KR102260983B1 - Needle for vertical probe card with improved alignment efficiency - Google Patents

Needle for vertical probe card with improved alignment efficiency Download PDF

Info

Publication number
KR102260983B1
KR102260983B1 KR1020210049945A KR20210049945A KR102260983B1 KR 102260983 B1 KR102260983 B1 KR 102260983B1 KR 1020210049945 A KR1020210049945 A KR 1020210049945A KR 20210049945 A KR20210049945 A KR 20210049945A KR 102260983 B1 KR102260983 B1 KR 102260983B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cross
needle
probe card
section
guide plate
Prior art date
Application number
KR1020210049945A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
위성연
윤성탁
신상훈
Original Assignee
윌테크놀러지(주)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 윌테크놀러지(주) filed Critical 윌테크놀러지(주)
Priority to KR1020210049945A priority Critical patent/KR102260983B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102260983B1 publication Critical patent/KR102260983B1/en
Priority to TW110125424A priority patent/TWI806091B/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06733—Geometry aspects
    • G01R1/06738—Geometry aspects related to tip portion
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06733—Geometry aspects
    • G01R1/0675—Needle-like
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G01R1/07314—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being perpendicular to test object, e.g. bed of nails or probe with bump contacts on a rigid support

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Geometry (AREA)

Abstract

The present invention relates to a needle for a vertical probe card with improved alignment efficiency and provides a needle for a vertical probe card with improved alignment efficiency, which is inserted into insertion holes respectively formed in an upper guide plate and a lower guide plate of a probe card and has an upper end and a lower end to be supported on the inner surface of the upper guide plate and the inner surface of the lower guide plate in which the insertion holes are formed, respectively. When a horizontal imaginary line is formed in the center of the cross-section, the cross-sectional area of the upper part of the cross-section and the cross-sectional area of the lower part of the cross-section are formed with different sizes based on the virtual line. When the horizontal virtual line is formed in the center of the cross-section, the needle for a vertical probe card with improved alignment efficiency allows the cross-sectional area of the upper part of the cross section to be different from the cross-sectional area of the lower part of the cross section so that the resistance to the torsional force generated in the process of being in contact with an object to be inspected is generated in a certain direction. Therefore, it is possible to accurately align a tip part to one side of the inner surface of the guide plate set in advance without requiring an additional process.

Description

정렬효율이 향상된 수직형 프로브 카드용 니들{Needle for vertical probe card with improved alignment efficiency}Needle for vertical probe card with improved alignment efficiency

본 발명은 정렬효율이 향상된 수직형 프로브 카드용 니들에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 협피치를 형성할 수 있고, 검사 과정에서 다수의 니들부의 팁부를 미리 설정한 위치로 정렬시켜 프로브 카드의 검사 신뢰도를 크게 향상시킬 수 있는 정렬효율이 향상된 수직형 프로브 카드용 니들에 관한 것이다.The present invention relates to a needle for a vertical probe card with improved alignment efficiency, and more particularly, it can form a narrow pitch, and align the tips of a plurality of needle parts to a preset position during the inspection process, so that the inspection reliability of the probe card It relates to a needle for a vertical probe card with improved alignment efficiency that can greatly improve the

일반적으로 반도체 제작 공정은 웨이퍼(Wafer)상에 패턴(pattern)을 형성시키는 패브리케이션(fabrication)공정과, 웨이퍼를 구성하고 있는 각각의 칩의 전기적 특성을 검사하는 이디에스(Electrical Die Sorting:EDS)공정과, 패턴이 형성된 웨이퍼를 각각의 칩(chip)으로 조립하는 어셈블리(assembly)공정을 통해서 제조된다.In general, a semiconductor manufacturing process includes a fabrication process for forming a pattern on a wafer, and Electrical Die Sorting (EDS) for examining the electrical characteristics of each chip constituting the wafer. It is manufactured through a process and an assembly process of assembling a wafer on which a pattern is formed into individual chips.

여기서 EDS공정은 웨이퍼를 구성하고 있는 칩들 중에서도 불량칩을 판별하기위해 수행하는 것으로 웨이퍼를 구성하는 칩들에 전기적 신호를 인가시켜 인가된 전기적 신호로부터 체크되는 신호에 의해서 불량을 판단하게 되는 프로브 카드라는 검사장치가 주로 사용되고 있다.Here, the EDS process is performed to discriminate defective chips among the chips constituting the wafer. An electrical signal is applied to the chips constituting the wafer, and the inspection is called a probe card that judges a defect by a signal checked from the applied electrical signal. The device is mainly used.

이러한 프로브 카드는 웨이퍼를 구성하는 각 칩의 패턴과 접촉되어 전기적 신호를 인가하는 다수의 니들(Needle)이 구성되는데, 통상 웨이퍼의 각 디바이스의 전극패드에 프로브 카드의 니들이 접촉되게 하면서 이 니들을 통해 특정의 전류를 통전시켜 그때 출력되는 전기적 특성을 측정한다.Such a probe card is composed of a plurality of needles that are in contact with the pattern of each chip constituting the wafer and apply an electrical signal. Usually, the needle of the probe card is brought into contact with the electrode pad of each device of the wafer and through these needles. By passing a specific current, the electrical characteristics output at that time are measured.

