KR20110119304A - 본딩면의 바운싱 모니터링 장치, 이를 구비한 와이어 본딩 장치 및 본딩면의 바운싱 모니터링 방법 - Google Patents

본딩면의 바운싱 모니터링 장치, 이를 구비한 와이어 본딩 장치 및 본딩면의 바운싱 모니터링 방법 Download PDF

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Abstract

본딩면의 바운싱 모니터링 장치, 이를 구비한 와이어 본딩 장치 및 본딩면의 바운싱 모니터링 방법이 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 본딩시 캐필러리의 높이를 실시간 측정하는 센싱부 및 상기 실시간 측정된 캐필러리 높이로부터 본딩 진행구간 동안 캐필러리 높이의 변화율을 추출하고 설정된 기준 변화율과 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출하는 바운싱 검출부를 포함하는 본딩면의 바운싱 모니터링 장치가 제공된다.

Description

본딩면의 바운싱 모니터링 장치, 이를 구비한 와이어 본딩 장치 및 본딩면의 바운싱 모니터링 방법{Apparatus for Monitoring Bonding Surfaces Bouncing, Wire Bonding Apparatus Having The Same and Method for Monitoring Bonding Surfaces Bouncing}
본 발명은 본딩면의 바운싱 모니터링 장치, 이를 구비한 와이어 본딩 장치, 본딩면의 바운싱 모니터링 방법 및 본딩면의 바운싱을 실시간 모니터링하는 방법이 수록된 전자 장치로 판독 가능한 기록매체에 관한 것이다.
반도체 제조 공정은 크게 팹(FAB: Fabrication) 공정, 이디에스(EDS: Electronic Die Sorting), 조립(Assembly) 공정으로 구분된다. 여기서, FAB 공정은 확산 공정, 사진 공정, 식각 공정, 박막 공정으로 나뉘며, EDS 공정은 FAB 공정이 완료된 웨이퍼를 구성하고 있는 각 칩의 전기적 특성검사를 통하여 불량 여부를 판별하는 과정이고, 조립 공정은 EDS 공정에 의한 양품의 칩만 개개로 분리시켜 칩의 전기적, 물리적 특성을 지날 수 있도록 패키지 상태로 형성시켜 칩을 외부의 기계적/물리적/화학적 충격으로부터 보호하고 인쇄회로기판(PCB: Printed Circuit Board)에 실장하는 기술이다.
조립 공정은 웨이퍼의 칩을 개개로 분리하고 분리된 칩을 리드 프레임에 접착시킨다. 다음으로, 칩회로 단자의 게이트 역할을 하는 칩의 패드(Pad)와 리드 프레임(Lead Frame)의 리드 간의 전기적 접속을 위해 고순도의 금 와이어를 사용하여 캐필러리(Capillary)로 접속시키는 와이어 본딩 공정을 수행한다.
와이어 본딩 공정에서 반도체 칩(또는 다이(Die))이나 리드 프레임이 고정되지 못하여 바운싱(Bouncing)이 발생할 수 있다. 반도체 칩(또는 다이)이나 리드 프레임의 바운싱은 반도체 칩 또는 리드 프레임이 히터 블럭(Heat Block) 상에서 들떠있는(Floating) 상태를 의미한다.
이와 같은, 반도체 칩 또는 리드 프레임의 바운싱은 설비의 본딩 레벨(Bonding Level) 불안정, 리드 프레임 또는 패드의 인터액션(Interaction) 또는 본딩 파라미터의 불안정을 야기시켜 다양한 형태의 불량을 발생시키는 원인이 되고 있다.
상기의 중요성으로 인하여, 조립 업체 또는 패키징 업체는 리드 프레임 또는 패드를 고정시켜 주는 히터 블럭, 윈도우 클램프(Window Clamp)의 디자인 개선 및 정밀 제작 기술을 개발하거나, 작업 중 기종 교체시 리드 프레임 또는 패드를 티저(Teeser)로 눌러 보고 바운싱을 확인하거나, 회로 기판의 경우 히터 블럭의 진공압(Vacuum)을 모니터링하여 바운싱을 검출하는 방법을 사용하였다.
그러나, 금속 리드 프레임은 클램핑 상태가 완전하지 못하거나, 히터 블럭의 진공압을 사용할 수 없는 제품의 리드 프레임은 여전히 바운싱에 따른 품질 열화 문제가 있다.
본 발명은 실시간으로 본딩면의 바운싱 유무를 자동으로 모니터링함으로써 바운싱 발생을 감지하여 작업자에게 알려주는 본딩면의 바운싱 모니터링 장치, 이를 구비한 와이어 본딩 장치 및 본딩면의 바운싱 모니터링 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 본딩시 캐필러리의 높이를 실시간 측정하는 센싱부, 및 실시간 측정된 캐필러리 높이로부터 본딩 진행구간 동안 캐필러리 높이의 변화율을 추출하고 설정된 기준 변화율과 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출하는 바운싱 검출부를 포함하는 본딩면의 바운싱 모니터링 장치가 제공된다.
기준 변화율은 본딩 전에 재설정될 수 있다.
본딩면의 바운싱 모니터링 장치는, 바운싱 검출부에서 본딩면의 바운싱을 검출하여 외부로 본딩면의 바운싱 유무를 표시하는 표시부를 더 포함할 수 있다.
표시부는 램프 또는 알람소자가 포함될 수 있다.
센싱부는 캐필러리의 Z축 높이를 측정하는 엔코더(Encoder)로 이루어질 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 본딩시 캐필러리로부터 본딩면으로 전달되는 힘의 피드백값을 실시간 측정하는 센싱부, 본딩 진행구간 동안 실시간 측정된 피드백값의 변화율을 추출하고 설정된 기준 변화율과 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출하는 바운싱 검출부를 포함하는 본딩면의 바운싱 모니터링 장치가 제공된다.
기준 변화율은 본딩 전에 재설정될 수 있다.
본딩면의 바운싱 모니터링 장치는, 바운싱 검출부에서 본딩면의 바운싱 발생을 검출하면 외부로 표시하는 표시부를 더 포함할 수 있다.
센싱부는 압전센서로 이루어질 수 있다.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 본딩시 캐필러리의 높이를 실시간 측정하는 제1 센싱부, 본딩시 캐필러리로부터 본딩면으로 전달되는 힘의 피드백값을 실시간 측정하는 제2 센싱부,및 실시간 측정된 캐필러리 높이로부터 본딩 진행구간 동안 캐필러리 높이의 변화율을 추출하고 설정된 제1 기준 변화율과 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출하거나 또는, 실시간 측정된 피드백값으로부터 본딩 진행구간 동안 피드백값의 변화율을 추출하고 설정된 제2 기준 변화율과 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출하는 바운싱 검출부를 포함하는 본딩면의 바운싱 모니터링 장치가 제공된다.
제1 기준 변화율 및 제2 기준 변화율은 본딩 전에 재설정될 수 있다.
