KR20110068440A - Tray for cleaning fosb info-pad - Google Patents

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KR20110068440A
KR20110068440A KR1020090125400A KR20090125400A KR20110068440A KR 20110068440 A KR20110068440 A KR 20110068440A KR 1020090125400 A KR1020090125400 A KR 1020090125400A KR 20090125400 A KR20090125400 A KR 20090125400A KR 20110068440 A KR20110068440 A KR 20110068440A
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fosb
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은상해
조희돈
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주식회사 엘지실트론
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Abstract

PURPOSE: A tray for cleaning FOSB info-pad are provided to clean many info-pads at one time by forming a plurality of hangers on both sides while having a base between them. CONSTITUTION: A cleaning tray comprises a base(110) and hangers(123, 124). The hanger is extended from the base. An FOSB info pad is hanged over the hanger which is extended from the base in oblique direction. The hanger is comprised of two bars which are extended in parallel. A restricting member is detachable from the hanger and limits the FOBS info pad hanged over the hanger. A plurality of hangers are symmetrical around the base.

Description

인포패드 세정 트레이 {Tray for Cleaning FOSB Info－Pad}Infopad cleaning tray {Tray for Cleaning FOSB Info-Pad}

본 발명은 FOSB 인포패드 세정 트레이에 관한 것으로, 구체적으로 걸이대를 사선방향으로 형성하고 구속부재를 구비하여 세정 효율을 향상시키고 인포패드의 이탈을 효과적으로 방지할 수 있는 FOSB 인포패드 세정 트레이에 관한 것이다.The present invention relates to a FOSB infopad cleaning tray, and more particularly, to a FOSB infopad cleaning tray which is formed in a diagonal direction and includes a restraining member to improve cleaning efficiency and effectively prevent the detachment of the infopad.

반도체 소자 제조 공정에서는, 웨이퍼를 대상으로 하여 노광, 식각, 확산 및 증착 공정을 포함하는 수많은 단위 공정들을 수행한다. 상기 단위 공정의 수행에서는 웨이퍼를 다수 매 적재시킨 웨이퍼 캐리어를 이용하여 웨이퍼를 보관, 이동하거나 직접 생산 프로세스에 투입한다.In the semiconductor device manufacturing process, a number of unit processes, including exposure, etching, diffusion, and deposition processes, are performed on a wafer. In performing the unit process, the wafer is stored, moved or directly put into the production process using a wafer carrier having a plurality of wafers loaded thereon.

반도체 소자의 수율 증가를 위해 웨이퍼가 점차 대구경화 됨에 따라 웨이퍼 캐리어도 변화되고 있다. 예를 들어, 종래에는 200mm 웨이퍼를 사용하고 웨이퍼 캐리어로 웨이퍼 카세트를 사용하였는데, 점차 300mm 웨이퍼를 사용하면서 웨이퍼 캐리어로서 FOUP(Front Open Unified Pod)와 FOSB(Front Opening Shipping Box)를 제조하여 이용하는 추세이다.As the wafer is gradually enlarged to increase the yield of semiconductor devices, the wafer carrier is also changing. For example, in the past, a 200 mm wafer was used and a wafer cassette was used as a wafer carrier. Increasingly, a 300 mm wafer was used to manufacture and use a front open unified pod (FOUP) and a front opening shipping box (FOSB) as a wafer carrier. .

FOUP은 직접 생산 프로세스에 투입하는데 사용되며, FOUP은 복수 매의 웨이퍼가 수평하게 적재되며, FOUP 셀과 FOUP 도어로 구성된다. 웨이퍼는 FOUP 도어를 통하여 출입한다. 카세트를 이용할 경우, 적재된 웨이퍼가 노출되며 별도의 카세트 캐리어 박스가 필요한 것에 비하여, FOUP은 적재되는 웨이퍼에 대한 실링 특성이 우수하며 캐리어 박스와 같은 별도의 보조 기구가 필요 없다. The FOUP is used for direct input into the production process. The FOUP consists of a FOUP cell and a FOUP door with a plurality of wafers loaded horizontally. The wafer enters and exits through the FOUP door. When using a cassette, the loaded wafer is exposed and a separate cassette carrier box is required, while the FOUP has excellent sealing properties for the wafer to be loaded and does not require a separate auxiliary device such as a carrier box.

