KR20110117445A - Sealant curing apparatus and method for controling thereof - Google Patents
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Abstract
본 발명은 실런트 경화장치 및 실런트 경화장치 제어방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 실런트 경화 장치는 챔버, 챔버 내측에 설치되며 기판이 안착되는 기판 스테이지, 서로 다른 경로를 따라 전원이 공급되는 복수개의 엘이디 모듈을 구비하여 기판 스테이지 방향으로 광을 조사하는 노광부 그리고 복수개의 엘이디 모듈의 점멸을 제어하는 제어부를 구비하는 것으로, 본 발명에 따른 실런트 경화장치와 실런트 경과장치 제어방법은 마스크를 사용하여 자외선 조사가 필요없는 부분의 엘이디 모듈은 소등하여 전력 소비를 줄이고 엘이디 교체 주기를 연장하는 효과가 있다. 또한 엘이디 모듈을 실런트의 패턴과 대응되도록 점등하여 불필요한 에너지 소비를 줄임과 동시에 마스크를 사용하지 않고 실런트 경화 공정을 수행할 수 있는 효과가 있다. 또한 복수개 의 엘이디 모듈 중 정상적으로 작동하지 않는 모듈을 감지하여 엘이디 모듈의 고장 진단을 실시간으로 할 수 있다.The present invention relates to a sealant curing apparatus and a method for controlling the sealant curing apparatus. The sealant curing apparatus according to the present invention includes a chamber, a substrate stage installed inside the chamber, and a plurality of LEDs supplied with power along different paths. And a control unit for controlling the blinking of the plurality of LED modules and an exposure unit for irradiating light toward the substrate stage in the direction of the substrate stage. LED modules in parts that do not require LEDs are turned off to reduce power consumption and extend the LED replacement cycle. In addition, the LED module is turned on so as to correspond to the sealant pattern, thereby reducing unnecessary energy consumption and performing a sealant curing process without using a mask. In addition, by detecting a module that does not operate normally among a plurality of LED modules, it is possible to diagnose the failure of the LED module in real time.
Description
본 발명은 실런트 경화장치 및 경화장치 제어방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 액정표지장치(LCD:Liquid Crystal Display)를 형성하는 두 패널의 합착을 위하여 도포된 실런트를 경화하기 위한 실런트 경화장치 및 실런트 경화장치 제어방법에 관한 것이다.The present invention relates to a sealant curing device and a method for controlling the curing device, and more particularly, a sealant curing device and a sealant for curing a coated sealant for bonding two panels forming a liquid crystal display (LCD). It relates to a curing apparatus control method.
일반적으로 액정표시장치(LCD:liquid crystal display)는 전 공정에서 제조된 TFT 기판과 컬러필터 기판에 실런트와 액정을 도포하여 정열하고 합착시켜 제조된다. 이때 두 기판의 합착을 위하여 사용되는 실런트는 기판의 가장자리를 따라 도포되어 합착된 기판 내의 액정이 외부로 누출되지 않도록 기판을 밀봉시키는 역할을 한다. In general, a liquid crystal display (LCD) is manufactured by arranging and bonding a sealant and a liquid crystal to a TFT substrate and a color filter substrate manufactured in the previous process. At this time, the sealant used for bonding the two substrates is applied along the edge of the substrate to seal the substrate so that the liquid crystal in the bonded substrate does not leak to the outside.
한편, 두 기판 사이의 실런트를 경화시키는 방법에는 열 경화방법과 자외선 경화방법이 있다. 이 중 자외선 경화방법에는 자외선을 조사하는 자외선 광원이 사용되며, 자외선 조사 광원으로는 메탈 할라이드 램프(Metal Halide Lamp)가 일반적으로 사용된다. 그러나 메탈 할라이드 램프는 수은을 함유하고 있으며 오존 발생 등 환경적인 문제점과 수명이 짧다는 문제점을 내포하고 있다.
On the other hand, there is a method of curing the sealant between the two substrates there is a heat curing method and an ultraviolet curing method. Among them, an ultraviolet light source for irradiating ultraviolet rays is used for the ultraviolet curing method, and a metal halide lamp is generally used as the ultraviolet light irradiation source. However, metal halide lamps contain mercury and have environmental problems such as ozone generation and short lifespan.
본 발명의 목적은 빛의 직진성이 강하며, 수명이 길고, 소비전력은 낮은 엘이디(LED: Light Emitting Diode)를 자외선 조사 광원으로 사용하여 실런트를 경화시킬 수 있도록 하는 실런트 경화장치를 제공하기 위한 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a sealant curing apparatus that can harden a sealant by using a light emitting diode (LED) as an ultraviolet irradiation light source having a strong straightness, a long lifetime, and low power consumption. .
본 발명의 다른 목적은 노광부에 설치된 복수개의 엘이디 소자 중 실런트의 위치에 대응되는 엘이디 모듈이 점등되도록 제어하여 소비 전력을 줄이고, 광원의 교체주기를 연장하는 실런트 경화장치 및 실런트 경화장치 제어방법을 제공하기 위한 것이다.Another object of the present invention is to control the LED module corresponding to the position of the sealant of the plurality of LED elements installed in the exposure unit is turned on to reduce the power consumption, the sealant curing device and the sealant curing device control method for extending the replacement cycle of the light source It is to provide.
본 발명의 또 다른 목적은 노광부에 설치된 복수개의 엘이디 소자 중 이상이 있는 엘이디 소자를 검출하는 실런트 경화장치 및 실런트 경화장치 제어방법을 제공하기 위한 것이다.Still another object of the present invention is to provide a sealant curing apparatus and a sealant curing apparatus control method for detecting an LED element having an abnormality among a plurality of LED elements installed in the exposure unit.
상기 과제를 해결하기 위해 본 발명에 따른 실런트 경화장치는 챔버, 상기 챔버의 내측에 설치되며 기판이 안착되는 기판 스테이지, 서로 다른 경로를 따라 전원이 공급되는 복수개의 엘이디 모듈을 구비하여, 상기 기판 스테이지 방향으로 광을 조사하는 노광부 그리고 상기 복수개의 엘이디 모듈의 점멸을 제어하는 제어부를 포함하여 구성된다.In order to solve the above problems, the sealant curing apparatus according to the present invention includes a chamber, a substrate stage installed inside the chamber, on which a substrate is seated, and a plurality of LED modules supplied with power along different paths, thereby providing the substrate stage. And a control unit for controlling the blinking of the plurality of LED modules.
상기 제어부는 상기 각각의 경로로 공급되는 전원을 선택적으로 차단하여, 상기 복수개의 엘이디 모듈의 점멸을 개별적으로 제어한다.The controller selectively blocks the power supplied to each of the paths to individually control the flashing of the plurality of LED modules.
또한 상기 실런트 경화장치는 상기 기판에 도포된 실런트의 위치에 대한 정보를 제공하는 정보부를 더 포함하고, 상기 제어부는 상기 정보부에서 제공되는 상기 실런트의 위치에 근거하여, 상기 복수개의 엘이디 모듈 중 상기 실런트의 위치에 대응하는 엘이디 모듈이 점등되도록 제어한다.The sealant curing apparatus may further include an information unit configured to provide information on a position of the sealant applied to the substrate, and the controller may be configured to generate the sealant based on the position of the sealant provided by the information unit. Control so that the LED module corresponding to the position of.
