KR20120007759A - A cliche for printing ink and a method of fabricating thereof - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A printing plate and a manufacturing method thereof are provided to reduce manufacturing costs by performing fine pattern formation on the printing plate which prints various patterns and circuits of electronic components with an indirect printing method. CONSTITUTION: A photosensitive resin layer(121,131) is laminated on a substrate(110). Two or more photosensitive resin layers are laminated as the photosensitive resin layer. A printed pattern is formed by patterning the photosensitive resin layer. The printed pattern is arranged with a plurality of patterns with different depths and widths from each other. The printed pattern includes a second pattern(133) which is a minimum pattern and a first pattern(123) which is a reference pattern.

Description

인쇄판 및 그 제조방법{A CLICHE FOR PRINTING INK AND A METHOD OF FABRICATING THEREOF}Printing plate and manufacturing method thereof {A CLICHE FOR PRINTING INK AND A METHOD OF FABRICATING THEREOF}

본 발명은 액정표시장치의 제조시 레지스트패턴의 인쇄용 인쇄판의 제조공정에 관한 것이다.The present invention relates to a manufacturing process of a printing plate for printing a resist pattern in manufacturing a liquid crystal display device.

인쇄를 이용해 전자 부품의 회로 및 각종 패턴을 찍어내기 위해서는 잉크젯 등의 직접 인쇄 방법을 이용하거나, 패턴이 인쇄된 인쇄판을 이용하는 그라비아 인쇄나 오프셋 인쇄 등의 간접 인쇄 방법을 이용하게 된다.In order to print circuits and various patterns of electronic components using printing, direct printing methods such as inkjets are used, or indirect printing methods such as gravure printing or offset printing using printing plates on which patterns are printed.

종래 인쇄판을 만드는 방법으로는 기판을 부식시켜 패턴을 형성시키는 방법이나, 감광성의 수지가 먼저 부착되어 있는 판을 포토리소그라피를 이용하여 패턴 형성하는 방법이 있다. 그러나 이러한 종래의 방법은 어떤 방법을 이용하든 형성되는 패턴의 깊이가 일정하게 유지되게 된다. 도 1a에 도시된 것처럼, 인쇄를 위해서는 인쇄 롤이 패턴의 바닥에 닿지 않도록 인쇄판(10)의 패턴 깊이(11)가 일정 수준 이상이 되어야 한다. 이러한 깊이는 미세 선폭일 때와 일반 패턴일 때가 다르게 된다. Conventionally, a method of making a printing plate includes a method of corroding a substrate to form a pattern, or a method of forming a plate on which a photosensitive resin is first attached using photolithography. However, in this conventional method, the depth of the formed pattern remains constant regardless of which method is used. As shown in FIG. 1A, for printing, the pattern depth 11 of the printing plate 10 must be at least a predetermined level so that the printing roll does not touch the bottom of the pattern. This depth is different when the fine line width and the general pattern.

즉, 도면 1a의 (b)에서 보듯이, 미세 패턴부 'a'의 경우 패턴의 깊이가 깊게 요구되지 않으나, 패턴 선폭이 큰 'b'의 경우 인쇄 롤(20)이 패턴의 바닥에 닿아 패턴이 잘못 인쇄될 수 있으므로 깊이를 더 크게 해야 한다. 이 때문에 습식 에칭을 통해 제작된 인쇄판은 형성되는 패턴의 깊이(t)가 인쇄판의 최소 미세 선폭의 ½ 이하로 결정되게 된다. 즉, 인쇄판에서 구현 가능한 최소 선폭은 아래와 같이 결정되게 된다.That is, as shown in (b) of FIG. 1A, the depth of the pattern is not required deeply in the case of the fine pattern portion 'a', but in the case of 'b' having a large pattern line width, the printing roll 20 touches the bottom of the pattern This may be printed incorrectly, so the depth should be larger. For this reason, in the printing plate manufactured by wet etching, the depth t of the pattern to be formed is determined to be ½ or less of the minimum fine line width of the printing plate. That is, the minimum line width that can be implemented in the printing plate is determined as follows.

{구현가능한 최소선폭>최소패턴깊이(t)*2}{Minimum possible line width> minimum pattern depth (t) * 2}

일반적으로 인쇄판을 이용해 인쇄 가능한 최소 패턴 깊이는 5 um 수준이므로, 종래의 방법을 통해 구현 가능한 최소 선폭은 10 um 수준이 된다. 따라서 종래 기술로는 10um 이내의 미세 선폭을 갖는 인쇄판을 제조하기 어렵다. 또한, 도 1b의 (a)와 같은 구조로 된 인쇄판(10)의 경우 미세패턴(13, 14)은 형성 가능하나, 높은 종횡비로 인해 (b)와 같이 패턴(13)이 외력에 의해 쉽게 파손되는 문제가 발생하게 된다.In general, since the minimum pattern depth that can be printed using a printing plate is about 5 um, the minimum line width that can be realized by the conventional method is about 10 um. Therefore, it is difficult to manufacture a printing plate having a fine line width of less than 10um in the prior art. In addition, in the case of the printing plate 10 having the structure as shown in (a) of FIG. 1B, the fine patterns 13 and 14 can be formed, but due to the high aspect ratio, the pattern 13 is easily broken by external force as shown in (b). The problem arises.

