KR20120014101A - Loading and unloading system - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 공급 반출 시스템에 관한 것으로, 특히 물품을 공급 반출하는 속도의 향상에 관한 것이다. TECHNICAL FIELD The present invention relates to a supply take-out system, and more particularly to an improvement in the speed of supply take-out.
액정 디스플레이의 기판, 플라즈마 패널 디스플레이의 기판, 태양 전지의 기판 등의 물품을 처리 장치로 1 매씩 공급 반출하는 시스템이 알려져 있다(특허 문헌 1: JP2004-168483 A). 특허 문헌 1에서는 카세트와 처리 장치의 스테이션과의 사이에 스카라 암(SCARA arm) 등의 이동 재치(載置) 장치를 탑재한 대차(臺車)를 배치하고, 대차를 카세트와 스테이션의 사이에서 주행시켜, 이동 재치 장치에 의해 물품을 이동 재치한다. 그러나, 기판의 대형화에 수반하여 공급 반출 속도가 저하되어, 처리 장치측에서의 처리를 추종할 수 없는 경우가 있다. 따라서, 발명자는 보다 단시간에 물품을 공급 반출할 수 있도록 하는 것을 검토하여, 본 발명에 도달하였다. A system is known which supplies and transports articles such as a substrate of a liquid crystal display, a substrate of a plasma panel display, a substrate of a solar cell, and the like to a processing apparatus one by one (Patent Document 1: JP2004-168483 A). In
본 발명의 과제는 공급 반출 시스템에서의 물품의 이동 시간을 단축시키는 것에 있다. An object of the present invention is to shorten the movement time of articles in a supply take-out system.
본 발명은 카세트 내에 수납된 복수의 물품을 물품 하나씩 처리 장치로 공급 반출하는 공급 반출 시스템으로서, 일렬로 배치된 복수의 카세트 재치대(載置臺)와, 처리 장치의 스테이션과, 상기 복수의 카세트 재치대와 처리 장치의 스테이션과의 사이에 걸쳐 직선 경로 상을 이동하는 트래버서 대차와, 물품의 이동 재치(載置) 장치를 구비하며, 상기 트래버서 대차에 탑재하고, 트래버서 대차 상을 상기 직선 경로와 평행하게 이동하는 슬라이드 컨베이어와, 상기 트래버서 대차와 상기 슬라이드 컨베이어를 동시에 이동시키도록 제어하는 콘트롤러를 구비한 것을 특징으로 한다. The present invention provides a supply discharging system for supplying and discharging a plurality of articles stored in a cassette to a processing apparatus one by one, comprising: a plurality of cassette placing tables arranged in a row, a station of the processing apparatus, and the plurality of cassettes A traverser bogie which moves on a straight path between the mounting table and the station of the processing apparatus, and a moving placement apparatus for articles, mounted on the traverser bogie, and placing the traverser bogie phase on the And a controller for controlling the slide conveyor and the slide conveyor to move simultaneously in parallel with the straight path.
본 발명에서는 트래버서 대차의 이동과 슬라이드 컨베이어의 이동을 동시에 행함으로써 물품의 이동 시간을 단축시킨다. 슬라이드 컨베이어에 탑재하는 이동 재치 장치의 종류는, 실시예의 롤러 컨베이어 외에, 공기압을 이용한 부상(浮上) 반송 장치, 스카라 암, 포크 슬라이드 등이 있다. In the present invention, the movement time of the article is shortened by simultaneously moving the traverser bogie and the slide conveyor. The kind of mobile mounting apparatus mounted on a slide conveyor includes the floating conveying apparatus using air pressure, a scalar arm, a fork slide, etc. other than the roller conveyor of an Example.
바람직하게, 콘트롤러는 상기 트래버서 대차의 금회의 목적지와 차회의 목적지를 파악하고, 차회의 이동 개시 전에 차회의 목적지에 따라 슬라이드 컨베이어의 위치를 변화시킨다. 예를 들면, 금회의 스트로크(이동 거리)가 길고 차회의 이동 거리가 짧은 경우, 차회의 이동에서 슬라이드 컨베이어의 스트로크가 차지하는 비율을 크게 하고, 트래버서 대차의 스트로크가 차지하는 비율을 작게 한다. 슬라이드 컨베이어는 짧은 거리를 단시간에 이동하는데 적합하므로, 거리가 짧은 이동에 슬라이드 컨베이어의 스트로크를 우선적으로 할당하면, 금회와 차회의 합계 이동 시간을 단축시킬 수 있다. 또한, 스트로크가 긴 금회의 이동에서 슬라이드 컨베이어를 역방향으로 이동시키면, 차회의 이동에서의 슬라이드 컨베이어의 스트로크를 길게 할 수 있다. 이는 금회의 이동 거리가 길고 차회의 이동 거리가 짧을 때 효과적이다. 또한, 스테이션에서 물품의 반출을 기다리는 등의 대기 시간에, 트래버서 대차를 차회의 목적지측으로 이동시키고, 이와 동일한 거리만큼 슬라이드 컨베이어를 역방향으로 이동시켜 두면, 금회의 이동에서 슬라이드 컨베이어의 스트로크를 길게 할 수 있다. 그러면 차회의 이동에서의 트래버서 대차의 스트로크를 단축시킬 수 있어, 이동 시간을 줄일 수 있다. Preferably, the controller knows the current and next destination of the traverser balance and changes the position of the slide conveyor according to the next destination before the next movement commences. For example, when the current stroke (travel distance) is long and the next travel distance is short, the ratio of the stroke of the slide conveyor to the next movement is increased, and the ratio of the stroke of the traverser bogie is reduced. Since the slide conveyor is suitable for moving a short distance in a short time, by first assigning the stroke of the slide conveyor to a short distance movement, the total movement time of this time and the next time can be shortened. In addition, when the slide conveyor is moved in the reverse direction in this movement having a long stroke, the stroke of the slide conveyor in the next movement can be lengthened. This is effective when the current travel distance is long and the next travel distance is short. Also, when the station moves the traverser bogie to the next destination side and moves the slide conveyor in the reverse direction by the same distance in waiting time such as waiting for the release of goods from the station, the stroke of the slide conveyor can be lengthened in this movement. Can be. As a result, the stroke of the traverser bogie in the next movement can be shortened, and the movement time can be reduced.
