KR102164373B1 - Needle for vertical probe card with scrub control and bending direction control and vertical probe card using thereof - Google Patents

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위성연
신용건
권영휘
김홍찬
신상훈
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윌테크놀러지(주)
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Abstract

The present invention relates to a needle for a vertical probe card capable of scrub control and bending direction control. A moment giving means is formed in a vertically arranged rod shape, and is bent in one direction on at least one side of the upper end and the lower end thereof. If the upper and lower ends are inserted and installed in a guide plate of a probe card, moment is given to a middle area in a direction opposite to the bent direction of the moment giving means by the moment giving means to bend the middle area in the direction in which the moment is given. According to the present invention, an elastic unit is not formed in the middle to form a narrow pitch between needle units and bend a plurality of needle units all in the same direction to prevent inspection errors caused by contact between needle units. The scrub of the needle units can be controlled in inspection in accordance with the material of a contact area of an inspection target or an air converter.

Description

스크럽 제어 및 밴딩방향 제어가 가능한 수직형 프로브 카드용 니들{Needle for vertical probe card with scrub control and bending direction control and vertical probe card using thereof}Needle for vertical probe card with scrub control and bending direction control and vertical probe card using thereof

본 발명은 스크럽 제어 및 밴딩방향 제어가 가능한 수직형 프로브 카드용 니들에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 중앙에 탄성부를 형성하지 않아 니들부와 니들부간 협피치를 형성할 수 있으면서도 복수개의 니들부가 모두 동일한 방향으로 벤딩되도록 하여 니들부와 니들부의 접촉으로 인한 검사오류를 방지할 수 있을 뿐 아니라 검사대상물 또는 공간변환기 접촉영역의 재질에 따라 검사시 니들부의 스크럽을 제어할 수 있는 스크럽 제어 및 밴딩방향 제어가 가능한 수직형 프로브 카드에 관한 것이다.The present invention relates to a needle for a vertical probe card capable of scrub control and bending direction control, and more particularly, a plurality of needle portions are all the same while forming a narrow pitch between the needle portion and the needle portion by not forming an elastic portion in the center. By bending in the direction, it is possible to prevent inspection errors due to contact between the needle and the needle, as well as scrub control and bending direction control that can control the scrub of the needle during inspection depending on the material of the object or space converter contact area. It relates to a possible vertical probe card.

일반적으로 반도체 제작 공정은 웨이퍼(Wafer)상에 패턴(pattern)을 형성시키는 패브리케이션(fabrication)공정과, 웨이퍼를 구성하고 있는 각각의 칩의 전기적 특성을 검사하는 이디에스(Electrical Die Sorting:EDS)공정과, 패턴이 형성된 웨이퍼를 각각의 칩(chip)으로 조립하는 어셈블리(assembly)공정을 통해서 제조된다.In general, semiconductor manufacturing processes include a fabrication process for forming a pattern on a wafer, and Electrical Die Sorting (EDS), which inspects the electrical characteristics of each chip constituting the wafer. It is manufactured through a process and an assembly process of assembling a patterned wafer into each chip.

여기서 EDS공정은 웨이퍼를 구성하고 있는 칩들 중에서도 불량칩을 판별하기위해 수행하는 것으로 웨이퍼를 구성하는 칩들에 전기적 신호를 인가시켜 인가된 전기적 신호로부터 체크되는 신호에 의해서 불량을 판단하게 되는 프로브 카드라는 검사장치가 주로 사용되고 있다.Here, the EDS process is performed to identify defective chips among the chips constituting the wafer. It is a test called a probe card that applies an electrical signal to the chips constituting the wafer and determines the defect by a signal checked from the applied electric signal. The device is mainly used.

이러한 프로브 카드는 웨이퍼를 구성하는 각 칩의 패턴과 접촉되어 전기적 신호를 인가하는 다수의 니들(Needle)이 구비되는데, 통상 웨이퍼의 각 디바이스의 전극패드에 프로브 카드의 니들이 접촉되게 하면서 이 니들을 통해 특정의 전류를 통전시켜 그때 출력되는 전기적 특성을 측정한다.Such a probe card is equipped with a number of needles to apply an electrical signal by contacting the pattern of each chip constituting the wafer. Usually, the needles of the probe card are brought into contact with the electrode pads of each device of the wafer. Apply a specific current and measure the electrical characteristics that are then output.

한편, 최근의 반도체 디바이스는 디자인 룰이 더욱 미세화되면서 고집적화와 동시에 극소형화되고 있는 추세이므로 미세해지는 반도체 디바이스의 패턴과 접속되기 위해서는 프로브 카드의 니들들도 그에 적절한 사이즈로 미세화됨과 아울러 니들과 니들간 보다 좁은 간격으로 배치되는 협피치가 요구된다.On the other hand, in recent years, semiconductor devices are becoming more compact and highly integrated as the design rules are finer. Therefore, in order to connect to the pattern of the semiconductor device that becomes finer, the needles of the probe card are also miniaturized to an appropriate size, and more than between the needle and the needle. Narrow pitches arranged at narrow intervals are required.

이에 프로브 니들과 프로브 니들이 보다 가깝게 배치될 수 있도록 '1'형상에 가까운 수직형 프로브 니들이 개발된 바 있으며, 그 일예로 해당 프로브 니들이 적용된 수직형 프로브 카드가 한국등록특허 제1859388호(이하 '종래의 프로브 카드'라 함)에 개시되어 있다.Accordingly, a vertical probe needle close to the shape of '1' has been developed so that the probe needle and the probe needle can be arranged closer together, and as an example, the vertical probe card to which the probe needle is applied is Korean Patent No.1859388 (hereinafter referred to as'conventional Probe card').

도1은 종래의 프로브 카드를 도시한 단면도이고, 도2는 리얼 버티컬 프로브 니들(Real Vertical Probe Needle)을 개략적으로 도시한 도면이다.1 is a cross-sectional view showing a conventional probe card, and FIG. 2 is a diagram schematically showing a real vertical probe needle.