본딩면의 바운싱 모니터링 장치는, 바운싱 검출부에서 본딩면의 바운싱을 검출하면 외부로 표시하는 표시부를 더 포함할 수 있다.
제1 센싱부는 캐필러리의 Z축 높이를 측정하는 엔코더(Encoder)이고, 제2 센싱부는 압전센서로 이루어질 수 있다.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 본드 헤드(Bond Head)의 상부에 배치되어 본딩시 캐필러리의 높이를 실시간 측정하는 센싱부와, 실시간 측정된 캐필러리 높이로부터 본딩 진행구간 동안 캐필러리 높이의 변화율을 추출하고 설정된 기준 변화율과 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출하는 바운싱 검출부를 포함하는 본딩면의 바운싱 모니터링 장치, 및 본딩면의 바운싱을 검출하면 외부로 표시하는 표시부를 포함하는 와이어 본딩 장치가 제공된다.
기준 변화율은 본딩 전에 재설정될 수 있다.
와이어 본딩 장치는, 본딩면의 바운싱이 검출되면 와이어 본딩이 중단되도록 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 본딩시 캐필러리로부터 본딩면으로 전달되는 힘의 피드백값을 실시간 측정하는 센싱부와, 본딩 진행구간 동안 실시간 측정된 피드백값의 변화율을 추출하고 설정된 기준 변화율과 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출하는 바운싱 검출부를 포함하는 본딩면의 바운싱 모니터링 장치, 및 본딩면의 바운싱을 검출하면 외부로 표시하는 표시부를 포함하는 와이어 본딩 장치를 제공한다.
기준 변화율은 본딩 전에 재설정될 수 있다.
와이어 본딩 장치는, 본딩면의 바운싱이 검출되면 와이어 본딩이 중단되도록 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 본딩시 캐필러리의 높이를 실시간 측정하는 제1 센싱부, 본딩시 캐필러리로부터 본딩면으로 전달되는 힘의 피드백값을 실시간 측정하는 제2 센싱부와, 실시간 측정된 캐필러리 높이로부터 본딩 진행구간 동안 캐필러리 높이의 변화율을 추출하고 설정된 제1 기준 변화율과 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출하거나 또는, 실시간 측정된 피드백값으로부터 본딩 진행구간 동안 피드백값의 변화율을 추출하고 설정된 제2 기준 변화율과 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출하는 바운싱 검출부를 포함하는 본딩면의 바운싱 모니터링 장치, 및 본딩면의 바운싱을 검출하면 외부로 표시하는 표시부를 포함하는 와이어 본딩 장치를 제공한다.
제1 기준 변화율 및 제2 기준 변화율은 본딩 전에 재설정될 수 있다.
와이어 본딩 장치는, 본딩면의 바운싱이 검출되면 와이어 본딩이 중단되도록 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 와이어 본딩 시 캐필러리의 높이를 실시간 측정하는 단계, 측정된 캐필러리의 높이 중 캐필러리가 본딩면으로 하강하여 와이어가 본딩면에 접합되는 접합시작시간부터 캐필러리의 본딩면 가압이 종료되는 가압종료시간까지의 캐필러리의 높이를 추출하는 단계, 접합시작시간부터 가압종료시간까지의 캐필러리의 높이 변화율을 계산하는 단계, 및 캐필러리의 높이 변화율과 설정된 기준 변화율을 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출하는 단계를 포함하는 본딩면의 바운싱 모니터링 방법이 제공된다.
기준 변화율은 다수 개로 설정되고 본딩 시작 전에 하나가 미리 선택될 수 있다.
본딩면의 바운싱 모니터링 방법은, 본딩면의 바운싱이 검출되면 외부로 바운싱 검출을 표시하는 단계를 더 포함할 수 있다.
기준 변화율은 본딩 시작 전에 재설정될 수 있다.
본딩면의 바운싱 모니터링 방법은, 본딩면의 바운싱이 검출되면 와이어 본딩을 중단하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 와이어 본딩 시 캐필러리로부터 본딩면으로 전달되는 힘의 피드백값을 실시간 측정하는 단계, 측정된 피드백값 중 캐필러리가 본딩면으로 하강하여 와이어가 본딩면에 접합되는 접합시작시간부터 캐필러리의 본딩면 가압이 종료되는 가압종료시간까지의 피드백값을 추출하는 단계, 접합시작시간부터 가압종료시간까지의 피드백값의 변화율을 계산하는 단계, 및 피드백값의 변화율과 설정된 기준 변화율을 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출하는 단계를 포함하는 본딩면의 바운싱 모니터링 방법을 제공한다.
기준 변화율은 다수 개로 설정되고 본딩 시작 전에 하나가 미리 선택될 수 있다.
본딩면의 바운싱 모니터링 방법은, 본딩면의 바운싱이 검출되면 외부로 바운싱 검출을 표시하는 단계를 더 포함할 수 있다.
기준 변화율은 본딩 시작 전에 재설정될 수 있다.
본딩면 바운싱 모니터링 방법은, 본딩면의 바운싱이 검출되면 와이어 본딩을 중단하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 와이어 본딩 시 캐필러리의 높이와 캐필러리로부터 본딩면으로 전달되는 힘의 피드백값을 실시간 측정하는 단계, 측정된 캐필러리의 높이 중 캐필러리가 본딩면으로 하강하여 와이어가 본딩면에 접합되는 접합시작시간부터 캐필러리의 본딩면 가압이 종료되는 가압종료시간까지의 캐필러리의 높이와 피드백값을 각각 추출하는 단계, 접합시작시간부터 가압종료시간까지의 캐필러리의 높이와 피드백값의 변화율을 각각 계산하는 단계, 및 캐필러리의 높이 변화율과 설정된 제1 기준 변화율을 비교하고, 피드백값의 변화율과 설정된 제2 기준 변화율을 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출하는 단계를 포함하는 본딩면의 바운싱 모니터링 방법을 제공한다.
본딩면의 바운싱 모니터링 방법은, 와이어 본딩 시작 전에 제1 기준 변화율 및 제2 기준 변화율을 재설정하는 단계를 더 포함할 수 있다.
캐필러리의 높이 변화율과 설정된 제1 기준 변화율을 비교하고, 피드백값의 변화율과 설정된 제2 기준 변화율을 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출하는 단계는, 캐필러리의 높이 변화율이 설정된 제1 기준 변화율을 초과하는 경우 또는 피드백값의 변화율이 설정된 제2 기준 변화율을 초과하는 경우 중 어느 하나에 해당하면 본딩면 바운싱이 발생된 것으로 판단할 수 있다.
본딩면의 바운싱 모니터링 방법은, 본딩면의 바운싱이 검출되면 램프 또는 알람으로 바운싱 검출을 표시하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 본딩면의 바운싱을 실시간 모니터링하는 프로그램이 기록되고 전자 장치에서 판독 가능한 기록매체에 기록될 수 있다.
