 정보에 따라 결함 영역이 레이저스코프 하부에 위치할 수 있도록 이동수단을 이용하여 스테이지 또는 레이저스코프를 이동시킨다. 이때 광원에서 전달된 빛에 의해 레이저스코프에서 결함 영역의 정보를 모니터링하면서 스테이지의 위치를 조절하게 된다. 스테이지의 이동에 의해 기판의 위치가 결정되면, 레이저스코프에서 투사된 레이저빔에 의해 결함 영역의 일정 부분이 절단되면서 기판을 리페어하게 된다.Looking at a method of repairing a substrate using a conventional repair apparatus, when the substrate is disposed on the stage by a carrier robot (not shown), the lift pins rise through the stage to seat the substrate, and then lift the substrate in a state where the substrate is seated. As the pin descends, the substrate rests on top of the stage. Then, when the defect area information on the substrate is input, the stage or the laser scope is moved by using a moving means so that the defect area may be located under the laser scope according to the input information. At this time, the position of the stage is adjusted while monitoring the information of the defect area in the laser scope by the light transmitted from the light source. When the position of the substrate is determined by the movement of the stage, a portion of the defect area is cut by the laser beam projected by the laser scope, thereby repairing the substrate.

그러나, 종래의 리페어 장치는 기판을 안착시키기 위하여 리프트핀과 같은 부과적인 구성이 필요하고, 기판의 규격에 따라 각각 상이한 규격을 갖는 스테이지가 설치되어 다양한 사이즈의 기판을 처리하기 위해서는 다양한 규격의 스테이지를 장치에 조립 및 분해하여야 하는 단점이 있었다.However, the conventional repair apparatus requires an imposing configuration such as a lift pin to seat the substrate, and stages having different specifications are installed according to the specifications of the substrate. There was a drawback to the assembly and disassembly of the device.

이에 따라 스테이지를 기판의 규격에 맞게 조립 및 분해하는 불필요한 시간이 소요되고, 기판을 로딩 및 언로딩시킬 때 리프트핀이 작동되는 시간이 불필요하게 증가되어 신속한 리페어가 힘들게 되는 단점이 있었다.
As a result, it takes unnecessary time for assembling and disassembling the stage to the specifications of the substrate, and the time required to lift and operate the lift pin unnecessarily increases when loading and unloading the substrate.

본 발명의 실시형태는 기판이 안착되는 스테이지를 한 쌍의 이동 스테이지로 분할하고 상호 간의 간격을 조절할 수 있도록 하여 하나의 장치에서 다양한 사이즈의 기판을 처리할 수 있도록 하는 기판 안착 유닛 및 이를 이용한 기판 처리 장치를 제공한다.Embodiments of the present invention divide a stage on which a substrate is seated into a pair of moving stages and adjust a distance therebetween so that a substrate mounting unit and a substrate processing using the same can be used to process substrates of various sizes in one apparatus. Provide the device.

또한, 본 발명의 실시형태는 기판이 안착되는 기판 안착 유닛의 구조를 변경하여 리프트핀과 같은 기판의 로딩 및 언로딩시 필요하였던 구성수단을 생략할 수 있어 장치를 간소화하고 단순화하여 기판의 로딩 및 언로딩 시간을 단축할 수 있도록 하는 기판 안착 유닛 및 이를 이용한 기판 처리 장치를 제공한다.
In addition, the embodiment of the present invention can change the structure of the substrate seating unit on which the substrate is seated to omit the construction means required for loading and unloading the substrate, such as lift pins, thereby simplifying and simplifying the apparatus for loading and Provided are a substrate mounting unit and a substrate processing apparatus using the same, which can shorten an unloading time.

본 발명의 일실시예에 따른 기판 안착 유닛은 기판의 사이즈에 대응하여 상호 간의 간격이 조절되는 한 쌍의 이동 스테이지부와; 상기 한 쌍의 이동 스테이지부 사이에 배치되어 기판의 중앙부분이 안착되는 고정 스테이지바를 포함한다.The substrate seating unit according to an embodiment of the present invention includes a pair of moving stages in which a distance between each other is adjusted to correspond to the size of the substrate; A fixed stage bar is disposed between the pair of moving stages to seat a central portion of the substrate.

상기 각각의 이동 스테이지부는 상기 고정 스테이지바 방향으로 근접 또는 이격되도록 평행하게 슬라이딩되는 이동 플레이트와; 상기 이동 플레이트에 구비되는 복수의 레벨 블럭과; 상기 레벨 블럭에 설치되어 설치 레벨이 조절되고, 상기 이동 플레이트와 일체로 슬라이딩되며, 기판이 안착되는 이동 스테이지를 포함한다.Each of the moving stages includes a moving plate sliding in parallel so as to be proximate or spaced apart in the fixed stage bar direction; A plurality of level blocks provided in the moving plate; And a moving stage installed at the level block to adjust an installation level, to slide integrally with the moving plate, and to seat a substrate.

상기 이동 플레이트는 적어도 상기 이동 스테이지에 안착되는 기판이 위치되는 영역의 직하방이 개구되고, 상기 이동 스테이지는 투명한 재료로 형성되는 것을 특징으로 한다.The moving plate is characterized in that at least directly below the area where the substrate seated on the moving stage is located, the moving stage is formed of a transparent material.

상기 이동 스테이지의 최상면과 상기 고정 스테이지바의 최상면은 동일한 높이로 형성되는 것을 특징으로 한다.The uppermost surface of the movable stage and the uppermost surface of the fixed stage bar are formed at the same height.

상기 이동 플레이트에 설치되어 상기 고정 스테이지바 방향으로 슬라이딩 되어 기판의 측부를 클램핑하는 측부 클램핑부를 더 포함한다.And a side clamping part installed on the moving plate and sliding in a direction of the fixed stage bar to clamp the side of the substrate.

상기 이동 스테이지의 상면에는 상기 측부 클램핑부의 슬라이딩 방향과 대응하는 방향으로 복수의 측부 가이드 홈이 형성되고, 상기 측부 클램핑부는 상기 이동 플레이트의 상면에 설치되어 상기 고정 스테이지바 방향으로 이동되는 측부 클램핑 플레이트와; 상기 측부 클램핑 플레이트의 측부에 복수개가 설치되어 상기 측부 가이드 홈을 따라 슬라이딩되면서 상기 측부 클램핑 플레이트를 지지하는 측부 클램핑 롤러와; 상기 측부 클램핑 플레이트의 측부에 복수개가 설치되어 기판의 측면을 밀착하여 지지하는 측부 클램핑 패드를 포함한다.A plurality of side guide grooves are formed on an upper surface of the movable stage in a direction corresponding to a sliding direction of the side clamping portion, and the side clamping portions are provided on an upper surface of the movable plate and move in a direction of the fixed stage bar; ; A side clamping roller installed on a side of the side clamping plate and sliding along the side guide groove to support the side clamping plate; A plurality of side clamping plate is provided on the side of the side clamping plate and includes a side clamping pad for closely supporting the side of the substrate.

상기 이동 스테이지부 및 고정 스테이지바가 설치되는 바닥면이 형성되고, 상기 이동 스테이지부 및 고정 스테이지바를 둘러싸는 측벽이 형성되는 하우징을 더 포함하고, 상기 하우징의 측벽에는 상기 이동 스테이지부와 고정 스테이지바 사이로 기판을 로딩 및 언로딩시키는 이송 로봇암이 출입되는 출입구가 개구되는 것을 특징으로 한다.And a housing having a bottom surface on which the movable stage portion and the fixed stage bar are installed, and a side wall surrounding the movable stage portion and the fixed stage bar, wherein the side wall of the housing is formed between the movable stage portion and the fixed stage bar. A doorway through which the transfer robot arm for loading and unloading the substrate enters and exits is opened.

상기 하우징에서 출입구가 형성되는 측벽의 상면 중 적어도 이송 로봇암에 지지된 기판이 출입되는 영역의 높이는 상기 고정 스테이지바의 최상면보다 낮게 형성되는 것을 특징으로 한다.At least a height of a region through which the substrate supported by the transfer robot arm enters and exits from an upper surface of the sidewall on which the entrance and exit are formed is lower than a top surface of the fixed stage bar.

상기 하우징의 측벽에 설치되어 상기 출입구의 반대편에서 출입구 방향으로 슬라이딩 되어 기판의 전단을 클램핑하는 전단 클램핑부를 더 포함한다.And a shear clamping part installed at a side wall of the housing to slide in a direction toward the entrance from the opposite side of the entrance to clamp the front end of the substrate.