본 발명은 상술한 과제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 전자 부품의 회로 및 각종 패턴을 인쇄하는 인쇄판에서의 미세패턴의 형성을 간접인쇄방식으로 구현하여, 서로 다른 깊이와 폭을 구비한 미세패턴을 고도의 정밀도와 간소한 공정을 이용하여 제조할 수 있도록 함으로써, 제조비용을 절감하고 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 인쇄판의 제조방법 및 그 구조를 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to implement the formation of a micropattern in a printing plate for printing circuits and various patterns of electronic components by indirect printing, and thus different depths and widths are achieved. It is to provide a manufacturing method and a structure of a printing plate that can be manufactured by using a high precision and a simple process to reduce the manufacturing cost and improve the reliability of the product.

상술한 과제를 해결하기 위한 수단으로서, 본 발명은 기판상에 적층되는 감광성수지층; 상기 감광성수지층을 패터닝하여 형성되는 인쇄패턴;을 구비하되, 상기 인쇄패턴은 서로 다른 깊이 또는 서로 다른 폭을 구비한 다수의 패턴으로 형성되는 인쇄판을 제공할 수 있도록 한다.As a means for solving the above problems, the present invention is a photosensitive resin layer laminated on a substrate; And a printing pattern formed by patterning the photosensitive resin layer, wherein the printing pattern can provide a printing plate formed of a plurality of patterns having different depths or different widths.

특히, 상기 인쇄판에서의 상기 감광성수지층은, 적어도 2 이상의 감광성수지층으로 적층된 구조로 형성될 수 있다.In particular, the photosensitive resin layer in the printing plate may be formed in a structure laminated with at least two photosensitive resin layers.

또한, 상기 인쇄패턴은, 최소패턴인 제2패턴과 기준패턴인 제1패턴을 적어도 1 이상 구비하도록 형성할 수 있으며, 이 경우 상기 제2패턴의 깊이는 상기 제1패턴의 깊이 이하로 형성될 수 있다.In addition, the printing pattern may be formed to include at least one or more second patterns as minimum patterns and first patterns as reference patterns. Can be.

특히, 상술한 구조에서의 상기 제2패턴은 제2감광성수지층에 형성되되, 상기 제2감광성수지층의 두께(d)와 상기 제2패턴의 선폭(e)은 하기의 식 1을 만족하도록 형성할 수 있다.In particular, the second pattern of the above-described structure is formed on the second photosensitive resin layer, so that the thickness (d) of the second photosensitive resin layer and the line width (e) of the second pattern satisfies Equation 1 below. Can be formed.

{식 1}{1}

d≥½*e d≥½ * e

아울러, 상기 인쇄판에서의 상기 제1패턴은, 상기 제2 및 제1감광성수지층에 형성되되, 상기 제1감광성수지층의 두께(c)는 하기의 식 2를 만족하도록 형성할 수 있다.(단, d는 제2감광성수지층의 두께, e는 제2패턴의 선폭을 의미한다.)In addition, the first pattern in the printing plate is formed on the second and the first photosensitive resin layer, the thickness (c) of the first photosensitive resin layer may be formed to satisfy the following equation (2). Where d is the thickness of the second photosensitive resin layer and e is the line width of the second pattern.)

{식 2}{Equation 2}

c≥d-½*ec≥d-½ * e

나아가, 상기 인쇄판에서의 상기 제1패턴의 선폭(f)는, 하기의 식 3을 만족하도록 형성할 수 있다.(단, e는 제2패턴의 선폭을 의미한다.)Further, the line width f of the first pattern in the printing plate may be formed so as to satisfy the following expression (where e means the line width of the second pattern).

{식 3}{Equation 3}

f≥1.5*ef≥1.5 * e

상술한 구조에서의 상기 제2패턴의 선폭(e)는 1~50um의 범위에서 형성될 수 있으며, 상기 제2감광성수지층의 두께(d)는 2.5~12.5um의 범위에서 형성될 수 있다.The line width e of the second pattern in the above-described structure may be formed in the range of 1 to 50 μm, and the thickness d of the second photosensitive resin layer may be formed in the range of 2.5 to 12.5 μm.

