KR20110076827A - 기판의 맞붙임 방법 및 장치 - Google Patents

Abstract

[과제] 표시패널의 제조에 이용하는 제 1과 제 2 기판을 위치 맞춤하여 포개 맞춘 후, 그들 기판의 사이에 도포한 기판용 접착제를 고화하는 것에 의해, 그들 기판을 맞붙임 완료하는 데 있어서, 그들 기판의 맞붙임 위치 정밀도를 향상하는 것.
[해결수단] 맞붙임 기판의 제조장치에 있어서, 제 1 스테이지(20)와 제 2 스테이지(30)를 상대적으로 분리 접근하는 방향으로 이동시키는 구동부와, 제 1 스테이지(20)와 제 2 스테이지(30)를 접근 이동시키도록 구동부를 제어하는 것에 의해서 제 1과 제 2 기판(1,2)을 포개 맞출 때, 제 1 서포트 부재(5)에서의 제 1 기판 (1)의 지지면측과 제 2 서포트 부재(6)에서의 제 2 기판(2)의 지지면측중 적어도 한쪽에 제 1 기판(1) 혹은 제 2 기판(2)을 둘러싸도록 도포된, 고화 전의 접착력이 기판용 접착제(3)보다 큰 서포트용 접착제(8)를 통하여 제 1 서포트 부재(5)와 제 2 서포트 부재(6)를 맞붙이는 제어부를 구비하는 것.

Description

기판의 맞붙임 방법 및 장치{Substrate Laminating Method and Apparatus}

본 발명은, 전자 페이퍼, 유기 EL소자 등의 표시패널의 제조에 이용하여 적합한 기판의 맞붙임 방법 및 장치에 관한 것이다.

기판의 맞붙임 방법으로서, 특허문헌 1에 기재된 바와 같이, 제 1과 제 2 기판을 기판용 접착제를 통해 포개 맞춘 후, 상기 기판용 접착제를 고화시키는 경우가 있다.

이러한 종래의 기판의 맞붙임 방법에서는, 우선, 제 1과 제 2 기판은, 한쪽의 기판에 도포된 기판용 접착제를 통하여 포개 맞추게 된다. 이어서, 포개 맞춘 제 1과 제 2 기판은, 가열, 가압을 실시하는 고화장치인 한 쌍의 가열 롤러 사이를 통과 반송되어, 기판용 접착제가 고화되어, 맞붙임 완료가 된다.

[특허문헌 1] 일본 공개특허공보 2009-230955

종래 기술에서는, 포개 맞춘 제 1과 제 2 기판을, 한 쌍의 롤러 사이를 통과시켜, 그들 기판의 사이에 개재된 기판용 접착제를 고화하여, 그들 기판의 맞붙임을 완료하는 것이 된다. 그 때문에, 포개어 맞춘 제 1과 제 2 기판이, 포개 맞춤(重合) 공정으로부터 가열 공정에 이르는 이들 기판의 반송 과정에서 발생하는 진동 등에 의해 위치가 어긋나고, 또는 한 쌍의 롤러 사이에 이들 기판에 가해지는 열적 영향, 외력의 작용 등에 의해 위치가 어긋나며, 나아가서는 그들 기판의 맞붙임 위치 정밀도가 악화될 우려가 있다.

본 발명의 과제는, 제 1과 제 2 기판을 포개 맞춘 후, 그들 기판의 사이에 개재한 기판용 접착제를 고화하는 것에 의해, 그들 기판을 맞붙임 완료하는 데 있어서, 그들 기판의 맞붙임 위치 정밀도를 향상시키는 데에 있다.

청구항 1에 관한 발명은, 표시패널의 제조에 이용하는 제 1과 제 2 기판을 기판용 접착제를 통하여 포개 맞춘 후, 상기 기판용 접착제를 고화시켜 맞붙임 기판을 제조하는 맞붙임 기판의 제조방법에 있어서, 제 1 기판을 이 제 1 기판보다 외형 치수가 큰 제 1 서포트 부재의 중앙 영역에 지지하고, 제 2 기판을 이 제 2 기판보다 외형 치수가 큰 제 2 서포트 부재의 중앙 영역에 지지하며, 상기 제 1 서포트 부재에서의 상기 제 1 기판의 지지면측과 상기 제 2 서포트 부재에서의 상기 제 2 기판의 지지면측중 적어도 한쪽에 상기 제 1 기판 혹은 제 2 기판을 둘러싸도록, 고화 전의 점착력이 상기 기판용 접착제보다 큰 서포트용 접착제를 도포하고, 상기 제 1 서포트 부재에 의해서 지지된 상기 제 1 기판과 상기 제 2 서포트 부재에 의해서 지지된 상기 제 2 기판을 포개 맞출 때, 상기 제 1 서포트 부재와 제 2 서포트 부재를 상기 서포트용 접착제에 의해 맞붙도록 한 것이다.

청구항 2에 관한 발명은, 청구항 1에 관한 발명에 있어서 또한, 상기 기판용 접착제의 고화 후에, 제 1 서포트 부재와 제 2 서포트 부재를 상기 제 1 및 제 2 기판과 상기 서포트용 접착제와의 사이에 두고 절단하도록 한 것이다.

청구항 3에 관한 발명은, 청구항 1 또는 2에 관한 발명에 있어서 또한, 상기 제 1 서포트 부재와 제 2 서포트 부재를, 감압 분위기하에서, 서포트용 접착제에 의해 맞붙도록 한 것이다.

청구항 4에 관한 발명은, 청구항 3에 관한 발명에 있어서 또한, 상기 제 1 기판은, 표시 모듈 기판이며, 상기 제 2 기판은, 컬러필터 기판이도록 한 것이다.

청구항 5에 관한 발명은, 표시패널의 제조에 이용하는, 외주에 여백부를 갖는 제 1 기판과 제 2 기판을 기판용 접착제를 통하여 포개 맞춘 후, 상기 기판용 접착제를 고화시켜 맞붙임 기판을 제조하는 맞붙임 기판의 제조방법으로서, 상기 제 2 기판을 상기 기판보다 외형 치수가 큰 서포트 부재의 중앙 영역에 지지하고, 상기 서포트 부재에서의 상기 제 2 기판의 지지면측과 상기 제 1 기판의 여백부에서의 상기 제 2 기판과 포개 맞춰진 면측중 적어도 한쪽에 상기 제 2 기판을 둘러싸는 크기로, 고화 전의 접착력이 상기 기판용 접착제보다 큰 서포트용 접착제를 도포하고, 상기 제 1 기판과 제 2 기판을 포개 맞출 때, 상기 서포트 부재와, 상기 제 1 기판을 상기 서포트용 접착제에 의해 맞붙도록 한 것이다.

청구항 6에 관한 발명은, 청구항 5에 관한 발명에 있어서 또한, 상기 기판용 접착제의 고화 후에, 서포트 부재와 상기 제 1 기판을 상기 제 2 기판과 상기 서포트용 접착제와의 사이에 두고 절단하도록 한 것이다.

청구항 7에 관한 발명은, 청구항 5 또는 6에 관한 발명에 있어서 또한, 상기 서포트 부재와, 상기 제 1 기판을, 감압 분위기하에서, 서포트용 접착제에 의해 맞붙도록 한 것이다.

청구항 8에 관한 발명은, 청구항 7에 관한 발명에 있어서 또한, 상기 제 1 기판은, 표시 모듈 기판이며, 상기 제 2 기판은, 컬러필터 기판이도록 한 것이다.

청구항 9에 관한 발명은, 표시패널의 제조에 이용하는 제 1과 제 2 기판을 기판용 접착제를 통하여 포개 맞춘 후, 상기 기판용 접착제를 고화시켜 맞붙임 기판을 제조하기 위한 맞붙임 기판의 제조장치에 있어서, 상기 제 1 기판을 그 중앙영역에 지지하고 상기 제 1 기판보다 외형 치수가 큰 제 1 서포트 부재를 지지하는 제 1 스테이지와, 상기 제 2 기판을 그 중앙영역에 지지하고 상기 제 2 기판보다 외형 치수가 큰 제 2 서포트 부재를 지지하는 제 2 스테이지와, 상기 제 1 스테이지와 제 2 스테이지를 상대적으로 분리 접근하는 방향으로 이동시키는 구동부와, 상기 제 1 스테이지와 제 2 스테이지를 접근 이동시키도록 구동부를 제어하는 것에 의해서 상기 제 1과 제 2 기판을 포개 맞출 때, 상기 제 1 서포트 부재에서의 상기 제 1 기판의 지지면측과 상기 제 2 서포트 부재에서의 상기 제 2 기판의 지지면측중 적어도 한쪽에 상기 제 1 기판 혹은 제 2 기판을 둘러싸도록 도포된, 고화 전의 접착력이 상기 기판용 접착제보다 큰 서포트용 접착제를 통하여 상기 제 1 서포트 부재와 제 2 서포트 부재를 맞붙이는 제어부를 구비하도록 한 것이다.

청구항 10에 관한 발명은, 청구항 9에 관한 발명에 있어서 또한, 상기 기판용 접착제의 고화 후에, 상기 제 1 서포트 부재와 제 2 서포트 부재를 상기 제 1 및 제 2 기판과 상기 서포트용 접착제와의 사이에 두고 절단하는 절제장치를 구비하도록 한 것이다.

청구항 11에 관한 발명은, 청구항 9 또는 10에 관한 발명에 있어서 또한, 상기 제 1 서포트 부재와 제 2 서포트 부재를, 감압 분위기하에서, 서포트용 접착제에 의해 맞붙일 수 있는 감압 가능한 챔버를 구비하도록 한 것이다.

청구항 12에 관한 발명은, 청구항 11에 관한 발명에 있어서 또한, 상기 제 1 서포트 부재와 제 2 서포트 부재중 적어도 한쪽이 가요(可撓) 필름으로 이루어지도록 한 것이다.