FOSB는 주로 웨이퍼를 보관하거나 이동시키는 쉬핑(shipping) 용도로 이용되는 것인데 FOUP과 구조가 거의 유사하며, 다만 작업자도 쉽게 도어를 열 수 있도록 하는 구성을 가진다.FOSB is mainly used for shipping or storage of wafers. The structure of the FOSB is almost similar to that of FOUP, but has a structure that allows the operator to easily open the door.

기존의 300mm 박스 세정(Box Cleaning) 공정의 FOSB 인포패드(Info-Pad) 세정 방식은 FOSB 및 FOSB 어셈블리를 세정하기 위해 고정 거치하는 기구인 FOSB 세정 트레이에 거치하거나 분리하여 세정 및 건조를 실시하였다. FOSB 인포패드는 FOSB 선택 파트(optional part)로 인포매이션 패드(information pad)의 일종이다.In the existing 300mm box cleaning process, the FOSB Info-Pad cleaning method was mounted or separated on the FOSB cleaning tray, which is a fixed mounting mechanism for cleaning the FOSB and FOSB assembly, to be cleaned and dried. The FOSB Infopad is a FOSB optional part, which is a kind of information pad.

FOSB 인포패드를 분리하여 세정하는 전용 트레이가 없는 경우, 별도 분리 세정이 어렵기 때문에 세정 및 건조 효율이 떨어진다는 문제점이 있다.If there is no dedicated tray for separating and cleaning the FOSB infopad, there is a problem that the cleaning and drying efficiency is lowered because separate separation cleaning is difficult.

또한, 인포패드의 별도 세정을 위하여 트레이를 사용하는 경우, 기존의 트레이에 인포패드를 거치하여 세정 및 건조를 수행하게 되면 순수 침전 단계(DI Water Dipping step)에서 순수의 부력과 건조 단계에서의 압축건조공기(CDA; compressed dry air) 분사압력 등과 같은 외부 압력 요인에 의해 인포패드가 트레이에서 이탈하는 경우가 발생한다. 이러한 인포패드의 이탈은 장비 에러 및 배스(bath) 오염의 주 요인으로 작용한다.In addition, when the tray is used for the separate cleaning of the infopad, when the InfoPad is mounted on the existing tray and the cleaning and drying are performed, the buoyancy of the pure water and the compression in the drying step in the DI water dipping step Infopad may be dislodged from the tray due to external pressure factors such as compressed dry air (CDA) injection pressure. This departure from the infopad is a major contributor to equipment errors and bath contamination.

따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 목적은 세정 및 건조를 원활하게 수행할 수 있는 FOSB의 인포패드 세정 트레이를 제공하는데 있다.Therefore, an object according to an embodiment of the present invention is to provide an infopad cleaning tray of FOSB capable of smoothly cleaning and drying.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 다른 목적은 인포패드의 세정 시 외부 압력 등에 의한 이탈을 효과적으로 방지할 수 있는 세정 트레이를 제공하는데 있다.In addition, another object according to an embodiment of the present invention is to provide a cleaning tray that can effectively prevent the separation due to external pressure during cleaning of the infopad.

본 발명의 일 실시예에 따른 또 다른 목적은 인포패드의 일회 세정 매수를 증가시켜 세정 생산성을 향상시킬 수 있는 세정 트레이를 제공하는데 있다.Still another object according to an embodiment of the present invention is to provide a cleaning tray capable of improving cleaning productivity by increasing the number of single cleaning sheets of the infopad.

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 FOSB 인포패드 세정 트레이는 베이스 및 상기 베이스로부터 연장하는 걸이대를 포함하고, 상기 걸이대에는 FOSB 인포패드가 거치될 수 있다.In order to achieve the object of the present invention as described above, the FOSB infopad cleaning tray according to the present invention includes a base and a hanger extending from the base, the hanger may be mounted FOSB infopad.

바람직하게, 상기 걸이대는 베이스로부터 사선 방향으로 연장하고, 평행하게 사선 방향으로 연장하는 2 개의 바가 한 쌍을 이루어 형성되어 있다.Preferably, the hanger is formed from a pair of two bars extending from the base in an oblique direction and extending in an oblique direction in parallel.