또한, 상기 제1감광성수지의 두께(c)는 1.25um 이상으로 형성할 수 있다.
In addition, the thickness (c) of the first photosensitive resin may be formed to 1.25um or more.

아울러, 상술한 구조의 인쇄판은 다음과 같은 공정으로 제조될 수 있다.In addition, the printing plate of the above-described structure can be manufactured by the following process.

즉, 본 발명에 따른 인쇄판은 기판상에 적어도 1 이상의 감광성수지층을 형성하고, 상기 감광성수지층을 패터닝하여 인쇄패턴을 형성하여 제조되되, 더욱 구체적으로는, a1) 상기 기판상에 감광성 수지층을 적어도 1 이상 적층하는 단계; a2) 상기 감광성수지층을 노광 및 현상하여 서로 다른 깊이 또는 서로 다른 폭을 구비한 다수의 인쇄패턴을 형성하는 단계;를 포함하여 구성될 수 있다.That is, the printing plate according to the present invention is manufactured by forming at least one photosensitive resin layer on a substrate, patterning the photosensitive resin layer to form a printing pattern, more specifically, a1) photosensitive resin layer on the substrate Stacking at least one; a2) exposing and developing the photosensitive resin layer to form a plurality of print patterns having different depths or different widths.

특히, 이 경우 상기 a2) 단계는, 기판상에 제1감광성수지층 및 제2감광성 수지층을 형성하고, 노광현상을 통해 최소패턴인 제2패턴과 기준패턴인 제1패턴을 적어도 1 이상 구비하도록 가공하는 단계로 형성할 수 있다.In particular, in this case, step a2) includes forming a first photosensitive resin layer and a second photosensitive resin layer on the substrate, and at least one second pattern as a minimum pattern and a first pattern as a reference pattern through exposure. It can be formed in a step to be processed.

또한, 상기 제2패턴의 깊이는 상기 제1패턴의 깊이 이하로 형성될 수 있다.In addition, the depth of the second pattern may be less than or equal to the depth of the first pattern.

또한, 상술한 과정과는 달리 다음과 같은 공정으로도 구현될 수 있다.In addition, unlike the above-described process may be implemented in the following process.

본 발명에 따른 상기 인쇄판의 제조에서 상기 인쇄패턴의 형성은, b1) 상기 기판상에 제1감광성 수지층을 형성하고, 노광현상을 통해 제1패턴의 하부영역을 형성하는 단계; b2) 상기 제1감광성수지층의 상부에 제2감광성 수지층을 형성하는 단계; b3) 상기 제2감광성 수지층을 노광현상하여 제2패턴 및 상기 제1패턴을 형성하는 단계;를 포함하여 형성될 수 있다.In the manufacturing of the printing plate according to the present invention, the printing pattern may be formed by: b1) forming a first photosensitive resin layer on the substrate and forming a lower region of the first pattern through exposure; b2) forming a second photosensitive resin layer on the first photosensitive resin layer; b3) exposing and developing the second photosensitive resin layer to form a second pattern and the first pattern.

이 경우 상기 b3) 단계는, 상기 제2패턴의 깊이는 상기 제1패턴의 깊이 이하로 형성될 수 있다.In this case, in step b3), the depth of the second pattern may be formed to be equal to or less than the depth of the first pattern.

본 발명에 따르면, 전자 부품의 회로 및 각종 패턴을 인쇄하는 인쇄판에서의 미세패턴의 형성을 간접인쇄방식으로 구현하여, 서로 다른 깊이와 폭을 구비한 미세패턴을 고도의 정밀도와 간소한 공정을 이용하여 제조할 수 있도록 함으로써, 제조비용을 절감하고 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, the micro-patterns having different depths and widths are realized by indirect printing, and the micro-patterns having different depths and widths are formed using a high degree of precision and a simple process. By making it possible to manufacture, there is an effect that can reduce the manufacturing cost and improve the reliability of the product.

도 1a 및 도 1b는 종래 기술에 따른 인쇄판의 문제점을 도시한 개념도이다.
도 2는 본 발명에 따른 인쇄판의 구조를 도시한 요부 개념도이다.
도 3은 본 발명에 따른 인쇄판의 제조공정을 도시한 공정도이다.
도 4는 본 발명에 따른 인쇄판의 제조공정의 다른 실시예를 도시한 공정도이다.
1A and 1B are conceptual views illustrating a problem of a printing plate according to the prior art.
2 is a conceptual view illustrating main parts of a printing plate according to the present invention.
3 is a process chart showing the manufacturing process of the printing plate according to the present invention.
Figure 4 is a process diagram showing another embodiment of the manufacturing process of the printing plate according to the present invention.