또한, 바람직하게는, 카세트 재치대를 물품 공급 카세트용과 물품 배출 카세트용과 예비 카세트용과의 사이에서 전환 가능하도록 적어도 3 개 설치한다. 예비 카세트는 다음의 물품 공급 카세트 혹은 다음의 물품 배출 카세트가 되고, 또한 물품 공급 카세트는 비게 되면 다음의 물품 배출 카세트가 된다. 이와 같이 하면, 상시 물품의 공급 카세트와 배출 카세트를 사용할 수 있어, 새로운 카세트의 도착 대기로 대기하는 시간이 발생하지 않는다. Further, preferably, at least three cassette mounting tables are provided to be switchable between the article supply cassette, the article discharge cassette, and the spare cassette. The spare cassette becomes the next article supply cassette or the next article ejection cassette, and the article supply cassette becomes the next article ejection cassette when empty. In this way, the supply cassette and the discharge cassette of the article can be used all the time, so that no time for waiting for the arrival of a new cassette occurs.
또한, 바람직하게, 콘트롤러는 상기 트래버서 대차의 금회의 이동 방향과 차회의 이동 방향이 역방향인 경우, 금회의 이동 시간을 최단으로 하도록 트래버서 대차와 슬라이드 컨베이어를 제어한다. 금회의 이동 방향과 차회의 이동 방향이 역방향인 경우, 금회의 이동을 최단 시간으로 행하도록 슬라이드 컨베이어와 트래버서 대차를 이동시키면, 결과적으로 차회의 이동에서 슬라이드 컨베이어의 스트로크도 확보된다. 따라서, 차회의 이동도 최단 시간으로 실행할 수 있다. 또한, 최단 시간이란, 스트로크의 조정을 위하여 트래버서 대차 혹은 슬라이드 컨베이어의 속도를 제한하는 경우에 비해 최단 시간이라는 의미이다. Further, preferably, the controller controls the traverser balance and the slide conveyor so as to minimize the movement time of the present time when the movement direction of the traversal balance and the movement direction of the next traversal are reverse. When the current movement direction and the next movement direction are reverse, when the slide conveyor and the traverser bogie are moved to perform this movement in the shortest time, the stroke of the slide conveyor is also secured in the next movement. Therefore, the next movement can be performed in the shortest time. In addition, the shortest time means the shortest time compared with the case of limiting the speed of the traverser bogie or slide conveyor for adjusting the stroke.
또한, 금회의 이동 방향과 차회의 이동 방향이 동일한 방향인 경우, 스트로크가 짧은 측의 이동에 슬라이드 컨베이어의 스트로크를 우선적으로 할당하는 것이 바람직하다. 일반적으로, 슬라이드 컨베이어는 가감 속도도는 크지만 상한 속도는 작아, 이동 가능한 스트로크에 제한이 있다. 한편, 트래버서 대차는 스트로크에 제한이 없어, 가감 속도는 낮지만 상한 속도는 크다. 또한, 각 이동에서의 최고의 속도를 ‘최고 속도’로 하고, ‘최고 속도’의 제한치를 상한 속도로 한다. 스트로크가 짧으면, 트래버서 대차는 상한 속도에 도달하지 못하고, 저속으로 주행하는 트래버서 대차의 스트로크를 슬라이드 컨베이어에 할당함으로써 이동 시간을 단축시킬 수 있다. 따라서, 트래버서 대차의 최고 속도가 낮은 측의 이동, 통상적인 경우, 스트로크가 짧은 측의 이동에, 슬라이드 컨베이어가 이동 가능한 스트로크를 우선적으로 할당하는 것이 바람직하다. 또한, 금회의 스트로크가 길고, 차회의 이동 거리가 짧은 경우에, 금회의 이동에서 슬라이드 컨베이어를 역방향으로 이동시키는 예를 설명하였다. 이는 금회의 이동에서의 슬라이드 컨베이어의 스트로크를 부(負)로 하고, 차회의 이동에서 슬라이드 컨베이어에 우선적으로 스트로크를 할당하는 예이다. In addition, when the movement direction of the present time and the movement direction of the next time are the same direction, it is preferable to preferentially assign the stroke of the slide conveyor to the movement of the short stroke side. In general, the slide conveyor has a large acceleration / deceleration rate, but a small upper limit speed, which limits the movable stroke. On the other hand, the traverser bogie has no limit on the stroke, and the acceleration / deceleration speed is low but the upper limit speed is large. In addition, the maximum speed in each movement is referred to as the "maximum speed", and the limit of the "maximum speed" is the upper limit speed. If the stroke is short, the traverser bogie does not reach the upper limit speed and the movement time can be shortened by allocating the stroke of the traverser bogie running at low speed to the slide conveyor. Therefore, it is preferable to preferentially assign a stroke to which the slide conveyor can move to movement on the side where the maximum speed of the traverser bogie is low, and in general, movement on the side with the shortest stroke. In addition, when the stroke of this time is long and the movement distance of the next time is short, the example which moved the slide conveyor in the reverse direction in this movement was demonstrated. This is an example in which the stroke of the slide conveyor in this movement is negative and the stroke is preferentially assigned to the slide conveyor in the next movement.