한편, 최근의 반도체 디바이스는 디자인 룰이 더욱 미세화되면서 고집적화와 동시에 극소형화되고 있는 추세이므로 미세해지는 반도체 디바이스의 패턴과 접속되기 위해서는 프로브 카드의 니들들도 그에 적절한 사이즈로 미세화됨과 아울러 니들과 니들간 보다 좁은 간격으로 배치되는 협피치가 요구된다.On the other hand, recent semiconductor devices are being miniaturized at the same time with high integration as design rules are further refined. Therefore, in order to be connected with the finer patterns of semiconductor devices, the needles of the probe card are also miniaturized to an appropriate size, and moreover between the needle and the needle. Narrow pitches arranged at narrow intervals are required.

이에 프로브 니들과 프로브 니들간 간격이 보다 밀접하게 배치될 수 있도록 '1'형상에 가까운 수직형 프로브 니들이 개발된 바 있으며, 그 일예로 해당 프로브 니들이 적용된 수직형 프로브 카드가 한국등록특허 제1859388호(이하 '종래의 프로브 카드'라 함)에 개시되어 있다.Accordingly, a vertical probe needle close to a '1' shape has been developed so that the distance between the probe needle and the probe needle can be more closely arranged. As an example, a vertical probe card to which the probe needle is applied is disclosed in Korean Patent No. 1859388 ( hereinafter referred to as 'conventional probe card').

도1은 종래의 프로브 카드를 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a conventional probe card.

도1에서 보는 바와 같이 종래의 프로브 카드(100)는 일측에 제1 삽 입홀(111)이 형성된 제1 가이드 플레이트(110)와, 제1 가이드 플레이트(110)의 하부에 제1 가이드 플레이트(110)와 이격되게 설치되고 일측에 제2 삽입홀(121)이 형성된 제2 가이드 플레이트(120) 및 제1 삽입홀(111)과 제2 삽입홀(121)에 삽입되는 니들부(130)로 구성된다.As shown in FIG. 1 , the conventional probe card 100 includes a first guide plate 110 having a first insertion hole 111 formed on one side, and a first guide plate 110 at a lower portion of the first guide plate 110 . ) and a second guide plate 120 with a second insertion hole 121 formed on one side and a needle portion 130 inserted into the first insertion hole 111 and the second insertion hole 121 . do.

여기서, 니들부(130)는 상단부인 헤드부(H)와, 하단부인 팁부(T), 중앙영역인 바디부(B)로 구분될 수 있는데, 헤드부(H)와 팁부(T)가 각각 제1 가이드 플레이트(110)의 제1 삽입홀(111) 및 제2 가이드 플레이트(120)의 제2 삽입홀(121)에 삽입되고, 제1 가이드 플레이트(110) 및 제2 가이드 플레이트(120)의 내면 일측에 지지되면서 바디부(B)가 일방향으로 만곡지게 밴딩된다.Here, the needle portion 130 may be divided into a head portion (H), which is an upper portion, a tip portion (T), which is a lower portion, and a body portion (B), which is a central region, wherein the head portion (H) and the tip portion (T) are respectively It is inserted into the first insertion hole 111 of the first guide plate 110 and the second insertion hole 121 of the second guide plate 120 , and the first guide plate 110 and the second guide plate 120 . While being supported on one side of the inner surface of the body portion (B) is bent to be curved in one direction.

이러한 종래의 프로브 카드(100)는 팁부(T)가 검사대상물에 접촉되는 경우 니들부(130) 상방으로 전달되는 접촉압력에 의해 탄성부가 벤딩된 방향으로 휘어지면서 팁부(T)에 하방으로 탄성력을 제공하여 니들부(130)가 검사대상물에 안정적으로 접촉되도록 한다.In this conventional probe card 100, when the tip portion T is in contact with the object to be inspected, the elastic portion is bent in the bending direction by the contact pressure transmitted upward to the needle portion 130, and the elastic force is applied downward to the tip portion T. Provided so that the needle part 130 is in stable contact with the object to be inspected.

이때, 다수의 니들부(130)는 검사대상물에 접촉되는 경우 바디부(B)가 일정방향으로 좌굴되면서 팁부(T)가 일정거리 스크럽되고, 제2 가이드 플레이트(120)의 내면에 지지되면서 정렬되는데, 종래의 프로브 카드(100)는 다수의 니들부(130) 팁부(T)가 각각 다른 위치에서 정렬됨에 따라 프로브 카드(100)의 신뢰도가 저하되는 문제점이 있었다.At this time, when the plurality of needle parts 130 are in contact with the object to be inspected, the tip part T is scrubbed for a certain distance while the body part B buckles in a certain direction, and is aligned while being supported on the inner surface of the second guide plate 120 . However, the conventional probe card 100 has a problem in that the reliability of the probe card 100 decreases as the plurality of needle portions 130 and the tip portions T are aligned at different positions.

특히, 협피치를 형성하기 위해 탄성부의 곡률을 작게 형성하는 경우 즉 협피치를 위해 니들부(130)가 수직에 가깝게 배치될수록 니들부(130)의 밴딩방향이 일정하지 않아 니들부(130)의 팁부(T)를 정렬하기 더 어려워지는 문제점이 있었다.In particular, in the case of forming a small curvature of the elastic part to form a narrow pitch, that is, as the needle part 130 is disposed closer to the vertical for a narrow pitch, the bending direction of the needle part 130 is not constant. There was a problem in that it becomes more difficult to align the tip portion (T).