이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 구성 및 작용을 구체적으로 설명한다. 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성요소는 동일한 참조부여를 부여하고, 이에 대한 중복설명은 생략하기로 한다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail the configuration and operation according to the present invention. In the description with reference to the accompanying drawings, the same components are given the same reference numerals regardless of the reference numerals, and duplicate description thereof will be omitted. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

도 2는 본 발명에 따른 인쇄판의 구조를 도시한 것으로, 본 발명에 따른 인쇄판은 다음과 같은 구조로 설명할 수 있다.Figure 2 illustrates the structure of a printing plate according to the present invention, the printing plate according to the present invention can be described in the following structure.

도시된 도면을 참조하면, 본 발명에 따른 인쇄판은, 기판(110)상에 적층되는 감광성수지층(121, 131), 상기 감광성수지층을 패터닝하여 형성되는 인쇄패턴을 구비하되, 상기 인쇄패턴은 서로 다른 깊이 또는 서로 다른 폭을 구비한 다수의 패턴(123, 133)을 구비하는 구조로 형성될 수 있다.Referring to the drawings, the printing plate according to the present invention includes a photosensitive resin layer (121, 131) laminated on the substrate 110, the photosensitive resin layer is formed by patterning the print pattern, the print pattern is It may be formed of a structure having a plurality of patterns 123 and 133 having different depths or different widths.

상기 기판(110)은 표면의 평탄도가 확보될 수 있으며, 대형화가 가능하며, 전사된 후의 기판과 열팽창 계수가 유사한 재료로 제조되면 어느 것이나 적용이 가능하며, 이러한 일례로는 글라스(glass)기판이나, PC, PMMA, PET 등의 고분자 기판이나, 금속 등이 이용될 수 있다. 특히 상기 기판은 패턴의 정확도를 유지하기 위하여 전사 기판의 열팽창 계수 대비 2배 이내의 열팽창 계수를 갖는 것을 이용함이 바람직하다.The substrate 110 may secure a flatness of the surface, may be enlarged, and may be applied to any one made of a material having a similar thermal expansion coefficient to that of the substrate after being transferred. For example, a glass substrate However, a polymer substrate such as PC, PMMA, PET, or a metal may be used. In particular, in order to maintain the accuracy of the pattern, it is preferable to use a substrate having a coefficient of thermal expansion within two times the coefficient of thermal expansion of the transfer substrate.

상기 감광성수지층(121, 131)은 본 발명에서는 2개의 감광성 수지층을 형성한 예를 들어 설명하나, 여기에 한정되는 것은 아니며, 이 이상의 적층 구조로 구현하는 것도 가능하며, 적어도 2 이상의 감광성 수지층을 적층하여 깊이가 다른 인쇄패턴을 적어도 2 이상 구조는 본 발명의 요지에 포함된다 할 것이다. 본 발명의 일 실시예에서는 기판의 상부에 적층된 하나의 감광성 수지층을 제1감광성수지층(121), 그리고 상기 제1감광성수지층(121)의 상부에 적층된 것을 제2감광성수지층(131)로 명명하여 설명하기로 한다. 상기 제1 및 제2감광성 수지층은 통상의 스핀코팅, 또는 슬릿코팅 등의 방법을 통해 형성될 수 있으며, 포토레지스트, 드라이필름레지스트, 자외선 경화형 수지 등 다양한 재료가 이용될 수 있으며, 특히 감광성 성질을 구비하는 것은 모두 적용할 수 있음은 물론이다.In the present invention, the photosensitive resin layers 121 and 131 are described with an example in which two photosensitive resin layers are formed. However, the photosensitive resin layers 121 and 131 are not limited thereto. At least two or more structures having different depths by stacking layers may be included in the gist of the present invention. In one embodiment of the present invention, a photosensitive resin layer laminated on the substrate is laminated on the first photosensitive resin layer 121, and the first photosensitive resin layer 121 is formed on the second photosensitive resin layer ( 131) will be described. The first and second photosensitive resin layers may be formed through conventional spin coating or slit coating, and various materials such as photoresist, dry film resist, and ultraviolet curable resin may be used, and in particular, photosensitive properties. Of course, all of them can be applied.

상기 인쇄패턴(123, 133)은 본 발명에 따른 상기 감광성수지층(121, 131)을 패터닝하여 깊이와 폭이 상이한 패턴이 적어도 2 이상 구비될 수 있으며, 특히, 기준이 되는 기준선폭(이하에서 '기준선폭(f)'이란, 기판상에 형성되는 감광성수지층의 전체에 걸쳐서 형성되는 패턴의 선폭으로 정의한다.)이 되는 제1패턴(123)과 인쇄패턴 중 가장 작은 선폭을 구비하는 최소 미세패턴 선폭(e)인 제2패턴(133)을 적어도 1 이상 포함하도록 구성할 수 있다. 이 경우 상기 제2패턴의 깊이는 상기 제1패턴의 깊이 이하로 형성됨이 바람직하다.The print patterns 123 and 133 may be provided with at least two patterns having different depths and widths by patterning the photosensitive resin layers 121 and 131 according to the present invention. 'Reference line width f' is defined as the line width of the pattern formed over the entire photosensitive resin layer formed on the substrate.) And a minimum having the smallest line width among the first pattern 123 and the printed pattern. At least one second pattern 133 having a fine pattern line width e may be included. In this case, the depth of the second pattern is preferably formed below the depth of the first pattern.

