KR20110089943A - 기판 반송장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 복수의 기판을 반송하는 트레이의 처짐을 방지함과 아울러, 기판의 픽업 및 적재시에 기판 및/또는 트레이의 파손을 방지할 수 있도록 한 기판 반송장치에 관한 것으로, 기판 반송장치는 복수의 기판을 적재되는 트레이(Tray); 복수의 롤러(Roller)를 이용하여 상기 트레이를 반송하는 트레이 반송수단; 상기 트레이의 처짐을 복원하는 처짐 복원수단; 상기 처짐 복원수단에 의한 상기 트레이의 들림을 구속하는 들림 구속수단; 및 상기 복수의 기판을 상기 트레이에 적재하거나 상기 트레이에 적재된 기판을 픽업(Pickup)하는 적어도 하나의 픽커(Picker)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

Description

기판 반송장치{SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS}
본 발명은 기판 반송장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로, 복수의 기판을 반송하는 트레이의 처짐을 방지함과 아울러, 기판의 픽업 및 적재시에 기판 및/또는 트레이의 파손을 방지할 수 있도록 한 기판 반송장치에 관한 것이다.
일반적으로, 태양전지는 반도체의 성질을 이용하여 빛 에너지를 전기 에너지로 변환시키는 소자로써, 태양전지는 P(positive)형 반도체와 N(negative)형 반도체를 접합시킨 PN 접합 구조를 포함하여 이루어져, 태양광이 입사되면 입사된 태양광이 가지고 있는 에너지에 의해 상기 반도체 내에서 정공(hole)과 전자(electron)가 발생하고, 이때, PN접합에서 발생한 전기장에 의해서 상기 정공(+)는 P형 반도체 쪽으로 이동하고 상기 전자(-)는 N형 반도체 쪽으로 이동하게 되어 전위가 발생하게 됨으로써 전력을 생산한다.
태양전지는 박막형 태양전지와 웨이퍼형 태양전지로 구분할 수 있다.
박막형 태양전지는 유리 등과 같은 기판 상에 박막의 형태로 반도체를 형성하여 태양전지를 제조한 것이고, 웨이퍼형 태양전지는 실리콘과 같은 반도체 물질 자체를 기판으로 이용하여 태양전지를 제조한 것이다.
이와 같은 박막형 태양전지 또는 웨이퍼형 태양전지는 유리, 투명한 플라스틱 또는 실리콘 웨이퍼(이하에서는 “유리, 투명한 플라스틱 또는 실리콘 웨이퍼”를 “기판”으로 통칭하기로 한다) 상에 PN접합을 위한 반도체층을 형성하는 공정, 및 반도체층과 전기적으로 연결되는 (+)전극 및 (-)전극을 형성하는 공정을 통해 제조된다. 또한, 웨이퍼형 태양전지의 경우 태양광이 PN접합층 내로 투과되지 않고, 그 표면에서 반사되는 것을 방지하기 위해 태양광의 입사면에 반사방지층을 형성하는 공정을 추가로 수행하기도 한다.
이와 같은 반도체층, 전극층 및 반사방지층은 증착 장비 또는 스퍼터링 장비 등(이하, “증착 장비 또는 스퍼터링 장비 등”을 “공정 장비”로 통칭하기로 한다)을 이용하여 형성하게 된다.
한편, 상기와 같은 공정장비를 이용한 일반적인 반도체 제조공정에서는 반도체 소자를 미세한 패턴으로 형성해야 하는 필요성으로 인해서 각각의 공정장비 내에서 1개의 기판만이 처리되는 것이 일반적이다.
그러나, 태양전지의 경우에는 미세한 패턴을 형성해야 하는 필요성이 적기 때문에 생산효율 증진을 위해서는 복수의 기판을 동시에 공정 장비 내로 로딩하여 처리하는 것이 바람직하다. 이를 위해, 종래의 태양전지의 제조 시스템에서는 복수의 기판이 적재된 트레이(Tray)를 공정 장비 내로 로딩시키는 기판 반송장치를 포함하여 구성된다. 여기서, 트레이는 금속 재질로 이루어질 수 있다.
종래의 기판 반송장치는 트레이 반송수단, 및 픽커(Picker)를 구비한다.
트레이 반송수단은 트레이를 공정 장비로 반입하거나 공정 장비로부터 반출한다. 이때, 트레이 반송수단은 컨베이어(Conveyer) 또는 트레이 반송로봇으로 구성될 수 있다.
