KR20110071337A - 기판처리장치 - Google Patents

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KR20110071337A
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이병우
위규용
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주식회사 아토
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    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
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Abstract

본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판의 표면에 증착공정을 수행하는 기판처리장치 및 그에 사용되는 뷰포트어셈블리에 관한 것이다.
본 발명은 밀폐된 처리공간을 형성하여 증착공정을 수행하며 실질적으로 사각형상을 가지는 진공챔버와; 상기 진공챔버 내부에 설치되어 기판을 지지하는 기판지지부와; 상기 처리공간의 상측에 설치되어 증착공정을 수행할 수 있도록 가스를 분사하는 샤워헤드부와; 기판의 인입방향와 수직을 이루는 상기 진공챔버의 측벽에 형성된 개구에 결합되어 광이 투과할 수 있는 투명창을 가지는 뷰포트부와, 상기 투명창 내에 설치되어 증착공정이 수행될 때 상기 투명창을 차폐하고 기판의 인입시에는 상기 투명창의 차폐를 해제하는 투명창 차폐부를 포함하는 뷰포트어셈블리를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치를 개시한다.
기판처리, 증착, 차폐

Description

기판처리장치 {Substrate processing apparatus}
본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판의 표면에 증착공정을 수행하는 기판처리장치 및 그에 사용되는 뷰포트어셈블리에 관한 것이다.
기판처리장치란 밀폐된 처리공간을 형성하는 진공챔버와, 진공챔버 내에 설치되어 기판이 안착되는 기판지지부를 포함하여 구성되며, 처리공간에 처리가스를 주입하면서 기판의 표면을 식각하거나 증착하는 등 기판처리를 수행하는 장치를 말한다.
상기 기판처리장치에 의하여 처리되는 기판은 반도체용 웨이퍼, LCD패널용 유리기판, 태양전지용 기판 등이 있다.
그리고 종래의 기판처리장치는 복수개의 기판들을 트레이에 적재하고 기판들이 적재된 트레이를 증착공정 등을 수행하는 기판처리장치 내로 이송함으로써 보다 많은 수의 기판들을 처리하도록 구성된 장치도 있다.
한편 기판처리장치는 진공챔버의 측면에 뷰포트부를 설치하고 광을 조사하여 그 감지결과에 따라서 기판 또는 트레이의 인입을 감지하도록 발광부 및 수광부로 구성되는 센서모듈이 설치된다.
그런데 기판처리장치 중 증착공정을 수행하는 경우 뷰포트부를 구성하는 투명창에도 증착되어 육안에 의한 관찰이 불가하거나 센서모듈의 기판감지에 방해을 받아 센서모듈이 오작동을 일으키는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 증착공정의 수행에 있어서 뷰포트를 구성하는 투명창에 증착물질이 증착되는 것을 방지하여 육안에 의한 관찰 및 기판의 유무를 정확하게 감지할 수 있는 기판처리장치 및 그에 사용되는 뷰포트어셈블리를 제공하는 데 있다.
본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은 밀폐된 처리공간을 형성하여 증착공정을 수행하며 실질적으로 사각형상을 가지는 진공챔버와; 상기 진공챔버 내부에 설치되어 기판을 지지하는 기판지지부와; 상기 처리공간의 상측에 설치되어 증착공정을 수행할 수 있도록 가스를 분사하는 샤워헤드부와; 기판의 인입방향와 수직을 이루는 상기 진공챔버의 측벽에 형성된 개구에 결합되어 광이 투과할 수 있는 투명창을 가지는 뷰포트부와, 상기 투명창 내에 설치되어 증착공정이 수행될 때 상기 투명창을 차폐하고 기판의 인입시에는 상기 투명창의 차폐를 해제하는 투명창 차폐부를 포함하는 뷰포트어셈블리를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치를 개시한다.
상기 뷰포트부의 투명창을 통하여 광의 조사 및 수광 중 적어도 어느 하나를 수행하는 센서모듈부를 추가로 포함할 수 있다.