이러한 걸이대는 복수 개를 이루어 형성될 수 있으며, 상기 복수 개의 걸이대는 상기 베이스를 중심으로 서로 반대방향으로 연장하는 쌍을 이루어 형성될 수 있다.The hanger may be formed in plural, and the plurality of hangers may be formed in pairs extending in opposite directions with respect to the base.

바람직하게, 본 고안의 일 실시예에 따른 세정 트레이는 구속부재를 더 포함할 수 있으며, 상기 구속부재는 상기 걸이대에 탈착 가능하고, 걸이대에 거치된 인포패드를 구속하여 상기 인포패드가 걸이대로부터 이탈하는 것을 방지할 수 있다.Preferably, the cleaning tray according to an embodiment of the present invention may further include a restraining member, and the restraining member is detachable to the hanger and restrains the infopad mounted on the hanger so that the infopad is separated from the hanger. Can be prevented.

바람직하게, 상기 구속부재는 폴리에테르에테르케톤, 폴리프로필렌 또는 테프론 계열의 재질 중 적어도 어느 하나로 제조될 수 있다.Preferably, the restraining member may be made of at least one of polyether ether ketone, polypropylene, or Teflon-based material.

본 발명의 일 실시예에 따른 FOSB 인포패드 세정 트레이에 의하면, 걸이대를 사선 방향으로 형성하여, 순수 침전 단계에서 부력에 의한 인포패드의 이탈을 방지할 수 있는 효과가 있다.According to the FOSB infopad cleaning tray according to an embodiment of the present invention, the hanger is formed in an oblique direction, thereby preventing the detachment of the infopad due to buoyancy in the pure water precipitation step.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 FOSB 인포패드 세정 트레이에 의하면, 구속부재를 더 구비함으로써, 압축건조공기 분사 단계에서도 압축 공기의 압력에도 인포패드를 효과적으로 구속하여 이탈을 방지할 수 있는 효과가 있다.In addition, according to the FOSB info pad cleaning tray according to an embodiment of the present invention, by further comprising a restraining member, even in the compressed dry air injection step, the effect of effectively restraining the info pad to the pressure of the compressed air to prevent the departure have.

그리고, 본 발명의 일 실시예에 따른 FOSB 인포패드 세정 트레이에 의하면, 복수 개의 걸이대를 베이스를 중심으로 양 방향으로 형성함으로써, 한번에 많은 수의 인포패드를 세정할 수 있어 세정 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, according to the FOSB infopad cleaning tray according to an embodiment of the present invention, by forming a plurality of hooks in both directions around the base, a large number of infopads can be cleaned at once, thereby improving cleaning productivity. It works.

이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하지만, 본 발명이 실시예에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 참고로, 본 설명에서 동일한 번호는 실질적으로 동일한 요소를 지칭하며, 상기 규칙 하에서 다른 도면에 기재된 내용을 인용하여 설명할 수 있고, 당업자에게 자명하다고 판단되거나 반복되는 내용은 생략될 수 있다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, but the present invention is not limited or limited by the embodiments. For reference, the same numbers in this description refer to substantially the same elements and can be described with reference to the contents described in the other drawings under the above-mentioned rules, and the contents which are judged to be obvious to the person skilled in the art or repeated can be omitted.

도 1은 본 발명에 따른 세정 트레이에서 세정되는 FOSB 인포패드의 모습이 다.1 is a view of the FOSB infopad is cleaned in the cleaning tray according to the present invention.

우선, FOSB 인포패드(P)에 대해 설명하면, 인포패드(P)는 FOSB 선택 파트로서 인포매이션 패드(information pad)의 일종이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 인포패드(P)는 4개의 홀(A, B, C, D)을 구비하고 있으며, 홀캡(hole cap) 막음을 이용하여 트랜스퍼(transfer) 또는 소터(sorter) 장비의 load port kinematic pin을 통해 상위에 정보를 인식하여 FOSB를 구분 관리하는 파트이다.First, the FOSB infopad P will be described. The infopad P is a kind of information pad as a FOSB selection part. As shown in FIG. 1, the infopad P includes four holes A, B, C, and D, and is used to transfer or sorter equipment using hole cap blocking. It is a part that manages FOSB by recognizing information on upper part through load port kinematic pin.

도 2는 본 발명에 따른 세정 트레이의 평면도이고, 도 3은 이의 정면 구성도이다.2 is a plan view of the cleaning tray according to the present invention, Figure 3 is a front configuration thereof.