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 가이드 플레이트에 수직 배치하여 협피치를 형성할 수 있고, 제조공정을 추가하지 않더라도 다수의 니들부의 팁부를 미리 설정한 위치로 정렬시켜 프로브 카드의 검사 신뢰도를 크게 향상시킬 수 있는 정렬효율이 향상된 수직형 프로브 카드용 니들을 제공함에 있다.The present invention has been devised to solve the above problems, and an object of the present invention is to form a narrow pitch by arranging it vertically on the guide plate, and even if a manufacturing process is not added, the tip of a plurality of needle parts is set in advance. To provide a needle for a vertical probe card with improved alignment efficiency that can greatly improve the inspection reliability of the probe card by aligning it with

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일측면에 따르면, 검사대상물에 접촉되어 상기 검사대상물로부터 전달되는 전기적 신호를 외부의 테스트 장비로 전달하는 정렬효율이 향상된 수직형 프로브 카드용 니들에 있어서, 프로브 카드의 상부 가이드 플레이트와 하부 가이드 플레이트에 각각 형성된 삽입공에 삽입되고, 상단부와 하단부가 각각 상기 삽입공이 형성된 상기 상부 가이드 플레이트의 내면과 상기 하부 가이드 플레이트의 내면에 지지되되, 단면 중앙에 수평의 가상선을 형성한 경우 상기 가상선을 기준으로 단면 상부의 단면적과 단면 하부의 단면적이 서로 다른 크기로 형성되는 것을 특징으로 하는 정렬효율이 향상된 수직형 프로브 카드용 니들을 제공한다.According to one aspect of the present invention for achieving the above object, in a needle for a vertical probe card with improved alignment efficiency that is in contact with an object to be inspected and transfers an electrical signal transmitted from the object to an external test equipment, It is inserted into the insertion holes respectively formed in the upper guide plate and the lower guide plate of the probe card, and the upper end and the lower end are respectively supported on the inner surface of the upper guide plate and the inner surface of the lower guide plate in which the insertion hole is formed. When an imaginary line is formed, there is provided a needle for a vertical probe card with improved alignment efficiency, characterized in that the cross-sectional area of the upper cross-section and the cross-sectional area of the lower cross-section are formed in different sizes based on the virtual line.

그리고, 단면이 사다리꼴 형상으로 형성되는 것이 바람직하다.And, it is preferable that the cross section is formed in a trapezoidal shape.

또한, 단면 일측으로부터 외측방향으로 돌출된 돌기가 형성될 수 있다.In addition, a protrusion protruding outwardly from one side of the cross-section may be formed.

아울러, 상단부와 하단부 중 어느 하나의 단부가 외측방향으로 만곡지게 형성되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that any one end of the upper end and the lower end is curved outwardly.

또한, 중앙영역에 길이방향을 따라 적어도 하나의 분리홈이 형성되어 다수의 빔이 구성되며, 상기 각 빔은 단면 중앙에 수평의 가상선을 형성한 경우 상기 가상선을 기준으로 단면 상부의 단면적과 단면 하부의 단면적이 서로 다른 크기로 형성될 수 있다.In addition, at least one separation groove is formed in the central region along the longitudinal direction to constitute a plurality of beams, and when a horizontal imaginary line is formed in the center of the cross section, each beam has a cross-sectional area and an upper cross-sectional area based on the imaginary line. The cross-sectional areas of the lower portion of the cross-section may be formed to have different sizes.

상기와 같은 본 발명에 따르면, 단면 중앙에 수평의 가상선을 형성한 경우 단면 상부의 단면적과 단면 하부의 단면적이 다른 크기로 형성되도록 하여 검사대상물에 접촉되는 과정에서 발생되는 비틀림력에 대한 저항력이 일정방향으로 발생되도록 함으로써 추가적인 공정이 요구되지 않으면서도 팁부를 미리 설정된 가이드 플레이트의 내면 일측에 정확하게 정렬시킬 수 있는 효과가 있다.According to the present invention as described above, when a horizontal imaginary line is formed in the center of the cross-section, the cross-sectional area of the upper portion of the cross-section and the cross-sectional area of the lower portion of the cross-section are formed to have different sizes. By generating in a predetermined direction, there is an effect that the tip portion can be precisely aligned to one side of the inner surface of the guide plate set in advance without requiring an additional process.

