KR102475883B1 - Needle block with variable spacer for adjusting the length of needle tip - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 니들 팁의 길이조절을 위한 가변형 스페이서를 갖는 니들블럭에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 제조시 가공정밀도가 향상되어 상면 및 저면의 평탄도가 개선되고, 이로 인해 조립과정에서 부가적인 밸런스 조정이 불필요하며, 조립이 용이할 뿐 아니라 구조적 안정성을 향상시킬 수 있는 기술에 관한 것이다.The present invention relates to a needle block having a variable spacer for adjusting the length of a needle tip, and more particularly, the processing precision is improved during manufacturing to improve the flatness of the upper and lower surfaces, thereby additionally adjusting the balance in the assembly process. This is unnecessary, and it relates to a technology capable of improving structural stability as well as being easy to assemble.
일반적으로 반도체나 반도체 패키지용 회로기판은 제조가 완료된 후 대상물에 전기적 신호를 인가하고, 인가된 전기적 신호로부터 체크되는 신호를 통해 대상물의 불량여부를 판별하는 검사공정이 실시되고 있으며, 해당 검사공정의 설비에는 웨이퍼를 구성하고 있는 칩 또는 회로기판을 검사하기 위한 검사장치가 사용되고 있다.In general, a circuit board for a semiconductor or semiconductor package is subjected to an inspection process in which an electrical signal is applied to an object after manufacturing is completed, and whether or not the object is defective is determined through a signal checked from the applied electrical signal. An inspection device for inspecting a chip or a circuit board constituting a wafer is used in the facility.
이러한 검사장치에는 검사대상물에 접촉되어 전기적 신호를 인가하는 다수의 니들(Needle)이 구비된 니들블럭을 포함하는데, 통상 웨이퍼의 각 디바이스 전극 또는 회로기판 상의 회로패턴이나 단자에 니들블럭의 니들을 접촉시키고, 니들을 통해 특정 전류를 통전시켜 그때 출력되는 전기적 특성을 측정하는 구조를 가진다.Such an inspection device includes a needle block equipped with a plurality of needles that contact an object to be inspected and apply an electrical signal. Normally, the needles of the needle block contact each device electrode of a wafer or a circuit pattern or terminal on a circuit board. and has a structure in which a specific current is passed through a needle to measure the electrical characteristics output at that time.
이때, 니들(Needle)은 전용 설비에 장착 후 사용하기 전 평탄도를 조절하기 위한 공정이나 검사동작 또는 검사동작 과정에서 발생되는 불순물을 제거하는 연마 공정 시 물리적인 마모가 발생하며, 마모로 인해 니들의 길이가 특정 수준까지 짧아지게 되면, 니들을 교체하여야 하는 바 니들의 교체로 인해 해당 검사장치의 유지비용이 증가하는 문제점이 있었다.At this time, the needle is physically abraded during a process to adjust the flatness before use after being installed in a dedicated facility, or during an inspection operation or a polishing process to remove impurities generated during the inspection operation, and wear causes the needle to When the length of is shortened to a certain level, there is a problem in that the maintenance cost of the inspection device increases due to the replacement of the needle bar that needs to be replaced.
이에 니들블럭의 높이를 조절하여 니들 팁의 길이를 재조정할 수 있는 기술이 개발된 바 있으며, 그 일예가 도1에 도시되어 있다.Accordingly, a technique for readjusting the length of the needle tip by adjusting the height of the needle block has been developed, an example of which is shown in FIG.
도1은 종래의 니들 팁의 길이조절이 가능한 테스트 장치의 니들블럭을 개략적으로 도시한 도면이다.1 is a view schematically showing a needle block of a conventional test device capable of adjusting the length of a needle tip.
도1에서 보는 바와 같이 종래의 니들 팁의 길이조절이 가능한 테스트 장치의 니들블럭(100)은 검사대상물에 전기적으로 접촉되는 다수의 니들(110)과, 일측에 니들(110)이 삽입되고 이를 지지하는 가이드 블럭(120) 및 가이드 블럭(120) 일측 중 하부 가이드 플레이트 일측에 개재되는 스페이서(130)로 구성된다.As shown in FIG. 1, the
이러한, 종래의 니들 팁(T) 길이조절이 가능한 니들블럭(100)은 니들 팁(T)이 마모된 경우 스페이서(130)를 가이드 블럭(120)으로부터 인출하여 가이드 블럭(120)의 높이를 낮아지도록 함으로써 낮아진 가이드 블럭(120)의 높이만큼 니들 팁(T)이 외부로 노출되도록 한다.Such a
이렇게 종래의 니들 팁 길이조절이 가능한 니들블럭(100)은 외부로 노출되는 니들(110)의 팁 길이를 조절하고, 재사용 가능하도록 함으로써 니들(110)의 수명을 보다 증대시킬 수 있는 장점이 있다.The conventional needle tip length-
그러나, 종래의 니들 팁 길이조절이 가능한 니들블럭(100)은 니들 팁(T)의 길이를 조절하기 위해 스페이서(130)를 인출하는 과정에서 스페이서(130)의 일측이 니들(110)에 간섭되지 않도록 스페이서(130)가 'ㄷ'자 형상과 같이 일측이 개방된 형상으로 형성되는 바 스페이서(130)가 가이드블럭(120)의 구성과 국부적으로 접촉되므로 검사과정에서 가이드블럭(120)이 유동되는 등 안정성 측면에서 문제가 발생되었다.However, in the
그리고, 일반적으로 가공대상물의 내측부와 단부측간 가공오차가 발생하며, 이 가공오차로 인해 평탄도 차이가 발생하는데, 종래의 니들 팁 길이조절이 가능한 니들블럭(100)은 스페이서(130)의 일측이 개방된 형상을 취하면서 단부가 형성되는 바 위와 같은 이유로 평탄도 차이가 발생하여 스페이서(130)를 설치하는 과정에서 별도의 평탄도 보정 작업이 요구되므로 니들블럭(100)의 조립공정이 매우 번거로우며, 사용과정에서도 니들블럭 상 유동을 증가시키는 주요 원인이 되어 안정성이 크게 저하되는 문제점이 발생되었다.And, in general, a processing error occurs between the inner side and the end side of the object to be processed, and a difference in flatness occurs due to this processing error. Since the end is formed while taking an open shape, a difference in flatness occurs for the same reason, and a separate flatness correction operation is required in the process of installing the
특히, 니들 팁(T)의 길이를 다중으로 조절하기 위해 다수의 스페이서(130)를 상하로 적층하여 사용하고자 하는 경우에는 위와 같은 문제가 더욱 심각하게 두드러지는 문제가 있었다.In particular, in the case where a plurality of