상기 실런트 경화장치의 상기 노광부는 바 형상의 유닛으로 구성되어, 수평 방향으로 이동가능하게 설치될 수 있다.The exposed portion of the sealant curing apparatus may be configured as a bar-shaped unit and installed to be movable in a horizontal direction.
이 경우 상기 제어부는 상기 실런트의 도포 패턴이 변화하는 부분에서 변화되는 패턴에 대응하도록 엘이디 모듈의 점멸을 제어할 수 있다.In this case, the controller may control the blinking of the LED module to correspond to the pattern that is changed in the portion where the coating pattern of the sealant changes.
상기 실런트 경화장치는 상기 각각의 엘이디 모듈의 이상 유무를 판단하는 이상검출부를 더 포함하여 구성될 수 있다.The sealant curing apparatus may further include an abnormality detecting unit which determines whether or not each LED module has an abnormality.
이 경우 상기 각각의 엘이디 모듈의 전압 또는 전류의 값 또는 임피던스 값을 측정하는 측정부를 더 포함하고, 상기 이상검출부는 상기 측정부에서 측정된 값을 기준값과 비교하여 이상유무를 판단한다.In this case, further comprising a measuring unit for measuring the voltage or current value or the impedance value of each of the LED module, the abnormality detection unit compares the value measured by the measuring unit with a reference value to determine whether there is an abnormality.
상기 과제를 해결하기 위해 본 발명에 따른 서로 다른 경로를 따라 전원이 공급되는 복수개의 엘이디 모듈을 구비하는 실런트 경화장치의 제어방법은 챔버 내로 실런트가 도포된 기판이 반입되는 단계와 상기 기판이 기판 스테이지에 안착되는 단계와 상기 복수개의 엘이디 모듈로 전원을 공급하여 자외선을 조사하는 단계 그리고 상기 복수개의 엘이디 모듈 각각의 이상 여부를 점검하는 단계를 포함하여 구성될 수 있다.In order to solve the above problems, there is provided a control method of a sealant curing apparatus including a plurality of LED modules, each of which is supplied with power along different paths, according to an embodiment of the present invention. It may be configured to include a step of seating on the power supply to the plurality of LED modules and irradiating ultraviolet rays and checking whether each of the plurality of LED modules abnormal.
상기 엘이디 모듈의 이상 여부를 점검하는 단계는 상기 각각의 엘이디 모듈의 전압 또는 전류의 값 또는 임피던스 값을 측정하는 단계와 상기 측정된 값을 기준값과 비교하여 이상유무를 판단하는 단계를 포함하여 구성될 수 있다.Checking whether the LED module is abnormal may include measuring a voltage or current value or an impedance value of each LED module and comparing the measured value with a reference value to determine whether there is an abnormality. Can be.
또한 서로 다른 경로를 따라 전원이 공급되는 복수개의 엘이디 모듈을 구비하는 실런트 경화장치의 제어방법은 챔버 내로 실런트가 도포된 기판이 반입되는 단계와 상기 기판이 기판 스테이지에 안착되는 단계와 상기 실런트가 도포된 위치를 파악하는 단계 및 상기 복수개의 엘이디 모듈 중 상기 실런트가 도포된 위치에 대응하는 엘이디 모듈로 전원을 공급하여 자외선을 조사하는 단계를 포함하여 구성될 수 있다.In addition, a method of controlling a sealant curing apparatus including a plurality of LED modules that are supplied with power along different paths may include a step of bringing a sealant-coated substrate into a chamber, a step of placing the substrate on a substrate stage, and applying the sealant. The method may include determining a predetermined position and supplying power to an LED module corresponding to a position where the sealant is applied among the plurality of LED modules to irradiate ultraviolet rays.
본 발명에 따른 실런트 경화장치 및 실런트 경화장치 제어방법은 자외선 조사 광원으로 엘이디를 사용하여 전기 소비량을 감축시키고 엘이디 소자의 교체 주기가 길어지게 된다.In the sealant curing apparatus and the sealant curing apparatus control method according to the present invention, the LED is used as an ultraviolet light source to reduce electricity consumption, and the replacement period of the LED element becomes long.
또한 엘이디 모듈을 실런트의 패턴과 대응되도록 점등하여 불필요한 에너지 소비를 줄임과 동시에 마스크를 사용하지 않고 실런트 경화 공정을 수행할 수 있는 효과가 있다.In addition, the LED module is turned on so as to correspond to the sealant pattern, thereby reducing unnecessary energy consumption and performing a sealant curing process without using a mask.
또한 본 발명에 따른 실런트 경화장치 및 실런트 경화장치 제어방법은 복수개의 엘이디 소자 중 이상이 있는 소자를 검출하여 실시간으로 엘이디 소자의 고장 진단을 할 수 있다.In addition, the sealant curing device and the sealant curing device control method according to the present invention can detect the failure of the plurality of LED elements to diagnose the failure of the LED element in real time.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 실런트 경화장치의 단면도;
도 2는 본 발명에 따른 엘이디 모듈 및 회로기판의 개략적 회로도;
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 노광부의 저면도;
도 4는 집광렌즈가 설치된 노광부의 개략도;
도 5는 본 발명에 따른 엘이디 모듈 제어에 대한 블럭도;
도 6는 본 발명의 제2실시예에 따른 실런트 경화장치의 정면도;
도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 엘이디 모듈의 진행방향에 따른 동작도;
도 8는 엘이디 모듈의 이상 여부를 점검하는 단계를 포함하는 실런트 경화장치의 제어방법을 설명하는 순서도;
도 9는 실런트 도포 위치에 대응되는 엘이디 모듈을 점등 제어하는 단계를 포함하는 실런트 경화장치의 제어방법을 설명하는 순서도이다.1 is a cross-sectional view of a sealant curing apparatus according to a first embodiment of the present invention;
2 is a schematic circuit diagram of an LED module and a circuit board according to the present invention;
3 is a bottom view of an exposure unit according to a first embodiment of the present invention;
4 is a schematic view of an exposure unit provided with a condenser lens;
5 is a block diagram of LED module control in accordance with the present invention;
6 is a front view of a sealant curing apparatus according to a second embodiment of the present invention;
7 is an operation diagram according to the advancing direction of the LED module according to a second embodiment of the present invention;
8 is a flowchart illustrating a control method of a sealant curing apparatus including checking an LED module for abnormality;
FIG. 9 is a flowchart illustrating a control method of a sealant curing apparatus including lighting of an LED module corresponding to a sealant application position.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명한다. 이하, 도면상의 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 도면 부호를 사용하고 동일한 구성요소에 대해서는 중복되는 설명을 피한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, it will be described in detail a preferred embodiment of the present invention. Hereinafter, the same reference numerals are used for the same components in the drawings, and overlapping descriptions for the same components are avoided.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 실런트 경화장치(100)의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a sealant curing apparatus 100 according to a first embodiment of the present invention.