상기 고정 스테이지바의 상면에는 상기 전단 클램핑부의 슬라이딩 방향과 대응하는 방향으로 전단 가이드 홈이 형성되고, 상기 전단 클램핑부는 상기 하우징의 측벽에 설치되어 상기 출입구 방향으로 이동되는 전단 클램핑 플레이트와; 상기 전단 클램핑 플레이트의 후단에 설치되어 상기 전단 가이드 홈을 따라 슬라이딩되면서 상기 전단 클램핑 플레이트를 지지하는 전단 클램핑 롤러와; 상기 전단 클램핑 플레이트의 후단에 복수개가 설치되어 기판의 전단을 밀착하여 지지하는 전단 클램핑 패드를 포함한다.A shear clamping plate formed on an upper surface of the fixed stage bar in a direction corresponding to a sliding direction of the shear clamping portion, wherein the shear clamping portion is installed on a side wall of the housing and moved in the direction of the entrance; A shear clamping roller installed at a rear end of the shear clamping plate and supporting the shear clamping plate while sliding along the shear guide groove; It includes a plurality of shear clamping pads are installed at the rear end of the shear clamping plate to closely support the front end of the substrate.

본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리 장치는 베이스 테이블과; 상기 베이스 테이블에 설치되고, 기판의 사이즈에 대응하여 상호 간의 간격이 조절되며, 기판이 안착되는 한 쌍의 이동 스테이지부 구비되고, 상기 한 쌍의 이동 스테이지부 사이에 배치되어 기판의 중앙부분이 안착되는 고정 스테이지바가 구비되는 적어도 하나 이상의 기판 안착 유닛과; 상기 베이스 테이블 상에 설치되어 상기 기판 안착 유닛에 안착되는 기판을 처리하는 기판 처리 수단을 포함한다.A substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention includes a base table; It is installed on the base table, the distance between each other is adjusted according to the size of the substrate, and provided with a pair of moving stage portion is seated on the substrate, disposed between the pair of the movement stage portion to seat the central portion of the substrate At least one substrate mounting unit having a fixed stage bar; And substrate processing means installed on the base table to process a substrate seated on the substrate seating unit.

상기 안착 유닛 각각의 이동 스테이지부는 상기 고정 스테이지바 방향으로 근접 또는 이격되도록 평행하게 슬라이딩되는 이동 플레이트와; 상기 이동 플레이트에 구비되는 복수의 레벨 블럭과; 상기 레벨 블럭에 설치되어 설치 레벨이 조절되고, 상기 이동 플레이트와 일체로 슬라이딩되며, 기판이 안착되는 이동 스테이지를 포함한다.A moving plate that slides in parallel so as to be close to or spaced apart from each other in the direction of the fixed stage bar; A plurality of level blocks provided in the moving plate; And a moving stage installed at the level block to adjust an installation level, to slide integrally with the moving plate, and to seat a substrate.

상기 안착 유닛은 상기 이동 스테이지부 및 고정 스테이지바가 설치되는 바닥면이 형성되고, 상기 이동 스테이지부 및 고정 스테이지바를 둘러싸는 측벽이 형성되며, 상기 측벽에는 상기 이동 스테이지부와 고정 스테이지바 사이로 기판을 로딩 및 언로딩시키는 이송 로봇암이 출입되는 출입구가 개구되는 하우징과; 상기 이동 플레이트에 설치되어 상기 고정 스테이지바 방향으로 슬라이딩 되어 기판의 측부를 클램핑하는 측부 클램핑부과; 상기 하우징의 측벽에 설치되어 상기 출입구의 반대편에서 출입구 방향으로 슬라이딩 되어 기판의 전단을 클램핑하는 전단 클램핑부를 더 포함한다.The seating unit has a bottom surface on which the movable stage part and the fixed stage bar are installed, a side wall surrounding the movable stage part and the fixed stage bar is formed, and the side wall loads a substrate between the movable stage part and the fixed stage bar. And a housing in which an entrance and exit through which an unloading transfer robot arm enters and exits is opened. A side clamping part installed on the moving plate and sliding in a direction of the fixed stage bar to clamp the side of the substrate; And a shear clamping part installed at a side wall of the housing to slide in a direction toward the entrance from the opposite side of the entrance to clamp the front end of the substrate.

상기 출입구의 최상면은 적어도 상기 이동 플레이트의 최상면보다 상기 이송 로봇암의 높이만큼 낮게 형성되는 것을 특징으로 한다.The top surface of the doorway is characterized in that it is formed at least as high as the height of the transfer robot arm than the top surface of the moving plate.

상기 기판 처리 수단은 상기 베이스 테이블 상에 설치되고 베이스 테이블 상에서 적어도 X축 및 Y축 방향으로 이동하는 이동 유닛과; 상기 이동 유닛에 설치되어 기판을 리페어 하는 리페어 유닛을 포함한다.The substrate processing means includes: a moving unit installed on the base table and moving in at least X and Y axis directions on the base table; And a repair unit installed in the mobile unit to repair the substrate.

상기 이동 유닛은 상기 베이스 테이블 상에 평행하게 구비되는 한 쌍의 가이드 레일과; 상기 한 쌍의 가이드 레일에서 각각 활주되는 한 쌍의 구동블럭과; 양측이 각각 상기 한 쌍의 구동블럭에 지지되어 상기 구동블럭과 함께 이송되는 크로스 빔과; 상기 크로스 빔에 설치되어 상기 크로스 빔을 따라 활주되고, 기판을 리페어하는 리페어 유닛이 장착되는 헤드를 포함한다.The moving unit includes a pair of guide rails provided in parallel on the base table; A pair of drive blocks slid from the pair of guide rails, respectively; A cross beam having both sides supported by the pair of drive blocks, the cross beams being transported together with the drive blocks; And a head mounted on the cross beam and slid along the cross beam and mounted with a repair unit for repairing a substrate.

상기 리페어 유닛은 기판의 결함부위를 리페어하는 레이저부를 포함하고, 상기 베이스 테이블 상에는 상기 레이저부로 빛을 전달하는 광원이 구비되는 것을 특징으로 한다.
The repair unit may include a laser unit for repairing a defective portion of the substrate, and a light source for transmitting light to the laser unit may be provided on the base table.

본 발명의 실시예에 따르면 기판이 안착되는 스테이지를 한 쌍의 이동 스테이지로 분할하고, 분할된 이동 스테이지 상호 간의 간격을 조절할 수 있도록 하여 하나의 장치에 다양한 사이즈의 기판을 안착시킬 수 있도록 하여 처리 가능한 기판의 사이즈를 확대하고, 기판 사이즈의 변경에 따라 신속하게 대처하여 기판의 처리 시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the stage on which the substrate is seated is divided into a pair of moving stages, and the distance between the divided moving stages can be adjusted to allow the substrates of various sizes to be seated in one device. There is an effect that the size of the substrate can be increased, and the processing time of the substrate can be shortened by coping quickly with the change of the substrate size.

그리고, 기판을 기판 안착 유닛에 로딩 또는 언로딩 시킬 때 기판을 임시적으로 지지하는 리프트핀의 구성을 생략하여 기판의 로딩 또는 언로딩 공정시간을 단축할 수 있는 효과가 있다. 또한, 장치의 구성을 단순화하여 장치의 조립 및 제작 기간을 단축하고 유지관리를 용이하게 실시할 수 있는 효과가 있다.
In addition, when loading or unloading the substrate on the substrate seating unit, the configuration of the lift pin that temporarily supports the substrate may be omitted, thereby reducing the loading or unloading process time of the substrate. In addition, there is an effect that can simplify the configuration of the device to shorten the assembly and manufacturing period of the device and to easily perform maintenance.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리 장치의 구성을 개략적으로 보여주는 사시도이고,
도 2a 및 도 2b는 기판을 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리 장치에 로딩하는 것을 보여주는 사시도이며,
도 3a 및 도 3b는 기판의 사이즈에 따라 본 발명의 일실시예에 따른 기판 안착 유닛의 사이즈를 조절하는 것을 보여주는 평면도이고,
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 처리 장치를 보여주는 사시도이다.1 is a perspective view schematically showing the configuration of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention,
2A and 2B are perspective views illustrating loading a substrate into a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention;
3A and 3B are plan views illustrating adjusting a size of a substrate seating unit according to an embodiment of the present invention according to a size of a substrate,
4 is a perspective view showing a substrate processing apparatus according to another embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 더욱 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. It will be apparent to those skilled in the art that the present invention may be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, It is provided to let you know. Like numbers refer to like elements in the figures.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리 장치의 구성을 개략적으로 보여주는 사시도이다.1 is a perspective view schematically illustrating a configuration of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.

먼저, 본 발명에서 설명되는 기판 처리 장치는 LCD의 어레이 기판을 리페어 하는 장치를 예로 하여 설명하도록 한다.First, the substrate processing apparatus described in the present invention will be described using an apparatus for repairing an array substrate of an LCD as an example.