본 발명에 따르면, 실시간으로 본딩면의 바운싱 상태를 감지할 수 있고, 본딩면의 바운싱 상태 모니터링을 자동화할 수 있으며, 기존 설비에 소프트웨어적인 기능만을 추가하여 바운싱 상태의 모니터링 기능을 추가할 수 있고, 기준 변화율을 재설정함으로써 다양한 설비에 적용이 가능한 효과가 있습니다.
도 1은 본 발명의 일 측면에 따른 본딩면의 바운싱 모니터링 장치를 구비한 와이어 본딩 장치의 본드 헤드의 일 실시예를 나타낸 사시도.
도 2는 본 발명의 다른 측면에 따른 본딩면의 바운싱 모니터링 장치를 구비한 와이어 본딩 장치의 본드 헤드의 일 실시예를 나타낸 사시도.
도 3은 본 발명의 또 다른 측면에 따른 본딩면의 바운싱 모니터링 장치를 구비한 와이어 본딩 장치의 본드 헤드의 일 실시예를 나타낸 사시도.
도 4는 본 발명의 또 다른 측면에 따른 본딩면의 바운싱 모니터링 장치를 구비한 와이어 본딩 장치의 다른 실시예를 개략적으로 나타낸 측면도.
도 5는 본 발명의 또 다른 측면에 따른 본딩면의 바운싱 모니터링 방법의 일 실시예를 설명하기 위한 흐름도.
도 6은 본 발명의 또 다른 측면에 따른 본딩면의 바운싱 모니터링 방법의 다른 실시예를 설명하기 위한 흐름도.
도 7은 본 발명의 또 다른 측면에 따른 본딩면의 바운싱 모니터링 방법의 또 다른 실시예를 설명하기 위한 흐름도.
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 또 다른 측면에 따른 본딩면의 바운싱 모니터링 방법의 또 다른 실시예를 설명하기 위한 파형도.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
본 발명에 따른 본딩면의 바운싱 모니터링 장치, 이를 구비한 와이어 본딩 장치 및 본딩면의 바운싱 모니터링 방법의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다. 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 측면에 따른 본딩면의 바운싱 모니터링 장치를 구비한 와이어 본딩 장치의 본드 헤드(10)의 일 실시예를 나타낸 사시도이다.
본 실시예에 따르면, 도 1에 도시한 바와 같이, 와이어 본딩 장치의 본드 헤드(10) 상부에 배치되어 본딩시 캐필러리의 높이를 실시간 측정하는 센싱부(21)와, 실시간 측정된 캐필러리 높이로부터 본딩 진행구간 동안 캐필러리 높이의 변화율을 추출하고 설정된 기준 변화율과 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출하는 바운싱 검출부(22)를 포함하는 본딩면의 바운싱 모니터링 장치, 및 본딩면의 바운싱을 검출하면 외부로 표시하는 표시부(미도시)를 포함하는 와이어 본딩 장치가 제공된다.
와이어 본딩 장치는, 본딩면의 바운싱을 검출하는 본 발명의 일 측면에 따른 본딩면의 바운싱 모니터링 장치, 검출된 바운싱을 표시하는 표시부, 바운싱이 검출되면 와이어 본딩을 중단하도록 제어하는 제어부 및 일반적인 와이어 본딩 장치의 구성요소를 포함한다.
먼저, 일반적인 와이어 본딩 장치의 구성요소 중 본 실시예와 관련된 구성요소에 대하여 설명한다.
와이어 본딩 장치는 본드 헤드(10)에 캐필러리로 초음파를 인가하는 트랜스듀서(12), 캐필러리를 관통하는 와이어를 지지하고 와이어에 텐션(Tension)을 인가하는 와이어 클램프(11) 및 본드 아암(Bond Arm)을 구동시키는 모터(13)를 포함한다.
트랜스듀서(12) 상부에 와이어 클램프(11)가 배치될 수 있고, 와이어 클램프(11)의 제1 단부는 트랜스듀서(12)와 이격되어 배치될 수 있고, 와이어 클램프(11)의 제2 단부는 본딩 아암 상에 배치될 수 있다.
모터(13)는 캐필러리가 본딩면에 가까워지거나 멀어지도록 본드 아암을 상하로 구동시킬 수 있다.
본 발명의 일 측면에 따른 본딩면의 바운싱 모니터링 장치는 센싱부(21)와 바운싱 검출부(22)를 포함하여 구성되며, 센싱부(21)와 바운싱 검출부(22) 또는, 바운싱 검출부(22)와 와이어 본딩 장치의 제어부(미도시)는 일체로 형성될 수 있다.
센싱부(21)는, 와이어 본딩이 시작되면 캐필러리의 높이를 실시간 측정하여 저장할 수 있다. 와이어 본딩 장치는 Z축 모터(13)를 구동시켜 캐필러리를 본딩면으로 하강하고 본딩면과 접합하도록 가압한 후, 본딩이 종료되면 캐필러리를 상승시키는 방법으로 와이어 본딩을 수행할 수 있다.
센싱부(21)는 캐필러리의 Z축 높이를 측정하기 위하여 회전각 위치와 직성변위를 측정하는 디지털식 위치 센서인 엔코더(Encoder)로 이루어질 수 있다.
바운싱 검출부(22)는, 와이어 본딩 과정에서 실시간 측정된 캐필러리 높이 데이터를 이용하여 본딩 진행구간 동안 캐필러리의 높이 변화율을 산출하고 기준 변화율과 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출할 수 있다.
본딩 진행구간은 캐필러리를 관통하는 와이어가 본딩면에 접합되는 접합시각시간부터 가압을 종료하는 가압종료시간까지의 구간으로 정의될 수 있다.
바운싱 검출부(22)는 본딩 진행구간 중 일부 구간 또는 전체 구간 동안 캐필러리 높이의 평균 변화율을 산출하고 기준 변화율과 비교하여 바운싱 유무를 검출할 수 있고, 본딩 진행구간을 다수 개의 구간으로 분할하고 각 구간에서 측정된 캐필러리 높이 변화율의 평균값을 기준 변화율과 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출할 수 있고, 본딩 진행구간 중 몇 개의 샘플링된 시간의 캐필러리의 높이와 기준 변화율을 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출할 수 있다.
기준 변화율은 본딩면의 바운싱이 발생하지 않는 경우 본딩 진행구간 중 일부 구간 또는 전체 구간 동안 캐필러리 높이의 평균 변화율, 또는 본딩 진행구간을 다수 개의 구간으로 분할하고 각 구간에서 측정된 캐필러리 높이 변화율의 평균값, 또는 본딩면의 바운싱이 발생하지 않는 경우로 판단할 수 있는 샘플링된 캐필러리 높이의 변화율을 의미한다.
기준 변화율은 와이어 본딩 시작 전에 미리 설정되거나 재설정될 수 있으므로 설비 특성 및 작업 환경에 따른 다양한 인자를 반영할 수 있다.