도1에서 보는 바와 같이 종래의 프로브 카드(100)는 일측에 제1 삽입홀(111)이 형성된 제1 가이드 플레이트(110)와, 제1 가이드 플레이트(110)의 하부에 제1 가이드 플레이트(110)와 이격되게 설치되고 일측에 제2 삽입홀(121)이 형성된 제2 가이드 플레이트(120) 및 제1 삽입홀(111)과 제2 삽입홀(121)에 삽입되는 니들부(130)로 구성된다.As shown in FIG. 1, the conventional probe card 100 includes a first guide plate 110 having a first insertion hole 111 formed on one side thereof, and a first guide plate 110 disposed under the first guide plate 110. ), and a second guide plate 120 having a second insertion hole 121 formed on one side thereof, and a needle portion 130 inserted into the first insertion hole 111 and the second insertion hole 121 do.

여기서, 니들부(130)는 상단부와 하단부가 각각 제1 가이드 플레이트(110)의 제1 삽입홀(111) 및 제2 가이드 플레이트(120)의 제2 삽입홀(121)에 삽입되어 제1 가이드 플레이트(110) 및 제2 가이드 플레이트(120)의 내면 일측에 지지되며, 중앙에 일방향으로 벤딩된 탄성부(131)가 형성된다.Here, the needle portion 130 is inserted into the first insertion hole 111 of the first guide plate 110 and the second insertion hole 121 of the second guide plate 120, respectively, and the upper portion and the lower portion thereof An elastic portion 131 that is supported on one side of the inner surface of the plate 110 and the second guide plate 120 and bent in one direction is formed in the center.

이러한 종래의 프로브 카드(100)는 하방으로 이동하면서 니들부(130)의 하단부, 즉 팁부(132)가 검사대상물에 접촉되는 경우 니들부(130) 상방으로 전달되는 접촉압력에 의해 탄성부(131)가 벤딩된 방향으로 휘어지면서 팁부(132)에 하방으로 탄성력을 제공하여 니들부(130)가 검사대상물에 안정적으로 접촉되도록 한다.When the lower end of the needle portion 130, that is, the tip portion 132, is in contact with the object to be inspected while moving downward, the conventional probe card 100 is elastic portion 131 by the contact pressure transmitted to the upper portion of the needle portion 130. ) Is bent in the bent direction and provides an elastic force downward to the tip part 132 so that the needle part 130 stably contacts the object to be inspected.

여기서, 종래의 프로브 카드(100)는 복수개의 니들부(130)가 벤딩되는 과정에서 서로 접촉되지 않도록 중앙부에 일방향으로 절곡된 탄성부(130)가 형성되는 것이나, 이러한 탄성부(130)에 의해 니들부(130)의 중앙부가 돌출형성되고, 이에 이웃하는 니들부(130)와 니들부(130)가 서로 접촉되지 않도록 상당거리 이격되게 설치되어야 하는 바 협피치를 형성하는데는 한계가 있었다.Here, in the conventional probe card 100, an elastic portion 130 bent in one direction is formed in the central portion so as not to contact each other in the process of bending the plurality of needle portions 130, but by such an elastic portion 130 The central portion of the needle portion 130 is protruding, and the needle portion 130 and the needle portion 130 adjacent thereto must be installed to be spaced apart from each other by a considerable distance so that there is a limit to forming a narrow pitch.

이에 최근에는 도2에서 보는 바와 같이 탄성부(130)를 생략한 프로브 니들, 즉 , 리얼 버티컬 프로브 니들(Real Vertical Probe Needle)이 고려된 바 있으나, 리얼 버티컬 프로브 니들의 경우 탄성부(130)가 존재하지 않아 검사대상물 접촉시 니들부(230)의 밴딩방향이 일정하지 않아 적어도 어느 하나의 니들부(230)가 타 니들부와 다른 방향으로 밴딩됨에 따라 이웃하는 니들부와 접촉되어 검사불량이 발생함으로써 작업시간이 지연되고 검사의 신뢰도가 크게 저하되는 문제점이 있었다.Accordingly, recently, as shown in FIG. 2, a probe needle omitting the elastic part 130, that is, a real vertical probe needle, has been considered, but in the case of a real vertical probe needle, the elastic part 130 is Since it does not exist, the bending direction of the needle unit 230 is not constant when contacting the object to be inspected, so at least one of the needle units 230 is bent in a different direction from the other needle unit, causing a defect in inspection due to contact with the neighboring needle unit As a result, there is a problem that the working time is delayed and the reliability of the inspection is greatly reduced.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 중앙에 탄성부를 형성하지 않아 니들부와 니들부간 협피치를 형성할 수 있으면서도 복수개의 니들부가 모두 동일한 방향으로 벤딩되도록 하여 니들부와 니들부의 접촉으로 인한 검사오류를 방지할 수 있을 뿐 아니라 검사대상물 또는 공간변환기 접촉영역의 재질에 따라 검사시 니들부의 스크럽을 제어할 수 있는 스크럽 제어 및 밴딩방향 제어가 가능한 수직형 프로브 카드를 제공함에 있다.The present invention was conceived to solve the above problems, and an object of the present invention is to allow a plurality of needle portions to be bent in the same direction while being able to form a narrow pitch between the needle portion and the needle portion by not forming an elastic portion in the center. Vertical probe card capable of controlling the scrubbing and bending direction of the needle during inspection, depending on the material of the object or space converter contact area, as well as preventing inspection errors due to contact between the needle and the needle. In providing.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일측면에 따르면, 검사대상물에 접촉되어 상기 검사대상물로부터 전달되는 전기적 신호를 외부의 테스트 장비로 전달하는 수직형 프로브 카드용 니들에 있어서, 수직배치되는 막대형상으로 형성되되, 상단부 또는 하단부 중 적어도 어느 하나의 일측에 일방향으로 절곡된 모멘트 부여수단이 형성되고, 상하단부가 프로브 카드의 가이드 플레이트에 삽입설치되어 지지되는 경우 상기 모멘트 부여수단에 의해 중앙영역에 상기 모멘트 부여수단의 절곡방향과 반대방향으로 모멘트가 부여되어 중앙영역이 모멘트가 부여된 방향으로 밴딩되는 것을 특징으로 하는 스크럽 제어 및 밴딩방향 제어가 가능한 수직형 프로브 카드용 니들을 제공한다.According to an aspect of the present invention for achieving the above object, in the vertical probe card needle for contacting an object to be inspected and transmitting electrical signals transmitted from the object to be inspected to an external test equipment, the rod is vertically arranged It is formed in a shape, and when a moment imparting means bent in one direction is formed on at least one side of an upper end or a lower end, and the upper and lower ends are inserted and installed in the guide plate of the probe card and supported, the moment imparting means in the central region. It provides a vertical probe card needle capable of scrub control and bending direction control, characterized in that a moment is applied in a direction opposite to the bending direction of the moment applying means so that the central region is bent in the direction to which the moment is applied.

