KR20110065585A - 카세트 이송로봇의 검사장치 및 그 장치를 이용한 카세트 이송로봇의 검사방법 - Google Patents

카세트 이송로봇의 검사장치 및 그 장치를 이용한 카세트 이송로봇의 검사방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 이송로봇의 로봇암을 카세트의 하측으로 인입하고, 상기 로봇암의 위치를 검사하고, 상기 로봇암의 위치와 기준위치를 비교하여 오차범위를 벗어나면 상기 로봇암의 위치를 보정하고, 상기 로봇암의 위치 데이터들을 통해 상기 로봇암의 피로도를 예상하여 상기 로봇암의 보정시점을 예측하는 것을 특징으로 하는 카세트 이송장치에 관한 것이다.
이에, 본 발명은 카세트에 삽입되는 로봇암의 위치를 검사하고 기준위치와 비교하여 로봇암의 위치를 보정할 수 있도록 함에 따라 반복되는 카세트의 이송에 의해 그 위치가 조금씩 틀어진 로봇암에 의해 발생할 수 있는 글래스 파손사고를 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.
카세트 이송, 비젼시스템, 카세트 얼라인, 위치보정

Description

카세트 이송로봇의 검사장치 및 그 장치를 이용한 카세트 이송로봇의 검사방법 { Test apparatus of cassette transfertation robot and cassette transfertation robot method using the same }
본 발명은 카세트 이송로봇의 검사장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 글래스가 적재된 카세트를 이송하는 로봇암의 위치가 오차범위를 벗어나면 그 위치를 보정하여 카세트에 적재된 글래스가 파손되는 것을 방지하는 카세트 이송로봇의 검사장치에 관한 것이다.
최근에 사용되는 평판 디스플레이 장치는 점점 대형이면서 고도로 정밀함이 요구되는 추세이다.
이러한 평판 디스플레이의 대형화 추세에 맞추어 PDP(Plasma Display Panel)에 대한 기대가 높아지고 있는데, PDP는 글래스로 이루어진 상판 및 하판이 겹쳐지고 격벽을 R,G,B 형광체를 페인팅한 후 가스를 주입하는 등의 생산공정이 포함된다.
상기와 같은 디스플레이 장치의 생산공정이 실시되는 대형 글래스는 카세트에 적재되어 각 공정이 실시되는 제조장치나 검사장치로 이송되고 추출되어 공정이 나 검사가 끝나면 다시 카세트에 적재되는 것을 반복하고, 이와 같은 카세트는 이송로봇에 의해 각각의 공정이 실시되는 제조장치이나 검사장치로 이송된다.
대형 글래스가 적재된 카세트는 이송로봇에 의해 이송되므로 이송로봇은 카세트에 글래스를 추출 및 적재가 용이하게 티칭포인트를 정확하게 설정하는 것이 중요하다.
이에, 이송로봇은 카세트의 하측에 형성된 이송로봇의 로봇암이 삽입되는 삽입부가 형성되어 정확하게 로봇암이 삽입되어 카세트를 들어올리거나 내리고, 이동하도록 구성되어 있다.
그런데, PDP와 같은 대형 평판 디스플레이 장치는 반도체 기판과 달리 대형 글래스를 기판으로 사용하게 되므로, 대형 글래스가 적재되는 카세트 또한 그 크기가 크고 무겁다.
따라서, 이송로봇의 로봇암은 카세트의 무게나 반복되는 움직임에 의해 로봇암의 위치가 틀어지거나 이송로봇이 최초에 설정된 무빙값을 벗어나 로봇암이 카세트에 삽입되는 과정에서 글래스와 접하여 글래스를 파손시키거나, 로봇암이 삽입되어야 할 카세트의 위치에 제대로 삽입되지 않은 상태에서 이송로봇이 승하강 되거나 움직이면서 다수의 글래스가 적재된 카세트가 로봇암을 이탈하면서 추락하여 카세트에 적재된 글래스가 통째로 파손되는 등의 문제점이 있다.
또한, 이송로봇은 다수의 카세트가 수용된 클린룸에 설치됨에 따라 이송로봇에 의해 발생할 수 있는 사고를 미연에 방지하기 위하여 수시로 이송로봇의 작동을 멈추고 사람이 직접 클린룸에 들어가 이송로봇 및 로봇암의 상태를 확인해야 하므 로 평판 디스플레이 장치의 제조시간이 오래 걸리고 번거로움이 있다.
