KR20110115800A - 분무장치 및 이를 이용하는 유체 내 입자 검출 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 분무장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 분무장치는 케이스; 상기 케이스의 내부로 유체를 유입하는 유입구; 상기 유입된 유체를 에어로졸(aerosol) 상태로 분사하는 분사부; 상기 에어로졸을 상기 케이스의 외부로 유출시키는 유출구; 상기 유체의 일부를 상기 케이스의 외부로 배출함으로써 상기 케이스 내부의 유체량을 조절하는 드레인부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 의하여, 유동하는 유체를 연속적으로 채취하여 에어로졸 분사시킬 수 있는 분무장치가 제공된다.

Description

분무장치 및 이를 이용하는 유체 내 입자 검출 시스템 {ATOMIZING APPARATUS AND SYSTEM FOR DETECTING PARTICLE IN FLUIDS USING THE SAME}

본 발명은 분무장치 및 이를 이용하는 유체 내 입자 검출 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 미세입자의 수농도 및 분포를 연속적으로 측정할 수 있는 분무장치 및 이를 이용하는 유체 내 입자 검출 시스템에 관한 것이다.

반도체 및 LCD 설비의 공정에서 사용되는 밸브는 약액에 의하여 부식이 빈번히 일어나며, 이를 해결하기 위하여 우수한 내부식성을 가지는 테프론 재질의 밸브가 널리 이용되고 있다.

그러나, 이러한 테프론 재질의 밸브에 의하더라도 구동에 의한 마모 또는 마찰 등의 현상으로 인하여 오염입자 및 이온의 발생 가능성이 여전히 존재하며, 약액의 순도가 중요한 반도체 공정에서 약액 내에 이러한 오염입자들이 포함되는 경우에는 공정 장비 전체가 오염되어, 수율이 낮아지고 잘못된 공정 결과가 나타날 수도 있다.

이러한 우려를 불식시키기 위해서는 적절한 조치가 있어야 하며, 밸브 통과시에 오염입자 및 오염이온의 발생 여부 확인이 선행되어야 한다.

오염입자의 발생 여부를 확인하기 위해서는 밸브 전후의 약액 내 오염입자를 비교 측정하여야 하며 종래에는 SLS(Static Light Scattering) 및 DLS(Dynamic Light Scattering) 방식이 사용되고 있으나, 정확한 결과를 얻기 위해서는 샘플의 희석비를 높여 농도를 낮춰야 하므로, 특히, 수십 nm 대의 입자의 정확한 수 농도를 측정하기는 어려운 문제가 있었다.

또한, 수십 nm 크기의 입자를 측정하기 위한 방법으로 전자 현미경이 사용될 수 있으나 샘플의 분석면적이 제한되고 입경분포와 같은 정량분석에는 한계가 있다.

또한, 에어로졸화 된 유체를 분석대상으로 하는 주사이동입자측정기(SMPS:Scanning Mobility Particle Sizer)를 이용하는 경우에는 유체를 에어로졸로 변환하기 위하여 작업자가 수동작업을 반복하여야 하는 어려움이 있으므로 장시간 반복적인 분석이 요구되는 작업에 있어서 본 시스템을 사용하는 것은 무리가 있었다.

따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 유동하는 유체를 연속적으로 채취하여 에어로졸 분사시킬 수 있는 분무장치를 제공함에 있다.

또한, 유체를 장시간에 걸쳐서 연속적으로 시료 샘플 채취하여 그에 포함된 입자들을 분석함으로써 특정 장치 또는 밸브엣의 오염입자의 배출여부를 높은 신뢰성을 가지고 확인할 수 있는 유체 내 입자 검출 시스템을 제공함에 있다.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 케이스; 상기 케이스의 내부로 유체를 유입하는 유입구; 상기 유입된 유체를 에어로졸(aerosol) 상태로 분사하는 분사부; 상기 에어로졸을 상기 케이스의 외부로 유출시키는 유출구; 상기 유체의 일부를 상기 케이스의 외부로 배출함으로써 상기 케이스 내부의 유체량을 조절하는 드레인부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 분무장치에 의해 달성된다.

