KR20120019297A - Stacked probe unit - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 프로브 유니트에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 프로브 핀이 수평방향으로 삽입되고 프로브 핀별로 용이하게 분리될 수 있도록 하여 프로브 핀의 선택적 교체를 용이하게 함과 아울러, 프로브 핀이 가이드 플레이트들로부터 일정 길이 이상으로 돌출되지 않도록 하여 프로브 핀들을 외부로부터의 충격으로부터 보호할 수 있는 구조를 가지는 적층구조의 프로브 유니트에 관한 것이다.The present invention relates to a probe unit, and more particularly, to facilitate the selective replacement of the probe pin by allowing the probe pin to be inserted in the horizontal direction and easily separated by the probe pin, the probe pin from the guide plates The present invention relates to a laminated probe unit having a structure capable of protecting the probe pins from impact from the outside by not protruding beyond a predetermined length.
일반적으로, 프로브 유니트는 반도체 장치나 LCD, PDP 등의 평판디스플레이 패널 등에 픽셀에러(Pixel error) 없이 정상 작동하는지를 검사하는데 사용된다.In general, the probe unit is used to check whether a semiconductor device or a flat panel display panel such as an LCD or a PDP is operating normally without a pixel error.
최근 들어 반도체 장치나 평판 디스플레이 패널이 고화질화 되어감에 따라 화소의 밀도가 증가하고 있으며 이로 인해 프로브 유니트의 필요성이 증가되고 있다. Recently, as semiconductor devices or flat panel display panels become higher in quality, the density of pixels increases, thereby increasing the need for probe units.
현재까지 개발된 프로브핀은 텅스텐 또는 레늄텅스텐와이어를 재료로 제작된 니들형(Needle Type), 니켈 또는 베릴륨동을 재료로 제작된 블레이드형(Blade Type), 폴리마이드필름(Ploymide Film)에 동판 또는 기타 도전체를 올려 에칭가공하여 제작한 필름형(Film Type), 필름형에 반도체공정기술을 이용하여 도전성 매체를 주입한 하이브리드형(Hybride Type), 스프링 장력을 이용한 포고핀(Pogo Pin)을 소재로 제작한 포고형(Pogo Type), 반도체 MEMS 공정기술을 이용한 MEMS 형(MEMS Type) 등이 있다. Probe pins developed to date have been made of a needle type made of tungsten or rhenium tungsten wire, a blade type made of nickel or beryllium copper, and a copper plate on a polymide film. Film type produced by etching and raising other conductors, Hybrid type in which conductive medium is injected into film type using semiconductor process technology, and Pogo Pin using spring tension Pogo Type, which is manufactured by using, and MEMS Type (MEMS Type) using semiconductor MEMS process technology.
이와 같은 종래의 프로브 유니트는 프로브핀이 와이어 형태로 구비되고, 이들 프로브핀이 에폭시 수지에 의해 접합 고정되게 하는 구성으로서, 주로 양 끝단에 니들이 형성되고 양 끝단의 니들이 가늘고 긴 빔부에 의해서 일체로 연결되어 형성되는 구조를 가진다. Such a conventional probe unit has a configuration in which the probe pins are provided in the form of wires, and these probe pins are bonded and fixed by epoxy resin. Needles are formed at both ends, and the needles at both ends are integrally connected by the elongated beam part. It has a structure that is formed.
그러나, 프로브 유니트는 니들들 사이의 파인피치가 매우 중요하여 니들과 빔부가 점점 그 크기나 두께 등이 축소되어가는 추세이다. 즉, 빔부가 점점 얇아지고 있고, 니들이 상하로 힘을 받을 경우 빔부가 힘을 견디지 못하고 부러지거나 휘어지고 또는 니들도 좌우방향으로 불안정하게 움직이게 되는 등 프로브 핀의 불량이 야기되는 경우가 발생한다. However, in the probe unit, the fine pitch between the needles is very important, and thus the size and thickness of the needle and the beam part are gradually reduced. That is, when the beam portion is getting thinner and the needle is forced up and down, a failure of the probe pin may occur, such as the beam portion is unable to withstand the force and breaks or bends, or the needle also moves unstable from side to side.
프로브 유니트에서 하나의 니들이라도 불량이 생기면, 프로브 유니트를 분해하여 불량인 니들을 새것으로 교환하여야 하는데 그 작업시간등의 여러가지 문제점이 발생된다. If any of the needles are defective in the probe unit, it is necessary to disassemble the probe unit and replace the defective needle with a new one, which causes various problems such as working time.
따라서, 빔부가 압력에 약하지 않고, 불량이 있는 니들의 경우 불량이 있는 니들만 별도로 간단히 분리할 수 있는 프로브 유니트의 개발이 요구된다.Therefore, there is a need for the development of a probe unit in which the beam part is not weak in pressure, and in the case of a defective needle, only a defective needle can be easily separated separately.
이에 더 나아가, 불량이 있는 프로브 핀들을 사용하여 전기적 테스트를 실시하는 경우에, 프로브 핀의 니들 부분이 외부로부터의 충격에 의하여 휘는 등의 파손 문제를 용이하게 해소할 수 있는 프로브 블록의 개발이 요구되고 있다.In addition, when electrical tests are performed using defective probe pins, there is a need for the development of a probe block that can easily solve a problem such as the needle portion of the probe pin bent due to an impact from the outside. It is becoming.
따라서, 본 발명은 전술한 문제점을 해소하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은 프로브 핀이 수평방향으로 삽입되고 프로브핀별로 용이하게 수평방향으로 분리될 수 있도록 하여 선택적 교체를 용이하게 함과 아울러, 프로브 핀이 가이드 플레이트들로부터 일정 길이 이상으로 돌출되지 않도록 하여 가이드 플레이트에 의하여 프로브 핀를 보호함으로써 외부에서의 충격으로부터 보호할 수 있는 구조를 가지는 적층구조의 프로브 유니트를 제공하는 데 있다.Therefore, the present invention has been created to solve the above-described problems, the present invention facilitates selective replacement by allowing the probe pin to be inserted in the horizontal direction and easily separated in the horizontal direction for each probe pin, It is to provide a probe unit of a laminated structure having a structure that can be protected from external shock by protecting the probe pin by the guide plate so that the pin does not protrude beyond the predetermined length from the guide plates.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 적층구조의 프로브 유니트는, 다수개의 가이드 플레이트들 및 다수개의 프로브 핀들을 구비한다. According to an embodiment of the present invention, a probe unit having a stack structure includes a plurality of guide plates and a plurality of probe pins.
다수개의 가이드 플레이트들은 수평방향으로 일렬로 세워져 배열되며, 일정 간격을 두고 서로 엇갈리며 수평방향으로 일정 깊이로 형성되는 다수개의 슬롯들을 갖는다. 다수개의 프로브 핀들은 상기 다수개의 슬롯들의 내부에 삽입되어 상기 슬롯들 내부에 형성되는 단차에 의해 고정되며, 끝단이 상기 다수개의 가이드 플레이트들의 저면의 하부로 돌출된다. The plurality of guide plates are arranged in a line in the horizontal direction, and have a plurality of slots which are staggered with each other at a predetermined interval and are formed at a predetermined depth in the horizontal direction. The plurality of probe pins are inserted into the plurality of slots and fixed by the step formed in the slots, and the ends thereof protrude downward from the bottom of the plurality of guide plates.
상기 다수개의 슬롯들은, 상기 프로브 핀들이 상기 가이드 플레이트들 중 최외곽의 가이드 플레이트의 전면방향에서 삽입되도록 상기 최외곽 가이드 플레이트의 전면 하부가 개구되며 일정한 간격으로 일렬로 형성되고, 상기 최외곽의 가이드 플레이트의 전면부터 가장 안쪽의 가이드 플레이트의 후면까지 파여 형성되는 제 1슬롯들과, 상기 제 1슬롯들의 사이에 형성되며, 상기 프로브 핀들이 상기 가이드 플레이트들의 저면방향에서 삽입되도록 상기 가이드 플레이트들의 저면이 개구되며 일정한 간격으로 형성되는 제 2슬롯들을 구비한다. The plurality of slots may be formed in a row at regular intervals with the front lower portion of the outermost guide plate open so that the probe pins are inserted in the front direction of the outermost guide plate of the guide plates. First slots which are dug from the front of the plate to the rear of the innermost guide plate, and are formed between the first slots, and the bottom of the guide plates is inserted such that the probe pins are inserted in the bottom direction of the guide plates. Openings and having second slots formed at regular intervals.
상기 다수개의 프로브 핀들은, 상기 제 1슬롯들에 삽입되는 제 1프로브 핀들과, 상기 제 2슬롯들에 삽입되는 제 2프로브 핀들을 구비하되, 상기 제 1프로브 핀들 각각은, 제 1프로브 핀 몸체와, 상기 제 1프로브 핀 몸체의 일측 상단으로부터 일정 길이 연장되며 일정 위치에 상방으로 돌출되는 제 1단턱이 형성되는 제 1상단 연장 몸체와, 상기 제 1프로브 핀 몸체의 일측 하단으로부터 일정 길이 연장되며 그 단부에 하방을 따라 벤딩되는 제 1벤딩단이 형성되는 제 1하단 연장 몸체와, 상기 제 1프로브 핀 몸체의 타측에 형성되는 제 1탄성 몸체를 구비한다. The plurality of probe pins may include first probe pins inserted into the first slots and second probe pins inserted into the second slots, wherein each of the first probe pins includes a first probe pin body. A first upper extension body having a predetermined length extending from an upper end of one side of the first probe pin body and protruding upward at a predetermined position, and a predetermined length extending from a lower end of one side of the first probe pin body; And a first lower end extending body having a first bending end bent downward along an end thereof, and a first elastic body formed on the other side of the first probe pin body.
상기 제 2프로브 핀들 각각은, 타측 상단에 단차진 제 1돌기단이 형성되는 제 2프로브 핀 몸체와, 상기 제 2프로브 핀 몸체의 일측 상단으로부터 일정 길이 연장되며 그 단부에 단차진 제 2돌기단이 형성되는 제 2상단 연장 몸체와, 상기 제 2프로브 핀 몸체의 일측 하단으로부터 일정 길이 연장되며 그 단부에 하방으로 벤딩되는 제 2벤딩단이 형성되는 제 2하단 연장 몸체와, 상기 제 2프로브 핀 몸체의 타측에 형성되는 제 2탄성 몸체를 구비한다. Each of the second probe pins may include: a second probe pin body having a stepped first protrusion end formed at an upper end of the second probe, and a second protrusion end extending at a predetermined length from an upper end of one side of the second probe pin body; The second upper end body is formed, the second lower end body extending a predetermined length from one side lower end of the second probe pin body and bent downward at the end is formed, the second lower end body, and the second probe pin It has a second elastic body formed on the other side of the body.