도 1은 실시예의 공급 반출 시스템의 주요부 블록도이다.
도 2는 실시예에서의 트래버서 대차의 측면 방향 단면도이다.
도 3은 실시예에서의 카세트 스테이션의 주요부 정면도이다.
도 4는 실시예에서의 대차 콘트롤러의 블록도이다.
도 5는 실시예에서 트래버서 대차와 슬라이드 컨베이어의 속도 패턴을 생성하는 알고리즘을 나타내는 순서도이다.
도 6은 변형예에서의 트래버서 대차의 이동을 도시한 도면이며, 1)은 스테이션(A)에서의 정지 상태를, 2)는 스테이션(B)에서의 정지 상태, 3)은 스테이션(C)에서의 정지상태를 도시한다.
도 7은 제 2 변형예에서의 트래버서 대차의 이동을 도시한 도면이며, 1)에서 스테이션으로 물품을 반입하고, 2)에서 대기시에 트래버서 대차를 전진시키고, 3)에서 스테이션으로부터 물품을 반출하고, 4)에서 다음 목적지로 이동한다. 1 is a block diagram of an essential part of a supply discharging system of an embodiment.
2 is a side cross-sectional view of the traverser bogie in the embodiment.
3 is a front view of the main portion of the cassette station in the embodiment.
4 is a block diagram of a balance controller in the embodiment.
FIG. 5 is a flow chart illustrating an algorithm for generating speed patterns of traverser bogies and slide conveyors in an embodiment.
Fig. 6 shows the movement of the traverser bogie in the modification, 1) a stationary state at station A, 2) a stationary state at station B, and 3) a station C. The stationary state at is shown.
7 shows the movement of the traverser bogie in the second variant, bringing the article into the station in 1), advancing the traverser bogie in standby in 2) and taking the article from the station in 3). Export and move to next destination in 4).
이하에 본 발명을 실시하기 위한 최적 실시예를 나타낸다. 본 발명의 범위는 특허 청구의 범위의 기재에 기초하고, 명세서의 기재와 이 분야에서의 주지 기술을 참작하여, 당업자의 이해에 따라 정해져야 하며, 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양한 변경이 가능하다. 특히, 본 명세서에 기재된 복수의 실시예 및 변형예는 필요에 따라 임의로 조합 가능하다. Best Mode for Carrying Out the Invention The following shows an optimal embodiment. The scope of the present invention is based on the description of the claims, and should be determined in accordance with the understanding of those skilled in the art in view of the description of the specification and well-known techniques in this field, and various modifications may be made without departing from the spirit of the invention. It is possible. In particular, the plurality of embodiments and modifications described herein can be arbitrarily combined as necessary.
[실시예][Example]
도 1 ~ 도 7에 실시예와 그 변형을 도시한다. 도면에서 2는 공급 반출 시스템이고, 처리 장치(4)의 스테이션(5)과 카세트 스테이션(20)과의 사이에서 액정 디스플레이의 기판 등의 물품을 물품 하나씩 공급 반출한다. 또한, 이 외에 카세트 스테이션(20) 간에서도 물품 하나씩 공급 반출한다. 처리 장치(4)는 스테이션(5)을 1 개 혹은 복수 개 구비하고 있다. 도 1의 쇄선(鎖線)으로 공급 반출 시스템(2)의 범위를 나타낸다. 6은 스태커 크레인이고, 주행 레일(7)을 따라 주행한다. 스태커 크레인(6)은 마스트(mast)(9)를 따라 승강하는 승강대(8)에 이동 재치 장치(10)를 구비하고, 액정 디스플레이 기판의 카세트(21) 등을 카세트 스테이션(20)과의 사이에서 이동 재치한다. 12는 생산 관리 콘트롤러이고, 처리 장치(4) 등을 관리한다. 14는 반송 콘트롤러이고, 스태커 크레인 콘트롤러(16)를 통해 스태커 크레인(6)을 제어하고, 공급 반출 시스템 콘트롤러(18)를 통해 공급 반출 시스템(2)을 제어한다. 1 to 7 show an embodiment and its modifications. In the figure, 2 is a supply take-out system, and supplies and unloads articles, such as a substrate of a liquid crystal display, one by one between the