상기 제2패턴(133)은 상기 제2감광성수지층(131)에 형성될 수 있으며, 도시된 형상은 상기 제2패턴(133)의 두께(T1)가 상기 제2감광성수지층(131)의 두께와 동일한 구조로 형성되는 구조이나, 이와는 달리 패터닝의 정도에 따라 제2감광성 수지의 두께 이하로도 형성될 수 있다.The second pattern 133 may be formed on the second photosensitive resin layer 131, and the illustrated shape may have a thickness T1 of the second pattern 133 of the second photosensitive resin layer 131. The structure is formed in the same structure as the thickness, but may alternatively be formed below the thickness of the second photosensitive resin according to the degree of patterning.

또한, 상기 제2감광성수지층(131)에 형성되는 제2패턴(133)의 선폭(e)과 제2감광성수지층(131)의 두께(d)간에는 하기의 식 1을 충족하도록 형성됨이 바람직하다.In addition, the line width e of the second pattern 133 formed on the second photosensitive resin layer 131 and the thickness d of the second photosensitive resin layer 131 may be formed to satisfy Equation 1 below. Do.

{식 1}{1}

d≥½*e d≥½ * e

즉, 제2감광성수지층의 두께(d)는 제2패턴(133)의 선폭의 50%이상이 되도록 형성함이 바람직하다. 바꾸어 말하면, 형성하고자 하는 제2패턴(133)의 선폭의 2배 이상의 두께로 상기 제2감광성수지층이 형성됨이 바람직하다.That is, the thickness d of the second photosensitive resin layer is preferably formed to be 50% or more of the line width of the second pattern 133. In other words, it is preferable that the second photosensitive resin layer is formed to have a thickness greater than or equal to twice the line width of the second pattern 133 to be formed.

아울러, 상기 제1패턴(123)은, 상기 제2 및 제1감광성수지층에 형성될 수 있다. 특히 상기 제1패턴(123)은 상기 제2패턴(133)의 깊이보다 깊게 형성될 수 있으며, 도시된 것과 같이, 제2패턴(133)의 깊이(T2)는 상기 제1 및 제2 감광성수지층의 두께와 동일한 깊이로 형성된 일례를 도시하였으나, 제1 및 제2 감광성수지층의 두께 이하로 형성하는 것도 가능하다.In addition, the first pattern 123 may be formed on the second and first photosensitive resin layers. In particular, the first pattern 123 may be formed deeper than the depth of the second pattern 133, and as shown, the depth T2 of the second pattern 133 is the first and second photosensitive water. Although one example is formed with the same depth as the thickness of the ground layer, it is also possible to form below the thickness of the first and second photosensitive resin layer.

상기 제1감광성수지층의 두께(c)는 제2감광성수지층의 두께(d)와 제2패턴(e)과의 관계에서 다음과 같은 범위를 만족하도록 형성됨이 바람직하다.The thickness c of the first photosensitive resin layer is preferably formed to satisfy the following range in a relationship between the thickness d of the second photosensitive resin layer and the second pattern e.

{식 2}{Equation 2}

c≥d-½*ec≥d-½ * e

즉, 상기 제1감광성수지층(121)의 두께는, 제2감광성수지층의 두께(d)와 제2패턴의 선폭(e)의 절반값의 차이보다는 크도록 형성함이 바람직하다.That is, the thickness of the first photosensitive resin layer 121 is preferably formed to be greater than the difference between the thickness d of the second photosensitive resin layer and the half value of the line width e of the second pattern.

아울러, 상술한 수식을 만족하는 본 발명에 따른 제2패턴의 선폭(e)는 1~50㎛의 범위에서 형성될 수 있으며, 더욱 바람직하게는 5~25㎛로 형성될 수 있다.In addition, the line width (e) of the second pattern according to the present invention satisfying the above-described formula may be formed in the range of 1 to 50㎛, more preferably may be formed to 5-25㎛.

아울러, 상기 제2감광성수지층의 두께(d)는 2.5~12.5㎛의 범위에서 형성될 수 있으며, 상기 제1감광성 수지층의 두께는 1.25㎛ 이상으로 형성될 수 있다.In addition, the thickness (d) of the second photosensitive resin layer may be formed in the range of 2.5 ~ 12.5㎛, the thickness of the first photosensitive resin layer may be formed to 1.25㎛ or more.