또한, 본 발명의 설명을 명확하게 하기 위하여 도면에서 기판이 인입되는 방향을 X축 방향, X축 방향과 평행한 직교방향을 Y축 방향, X축 방향과 수직한 직교방향을 Z축 방향이라 정의하도록 한다.In addition, in order to clarify the description of the present invention, the direction in which the substrate is drawn is defined as the X-axis direction, the orthogonal direction parallel to the X-axis direction, the Y-axis direction, and the orthogonal direction perpendicular to the X-axis direction are defined as the Z-axis direction. Do it.

도면에 도시된 바와 같이 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리 장치는 베이스 테이블(100)과; 상기 베이스 테이블(100)에 설치되어 다양한 사이즈의 기판이 안착되도록 크기가 가변되는 적어도 하나 이상의 기판 안착 유닛(200)과; 상기 베이스 테이블(100) 상에 설치되고 베이스 테이블(100) 상에서 적어도 X축 및 Y축 방향으로 이동하는 이동 유닛(300)과; 상기 베이스 테이블(100) 상에 설치되어 상기 기판 안착 유닛(200)에 안착되는 기판을 처리하는 기판 처리 수단을 포함한다.As shown in the drawings, a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention includes a base table 100; At least one substrate seating unit (200) installed in the base table (100) and having a variable size so that substrates of various sizes are seated thereon; A moving unit (300) installed on the base table (100) and moving on at least the X and Y axis directions on the base table (100); And a substrate processing unit installed on the base table 100 to process a substrate seated on the substrate seating unit 200.

베이스 테이블(100)은 상기 기판 안착 유닛(200) 및 이동 유닛(300)이 설치되는 수단으로서, 도시되어 있지는 않으나 외부와 내부에서 발생할 수 있는 진동을 제거하기 위한 제진 수단을 구비하는 것이 바람직하다. 상기 베이스 테이블(100)의 상면에는 상기 기판 안착 유닛(200)이 설치되고, 상기 베이스 테이블(100)의 상면 중 측부 가장자리에는 상기 이동 유닛(300)이 설치된다.The base table 100 is a means for installing the substrate mounting unit 200 and the moving unit 300. Although not illustrated, the base table 100 may include vibration damping means for removing vibrations that may occur from the outside and the inside. The substrate mounting unit 200 is installed on an upper surface of the base table 100, and the moving unit 300 is installed on a side edge of an upper surface of the base table 100.

상기 기판 안착 유닛(200)은 다양한 사이즈의 기판이 안착되도록 사이즈가 가변되는 수단으로서, 기판의 사이즈에 대응하여 상호 간의 간격이 조절되는 한 쌍의 이동 스테이지부(210)와; 상기 한 쌍의 이동 스테이지부(210) 사이에 배치되어 기판의 중앙부분이 안착되는 고정 스테이지바(220)를 포함한다. 앞에서 설명된 기판의 사이즈에 대응하여 이동 스테이지부(210) 상호 간의 간격을 조절한다는 의미는 기판의 사이즈가 커질수록 이동 스테이지부(210) 상호 간의 간격을 상대적으로 넓게 하는 것을 의미하고, 기판의 사이즈가 작아질수록 이동 스테이지부(210) 상호 간의 간격을 상대적으로 좁게 하는 것을 의미한다.The substrate seating unit 200 includes a pair of moving stage units 210 having a size variable so that substrates of various sizes are seated therebetween, the distance between which is adjusted according to the size of the substrate; The fixed stage bar 220 is disposed between the pair of moving stages 210 to seat a central portion of the substrate. The adjustment of the distance between the moving stage units 210 in correspondence with the size of the substrate described above means that the distance between the moving stage units 210 is relatively wider as the size of the substrate increases. As it becomes smaller, it means that the distance between the moving stage units 210 is relatively narrowed.

상기 각각의 이동 스테이지부(210)는 상기 고정 스테이지바(220) 방향으로 근접 또는 이격되도록 평행하게 슬라이딩되는 이동 플레이트(211)와; 상기 이동 플레이트(211)에 구비되는 복수의 레벨 블럭(213)과; 상기 레벨 블럭(213)에 설치되어 설치 레벨이 조절되고, 상기 이동 플레이트(211)와 일체로 슬라이딩되며, 기판이 안착되는 이동 스테이지(215)를 포함한다.Each of the moving stages 210 includes a moving plate 211 which slides in parallel so as to be proximate or spaced apart in the fixed stage bar 220 direction; A plurality of level blocks 213 provided in the moving plate 211; It is installed on the level block 213, the installation level is adjusted, and includes a moving stage 215 is integrally sliding with the moving plate 211, the substrate is seated.

상기 한 쌍의 이동 플레이트(211)는 상호 간의 간격을 조절하여 상기 한 쌍의 이동 스테이지(215) 상호 간의 간격을 일체로 조절시키는 수단으로서, 대략 "ㄷ"자 형상을 갖는 평판형상으로 형성된다. 바람직하게는 상기 이동 스테이지(215)의 내측 방향(기판 안착 유닛의 중심을 향하는 방향을 내측 방향이라 정의하고, 그 반대 방향을 외측 방향이라 정의함) 가장자리를 제외한 3면의 가장자리영역에서 외측 방향으로 연장되는 형상으로 제작된다. 그래서, 상기 이동 플레이트(211)는 적어도 상기 이동 스테이지(215)에 안착되는 기판이 위치되는 영역의 직하방이 개구되는 것이 바람직하다.The pair of moving plates 211 is a means for integrally adjusting the distance between the pair of moving stages 215 by adjusting the distance between the pair of movement plates 211, and is formed in a flat plate shape having a substantially "C" shape. Preferably, the inner side of the moving stage 215 (the direction toward the center of the substrate seating unit is defined as the inner direction, and the opposite direction is defined as the outer direction) from the edge regions of the three surfaces except the edges to the outer direction. It is produced in an extended shape. Thus, the moving plate 211 preferably opens at least directly below a region where the substrate seated on the moving stage 215 is located.

상기 한 쌍의 이동 플레이트(211)는 상호 간의 간격이 좁아지거나 넓어지는 방향으로 대칭되도록 이동된다. 상기 한 쌍의 이동 플레이트(211)는 각각 독립적인 구동 수단을 구비하여 구동할 수 있고, 하나의 구동 수단에 각각 연동되어 구동할 수 있다. 상기 한 쌍의 이동 플레이트(211)를 구동시키는 구동 수단은 예를 들어 모터의 구동에 의해 타이밍 벨트(217)일 수 있다. 물론 구동 수단은 이에 한정되지 않고 직선운동을 발생하는 리니어 모터 및 볼스크류와 볼스크류를 회전시키는 모터의 조합과 같이 한 쌍의 이동 플레이트를 이동시켜 상호 간의 간격을 조절할 수 있는 다양한 수단으로 구현될 수 있다.The pair of moving plates 211 are moved to be symmetrical in a direction in which the distance between each other is narrowed or widened. The pair of moving plates 211 may be driven with independent driving means, respectively, and may be driven in conjunction with one driving means. The driving means for driving the pair of moving plates 211 may be, for example, a timing belt 217 by driving of a motor. Of course, the driving means is not limited to this, and may be implemented by various means capable of adjusting a distance between each other by moving a pair of moving plates, such as a combination of a linear motor generating linear motion and a motor for rotating a ball screw and a ball screw. have.

상기 레벨 블럭(213)은 상기 이동 플레이트(211)에 구비되어 상기 이동 스테이지(215)를 상기 이동 플레이트(211)에 고정시키는 수단으로서, 상기 레벨 블럭(213)의 설치 높이를 조절하여 이동 플레이트(211)의 설치 레벨(수평도)을 조절한다.The level block 213 is provided on the moving plate 211 to fix the moving stage 215 to the moving plate 211. The level block 213 adjusts the installation height of the level block 213 to move the moving plate ( 211) Adjust the installation level (horizontality).

상기 한 쌍의 이동 스테이지(215)는 기판의 측부 영역이 각각 직접 안착되는 수단으로서, 다양한 사이즈의 기판이 안착되도록 상호 간에 간격을 조절하여 기판이 안착되는 영역의 사이즈를 가변시킨다. 상기 이동 플레이트(211)는 대략 사각형상의 평판형상으로 형성되고, 광이 통과할 수 있도록 투명한 재료로 제작된다. 예를 들어 유리(glass)로 제작될 수 있다.The pair of moving stages 215 are means for directly seating side regions of the substrate, and vary the size of the region on which the substrate is seated by adjusting the distance therebetween so that substrates of various sizes are seated. The moving plate 211 is formed in a substantially rectangular flat plate shape and made of a transparent material to allow light to pass therethrough. For example, it may be made of glass.