공급 반출 시스템(2)에는, 예를 들면 4 개 혹은 3 개 등의 카세트 스테이션(20)이 일직선 상에 나열되고, 카세트 스테이션(20)과 스테이션(5)의 사이에 트래버서(traverser) 대차(22)의 주행 레일(23)이 일직선 상에 배치되어 있다. 트래버서 대차(22)는 슬라이드 콘베이어(24)를 탑재하고 있다. 25는 나사축이고, 슬라이드 컨베이어(24)를 주행 레일(23)과 평행하게 트래버서 대차(22)에 대해 이동시킨다. 26은 기상(機上) 레일이고, 슬라이드 컨베이어(24)는 도 2의 차륜(34)에 의해 기상 레일(26)을 따라 이동한다. 28은 이동 모터이고, 나사축(25)을 회전시킨다. 30은 기상 콘트롤러이고, 공급 반출 시스템 콘트롤러(18)와 통신하여 트래버서 대차(22)와 슬라이드 컨베이어(24)의 주행 및 이동 재치 제어를 행한다. In the supply take-out
도 2에 트래버서 대차의 구조를 도시한다. 32는 주행 모터이고, 대차의 주행차륜(33)을 구동시킨다. 슬라이드 컨베이어(24)는 주행 차륜(34)을 구비하고, 기상 레일(26)을 따라 이동한다. 35는 너트이고, 슬라이드 컨베이어(24)에 장착되어 나사축(25)과 조합되어 있다. 36은 액정 디스플레이, 플라즈마 패널 디스플레이, 태양 전지 등의 기판이며, 기판의 종류는 임의이다. 슬라이드 컨베이어(24)는 롤러(37)로 이루어진 롤러 컨베이어를 구비하며, 기판(36)을 카세트(21)와 스테이션(5)의 사이에서 1 매씩 이동 재치한다. 또한, 롤러 컨베이어 대신에, 부상(浮上) 반송 장치 혹은 스카라 암 등을 슬라이드 컨베이어(24)에 탑재해도 좋다. 또한, 카세트(21)와 스테이션(5)과의 사이에서 기판(36)의 방향을 반전시키기 위하여, 슬라이드 컨베이어(24)에 턴테이블을 설치해도 좋다. 2 shows the structure of the traverser bogie. 32 is a traveling motor, which drives the
도 3은 카세트 스테이션(20)의 구조를 도시한다. 40은 지지부이고, 카세트(21)를 지지하여 가이드(41)를 따라 승강한다. 42는 롤러이고, 카세트(21)로부터의 기판(36)의 반출입을 행한다. 카세트(21)를 지지부(40)로 상승시킴으로써, 스태커 크레인(6)과의 사이에서 이동 재치가 가능해진다. 카세트(21)를 지지부(40)로 기판(36)의 1 매분씩 승강시킴으로써, 롤러(42)에 의해 기판(36)을 1 매씩 반출입이 가능해진다. 또한, 카세트 스테이션(20)의 구조, 특히 이동 재치 장치의 종류 자체는 임의이다. 3 shows the structure of the
도 4에 트래버서 대차(22)와 슬라이드 컨베이어(24)의 제어를 도시한다. 공급 반출 시스템 콘트롤러(18)는 수신 버퍼(50)를 구비하여 반송 콘트롤러(14)로부터의 반송 지령을 기억한다. 또한, 반송 지령의 단위는, 예를 들면 대차(22)의 1 회의 이동과 이에 수반하는 물품의 반출입으로 한다. 스트로크 테이블(51)에는 대차(22)가 이동하는 출발지와 목적지의 조합마다 대차(22)의 목표 스트로크(스트로크의 이상치)와 슬라이드 컨베이어(24)의 목표 스트로크가 기재되어 있다. 여기서, 목표 스트로크는 목적지와 출발지의 사이의 거리를 이 스트로크에 따라 대차(22)와 컨베이어(24)에 분배하면 최단 시간으로 이동할 수 있는 스트로크이다. 대차(22)의 출발지와 목적지는 카세트 스테이션(20)과 처리 장치의 스테이션(5)으로 한정되고, 예를 들면 이들의 조합마다 목표 스트로크를 테이블(51)에 기재한다. 또한, 스트로크 테이블(51)에서는 스테이션(A)에서 스테이션(B)으로의 이동과, 반대로 스테이션(B)에서 스테이션(A)으로의 이동을 동일한 데이터로서 기억해도 좋다. 또한, 이동 거리가 동일한 것은 동일한 데이터로서 기억해도 좋다. 4 shows control of the
대차 상태 테이블(52)은 트래버서 대차(22)의 현재 위치, 즉 트래버서 대차(22)의 차체 길이 방향의 중심 위치와, 슬라이드 컨베이어(24)의 현재 위치, 즉 트래버서 대차(22)에 대한 슬라이드 컨베이어(24)의 현재 위치를 기억한다. 이 외에, 예를 들면 슬라이드 컨베이어(24)가 이동 가능한 컨베이어 스트로크를 기억해도 좋지만, 슬라이드 컨베이어의 위치가 판명되면 이 스트로크가 판명되므로, 컨베이어 스트로크를 생략해도 좋다. The balance state table 52 is connected to the current position of the
카세트 스테이션 테이블(53)은 4 개의 카세트 스테이션(20)의 할당을 기억한다. 예를 들면, 도 4에서는 1 번째의 카세트 스테이션이 공급용, 2 번째의 카세트 스테이션이 양품의 반출용, 3 번째의 카세트 스테이션이 불량품의 반출용, 4 번째의 카세트 스테이션이 예비이며, 다음으로 기판을 공급하는 카세트가 재치되어 있다. 카세트 관리부(56)는 기판의 반송 지령의 실행 결과로부터 각 카세트 내의 기판 매수를 기억하여, 예를 들면 공급용 카세트가 비게 되면 이를 양품 혹은 불량품의 반출용 카세트로 전환하고, 예비 카세트를 공급용 카세트로 전환한다. 예를 들면, 빈 카세트를 양품의 반출용으로 할당하면, 카세트 관리부(56)는 현재의 양품 반출용 카세트를 반출하고 예비 카세트와 치환할 것을 스태커 크레인 콘트롤러(16)로 의뢰한다. 상기의 예에서, 카세트(21)는 예비의 물품 공급용 카세트로서 재치되고, 이어서 공급용 카세트로 할당되고, 그 후에 양품 혹은 불량품의 반출용 카세트로서 할당된다. 그러나, 빈 카세트를 예비 카세트로서 반입하여 양품 혹은 불량품의 반출에 이용해도 좋다. The cassette station table 53 stores the allocation of four
실시예에서는, 공급용 카세트로부터 스테이션(5)으로 기판을 반송하고, 처리 장치(4) 내에서 기판의 검사와 처리를 행하여, 기판을 양품과 불량품으로 판별한다. 또한, 처리 장치(4)를 경유하지 않고 공급용 카세트로부터 미리 양 / 불량의 판별이 완료된 기판을 양품용의 카세트와 불량품용의 카세트로 공급한다. 이 때문에, 반출용 카세트가 양품용과 불량품용의 2 개이지만, 양품과 불량품의 판별을 행하지 않는 경우 등에는 예비, 공급, 반출의 3 개의 카세트 스테이션이면 된다. In the embodiment, the substrate is conveyed from the cassette for supply to the