청구항 13에 관한 발명은, 청구항 12에 관한 발명에 있어서 또한, 상기 가요 필름으로 이루어지는 서포트 부재를 지지하는 상기 스테이지는, 상기 서포트 부재에서의 서포트용 접착제가 도포되는 부분에 대응하는 부분에, 상기 서포트 부재에서의 다른 부분에 대응하는 부분보다 높이가 높은 지지면을 설치하도록 한 것이다.

청구항 14에 관한 발명은, 청구항 13에 관한 발명에 있어서 또한, 상기 제 1 기판은, 표시 모듈 기판이며, 상기 제 2 기판은, 컬러필터 기판이도록 한 것이다.

청구항 15에 관한 발명은, 표시패널의 제조에 이용하는, 외주에 여백부를 갖는 제 1 기판과 제 2 기판을 기판용 접착제를 통하여 포개 맞춘 후, 상기 기판용 접착제를 고화시켜 맞붙임 기판을 제조하기 위한 맞붙임 기판의 제조장치로서, 상기 제 1 기판을 지지하는 제 1 스테이지와, 상기 제 2 기판을 그 중앙영역에 지지하고 상기 제 2 기판보다 외형 치수가 큰 서포트 부재를 지지하는 제 2 스테이지와, 상기 제 1 스테이지와 제 2 스테이지를 상대적으로 분리 접근하는 방향으로 이동시키는 구동부와, 상기 제 1 스테이지와 제 2 스테이지를 접근 이동시키도록 구동부를 제어하는 것에 의해서 상기 제 1과 제 2 기판을 포개 맞출 때, 상기 제 1 기판의 여백부에서의 상기 제 2 기판과 포개 맞춰진 면측과 상기 서포트 부재에서의 상기 제 2 기판의 지지면측중 적어도 한쪽에 상기 제 2 기판을 둘러싸는 크기로 도포된, 고화 전의 접착력이 상기 기판용 접착제보다 큰 서포트용 접착제를 통하여 상기 서포트 부재와 상기 제 1 기판을 맞붙이는 맞붙임 장치를 구비하도록 한 것이다.

청구항 16에 관한 발명은, 청구항 15에 관한 발명에 있어서 또한, 상기 기판용 접착제의 고화 후에, 서포트 부재와 상기 제 1 기판을 상기 제 2 기판과 상기 서포트용 접착제와의 사이에 두고 절단하는 절제장치를 구비하도록 한 것이다.

청구항 17에 관한 발명은, 청구항 15또는 16에 관한 발명에 있어서 또한, 상기 서포트 부재와, 상기 제 1 기판을, 감압 분위기하에서, 서포트용 접착제에 의해 맞붙일 수 있는 감압 가능한 챔버를 구비하도록 한 것이다.

청구항 18에 관한 발명은, 청구항 17에 관한 발명에 있어서 또한, 상기 서포트 부재가 가요 필름으로 이루어지도록 한 것이다.

청구항 19에 관한 발명은, 청구항 18에 관한 발명에 있어서 또한, 상기 제 1 기판은, 표시 모듈 기판이며, 상기 제 2 기판은, 컬러필터 기판이도록 한 것이다.

본 발명에 의하면, 표시패널의 제조에 이용하는 제 1과 제 2 기판을 포개 맞춘 후, 그들 기판의 사이에 개재한 기판용 접착제를 고화하는 것에 의해, 그들 기판을 맞붙임 완료하는데 있어서, 그들 기판의 맞붙임 위치 정밀도를 향상할 수 있다.

도 1은 표시패널 제조 라인을 도시하는 모식도이다.
도 2는 실시예 1의 기판의 맞붙임 방법을 도시하는 모식도이다.
도 3은 제 1 기판의 맞붙임 준비 공정을 도시하는 모식도이다.
도 4는 제 2 기판의 맞붙임 준비 공정을 도시하는 모식도이다.
도 5는 맞붙임 장치에의 제 1과 제 2 기판세트 공정을 도시하는 모식도이다.
도 6은 맞붙임 장치에서의 제 1과 제 2 기판의 포개 맞춤 공정을 도시하는 모식도이다.
도 7은 서포트용 접착제에 의한 임시 고정 공정을 도시하는 모식도이다.
도 8은 고화장치에 의한 기판용 접착제의 고화 공정을 도시하는 모식도이다.
도 9는 절제장치에 의한 기판 모듈의 꺼내기 공정을 도시하는 모식도이다.
도 10은 실시예 2의 기판의 맞붙임 방법을 도시하는 모식도이다.
도 11은 실시예 3의 기판의 맞붙임 방법을 도시하는 모식도이다.
도 12는 기판의 맞붙임 준비 공정을 도시하는 모식도이다.
도 13은 맞붙임 장치의 변형예를 도시하는 모식도이다.

(실시예 1)(도 1∼도 9)

도 1에 도시하는 표시패널 제조 라인은, 제 1과 제 2 기판(1,2)을 제 1 기판 (1)에 도포되어 형성된 막 형상의 기판용 접착제(3)를 사이에 두고 포개 맞춘 후, 기판용 접착제(3)를 고화(용제의 증발에 의한 경화 및 화학반응에 의한 경화 등)시켜 기판 모듈(4)을 조립하는 것으로, 포개 맞춤 장치(100), 고화장치(200), 절제장치(300)를 갖고 있다. 포개 맞춤 장치(100)는, 제 1과 제 2 기판(1,2)의 각각을 제 1 서포트 부재(5)와 제 2 서포트 부재(6)의 중앙 영역에 지지한 상태로, 제 1 기판 (1)에 형성된 기판용 접착제(3)를 사이에 두고, 소정의 위치 맞춤 정밀도로 포개 맞춘다. 고화장치(200)는, 포개 맞춤 장치(100)에 의해 포개 맞춰진 기판(1,2)의 사이의 기판용 접착제(3)를 고화시킨다. 절제장치(300)는, 고화장치(200)에 의한 기판용 접착제(3)의 고화 후에, 제 1 서포트 부재(5)와 제 2 서포트 부재(6)를, 제 1과 제 2 기판(1,2)이 지지된 중앙 영역보다 외측의 외주부에서 절제하고, 기판 모듈(4)을 꺼낸다. 한편, 여기서, 제 1 기판(1)은 전기영동입자를 봉입한 복수의 마이크로 캅셀을 행렬 형상으로 배치한 전기영동 시트와 마이크로 캅셀에 대응하여 스위칭 소자 등이 형성된 소자 기판을 갖고 구성되는 표시 모듈 기판이다. 또한, 제 2 기판(2)은, 컬러필터 기판이다.

한편, 여기서, 제 1 서포트 부재(5) 및 제 2 서포트 부재(6)에서의 제 1 기판(1), 제 2 기판(2)이 지지된 영역이 중앙 영역이다. 또한, 외주부는, 중앙 영역보다 외측의 제 1 서포트 부재(5) 및 제 2 서포트 부재(6)의 바깥가장자리까지의 영역이다. 즉, 제 1 서포트 부재(5), 제 2 서포트 부재(6)는, 제 1 기판(1), 제 2 기판(2)보다 큰 외형 치수(윤곽)를 갖고, 제 1 기판(1), 제 2 기판(2)은 제 1 서포트 부재(5) 및 제 2 서포트 부재(6)에 각각의 중앙이 일치하도록 지지된다. 또한, 이 실시예에서는, 제 1 기판(1)과 제 2 기판(2), 제 1 서포트 부재(5)와 제 2 서포트 부재(6)는, 각각 같은 크기이다.

포개 맞춤 장치(100)는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 감압 펌프(11)에 의해 감압되는 챔버(12)를 갖는다. 즉, 챔버(12)내는 감압 펌프(11)에 의해서 소정의 압력, 예를 들면 1Pa 정도로 감압되도록 되어 있다. 챔버(12)의 한쪽에는 셔터(13)에 의해서 개폐되는 출입구(14)가 형성되고, 이 출입구(14)로부터 제 1 서포트 부재 (5)에 지지된 상기 제 1 기판(1)과 제 2 서포트 부재(6)에 지지된 제 2 기판(2)이 출입되도록 되어 있다.

상기 챔버(12)내에는 제 1 스테이지(20)가 설치되어 있다. 이 제 1 스테이지 (20)는 제 1 구동원(21)에 의해서 X, Y 및 θ방향으로 구동된다. 제 1 스테이지 (20)의 유지면(상면)에는, 탄성 지지 부재(22)를 사이에 두고, 기판용 접착제(3)가 도포된 상기 제 1 기판(1)을 지지하고 있는 제 1 서포트 부재(5)가, 제 1 기판(1)의 지지면을 위로 향하게 유지된다.

제 1 스테이지(20)의 상방에는, 제 2 스테이지(30)가 설치되어 있다. 이 제 2 스테이지(30)는, 제 2 구동원(31)에 의해서 제 1 스테이지(20)에 대해서 분리 접근하는 Z방향으로 구동된다. 제 2 스테이지(30)의 하면의 유지면에는, 정전(靜電) 유지부재(32)를 통하여, 상기 제 2 기판(2)을 지지하고 있는 제 2 서포트 부재(6)가, 정전기력에 의해서 유지된다. 한편, 각 스테이지(20,30)의 유지면은 기판(1,2)을 지지하고 있는 서포트 부재(5,6)보다 조금 큰 면적으로 형성되어 있다. 한편, 제 2 스테이지(30)에 의한 기판(2)의 유지는, 정전 유지부재(32)에 의한 것에 한정하지 않고, 진공 흡착 유지부재, 점착 유지부재 등의 다른 유지부재에 의한 것이더라도 좋다.

