KR20120002046A - Device of removing film for laser induced thermal imaging - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A laser heat transcribing device for removing a film is provided to stably separate the film from a substrate by spraying air through successively driving spraying units. CONSTITUTION: A laser heat transcribing device(1) for removing a film comprises the following: a substrate stage(10) for mounting substrates; a roller unit(20) successively pressurizing donor film units mounted on the substrate stage; and spraying units spraying air in between the substrates and the donor film units, installed on grooves of the substrate stage. The donor film units includes films(13) reacting to laser light, and a tray(14) combining with the edges of the films.

Description

레이저 열전사용 필름 제거 장치{DEVICE OF REMOVING FILM FOR LASER INDUCED THERMAL IMAGING}Film transfer device for laser thermal transfer {DEVICE OF REMOVING FILM FOR LASER INDUCED THERMAL IMAGING}

본 발명은 레이저 열전사용 필름 제거 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판에 부착된 필름을 안정적으로 제거하는 레이저 열전사용 필름 제거 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a laser thermal transfer film removing apparatus, and more particularly, to a laser thermal transfer film removing apparatus for stably removing a film attached to a substrate.

평판 표시 장치 중 유기전계발광표시장치는 응답속도가 1ms 이하로서 고속의 응답속도를 가지며, 소비 전력이 낮고, 자체발광이므로 시야각에 문제가 없어서, 장치의 크기에 상관없이 동화상 표시 매체로서 장점이 있다. 또한, 저온 제작이 가능하고, 기존의 반도체 공정 기술을 바탕으로 제조 공정이 간단하므로 향후 차세대 평판 표시 장치로 주목받고 있다.Among the flat panel display devices, the organic light emitting display device has a high response time with a response speed of 1 ms or less, low power consumption, and self-luminous light, so there is no problem in viewing angle, and thus it is advantageous as a moving image display medium regardless of the size of the device. . In addition, low-temperature manufacturing is possible, and the manufacturing process is simple based on the existing semiconductor process technology has attracted attention as a next-generation flat panel display device in the future.

유기전계발광표시장치는 유기전계발광소자로 사용하는 재료와 공정에 따라 습식공정을 사용하는 고분자형 소자와 증착공정을 사용하는 저분자형 소자로 크게 나눌 수 있다.The organic light emitting display device can be broadly classified into a polymer type device using a wet process and a low molecular type device using a deposition process according to materials and processes used as an organic light emitting device.

고분자 또는 저분자 발광층의 패터닝 방법 중 잉크젯 프린팅 방법의 경우 발광층 이외의 유기층들의 재료가 제한적이고, 기판 상에 잉크젯 프린팅을 위한 구조를 형성해야하는 번거로움이 있다. 또한 증착 공정에 의한 발광층의 패터닝 경우 금속 마스크의 사용으로 인해 대형 소자의 제작에 어려움이 있다.In the inkjet printing method of the patterning method of the polymer or low molecular light emitting layer, the material of the organic layers other than the light emitting layer is limited, and there is a need to form a structure for inkjet printing on the substrate. In addition, when the light emitting layer is patterned by the deposition process, there is a difficulty in manufacturing a large device due to the use of a metal mask.

위와 같은 패터닝의 방법을 대체할 수 있는 기술로 레이저 열전사법(LITI : Laser Induced Thermal Imaging)이 최근 개발되고 있다.Recently, the laser induced thermal imaging (LITI) has been developed as a technique to replace the above patterning method.

레이저 열전사법이란 광원에서 나오는 레이저를 열에너지로 변환하고, 이 열 에너지에 의해 패턴 형성 물질을 대상 기판으로 전사시켜 패턴을 형성하는 방법이다. The laser thermal transfer method is a method of converting a laser emitted from a light source into thermal energy and transferring a pattern forming material to a target substrate by using the thermal energy to form a pattern.

열전사법은 도너필름이 억셉터인 기판 전체를 덮고 있는 형태를 가지고, 도너필름과 기판은 스테이지 상에서 고정된다. 그리고, 라미네이션 과정을 통해 도너필름과 기판은 더욱 합착하게 되고, 라미네이션 후 레이저 전사를 수행하여 패터닝을 완성하게 된다.The thermal transfer method has a form in which the donor film covers the entire substrate, which is an acceptor, and the donor film and the substrate are fixed on the stage. The donor film and the substrate are further bonded together through a lamination process, and laser lamination is performed after lamination to complete patterning.