그리고, 중앙영역에 길이방향을 따라 적어도 하나의 분리홈이 형성되어 다수의 빔 형상으로 형성되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that at least one separation groove is formed in the central region along the longitudinal direction to form a plurality of beam shapes.

또한, 하단부 일측에 상기 모멘트 부여수단이 형성될 수 있다.In addition, the moment imparting means may be formed on one side of the lower end.

한편, 검사대상물에 접촉되어 상기 검사대상물로부터 전달되는 전기적 신호를 외부의 테스트 장비로 전달하는 수직형 프로브 카드용 니들에 있어서, 일측에 복수개의 제1 삽입공이 형성된 제1 가이드 플레이트와, 상기 제1 가이드 플레이트의 하방으로 이격되게 배치되고, 상기 복수개의 제1 삽입공과 대응되는 위치에 복수개의 제2 삽입공이 형성된 제2 가이드 플레이트와, 상단부와 하단부가 각각 상기 제1 삽입공 및 상기 제2 삽입공에 삽입되어 상기 제1 가이드 플레이트의 내면 및 상기 제2 가이드 플레이트의 내면 일측에 지지되는 니들을 포함하되, 상기 니들은 수직배치되는 막대형상으로 형성되되, 상단부 또는 하단부 중 적어도 어느 하나의 일측에 일방향으로 절곡된 모멘트 부여수단이 형성되고, 상하단부가 프로브 카드의 가이드 플레이트에 삽입설치되어 지지되는 경우 상기 모멘트 부여수단에 의해 중앙영역에 상기 모멘트 부여수단의 절곡방향과 반대방향으로 모멘트가 부여되어 중앙영역이 모멘트가 부여된 방향으로 밴딩되는 것을 특징으로 하는 스크럽 제어 및 밴딩방향 제어가 가능한 수직형 프로브 카드를 제공한다.Meanwhile, in the needle for a vertical probe card that is in contact with an object and transmits an electrical signal transmitted from the object to an external test equipment, a first guide plate having a plurality of first insertion holes formed at one side thereof, and the first A second guide plate disposed to be spaced apart from the guide plate and having a plurality of second insertion holes at positions corresponding to the plurality of first insertion holes, and an upper end and a lower end of the first and second insertion holes, respectively It includes a needle inserted into the inner surface of the first guide plate and supported on one side of the inner surface of the second guide plate, wherein the needle is formed in a vertically arranged rod shape, and at least one of the upper portion or the lower portion is in one direction When the bent moment imparting means is formed, and the upper and lower ends are inserted and installed in the guide plate of the probe card, a moment is applied to the central region by the moment imparting means in a direction opposite to the bending direction of the moment imparting means, It provides a vertical probe card capable of scrubbing control and bending direction control, characterized in that it is bent in a direction in which this moment is applied.

그리고, 상기 니들은 중앙영역에 길이방향을 따라 적어도 하나의 분리홈이 형성되어 다수의 빔 형상으로 형성되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the needle is formed in a plurality of beam shapes by forming at least one separation groove in the central region along the longitudinal direction.

또한, 상기 니들은 상기 모멘트 부여수단이 하단부 일측에 형성되는 경우 상기 제2 가이드 플레이트의 하부에서 상기 제2 삽입홀 및 상기 제1 삽입홀에 순차적으로 삽입될 수 있다.In addition, the needle may be sequentially inserted into the second insertion hole and the first insertion hole under the second guide plate when the moment imparting means is formed on one side of the lower end.

아울러, 상기 모멘트 부여수단은 상기 니들의 하단부가 검사대상물에 접촉되는 경우 그 접촉압력에 의해 절곡된 방향과 동일한 방향으로 절곡되기 시작하는 임계점을 기준으로 상기 니들의 상단부에 형성된 경우 상기 임계점 상부영역에 형성되고, 상기 니들의 하단부에 형성된 경우 상기 임계점 하부영역에 형성되되, 상기 니들을 상기 제1 및 제2 가이드 플레이트에 삽입설치과정에서 상기 니들의 상하단부 중 상기 임계점과 근접한 단부가 두번째로 통과하는 가이드 플레이트의 삽입홀에 진입하기까지 상기 니들이 직선방향으로 삽입될 수 있는 위치에 형성될 수 있다.In addition, the moment imparting means is formed at the upper end of the needle based on a critical point at which the lower end of the needle is in contact with the object to be inspected and begins to be bent in the same direction as the bending direction by the contact pressure. Is formed, and is formed in the lower region of the critical point when it is formed at the lower end of the needle, and the end of the upper and lower ends of the needle passing through the upper and lower ends of the needle second in the process of inserting the needle into the first and second guide plates. The needle may be formed at a position in which the needle can be inserted in a linear direction until it enters the insertion hole of the guide plate.

상기와 같은 본 발명에 따르면, 중앙에 탄성부를 형성하지 않아 니들부와 니들부간 협피치를 형성할 수 있으면서도 복수개의 니들부가 모두 동일한 방향으로 벤딩되도록 하여 니들부와 니들부의 접촉으로 인한 검사오류를 방지할 수 있을 뿐 아니라 검사대상물 또는 공간변환기 접촉영역의 재질에 따라 검사시 니들부의 스크럽을 제어할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention as described above, an elastic portion is not formed in the center, so that a narrow pitch between the needle portion and the needle portion can be formed, while all of the plurality of needle portions are bent in the same direction to prevent inspection errors due to contact between the needle portion and the needle portion. In addition to being able to do it, there is an effect of controlling the scrubbing of the needle during inspection according to the material of the object or the contact area of the space converter.