상기 뷰포트부는 일단이 상기 개구와 밀폐결합되며 타단은 상기 투명창이 밀폐결합되며, 상기 개구와 연통되는 연통공간이 형성된 뷰포트본체를 포함하며, 상기 투명창 차폐부는 상기 연통공간과 실질적으로 수직방향으로 설치된 회전축과 상기 회전축을 중심으로 회전에 의하여 상기 뷰포트본체를 차폐하는 차폐부재를 포함할 수 있다.
상기 뷰포트부는 일단이 상기 개구와 밀폐결합되며 타단은 상기 투명창이 밀폐결합되며, 상기 개구와 연통되는 연통공간이 형성된 뷰포트본체를 포함하며, 상기 투명창 차폐부는 상기 연통공간과 교차하여 이동하도록 설치되어 상기 뷰포트본체를 차폐하는 차폐부재와; 상기 연통공간을 차폐하거나 개방하도록 상기 차폐부재를 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다.
상기 뷰포트부는 일단이 상기 개구와 밀폐결합되며 타단은 상기 투명창이 밀폐결합되며, 상기 개구와 연통되는 연통공간이 형성된 뷰포트본체를 포함하며, 상기 투명창 차폐부는 상기 연통공간 내에 힌지결합된 차폐부재와; 상기 차폐부재를 회전시켜 상기 연통공간을 차폐하거나 개방하도록 상기 차폐부재를 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판처리장치 및 그에 사용되는 뷰포트어셈블리는 증착공정 수행시에는 투명창을 차폐하여 증착물질이 증착되는 것을 방지하고 기판 또는 트레 이가 진공챔버로 인입될 때에는 차폐를 해제하여 육안에 의한 관찰이 원활하게 일워지며 기판 또는 트레이의 유무를 감지하는 센서모듈의 오작동을 방지할 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명에 따른 기판처리장치 및 그에 사용되는 뷰포트어셈블리는 기판처리장치 중 증착공정을 수행하는 경우 뷰포트부를 구성하는 투명창에도 증착되는 것을 방지함으로써 육안에 의한 관찰을 용이하게 하면서 및 센서모듈의 오작동을 방지하기 위하여 투명창의 교체 또는 보수를 필요치 않아 기판처리장치의 유지 및 보수가 번거롭지 않으며 그 비용을 절감할 수 있는 이점이 있다.
이하 본 발명에 따른 기판처리장치 및 그에 사용되는 뷰포트어셈블리에 관한여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 따른 기판처리장치를 보여주는 단면도이고, 도 2는 도 1의 기판처리장치의 평단면도이고, 도 3은 도 2에서 뷰포트부 및 투명창 차폐부를 보여주는 확대단면도이고, 도 4a 내지 도 4b는 도 3의 투명창 차폐부의 작동을 보여주는 개념도이다.
본 발명에 따른 기판처리장치는 기판처리에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 도 1에 도시된 바와 같이, 증착공정을 수행할 수 있도록 밀폐된 처리공간(S)을 형성하는 진공챔버(110)와; 진공챔버(110) 내부에 설치되어 기판(10)을 직접 또는 복수개의 기판(10)들이 적재된 트레이(20)를 지지하는 기판지지부(130)를 포함하여 구성될 수 있다.
여기서 상기 기판처리장치는 트레이(20) 상에 기판(10)을 교환하기 위한 기판교환모듈(미도시), 로드락모듈(미도시), 기판처리장치 및 언로드락모듈(미도시)이 순차적으로 설치되는 등 인라인 타입의 기판처리시스템의 일부를 구성하는 등 기판처리장치를 위한 단일의 모듈 또는 복수개의 모듈들과 함께 구성되어 기판처리시스템의 일부를 구성할 수 있다.
한편 기판처리의 대상인 기판(10)은 반도체기판, LCD패널용 유리기판, 태양전지용 기판 등이 가능하며, 그 형상은 직사각형, 원형 등 다양한 형상을 가질 수 있다.