픽커는 트레이에 기판을 적재하거나, 트레이에 적재된 기판을 픽업한다.
이러한 종래의 기판 반송장치는 트레이 반송수단에 의해 트레이가 외부로부터 반송되면, 픽커를 이용하여 복수의 기판을 트레이에 적재시킨 후, 트레이 반송수단을 통해 복수의 기판이 적재된 트레이를 공정 장비로 로딩시킨다.
또한, 종래의 기판 반송장치는 트레이 반송수단에 의해 공정 장비로부터 트레이가 반송되면, 픽커를 이용하여 트레이에 적재된 복수의 기판을 외부로 언로딩시킨다.
그러나, 종래의 기판 반송장치는 다음과 같은 문제점이 있다.
첫째, 트레이의 재질 특성상 반송시 자중에 의해 처짐이 발생하여 기판이 굴곡되거나 변형될 우려가 있는 문제점이 있다.
둘째, 트레이의 변형에 의해 픽커를 통한 기판의 픽업 또는 적재시 기판이 파손될 수 있다는 문제점이 있다.
셋째, 트레이의 변형에 의해 픽커의 하강시 트레이가 파손될 수 있다는 문제점이 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 복수의 기판을 반송하는 트레이의 처짐을 방지함과 아울러, 기판의 픽업 및 적재시에 기판 및/또는 트레이의 파손을 방지할 수 있도록 한 기판 반송장치를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 반송장치는 복수의 기판을 적재되는 트레이(Tray); 복수의 롤러(Roller)를 이용하여 상기 트레이를 반송하는 트레이 반송수단; 상기 트레이의 처짐을 복원하는 처짐 복원수단; 상기 처짐 복원수단에 의한 상기 트레이의 들림을 구속하는 들림 구속수단; 및 상기 복수의 기판을 상기 트레이에 적재하거나 상기 트레이에 적재된 기판을 픽업(Pickup)하는 적어도 하나의 픽커(Picker)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 처짐 복원수단은 상기 트레이의 하부에 서로 마주보도록 설치된 제 1 및 제 2 승강부재; 및 상기 제 1 및 제 2 승강부재에 의해 승강되어 상기 트레이의 처짐을 복원하는 승강 플레이트를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 처짐 복원수단은 상기 승강 플레이트의 표면으로부터 소정 높이를 가지도록 상기 승강 플레이트에 회전 가능하게 설치된 복수의 접촉 핀을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 들림 구속수단은 상기 트레이의 각 모서리 부분에 대응되도록 설치된 복수의 제 3 승강부재; 상기 복수의 제 3 승강부재에 의해 승강되는 복수의 승강헤드; 및 상기 복수의 승강헤드 각각에 설치되어 상기 각 승강헤드의 승강에 따라 상기 트레이의 각 모서리 부분의 들림을 구속하는 복수의 들림 구속부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 복수의 들림 구속부 각각은 상기 승강헤드에 회전 가능하도록 설치된 것을 특징으로 한다.
상기 적어도 하나의 픽커는 상기 기판을 픽업하기 위한 픽업헤드; 상기 픽업헤드를 승강시키기 위한 헤드 승강부재; 및 상기 픽업헤드의 측면에 설치되어 상기 픽업헤드의 하강을 제한하는 복수의 스톱퍼(Stopper)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 복수의 픽업헤드는 베르누이 정리(Bernoulli's theorem)에 의하여 상기 기판을 비접촉 방식으로 픽업하는 것을 특징으로 한다.
상기 복수의 스톱퍼 각각은 상기 픽업헤드의 적어도 2 측면에 서로 대각선 방향으로 설치된 것을 특징으로 한다.
상기 복수의 스톱퍼 각각은 상기 픽업헤드의 하부로부터 소정 높이를 가지도록 돌출된 것을 특징으로 한다.
상기 소정 높이는 10mm 미만인 것을 특징으로 한다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 기판 반송장치는 트레이의 하부에 설치된 처짐 복원수단을 이용하여 적재 플레이트의 처짐을 복원함과 아울러 들림 구속수단을 이용하여 적재 플레이트의 처짐 복원시 트레이의 들림을 구속함으로써 트레이의 처짐을 방지할 수 있다는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 픽커의 픽업헤드에 소정 높이로 설치되는 스톱퍼를 이용하여 픽업헤드의 하강을 제한함으로써 기판의 픽업 및 적재시에 기판 및/또는 적재 플레이트의 파손을 방지할 수 있다는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송장치를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송장치의 일부를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 처짐 복원수단을 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 도 1에 도시된 픽커를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 도 4에 도시된 복수의 스톱퍼에 의한 기판 및/또는 적재 플레이트의 파손 방지를 설명하기 위한 도면이다.