제 1 스테이지(20)와 제 2 스테이지(30)에 제 1과 제 2 서포트 부재(5,6)를 통하여 유지된 제 1 기판(1)과 제 2 기판(2)은, 네 모서리부가 각각 상기 챔버(12)의 하방에 배치된 4세트의 촬상 수단(40)(2세트만 도시)에 의해서 촬상된다. 각 촬상 수단(40)은 대충 위치 맞춤용의 제 1 촬상 카메라(41)와, 이 제 1 촬상 카메라 (41)보다 촬상 배율이 높은 정밀 위치 맞춤용의 제 2 촬상 카메라(42)를 갖는다.

각 촬상 수단(40)의 제 1, 제 2 촬상 카메라(41,42)는, X, Y 및 Z 테이블을 갖는 위치 결정 장치(43)에 의해서 X, Y, 및 Z방향으로 구동되도록 되어 있고, 각 위치 결정 장치(43)는 상기 챔버(12)의 하방에 배치된 얹어놓음판(44)상에 설치되어 있다.

상기 챔버(12)의 바닥벽의 적어도 각 위치 결정 장치(43)가 대향하는 부위는 투명창(45)으로 형성되어 있다. 상기 챔버(12)내에 배치된 제 1 스테이지(20), 탄성 지지 부재(22)의 상기 투명창(45)에 대응하는 부위에는, 제 1 스테이지(20), 탄성 지지 부재(22)의 유지면에 제 1 서포트 부재(5){서포트 부재(5)는 투광성의 재료, 바람직하게는 투명 재료로 이루어진다}를 통하여 유지된 제 1 기판(1)의 네 모서리부 및 이 제 1 기판(1)을 사이에 두고 상기 제 2 스테이지(30)의 유지면에 유지된 제 2 기판(2)의 네 모서리부를 상기 제 1, 제 2 촬상 카메라(41,42)에 의해서 촬상 가능하게 하는 공동부(空洞部)(46)가 형성되어 있다.

상기 제 1 기판(1)과 제 2 기판(2)의 바깥쪽의 네 모서리부에는, 도시하지 않지만 각각 대충 위치 맞춤 마크와 정밀 위치 맞춤 마크가 마련되어 있다. 각 기판(1,2)의 대충 위치 맞춤 마크를 일치시킴으로써, 제 1 기판(1)과 제 2 기판(2)을 대충 위치 맞춤할 수 있고, 각 정밀 위치 맞춤 마크를 일치시킴으로써, 한 쌍의 기판(1,2)을 정밀하게 위치 맞춤할 수 있다.

한편, 제 1, 제 2 기판(1,2)을 촬상하기 위해서, 제 1 스테이지(20), 탄성 지지 부재(22)에 공동부(46)를 형성했지만, 공동부(46)를 형성하지 않고, 제 1 스테이지(20), 탄성 지지 부재(22)의 전체를 투명의 재료로 형성해도 좋다.

제 1 촬상 카메라(41)와 제 2 촬상 카메라(42)의 촬상 신호는 도시하지 않는 화상 처리부에 입력된다. 화상 처리부는, 입력된 촬상 신호를 공지의 화상 처리 기술을 이용하여 처리하고, 각 기판(1,2)의 위치 맞춤 마크의 상대적인 위치 어긋남을 산출한다. 즉, 화상 처리부는, 제 1 촬상 카메라(41)의 촬상 신호를 화상 처리하여 제 1 기판(1)의 대충 위치 맞춤 마크와 제 2 기판(2)의 대충 위치 맞춤 마크를 화상 인식하여, 양 마크의 상대적인 위치 어긋남을 산출한다. 또한, 화상 처리부는, 제 2 촬상 카메라(42)의 촬상 신호를 화상 처리하여 제 1 기판(1)의 정밀 위치 맞춤 마크와 제 2 기판(2)의 정밀 위치 맞춤 마크를 화상 인식하여, 양 마크의 상대적인 위치 어긋남을 산출한다. 화상 처리부는, 산출 결과를 제어장치(47)에 설치된 도시하지 않는 연산 처리부에 보낸다. 연산 처리부에서는, 화상 처리부에 의해서 산출된 제 1, 제 2 기판(1,2)의 네 모서리부 각각에 부착된 각 한 쌍의 대충 위치 맞춤 마크 혹은 정밀 위치 맞춤 마크의 상대적인 위치 어긋남로부터, 이들 기판(1,2)의 X, Y 및 θ방향의 상대적인 위치 어긋남을 산출한다.

상기 연산 처리부에 의해서 한 쌍의 기판(1,2)의 위치 어긋남이 산출되면, 그 위치 어긋남이 제어장치(47)에 설치된 도시하지 않는 기억부에 기억되는 한편, 구동부(마찬가지로 도시하지 않음)에도 출력된다. 그것에 의해서, 구동부는, 제 1 스테이지(20)를 구동하는 제 1 구동원(21)에 구동 신호를 출력하고, 상기 제 1 스테이지(20)를 X방향, Y방향 및 θ방향으로 구동하고 제 1 기판(1)과 제 2 기판(2)을 위치 맞춤한다.

제 1 기판(1)과 제 2 기판(2)과의 위치 맞춤은, 제 1 촬상 카메라(41)로부터의 촬상 신호에 기초하는 대충 위치 맞춤과, 제 2 촬상 카메라(42)로부터의 촬상 신호에 기초하는 정밀 위치 맞춤이 행하여진다. 한편, 제 1 기판(1)과 제 2 기판 (2)의 대충 위치 맞춤과 정밀 위치 맞춤을 행할 때의 제 1 기판(1)과 제 2 기판(2)의 간격은 같아도 좋지만, 정밀 위치 맞춤은 대충 위치 맞춤보다 그들 기판(1,2)의 간격을 접근하여 행하는 것이 좋다. 제 1 기판(1)과 제 2 기판(2)의 간격은, 상기 제어장치(47)의 구동부가 상기 제 2 구동원(31)을 제어하여 행한다.

상기 챔버(12)에는 유량 조정 밸브(51)를 통하여, 예를 들면 질소 등의 가압된 기체를 공급하는 기체 공급원(50)이 접속되어 있다. 유량 조정 밸브(51)의 개도 (開度)를 조정하여 챔버(12)내에 공급하는 기체의 유량을 조정함으로써, 감압 펌프 (11)에 의해서 감압된 챔버(12)내의 압력을 소정의 상승 곡선에 기초하여 상승시킬 수 있다. 상기 유량 조정 밸브(51)는 상기 제어장치(47)의 구동부에 의해서 개도가 조정되도록 되어 있다.

이하, 포개 맞춤 장치(100), 고화장치(200) 및 절제장치(300)를 이용하여 제 1 기판(1)과 제 2 기판(2)으로 이루어지는 기판 모듈(4)을 제조하는 방법을, 그들 장치 구성과 함께 설명한다.

(1) 제 1 기판(1)의 맞붙임 준비 공정(도 3)

제 1 기판(1)의 상면에 미리 기판용 접착제(3)를 도포하여 기판용 접착제(3)의 막을 형성하고, 그 제 1 기판(1)의 하면{기판용 접착제(3)가 부착된 면과는 반대측의 면}을 양면 접착 테이프 등을 통하여, 제 1 기판(1)의 윤곽보다 큰 윤곽을 갖는 제 1 서포트 부재(5)에 얹어 지지한다{도 3(A)}. 본 실시예에 있어서, 기판용 접착제(3)는 가열되어 고화되는 열고화성이며, 점도가 낮은 등의 이유로, 상온에서는 점착성을 발휘하지 않지만, 극히 약한 것으로 한다. 또한, 제 1 서포트 부재(5)는 투광성의 가요 필름으로 이루어지는 것으로 한다. 한편, 여기서, 기판용 접착제 (3)는, 액상 또는 페이스트 형상의 것을 도포하는 것이더라도 좋고, 시트형상의 것을 붙이는 것이더라도 좋다. 또한, 기판용 접착제(3)의 막을 형성하기 전에, 제 1 기판(1)을 제 1 서포트 부재(5)의 내주부에 지지시키도록 해도 좋다.

제 1 서포트 부재(5)의 외주부에, 도포 장치(7)가 토출하는 서포트용 접착제 (8)를 둘레방향에 루프 형상으로 연속하도록 도포한다{도 3(B),(C)}. 본 실시예에 있어서, 서포트용 접착제(8)는 자외선의 조사에 의해서 경화되는, UV경화형(UV고화형)으로 한다. 또한, 서포트용 접착제(8)는 경화(고화) 전의 상태에서의 점착력이 기판용 접착제(3)보다 큰 성질과 상태를 갖는 접착제이다.

(2) 제 2 기판(2)의 맞붙임 준비 공정(도 4)

제 2 기판(2)의 하면{제 1 기판(1)과 맞붙는 면과는 반대측의 면}을 양면 접착 테이프 등을 통하여, 제 2 기판(2)의 윤곽보다 큰 윤곽을 갖는 제 2 서포트 부재(6)의 내주부에 얹어 지지한다(도 4). 한편, 제 2 서포트 부재(6)는 투광성의 유리 기판이나 수지 기판으로 이루어지는 것으로 한다.

(3) 포개 맞춤 장치(100)에 상기 (1)의 제 1 기판(1)과 상기 (2)의 제 2 기판(2)을 세트하는 공정(도 5)

제 1 기판(1)을 지지하고 있는 제 1 서포트 부재(5)를, 포개 맞춤 장치(100)의 챔버(12)내의 제 1 스테이지(20)의 탄성 지지 부재(22)의 위에 얹어 지지한다. 제 1 서포트 부재(5)는 제 1 스테이지(20)의 탄성 지지 부재(22)에 마찰력에 의해서 유지된다.