그리고, 사람이 직접 이송로봇 및 로봇암의 상태를 확인하고 이를 보정함에 따라 정확하게 보정할 수 없는 문제점이 있다.
한편, 사람이 직접 클린룸에 들어가서 로봇암의 위치를 변경함에 따라 로봇암의 오작동에 따른 안전사고가 발생할 수 있는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 전술한 바와 같은 종래의 문제점을 해소시키고자 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 카세트를 이송하기 위해 카세트에 삽입되는 로봇암의 위치를 검사함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 로봇암에 부착된 마크를 촬영하여 로봇암의 위치를 검사하도록 함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 마크 프레임에 의해 촬영된 로봇의 마크의 비교하는 위치기준을 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 카세트의 안착핀 삽입홀에 정확하게 로봇암의 안착핀이 삽입되도록 그 위치를 감지함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 검사된 로봇암의 위치와 기준위치를 비교하여 로봇암의 보정값을 산출하도록 함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 로봇암의 위치를 검사한 다수의 데이터를 통해 로봇암의 피로도 및 보정시점을 예측하도록 함에 있다.
상술한 바와 같이 본 발명의 목적을 달성하기 위해 다수의 글래스가 적재되는 카세트에 삽입되는 로봇암의 위치를 검사하는 검사유닛에서 상기 로봇암의 위치를 검사하고 그 데이터를 전송받은 제어유닛에서 상기 로봇암의 위치값을 판단하고 보정하는 것을 특징으로 한다.
상기 검사유닛은 상기 로봇암의 일측에 부착된 마크부 및 상기 카세트의 상부에 설치되되, 상기 로봇암이 인입되어 상기 마크부가 노출되는 위치와 대응되는 위치에 설치되는 촬상부가 포함된 것을 특징으로 한다.
상기 촬상부는 상기 마크부를 촬영하는 카메라 및 상기 마크부가 노출되는 위치와 대응되는 카세트 하부에 상기 카메라가 상기 마크부를 촬영할 때 상기 마크부가 노출될 수 있도록 설치된 마크프레임이 포함된 것을 특징으로 한다.
상기 검사유닛에는 상기 로봇암의 상측으로 돌출되게 형성되어 상기 카세트의 하부에 형성된 안착핀 삽입홀에 삽입되는 안착핀과 대응되는 위치에 설치된 안착핀 감지센서가 더 포함된 것을 특징으로 한다.
상기 제어유닛은 상기 검사유닛에서 검사된 상기 로봇암의 위치값과 최초 로봇암의 위치값을 비교하여 상기 검사유닛에서 검사된 로봇암의 위치값이 오차범위를 벗어나면 상기 로봇암의 위치를 보정하는 것을 특징으로 한다.
이송로봇의 로봇암을 카세트의 하측으로 인입하고, 상기 로봇암의 위치를 검사하고, 상기 로봇암의 위치와 기준위치를 비교하여 오차범위를 벗어나면 상기 로봇암의 위치를 보정하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 방법으로 파악된 상기 로봇암의 위치 데이터들을 통해 상기 로봇암의 피로도를 예상하여 상기 로봇암의 보정시점을 예측하는 것을 특징으로 한다.
이에, 본 발명은 카세트에 삽입되는 로봇암의 위치를 검사하고 기준위치와 비교하여 로봇암의 위치를 보정할 수 있도록 함에 따라 반복되는 카세트의 이송에 의해 그 위치가 조금씩 틀어진 로봇암에 의해 발생할 수 있는 글래스 파손사고를 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 로봇암에 부착된 마크의 위치를 촬영하여 로봇암의 위치를 정확하게 파악함에 따라 글래스 파손에 의해 공정이 지연되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 마크를 촬영하는 카메라의 하측에 마크프레임이 구비됨에 따라, 마크프레임이 마크의 위치값을 산출하는 기준이 되므로 산출된 위치값에 의해 로봇의 보정값을 산출할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 로봇암의 위치를 검사하도록 로봇암의 안착핀이 삽입되는 위치에 대응되게 위치센서가 구비됨에 따라 로봇암의 위치를 이중으로 파악함에 따라 로봇암의 위치파악에 정확도를 기하는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 로봇암의 위치를 검사한 데이터를 통해 로봇암의 피로도를 파악하여 예상되는 로봇위치 보정시점을 미리 파악할 수 있는 효과가 있다.