상기 제 1슬롯들 각각은, 다수개의 가이드 플레이트들에 각각 형성되는 관통홀들로 이루어지되, 상기 가이드 플레이트들 중에서 임의의 가이드 플레이트에 형성된 관통홀의 상면부에는 상기 제 1상단 연장 몸체의 제 1단턱이 걸리도록 제 1홈이 형성되고, 상기 최외곽의 가이드 플레이트에 형성된 관통홀의 하면부에는 상기 제 1벤딩단이 상기 가이드 플레이트들의 내부에 위치되도록 상기 제 1벤딩단이 걸치는 걸침면이 형성된다. Each of the first slots may include through holes formed in a plurality of guide plates, and a first step of the first upper extension body may be formed on an upper surface portion of the through hole formed in any of the guide plates. The first groove is formed so that the first groove is formed, and the first bending end is formed on the bottom surface of the through hole formed in the outermost guide plate so that the first bending end is placed on the surface of the guide plate.
상기 제 2슬롯들 각각은, 다수개의 가이드 플레이트들의 저면에 형성되는 절개홀들로 이루어지되,Each of the second slots is formed of cutting holes formed in the bottom of the plurality of guide plates,
상기 제 1돌기단이 끼워져 걸쳐지도록 상기 가이드 플레이트들 중 어느 하나에 형성된 절개홀의 상면부에는 제 1돌기홈이 형성되고, 상기 제 2돌기단이 끼워져 걸쳐지도록 상기 가이드 플레이트들 중 다른 하나에 형성된 절개홀의 상면부에는 제 2돌기홈이 형성된다. A first projection groove is formed in an upper surface portion of the cutout hole formed in any one of the guide plates so that the first protrusion end is inserted therein, and an incision formed in the other one of the guide plates so that the second protrusion end is inserted and spanned. The second projection groove is formed in the upper surface portion of the hole.
상기 제1프로브핀은, 상기 제 1상단 연장 몸체의 단부가 상기 제 1슬롯의 외부로 일정 길이 돌출되고, 상기 제1슬롯의 외부로 돌출된 상기 제1상단 연장 몸체의 단부를 하방으로 눌러주면 상기 제1탄성 몸체의 탄성력에 의해 최외곽 가이드플레이트 방향으로 상기 제1슬롯으로부터 분리된다. The first probe pin, when the end of the first upper extension body protrudes a predetermined length to the outside of the first slot, pressing the end of the first upper extension body protruding out of the first slot downwards It is separated from the first slot in the direction of the outermost guide plate by the elastic force of the first elastic body.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 적층구조의 프로브 유니트는, 다수개의 가이드 플레이트들 및 프로브 핀들을 구비한다. 다수개의 가이드 플레이트들은 수직방향으로 적층되며, 일정 간격을 두고 서로 엇갈리며 일정 깊이로 형성되는 다수개의 슬롯들을 갖는다. 다수개의 프로브 핀들은 상기 다수개의 슬롯들의 내부에 삽입되어 상기 슬롯들 내부에 형성되는 단차에 의해 고정되며, 끝단이 상기 다수개의 가이드 플레이트들의 저면의 하부로 돌출된다. According to another aspect of the present invention, a probe unit having a stacked structure includes a plurality of guide plates and probe pins. The plurality of guide plates are stacked in the vertical direction, and have a plurality of slots which are staggered with each other at a predetermined interval and formed to a certain depth. The plurality of probe pins are inserted into the plurality of slots and fixed by the step formed in the slots, and the ends thereof protrude downward from the bottom of the plurality of guide plates.
상기 다수개의 슬롯들은, 상기 가이드 플레이트들 중 최하단의 가이드 플레이트의 위에 적층되는 가이드 플레이트들 중의 임의의 가이드 플레이트에 일정한 깊이를 가지고 형성되며, 상기 프로브 핀들이 상기 임의의 가이드 플레이트의 전면방향에서 삽입되도록 전면이 개구되며 일정한 간격으로 배열 형성되는 제 1슬롯들과, 상기 최하단의 가이드 플레이트에 일정한 깊이로 상기 제 1슬롯들의 사이에 형성되며, 상기 프로브 핀들이 상기 최하단의 가이드 플레이트의 저면방향에서 삽입되도록 상기 최하단의 가이드 플레이트의 저면이 개구되며 일정한 간격으로 배열 형성되는 제 2슬롯들을 구비한다. The plurality of slots are formed with a predetermined depth in any guide plate of the guide plates stacked on the lowermost guide plate of the guide plates, so that the probe pins are inserted in the front direction of the arbitrary guide plate. First slots having a front surface opened and arranged at regular intervals, and formed between the first slots at a predetermined depth in the lowermost guide plate, such that the probe pins are inserted in the bottom direction of the lowermost guide plate The bottom surface of the lowermost guide plate is opened and has second slots arranged at regular intervals.
상기 다수개의 프로브 핀들은, 상기 제 1슬롯들에 삽입되는 제 1프로브 핀들과, 상기 제 2슬롯들에 삽입되는 제 2프로브 핀들을 구비하되, 상기 제 1프로브 핀들 각각은, 제 1프로브 핀 몸체와, 상기 제 1프로브 핀 몸체의 일측 상단으로부터 일정 길이 연장되며 일정 위치에 상방으로 돌출되는 제 1단턱이 형성되는 제 1상단 연장 몸체와, 상기 제 1프로브 핀 몸체의 일측 하단으로부터 일정 길이 연장되며 그 단부에 하방을 따라 벤딩되는 제 1벤딩단이 형성되는 제 1하단 연장 몸체와, 상기 제 1프로브 핀 몸체의 타측에 형성되는 제 1탄성 몸체를 구비한다. The plurality of probe pins may include first probe pins inserted into the first slots and second probe pins inserted into the second slots, wherein each of the first probe pins includes a first probe pin body. A first upper extension body having a predetermined length extending from an upper end of one side of the first probe pin body and protruding upward at a predetermined position, and a predetermined length extending from a lower end of one side of the first probe pin body; And a first lower end extending body having a first bending end bent downward along an end thereof, and a first elastic body formed on the other side of the first probe pin body.
상기 제 2프로브 핀들 각각은, 타측 상단에 단차진 제 1돌기단이 형성되는 제 2프로브 핀 몸체와, 상기 제 2프로브 핀 몸체의 일측 상단으로부터 일정 길이 연장되며 그 단부에 단차진 제 2돌기단이 형성되는 제 2상단 연장 몸체와, 상기 제 2프로브 핀 몸체의 일측 하단으로부터 일정길이 연장되며, 그 단부에 하방으로 벤딩되는 제 2벤딩단이 형성되는 제 2하단 연장 몸체와, 상기 제 2프로브 핀 몸체의 타측에 형성되는 제 2탄성 몸체를 구비한다. Each of the second probe pins may include: a second probe pin body having a stepped first protrusion end formed at an upper end of the second probe, and a second protrusion end extending at a predetermined length from an upper end of one side of the second probe pin body; The second upper end body is formed, the second lower end extending body which extends a predetermined length from one side lower end of the second probe pin body, the second bending end is formed to be bent downward at the end, and the second probe It has a second elastic body formed on the other side of the pin body.
상기 제 1슬롯들 각각은 일정한 깊이로 파이는 관통홀들로 이루어지되, 상기 최하단의 가이드 플레이트 위의 임의의 위치에 적층되며 상기 제1슬롯들이 형성되는 가이드 플레이트 바로 위의 가이드 플레이트의 하면부에는 상기 제 1상단 연장 몸체의 제 1단턱이 걸리도록 제 1홈이 형성되고, 상기 제1 슬롯들이 형성되는 가이드 플레이트의 바로 아래의 가이드 플레이트에는 상기 제1 프로브 핀의 상기 제 1벤딩단이 상기 가이드 플레이트들의 내부에 위치되도록 상기 제 1벤딩단이 걸치는 걸침면이 형성된다. Each of the first slots is formed of a through-hole having a predetermined depth, and is stacked at an arbitrary position on the lowermost guide plate and is disposed on a lower surface of the guide plate directly above the guide plate on which the first slots are formed. The first groove is formed so that the first step of the first upper extension body is caught, and the first bending end of the first probe pin is formed in the guide plate immediately below the guide plate on which the first slots are formed. An intersecting surface on which the first bending end extends is formed to be positioned inside the plates.
상기 제 2슬롯들 각각은, 상기 최하단의 가이드 플레이트 저면에 형성되는 절개홀들로 이루어지되, 상기 제 1돌기단이 끼워져 걸쳐지도록 상기 최하단의 가이드 플레이트 상부에 적층된 가이드 플레이트의 하면부에 제 1돌기홈이 형성되고, 상기 제 2돌기단이 끼워져 걸쳐지도록 상기 최하단의 가이드 플레이트 상부에 적층된 가이드 플레이트의 하면부에 제 2돌기홈이 형성된다. Each of the second slots may include cutout holes formed in a bottom surface of the lowermost guide plate, and may include a first portion at a lower surface of the guide plate stacked on the lowermost guide plate so that the first protrusion is inserted therein. A projection groove is formed, and a second projection groove is formed in a lower surface portion of the guide plate stacked on the uppermost guide plate so that the second projection end is fitted.
상기 제1프로브핀은, 상기 제 1상단 연장 몸체의 단부는 상기 제 1슬롯의 외부로 일정 길이 돌출되고, 상기 제1슬롯의 외부로 돌출된 상기 제1상단 연장 몸체의 단부를 하방으로 눌러주면 상기 제1탄성 몸체의 탄성력에 의해 제1상단 연장 몸체 방향으로 상기 제1슬롯으로부터 분리된다. The first probe pin, the end of the first upper extension body protrudes a predetermined length to the outside of the first slot, and presses the end of the first upper extension body protruding out of the first slot downwards The first elastic body is separated from the first slot in the direction of the first upper extension body by the elastic force of the first elastic body.
