KR20110090101A - 박판수납카세트 - Google Patents

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KR20110090101A
KR20110090101A KR1020100009687A KR20100009687A KR20110090101A KR 20110090101 A KR20110090101 A KR 20110090101A KR 1020100009687 A KR1020100009687 A KR 1020100009687A KR 20100009687 A KR20100009687 A KR 20100009687A KR 20110090101 A KR20110090101 A KR 20110090101A
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groove
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KR1020100009687A
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박기호
이강성
임이택
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(주)상아프론테크
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Abstract

본 발명은 일정 간격 이격되어 서로 마주하게 배치된 수지재질의 한 쌍의 기립 플레이트(10), 상기 한 쌍의 기립 플레이트(10)에 양단이 고정되어 서로에 평행하게 배치된 수지재질의 복수개의 지지바아(20), 상기 각각의 지지바아(20)의 길이방향을 따라 일정 간격을 두고서 형성되어 박판(30)을 지지하게 되는 슬롯(40), 및 상기 복수개의 지지바아(20)의 처짐 또는 좌굴을 방지하기 위해 상기 복수개의 지지바아(20) 각각에 심재로서 심어져 있는 금속재의 봉(50)을 포함하고 있는 박판수납카세트에 관한 것으로서, 상기 지지바아와 상기 기립 플레이트 간의 결합을 종래와 같이 열용융에 의한 압접결합방식으로 하되, 상기 압접결합시에 상기 지지바아에 심어진 금속재의 봉의 단부에 형성된 환형의 홈에 상기 기립 플레이트의 용융된 부분이 침입되게 하여 상기 기립 플레이트가 상기 금속재의 봉 간에도 서로 결합되게 하였다.