또한, 상기 케이스 내부 유체의 양을 감지하기 위한 유량센서를 더 포함할 수 있다.

또한, 상기 분사부는, 상기 케이스를 관통하되, 외측에서 유입된 공기를 통과시킴으로써 압력을 하강시키는 오리피스관; 일단부는 상기 오리피스관과 연결되고, 타단부는 상기 케이스의 내부에 개방되며, 상기 케이스에 보관되는 액체를 흡입하여 상기 오리피스관에 공급하는 공급관;을 포함할 수 있다.

또한, 상기 분사부는, 상기 오리피스관에 공급되는 액체의 방향과 상기 유입되는 공기의 방향은 예각을 이룰 수 있다.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항의 분무장치를 이용하는 시스템으로서, 유체가 유동하는 경로 중 소정의 위치에서 상기 유체의 시료 샘플을 채취하는 채취부; 상기 채취부와 연결되어 채취된 시료 샘플을 에어로졸로 변환시키는 분무장치; 상기 에어로졸에 포함된 입자의 개수, 크기 등의 특성을 측정하는 에어로졸용 측정부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 내 입자 검출 시스템에 의해 달성된다.

또한, 입자 특성 검출의 정확도를 향상시키기 위하여 상기 채취부 전의 위치에 구비되어 유체를 필터링 하는 필터를 더 포함할 수 있다.

또한, 상기 채취부의 동작을 제어하기 위한 제어부를 더 포함할 수 있다.

또한, 상기 유체는 폐순환 경로를 통하여 순환하며, 상기 채취부는 상기 순환중인 유체의 시료 샘플을 시간순서에 따라 연속적으로 채취 가능할 수 있다.

또한, 상기 채취부는 소정위치의 전후방에 복수개가 마련됨으로써 서로 다른 위치에서 유동중인 유체의 시료 샘플을 채취할 수 있다.

또한, 상기 분무장치의 드레인부에서 배출되는 유체가 상기 순환되는 유체에 다시 포함될 수 있다.

본 발명에 따르면, 내부에 채워지는 유체의 양을 일정하게 유지하며 에어로졸(aerosol)로 분사할 수 있는 분무장치가 제공된다.

또한, 시간적으로 연속 공급되는 유체의 시료 샘플을 안정적으로 에어로졸화할 수 있다.

또한, 오리피스관과 공급관이 이루는 각도를 예각으로 제한함으로써 분사효율을 향상킬 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 유체를 연속적인 시간에 걸쳐서 시료 샘플을 채취하여 포함된 입자들을 분석할 수 있는 유체 내 입자 검출 시스템이 제공된다.

또한, 시료 샘플을 채취하는 채취부의 배치 및 개수를 조절함으로써 다양한 형태의 유체 내 입자 분석이 가능하다.

또한, 분무장치에서 배출되는 유체를 다시 순환유체에 포함하여 재분석함으로써 분석결과에 있어서 높은 신뢰성을 확보할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 유체 내 입자 검출 시스템의 개략도이고,
도 2는 본 발명의 유체 내 입자 검출 시스템를 도시한 것이고,
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 분무장치를 도시한 것이고,
도 4는 도 3의 분무장치의 동작도이고,
도 5는 도 1의 유체 내 입자 검출 시스템의 시료샘플을 채취하는 제1채취패턴을 설명하는 것이고,
도 6은 도 1의 유체 내 입자 검출 시스템의 시료샘플을 채취하는 제2채취패턴을 설명하는 것이고,
도 7은 도 1의 유체 내 입자 검출 시스템의 시료샘플을 채취하는 제3채취패턴을 설명하는 것이다.

설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 분무장치(200) 및 이를 이용하는 유체 내 입자 검출 시스템(100)에 대하여 상세하게 설명한다.

먼저, 본 발명의 제1실시예에 따른 유체 내 입자 검출 시스템(100)에 대하여 설명하고, 다음으로 이에 포함되는 분무장치(200)에 관하여 설명한다.

