KR101334198B1 - 보트 이송장치 - Google Patents

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Abstract

보트 이송장치가 개시된다. 본 발명에 따른 보트 이송장치는, 세트를 이루면서 보트를 지지하여 이송하는 수평이송판, 승강판 및 지지다리가 복수개 설치된다. 그러므로, 한번에 복수의 보트를 이송프레임에 탑재 지지할 수 있고, 한번에 복수의 보트를 이송프레임으로부터 인출할 수 있다. 따라서, 기판 처리공정의 생산성이 향상되는 효과가 있다.

Description

보트 이송장치 {APPARATUS FOR TRANSFERING BOAT}
본 발명은 보트 이송장치에 관한 것이다.
반도체 제조, 평판 디스플레이의 제조 또는 박막형 태양전지의 제조시, 기판은 기판 처리장치에 로딩되어 처리된다. 그리고, 기판 처리장치는 하나의 기판을 처리하는 매엽식(Single Substrate Type)과 복수의 기판을 처리하는 배치식(Batch Type)으로 대별된다.
배치식 기판 처리장치의 경우, 복수의 기판은 보트에 적재 보관되어 기판 처리장치에 로딩된다. 이때, 기판 처리장치가 수직형일 경우 보트는 이송장치에 의하여 승강하면서 기판 처리장치에 로딩되고, 기판 처리장치가 수평형일 경우 보트는 이송장치에 의하여 수평으로 슬라이딩되면서 기판 처리장치에 로딩된다.
수평형 기판 처리장치에는 슬라이딩가능하게 설치된 이송프레임이 사용된다. 이송프레임에는 복수의 기판이 적재 보관된 보트가 탑재 지지되며, 이송프레임이 슬라이딩함에 따라 보트가 기판 처리장치의 챔버에 로딩되거나, 챔버로부터 언로딩된다.
종래에는 이송프레임에 보트를 탑재하거나, 이송프레임으로부터 보트를 인출하기 위하여 로봇을 사용한다. 그런데, 로봇을 이용하여 상기 보트를 이송할 경우, 한번에 하나의 보트 밖에 이송할 수 없으므로, 기판 처리공정의 생산성이 저하되는 단점이 있다.
기판 처리장치와 관련된 선행기술은 한국공개특허공보 10-2011-0121443호 등에 개시되어 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해소하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 한번에 복수의 보트를 이송프레임에 이송 탑재할 수 있도록 구성하여 기판 처리공정의 생산성을 향상시킬 수 있는 보트 이송장치를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 보트 이송장치는, 복수의 기판이 적재 보관된 보트가 탑재 지지되며 슬라이딩가능하게 설치되어 상기 보트를 기판 처리장치로 로딩 또는 언로딩하는 이송프레임에 상기 보트를 탑재하거나, 상기 이송프레임으로부터 상기 보트를 인출하는 보트 이송장치로서, 상기 이송프레임이 내부에 위치되는 지지프레임; 상기 지지프레임의 상면에 설치되어 수평으로 운동하는 복수의 수평운동판; 상기 수평운동판의 하측에 각각 설치되어 상기 수평운동판과 함께 운동함과 동시에 상기 수평운동판에 대하여 승강가능하게 설치된 복수의 승강판; 각각의 상기 승강판에 각각 복수개 결합되어 상기 승강판과 함께 운동하며 상기 보트를 받쳐서 지지하는 지지다리를 포함한다.
본 발명에 따른 보트 이송장치는, 세트를 이루면서 보트를 지지하여 이송하는 수평이송판, 승강판 및 지지다리가 복수개 설치된다. 그러므로, 한번에 복수의 보트를 이송프레임에 탑재 지지할 수 있고, 한번에 복수의 보트를 이송프레임으로부터 인출할 수 있다. 따라서, 기판 처리공정의 생산성이 향상되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 보트 이송장치의 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 보트 이송장치의 사용예를 보인 사시도.
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시하여 도시한 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있도록 충분히 상세하게 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 상호 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 특정 구조 및 특성은 일 실시예와 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미가 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에 도시된 실시예들의 길이, 면적, 두께 및 형태는, 편의상, 과장되어 표현될 수도 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 보트 이송장치를 상세히 설명한다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 보트 이송장치가 기판 처리장치인 CIGS층 형성장치에 사용되는 것을 예로 들어 설명한다. CIGS층 형성장치는 박막형 태양전지의 CIGS{Cu(In1-xGax)Se2} 층을 형성하는 장치이다.
박막형 태양전지는 유리 등의 기판, 기판 상에 형성된 금속층으로 이루어진 (+)극인 전극층, 전극층 상에 형성되며 광을 흡수하는 p형의 CIGS층, CIGS층 상에 형성된 n형의 버퍼층 및 버퍼층 상에 형성된 (-)극인 투명 전극층을 포함하는 다층 적층 구조이다.
그리하여, 수광부인 투명 전극층을 통하여 태양광이 입사되면, p-n 접합 부근에서는 대략 1.04 eV 의 밴드갭 에너지를 갖는 여기된 한 쌍의 전자 및 정공이 생성된다. 그리고, 여기된 전자와 정공은 확산에 의해 p-n 접합부에 도달하고, 접합부의 내부 전계에 의해 전자가 n 영역에, 정공이 p 영역에 집합하여 분리된다.