Description

박판수납카세트{cassette for receiving thin plate}
본 발명은 박판을 수납하는 카세트에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 깨지지 쉬운 웨이퍼, 글래스 등과 같은 박판을 수납하는 카세트에 관한 것이다.
종래의 박판수납카세트는 일정 간격 이격되어 서로 마주하게 배치된 기립 플레이트, 상기 기립 플레이트에 양단이 고정되어 서로에 평행하게 배치된 복수개의 지지바아 및 상기 각각의 지지바아의 길이방향을 따라 일정 간격을 두고서 형성되어 박판을 2점지지식, 3점지지식, 4점지지식 등으로 지지하게 되는 슬롯을 포함하고 있다.
이러한 구성을 가진 박판수납카세트는 경량화를 위해 상기 기립 플레이트와 상기 복수개의 지지바아가 수지재질로 되어 있다.
그리고 상기 지지바아와 상기 기립 플레이트 간의 결합은 체결수단에 의해 구현되어 있다.
하지만, 상기 박판수납카세트에 진동을 가하면, 상기 체결수단이 느슨해지거나 해체되어 상기 박판수납카세트에 수납되어 있는 박판이 상기 슬롯으로부터 이탈되어 박판이 손상될 경우가 발생하게 되며, 더욱이 상기 박판수납카세트를 파지하여 요동치게 하면서, 상기 박판수납카세트에 수납된 복수개의 박판을 세정할 경우에는 상기 박판이 손상될 경우가 더욱더 빈번하게 발생하게 된다.
이러한 손상을 방지하기 위해, 종래에는 상기 수지 재질의 지지바아와 상기 수지 재질의 기립 플레이트 간의 결합은 열용융에 의한 압접에 의해 구현되어 왔다.
하지만, 상기 박판수납카세트에 많은 양의 박판을 또는 대형의 박판을 수납시키기 위해 상기 지지바아를 길게 할 경우에는 상기 지지바아의 좌굴 또는 처짐을 방지하기 위해 금속재의 봉이 상기 지지바아에 심으로서 심어져 있는 상태에서, 상기 지지바아와 상기 기립 플레이트 간의 열용융에 의한 압접결합이 단순히 지지바아와 기립 플레이트 간의 면대면 결합으로 되어 있기 때문에, 상기 박판수납카세트를 장시간 사용하게 되면, 상기 지지바아와 상기 기립 플레이트 간의 결합부가 균열 또는 파손된다고 하는 문제점이 발생하게 된다.
본 발명은 상기된 문제점을 해결하는 것에 과제를 가지고 있다.
본 발명은 상기 지지바아와 상기 기립 플레이트 간의 결합을 종래와 같이 열용융에 의한 압접결합방식으로 하되, 상기 압접결합시에 상기 지지바아에 심어진 금속재의 봉의 단부에 형성된 환형의 홈에 상기 기립 플레이트의 용융된 부분이 침입되게 하여 상기 기립 플레이트가 상기 금속재의 봉 간에도 서로 결합되게 함으로써 상기 과제를 달성할 수 있다.
본 발명은 상기와 같은 결합방식으로 기립 플레이트와 지지바아가 결합된 박판수납카세트로 하여금, 많은 양의 박판을 또는 대형의 박판을 장시간 동안 수납하게 하여도, 상기 지지바아의 좌굴 또는 처짐을 방지하면서도, 상기 지지바아와 상기 기립 플레이트 간의 결합부가 균열 또는 파손되지 않게 하는 작용효과를 제공할 수 있게 하였다.
도 1은 본 실시예에 따른 박판수납카세트가 도시된 사시도, 및
도 2는 지지바아와 기립 플레이트 간의 결합상태를 도시한 단면도.
이하, 본 발명의 실시예에 따른 박판수납카세트가 도 1 내지 도 2를 참조하여 상세히 설명될 것이다.
도 1에는 본 실시예의 박판수납카세트가 부호 100으로서 지시되어 있다.
상기 박판수납카세트(100)는, 종래와 같이, 일정 간격 이격되어 서로 마주하게 배치된 한 쌍의 기립 플레이트(10), 상기 한 쌍의 기립 플레이트(10)에 양단이 고정되어 서로에 평행하게 배치된 복수개의 지지바아(20) 및 상기 각각의 지지바아(20)의 길이방향을 따라 일정 간격을 두고서 형성되어 박판(30)을 지지하게 되는 슬롯(40)을 포함하고 있다.
상기 박판수납카세트(100)의 경량화를 위해, 상기 한 쌍의 기립 플레이트(10)와 상기 복수개의 지지바아(20)는 수지재질로 되어 있다.
하지만, 상기 복수개의 지지바아(20)의 처짐 또는 좌굴을 방지하기 위해 상기 복수개의 지지바아(20) 각각에는 심재로서 금속재의 봉(50)이 심어져 있다.
상기 금속재의 봉(50)의 양단은 상기 지지바아(20)의 양단에서 일정 길이 돌출되어 있다.
돌출된 상기 금속재의 봉(50)의 양단에는 환형의 홈(51)이 형성되어 있다.
상기 금속재의 봉(50)의 양단과 마주하게 되는 상기 기립 플레이트(10) 각각의 부분에는 상기 지지바아(20)의 단부가 끼워맞춤될 수 있는 제1홈(11)이 형성되어 있고, 그리고 상기 제1홈(11)에는 상기 금속재의 봉(50)의 단부가 끼워맞춤될 수 있는 제2홈(12)이 형성되어 있다.
상기 제1홈(11)의 중심축선과 상기 제2홈(12)의 중심축선은 동일한 선상에 배치되게 상기 기립 플레이트(10)에 형성되어 있다.
상기 지지바아(20)와 상기 기립 플레이트(10) 간의 결합은 다음과 같이 수행될 수 있다.
먼저, 지지바아(20)의 양단을 상기 기립 플레이트(10) 각각에 형성된 제1홈(11)에 끼워넣는다. 이러한 상태에서는 상기 지지바아(20)의 심재인 상기 금속재의 봉(50)의 양단도 상기 제1홈(11)에 형성된 제2홈(12)에 끼워넣어진 상태가 된다.
이 상태에서 상기 한 쌍의 기립 플레이트(10)와 상기 지지바아(20)를 도시되지 않은 지그에 의해 서로 마주하는 방향으로 가압면서, 상기 한 쌍의 기립 플레이트(10)와 상기 지지바아(20)가 서로 접촉하는 부위에 고온분위기를 조성하면, 상기 금속재의 봉(50)의 환형의 홈(51)과 마주하는 상기 기립 플레이트(10)의 제2홈(12)의 내주면이 일부 녹게되어, 상기 환형의 홈(51)내로 유입됨과 동시에 상기 기립 플레이트(10)의 제1홈(11)과 마주하게 되는 상기 지지바아(20)의 단부측면 및 외주면과 함께 상기 제1홈(11)의 내주면 및 상기 지지바아(20)와 마주하는 제1홈(11)의 바닥면이 녹게되고, 이 상태에서 녹게된 부분을 일정 시간 냉각하게 되면, 상기 기립플레이트(10)와 상기 지지바아(20)가 일체적으로 결합되게 된다.
상기 고온분위기를 조성하는 방법에는 융접법과 압접법으로 크게 분류되는 용접법중에서 압접법이 채용될 수 있다.
상기 압접법에는 전기저항용접과 특수압접법으로 나누어지며, 본 실시예에서는 서로 접합될 부위가 수지인 관계로, 특수압접법의 일종인 가스압접, 마찰압접, 고주파용접, 초음파용접 등이 채용되면 바람직하다.
10:기립 플레이트, 11:제1홈, 12:제2홈, 20:지지바아, 30:박판, 40:슬롯, 50:금속재의 봉, 51:환형의 홈, 100:박판수납카세트