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 가공정밀도가 향상되어 상면 및 저면의 평탄도가 개선되고, 이로 인해 조립과정에서 부가적인 밸런스 조정이 불필요하며, 조립이 용이할 뿐 아니라 구조적 안정성을 향상시킬 수 있는 니들 팁의 길이조절을 위한 가변형 스페이서를 갖는 니들블럭를 제공함에 있다.The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to improve the flatness of the top and bottom surfaces by improving the processing precision, thereby eliminating the need for additional balance adjustment in the assembly process, It is an object of the present invention to provide a needle block having a variable spacer for adjusting the length of a needle tip, which can improve structural stability as well as easy.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일측면에 따르면, 전기적 신호를 인가하고, 인가된 전기적 신호로부터 체크되는 신호를 통해 대상물의 불량여부를 판별하는 테스트 장치의 니들블럭에 있어서, 하단부가 상기 대상물에 전기적으로 접촉되며, 일측이 외부의 분석설비와 연결되는 니들과, 일측에 상기 니들이 삽입되고, 삽입된 상기 니들의 일측을 지지하는 가이드 블럭 및 상기 가이드 블럭의 일측에 상기 니들이 배치되는 영역을 감싸도록 설치되며, 상기 가이드 블럭의 외측방향으로 임계치 이상의 외력이 가해지는 경우 일측이 파단되고 개방된 형상으로 다수 분리되면서 상기 니들에 간섭없이 상기 가이드 블럭의 외측방향으로 이탈하는 스페이서를 포함하는 것을 특징으로 하는 니들 팁의 길이조절을 위한 가변형 스페이서를 갖는 니들블럭을 제공한다.According to one aspect of the present invention for achieving the above object, in the needle block of a test device for applying an electrical signal and determining whether an object is defective through a signal checked from the applied electrical signal, the lower end is A needle that is in electrical contact with the object and one side of which is connected to an external analysis facility, a guide block into which the needle is inserted and supporting one side of the inserted needle, and an area where the needle is disposed on one side of the guide block It is installed to surround the guide block, and when an external force greater than a threshold value is applied to the outer direction of the guide block, one side is broken and separated into a plurality of open shapes without interfering with the needle. Characterized in that it includes a spacer that departs outward from the guide block To provide a needle block having a variable spacer for adjusting the length of the needle tip.
그리고, 상기 스페이서는 다수개가 상기 니들이 배치되는 영역을 감싸도록 배치되고, 외측방향으로 임계치 이상의 외력이 가해지는 경우 상기 니들에 간섭되지 않고 상기 가이드 블럭의 외측방향으로 이탈되는 간격조절블럭과, 상기 다수의 간격조절블럭을 연결하되, 상기 간격조절블럭과 일체로 형성되고, 임계치 이상의 외력이 가해지는 경우 파단되는 복수의 브릿지를 포함하는 것이 바람직하다.In addition, a plurality of spacers are arranged to surround the area where the needles are disposed, and when an external force equal to or greater than a threshold value is applied outwardly, a spacing control block that departs from the guide block in an outward direction without interfering with the needles, and the plurality of spacers However, it is preferable to include a plurality of bridges that are formed integrally with the spacing control block and are broken when an external force equal to or greater than a threshold value is applied.
또한, 상기 간격조절블럭은 일측으로부터 상기 니들이 배치되는 영역 중 빈 공간과 대응되는 영역으로 연장형성되는 연장지지부를 더 포함할 수 있다.In addition, the spacing control block may further include an extension support portion extending from one side to an area corresponding to an empty space among areas where the needle is disposed.
아울러, 상기 복수의 브릿지는 적어도 둘 이상이 서로 다른 인장력을 갖도록 형성되며, 외력이 가해지는 경우 인장력이 낮은 순서대로 파단되는 것이 바람직하다.In addition, at least two or more of the plurality of bridges are formed to have different tensile forces, and when an external force is applied, it is preferable that the tensile force is broken in order of decreasing tensile force.
그리고, 상기 복수의 브릿지는 적어도 둘 이상이 서로 다른 직경을 갖도록 형성되며, 외력이 가해지는 경우 직경이 작은 순서대로 파단될 수 있다.In addition, at least two or more of the plurality of bridges are formed to have different diameters, and when an external force is applied, they may be broken in order of smaller diameters.
또한, 상기 복수의 브릿지는 적어도 둘 이상이 일측에 직경이 작아지는 협곡부가 형성되며, 외력이 가해지는 경우 상기 협곡부가 형성된 브릿지부터 파단되는 것이 바람직하다.In addition, at least two or more of the plurality of bridges have canyon portions having a smaller diameter on one side, and when an external force is applied, it is preferable that the bridge having the canyon portions be broken.
아울러, 상기 브릿지는 일측이 적어도 한번 이상 절곡되어 형성될 수 있다.In addition, the bridge may be formed by bending one side at least once.
그리고, 상기 다수의 간격조절블럭은 일측에 돌기 또는 홈이 형성되어 상호 조립되며, 조립순서의 역순으로 상기 가이드 블럭에서 이탈되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the plurality of spacing control blocks are mutually assembled by forming protrusions or grooves on one side, and depart from the guide block in the reverse order of the assembly order.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 제조시 가공정밀도가 향상되어 상면 및 저면의 평탄도가 개선되고, 이로 인해 조립과정에서 부가적인 밸런스 조정이 불필요하며, 조립이 용이할 뿐 아니라 구조적 안정성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.According to the present invention as described above, the flatness of the upper and lower surfaces is improved by improving the processing precision during manufacturing, thereby eliminating the need for additional balance adjustment in the assembly process, facilitating assembly and improving structural stability. There is an effect.