도1은 종래의 프로브 카드를 도시한 단면도,
도2는 본 발명의 일실시예에 따른 수직형 프로브 카드의 단면도,
도3은 본 발명의 일실시예에 따른 정렬효율이 향상된 수직형 프로브 카드용 니들의 사시도,
도4는 본 발명의 일실시예에 따른 정렬효율이 향상된 수직형 프로브 카드용 니들의 사시도의 단면을 도시한 도면,
도5는 본 발명의 일실시예에 따른 정렬효율이 향상된 수직형 프로브 카드용 니들 단면의 다른 형태를 도시한 도면,
도6은 본 발명의 일실시예에 따른 정렬효율이 향상된 수직형 프로브 카드용 니들이 검사대상물에 접촉되는 순간을 도시한 도면,
도7은 본 발명의 일실시예에 따른 정렬효율이 향상된 수직형 프로브 카드용 니들에 비틀림력이 가해지는 경우 그 단면이 비틀리는 상태를 도시한 도면,
도8은 본 발명의 일실시예에 따른 팁부가 제2 가이드 플레이트의 내면에 지지되는 상태를 도시한 도면,
도9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 정렬효율이 향상된 수직형 프로브 카드용 니들의 사시도,
도10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 멀티빔에 비틀림력이 가해지는 상태를 도시한 도면.1 is a cross-sectional view showing a conventional probe card;
2 is a cross-sectional view of a vertical probe card according to an embodiment of the present invention;
3 is a perspective view of a needle for a vertical probe card with improved alignment efficiency according to an embodiment of the present invention;
4 is a view showing a cross-section of a perspective view of a needle for a vertical probe card with improved alignment efficiency according to an embodiment of the present invention;
5 is a view showing another form of a cross section of a needle for a vertical probe card with improved alignment efficiency according to an embodiment of the present invention;
Figure 6 is a view showing the moment the needle for a vertical probe card with improved alignment efficiency in contact with the object to be inspected according to an embodiment of the present invention;
7 is a view showing a state in which the cross section is twisted when a torsion force is applied to the needle for a vertical probe card with improved alignment efficiency according to an embodiment of the present invention;
8 is a view showing a state in which the tip portion is supported on the inner surface of the second guide plate according to an embodiment of the present invention;
9 is a perspective view of a needle for a vertical probe card with improved alignment efficiency according to another embodiment of the present invention;
10 is a view showing a state in which a torsional force is applied to a multi-beam according to another embodiment of the present invention.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예를 상세하게 설명하기로 한다. Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도2는 본 발명의 일실시예에 따른 수직형 프로브 카드의 단면도이고, 도3은 본 발명의 일실시예에 따른 정렬효율이 향상된 수직형 프로브 카드용 니들의 사시도이며 ,도4는 본 발명의 일실시예에 따른 정렬효율이 향상된 수직형 프로브 카드용 니들의 사시도의 단면을 도시한 도면이며, 도5는 본 발명의 일실시예에 따른 정렬효율이 향상된 수직형 프로브 카드용 니들 단면의 다른 형태를 도시한 도면이다.Figure 2 is a cross-sectional view of a vertical probe card according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a perspective view of a needle for a vertical probe card with improved alignment efficiency according to an embodiment of the present invention, Figure 4 is a cross-sectional view of the present invention It is a view showing a cross-section of a perspective view of a needle for a vertical probe card with improved alignment efficiency according to an embodiment, and FIG. 5 is another form of a cross-section of a needle for a vertical probe card with improved alignment efficiency according to an embodiment of the present invention. is a diagram showing

먼저, 본 발명의 일실시예에 따른 정렬효율이 향상된 수직형 프로브 카드용 니들이 적용된 프로브 카드(1)을 살펴보면, 도2에서 보는 바와 같이 제1 가이드 플레이트(10)와, 제2 가이드 플레이트(20) 및 니들(30)을 포함하여 구성된다.First, looking at the probe card 1 to which a needle for a vertical probe card with improved alignment efficiency is applied according to an embodiment of the present invention, as shown in FIG. 2 , a first guide plate 10 and a second guide plate 20 ) and a needle (30).

제1 가이드 플레이트(10)는 일정 두께를 갖는 플레이트 형상으로 형성되고, 일측에 복수개의 제1 삽입홀(11)이 미리 정해진 간격으로 형성되며, 후술하는 니들(30)이 제1 삽입홀(11)에 삽입되어 니들(30)의 헤드부(H)가 내면 일측에 지지된다.The first guide plate 10 is formed in a plate shape having a predetermined thickness, a plurality of first insertion holes 11 are formed at a predetermined interval on one side, and a needle 30 to be described later is formed in the first insertion hole 11 . ) is inserted into the head portion (H) of the needle 30 is supported on one side of the inner surface.

제2 가이드 플레이트(20)는 제1 가이드 플레이트(10)와 같이 일정 두께를 갖는 플레이트 형상으로 형성되고, 일측에 복수개의 제2 삽입홀(21)이 미리 정해진 간격으로 형성되며, 제1 가이드 플레이트(10)의 하부에 제1 가이드 플레이트(10)와 이격 배치된다.The second guide plate 20 is formed in a plate shape having a predetermined thickness like the first guide plate 10 , and a plurality of second insertion holes 21 are formed at a predetermined interval on one side, and the first guide plate The first guide plate 10 and spaced apart from the lower portion (10).

그리고, 제2 가이드 플레이트(20)는 제2 삽입홀(21)에 팁부(T)가 삽입되어 내면에 팁부(T)의 외면 일측이 지지되는데, 이와 같이 특정방향으로 스크럽되는 팁부(T)를 지지하여 팁부(T)가 미리 설정된 위치에 정렬되도록 하는 역할을 한다.And, the second guide plate 20 has a tip portion T is inserted into the second insertion hole 21 so that one side of the outer surface of the tip portion T is supported on the inner surface. It serves to support the tip portion (T) to be aligned at a preset position.

본 발명의 일실시예에 따른 수직형 프로브 카드(1)은 제1 가이드 플레이트(10)와 제2 가이드 플레이트(20)의 간격을 유지하기 위해 제1 가이드 플레이트(10)와 제2 가이드 플레이트(20)에 개재되는 지그플레이트(J)를 포함할 수 있다.The vertical probe card (1) according to an embodiment of the present invention has a first guide plate (10) and a second guide plate (10) to maintain a gap between the first guide plate (10) and the second guide plate (20). 20) may include a jig plate (J) interposed in.

니들(30)은 도3에서 보는 바와 같이 대략 수직방향으로 배치된 막대형상으로 형성되는데, 상단부인 헤드부(H)와, 하단부인 팁부(T), 중앙영역인 바디부(B)로 구분할 수 있다.The needle 30 is formed in a substantially vertical bar shape as shown in FIG. 3, and can be divided into a head part (H), which is an upper part, a tip part (T), which is a lower part, and a body part (B), which is a central area. have.