본 발명인 유체 내 입자 검출 시스템은 특정장비에서의 오염물질 생성여부를 분석하는 시스템으로 제한되지 않으며 유체 내의 입자들을 분석하기 위하여 광범위하게 이용될 수 있으나, 본 실시예의 유체 내 입자 검출 시스템(100)에서는 테스트 밸브(10)를 통과하는 유체의 전후에 포함되는 입자 특성을 비교하여 테스트 밸브(10)에서의 오염물질 생성여부를 판단하는 시스템으로 한정하여 설명한다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 유체 내 입자 검출 시스템의 개략도이고, 도 2는 본 발명의 유체 내 입자 검출 시스템를 도시한 것이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 유체 내 입자 검출 시스템(100)은 메인챔버(110)와 순환파이프(120)와 펌프(130)와 채취부(140)와 필터(150)와 분무장치(200)와 측정부재(160)와 드레인챔버(170)와 제어부(180)를 포함한다.

상기 메인챔버(110)는 포함하는 입자의 특성을 측정하고자 하는 유체를 외부로부터 유입하여 보관하는 박스형태의 챔버이다.

또한, 메인챔버(110)는 내부에 유체가 저장될 시 공기의 압력을 빼주기 위한 코르크(미도시)가 부착되며, 내부 유체의 양과 상태를 알 수 있도록 투명하며, 오염물질에 의하여 부식되지 않도록 내부식성 재질의 폴리프로필렌(polypropylene)으로 형성된다.

상기 순환파이프(120)는 양단부가 메인챔버(110)에 연결되어 폐순환 루프(closed loop)를 형성함으로써 메인챔버(110)의 내부에 있는 유체가 순환되는 경로로서의 역할을 한다. 한편, 순환파이프(110) 소정의 위치에는 오염입자 발생여부의 테스트 대상인 테스트 밸브(10)가 배치되어 유체가 테스트 밸브(10)를 통과하여 순환하도록 한다.

상기 펌프는 메인챔버(110)에 저장된 유체를 강제순환시키기 위한 것으로 메인챔버(110)의 일측과 순환파이프(120)를 통하여 연결된다.

한편, 펌프(110)는 일반적으로 모터를 사용하여 유체를 순환시키는 방식이 이용되지만, 모터를 사용할 경우에는 장시간 사용시에는 유체의 온도가 상승하여 시스템의 오작동의 원인이 될 수 있으므로 본 실시예에서는 공압을 이용하여 유체를 순환시키는 공압펌프가 이용된다.

상기 채취부(140)는 순환하는 유체의 일부를 시료샘플로서 채취하기 위한 부재로서 제1채취밸브(141)와 제2채취밸브(142)를 포함한다. 상기 제1채취밸브(141)와 상기 제2채취밸브(142)는 순환파이프(120)에 설치되되, 제1채취밸브(141)는 테스트 밸브(10)의 전방에 배치되고, 제2채취밸브(142)는 테스트 밸브(10)의 후방에 배치된다. 따라서, 유체는 제1채취밸브(141), 테스트 밸브(10), 제2채취밸브(142)의 순서대로 통과한다.

각각의 제1채취밸브(141)와 제2채취밸브(142)는 오염입자를 포함하는 유체가 통과하는 경우에 부식되는 것을 방지하기 위하여 폴리테트라플루오르에틸렌(PTFE:polytetrafluoroethylene) 재질로 형성되는 것이 바람직하다.

상기 필터(150)는 순환 파이프(120) 상에 제1채취밸브(141)와 인접하여 설치되며 제1채취밸브(141)에 유입되어 시료샘플이 채취되기 전에 유체에 포함되는 입자들을 필터링한다.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 분무장치를 도시한 것이고, 도 4는 도 3의 분무장치의 동작도이다.

도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 분무장치(200)는 유체를 에어로졸(aerosol) 변환하여 분사하는 부재로서 케이스(210)와 유입구(220)와 분사부(230)와 유출구(240)와 드레인부(250)와 유량센서(260)를 포함한다.