도1은 종래의 니들 팁 길이조절이 용이한 니들블럭을 도시한 도면,
도2는 본 발명의 일실시예에 따른 니들 팁의 길이조절을 위한 가변형 스페이서를 갖는 니들블럭을 개략적으로 도시한 도면,
도3a는 본 발명의 일실시예에 따른 스페이서의 평면도,
도3b는 본 발명의 일실시예에 따른 브릿지가 다른 형태로 간격조절블럭들을 연결한 구조의 평면도,
도4는 본 발명의 일실시예에 따른 스페이서의 설치 가능위치를 도시한 도면,
도5는 본 발명의 일실시예에 따른 간격조절블럭이 가이드 블럭의 외측방향으로 이탈되는 경우 브릿지가 파단되는 상태를 도시한 도면,
도6은 본 발명의 일실시예에 따른 니들 팁의 길이가 조절된 상태를 도시한 도면,
도7a는 본 발명의 일실시예에 따른 하나의 플레이트 일측이 절개되어 다수의 간격조절블럭으로 구획하고, 절개되지 않은 일측을 통해 브릿지를 형성한 스페이서의 형태를 도시한 도면,
도7b는 본 발명의 일실시예에 따른 다수의 간격조절블럭을 일체로 형성하면서도 내부영역이 개방되게 형성된 스페이서의 형태를 도시한 도면,
도8a 내지 도8e는 본 발명의 일실시예에 따른 절개부가 다양한 형태로 형성되어 이웃하는 간격조절블럭들이 서로 맞물리는 형태로 배치된 상태를 도시한 도면,
도9는 본 발명의 일실시예에 따른 연장지지부가 형성된 상태를 도시한 도면
도10은 본 발명의 일실시예에 따른 브릿지의 수량 변경을 통해 간격조절블럭의 이탈순서를 제어하는 일예를 도시한 도면,
도11a은 본 발명의 일실시예에 따른 복수의 브릿지간 두께를 변경한 상태를 도시한 도면,
도11b는 본 발명의 일실시예에 따른 브릿지 일측에 협곡부를 형성한 상태를 도시한 도면,
도12는 본 발명의 일실시예에 따른 다수의 간격조절블럭이 조립구조로 형성된 상태를 도시한 도면.1 is a view showing a needle block for easy length adjustment of a conventional needle tip;
2 schematically shows a needle block having a variable spacer for adjusting the length of a needle tip according to an embodiment of the present invention;
3a is a plan view of a spacer according to an embodiment of the present invention;
Figure 3b is a plan view of a structure in which a bridge connects spacing control blocks in a different form according to an embodiment of the present invention;
4 is a view showing an installable position of a spacer according to an embodiment of the present invention;
Figure 5 is a view showing a state in which the bridge is broken when the spacing control block is separated in the outer direction of the guide block according to an embodiment of the present invention;
Figure 6 is a view showing a state in which the length of the needle tip is adjusted according to an embodiment of the present invention;
Figure 7a is a view showing the form of a spacer in which one side of one plate is cut to divide it into a plurality of spacing control blocks and a bridge is formed through one side that is not cut according to an embodiment of the present invention;
Figure 7b is a view showing the shape of a spacer formed with an open inner region while integrally forming a plurality of spacing adjustment blocks according to an embodiment of the present invention;
8a to 8e are diagrams showing a state in which cutouts are formed in various shapes according to an embodiment of the present invention and adjacent spacing control blocks are arranged in an interlocking manner;
Figure 9 is a view showing a state in which the extension support is formed according to an embodiment of the present invention
10 is a view showing an example of controlling the departure order of spacing adjustment blocks by changing the number of bridges according to an embodiment of the present invention;
Figure 11a is a view showing a state in which the thickness between a plurality of bridges is changed according to an embodiment of the present invention;
11B is a view showing a state in which a canyon portion is formed on one side of a bridge according to an embodiment of the present invention;
Figure 12 is a view showing a state in which a plurality of spacing control blocks are formed in an assembly structure according to an embodiment of the present invention.
이하에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일실시예를 상세하게 설명하도록 한다.Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도2는 본 발명의 일실시예에 따른 니들 팁의 길이조절을 위한 가변형 스페이서를 갖는 니들블럭을 개략적으로 도시한 도면이고, 도3a는 본 발명의 일실시예에 따른 스페이서의 평면도이며, 도3b는 본 발명의 일실시예에 따른 브릿지가 다른 형태로 간격조절블럭들을 연결한 구조의 평면도이다.Figure 2 is a view schematically showing a needle block having a variable spacer for adjusting the length of the needle tip according to an embodiment of the present invention, Figure 3a is a plan view of the spacer according to an embodiment of the present invention, Figure 3b is a plan view of a structure in which a bridge connects spacing control blocks in a different form according to an embodiment of the present invention.