상기 가이드 플레이트들 중에서 가장 위의 가이드 플레이트와 프로브 유니트 몸체 사이에 연결블록이 형성되며, 상기 적층되는 가이드 플레이트들 및 상기 연결블록은 서로 본딩되며, 상기 연결블록은 체결부재에 의해서 상기 프로브 유니트 몸체에 체결된다. A connecting block is formed between the uppermost guide plate and the probe unit body among the guide plates, the stacked guide plates and the connecting block are bonded to each other, and the connecting block is connected to the probe unit body by a fastening member. Is fastened.
본 발명은 가이드 플레이트들이 복수개 결합하므로 프로브 핀들이 삽입되는 가이드 플레이트가 견고하며, 가이드플레이트에 관통슬롯들을 2단이상 형성함으로써 프로브 핀들이 여러층으로 쌓인 구조를 만들 수 있는 효과를 갖는다. According to the present invention, the guide plate is coupled to the plurality of guide plates, so that the guide plate into which the probe pins are inserted is firm, and by forming two or more through slots in the guide plate, the probe pins can be stacked in multiple layers.
또한, 본 발명은 하나의 프로브 핀에 문제가 발생할 경우, 문제가 발생한 프로브 핀만 선택적으로 분리 가능하므로 빠른 리페어(수리)가 가능한 장점이 있다. In addition, the present invention has a merit that a quick repair (repair) is possible because only a probe pin having a problem can be selectively separated when a problem occurs in one probe pin.
또한, 종래에 프로브 핀들이 한 층으로 일렬로 배열되는 가이드 플레이트의 경우, 프로브 핀이 삽입되는 슬롯들 사이의 피치가 얇아 가이드 플레이트가 약해지는 문제가 있으나, 본 발명은 종래의 프로브 핀블록과 동일한 수의 프로브 핀들을 배열하더라도 프로브 들을 여러 층으로 쌓아서 배열할 수 있으므로, 프로브 핀들이 삽입되는 슬롯들 사이의 피치가 커져서 가이드 플레이트가 휘거나 부러지지 않는 장점이 있다. In addition, in the case of a guide plate in which the probe pins are arranged in one layer in the related art, the pitch between the slots in which the probe pins are inserted is weak, but the guide plate is weak. However, the present invention is the same as the conventional probe pin block. Even if the number of probe pins is arranged, the probes may be stacked and arranged in several layers, so that the pitch between the slots into which the probe pins are inserted is increased, so that the guide plate is not bent or broken.
또한, 본 발명의 실시예들에 따르는 프로브 핀들의 끝단인 팁부까지 가이드플레이트의 내측에 삽입되므로, 팁부가 좌우로 흔들릴 염려가 없어 전기적 테스트가 정확할 수 있고, 외부로부터의 충격으로 인하여 팁부가 파손되는 문제를 해결할 수 있는 장점이 있다. In addition, since the tip is inserted into the guide plate, which is the end of the probe pins according to the embodiments of the present invention, there is no fear that the tip portion may swing left and right, and thus the electrical test may be accurate, and the tip portion may be broken due to an impact from the outside. There is an advantage to solve the problem.
또한, 가이드 플레이트의 저면방향에서 프로브 핀을 삽입하여도 하방으로 프로브 핀이 떨어지지 않고 고정될 수 있는 구조이므로, 가이드 플레이트의 저면에 프로브 핀들이 떨어지지 않도록 하기 위한 별도의 구조물을 형성할 필요가 없는 장점이 있다. In addition, since the probe pin can be fixed without falling down even if the probe pin is inserted in the bottom direction of the guide plate, there is no need to form a separate structure to prevent the probe pin from falling on the bottom of the guide plate There is this.
도 1은 본 발명의 제 1실시예를 따르는 적층구조의 프로브 유니트를 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1에서의 프로브 유니트의 모서리부를 보여주는 부분 사시도이다.
도 3은 도 2의 프로브 유니트를 보여주는 확대 단면도들이다.
도 4는 도 3의 제 1프로브 핀을 보여주는 측면도이다.
도 5는 본 발명의 제 1실시예를 따르는 제 2슬롯들을 갖는 프로브 유니트에서 보여주는 부분 단면도들이다.
도 6은 도 5의 제 2프로브 핀를 보여주는 측면도이다.
도 7은 본 발명의 제 1실시예를 따르는 프로브 유니트에서 보여주는 부분 단면도이다.
도 8은 도 7의 프로브 유니트를 보여주는 확대 단면도이다.
도 9는 본 발명의 제 2실시예를 따르는 적층구조의 프로브 유니트를 보여주는 사시도이다.
도 10은 본 발명의 제 2실시예를 따르는 제 1슬롯들을 갖는 프로브 유니트에서 보여주는 부분 단면도들이다.
도 11은 도 10의 제 1프로브 핀을 보여주는 측면도이다.
도 12는 본 발명의 제 2실시예를 따르는 제 2슬롯들을 갖는 프로브 유니트에서 보여주는 부분 단면도들이다.
도 13은 도 12의 제 2프로브 핀을 보여주는 측면도이다.
도 14는 본 발명의 제 2실시예를 따르는 프로브 유니트에서 보여주는 부분 단면도들이다.1 is a perspective view showing a probe unit of a stacked structure according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a partial perspective view illustrating a corner portion of the probe unit in FIG. 1.
3 is an enlarged cross-sectional view illustrating the probe unit of FIG. 2.
4 is a side view illustrating the first probe pin of FIG. 3.
5 is a partial cross-sectional view showing in a probe unit having second slots according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a side view illustrating the second probe pin of FIG. 5. FIG.
7 is a partial cross-sectional view of the probe unit according to the first embodiment of the present invention.
8 is an enlarged cross-sectional view illustrating the probe unit of FIG. 7.
9 is a perspective view showing a probe unit having a stacked structure according to a second embodiment of the present invention.
10 is a partial cross-sectional view showing in a probe unit having first slots according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 11 is a side view illustrating the first probe pin of FIG. 10.
12 are partial cross sectional views of a probe unit having second slots according to a second embodiment of the invention.
FIG. 13 is a side view illustrating the second probe pin of FIG. 12.
14 is a partial cross-sectional view showing a probe unit according to a second embodiment of the present invention.
이하, 첨부되는 도면들을 참조 하여 본 발명의 프로브 유니트의 실시예들을 설명하도록 한다.Hereinafter, embodiments of the probe unit of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
<제 1실시예>≪
도 1 내지 도 8을 참조 하여, 본 발명의 제 1실시예를 따르는 적층구조의 프로브 유니트를 설명하도록 한다.1 to 8, a probe unit having a stacked structure according to a first embodiment of the present invention will be described.
도 1을 참조 하면, 본 발명의 적층구조의 프로브 유니트는 유니트 몸체(100)를 갖는다. 상기 유니트 몸체(100)에는 일각 모서리부가 절개되어 내부에 일정 공간을 이루는 설치홈(140)이 형성된다.Referring to FIG. 1, the probe unit of the laminated structure of the present invention has a
상기 설치홈(140)에는 본 발명에 따르는 다수개의 가이드 플레이트들(200)이 설치된다. 가이드 플레이트들(200)은 일정 폭 및 두께, 면적을 갖는 판상으로 이루어지는 웨이퍼들이다. 그리고, 상기 웨이퍼들은 서로 세워진 상태에서 수평방향으로 밀착되어 배열된다. 가이드 플레이트들(200)의 뒷단에는 TCP블록이 배치되고, 가장 후단의 가이드 플레이트(250)와 TCP블록 사이에 연성회로기판이 삽입되며, 연성회로기판의 금속 패턴에 프로브 핀들이 접촉되어 신호가 프로브 핀들로 전송된다. 가이드 플레이트들(200)은 얼라인 핀(500)에 의해서 서로 정렬되어 배치된다. The
도 2 내지 도 6을 참조 하면, 상기와 같이 세워져 일렬로 정렬 및 배열되는 가이드 플레이트들(200)에는 최외곽의 가이드 플레이트(또는 제 1가이드 플레이트(210))의 전면을 통하여 외부로 개구되는 제 1슬롯들(S1)이 서로 일정 간격을 이루어 형성된다. 그리고, 가이드 플레이트들(200)의 저면에는 일정 깊이로 파여 형성되는 다수개의 제 2슬롯들(S2)이 일정 간격을 이루어 형성되는데, 제 2슬롯들(S2)의 형성 위치는 제 1슬롯들(S1)의 사이 위치에 배치되도록 형성된다.Referring to FIGS. 2 to 6, the
즉, 제1슬롯들(S1)은 프로브 핀들이 가이드 플레이트들(200) 중 최외곽의 가이드 플레이트(210)의 전면방향에서 삽입되도록 최외곽 가이드 플레이트(210)의 전면 하부가 개구된다. 그리고, 제1슬롯들(S1)은 최외곽의 가이드 플레이트(210)를 전면에서 바라볼 때 최외곽의 가이드 플레이트(210)의 전면 하부에 일정한 간격으로 수평방향으로 일렬로 형성된다. That is, the first slots S1 open the front lower portion of the
또한, 제1슬롯(S1)은 최외곽의 가이드 플레이트(210)의 전면부터 가장 안쪽의 가이드 플레이트(250)의 후면까지 파여 관통홀로서 형성된다. In addition, the first slot S1 is formed as a through hole by digging from the front surface of the
한편, 제2슬롯들(S2)은 프로브 핀들이 가이드 플레이트들(200)의 저면방향에서 삽입되도록 가이드 플레이트들(200)의 저면이 개구되며 제 1슬롯들(S1)의 사이에 일정한 간격으로 형성된다. 저면이 개두되어 제2슬롯들(S2)을 형성하는 위치는 도 5에 도시된 것처럼 최외곽의 가이드 플레이트(210)의 내측의 일정지점부터 가장 안쪽의 가이드 플레이트(250)의 후면까지 파여 관통홀로서 형성된다. 그러나, 반드시 최외곽의 가이드 플레이트(210)의 저면의 일정지점부터 개구 부분이 형성되는 것에 한정되는 것은 아니다. 예를들어, 두번째 가이드 플레이트(220)의 저면의 일정지점부터 가장 안쪽의 가이드 플레이트(250)까지 파여서 관통홀로서 형성될수도 있다. On the other hand, the second slots S2 are opened at the bottom of the
도 5에서, 최외곽의 가이드 플레이트(210)의 전면부터가 아닌 내측의 일정 지점(예를 들어 중앙부분)부터 제2슬롯(S2)이 형성되는 이유는 후술되는 제2프로브핀들(400)의 제2벤딩단(413)이 최외곽의 가이드 플레이트(210)의 외측으로 돌출되지 않도록 하여 제2프로브핀들(400)의 제2벤딩단(413)을 보호하기 위함이다. In FIG. 5, the reason why the second slot S2 is formed from a predetermined point (for example, a center portion) of the inner side rather than from the front surface of the
제 1슬롯들(S1)과 제 2슬롯들(S2)은 최외곽의 가이드 플레이트인 제 1가이드 플레이트(210) 측에서 바라보는 경우에, 서로 엇갈리도록 또는 서로 지그재그 타입으로 형성된다. 즉, 제 1슬롯들(S1)이 형성되는 높이는 제 2슬롯들(S2)이 형성된 높이보다 높게(가이드 플레이트들(200)의 하단면을 기준으로 하는 경우에) 위치된다. When the first slots S1 and the second slots S2 are viewed from the
제 1슬롯들(S1)은 제 1가이드 플레이트(210)의 전단에 외부로 노출되고 가이드 플레이트들(200)이 배열된 방향을 따라 일정 깊이로 파여 형성된다. 여기서, 제 1슬롯들(S1)의 형성은 식각 공정을 통하여 이루어질 수 있다.The first slots S1 are exposed to the outside of the front end of the
또한, 제 2슬롯들(S2)은 가이드 플레이트들(200)의 바닥면 방향으로 개구되고, 가이드 플레이트들(200)의 배열된 방향을 따라 일정 깊이로 파여 형성된다. 여기서, 제 2슬롯들(S2)의 형성은 식각 공정을 통하여 이루어질 수 있다.In addition, the second slots S2 are opened in the bottom surface direction of the
다음은, 상기 제 1슬롯들(S1)과 상기 제 2슬롯들(S2)에 각각 끼워지는 프로브 핀들(300,400)에 대하여 설명하도록 한다.Next, probe pins 300 and 400 fitted to the first slots S1 and the second slots S2 will be described.