그리고, 니들(30)은 위에서 설명한 바와 같이 헤드부(H)가 제1 삽입홀(11)에 삽입되어 제1 가이드 플레이트(10)의 내면 일측에 지지되며, 팁부(T)가 제2 삽입홀(21)에 삽입되어 제2 가이드 플레이트(20)의 내면 일측에 지지된다.And, as described above, the needle 30 has a head portion H inserted into the first insertion hole 11 to be supported on one side of the inner surface of the first guide plate 10, and the tip portion T is inserted into the second insertion hole. It is inserted into the 21 and is supported on one side of the inner surface of the second guide plate 20 .

이러한 니들(30)은 팁부(T)가 준비된 검사대상물에 탄성접촉되어 특정 전류를 통전함과 아울러 그때 출력되는 전기적 신호를 상부에 연결된 공간변환기(K)를 통해 외부의 테스트 장비로 전달하는 역할을 한다.The needle 30 has a tip portion (T) in elastic contact with the prepared inspection object to conduct a specific current and transmits an electrical signal output at that time to an external test equipment through a space converter (K) connected to the upper part. do.

여기서, 본 실시예에 따른 니들(30)은 도4에서 보는 바와 같이 단면 중앙에 수평의 가상선(G)을 형성한 경우 가상선(G)을 기준으로 단면 상부의 단면적(S)과, 단면 하부의 단면적(H)이 서로 다른 크기로 형성된다.Here, the needle 30 according to the present embodiment has a cross-sectional area (S) and a cross-section of the upper part of the cross-section based on the virtual line (G) when a horizontal virtual line (G) is formed in the center of the cross-section as shown in FIG. The cross-sectional area H of the lower portion is formed to have different sizes.

이는 다수의 니들(30)이 검사대상물에 접촉되는 경우 각 팁부(T)가 제2 가이드 플레이트(20)의 내면 중 미리 설정된 위치에 정렬되도록 하기 위한 것으로서, 이에 대한 동작은 후술하는 동작설명에서 보다 상세하게 설명하도록 한다.This is to ensure that each tip portion T is aligned at a preset position among the inner surfaces of the second guide plate 20 when a plurality of needles 30 come into contact with the object to be inspected, and the operation for this is more in the operation description to be described later. to be described in detail.

한편, 본 실시예에서는 니들(30)의 단면이 사다리꼴 형상으로 형성되는 것으로 설명하고 있으나, 본 발명의 니들(30) 단면 형상은 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 도5에서 보는 바와 같이 사각 형상에서 상부의 단면 양쪽 모서리가 만곡지 형상으로 형성되거나, 단면 상하부 모서리 중 어느 하나의 모서리 일측으로부터 외측방향으로 돌기가 돌출형성되는 형상 등 단면 상하부의 크기가 다른 형상이면 어느 형상이든 적용이 가능하다.On the other hand, in this embodiment, the cross-section of the needle 30 is described as being formed in a trapezoidal shape, but the cross-sectional shape of the needle 30 of the present invention is not necessarily limited thereto, and as shown in FIG. Any shape can be applied as long as the cross-section has different sizes, such as a shape in which both corners of the cross-section are formed in a curved paper shape or a protrusion is formed outwardly from one edge of any one of the upper and lower corners of the cross-section.

도6은 본 발명의 일실시예에 따른 정렬효율이 향상된 수직형 프로브 카드용 니들이 검사대상물에 접촉되는 순간을 도시한 도면이며, 도7은 본 발명의 일실시예에 따른 정렬효율이 향상된 수직형 프로브 카드용 니들에 비틀림력이 가해지는 경우 그 단면이 비틀리는 상태를 도시한 도면이며, 도8은 본 발명의 일실시예에 따른 팁부가 제2 가이드 플레이트의 내면에 지지되는 상태를 도시한 도면이다.6 is a view showing the moment the needle for a vertical probe card with improved alignment efficiency is in contact with an object to be inspected according to an embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a vertical type with improved alignment efficiency according to an embodiment of the present invention. It is a view showing a state in which the cross section is twisted when a torsion force is applied to the needle for a probe card, and FIG. 8 is a view showing a state in which the tip portion is supported on the inner surface of the second guide plate according to an embodiment of the present invention. to be.

이와 같은 구성을 갖는 본 발명의 일실시예에 따른 정렬효율이 향상된 수직형 프로브 카드용 니들의 동작을 첨부된 도6 내지 도8을 참조하여 설명하면 다음과 같다.The operation of the needle for a vertical probe card with improved alignment efficiency according to an embodiment of the present invention having such a configuration will be described with reference to the accompanying FIGS. 6 to 8 as follows.

먼저, 검사대상물이 상방으로 이동하여 팁부(T)가 검사대상물에 접촉되면, 그 접촉압력으로 인해 바디부(B)가 일방향으로 밴딩되고, 니들(30)의 단면 형상에 따라 비틀림력이 발생한다.First, when the inspection object moves upward and the tip portion T comes into contact with the inspection object, the body portion B is bent in one direction due to the contact pressure, and a torsion force is generated according to the cross-sectional shape of the needle 30 .

이때, 본 실시예에 따른 니들(30)은 단면 상하부의 단면적이 서로 다른 크기로 형성되므로 단면 상하부에서 각각 비틀림력에 대해 다른 힘으로 저항하며, 이에 저항력이 낮은 쪽으로 비틀리게 된다.At this time, the needle 30 according to the present embodiment is formed to have different cross-sectional areas in the upper and lower portions of the cross-section, so that each resists the torsional force in the upper and lower portions of the cross-section with different forces, and thus the resistance is twisted toward the lower side.