그리고 복수개의 기판(10)이 적재되는 트레이(20)는 하나 이상, 바람직하게는 복수개의 기판(10)들을 적재하여 한꺼번에 이송하기 위한 구성으로 설계 및 디자인에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 기판(10)의 증착공정에 영향을 주지 않는 재질이면 어떠한 재질도 사용이 가능하다.
그리고 상기 트레이(20)는 열전도율을 고려하여 카본계열의 재질이 사용될 수 있으며, 그레파이트(graphite) 또는 석영 등의 비금속이 재질의 사용이 바람직하며, 그 형상은 직사각형 등 다양한 형상을 가질 수 있다.
여기서 상기 트레이(20)가 복수개의 플레이트로 구성되는 경우 가장자리부분에는 복수개의 플레이트를 고정하기 위한 외곽프레임이 추가로 설치될 수 있다.
상기 진공챔버(110)는 기판처리를 수행하는 처리공간(S)을 형성하기 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하며, 도 1에 도시된 바와 같이, 상측이 개방된 챔버본체(112)와 챔버본체(112)와 탈착가능하게 결합되는 상부리드(111)를 포함하여 구 성될 수 있다.
상기 챔버본체(112)는 상측이 개방된 그릇 형태를 가지며, 기판(10)이 입출될 수 있는 하나 이상의 게이트(101, 102)가 형성될 수 있다. 본 실시예에서는 로드락모듈(미도시) 및 언로드락모듈(미도시)과의 연결을 위하여 직사각형의 챔버본체(112)에서 한 쌍의 게이트(101, 102)들이 서로 대향되도록 형성된다.
상기 상부리드(111)는 챔버본체(112)의 상측에 실링부재(미도시)가 개재되어 결합되어 밀폐된 처리공간(S)을 형성하기 위한 구성으로서, 플레이트 또는 하측이 개방된 그릇 형태를 가질 수 있다.
한편 상기 진공챔버(110)는 도시된 바와 같이, 기판처리를 위하여 가스를 분사하도록 진공챔버(110)의 상측에 설치되는 샤워헤드부(150), 기판지지부(130)를 기준으로 하측으로 처리가스의 유입 등을 방지하기 위한 배플, 처리공간(S) 내의 압력조절 또는 배기를 위한 배기관 등 다양한 구성이 설치될 수 있다.
상기 샤워헤드부(150)는 처리공간(S)의 상측에 설치되어 기판처리를 수행할 수 있도록 가스공급부(미도시)로부터 가스를 공급받아 처리공간(S)으로 공급하기 위한 구성으로서, 공정 및 가스공급방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
상기 기판지지부(130)는 기판처리가 원활하게 수행될 수 있도록 기판(10) 또는 트레이(20)를 지지하기 위한 구성으로서, 설계조건 및 공정조건에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
또한 상기 기판지지부(130)는 기판처리가 원활하게 수행될 수 있도록 소정의 온도를 유지하기 위한 히터(131)가 설치되는 것이 바람직하며, 히터로만 구성될 수 있다. 이때 기판지지부(130)를 구성하는 히터는 일체로 구성되거나 도 1에 도시된 바와 같이, 트레이(20)를 지지하는 지지면을 기준으로 복수개로 히터(131)들로 분할되어 설치될 수 있다.
그리고 상기 기판지지부(130)를 구성하는 히터(131)는 세라믹, 스테인레스(SUS), 인코넬(INCONELL), 알루미늄히터 등 다양한 재질이 사용될 수 있다.
한편 기판처리에 따라서 기판처리장치는 전원이 인가될 수 있는 데 이 경우 그 전원인가방식에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 일 예로서, 상기 샤워헤드부(150)에 RF전원 또는 LF전원을 인가하여 상부전원을 구성하고, 기판지지부(130)를 접지시킴으로써 하부전원을 구성할 수 있다.