이 때, 본 실시예에서는, 상기 (1)에서 제 1 서포트 부재(5)의 외주부에 도포되는 서포트용 접착제(8)의 도포 높이가 제 1과 제 2 기판(1,2)의 합계 판두께보다 작기 때문에, 제 1 서포트 부재(5)를 지지하는 제 1 스테이지(20)의 탄성 지지 부재(22)의 외주부로서, 상기 제 1 서포트 부재(5)의 서포트용 접착제(8)가 도포되는 부분에 대응하는 외주부에, 고단차 지지면(23A)을 구비하는 틀형상의 탄성 볼록부(23)를 형성한다. 이것에 의해, 제 1 서포트 부재(5)는 서포트용 접착제(8)가 도포된 부분의 하면을 탄성 볼록부(23)에 지지되어, 제 1 서포트 부재(5)의 제 1 기판(1)을 지지하고 있는 부분의 하면에는 고단차 지지면(23A)의 단차 높이분의 공극이 형성된다. 서포트용 접착제(8)의 상술한 도포 높이 부족을, 후술하는 (4)의 가요 필름으로 이루어지는 제 1 서포트 부재(5)의 휨에 의해 보완하는 것이다. 또한 여기에서는, 탄성 볼록부(23)에서의 고단차 지지면(23A)에는, 도시하지 않는 진공 흡착구멍이 복수개, 탄성 볼록부(23)의 틀 형상을 따라서 형성되어 있고, 제 1 서포트 부재(5)의 둘레가장자리부를 진공 흡착 가능하게 된다. 또한, 탄성 지지 부재 (22)에서의 탄성 볼록부(23)의 내측에 위치하는 상면을, 탄성 볼록부(23)의 고단차 지지면(23A)과 동일 높이로 형성하고, 제 1 서포트 부재(5)의 하면과 탄성 지지 부재(22)의 상면과의 사이에 공극이 형성되지 않도록 해도 좋다. 이 경우, 탄성 지지 부재(22)를 탄성 볼록부(23)보다 연질인 탄성 재료에 의해서 형성하고, 후술하는 제 1 기판(1)에 제 2 기판(2)을 포개 맞췄을 때에, 탄성 지지 부재(22)에서의 제 1 기판(1)에 대응하는 지지면이 고단차 지지면(23A)에 대해서 내려앉을 수 있도록 하면 좋다.

다른 한편, 제 2 기판(2)을 지지하고 있는 제 2 서포트 부재(6)를, 포개 맞춤 장치(100)의 챔버(12)내의 제 2 스테이지(30)의 정전 유지부재(32)에 정전 흡착하여 유지한다.

계속하여, 제 1 스테이지(20)에 상술한 바와 같이 지지된 제 1 기판(1)과, 제 2 스테이지(30)에 상술한 바와 같이 지지된 제 2 기판(2)의 포개 맞춤 위치를 위치 맞춤한다. 즉, 제어장치(47)의 연산 처리부는, 촬상 수단(40)의 제 1 촬상 카메라(41) 혹은 제 2 촬상 카메라(42)가 촬상한 제 1과 제 2 기판(1,2)의 네 모서리부의 각 한 쌍의 대충 위치 맞춤 마크 혹은 정밀 위치 맞춤 마크의 촬상 신호로부터, 그들 기판(1,2)의 X, Y 및 θ방향의 상대적인 위치 어긋남을 산출한다. 제어장치(47)의 구동부는, 그 위치 어긋남을 없애도록 제 1 스테이지(20)를 X방향, Y방향 및 θ방향으로 구동하여 제 1 기판(1)과 제 2 기판(2)을 위치 맞춤한다.

(4) 포개 맞춤 장치(100)에서의 제 1 기판(1)과 제 2 기판(2)의 포개 맞춤 공정(도 6)

제어장치(47)의 구동부에 의해서 제 2 스테이지(30)를 Z방향(하방 방향)으로 구동하고, 제 1과 제 2 기판(1,2)을 상기 (3)의 위치 맞춤 상태로 포개어 맞추는 동시에, 제 1 서포트 부재(5)와 제 2 서포트 부재(6)를 서포트용 접착제(8)에 의해 맞붙인다. 이것에 의해, 제 1 기판(1)과 제 2 기판(2)은 제 1 서포트 부재(5)와 제 2 서포트 부재(6)의 사이에 끼워 넣어져 유지된 기판 모듈(4)을 구성하는 것이 된다.

한편, 챔버(12)내는 제 1 기판(1)과 제 2 기판(2)의 상술한 포개 맞춤 전부터 감압 펌프(11)에 의해 감압되어, 이 감압 분위기하에서, 제 1 기판(1)과 제 2 기판(2)을 포개 맞추는 동시에, 제 1 서포트 부재(5)와 제 2 서포트 부재(6)를 서포트용 접착제(8)에 의해 맞붙인다. 이것에 의해, 제 1 기판(1)과 제 2 기판(2)을 포개어 맞춰서 형성되는 기판 모듈(4)을, 제 1 서포트 부재(5)와 제 2 서포트 부재 (6)의 사이에 끼워 넣어, 제 1 서포트 부재(5), 제 2 서포트 부재(6) 및 서포트용 접착제(8)에 의해서 형성하는 감압 분위기중에 밀봉한다.

이 때, 가요 필름으로 이루어지는 제 1 서포트 부재(5)는, 상기 (3)의 서포트용 접착제(8)의 도포 높이 부족분만큼, 제 1 스테이지(20)의 탄성 지지 부재(22)의 고단차 지지면(23A)에 둘러싸여 있는 내주측 단차부에 밀어넣어져서, 서로 마주하는 제 2 서포트 부재(6)와, 서포트용 접착제(8)에 의해 접착되어 맞붙는다. 즉, 포개 맞춤 장치(100)는, 제 1, 제 2 서포트 부재(5,6)의 맞붙임 장치로서도 기능한다.

제 1 기판(1)과 제 2 기판(2)을 제 1 서포트 부재(5)와 제 2 서포트 부재(6)의 사이에 끼워 넣어 유지한 기판 모듈(4)의 구성 후에, 기체 공급원(50)으로부터 공급되는 기체에 의해서 챔버(12)내가 대기압으로 되돌아간다. 이것에 의해, 기판 모듈(4)을 구성하는 제 1 기판(1)과 제 2 기판(2)은 대기의 외압을 받는 제 1 서포트 부재(5)와 제 2 서포트 부재(6)의 사이에서 강고하게 포개 맞춤 유지되어, 상기 (3)의 위치 맞춤 상태를 확실히 유지한다.

(5) 서포트용 접착제(8)의 경화 공정(도 7)

제 2 스테이지(30)의 정전 유지부재(32)에 의한 정전 유지를 해제하고, 기판 모듈(4)을 구성하고 있는 제 2 서포트 부재(6)를 제 2 스테이지(30)의 정전 유지부재(32)로부터 분리하여, 제 2 스테이지(30)를 상승시킨다. 이어서, 셔터(13)를 열고, 출입구(14)로부터 기판 모듈(4)을 꺼내고, 고화장치(200)와의 사이에 위치하는 UV조사 위치에 반송한다. 한편, 제 2 스테이지(30)의 정전 유지부재(32)에 의한 정전 유지의 해제는, 제 1 기판(1)과 제 2 기판(2)을 포개 맞춘 후, 즉, 제 1 서포트 부재(5)와 제 2 서포트 부재(6)를 맞붙인 후에 기체 공급원(50)으로부터 챔버(12)내에 기체의 공급이 개시될 때까지의 사이에 행하도록 해도 좋다.

UV조사 위치에서는, 도시하지 않는 자외선 조사 장치에 의해서, 기판 모듈 (4)의 상방으로부터 기판 모듈(4)의 전체면을 향해서 자외선이 조사되어, 서포트용 접착제(8)가 경화된다. 이 때, 제 1 기판(1), 제 2 기판(2), 양 기판(1,2)간의 기판용 접착제(3)에 자외선이 조사되는 것을 막기 위해서, 기판 모듈(4)에서의 제 1 기판(1), 제 2 기판(2), 양 기판(1,2)간의 기판용 접착제(3)에 대응하는 부분에 마스크(9)가 배치된다. 이것에 의해, 제 1 서포트 부재(5)와 제 2 서포트 부재(6)에 의한 제 1 기판(1)과 제 2 기판(2)을 끼워 넣어 유지 상태를 강고하게 하고, 상기 (3)의 제 1 기판(1)과 제 2 기판(2)의 위치 맞춤 상태를 확실히 유지한다.

(6) 고화장치(200)에 의한 기판용 접착제(3)의 고화 공정(도 8)

기판 모듈(4)을 고화장치(200)에 반송하고, 고화장치(200)의 가열로(201)내에서 기판 모듈(4)을 가열하는 동시에, 기판 모듈(4)의 제 1 기판(1) 및 제 1 서포트 부재(5)와 제 2 기판(2) 및 제 2 서포트 부재(6)를 가압 부재(202)에 의해 지지대(203)와의 사이에 끼워 눌러, 제 1 기판(1)과 제 2 기판(2)의 사이의 기판용 접착제(3)를 가열, 가압하여 고화시킨다. 이것에 의해, 제 1 기판(1)과 제 2 기판(2)이 상기 (3)의 포개 맞춤 장치(100)에서 포개어 맞춘 위치 맞춤 정밀도대로 맞붙임 완료되어, 기판 모듈(4)을 구성하는 제 1과 제 2 기판(1,2)의 맞붙임 위치 정밀도가 향상된다.