상기한 기술구성은 본 발명의 이해를 돕기 위한 배경기술로서, 본 발명이 속하는 기술분야에서 널리 알려진 종래기술을 의미하는 것은 아니다.
The above technical configuration is a background art for helping understanding of the present invention, and does not mean a conventional technology well known in the art.

종래에는 도너필름을 기판에서 제거하는 과정에서 도너필름이 구겨지면서 기판에 전사된 부분을 손상시키는 문제점이 있다.Conventionally, the donor film is wrinkled in the process of removing the donor film from the substrate, thereby damaging the portion transferred to the substrate.

따라서, 이를 개선할 필요성이 요청된다.Therefore, there is a need for improvement.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 개선하기 위해 안출된 것으로서, 롤러부의 위치에 따라 도너필름에 공기를 순차적으로 분사하여 줌으로써, 기판에서 도너필름을 안정적으로 제거하는 레이저 열전사용 필름 제거 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
The present invention has been made to improve the above problems, by sequentially spraying air to the donor film according to the position of the roller, to provide a laser thermal transfer film removal apparatus for stably removing the donor film from the substrate. There is a purpose.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 기판이 안착되는 기판스테이지; 상기 기판스테이지에 안착되는 도너필름부를 순차로 가압하는 롤러부; 및 상기 기판스테이지에 구비되고, 상기 도너필름부와 상기 기판 사이로 공기를 분사하는 분사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 열전사용 필름 제거 장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention is a substrate stage on which the substrate is seated; A roller unit for sequentially pressing a donor film portion seated on the substrate stage; And a spraying part provided in the substrate stage and injecting air between the donor film portion and the substrate.

상기 분사부는 상기 기판스테이지를 관통하는 복수의 배출배관; 상기 배출배관과 연통되는 수렴배관; 상기 수렴배관과 연통되는 공급배관; 및 상기 공급배관과 연통되고 공압을 제공하는 공급펌프부를 포함하는 것을 특징으로 한다.The injection unit comprises a plurality of discharge pipes passing through the substrate stage; A converging pipe in communication with the discharge pipe; A supply pipe in communication with the converging pipe; And a supply pump communicating with the supply pipe and providing pneumatic pressure.

상기 배출배관은 상기 기판을 둘러싸도록 배치되는 것을 특징으로 한다.The discharge pipe is characterized in that it is arranged to surround the substrate.

상기 분사부는 상기 롤러부의 위치에 따라 상기 공기를 순차 분사하는 것을 특징으로 한다.
The injection unit is characterized in that for sequentially injecting the air in accordance with the position of the roller unit.

본 발명에 따른 레이저 열전사용 필름 제거 장치는 분사부를 통한 공기 분사로 인해 기판에서 필름을 이격시키는 효과가 있다.Laser thermal transfer film removal apparatus according to the present invention has the effect of separating the film from the substrate due to the air injection through the injection portion.