도1은 종래의 프로브 카드를 도시한 단면도,
도2는 리얼 버티컬 프로브 니들(Real Vertical Probe Needle)를 개략적으로 도시한 도면,
도3은 본 발명의 일실시예에 따른 벤딩방향 제어가 가능한 수직형 프로브 카드를 개략적으로 도시한 도면,
도4는 본 발명의 일실시예에 따른 니들을 도시한 도면,
도5는 본 발명의 일실시예에 따른 니들을 제1 삽입홀 및 제2 삽입홀에 삽입하는 상태를 도시한 도면,
도6은 본 발명의 일실시예에 따른 니들이 밴딩되는 상태를 도시한 도면,
도7은 본 발명의 일실시예에 따른 니들 상단부에 스크럽 현상이 발생되는 상태를 도시한 도면,
도8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 니들이 제2 삽입홀 및 제1 삽입홀에 삽입되는 상태를 도시한 도면,
도9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 니들을 도시한 도면.1 is a cross-sectional view showing a conventional probe card;
2 is a diagram schematically showing a Real Vertical Probe Needle,
3 is a schematic diagram of a vertical probe card capable of controlling a bending direction according to an embodiment of the present invention;
4 is a view showing a needle according to an embodiment of the present invention,
5 is a view showing a state in which a needle is inserted into a first insertion hole and a second insertion hole according to an embodiment of the present invention;
6 is a view showing a state in which the needle is bent according to an embodiment of the present invention;
7 is a view showing a state in which a scrub phenomenon occurs at the upper end of the needle according to an embodiment of the present invention;
8 is a view showing a state in which a needle is inserted into a second insertion hole and a first insertion hole according to another embodiment of the present invention;
9 is a view showing a needle according to another embodiment of the present invention.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예를 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도3은 본 발명의 일실시예에 따른 벤딩방향 제어가 가능한 수직형 프로브 카드를 개략적으로 도시한 도면이고, 도4는 본 발명의 일실시예에 따른 니들을 도시한 도면이다.3 is a diagram schematically showing a vertical probe card capable of controlling a bending direction according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a view showing a needle according to an embodiment of the present invention.

도3 및 도4에서 보는 바와 같이 본 발명의 일실시예에 따른 벤딩방향 제어가 가능한 수직형 프로브 카드(1)는 제1 가이드 플레이트(10)와, 제2 가이드 플레이트(20) 및 니들(30)을 포함하여 구성된다.3 and 4, the vertical probe card 1 capable of controlling the bending direction according to an embodiment of the present invention includes a first guide plate 10, a second guide plate 20, and a needle 30. ).

제1 가이드 플레이트(10)는 일정 두께를 갖는 플레이트 형상으로 형성되고, 일측에 복수개의 제1 삽입홀(11)이 형성되며, 후술하는 니들(30)의 상단부를 지지하는 역할을 한다.The first guide plate 10 is formed in a plate shape having a predetermined thickness, a plurality of first insertion holes 11 are formed on one side, and serves to support the upper end of the needle 30 to be described later.

제2 가이드 플레이트(20)는 제1 가이드 플레이트(10)와 같이 일정 두께를 갖는 플레이트 형상으로 형성되고, 상기한 복수의 제1 삽입홀(11)과 대응되는 일측에 각각 복수의 제2 삽입홀(21)이 형성되며, 제1 가이드 플레이트(10)의 하부에 제1 가이드 플레이트(10)와 이격되게 배치되어 후술하는 니들(30)의 하단부를 지지하는 역할을 한다.The second guide plate 20 is formed in a plate shape having a predetermined thickness like the first guide plate 10, and a plurality of second insertion holes are respectively provided at one side corresponding to the plurality of first insertion holes 11 21 is formed, and is disposed below the first guide plate 10 to be spaced apart from the first guide plate 10 and serves to support the lower end of the needle 30 to be described later.

본 발명의 일실시예에 따른 벤딩방향 제어가 가능한 수직형 프로브 카드(1)(1)는 제1 가이드 플레이트(10)와 제2 가이드 플레이트(20)의 간격을 유지하기 위해 제1 가이드 플레이트(10)와 제2 가이드 플레이트(20)에 개재되는 지그플레이트(J)를 포함한다.The vertical probe card (1) (1) capable of controlling the bending direction according to an embodiment of the present invention includes a first guide plate (1) to maintain a distance between the first guide plate (10) and the second guide plate (20). 10) and a jig plate (J) interposed between the second guide plate (20).

니들(30)은 대략 수직방향으로 형성된 막대형상으로 형성되고, 상단부가 제1 삽입홀(11)에 삽입되어 제1 가이드 플레이트(10)의 내면 일측에 지지되며, 하단부가 제2 삽입홀(21)에 삽입되어 제2 가이드 플레이트(20)의 내면 일측에 지지된다.The needle 30 is formed in a bar shape formed in an approximately vertical direction, the upper end is inserted into the first insertion hole 11 and supported on one side of the inner surface of the first guide plate 10, and the lower end is the second insertion hole 21 ) And supported on one side of the inner surface of the second guide plate 20.

이러한 니들(30)은 하단부, 즉 팁부가 그 하부에 배치된 검사대상물에 탄성접촉되어 특정 전류를 통전함과 아울러 그때 출력되는 전기적 신호를 상부에 연결된 공간변환기(K)를 통해 외부의 테스트 장비로 전달하는 역할을 한다.The needle 30 is in elastic contact with the object to be inspected at the lower end, that is, the tip part, to conduct a specific current and transmit the electrical signal output at that time to the external test equipment through the space converter K connected to the upper part. It serves to convey.

여기서, 본 실시예에 따른 니들(30)은 상단부 일측에 일방향으로 일정각도 절곡된 모멘트 부여수단(31)이 형성되고, 중앙영역 내측에 길이방향을 따라 적어도 하나의 분리홈(32)이 형성되어 중앙영역이 복수 개의 빔 형상으로 형성된다.Here, in the needle 30 according to the present embodiment, a moment imparting means 31 bent at a certain angle in one direction is formed on one side of the upper end, and at least one separation groove 32 is formed in the center region along the longitudinal direction. The central region is formed in the shape of a plurality of beams.

모멘트 부여수단(31)은 니들(30)의 상단부가 일방향으로 일정각도 절곡되도록 하여 니들(30)이 제1 가이드 플레이트(10) 및 제2 가이드 플레이트(20)에 삽입설치되는 경우 니들(30)의 상단부가 제1 가이드 플레이트(10)의 내면 일측에 탄성지지되도록 하고, 그로 인해 발생되는 반발력을 통해 니들(30)의 중앙영역에 절곡된 방향과 반대방향으로 모멘트를 부여하는 역할을 한다.The moment imparting means 31 allows the upper end of the needle 30 to be bent at a certain angle in one direction, so that when the needle 30 is inserted into the first guide plate 10 and the second guide plate 20, the needle 30 The upper end of the first guide plate 10 is elastically supported on one side of the inner surface, and a moment is applied to the central region of the needle 30 in a direction opposite to the bending direction through the repulsive force generated thereby.