도 1에 도시된 바와 같이, 제 1실시예에 따른 실런트 경화장치(100)는 내측에 공정 공간을 형성하는 챔버(110), 자외선을 조사하는 노광부(130), 마스크(M)를 고정시키는 마스크 고정부(120) 그리고, 기판이 안착되는 기판 스테이지(140)를 포함하여 구성할 수 있다. As shown in FIG. 1, the sealant curing apparatus 100 according to the first embodiment fixes the
여기서, 챔버(110)는 실런트 경화장치(100)의 골격을 이루며, 내측에는 실런트 경화 공정이 이루어지는 공정공간을 형성한다. 그리고 내부에 각종 구성요소들이 설치될 수 있다.Here, the
챔버(110)의 내측 상부에는 노광부(130)가 설치된다. 이때, 노광부(130)는 기판 스테이지 방향으로 자외선을 조사하기 위한 광원 모듈을 포함하여 구성할 수 있다. 다만, 광원 모듈의 구체적인 구성에 대해서는 아래에서 구체적으로 설명하도록 한다.An
노광부(130)는 지지부(134)에 의해 챔버(110) 상측에 설치될 수 있다. 이때, 지지부(134)는 노광부(130)를 승강시킬 수 있는 별도의 구동부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다. 이 경우, 기판 스테이지(140)로 자외선을 조사하는 높이를 제어하는 것이 가능하다. 이러한, 구동부는 정역회전모터나 볼스크류를 이용하여 구성될 수 있고, 접철식 동작이 가능한 복수개의 링크 구조를 이용하여 구성될 수도 있다.The
한편, 챔버(110)의 내부에는 기판(S)이 안착되는 기판 스테이지(140)가 설치된다. 따라서 실런트가 도포된 기판(S)이 외부로부터 반입되면, 상기 기판 스테이지(140)에 안착된 상태에서 노광공정이 진행될 수 있다.Meanwhile, the
이때, 상기 기판 스테이지(140) 상에는 상하로 구동되는 다수개의 리프트 핀(150)이 구비될 수 있다. 상기 리프트 핀(150)은 기판(S)이 챔버(110) 내부로 반입되면 기판(S)의 저면을 지지하거나 흡착한 채로 하강하여 기판(S)을 기판 스테이지(140)에 안착시킬 수 있다. 나아가, 외부로부터 반입되는 마스크(M) 또한 리프트 핀을 이용하여 마스크 고정부(120)에 고정시킬 수 있다.In this case, a plurality of
기판 스테이지(140)의 외측 주변에는 복수개의 클램프(미도시)가 구비될 수 있다. 여기서 클램프는 기판(S)이 기판 스테이지(140)에 안착되었을 때 기판(S)을 고정시키는 역할을 수행한다.A plurality of clamps (not shown) may be provided around the outside of the
기판 스테이지(140)의 하부에는 기판 스테이지(140)를 X축 Y축으로 이동 및 회전시키는 정렬 스테이지(170)가 구비될 수 있다. 그리고 정렬 스테이지(170)의 테두리 부분에는 복수개의 카메라(180)가 위치할 수 있다. 카메라(180)는 기판 스테이지(140)에 구비된 조명창(141)을 이용하여 기판(S)과 마스크(M)의 얼라인 마크(미도시)를 촬영할 수 있도록 설치된다. 따라서 카메라(180)의 촬영에 의해 기판(S)과 마스크(M) 사이의 정렬 상태를 파악하면, 정렬 스테이지(170)는 이를 기초로 기판 스테이지(140)의 수평 위치를 조절하여 기판(S)과 마스크(M)를 정렬시킬 수 있다.The lower stage of the
나아가, 정렬 스테이지(170)의 하부에는 정렬 스테이지(170) 및 기판 스테이지(140)의 수직방향의 위치를 조절할 수 있도록 정렬 스테이지(170) 및 기판 스테이지(140)를 승강시키는 승강기(191)와 승강축(190)이 구비될 수 있다. 승강기(191)는 정역회전모터나 볼스크류를 이용하여 구성될 수 있고 접철식 동작이 가능한 복수개의 링크 구조로 구성될 수도 있다.Furthermore, the
한편, 노광부(130)와 기판 스테이지(140)의 사이에는 마스크(M)를 고정시키기 위한 마스크 고정부(120)가 구비된다. 여기서, 마스크(M)에는 소정 패턴이 형성되어, 노광부(130)로부터 조사되는 자외선을 선택적으로 투과시킨다. 따라서 마스크(M)를 이용하여 기판(S) 상에서 실런트가 도포된 부분으로만 자외선을 조사하여 노광공정을 진행할 수 있다.Meanwhile, a mask fixing part 120 for fixing the mask M is provided between the
도 1에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 마스크 고정부(120)는 흡착 유닛(121,122)을 이용하여 구성할 수 있다. 따라서 흡착 유닛(121,122)이 마스크(M)의 양 측 가장자리를 흡착하여 위치를 고정시킬 수 있다. 다만, 이는 일 실시예로서 이 이외에도 클램프(미도시) 등의 다양한 고정 장치를 이용하여 마스크 고정부(120)를 구성할 수 있다.As shown in FIG. 1, the mask fixing part 120 according to the present exemplary embodiment may be configured using the
마스크 고정부 승강기(123)는 마스크 고정부(120)와 연결되어 마스크 고정부(120)를 챔버(110)의 내측에서 승강시키도록 구성될 수 있다. 마스크 고정부 승강기(123)는 LM 가이드와 LM 가이드에 설치된 볼스크류, 그리고 서보모터로 구성되거나 또는 리니어 모터일 수 있다.
The mask fixing
이하에서는 도 2를 참조하여 노광부(130)의 엘이디 모듈(131) 및 회로기판(132)의 회로구성에 대해 설명한다. 도 2는 본 발명에 따른 엘이디 모듈(131) 및 회로기판(132)의 개략적 회로도이다. Hereinafter, a circuit configuration of the
본 발명에 따른 노광부(130)는 회로기판(132) 및 회로기판(132)에 설치되는 복수개의 엘이디 모듈(131)을 이용하여 구성된다. 상기 엘이디 모듈은 하나 이상의 엘이디 소자로 구성될 수 있다. The
노광부에 설치되는 복수개의 엘이디 모듈(131)과 상기 복수개의 엘이디 모듈(131)이 설치되는 회로기판은 도 2에 도시된 바와 같이 각 엘이디 모듈(131)과 연결되는 도선이 전원부에서 각각 분기되어 엘이디 모듈(131)들이 상호 간에 병렬 연결되도록 형성될 수 있다. 또는 각 엘이디 모듈(131) 별로 별도의 전원부와 연결되도록 형성되는 등 상기 복수개의 엘이디 모듈(131)이 각기 서로 다른 경로를 따라 전원을 공급받도록 형성될 수 있다.As shown in FIG. 2, the plurality of
상기와 같은 회로 구성에 의해 각 엘이디 모듈 별로 점등 또는 소등이 이루어질 수 있어, 노광부(130)에 설치된 복수개의 엘이디 모듈(131) 각각을 개별적으로 점멸할 수 있는 제어부(420)를 추가로 구성할 수 있다. 또한 각 엘이디 모듈의 전류값 또는 전압값을 측정할 수 있어, 해당 엘이디 모듈의 전류값 또는 전압값으로 정상작동 여부를 판단할 수 있는 이상검출부를 추가로 구성할 수도 있다.