본 발명에 따른 레이저 열전사용 필름 제거 장치는 롤러가 필름을 가압하는 위치에 따라 다수의 분사부가 순차적으로 구동되어 공기를 분사함으로써, 필름을 기판에서 안정적으로 분리시키는 효과가 있다.
Laser thermal transfer film removal apparatus according to the present invention has the effect of stably separating the film from the substrate by driving a plurality of jets are sequentially driven in accordance with the position where the roller presses the film.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 열전사용 필름 제거 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 열전사용 필름 제거 장치의 분사부를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 열전사용 필름 제거 장치에서 분사부의 1단계 분사상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 열전사용 필름 제거 장치에서 분사부의 2단계 분사상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 열전사용 필름 제거 장치에서 분사부의 3단계 분사상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 열전사용 필름 제거 장치에서 분사부의 4단계 분사상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.1 is a view schematically showing a laser thermal transfer film removal apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a view schematically showing an injection unit of the laser thermal transfer film removal apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a view schematically showing a one-stage injection state of the injection unit in the laser thermal transfer film removal apparatus according to an embodiment of the present invention.
4 is a view schematically showing a two-stage injection state of the injection unit in the laser thermal transfer film removal apparatus according to an embodiment of the present invention.
5 is a view schematically showing a three-stage injection state of the injection unit in the laser thermal transfer film removal apparatus according to an embodiment of the present invention.
6 is a view schematically showing a four-stage injection state of the injection unit in the laser thermal transfer film removal apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 레이저 열전사용 필름 제거 장치의 실시예를 설명한다. 이러한 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로써, 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described an embodiment of a laser thermal transfer film removal apparatus according to the present invention. In this process, the thickness of the lines or the size of the components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of description. In addition, terms to be described later are terms defined in consideration of functions in the present invention, which may vary according to a user's or operator's intention or custom. Therefore, definitions of these terms should be made based on the contents throughout the specification.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 열전사용 필름 제거 장치를 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 열전사용 필름 제거 장치의 분사부를 개략적으로 나타내는 도면이다.1 is a view schematically showing a laser thermal transfer film removal apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a view schematically showing a spraying portion of the laser thermal transfer film removal apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 열전사용 필름 제거 장치에서 분사부의 1단계 분사상태를 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 열전사용 필름 제거 장치에서 분사부의 2단계 분사상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.3 is a view schematically showing a one-stage injection state of the injection unit in the laser thermal transfer film removal apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 4 is a spray in the laser thermal transfer film removal apparatus according to an embodiment of the present invention 2 is a diagram schematically illustrating a negative two-stage injection state.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 열전사용 필름 제거 장치에서 분사부의 3단계 분사상태를 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 열전사용 필름 제거 장치에서 분사부의 4단계 분사상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
5 is a view schematically showing a three-stage injection state of the injection unit in the laser thermal transfer film removal apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 6 is a spray in the laser thermal transfer film removal apparatus according to an embodiment of the present invention 4 is a diagram schematically illustrating a negative four-stage injection state.

도 1과 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 열전사용 필름 제거 장치(1)에는 기판스테이지(10), 롤러부(20) 및 분사부(30)가 구비된다.1 and 2, the laser thermal transfer film removing apparatus 1 according to an exemplary embodiment of the present invention includes a substrate stage 10, a roller unit 20, and an injection unit 30.

기판스테이지(10)에는 홈이 형성되고, 이러한 홈에 기판(11)과 도너필름부(12)가 순차적으로 적층된다.Grooves are formed in the substrate stage 10, and the substrate 11 and the donor film part 12 are sequentially stacked on the grooves.

기판스테이지(10)는 수평 이동된다. 이러한 기판스테이지(10)는 바퀴나 레일에 의해 이동되거나 실린더의 길이변화로 이동될 수 있으며, 그 외 기판스테이지(10)를 이동시키기 위한 다양한 구조물에 대한 채택이 가능하다.The substrate stage 10 is horizontally moved. The substrate stage 10 may be moved by wheels or rails or by a change in the length of the cylinder, and other substrate stages 10 may be adopted for various structures for moving.

도너필름부(12)에 레이저를 조사하면, 도너필름부(12)의 광열변환층이 레이저광을 열로 변환시켜 열을 방출하면서 팽창한다. 이에 따라 전사층인 유기막층도 팽창되어 도너필름부(12)로부터 분리되면서 기판(11)상에 유기막층을 형성한다. 이때, 패터닝된 물질이 레이저가 전사되는 방향에 따라 기판(11)에 부착된다.When a laser is irradiated to the donor film part 12, the photothermal conversion layer of the donor film part 12 expands, converting a laser beam into heat, and releasing heat. As a result, the organic layer, which is the transfer layer, is also expanded and separated from the donor film part 12 to form an organic layer on the substrate 11. At this time, the patterned material is attached to the substrate 11 in the direction in which the laser is transferred.

도너필름부(12)에는 레이저광에 의해 반응되는 필름(13)과, 이러한 필름(13)의 테두리 부분에 결합되는 트레이(14)가 구비된다.The donor film part 12 is provided with the film 13 reacted by a laser beam, and the tray 14 coupled to the edge portion of the film 13.