이와 같이 중앙영역에 모멘트가 부여된 니들(30)은 팁부가 검사대상물에 접촉되는 경우 중앙영역이 모멘트가 부여된 방향으로 벤딩되어 제1 및 제2 가이드 플레이트(20)에 설치되는 다수의 니들(30) 중앙영역이 동일한 방향으로 벤딩될 수 있다.In this way, when the tip portion is in contact with the object, the central region is bent in the direction to which the moment is applied, and a plurality of needles installed on the first and second guide plates 20 ( 30) The central area can be bent in the same direction.

이때, 니들(30)은 검사대상물과의 접촉압력에 의해 중앙영역이 일방향으로 밴딩되고, 중앙영역이 밴딩됨에 따라 상하단부가 일방향으로 일정량 이동되는 스크럽 현상이 발생되는데, 본 발명의 일실시예에 따른 모멘트 부여수단(31)은 니들(30)에서 형성되는 위치 및 그 절곡각도에 따라 해당 니들(30) 상단부의 스크럽 양을 제어할 수 있다.At this time, in the needle 30, the central region is bent in one direction by the contact pressure with the object to be inspected, and as the central region is bent, a scrub phenomenon in which the upper and lower ends are moved in one direction by a certain amount occurs, according to an embodiment of the present invention. The moment imparting means 31 may control the amount of scrub at the upper end of the needle 30 according to the position formed in the needle 30 and the bending angle thereof.

보다 상술하면, 니들(30)은 모멘트 부여수단(31)에 의해 상단부 일측이 절곡형성됨에 따라 외측면의 길이(이하 '제1 길이'라 함,l1)가 내측면의 길이(이하 '제2 길이'라 함,l2)보다 큰 길이로 형성됨에 따라 검사대상물 접촉시 접촉압력이 가해지는 경우 내측영역에 비해 상대적으로 긴 길이를 갖는 외측영역에 보다 큰 부하가 걸리게 되고, 니들(30)의 중앙영역이 모멘트가 부여된 방향으로 벤딩되는 한편 니들(30)의 상단부가 외측으로 이동하려고 할 때 니들(30)의 외측영역에 상방으로 가해지는 부하가 니들(30) 상단부의 이동동작을 억제하면서 니들(30) 상단부의 스크럽 양을 제어하게 되는데, 이러한 본 실시예의 스크럽 제어동작은 후술하는 본 실시예의 프로브 카드 동작설명에서 보다 상세하게 설명하도록 한다.In more detail, the length of the outer surface (hereinafter referred to as'first length', l 1 ) is the length of the inner surface (hereinafter referred to as'first length', l 1 ) as the upper end of the needle 30 is bent by the moment imparting means 31 2 As it is formed with a length greater than',l 2 ), when contact pressure is applied when contacting the object to be inspected, a larger load is applied to the outer area having a relatively long length compared to the inner area, and the needle 30 While the central region of the needle is bent in the direction to which the moment is given, a load applied upward to the outer region of the needle 30 when the upper end of the needle 30 tries to move outward suppresses the movement motion of the upper end of the needle 30 While controlling the amount of scrub at the upper end of the needle 30, the scrub control operation of this embodiment will be described in more detail in the description of the operation of the probe card of this embodiment to be described later.

여기서, 본 실시예에 따른 모멘트 부여수단(31)은 니들(30)의 상단부 일측 중 니들(30)의 중앙영역에 절곡된 방향과 반대방향으로 모멘트를 부여할 수 있는 위치이면 어느 곳이든 형성될 수 있다.Here, the moment imparting means 31 according to the present embodiment may be formed anywhere in the position where a moment can be applied in a direction opposite to the bending direction in the central region of the needle 30 among one side of the upper end of the needle 30. I can.

즉, 모멘트 부여수단(31)은 니들(30)의 중앙을 기준으로 그 상부의 어느 특정 포인트에 있어서, 니들(30)의 하단부가 검사대상물에 접촉되는 경우 그 접촉압력에 의해 니들(30)의 중앙영역이 모멘트 부여수단(31)의 절곡방향과 동일한 방향으로 절곡되는 임계점(G) 상부영역(R)에 형성되되, 본 발명의 일실시예에 따라 프로브 카드를 조립하는 과정에서 니들(30)의 하단부가 제2 삽입홀(21)에 진입하기까지는 직선방향으로 삽입될 수 있는 위치에 형성되는 것이 바람직하다.That is, when the lower end of the needle 30 is in contact with the object to be inspected, the moment imparting means 31 at a certain point in the upper portion thereof based on the center of the needle 30, the contact pressure of the needle 30 The central region is formed in the upper region R of the critical point G that is bent in the same direction as the bending direction of the moment imparting means 31, and the needle 30 in the process of assembling the probe card according to an embodiment of the present invention It is preferable that the lower end of the is formed at a position that can be inserted in a linear direction until it enters the second insertion hole 21.

한편, 상기한 임계점의 위치는 니들의 전체길이와, 두께, 빔의 갯수, 재질 등에 따라 달라질 수 있는데, 본 실시예에서는 니들의 전체길이 대비 하단으로부터 대략 3/5 지점(h)에 위치한다.Meanwhile, the position of the critical point may vary depending on the total length, thickness, number of beams, material, etc. of the needle. In this embodiment, the position of the critical point is approximately 3/5 points (h) from the lower end of the needle.

아울러, 니들(30)은 모멘트 부여수단(31)이 형성된 일측을 기준으로 그 하부영역이 수직으로 배치된 일자 막대 형상으로 형성된다.In addition, the needle 30 is formed in the shape of a straight rod in which the lower region is vertically arranged with respect to one side on which the moment imparting means 31 is formed.

다시 말하면, 본 실시예에 따른 니들(30)은 도4에서 보는 바와 같이 중앙영역에 밴딩방향 결정을 위한 별도의 밴딩부가 형성되지 않고 모멘트 부여수단(31)에 의한 모멘트만으로 그 밴딩방향을 결정하는 바 일방향으로 돌출형성되는 밴딩부에 의한 간섭을 고려할 필요없이 복수개의 니들(30)을 최소한의 간격으로 설치할 수 있다.In other words, the needle 30 according to the present embodiment does not form a separate bending portion for determining the bending direction in the central region, as shown in FIG. 4, and determines the bending direction only by the moment by the moment imparting means 31. A plurality of needles 30 can be installed at minimum intervals without taking into account interference caused by a bending portion protruding in one direction of the bar.