스트로크 제어부(54)는 금회의 이동에서의 목적지와 차회의 이동에서의 목적지를 고려하여, 금회의 이동에서의 트래버서 대차(22)와 슬라이드 컨베이어(24)의 각각의 스트로크를 결정한다. 속도 패턴 작성부(55)는 결정된 스트로크에 따라 트래버서 대차와 슬라이드 컨베이어의 속도 패턴을 작성하여, 예를 들면 기상 콘트롤러(30) 내의 서보계(58, 59)로 속도 패턴을 전달한다. 또한, 도 4의 콘트롤러(18)의 각 기능을 기상 콘트롤러(30)로 옮겨도 좋다. The
도 5 ~ 도 7에 실시예의 동작을 도시한다. 공급 반출 시스템 콘트롤러(18)는 다음 2 회분의 목적지를 수신 버퍼(50) 등으로부터 독출하여, 2 회의 이동에서의 이동 방향이 동일한지 반대인지를 판별한다. 이동 방향이 반대인 경우, 각각의 이동을 최단 시간으로 실행하도록 트래버서 대차(22)와 슬라이드 컨베이어(24)를 제어한다. 이동의 출발지에서 목적지까지의 스트로크를 트래버서 대차와 컨베이어에 어떻게 배분하면 최단 시간으로 이동할 수 있는지가 스트로크 테이블(51)에 기재되어 있다. 최단 시간으로 이동하기 위한 스트로크가 목표 스트로크이다. 5 to 7 show the operation of the embodiment. The supply carrying-out
금회와 차회의 이동 방향이 반대로 되어, 금회의 이동에서는 컨베이어가 목표 스트로크분만큼 이동할 수 없는 경우가 있다. 이 경우, 이동 가능한 스트로크를 초과하는 분을 트래버서 대차의 스트로크로 할당한다. 또한, 2 회째의 이동에서도 슬라이드 컨베이어가 이동 가능한 스트로크가 목표 스트로크에 이르지 않는 경우, 마찬가지로 부족분을 트래버서 대차의 스트로크로 할당한다. 그리고, 속도 패턴 작성부(55)에서 최초의 이동에 대하여 슬라이드 컨베이어와 트래버서 대차의 각각에 대해 속도 패턴을 작성하고, 대기 등이 종료되고 이동의 개시가 가능해진 시점에서 서보계로 속도 패턴을 입력한다. 또한, 대기는 스테이션(5)과 카세트 스테이션(20) 등과의 사이에서의 기판의 전달이 종료되는 것을 기다리는 것 등이다. The direction of movement of this time and the next time is reversed, and the conveyor may not move by the target stroke in this time of movement. In this case, the part exceeding the movable stroke is allocated to the stroke of the traverser bogie. In addition, when the stroke which a slide conveyor can move also does not reach a target stroke even in the 2nd movement, the shortfall is similarly allocated to the stroke of a traverser trolley | bogie. Then, the speed
2 회의 이동 방향이 반대인 경우, 최초의 이동에서 슬라이드 컨베이어를 이동시킴으로써, 다음의 이동에서의 슬라이드 컨베이어의 스트로크를 길게 취할 수 있다. 이에 반해, 2 회의 이동에서의 이동 방향이 동일한 경우, 슬라이드 컨베이어의 스트로크를 제 1 회 이동과 제 2 회 이동에 어떻게 할당할 것인가가 문제가 된다. 이동 방향이 동일한 경우, 다음의 2 회의 이동에서의 대차와 컨베이어의 목표 스트로크를 스트로크 테이블(51)로부터 독출하여, 2 회의 이동에서의 대차의 최고 속도의 차가 소정치 이하인지, 일방이 타방보다 소정치 이상 큰지의 여부를 판별한다. 대차의 최고 속도의 차(差)가 소정치 이하인 경우, 슬라이드 컨베이어의 스트로크를, 예를 들면 이동 거리의 비에 따라 분배한다. When the two movement directions are reversed, by moving the slide conveyor in the first movement, the stroke of the slide conveyor in the next movement can be lengthened. On the other hand, when the movement directions in the two movements are the same, how to assign the stroke of the slide conveyor to the first movement and the second movement becomes a problem. When the movement directions are the same, the target stroke of the bogie and the conveyor in the next two movements is read out from the stroke table 51, and if one of the maximum speeds of the bogies in the two movements is smaller than or equal to a predetermined value, one of them is smaller than the other. It is determined whether or not the political abnormality is large. When the difference of the maximum speed of a trolley | bogie is below a predetermined value, the stroke of a slide conveyor is distributed according to ratio of the moving distance, for example.