도 6a 내지 도 6d는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송장치의 구동에 따른 기판의 픽업 과정을 단계적으로 설명하기 위한 도면이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예에 대해 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송장치를 개략적으로 설명하기 위한 도면이고, 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송장치의 일부를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송장치는 트레이(Tray)(100), 트레이 반송수단(200), 처짐 복원수단(300), 들림 구속수단(400), 및 적어도 하나의 픽커(Picker)(500)를 포함하여 구성된다.
트레이(100)는 복수의 기판(S)이 적재되는 것으로써, 프레임(110), 및 적재 플레이트(120)를 포함하여 구성된다.
프레임(110)은 사각틀 형태를 가지도록 금속재질로 이루어진다. 여기서, 프레임(110)은 알루미늄(Al), 산화알루미늄(Al2O3) 또는 스테인리스(SUS) 재질로 이루어질 수 있다. 이러한, 프레임(110)의 내측면에는 적재 플레이트(120)가 삽입되는 삽입홈이 형성된다.
적재 플레이트(120)는 프레임(110)의 내측면에 형성된 삽입홈에 삽입되어 복수의 기판(S)을 지지한다. 여기서, 적재 플레이트(120)는 열전도 및 열팽창으로 인한 기판(S)의 위치 변동을 방지하기 위하여, 흑연(Graphite) 또는 복합소재 등의 재질로 이루어질 수 있다.
이러한, 트레이(100)는 트레이 반송수단(200)의 구동에 따라 공정 장비(미도시)로 로딩되거나, 공정 장비에서 언로딩된다.
트레이 반송수단(200)는 트레이(100)의 제 1 및 제 2 측면 각각의 배면 가장자리를 지지하도록 설치되어 트레이(100)를 반송한다. 이를 위해, 트레이 반송수단(200)은 제 1 및 제 2 롤러 구동부(210, 220), 및 복수의 롤러(230)를 포함하여 구성된다.
제 1 롤러 구동부(210)는 트레이(100)의 제 1 측면 배면 가장자리를 지지하도록 설치된다. 이러한, 제 1 롤러 구동부(210)는 복수의 롤러(230)를 구동시키기 위한 구동 모터를 포함하여 구성된다.
제 2 롤러 구동부(220)는 제 1 롤러 구동부(210)와 나란하도록 트레이(100)의 제 2 측면 배면 가장자리를 지지하도록 설치된다. 이러한, 제 2 롤러 구동부(220)는 복수의 롤러(230)를 구동시키기 위한 구동 모터를 포함하여 구성된다.
복수의 롤러(230) 각각은 트레이(100)의 제 1 및 제 2 측면 각각의 배면 가장자리를 지지하도록 제 1 및 제 2 롤러 구동부(210, 220) 각각의 내측면에 일정한 간격으로 가지도록 설치된다. 이러한, 복수의 롤러(230) 각각은 제 1 및 제 2 롤러 구동부(210, 220) 각각의 구동에 따라 회전되어 트레이(100)를 반송한다.
처짐 복원수단(300)은 프레임(110)의 제 3 및 제 4 측면 각각의 배면 가장자리에 대응되도록 설치되어 자중에 의한 프레임(110)의 처짐을 복원한다. 이를 위해, 처짐 복원수단(300)은, 도 3에 도시된 바와 같이, 제 1 및 제 2 승강부재(310, 320), 및 승강 플레이트(330)를 포함하여 구성된다.
제 1 승강부재(310)는 제 1 롤러 구동부(210)에 인접하도록 설치되어 승강 플레이트(330)의 일측을 승강시킨다. 이를 위해, 제 1 승강부재(310)는 볼 스크류(Ball Screw), 및 볼 스크류를 회전시키기 위한 회전부재를 포함하여 구성될 수 있으나, 이에 한정되지 않고, 승강 플레이트(330)의 일측에 접속된 실린더로 구성될 수도 있다.
제 2 승강부재(320)는 제 1 승강부재(310)와 마주보도록 제 2 롤러 구동부(220)에 인접하게 설치되어 승강 플레이트(330)의 타측을 승강시킨다. 이를 위해, 제 2 승강부재(320)는 제 1 승강부재(320)와 동일한 볼 스크류(Ball Screw), 및 볼 스크류를 회전시키기 위한 회전부재를 포함하여 구성되거나, 승강 플레이트(330)의 타측에 접속된 실린더로 구성될 수도 있다.