이하에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참고로 하여 더욱 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 카세트 이송시스템에 대한 개략도이다.
도시된 바와 같이, 클린룸(1)의 내부에는 내부에 다수의 대형 글래스(G)가 적재된 다수의 카세트(10)가 수용되고, 카세트(10)는 클린룸(1)의 내부에 위치된 이송로봇(20)에 의해 각 제조 및 검사 공정으로 이송된다.
여기서, 이송로봇(20)과 이송로봇(20)의 로봇암(25)은 후술될 카세트(10)의 검사유닛(30)에 의해 그 위치가 검사되고, 검사유닛(30)에서 검사된 위치는 제어유닛(40)에 의해 정위치에 위치되었는지 유무를 판단하여 이송로봇(20)의 위치를 보정하도록 이루어진다.
도 2는 본 발명에 따른 카세트 이송로봇의 검사장치에서 카세트를 도시한 도면이고, 도 3은 본 발명에 따른 카세트 이송로봇의 검사장치에서 이송로봇을 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명에 따른 카세트 이송로봇의 검사장치에서 이송로봇의 로봇암을 도시한 도면이고, 도 5는 본 발명에 따른 카세트 이송로봇의 검사장치에서 이송로봇의 로봇암이 오차범위에서 검사된 것을 도시한 도면이며, 도 6은 본 발명에 따른 카세트 이송로봇의 검사장치에서 이송로봇의 로봇암이 오차범위를 벗어난 위치에서 검사된 것을 도시한 도면이다.
도시된 바와 같이, 다수의 글래스(G)가 적재되는 카세트(10)는 육면을 갖는 사각박스 형상의 프레임(11)으로 형성되고, 프레임(11)의 하부에 후술될 이송로봇(20)의 로봇암(25)에 형성된 안착핀(29)이 삽입되는 안착핀 삽입홀(15)이 형성된다. 또한, 카세트(10)에는 검사유닛(30)과 컨트롤 유닛(37)이 구비된다.
여기서, 검사유닛(30)은 이송로봇(20)의 로봇암(25)이 카세트(10)의 정위치에 위치되는지 유무를 판단하여 로봇암(25)의 위치가 정위치를 벗어나 발생할 수 있는 사고를 방지하여 카세트(10)를 안정적으로 이송하기 위한 것으로서 프레임(11)의 상부와 하부에 사이에 설치된 설치대(13)에 설치된 촬상부로서 카메라(31)와, 카메라(31)의 하측에 카메라(31)의 위치와 대응되게 설치되어 그 하부에 위치된 것을 상부에 노출시킬 수 있도록 상하가 연통되게 형성된 마크 프레임(33)이 포함된다.
또한, 검사유닛(30)에는 프레임(11)의 안착핀 삽입홀(15)과 대응되는 위치에 설치된 위치센서(35)가 더 포함된다. 위치센서(35)는 안착핀 삽입홀(15)에 삽입되는 안착핀(29)을 감지한다. 여기서, 위치센서(35)는 발광된 빛이 수광되는 것을 감지하는 발광센서일 수 있으며, 안착핀 삽입홀(15)의 하측에 위치된 안착핀(29)의 전면이 안착핀 삽입홀(25)을 통해 수광되도록 한다.
상술한 바와 같은 검사유닛(30)은 모든 카세트(10)에 모두 장착될 수 있으나, 카세트 이송부(39)에 검사유닛(30)이 구비된 카세트(10)를 안착시켜 이송로봇(20)의 근처로 카세트(10)를 이송시킨 후, 임의의 시점에 이송로봇(20)의 로봇암(25)을 검사하여 로봇암(25)의 이상유무를 검사할 수 있다.
이에, 카세트(10)의 내부에는 별도의 배터리 전원을 마련하여, 카세트(10)를 이동시키고 카세트(10)의 검사유닛(30)에서 로봇암(25)의 검사를 진행함과 아울러 검사유닛(30)을 통해 수집한 데이터를 송수신하는 컨트롤 유닛(37)을 구비될 수 있다.