한편, 본 실시예에서는 기술설명의 이해를 돕기 위해 도3에서 보는 바와 같이 제1 가이드 플레이트(10) 및 제2 가이드 플레이트(20)에 설치된 니들(30)의 하부가 상당한 곡률로 만곡지게 설치되는 것으로 도시하고 있으나, 실제로는 니들(30)간 협피치를 형성할 수 있도록 모멘트 부여수단(31)의 절곡각도를 조절하여 니들(30) 중앙에 모멘트를 부여할 정도의 큰 곡률, 즉 거의 수직하게 설치되도록 하는 것이 바람직하다.On the other hand, in this embodiment, as shown in FIG. 3, in order to aid understanding of the technical description, the lower portions of the needles 30 installed on the first guide plate 10 and the second guide plate 20 are installed to be curved with a considerable curvature. However, in practice, the bending angle of the moment imparting means 31 is adjusted to form a narrow pitch between the needles 30, so that the curvature is large enough to impart a moment to the center of the needle 30, that is, almost vertically. It is desirable to have it installed.

도5는 본 발명의 일실시예에 따른 니들을 제1 삽입홀 및 제2 삽입홀에 삽입하는 상태를 도시한 도면이고, 도6은 본 발명의 일실시예에 따른 니들이 밴딩되는 상태를 도시한 도면이며, 도7은 본 발명의 일실시예에 따른 니들 상단부에 스크럽 현상이 발생되는 상태를 도시한 도면이다.5 is a view showing a state in which a needle according to an embodiment of the present invention is inserted into a first insertion hole and a second insertion hole, and FIG. 6 is a view showing a state in which the needle according to an embodiment of the present invention is bent. 7 is a view showing a state in which a scrub phenomenon occurs at the upper end of a needle according to an embodiment of the present invention.

이와 같은 구성을 갖는 본 발명의 일실시예에 따른 스크럽 제어 및 밴딩 제어가 가능한 프로브 카드의 조립방법 및 동작을 첨부된 도5 내지 도7을 참조하여 설명하면 다음과 같다.An assembly method and operation of a probe card capable of scrubbing and bending control according to an embodiment of the present invention having such a configuration will be described below with reference to FIGS. 5 to 7.

먼저, 본 발명의 일실시예에 따라 프로브 카드를 조립하는 과정을 살펴보면, 제1 가이드 플레이트(10) 및 제2 가이드 플레이트(20)를 상하방향으로 상호 이격되게 배치하고, 준비된 니들(30)을 제1 가이드 플레이트(10)의 상부에서 하방으로 이동하여 제1 삽입홀(11) 및 제2 삽입홀(21)에 순차 삽입한다.First, looking at the process of assembling the probe card according to an embodiment of the present invention, the first guide plate 10 and the second guide plate 20 are arranged to be spaced apart from each other in the vertical direction, and the prepared needle 30 The first guide plate 10 moves downward from the top and is sequentially inserted into the first insertion hole 11 and the second insertion hole 21.

이때, 니들(30)은 위에서 설명한 바와 같이 모멘트 부여수단(31)을 기준으로 그 하부영역이 일자막대형상으로 형성되는 바 제1 삽입홀(11) 및 제2 삽입홀(21)에 직선방향으로 용이하게 삽입되며, 니들(30)의 하단부가 제2 삽입홀(21)에 진입하기 시작하는 경우 니들(30)의 모멘트 부여수단(31)이 제1 삽입홀(11)로 진입한다.At this time, as described above, the needle 30 has a lower region formed in the shape of a straight bar with respect to the moment imparting means 31 as described above, in the first insertion hole 11 and the second insertion hole 21 in a linear direction. It is easily inserted, and when the lower end of the needle 30 starts to enter the second insertion hole 21, the moment imparting means 31 of the needle 30 enters the first insertion hole 11.

니들(30)은 모멘트 부여수단(31)에 의해 상부영역이 일방향으로 절곡형성됨에 따라 제1 삽입홀(11)에 삽입되는 과정에서 니들(30)의 상단부 일측이 제1 삽입홀(11)이 형성된 제1 가이드 플레이트(10)의 내면에 탄성지지되며, 그로부터 발생되는 반발력에 의해 니들(30) 중앙영역에 모멘트 부여수단(31)이 절곡된 방향과 반대방향으로 모멘트가 부여되면서 설치된다.As the upper region of the needle 30 is bent in one direction by the moment imparting means 31, one side of the upper end of the needle 30 becomes the first insertion hole 11 in the process of being inserted into the first insertion hole 11 It is elastically supported on the inner surface of the formed first guide plate 10, and is installed while giving a moment in a direction opposite to the direction in which the moment imparting means 31 is bent in the central region of the needle 30 by the repulsive force generated therefrom.

이후 제1 가이드 플레이트(10)의 상부에 공간변환기(K)를 배치하고, 공간변환기(K)의 일측을 설치된 니들(30) 상단에 접촉되게 설치한다.Thereafter, the space converter K is disposed on the upper part of the first guide plate 10, and one side of the space converter K is installed in contact with the upper end of the installed needle 30.

이와 같이 제조된 본 실시예에 따른 프로브 카드가 하방으로 이동하여 니들(30)의 하단, 즉 니들(30)의 팁부가 검사대상물에 접촉되면, 검사대상물과의 접촉압력이 니들(30)의 상방으로 전달되는데, 니들(30)의 상하단부가 각각 공간변환기(K)의 일측 및 검사대상물의 일측에 지지상태에서 접촉압력에 의해 니들(30)의 중앙영역이 일방향으로 밴딩된다.When the probe card according to the present embodiment manufactured as described above moves downward and the lower end of the needle 30, that is, the tip of the needle 30, comes into contact with the object to be inspected, the contact pressure with the object to be inspected is above the needle 30. In a state where the upper and lower ends of the needle 30 are supported on one side of the space converter K and one side of the object to be inspected, respectively, the central region of the needle 30 is bent in one direction by contact pressure.

이때, 니들(30)은 모멘트 부여수단(31)에 의해 중앙영역에 일방향, 정확하게는 모멘트 부여수단(31)의 절곡방향과 반대방향으로 모멘트가 부여되어 있는 바 설치된 모든 니들(30)의 중앙영역이 모멘트가 부여된 방향으로 일제히 밴딩된다.At this time, the needle 30 is a central region of all installed needles 30 as a moment is given to the central region by the moment imparting means 31 in one direction, precisely in a direction opposite to the bending direction of the moment imparting means 31 These moments are simultaneously bent in the given direction.