상기 이동 스테이지(215)의 상면은 상기 레벨 블럭(213)이 연결되더라도 레벨 블럭(213)의 최상단 높이가 이동 스테이지(215)의 최상면 높이보다 높지않도록 상기 레벨 블럭(213)이 연결되는 영역에 설치홈(215b)을 형성한다. 그래서 기판이 이동 스테이지(215)에 안착될 때 레벨 블럭(213)에 간섭되지 않도록 한다.The upper surface of the moving stage 215 is installed in an area where the level block 213 is connected so that the top level of the level block 213 is not higher than the top surface of the moving stage 215 even if the level block 213 is connected. The groove 215b is formed. Thus, the substrate is not interfered with the level block 213 when it is seated on the moving stage 215.

또한, 상기 이동 스테이지(215)의 상면에는 후술되는 측부 클램핑부(230)가 슬라이딩 되는 복수의 측부 가이드 홈(215a)이 형성된다. 상기 측부 가이드 홈(215a)은 이동 스테이지(215)의 상면에서 Y축 방향으로 형성된다.In addition, a plurality of side guide grooves 215a are formed on the upper surface of the moving stage 215 to slide the side clamping part 230 to be described later. The side guide groove 215a is formed in the Y-axis direction on the upper surface of the moving stage 215.

그리고, 상기 한 쌍의 이동 스테이지(215)에는 상기 고정 스테이지바(220) 방향, 즉 Y축 방향으로 슬라이딩 되면서 기판의 측부를 클램핑하는 측부 클램핑부(230)가 각각 설치된다.In addition, the pair of moving stages 215 are provided with side clamping portions 230 that clamp the side portions of the substrate while sliding in the fixed stage bar 220 direction, that is, the Y-axis direction.

상기 측부 클램핑부(230)는 상기 이동 플레이트(211)의 상면에 설치되어 상기 고정 스테이지바(220) 방향으로 이동되는 측부 클램핑 플레이트(231)와; 상기 측부 클램핑 플레이트(231)의 측부에 복수개가 설치되어 상기 측부 가이드 홈(215a)을 따라 슬라이딩되면서 상기 측부 클램핑 플레이트(231)를 지지하는 측부 클램핑 롤러(233)와; 상기 측부 클램핑 플레이트(231)의 측부에 복수개가 설치되어 기판의 측면을 밀착하여 지지하는 측부 클램핑 패드(235)를 포함한다.The side clamping part 230 is installed on the upper surface of the moving plate 211 and the side clamping plate 231 which is moved in the direction of the fixed stage bar 220; A side clamping roller 233 installed on a side of the side clamping plate 231 and sliding along the side guide groove 215a to support the side clamping plate 231; The side clamping plate 231 includes a plurality of side clamping pads 235 disposed on the side of the side clamping plate 231 to closely support the side surfaces of the substrate.

상기 측부 클램핑 플레이트(231)를 Y축 방향으로 슬라이딩시키기 위하여 상기 이동 플레이트(211)의 상면에는 Y축 방향으로 Y축 클램핑 레일(241)이 형성되고, 상기 Y축 클램핑 레일(241)에는 Y축 방향으로 활주되는 Y축 클램핑 이동블럭(243) 구비되고, 상기 Y축 클램핑 이동블럭(243)에 상기 측부 클램핑 플레이트(231)가 고정된다.In order to slide the side clamping plate 231 in the Y-axis direction, an upper surface of the movable plate 211 is provided with a Y-axis clamping rail 241 in the Y-axis direction, and the Y-axis clamping rail 241 in the Y-axis The Y-axis clamping moving block 243 sliding in the direction is provided, and the side clamping plate 231 is fixed to the Y-axis clamping moving block 243.

상기 측부 클램핑 플레이트(231)는 다양한 사이즈의 기판의 측부를 고정하여 정렬시키기 위하여 상기 측부 클램핑 롤러(233)와 측부 클램핑 패드(235)가 설치되는 수단으로서, 상기 이동 플레이트(211)의 X축 방향 전체 영역에 해당되는 길이로 구비될 수 있으나 장치를 간소화하기 위하여 상기 이동 플레이트(211)의 X축 방향 전체 영역에 걸쳐 구비되지 않고 기판의 측부 일정 영역(후단 영역, 기판이 장치로 인입될 때 인입되는 전방 영역을 전단 영역이라 정의하고, 그 반대쪽 후방 영역을 후단 영역이라 정의함)을 둘러싸는 길이로 구비되는 것이 바람직하다. The side clamping plate 231 is a means in which the side clamping roller 233 and the side clamping pads 235 are installed to fix and align the sides of substrates of various sizes, and the X-axis direction of the moving plate 211 is provided. Although it may be provided with a length corresponding to the entire area, it is not provided over the entire area of the X-axis direction of the moving plate 211 to simplify the device, but the side portion of the substrate (rear area, when the substrate is introduced into the device The front region to be defined as a front region and the opposite rear region as a rear region).

상기 측부 클램핑 롤러(233)는 상기 측부 클램핑 플레이트(231)가 이동될 때 상기 이동 스테이지(215)에 지지되도록 상기 이동 스테이지(215)의 측부 가이드 홈(215a)에서 구름작용한다.The side clamping roller 233 rolls in the side guide groove 215a of the movement stage 215 to be supported by the movement stage 215 when the side clamping plate 231 is moved.

상기 측부 클램핑 패드(235)는 상기 측부 클램핑 플레이트(231)의 내측 방향으로 구비되어 상기 측부 클램핑 플레이트(231)의 이동에 따라 기판의 측면에 밀착되면서 기판을 고정 및 정렬시킨다.The side clamping pad 235 is provided in an inner direction of the side clamping plate 231 to fix and align the substrate while being in close contact with the side surface of the substrate as the side clamping plate 231 moves.

상기와 같이 구성되는 상기 한 쌍의 이동 스테이지부(210) 사이에는 이동 스테이지(215)에 안착되는 기판의 중앙부분을 지지하도록 고정 스테이지바(220)가 설치된다.The fixed stage bar 220 is installed between the pair of moving stage units 210 configured as described above to support a central portion of the substrate seated on the moving stage 215.

고정 스테이지바(220)는 이동 스테이지(215)에 안착되는 기판의 중앙부분을 지지하여 기판이 아래로 처지는 것을 방지하고, 기판의 로딩시 센터를 잡아주는 역할을 하는 수단으로서, 바(bar) 형상으로 제작된다. 이때 상기 고정 스테이지바(220)도 이동 스테이지(215)와 마찬가지로 광이 통과할 수 있도록 투명한 재료로 제작된다. 예를 들어 유리(glass)로 제작될 수 있다. 그리고, 상기 고정 스테이지바(220)의 최상면은 상기 이동 스테이지(215)의 최상면과 동일한 높이로 형성된다. 또한, 상기 고정 스테이지바(220)의 상면에는 후술되는 전단 클램핑부(530)가 슬라이딩되는 전단 가이드 홈(221)이 형성된다. 상기 전단 가이드 홈(221)은 고정 스테이지바(220) 상면에서 X축 방향으로 형성된다.The fixed stage bar 220 supports a central portion of the substrate seated on the moving stage 215 to prevent the substrate from sagging downward, and serves to hold the center when loading the substrate, and has a bar shape. Is produced by. In this case, the fixed stage bar 220 is also made of a transparent material to allow light to pass through like the moving stage 215. For example, it may be made of glass. The top surface of the fixed stage bar 220 is formed at the same height as the top surface of the moving stage 215. In addition, the upper surface of the fixed stage bar 220 is formed with a front guide groove 221 for sliding the front clamping portion 530 to be described later. The front guide groove 221 is formed in the X-axis direction on the upper surface of the fixed stage bar 220.

상기 이송 스테이지부(210) 및 고정 스테이지바(220)는 베이스 테이블(100)에 설치되는 하우징(500) 상에 구비된다.The transfer stage unit 210 and the fixed stage bar 220 are provided on the housing 500 installed in the base table 100.

상기 하우징(500)은 상기 이동 스테이지부(210) 및 고정 스테이지바(220)가 설치되는 바닥면이 형성되고, 상기 이동 스테이지부(210) 및 고정 스테이지바(220)를 둘러싸는 측벽이 형성된다.The housing 500 has a bottom surface on which the moving stage unit 210 and the fixed stage bar 220 are installed, and side walls surrounding the moving stage unit 210 and the fixed stage bar 220 are formed. .

상기 하우징(500)의 측벽에는 상기 이동 스테이지부(210)와 고정 스테이지바(220) 사이로 기판을 로딩 및 언로딩시키는 이송 로봇암이 출입되는 출입구(501)가 개구된다. The sidewall of the housing 500 has an entrance 501 through which the transfer robot arm for loading and unloading the substrate is opened between the moving stage 210 and the fixed stage bar 220.