Claims (4)

  1. 일정 간격 이격되어 서로 마주하게 배치된 수지재질의 한 쌍의 기립 플레이트(10), 상기 한 쌍의 기립 플레이트(10)에 양단이 고정되어 서로에 평행하게 배치된 수지재질의 복수개의 지지바아(20), 상기 각각의 지지바아(20)의 길이방향을 따라 일정 간격을 두고서 형성되어 박판(30)을 지지하게 되는 슬롯(40), 및 상기 복수개의 지지바아(20)의 처짐 또는 좌굴을 방지하기 위해 상기 복수개의 지지바아(20) 각각에 심재로서 심어져 있는 금속재의 봉(50)을 포함하고 있는 박판수납카세트에 있어서,
    상기 금속재의 봉(50)의 양단은 상기 지지바아(20)의 양단에서 일정 길이 돌출되어 있고,
    돌출된 상기 금속재의 봉(50)의 양단에는 홈(51)이 형성되어 있고,
    상기 금속재의 봉(50)의 양단과 마주하게 되는 상기 한 쌍의 기립 플레이트(10) 각각의 부분에는 상기 지지바아(20)의 단부가 끼워맞춤될 수 있는 제1홈(11)이 형성되어 있고, 그리고
    상기 제1홈(11)에는 상기 금속재의 봉(50)의 단부가 끼워맞춤될 수 있는 제2홈(12)이 형성되어 있으며,
    상기 지지바아(20)의 양단과 상기 한 쌍의 기립 플레이트(10) 간의 결합은 지지바아(20)의 양단을 상기 한 쌍의 기립 플레이트(10) 각각에 형성된 제1홈(11)에 끼워넣어서, 상기 금속재의 봉(50)의 양단 각각이 상기 제2홈(12)에 끼워넣어진 상태에서, 상기 기립 플레이트(10)와 상기 한 쌍의 지지바아(20)를 서로 마주하는 방향으로 가압면서, 상기 한 쌍의 기립 플레이트(10)와 상기 지지바아(20)가 서로 접촉하는 부위에 고온분위기를 조성하여, 상기 금속재의 봉(50)의 홈(51)과 마주하는 상기 기립 플레이트(10)의 제2홈(12)의 내주면이 일부 녹게되어, 상기 홈(51)내로 유입됨과 동시에 상기 기립 플레이트(10) 각각의 제1홈(11)과 마주하게 되는 상기 지지바아(20)의 일단측면 및 외주면과 함께 상기 제1홈(11)의 내주면과 상기 지지바아(20)와 마주하는 제1홈(11)의 바닥면이 녹게한 다음, 이들 녹은 부분을 일정 시간 냉각하여 수행되는 것을 특징으로 하는 박판수납카세트.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 제1홈(11)의 중심축선과 상기 제2홈(12)의 중심축선은 동일한 선상에 배치되게 상기 기립 플레이트(10)에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 박판수납카세트.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 홈(51)은 환형의 홈인 것을 특징으로 하는 박판수납카세트.
  4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 고온분위기를 조성하는 방법은 압접법의 일종인 가스압접, 마찰압접, 고주파용접, 및 초음파용접으로 이루어진 군중에서 어느 하나인 것을 특징으로 하는 박판수납카세트.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN103662379A (zh) * 2012-09-10 2014-03-26 佛山市欣创装饰材料有限公司 装饰板存储单元
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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