또한, 니들(30)의 중앙영역이 밴딩됨에 따라 니들(30)이 변형하여 니들(30)의 상단부가 외측방향으로 이동되는 스크럽 현상이 발생되는데, 위에서 설명한 바와 같이 제2 길이(l2)와 대응되는 니들(30)의 내측영역 부하(F2)에 비해 제1 길이(l1)와 대응되는 니들(30)의 외측영역에 보다 큰 부하(F1)가 걸리게 되면서 니들(30) 상단부의 이동량을 억제함으로써 니들(30)의 스크럽 양을 제어한다.In addition, as the central region of the needle 30 is bent, the needle 30 is deformed to cause a scrub phenomenon in which the upper end of the needle 30 is moved outward. As described above, the second length (l 2 ) and As a larger load (F 1 ) is applied to the outer area of the needle 30 corresponding to the first length (l 1 ) compared to the inner area load (F 2 ) of the corresponding needle 30, the upper end of the needle 30 The amount of scrubbing of the needle 30 is controlled by suppressing the amount of movement.

다시 말하면, 니들(30)에 상단부에 형성된 모멘트 부여수단(31)의 절곡각도를 조절, 즉 제1 길이(l1)와 제2 길이(l2)의 편차를 조절하여 니들(30)의 하단부가 검사대상물에 접촉되는 경우 접촉압력에 의한 니들(30) 외측영역과 내측영역의 부하비율(F1 : F2)을 조절하고, 이를 통해 니들(30) 상단부의 이동량인 스크럽을 제어함으로써 작업환경에 따라 효과적인 작업이 이루어질 수 있도록 설정할 수 있다.In other words, by adjusting the bending angle of the moment imparting means 31 formed on the upper end of the needle 30, that is, by adjusting the deviation between the first length (l 1 ) and the second length (l 2 ), the lower end of the needle 30 When is in contact with the object to be inspected, the load ratio of the outer region and the inner region of the needle 30 due to the contact pressure (F 1 : By adjusting F 2 ) and controlling the scrub, which is the amount of movement of the upper end of the needle 30, it can be set so that effective work can be performed according to the working environment.

도8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 니들이 제2 삽입홀 및 제1 삽입홀에 삽입되는 상태를 도시한 도면이며, 도9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 니들을 도시한 도면이다.8 is a view showing a state in which a needle is inserted into a second insertion hole and a first insertion hole according to another embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a view showing a needle according to another embodiment of the present invention.

도8 실시예의 기본적인 구성은 도2 내지 도7의 실시예와 동일하나, 모멘트 부여수단(31)이 니들(30)의 하단부에 형성된 구조로 형성된 것이다.The basic configuration of the embodiment of Fig. 8 is the same as the embodiment of Figs. 2 to 7, but the moment imparting means 31 is formed in a structure formed at the lower end of the needle 30.

이러한, 본 실시예는 전 실시예와 동일한 원리로 모든 니들(30)이 동일한 방향으로 밴딩되도록 함과 아울러 니들(30) 하단부의 스크럽을 제어할 수 있다.In this embodiment, all the needles 30 are bent in the same direction on the same principle as the previous embodiment, and the scrub at the lower end of the needle 30 can be controlled.

나아가, 본 실시예는 프로브 카드 조립시 니들(30)이 제2 가이드 플레이트(20)의 하부에서 제2 삽입홀(21) 및 제1 삽입홀(11)에 순차 삽입되는 구조를 취하는 것으로서, 니들(30)을 보수 또는 교체하고자 하는 경우 그 상부에 설치된 공간변환기(K)을 탈거하지 않더라도 니들(30)을 인출하여 보수 또는 교체할 수 있을 뿐 아니라 특정 니들(30)만 선택적으로 인출이 가능하여 니들(30)의 신속한 보수 또는 교체가 가능한 장점이 있다.Further, the present embodiment takes a structure in which the needle 30 is sequentially inserted into the second insertion hole 21 and the first insertion hole 11 from the lower portion of the second guide plate 20 when assembling the probe card. In the case of repairing or replacing (30), even if the space converter (K) installed on the upper part is not removed, the needle (30) can be withdrawn and repaired or replaced, and only a specific needle (30) can be selectively withdrawn. There is an advantage that quick maintenance or replacement of the needle 30 is possible.

한편, 본 발명의 실시예에서는 모멘트 부여수단(31)이 니들(30)의 상단부 또는 하단부 중 어느 한 곳에 형성되는 것으로 설명하고 있으나, 본 발명에 따른 모멘트 부여수단(31)은 도9에서 보는 바와 같이 니들(30) 상단부와 하단부의 스크럽 조절이 동시에 필요한 경우 니들(30)의 상단부와 하단부에 각각 동일한 방향으로 절곡형성될 수 있다.On the other hand, in the embodiment of the present invention, the moment imparting means 31 is described as being formed at either the upper end or the lower end of the needle 30, but the moment imparting means 31 according to the present invention is shown in FIG. Likewise, when scrub adjustment of the upper and lower ends of the needle 30 is required at the same time, the upper and lower ends of the needle 30 may be bent in the same direction, respectively.

그 외의 구조는 전술한 기본 실시예와 동일하므로 나머지 설명은 생략하기로 한다.Other structures are the same as those of the above-described basic embodiment, so the remaining description will be omitted.

비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위는 본 발명의 요지에서 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.Although the present invention has been described in connection with the above-mentioned preferred embodiments, it is possible to make various modifications or variations without departing from the spirit and scope of the invention. Accordingly, the scope of the appended claims will include such modifications or variations that fall within the gist of the present invention.

