KR20110058037A - 기판 건조 장치 및 그의 기판 건조 방법 - Google Patents

기판 건조 장치 및 그의 기판 건조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 건조 공정에서 미세 패턴의 손상을 방지하기 위한 기판 건조 장치 및 그의 기판 건조 방법에 관한 것이다. 기판 건조 장치는 습식 처리된 기판을 초임계 유체를 이용하여 건조한다. 기판 건조 장치는 상부 챔버와 하부 챔버 및 결합부재를 포함한다. 상부 챔버는 이동되어 하부 챔버와 결합된다. 하부 챔버는 내부 바닥면을 경사지게 제공한다. 하부 챔버의 내부 바닥면에는 복수 개의 유입구 및 배출구들이 형성된다. 기판 건조 장치는 기판이 이송 및 로딩 전에 미리 이소프로필 알코올 용액을 하부 챔버 내부에 채운다. 또 기판 건조 장치는 초임계 유체를 공급하여 기판을 건조시킬 때, 경사진 내부 바닥면에 제공되는 배출구를 통해 이소프로필 알코올 용액을 완전히 제거한다. 본 발명에 의하면, 기판이 이송 및 로딩 중에 자연 건조에 의해 기판에 형성된 패턴이 붕괴되는 현상을 방지할 수 있다.
기판 건조 장치, 건조 공정, 초임계 유체, 패턴 손상 방지, 자연 건조 방지