표시부(미도시)는 본딩면의 바운싱이 검출되면 작업자에게 알려주는 기능을 하며 램프 또는 알람소자(예를 들어, Buzzer 등)로 이루어질 수 있고, 와이어 본딩 장치 외부에 부착될 수 있다.
제어부(미도시)는 본딩면의 바운싱이 검출되면 와이어 본딩 작업이 중단되도록 제어할 수 있다.
도 2는 본 발명의 다른 측면에 따른 본딩면의 바운싱 모니터링 장치를 구비한 와이어 본딩 장치의 본드 헤드(10)의 일 실시예를 나타낸 사시도이다.
본 실시예에 따르면, 도 2에 도시한 바와 같이, 와이어 본딩 장치의 본드 헤드(10) 상부에 배치되어 본딩시 캐필러리로부터 본딩면으로 전달되는 힘의 피드백값을 실시간 측정하는 센싱부(31)와, 실시간 측정된 피드백값으로부터 본딩 진행구간 동안 피드백값의 변화율을 추출하고 설정된 기준 변화율과 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출하는 바운싱 검출부(32)를 포함하는 본딩면의 바운싱 모니터링 장치, 및 본딩면의 바운싱을 검출하면 외부로 표시하는 표시부(미도시)를 포함하는 와이어 본딩 장치가 제공된다.
본 실시예에 따르면, 와이어 본딩 장치는 앞서 설명한 와이어 본딩 장치의 구성 중 본 발명의 일 측면에 따른 본딩면의 바운싱 모니터링 장치(도 1 참조)가 다른 측면에 따른 본딩면의 바운싱 모니터링 장치로 대체된 형태로 차이점을 중심으로 설명하도록 한다.
본 발명의 다른 측면에 따른 본딩면의 바운싱 모니터링 장치는 센싱부(31)와 바운싱 검출부(32)를 포함하여 구성되며, 센싱부(31)와 바운싱 검출부(32) 또는, 바운싱 검출부(32)와 와이어 본딩 장치의 제어부(미도시)는 일체로 형성될 수 있다.
센싱부(31)는, 본딩 진행구간 동안 캐필러리로부터 본딩면으로 전달되는 힘(본딩력)의 피드백값(Force Feed Back)을 실시간 측정하여 저장할 수 있다. 본딩력은 하강된 캐필러리가 본딩면을 가압하는 경우 발생하며 캐필러리가 본딩면을 가압하는 시점부터 가압을 종료하는 시점까지 본딩력이 변화될 수 있다.
센싱부(31)는 본드 헤드의 트랜스듀서(12)와 연결된 영역에 배치되고, 본딩 진행구간 동안 본딩력 또는 본딩력의 변화를 측정하는 압전센서로 이루어질 수 있다.
바운싱 검출부(32)는, 와이어 본딩 과정에서 실시간 측정된 본딩력의 피드백값을 이용하여 본딩 진행구간 동안 본딩력의 피드백값의 변화율을 산출하고 기준 변화율과 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출할 수 있다.
본딩 진행구간은 캐필러리가 본딩면을 가압하는 접합시작시간부터 가압을 종료하는 가압종료시간까지의 구간으로 정의될 수 있다.
바운싱 검출부(32)는 본딩 진행구간 중 일부 구간 또는 전체 구간 동안 본딩력의 피드백값의 평균 변화율을 산출하고 기준 변화율과 비교하여 바운싱 유무를 검출할 수 있고, 본딩 진행구간을 다수 개의 구간으로 분할하고 각 구간에서 측정된 본딩력의 피드백값의 변화율의 평균값을 기준 변화율과 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출할 수 있고, 본딩 진행구간 중 몇 개의 샘플링된 시간의 본딩력의 피드백값과 기준 피드백값을 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출할 수 있다.
기준 변화율은 본딩면의 바운싱이 발생하지 않는 경우 본딩 진행구간 중 일부 구간 또는 전체 구간 동안 본딩력의 피드백값의 평균 변화율, 본딩 진행구간을 다수 개의 구간으로 분할하고 각 구간에서 측정된 본딩력의 피드백값의 변화율의 평균값, 또는 본딩면의 바운싱이 발생하지 않는 경우로 판단될 수 있는 샘플링된 피드백값의 차이를 의미한다.
기준 변화율은 와이어 본딩 시작 전에 미리 설정되거나 재설정될 수 있으므로 설비 특성 및 작업 환경에 따른 다양한 인자를 반영할 수 있다.
표시부(미도시)는 본딩면의 바운싱이 검출되면 작업자에게 알려주는 기능을 하며 램프 또는 알람소자(예를 들어, Buzzer 등)로 이루어질 수 있고, 와이어 본딩 장치 외부에 부착될 수 있다.
제어부(미도시)는 본딩면의 바운싱이 검출되면 와이어 본딩 작업이 중단되도록 제어할 수 있다.
도 3은 본 발명의 또 다른 측면에 따른 본딩면의 바운싱 모니터링 장치를 구비한 와이어 본딩 장치의 본드 헤드(10)의 일 실시예를 나타낸 사시도이고, 도 4는 본 발명의 또 다른 측면에 따른 본딩면의 바운싱 모니터링 장치를 구비한 와이어 본딩 장치의 다른 실시예를 개략적으로 나타낸 측면도이다.
본 실시예에 따르면, 도 3에 도시한 바와 같이, 와이어 본딩 장치의 본드 헤드(10) 상부에 배치되어 본딩시 캐필러리의 높이를 실시간 측정하는 제1 센싱부(41)와, 와이어 본딩 장치의 본드 헤드(10) 상부에 배치되어 본딩시 캐필러리로부터 본딩면으로 전달되는 힘(본딩력)의 피드백값을 실시간 측정하는 제2 센싱부(42)와, 실시간 측정된 캐필러리 높이와 피드백값으로부터 본딩 진행구간 동안 캐필러리 높이의 변화율과 피드백값의 변화율을 추출하고 설정된 제1, 제2 기준 변화율과 각각 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출하는 바운싱 검출부(43)를 포함하는 본딩면의 바운싱 모니터링 장치, 및 본딩면의 바운싱을 검출하면 외부로 표시하는 표시부(미도시)를 포함하는 와이어 본딩 장치가 제공된다.
본 실시예에 따르면, 와이어 본딩 장치는 앞서 설명한 와이어 본딩 장치의 구성 중 본 발명의 다른 측면에 따른 본딩면의 바운싱 모니터링 장치(도 2 참조)가 또 다른 측면에 따른 본딩면의 바운싱 모니터링 장치로 대체된 형태로 차이점을 중심으로 설명하도록 한다.
본 발명의 또 다른 측면에 따른 본딩면의 바운싱 모니터링 장치는 제1 센싱부(41), 제2 센싱부(42)와 바운싱 검출부(43)를 포함하여 구성되며, 바운싱 검출부(43)는 와이어 본딩 장치의 제어부(미도시)와 일체로 형성될 수 있다.