승강 플레이트(330)는 제 1 및 제 2 승강부재(310, 320) 간에 설치된 제 1 수평 플레이트(332), 및 제 1 수평 플레이트(332)의 중심 부분과 교차하도록 “+”자 형태로 일체화된 제 2 수평 플레이트(334)를 포함하여 구성된다. 이러한, 승강 플레이트(330)는 제 1 및 제 2 승강부재(310, 320)에 의해 승강되어 프레임(110)의 제 3 및 제 4 측면 각각의 배면 가장자리를 상승시킴으로써 자중에 의한 프레임(110)의 처짐을 복원한다.
한편, 처짐 복원수단(300)은, 도 3에 도시된 바와 같이, 복수의 접촉 핀(340)을 더 포함하여 구성된다.
복수의 접촉 핀(340) 각각은 제 2 수평 플레이트(334)의 단변 양 가장자리에 소정 높이로 설치되어 프레임(110)의 제 3 및 제 4 측면 각각의 배면 가장자리에 회전 가능하도록 접촉함으로써 프레임(110)의 처짐 복원시 프레임(110)의 제 3 및 제 4 측면 각각의 배면 가장자리를 상승시킨다. 이때, 복수의 접촉 핀(340)은 회전을 위해 베어링(Bearing) 접촉 구조를 가지는 것이 바람직하다.
도 1 및 도 2에서, 들림 구속수단(400)은 복수의 제 3 승강부재(410), 복수의 승강헤드(420), 및 복수의 들림 구속부(430)를 포함하여 구성된다.
복수의 제 3 승강부재(410) 각각은 트레이(100)의 각 모서리 부분에 대응되도록 설치된다. 이때, 복수의 제 3 승강부재(410) 각각은 구동 모터 또는 실린더가 될 수 있다.
복수의 승강헤드(420) 각각은 복수의 제 3 승강부재(410) 각각에 접속되어 제 3 승강부재(410)의 구동에 따라 승강된다.
복수의 들림 구속부(430) 각각은 복수의 승강헤드(420) 각각의 측면에 회전 가능하게 설치되어 승강헤드(420)의 승강에 따라 승강된다. 이때, 복수의 들림 구속부(430)는 승강헤드(420)의 하강에 따라 하강되어 트레이(100)의 각 모서리 부분을 가압함으로써 처짐 복원수단(300)에 의한 트레이(100)의 처짐 복원에 따른 트레이(100)의 들림을 구속한다. 이때, 복수의 들림 구속부(430)는 베어링 접촉 구조를 통해 승강헤드(420)에 회전 가능하게 설치되는 것이 바람직하다.
적어도 하나의 픽커(500)는 복수의 기판(S)을 트레이(100)의 적재 플레이트(120)에 적재하거나, 적재 플레이트(120)에 적재된 기판(S)을 픽업(Pickup)하여 외부로 언로딩시킨다. 이를 위해, 적어도 하나의 픽커(500) 각각은, 도 4에 도시된 바와 같이, 픽업헤드(510), 헤드 승강부재(520), 및 복수의 스톱퍼(Stopper)(530)를 포함하여 구성된다.
픽업헤드(510)는 기판(S)의 크기에 대응되도록 평판 형태로 형성된다. 이러한, 픽업헤드(510)는 베르누이 정리(Bernoulli's theorem)에 의하여 기판(S)을 비접촉 방식으로 픽업한다. 이를 위해, 픽업헤드(510)에는 기판(S)을 비접촉 방식으로 픽업하기 위하여 유체 공급관(540)을 통해 외부로부터 공급되는 유체가 공급된다.
헤드 승강부재(520)는 픽업헤드(510)를 지지하도록 설치되어 픽업헤드(510)를 승강시킨다. 이를 위해, 헤드 승강부재(520)는 제 1 플레이트(521), 제 2 플레이트(523), 2개의 부싱(Bushing)(525), 2개의 승강축(527), 및 2개의 탄성부재(529)를 포함하여 구성될 수 있다.
제 1 플레이트(521)는 픽업헤드(510)를 지지하도록 픽업헤드(510)의 상면 중심 부분에 설치된다.
제 2 플레이트(523)는 제 1 플레이트(521)와 마주보도록 설치된다. 이러한, 제 2 플레이트(523)의 외부의 이동수단(미도시)에 설치되어 픽업헤드(510)를 승강시키거나 이동시킨다.