상기 케이스(210)는 속이 빈 원통형으로 구비되고 순환 파이프(120)상에서 채취된 시료샘플을 보관한다. 본 실시예의 케이스(210)는 제작의 용이성을 위하여 폴리염화비닐(polyvinyl chloride)재질로 형성되나, 이에 제한되는 것은 아니고 Stainless Steel(SUS) 재질로 형성될 수도 있다.

상기 유입구(220)는 관의 형태로 상기 케이스(210)의 상면을 관통하여 구비되며, 일단부는 채취부(140)와 연결되어 채취된 시료샘플을 제공받고, 타단부는 케이스의 내부에 수용되어 채취부(140)로부터 제공받은 시료샘플을 케이스의 내부로 방출할 수 있다.

상기 분사부(230)는 케이스(210)의 내부에 보관되는 유체를 에어로졸로 변환시켜 분사하는 부재로서, 오리피스(orifice)관(231)과 공급관(232)을 포함한다.

상기 오리피스관(231)은 케이스(210) 측면을 관통하는 관의 형태로서, 일단부는 케이스(210)의 외측에 개방되고, 타단부는 케이스(210)의 내부에 수용되며, 케이스(210)의 상면 및 하면에 평행하게 배치된다.

한편, 오리피스관(231)은 케이스(210)의 외측에서 내측방향으로 향할수록 내경이 작아지는 형태로 마련된다. 따라서, 외부에서 유입된 공기는 오리피스관(210)을 따라서 이동하면서 단면적이 줄어들면서 유속이 빨라지며, 베르누이 원리에 의하여 압력은 떨어지게 된다.

상기 공급관(232)은 케이스(210) 내부의 액체를 흡입하여 오리피스관(231)에 제공하는 부재로서, 소정의 직경을 가지는 관의 형태를 가지며, 일단부는 오리피스관(231)의 측면부에 연결되고 타단부는 케이스(210)의 내부에 개방된다.

공급관(232)과 오리피스관(231)의 길이방향이 형성하는 각도는 90°이하(예각)가 되도록 하되, 케이스(210)의 내부로 개방되는 공급관(232)의 단부는 케이스(210)의 측벽면을 향하도록 공급관(232)을 설치한다.

상기 유출구(240)는 케이스(210)의 상면을 관통하는 관의 형태로서, 일단부는 케이스(210)의 내부에 개방되고, 타단부는 측정부재(160)와 연결되며, 에어로졸화 된 시료샘플을 측정부재(160)로 보내는 역할을 한다.

상기 드레인부(250)는 드레인관(251)과 드레인 밸브(252)를 포함한다.

드레인부(250)는 케이스(210) 내부 유체의 시료샘플 중 일부를 외부로 배출하는 부재로서 보관되는 양을 조절하여 시료샘플이 케이스(210)의 내부에서 일정한 양으로 유지되도록 한다.

상기 드레인관(251)은 케이스(210)의 하면을 관통하는 관의 형태로 구성되며, 일단부는 케이스(210) 내부의 시료샘플에 개방되고 타단부는 후술하는 드레인 챔버(170)에 연결된다.

상기 드레인 밸브(252)는 드레인관(251)에 부착되어 개폐를 통하여 배출되는 시료샘플의 양을 제어한다.

상기 유량센서(260)는 드레인 밸브(252)와 연결되어 케이스(210) 내부 시료샘플의 량을 감지하고, 상기 드레인 밸브(252)에 개폐여부의 신호를 보내는 부재이다.

상기 측정부재(160)는 각 분무장치(200)에서 에어로졸로 변환된 시료샘플을 유입하여 포함되는 입자들의 크기, 개수 등의 입자특성을 측정 및 분석한다.

측정부재(160)는 유입되는 에어로졸에 포함되는 입자들을 크기별로 분류해주는 입경분류유닛과 수농도를 측정하는 측정유닛을 포함하며, 수 nm 에서 1㎛ 입자의 입경분포를 실시간으로 얻을 수 있도록 구성된다.