롤러부(20)는 도너필름부(12)를 가압한다. 이러한 롤러부(20)에는 구조물(미도시)에 결합되는 결합판(21)과 롤러(22)가 구비된다. 결합판(21)은 한 쌍이 필름(13)의 폭에 대응되도록 이격되고, 롤러(22)는 결합판(21)에 회전 가능하도록 결합되어 필름(13)을 가압한다.The roller portion 20 presses the donor film portion 12. The roller unit 20 is provided with a coupling plate 21 and a roller 22 coupled to the structure (not shown). The coupling plate 21 is spaced apart so that the pair corresponds to the width of the film 13, the roller 22 is rotatably coupled to the coupling plate 21 to press the film 13.

분사부(30)는 기판스테이지(10)에 구비되고, 도너필름부(12)와 기판(11) 사이로 공기를 분사한다. The injection unit 30 is provided in the substrate stage 10, and injects air between the donor film unit 12 and the substrate 11.

본 발명의 일 실시예에 따른 분사부(30)에는 배출배관(31), 수렴배관(32), 공급배관(33) 및 공급펌프부(34)가 구비된다.The injection unit 30 according to an embodiment of the present invention is provided with a discharge pipe 31, a converging pipe 32, a supply pipe 33 and a supply pump part 34.

배출배관(31)은 기판스테이지(10)를 관통한다. 이러한 배출배관(31)은 복수로 이루어지고, 도너필름부(12)의 필름(13)과 트레이(14) 사이에 해당되는 기판스테이지(10)에 형성된다.The discharge pipe 31 passes through the substrate stage 10. The discharge pipe 31 is formed in plural and is formed on the substrate stage 10 corresponding to the film 13 and the tray 14 of the donor film part 12.

수렴배관(32)은 기판스테이지(10)에 구비되고, 각 배출배관(31)과 연통된다.The converging pipe 32 is provided on the substrate stage 10 and communicates with each of the discharge pipes 31.

공급배관(33)은 기판스테이지(10)에 구비되고, 수렴배관(32)과 연통된다. 이러한 공급배관(33)은 기판스테이지(10)에 장착되어 상하로 이동되는 이동부(38)를 관통하여 형성된다. 이동부(38)가 상승하면 기판(11)과 필름(13) 사이의 공기를 외부로 배출하여 이들의 진공을 도모한다.The supply pipe 33 is provided on the substrate stage 10 and communicates with the converging pipe 32. The supply pipe 33 is formed through the moving part 38 mounted on the substrate stage 10 and moved up and down. When the moving part 38 rises, air between the board | substrate 11 and the film 13 is discharged | emitted outside, and these vacuums are aimed at.

공급펌프부(34)는 공급배관(33)과 연결된다. 이러한 공급펌프부(34)가 구동되면 공압이 공급배관(33)을 통해 배출배관(31)으로 분사되므로, 기판(11)에서 필름(13)을 이격시킨다.The supply pump part 34 is connected to the supply pipe 33. When the supply pump 34 is driven, the pneumatic pressure is injected into the discharge pipe 31 through the supply pipe 33, thereby separating the film 13 from the substrate 11.

한편, 배출배관(31)은 기판(11)을 둘러싸도록 배치되어 기판(11)을 덮는 필름(13)에 공기를 분사한다.On the other hand, the discharge pipe 31 is disposed to surround the substrate 11 to inject air to the film 13 covering the substrate (11).

도 3 내지 도 6을 참조하면, 배출배관(31)은 복수로 구비되고 순차로 분사되기 위해 복수의 영역(a,b,c,d)으로 구분된다. 3 to 6, the discharge pipe 31 is provided with a plurality and divided into a plurality of areas (a, b, c, d) to be sequentially sprayed.

이와 같이 복수의 영역으로 구분되는 배출배관(31)은 롤러부(20)의 위치에 따라 순차로 공기를 분사한다.As described above, the discharge pipe 31 divided into a plurality of areas sequentially blows air according to the position of the roller unit 20.