그리고, 팁부(T)가 비틀리는 방향으로 일정간격 이동되어 제2 가이드 플레이트(20)의 내면에 지지되고, 제2 가이드 플레이트(20)의 내면을 따라 이동한 후 제2 삽입홀(21)의 꼭지점 부근과 대응되는 제2 가이드 플레이트(20)의 내면에 지지되어 정렬된다.Then, the tip portion T is moved at regular intervals in the twisting direction to be supported on the inner surface of the second guide plate 20 , and after moving along the inner surface of the second guide plate 20 , the second insertion hole 21 is formed. It is supported and aligned on the inner surface of the second guide plate 20 corresponding to the vicinity of the vertex.

이때, 본 실시예에 따른 니들(30)은 단면의 상하부 크기를 상대적으로 조절하여 비틀림 방향을 제어할 수 있으며, 비틀림 방향을 제어함에 따라 제2 가이드 플레이트(20)의 내면에 지지되는 위치를 결정하여 다수의 니들(30) 팁부(T)를 일정 위치에 정확하게 정렬시킬 수 있다.At this time, the needle 30 according to the present embodiment can control the twist direction by relatively adjusting the upper and lower sizes of the cross section, and the position supported on the inner surface of the second guide plate 20 is determined by controlling the twist direction. Thus, it is possible to accurately align the tip portion T of the plurality of needles 30 at a predetermined position.

이렇게 다수의 팁부(T)가 정확한 위치로 정렬되어 각 팁부(T)가 각 검사대상물의 접촉영역 중 미리 설정한 위치에 정확하게 접촉됨으로써 검사 품질이 향상되고, 그로 인해 검사의 신뢰도를 크게 향상시킬 수 있다.In this way, a plurality of tip portions T are aligned in an accurate position, and each tip portion T is precisely in contact with a preset position among the contact areas of each object to be inspected, thereby improving the inspection quality, thereby greatly improving the reliability of the inspection. have.

도9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 정렬효율이 향상된 수직형 프로브 카드용 니들의 사시도이고, 도10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 각 빔에 비틀림력이 가해지는 상태를 도시한 도면이다.9 is a perspective view of a needle for a vertical probe card with improved alignment efficiency according to another embodiment of the present invention, and FIG. 10 is a view showing a state in which a torsional force is applied to each beam according to another embodiment of the present invention .

도9 및 도10 실시예의 기본적인 구성은 도2 내지 도8의 실시예와 동일하나, 보다 안정적으로 니들(30)을 정렬할 수 있는 구조로 형성된 것이다.The basic configuration of the embodiment of Figures 9 and 10 is the same as that of the embodiment of Figures 2 to 8, but it is formed in a structure that can more stably align the needles (30).

도9에 도시된 바와 같이, 본 실시예는 전 실시예와 달리 니들(30)의 바디부(B) 내측에 길이방향을 따라 적어도 하나의 분리홈(31)이 형성되어 니들(30) 내측이 복수개의 빔(32) 형상으로 형성되며, 각 빔(32)은 도9와 같이 단면 중앙에 수평의 가상선을 형성하였을 때 그 상하부 단면이 각각 다른 크기로 형성된다.9, in this embodiment, unlike the previous embodiment, at least one separation groove 31 is formed on the inside of the body portion B of the needle 30 in the longitudinal direction, so that the inside of the needle 30 is It is formed in the shape of a plurality of beams 32, and when a horizontal virtual line is formed in the center of the cross-section as shown in FIG. 9, the upper and lower cross-sections of each of the beams 32 are formed in different sizes.

이에 본 실시예에서는 니들(30)의 팁부(T)가 검사대상물에 접촉된 경우 발생되는 비틀림력이 각각의 빔(32)으로 전달되는데, 각 빔(32)의 단면 상하부에서 비틀림력에 대한 저항력이 다르므로 도10과 같이 저항력이 약한 방향으로 비틀리게 된다.Accordingly, in this embodiment, the torsional force generated when the tip portion T of the needle 30 is in contact with the object to be inspected is transmitted to each beam 32, and the resistance to the torsional force in the upper and lower sections of the cross section of each beam 32 Since this is different, as shown in FIG. 10, it is twisted in a direction where the resistance is weak.

여기서, 다수의 빔(32) 중 어느 하나의 빔(32)이 외부요인으로 인해 과도하게 비틀리는 경우 다른 빔(32)에서 이를 보상하여 틀어짐을 방지함으로써 팁부(T)가 제2 가이드 플레이트(20)의 내면 중 설정된 위치로 정확하게 이동하여 정렬될 수 있다.Here, when any one of the plurality of beams 32 is excessively twisted due to external factors, the other beam 32 compensates for it and prevents it from being twisted, so that the tip portion T is the second guide plate 20 ) can be precisely moved and aligned to a set position among the inner surfaces of the

한편, 본 실시예에서는 설명의 이해를 돕기 위해 다수의 빔(32) 단면이 모두 동일한 형태로 형성되는 것으로 설명하고 있으나, 환경에 따라 다수의 빔(32) 단면이 각각 다른 형태로 형성될 수 있다.Meanwhile, in this embodiment, it is described that the cross-sections of the plurality of beams 32 are all formed in the same shape to help the understanding of the description, but the cross-sections of the plurality of beams 32 may be formed in different shapes depending on the environment. .