상기 출입구(501)의 최상면은 적어도 상기 이동 플레이트(211)의 최상면보다 상기 이송 로봇암의 높이만큼 낮게 형성되는 것이 바람직하다. 그래서 이송 로봇암이 기판을 지지한 상태로 출입구(501)로 인입될 때 기판의 높이가 상기 이동 플레이트(211) 및 상기 고정 스테이지바(220)의 상면에 대응하는 높이로 인입될 수 있도록 한다.The top surface of the entrance 501 is preferably formed at least as high as the height of the transfer robot arm than the top surface of the moving plate 211. Thus, when the transfer robot arm is introduced into the doorway 501 while supporting the substrate, the height of the substrate may be introduced into a height corresponding to the upper surfaces of the moving plate 211 and the fixed stage bar 220.

또한, 상기 하우징(500)에서 출입구(501)가 형성되는 측벽의 상면 중 적어도 이송 로봇암에 지지된 기판이 출입되는 영역의 높이는 상기 이동 플레이트(211) 및 상기 고정 스테이지바(220)의 최상면보다 낮게 형성되는 것이 바람직하다. 그래서 이송 로봇암이 기판을 지지한 상태로 출입구(501)로 인입될 때 기판의 높이가 상기 이동 플레이트(211) 및 상기 고정 스테이지바(220)의 상면에 대응하는 높이로 인입되는 것에 간섭이 발생되지 않도록 한다.In addition, the height of an area where the substrate supported by the transfer robot arm enters and exits at least one of the upper surfaces of the sidewalls on which the doorway 501 is formed in the housing 500 is greater than the top surfaces of the movable plate 211 and the fixed stage bar 220. It is desirable to form low. Thus, when the transfer robot arm enters the doorway 501 while supporting the substrate, interference occurs when the height of the substrate is drawn to a height corresponding to the upper surfaces of the moving plate 211 and the fixed stage bar 220. Do not

한편, 상기 하우징(500)의 측벽에는 이동 스테이지(215)에 안착되는 기판의 전단을 클램핑하는 전단 클램핑부(530)가 설치된다.Meanwhile, a shear clamping part 530 is provided on the sidewall of the housing 500 to clamp the front end of the substrate seated on the moving stage 215.

상기 전단 클램핑부(530)는 상기 하우징(500)의 측벽에 설치되어 상기 출입구(501)의 반대편에서 출입구 방향, 즉 X축 방향으로 슬라이딩 되어 기판의 전단을 고정하여 정렬시키는 수단으로서, 상기 전단 클램핑부(530)는 상기 하우징(500)의 측벽에 설치되어 상기 출입구 방향으로 이동되는 전단 클램핑 플레이트(531)와; 상기 전단 클램핑 플레이트(531)의 후단에 설치되어 상기 전단 가이드 홈(221)을 따라 슬라이딩되면서 상기 전단 클램핑 플레이트(531)를 지지하는 전단 클램핑 롤러(533)와; 상기 전단 클램핑 플레이트(531)의 후단에 복수개가 설치되어 기판의 전단을 밀착하여 지지하는 전단 클램핑 패드(535)를 포함한다.The shear clamping portion 530 is installed on the sidewall of the housing 500 and is a means for sliding and aligning the front end of the substrate by sliding in the direction of the doorway, that is, in the X-axis direction from the opposite side of the doorway 501. The part 530 may include a shear clamping plate 531 installed on a side wall of the housing 500 and moving in the direction of the doorway; A shear clamping roller 533 installed at a rear end of the shear clamping plate 531 and supporting the shear clamping plate 531 while sliding along the shear guide groove 221; A plurality of shear clamping pads 535 are installed at a rear end of the shear clamping plate 531 to closely support the front end of the substrate.

상기 전단 클램핑 플레이트(531)를 X축 방향으로 슬라이딩시키기 위하여 상기 하우징의 측벽에는 X축 방향으로 X축 클램핑 레일(541)이 형성되고, 상기 X축 클램핑 레일(541)에는 X축 방향으로 활주되는 X축 클램핑 이동블럭(543) 구비되고, 상기 X축 클램핑 이동블럭(543)에 상기 측부 클램핑 플레이트(231)가 고정된다.In order to slide the front clamping plate 531 in the X-axis direction, an X-axis clamping rail 541 is formed on the sidewall of the housing in the X-axis direction, and the X-axis clamping rail 541 slides in the X-axis direction. An X-axis clamping moving block 543 is provided, and the side clamping plate 231 is fixed to the X-axis clamping moving block 543.

상기 전단 클램핑 플레이트(531)는 다양한 사이즈의 기판의 전단을 밀착하여 정렬시키기 위하여 상기 측부 클램핑 롤러(233)와 측부 클램핑 패드(235)가 설치되는 수단으로서, 양측 단부가 상기 X축 클램핑 이동블럭(543)에 고정된다.The shear clamping plate 531 is a means in which the side clamping roller 233 and the side clamping pad 235 are installed in order to closely align the front ends of substrates of various sizes, and both end portions of the front clamping plate 531 543).

상기 전단 클램핑 롤러(533)는 상기 전단 클램핑 플레이트(531)가 이동될 때 상기 고정 스테이지바(220)에 지지되도록 상기 고정 스테이지바(220)의 전단 가이드 홈(221)에서 구름작용한다.The shear clamping roller 533 rolls in the shear guide groove 221 of the fixed stage bar 220 to be supported by the fixed stage bar 220 when the shear clamping plate 531 is moved.

상기 전단 클램핑 패드(535)는 상기 전단 클램핑 플레이트(531)의 내측 방향으로 구비되어 상기 전단 클램핑 플레이트(531)의 이동되어 배치되는 위치에 따라 기판의 전단이 진입되는 최대 영역을 제한한다.The shear clamping pad 535 is provided in the inward direction of the shear clamping plate 531 to limit the maximum area into which the front end of the substrate enters according to a position where the shear clamping plate 531 is moved and disposed.

한편, 상기 베이스 테이블(100)에는 상기 기판 안착 유닛(200)에 안착되는 기판을 리페어하는 기판 처리 수단을 포함한다. 상기 기판 처리 수단은 본 실시예에서 기판을 리페어 하는 수단을 예로 하여 설명하였지만, 이에 한정되지 않고 기판을 처리하는 수단 예를 들어 코팅 수단, 액정 적하 수단 등 다양한 기판 처리 수단으로 변경되어 적용될 수 있을 것이다.On the other hand, the base table 100 includes a substrate processing means for repairing the substrate seated on the substrate mounting unit 200. The substrate processing means has been described as an example of a means for repairing a substrate in this embodiment. However, the substrate processing means is not limited thereto, and may be changed and applied to various substrate processing means such as, for example, a coating means and a liquid crystal dropping means. .

상기 기판 처리 수단은 상기 베이스 테이블(100) 상에 설치되고 베이스 테이블 상에서 적어도 X축 및 Y축 방향으로 이동하는 이동 유닛(300)과; 상기 이동 유닛(300)에 설치되어 기판을 리페어 하는 리페어 유닛(400)을 포함한다.The substrate processing means includes: a moving unit (300) installed on the base table (100) and moving in at least X and Y axis directions on the base table; It is installed in the mobile unit 300 includes a repair unit 400 for repairing the substrate.

상기 이동 유닛(300)은 상기 베이스 테이블(100) 상에서 적어도 X축 및 Y축 방향으로 이동하는 수단으로서, 상기 이동 유닛(300)은 상기 베이스 테이블(100) 상에 평행하게 구비되는 한 쌍의 가이드 레일(310)과; 상기 한 쌍의 가이드 레일(310)에서 각각 활주되는 한 쌍의 구동블럭(320)과; 양측이 각각 상기 한 쌍의 구동블럭(320)에 지지되어 상기 구동블럭(320)과 함께 이송되는 크로스 빔(330)과; 상기 크로스 빔(330)에 설치되어 상기 크로스 빔(330)을 따라 활주되고, 기판을 리페어하는 리페어 유닛(400)이 장착되는 헤드(340)를 포함한다.The moving unit 300 is a means for moving in at least the X-axis and Y-axis directions on the base table 100, and the moving unit 300 is provided on the base table 100 in parallel with a pair of guides. Rail 310; A pair of drive blocks 320 slid from the pair of guide rails 310, respectively; A cross beam 330 which is supported at both sides of the pair of drive blocks 320 and is transferred together with the drive blocks 320; The head 340 is installed on the cross beam 330 and slides along the cross beam 330, and is equipped with a repair unit 400 for repairing a substrate.

가이드 레일(310)은 상기 베이스 테이블(100)의 가장자리에 상호 나란하게 이격되어 평행하게 한 쌍이 구비된다.The guide rail 310 is provided with a pair parallel to the edge of the base table 100 spaced apart from each other in parallel.