2개의 부싱(525) 각각은 제 2 플레이트(523)의 배면에 설치된다.
2개의 승강축(527) 각각은 제 1 플레이트(521)에 서로 나란하도록 설치됨과 아울러, 2개의 부싱(525) 각각에 승강 가능하도록 삽입된다.
2개의 탄성부재(529) 각각은 2개의 승강축(527) 각각이 삽입되도록 제 1 플레이트(521)와 부싱(525) 사이에 설치되어 2개의 승강축(527) 각각에 소정의 탄성력을 제공한다. 이에 따라, 2개의 승강축(527) 각각은 탄성부재(529) 각각의 탄성력에 의해 2개의 부싱(525) 각각의 내부에서 승강되게 된다.
복수의 스톱퍼(530) 각각은 픽업헤드(510)에 적어도 2 측면에 설치되어 픽업헤드(510)의 하강을 제한한다. 여기서, 복수의 스톱퍼(530) 각각은 픽업헤드(510)의 각 모서리 부분 중에서 서로 대각선 방향으로 설치될 수 있으나, 이에 한정되지 않고, 각 모서리 부분마다 설치될 수도 있다.
이러한, 복수의 스톱퍼(530) 각각은 탄성부재(529)의 탄성력에 의해 부싱(525)에서 자유 낙하하는 픽업헤드(510)가 기판(S)과 접촉하여 기판(S)이 파손되는 것을 방지하기 위하여, 픽업헤드(510)의 하부로부터 소정 높이(H)를 가지도록 돌출된다. 예를 들어, 복수의 스톱퍼(530)는 픽업헤드(510)의 하부로부터 10mm 미만으로 돌출될 수 있다. 이때, 픽업헤드(510)는 베르누이 정리에 의하여 기판(S)을 비접촉 방식으로 픽업하기 때문에, 복수의 스톱퍼(530)의 높이가 10mm 이상일 경우 픽업헤드(510)가 기판(S)을 픽업할 수 없기 때문에 복수의 스톱퍼(530)는 픽업헤드(510)의 하부로부터 10mm 미만으로 돌출되는 것이 바람직하다.
이러한, 복수의 스톱퍼(530) 각각은, 도 5에 도시된 바와 같이, 자중에 의해 적재 플레이트(120)가 국부적으로 휨 또는 변형되어 적재 플레이트(120)에 적재된 기판(S)의 적재 위치(LP)가 변화더라도 픽업헤드(510)가 기판(S)에 접촉되는 것을 방지함으로써 기판(S)의 파손을 방지하게 된다.
이와 같은, 복수의 픽커(500) 각각은 이동수단에 의해 기판(S) 상에 정렬된 후, 기판(S) 상에서 제 2 플레이트(523)의 승강에 따라 픽업헤드(510)를 자유 낙하시켜 트레이(100)의 적재 플레이트(120)에 적재된 기판(S)을 픽업하거나, 적재 플레이트(120)에 기판(S)을 적재하게 된다.
도 6a 내지 도 6d는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송장치의 구동에 따른 기판의 픽업 과정을 단계적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 6a 내지 도 6d를 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송장치의 구동에 따른 기판의 픽업 과정을 단계적으로 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도 6a에 도시된 바와 같이, 트레이 반송수단(200)을 이용하여 복수의 기판(S)이 적재된 트레이(100)을 기판 픽업 위치로 반송하여 정렬한다. 이때, 트레이(100)는 자중에 의해 처짐이 발생된 상태가 된다. 여기서, 트레이(100)의 하부에 설치된 처짐 복원수단(300)의 승강 플레이트(330)는 제 1 및 제 2 승강부재(310, 320)의 구동에 따라 트레이(100)로부터 소정 높이로 이격되도록 하강된 상태를 가지며, 들림 구속수단(400)의 들림 구속부(430)는 제 3 승강부재(410)의 구동에 따라 트레이(100)로부터 소정 높이로 이격되도록 상승된 상태를 갖는다.
이어서, 도 6b에 도시된 바와 같이, 처짐 복원수단(300)의 제 1 및 제 2 승강부재(310, 320)를 구동하여 승강 플레이트(330)를 상승시켜 트레이(110)의 프레임(120)을 상승시킴과 동시에, 들림 구속수단(400)의 제 3 승강부재(410)를 구동하여 들림 구속부(430)를 하강시켜 트레이(110)의 들림을 구속함으로써 트레이(110)의 처짐을 복원한다.