2 회의 이동에서 대차의 최고 속도의 차가 소정치 이상인 것은 스트로크(이동 거리)가 상이하여 일방의 스트로크가 길고 타방의 스트로크가 짧은 경우이다. 최고 속도가 다른 경우, 스트로크가 짧기 때문에 대차가 최고 속도가 낮은 측에, 즉 슬라이드 컨베이어를 이용하는 것이 효과적인 측에 슬라이드 컨베이어의 스트로크를 우선적으로 할당한다. 그리고, 슬라이드 테이블에 기재된 목표 스트로크를 할당하면, 최단 시간에 주행할 수 있다. 이로 인해, 다음의 이동에서는 슬라이드 컨베이어의 나머지의 스트로크를 할당하게 된다. 이상의 처리 후에, 결합자 A부터 이동 방향이 반대인 경우의 처리로 이행한다. The difference in the maximum speed of the bogie in two movements is a case where the stroke (moving distance) is different and the one stroke is long and the other stroke is short. In the case where the maximum speed is different, the stroke is shorter, so that the trolley preferentially assigns the stroke of the slide conveyor to the side where the maximum speed is low, that is, the side on which the slide conveyor is effective. Then, when the target stroke described in the slide table is assigned, the vehicle can travel in the shortest time. This assigns the remaining stroke of the slide conveyor in the next movement. After the above process, the process shifts from the joiner A to the case where the moving direction is reversed.
도 6, 도 7은 도 5의 알고리즘에 대한 변형을 도시하고 있다. 도 5의 알고리즘에서는 이동 방향이 동일한 경우, 슬라이드 컨베이어가 이동 가능한 스트로크를 다음의 2 회의 이동에 분배하였다. 여기서, 극단적인 경우 최초의 이동에서의 슬라이드 컨베이어의 스트로크를 부(負)로 해도 좋다. 이는, 최초의 이동에서의 이동 거리가 충분히 길고 다음의 이동에서의 이동 거리가 짧은 경우에 적합하다. 이러한 예를 도 6에 도시한다. 1)에서 트래버서 대차(22)는 스테이션(A)과의 이동 재치 위치에 정지하고 있다. 2)에서 다음 스테이션(B)을 향해 이동하고, 이동 방향은 도면의 좌측에서 우측으로 한다. 이때, 슬라이드 컨베이어(24)는 역주행하여 차회의 이동에서의 스트로크를 확보한다. 그리고, 3)에서 다음 스테이션(C)과의 이동 재치 위치에 정지하고, 스테이션(B)으로의 이동 사이에 슬라이드 컨베이어(24)를 역주행시킴으로써 얻은 스트로크를 이용하여, 스테이션(B)에서부터 스테이션(C)으로의 이동 시간을 단축시킨다. 이는, 스테이션(A, B)간의 거리가 길고 스테이션(B, C)간의 거리가 짧은 경우에 적합하다. 6 and 7 show a variation on the algorithm of FIG. In the algorithm of FIG. 5, when the moving directions are the same, the strokes movable by the slide conveyor are distributed to the next two movements. Here, in the extreme case, the stroke of the slide conveyor in the first movement may be negative. This is suitable when the moving distance in the first movement is sufficiently long and the moving distance in the next movement is short. This example is shown in FIG. In 1), the traverser trolley |
도 7은 스테이션에서의 정지 시에 트래버서 대차(22)와 슬라이드 컨베이어(24)에 대기 시간이 있는 경우의 처리를 도시한다. 도 7의 1)에서, 처리 장치(4)의 스테이션(5)으로 슬라이드 컨베이어(24)로부터 기판을 반입한다. 이어서, 스테이션(5)으로부터 기판을 수취하는 것을 기다리는 동안에, 예를 들면 트래버서 대차(22)와 슬라이드 컨베이어(24)를 역방향으로 동일한 거리만큼 이동시켜, 2)와 같이 위치를 조정한다. 3)에서 스테이션(5)으로부터 기판의 반출을 받아, 4)에서 다음 목적지 스테이션을 향하여 주행한다. 2)의 단계에서 슬라이드 컨베이어(24)가 이동 가능한 스트로크를 길게 했으므로, 4)의 이동 시간을 단축시킬 수 있다. FIG. 7 shows the processing when there is a waiting time in the
실시예에서는 이하의 효과가 얻어진다. In the Examples, the following effects are obtained.
(1) 트래버서 대차와 슬라이드 컨베이어를 동시에 이동시킴으로써, 이동 시간을 단축할 수 있다. 이 때문에, 기판의 대형화에 대응할 수 있고, 스테이션(5)의 부근에서 기판을 이동시키는 루트가 다수 발생한 경우에 이동 거리가 긴 루트에도 대응할 수 있다. (1) The moving time can be shortened by simultaneously moving the traverser bogie and the slide conveyor. For this reason, it can cope with the enlargement of a board | substrate, and can respond also to the route with a long moving distance, when many routes which move a board | substrate in the vicinity of the
(2) 상기 트래버서 대차의 금회의 목적지와 차회의 목적지를 파악하고, 차회의 목적지에 따라 사전에 슬라이드 컨베이어의 위치를 변화시키면, 슬라이드 컨베이어의 스트로크를 길게 취할 수 있어 이동 시간을 추가로 단축시킬 수 있다. (2) By grasping the current destination and the next destination of the traverser bogie and changing the position of the slide conveyor in advance according to the next destination, the stroke of the slide conveyor can be lengthened, further reducing the travel time. Can be.