세정 트레이(10)는 베이스(110) 및 걸이대(121,122,123,124)를 포함한다.The cleaning tray 10 includes a base 110 and hangers 121, 122, 123, and 124.

베이스(110)는 하부가 평평한 평판으로 형성되고 중앙 부분은 하부로부터 수직으로 돌출한 돌출부가 형성된 역 'T'자 형상을 가진다.The base 110 is formed of a flat plate at a lower portion thereof, and a central portion thereof has an inverted 'T' shape in which a protrusion protruding vertically from the lower portion is formed.

걸이대(121,122,123,124)는 상기 베이스(110)의 돌출부로부터 연장하는 바(bar) 형상을 가진다. 걸이대(121,122,123,124)로 인포패드(P)의 구멍이 삽입된다. Hangers 121, 122, 123, and 124 have a bar shape extending from the protrusion of the base 110. The holes of the info pad P are inserted into the hangers 121, 122, 123, and 124.

도 2에 도시된 바와 같이, 걸이대(121,122,123,124)는 복수 개가 구비될 수 있다. 또한, 복수 개의 걸이대(121,122,123,124)는 베이스(110)의 돌출부를 중심으로 서로 반대 방향으로 형성된다. 즉, 제1 걸이대(121)는 제2 걸이대(122)와 베이스(110)의 돌출부를 중심으로 서로 대칭되게 형성되고, 제3 걸이대(123)는 제4 걸이대(124)와 베이스(110)의 돌출부를 중심으로 서로 대칭되게 형성된다.As shown in FIG. 2, a plurality of hangers 121, 122, 123, and 124 may be provided. In addition, the plurality of hangers 121, 122, 123, and 124 are formed in opposite directions with respect to the protrusion of the base 110. That is, the first hanger 121 is formed symmetrically with respect to the protrusions of the second hanger 122 and the base 110, the third hanger 123 of the fourth hanger 124 and the base 110 The projections are formed symmetrically with respect to each other.

2개의 바가 한 쌍을 이루어 하나의 걸이대를 형성한다. 예를 들어, 제1 걸 이대(121)는 제1 바(1211)와 제2 바(1212)를 포함하고, 상기 제1 바(1211)와 제2 바(1212)는 서로 평행하게 형성된다. 제1 바(1211)와 제2 바(1212) 사이의 간격은 인포패드(P)의 삽입구멍 사이의 간격과 대응되게 형성될 수 있다.Two bars are paired to form a hanger. For example, the first hanger 121 includes a first bar 1211 and a second bar 1212, and the first bar 1211 and the second bar 1212 are formed in parallel with each other. The gap between the first bar 1211 and the second bar 1212 may be formed to correspond to the gap between the insertion holes of the infopad P.

하나의 걸이대에는 여러 개의 인포패드(P)가 거치될 수 있으며, 구체적으로 하나의 인포패드(P)가 거치된 후 다음 인포패드(P)가 차례로 걸이대에 삽입되어 거치될 수 있다. 예를 들어 제1 걸이대(121)로 인포패드(P)를 삽입할 경우, 도 1 및 2를 참조하여, 제1 걸이대(121)의 제1 바(1211)와 제2 바(1212)가 인포패드(P)의 걸이대삽입홈(H)으로 삽입됨으로써 하나의 인포패드(P)가 거치되고, 이를 반복적으로 수행하여 복수 개의 인포패드(P)를 거치할 수 있다.A plurality of info pads (P) can be mounted on one hanger, and in particular, after one info pad (P) is mounted, the next info pad (P) can be inserted into the hanger in turn. For example, when the info pad P is inserted into the first hanger 121, the first bar 1211 and the second bar 1212 of the first hanger 121 are informed with reference to FIGS. 1 and 2. By inserting into the hanger insertion groove H of the pad P, one info pad P is mounted, and it can be repeatedly carried out to mount a plurality of info pads P.

본 실시예에서는 4개의 걸이대(121,122,123,124)가 구비된 것을 예로 들어 설명하였지만 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 걸이대(121,122,123,124)는 하나 이상 형성될 수 있는 것이라면 어느 것이든 가능하다.In this embodiment, the four hangers 121, 122, 123, and 124 have been described as an example, but are not necessarily limited thereto. For example, the hanger 121, 122, 123, 124 may be any one that can be formed.