복수의 영역으로 구분되는 배출배관(31)은 각각 수렴배관(32)과 연통되고, 복수의 수렴배관(32)은 개별적인 공급배관(33)과 연통되어 공급펌프부(34)와 연결되거나, 공기 경로를 변환시키는 밸브를 갖는 하나의 공급배관(33)과 연통될 수 있다.
Discharge pipes 31 divided into a plurality of areas are each communicated with the converging pipe 32, the plurality of converging pipes 32 are in communication with the individual supply pipe 33 is connected to the supply pump 34, or air It can be in communication with a single supply pipe 33 having a valve for switching the path.

상기와 같은 구조를 갖는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 열전사용 필름 제거 장치에 대한 작용을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the laser thermal transfer film removal apparatus according to an embodiment of the present invention having the structure as described above are as follows.

롤러(22)가 필름(13)을 가압한 상태에서 공급펌프부(34)가 구동되면, 공급펌프부(34)에서 생성된 공압이 공급배관(33)을 통해 이동되고, 배출배관(31)을 통해 기판스테이지(10)의 상방으로 분사됨으로써, 기판(11)과 필름(13) 사이를 이격시킨다.When the feed pump part 34 is driven while the roller 22 presses the film 13, the pneumatic pressure generated by the feed pump part 34 is moved through the supply pipe 33, and the discharge pipe 31 is By spraying upward through the substrate stage 10, the substrate 11 is spaced apart from the film 13.

이때, 롤러(22)는 과도한 공압에 의해 필름(13)이 구겨지지 않도록 필름(13)의 폭에 대응되는 길이로 필름(13)을 가압한다. At this time, the roller 22 presses the film 13 to a length corresponding to the width of the film 13 so that the film 13 is not wrinkled due to excessive pneumatic pressure.

배출배관(31)을 통해 배출되는 공기는 기판(11)과 필름(13) 사이로 분사되어 기판(11)과 필름(13)을 이격시킨다.Air discharged through the discharge pipe 31 is injected between the substrate 11 and the film 13 to space the substrate 11 and the film 13.

배출배관(31)은 롤러부(20)의 위치에 따라 순차로 공기를 분사시켜 줌으로써, 필름(13)이 급격하게 기판(11)에서 이격되어 손상되는 것을 방지한다.The discharge pipe 31 sprays air sequentially according to the position of the roller unit 20, thereby preventing the film 13 from being rapidly spaced apart from the substrate 11 and being damaged.

즉, a영역에 해당되는 배출배관(31)을 통해 분사되는 공기가 필름(13)과 기판(11) 사이로 유입되어 기판(11)에서 필름(13)을 이격시킨다(도 3 참조).That is, air injected through the discharge pipe 31 corresponding to the region a flows in between the film 13 and the substrate 11 to separate the film 13 from the substrate 11 (see FIG. 3).

상기한 상태에서, 기판스테이지(10)가 이동되어 롤러(22)가 b영역에 해당되는 배출배관(31)을 통과하면, b영역에 해당되는 배출배관(31)을 통해 분사되는 공기가 필름(13)과 기판(11) 사이로 유입되어 기판(11)에서 필름(13)을 이격시킨다(도 4 참조).In the above state, when the substrate stage 10 is moved and the roller 22 passes through the discharge pipe 31 corresponding to the b area, the air injected through the discharge pipe 31 corresponding to the b area is transferred to the film ( 13 flows between the substrate 11 and the substrate 11 to separate the film 13 from the substrate 11 (see FIG. 4).

그리고, 기판스테이지(10)가 이동되어 롤러(22)가 c영역에 해당되는 배출배관(31)을 통과하면, c영역에 해당되는 배출배관(31)을 통해 분사되는 공기가 필름(13)과 기판(11) 사이로 유입되어 기판(11)에서 필름(13)을 이격시킨다(도 5 참조).Then, when the substrate stage 10 is moved and the roller 22 passes through the discharge pipe 31 corresponding to the c region, the air injected through the discharge pipe 31 corresponding to the c region is transferred to the film 13. It flows in between the substrates 11 and spaces apart the film 13 from the substrate 11 (refer FIG. 5).