상기 제 1슬롯들(S1)에는 제 1프로브 핀들(300)이 삽입되고, 상기 제 2슬롯들(S1)에는 제 2프로브 핀들(400)이 삽입된다. 후술되는 제1 및 제2 프로브 핀들(300, 400)의 끝단, 즉 제1벤딩단(312a) 및 제2벤딩단(413)은 가이드 플레이트들(200)의 저면의 하부로 돌출된다. First probe pins 300 are inserted into the first slots S1, and second probe pins 400 are inserted into the second slots S1. Ends of the first and second probe pins 300 and 400 to be described later, that is, the
도 3 및 도 4를 참조 하면, 제 1프로브 핀들(300)은 일정 두께를 갖는 얇은 금속판으로 형성되고 그 일단은 엘시디 패널(미도시)의 접속 단자(미도시)에 접촉되고 타단은 연성 회로 기판(F)과 전기적으로 접촉될 수 있다.3 and 4, the first probe pins 300 are formed of a thin metal plate having a predetermined thickness, one end of which is in contact with a connection terminal (not shown) of an LCD panel (not shown), and the other end thereof is a flexible circuit board. May be in electrical contact with (F).
상기 제 1프로브 핀들(300) 각각은, 제 1프로브 핀 몸체(310)와, 제 1프로브 핀 몸체(310)의 일측 상단으로부터 일정 길이 연장되며 일정 위치에 상방으로 돌출되는 제 1단턱(313)이 형성되는 제 1상단 연장 몸체(311)와, 제 1프로브 핀 몸체(310)의 일측 하단으로부터 일정 길이 연장되며 그 단부에 하방을 따라 벤딩되는 제 1벤딩단(312a)이 형성되는 제 1하단 연장 몸체(312)와, 제 1프로브 핀 몸체(310)의 타측에 형성되는 제 1탄성 몸체(320)로 구성된다.Each of the first probe pins 300 may include a first
여기서, 제 1상단 연장 몸체(311)와 제 1하단 연장 몸체(312)는 제 1프로브 핀 몸체(310)의 일측 상단과 하단에서 서로 벌어지도록 형성된다. 또한, 제 1탄성 몸체(320)의 단부에는 연성 회로 기판(F)과 전기적으로 접촉되는 제 1돌출 단자(321)가 형성된다.Here, the first
여기서, 제 1벤딩단(312a)은 엘시디 패널의 접속 단자에 접속되는 부분이고, 제 1돌출 단자(321)는 연성 회로 기판(F)과 전기적으로 접촉되는 부분이다. 그리고, 제 1탄성 몸체(320)는 반복적으로 굽은 형상을 이루어 일정의 탄성을 지니도록 형성된다. 따라서, 제 1탄성 몸체(320)는 스프링과 같은 역할을 할 수 있다. 그러므로, 제1프로브핀(300)이 제1슬롯(S1)에 최외곽의 가이드 플레이트(210)의 전면방향에서 삽입되면, 제1탄성몸체(320)가 연성회로기판(F)에 닿으면서 TCP블록에 막혀 탄성압축 되고 제 1상단 연장 몸체(311)의 단부(311a)가 제 1슬롯(S1)의 외부로 일정 길이 돌출된다. Here, the
그리고, 제1슬롯(S1)의 외부로 돌출된 제1상단 연장 몸체(311)의 단부(311a)를 하방으로 눌러주면 제1탄성 몸체(320)의 탄성력에 의해 최외곽 가이드플레이트 방향으로 제1슬롯(S1)으로부터 분리된다.In addition, when the
또한, 도 5 및 도 6을 참조 하면, 제 2프로브 핀들(400) 각각은, 타측 상단에 단차진 제 1돌기단(415)이 형성되는 제 2프로브 핀 몸체(410)와, 상기 제 2프로브 핀 몸체(410)의 일측 상단으로부터 일정 길이 연장되며 그 단부에 단차진 제 2돌기단(414)이 형성되는 제 2상단 연장 몸체(411)와, 제 2프로브 핀 몸체(410)의 일측 하단으로부터 일정 길이 연장되며 그 단부에 하방으로 벤딩되는 제 2벤딩단(413)이 형성되는 제 2하단 연장 몸체(412)와, 제 2프로브 핀 몸체(410)의 타측에 형성되는 제 2탄성 몸체(420)로 구성된다. 제2 하단 연장몸체(412)의 길이에는 제한이 없으나, 제2 하단 연장 몸체(412)는 도 5 및 도 6에 도시된 것처럼 제 2상단 연장 몸체(411)의 길이 보다 일정 길이 길게 연장될 수도 있다. Also, referring to FIGS. 5 and 6, each of the second probe pins 400 may include a second
여기서, 제 2벤딩단(413)은 엘시디 패널의 접속 단자에 접속되는 부분이고, 제 2돌출 단자(421)는 연성 회로 기판(F)과 전기적으로 접촉되는 부분이다. 그리고, 제 2탄성 몸체(420)는 반복적으로 굽은 형상을 이루어 일정의 탄성을 지니도록 형성된다. 따라서, 제 2탄성 몸체(420)는 스프링과 같은 역할을 할 수 있다. Here, the
제2프로브핀(400)의 경우, 제2상단연장몸체(411)가 일정길이 연장되고 그 단부에 제2돌기단(414)이 형성되는 구조 이외에도, 제2돌기단이 제2상단연장몸체(411)의 단부에 형성되는 것이 아니라 제1돌기단(415)하부의 제2프로브핀몸체(410)에서 직접 돌출되는 구조로 형성될 수도 있다. 즉, 제2상단연장몸체(411) 없이 제2프로브핀몸체(410)로부터 직접 돌출되는 것이다. 제1돌기단 또한 제2프로브핀몸체(410)에서 직접 돌출되도록 할 수도 있다. In the case of the
이어, 상기와 같이 구성되는 프로브 핀들(300,400)이 삽입되어 고정 및 분리되는 공간을 제공하는 제 1슬롯들(S1) 및 제 2슬롯들(S2)의 내부 형상을 설명하도록 한다.Subsequently, the internal shapes of the first slots S1 and the second slots S2 that provide a space in which the probe pins 300 and 400 configured as described above are inserted and fixed and separated will be described.
도 3 및 도 4를 참조 하면, 상기 제 1슬롯들(S1) 각각은, 다수개의 가이드 플레이트들(200)에 형성되는 관통홀들(211,221,231,241,251)로 이루어진다.3 and 4, each of the first slots S1 includes through
가이드 플레이트들(200) 중에서 임의의 가이드 플레이트에 형성된 관통홀의 상면부에는 제 1상단 연장 몸체(311)의 제 1단턱(313)이 걸리도록 제 1홈(211a)이 형성된다. 바람직하기로는 제1홈(211a)은 최외곽의 가이드 플레이트(제 1가이드 플레이트(210))에 형성된 관통홀(211)의 상면부에 형성되는 것이 바람직하다. 하지만, 반드시 이 위치에 한정되는 것은 아니다. 제 1홈(211a)의 전단에는 제 1단턱(313)의 외부로의 돌출을 제한하고 제 1상단 연장 몸체(311)의 단부(311a)를 지지하는 턱부(211b)가 형성된다.The
제 1가이드 플레이트(210)의 하단에는 관통홀(211)과 연결되고 제 1벤딩단(312a)이 가이드 플레이트(210)의 내부에 위치되어 걸치는 걸침면(211c)이 형성된다. 여기서, 걸침면(211c)의 형성 위치는 제 1가이드 플레이트(210)의 일단면으로부터 이격되는 위치에 형성되어 제 1벤딩단(312a)이 제1가이드 플레이트(210)의 외부로 돌출되는 것을 방지할 수 있다.The lower surface of the
그리고, 제 1가이드 플레이트(210)의 후면에는 순차적으로 제 2,3,4,5가이드 플레이트(220,230,240,250)가 세워져 일렬로 배열된다. 그리고, 제 2,3,4,5가이드 플레이트(220,230,240,250,260)의 관통홀들(221,231,241,251)은 서로 연결된다.In addition, second, third, fourth and
여기서, 제 1상단 연장 몸체(311)의 단부(311a)는 일정 길이가 제 1슬롯(S1)의 외부로 돌출된다. 즉, 돌출된 제 1상단 연장 몸체(311)의 단부(311a)를 하방으로 누르면, 제 1단턱(313)은 제 1홈(211a)으로부터 이탈되고, 그러면, 제1탄성몸체(320)의 탄성 반발력에 의해서 제1프로브핀(300)이 제1슬롯(S1)으로부터 튀어 나간다. Here, the
한편, 도 5 및 도 6을 참조 하면, 제 2슬롯들(S2) 각각은 다수개의 가이드 플레이트들(제 1,2,3,4,5가이드 플레이트(210,220,230,240,250))의 저면에 형성되는 절개홀들(212,222,232,242,252)로 이루어진다.Meanwhile, referring to FIGS. 5 and 6, each of the second slots S2 is provided with cutting holes formed on the bottom of the plurality of guide plates (1, 2, 3, 4, 5
제 1돌기단(415)이 끼워져 걸쳐지도록 가이드 플레이트들(200) 중 어느 하나인 제 4가이드 플레이트(240)에 형성된 절개홀(242)의 상면부에는 제 1돌기홈(242a)이 형성된다.A
그리고, 제 2돌기단(414)이 끼워져 설치되도록 가이드 플레이트들(200) 중 다른 하나인 제 2가이드 플레이트(220)에 형성된 절개홀(222)의 상면부에는 제 2돌기홈(222a)이 형성된다. 제1돌기홈(242a)과 제2돌기홈(222a)이 형성되는 위치는 제1돌기단(415)과 제2돌기단(414)의 길이에 따라 다른 위치에 형성될 수 있다. In addition, a
상기의 구성을 참조로 하여, 본 발명에 따른 프로브 핀들(300,400)의 슬롯들(S1,S2)로의 고정 및 분리 방식을 설명하도록 한다.With reference to the above configuration, it will be described in the fixed and detached manner to the slots (S1, S2) of the probe pins (300, 400) according to the present invention.