By the circuit configuration as described above, the LED module may be turned on or off for each LED module, so that the
본 발명에 따른 실런트 경화장치(100)는 복수개의 엘이디 모듈(131) 중 이상이 있는 엘이디 모듈을 실시간으로 파악하기 위해, 각 엘이디 모듈(131)의 전압 또는 전류 또는 임피던스를 측정하는 측정부와 측정부에 의해 측정된 값을 기반으로 각 엘이디 모듈(131)의 이상 여부를 판단하여 이를 표시하는 이상검출부를 포함할 수 있다. The sealant curing apparatus 100 according to the present invention measures and measures a measurement unit for measuring a voltage, current, or impedance of each
측정부는 도 2에 도시된 바와 같이 각 엘이디 모듈(131)에 연결되는 도선에 설치된 전류계(310)로 구성될 수 있다. 상기 각 엘이디 모듈(131)이 상술한 바와 같이 병렬로 연결되거나 각각 별도의 전원부와 연결되어 있기 때문에 각 엘이디 모듈(131) 별로 전류계 등의 전류 측정 장치를 연결하여 전류를 측정할 수 있다. 다만 도 3은 측정부가 구성되는 일례에 불과하며 엘이디 모듈(131) 양단에 전압계를 연결하여 엘이디 모듈(131)의 전압을 측정하는 등 엘이디 모듈의 전류값이나 전압값 또는 임피던스 값을 측정할 수 있는 다양한 방법으로 구성될 수 있다. 측정부는 각 엘이디 모듈(131)의 전류값이나 전압값 또는 임피던스 값을 측정하여 해당 측정값을 이상검출부로 제공한다.As shown in FIG. 2, the measurement unit may include an
이상검출부는 측정부로부터 각 엘이디 모듈(131)의 전류값이나 전압값 또는 임피던스 값을 제공받아 해당 값을 기반으로 엘이디 모듈(131)의 이상여부를 판단하고 이를 표시한다.The abnormality detection unit receives a current value, a voltage value, or an impedance value of each
이상여부를 판단하는 방법으로는,As a method of determining whether there is an abnormality,
측정된 전류값(I1, I2, I3, …, In) 또는 전압값(V1, V2, V3, …, Vn)을 미리 저장된 정상 동작을 하는 엘이디 모듈의 전류값(Is) 또는 전압값(Vs)과 비교하고, 양자의 차의 절대값이 일정범위(Δi 또는 Δv)를 초과하는 엘이디 모듈(131)에 대하여 이상 엘이디 모듈(131)로 판단할 수 있다.The measured current value (I 1 , I 2 , I 3 ,…, In) or the voltage value (V 1 , V 2 , V 3 ,…, Vn) of the LED module in the normal operation which is stored in advance. Alternatively, the
│I1-Is│≤ Δi │V1-Vs│≤ Δv│I 1 -I s ≤≤ Δi │V 1 -V s │≤ Δv
│I2-Is│≤ Δi │V2-Vs│≤ Δv│I 2 -I s ≤≤ Δi │V 2 -V s │≤ Δv
│I3-Is│≤ Δi │V3-Vs│≤ Δv│I 3 -I s ≤≤ Δi │V 3 -V s │≤ Δv
: : : :
│In-Is│≤ Δi │Vn-Vs│≤ ΔvI n -I s ≤ Δ i V n -V s ≤ Δ v
또는 동작하는 다른 엘이디 모듈(131)의 값들과 비교하여, 다수의 엘이디 모듈의 값과 큰 차이를 보이는 엘이디 모듈(131)에 대하여 이상 엘이디 모듈(131)로 판단할 수 있다.Alternatively, the
I1≒I2…≒Ik -1≠Ik≠Ik +1≒Ik +2…≒In I 1 ≒ I 2 . ≒ I k -1 ≠ I k ≠ I k +1 ≒ I k +2 . NI n
V1≒V2…≒Vk -1≠Vk≠Vk +1≒Vk +2…≒Vn V 1 ≒ V 2 . ≒ V k -1 ≠ V k ≠ V k +1 ≒ V k +2 . ≒ V n
또한, 각 엘이디 모듈(131)의 전류값(In)과 전압값(Vn)을 모두 측정하고, 전압값을 전류값으로 나눈 임피던스 값(Zn)을 미리 입력된 정상 임피던스 값(Zs) 또는 동작하는 다른 엘이디 모듈(131)의 임피던스 값과 비교하여 이상 엘이디 모듈(131) 여부를 판단할 수도 있다. In addition, both the current value (In) and the voltage value (Vn) of each
, ,
│Zk-Zs│≤ Δz 또는Z k -Z s ≤ Δz or
Z1≒Z2…≒Zk -1≠Zk≠Zk +1≒Zk +2…≒Zn Z 1 ≒ Z 2 . ≒ Z k -1 ≠ Z k ≠ Z k +1 ≒ Z k +2 . ≒ Z n
이상검출부에는 표시부가 포함되어, 상기 이상여부 판단방법 등에 의해 정상 작동하지 않는 엘이디 모듈이 검출된 경우, 해당 엘이디 모듈의 위치를 사용자가 알 수 있게 표시할 수 있다. The abnormality detection unit may include a display unit, and when an LED module that is not normally operated is detected by the abnormality determination method, the abnormality detection unit may display the position of the corresponding LED module so that the user can know.
다량의 엘이디를 사용하여 노광부(130)를 구성할 경우 단위 엘이디 모듈의 파손 및 회로 이상으로 인하여 제품의 불량을 유발할 수 있다. 이러한 경우 상기 측정부 및 이상검출부에 의해 엘이디 모듈(131)의 고장여부를 실시간으로 진단하고, 정상적으로 작동되지 않는 것을 신속히 인지하여 교체할 수 있는 효과가 있다.
When the
이하에서는 도 2 내지 도 5를 참조하여 본 발명에 따른 실런트 경화장치(100)의 복수개의 엘이디 모듈(131)을 개별적으로 점멸 제어하는 제어부(420)에 대하여 설명한다.Hereinafter, with reference to FIGS. 2 to 5, a
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 노광부의 저면도이다.3 is a bottom view of an exposure unit according to a first exemplary embodiment of the present invention.