상세하게 설명하면, 실제로 글래스(G)를 적재하여 이송되는 카세트(10)를 카세트 이송부(39)에 안착시키고 검사유닛(30)을 마련하여 이송로봇(20)이 카세 트(10)를 이송할 때마다 이송로봇(20) 및 로봇암(25)을 검사하는 것이 아니라, 여러번의 검사를 통해 수집한 이송로봇(20) 및 로봇암(25)의 데이터를 통해 다수의 카세트(10) 이송을 통한 피로도에 의해 로봇암(25)의 위치가 변형될 수 있는 시점을 예측할 수 있다.
그러므로, 검사유닛(30)이 마련된 카세트(10)는 내부에 설치된 컨트롤 유닛(37)에 배터리가 구비됨에 따라 어떤 라인과도 연결되지 않은 채 클린룸(1) 내부의 다른 장비와 간섭되지 않고 카세트 이송부(39)에 의해 이송되어 로봇암(25)이 변형될 수 있는 시점을 전후하여 이송로봇(20) 및 로봇암(25)을 검사할 수 있다.
도 3을 참조하면, 이송로봇(20)은 하부에 X,Y방향으로 좌우 이동하는 수평이송부(21)와 Z방향으로 승하강하는 승하강이송부(22) 및 회전가능한 회전이송부(23)가 순차적으로 적재되며, 회전이송부(23)에는 로봇암(25)이 설치된다.
로봇암(25)의 일측 상면에는 마크(27)가 부착되며, 로봇암(25)의 일단에는 상측으로 돌출되게 형성된 안착핀(29)이 구비된다. 마크(27)가 부착되는 위치는 로봇암(25)이 카세트(10)의 하부로 인입되었을 때 마크 프레임(33)에 의해 마크(27)가 노출될 수 있는 위치에 부착되는 것이 바람직하다.
이에, 이송로봇(20)은 수평이송부(21)에 의해 이송하고자 하는 카세트(10)로 이동하고, 로봇암(25)은 카세트(10)의 프레임(11) 하부로 인입된다. 다음, 승하강이송부(22)에 의해 로봇암(25)이 승강되어 안착핀 삽입홀(15)에 안착핀(29)이 삽입되면 이송로봇(20)은 이동하여 카세트(10)를 원하는 위치로 이송할 수 있다.
이때, 검사유닛(30)은 카세트(10)의 하부에 인입되는 로봇암(25)이 정위치에 위치되는지 유무를 검사하고, 검사된 로봇암(25)의 위치정보는 제어유닛(40)으로 전송된다.
상세하게 설명하면, 로봇암(25)이 카세트(10)의 프레임(11) 하측으로 인입되면, 카메라(31)는 도 4에 도시된 바와 같이, 마크 프레임(33)을 통해 노출된 로봇암(25)의 마크(27)를 촬영하고, 안착핀 삽입홀(15)과 대응되는 위치에 설치된 위치센서(35)는 안착핀 삽입홀(15)의 하측에 위치한 안착핀(29)의 위치를 감지한다.
도 1을 다시 참조하면, 촬영된 마크(27)와 위치센서(35)에서 감지된 안착핀(29)의 위치는 제어유닛(40)의 비교부(41)로 전송된다. 비교부(41)에서는 촬영된 마크(27)의 위치와 미리 입력된 마크(27)의 기준위치를 비교한다. 이때, 마크 프레임(33)은 촬영된 마크(27)의 위치를 정확하게 파악하기 위한 기준위치점의 역할로서, 마크 프레임(33)의 위치로부터 마크(27)의 위치를 비교할 수 있다. 또한, 위치센서(35)에서 안착핀 삽입홀(15)을 통해 감지된 안착핀(29)의 위치도 비교부(41)에 미리 입력된 기준 안착핀(29)의 위치와 비교한다.
다음, 비교부(41)에서 촬영된 마크(27)의 위치와 기준위치를 비교하면, 산출부(43)에서는 기준위치값과 촬영된 마크(27)의 위치값의 차이를 산출한다. 이렇게 산출된 차이값이 도 5에 도시된 바와 같이 마크(27)가 정위치에서 촬영되어 기준위치값의 오차범위를 벗어나지 않으면, 로봇암(25)은 승강하면서 안착핀(29)이 프레임(11)의 하부에 형성된 안착핀 삽입홀(15)로 삽입시키도록 한다.