도 3을 참조하여, 본 발명에 따른 걸이대(121,122,123,124)는 베이스(110)의 수평면으로부터 사선 방향으로 형성되어 있다. 구체적으로, 걸이대(121,122,123,124)는 베이스(110)의 돌출부의 일 측으로부터 수평면 위쪽으로 향하는 사선 방향으로 연장한다. 걸이대(121,122,123,124)가 사선 방향으로 형성되는 구조는 외부 압력에 의해 인포패드(P)가 이탈하는 것을 효과적으로 방지한다.Referring to FIG. 3, the hangers 121, 122, 123, and 124 according to the present invention are formed in an oblique direction from a horizontal plane of the base 110. Specifically, the hangers 121, 122, 123, 124 extend in an oblique direction toward the horizontal plane from one side of the protrusion of the base 110. The structure in which the hangers 121, 122, 123, and 124 are formed in an oblique direction effectively prevents the infopad P from being separated by external pressure.

인포패드(P)의 세정은 세정액의 상하 분사 방식, 승하강에 의한 순수 침전 방식, 전진 타입의 컨베이어 이동 방식, 압축건조공기의 분사 방식 등에 의해 수행될 수 있다. 이러한 세정 공정에서는 분사 압력이나 부력 등이 발생할 수 있으며, 이러한 외부 압력이 인포패드(P)에 가해지면 인포패드(P)가 걸이대(121,122,123,124)로부터 이탈하는 현상이 발생한다.The cleaning of the infopad P may be performed by a vertical injection method of the cleaning liquid, a pure precipitation method by moving up or down, a moving conveyor type of a forward type, a spray method of compressed dry air, or the like. In this cleaning process, injection pressure, buoyancy, and the like may occur, and when such external pressure is applied to the infopad P, the infopad P may deviate from the hangers 121, 122, 123, and 124.

예를 들어, 순수 침전 단계에서 인포패드(P)가 상승 또는 하강할 때 발생하는 부력에 의해 인포패드(P)가 걸이대(121,122,123,124)로부터 이탈할 수 있다. For example, the infopad P may be separated from the hangers 121, 122, 123, and 124 by buoyancy generated when the infopad P is raised or lowered in the pure precipitation step.

걸이대(121,122,123,124)를 수평 형태로 형성하게 되면 인포패드(P)의 거치는 압축건조공기 등의 분사 압력에 취약하고, 걸이대(121,122,123,124)를 수직 형태로 형성하게 되면 인포패드(P)의 거치는 순수 침전에 의한 부력에 취약하여 이탈하려는 경향이 발생한다.If the hanger (121, 122, 123, 124) is formed in a horizontal form, the mounting of the info pad (P) is vulnerable to the injection pressure of compressed dry air, etc. Vulnerable to buoyancy caused by the tendency to escape.

따라서, 인포패드(P)가 걸이대(121,122,123,124)에 안정적으로 거치되기 위해서는 사선 방향으로 형성된 걸이대(121,122,123,124)의 형태가 가장 적합하다.Therefore, in order for the infopad P to be stably mounted on the hangers 121, 122, 123, and 124, the shape of the hangers 121, 122, 123, and 124 formed in the diagonal direction is most suitable.

도 4는 본 발명에 따른 구속부재를 도시하고, 도 5는 본 발명에 따른 세정 트레이에 인포패드(P)가 거치된 모습을 도시한다.Figure 4 shows a restraining member according to the present invention, Figure 5 shows a state that the info pad (P) is mounted on the cleaning tray according to the present invention.

세정 트레이(10)는 구속부재(130)를 더 포함할 수 있다. 상기 구속부재(130)는 걸이대(121,122,123,124)에 탈부착이 가능하고, 상기 걸이대(121,122,123,124)에 거치된 인포패드(P)가 걸이대(121,122,123,124)로부터 이탈하지 않도록 구속하는 역할을 한다. 바람직하게, 상기 구속부재(130)는 걸이대(121,122,123,124)의 말단에 탈부착 가능하게 구비될 수 있다.The cleaning tray 10 may further include a restraining member 130. The restraining member 130 may be detachably attached to the hangers 121, 122, 123, and 124, and restrains the info pad P mounted on the hangers 121, 122, 123, and 124 from being detached from the hangers 121, 122, 123, and 124. Preferably, the restraining member 130 may be detachably provided at the ends of the hangers 121, 122, 123, and 124.