(7) 절제장치(300)에 의한 기판 모듈(4)의 꺼내기 공정(도 9)

고화장치(200)에서 기판용 접착제(3)가 고화된 기판 모듈(4)에 있어서, 제 1 서포트 부재(5)와 제 2 서포트 부재(6)의 외주부를 서포트용 접착제(8)와 함께 절제한다. 구체적으로는, 제 1 서포트 부재(5)와 제 2 서포트 부재(6)의 외주부에서의 상기 제 1 및 제 2 기판과 상기 서포트용 접착제와의 사이에 그 외주 가장자리를 따라서 절단 제거 라인(도 9의 C는 절단 제거 라인을 도시한다)을 미리 설정해 둔다. 그리고, 도시하지 않는 절단 수단이 구비하는 회전 구동하는 원반 형상의 절단톱니를, 미리 설정된 절단 제거 라인을 따라서 이동시켜, 제 1 서포트 부재(5) 및 제 2 서포트 부재(6)에서의 절단 제거 라인보다 외측의 부분을 서포트용 접착제 (8)와 함께 절제한다. 이것에 의해, 기판 모듈(4)이 꺼내지므로, 제 1 기판(1)으로부터 제 1 서포트 부재(5)를 박리하고, 제 2 기판(2)으로부터 제 2 서포트 부재(6)를 박리하여, 기판 모듈(4)이 완성된다.

본 실시예에 의하면 이하의 작용 효과를 이룬다.

(a) 포개 맞춤 장치(100)에 있어서 제 1과 제 2 기판(1,2)을 위치 맞춤하여 포개 맞출 때, 제 1 기판(1)을 지지하고 있는 제 1 서포트 부재(5)와, 제 2 기판 (2)을 지지하고 있는 제 2 서포트 부재(6)를 서포트용 접착제(8)에 의해 맞붙인다. 제 1과 제 2 기판(1,2)은, 기판용 접착제(3)보다 고화되기 전의 상태하에서 그 점도(점착력)가 높은 서포트용 접착제(8)에 의해 강고하게 접착된다. 따라서, 포개 맞춤 장치(100)에 의해 위치 맞춤되어 포개어 맞춘 제 1과 제 2 기판(1,2)은, 제 1과 제 2 기판(1,2) 사이보다 강하게 서로 위치 어긋나는 일이 없는 상태로 접착되어 있는 제 1 서포트 부재(5)와 제 2 서포트 부재(6)의 사이에 끼워 넣어져 유지된다. 이것에 의해, 제 1과 제 2 기판(1,2)은, 제 1 서포트 부재(5)와 제 2 서포트 부재(6)의 사이에 위치 어긋나는 일이 없는 상태로 포개 맞춤 유지되어, 양 기판 (1,2) 사이에 개재된 접착제(3)가 점도가 낮은 등의 이유로 열을 가할 때까지는 점착력을 발휘하지 않는 경우이더라도, 그들 기판(1,2)의 사이에 도포되어 있는 기판용 접착제의 고화를 위한 고화장치(200)까지 반송될 때에 진동 등을 받아도 위치 어긋나지 않고, 고화장치(200)에서 그들 기판(1,2)에 가해지는 열적 영향, 외력의 작용 등을 받아도 위치 어긋나는 일 없이, 기판용 접착제(3)를 고화시켜 맞붙임 완료에 이르게 된다. 따라서, 그들 기판(1,2)의 포개 맞춤 장치(100)에서 포개 맞춘 위치 맞춤 정밀도대로 맞붙임 완료할 수 있고, 그들 기판(1,2)의 맞붙임 위치 정밀도를 향상하여, 그들 기판(1,2)으로 이루어지는 패널 품질을 향상할 수 있다. 구체적으로는, 전자 페이퍼의 제조시에, 표시 모듈부인 제 1 기판(1)과 컬러필터 기판인 제 2 기판(2)을 포개 맞춤 장치에 의해서 고정밀도로 위치 맞춤하여 포개 맞춘 후, 고화장치(200)에 의해서 양 기판(1,2) 사이에 개재된 접착제(3)가 고화될 때까지, 양 기판(1,2) 사이의 위치 맞춤 상태가 유지되기 때문에, 표시 모듈부에 대해서 컬러필터 기판을 정밀도 좋게 접착 고정하는 것이 가능하게 된다. 그 때문에, 컬러 필터의 위치 어긋남에 기인하는 표시색 편차 등이 방지된, 표시 품질이 양호한 전자 페이퍼를 얻을 수 있다.

(b) 제 1 서포트 부재(5)와 제 2 서포트 부재(6)를, 감압 분위기하에서, 서포트용 접착제(8)에 의해 맞붙인다. 따라서, 감압 분위기하에서 제 1 서포트 부재 (5)와 제 2 서포트 부재(6)가 서포트용 접착제(8)에 의해 맞붙인 결과, 제 1과 제 2 기판(1,2)을 제 1 서포트 부재(5)와 제 2 서포트 부재(6)의 사이에 상기 (a)와 같이 끼워 넣어 유지하여 이루어지는 기판 모듈(4)을 감압 분위기하에서 밀봉하는 것이 된다. 그 후, 챔버(12)내가 대기압으로 되돌아가고, 제 1 서포트 부재(5)와 제 2 서포트 부재(6) 등이 대기중에 해방되어도, 제 1 서포트 부재(5)와 제 2 서포트 부재(6)의 사이에 끼워 넣어져 유지되어 있는 제 1과 제 2 기판(1,2)은 여전히 감압 분위기하에서 밀봉되기 때문에, 그들 기판(1,2)은 대기의 외압을 받는 제 1 서포트 부재(5)와 제 2 서포트 부재(6)의 사이에 한층 강고하게 포개 맞춤 유지되어, 위치 어긋나지 않고, 상기 (a)와 같이 맞붙임 완료하기에 이르러 그 맞붙임 위치 정밀도가 향상된다.

(c) 제 1 서포트 부재(5)가 가요 필름으로 이루어진다. 가요 필름으로 이루어지는 서포트 부재(5)는 상기 (a), (b)와 같이 끼워 넣어 유지되는 기판(1)의 외주각 및 외주면에 파고들도록 밀착되어, 그들 기판(1,2)을 한층 강고하게 포개 맞춤 유지할 수 있다.

(d) 서포트 부재(5)를 지지하는 제 1 스테이지(20)에, 탄성 지지 부재(22)의 탄성 볼록부(23)를 형성한다. 서포트 부재(5)를 지지하는 제 1 스테이지(20)의 유지면(상면)에 변형이 있을 때, 이 변형을 탄성 지지 부재(22)의 탄성 볼록부(23)가 흡수한다. 따라서, 포개 맞춤 장치(100)는, 제 1과 제 2 스테이지(20,30)에 의해, 제 1과 제 2 기판(1,2) 및 그들 기판(1,2)의 사이의 기판용 접착제(3), 및 제 1 서포트 부재(5) 및 제 2 서포트 부재(6)의 전체면에, 균등하게 되는 포개 맞춤 하중, 맞붙임 하중을 부여할 수 있어, 그들 기판(1,2)으로 이루어지는 패널 품질을 향상할 수 있다.

(e) 가요 필름으로 이루어지는 서포트 부재(5)를 지지하는 제 1 스테이지 (20)의 외주부로서, 상기 서포트 부재(5)의 서포트용 접착제(8)가 도포되는 부분에 대응하는 외주부에, 고단차 지지면(23A)을 설치한다. 따라서, 제 1 서포트 부재(5)와 제 2 서포트 부재(6)의 외주부에 도포한 서포트용 접착제(8)에 의해, 제 1과 제 2 기판(1,2)을 둘러싸는 데 있어서, 서포트용 접착제(8)의 도포 높이가 제 1과 제 2 기판(1,2)의 합계 판두께보다 작을 때, 서포트용 접착제(8)의 도포 높이 부족을 가요 필름으로 이루어지는 서포트 부재(5)의 휨에 의해 보완할 수 있다. 가요 필름으로 이루어지는 서포트 부재(5)가, 서포트용 접착제(8)의 도포 높이 부족분만큼, 상기 서포트 부재(5)를 지지하는 제 1 스테이지(20)의 외주부의 고단차 지지면 (23A)에 둘러싸여 있는 내주측 단차부에 밀어넣어져서, 서로 마주하는 다른 쪽의 서포트 부재(6)와 서포트용 접착제(8)에 의해 맞붙게 된다. 이 때문에, 서포트용 접착제(8)에 의한 제 1 서포트 부재(5)와 제 2 서포트 부재(6)와의 접착을 보다 확실히 할 수 있다.

(f) 기판용 접착제(3)를 열고화성으로 한다. 포개 맞춤 장치(100)에서 상술한 바와 같이 포개 맞춤 유지한 제 1과 제 2 기판(1,2)을, 고화장치(200)까지 반송하여, 그들 기판(1,2)의 사이에 도포되어 있는 기판용 접착제(3)를 가열, 가압하여 고화한다. 그들 기판(1,2)의 포개 맞춤 장치(100)에서 포개어 맞춘 위치 맞춤 정밀도대로 맞붙임 완료하게 된다.

(g) 기판용 접착제(3)의 고화 후에, 제 1 서포트 부재(5)의 외주부와 제 2 서포트 부재(6)의 외주부를 절제하여, 높은 맞붙임 위치 정밀도로 맞붙인 기판 모듈(4)을 표시용 패널 등에 공급할 수 있다.

한편, 실시예 1에 있어서는, 제 1 서포트 부재(5)의 외주부에 서포트용 접착제(8)를 도포했지만, 서포트용 접착제(8)는 제 1 서포트 부재(5) 및/또는 제 2 서포트 부재(6)의 외주부에 도포하는 것이면 좋다.

(실시예 2)(도 10)

도 10에 도시한 실시예 2가 실시예 1과 다른 점은, 포개 맞춤 장치(100)에 있어서, 제 1 스테이지(20)의 탄성 지지 부재(22)상의 탄성 볼록부(23)를 철거하고, 제 1 서포트 부재(5)의 전체 하면이 똑같은 평면을 이루는 탄성 지지 부재(22)의 상면에 접하여 지지되는 것으로 한 것에 있다.