10 : 제1 가이드 플레이트 11 : 제1 삽입홀
20 : 제2 가이드 플레이트 12 : 제2 삽입홀
30 : 니들 31 : 모멘트 부여수단
32 : 분리홈 J : 지그플레이트
K : 공간변환기10: first guide plate 11: first insertion hole
20: second guide plate 12: second insertion hole
30: needle 31: moment imparting means
32: separation groove J: jig plate
K: space converter

Claims (6)

검사대상물에 접촉되어 상기 검사대상물로부터 전달되는 전기적 신호를 외부의 테스트 장비로 전달하는 수직형 프로브 카드용 니들에 있어서,
수직배치되는 막대형상으로 형성되되, 상단부 또는 하단부 중 적어도 어느 하나의 일측에 일방향으로 절곡된 모멘트 부여수단이 형성되고, 상하단부가 프로브 카드의 가이드 플레이트에 삽입설치되어 지지되는 경우 상기 모멘트 부여수단에 의해 중앙영역에 상기 모멘트 부여수단의 절곡방향과 반대방향으로 모멘트가 부여되어 중앙영역이 모멘트가 부여된 방향으로 밴딩되는 것을 특징으로 하는 스크럽 제어 및 밴딩방향 제어가 가능한 수직형 프로브 카드용 니들.
In the vertical probe card needle for contacting an object to be inspected and transmitting an electrical signal transmitted from the object to be inspected to an external test equipment,
It is formed in a vertically arranged rod shape, and a moment imparting means bent in one direction is formed on at least one of the upper and lower ends, and the upper and lower ends are inserted and installed in the guide plate of the probe card and supported by the moment imparting means. A vertical probe card needle capable of scrub control and bending direction control, characterized in that a moment is applied to a central region in a direction opposite to the bending direction of the moment applying means, so that the central region is bent in a direction to which the moment is applied.
 제1항에 있어서,
중앙영역에 길이방향을 따라 적어도 하나의 분리홈이 형성되어 다수의 빔 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 스크럽 제어 및 밴딩방향 제어가 가능한 수직형 프로브 카드용 니들.
The method of claim 1,
A needle for a vertical probe card capable of controlling a scrub control and a bending direction, characterized in that at least one separation groove is formed in a central region along a longitudinal direction to form a plurality of beams.
 제1항에 있어서,
하단부 일측에 상기 모멘트 부여수단이 형성되는 것을 특징으로 하는 스크럽 제어 및 밴딩방향 제어가 가능한 수직형 프로브 카드용 니들.
The method of claim 1,
The needle for a vertical probe card capable of controlling the scrub control and bending direction, characterized in that the moment imparting means is formed on one side of the lower end.
 검사대상물에 접촉되어 상기 검사대상물로부터 전달되는 전기적 신호를 외부의 테스트 장비로 전달하는 수직형 프로브 카드용 니들에 있어서,
일측에 복수개의 제1 삽입공이 형성된 제1 가이드 플레이트와;
상기 제1 가이드 플레이트의 하방으로 이격되게 배치되고, 상기 복수개의 제1 삽입공과 대응되는 위치에 복수개의 제2 삽입공이 형성된 제2 가이드 플레이트와;
상단부와 하단부가 각각 상기 제1 삽입공 및 상기 제2 삽입공에 삽입되어 상기 제1 가이드 플레이트의 내면 및 상기 제2 가이드 플레이트의 내면 일측에 지지되는 니들을 포함하되,
상기 니들은
수직배치되는 막대형상으로 형성되되, 상단부 또는 하단부 중 적어도 어느 하나의 일측에 일방향으로 절곡된 모멘트 부여수단이 형성되고, 상하단부가 프로브 카드의 가이드 플레이트에 삽입설치되어 지지되는 경우 상기 모멘트 부여수단에 의해 중앙영역에 상기 모멘트 부여수단의 절곡방향과 반대방향으로 모멘트가 부여되어 중앙영역이 모멘트가 부여된 방향으로 밴딩되는 것을 특징으로 하는 스크럽 제어 및 밴딩방향 제어가 가능한 수직형 프로브 카드.
In the vertical probe card needle for contacting an object to be inspected and transmitting an electrical signal transmitted from the object to be inspected to an external test equipment,
A first guide plate having a plurality of first insertion holes formed on one side thereof;
A second guide plate disposed to be spaced apart from the first guide plate and having a plurality of second insertion holes formed at positions corresponding to the plurality of first insertion holes;
An upper end and a lower end are inserted into the first and second insertion holes, respectively, and include a needle supported on one side of the inner surface of the first guide plate and the inner surface of the second guide plate,
The needle
It is formed in a vertically arranged rod shape, and a moment imparting means bent in one direction is formed on at least one of the upper and lower ends, and the upper and lower ends are inserted into the guide plate of the probe card and supported by the moment imparting means A vertical probe card capable of scrub control and bending direction control, characterized in that a moment is applied to a central region in a direction opposite to the bending direction of the moment imparting means so that the central region is bent in a direction to which the moment is applied.
 제4항에 있어서,
상기 니들은 중앙영역에 길이방향을 따라 적어도 하나의 분리홈이 형성되어 다수의 빔 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 스크럽 제어 및 밴딩방향 제어가 가능한 수직형 프로브 카드.
The method of claim 4,
The needle is a vertical probe card capable of controlling a scrub control and a bending direction, characterized in that at least one separation groove is formed along a longitudinal direction in a central region to form a plurality of beam shapes.
 제4항에 있어서,
상기 모멘트 부여수단은
상기 니들의 하단부가 검사대상물에 접촉되는 경우 그 접촉압력에 의해 절곡된 방향과 동일한 방향으로 절곡되기 시작하는 임계점을 기준으로 상기 니들의 상단부에 형성된 경우 상기 임계점 상부영역에 형성되고, 상기 니들의 하단부에 형성된 경우 상기 임계점 하부영역에 형성되되,
상기 니들을 상기 제1 및 제2 가이드 플레이트에 삽입설치과정에서 상기 니들의 상하단부 중 상기 임계점과 근접한 단부가 두번째로 통과하는 가이드 플레이트의 삽입홀에 진입하기까지 상기 니들이 직선방향으로 삽입될 수 있는 위치에 형성되는 것을 특징으로 하는 스크럽 제어 및 밴딩방향 제어가 가능한 수직형 프로브 카드.The method of claim 4,
The moment imparting means
When the lower end of the needle is in contact with the object to be inspected, it is formed in the upper region of the critical point when it is formed at the upper end of the needle based on a critical point that starts to be bent in the same direction as the direction in which it is bent by the contact pressure, and the lower end of the needle If formed in the critical point is formed in the lower region,
In the process of inserting the needle into the first and second guide plates, the needle can be inserted in a linear direction until an end close to the critical point among the upper and lower ends of the needle enters the insertion hole of the guide plate that passes second. Vertical probe card capable of controlling the scrubbing and bending direction, characterized in that formed in the position.
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