또한, 제1감광성수지층 및 제2감광성수지층에는 기준패턴인 제1패턴이 선폭(f)을 가지고 형성될 수 있으며, 제2감광성수지층에는 상기 제1패턴보다 작은 제2패턴이 선폭(e)를 가지고 형성될 수 있게 된다. 상기 제1패턴의 선폭(f)와 제2패턴의 선폭(e)는 다음과 같은 수식의 범위에서 형성됨이 바람직하다.In addition, the first photoresist layer and the second photosensitive resin layer may have a first pattern, which is a reference pattern, having a line width f, and a second pattern smaller than the first pattern may have a line width in the second photosensitive resin layer. e) can be formed. It is preferable that the line width f of the first pattern and the line width e of the second pattern be formed in the following formula.

{식 3}{Equation 3}

f≥1.5×e
f≥1.5 × e

도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 인쇄판의 제조공정을 도시한 공정도이다. 도시된 도면을 참조하여 상술한 본 발명에 따른 인쇄판의 제조공정을 설명하면 다음과 같다.3 and 4 is a process chart showing a manufacturing process of the printing plate according to the present invention. The manufacturing process of the printing plate according to the present invention described above with reference to the drawings shown as follows.

도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 인쇄판은, 기판상에 적어도 1 이상의 감광성수지층을 형성하고, 상기 감광성수지층을 패터닝하여 인쇄패턴을 형성하는 순서로 제조될 수 있다.Referring to FIG. 3, the printing plate according to the present invention may be manufactured in an order of forming at least one photosensitive resin layer on a substrate and patterning the photosensitive resin layer to form a printing pattern.

구체적으로, 우선 기판(110) 상에 존재하는 오염원을 세정공정을 통해 깨끗하게 세정하는 공정이 수행될 수 있으며(S 1단계), 이후 상기 기판(110) 상에 제1감광성수지층(120)을 형성한다(S 2단계). 형성방법은, 기본적으로 제1감광성수지층 용 조성물을 스핀코팅 또는 슬릿코팅 등의 방법으로 코팅하고, 열처리를 통해 반경화시키는 공정이 수행될 수 있다.Specifically, first, a process of cleanly cleaning the contaminant present on the substrate 110 may be performed through a cleaning process (step S1), and then the first photosensitive resin layer 120 may be formed on the substrate 110. Form (S 2 step). In the forming method, the first photosensitive resin layer may be coated by a method such as spin coating or slit coating and semi-cured by heat treatment.

다음으로, 상기 제1감광성수지층(120)의 상부에 제2감광성수지층(130)을 형성하고, 역시 열처리를 통해 반경화시키는 공정이 수행될 수 있다(S 3단계).Next, a process of forming a second photosensitive resin layer 130 on the first photosensitive resin layer 120 and semi-curing through heat treatment may also be performed (step S3).

S 4단계에서는 포토마스크(M)를 이용하여 우선 제2감광성수지층(130)을 노광현상하여 제2패턴(133)을 형성한다. 물론 동시에 제1패턴의 상부(123a)를 형성할 수 있다.In step S4, the second photosensitive resin layer 130 is exposed to light using the photomask M to form a second pattern 133. Of course, the upper portion 123a of the first pattern may be formed at the same time.

S 5단계에서는 역시 포토마스크를 이용하여 제1감광성 수지층(130)을 노광 현상하여 기준 선폭(f) 이상을 갖는 제1패턴(123)을 형성하게 된다.In step S5, the first photosensitive resin layer 130 is exposed and developed using a photomask to form a first pattern 123 having a reference line width f or more.

이상과 같은 공정을 통해, 상술한 구조의 깊이와 폭이 다른 패턴을 구비한 구조의 인쇄판을 형성할 수 있게 된다.
Through the above process, it becomes possible to form a printing plate having a structure having a pattern different in depth and width of the above-described structure.

도 4는 도 3과는 다른 제조공정례를 도시한 것이다.4 illustrates an example of a manufacturing process different from that of FIG. 3.

도시된 도면을 참조하면, 세정공정(P 1단계)과, 제1감광성수지층(120)의 형성공정은 도 3공정과 동일하나, 본 실시예에서는 제2감광성수지층(130)을 형성하는 대신, 바로 제1감광성수지층(120)에 포토마스크를 이용하여 패터닝을 통해 제1패턴의 하부(123b)를 형성한다(P 3단계).Referring to the drawing, the cleaning process (step P1) and the process of forming the first photosensitive resin layer 120 is the same as the process of Figure 3, in this embodiment to form a second photosensitive resin layer 130 Instead, the lower portion 123b of the first pattern is formed on the first photosensitive resin layer 120 by using a photomask (step P3).