그 외의 구조는 전술한 기본 실시예와 동일하므로 나머지 설명은 생략하기로 한다.Since the other structures are the same as those of the above-described basic embodiment, the remaining description will be omitted.

비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위는 본 발명의 요지에서 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the above-mentioned preferred embodiments, various modifications and variations are possible without departing from the spirit and scope of the invention. Accordingly, the appended claims are intended to cover such modifications and variations as fall within the scope of the present invention.

10 : 제1 가이드 플레이트 11 : 제1 삽입홀
20 : 제2 가이드 플레이트 21 : 제2 삽입홀
30 : 니들 31 : 분리홀
32 : 빔 10: first guide plate 11: first insertion hole
20: second guide plate 21: second insertion hole
30: needle 31: separation hole
32: beam

Claims (5)

검사대상물에 접촉되어 상기 검사대상물로부터 전달되는 전기적 신호를 외부의 테스트 장비로 전달하는 정렬효율이 향상된 수직형 프로브 카드용 니들에 있어서,
프로브 카드의 상부 가이드 플레이트와 하부 가이드 플레이트에 각각 형성된 삽입공에 삽입되고, 상단부와 하단부가 각각 상기 삽입공이 형성된 상기 상부 가이드 플레이트의 내면과 상기 하부 가이드 플레이트의 내면에 지지되되,
단면 중앙에 수평의 가상선을 형성한 경우 상기 가상선을 기준으로 단면 상부의 단면적과 단면 하부의 단면적이 서로 다른 크기로 형성되는 것을 특징으로 하는 정렬효율이 향상된 수직형 프로브 카드용 니들.
In the needle for a vertical probe card with improved alignment efficiency that is in contact with an object to be inspected and transmits an electrical signal transmitted from the object to an external test equipment,
It is inserted into the insertion holes respectively formed in the upper guide plate and the lower guide plate of the probe card, and the upper end and the lower end are respectively supported on the inner surface of the upper guide plate and the inner surface of the lower guide plate in which the insertion hole is formed,
A needle for a vertical probe card with improved alignment efficiency, characterized in that when a horizontal virtual line is formed in the center of the cross-section, the cross-sectional area of the upper portion of the cross-section and the cross-sectional area of the lower portion of the cross-section are formed in different sizes based on the virtual line.
 제1항에 있어서,
단면이 사다리꼴 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 정렬효율이 향상된 수직형 프로브 카드용 니들.
According to claim 1,
A needle for a vertical probe card with improved alignment efficiency, characterized in that the cross-section is formed in a trapezoidal shape.
 제2항에 있어서,
단면 일측으로부터 외측방향으로 돌출된 돌기가 형성되는 것을 특징으로 하는 정렬효율이 향상된 수직형 프로브 카드용 니들.
3. The method of claim 2,
A needle for a vertical probe card with improved alignment efficiency, characterized in that a protrusion protruding outward from one side of the cross section is formed.
 제1항에 있어서,
상단부와 하단부 중 어느 하나의 단부가 외측방향으로 만곡지게 형성되는 것을 특징으로 하는 정렬효율이 향상된 수직형 프로브 카드용 니들.
According to claim 1,
A needle for a vertical probe card with improved alignment efficiency, characterized in that one end of the upper end and the lower end is curved outwardly.
 제1항에 있어서,
중앙영역에 길이방향을 따라 적어도 하나의 분리홈이 형성되어 다수의 빔이 구성되며, 상기 각 빔은 단면 중앙에 수평의 가상선을 형성한 경우 상기 가상선을 기준으로 단면 상부의 단면적과 단면 하부의 단면적이 서로 다른 크기로 형성되는 것을 특징으로 하는 정렬효율이 향상된 수직형 프로브 카드용 니들.According to claim 1,
At least one separation groove is formed in the central region along the longitudinal direction to constitute a plurality of beams, and when a horizontal imaginary line is formed at the center of the cross section, each beam has a cross-sectional area of an upper section and a lower section of the section based on the virtual line. A needle for a vertical probe card with improved alignment efficiency, characterized in that the cross-sectional areas are formed in different sizes.
KR1020210049945A 2021-04-16 2021-04-16 Needle for vertical probe card with improved alignment efficiency KR102260983B1 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210049945A KR102260983B1 (en) 2021-04-16 2021-04-16 Needle for vertical probe card with improved alignment efficiency
TW110125424A TWI806091B (en) 2021-04-16 2021-07-12 Needle for vertical probe card with improved alignment efficiency

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210049945A KR102260983B1 (en) 2021-04-16 2021-04-16 Needle for vertical probe card with improved alignment efficiency

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102260983B1 true KR102260983B1 (en) 2021-06-04

Family

ID=76391460

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210049945A KR102260983B1 (en) 2021-04-16 2021-04-16 Needle for vertical probe card with improved alignment efficiency

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR102260983B1 (en)
TW (1) TWI806091B (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102534749B1 (en) * 2022-10-17 2023-05-30 주식회사 윌인스트루먼트 Probe Head for a Probe Card, Its Manufacturing Method and Its Manufacturing Device