도2 내지 도3b에서 보는 바와 같이 본 발명의 일실시예에 따른 니들 팁의 길이조절을 위한 가변형 스페이서(30)를 갖는 테스트 장치의 니들블럭(1)은 니들(10)과, 가이드 블럭(20) 및 스페이서(30)를 포함하여 구성된다.As shown in Figures 2 to 3b, the
니들(10)은 대략 막대형상으로 형성되고, 복수개가 후술하는 가이드 블럭(20)의 제1 삽입홀 및 제2 삽입홀에 삽입되어 상하단부 일측이 가이드 블럭(20)의 내면 일측에 지지된다.The
이러한 니들(10)은 하단부, 즉 니들 팁(T)이 검사하고자 하는 대상물의 전극에 접촉되는 경우 전극으로부터 신호를 전달받아 상부에 연결된 공간변환기(G)를 통해 외부의 분석설비(미도시)로 전달하는 역할을 한다.When the lower end, that is, the needle tip (T) of the
가이드 블럭(20)은 상하방향으로 각각 이격배치되는 상부 가이드 플레이트(21) 및 하부 가이드 플레이트(22)와, 상부 가이드 플레이트(21)와 하부 가이드 플레이트(22) 사이에 개재되어 이들의 간격을 유지시키는 지지블럭(23)을 포함하여 구성될 수 있으며, 니들(10)의 일측을 지지하는 역할을 하는데, 각 구성을 보다 상세하게 살펴보면 아래와 같다.The
상부 가이드 플레이트(21)는 일정 두께를 갖는 플레이트 형상으로 형성되고, 일측에 복수개의 제1 삽입홀(21a)이 형성되며, 니들(10)의 상단부 일측을 지지하는 역할을 한다.The
하부 가이드 플레이트(22)는 상부 가이드 플레이트(21)와 같이 일정 두께를 갖는 플레이트 형상으로 형성되고, 상기한 복수의 제1 삽입홀(21a)과 대응되는 일측에 각각 복수개의 제2 삽입홀(22a)이 형성되며, 니들(10)의 하단부 일측을 지지하는 역할을 한다.The
지지블럭(23)은 평면상 'ㅁ' 형상의 블럭형상으로 형성되고, 상부 가이드 플레이트(21)와 하부 가이드 플레이트(22)의 사이영역 중 외주영역과 대응되는 일측에 개재되어 상부 가이드 플레이트(21)와 하부 가이드 플레이트(22)의 간격이 유지되도록 하는 역할을 한다.The
스페이서(30)는 가이드 블럭(20)의 일측에 개재되고, 가이드 블럭(20)으로부터 이탈되는 경우 가이드 블럭(20)의 높이를 조절하며, 조절된 가이드 블럭(20)의 높이에 따라 니들 팁(T)이 외부로 노출되도록 하여 니들 팁(T)의 길이를 조절하는 역할을 한다.The
그리고, 스페이서(30)는 복수의 니들(10)이 설치된 니들영역(N)을 감싸도록 배치되는 복수의 간격조절블럭(31)과, 복수의 간격조절블럭(31)을 서로 연결하는 브릿지(32)를 포함하여 구성될 수 있다In addition, the
여기서, 본 실시예에 따른 간격조절블럭(31)은 대략 ㄷ'자 형상으로 형성되는 한 쌍이 서로 대향되고, 후술하는 브릿지(32)에 의해 연결된 형상, 즉 'ㅁ' 형상으로 하부 가이드 플레이트(22)와 지지블럭(23) 사이에 개재되는 바 유동이나 흔들림없이 하부 가이드 플레이트(22)와 지지블럭(23) 전체를 지지하여 안정성을 크게 향상시킬 수 있을 뿐 아니라 가이드 블럭(20)의 외측방향으로 이탈하는 경우에는 각각 'ㄷ'자 형상으로 분리되어 이탈되므로 니들(10)에 간섭되지 않고 쉽게 제거할 수 있다.Here, the
브릿지(32)는 다수의 간격조절블럭(31)을 서로 연결하여 다수의 간격조절블럭(31)이 일체로 형성되도록 한다. 일예로, 도3a에서 보는 바와 같이 브릿지(32)는 양측단부가 서로 이웃하는 간격조절블럭(31)들의 단부에 각각 연결되거나, 도3b에서 보는 바와 같이 니들(10)영역 중 니들(10)이 배치되지 않은 영역을 통과하여 양측단부가 대각선 방향으로 대향하는 간격조절블럭(31)의 일측에 연결될 수 있다.The
이러한 본 실시예에 따른 다수의 간격조절블럭(31)은 제작과정에서 브릿지(32)와 함께 일체로 제조되고, 상면과 저면의 평탄화 작업이 동시에 이루어지므로 스페이서(30)의 가공정밀도가 향상되어 상면 및 저면의 평탄도가 개선되고, 이로 인해 니들블럭(1)의 조립과정에서 부가적인 밸런스 조정이 불필요하며, 조립이 용이한 특징을 갖는다.The plurality of spacing adjustment blocks 31 according to this embodiment are manufactured integrally with the
그리고, 브릿지(32)는 간격조절블럭(31)과 동일한 두께를 갖도록 형성되어 스페이서(30)와 접촉되는 구성의 접촉영역 중 간격조절블럭(31)이 접촉하지 않는 영역, 즉 간격조절블럭(31)이 지지하지 못하는 영역을 지지함으로써 안정성을 보다 향상시킬 수 있는 특징을 갖는다.In addition, the
또한, 브릿지(32)는 도면에 도시되어 있진 않지만, 일측이 적어도 한번 이상 절곡된 다양한 형상으로 형성될 수 있으며, 이는 지지면적이 증대되도록 하여 간격조절블럭(31)이 지지하지 못하는 영역에 대한 지지효율을 크게 향상시킬 수 있다.In addition, although the
도4는 본 발명의 일실시예에 따른 스페이서의 설치 가능위치를 도시한 도면이고, 도5는 본 발명의 일실시예에 따른 간격조절블럭이 가이드 블럭의 외측방향으로 이탈되는 경우 브릿지가 파단되는 상태를 도시한 도면이며, 도6은 본 발명의 일실시예에 따른 니들 팁의 길이가 조절된 상태를 도시한 도면이다.Figure 4 is a view showing the installable position of the spacer according to an embodiment of the present invention, Figure 5 is a bridge breakage when the distance control block according to an embodiment of the present invention is separated from the guide block in the outward direction Figure 6 is a view showing a state in which the length of the needle tip is adjusted according to an embodiment of the present invention.