상기 기판처리장치는 트레이(20)를 이송하기 위하여 벨트, 롤러 등 트레이이송장치(미도시)가 추가로 설치될 수 있다.
한편 상기 기판처리장치는 기판(10)의 인입방향와 수직을 이루는 진공챔버(110)의 측벽에 형성된 하나 이상의 개구(113)에 결합되어 광이 투과할 수 있는 투명창(210)을 가지는 뷰포트부(200)와; 뷰포트부(200) 내에 설치되어 증착공정이 수행될 때 투명창(210)을 차폐하고 기판(10)의 인입시에는 투명창(210)의 차폐를 해제하는 투명창 차폐부(330)를 포함하는 하나 이상의 뷰포트어셈블리를 포함한다.
상기 뷰포트어셈블리는 기판(10)(또는 트레이(20))가 기판지지부(130)에 적재된 경우 트레이(20)의 유무 등을 감지하기 위한 구성으로서, 기판(10)의 인입방향을 기준으로 진공챔버(110) 내에서 기판(10)(또는 트레이(20))가 위치될 최선단에 대응되는 위치에 설치됨이 바람직하며, 보다 정확한 감지를 위하여 기판(10)(또 는 트레이(20))가 위치될 최후단에 대응되는 위치에도 설치됨이 더욱 바람직하다.
상기 뷰포트부(200)는 투명창(210)을 진공챔버(110)의 개구(113)에 결합시키기 위한 구성으로서 설치조건에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 일단이 개구(113)와 밀폐결합되며 타단은 투명창(210)이 밀폐결합되며, 개구(113)와 연통되는 연통공간(221)이 형성된 뷰포트본체(220)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 뷰포트본체(220)는 도 3에 도시된 바와 같이, 개구(113) 주변에 볼트(223)와 같은 체결부재로 실링부재(미도시)가 개재된 상태로 결합되는 플렌지 형태로 구성될 수 있으며, 그 단면 형상은 원형은 물론 사각형 등과 같이 다각형 형상을 가질 수 있다.
상기 투명창(210)은 센서모듈부(310)가 광의 조사 및 수광을 이용하는 것을 고려하여 광이 투과할 수 있는 석영, 사파이어 등과 같이 투명한 재질이 사용된다.
그리고 상기 투명창(210)은 진공챔버(110)와 외부를 차단할 수 있도록 뷰포트본체(220)의 연통공간(221)을 실링부재(미도시)가 개재되어 복개하여 결합된다. 여기서 상기 투명창(210)은 뷰포트본체(220)의 끝단에 다양한 형태로 결합이 가능하며, 링형상의 결합링(224) 및 볼트(224a)의 체결에 의하여 밀폐결합될 수 있다.
한편 상기 뷰포트어셈블리는 기판(10)(또는 트레이(20))가 기판지지부(130)에 적재된 경우 트레이(20)의 이송 위치를 감지하기 위하여 뷰포트부(200)의 투명창(210)을 통하여 광의 조사 및 수광 중 적어도 어느 하나를 수행하는 센서모듈부(310)를 추가로 포함할 수 있다.
상기 센서모듈부(310)는 적외선, 가시광선 등의 광을 조사하는 발광부와, 발광부에 의하여 조사된 수광부으로 조합되며, 수광부의 수광량에 따라서 기판(10)(또는 트레이(20))의 이송 위치를 확인하기 위한 구성으로서, 발광부 및 수광부의 설치위치에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
일 예로서, 상기 센서모듈부(310)는 도 2에 도시된 바와 같이, 발광부 및 수광부를 투명창(210)의 외측에 설치하고 진공챔버(110)의 반대편 측벽 내부에 반사판(311)을 설치하여 구성될 수 있다.