그러면, n 영역은 마이너스로 대전되고, p 영역은 플러스로 대전되며, 각 영역에 형성된 전극 간에는 전위차가 생긴다. 그리고, 전위차를 기전력으로 하여 각 전극 사이를 도선으로 연결하면 광전류가 얻어진다. 이것이 태양전지의 원리이다.
박막형 태양전지의 CIGS층을 형성하는 방법은, 기판에 형성된 전극층 상에 구리, 인듐, 갈륨의 원소를 적정 비율로 진공 스퍼터링하여 전구체막을 형성하는 전구체막 형성 공정과, 이와 같이 증착된 전구체막에 셀렌화 수소(H2Se) 기체를 흘려주면서 기판에 온도를 가하게 되는 셀렌화(selenization) 공정을 거친다. 이러한 일련의 공정에 따라, 구리(Cu), 인듐(In), 갈륨(Ga) 및 셀레늄(Se) 원소의 적정 조성 비율을 갖는 CIGS층을 형성할 수 있게 된다.
이러한 셀렌화 공정은 전구체막이 형성된 기판을 밀폐된 챔버에 로딩시키고, 챔버를 불활성가스로 치환한 다음, 챔버에 처리가스인 셀렌화 수소(H2Se)을 도입한 후, 챔버를 일정 온도로 승온시켜 일정 시간 유지하여, 셀렌화된 CIGS층을 형성하는 공정이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 보트 이송장치의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 보트 이송장치의 사용예를 보인 사시도이다.
도시된 바와 같이, 복수의 기판(미도시)을 한번에 처리하기 위하여, 복수의 상기 기판을 보트(50)에 적재 저장한 상태에서, 보트(50)를 CIGS층 형성장치 등과 같은 기판 처리장치(미도시)로 로딩하거나 언로딩한다.
이때, 보트(50)는 슬라이딩가능하게 설치된 이송프레임(110)에 탑재된 후, 이송프레임(110)이 슬라이딩함에 따라 상기 기판 처리장치에 로딩되거나 언로딩된다.
본 실시예에 따른 보트 이송장치는 한번에 복수의 보트(50)를 이송하여 이송프레임(110)에 탑재하거나, 이송프레임(110)으로부터 인출한다.
상세히 설명하면, 본 실시예에 따른 보트 이송장치는 외형이 대략 육면체로 형성된 지지프레임(210)을 포함한다. 지지프레임(210)의 내부 중앙부측에는 이송프레임(110)이 위치된다.
지지프레임(210)의 상면에는 쌍을 이루는 안내레일(212)이 수평으로 설치되고, 안내레일(212)에는 안내레일(212)을 따라 직선운동하는 수평운동판(220)이 설치된다. 수평운동판(220)은 모터(225) 등과 같은 구동부에 의하여 직선운동한다.
이때, 쌍을 이루는 안내레일(212)은 복수개 설치되고, 쌍을 이루는 안내레일(212)에 수평운동판(220)이 각각 직선운동가능하게 설치된다.
수평운동판(220)의 하측에는 승강판(230)이 각각 설치된다. 승강판(230)은 수평운동판(220)과 함께 직선운동함과 동시에 수평운동판(220)에 대하여 승강가능하게 설치된다.
승강판(230)은 수평운동판(220)에 설치된 모터(240) 등과 같은 구동부에 의하여 승강한다. 상세히 설명하면, 승강판(230)에는 볼스크류(245)의 하단부측이 결합되고, 모터(240)의 회전축(미도시)에는 볼스크류(245)와 맞물리는 기어(미도시) 또는 너트(미도시) 등이 결합된다. 따라서, 모터(240)가 구동하여 모터(240)의 상기 회전축이 정역회전하면, 볼스크류(245)가 승강하므로, 승강판(230)이 승강한다.
각각의 승강판(230)에는 보트(50)를 받쳐서 지지하는 지지다리(250)가 각각 복수개 결합되어 승강판(230)과 함께 운동한다. 상호 인접하는 복수의 지지다리(250)를 연결한 가상선이 이루는 형상은 보트(50)의 외형과 동일한 형상을 이루는 것이 바람직하다.
지지다리(250)는 상단부측이 승강판(230)의 하면 모서리부측에 결합된 수직부(251)와 수직부(251)의 하단부에서 벤딩 형성되며 보트(50)의 하면이 탑재 지지되는 받침부(253)를 포함한다.
그리하여, 승강판(230)을 하강시킨 상태에서, 로봇(미도시) 등으로 보트(50)를 이송하여 지지다리(250)에 탑재한 후, 승강판(230)을 상승시키고, 보트(50)가 이송프레임(110)의 직상방에 위치되도록 수평운동판(220)을 운동시킨 다음, 승강판(230)을 하강시키면, 보트(50)가 이송프레임(110)에 탑재된다. 그러면, 이송프레임(110)이 슬라이딩하여 보트(50)를 상기 기판 처리장치에 로딩시킨다.
보트(50)를 이송프레임(110)으로부터 인출하고자 할 경우, 이송프레임(110)의 직상방에 수평운동판(220) 및 승강판(230)을 위치시키고, 승강판(230)을 하사점의 위치로 하강시킨 상태에서, 이송프레임(110)을 슬라이딩시켜 상기 기판 처리장치로부터 보트(50)를 언로딩한다. 보트(50)가 이송프레임(110)에 탑재되어 언로딩되면, 승강판(230)을 상승시켜, 지지다리(250)로 보트(50)를 지지한 상태에서, 수평운동판(220)을 적절하게 운동시키면 된다.
보트(50)는, 이송프레임(110)을 중심으로, 지지프레임(210)의 일측을 통하여 지지프레임(210)의 내측으로 유입되어 지지다리(250)에 탑재 지지된다. 그리고, 보트(50)는, 이송프레임(110)을 중심으로, 지지프레임(210)의 타측을 통하여 지지다리(250)에 탑재 지지된 상태에서 지지프레임(210)의 외측으로 배출된다.
본 실시예에 따른 보트 이송장치는 세트를 이루면서 보트(50)를 지지하여 이송하는 수평이송판(220), 승강판(230) 및 지지다리(250)가 복수개 설치되므로, 한번에 복수의 보트(50)를 이송프레임(110)에 탑재 지지할 수 있고, 한번에 복수의 보트(50)를 이송프레임(110)으로부터 인출할 수 있다.
본 발명은 상술한 바와 같이 바람직한 실시예를 예로 들어 도시하여 설명하였으나, 상기 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형과 변경이 가능하다. 그러한 변형예 및 변경예는 본 발명과 첨부된 특허청구범위의 범위 내에 속하는 것으로 보아야 한다.
210: 지지프레임
220: 수평운동판
230: 승강판
250: 지지다리