이후, 패터닝된 상기 제1감광성수지층(121)의 상부면에 제2감광성수지층(130)을 형성하고, 포토마스크를 이용하여 노광, 현상하여 제2패턴(133)을 형성함과 동시에, 제1패턴(123)을 완성하게 된다(P 4~P 5단계).Thereafter, a second photosensitive resin layer 130 is formed on the patterned upper surface of the first photosensitive resin layer 121, and exposed and developed using a photomask to form a second pattern 133. The first pattern 123 is completed (P 4 to P 5 steps).

본 실시예에서는 포토마스크를 통해 노광, 현상 공정을 수행하는 것을 패터닝의 일례로 설명하였으나, 이와는 달리, 레이져 라이터(Laser writer)를 이용하여 패턴을 형성할 수도 있다.In the present exemplary embodiment, the exposure and development processes are performed through the photomask as an example of patterning. Alternatively, a pattern may be formed using a laser writer.

상술한 범위의 본 발명에 따른 미세패턴을 구비하는 인쇄판은, 수 um 급의 미세 패턴을 형성하면서도 패턴의 선폭에 따라 패턴의 깊이를 달리함으로써 인쇄판의 특성을 유지할 수 있도록 하였다. 또한, 최소 미세 패턴의 경우 제2감광성수지층에만 형성되도록 함으로써 패턴의 종횡비를 낮추어 외력에 무너지지 않게 하였으며, 제 1 감광성 수지층을 도입함으로써 패턴 깊이가 낮아 인쇄롤이 바닥에 닿는 문제를 해결하였다. The printing plate having the micropattern according to the present invention in the above-described range is able to maintain the characteristics of the printing plate by varying the depth of the pattern according to the line width of the pattern while forming a fine pattern of several um. In addition, the minimum fine pattern is formed only on the second photosensitive resin layer so as to lower the aspect ratio of the pattern so as not to collapse in the external force, and by introducing the first photosensitive resin layer, the pattern depth is low and the printing roll touches the bottom.

전술한 바와 같은 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시예에 관해 설명하였다. 그러나 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서는 여러 가지 변형이 가능하다. 본 발명의 기술적 사상은 본 발명의 기술한 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.In the foregoing detailed description of the present invention, specific examples have been described. However, various modifications are possible within the scope of the present invention. The technical idea of the present invention should not be limited to the embodiments of the present invention but should be determined by the equivalents of the claims and the claims.

110: 기판
120, 121: 제1감광성수지층
123: 제1패턴
130: 131: 제2감광성수지층
133: 제2패턴
110: substrate
120 and 121: first photosensitive resin layer
123: first pattern
130: 131: second photosensitive resin layer
133: second pattern

Claims (16)