제1 센싱부(41)는, 와이어 본딩이 시작되면 캐필러리의 높이를 실시간 측정하여 저장하고, 제2 센싱부(42)는, 본딩 진행구간 동안 캐필러리로부터 본딩면으로 전달되는 힘(본딩력)의 피드백값(Force Feed Back)을 실시간 측정하여 저장할 수 있다.
제1 센싱부(41)는 캐필러리의 Z축 높이를 측정하기 위하여 회전각 위치와 직성변위를 측정하는 디지털식 위치 센서인 엔코더(Encoder)로 이루어질 수 있고, 제2 센싱부(42)는 본드 헤드의 트랜스듀서(12)와 연결된 영역에 배치되고 본딩 진행구간 동안 본딩력 또는 본딩력의 변화를 측정하는 압전센서로 이루어질 수 있다.
바운싱 검출부(43)는, 와이어 본딩 과정에서 실시간 측정된 캐필러리 높이, 본딩력의 피드백값(Force Feed Back)을 이용하여 본딩 진행구간 동안 캐필러리의 높이 변화율을 산출하고 제1, 제2 기준 변화율과 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출할 수 있다.
본딩 진행구간은 캐필러리를 관통하는 와이어가 본딩면에 접합되는 접합시각시간부터 가압을 종료하는 가압종료시간까지의 구간으로 정의될 수 있다.
바운싱 검출부(43)는 본딩 진행구간 중 일부 구간 또는 전체 구간 동안 캐필러리 높이 및 본딩력의 피드백값의 평균 변화율을 산출하고 제1, 제2 기준 변화율과 각각 비교하여 바운싱 유무를 검출할 수 있다.
또한, 바운싱 검출부(43)는 본딩 진행구간을 다수 개의 구간으로 분할하고 각 구간에서 측정된 캐필러리 높이 및 본딩력의 피드백값의 변화율의 평균값을 제1, 제2 기준 변화율과 각각 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출할 수 있다.
또한, 바운싱 검출부(43)는 본딩 진행구간 중 몇 개의 샘플링된 시간의 캐필러리의 높이 및 본딩력의 피드백값과 제1, 제2 기준 변화율을 각각 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출할 수 있다.
상기의 바운싱 유무 검출 방법 이외에, 실시간 측정된 캐필러리 높이 및 본딩력의 피드백값을 파형으로 나타내고 바운싱이 발생하지 않은 경우의 파형과 비교하여 바운싱 유무를 검출할 수 있다.
제1 기준 변화율은 본딩면의 바운싱이 발생하지 않는 경우 본딩 진행구간 중 일부 구간 또는 전체 구간 동안 캐필러리 높이의 평균 변화율, 또는 본딩 진행구간을 다수 개의 구간으로 분할하고 각 구간에서 측정된 캐필러리 높이 변화율의 평균값, 또는 본딩면의 바운싱이 발생하지 않는 경우로 판단할 수 있는 샘플링된 캐필러리 높이의 변화율을 의미한다.
제2 기준 변화율은 본딩면의 바운싱이 발생하지 않는 경우 본딩 진행구간 중 일부 구간 또는 전체 구간 동안 본딩력의 피드백값의 평균 변화율, 본딩 진행구간을 다수 개의 구간으로 분할하고 각 구간에서 측정된 본딩력의 피드백값의 변화율의 평균값, 또는 본딩면의 바운싱이 발생하지 않는 경우로 판단될 수 있는 샘플링된 피드백값의 차이를 의미한다.
제1 및 제2 기준 변화율은 와이어 본딩 시작 전에 미리 설정되거나 재설정될 수 있으므로 설비 특성 및 작업 환경에 따른 다양한 인자를 반영할 수 있다.
제1 기준 변화율 또는 제2 기준 변화율은 본딩면의 바운싱이 발생하지 않은 경우의 캐필러리의 높이 및 본딩력의 피드백값과의 차이에 따라 다수개 설정할 수 있으며, 표시부는 측정값과 기준 변화율과의 차이에 따라 바운싱 경고 단계, 바운싱 검출단계 등으로 나타낼 수 있다.
바운싱 검출부(43)는 추출된 캐필러리 높이의 변화율이 제1 기준 변화율을 초과하는 경우 또는 추출된 본딩력의 피드백값의 변화율이 제2 기준 변화율을 초과하는 경우 중 어느 하나에 해당되면 본딩면의 바운싱이 발생된 것으로 검출할 수 있다.
본 발명의 또 다른 측면에 따른 본딩면의 바운싱 모니터링 장치를 구비한 와이어 본딩 장치의 제2 센서부(42)는, 도 4에 도시한 바와 같이, 트랜스듀서(12)와 본딩 아암이 연결된 부분에 배치될 수 있다.
도 5는 본 발명의 또 다른 측면에 따른 본딩면의 바운싱 모니터링 방법의 일 실시예를 설명하기 위한 흐름도이다.
본 실시예에 따르면, 본딩면의 바운싱 모니터링 방법은 와이어 본딩 시 캐필러리의 높이를 실시간 측정하고(S510), 접합시작시간부터 가압종료시간까지 캐필러리의 높이를 추출하고(S520), 추출된 구간의 캐필러리의 높이 변화율을 계산하고(S630), 기준 변화율과 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출할 수 있다(S540).
와이어 본딩 시 캐필러리의 높이 측정(S510)은 회전각 위치와 직성변위를 측정하는 디지털식 위치 센서인 엔코더(Encoder)로 사용하여 측정할 수 있으며, 다양한 센서를 사용하여 캐필러리의 높이를 측정할 수 있다.
캐필러리의 높이를 측정하는 센서는 와이어 본딩 장치에 부착될 수 있으며, 캐필러리의 위치를 쉽게 감지할 수 있는 와이어 본딩 장치의 본드 헤드 상부에 배치되는 것이 바람직하다.
캐필러리 높이 추출은(S520), 실시간 측정된 캐필러리의 높이 중 캐필러리가 본딩면으로 하강하여 와이어가 본딩면에 접합되는 접합시작시간부터 캐필러리의 본딩면 가압이 종료되는 가압종료시간까지(본딩 진행구간) 구간의 캐필러리 높이, 본딩 진행구간 중 특정 구간 또는 샘플링된 시간의 캐필러리 높이가 추출될 수 있다.
추출된 캐필러리 높이에 대한 변화율 계산은(S530), 접합시작시간의 캐필러리 높이와 가압종료시간의 캐필러리 높이의 평균 변화율, 본딩 진행구간 중 특정구간의 평균 변화율, 본딩 진행구간을 다수의 구간으로 분할하고 각 구간의 캐필러리 높이의 변화율의 평균값 또는 샘플링된 시간의 캐필러리 높이의 차이로 계산할 수 있다.
다음으로, 산출된 캐필러리 높이에 대한 변화율과 기준 변화율을 비교하고 산출된 캐필러리 높이에 대한 변화율이 기준 변화율을 초과하는 경우 본딩면의 바운싱이 발생한 것으로 검출할 수 있다(S540).