또한 상기 센서모듈부(310)는 진공챔버(110)에서 서로 대향되는 측벽 중 어느 한 측벽에 위치된 투명창(210)의 외측에 설치된 발광부 또는 나머지 측벽에 위치된 투명창(210)의 외측에 설치된 수광부 중 어느 하나로 구성될 수 있다. 여기서 상기 진공챔버(110)에서 서로 대향되는 한 쌍의 측벽들에 설치되는 뷰포트어셈블리들은 각각 센서모듈부(310)의 구성(발광부 또는 수광부)만 달라질 뿐 나머지 구성은 동일하다.
상기 투명창 차폐부(330)는 센서모듈부(310)가 원활하게 작동할 수 있도록 기판(10)(또는 트레이(20))가 이송될 때에만 개방하고 증착공정을 수행할 때는 연통공간(221)을 차단하여 투명창(210)의 표면에 증착물질이 증착되는 것을 방지하기 위한 구성으로서 연통공간(221)의 차단방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
일예로서, 상기 투명창 차폐부(330)는 도 2, 도 3, 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 연통공간(221)과 실질적으로 수직방향으로 설치된 회전축(331)과 회전축(331)을 중심으로 회전에 의하여 연통공간(221)을 차단하여 뷰포트본체(220)를 차폐하는 차폐부재(332)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 회전축(331)은 회전구동장치(333)에 의하여 구동되어 차폐부재(332)를 회전시키기 위한 구성으로서, 차폐부재(332)와 결합됨과 아울러 차폐부재(332)를 회전시킬 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다. 여기서 상기 회전구동장치(333)는 진공챔버(110)의 측벽에 고정설치될 수 있다.
상기 차폐부재(332)는 연통공간(221)을 차폐하거나 개방할 수 있는 구성이면 원판, 타원판 등 어떠한 형상 및 구조를 가질 수 있다.
한편 상기 차폐부재(332)의 차폐 및 차폐해제는 회전각도에 의하여 결정되며 투명창(210)의 외측에 설치된 센서모듈부(330)의 위치 및 조사되는 광의 진로에 따라 차폐부재(332)의 회전각도가 결정된다.
상기와 같은 구성을 가지는 투명창 차폐부(330)는 기판(10)(또는 트레이(20))이 인입될 때에 기판(10)(또는 트레이(20))의 이송 위치를 센서모듈부(310)가 감지할 수 있도록 도 4a에 도시된 바와 같이, 차폐부재(332)가 광의 이동경로에 간섭되지 않을 정도로 회전하여 연통공간(221)을 개방한다.
아울러, 상기 투명창 차폐부(330)는 증착공정을 수행할 때에 투명창(210)을 보호할 수 있도록 도 4b에 도시된 바와 같이, 차폐부재(332)가 연통공간(221)을 차단하여 증착물질이 투명창(210)으로 도달하는 것을 방지한다.
도 5a 내지 도 5b는 도 3의 투명창 차폐부의 다른 예를 보여주는 개념도이다.
한편 상기 투명창 차폐부(330)는 도 2, 도 3, 도 4a 및 도 4b에 도시된 구조 이외에도 다양한 구성이 가능하다.
상기 투명창 차폐부(330)의 다른 예로서, 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 연통공간(221)과 교차하여 이동하도록 설치되어 뷰포트본체(220)를 차폐하는 차폐부재(332)와; 연통공간(221)을 차폐하거나 개방하도록 차폐부재(332)를 선형 이동시키는 구동부(334)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 차폐부재(332)는 연통공간(221)을 차폐하거나 개방할 수 있는 구성이면 원판, 타원판 등 어떠한 형상 및 구조를 가질 수 있다.
상기 구동부(334)는 차폐부재(332)를 선형이동시켜 연통공간(221)을 차폐하거나 개방하기 위한 구성으로서 차폐부재(332)를 선형이동시킬 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다. 여기서 상기 구동부(334)는 진공챔버(110)의 측벽에 고정설치될 수 있다.