제 1프로브 핀들(300)의 경우에, 가이드 플레이트들(200)의 배열 방향을 따라 최외곽의 가이드 플레이트(210)의 전면 방향에서 제 1슬롯들(S1)로 삽입된다. In the case of the first probe pins 300, the first probe pins 300 are inserted into the first slots S1 in the front direction of the
이에 따라, 제 1탄성 몸체(320)의 단부에 형성된 제 1돌출 단자(321)는 연성 회로 기판(F)에 접촉되고 TCP블록에 의해 지지되어 압축된다. 이 때, 제 1프로브 핀 몸체(310)의 타측 하단은 제 4가이드 플레이트(240)의 관통홀(241)의 하면부에 돌출된 걸림턱(241a)에 걸릴 수 있다. 걸림턱(241a)은 반드시 형성되는 것은 아니며, 존재하지 않을 수도 있다. 또한, 제 1상단 연장 몸체(311)에 형성된 제 1단턱(313)은 제 1가이드 플레이트(210)의 관통홀(211) 상면부에 형성된 제 1홈(211a)에 끼워지도록 상방으로 상승되고, 이와 동시에 제 1하단 연장 몸체(312)의 단부에서 하방으로 벤딩된 제 1벤딩단(312a)의 내측면은 제 1가이드 플레이트(210)의 일단면에 형성된 걸침면(211c)에 걸쳐 지지될 수 있다.Accordingly, the first protruding
상기와 같이 제 1프로브 핀들(300)이 제 1슬롯들(S1)의 내부에 각각 삽입되어 고정되면, 제 1탄성 몸체(320)는 압축되고, 이에 따라 일정의 복원 탄성력을 지니게 된다.As described above, when the first probe pins 300 are inserted into and fixed in the first slots S1, respectively, the first
특히, 본 발명에서는 제 1프로브 핀들(300)의 제 1벤딩단(312a)이 제1 가이드 플레이트(210) 의 외부로 돌출되지 않는 구조이므로 제 1벤딩단(312a)이 외부로부터의 충격으로 부터 휘어지거나, 테스트 대상이 되는 장치에 접촉하여 압력을 받을 경우 제1벤딩단(312a)이 좌우로 흔들리는 등의 문제를 해결할 수 있다. In particular, in the present invention, since the
반면에, 제 1프로브 핀들(300)을 제 1슬롯들(S1) 각각으로부터 분리시키는 경우는, 제 1홈(211a)에서 제 1단턱(313)을 이탈시킴으로써 이루어질 수 있다.On the other hand, when the first probe pins 300 are separated from each of the first slots S1, the first probe pins 300 may be separated from the
즉, 제 1슬롯들(S1)의 외부로 일정 길이 돌출된 제 1상단 연장 몸체(311)의 단부(311a)를 외력을 사용하여 하방으로 누르면, 제 1상단 연장 몸체(311)에 형성된 제 1단턱(313)은 제 1홈(211a)으로부터 하방으로 유동하여 이탈될 수 있다. 이와 동시에 제 1탄성 몸체(320)는 복위 탄성력으로 인하여 원래의 형상으로 복귀되면서, 제 1프로브 핀 몸체(310)를 제 1슬롯(S1)으로부터 이탈된다. 이에 따라, 제 1프로브 핀들(300)은 제 1슬롯(S1)으로부터 분리 및 이탈될 수 있다.That is, when the
따라서, 본 발명에 따르는 제 1프로브 핀들(300)은 상기와 같은 방식으로 프로브 핀들을 선택적으로 용이하게 교체할 수 있다.Therefore, the first probe pins 300 according to the present invention can easily replace the probe pins selectively in the above manner.
도 5 및 도 6을 참조 하면, 제 2프로브 핀들(400)의 경우에, 가이드 플레이트들(200)의 저면을 통하여 제 2슬롯들(S2)로 삽입된다. 가이드 플레이트들(200)은 나사와 같은 체결부재(미도시)에 의해서 관통되어 프로브 유니트 몸체(100)에 고정되는데, 제2프로브 핀들(400)을 삽입하는 경우에는, 체결부재의 조임을 일부 느슨하게 풀어 가이드 플레이트들(200)을 TCP블록으로부터 분리시키고 제2프로브핀들(400)을 제2슬롯(S2)에 수직 방향으로 삽입시킨다. 5 and 6, in the case of the second probe pins 400, the second probe pins 400 are inserted into the second slots S2 through the bottom surfaces of the
그러면, 제 2프로브 핀 몸체(410)의 타측 상단에 형성된 제 1돌기단(415)은 제 1돌기홈(242a)의 앞쪽에 위치되고, 제 2상단 연장 몸체(412)의 단부에 형성된 제 2돌기단(414)은 제 2돌기홈(222a)의 앞쪽에 위치된다. Then, the
그리고, 다시 체결부재를 조이면, 제 1돌기단(415)은 제 1돌기홈(242a)에 삽입고정되고, 제 2상단 연장 몸체(412)의 단부에 형성된 제 2돌기단(414)은 제 2돌기홈(222a)에 삽입 고정된다. 또한, 제 2탄성 몸체(420)의 단부에 형성된 제 2돌출 단자(421)는 연성 회로 기판(F)에 접촉된다. Then, when the fastening member is tightened again, the
상기와 같이 제 2프로브 핀들(400)이 제 2슬롯들(S1)의 내부에 각각 삽입되어 고정되면, 제 2탄성 몸체(420)는 오므려 지고, 이에 따라 일정의 복원 탄성력을 지니게 된다.As described above, when the second probe pins 400 are inserted into and fixed in the second slots S1, respectively, the second
반면에, 제 2프로브 핀들(400)을 제 2슬롯들(S1) 각각으로부터 분리시키는 경우는, 다시 체결부재를 느슨하게 풀어서 가이드 플레이트들(200)을 TCP블록으로부터 약간 분리시키켜 공간을 마련하고, 제2프로브핀들(400)을 수직방향으로 분리시킨다. 본 발명에 따르는 제 2프로브 핀들(400)은 상기와 같은 방식으로 프로브 핀 교체를 선택적으로 용이하게 구현할 수 있다.On the other hand, when separating the second probe pins 400 from each of the second slots (S1), loosen the fastening member again to separate the
즉, 본 발명에 따르는 제 1프로브 핀들(300)은 수평 방향을 따라 제 1슬롯들(S1)로 삽입 및 분리되고, 제 2프로브 핀들(400)은 수직 방향을 따라 제 2슬롯들(S2)로 삽입 및 분리되기 때문에, 제 1슬롯들(S1)로의 제 1프로브 핀들(300)이 끼워지는 방향과 제 2슬롯들(S2)로의 제 2프로브 핀들(400)이 끼워지는 방향은 서로 수직으로 교차되는 방향이 된다. That is, the first probe pins 300 according to the present invention are inserted into and separated from the first slots S1 along the horizontal direction, and the second probe pins 400 are connected to the second slots S2 along the vertical direction. Since the first probe pins 300 are inserted into the first slots S1 and the second probe pins 400 into the second slots S2 are perpendicular to each other. It becomes the direction of intersection.
또한, 본 발명은 가이드 플레이들(200)을 식각 가공하는 경우에 프로브 핀들(300,400)이 삽입되는 제1 및 제2 슬롯들(S1,S2)을 한 번에 가공할 수 있기 때문에, 제1 및 제2 슬롯들(S1,S2)의 형상이 복잡한 경우에도 용이하게 가공이 가능하다.In addition, since the first and second slots S1 and S2 into which the probe pins 300 and 400 are inserted may be processed at a time when the guide plays 200 are etched, the first and second slots may be processed. Even when the shapes of the second slots S1 and S2 are complicated, the processing can be easily performed.
그리고, 프로브 핀들이 직접적으로 엘시디의 접속 단자에 물리적으로 접촉되어 신호를 전송하는 탐침부인 상기에 언급된 제 1,2벤딩부가 슬롯들의 내부에 위치되도록, 즉 외부로 과도하게 돌출되지 않도록 함과 아울러, 슬롯 내부의 내벽을 통하여 프로브 핀들의 양측을 커버함으로써, 제1, 2벤딩부를 외부의 물리적인 충격으로 인한 형상 변형 및 파손으로부터 보호할 수 있다. In addition, the above-described first and second bending parts, which are probes for transmitting signals by directly contacting the connection terminals of the LCD, with the probe pins, are positioned inside the slots, that is, do not protrude excessively to the outside. By covering both sides of the probe pins through the inner wall of the slot, the first and second bending parts may be protected from shape deformation and damage due to external physical impact.