마지막으로, 기판스테이지(10)가 이동되어 롤러(22)가 d영역에 해당되는 배출배관(31)에 근접되면, d영역에 해당되는 배출배관(31)을 통해 분사되는 공기가 필름(13)과 기판(11) 사이로 유입되어 기판(11)에서 필름(13)을 이격시킨다(도 6 참조). Finally, when the substrate stage 10 is moved so that the roller 22 approaches the discharge pipe 31 corresponding to the area d, the air injected through the discharge pipe 31 corresponding to the area d is transferred to the film 13. And flows in between the substrate 11 to separate the film 13 from the substrate 11 (see FIG. 6).

이때, d영역에 해당되는 배출배관(31)에 근접된 롤러(22)는 필름(13)의 상방으로 이동되어 필름(13)에 대한 가압력이 제거될 수 있다. 롤러(22)가 상방으로 이동된 상태에서 필름(13)과 기판(11) 사이로 공기가 유입되면, 기판(11)에서 필름(13)을 완전히 제거할 수 있다.
In this case, the roller 22 adjacent to the discharge pipe 31 corresponding to the region d may be moved upward of the film 13 to remove the pressing force on the film 13. When air flows in between the film 13 and the substrate 11 while the roller 22 is moved upward, the film 13 can be completely removed from the substrate 11.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, this is merely exemplary, and those skilled in the art to which the art belongs can make various modifications and other equivalent embodiments therefrom. I will understand.

따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.
Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the claims below.

10 : 기판스테이지 12 : 도어필름부
13 : 필름 14 : 트레이
20 : 롤러부 21 : 결합판
22 : 롤러 30 : 분사부
31 : 배출배관 32 : 수렴배관
33 : 공급배관 34 : 공급펌프부10: substrate stage 12: door film portion
13: film 14: tray
20: roller portion 21: bonding plate
22: roller 30: injection part
31: discharge piping 32: convergence piping
33: supply piping 34: supply pump

Claims (4)

기판이 안착되는 기판스테이지;
상기 기판스테이지에 안착되는 도너필름부를 순차로 가압하는 롤러부; 및
상기 기판스테이지에 구비되고, 상기 도너필름부와 상기 기판 사이로 공기를 분사하는 분사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 열전사용 필름 제거 장치.
A substrate stage on which the substrate is seated;
A roller unit for sequentially pressing a donor film portion seated on the substrate stage; And
And a spraying portion provided on the substrate stage and spraying air between the donor film portion and the substrate.
제 1항에 있어서, 상기 분사부는
상기 기판스테이지를 관통하는 복수의 배출배관;
상기 배출배관과 연통되는 수렴배관;
상기 수렴배관과 연통되는 공급배관; 및
상기 공급배관과 연통되고 공압을 제공하는 공급펌프부를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 열전사용 필름 제거 장치.
The method of claim 1, wherein the injection unit
A plurality of discharge pipes passing through the substrate stage;
A converging pipe in communication with the discharge pipe;
A supply pipe in communication with the converging pipe; And
And a supply pump portion communicating with the supply pipe and providing pneumatic pressure.
제 2항에 있어서,
상기 배출배관은 상기 기판을 둘러싸도록 배치되는 것을 특징으로 하는 레이저 열전사용 필름 제거 장치.
The method of claim 2,
And the discharge pipe is disposed to surround the substrate.
제 3항에 있어서,
상기 분사부는 상기 롤러부의 위치에 따라 상기 공기를 순차 분사하는 것을 특징으로 하는 레이저 열전사용 필름 제거 장치.
The method of claim 3, wherein
And the spray unit sequentially sprays the air according to the position of the roller unit.
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Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3970813B2 (en) * 2002-09-05 2007-09-05 三星コーニング精密琉璃株式会社 Film removing apparatus and film removing method
KR100600881B1 (en) * 2004-10-20 2006-07-18 삼성에스디아이 주식회사 laser induced thermal imaging apparatus, laminater and laser induced thermal imaging method using the apparatus
KR100540727B1 (en) 2004-12-09 2006-01-10 신인식 Device and method for sublimation printing
KR200382817Y1 (en) 2005-01-20 2005-04-25 신인식 Sublimation warrior printer device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9315006B2 (en) 2013-10-15 2016-04-19 Samsung Display Co., Ltd. Film peeling apparatus

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