기준 변화율은 본딩면의 바운싱이 발생하지 않는 경우 본딩 진행구간 중 일부 구간 또는 전체 구간 동안 캐필러리 높이의 평균 변화율, 또는 본딩 진행구간을 다수 개의 구간으로 분할하고 각 구간에서 측정된 캐필러리 높이 변화율의 평균값, 또는 본딩면의 바운싱이 발생하지 않는 경우로 판단할 수 있는 샘플링된 캐필러리 높이의 변화율을 의미한다.
기준 변화율은 다수 개로 설정되고 와이어 본딩 시작 전에 미리 선택될 수 있고, 와이어 본딩이 새로 시작되는 경우 와이어 본딩 시작 전에 재설정될 수 있다.
본딩면의 바운싱이 검출되면 외부로 바운싱 검출을 표시할 수 있고 와이어 본딩을 중단할 수 있다.
도 6은 본 발명의 또 다른 측면에 따른 본딩면의 바운싱 모니터링 방법의 다른 실시예를 설명하기 위한 흐름도이다.
본 실시예에 따르면, 본딩면의 바운싱 모니터링 방법은 본딩력의 피드백값(Force Feed Back)을 실시간 측정하고(S610), 접합시작시간부터 가압종료시간까지 본딩력의 피드백값을 추출하고(S620), 추출된 구간의 피드백값의 변화율을 계산하고(S630), 기준 변화율과 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출할 수 있다(S640).
와이어 본딩 시 본딩력의 피드백값 측정은(S610), 트랜스듀서와 연결된 본드 헤드 영역에 배치되고 본딩력 또는 본딩력의 변화를 측정하는 압전센서를 사용하여 수행할 수 있다.
본딩력은 하강된 캐필러리가 본딩면을 가압하는 경우 발생하며 캐필러리가 본딩면을 가압하는 시점부터 가압을 종료하는 시점까지 본딩력이 변화될 수 있으므로, 본딩력의 피드백값의 변화율을 이용하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출할 수 있다.
본딩력의 피드백값을 추출은(S620), 실시간 측정된 피드백값 중 접합시작시간부터 가압종료시간까지(본딩 진행구간) 구간의 피드백값, 본딩 진행구간 중 특정 구간의 피드백값 또는 본딩 진행구간 중 샘플링된 시간의 피드백값이 추출될 수 있다.
추출된 구간의 피드백값의 변화율을 계산은(S630), 접합시작시간의 본딩력의 피드백값과 가압종료시간의 본딩력의 피드백값의 평균 변화율, 본딩 진행구간 중 특정구간의 본딩력의 피드백값의 평균 변화율, 본딩 진행구간을 다수의 구간으로 분할하고 각 구간의 본딩력의 피드백값의 변화율의 평균값 또는 샘플링된 시간의 본딩력의 피드백값의 차이로 계산할 수 있다.
다음으로, 산출된 피드백값의 변화율과 기준 변화율을 비교하고 산출된 피드백값의 변화율이 기준 변화율을 초과하는 경우 본딩면의 바운싱이 발생한 것으로 검출할 수 있다(S640).
기준 변화율은 본딩면의 바운싱이 발생하지 않는 경우 본딩 진행구간 중 일부 구간 또는 전체 구간 동안 본딩력의 피드백값의 평균 변화율, 본딩 진행구간을 다수 개의 구간으로 분할하고 각 구간에서 측정된 본딩력의 피드백값의 변화율의 평균값, 또는 본딩면의 바운싱이 발생하지 않는 경우로 판단될 수 있는 샘플링된 피드백값의 차이를 의미한다.
기준 변화율은 다수 개로 설정되고 와이어 본딩 시작 전에 미리 선택될 수 있고, 와이어 본딩이 새로 시작되는 경우 와이어 본딩 시작 전에 재설정될 수 있다.
본딩면의 바운싱이 검출되면 램프 또는 알람소자(예를 들어, Buzzer 등)를 통해 표시할 수 있고, 와이어 본딩 작업이 중단되도록 제어할 수 있다.
도 7은 본 발명의 또 다른 측면에 따른 본딩면의 바운싱 모니터링 방법의 또 다른 실시예를 설명하기 위한 흐름도이고, 도 8a 및 도 8b는 본 발명의 또 다른 측면에 따른 본딩면의 바운싱 모니터링 방법의 또 다른 실시예를 설명하기 위한 파형도이다.
본 실시예에 따르면, 본딩면의 바운싱 모니터링 방법은 와이어 본딩 시작 전에 제1, 제2 기준 변화율을 재설정하고(S710), 캐필러리의 높이와 본딩력의 피드백값(Force Feed Back)을 실시간 측정하고(S710), 접합시작시간부터 가압종료시간까지 캐필러리 높이와 본딩력의 피드백값을 추출하고(S720), 추출된 구간의 캐필러리 높이와 피드백값의 변화율을 계산하고(S730), 설정된 제1, 제2 기준 변화율과 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출할 수 있다(S740).
본 실시예의 경우, 캐필러리의 높이와 본딩력의 피드백값(Force Feed Back)을 실시간 측정하고(S710), 접합시작시간부터 가압종료시간까지 캐필러리 높이와 본딩력의 피드백값을 추출하고(S720), 추출된 구간의 캐필러리 높이와 피드백값의 변화율을 계산하는(S730) 내용은 앞서 서술한 바와 같으며(도 5 및 도 6 참조), 차이점을 중심으로 설명한다.
와이어 본딩 시작 전에 제1, 제2 기준 변화율을 재설정은(S710), 작업 설비의 종류 또는 작업 환경에 따라 바운싱 발생 기준을 상이하게 적용하기 위한 것으로, 제1, 제2 기준 변화율은 각각 다수의 값으로 설정될 수 있다.
본딩면의 바운싱 유무를 검출은(S740), 계산된 캐필러리 높이 변화율과 본딩력 피드백값 변화율을 제1, 제2 기준 변화율과 각각 비교하여 결정될 수 있다.
예를 들어, 계산된 캐필러리의 높이 변화율이 제1 기준 변화율을 초과하거나 또는, 계산된 본딩력 피드백값의 변화율이 제2 기준 변화율을 초과하는 경우 본딩면의 바운싱 발생을 검출할 수 있다.
또한, 계산된 캐필러리의 높이 변화율이 제1 기준 변화율을 초과하고 계산된 본딩력 피드백값의 변화율이 제2 기준 변화율을 초과한 경우에만 본딩면의 바운싱이 발생한 것으로 검출할 수 있다.
도 8a는 본 발명의 또 다른 측면에 따른 본딩면의 바운싱 모니터링 방법의 또 다른 실시예를 설명하기 위하여, 본딩면의 바운싱이 발생하지 않은 경우 캐필러리 높이(A1), 인가된 초음파 크기(B1), 본딩력의 피드백값(C1)을 실시간 모니터링한 파형이고, 도 8b는 본딩면의 바운싱이 발생한 경우 캐필러리 높이(A2), 인가된 초음파 크기(B2), 본딩력의 피드백값(C2)을 실시간 모니터링한 파형으로, 캐필러리 높이, 초음파 크기, 본딩력의 피드백값을 표준화하여 나타낸 것이다.