상술한 바와 같이 각 엘이디 모듈(131)은 병렬 연결되거나 각 엘이디 모듈(131) 별로 별도의 전원부와 연결되도록 형성되는 등 상기 복수개의 엘이디 모듈(131)이 각기 서로 다른 경로를 따라 전원을 공급받도록 형성되기 때문에, 하나 또는 다수의 엘이디 모듈(131)에 전원 공급이 차단되어 소등되더라도 나머지 엘이디 모듈(131) 다른 경로로 전원 공급이 이루어지므로 점등될 수 있다.As described above, each of the
따라서 제어부(420)는 각각의 엘이디 모듈(131)로 공급되는 전원을 선택적으로 차단하는 등의 방법으로 엘이디 모듈(131) 각각의 점멸을 개별적으로 제어할 수 있게 된다. Therefore, the
제어부(420)는 도 3에 도시된 바와 같이 노광부(130)에 설치된 복수개의 엘이디 모듈(131)이 소정의 패턴을 형성하도록 각 엘이디 모듈(131)을 점멸 제어 할 수 있다.As illustrated in FIG. 3, the
이 때, 복수개의 엘이디 모듈(131)은 기판(S) 상에 실런트가 도포된 패턴과 대응되는 패턴으로 점멸 제어 되는 것이 바람직하다. 이 경우 회로기판(132)의 전면에 엘이디 모듈(131)을 점등하여 노광 공정을 진행하는 것에 비해, 전력 소모를 현저하게 줄임과 동시에 엘이디 소자의 교체 주기를 늘릴 수 있는 효과가 있다. In this case, the plurality of
나아가, 본 실시예에 의할 경우 별도의 마스크(M)를 이용하지 않고 노광공정을 진행하는 것이 가능하다. 본 발명에서 이용하는 엘이디 모듈(131)에서 조사되는 빛은 종래의 광원에 비해 직진성이 뛰어나다. 따라서 본 실시예와 같이 기판의 실런트 패턴에 대응되도록 엘이디 모듈(131)이 점등 제어되는 경우, 기판(S)을 노광부(130) 저면에 근접시킴으로서 실런트가 도포된 위치에 노광 공정을 진행하는 것이 가능하다. Furthermore, according to this embodiment, it is possible to proceed with the exposure process without using a separate mask (M). The light irradiated from the
도 4는 마스크(M)를 이용하지 않고 노광공정을 진행할 수 있도록 엘이디 모듈(131)의 조사 방향에 대략 수직하게 집광렌즈(133)를 설치한 노광부에 대한 개략도이다.FIG. 4 is a schematic view of an exposure unit in which a
일반적으로 양 기판 사이에 도포되는 실런트(162)의 폭은 약 0.6mm - 1.2mm 이고, 엘이디 소자(131)에서 조사되는 빔의 폭은 약 10mm 내외이다. 이처럼 실런트(162)가 도포된 폭이 엘이디 모듈(131)에 의해 조사되는 빔의 폭 보다 좁은 경우에 마스크(M)를 사용하지 않는다면, 실런트(162)가 도포된 부분뿐만 아니라 실런트(162) 주변부에 위치하는 액정(161)에 자외선이 조사되어 액정(161)이 오염되게 된다. In general, the width of the
따라서 엘이디 모듈(131)에서 조사되는 자외선이 실런트(162)가 도포된 부분으로만 조사되도록 엘이디 모듈(131)의 조사 방향에 대략 수직하게 집광렌즈(133)를 설치하여 빔의 폭이 실런트(162)가 도포된 폭에 대응되도록 구성할 수 있다. 상기와 같은 구성에 의해 실런트 경화공정에서 마스크(M)를 사용하지 않고도 기판(S) 사이에 존재하는 액정(161)이 자외선에 의해 오염되지 않게 함과 동시에 실런트를 경화시킬 수 있다.Therefore, the
본 발명에 의한 실런트 경화장치는 도 1에 마스크(M) 고정 및 마스크(M)의 위치 조절을 위한 구성요소(120, 121, 122, 123)를 사용하는 것으로 도시되어있으나, 상술한 바와 같이 마스크(M)를 사용하지 않을 수 있으므로, 마스크 고정 장치(120, 121, 122, 123)가 설치되지 않은 보다 단순한 구조의 실런트 경화장치로 구성 될 수 있다. 또한, 노광 공정시 마스크(M)를 설치하고 이동시키는 각종 제어를 생략할 수 있으므로, 공정 시간을 단축시켜 패널의 제조 효율을 향상시킬 수 있다.The sealant curing apparatus according to the present invention is shown in FIG. 1 using
이하에서는 제어부(420)가 기판(S)에 도포된 실런트의 패턴에 대응하도록 복수개의 엘이디 모듈(131)의 점멸을 제어하는 과정에 대해 설명한다. Hereinafter, a process in which the
도 5는 상기 엘이디 모듈(131) 제어에 대한 블록도이다.5 is a block diagram for controlling the
본 발명에 따른 실런트 경화장치(100)는, 제어부(420)가 기판(S)에 도포된 실런트의 패턴에 따라 엘이디 모듈(131)의 점멸을 제어할 수 있도록, 실런트의 위치정보를 입력받아 제어부(420)에 제공하는 정보부(410)가 설치될 수 있다. 정보부(410)는 사용자가 기판(S) 정보를 입력함에 의해 해당 기판(S)의 실런트 위치를 파악하는 방법 등으로 실런트의 위치를 파악할 수 있다. Sealant curing apparatus 100 according to the present invention, the
정보부(410)는 실런트의 위치가 파악되면 제어부(420)로 실런트의 위치 정보를 제공한다. 제어부(420)는 정보부(410)로부터 실런트의 위치 정보를 제공받아 해당 실런트의 위치에 대응하는 엘이디 모듈(131)을 점등하고 나머지 엘이디 모듈(131)은 소등하는 점멸제어를 실시하게 된다. When the location of the sealant is determined, the
상기 과정을 통해 노광부(130)에서는 기판(S)에 도포된 실런트의 패턴에 대응되는 패턴으로 엘이디 모듈(131)이 점등되고 실런트가 도포된 부분으로 자외선이 조사되어 노광공정이 진행될 수 있다.
Through the above process, in the
이하에서는 전술한 제1실시예에 의한 실런트 경화장치(100)의 동작에 대하여 설명한다.Hereinafter, the operation of the sealant curing apparatus 100 according to the first embodiment will be described.
우선 마스크(M)가 로봇암(미도시) 등에 의해 챔버(110) 내로 반입된다. 챔버(110) 내로 마스크(M)가 반입되면 리프트 핀(150)이 상승하여 상기 마스크(M)를 지지 또는 흡착하게 된다. 마스크 고정부(120)는 리프트 핀(150)에 의해 지지된 마스크(M)를 흡착하거나 클램프(미도시) 등에 의해 고정하는 등의 방법으로 마스크 고정부(120)에 고정시킨다.First, the mask M is carried into the
마스크(M)의 고정이 종료되면 기판(S)이 챔버(110) 내로 반입되고, 리프트 핀(150)이 다시 상승하여 기판(S)을 지지 또는 흡착하게 된다. 후에 리프트 핀(150)은 하강하여 기판(S)을 기판 스테이지(140)에 안착시킨다.When the fixing of the mask M is completed, the substrate S is carried into the
기판(S)이 안착되면, 마스크 고정부(120)는 마스크(M)가 기판(S)에 근접하도록 기판 스테이지(140)를 향해 하강하고 기판 스테이지(140)에 설치된 카메라(180)는 조명창(141)을 통해 얼라인 마크(미도시)를 촬영한다. 촬영된 얼라인 마크(미도시)를 바탕으로 마스크(M)와 기판(S)이 정렬되도록 정렬 스테이지(170)가 구동하게 되고, 정렬 후 마스크와 기판(S)이 접하면 기판 스테이지(140)가 노광부(130)로 상승하거나 노광부(130)가 기판 스테이지(140)로 하강하여 기판(S)과 노광부(130)를 근접시킨다.When the substrate S is seated, the mask fixing part 120 descends toward the
제어부(420)는 정보부(410)에 의해 파악된 실런트의 위치정보를 제공받아 실런트의 위치에 대응하는 패턴으로 엘이디 모듈(131)을 점멸한다.The
실런트의 위치에 대응하는 엘이디 모듈(131)에서 자외선이 조사되어 기판(S)에 도포된 실런트가 경화되게 된다.Ultraviolet rays are irradiated from the
또한 상기 과정 중에는 측정부가 각 엘이디 모듈(131)의 전류값이나 전압값 또는 임피던스 값을 측정하고, 이상 검출부는 측정부로부터 전달받은 측정값을 정상 동작하는 엘이디 모듈의 전류값이나 전압값 또는 임피던스 값과 비교하여 해당 엘이디 모듈의 이상여부를 판단하여 이를 표시하는 과정이 진행될 수 있다.In addition, during the above process, the measurement unit measures the current value, voltage value, or impedance value of each
그리고 상술한 바와 같이 상기 과정에서 마스크의 반입 및 고정, 마스크와 기판의 정렬 및 접합 등의 과정은 선택적이다.