(실시예 3)(도 11, 도 12)

도 11, 도 12에 도시한 실시예 3이 실시예 1과 다른 점은, 오로지 1개의 서포트 부재(6)만{서포트 부재(5)만에서도 가능}을 이용한 것에 있다. 즉, 제 1 기판 (1)으로서, 그 외형이 제 2 기판(2)의 외형보다 크게 형성되어 있고, 제 2 기판(2)에 대해서 밀려나온 부분이 제조상 이용되는 여백부이며 제품으로서는 불필요 부분이 되는 것을 이용한 예이다. 실시예 1과 같은 포개 맞춤 장치(100)를 이용하는데 있어서, 포개 맞춤 장치(100)는, 제 2 스테이지(30){정전 유지부재(32)를 구비한다}에 제 2 기판(2)을 지지한 서포트 부재(6)를 지지 가능하게 하는 동시에, 제 1 기판(1)을 제 1 스테이지(20)에 직접적으로 지지 가능하게 한다. 또한, 제 1 기판 (1)의 외주부(여백부)에 서포트용 접착제(8)가 도포되도록 하였다{서포트 부재(6)의 외주부에 서포트용 접착제(8)가 도포되어도 가능}. 포개 맞춤 장치(100)에서 제 1 기판(1)과 제 2 기판(2)을 포개 맞출 때, 제 1 기판(1)을 제 1 스테이지(20)에 지지하는 동시에, 서포트 부재(6)를 제 2 스테이지(30)에 지지하고, 제 1 기판(1)과 서포트 부재(6)를 서포트용 접착제에 의해 맞붙도록 한 것에 있다.

본 실시예에 의하면 이하의 작용 효과를 이룬다.

포개 맞춤 장치(100)에 있어서, 제 1과 제 2 기판(1,2)을 위치 맞춤하여 포개 맞출 때, 제 1 기판(1)과 제 2 기판(2)을 지지하고 있는 서포트 부재(6)를 서포트용 접착제(8)에 의해 맞붙인다. 따라서, 포개 맞춤 장치(100)에 의해 위치 맞춤되어 포개어 맞춘 제 1과 제 2 기판(1,2)은, 고화되기 전의 상태하에서 그 점도(점착력)가 기판용 접착제(3)보다 높은 서포트용 접착제(8)에 의해 제 1과 제 2 기판 (1,2) 사이보다 강하고 서로 위치 어긋나는 일이 없는 상태로 접착되어 있는 제 1 기판(1)과 서포트 부재(6)의 사이에 제 2 기판(2)을 끼워 넣어 유지한다. 이것에 의해, 제 1과 제 2 기판(1,2)은, 제 1 기판(1)과 서포트 부재(6)의 사이에 제 2 기판(2)을 위치 어긋나는 일이 없는 상태로 포개 맞춤 유지하고, 그들 기판(1,2)의 사이에 도포되어 있는 기판용 접착제(3)의 고화를 위한 고화장치(200)까지 반송될 때에 진동 등을 받아도 위치 어긋나지 않고, 고화장치(200)에서 그들 기판(1,2)에 가해지는 열적 영향, 외력의 작용 등을 받아도 위치 어긋나는 일 없이, 기판용 접착제(3)를 고화시켜 맞붙임 완료하게 된다. 따라서, 그들 기판(1,2)을 포개 맞춤 장치(100)에서 포개 맞춘 위치 정밀도대로 맞붙임 완료할 수 있어, 그들 기판(1,2)의 맞붙임 위치 정밀도를 향상하여, 그들 기판(1,2)으로 이루어지는 패널 품질을 향상할 수 있다. 구체적으로는, 전자 페이퍼의 제조시에, 표시 모듈부인 제 1 기판 (1)과 컬러필터 기판인 제 2 기판(2)을 포개 맞춤 장치에 의해서 고정밀도로 위치 맞춤하여 포개 맞춘 후, 고화장치(200)에 의해서 양 기판(1,2) 사이에 개재된 접착제(3)가 고화될 때까지의 사이에, 양 기판(1,2)간의 위치 맞춤 상태가 유지되기 때문에, 표시 모듈부에 대해서 컬러필터 기판을 정밀도 좋게 접착 고정하는 것이 가능하게 된다. 그 때문에, 컬러 필터의 위치 어긋남에 기인하는 표시색 편차 등이 방지된 표시 품질이 양호한 전자 페이퍼를 얻을 수 있다.

그리고, 실시예 3에 있어서도, 포개 맞춤 장치(100)의 챔버(12)내에서, 제 1 기판(1)과 서포트 부재(6)를, 감압 분위기하에서, 서포트용 접착제(8)에 의해 맞붙일 수 있다. 실시예 1의 상기 (b)와 같은 작용 효과를 가져오게 된다.

또한, 서포트 부재(6)가 가요 필름으로 이루어지는 것으로 할 수도 있다. 실시예 1의 상기 (c)와 같은 작용 효과를 가져오게 된다.

또한, 서포트 부재(6)를 지지하는 스테이지(30)에, 탄성 지지면을 설치할 수도 있다. 실시예 1의 상기 (d)와 같은 작용 효과를 가져오게 된다.

또한, 가요 필름으로 이루어지는 서포트 부재(6)를 지지하는 스테이지(30)의 외주부로서, 상기 서포트 부재(6)의 서포트용 접착제(8)가 도포되는 부분에 대응하는 외주부에, 고단차 지지면을 설치할 수도 있다. 실시예 1의 상기 (e)와 같은 작용 효과를 가져오게 된다.

또한, 제 1과 제 2 기판의 사이에 도포되는 기판용 접착제(3)를 열고화성으로 하고, 기판용 접착제(3)를 고화시키는 가열 고화장치(200)를 구비할 수도 있다. 실시예 1과 같은 고화장치(200)를 이용하여, 상기 (f)와 같은 작용 효과를 가져오게 된다.

또한, 고화장치(200)에 의한 기판용 접착제(3)의 고화 후에, 서포트 부재(6)의 외주부와, 제 1 기판(1)의 외주부를 절제하는 절제장치(300)를 구비할 수도 있다. 실시예 1과 같은 절제장치(300)를 이용하여 상기 (g)와 같은 작용 효과를 가져오게 된다.

(실시예 4)

실시예 4가 실시예 1과 다른 점은, 기판용 접착제(3)로서 기판 모듈(4)의 광학 특성을 개선하는 광학 수지로 이루어지는 것을 이용한 것에 있다. 광학 수지로 이루어지는 기판용 접착제(3)는, 자외선의 조사에 의해서 경화되는 UV경화형(UV고화형)이며, 자외선 조사 장치에 의해 고화된다. 기판용 접착제(3)는, 광학 수지로 이루어지는 경우에도, 점도가 낮은 등의 이유로, 상온에서는 점착성을 발휘하지 않거나, 극히 약한 것으로 하여, 액상 또는 페이스트 형태의 것을 도포하는 것이더라도 좋고, 시트 형상의 것을 붙이는 것이더라도 좋다.

따라서, 실시예 4에 있어서도, 포개 맞춤 장치(100), 자외선 조사 장치 및 절제장치(300)를 이용하여{가열로(201)를 갖는 고화장치(200)는 불필요}, 제 1 기판(1)과 제 2 기판(2)으로 이루어지는 기판 모듈(4)을 실시예 1의 (1)∼(5), (7)의 구성으로 제조할 수 있다.

한편, 실시예 1의 (5)에서, 자외선 조사 장치가 UV고화형의 서포트용 접착제 (8)를 경화할 때, 마찬가지로 UV고화형의 광학 수지로 이루어지는 본 실시예의 기판용 접착제(3)도 동시에 고화되는 것이 된다. 그 후, 실시예 1의 (7)의 절제장치 (300)에 의해, 제 1 서포트 부재(5)와 제 2 서포트 부재(6)의 외주부를 서포트용 접착제(8)와 함께 절제하고, 기판 모듈(4)이 꺼내져, 제 1 기판(1)으로부터 제 1 서포트 부재(5)를 박리하고, 제 2 기판(2)으로부터 제 2 서포트 부재(6)를 박리하여, 기판 모듈(4)이 완성된다.

본 실시예에 의하면, 포개 맞춤 장치(100)에 있어서 제 1과 제 2 기판(1,2)을 위치 맞춤하여 포개 맞출 때, 제 1 기판(1)을 지지하고 있는 제 1 서포트 부재 (5)와, 제 2 기판(2)을 지지하고 있는 제 2 서포트 부재(6)를 서포트용 접착제(8)에 의해 맞붙인다. 제 1과 제 2 기판(1,2)은, 기판용 접착제(3)보다 고화되기 전의 상태하에서 그 점도(점착력)가 높은 서포트용 접착제(8)에 의해 강고하게 접착된다. 따라서, 포개 맞춤 장치(100)에 의해 위치 맞춤되어 포개어 맞춘 제 1과 제 2 기판(1,2)은, 제 1과 제 2 기판(1,2) 사이보다 강하고 서로 위치 어긋나는 일이 없는 상태로 접착되어 있는 제 1 서포트 부재(5)와 제 2 서포트 부재(6)의 사이에 끼워 넣어져 유지된다. 이것에 의해, 제 1과 제 2 기판(1,2)은, 제 1 서포트 부재(5)와 제 2 서포트 부재(6)의 사이에 위치 어긋나는 일이 없는 상태로 포개 맞춤 유지되어, 양 기판(1,2)의 사이에 개재된 접착제(3)가, 점도가 낮은 등의 이유로 접착력을 발휘하지 않는 경우이더라도, 그들 기판(1,2)의 사이에 도포되어 있는 기판용 접착제(3)의 UV경화를 위한 자외선 조사 장치까지 반송될 때에 진동 등을 받아도 위치 어긋나지 않고, 자외선 조사 장치가 접착제(3)에 가하는 자외선의 조사에 의해 경화되는 과정에서 상기 접착제(3)가 수축되어도 위치 어긋나는 일 없이, 기판용 접착제(3)를 고화시켜 맞붙임 완료에 이르는 것이 된다. 따라서, 그들 기판 (1,2)의 포개 맞춤 장치(100)에서 포개 맞춘 위치 맞춤 정밀도대로 맞붙임 완료할 수 있어, 그들 기판(1,2)의 맞붙임 위치 정밀도를 향상하여, 그들 기판(1,2)으로 이루어지는 패널 품질을 향상할 수 있다. 구체적으로는, 전자 페이퍼의 제조시에, 표시 모듈부인 제 1 기판(1)과 컬러필터 기판인 제 2 기판(2)을 포개 맞춤 장치에 의해서 고정밀도로 위치를 맞추어 포개 맞춘 후, 고화장치(200)에 의해서 양 기판 (1,2)사이에 개재된 접착제(3)가 고화될 때까지, 양 기판(1,2)간의 위치 맞춤 상태가 유지되기 때문에, 표시 모듈부에 대해서 컬러필터 기판을 정밀도 좋게 접착 고정하는 것이 가능하게 된다. 그 때문에, 컬러 필터의 위치 어긋남에 기인하는 표시색 편차 등이 방지된 표시 품질이 양호한 전자 페이퍼를 얻을 수 있다.