본 실시예에서는 입경분류유닛으로서 차등 이동도 분석기(DMA:Differential Mobility Analyzer)와 측정유닛으로서 응축핵계수기(CPC:Condensation Particle Counter)를 포함하는 주사이동입자측정기(SMPS:Scanning Mobility Particle Sizer)가 측정부재(160)으로 이용된다.

그러나, 측정부재(160)는 에어로졸에 포함되는 입자들을 측정할 수 있는 장비라면 이에 제한되는 것은 아니다.

상기 드레인 챔버(170)는 분무장치(200)와 연결되어 분무장치(200)에서 에어로졸화 되지 않고 배출되는 일부 시료샘플들이 저장되는 챔버이다. 드레인 챔버(170)로 배출된 유체들은 완전히 버려질 수도 있고, 메인챔버(110)로 보내지거나 순환 파이프(120)와 연결되어 재측정 및 분석의 대상으로 이용될 수도 있다.

상기 제어부(180)는 채취부(140)와 연결되어 순환 중인 유체의 시료샘플의 채취량, 채취 시간 등을 제어한다.

지금부터는 상술한 유체 내 입자 검출 시스템(100)의 제1실시예의 작동에 대하여 설명한다.

한편, 도 1에서는 유체의 흐름을 f로 도시하고, 유체에서 채취되는 시료샘플을 s 로 도시하며, 시료샘플이 분무장치(200)에서 변환된 에어로졸을 a 로 도시되어 있으며, 도 1을 참조하여 설명한다.

순환파이프(120)와 연결된 펌프(130)가 작동하면 메인챔버(110)에 유입되어 보관중인 유체는 순환파이프(120)를 이동경로로 하여 강제 순환 이동한다. 유체는 순환파이프(120)를 통하여 유동하면서 필터(150)를 통과하고, 유체 내에 포함되는 소정 크기 이상의 입자들이 필터링(filtering) 된다.

유체를 필터링함으로써 테스트 밸브(10)을 통과하기 전에 이미 발생된 오염 입자들을 최대한 제거하여 통과시에 테스트 밸브(10)에서 발생되어 유체에 포함되는 오염입자만이 검출되므로 테스트 밸브(10)가 오염입자 발생에 미치는 영향에 관한 분석의 정확도가 향상된다.

이때, 제어부(180)에서는 테스트 밸브(10)의 전방에 필터와 인접하게 설치되는 제1채취밸브(141) 및 테스트 밸브(10)의 후방에 설치되는 제2채취밸브(142)에 개방신호을 보내고 제1채취밸브(141) 및 제2채취밸브(142)는 개방되어 유동 중인 유체의 일부를 채취하여 시료샘플로서 이용한다.

한편, 제어부(180)가 시료샘플을 채취하는 패턴에 따라서 입자 특성 분석 방향도 달라지므로 시료샘플의 채취패턴은 다양항 형태로 구성될 수 있다.

하기의 제1채취패턴 내지 제3채취패턴은 채취부에서 시료샘플을 채취하는 패턴의 예로서 설명하고 있으며, 채취패턴이 이에 제한되는 것은 아니다.

본 실시예에의 유체 내 입자 검출 시스템(100)에서는 하기의 제1채취패턴에 의하여 시료샘플을 채취하는 것으로 한정하여 동작을 설명한다.

도 5 내지 도 7은 제1채취패턴 내지 제3채취패턴을 설명하여 도시하는 것이며, '개'는 채취밸브의 개방을, '폐'는 각 채취밸브가 폐쇄됨을 의미한다.

< 제1채취패턴 >

도 5는 도 1의 유체 내 입자 검출 시스템의 시료샘플을 채취하는 제1채취패턴을 설명하는 것이다. 도 5를 참조하면, 제1채취밸브(141)와 제2채취밸브(142)를 동시에 개방하여(b) 동시간, 각각 다른 위치에 있는 유체의 내부에 포함된 입자들의 특성을 분석한다.