As described above, the process of bringing in and fixing the mask, aligning and bonding of the mask and the substrate in the above process is optional.
이하에서는 본 발명의 제2실시예에 따른 실런트 경화장치(200)에 대하여 설명한다. 다만, 설명의 편의를 위하여 제1실시예와 유사한 부분은 동일한 도면번호를 사용하고, 제1실시예와 공통되는 부분은 설명을 생략한다.Hereinafter, the
도 6는 본 발명의 제2실시예에 따른 실런트 경화장치(200)의 정면도이며, 도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 엘이디 모듈(131)의 진행방향에 따른 동작도이다.FIG. 6 is a front view of the
도 6에 도시된 바와 같이 본 실시예의 실런트 경화장치(100)는 상기 기판 스테이지(140) 상부에 위치하며 바 형상의 유닛으로 구성된 노광부(130)를 구비한다. 상기 노광부(130)는 기판 스테이지(140)에 설치된 수평 이송기(210)에 결합된다.As shown in FIG. 6, the sealant curing apparatus 100 of the present exemplary embodiment includes an
도 6에 도시된 바와 같이 수평 이송기는(210) 상기 노광부(130)가 결합되는 노광부지지부(211)와 상기 수평 이송기(210)가 수평으로 이동될 수 있도록 지지하는 가이드레일(220) 및 노광부지지부(211)와 결합되어 가이드레일(220)을 따라 움직이는 수평 이동대(212)를 포함하여 구성된다. 상기 수평 이송기(210)는 서보모터나 볼스크류를 이용하여 구성될 수 있다.As shown in FIG. 6, the
따라서 수평 이동대(212)가 가이드레일(220)을 따라 이동하면, 바 형상의 유닛으로 구성된 노광부(130)는 기판(S) 면을 따라 수평으로 이동하며 자외선을 조사하게 된다.Accordingly, when the horizontal moving table 212 moves along the
도 6에 도시된 수평 이송기(210)는 노광부(130)를 수평이동하기 위한 장치의 한 예시에 불과하며, 수평 이송기(210)는 기판 스테이지(140)와 결합되지 않고 챔버(110)의 상부에 별도의 이송부를 설치하여 기판 면을 따라 수평으로 이동할 수 있도록 설치되는 등 다양한 방법으로 구성될 수 있다. The
따라서 본 실시예에 의한 실런트 경화장치(200)는 바 형상의 유닛으로 구성된 상기 노광부(130)가 수평 이송기(210)의 이동을 따라 상기 기판 스테이지(140) 상에 위치하는 기판 면 위를 수평으로 이동하며 자외선을 조사하게 된다. Therefore, in the
본 실시예에 의한 실런트 경화장치(200) 역시 정보부(410)는 기판(S)에 도포된 실런트의 패턴이나 위치 정보를 별도로 입력을 받는 방법 등으로 실런트의 위치 정보를 받아 상기 제어부(420)로 해당 정보를 전달한다.In the
상기 제어부(420)는 상기 정보부(410)에서 전달된 실런트의 위치 정보를 기반으로 노광부(130)가 수평이동하면서 실런트의 도포 패턴이 변화하는 부분에서 엘이디 모듈(131)들을 실런트 도포 패턴의 변화에 대응하도록 점멸하여 실런트가 도포된 위치에만 노광되도록 제어한다. The
본 실시예에서도 제 1실시예와 같이 엘이디 모듈(131)의 조사방향에 대략 수직하게 집광렌즈(133)를 설치하여 엘이디 모듈에서 조사되는 빔의 폭을 실런트가 도포된 폭에 대응되도록 할 수 있다.In this embodiment, as in the first embodiment, the
따라서 본 실시예에 의한 실런트 경화장치 역시 상기 제 1실시예에 의한 실런트 경화장치에서 설명한 바와 같이 마스크(M)를 사용하지 않을 수 있으므로 보다 단순한 구조의 실런트 경화장치로 구성 될 수 있다. 또한, 노광 공정시 마스크(M)를 설치하고 이동시키는 각종 제어를 생략할 수 있으므로, 공정 시간을 단축시켜 패널의 제조 효율을 향상시킬 수 있다.Therefore, since the sealant curing apparatus according to the present embodiment may not use the mask M as described in the sealant curing apparatus according to the first embodiment, the sealant curing apparatus may be configured as a sealant curing apparatus having a simpler structure. In addition, since various controls for installing and moving the mask M during the exposure process can be omitted, the process time can be shortened and the manufacturing efficiency of the panel can be improved.
본 실시예에 따른 실런트 경화장치(200)는 노광부(130)가 기판 면적만큼 큰 사이즈로 구성될 필요가 없고, 바 형상의 유닛으로 구성된 노광부는 넓은 면적을 갖는 노광부에 비해 상대적으로 적은 개수의 엘이디 소자를 사용하므로 에너지 소비량을 줄일 수 있는 효과가 있다. 또한 필요한 엘이디 소자만을 점등하여 사용하므로 엘이지 소자의 교체주기가 길어지는 효과가 있다.In the
이하에서는 전술한 제2실시예에 의한 실런트 경화장치(200)의 동작에 대하여 설명한다.Hereinafter, the operation of the
전술한 제1실시예의 동작과 마스크(M)의 반입 및 고정 과정, 기판(S)의 반입 및 고정 과정, 마스크(M)와 기판(S)을 접하게 하는 과정은 동일하므로 설명을 생략한다.Since the operation of the first embodiment and the loading and fixing process of the mask M, the loading and fixing process of the substrate S, and the process of contacting the mask M and the substrate S are the same, a description thereof will be omitted.
마스크(M)와 기판(S)이 접하게 되면 마스크 고정부(120)는 마스크(M)와 분리되어 상승하게 되고 노광부(130)는 마스크(M)와 일정 간격 이격되어 마스크(M)의 상면을 따라 수평으로 이동한다.When the mask M and the substrate S come into contact with each other, the mask fixing part 120 is separated from the mask M and raised, and the
상술한 바와 같이 마스크(M)의 반입 및 고정 과정, 기판(S)의 반입 및 고정 과정, 마스크(M)와 기판(S)을 접하게 하는 과정은 생략이 가능하다.As described above, the loading and fixing process of the mask M, the loading and fixing process of the substrate S, and the process of contacting the mask M and the substrate S may be omitted.