구동블럭(320)은 상기 가이드 레일(310)에 대응하여 한 쌍으로 마련된다. 한 쌍의 구동블럭(320)은 한 쌍의 가이드 레일(310)에 안내되어 가이드 레일(310)의 길이방향, 즉 X축 방향으로 따라 활주 된다. 이때 상기 구동블럭(320) 중 적어도 하나에는 구동을 위한 구동수단(미도시)이 구비된다. 상기 구동수단은 예를 들어 직선운동을 발생하는 리니어 모터 및 볼스크류와 볼스크를 회전시키는 모터의 조합일 수 있다. 물론 이에 한정되지 않고, 상기 구동블럭(320)을 가이드 레일(310) 상에서 활주시키는 동작을 제어할 수 있다면 어떠한 방식이 적용되어도 무방하다.The driving blocks 320 are provided in pairs corresponding to the guide rails 310. The pair of drive blocks 320 are guided by the pair of guide rails 310 and slide along the longitudinal direction of the guide rail 310, that is, in the X-axis direction. In this case, at least one of the driving blocks 320 is provided with driving means (not shown) for driving. The driving means may be, for example, a combination of a linear motor for generating linear motion and a motor for rotating the ball screw and the ball screw. Of course, the present invention is not limited thereto, and any method may be applied as long as the driving block 320 can be controlled to slide on the guide rail 310.

크로스 빔(330)은 양측이 상기 한 쌍의 구동블럭(320)에 각각 설치되어 상기 구동블럭(320)의 구동에 의해 상기 가이드 레일(310)을 따라 활주된다. 크로스 빔(30)은 대략 사각 단면의 긴 막대 형상으로 마련될 수 있으나, 이에 한정되지 않고 다양한 형상의 빔(beam) 타입으로 형성될 수 있다.Both sides of the cross beam 330 are installed on the pair of drive blocks 320, and slide along the guide rail 310 by the drive block 320. The cross beam 30 may be provided in a long bar shape having a substantially rectangular cross section, but is not limited thereto and may be formed in a beam type having various shapes.

그리고, 상기 크로스 빔(330)에는 상기 크로스 빔(330)을 따라 Y축 방향으로 활주되는 헤드(340)가 설치된다. 상기 헤드(340)는 크로스 빔(330)의 길이 방향, 즉 Y축 방향을 따라 활주 가능하도록 상기 구동블럭(320)과 마찬가지로 구동수단(미도시)이 구비된다. 이렇게 크로스 빔(330)을 따라 활주되는 헤드(340)에는 기판을 리페어하는 리페어 유닛(400)이 장착된다.The cross beam 330 is provided with a head 340 that slides in the Y-axis direction along the cross beam 330. The head 340 is provided with driving means (not shown) similarly to the driving block 320 so as to slide in the longitudinal direction of the cross beam 330, that is, the Y-axis direction. The head 340 sliding along the cross beam 330 is equipped with a repair unit 400 for repairing a substrate.

상기 크로스 빔(330)에는 상기 헤드(340)를 Z축 방향으로 이동시키는 이동 수단이 더 설치될 수 있다.The cross beam 330 may be further provided with a moving means for moving the head 340 in the Z-axis direction.

상기 리페어 유닛(400)은 기판의 결함부위를 리페어하는 레이저부(410)를 포함한다.The repair unit 400 includes a laser unit 410 for repairing a defective portion of the substrate.

레이저부(410)는 기판 상의 결함을 제거하기 위한 수단으로서, 레이저 빔을 발생시키는 레이저 발진기와, 레이저 빔을 집광하는 집광 렌즈, 레이저빔의 이동 통로를 제공하는 레이저 헤드로 구성될 수 있다. 그래서 상기 레이저 발진기로부터 발생되는 레이저빔이 중첩된 신호선 등을 절단하여 기판의 결함을 리페어하게 된다. 물론 상기 레이저부(410)의 구성은 제시된 실시예에 한정되지 않고, 기판을 리페어할 수 있는 다양한 방식으로 구현될 수 있다. 또한, 상기 리페어 유닛(400)에는 레이저부(410)와 함께 기판 상의 결함 영역을 검사하기 위한 수단 및 리페어된 기판 회로의 개방/단락을 검사하기 위한 수단이 함께 구비될 수 있다.The laser unit 410 may include a laser oscillator for generating a laser beam, a condenser lens for condensing the laser beam, and a laser head for providing a movement path of the laser beam as means for removing defects on the substrate. As a result, the defects of the substrate are repaired by cutting the signal lines overlapped with the laser beams generated from the laser oscillator. Of course, the configuration of the laser unit 410 is not limited to the embodiment shown, and may be implemented in various ways to repair the substrate. In addition, the repair unit 400 may be provided with a laser unit 410 together with a means for inspecting a defective area on the substrate and a means for inspecting an open / short circuit of the repaired substrate circuit.

그리고, 상기 베이스 테이블(100) 상에는 상기 레이저부(410)로 빛을 전달하는 광원(미도시)이 구비된다.
A light source (not shown) for transmitting light to the laser unit 410 is provided on the base table 100.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리 장치에 기판을 안착시키는 과정을 도면을 참조하여 설명한다.A process of seating a substrate on a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention configured as described above will be described with reference to the drawings.

도 2a 및 도 2b는 기판을 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리 장치에 로딩하는 것을 보여주는 사시도이다.2A and 2B are perspective views illustrating loading a substrate into a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2a에 도시된 바와 같이 일정 사이즈의 기판(10)이 기판 안착 유닛(200)으로 로딩되는 것이 결정되면 기판(10)의 사이즈에 대응하여 전단 클램핑부(530)가 X축 방향으로 슬라이딩 된다. 이때 전단 클램핑부(530)의 전단 클램핑 롤러(533)가 고정 스테이지바(220)의 전단 가이드 홈(221)을 따라 지지되면서 활주되어 전단 클램핑 패드(535)가 기판(10)의 전단을 밀착하여 지지할 위치에 배치된다.As shown in FIG. 2A, when it is determined that the substrate 10 having a predetermined size is loaded into the substrate seating unit 200, the shear clamping portion 530 slides in the X-axis direction corresponding to the size of the substrate 10. At this time, the shear clamping roller 533 of the shear clamping unit 530 slides while being supported along the shear guide groove 221 of the fixed stage bar 220 so that the shear clamping pad 535 closely contacts the front end of the substrate 10. It is placed in the position to support.

그리고, 기판(10)이 지지된 이송 로봇암(11)이 하우징(500)의 출입구(501)를 통하여 기판 안착 유닛(200)으로 진입한다. 이때 이송 로봇암(11)은 한 쌍의 이동 스테이지(215)와 고정 스테이지바(220) 사이의 이격 공간으로 진입되고, 진입과정은 기판(10)의 전단이 전단 클램핑 패드(535)에 접촉될 때까지 진행된다. 이렇게 기판(10)이 진입되는 동안 이송 로봇암(11)에 지지된 기판은 이동 스테이지(215)와 고정 스테이지바(220)의 최상면 높이와 같은 높이를 유지하면서 진입되어 기판이 직접 이동 스테이지(215)와 고정 스테이지바(220)의 상면에 안착된다.Then, the transfer robot arm 11 on which the substrate 10 is supported enters the substrate seating unit 200 through the entrance 501 of the housing 500. At this time, the transfer robot arm 11 enters into the spaced space between the pair of moving stages 215 and the fixed stage bar 220, and the entry process is such that the front end of the substrate 10 is in contact with the shear clamping pad 535. Proceed until. In this way, the substrate supported by the transfer robot arm 11 while entering the substrate 10 enters while maintaining the same height as the top surface height of the moving stage 215 and the fixed stage bar 220, so that the substrate moves directly to the moving stage 215. And the upper surface of the fixed stage bar 220.

이렇게 기판(10)이 이동 스테이지(215)와 고정 스테이지바(220)의 상면에 안착 되었다면 도 2b에 도시된 바와 같이 이송 로봇암(11)은 출입구를 통하여 하우징(500)의 외부로 인출된다. 그리고, 한 쌍의 측부 클램핑부(230)가 Y축을 따라 내측 방향으로 슬라이딩 된다. 이때 측부 클램핑부(230)의 측부 클램핑 롤러(233)가 이동 스테이지(215)의 측부 전단 가이드 홈(221)을 따라 지지되면서 활주되어 측부 클램핑 패드(235)가 기판(10)의 양측 측면을 밀착하여 지지하는 동시에 정렬된다.
If the substrate 10 is mounted on the upper surface of the movable stage 215 and the fixed stage bar 220 as described above, the transfer robot arm 11 is drawn out of the housing 500 through the entrance and exit. Then, the pair of side clamping portions 230 slide inward along the Y axis. At this time, the side clamping roller 233 of the side clamping unit 230 is slid along the side shear guide groove 221 of the moving stage 215 so that the side clamping pad 235 is in close contact with both sides of the substrate 10 Support and are aligned at the same time.