기판상에 적층되는 감광성수지층;
상기 감광성수지층을 패터닝하여 형성되는 인쇄패턴;을 구비하되,
상기 인쇄패턴은 서로 다른 깊이 또는 서로 다른 폭을 구비한 다수의 패턴으로 형성되는 인쇄판.
A photosensitive resin layer laminated on the substrate;
And a printing pattern formed by patterning the photosensitive resin layer.
The printing pattern is a printing plate formed of a plurality of patterns having different depths or different widths.
청구항 1에 있어서,
상기 감광성수지층은,
적어도 2 이상의 감광성수지층으로 적층된 구조로 형성되는 인쇄판.
The method according to claim 1,
The photosensitive resin layer,
A printing plate formed of a structure laminated with at least two photosensitive resin layers.
청구항 2에 있어서,
상기 인쇄패턴은,
최소패턴인 제2패턴과 기준패턴인 제1패턴을 적어도 1 이상 구비하는 인쇄판.
The method according to claim 2,
The print pattern,
A printing plate having at least one second pattern as a minimum pattern and a first pattern as a reference pattern.
청구항 3에 있어서,
상기 제2패턴의 깊이는 상기 제1패턴의 깊이 이하로 형성되는 인쇄판.
The method according to claim 3,
And a depth of the second pattern is less than or equal to the depth of the first pattern.
청구항 4에 있어서,
상기 제2패턴은 제2감광성수지층에 형성되되,
상기 제2감광성수지층의 두께(d)와 상기 제2패턴의 선폭(e)은 하기의 식 1을 만족하는 인쇄판.
{식 1}
d≥½*e
The method of claim 4,
The second pattern is formed on the second photosensitive resin layer,
The thickness (d) of the second photosensitive resin layer and the line width (e) of the second pattern satisfies the following formula (1).
{Equation 1}
d≥½ * e
청구항 4에 있어서,
상기 제1패턴은, 상기 제2 및 제1감광성수지층에 형성되되,
상기 제1감광성수지층의 두께(c)는 하기의 식 2를 만족하는 인쇄판.
{식 2}
c≥d-½*e
(단, d는 제2감광성수지층의 두께, e는 제2패턴의 선폭을 의미한다.)
The method of claim 4,
The first pattern is formed on the second and the first photosensitive resin layer,
The thickness c of the first photosensitive resin layer satisfies the following equation 2.
{Equation 2}
c≥d-½ * e
(Where, d is the thickness of the second photosensitive resin layer, and e is the line width of the second pattern.)
청구항 4에 있어서,
상기 제1패턴의 선폭(f)는, 하기의 식 3을 만족하는 인쇄판.
{식 3}
f≥1.5*e
(단, e는 제2패턴의 선폭을 의미한다.)
The method of claim 4,
A printing plate of the first pattern, wherein line width f satisfies Equation 3 below.
{Equation 3}
f≥1.5 * e
(However, e means the line width of the second pattern.)
청구항 5 내지 7 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제2패턴의 선폭(e)는 1㎛~50㎛인 인쇄판.
The method according to any one of claims 5 to 7,
Line width (e) of the second pattern is a printing plate 1㎛ ~ 50㎛.
청구항 5 내지 7 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제2감광성수지층의 두께(d)는 2.5㎛~12.5㎛인 인쇄판.
The method according to any one of claims 5 to 7,
A printing plate having a thickness d of the second photosensitive resin layer is 2.5 μm to 12.5 μm.
청구항 5 내지 7 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1감광성수지의 두께(c)는 1.25㎛ 이상인 인쇄판.
The method according to any one of claims 5 to 7,
A printing plate having a thickness c of the first photosensitive resin is 1.25 μm or more.
기판상에 적어도 1 이상의 감광성수지층을 형성하고,
상기 감광성수지층을 패터닝하여 인쇄패턴을 형성하는 인쇄판의 제조방법.
Forming at least one photosensitive resin layer on the substrate,
The method of manufacturing a printing plate to form a printing pattern by patterning the photosensitive resin layer.
청구항 11에 있어서,
상기 인쇄패턴의 형성은,
a1) 상기 기판상에 감광성 수지층을 적어도 1 이상 적층하는 단계;
a2) 상기 감광성수지층을 노광 및 현상하여 서로 다른 깊이 또는 서로 다른 폭을 구비한 다수의 인쇄패턴을 형성하는 단계;
로 구성되는 인쇄판의 제조방법.
The method of claim 11,
Formation of the print pattern,
a1) laminating at least one photosensitive resin layer on the substrate;
a2) exposing and developing the photosensitive resin layer to form a plurality of printed patterns having different depths or different widths;
Method of manufacturing a printing plate consisting of.
청구항 12에 있어서,
상기 a2) 단계는,
기판상에 제1감광성수지층 및 제2감광성 수지층을 형성하고,
노광현상을 통해 최소패턴인 제2패턴과 기준패턴인 제1패턴을 적어도 1 이상 구비하도록 가공하는 단계인 인쇄판의 제조방법.
The method of claim 12,
Step a2),
Forming a first photosensitive resin layer and a second photosensitive resin layer on the substrate,
A method of manufacturing a printing plate, the step of processing to include at least one or more of the second pattern and the first pattern of the reference pattern is the minimum pattern through the exposure phenomenon.
청구항 13에 있어서,
상기 제2패턴의 깊이는 상기 제1패턴의 깊이 이하로 형성되는 인쇄판의 제조방법.
The method according to claim 13,
And a depth of the second pattern is less than or equal to the depth of the first pattern.
청구항 11에 있어서,
상기 인쇄패턴의 형성은,
b1) 상기 기판상에 제1감광성 수지층을 형성하고, 노광, 현상을 통해 제1패턴의 하부영역을 형성하는 단계;
b2) 상기 제1감광성수지층의 상부에 제2감광성 수지층을 형성하는 단계;
b3) 상기 제2감광성 수지층을 노광,현상하여 제2패턴 및 상기 제1패턴을 형성하는 단계;
를 포함하는 인쇄판의 제조방법.
The method of claim 11,
Formation of the print pattern,
b1) forming a first photosensitive resin layer on the substrate, and forming a lower region of the first pattern through exposure and development;
b2) forming a second photosensitive resin layer on the first photosensitive resin layer;
b3) exposing and developing the second photosensitive resin layer to form a second pattern and the first pattern;
Method of manufacturing a printing plate comprising a.
청구항 15에 이어서,
상기 b3) 단계는,
상기 제2패턴의 깊이는 상기 제1패턴의 깊이 이하로 형성하는 단계인 인쇄판의 제조방법.
Following claim 15,
Step b3),
And a depth of the second pattern is less than or equal to the depth of the first pattern.
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