또한, 제 1 서포트 부재(5)와 제 2 서포트 부재(6)를, 감압 분위기하에서, 서포트용 접착제(8)에 의해 맞붙인다. 따라서, 포개 맞춤 장치(100)의 감압 분위기하에서 제 1 서포트 부재(5)와 제 2 서포트 부재(6)가 서포트용 접착제(8)에 의해 맞붙인 결과, 제 1과 제 2 기판(1,2)을 제 1 서포트 부재(5)와 제 2 서포트 부재 (6)의 사이에 상술한 바와 같이 끼워 넣어 유지하여 이루어지는 기판 모듈(4)을 감압 분위기하에서 밀봉하는 것이 된다. 그 후, 챔버(12)내가 대기압으로 되돌아가고, 제 1 서포트 부재(5)와 제 2 서포트 부재(6) 등이 대기중에 해방되어도, 제 1 서포트 부재(5)와 제 2 서포트 부재(6)의 사이에 끼워 넣어져 유지되어 있는 제 1과 제 2 기판(1,2)은 여전히 감압 분위기하에서 밀봉되기 때문에, 그들 기판(1,2)은 대기의 외압을 받는 제 1 서포트 부재(5)와 제 2 서포트 부재(6)의 사이에 한층 강고하게 포개 맞춤 유지되어, 위치 어긋나지 않고, 상술과 같이 맞붙임 완료하기에 이르러 그 맞붙임 위치 정밀도가 향상된다.

또한, 기판용 접착제(3)를 UV 고화성으로 한 것에 의해, 포개 맞춤 장치 (100)에서 상술한 바와 같이 포개 맞추어 유지한 제 1과 제 2 기판(1,2)을 자외선 조사장치까지 반송하여, 그들 기판(1,2)의 사이에 도포되어 있는 기판용 접착제(3)를 UV 경화시켜 고화한다. 그들 기판(1,2)의 포개 맞춤 장치(100)에서 포개어 맞춘 위치 맞춤 정밀도대로 맞붙임 완료하는 것이 된다.

이상, 본 발명의 실시예를 도면에 의해 상세히 서술했지만, 본 발명의 구체적인 구성은 이 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위의 설계의 변경 등이 있어도 본 발명에 포함된다.

예를 들면, 실시예 1에 있어서, 탄성 지지 부재(22)의 위에 탄성 볼록부(23)를 형성했지만, 양자를 개별적으로 형성하도록 해도 좋다. 예를 들면, 제 1 서포트 부재(5)에 대한 서포트용 접착제(8)의 도포 위치에 대응하는 직사각형 틀 형상의 형상으로 소정 높이의 탄성 볼록부(23)를 형성하고, 탄성 볼록부(23)의 틀 영역의 내측에, 탄성 볼록부(23)보다 부드러운 탄성 재료로 형성된 탄성 지지 부재(22)를 설치한다. 이와 같이 구성하는 것에 의해서, 제 2 스테이지(30)의 하강에 의해서 제 2 기판(2)이 기판용 접착제(3)를 사이에 두고 제 1 기판(1)에 내리 눌러졌을 때에, 탄성 지지 부재(22)가 찌부러져도, 탄성 볼록부(23)는 탄성 지지 부재(22)와는 독립하여 형성되어 있고, 제 1 서포트 부재(5)는 가요 필름으로 이루어지므로, 탄성 볼록부(23)는 찌부러지는 일 없이 원의 형상을 유지한다. 그 때문에, 제 1 서포트 부재(5)에 도포된 서포트용 접착제(8)의 도포 높이가 양 기판(1,2)의 합계 판두께보다 작은 경우이더라도, 서포트용 접착제(8)를 제 2 서포트 부재(6)에 확실히 접촉시켜 접착할 수 있다. 한편, 탄성 지지 부재(22)를 탄성 재료를 대신하여, 제 1 서포트 부재(5)를 지지하는 지지면을 갖는 승강 가능한 평판(22P)을 스프링(22S) 등으로 탄성 지지하는 구성으로 해도 좋다(도 13).

또한, 탄성 지지 부재(22)의 상면에 제 1 서포트 부재(5)의 하면, 또는, 제 1 기판(1)의 하면을 접촉 지지시키는 경우, 탄성 지지 부재(22)의 상면에 진공 흡착구멍 등의 흡착 수단을 설치하도록 해도 좋다.

또한, 제 1, 제 2 기판(1,2)의 포개어 맞추기, 및 제 1, 제 2 서포트 부재 (5,6)의 접착을 감압 분위기하에서 행하는 것으로 했지만, 이것에 한정되지 않고, 대기압하에서 행하도록 해도 좋다. 이와 같이 한 경우에도, 포개어 맞춘 제 1, 제 2 기판(1,2)간의 위치 맞춘 상태는, 서포트용 접착제(8)에 의해서 접착된 제 1, 제 2 서포트 부재(5,6)에 의해서 유지되므로, 고화장치(200)에 의해서 기판용 접착제 (3)가 고화될 때까지의 사이에, 포개어 맞춘 제 1, 제 2 기판(1,2) 사이의 위치 맞춘 상태가 손상되는 것을 방지할 수 있다. 한편, 제 1, 제 2 기판(1,2)의 포개어 맞추기를 대기압하에서 행하는 경우에는, 서포트용 접착제(8)는 폐루프 형상으로 연속하여 도포할 필요는 없고, 요는, 제 1, 제 2 기판(1,2)의 위치 어긋남을 방지할 수 있는 정도의 점착력을 얻을 수 있으면 좋기 때문에, 단속적으로 도포하는 것이더라도 좋다.

또한, 서포트용 접착제(8)가 UV(자외선) 경화형 접착제의 예로 설명했지만, 이것에 한정되는 것이 아니고, 요는 고화 전의 상태에 있어서 기판용 접착제보다 높은 점도(점착성)를 갖고 있으면 좋기 때문에, 열고화성의 접착제, 열UV 병용 경화형 등이라도 좋다. 예를 들면, 상술의 실시예 1에 있어서, 서포트용 접착제(8)를 열고화성으로 한 경우, 공정(5)에서 도시한 서포트용 접착제(8)의 경화 공정을 생략하고, 공정(6)에서 기판용 접착제(3)의 고화와 동시에 서포트용 접착제(8)의 고화를 행하도록 하면 좋다. 이와 같이 한 경우에도, 서포트용 접착제(8)가 기판용 접착제(3)보다 높은 점도(점착성)를 갖고 있기 때문에, 그 점착력에 의해서 제 1, 제 2 서포트 부재(5,6)간의 위치 어긋남을 방지할 수 있으므로, 그 사이에 끼워지는 제 1, 제 2 기판(1,2)간의 위치 어긋남이 방지되어, 포개어 맞추기로부터 기판용 접착제(3)가 고화될 때까지의 사이의 반송중 등에 제 1, 제 2 기판(1,2)간의 위치 맞춤 상태가 손상되는 것이 방지된다.

또한, 포개 맞춤 장치(100)에, 서포트용 접착제(8)의 임시 경화용 UV조사 수단을 설치하도록 해도 좋다. 예를 들면, 제 1 스테이지(20) 또는 제 2 스테이지 (30)에서의 서포트용 접착제(8)의 도포 위치에 대응하는 한 개소 혹은 복수의 개소에, UV 광원에 연결되는 UV 조사구를 설치하고, 제 1, 제 2 기판(1,2)을 포개 맞춘 후, 정전 유지부재(32)에 의한 제 2 서포트 부재(6)의 유지를 해제하기 전에, UV 조사구로부터 서포트용 접착제(8)를 향하여 자외선을 조사하고, 서포트용 접착제 (8)를 부분적으로 경화시키도록 해도 좋다. 한편, UV 조사구를, 서포트용 접착제 (8)의 도포 위치 전역에 대응하여 배치함으로써, 서포트용 접착제(8)의 전체 영역을 경화 가능하게 구성하여, 포개 맞춤 장치(100)에서 고화장치(200)의 사이에 배치된 자외선 조사 장치를 대신해도 좋다.

또한, 제 1 기판(1)과 제 2 기판(2)의 사이에 개재되는 기판용 접착제(3)가, 열고화성의 예로 설명했지만, 자외선의 조사에 의해서 고화되는 UV 경화성의 접착제나 가압에 의해서 고화되는 가압 고화성의 접착제 등을 이용하는 것도 가능하다.

또한, 실시예 1∼4에 있어서, 제 1 기판(1), 제 2 기판(2)의 적어도 한쪽에 서포트 부재를 설치했지만, 제 1, 제 2 기판(1,2) 쌍방이 그 외주부에 여백부 등의 제품으로서는 불필요한 부분을 갖고 있는 경우, 제 1, 제 2 기판(1,2) 쌍방의 여백부를 서포트 부재로서 이용하도록 해도 좋다.