< 제2채취패턴 >

도 6은 도 1의 유체 내 입자 검출 시스템의 시료샘플을 채취하는 제2채취패턴을 설명하는 것이다. 도 6을 참조하면, 유체가 순환 이동하는 상태에서(a) 제1채취밸브(141)를 먼저 개방하여 시료샘플을 채취하고(b), 계산된 소정의 시간 후에 제2채취밸브(142)를 개방하여 시료샘플을 채취(c)함으로써 동일한 유체에 포함되는 입자들의 테스트 밸브(10)를 통과하기 전과 후의 변화를 분석한다.

< 제3채취패턴 >

도 7은 도 1의 유체 내 입자 검출 시스템의 시료샘플을 채취하는 제3채취패턴을 설명하는 것이다. 도 7을 참조하면, 제1채취밸브(141) 또는 제2채취밸브(142)를 일정시간 동안 개방하여 유체가 흐르는 상태에서 시료샘플을 연속적으로 채취함으로써 동일한 위치에서의 유체에 포함된 입자 변화를 시계열적으로 분석한다.

상술한 제1채취패턴을 통하여 채취부(140)에서 채취되는 시료샘플들은 제1채취밸브(141) 및 제2채취밸브(142) 각각에 연결되는 분무장치(200)의 유입구(220)로 보내진다.

분무장치(200)의 유입구(220)에서는 제공되는 유체의 시료샘플을 유입하여 케이스(210) 내부에 채우며 분무장치(200)의 작동시 케이스(210) 내부의 압력은 2 bar 에서 5 bar 범위 내에서 유지되는 것이 바람직하다.

케이스(210)의 내부에는 유체가 계속적으로 유입되는 것이 아니라 유량센서(260)가 유체의 양을 감지하여, 정해진 양을 넘어서서 채워진 경우에는 드레인 밸브(252)를 개방하여 드레인관(251)을 통하여 유체를 배출한다. 배출되는 유체는 드레인관(251)에 이어지는 드레인챔버(170)를 채우며, 케이스(210) 내부에는 유체의 양을 일정하게 유지한다.

이때, 분사부(230)의 오리피스관(231)은 외부로부터 공기를 유입하며, 유입된 공기는 직경이 작아지는 오리피스관(231)을 따라서 흐르고, 베르누이 법칙에 의하여 단면적이 줄어들면서 압력이 낮아진다.

낮은 압력의 공기가 유입되면서, 케이스(210) 내부와의 압력차이로 인하여 시료샘플은 공급관(232)을 통하여 흡입되고, 빨려 올라오는 시료샘플은 압축된 공기를 만나면서 에어로졸(aerosol)의 형태로 분사된다.

에어로졸은 유출구(240)를 통하여 외부로 유출되어, 측정부재(160)에 보내진다. 본 발실시예에서 사용되는 측정부재(160)인 주사이동입자측정기(SMPS:Scanning Mobility Particle Sizer)는 전달받은 에어로졸을 하전시키고 하전된 입자들을 전기장으로 분류하여 수농도와 크기 등의 특성을 측정하는 방법을 이용한다.

한편, 드레인 챔버(170)로 배출된 시료샘플들은 메인 챔버(110) 또는 순환파이프(120)와 연결되어 순환유체로서 제공됨으로써 다시 본 시스템의 분석대상이 될 수도 있다.

따라서, 제1채취밸브 및 제2채취밸브에서 채취된 시료샘플에서 측정된 입자들의 특성을 비교하면 테스트 밸브 통과 전후의 오염입자 생성 여부 및 특성에 대하여 도출할 수 있다.

종래에는 분석자가 분석 대상 유체로부터 직접 시료샘플을 채취하여 에어로졸로 변환하는 작업을 반복하고, 단속적으로 분석하는 방법을 이용하여 불편하였으나, 본 실시예의 유체 내 입자 검출 시스템을 이용하면, 순환하는 유체를 시간상 단속됨이 없이 연속적으로 시료를 채취하는 과정의 자동화가 가능하므로 유체 내 입자를 용이하게 분석할 수 있다.