인포패드(P)는 세정 후 건조 공정을 거치게 되는데, 일반적으로 건조공정은 압축건조공기를 분사하여 물기를 제거하는 방식으로 이루어진다.Infopad (P) is subjected to a drying process after cleaning, in general, the drying process is made by spraying compressed dry air to remove water.

구체적으로, 건조 공정은, 총 3 단계의 압축건조공기 분사를 통해 큰 물방울 을 제거하는 방식, 또는 2단계의 압축건조공기 분사를 통해 큰 물방울을 제거한 후 최종 진공 단계에서 작은 물방울을 기화하여 물기를 제거하는 방식 등에 의해 이루어질 수 있다. 따라서, 대부분의 건조 공정은 압축건조공기의 분사를 포함하며, 이러한 압축건조공기의 분사 시 강한 압축건조공기의 압력으로 의해 인포패드(P)가 세정 트레이(10)로부터 이탈하려는 경향이 발생한다.Specifically, the drying process is a method of removing large droplets through a total of three stages of compressed dry air injection, or by removing two large droplets through two stages of compressed dry air injection, and vaporizes small droplets in the final vacuum stage. It can be made by the manner of removal. Therefore, most of the drying processes include the injection of compressed dry air, and the tendency of the infopad P to deviate from the cleaning tray 10 due to the pressure of the strong compressed dry air during the injection of the compressed dry air.

인포패드(P)가 걸이대(121,122,123,124)에 모두 거치되면, 구속부재(130)가 걸이대(121,122,123,124)의 말단에 설치되어 인포패드(P)가 외부 압력에 의해 이탈하는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.When the info pad P is mounted on the hangers 121, 122, 123, and 124, the restraining member 130 may be installed at the ends of the hangers 121, 122, 123, and 124 to effectively prevent the info pad P from being separated by external pressure.

도 4에 도시된 바와 같이, 구속부재(130)는 걸이대(121,122,123,124)가 관통하는 인포패드(P)의 구멍의 크기보다 큰 면적을 가지도록 하는 몸체부를 구비하고, 상기 몸체부의 중앙부에는 구속부재(130)가 걸이대(121,122,123,124)의 바(bar)로 들어갈 수 있는 관통공이 형성되어 있다. 상기 관통공이 형성된 면의 수직면 중 일 면에는 상기 구속부재(130)의 몸체부가 걸이대(121,122,123,124)의 원하는 위치에서 고정될 수 있도록 하는 고정부가 구비될 수 있다. 예를 들어, 상기 고정부는 몸체부의 일 측에 형성된 고정나사일 수 있다.As shown in FIG. 4, the restraining member 130 has a body portion which has an area larger than the size of the hole of the info pad P through which the hangers 121, 122, 123, and 124 pass, and a restraining member ( The through-holes 130 may enter the bars of the hangers 121, 122, 123, 124 is formed. One surface of the vertical surface of the surface in which the through-hole is formed may be provided with a fixing portion to allow the body portion of the restraining member 130 to be fixed at a desired position of the hanger (121, 122, 123, 124). For example, the fixing portion may be a fixing screw formed on one side of the body portion.

상기 구속부재(130)의 몸체부는 일 측이 중앙의 관통공으로부터 외측으로 개방된 'ㄷ' 자 형태를 가지는 것이 바람직하다. 상기 몸체부는 탄성력을 가지는 재질로 형성될 수 있으며, 도 4에 도시된 바와 같이, 구속부재(130)의 고정부는 상기 몸체부의 돌출부위 사이가 죄어지도록 연결하여 구속부재(130)를 걸이대(121,122,123,124)에 강하게 고정한다.The body portion of the restraining member 130 preferably has a 'c' shape in which one side is opened outward from the through hole in the center. The body portion may be formed of a material having an elastic force, as shown in Figure 4, the fixing portion of the restraining member 130 is connected to the clamping portion between the protrusions of the body portion to hang the restraint member 130 hanger (121, 122, 123, 124) Fix it strongly.