이에 더하여, 본 발명은 가이드 플레이트들(200)의 하단 부분이 개방되기 때문에, 연성회로기판(F)과 프로브 핀들(300, 400)이 잘 접촉되는지를 외부에서 확인할 수 있고, 프로브 핀들(300,400)의 얼라인을 용이하게 실시할 수 있다.In addition, since the lower parts of the
<제 2실시예>≪
도 9 내지 도 14를 참조 하여, 본 발명의 제 2실시예를 따르는 적층구조의 프로브 유니트를 설명하도록 한다.9 to 14, a probe unit having a stacked structure according to a second embodiment of the present invention will be described.
도 9을 참조 하면, 본 발명의 적층구조의 프로브 유니트는 유니트 몸체(100)를 갖는다. 상기 유니트 몸체(100)에는 일각 모서리부가 절개되어 내부에 일정 공간을 이루는 설치홈(140)이 형성된다.9, the probe unit of the laminated structure of the present invention has a unit body (100). The corner portion of the
상기 설치홈(140)에는 본 발명에 따르는 다수개의 가이드 플레이트들(600)이 설치된다. 가이드 플레이트들(600)은 일정 폭 및 두께, 면적을 갖는 판상으로 이루어지는 웨이퍼들이다. 그리고, 상기 웨이퍼들은 서로 눕혀 있는 상태에서 수직방향으로 적층 된다.The
제2실시예에 따른 프로브 유니트의 구조는, 제1실시예에 따른 프로브 유니트의 구조와, 가이드 플레이트들(600)이 수직방향으로 적층되는 구조라는 점과, 최상단 가이드 플레이트(610)의 상면과 프로브 유니트 몸체(100) 사이에 연결블록(650)이 배치된다는 점에서 차이가 있다. The structure of the probe unit according to the second embodiment includes a structure of the probe unit according to the first embodiment, a structure in which the
즉, 가이드 플레이트들(600) 중에서 가장 위의 가이드 플레이트(610)와 프로브 유니트 몸체(100) 사이에 연결블록(650)이 형성되어 가이드 플레이트(600)를 프로브 유니트 몸체(100)에 고정시킨다. That is, the
적층되는 각각의 가이드 플레이트들(600)은 서로 본딩되며, 가장 위의 가이드 플레이트(610)와 연결블록(650)은 서로 본딩된다. 연결블록(650)은 체결부재(미도시)에 의해서 프로브 유니트 몸체(100)에 체결된다. The
따라서, 상기와 같은 차이점을 제외한 나머지 프로브 핀들의 구조와 슬롯들의 구조는 거의 유사하다. Therefore, except for the above-described difference, the structure of the other probe pins and the structure of the slots are almost similar.
상기와 같이 수직방향으로 적층되는 가이드 플레이트들(600)에는 가이드 플레이트(제 2가이드 플레이트(620))의 전면을 통하여 외부로 개구되는 제 1슬롯들(S'1)이 서로 일정 간격을 이루어 형성된다. 그리고, 가이드 플레이트들(600) 중 최하단의 가이드 플레이트(제 1가이드 플레이트(630))의 저면 일정 깊이로 파여 형성되는 다수개의 제 2슬롯들(S'2)이 일정 간격을 이루어 형성되는데, 제 2슬롯들(S'2)의 형성 위치는 제 1슬롯들(S'1)의 사이에 배치된다. In the
즉, 제1슬롯들(S'1)은 가이드 플레이트들(600) 중 최하단의 가이드 플레이트(630)의 위에 적층되는 가이드 플레이트들 중의 임의의 가이드 플레이트(도 10에서는 620번 가이드 플레이트)에 TCP블록 방향으로 일정한 깊이를 가지고 형성되며, 프로브 핀들이 상기 임의의 가이드 플레이트의 전면방향에서 삽입되도록 전면이 개구되며 일정한 간격으로 배열 형성된다. That is, the first slots S'1 are TCP blocks on any guide plate (guide
제 2슬롯들(S'2)은 최하단의 가이드 플레이트(630)에 일정한 깊이로 제 1슬롯들(S'1)의 사이에 형성되며, 프로브 핀들이 최하단의 가이드 플레이트(610)의 저면방향에서 삽입되도록 최하단의 가이드 플레이트(610)의 저면이 개구되며 일정한 간격으로 배열 형성된다. The second slots S'2 are formed between the first slots S'1 at a predetermined depth in the
제 1슬롯들(S'1)은 제 2가이드 플레이트(620)에 형성되어 전면방향으로 노출되고 가이드 플레이트들(제 1,2,3가이드 플레이트(630,620,610))이 TCP블록 방향으로 일정 깊이로 파여 형성된다. 여기서, 제 1슬롯들(S'1)의 형성은 식각 공정을 통하여 이루어질 수 있다.The first slots S'1 are formed in the
또한, 제 2슬롯들(S'2)은 제 1가이드 플레이트(630)의 저면에 노출되고, TCP블록 방향으로 일정 깊이로 파여 형성된다. 여기서, 제 2슬롯들(S'2)의 형성은 식각 공정을 통하여 이루어질 수 있다.In addition, the second slots S'2 are exposed on the bottom surface of the
다음은, 상기 제 1슬롯들(S'1)과 상기 제 2슬롯들(S'2)에 각각 끼워지는 프로브 핀들(700,800)에 대하여 설명하도록 한다.Next, probe pins 700 and 800 fitted to the first slots S'1 and the second slots S'2 will be described.
상기 제 1슬롯들(S'1)에는 제 1프로브 핀들(700)이 삽입되고, 상기 제 2슬롯들(S'2)에는 제 2프로브 핀들(800)이 삽입된다.First probe pins 700 are inserted into the first slots S'1 and second probe pins 800 are inserted into the second slots S'2.
도 10 및 도 11을 참조 하면, 상기 제 1프로브 핀들(700)은 일정 두께를 갖는 얇은 금속판으로 형성되고 그 일단은 엘시디 패널의 접속단자에 접촉되고 타단은 연성 회로 기판(F)과 전기적으로 접촉될 수 있다.10 and 11, the first probe pins 700 are formed of a thin metal plate having a predetermined thickness, one end of which is in contact with the connection terminal of the LCD panel, and the other end of which is in electrical contact with the flexible circuit board F. Referring to FIGS. Can be.
상기 제 1프로브 핀들(700) 각각은, 제 1프로브 핀 몸체(710)와, 상기 제 1프로브 핀 몸체(710)의 일측 상단으로부터 일정 길이 연장되며 일정 위치에 상방으로 돌출되는 제 1단턱(713)이 형성되는 제 1상단 연장 몸체(711)와, 상기 제 1프로브 핀 몸체(710)의 일측 하단으로부터 일정 길이 연장되며 그 단부에 하방을 따라 벤딩되는 제 1벤딩단(712a)이 형성되는 제 1하단 연장 몸체(712)와, 상기 제 1프로브 핀 몸체(710)의 타측에 형성되는 제 1탄성 몸체(720)로 구성된다.Each of the first probe pins 700 includes a first
여기서, 제 1상단 연장 몸체(711)와 상기 제 1하단 연장 몸체(712)는 제 1프로브 핀 몸체(710)의 상단과 하단에서 서로 벌어지도록 형성된다. 또한, 제 1탄성 몸체(720)의 단부에는 연성 회로 기판(F)과 전기적으로 접촉되는 제 1돌출 단자(721)가 형성된다.Here, the first
여기서, 제 1벤딩단(712a)은 엘시디 패널의 접속 단자에 접속되는 부분이고, 제 1돌출 단자(721)는 연성 회로 기판(F)과 전기적으로 접촉되는 부분이다. 그리고, 제 1탄성 몸체(720)는 반복적으로 굽은 형상을 이루어 일정의 탄성을 지니도록 형성된다. 따라서, 제 1탄성 몸체(720)는 스프링과 같은 역할을 할 수 있다.Here, the
또한, 도 12 및 도 13을 참조 하면, 제 2프로브 핀들(800) 각각은, 타측 상단에 단차진 제 1돌기단(816)이 형성되는 제 2프로브 핀 몸체(810)와, 상기 제 2프로브 핀 몸체(810)의 일측 상단으로부터 일정 길이 연장되며 그 단부에 단차진 제 2돌기단(812)이 형성되는 제 2상단 연장 몸체(811)와, 상기 제 2프로브 핀 몸체(810)의 일측 하단으로부터 일정 길이 연장되며 그 단부에 하방으로 벤딩되는 제 2벤딩단(815)이 형성되는 제 2하단 연장 몸체(814)와, 제 2프로브 핀 몸체(810)의 타측에 형성되는 제 2탄성 몸체(820)로 형성된다. 제2하단 연장 몸체(814)의 길이는 다양할 수 있으나, 도 13에 도시된 것처럼 제 2상단 연장 몸체(811)의 길이 보다 길 수 있다. 12 and 13, each of the second probe pins 800 includes a second
여기서, 제 2벤딩단(815)은 엘시디 패널의 접속 단자에 접속되는 부분이고, 제 2돌출 단자(821)는 연성 회로 기판(F)과 전기적으로 접촉되는 부분이다. 그리고, 제 2탄성 몸체(820)는 반복적으로 굽은 형상을 이루어 일정의 탄성을 지니도록 형성된다. 따라서, 제 2탄성 몸체(820)는 스프링과 같은 역할을 할 수 있다.Here, the
제2프로브핀(800)의 경우, 제2상단연장몸체(811)가 일정길이 연장되고 그 단부에 제2돌기단(812)이 형성되는 구조 이외에도, 제2돌기단(812)이 제2상단연장몸체(811)의 단부에 형성되는 것이 아니라 제1돌기단(816)하부의 제2프로브핀몸체(810)에서 직접 돌출되는 구조로 형성될 수도 있다. 즉, 제2상단연장몸체(811) 없이 제2프로브핀몸체(810)로부터 직접 돌출되는 것이다. 제1돌기단 또한 제2프로브핀몸체(810)에서 직접 돌출되도록 할 수도 있다. In the case of the
이어, 상기와 같이 구성되는 프로브 핀들(700,800)이 삽입되어 고정 및 분리되는 공간을 제공하는 제 1슬롯들(S'1) 및 제 2슬롯들(S'2)의 내부 형상을 설명하도록 한다.Next, the internal shapes of the first slots S'1 and the second slots S'2 providing a space in which the probe pins 700 and 800 configured as described above are inserted and fixed and separated will be described.