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0750321A (en) * 1993-08-04 1995-02-21 Yokowo Co Ltd Probe card
JP2015184283A (en) * 2014-03-25 2015-10-22 旺▲夕▼科技股▲分▼有限公司 Vertical type probe module and its columnar support portion
KR20160091557A (en) * 2015-01-25 2016-08-03 김일 Test Contact Device with Space Transform Function
JP2017150864A (en) * 2016-02-23 2017-08-31 日本電子材料株式会社 Probe guide, probe card, and method for manufacturing probe guide
KR20180031271A (en) * 2016-09-19 2018-03-28 피엠피(주) Vertical Probe Card
KR20180052314A (en) * 2016-11-10 2018-05-18 윌테크놀러지(주) Needle unit for vertical probe card with reduced scrub phenomenon and vertical probe using thereof
KR101913355B1 (en) * 2017-09-19 2018-12-28 윌테크놀러지(주) Needle unit for vertical probe card with
KR102145719B1 (en) * 2019-04-12 2020-08-19 윌테크놀러지(주) Needle unit for vertical probe card having control function for bending direction
KR102164373B1 (en) * 2019-04-05 2020-10-12 윌테크놀러지(주) Needle for vertical probe card with scrub control and bending direction control and vertical probe card using thereof
KR102164341B1 (en) * 2019-07-01 2020-10-12 윌테크놀러지(주) Vertical probe card with detachable support bump unit
KR102164358B1 (en) * 2019-07-01 2020-10-12 윌테크놀러지(주) Probe card having adjustable length of needle unit tip

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6457814B2 (en) * 2012-12-04 2019-01-23 日本電子材料株式会社 Electrical contact
SG11201707348QA (en) * 2015-03-13 2017-10-30 Technoprobe Spa Testing head with vertical probes, particularly for high frequency applications
EP3278120A1 (en) * 2015-03-31 2018-02-07 Technoprobe S.p.A Vertical contact probe and corresponding testing head with vertical contact probes, particularly for high frequency applications
TWI709752B (en) * 2019-10-14 2020-11-11 中華精測科技股份有限公司 Staggered-mode probe card
TWM603961U (en) * 2020-05-26 2020-11-11 旺矽科技股份有限公司 Linear probe with asymmetrical needle tail

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0750321A (en) * 1993-08-04 1995-02-21 Yokowo Co Ltd Probe card
JP2015184283A (en) * 2014-03-25 2015-10-22 旺▲夕▼科技股▲分▼有限公司 Vertical type probe module and its columnar support portion
KR20160091557A (en) * 2015-01-25 2016-08-03 김일 Test Contact Device with Space Transform Function
JP2017150864A (en) * 2016-02-23 2017-08-31 日本電子材料株式会社 Probe guide, probe card, and method for manufacturing probe guide
KR20180031271A (en) * 2016-09-19 2018-03-28 피엠피(주) Vertical Probe Card
KR20180052314A (en) * 2016-11-10 2018-05-18 윌테크놀러지(주) Needle unit for vertical probe card with reduced scrub phenomenon and vertical probe using thereof
KR101913355B1 (en) * 2017-09-19 2018-12-28 윌테크놀러지(주) Needle unit for vertical probe card with
KR102164373B1 (en) * 2019-04-05 2020-10-12 윌테크놀러지(주) Needle for vertical probe card with scrub control and bending direction control and vertical probe card using thereof
KR102145719B1 (en) * 2019-04-12 2020-08-19 윌테크놀러지(주) Needle unit for vertical probe card having control function for bending direction
KR102164341B1 (en) * 2019-07-01 2020-10-12 윌테크놀러지(주) Vertical probe card with detachable support bump unit
KR102164358B1 (en) * 2019-07-01 2020-10-12 윌테크놀러지(주) Probe card having adjustable length of needle unit tip

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102534749B1 (en) * 2022-10-17 2023-05-30 주식회사 윌인스트루먼트 Probe Head for a Probe Card, Its Manufacturing Method and Its Manufacturing Device

Also Published As

Publication number Publication date
TWI806091B (en) 2023-06-21
TW202242423A (en) 2022-11-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102164373B1 (en) Needle for vertical probe card with scrub control and bending direction control and vertical probe card using thereof
KR101913355B1 (en) Needle unit for vertical probe card with
KR101869044B1 (en) Needle unit for vertical probe card with reduced scrub phenomenon and vertical probe using thereof
EP1179734A1 (en) Testing head having vertical probes
KR20170125070A (en) A test head with a vertical probe that makes improved slide movement within each guide hole under different operating conditions and accurately maintains the probe within the test head
JP3723232B2 (en) Probe needle adjustment tool and probe needle adjustment method
US6768327B2 (en) Testing head having vertical probes for semiconductor integrated electronic devices
US7227368B2 (en) Testing head contact probe with an eccentric contact tip
TW201809684A (en) Probe device of vertical probe card
EP3268751A1 (en) Testing head with vertical probes, particularly for high frequency applications
US7619430B2 (en) Electrical testing probe assembly having nonparallel facing surfaces and slots formed thereon for receiving probes
KR102285752B1 (en) Multi needle of vertical probe card with scrub control
KR102260983B1 (en) Needle for vertical probe card with improved alignment efficiency
KR20190027923A (en) Electrical connection device
CN111751583A (en) Probe head and probe card
KR102283282B1 (en) Vertical probe card with improved alignment efficiency
TWI539165B (en) Probe, probe head and probe module
KR102145719B1 (en) Needle unit for vertical probe card having control function for bending direction
KR102534435B1 (en) Electrical contact structure of electrical contactor and electrical connecting apparatus
IT201800021253A1 (en) Vertical probe measuring head having an improved contact with a device to be tested
KR101168289B1 (en) Needle structure for probe card
KR20220142627A (en) Probe pin
KR20240081020A (en) probe card for vertical type with scrub length control
KR102597311B1 (en) Probe card with fine pitch implemention
KR200340108Y1 (en) Probe guide assembly

Legal Events

Date Code Title Description
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant