KR20110080049A - 마스크 흡착용 자석 조립체 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 슬릿의 변형을 억제하여 기판에 균일한 형상의 패턴을 형성할 수 있는 마스크 흡착용 자석 조립체에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 흡착용 자석 조립체는 본 발명에 일 실시예에 따른 마스크 흡착용 자석 조립체는 적어도 하나의 섀프트가 연결되는 플레이트 및 상기 플레이트 상에 배열되는 자석을 포함한다. 이 때, 상기 자석은 상기 섀프트가 상기 플레이트에 연결되는 부분 이외의 영역에서 일정한 간격으로 배열된다.

Description

마스크 흡착용 자석 조립체{MAGNETIC ASSEMBLY FOR CONTACTING A MASK}
본 발명은 마스크 흡착용 자석 조립체에 관한 것으로, 보다 상세하게는 유기 발광 표시 장치의 기판에 패턴을 형성하기 위한 마스크 흡착용 자석 조립체이다.
유기 발광 표시 장치를 위한 제조 공정 중, 기판 상의 액티브 영역 상에 적색, 녹색, 및 청색의 유기 발광 소자를 증착하는 공정에서 마스크(mask)가 이용된다. 마스크에는 기판에 형성될 유기 발광층 패턴의 형상에 따른 복수의 슬릿이 형성된다.
기판에 이와 같은 패턴을 정확한 형상으로 균일하게 증착하기 위해서는 증착 공정에 있어서 마스크와 기판이 긴밀한 밀착한 상태로 유지되도록 하는 것이 중요하게 된다. 만약, 마스크와 기판이 이격된 상태에서 증착 공정이 이루어지는 경우에는, 패턴이 슬릿과 동일한 형상으로 형성되지 않고 슬릿 형상보다 크게 형성되는 등 불규칙한 형상으로 형성될 수 있다.
본 발명은 전술한 배경기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 슬릿의 변형을 억제하여 기판에 균일한 형상의 패턴을 형성할 수 있는 마스크 흡착용 자석 조립체를 제공하는 데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 일 실시예에 따른 마스크 흡착용 자석 조립체는 적어도 하나의 섀프트가 연결되는 플레이트 및 상기 플레이트 상에 배열되는 자석을 포함한다. 이 때, 상기 자석은 상기 섀프트가 상기 플레이트에 연결되는 부분 이외의 영역에서 일정한 간격으로 배열된다.
상기 플레이트에 2개의 섀프트가 연결될 수 있고, 상기 2개의 섀프트는 상기 플레이트 상에서 상기 플레이트의 중심을 기준으로 대칭되는 위치에 배치될 수 있다. 구체적으로, 상기 2개의 섀프트는 각각 상기 플레이트의 단변의 중앙부에 인접한 상기 플레이트 상에서 연결되거나, 상기 플레이트의 장변의 중앙부에 인접한 상기 플레이트 상에서 연결되거나, 상기 플레이트의 코너부에 인접한 상기 플레이트 상에서 연결될 수 있다.
또한, 상기 플레이트에 1개의 섀프트가 연결될 수도 있다. 이 때, 상기 섀프트는 상기 플레이트의 중심에 연결될 수 있다.
한편, 상기 섀프트는 상기 플레이트 상에 위치하는 상판을 관통하여 상기 플레이트에 연결될 수 있고, 상기 상판은 상기 플레이트와 동일한 평면 형상을 가질 수 있다.
또한, 상기 자석은 영구 자석으로 형성될 수 있다.
본 발명에 따르면, 패턴의 증착 과정에서 자기장이 균일하게 형성되어 슬릿의 변형을 억제할 수 있다.
그에 따라, 기판에 형성되는 패턴이 균일하게 형성될 수 있으며, 유기 발광 표시 장치의 제조 수율을 높일 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 흡착용 자석 조립체를 설명하기 위해 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 측면도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 흡착용 자석 조립체의 평면도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 마스크 흡착용 자석 조립체의 평면도이다.
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 마스크 흡착용 자석 조립체의 평면도이다.