한편, 본 발명의 일실시예에 따른 유체 내 입자 검출 시스템에서는 분석대상인 유체가 순환파이프를 통하여 순환하며, 순환파이프 상에서 시료샘플을 채취하였으나. 순환경로가 아닌 소정의 경로를 따라 유동하는 유체 일부를 시료샘플을 채취하여 분석할 수도 있다.

또한, 본 실시예에서는 테스트 밸브를 통과하기 전, 후의 유체에 포함되는 입자의 변화를 분석하였으나, 전 후의 입자 변화를 분석 대상이 되는 유체가 통과하는 부재가 테스트 밸브에 이에 제한되지 않으며, 위치변화에 따른 입자변화의 분석 외에도 동일 위치에서 채취되는 시료샘플 내의 입자들을 시간에 따라 분석할 수도 있다.

본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.

100 : 유체 내 입자 검출 시스템 10 : 테스트 밸브
110 : 메인챔버 150 : 필터
120 : 순환파이프 160 : 측정부재
130 : 펌프 170 : 드레인 챔버
140 : 채취부 180 : 제어부
200 : 분무장치 251 : 드레인관
231 : 오리피스관 252 : 드레인밸브
232 : 공급관 260 : 유량센서

Claims (10)

1. 케이스;
   상기 케이스의 내부로 유체를 유입하는 유입구;
   상기 유입된 유체를 에어로졸(aerosol) 상태로 분사하는 분사부;
   상기 에어로졸을 상기 케이스의 외부로 유출시키는 유출구;
   상기 유체의 일부를 상기 케이스의 외부로 배출함으로써 상기 케이스 내부의 유체량을 조절하는 드레인부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 분무장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 케이스 내부 유체의 양을 감지하기 위한 유량센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 분무장치.
3. 제1항에 있어서,
   상기 분사부는,
   상기 케이스를 관통하되, 외측에서 유입된 공기를 통과시킴으로써 압력을 하강시키는 오리피스관;
   일단부는 상기 오리피스관과 연결되고, 타단부는 상기 케이스의 내부에 개방되며, 상기 케이스에 보관되는 액체를 흡입하여 상기 오리피스관에 공급하는 공급관;을 포함하는 것을 특징으로 하는 분무장치.
4. 제3항에 있어서,
   상기 분사부는,
   상기 오리피스관에 공급되는 액체의 방향과 상기 유입되는 공기의 방향은 예각을 이루는 것을 특징으로 하는 분무장치.
5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항의 분무장치를 이용하는 시스템으로서,
   유체가 유동하는 경로 중 소정의 위치에서 상기 유체의 시료샘플을 채취하는 채취부;
   상기 채취부와 연결되어 채취된 시료샘플을 에어로졸로 변환시키는 상기 분무장치;
   상기 에어로졸에 포함된 입자의 개수, 크기 등의 특성을 측정하는 에어로졸용 측정부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 내 입자 검출 시스템.
6. 제5항에 있어서,
   입자 특성 검출의 정확도를 향상시키기 위하여 상기 채취부 전의 위치에 구비되어 유체를 필터링 하는 필터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 내 입자 검출 시스템.
7. 제5항에 있어서,
   상기 채취부의 동작을 제어하기 위한 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 내 입자 검출 시스템.
8. 제5항에 있어서,
   상기 유체는 폐순환 경로를 통하여 순환하며,
   상기 채취부는 상기 순환중인 유체의 시료샘플을 시간에 따라서 연속적으로 채취 가능한 것을 특징으로 하는 유체 내 입자 검출 시스템.
9. 제5항에 있어서,
   상기 채취부는 복수개가 마련됨으로써 서로 다른 위치에서 유동중인 유체의 시료샘플을 채취하는 것을 특징으로 하는 유체 내 입자 검출 시스템.
10. 제8항에 있어서,
    상기 분무장치의 드레인부에서 배출된 시료샘플을 상기 순환되는 유체에 다시 포함시키는 것을 특징으로 하는 유체 내 입자 검출 시스템.

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