이와 같은 구성을 갖는 본 발명의 일실시예에 따른 니들 팁의 길이조절을 위한 가변형 스페이서를 갖는 니들블럭(1)의 사용방법을 도4 내지 도6을 참조하여 설명하면 다음과 같다.A method of using the
설명에 앞서, 본 실시예에 따른 스페이서(30)는 위에서 설명한 바와 같이 제작과정에서 다수의 간격조절블럭(31)과 브릿지(32)가 일체로 제조되며, 가이드 블럭(20) 일측 중 다양한 위치에 설치될 수 있다.Prior to the description, the
상술하면, 도4에서 보는 바와 같이 공간변환기(G)와 상부 가이드 플레이트(21)간 사이영역(A), 상부 가이드 플레이트(21) 또는 하부 가이드 플레이트(22)와 지지블럭(23)간 사이영역(C,E)에 설치될 수 있으며, 상부 가이드 플레이트(21), 지지블럭(23), 하부 가이드 플레이트(22)를 다수의 층으로 분할형성하여 그 사이영역(B,D,F)에 개재할 수 있는데, 본 실시예에서는 하부 가이드 플레이트(22)와 지지블럭(23) 간 사이영역(E)에 설치되는 것으로 설명하도록 한다.In detail, as shown in FIG. 4, the area A between the space converter G and the
이에 스페이서(30)는 하부 가이드 플레이트(22)와 지지블럭(23) 사이에 개재되면서 이들과 접촉되는데, 균일한 평탄도로 인해 하부 가이드 플레이트(22) 및 지지블럭(23)과 안정적으로 밀착되면서 검사공정시 유동 또는 흔들림을 최소화할 수 있다.Accordingly, the
또한. 검사공정이 반복적으로 이루어지고, 니들 팁(T)에 발생된 불순물을 제거하기 위해 연마 공정이 수행되면서 니들(10)의 길이가 특정 수준까지 짧아지게 되면, 니들의 길이를 재조정하게 된다.In addition. When the length of the
본 실시예에서 니들 팁(T)의 길이 조절 작업을 살펴보면, 간격조절블럭(31)에 가이드 블럭(20)의 외측방향으로 외력을 가하여 이탈시키는데, 간격조절블럭(31)에 가해지는 외력이 임계치를 초과하는 경우 도5에서 보는 바와 같이 외력에 의해 브릿지(32)가 파단된다.Looking at the length adjustment operation of the needle tip (T) in this embodiment, external force is applied to the
이에 스페이서(30)가 'ㄷ'자 형상을 갖는 다수의 간격조절블럭(31)으로 분리되면서 그 형상이 가변된다.Accordingly, while the
그리고, 분리된 다수의 간격조절블럭(31)는 각각 가이드 블럭(20)의 외측방향으로 이탈, 제거되는데, 일측이 개방된 형상을 취하고 있으므로 니들(10)에 간섭되지 않고 가이드 블럭(20)의 외측방향으로 이탈될 수 있다.In addition, the plurality of separated spacing control blocks 31 are separated and removed in the outer direction of the
이렇게 간격조절부재가 제거되면, 도6과 같이 간격조절블럭(31)의 두께(d)만큼 가이드 블럭(20)의 높이가 낮아지고, 낮아진 가이드 블럭(20)의 높이(d')만큼 니들 팁(T)이 외부로 노출되어 그 길이가 조절된다.When the spacing adjusting member is removed, the height of the
도7a는 본 발명의 일실시예에 따른 하나의 플레이트 일측이 절개되어 다수의 간격조절블럭으로 구획하고 절개되지 않은 일측을 통해 브릿지를 형성한 스페이서의 형태를 도시한 도면이고, 도7b는 본 발명의 일실시예에 따른 다수의 간격조절블럭을 일체로 형성하면서도 내부영역이 개방되게 형성된 스페이서의 형태를 도시한 도면이며, 도8은 본 발명의 일실시예에 따른 절개부가 다양한 형태로 형성되어 이웃하는 간격조절블럭들이 서로 맞물리는 형태로 배치된 상태를 도시한 도면이고, 도9는 본 발명의 일실시예에 따른 연장지지부가 형성된 상태를 도시한 도면이다.Figure 7a is a view showing the form of a spacer in which one side of one plate is cut to divide into a plurality of spacing control blocks and a bridge is formed through one side that is not cut according to an embodiment of the present invention. It is a view showing the shape of a spacer formed so that the inner region is open while integrally forming a plurality of spacing control blocks according to an embodiment of the present invention, and FIG. It is a view showing a state in which spacing adjustment blocks are arranged in an interlocking manner, and FIG. 9 is a view showing a state in which an extension support is formed according to an embodiment of the present invention.
한편, 본 실시예에서는 각 간격조절블럭(31)이 'ㄷ'자 형상으로 형성되는 것으로 설명하고 있으나, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 다수개가 니들영역(N)을 감싸는 형태로 배치되어 가이드블럭(20)을 전체적으로 균일하게 지지할 수 있는 형상이면 어느 것이든 적용이 가능하며, 그 일예로 사다리꼴 형상으로 형성되는 4개의 간격조절블럭(31)이 니들영역(N)을 감싸도록 배치되어 구성될 수 있다.On the other hand, in the present embodiment, it is described that each spacing
또한, 본 실시예에서는 다수의 간격조절블럭(31)간 일정거리 이격배치되고, 길이를 갖는 브릿지(32)에 의해 이들이 연결되는 구조로 도시되어 있으나, 도7a에서 보는 바와 같이 한 장의 플레이트를 바깥 둘레 일측으로부터 안쪽 둘레 일측으로 절개하여 절개부(J)를 형성함으로써 다수의 간격조절블럭(31)으로 분리하되, 일부 구간을 절개하지 않고 연결영역으로 구현, 즉 절개하지 않은 구간을 다수의 간격조절블럭(31)을 서로 연결시키는 브릿지(32)로 구현할 수 있다.In addition, in this embodiment, a plurality of spacing control blocks 31 are spaced apart from each other at a certain distance and are shown as a structure in which they are connected by a
이러한 구조는 간격조절블럭(31)의 면적을 증대시키면서도 브릿지(32)의 길이를 최소화함으로써 상하부에 배치되는 구성을 보다 넓은 면적으로 지지하여 보다 향상된 안정성을 확보할 수 있다.This structure increases the area of the
뿐만 아니라 본 발명에 따른 실시예에서는 다수의 간격조절블럭(31)을 각각 브릿지(32)를 통해 연결하되, 도7b와 같이 다수의 간격조절블럭(31) 연결구간 중 어느 한 곳만 연결하지 않도록 하여 다수의 간격조절블럭(31)을 일체로 형성하면서도 그 내부영역이 개방되게 형성될 수 있다.In addition, in the embodiment according to the present invention, each of the plurality of spacing adjustment blocks 31 is connected through the