본딩면의 바운싱이 발생하지 않은 경우, 도 8a의 A1에 도시한 바와 같이, 접합시작시간(S)부터 가압종료시간(E)까지 구간의 캐필러리 높이 변화율이 매우 작은 것을 확인할 수 있다.
반면, 본딩면의 바운싱이 발생한 경우, 도 8b의 A2에 도시한 바와 같이, 접합시작시간(S)부터 가압종료시간(E)까지 구간의 캐필러리 높이 변화율이 매우 큰 것을 확인할 수 있다.
또한, 본딩면의 바운싱이 발생하지 않은 경우, 도 8a의 C1에 도시한 바와 같이, 접합시작시간(S)부터 가압종료시간(E)까지 구간의 본딩력의 피드백값의 변화율이 안정화되는 파형을 확인할 수 있다.
반면, 본딩면의 바운싱이 발생한 경우, 도 8b의 C2에 도시한 바와 같이, 접합시작시간(S)부터 가압종료시간(E)까지 구간의 본딩력의 피드백값의 변화율이 계속 변동되는 것을 확인할 수 있다.
제1, 제2 기준 변화율은 바운싱이 발생하지 않는 경우 캐필러리 높이 및 피드백값 변화율을 실험적으로 산출한 값으로 설정할 수 있다.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 본딩면의 바운싱을 실시간 모니터링하는 프로그램이 기록되고 전자 장치에서 판독 가능한 기록매체에 기록될 수 있다.
본딩면의 바운싱을 실시간 모니터링하는 방법은 컴퓨터 프로그램으로 작성 가능하며, 프로그램을 구성하는 코드들 및 코드 세그먼트들은 당해 분야의 컴퓨터 프로그래머에 의하여 용이하게 추론될 수 있다.
또한, 본딩면의 바운싱을 실시간 모니터링하는 방법에 관한 프로그램은 컴퓨터가 읽을 수 있는 정보저장매체(Computer Readable Media)에 저장되고, 컴퓨터에 의하여 읽혀지고 실행됨으로써 와이어 본딩 시 본딩면의 바운싱을 실시간 모니터링할 수 있다.
10: 본드 헤드
11: 와이어 클램프
12: 트랜스튜서
13: 모터
14: 캐필러리
21, 31: 센싱부
22, 32, 43: 바운싱 검출부
41: 제1 센싱부
42: 제2 센싱부

Claims (37)

  1. 본딩시 캐필러리의 높이를 실시간 측정하는 센싱부; 및
    상기 실시간 측정된 캐필러리 높이로부터 본딩 진행구간 동안 캐필러리 높이의 변화율을 추출하고 설정된 기준 변화율과 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출하는 바운싱 검출부;를 포함하는 본딩면의 바운싱 모니터링 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기준 변화율은 본딩 전에 재설정될 수 있는 본딩면의 바운싱 모니터링 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 바운싱 검출부에서 본딩면의 바운싱을 검출하여 외부로 본딩면의 바운싱 유무를 표시하는 표시부를 더 포함하는 본딩면의 바운싱 모니터링 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 표시부는 램프 또는 알람소자를 포함하는 본딩면의 바운싱 모니터링 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 센싱부는 캐필러리의 Z축 높이를 측정하는 엔코더(Encoder)인 것을 특징으로 하는 본딩면의 바운싱 모니터링 장치.
  6. 본딩시 캐필러리로부터 본딩면으로 전달되는 힘의 피드백값을 실시간 측정하는 센싱부;
    본딩 진행구간 동안 상기 실시간 측정된 피드백값의 변화율을 추출하고 설정된 기준 변화율과 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출하는 바운싱 검출부;를 포함하는 본딩면의 바운싱 모니터링 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 기준 변화율은 본딩 전에 재설정될 수 있는 본딩면의 바운싱 모니터링 장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 바운싱 검출부에서 본딩면의 바운싱 발생을 검출하면 외부로 표시하는 표시부를 더 포함하는 본딩면의 바운싱 모니터링 장치.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 센싱부는 압전센서인 것을 특징으로 하는 본딩면의 바운싱 모니터링 장치.
  10. 본딩시 캐필러리의 높이를 실시간 측정하는 제1 센싱부;
    본딩시 캐필러리로부터 본딩면으로 전달되는 힘의 피드백값을 실시간 측정하는 제2 센싱부; 및
    상기 실시간 측정된 캐필러리 높이로부터 본딩 진행구간 동안 캐필러리 높이의 변화율을 추출하고 설정된 제1 기준 변화율과 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출하거나 또는, 상기 실시간 측정된 피드백값으로부터 본딩 진행구간 동안 피드백값의 변화율을 추출하고 설정된 제2 기준 변화율과 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출하는 바운싱 검출부;를 포함하는 본딩면의 바운싱 모니터링 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 제1 기준 변화율 및 제2 기준 변화율은 본딩 전에 재설정될 수 있는 본딩면의 바운싱 모니터링 장치.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 바운싱 검출부에서 본딩면의 바운싱을 검출하면 외부로 표시하는 표시부를 더 포함하는 본딩면의 바운싱 모니터링 장치.
  13. 제10항에 있어서,
    상기 제1 센싱부는 캐필러리의 Z축 높이를 측정하는 엔코더(Encoder)이고, 상기 제2 센싱부는 압전센서인 것을 특징으로 하는 본딩면의 바운싱 모니터링 장치.
  14. 본드 헤드(Bond Head)의 상부에 배치되어 본딩시 캐필러리의 높이를 실시간 측정하는 센싱부와, 상기 실시간 측정된 캐필러리 높이로부터 본딩 진행구간 동안 캐필러리 높이의 변화율을 추출하고 설정된 기준 변화율과 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출하는 바운싱 검출부를 포함하는 본딩면의 바운싱 모니터링 장치; 및
    상기 본딩면의 바운싱을 검출하면 외부로 표시하는 표시부;를 포함하는 와이어 본딩 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 기준 변화율은 본딩 전에 재설정될 수 있는 와이어 본딩 장치.
  16. 제14항에 있어서,
    상기 본딩면의 바운싱이 검출되면 와이어 본딩이 중단되도록 제어하는 제어부;를 더 포함하는 와이어 본딩 장치.
  17. 본딩시 캐필러리로부터 본딩면으로 전달되는 힘의 피드백값을 실시간 측정하는 센싱부와, 본딩 진행구간 동안 상기 실시간 측정된 피드백값의 변화율을 추출하고 설정된 기준 변화율과 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출하는 바운싱 검출부를 포함하는 본딩면의 바운싱 모니터링 장치; 및
    상기 본딩면의 바운싱을 검출하면 외부로 표시하는 표시부;를 포함하는 와이어 본딩 장치.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 기준 변화율은 본딩 전에 재설정될 수 있는 와이어 본딩 장치.