노광부(130)의 이동 과정에서 제어부(420)는 정보부(410)에서 전달된 실런트의 위치 정보를 기반으로 실런트의 도포 패턴이 변화하는 부분에서 엘이디 모듈(131)들을 실런트 도포 패턴의 변화에 대응하도록 점멸하여 실런트가 도포된 위치에 노광되도록 제어하며 자외선을 조사함으로 기판(S)에 도포된 실런트를 경화하게 된다.
During the movement of the
이하에서는 본 발명에 따른 실런트 경화 장치의 제어 방법을 설명한다. Hereinafter, a control method of the sealant curing apparatus according to the present invention will be described.
도 8는 엘이디 모듈의 이상 여부를 점검하는 단계를 포함하는 실런트 경화장치의 제어방법을 설명하는 순서도이다.8 is a flowchart illustrating a control method of a sealant curing apparatus including checking whether an LED module is abnormal.
도 8에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 실런트 경화장치(100, 200)의 제어방법은 실런트가 도포된 기판(S)이 챔버(110) 내부로 반입되고(S110), 기판(S)을 기판 스테이지(140)에 안착하고(S120), 기판(S)을 향해 자외선을 조사하고(S130), 노광부(130)에 설치된 엘이디 모듈(131)의 전류값이나 전압값 또는 임피던스 값을 측정하고(S140), 측정값을 기반으로 엘이디 모듈(131)의 이상여부를 판단하여 표시하는 단계(S150)로 진행된다.As shown in FIG. 8, in the method of controlling the
이하 각각의 단계에 대하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, each step will be described in detail.
실런트가 도포된 기판(S)이 챔버(110) 내로 반입되는 단계(S110)는 복수개의 포크를 가지는 로봇암(미도시)이 실런트가 도포된 기판(S)을 챔버(110) 내로 반입하는 것으로 이루어진다.The step S110 in which the sealant-coated substrate S is carried into the
다음으로 기판(S)이 스테이지에 안착되는 단계(S120)는 챔버(110) 내에 설치된 리프트 핀(150)에 의해 이루어진다. 챔버(110) 내부로 반입된 기판(S)은 리프트 핀(150)에 의해 흡착되거나 지지되고 로봇암은 상기 기판(S)을 리프트 핀(150)에 남겨두고 챔버(110) 밖으로 나가게 된다.Next, the step S120 of mounting the substrate S on the stage is performed by the
상기 로봇암이 챔버(110) 밖으로 빠져 나가면 리프트 핀(150)은 기판(S)을 지지한 채로 하강하여 기판 스테이지(140)에 상기 기판(S)을 안착시킨다.When the robot arm exits the
다음으로 자외선을 조사하는 단계(S130)는 다음과 같이 이루어진다.Next, the step (S130) of irradiating ultraviolet rays is made as follows.
기판 스테이지(140)에 구동부(190, 191)가 설치되어 이동이 가능하게 된 경우는 기판 스테이지(140)에 안착된 기판(S)이 노광부(130)에 근접되도록 상기 기판 스테이지(140)가 노광부(130)로 이동한다. 다만 기판 스테이지(140)는 고정되고 노광부(130)가 이동되도록 상기 노광부(130)에 구동부(190,191)가 설치된 경우는 노광부(130)가 상기 기판(S)에 근접되도록 이동한다.When the driving
상기 노광부(130)와 상기 기판(S)이 근접하면 노광부(130)는 기판(S)을 향해 자외선을 조사하게 된다.When the
노광부(130)에 설치된 엘이디 모듈(131)의 전류값이나 전압값 또는 임피던스 값를 측정하는 단계(S140)는 다음과 같이 이루어진다. Measuring the current value, voltage value or impedance value of the
상기 노광부(130)에 전원이 인가되면, 노광부(130)에 설치된 엘이디 모듈(131)에 전류가 흐르면서 자외선이 상기 기판(S)에 도포된 실런트로 조사된다. 이때 측정부는 엘이디 모듈(131)에 흐르는 전류값이나 엘이디 모듈(131) 양단의 전압값또는 엘이디 모듈(131)의 임피던스 값을 측정한다.When power is applied to the
엘이디 모듈(131)의 이상여부를 판단하여 이를 표시하는 단계(S150)는 다음과 같이 이루어진다.Determining whether the
이상검출부가 측정부로부터 각 엘이디 모듈(131)의 전류값이나 전압값 또는 임피던스 값을 제공받아 기 측정된 정상 동작을 하는 엘이디 모듈(131)의 전압값, 전류값 또는 임피던스 값과 비교하고, 양자의 차의 절대값이 일정범위를 초과하는 엘이디 모듈(131)에 대하여 이상 엘이디 모듈(131)로 판단하고 이를 표시한다.The abnormality detection unit receives the current value, voltage value, or impedance value of each
상기 단계를 통해 이상 엘이디 모듈(131)이 표시되면 사용자는 상기 이상 검출부에 의해 정상 작동 되지 않는 엘이디 모듈(131)로 지목된 엘이디 모듈(131)을 교체할 수 있어 상기 엘이디 모듈(131)의 고장 여부의 인지 및 그 교체를 신속히 수행할 수 있다.When the
도 9는 실런트 도포 위치에 대응되는 엘이디 모듈을 점등 제어하는 단계를 포함하는 실런트 경화장치의 제어방법을 설명하는 순서도이다.FIG. 9 is a flowchart illustrating a control method of a sealant curing apparatus including lighting of an LED module corresponding to a sealant application position.
설명의 편의를 위하여 상기 실런트 경화 장치의 제어 방법에 있어서, 상기에서 설명한 노광부(130)에 설치된 복수개의 엘이디 모듈(131)의 이상 여부를 점검하는 단계를 포함하는 제어 방법과 유사한 부분은 설명을 생략한다.In the control method of the sealant curing apparatus for convenience of description, a part similar to the control method including checking whether the plurality of
도 9에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 실런트 경화장치(100)의 제어방법은 실런트가 도포된 기판(S)이 챔버(110) 내로 반입되어 기판 스테이지(140)에 안착되는 단계(S220)이후에, 기판(S)에 도포된 실런트의 위치를 파악하는 단계(S230)와 실런트의 위치에 대응하도록 엘이디 모듈(131)의 점멸을 제어하여 자외선을 조사하는 단계(S240)로 진행된다.As shown in FIG. 9, in the method of controlling the sealant curing apparatus 100 according to the present invention, after the sealant-coated substrate S is loaded into the
이하 기판(S)이 기판 스테이지(140)에 안착되는 단계(S220) 이후의 단계에 대하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the steps after the step S220 in which the substrate S is seated on the
실런트의 위치를 파악하는 단계(S230)는 다음과 같이 이루어진다.Determining the position of the sealant (S230) is performed as follows.