상기 제 1슬롯들(S'1) 각각은, 제 2가이드 플레이트들(620)에 형성되는 관통홀들(621)로 이루어진다.Each of the first slots S′1 includes through
최하단의 가이드 플레이트(630) 위의 임의의 위치에 적층되며 제 1슬롯들(S'1)이 형성되는 가이드 플레이트(620) 바로 위의 가이드 플레이트(610)의 하면부에는 제 1상단 연장 몸체(711)의 제 1단턱(713)이 걸리도록 제 1홈(611)이 형성되고, 제 1슬롯들(S'1)이 형성되는 가이드 플레이트(620)의 바로 아래의 가이드 플레이트(630)에는 제1 프로브 핀(700)의 제 1벤딩단(712a)이 가이드 플레이트들(600)의 내부에 위치되도록 제 1벤딩단(712a)이 걸치는 걸침면(631)이 형성된다. The first upper extension body is formed on a lower surface of the
구체적으로, 중앙의 가이드 플레이트(제 2가이드 플레이트(620))에 형성된 관통홀(621)의 상면부에 적층되는 제 3가이드 플레이트(610)의 하단에는 제 1상단 연장 몸체(711)의 제 1단턱(713)이 걸리도록 제 1홈(611)이 형성된다. 제 1홈(611)의 전단에는 제 1단턱(713)의 외부로의 돌출을 제한하고 제 1상단 연장 몸체(711)의 단부(711a)를 지지하는 턱부(611a)가 형성된다.Specifically, the first of the first
또한, 최하단의 가이드 플레이트인 제 1가이드 플레이트(630)의 전단에는 제 1벤딩단(712a)이 제 1슬롯(S'1)의 내부에 위치되도록 제 1벤딩단(712a)이 걸치는 걸침면(631)이 형성된다. 여기서, 걸침면(631)의 형성 위치는 제 2,3가이드 플레이트(620,610)의 일단면으로부터 TCP블록 방향으로 이격되는 위치에 형성되어 제 1벤딩단(712a)이 가이드 플레이트들(600) 외부로 돌출되는 것을 방지할 수 있다.In addition, the front surface of the
그리고, 제 1상단 연장 몸체(711)의 단부(711a)는 일정 길이가 제 1슬롯(S'1)의 외부로 돌출될 수 있다. 즉, 제 1상단 연장 몸체(711)의 단부(711a)를 하방으로 누르면, 상기 제 1단턱(713)은 제 1홈(611)으로부터 이탈된다. In addition, the
한편, 도 12 및 도 13을 참조 하면, 상기 제 2슬롯들(S'2) 각각은 최하단의 가이드 플레이트들(제 1가이드 플레이트(630))의 저면에 형성되는 절개홀들(632)로 이루어진다.Meanwhile, referring to FIGS. 12 and 13, each of the second slots S′2 includes cutout holes 632 formed at the bottom of the lowermost guide plates (the first guide plate 630). .
제 2슬롯들(S'2)에는, 제 1돌기단(816)이 끼워져 걸쳐지도록 최하단의 가이드 플레이트(630) 상부에 적층된 가이드 플레이트(620)의 하면부에 제 1돌기홈(623)이 형성되고, 제 2돌기단(812)이 끼워져 걸쳐지도록 최하단의 가이드 플레이트(630) 상부에 적층된 가이드 플레이트(620)의 하면부에 제 2돌기홈(622)이 형성된다. 여기서, 상기 제 2돌기단(812)은 제 2상단 연장 몸체(811)를 따라 단차(813) 지도록 형성된다.In the second slots S'2, the
제 1돌기홈(623)과 제 2돌기홈(622) 각각은, 제 1돌기단(816) 및 제 2돌기단(812)이 끼워질 수 있도록 제 1돌기단(816) 및 제 2돌기단(812)의 형상과 상응 되는 형상으로 형성된다.Each of the
제1벤딩단(712a) 및 제2벤딩단(815)은 모두 제1가이드 플레이트(630)의 수직 하방으로 돌출되는 구조를 가지며, 제1벤딩단(712a) 및 제2벤딩단(815)은 제1가이드 플레이트(630)에 거의 삽입되어 보호된다. Both the
본 발명의 제 2실시예에 따른 프로브 핀들(700,800)의 슬롯들(S'1,S'2)로의 고정 및 분리 방식은 제 1실시예에 따른 프로브핀들(300, 400)의 슬롯들(S1, S2)로의 고정 및 분리 방식과 동일하므로 상세한 설명을 생략한다. The fixing and detachment of the probe pins 700 and 800 to the slots S'1 and S'2 according to the second embodiment of the present invention is performed by the slots S1 of the probe pins 300 and 400 according to the first embodiment. , S2) is the same as the fixing and separation method, so detailed description thereof will be omitted.
미설명 부호 110은 얼라인 핀(500)이 삽입되는 홀이다.
100 : 유니트 몸체 140 : 설치홈
200, 600 : 가이드 플레이트 300, 700 : 제 1프로브 핀
400, 800 : 제 2프로브 핀 500 : 얼라인 핀
S1, S'1 : 제 1슬롯들 S2. S'2 : 제 2슬롯들 100: unit body 140: mounting groove
200, 600:
400, 800: second probe pin 500: alignment pin
S1, S'1: first slots S2. S'2: Second slots
Claims (11)
상기 다수개의 슬롯들의 내부에 삽입되어 상기 슬롯들 내부에 형성되는 단차에 의해 고정되며, 끝단이 상기 다수개의 가이드 플레이트들의 저면의 하부로 돌출되는 다수개의 프로브 핀들을 포함하는 것을 특징으로 하는 적층구조의 프로브 유니트.A plurality of guide plates arranged in a line in the horizontal direction, having a plurality of slots which are staggered with each other at a predetermined interval and formed at a predetermined depth in the horizontal direction; And
A plurality of probe pins inserted into the plurality of slots and fixed by a step formed in the slots, the ends of the plurality of probe pins protruding below the bottoms of the plurality of guide plates; Probe unit.
상기 다수개의 슬롯들은,
상기 프로브 핀들이 상기 가이드 플레이트들 중 최외곽의 가이드 플레이트의 전면방향에서 삽입되도록 상기 최외곽 가이드 플레이트의 전면 하부가 개구되며 일정한 간격으로 일렬로 형성되고, 상기 최외곽의 가이드 플레이트의 전면부터 가장 안쪽의 가이드 플레이트의 후면까지 파여 형성되는 제 1슬롯들과,
상기 제 1슬롯들의 사이에 형성되며, 상기 프로브 핀들이 상기 가이드 플레이트들의 저면방향에서 삽입되도록 상기 가이드 플레이트들의 저면이 개구되며 일정한 간격으로 형성되는 제 2슬롯들을 구비하는 것을 특징으로 하는 적층구조의 프로브 유니트.The method of claim 1,
The plurality of slots,
The front lower part of the outermost guide plate is opened and formed in a row at regular intervals so that the probe pins are inserted in the front direction of the outermost guide plate among the guide plates, and are innermost from the front of the outermost guide plate. First slots formed by digging up to the rear of the guide plate of the
A probe having a stack structure formed between the first slots and having second slots formed at regular intervals with the bottoms of the guide plates opened so that the probe pins are inserted in the bottom direction of the guide plates; Unit.
상기 다수개의 프로브 핀들은,
상기 제 1슬롯들에 삽입되는 제 1프로브 핀들과, 상기 제 2슬롯들에 삽입되는 제 2프로브 핀들을 구비하되,
상기 제 1프로브 핀들 각각은, 제 1프로브 핀 몸체와, 상기 제 1프로브 핀 몸체의 일측 상단으로부터 일정 길이 연장되며 일정 위치에 상방으로 돌출되는 제 1단턱이 형성되는 제 1상단 연장 몸체와, 상기 제 1프로브 핀 몸체의 일측 하단으로부터 일정 길이 연장되며 그 단부에 하방을 따라 벤딩되는 제 1벤딩단이 형성되는 제 1하단 연장 몸체와, 상기 제 1프로브 핀 몸체의 타측에 형성되는 제 1탄성 몸체를 구비하고,
상기 제 2프로브 핀들 각각은, 타측 상단에 단차진 제 1돌기단이 형성되는 제 2프로브 핀 몸체와, 상기 제 2프로브 핀 몸체의 일측 상단으로부터 일정 길이 연장되며 그 단부에 단차진 제 2돌기단이 형성되는 제 2상단 연장 몸체와, 상기 제 2프로브 핀 몸체의 일측 하단으로부터 일정 길이 연장되며 그 단부에 하방으로 벤딩되는 제 2벤딩단이 형성되는 제 2하단 연장 몸체와, 상기 제 2프로브 핀 몸체의 타측에 형성되는 제 2탄성 몸체를 구비하는 것을 특징으로 하는 적층구조의 프로브 유니트.The method of claim 2,
The plurality of probe pins,
First probe pins inserted into the first slots and second probe pins inserted into the second slots,
Each of the first probe pins includes: a first probe pin body; a first upper extension body having a first step extending from a top of one side of the first probe pin body and protruding upward at a predetermined position; A first lower end body extending from a lower end of one side of the first probe pin body and having a first bending end bent downward at an end thereof, and a first elastic body formed at the other side of the first probe pin body; And
Each of the second probe pins may include: a second probe pin body having a stepped first protrusion end formed at an upper end of the second probe, and a second protrusion end extending at a predetermined length from an upper end of one side of the second probe pin body; The second upper end body is formed, the second lower end body extending a predetermined length from one side lower end of the second probe pin body and bent downward at the end is formed, the second lower end body, and the second probe pin And a second elastic body formed on the other side of the body.