도 6은 본 발명의 제4 실시예에 따른 마스크 흡착용 자석 조립체의 평면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다.
도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다. 또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1 실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 흡착용 자석 조립체를 설명하기 위한 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 측면도이고, 도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 흡착용 자석 조립체의 평면도로서 플레이트 상의 섀프트 및 자석의 배열을 나타내는 도면이다.
이하에서는 도 1 내지 도 3을 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 흡착용 자석 조립체에 대하여 설명한다.
마스크(140)를 이용하여 기판(130)에 패턴을 형성하기 위해서는, 지지대(150) 상에 마스크(140)를 고정 배치하고, 마스크(140) 상에 패턴을 형성할 기판(130)을 배치한다. 이 때, 마스크(140)와 기판(130)을 밀착시키기 위하여 마스크 흡착용 자석 조립체(110)를 기판(130) 위쪽에 위치시킨다.
제1 실시예에 따른 마스크 흡착용 자석 조립체(110)는 플레이트(111) 및 자석(113)을 포함한다. 보다 상세하게는, 마스크 흡착용 자석 조립체(110)의 하부, 즉 패턴 증착 과정에서 기판과 인접하는 쪽에 플레이트(111)가 위치하고, 플레이트(111) 상에 자석(113)이 배열된다. 제1 실시예에서는 자석(113)으로 영구 자석을 이용하고 있지만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.
플레이트(111)는, 적어도 하나의 섀프트(123)에 의하여, 공정이 이루어지는 과정에서 안정적으로 지지될 수 있다. 또한, 플레이트(111) 상에 배열된 자석(113) 상부에 상판(121)이 위치하여, 섀프트(123)가 상판(121)을 관통하여 플레이트(111)에 연결될 수도 있다. 제1 실시예에서는 섀프트(123)가 챔버 내의 상부로부터 상판(121)을 관통하여 마스크 흡착용 자석 조립체(110)의 플레이트(111)에 연결되고, 이에 의하여 마스크 흡착용 자석 조립체(110)가 증착 공정 중에 챔버 내의 상부에 지지되게 된다.
한편, 상판(121) 및 플레이트(111)의 평면 형상은 동일하게 형성될 수 있다. 상판(121) 및 플레이트(111)가 동일한 평면 형상으로 형성되는 경우에는, 이들을 평면상에서 바라보았을 때 어긋나지 않게 배치하는 것이 보다 용이하게 될 것이고, 이에 따라, 상판(121) 및 플레이트(111)가 수평을 유지하도록, 섀프트(123)를 상판(121) 및 플레이트(111) 상에서 대칭적으로 연결하는 것이 보다 용이해질 것이다.
이와 같이, 마스크 흡착용 자석 조립체를 지지하기 위하여 하나 이상의 섀프트가 이용될 수 있고, 이 때, 균일한 패턴 형성을 위해 플레이트 상에 배치되는 자석은 섀프트가 연결되는 부분 이외의 플레이트 영역에 형성된다. 하지만, 섀프트가 상판을 관통하여 플레이트와 연결되기 때문에 플레이트 상에서 섀프트와 연결되는 부분에는 자석이 배치될 수 없게 되고, 이에 따라 섀프트와 연결되는 부분에서 자기장이 균일하게 형성되지 않게 된다. 자기장이 불균일하게 형성됨에 따라 마스크의 슬릿이 국부적으로 변형될 수 있고, 이로 인하여 기판의 패턴이 불균일하게 형성되어 제품에 불량이 발생할 수 있게 된다.
이와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 마스크를 이용한 기판의 패턴 형성에 자석을 사용하지 않는다면, 마스크와 기판이 밀착하지 않아 기판에 형성되는 패턴이 슬릿과 동일한 형상으로 형성되지 않음으로써, 원하는 형상의 패턴을 균일하게 형성할 수 없게 된다. 자석을 일정하게 배치하기 위하여 섀프트를 사용하지 않는 것은 마스크 흡착용 자석 조립체 설비 상 어려움이 따른다.
이에, 제1 실시예에서는 플레이트(111) 상의 자석(113)에 의해 형성되는 자기장이 균일하도록, 섀프트(123)가 연결되는 부분 이외의 영역에서 자석(113)을 일정한 간격으로 배열한다. 또한, 섀프트(123)가 플레이트(111)와 연결되는 부분에서의 자기장이 불균일해지는 문제를 최소화하기 위하여, 2개의 섀프트(123)만을 이용하여 플레이트(111)를 챔버에 지지한다.
한편, 마스크 흡착용 자석 조립체(110)가 섀프트(123)를 통해 챔버 내에 매달려서 지지될 때, 섀프트(123)와 상판(121) 및 플레이트(111)의 연결 부위가 상판(121) 및 플레이트(111) 상에서 대칭적으로 형성되지 않는다면, 마스크 흡착용 자석 조립체(110) 및 상판(121)의 자중에 의하여 모멘텀이 발생할 수 있고, 이에 의하여 마스크 흡착용 자석 조립체(110)가 기울어져 수평을 유지하지 못할 수 있다. 따라서, 섀프트(123)는 상판(121) 및 마스크 흡착용 자석 조립체(110)의 플레이트(111) 상에서 대칭이 되도록 연결되는 것이 바람직하다.
따라서, 제1 실시예에서는 2개의 섀프트(123)를 각각 플레이트(111)의 단변 중앙부에 인접하여 연결되도록 하여, 섀프트(123)가 플레이트(111)와 연결되는 부분이 플레이트(111)의 중심을 기준으로 하여 대칭되도록 형성한다.
이와 같은 제1 실시예의 섀프트-마스크 흡착용 자석 조립체의 구성에 의하여 불균일한 자기장에 의해 발생할 수 있는 마스크의 슬릿 변형을 억제할 수 있고, 결과적으로 제품의 불량을 줄일 수 있게 된다. 또한, 섀프트의 비틀림 또는 좌우 진동에 취약하지 않아, 공정 중에 안정적으로 마스크 흡착용 자석 조립체를 지지할 수 있게 된다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 마스크 흡착용 조립체의 평면도로서 섀프트 및 자석 배열을 나타내는 도면이다. 이하, 이를 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 대하여 설명한다.
제2 실시예에 따르면, 마스크 흡착용 자석 조립체(210)는 제1 실시예와 같이 플레이트(211) 및 플레이트(211) 상에 배열되는 자석(213)을 포함한다. 이 때, 이 때, 자석(213)은 영구 자석으로 형성될 수 있다.
제2 실시예에 따른 마스크 흡착용 자석 조립체(210)도 2개의 섀프트(223)에 의하여 챔버 내에 지지된다. 이 때, 섀프트(223)가 자석(213)의 상부에 위치하는 상판을 관통하여 플레이트(211)와 연결될 수 있고, 상판의 평면 형상은 플레이트(211)의 평면 형상과 동일하게 형성할 수 있다.
한편, 제1 실시예에서와 달리 제2 실시예에서는 2개의 섀프트(223)가 각각 플레이트(211)의 장변 중앙부에 인접하여 플레이트(211)와 연결됨으로써, 마스크 흡착용 자석 조립체(210)를 챔버 내의 상부에 지지하게 된다.
이와 같이, 마스크 흡착용 자석 조립체(210)의 플레이트(211)의 장변 중앙부에 인접하여 섀프트(223)가 연결됨으로써, 2개의 섀프트(223) 만으로 마스크 흡착용 자석 조립체(210)를 안정적으로 지지할 수 있게 된다. 또한, 플레이트(211) 상의 섀프트(223)가 연결된 부분 이외의 영역에는 자석(213)이 일정한 간격으로 배열됨에 따라 자기장이 균일하게 형성될 수 있어, 마스크의 슬릿의 변형을 방지할 수 있고, 결과적으로 제품의 불량을 줄일 수 있게 된다.
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 마스크 흡착용 조립체의 평면도로서 섀프트 및 자석 배열을 나타내는 도면이다. 이하, 이를 참조하여 본 발명의 제3 실시예에 대하여 설명한다.
본 발명의 제3 실시예에 따른 마스크 흡착용 자석 조립체(310)는, 제1 실시예와 같이, 플레이트(311) 및 플레이트(311) 상에 배열되는 자석(313)을 포함한다. 이 때, 자석(313)은 영구 자석으로 형성될 수 있다.
제3 실시예에 따른 마스크 흡착용 자석 조립체(310)도 2개의 섀프트(323)에 의하여 챔버 내에 지지된다. 이 때, 섀프트(323)가 자석(313)의 상부에 위치하는 상판을 관통하여 플레이트(311)와 연결될 수 있고, 상판의 평면 형상은 플레이트(311)의 평면 형상과 동일하게 형성할 수 있다.
한편, 제1 실시예 및 제2 실시예에서와 달리 제3 실시예에서는 2개의 섀프트(323)가 각각 플레이트(311)의 중심을 기준으로 대각 방향에 위치하는 코너부에 인접하여 플레이트(311)와 연결됨으로써, 마스크 흡착용 자석 조립체(310)를 챔버 내의 상부에 지지하게 된다.
이와 같이, 마스크 흡착용 자석 조립체(310)의 플레이트(311)의 코너부에 인접하여 섀프트(323)가 연결됨으로써, 2개의 섀프트(323) 만으로 마스크 흡착용 자석 조립체(310)를 안정적으로 지지할 수 있게 된다. 또한, 플레이트(311) 상의 섀프트(323)가 연결된 부분 이외의 영역에는 자석(313)이 일정한 간격으로 배열됨에 따라 자기장이 균일하게 형성될 수 있어, 마스크의 슬릿의 변형을 방지할 수 있고, 결과적으로 제품의 불량을 줄일 수 있게 된다.
도 6은 본 발명의 제4 실시예에 따른 마스크 흡착용 조립체의 평면도로서 섀프트 및 자석 배열을 나타내는 도면이다. 이하, 이를 참조하여 본 발명의 제4 실시예에 대하여 설명한다.
본 발명의 제4 실시예에 따른 마스크 흡착용 자석 조립체(410)는, 제1 실시예와 같이, 플레이트(411) 및 플레이트(411) 상에 배열되는 자석(413)을 포함한다. 이 때, 자석(313)은 영구 자석으로 형성될 수 있다.
제34 실시예에 따른 마스크 흡착용 자석 조립체(410)는 1개의 섀프트(423)에 의하여 챔버 내에 지지된다. 구체적으로는, 섀프트(423)가 플레이트(411)의 중심에 연결되어 마스크 흡착용 자석 조립체(410)와 연결된다. 이 때, 섀프트(423)가 자석(413)의 상부에 위치하는 상판을 관통하여 플레이트(411)와 연결될 수 있고, 상판의 평면 형상은 플레이트(411)의 평면 형상과 동일하게 형성할 수 있다.
이와 같이, 마스크 흡착용 자석 조립체(410)의 플레이트(411)의 중심에 섀프트(423)가 연결됨으로써, 1개의 섀프트(423) 만으로 마스크 흡착용 자석 조립체(410)를 안정적으로 지지하면서, 플레이트(411) 상의 섀프트(423)가 연결된 부분 이외의 영역에는 자석(413)이 일정한 간격으로 배열됨에 따라 자기장이 균일하게 형성될 수 있어, 마스크의 슬릿의 변형을 방지할 수 있고, 결과적으로 제품의 불량을 줄일 수 있게 된다.
이와 같이, 본 발명은 마스크 흡착용 자석 조립체를 지지하기 위한 섀프트의 연결 위치를 조정하여 균일하게 자석을 배열하고, 이를 통해 균일한 자기장이 형성되도록 하는 것에 있다. 본 발명을 상기의 바람직한 실시예들을 통하여 설명하였지만, 본 발명은 전술한 실시예들에 한정되지 않는다. 전술한 실시예들에 언급되지 않았지만, 마스크 흡착용 자석 조립체를 안정적으로 지지하면서 균일하게 자석을 배열하여 균일한 자기장을 얻을 수 있는 다양한 실시예가 존재할 수 있고, 이들 역시 본 발명의 기술적 사상에 포함될 것이다. 즉, 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이고, 이는 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 수 있을 것이다.