[산업상의 이용 가능성]

본 발명에 의하면, 표시패널의 제조에 이용하는 제 1과 제 2 기판을 위치 맞춤하여 포개 맞춘 후, 그들 기판의 사이에 개재한 기판용 접착제를 고화하는 것에 의해, 그들 기판을 맞붙임 완료하는 데 있어서, 그들 기판의 맞붙임 위치 정밀도를 향상할 수 있다.

1 : 제 1 기판
2 : 제 2 기판
3 : 기판용 접착제
4 : 기판 모듈
5 : 제 1 서포트 부재
6 : 제 2 서포트 부재
8 : 서포트용 접착제
11 : 감압 펌프
12 : 챔버
20 : 제 1 스테이지
22 : 탄성 지지 부재
23 : 탄성 볼록부
23A : 고단차 지지면
30 : 제 2 스테이지
32 : 정전 유지부재
40 : 촬상 수단
50 : 기체 공급원
100 : 포개 맞춤 장치
200 : 고화장치
300 : 절제장치

Claims (19)

1. 표시패널의 제조에 이용하는 제 1과 제 2 기판을 기판용 접착제를 통하여 포개 맞춘 후, 상기 기판용 접착제를 고화시켜 맞붙임 기판을 제조하는 맞붙임 기판의 제조방법에 있어서,
   제 1 기판을 이 제 1 기판보다 외형 치수가 큰 제 1 서포트 부재의 중앙 영역에 지지하고,
   제 2 기판을 이 제 2 기판보다 외형 치수가 큰 제 2 서포트 부재의 중앙 영역에 지지하고,
   상기 제 1 서포트 부재에서의 상기 제 1 기판의 지지면측과 상기 제 2 서포트 부재에서의 상기 제 2 기판의 지지면측중 적어도 한쪽에 상기 제 1 기판 혹은 제 2 기판을 둘러싸도록, 고화 전의 점착력이 상기 기판용 접착제보다 큰 서포트용 접착제를 도포하고,
   상기 제 1 서포트 부재에 의해서 지지된 상기 제 1 기판과 상기 제 2 서포트 부재에 의해서 지지된 상기 제 2 기판을 포개 맞출 때, 상기 제 1 서포트 부재와 제 2 서포트 부재를 상기 서포트용 접착제에 의해 맞붙이는 것을 특징으로 하는 맞붙임 기판의 제조방법.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 기판용 접착제의 고화 후에, 제 1 서포트 부재와 제 2 서포트 부재를 상기 제 1 및 제 2 기판과 상기 서포트용 접착제와의 사이에 두고 절단하는 맞붙임 기판의 제조방법.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제 1 서포트 부재와 제 2 서포트 부재를, 감압 분위기하에서, 서포트용 접착제에 의해 맞붙이는 맞붙임 기판의 제조방법.
4. 제 3 항에 있어서, 상기 제 1 기판은, 표시 모듈 기판이며, 상기 제 2 기판은, 컬러필터 기판인 맞붙임 기판의 제조방법.
5. 표시패널의 제조에 이용하는, 외주에 여백부를 갖는 제 1 기판과 제 2 기판을 기판용 접착제를 통하여 포개 맞춘 후, 상기 기판용 접착제를 고화시켜 맞붙임 기판을 제조하는 맞붙임 기판의 제조방법으로서,
   상기 제 2 기판을 상기 기판보다 외형 치수가 큰 서포트 부재의 중앙 영역에 지지하고,
   상기 서포트 부재에서의 상기 제 2 기판의 지지면측과 상기 제 1 기판의 여백부에서의 상기 제 2 기판과 포개 맞춰진 면측중 적어도 한쪽에 상기 제 2 기판을 둘러싸는 크기로, 고화 전의 접착력이 상기 기판용 접착제보다 큰 서포트용 접착제를 도포하고,
   상기 제 1 기판과 제 2 기판을 포개 맞출 때, 상기 서포트 부재와, 상기 제 1 기판을 상기 서포트용 접착제에 의해 맞붙이는 맞붙임 기판의 제조방법.
6. 제 5 항에 있어서, 상기 기판용 접착제의 고화 후에, 서포트 부재와 상기 제 1 기판을 상기 제 2 기판과 상기 서포트용 접착제와의 사이에 두고 절단하는 맞붙임 기판의 제조방법.
7. 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서, 상기 서포트 부재와, 상기 제 1 기판을, 감압 분위기하에서, 서포트용 접착제에 의해 맞붙이는 기재된 맞붙임 기판의 제조방법.
8. 제 7 항에 있어서, 상기 제 1 기판은, 표시 모듈 기판이며, 상기 제 2 기판은, 컬러필터 기판인 맞붙임 기판의 제조방법.
9. 표시패널의 제조에 이용하는 제 1과 제 2 기판을 기판용 접착제를 통하여 포개 맞춘 후, 상기 기판용 접착제를 고화시켜 맞붙임 기판을 제조하기 위한 맞붙임 기판의 제조장치에 있어서,
   상기 제 1 기판을 그 중앙영역에 지지하고 상기 제 1 기판보다 외형 치수가 큰 제 1 서포트 부재를 지지하는 제 1 스테이지와,
   상기 제 2 기판을 그 중앙영역에 지지하고 상기 제 2 기판보다 외형 치수가 큰 제 2 서포트 부재를 지지하는 제 2 스테이지와,
   상기 제 1 스테이지와 제 2 스테이지를 상대적으로 분리 접근하는 방향으로 이동시키는 구동부와,
   상기 제 1 스테이지와 제 2 스테이지를 접근 이동시키도록 구동부를 제어하는 것에 의해서 상기 제 1과 제 2 기판을 포개 맞출 때, 상기 제 1 서포트 부재에서의 상기 제 1 기판의 지지면측과 상기 제 2 서포트 부재에서의 상기 제 2 기판의 지지면측중 적어도 한쪽에 상기 제 1 기판 혹은 제 2 기판을 둘러싸도록 도포된, 고화 전의 접착력이 상기 기판용 접착제보다 큰 서포트용 접착제를 통하여 상기 제 1 서포트 부재와 제 2 서포트 부재를 맞붙이는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 맞붙임 기판의 제조장치.
10. 제 9 항에 있어서, 상기 기판용 접착제의 고화 후에, 상기 제 1 서포트 부재와 제 2 서포트 부재를 상기 제 1 및 제 2 기판과 상기 서포트용 접착제와의 사이에 두고 절단하는 절제장치를 구비하는 맞붙임 기판의 제조장치.
11. 제 9 항 또는 제 10 항에 있어서, 상기 제 1 서포트 부재와 제 2 서포트 부재를, 감압 분위기하에서, 서포트용 접착제에 의해 맞붙일 수 있는 감압 가능한 챔버를 구비하는 맞붙임 기판의 제조장치.
12. 제 11 항에 있어서, 상기 제 1 서포트 부재와 제 2 서포트 부재중 적어도 한쪽이 가요 필름으로 이루어지는 맞붙임 기판의 제조장치.
13. 제 12 항에 있어서, 상기 가요 필름으로 이루어지는 서포트 부재를 지지하는 상기 스테이지는, 상기 서포트 부재에서의 서포트용 접착제가 도포되는 부분에 대응하는 부분에, 상기 서포트 부재에서의 다른 부분에 대응하는 부분보다 높이가 높은 지지면을 설치하는 맞붙임 기판의 제조장치.
14. 제 13 항에 있어서, 상기 제 1 기판은, 표시 모듈 기판이며, 상기 제 2 기판은, 컬러필터 기판인 맞붙임 기판의 제조장치.
15. 표시패널의 제조에 이용하는, 외주에 여백부를 갖는 제 1 기판과 제 2 기판을 기판용 접착제를 통하여 포개 맞춘 후, 상기 기판용 접착제를 고화시켜 맞붙임 기판을 제조하기 위한 맞붙임 기판의 제조장치로서,
    상기 제 1 기판을 지지하는 제 1 스테이지와,
    상기 제 2 기판을 그 중앙영역에 지지하고 상기 제 2 기판보다 외형 치수가 큰 서포트 부재를 지지하는 제 2 스테이지와,
    상기 제 1 스테이지와 제 2 스테이지를 상대적으로 분리 접근하는 방향으로 이동시키는 구동부와,
    상기 제 1 스테이지와 제 2 스테이지를 접근 이동시키도록 구동부를 제어하는 것에 의해서 상기 제 1과 제 2 기판을 포개 맞출 때, 상기 제 1 기판의 여백부에서의 상기 제 2 기판과 포개 맞춰진 면측과 상기 서포트 부재에서의 상기 제 2 기판의 지지면측중 적어도 한쪽에 상기 제 2 기판을 둘러싸는 크기로 도포된, 고화 전의 접착력이 상기 기판용 접착제보다 큰 서포트용 접착제를 통하여 상기 서포트 부재와 상기 제 1 기판을 맞붙이는 맞붙임 장치를 구비하는 맞붙임 기판의 제조장치.
16. 제 15 항에 있어서, 상기 기판용 접착제의 고화 후에, 서포트 부재와 상기 제 1 기판을 상기 제 2 기판과 상기 서포트용 접착제와의 사이에 두고 절단하는 절제장치를 구비하는 맞붙임 기판의 제조장치.
17. 제 15 항 또는 제 16 항에 있어서, 상기 서포트 부재와, 상기 제 1 기판을, 감압 분위기하에서, 서포트용 접착제에 의해 맞붙일 수 있는 감압 가능한 챔버를 구비하는 맞붙임 기판의 제조장치.
18. 제 17 항에 있어서, 상기 서포트 부재가 가요 필름으로 이루어지는 맞붙임 기판의 제조장치.
19. 제 18 항에 있어서, 상기 제 1 기판은, 표시 모듈 기판이며, 상기 제 2 기판은, 컬러필터 기판인 맞붙임 기판의 제조장치.
    

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