여기서, 도 6에 도시된 바와 같이, 반복되는 카세트(10)의 이송으로 인한 피 로도나 외부 압력에 의해 로봇암(25)의 위치가 틀어지거나 이송로봇(20)의 위치가 틀어져 검사유닛(30)에서 검사된 마크(27)와 안착핀(29)의 위치가 제어유닛(40)으로 전송되면, 제어유닛(40)의 비교부(41)는 검사된 위치값과 미리 입력된 기준위치값을 비교하고, 그 값이 오차범위를 벗어날 경우 산출부(43)에서 보정해야 할 보정값을 산출하여 이송로봇(20)으로 전송하여 이송로봇(20) 및 로봇암(25)의 위치를 보정할 수 있다.
또한, 안착핀(29)이 안착핀 삽입홀(15)에 삽입될 수 있도록 정위치에 위치되지 않으면 위치센서(35)의 발광이 안착핀(29)의 위치가 안착핀 삽입홀(15)에 삽입되지 않도록 위치되므로 위치센서(35)에 수광된 위치값이 제어유닛(40)으로 전송되면, 상술한 바와 같이 비교부(41)와 산출부(43)를 거쳐 보정값을 산출하여 이송로봇(20)으로 전송하여 그 위치를 보정할 수 있다.
이하에서는 상술한 바와 같은 카세트 이송로봇의 검사장치를 이용한 카세트 이송과정을 상세하게 설명한다.
도 7은 본 발명에 따른 카세트 이송장치를 이용하여 카세트를 이송하는 이송방법을 도시한 순서도이다.
먼저, 이송로봇(20)은 이송하고자 하는 카세트(10)에 인접하게 이동하고, 이송로봇(20)의 로봇암(25)은 승하강이송부(22)에 의해 하강되고 수평이송부(21)에 의해 전방으로 이동되어 카세트(10)의 하부로 삽입된다. (S100)
카세트(10)의 하부로 인입된 로봇암(25)은 검사유닛(30)을 통해 그 위치가 검사된다. 즉, 로봇암(25)의 마크(27)는 마크 프레임(33)을 통해 그 위치가 노출되어 카메라(31)에서 촬영되고, 프레임(11)의 안착핀 삽입홀(15)의 하측에 위치된 안착핀(29)은 위치센서(35)에 의해 그 위치가 감지된다. (S120)
다음, 마크(27)와 안착핀(29)의 위치값은 제어유닛(40)으로 전송되고, 제어유닛(40)의 비교부(41)에서는 기준위치값과 검사유닛(30)에서 검사된 로봇암(25)의 마크(27) 위치값과 안착핀(29)의 위치를 비교하여 검사된 위치값이 기준 위치값의 오차범위에 포함되는지 유무를 판단한다. (S130)
다음, 검사된 위치값이 기준위치값의 오차범위를 벗어나지 않으면, 승하강이송부(22)가 승강하고, 로봇암(25)의 안착핀(29)은 프레임(11)의 안착핀 삽입홀(15)에 안정적으로 삽입되므로 카세트(10)를 안전하게 이송한다. (S140)
반면, 검사된 위치값이 기준위치값의 오차범위를 벗어나면, 산출부(43)에서는 기준위치값으로부터 검사된 위치값의 보정값을 산출하여 이송로봇(20)이나 로봇암(25)의 위치를 보정한다. (S150)
다음, 위치값이 보정된 로봇암(25)은 전술한 바와 같이 카세트(10)를 각 공정으로 안전하게 이송할 수 있다.
한편, 검사된 위치값이 기준위치값의 오차범위를 벗어나지 않는 데이터 및 오차범위를 벗어나는 데이터를 장기간 수집하여 이송로봇(20) 및 로봇암(25)의 피로도에 따른 로봇암(25)의 위치 보정 주기를 알 수 있으므로 예측부(45)에서는 로봇암(25)의 위치가 기준위치값의 오차범위를 벗어나는 때를 미리 예측할 수 있다.