한편, 다양한 사이즈의 기판 안착을 위하여 기판 안착 유닛을 작동하는 설명을 도면을 참조하여 설명하도록 한다.On the other hand, the description of the operation of the substrate mounting unit for mounting the substrate of various sizes will be described with reference to the drawings.

도 3a 및 도 3b는 기판의 사이즈에 따라 본 발명의 일실시예에 따른 기판 안착 유닛의 사이즈를 조절하는 것을 보여주는 평면도이다.3A and 3B are plan views illustrating adjusting a size of a substrate seating unit according to an embodiment of the present invention according to a size of a substrate.

도 3a에 도시된 바와 같이 대형 기판(10a)(예를 들어 40 ~ 50인치 형)의 경우 한 쌍의 이동 플레이트(211) 상호 간의 간격을 최대한 이격시켜 이동 스테이지(215)가 최대한 이격되도록 한다. 이때 전단 클램프부(510)도 기판(10a)의 전단방향과 동일한 방향(외측 방향)으로 이동하여 기판(10a)이 이동 스테이지(215)에 안착될 수 있는 영역을 확보하는 것이 바람직하다.As shown in FIG. 3A, in the case of the large substrate 10a (for example, 40 to 50 inches), the moving stage 215 may be spaced apart as much as possible by spaced apart from each other as much as possible. In this case, it is preferable that the front end clamp part 510 also moves in the same direction (outward direction) as the front end direction of the substrate 10a to secure an area where the substrate 10a can be seated on the movement stage 215.

도 3b에 도시된 바와 같이 소형 기판(10b)(예를 들어 15.6 ~ 32인치 형)의 경우 한 쌍의 이동 플레이트(211) 상호 간의 간격을 좁혀서 기판(10)의 가장 자리 영역을 한 쌍의 이동 스테이지(215)가 지지할 수 있도록 한다. 이때 전단 클램프부(510)도 기판의 후단방향과 동일한 방향(내측 방향)으로 이동하여 기판(10)이 이동 스테이지(215)에 안착될 수 있는 영역을 확보하는 것이 바람직하다.As shown in FIG. 3B, in the case of the small substrate 10b (for example, 15.6 to 32 inches), the pair of moving plates 211 are narrowed to move a pair of edge regions of the substrate 10. Allow the stage 215 to support it. In this case, it is preferable that the front clamp portion 510 also moves in the same direction (inner direction) as the rear end direction of the substrate to secure an area where the substrate 10 can be seated on the movement stage 215.

한편, 본 발명은 전술된 설명과 같이 베이스 테이블(100) 상에 기판 안착 유닛(200)을 하나 구비하는 것에 한정되지 않고, 기판 안착 유닛(200)을 복수개 구비할 수 있다.Meanwhile, the present invention is not limited to having one substrate mounting unit 200 on the base table 100 as described above, but may include a plurality of substrate mounting units 200.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 처리 장치를 보여주는 사시도로서, 도 4에 도시된 바와 같이 하나의 베이스 테이블(100) 상에 두 개의 기판 안착 유닛(200a,200b)을 구비할 수 있다. 이때 이동 유닛(300) 및 리페어 유닛(400)은 도 4에 도시된 바와 같이 각각 한 세트가 구비될 수 있고, 기판 안착 유닛(200a,200b)의 개수에 대응하는 개수로 구비될 수 있다.
4 is a perspective view illustrating a substrate processing apparatus according to another embodiment of the present invention. As shown in FIG. 4, two substrate mounting units 200a and 200b may be provided on one base table 100. . In this case, one set of the mobile unit 300 and the repair unit 400 may be provided as shown in FIG. 4, and may be provided in a number corresponding to the number of the substrate mounting units 200a and 200b.

본 발명은 상기에서 서술된 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있다. 즉, 상기의 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명의 범위는 본원의 특허 청구 범위에 의해서 이해되어야 한다.
The present invention is not limited to the above-described embodiments, but may be implemented in various forms. That is, the above embodiments are provided to make the disclosure of the present invention complete and to fully inform those skilled in the art of the scope of the present invention, and the scope of the present invention should be understood by the claims of the present application. .

100: 베이스 테이블 200: 기판 안착 유닛
210: 스테이지부 211: 이동 플레이트
213: 레벨 블럭 215: 이동 스테이지
220: 고정 스테이지바 230: 측부 클램핑부
231: 측부 클램핑 플레이트 233: 측부 클램핑 롤러
233: 측부 클램핑 패드 300: 이동 유닛
310: 가이드 레일 320: 구동블럭
330: 크로스 빔 334: 헤드
400: 리페어 유닛 410: 레이저부
500: 하우징 501: 출입구
510: 전단 클램핑부 511: 전단 클램핑 플레이트
513: 전단 클램핑 롤러 515: 전단 클램핑 패드100: base table 200: substrate mounting unit
210: stage portion 211: moving plate
213: level block 215: movement stage
220: fixed stage bar 230: side clamping portion
231: side clamping plate 233: side clamping roller
233: side clamping pad 300: moving unit
310: guide rail 320: drive block
330: cross beam 334: head
400: repair unit 410: laser unit
500: housing 501: doorway
510: shear clamping portion 511: shear clamping plate
513: shear clamping roller 515: shear clamping pad

Claims (17)