  19. 제17항에 있어서,
    상기 본딩면의 바운싱이 검출되면 와이어 본딩이 중단되도록 제어하는 제어부;를 더 포함하는 와이어 본딩 장치.
  20. 본딩시 캐필러리의 높이를 실시간 측정하는 제1 센싱부, 본딩시 캐필러리로부터 본딩면으로 전달되는 힘의 피드백값을 실시간 측정하는 제2 센싱부와, 상기 실시간 측정된 캐필러리 높이로부터 본딩 진행구간 동안 캐필러리 높이의 변화율을 추출하고 설정된 제1 기준 변화율과 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출하거나 또는, 상기 실시간 측정된 피드백값으로부터 본딩 진행구간 동안 피드백값의 변화율을 추출하고 설정된 제2 기준 변화율과 비교하여 본딩면의 바운싱 유무를 검출하는 바운싱 검출부를 포함하는 본딩면의 바운싱 모니터링 장치; 및
    상기 본딩면의 바운싱을 검출하면 외부로 표시하는 표시부;를 포함하는 와이어 본딩 장치.
  21. 제20항에 있어서,
    상기 제1 기준 변화율 및 제2 기준 변화율은 본딩 전에 재설정될 수 있는 와이어 본딩 장치.
  22. 제20항에 있어서,
    상기 본딩면의 바운싱이 검출되면 와이어 본딩이 중단되도록 제어하는 제어부;를 더 포함하는 와이어 본딩 장치.
  23. 와이어 본딩 시 캐필러리의 높이를 실시간 측정하는 단계;
    상기 측정된 캐필러리의 높이 중 캐필러리가 본딩면으로 하강하여 와이어가 본딩면에 접합되는 접합시작시간부터 상기 캐필러리의 본딩면 가압이 종료되는 가압종료시간까지의 캐필러리의 높이를 추출하는 단계;
    상기 접합시작시간부터 가압종료시간까지의 캐필러리의 높이 변화율을 계산하는 단계; 및
    상기 캐필러리의 높이 변화율과 설정된 기준 변화율을 비교하여 상기 본딩면의 바운싱 유무를 검출하는 단계;를 포함하는 본딩면의 바운싱 모니터링 방법.
  24. 제23항에 있어서,
    상기 기준 변화율은 다수 개로 설정되고 본딩 시작 전에 하나가 미리 선택되는 것을 특징으로 하는 본딩면의 바운싱 모니터링 방법.
  25. 제23항에 있어서,
    상기 본딩면의 바운싱이 검출되면 외부로 바운싱 검출을 표시하는 단계;를 더 포함하는 본딩면의 바운싱 모니터링 방법.
  26. 제23항에 있어서,
    상기 기준 변화율은 본딩 시작 전에 재설정되는 본딩면의 바운싱 모니터링 방법.
  27. 제23항에 있어서,
    상기 본딩면의 바운싱이 검출되면 와이어 본딩을 중단하는 단계;를 더 포함하는 본딩면 바운싱 모니터링 방법.
  28. 와이어 본딩 시 캐필러리로부터 본딩면으로 전달되는 힘의 피드백값을 실시간 측정하는 단계;
    상기 측정된 피드백값 중 캐필러리가 본딩면으로 하강하여 와이어가 본딩면에 접합되는 접합시작시간부터 상기 캐필러리의 본딩면 가압이 종료되는 가압종료시간까지의 피드백값을 추출하는 단계;
    상기 접합시작시간부터 가압종료시간까지의 피드백값의 변화율을 계산하는 단계; 및
    상기 피드백값의 변화율과 설정된 기준 변화율을 비교하여 상기 본딩면의 바운싱 유무를 검출하는 단계;를 포함하는 본딩면의 바운싱 모니터링 방법.
  29. 제28항에 있어서,
    상기 기준 변화율은 다수 개로 설정되고 본딩 시작 전에 하나가 미리 선택되는 것을 특징으로 하는 본딩면의 바운싱 모니터링 방법.
  30. 제28항에 있어서,
    상기 본딩면의 바운싱이 검출되면 외부로 바운싱 검출을 표시하는 단계;를 더 포함하는 본딩면의 바운싱 모니터링 방법.
  31. 제28항에 있어서,
    상기 기준 변화율은 본딩 시작 전에 재설정되는 본딩면의 바운싱 모니터링 방법.
  32. 제28항에 있어서,
    상기 본딩면의 바운싱이 검출되면 와이어 본딩을 중단하는 단계;를 더 포함하는 본딩면 바운싱 모니터링 방법.
  33. 와이어 본딩 시 캐필러리의 높이와 캐필러리로부터 본딩면으로 전달되는 힘의 피드백값을 실시간 측정하는 단계;
    상기 측정된 캐필러리의 높이 중 캐필러리가 본딩면으로 하강하여 와이어가 본딩면에 접합되는 접합시작시간부터 상기 캐필러리의 본딩면 가압이 종료되는 가압종료시간까지의 캐필러리의 높이와 피드백값을 각각 추출하는 단계;
    상기 접합시작시간부터 가압종료시간까지의 캐필러리의 높이와 피드백값의 변화율을 각각 계산하는 단계; 및
    상기 캐필러리의 높이 변화율과 설정된 제1 기준 변화율을 비교하고, 상기 피드백값의 변화율과 설정된 제2 기준 변화율을 비교하여 상기 본딩면의 바운싱 유무를 검출하는 단계;를 포함하는 본딩면의 바운싱 모니터링 방법.
  34. 제33항에 있어서,
    와이어 본딩 시작 전에 제1 기준 변화율 및 제2 기준 변화율을 재설정하는 단계;를 더 포함하는 본딩면의 바운싱 모니터링 방법.
  35. 제33항에 있어서,
    상기 캐필러리의 높이 변화율과 설정된 제1 기준 변화율을 비교하고, 상기 피드백값의 변화율과 설정된 제2 기준 변화율을 비교하여 상기 본딩면의 바운싱 유무를 검출하는 단계는,
    상기 캐필러리의 높이 변화율이 설정된 제1 기준 변화율을 초과하는 경우 또는 상기 피드백값의 변화율이 설정된 제2 기준 변화율을 초과하는 경우 중 어느 하나에 해당하면 상기 본딩면 바운싱이 발생된 것으로 판단하는 본딩면의 바운싱 모니터링 방법.
  36. 제33항에 있어서,
    상기 본딩면의 바운싱이 검출되면 램프 또는 알람으로 바운싱 검출을 표시하는 단계;를 더 포함하는 본딩면의 바운싱 모니터링 방법.
  37. 제23항 내지 제36항 중 어느 한 항에 있어서, 본딩면의 바운싱을 실시간 모니터링하는 프로그램이 기록되고 전자 장치에서 판독 가능한 기록매체.
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