Claims (3)

  1. 복수의 기판이 적재 보관된 보트가 탑재 지지되며 슬라이딩가능하게 설치되어 상기 보트를 기판 처리장치로 로딩 또는 언로딩하는 이송프레임에 상기 보트를 탑재하거나, 상기 이송프레임으로부터 상기 보트를 인출하는 보트 이송장치로서,
    상기 이송프레임이 내부에 위치되는 지지프레임;
    상기 지지프레임의 상면에 설치되어 수평으로 운동하는 복수의 수평운동판;
    상기 수평운동판의 하측에 각각 설치되어 상기 수평운동판과 함께 운동함과 동시에 상기 수평운동판에 대하여 승강가능하게 설치된 복수의 승강판;
    각각의 상기 승강판에 각각 복수개 결합되어 상기 승강판과 함께 운동하며 상기 보트를 받쳐서 지지하는 지지다리를 포함하는 것을 특징으로 하는 보트 이송장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 이송프레임을 중심으로 상기 지지프레임의 일측을 통하여 상기 보트가 상기 지지프레임의 내측으로 유입되어 상기 지지다리에 탑재 지지되고, 상기 지지프레임의 타측을 통하여 상기 지지다리에 탑재 지지된 상기 보트가 상기 지지프레임의 외측으로 배출되는 것을 특징으로 하는 보트 이송장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 지지다리는 상단부측이 상기 승강판에 결합된 수직부와 상기 수직부의 하단부에서 벤딩 형성되며 상기 보트가 탑재 지지되는 받침부를 포함하는 것을 특징으로 하는 보트 이송장치.
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