(3) 상기 트래버서 대차의 금회의 이동 방향과 차회의 이동 방향이 역방향인 경우, 각각의 이동을 최단 시간으로 실행하도록 제어하면, 간단한 제어로 고속으로 이동할 수 있다. (3) When the current movement direction and the next movement direction of the traverser bogie are in the reverse direction, if each movement is controlled to be performed in the shortest time, it can be moved at high speed with simple control.
(4) 상기 트래버서 대차의 금회의 이동과 차회의 이동에서 이동 방향이 동일한 경우, 스트로크가 짧아 트래버서 대차의 최고 속도가 낮은 측의 이동에 슬라이드 컨베이어의 스트로크를 우선적으로 할당한다. 그러면 스트로크가 짧기 때문에, 대차가 저속으로만 이동할 수 있는 구간을 고속으로 이동할 수 있다. (4) When the movement direction is the same in the current movement of the traverser bogie and the next movement, the stroke of the slide conveyor is preferentially assigned to the movement of the side where the stroke is short and the maximum speed of the traverser bogie is low. Then, since the stroke is short, the section in which the bogie can move only at low speed can be moved at high speed.
(5) 대차가 이동하는 구간마다 스트로크의 할당의 최적치를 기재한 테이블을 구비하면, 처리가 간단해진다. (5) The process is simplified by providing a table describing the optimum value of stroke assignment for each section in which the bogie moves.
(6) 2 회 연속으로 동일한 방향으로 이동하고, 최초의 스트로크가 길 때 트래버서 대차를 최초의 이동에서 역방향으로 이동시키면, 차회의 이동에서 트래버서 대차를 보다 효과적으로 활용할 수 있어 이동 시간을 단축시킬 수 있다. (6) By moving the traverser bogie in the same direction twice in succession and moving the traverser bogie from the first movement in the reverse direction when the first stroke is long, the traverser bogie can be used more effectively in the next movement to shorten the travel time. Can be.
(7) 트래버서 대차의 대기 시에 차회의 이동에 맞추어 슬라이드 컨베이어의 위치를 조정하면, 차회의 이동 시간을 단축시킬 수 있다. (7) By adjusting the position of the slide conveyor in accordance with the movement of the next time when the traverser bogie is waiting, the next movement time can be shortened.
2: 공급 반출 시스템
4: 처리 장치
5: 스테이션
6: 스태커 크레인
7: 주행 레일
8: 승강대
9: 마스트
10: 이동 재치 장치
12: 생산 관리 콘트롤러
14: 반송 콘트롤러
16: 스태커 크레인 콘트롤러
18: 공급 반출 시스템 콘트롤러
20: 카세트 스테이션
21: 카세트
22: 트래버서 대차
23: 주행 레일
24: 슬라이드 컨베이어
25: 나사축
26: 기상 레일
28: 이동 모터
30: 기상 콘트롤러
32: 주행 모터
33, 34: 주행 차륜
35: 너트
36: 기판
37: 롤러
40: 지지부
41: 가이드
42: 롤러
50: 수신 버퍼
51: 스트로크 테이블
52: 대차 상태 테이블
53: 카세트 스테이션 테이블
54: 스트로크 제어부
55: 속도 패턴 작성부
56: 카세트 관리부
58, 59: 서보계2: supply take-out system
4: processing unit
5: station
6: stacker crane
7: running rail
8: platform
9: mast
10: transfer tact device
12: Production Management Controller
14: Return Controller
16: Stacker Crane Controller
18: Supply Export System Controller
20: cassette station
21: cassette
22: Traverser Balance
23: running rail
24: slide conveyor
25: screw shaft
26: weather rail
28: moving motor
30: weather controller
32: traveling motor
33, 34: driving wheel
35: nut
36: substrate
37: roller
40: support
41: Guide
42: roller
50: Receive Buffer
51: stroke table
52: Balance Status Table
53: cassette station table
54: stroke control unit
55: speed pattern generator
56: cassette management unit
58, 59: servo system
Claims (4)
일렬로 배치된 복수의 카세트 재치대(載置臺)와,
처리 장치의 스테이션과,
상기 복수의 카세트 재치대와 처리 장치의 스테이션과의 사이에 걸쳐 직선 경로 상을 이동하는 트래버서 대차와,
물품의 이동 재치 장치를 구비하며, 상기 트래버서 대차에 탑재되고, 트래버서 대차 상을 상기 직선 경로와 평행하게 이동하는 슬라이드 컨베이어와,
상기 트래버서 대차와 상기 슬라이드 컨베이어를 동시에 이동시키도록 제어하는 콘트롤러를 구비하는 것을 특징으로 하는 공급 반출 시스템.
A supply carrying system for supplying and carrying out a plurality of articles stored in a cassette to a processing apparatus one by one,
A plurality of cassette placing tables arranged in a row,
The station of the processing unit,
A traverser bogie moving on a straight path between the plurality of cassette placing tables and the station of the processing apparatus,
A slide conveyor provided with a moving placing device of the article, mounted on the traverser bogie, and moving the traverser bogie phase in parallel with the straight path;
And a controller for controlling the traverser bogie and the slide conveyor to move simultaneously.