상기 구속부재(130)는 폴리에트르에테르케톤(PEEK), 폴리프로필렌(PP) 또는 테프론 계열의 재질 중 적어도 어느 하나로 만들어질 수 있다. 상기 재질은 구속부재(130)의 변형 방지 및 내구성 강화에 효과적이고, 배스(bath)의 오염을 효과적으로 방지할 수 있다.The restraining member 130 may be made of at least one of polyether ether ketone (PEEK), polypropylene (PP), or Teflon-based material. The material is effective in preventing deformation and strengthening durability of the restraining member 130 and effectively preventing contamination of the bath.

도 5를 참조하여, 본 발명에 따른 인포패드 트레이(10)는 다량의 인포패드(P)를 한번에 세정할 수 있다. 예를 들어, 4개의 걸이대(121,122,123,124) 각각에 15개씩의 인포패드(P)를 거치하게 되면, 한번에 세정에 60개의 인포패드(P)를 세정할 수 있는 효과가 있다. Referring to FIG. 5, the infopad tray 10 according to the present invention may clean a large amount of infopads P at a time. For example, when 15 information pads P are mounted on each of the four hangers 121, 122, 123, and 124, 60 info pads P may be cleaned at a time.

본 발명에 따른 세정 트레이(10)는 인포패드(P)의 세정과 건조 시 인포패드(P)가 이탈하는 것을 효과적으로 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 많은 수의 인포패드(P)의 한번의 세정으로 처리할 수 있어 생산성의 극대화라는 장점을 가진다.The cleaning tray 10 according to the present invention can effectively prevent the detachment of the infopad P during the cleaning and drying of the infopad P, as well as the single cleaning of the large number of infopads P. It can be processed to have the advantage of maximizing productivity.

상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.As described above, although described with reference to the preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art various modifications and variations of the present invention without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims below I can understand that you can.

본 명세서 내에 포함되어 있음.Included in this specification.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 세정 트레이에서 세정되는 FOSB 인포패드의 모습이다;1 is a view of a FOSB infopad cleaned in a cleaning tray according to an embodiment of the present invention;

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 세정 트레이의 평면도이다;2 is a plan view of a cleaning tray according to one embodiment of the present invention;

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 세정 트레이의 정면 구성도이다;3 is a front configuration diagram of a cleaning tray according to an embodiment of the present invention;

도 4는 본 발명에 따른 구속부재의 사시도이다;4 is a perspective view of a restraining member according to the present invention;

도 5는 본 발명에 따른 세정 트레이에 인포패드가 거치된 모습을 도시한다.5 is a view showing an infopad mounted on a cleaning tray according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10 : 세정 트레이 110 : 베이스10 cleaning tray 110 base

121,122,123,124 : 걸이대 130 : 구속부재121,122,123,124: hanger 130: restraining member

P : 인포패드P: Infopad

Claims (5)

FOSB 인포패드 세정 트레이에 있어서,In the FOSB InfoPad cleaning tray, 베이스 및 상기 베이스로부터 연장하는 걸이대를 포함하고, 상기 걸이대에는 FOSB 인포패드가 거치되며, 상기 걸이대가 상기 베이스로부터 사선 방향으로 연장하는 것을 특징으로 하는 세정 트레이.And a base extending from the base, wherein the hanger is equipped with a FOSB infopad, and the hanger extends obliquely from the base. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 걸이대는 평행하게 연장하는 2개의 바(bar)가 한 쌍을 이루며 형성되는 것을 특징으로 하는 세정 트레이.The hanger is a cleaning tray, characterized in that formed in pairs of two bars (bar) extending in parallel. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 걸이대는 복수 개로 형성되고, 상기 복수 개의 걸이대는 상기 베이스를 중심으로 서로 대칭되게 형성되는 것을 특징으로 하는 세정 트레이.The rack is formed of a plurality, the plurality of racks are formed in a symmetrical tray with respect to the base, characterized in that the tray. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 걸이대에 탈착 가능하고, 상기 걸이대에 거치된 FOBS 인포패드를 구속하는 구속부재를 더 포함하는 세정 트레이.And a restraining member detachable from the hanger and restraining the FOBS infopad mounted on the hanger. 제4항에 있어서,5. The method of claim 4, 상기 구속부재는 폴리에테르에테르케톤(PEEK), 폴리프로필렌(PP) 또는 테프론 계열의 재질 중 적어도 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 세정 트레이.The restraining member is a cleaning tray, characterized in that made of at least one of polyether ether ketone (PEEK), polypropylene (PP) or Teflon-based material.
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