이어서, 도 6c에 도시된 바와 같이, 적어도 하나의 픽커(500) 각각을 적재 플레이트(120)에 적재된 기판(S)을 픽업하기 위한 픽업 위치로 정렬한 후, 픽업헤드(510) 각각을 하강시킨다. 이때, 픽업헤드(510)는 스톱퍼(530)에 의해 하강이 제한된다.
이어서, 각 픽업헤드(510)에 유체를 공급함으로써 각 픽업헤드(510)가 베르누이 정리(Bernoulli's theorem)에 의하여 기판(S)을 비접촉 방식으로 픽업하도록 한다.
이어서, 도 6d에 도시된 바와 같이, 각 픽커(500)의 헤드 승강부재(520)를 구동하여 기판(S)을 픽업한 각 픽업헤드(510)를 상승시킨 후, 각 픽업헤드(510)를 이송하여 기판(S)을 외부로 언로딩시킨다.
상술한 본 발명의 실시 예에 따른 기판 반송장치는 트레이(100)의 하부에 설치된 처짐 복원수단(300)을 이용하여 적재 플레이트(120)의 처짐을 복원함과 아울러 들림 구속수단(400)을 이용하여 적재 플레이트(120)의 처짐 복원시 트레이(100)의 들림을 구속함으로써 트레이(100)의 처짐을 방지할 수 있다. 또한, 본 발명은 픽커(500)의 픽업헤드(510)에 소정 높이로 설치되는 스톱퍼(530)를 이용하여 픽업헤드(510)의 하강을 제한함으로써 기판(S)의 픽업 및 적재시에 기판(S) 및/또는 적재 플레이트(120)의 파손을 방지할 수 있다.
본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100: 트레이 110: 프레임
120: 적재 플레이트 200: 트레이 반송수단
300: 처짐 복원수단 310, 320, 410: 승강부재
400: 들림 구속수단 420: 승강헤드
430: 들림 구속부 500: 픽커
510: 픽업헤드 520: 헤드 승강부재
530: 스톱퍼

Claims (10)

  1. 복수의 기판을 적재되는 트레이(Tray);
    복수의 롤러(Roller)를 이용하여 상기 트레이를 반송하는 트레이 반송수단;
    상기 트레이의 처짐을 복원하는 처짐 복원수단;
    상기 처짐 복원수단에 의한 상기 트레이의 들림을 구속하는 들림 구속수단; 및
    상기 복수의 기판을 상기 트레이에 적재하거나 상기 트레이에 적재된 기판을 픽업(Pickup)하는 적어도 하나의 픽커(Picker)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 처짐 복원수단은,
    상기 트레이의 하부에 서로 마주보도록 설치된 제 1 및 제 2 승강부재; 및
    상기 제 1 및 제 2 승강부재에 의해 승강되어 상기 트레이의 처짐을 복원하는 승강 플레이트를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 처짐 복원수단은 상기 승강 플레이트의 표면으로부터 소정 높이를 가지도록 상기 승강 플레이트에 회전 가능하게 설치된 복수의 접촉 핀을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 들림 구속수단은,
    상기 트레이의 각 모서리 부분에 대응되도록 설치된 복수의 제 3 승강부재;
    상기 복수의 제 3 승강부재에 의해 승강되는 복수의 승강헤드; 및
    상기 복수의 승강헤드 각각에 설치되어 상기 각 승강헤드의 승강에 따라 상기 트레이의 각 모서리 부분의 들림을 구속하는 복수의 들림 구속부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 복수의 들림 구속부 각각은 상기 승강헤드에 회전 가능하도록 설치된 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 픽커는,
    상기 기판을 픽업하기 위한 픽업헤드;
    상기 픽업헤드를 승강시키기 위한 헤드 승강부재; 및
    상기 픽업헤드의 측면에 설치되어 상기 픽업헤드의 하강을 제한하는 복수의 스톱퍼(Stopper)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 복수의 픽업헤드는 베르누이 정리(Bernoulli's theorem)에 의하여 상기 기판을 비접촉 방식으로 픽업하는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 복수의 스톱퍼 각각은 상기 픽업헤드의 적어도 2 측면에 서로 대각선 방향으로 설치된 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 복수의 스톱퍼 각각은 상기 픽업헤드의 하부로부터 소정 높이를 가지도록 돌출된 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 소정 높이는 10mm 미만인 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
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