기판이 안착되는 기판 안착 유닛으로서,
기판의 사이즈에 대응하여 상호 간의 간격이 조절되는 한 쌍의 이동 스테이지부와;
상기 한 쌍의 이동 스테이지부 사이에 배치되어 기판의 중앙부분이 안착되는 고정 스테이지바를 포함하는 기판 안착 유닛.A substrate mounting unit on which a substrate is mounted,
A pair of moving stage units whose distances are adjusted to correspond to the size of the substrate;
And a fixed stage bar disposed between the pair of moving stages to seat a central portion of the substrate. 청구항 1에 있어서, 상기 각각의 이동 스테이지부는
상기 고정 스테이지바 방향으로 근접 또는 이격되도록 평행하게 슬라이딩되는 이동 플레이트와;
상기 이동 플레이트에 구비되는 복수의 레벨 블럭과;
상기 레벨 블럭에 설치되어 설치 레벨이 조절되고, 상기 이동 플레이트와 일체로 슬라이딩되며, 기판이 안착되는 이동 스테이지를 포함하는 기판 안착 유닛.The method of claim 1, wherein each of the moving stage unit
A moving plate that slides in parallel to be proximate or spaced apart in the fixed stage bar direction;
A plurality of level blocks provided in the moving plate;
And a moving stage installed at the level block to adjust an installation level, to slide integrally with the moving plate, and to mount the substrate. 청구항 2에 있어서,
상기 이동 플레이트는 적어도 상기 이동 스테이지에 안착되는 기판이 위치되는 영역의 직하방이 개구되고,
상기 이동 스테이지는 투명한 재료로 형성되는 기판 안착 유닛.The method according to claim 2,
The moving plate has at least an opening directly below a region in which the substrate seated on the moving stage is located,
And the moving stage is formed of a transparent material. 청구항 2에 있어서,
상기 이동 스테이지의 최상면과 상기 고정 스테이지바의 최상면은 동일한 높이로 형성되는 기판 안착 유닛.The method according to claim 2,
And a top surface of the movable stage and a top surface of the fixed stage bar are formed at the same height. 청구항 2에 있어서,
상기 이동 플레이트에 설치되어 상기 고정 스테이지바 방향으로 슬라이딩 되어 기판의 측부를 클램핑하는 측부 클램핑부를 더 포함하는 기판 안착 유닛.The method according to claim 2,
And a side clamping part installed on the moving plate and sliding in a direction of the fixed stage bar to clamp the side of the substrate. 청구항 5에 있어서,
상기 이동 스테이지의 상면에는 상기 측부 클램핑부의 슬라이딩 방향과 대응하는 방향으로 복수의 측부 가이드 홈이 형성되고,
상기 측부 클램핑부는
상기 이동 플레이트의 상면에 설치되어 상기 고정 스테이지바 방향으로 이동되는 측부 클램핑 플레이트와;
상기 측부 클램핑 플레이트의 측부에 복수개가 설치되어 상기 측부 가이드 홈을 따라 슬라이딩되면서 상기 측부 클램핑 플레이트를 지지하는 측부 클램핑 롤러와;
상기 측부 클램핑 플레이트의 측부에 복수개가 설치되어 기판의 측면을 밀착하여 지지하는 측부 클램핑 패드를 포함하는 기판 안착 유닛.The method according to claim 5,
A plurality of side guide grooves are formed on an upper surface of the moving stage in a direction corresponding to the sliding direction of the side clamping portion,
The side clamping portion
A side clamping plate installed on an upper surface of the moving plate and moving in a direction of the fixed stage bar;
A side clamping roller installed on a side of the side clamping plate and sliding along the side guide groove to support the side clamping plate;
A substrate mounting unit comprising a side clamping pad is installed on the side of the side clamping plate to support the side of the substrate in close contact. 청구항 1에 있어서,
상기 이동 스테이지부 및 고정 스테이지바가 설치되는 바닥면이 형성되고, 상기 이동 스테이지부 및 고정 스테이지바를 둘러싸는 측벽이 형성되는 하우징을 더 포함하고,
상기 하우징의 측벽에는 상기 이동 스테이지부와 고정 스테이지바 사이로 기판을 로딩 및 언로딩시키는 이송 로봇암이 출입되는 출입구가 개구되는 기판 안착 유닛.The method according to claim 1,
A housing having a bottom surface on which the movable stage part and the fixed stage bar are installed, and a side wall surrounding the movable stage part and the fixed stage bar is further formed;
And a doorway through which a transfer robot arm for loading and unloading a substrate is opened between the movable stage and the fixed stage bar. 청구항 7에 있어서,
상기 하우징에서 출입구가 형성되는 측벽의 상면 중 적어도 이송 로봇암에 지지된 기판이 출입되는 영역의 높이는 상기 고정 스테이지바의 최상면보다 낮게 형성되는 기판 안착 유닛.The method according to claim 7,
And at least a height of an area in which the substrate supported by the transfer robot arm enters and exits from an upper surface of the sidewall on which the entrance and exit are formed is lower than a top surface of the fixed stage bar. 청구항 7에 있어서,
상기 하우징의 측벽에 설치되어 상기 출입구의 반대편에서 출입구 방향으로 슬라이딩 되어 기판의 전단을 클램핑하는 전단 클램핑부를 더 포함하는 기판 안착 유닛.The method according to claim 7,
And a shear clamping part installed at a side wall of the housing to slide in a direction toward the entrance from the opposite side of the entrance to clamp the front end of the substrate. 청구항 9에 있어서,
상기 고정 스테이지바의 상면에는 상기 전단 클램핑부의 슬라이딩 방향과 대응하는 방향으로 전단 가이드 홈이 형성되고,
상기 전단 클램핑부는
상기 하우징의 측벽에 설치되어 상기 출입구 방향으로 이동되는 전단 클램핑 플레이트와;
상기 전단 클램핑 플레이트의 후단에 설치되어 상기 전단 가이드 홈을 따라 슬라이딩되면서 상기 전단 클램핑 플레이트를 지지하는 전단 클램핑 롤러와;
상기 전단 클램핑 플레이트의 후단에 복수개가 설치되어 기판의 전단을 밀착하여 지지하는 전단 클램핑 패드를 포함하는 기판 안착 유닛.The method according to claim 9,
A front guide groove is formed on an upper surface of the fixed stage bar in a direction corresponding to the sliding direction of the front clamping portion.
The shear clamping portion
A shear clamping plate installed on a side wall of the housing and moving in the direction of the doorway;
A shear clamping roller installed at a rear end of the shear clamping plate and supporting the shear clamping plate while sliding along the shear guide groove;
And a plurality of front end clamping pads installed at a rear end of the front end clamping plate to closely support the front end of the substrate. 기판을 처리하는 장치로서,
베이스 테이블과;
상기 베이스 테이블에 설치되고, 기판의 사이즈에 대응하여 상호 간의 간격이 조절되며, 기판이 안착되는 한 쌍의 이동 스테이지부 구비되고, 상기 한 쌍의 이동 스테이지부 사이에 배치되어 기판의 중앙부분이 안착되는 고정 스테이지바가 구비되는 적어도 하나 이상의 기판 안착 유닛과;
상기 베이스 테이블 상에 설치되어 상기 기판 안착 유닛에 안착되는 기판을 처리하는 기판 처리 수단을 포함하는 기판 처리 장치.An apparatus for processing a substrate,
A base table;
It is installed on the base table, the distance between each other is adjusted according to the size of the substrate, and provided with a pair of moving stage portion is seated on the substrate, disposed between the pair of the movement stage portion to seat the central portion of the substrate At least one substrate mounting unit having a fixed stage bar;
And substrate processing means installed on the base table to process a substrate seated on the substrate mounting unit. 청구항 11에 있어서, 상기 안착 유닛 각각의 이동 스테이지부는
상기 고정 스테이지바 방향으로 근접 또는 이격되도록 평행하게 슬라이딩되는 이동 플레이트와;
상기 이동 플레이트에 구비되는 복수의 레벨 블럭과;
상기 레벨 블럭에 설치되어 설치 레벨이 조절되고, 상기 이동 플레이트와 일체로 슬라이딩되며, 기판이 안착되는 이동 스테이지를 포함하는 기판 처리 장치.The method according to claim 11, wherein the moving stage of each of the seating unit
A moving plate that slides in parallel to be proximate or spaced apart in the fixed stage bar direction;
A plurality of level blocks provided in the moving plate;
And a moving stage installed at the level block to adjust an installation level, to slide integrally with the moving plate, and to mount a substrate. 청구항 12에 있어서, 상기 안착 유닛은
상기 이동 스테이지부 및 고정 스테이지바가 설치되는 바닥면이 형성되고, 상기 이동 스테이지부 및 고정 스테이지바를 둘러싸는 측벽이 형성되며, 상기 측벽에는 상기 이동 스테이지부와 고정 스테이지바 사이로 기판을 로딩 및 언로딩시키는 이송 로봇암이 출입되는 출입구가 개구되는 하우징과;
상기 이동 플레이트에 설치되어 상기 고정 스테이지바 방향으로 슬라이딩 되어 기판의 측부를 클램핑하는 측부 클램핑부과;
상기 하우징의 측벽에 설치되어 상기 출입구의 반대편에서 출입구 방향으로 슬라이딩 되어 기판의 전단을 클램핑하는 전단 클램핑부를 더 포함하는 기판 처리 장치.The method of claim 12, wherein the seating unit
A bottom surface on which the movable stage part and the fixed stage bar are installed is formed, and sidewalls surrounding the movable stage part and the fixed stage bar are formed, and the sidewalls are configured to load and unload a substrate between the movable stage part and the fixed stage bar. A housing through which an entrance and exit through which the transfer robot arm enters and exits is opened;
A side clamping part installed on the moving plate and sliding in a direction of the fixed stage bar to clamp the side of the substrate;
And a shear clamping part installed at a side wall of the housing to slide in a direction toward the entrance from the opposite side of the entrance to clamp the front end of the substrate. 청구항 13에 있어서,
상기 출입구의 최상면은 적어도 상기 이동 플레이트의 최상면보다 상기 이송 로봇암의 높이만큼 낮게 형성되는 기판 처리 장치.The method according to claim 13,
And the top surface of the doorway is at least lower than the top surface of the moving plate by the height of the transfer robot arm. 청구항 11에 있어서, 상기 기판 처리 수단은
상기 베이스 테이블 상에 설치되고 베이스 테이블 상에서 적어도 X축 및 Y축 방향으로 이동하는 이동 유닛과;
상기 이동 유닛에 설치되어 기판을 리페어 하는 리페어 유닛을 포함하는 기판 처리 장치.The method according to claim 11, wherein the substrate processing means
A moving unit installed on the base table and moving in at least X and Y axis directions on the base table;
And a repair unit installed in the moving unit to repair the substrate. 청구항 15에 있어서, 상기 이동 유닛은
상기 베이스 테이블 상에 평행하게 구비되는 한 쌍의 가이드 레일과;
상기 한 쌍의 가이드 레일에서 각각 활주되는 한 쌍의 구동블럭과;
양측이 각각 상기 한 쌍의 구동블럭에 지지되어 상기 구동블럭과 함께 이송되는 크로스 빔과;
상기 크로스 빔에 설치되어 상기 크로스 빔을 따라 활주되고, 기판을 리페어하는 리페어 유닛이 장착되는 헤드를 포함하는 기판 처리 장치.The method of claim 15, wherein the mobile unit
A pair of guide rails provided in parallel on the base table;
A pair of drive blocks slid from the pair of guide rails, respectively;
A cross beam having both sides supported by the pair of drive blocks, the cross beams being transported together with the drive blocks;
And a head mounted on the cross beam and slid along the cross beam, the head having a repair unit for repairing the substrate. 청구항 15에 있어서,
상기 리페어 유닛은 기판의 결함부위를 리페어하는 레이저부를 포함하고,
상기 베이스 테이블 상에는 상기 레이저부로 빛을 전달하는 광원이 구비되는 기판 처리 장치.
The method according to claim 15,
The repair unit includes a laser unit for repairing a defective portion of the substrate,
And a light source for transmitting light to the laser unit on the base table.
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