나아가, 도8a 내지 도8e에서 보는 바와 같이 절개부(J)를 정원, 반원, 삼각 또는 톱니 형상 등 다양한 형상으로 형성되어 이웃하는 다양한 형태로 형성하여 이웃하는 간격조절블럭(31)의 외주영역이 서로 맞물리는 형태로 배치될 수 있으며, 이를 통해 타 기구물과 조립시 간섭을 자유롭게 회피할 수 있을 뿐 아니라 지지구간을 최대화 할 수 있다.Furthermore, as shown in FIGS. 8A to 8E, the cutout J is formed in various shapes such as a circle, a semicircle, a triangle, or a sawtooth, so that the outer circumferential area of the neighboring
그리고, 구조적 안정성을 보다 향상시킬 수 있는 다른 일예가 도9에 도시되어 있다. 도7a 실시예의 간격조절블럭(31)은 일측으로부터 니들 영역 중 빈공간과 대응되는 영역으로 연장형성되는 연장지지부(31a)를 더 포함하여 구성할 수 있다. 이에 연장지지부(31a)를 통해 하부 가이드 플레이트(22)와 지지블럭(23)에 지지되는 접촉면적이 증대되도록 하고, 이로 인해 이들을 보다 안정적으로 지지할 수 있다.And, another example that can further improve the structural stability is shown in FIG. The
도10은 본 발명의 일실시예에 따른 브릿지의 수량 변경을 통해 간격조절블럭의 이탈순서를 제어하는 일예를 도시한 도면이고, 도11a은 본 발명의 일실시예에 따른 복수의 브릿지간 두께를 변경한 상태를 도시한 도면이며, 도11b는 본 발명의 일실시예에 따른 브릿지 일측에 협곡부를 형성한 상태를 도시한 도면이고, 도12는 본 발명의 일실시예에 따른 간격조절블럭간 조립되는 구조로 형성된 상태를 도시한 도면이다.Figure 10 is a view showing an example of controlling the departure order of spacing adjustment blocks through changing the number of bridges according to an embodiment of the present invention, Figure 11a is a view showing the thickness between a plurality of bridges according to an embodiment of the present invention 11b is a view showing a state in which a canyon is formed on one side of a bridge according to an embodiment of the present invention, and FIG. 12 is an assembly between spacing adjusting blocks according to an embodiment of the present invention. It is a drawing showing a state formed in a structure to be.
한편, 본 실시예에 따른 브릿지(32)의 소재, 형상이나, 수량등을 변경하거나 간격조절블럭(31)의 형상을 변경하여 간격조절블럭(31)의 이탈, 즉 제거순서를 제어할 수 있는데, 이에 대한 각 실시예를 아래에서 설명하도록 한다.On the other hand, by changing the material, shape, quantity, etc. of the
먼저, 브릿지(32)의 소재 변경 예를 살펴보면, 복수의 브릿지(32) 중 적어도 둘 이상이 서로 다른 인장력을 갖도록 형성되어 간격조절블럭(31)에 가이드 블럭(20)의 외측방향으로 외력이 가해지는 경우 인장강도가 낮은 소재의 브릿지부터 파단되도록 구성되어 간격조절블럭(31)의 제거순서를 제어할 수 있다.First, looking at an example of changing the material of the
그리고, 브릿지(32)의 수량 변경 예를 살펴보면, 도10에서 보는 바와 같이 한 쌍의 간격조절블럭(31)에 연결되는 브릿지(32)의 갯수를 1개 또는 n개로 형성하여 간격조절블럭(31)에 가이드 블럭(20)의 외측방향으로 외력이 가해지는 경우 브릿지(32) 갯수가 적은 쪽의 간격조절블럭(31)부터 분리되도록 할 수 있다.And, looking at an example of changing the number of
마지막으로 브릿지(32)의 형상 변경 예를 살펴보면, 도11a와 같이 각 브릿지(31)의 두께를 달리하거나, 도11b와 같이 브릿지(32) 일측의 직경을 변경하여 브릿지(32)의 인장강도를 설정함으로써 간격조절블럭(31)의 제거순서를 제어할 수 있다.Finally, looking at the example of changing the shape of the
이 뿐 아니라 본 실시예에서는 간격조절블럭(31)의 형상 변형을 통해서도 간격조절블럭(31)의 제거순서를 제어할 수 있는데, 일예로, 도12에서 보는 바와 같이 다수의 간격조절블럭(31) 일측에 서로 걸림결합되는 'ㄱ'자 형상의 돌기(31b) 또는 돌기가 삽입되는 'ㄱ'자 형상의 홈(31c)을 형성하되, 홈(31c) 내에서 돌기(31b)가 일정거리 유동되는 구조로 구성될 수 있다.In addition to this, in this embodiment, it is possible to control the removal order of the
이는 간격조절블럭(31)간 조립구조를 통해 간격조절블럭(31)의 제거순서를 제어하는 것으로서, 니들 팁(T)의 길이를 조절하기 위해 간격조절블럭(31)을 이탈하고자 하는 경우에는 도12에 표시된 번호와 같이 간격조절블럭(31)간 조립순서의 역순으로 외력을 가하여 평면상 상하측 간격조절블럭을 먼저 이탈시킨 다음 좌우측 간격조절블럭을 제거할 수 있다.This is to control the removal order of the
마지막으로, 위에서 설명한 실시예들에서는 하나의 스페이서(30)를 이용하여 니들 팁(T)의 길이를 조절하는 것으로 설명하고 있으나, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것이 아니며, 다수의 스페이서(30)를 상하방향으로 적층하고, 이를 가이드 블럭(20) 일측에 개재한 후 필요에 따라 단계적으로 제거함으로써 니들 팁(T)의 길이를 수차례 조절할 수 있다.Finally, in the above-described embodiments, it has been described that the length of the needle tip (T) is adjusted using one spacer (30), but the present invention is not necessarily limited thereto, and a plurality of spacers (30) The length of the needle tip (T) can be adjusted several times by stacking it in the vertical direction, interposing it on one side of the
비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위는 본 발명의 요지에서 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.Although the present invention has been described with respect to the preferred embodiments mentioned above, various modifications and variations are possible without departing from the spirit and scope of the invention. Accordingly, the scope of the appended claims will include such modifications and variations as fall within the scope of this invention.