상기 제 1슬롯들 각각은,
다수개의 가이드 플레이트들에 각각 형성되는 관통홀들로 이루어지되,
상기 가이드 플레이트들 중에서 임의의 가이드 플레이트에 형성된 관통홀의 상면부에는 상기 제 1상단 연장 몸체의 제 1단턱이 걸리도록 제 1홈이 형성되고, 상기 최외곽의 가이드 플레이트에 형성된 관통홀의 하면부에는 상기 제 1벤딩단이 상기 가이드 플레이트들의 내부에 위치되도록 상기 제 1벤딩단이 걸치는 걸침면이 형성되고,
상기 제 2슬롯들 각각은,
다수개의 가이드 플레이트들의 저면에 형성되는 절개홀들로 이루어지되,
상기 제 1돌기단이 끼워져 걸쳐지도록 상기 가이드 플레이트들 중 어느 하나에 형성된 절개홀의 상면부에는 제 1돌기홈이 형성되고,
상기 제 2돌기단이 끼워져 걸쳐지도록 상기 가이드 플레이트들 중 다른 하나에 형성된 절개홀의 상면부에는 제 2돌기홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 적층구조의 프로브 유니트.The method of claim 3,
Each of the first slots,
Consists of through holes formed in the plurality of guide plates, respectively
The first groove is formed in the upper surface portion of the through hole formed in any guide plate among the guide plates so as to catch the first step of the first upper extension body, and in the lower surface portion of the through hole formed in the outermost guide plate. The first surface is placed across the first bending end is formed so that the first bending end is located inside the guide plates,
Each of the second slots,
Consists of the cutting holes formed in the bottom of the plurality of guide plates,
A first projection groove is formed in an upper surface portion of the cut-out hole formed in any one of the guide plates so that the first projection end is inserted therein.
And a second protrusion groove is formed in an upper surface portion of the cutout hole formed in the other one of the guide plates so that the second protrusion end is inserted therein.
상기 제1프로브핀은,
상기 제 1상단 연장 몸체의 단부가 상기 제 1슬롯의 외부로 일정 길이 돌출되고,
상기 제1슬롯의 외부로 돌출된 상기 제1상단 연장 몸체의 단부를 하방으로 눌러주면 상기 제1탄성 몸체의 탄성력에 의해 최외곽 가이드 플레이트 방향으로 상기 제1슬롯으로부터 분리되는 것을 특징으로 하는 적층구조의 프로브 유니트The method of claim 3,
The first probe pin,
An end portion of the first upper extension body protrudes a predetermined length to the outside of the first slot,
When pressing down the end of the first upper extension body protruding to the outside of the first slot is laminated structure characterized in that separated from the first slot in the outermost guide plate direction by the elastic force of the first elastic body Probe unit
상기 다수개의 슬롯들의 내부에 삽입되어 상기 슬롯들 내부에 형성되는 단차에 의해 고정되며, 끝단이 상기 다수개의 가이드 플레이트들의 저면의 하부로 돌출되는 다수개의 프로브 핀들을 포함하는 것을 특징으로 하는 적층구조의 프로브 유니트.A plurality of guide plates stacked in a vertical direction, the plurality of guide plates having a plurality of slots that are staggered with each other at a predetermined interval; And
A plurality of probe pins inserted into the plurality of slots and fixed by a step formed in the slots, the ends of the plurality of probe pins protruding below the bottoms of the plurality of guide plates; Probe unit.
상기 다수개의 슬롯들은,
상기 가이드 플레이트들 중 최하단의 가이드 플레이트의 위의 임의의 가이드 플레이트에 일정한 깊이를 가지고 형성되며, 상기 프로브 핀들이 상기 임의의 가이드 플레이트의 전면방향에서 삽입되도록 전면이 개구되며 일정한 간격으로 배열 형성되는 제 1슬롯들과,
상기 최하단의 가이드 플레이트에 일정한 깊이로 상기 제 1슬롯들의 사이에 형성되며, 상기 프로브 핀들이 상기 최하단의 가이드 플레이트의 저면방향에서 삽입되도록 상기 최하단의 가이드 플레이트의 저면이 개구되며 일정한 간격으로 배열 형성되는 제 2슬롯들을 구비하는 것을 특징으로 하는 적층구조의 프로브 유니트.The method of claim 6,
The plurality of slots,
The guide plate is formed to have a predetermined depth on any of the guide plate of the lowermost of the guide plate, the front surface is opened so that the probe pins are inserted in the front direction of the arbitrary guide plate and are formed at regular intervals; 1 slot,
The lowermost guide plate is formed between the first slots with a predetermined depth, and the bottom surface of the lowermost guide plate is opened and arranged at regular intervals so that the probe pins are inserted in the bottom direction of the lowermost guide plate. Probe unit of the laminated structure characterized in that it comprises a second slot.
상기 다수개의 프로브 핀들은,
상기 제 1슬롯들에 삽입되는 제 1프로브 핀들과, 상기 제 2슬롯들에 삽입되는 제 2프로브 핀들을 구비하되,
상기 제 1프로브 핀들 각각은, 제 1프로브 핀 몸체와, 상기 제 1프로브 핀 몸체의 일측 상단으로부터 일정 길이 연장되며 일정 위치에 상방으로 돌출되는 제 1단턱이 형성되는 제 1상단 연장 몸체와, 상기 제 1프로브 핀 몸체의 일측 하단으로부터 일정 길이 연장되며 그 단부에 하방을 따라 벤딩되는 제 1벤딩단이 형성되는 제 1하단 연장 몸체와, 상기 제 1프로브 핀 몸체의 타측에 형성되는 제 1탄성 몸체를 구비하고,
상기 제 2프로브 핀들 각각은, 타측 상단에 단차진 제 1돌기단이 형성되는 제 2프로브 핀 몸체와, 상기 제 2프로브 핀 몸체의 일측 상단으로부터 일정 길이 연장되며 그 단부에 단차진 제 2돌기단이 형성되는 제 2상단 연장 몸체와, 상기 제 2프로브 핀 몸체의 일측 하단으로부터 일정길이 연장되며, 그 단부에 하방으로 벤딩되는 제 2벤딩단이 형성되는 제 2하단 연장 몸체와, 상기 제 2프로브 핀 몸체의 타측에 형성되는 제 2탄성 몸체를 구비하는 것을 특징으로 하는 적층구조의 프로브 유니트.The method of claim 7, wherein
The plurality of probe pins,
First probe pins inserted into the first slots and second probe pins inserted into the second slots,
Each of the first probe pins includes: a first probe pin body; a first upper extension body having a first step extending from a top of one side of the first probe pin body and protruding upward at a predetermined position; A first lower end body extending from a lower end of one side of the first probe pin body and having a first bending end bent downward at an end thereof, and a first elastic body formed at the other side of the first probe pin body; And
Each of the second probe pins may include: a second probe pin body having a stepped first protrusion end formed at an upper end of the second probe, and a second protrusion end extending at a predetermined length from an upper end of one side of the second probe pin body; The second upper end body is formed, the second lower end extending body which extends a predetermined length from one side lower end of the second probe pin body, the second bending end is formed to be bent downward at the end, and the second probe And a second elastic body formed on the other side of the pin body.
상기 제 1슬롯들 각각은 일정한 깊이로 파이는 관통홀들로 이루어지되,
상기 최하단의 가이드 플레이트 위의 임의의 위치에 적층되며 상기 제1슬롯들이 형성되는 가이드 플레이트 바로 위의 가이드 플레이트의 하면부에는 상기 제 1상단 연장 몸체의 제 1단턱이 걸리도록 제 1홈이 형성되고, 상기 제1 슬롯들이 형성되는 가이드 플레이트의 바로 아래의 가이드 플레이트에는 상기 제1 프로브 핀의 상기 제 1벤딩단이 상기 가이드 플레이트들의 내부에 위치되도록 상기 제 1벤딩단이 걸치는 걸침면이 형성되고,
상기 제 2슬롯들 각각은,
상기 최하단의 가이드 플레이트 저면에 형성되는 절개홀들로 이루어지되,
상기 제 1돌기단이 끼워져 걸쳐지도록 상기 최하단의 가이드 플레이트 상부에 적층된 가이드 플레이트의 하면부에 제 1돌기홈이 형성되고,
상기 제 2돌기단이 끼워져 걸쳐지도록 상기 최하단의 가이드 플레이트 상부에 적층된 가이드 플레이트의 하면부에 제 2돌기홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 적층구조의 프로브 유니트.The method of claim 8,
Each of the first slots is formed of a through hole through the pie to a certain depth,
A first groove is formed in the lower surface portion of the guide plate directly above the guide plate on which the first slots are formed and stacked at an arbitrary position on the lowermost guide plate so as to catch the first step of the first upper extension body. The guide plate immediately below the guide plate on which the first slots are formed is formed with an intersecting surface on which the first bending end extends such that the first bending end of the first probe pin is located inside the guide plates.
Each of the second slots,
Consists of the cutting holes formed in the bottom of the guide plate of the lowest end,
A first projection groove is formed in a lower surface portion of the guide plate laminated on the lowermost guide plate so that the first projection end is inserted therein,
And a second projection groove formed in a lower surface of the guide plate stacked on the lowermost guide plate so that the second projection end is inserted therein.
상기 제 1상단 연장 몸체의 단부는 상기 제 1슬롯의 외부로 일정 길이 돌출되고,
상기 제1슬롯의 외부로 돌출된 상기 제1상단 연장 몸체의 단부를 하방으로 눌러주면 상기 제1탄성 몸체의 탄성력에 의해 제1상단 연장 몸체 방향으로 상기 제1슬롯으로부터 분리되는 것을 특징으로 하는 적층구조의 프로브 유니트.The method of claim 8, wherein the first probe pin,
An end portion of the first upper extension body protrudes a predetermined length to the outside of the first slot,
Depressing an end portion of the first upper extension body protruding outwardly of the first slot downwardly is separated from the first slot in the direction of the first upper extension body by the elastic force of the first elastic body Probe unit of construction.
상기 적층되는 가이드 플레이트들 및 상기 연결블록은 서로 본딩되며,
상기 연결블록은 체결부재에 의해서 상기 프로브 유니트 몸체에 체결되는 것을 특징으로 하는 적층구조의 프로브 유니트. The method of claim 6, wherein the connection block is formed between the top guide plate and the probe unit body of the guide plate,
The laminated guide plates and the connection block are bonded to each other,
The connecting block is a probe unit of a laminated structure, characterized in that fastening to the probe unit body by a fastening member.
Priority Applications (1)
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KR1020100082635A KR101162661B1 (en) | 2010-08-25 | 2010-08-25 | Stacked probe unit |
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Publications (2)
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Family Applications (1)
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Cited By (2)
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KR102225546B1 (en) * | 2020-11-13 | 2021-03-10 | 주식회사 프로이천 | Probe Pin Block |
KR102475883B1 (en) * | 2022-11-09 | 2022-12-08 | 윌테크놀러지(주) | Needle block with variable spacer for adjusting the length of needle tip |
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2010
- 2010-08-25 KR KR1020100082635A patent/KR101162661B1/en not_active IP Right Cessation
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