상기 콘트롤러는, 상기 트래버서 대차의 금회의 목적지와 차회의 목적지를 파악하고, 차회의 이동 개시 전에, 차회의 목적지에 따라 슬라이드 컨베이어의 위치를 변화시키는 것을 특징으로 하는 공급 반출 시스템.
The method of claim 1,
And said controller grasps the current destination and the next destination of said traverser balance and changes the position of the slide conveyor according to the next destination before starting the next movement.
상기 카세트 재치대를, 물품 공급 카세트용과 물품 배출 카세트용과 예비 카세트용과의 사이에서 전환 가능하도록 적어도 3 개 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 공급 반출 시스템.
The method of claim 2,
And at least three of the cassette placing tables so as to be switchable between the article supply cassette, the article discharge cassette, and the spare cassette.
상기 콘트롤러는, 상기 트래버서 대차의 금회의 이동 방향과 차회의 이동 방향이 역방향인 경우, 금회의 이동 시간을 최단으로 하도록 트래버서 대차와 슬라이드 컨베이어를 제어하고, 상기 트래버서 대차의 금회의 이동 방향과 차회의 이동 방향이 동일한 방향인 경우, 스트로크가 짧은 측의 이동에 슬라이드 컨베이어가 이동 가능한 스트로크를 우선적으로 할당하는 것을 특징으로 하는 공급 반출 시스템. The method of claim 2,
The controller controls the traverser bogie and the slide conveyor so that the current movement time is the shortest when the current movement direction and the next movement direction of the traverser bogie are reverse, and the current movement direction of the traverser bogie. And a stroke in which the slide conveyor can move to preferentially move the stroke on the side where the stroke is the same, when the next and next movement directions are the same direction.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JPJP-P-2010-175933 | 2010-08-05 | ||
JP2010175933A JP5618190B2 (en) | 2010-08-05 | 2010-08-05 | Supply carry-out system |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20120014101A true KR20120014101A (en) | 2012-02-16 |
Family
ID=45837325
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020110073653A KR20120014101A (en) | 2010-08-05 | 2011-07-25 | Loading and unloading system |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5618190B2 (en) |
KR (1) | KR20120014101A (en) |
CN (1) | CN102398776B (en) |
TW (1) | TWI491546B (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11358798B2 (en) * | 2018-08-31 | 2022-06-14 | HKC Corporation Limited | Display panel conveying system and conveying method |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5896030B2 (en) * | 2012-08-31 | 2016-03-30 | 村田機械株式会社 | Transfer equipment |
CN104986558B (en) * | 2015-07-10 | 2017-03-29 | 东莞市科隆威自动化设备有限公司 | The intersection shifting apparatus of two-wire printer interstitial chiasma transfer product |
CN104985924B (en) * | 2015-07-10 | 2017-05-31 | 东莞市科隆威自动化设备有限公司 | Two-wire printing machine and silicon chip method for shifting with intermediate interdigitated shifting apparatus |
CN109661366B (en) | 2016-09-09 | 2022-01-14 | 宝洁公司 | System and method for independently guiding a carrier and delivering containers and closures to a unit operation station |
CN109661624B (en) * | 2016-09-09 | 2022-10-25 | 宝洁公司 | System and method for independently guiding carriers of loaded containers to create different finished products |
US10558201B2 (en) | 2016-09-09 | 2020-02-11 | The Procter & Gamble Company | System and method for producing products based upon demand |
CN110482220A (en) * | 2019-07-26 | 2019-11-22 | 蚌埠凯盛工程技术有限公司 | A kind of glass substrate storage technology, device and application |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0197614A (en) * | 1987-10-08 | 1989-04-17 | Bridgestone Corp | Transferring device |
JPH09100024A (en) * | 1995-10-05 | 1997-04-15 | Denso Corp | Self-traveling carrying car |
JP4222007B2 (en) * | 2002-11-19 | 2009-02-12 | 村田機械株式会社 | Transport system |
JP4065997B2 (en) * | 2003-05-23 | 2008-03-26 | 株式会社ダイフク | Carriage transfer device |
JP4363432B2 (en) * | 2006-09-21 | 2009-11-11 | 村田機械株式会社 | Transfer equipment |
JP2009184422A (en) * | 2008-02-04 | 2009-08-20 | Hitachi Plasma Display Ltd | Unmanned conveying truck |
JP5090269B2 (en) * | 2008-06-25 | 2012-12-05 | 台湾大福高科技設備股▲分▼有限公司 | Substrate storage container |
-
2010
- 2010-08-05 JP JP2010175933A patent/JP5618190B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-07-08 CN CN201110191543.2A patent/CN102398776B/en not_active Expired - Fee Related
- 2011-07-25 KR KR1020110073653A patent/KR20120014101A/en not_active Application Discontinuation
- 2011-08-04 TW TW100127693A patent/TWI491546B/en not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11358798B2 (en) * | 2018-08-31 | 2022-06-14 | HKC Corporation Limited | Display panel conveying system and conveying method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102398776A (en) | 2012-04-04 |
JP5618190B2 (en) | 2014-11-05 |
JP2012038832A (en) | 2012-02-23 |
CN102398776B (en) | 2015-06-03 |
TW201210923A (en) | 2012-03-16 |
TWI491546B (en) | 2015-07-11 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
N231 | Notification of change of applicant | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E601 | Decision to refuse application |