10 : 니들 20 : 가이드 블럭
21 : 상부 가이드 플레이트 22 : 하부 가이드 플레이트
23 : 지지블럭 30 : 스페이서
31 : 간격조절블럭 32 : 브릿지10: needle 20: guide block
21: upper guide plate 22: lower guide plate
23: support block 30: spacer
31: spacing control block 32: bridge
Claims (8)
하단부가 상기 대상물에 전기적으로 접촉되며, 일측이 외부의 분석설비와 연결되는 니들과;
일측에 상기 니들이 삽입되고, 삽입된 상기 니들의 일측을 지지하는 가이드 블럭; 및
상기 가이드 블럭의 일측에 상기 니들이 배치되는 영역을 감싸도록 설치되며, 상기 가이드 블럭의 외측방향으로 임계치 이상의 외력이 가해지는 경우 일측이 파단되고 개방된 형상으로 다수 분리되면서 상기 니들에 간섭없이 상기 가이드 블럭의 외측방향으로 이탈하는 스페이서를 포함하는 것을 특징으로 하는 니들 팁의 길이조절을 위한 가변형 스페이서를 갖는 니들블럭.
In the needle block of a test device for applying an electrical signal and determining whether an object is defective through a signal checked from the applied electrical signal,
a needle whose lower end is in electrical contact with the object and whose one side is connected to an external analysis facility;
a guide block into which the needle is inserted and supporting one side of the inserted needle; and
It is installed on one side of the guide block to surround the area where the needle is disposed, and when an external force greater than a threshold value is applied to the outside of the guide block, one side is broken and separated into an open shape to form a plurality of guide blocks without interfering with the needles Needle block having a variable spacer for adjusting the length of the needle tip, characterized in that it comprises a spacer departing in the outward direction of.
상기 스페이서는
다수개가 상기 니들이 배치되는 영역을 감싸도록 배치되고, 외측방향으로 임계치 이상의 외력이 가해지는 경우 상기 니들에 간섭되지 않고 상기 가이드 블럭의 외측방향으로 이탈되는 간격조절블럭과;
상기 다수의 간격조절블럭을 연결하되, 상기 간격조절블럭과 일체로 형성되고, 임계치 이상의 외력이 가해지는 경우 파단되는 복수의 브릿지를 포함하는 것을 특징으로 하는 니들 팁의 길이조절을 위한 가변형 스페이서를 갖는 니들블럭.
According to claim 1,
the spacer
a plurality of spacing control blocks arranged to surround an area where the needles are disposed, and departing outward from the guide block without interfering with the needles when an external force equal to or greater than a threshold value is applied outwardly;
Having a variable spacer for adjusting the length of the needle tip, comprising a plurality of bridges connecting the plurality of spacing adjusting blocks, formed integrally with the spacing adjusting block, and broken when an external force equal to or greater than a threshold value is applied. needle block.
상기 간격조절블럭은 일측으로부터 상기 니들이 배치되는 영역 중 빈 공간과 대응되는 영역으로 연장형성되는 연장지지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 니들 팁의 길이조절을 위한 가변형 스페이서를 갖는 니들블럭.
According to claim 2,
The spacing control block is a needle block having a variable spacer for adjusting the length of the needle tip, characterized in that it further comprises an extension support portion extending from one side to an area corresponding to the empty space of the area where the needle is disposed.
상기 복수의 브릿지는 적어도 둘 이상이 서로 다른 인장력을 갖도록 형성되며, 외력이 가해지는 경우 인장력이 낮은 순서대로 파단되는 것을 특징으로 하는 니들 팁의 길이조절을 위한 가변형 스페이서를 갖는 니들블럭.
According to claim 2,
At least two or more of the plurality of bridges are formed to have different tensile forces, and when an external force is applied, the needle block having a variable spacer for adjusting the length of the needle tip, characterized in that the tensile force is broken in the order of low.
상기 복수의 브릿지는 적어도 둘 이상이 서로 다른 직경을 갖도록 형성되며, 외력이 가해지는 경우 직경이 작은 순서대로 파단되는 것을 특징으로 하는 니들 팁의 길이조절을 위한 가변형 스페이서를 갖는 니들블럭.
According to claim 2,
The plurality of bridges are formed to have at least two or more different diameters, and when an external force is applied, the needle block having a variable spacer for adjusting the length of the needle tip, characterized in that the diameter is broken in order of small size.
상기 복수의 브릿지는 적어도 둘 이상이 일측에 직경이 작아지는 협곡부가 형성되며, 외력이 가해지는 경우 상기 협곡부가 형성된 브릿지부터 파단되는 것을 특징으로 하는 니들 팁의 길이조절을 위한 가변형 스페이서를 갖는 니들블럭.
According to claim 2,
At least two or more of the plurality of bridges have a canyon portion having a smaller diameter on one side, and when an external force is applied, the bridge having the canyon portion is broken from the bridge. Needle block having a variable spacer for adjusting the length of the needle tip .
상기 브릿지는 일측이 적어도 한번 이상 절곡형성되는 것을 특징으로 하는 니들 팁의 길이조절을 위한 가변형 스페이서를 갖는 니들블럭.
According to claim 2,
The bridge is a needle block having a variable spacer for adjusting the length of the needle tip, characterized in that one side is formed bent at least once.
상기 다수의 간격조절블럭은 일측에 돌기 또는 홈이 형성되어 상호 조립되며, 조립순서의 역순으로 상기 가이드 블럭에서 이탈되는 것을 특징으로 하는 니들 팁의 길이조절을 위한 가변형 스페이서를 갖는 니들블럭.According to claim 2,
A needle block having a variable spacer for adjusting the length of a needle tip, characterized in that the plurality of spacing adjustment blocks are assembled with each other by forming protrusions or grooves on one side, and departing from the guide block in the reverse order of assembly.