따라서, 검사유닛(30)을 통해 로봇암(25)의 위치가 정위치가 아니더라도 이 를 미리 감지하고 그 위치를 보정할 수 있음은 물론, 검사유닛(30)이 오작동 하더라도 검사유닛(30)을 통해 수집된 장시간의 데이터를 통해 반복되는 카세트(10)의 이송을 통해 변형되는 로봇암(25)의 위치를 미리 예측하여 사고를 미연에 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 카세트 이송시스템에 대한 개략도.
도 2는 본 발명에 따른 카세트 이송로봇의 검사장치에서 카세트를 도시한 도면.
도 3은 본 발명에 따른 카세트 이송로봇의 검사장치에서 이송로봇을 도시한 도면.
도 4는 본 발명에 따른 카세트 이송로봇의 검사장치에서 이송로봇의 로봇암을 도시한 도면.
도 5는 본 발명에 따른 카세트 이송로봇의 검사장치에서 이송로봇의 로봇암이 오차범위에서 검사된 것을 도시한 도면.
도 6은 본 발명에 따른 카세트 이송로봇의 검사장치에서 이송로봇의 로봇암이 오차범위를 벗어난 위치에서 검사된 것을 도시한 도면.
도 7은 본 발명에 따른 카세트 이송로봇의 검사장치를 이용하여 카세트를 이송하는 이송과정을 도시한 순서도.
< 도면의 주요 부호에 대한 설명 >
1 : 클린룸 10 : 카세트
15 : 안착핀 삽입홀 20 : 이송로봇
21 : 수평이송부 22 : 승하강이송부
23 : 회전이송부 25 : 로봇암
27 : 마크 29 : 안착핀
30 : 검사유닛 31 : 카메라
33 : 마크 프레임 35 : 위치센서
40 : 제어유닛

Claims (7)

  1. 다수의 글래스가 적재되는 카세트에 삽입되는 로봇암의 위치를 검사하는 검사유닛에서 상기 로봇암의 위치를 검사하고 그 데이터를 전송받은 제어유닛에서 상기 로봇암의 위치값을 판단하고 보정하는 것을 특징으로 하는 카세트 이송로봇 검사장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 검사유닛은 상기 로봇암의 일측에 부착된 마크부; 및
    상기 카세트의 상부에 설치되되, 상기 로봇암이 인입되어 상기 마크부가 노출되는 위치와 대응되는 위치에 설치되는 촬상부;가 포함된 것을 특징으로 하는 카세트 이송로봇 검사장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 촬상부는 상기 마크부를 촬영하는 카메라; 및
    상기 마크부가 노출되는 위치와 대응되는 카세트 하부에 상기 카메라가 상기 마크부를 촬영할 때 상기 마크부가 노출될 수 있도록 설치된 마크프레임;이 포함된 것을 특징으로 하는 카세트 이송로봇 검사장치.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 검사유닛에는 상기 로봇암의 상측으로 돌출되게 형성되어 상기 카세트의 하부에 형성된 안착핀 삽입홀에 삽입되는 안착핀과 대응되는 위치에 설치된 안착핀 감지센서가 더 포함된 것을 특징으로 하는 카세트 이송로봇 검사장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 제어유닛은 상기 검사유닛에서 검사된 상기 로봇암의 위치값과 최초 로봇암의 위치값을 비교하여 상기 검사유닛에서 검사된 로봇암의 위치값이 오차범위를 벗어나면 상기 로봇암의 위치를 보정하는 것을 특징으로 하는 카세트 이송로봇 검사장치.
  6. 이송로봇의 로봇암을 카세트의 하측으로 인입하고, 상기 로봇암의 위치를 검사하고, 상기 로봇암의 위치와 기준위치값을 비교하여 오차범위를 벗어나면 상기 로봇암의 위치를 보정하는 것을 특징으로 하는 카세트 이송로봇 검사방법.
  7. 제 6항에 있어서
    상기 로봇암의 위치 데이터들을 통해 상기 로봇암의 피로도를 예상하여 상기 로봇암의 보정시점을 예측하는 것을 특징으로 하는 카세트 이송로봇 검사방법.
KR1020090122140A 2009-12-10 2009-12-10 카세트 이송로봇의 검사장치 및 그 장치를 이용한 카세트 이송로봇의 검사방법 KR20110065585A (ko)

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