이때 상기 구동부(334)는 뷰포트본체(220)의 밀폐상태를 유지하면서 차폐부재(332)의 선형이동이 가능하도록 다양한 구조로 결합될 수 있는데, 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 뷰포트본체(220)의 측벽에 실링부재가 개재된 상태로 결합되는 결합하우징(335)과, 차폐부재(332)가 결합되는 구동부(334)의 선형구동축(334a)의 끝단 및 결합하우징(335)의 끝단에 결합되는 벨로우즈(336)에 의하여 차폐부재(332)와 선형이동이 가능하도록 결합될 수 있다.
한편 상기 투명창 차폐부(330)는 도시되지는 않았지만, 상기와 같은 예 이외에도 연통공간(221) 내에 힌지결합된 차폐부재(332)와; 차폐부재(332)를 회전시켜 연통공간(221)을 차폐하거나 개방하도록 차폐부재(332)를 이동시키는 구동부(미도 시)를 포함하여 구성될 수 있다.
이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 기판처리장치를 보여주는 단면도이다.
도 2는 도 1의 기판처리장치의 평단면도이다
도 3은 도 2에서 뷰포트부 및 투명창 차폐부를 보여주는 확대단면도이다.
도 4a 내지 도 4b는 도 3의 투명창 차폐부의 작동을 보여주는 개념도이다.
도 5a 내지 도 5b는 도 3의 투명창 차폐부의 다른 예를 보여주는 개념도이다.
***** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *****
10 : 기판 20 : 트레이
110 : 진공챔버 130 : 기판지지부
150 : 샤워헤드부
200 : 뷰포트부 310, 330 : 투명창 차폐부

Claims (5)

  1. 밀폐된 처리공간을 형성하여 증착공정을 수행하며 실질적으로 사각형상을 가지는 진공챔버와;
    상기 진공챔버 내부에 설치되어 기판을 지지하는 기판지지부와;
    상기 처리공간의 상측에 설치되어 증착공정을 수행할 수 있도록 가스를 분사하는 샤워헤드부와;
    기판의 인입방향와 수직을 이루는 상기 진공챔버의 측벽에 형성된 개구에 결합되어 광이 투과할 수 있는 투명창을 가지는 뷰포트부와, 상기 투명창 내에 설치되어 증착공정이 수행될 때 상기 투명창을 차폐하고 기판의 인입시에는 상기 투명창의 차폐를 해제하는 투명창 차폐부를 포함하는 뷰포트어셈블리를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 뷰포트부의 투명창을 통하여 광의 조사 및 수광 중 적어도 어느 하나를 수행하는 센서모듈부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 뷰포트부는 일단이 상기 개구와 밀폐결합되며 타단은 상기 투명창이 밀폐결합되며, 상기 개구와 연통되는 연통공간이 형성된 뷰포트본체를 포함하며,
    상기 투명창 차폐부는 상기 연통공간과 실질적으로 수직방향으로 설치된 회전축과 상기 회전축을 중심으로 회전에 의하여 상기 뷰포트본체를 차폐하는 차폐부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  4. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 뷰포트부는 일단이 상기 개구와 밀폐결합되며 타단은 상기 투명창이 밀폐결합되며, 상기 개구와 연통되는 연통공간이 형성된 뷰포트본체를 포함하며,
    상기 투명창 차폐부는 상기 연통공간과 교차하여 이동하도록 설치되어 상기 뷰포트본체를 차폐하는 차폐부재와; 상기 연통공간을 차폐하거나 개방하도록 상기 차폐부재를 이동시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  5. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 뷰포트부는 일단이 상기 개구와 밀폐결합되며 타단은 상기 투명창이 밀폐결합되며, 상기 개구와 연통되는 연통공간이 형성된 뷰포트본체를 포함하며,
    상기 투명창 차폐부는 상기 연통공간 내에 힌지결합된 차폐부재와; 상기 차폐부재를 회전시켜 상기 연통공간을 차폐하거나 개방하도록 상기 차폐부재를 이동시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
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KR20230012938A (ko) * 2021-07-16 2023-01-26 (주)티엔지 영구자석을 이용한 가림막 이송장치 구조

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