110, 210, 310, 410: 마스크 흡착용 자석 조립체
111, 211, 311, 411: 플레이트 113, 213, 313, 413: 자석
121: 상판 123: 섀프트
130: 기판 140: 마스크
141: 슬릿 150: 지지대

Claims (10)

  1. 적어도 하나의 섀프트가 연결되는 플레이트; 및
    상기 플레이트 상에 배열되는 자석을 포함하고,
    상기 자석은 상기 섀프트가 상기 플레이트에 연결되는 부분 이외의 영역에서 일정한 간격으로 배열되는, 마스크 흡착용 자석 조립체.
  2. 제1항에서,
    상기 플레이트에 2개의 섀프트가 연결되는, 마스크 흡착용 자석 조립체.
  3. 제2항에서,
    상기 2개의 섀프트는 상기 플레이트 상에서 상기 플레이트의 중심을 기준으로 대칭되는 위치에 배치되는, 마스크 흡착용 자석 조립체.
  4. 제3항에서,
    상기 2개의 섀프트는 각각 상기 플레이트의 단변의 중앙부에 인접한 상기 플레이트 상에서 연결되는, 마스크 흡착용 자석 조립체.
  5. 제3항에서,
    상기 2개의 섀프트는 각각 상기 플레이트의 장변의 중앙부에 인접한 상기 플레이트 상에서 연결되는, 마스크 흡착용 자석 조립체.
  6. 제3항에서,
    상기 2개의 섀프트는 각각 상기 플레이트의 코너부에 인접한 상기 플레이트 상에서 연결되는, 마스크 흡착용 자석 조립체.
  7. 제1항에서,
    상기 플레이트에 1개의 섀프트가 연결되는, 마스크 흡착용 자석 조립체.
  8. 제7항에서,
    상기 섀프트는 상기 플레이트의 중심에 연결되는, 마스크 흡착용 자석 조립체.
  9. 제1항에서,
    상기 섀프트는 상기 플레이트 상에 위치하는 상판을 관통하여 상기 플레이트에 연결되고, 상기 상판은 상기 플레이트와 동일한 평면 형상을 갖는, 마스크 흡착용 자석 조립체.
  10. 제1항에서,
    상기 자석은 영구 자석으로 형성되는, 마스크 흡착용 자석 조립체.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160033339A (ko) * 2014-09-17 2016-03-28 삼성디스플레이 주식회사 마그넷 플레이트 조립체, 이를 포함하는 증착 장치 및 증착 방법
US9478337B2 (en) 2015-01-22 2016-10-25 Samsung Display Co., Ltd. Magnet plate
US9991477B2 (en) 2015-04-23 2018-06-05 Samsung Display Co., Ltd. Mask frame assembly, a method of manufacturing the same, and a method of manufacturing a display apparatus

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103981491A (zh) 2014-04-30 2014-08-13 京东方科技集团股份有限公司 一种蒸镀装置

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20040048177A (ko) * 2002-12-02 2004-06-07 주식회사 이노벡스 기판과 마스크의 자기식 고정장치
JP4609759B2 (ja) * 2005-03-24 2011-01-12 三井造船株式会社 成膜装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160033339A (ko) * 2014-09-17 2016-03-28 삼성디스플레이 주식회사 마그넷 플레이트 조립체, 이를 포함하는 증착 장치 및 증착 방법
US9773600B2 (en) 2014-09-17 2017-09-26 Samsung Display Co., Ltd. Magnet plate assembly, deposition apparatus including the same, and deposition method using the same
US9478337B2 (en) 2015-01-22 2016-10-25 Samsung Display Co., Ltd. Magnet plate
US9991477B2 (en) 2015-04-23 2018-06-05 Samsung Display Co., Ltd. Mask frame assembly, a method of manufacturing the same, and a method of manufacturing a display apparatus
US10403860B2 (en) 2015-04-23 2019-09-03 Samsung Display Co., Ltd. Mask frame assembly, a method of manufacturing the same, and a method of manufacturing a display apparatus

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