본 발명에 의한 실런트 경화장치(100)에는 기판(S)에 도포된 실런트의 위치를 파악하는 정보부(410)가 설치된다. 정보부(410)는 사용자가 기판(S) 정보를 입력함에 의해 해당 기판(S)의 실런트 위치를 파악하는 방법 등으로 실런트의 위치를 파악한다.In the sealant curing apparatus 100 according to the present invention, an
실런트가 도포된 위치에 대응하는 엘이디 모듈(131)로 전원을 공급하여 자외선을 조사하는 단계(S240)는 다음과 같이 이루어진다.The step S240 of irradiating ultraviolet rays by supplying power to the
본 발명에 의한 실런트 경화장치(100)에는 노광부(130)에 설치된 복수개의 엘이디 모듈(131)의 점멸을 제어하는 제어부(420)가 설치된다. 제어부(420)는 정보부(410)로부터 실런트의 위치 정보를 제공받아 해당 실런트의 위치에 대응하는 엘이디 모듈(131)에 전원을 인가하여 해당 엘이디 모듈(131)을 점등하고 나머지 엘이디 모듈(131)은 소등하는 점멸제어를 실시한다. 따라서 노광부(130)에서는 기판(S)에 도포된 실런트의 패턴에 대응되는 패턴으로 자외선이 조사된다.The sealant curing apparatus 100 according to the present invention is provided with a
상기 방법으로 상기 노광부(130)의 복수개의 엘이디 모듈(131)을 제어하여 상기 실런트의 위치에 대응하도록 자외선을 노광하여 전력소비를 줄일 수 있고 엘이디 소자의 교체주기를 늘릴 수 있다. 또한 마스크 없이 경화작업이 가능해 마스크 및 마스크 홀딩 구조가 불필요하므로, 비용을 절감할 수 있고, 챔버(110) 내로 마스크(M)를 반입 및 고정하는 과정 등이 생략되어 공정 시간을 단축시켜 패널의 제조 효율을 향상시킬 수 있다. 또한 다양한 패턴으로 형성되는 실런트에 대응하여 한번의 공정으로 실런트 경화를 마칠 수 있게 된다.In this manner, the plurality of
100, 200: 실런트 경화장치
110: 챔버
130: 노광부
131: 엘이디 모듈
132: 회로기판
410: 정보부
420: 제어부100, 200: sealant curing device
110: chamber
130: exposed portion
131: LED module
132: circuit board
410: information
420: control unit
Claims (10)
상기 챔버의 내측에 설치되며 기판이 안착되는 기판 스테이지;
서로 다른 경로를 따라 전원이 공급되는 복수개의 엘이디 모듈을 구비하여, 상기 기판 스테이지 방향으로 광을 조사하는 노광부; 그리고,
상기 복수개의 엘이디 모듈의 점멸을 제어하는 제어부를 포함하는 실런트 경화장치.chamber;
A substrate stage installed inside the chamber and on which a substrate is mounted;
An exposure unit including a plurality of LED modules supplied with power along different paths, and configured to irradiate light toward the substrate stage; And,
Sealant curing apparatus comprising a control unit for controlling the flashing of the plurality of LED modules.
상기 제어부는 상기 각각의 경로로 공급되는 전원을 선택적으로 차단하여, 상기 복수개의 엘이디 모듈의 점멸을 개별적으로 제어하는 것을 특징으로 하는 실런트 경화장치.The method of claim 1,
The control unit selectively blocks the power supplied to the respective paths, and sealant curing apparatus, characterized in that for individually controlling the flashing of the plurality of LED modules.
상기 기판에 도포된 실런트의 위치에 대한 정보를 제공하는 정보부를 더 포함하고,
상기 제어부는 상기 정보부에서 제공되는 상기 실런트의 위치에 근거하여, 상기 복수개의 엘이디 모듈 중 상기 실런트의 위치에 대응하는 엘이디 모듈이 점등되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 실런트 경화장치.The method of claim 2,
Further comprising an information unit for providing information on the position of the sealant applied to the substrate,
And the controller controls the LED module corresponding to the sealant position of the plurality of LED modules to be turned on, based on the position of the sealant provided from the information unit.
상기 노광부는 바 형상의 유닛으로 구성되어, 수평 방향으로 이동가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 실런트 경화장치.The method of claim 3,
And the exposing portion is formed of a bar-shaped unit and installed to be movable in a horizontal direction.
상기 제어부는 상기 실런트의 도포 패턴이 변화하는 부분에서 변화되는 패턴에 대응하도록 엘이디 모듈의 점멸을 제어하는 것을 특징으로 하는 실런트 경화장치.The method of claim 4, wherein
The control unit is a sealant curing apparatus, characterized in that for controlling the flashing of the LED module to correspond to the pattern that changes in the portion where the coating pattern of the sealant changes.
상기 각각의 엘이디 모듈의 이상 유무를 판단하는 이상검출부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실런트 경화장치.The method of claim 1,
Sealant curing apparatus further comprises an abnormality detection unit for determining the abnormality of each LED module.
상기 각각의 엘이디 모듈의 전압 또는 전류의 값 또는 임피던스 값을 측정하는 측정부를 더 포함하고, 상기 이상검출부는 상기 측정부에서 측정된 값을 기준값과 비교하여 이상유무를 판단하는 것을 특징으로 하는 실런트 경화장치.The method of claim 6,
And a measuring unit measuring a voltage or current value or an impedance value of each LED module, wherein the abnormality detecting unit compares the value measured by the measuring unit with a reference value to determine whether there is an abnormality. Device.
챔버 내로 실런트가 도포된 기판이 반입되는 단계;
상기 기판이 기판 스테이지에 안착되는 단계;
복수개의 엘이디 모듈로 전원을 공급하여 자외선을 조사하는 단계; 및
상기 복수개의 엘이디 모듈 각각의 이상 여부를 점검하는 단계를 포함하는 실런트 경화 장치의 제어방법.In the control method of a sealant curing apparatus having a plurality of LED modules are supplied along the different paths,
Bringing the sealant-coated substrate into the chamber;
Mounting the substrate on a substrate stage;
Irradiating ultraviolet rays by supplying power to the plurality of LED modules; And
And controlling the abnormality of each of the plurality of LED modules.
상기 엘이디 모듈의 이상 여부를 점검하는 단계는 상기 각각의 엘이디 모듈의 전압 또는 전류의 값 또는 임피던스 값을 측정하는 단계와 상기 측정된 값을 기준값과 비교하여 이상유무를 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 실런트 경화 방법.The method of claim 8,
The checking whether the LED module is abnormal may include measuring a voltage or current value or an impedance value of each LED module and determining whether there is an abnormality by comparing the measured value with a reference value. Sealant curing method to use.
챔버 내로 실런트가 도포된 기판이 반입되는 단계;
상기 기판이 기판 스테이지에 안착되는 단계;
상기 실런트가 도포된 위치를 파악하는 단계;
상기 복수개의 엘이디 모듈 중 상기 실런트가 도포된 위치에 대응하는 엘이디 모듈로 전원을 공급하여 자외선을 조사하는 단계를 포함하는 실런트 경화 장치의 제어방법.In the control method of a sealant curing apparatus having a plurality of LED modules are supplied along the different paths,
Bringing the sealant-coated substrate into the chamber;
Mounting the substrate on a substrate stage;
Determining a position where the sealant is applied;
And supplying power to an LED module corresponding to a position where the sealant is applied among the plurality of LED modules to irradiate ultraviolet rays.
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