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Citations (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100344004B1 (en) | 2000-04-07 | 2002-07-20 | 김성수 | Coating Material Comprising Aqueous Silicate Solution and a Coating Method Using The Same |
KR20050023828A (en) * | 2003-09-03 | 2005-03-10 | 주식회사 파이컴 | Board cutting type probe and method thereby |
KR100846083B1 (en) * | 2007-02-08 | 2008-07-14 | 이채갑 | Probe assembly for testing printed circuit board |
KR20120019297A (en) * | 2010-08-25 | 2012-03-06 | (주)기가레인 | Stacked probe unit |
KR20150009427A (en) * | 2013-07-16 | 2015-01-26 | 히오끼 덴끼 가부시끼가이샤 | Probe unit and apparatus for inspecting board |
KR20150111309A (en) * | 2014-03-25 | 2015-10-05 | 엠피아이 코포레이션 | Vertical probe device and supporter used in the same |
KR20150139093A (en) * | 2014-06-02 | 2015-12-11 | (주)케미텍 | A Connector System For Test Apparatus |
JP2016186471A (en) * | 2015-03-27 | 2016-10-27 | 日本電産リード株式会社 | Inspection jig, substrate inspection device, and manufacturing method for inspection jig |
KR20170092523A (en) * | 2014-12-04 | 2017-08-11 | 테크노프로브 에스.피.에이. | Testing head comprising vertical probes |
KR20180004753A (en) * | 2015-05-07 | 2018-01-12 | 테크노프로브 에스.피.에이. | A test head with a vertical probe, especially for reduced pitch applications |
JP2018084449A (en) * | 2016-11-22 | 2018-05-31 | 株式会社日本マイクロニクス | Electrical connection device and probe support body |
KR20190027923A (en) * | 2016-07-27 | 2019-03-15 | 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 | Electrical connection device |
KR20190034502A (en) * | 2016-07-28 | 2019-04-02 | 테크노프로브 에스.피.에이. | Probe card for electronic devices |
JP2020012685A (en) * | 2018-07-13 | 2020-01-23 | 日本電産リード株式会社 | Probe, inspection tool, and inspection device |
JP2020502519A (en) * | 2016-12-16 | 2020-01-23 | テクノプローべ ソシエタ ペル アチオニ | Probe head for electronic device test equipment with enhanced filtering characteristics |
KR20200083351A (en) * | 2018-12-31 | 2020-07-08 | (주) 마이크로프랜드 | Self-Aligned Contact Block Of Vertical Probe Card And Manufacturing Method Of The Same |
KR102164358B1 (en) * | 2019-07-01 | 2020-10-12 | 윌테크놀러지(주) | Probe card having adjustable length of needle unit tip |
KR20210083064A (en) * | 2019-12-26 | 2021-07-06 | 주식회사 에스디에이 | Variable MEMS probe card and assembly method thereof |
KR20210108436A (en) * | 2018-12-27 | 2021-09-02 | 테크노프로브 에스.피.에이. | Vertical probe head with improved contact with the element under test |
-
2022
- 2022-11-09 KR KR1020220148823A patent/KR102475883B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100344004B1 (en) | 2000-04-07 | 2002-07-20 | 김성수 | Coating Material Comprising Aqueous Silicate Solution and a Coating Method Using The Same |
KR20050023828A (en) * | 2003-09-03 | 2005-03-10 | 주식회사 파이컴 | Board cutting type probe and method thereby |
KR100846083B1 (en) * | 2007-02-08 | 2008-07-14 | 이채갑 | Probe assembly for testing printed circuit board |
KR20120019297A (en) * | 2010-08-25 | 2012-03-06 | (주)기가레인 | Stacked probe unit |
KR20150009427A (en) * | 2013-07-16 | 2015-01-26 | 히오끼 덴끼 가부시끼가이샤 | Probe unit and apparatus for inspecting board |
KR20150111309A (en) * | 2014-03-25 | 2015-10-05 | 엠피아이 코포레이션 | Vertical probe device and supporter used in the same |
KR20150139093A (en) * | 2014-06-02 | 2015-12-11 | (주)케미텍 | A Connector System For Test Apparatus |
KR20170092523A (en) * | 2014-12-04 | 2017-08-11 | 테크노프로브 에스.피.에이. | Testing head comprising vertical probes |
JP2016186471A (en) * | 2015-03-27 | 2016-10-27 | 日本電産リード株式会社 | Inspection jig, substrate inspection device, and manufacturing method for inspection jig |
KR20180004753A (en) * | 2015-05-07 | 2018-01-12 | 테크노프로브 에스.피.에이. | A test head with a vertical probe, especially for reduced pitch applications |
JP2018523095A (en) * | 2015-05-07 | 2018-08-16 | テクノプローベ エス.ピー.エー. | Test head with vertical probe, especially for reduced pitch applications |
KR20190027923A (en) * | 2016-07-27 | 2019-03-15 | 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 | Electrical connection device |
KR20190034502A (en) * | 2016-07-28 | 2019-04-02 | 테크노프로브 에스.피.에이. | Probe card for electronic devices |
JP2018084449A (en) * | 2016-11-22 | 2018-05-31 | 株式会社日本マイクロニクス | Electrical connection device and probe support body |
JP2020502519A (en) * | 2016-12-16 | 2020-01-23 | テクノプローべ ソシエタ ペル アチオニ | Probe head for electronic device test equipment with enhanced filtering characteristics |
JP2020012685A (en) * | 2018-07-13 | 2020-01-23 | 日本電産リード株式会社 | Probe, inspection tool, and inspection device |
KR20210108436A (en) * | 2018-12-27 | 2021-09-02 | 테크노프로브 에스.피.에이. | Vertical probe head with improved contact with the element under test |
KR20200083351A (en) * | 2018-12-31 | 2020-07-08 | (주) 마이크로프랜드 | Self-Aligned Contact Block Of Vertical Probe Card And Manufacturing Method Of The Same |
KR102164358B1 (en) * | 2019-07-01 | 2020-10-12 | 윌테크놀러지(주) | Probe card having adjustable length of needle unit tip |
KR20210083064A (en) * | 2019-12-26 | 2021-07-06 | 주식회사 에스디에이 | Variable MEMS probe card and assembly method thereof |
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