Description

기판 건조 장치 및 그의 기판 건조 방법{SUBSTRATE DRYING APPARATUS AND METHOD FOR DRYING SUBSTRATE THEREOF}
본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 미세 패턴의 손상을 방지하기 위한 기판 건조 장치 및 그의 기판 건조 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 웨이퍼, 액정 표시 장치(LCD) 및 플라즈마 표시 장치(PDP) 용 기판 등의 처리하는 기판 처리 장치는 현상, 성막, 세정, 에칭, 린스, 치환 등의 다양한 일련의 공정들을 다양한 처리액을 이용하여 습식으로 처리한다. 습식 처리된 기판은 후속 공정에서 순수 등의 세정액을 이용하여 기판을 세정 및 린스한 후 다시 건조시킨다. 이 때, 반도체 소자가 미세화됨에 따라 기판에 형성된 패턴의 폭, 높이 및 패턴들 간이 간격이 매우 미세하므로, 기판에 형성된 패턴이 무너지거나 기울어지는 등의 붕괴(leaning) 현상이 발생된다.
이러한 현상을 해결하기 위하여, 현재 여러 가지의 방법이 개발되고 있으며, 그 중 초임계 유체를 이용한 건조 기술이 유력한 수단 중 하나로서 최근 주목을 끌고 있다. 초임계 유체를 이용한 건조 기술은 기판 건조 시, 처리액의 온도와 압력을 조절하여 초임계 상태로 형성한 다음, 기판을 건조한다.
즉, 기판을 기판 처리 장치의 고압 챔버 내에 반입하고, 다양한 처리액을 이용하여 에칭, 세정 및 린스 등 일련의 습식 처리를 실시한 후, 액체 이산화탄소를 가열하여 초임계 상태의 이산화탄소로 제공하고, 이를 이용하여 기판을 건조 처리를 실시한 후 다시 감압한다.
그러나 습식 처리된 기판을 초임계 유체를 이용하여 건조시키기 위해 기판 이송 장치를 이용하여 습식 챔버로부터 건조 챔버로 기판을 이송하는 도중에 외부의 영향 예를 들어, 외부 기류에 의해 기판이 자연 건조되는 현상이 발생된다. 그로 인하여, 기판 이송 중에도 기판에 형성된 패턴이 무너지거나, 뒤틀어지 기울어지는 등의 붕괴 현상이 발생되는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 기판을 건조 처리하는 기판 건조 장치 및 그의 기판 건조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 초임계 유체를 이용하여 기판을 건조하는 기판 건조 장치 및 그 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 기판에 형성된 패턴의 손상을 방지하기 위한 기판 건조 장치 및 그 방법을 제공하는 것이다.
상기 목적들을 달성하기 위한, 본 발명의 기판 건조 장치는 습식 처리된 기판이 이송 및 로딩되기 전에 챔버 내부에 기판의 자연 건조를 방지하는 처리액을 채워 놓는데 그 한 특징이 있다. 이와 같은 기판 건조 장치는 기판 이송 및 로딩 중에 기판이 자연 건조되어 기판에 형성된 패턴이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
이 특징에 따른 본 발명의 기판 건조 장치는, 상부가 개방되고 기판이 수용되는 내부 공간을 제공하며, 내부 바닥면이 가장자리 부분으로부터 중심 부분으로 하향 경사지게 제공되는 하부 챔버와; 상하로 이동되고, 상기 하부 챔버와 결합되어 상기 내부 공간을 밀폐하는 상부 챔버 및; 상기 하부 챔버와 상기 상부 챔버를 결합하는 결합부재를 포함한다.
한 실시예에 있어서, 상기 하부 챔버는; 상기 내부 바닥면의 상기 중심 부분에 배치되어 제 1 처리액을 배출하는 제 1 배출구와; 상기 제 1 배출구 일측에 배치되어 제 2 처리액을 배출하는 제 2 배출구를 제공한다.
다른 실시예에 있어서, 상기 하부 챔버는; 상기 내부 바닥면의 상기 중심 부분에 배치되어 상기 제 1 처리액과 상기 제 2 처리액을 상기 내부 공간으로 각각 공급하는 제 1 및 제 2 유입구를 더 제공한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 하부 챔버는; 하부벽의 내부에 상기 제 1 및 상기 제 2 배출구와, 상기 제 1 및 상기 제 2 유입구에 각각 연결되는 제 1 내지 제 4 유로가 형성된다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 하부 챔버는; 하단이 상기 내부 바닥면에 고정되고, 상단이 상기 기판을 지지하는 지지부재를 더 포함한다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 초임계 유체를 이용하여 기판을 건조하는 기판 건조 장치의 방법이 제공된다. 이 방법에 의하면, 기판 이송 및 로딩 중에 기판 이 자연 건조되어 기판에 형성된 패턴이 손상되는 것을 방지할 수 있으며, 처리 시간을 단축할 수 있다.
이 특징에 따른 기판 건조 방법은, 습식 처리된 기판을 수용하고, 상기 기판의 자연 건조를 방지하는 제 1 처리액을 수용하는 내부 공간이 제공된 하부 챔버와, 상하로 이동되고, 상기 내부 공간이 밀폐되도록 상기 하부 챔버와 결합되는 상부 챔버를 구비하여, 상기 기판이 상기 내부 공간에 로딩되기 전에 상기 제 1 처리액을 상기 내부 공간에 채우고, 이어서 상기 기판을 상기 내부 공간에 로딩한다.
한 실시예에 있어서, 상기 방법은; 상기 기판이 상기 내부 공간에 로딩되면, 상기 상부 챔버를 이동시켜서 상기 하부 챔버와 결합되는 동안에 상기 제 1 처리액의 일부가 상기 내부 공간에 남도록 상기 제 1 처리액을 배출하고, 상기 기판을 건조하는 고압의 제 2 처리액을 상기 내부 공간으로 공급하는 것을 더 포함한다.
다른 실시예에 있어서, 상기 방법은; 상기 제 2 처리액이 공급되어 상기 기판을 건조하기 시작하면, 상기 제 1 처리액의 일부를 상기 내부 공간으로부터 완전 배출시키는 것을 더 포함한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 제 1 처리액을 배출하는 것은; 상기 하부 챔버의 내부 바닥면이 가장자리 부분으로부터 중심 부분으로 하향 경사지게 제공되고, 상기 내부 바닥면의 상기 중심 부분에 형성되는 배출구를 통해 상기 제 1 처리액을 배출한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 제 1 또는 상기 2 처리액을 공급하는 것은; 상기 내부 바닥면의 상기 중심 부분에 형성되어 상기 제 1 및 상기 제 2 처리액을 각각 공급하는 유입구들을 통해 상기 내부 공간으로 상기 제 1 또는 상기 2 처리액을 공급한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 방법은; 상기 기판이 건조 완료되면, 상기 제 2 처리액을 배출하고, 이어서 상기 상부 및 상기 하부 챔버를 분리하여 상기 기판을 언로딩하는 것을 더 포함한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 제 1 처리액은 이소프로필 알코올을 포함하고, 상기 제 2 처리액은 초임계 유체를 포함한다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 기판 건조 장치는 습식 처리된 기판이 하부 챔버로 이송 및 로딩 전에 미리 이소프로필 알코올 용액을 하부 챔버의 내부 공간으로 공급하여 채움으로써, 기판 이송 및 로딩 중에 자연 건조되어 패턴이 붕괴(leaning)되는 현상을 방지할 수 있으며, 또 이소프로필 알코올 용액을 하부 챔버에 채우는데 필요한 시간을 줄일 수 있다.
또 기판 건조 장치는 초임계 유체를 공급하기 전에 이소프로필 알코올 용액을 경사진 하부 챔버의 바닥면으로 완전히 제거함으로써, 공정 효율을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명 하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
이하 첨부된 도 1 내지 도 6f를 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 처리 장치의 개략적인 구성을 도시한 도면이고, 도 2는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 처리 장치의 개략적인 구성을 도시한 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 기판 처리 장치(10, 20)는 기판의 세정 공정 및 건조 공정을 순차적으로 처리하는 장치로서, 습식 처리부(12, 22)와 기판 이송부(14, 24) 및 기판 건조부(16, 26)를 포함한다.
습식 처리부(12, 22)는 기판을 다양한 처리액을 이용하여 세정 및 린스하는 세정 공정을 처리한다. 예를 들어, 습식 처리부(12, 22)는 포토레지스트 도포 및 현상 공정을 통해 패턴이 형성된 기판을 세정 처리한다.
기판 이송부(14, 24)는 습식 처리부(12, 22)로부터 기판 건조부(16, 26)로 기판을 이송하는 기판 이송 장치(미도시됨)를 구비한다. 이러한 기판 이송부(14, 24)는 도 1에 도시된 바와 같이, 습식 처리부(12)와 기판 건조부(16) 사이에 배치되거나, 도 2에 도시된 바와 같이, 습식 처리부(22)와 기판 건조부(26)가 인접하게 배치되는 일측에 나란히 배치된다.
그리고 기판 건조부(16, 26)는 습식 처리부(12, 22)로부터 세정된 기판을 기판 이송부(14, 24)를 통해 받아서, 초임계 유체를 이용하여 건조시키는 건조 공정 을 처리한다. 기판 건조부(16, 26)는 도 3에 도시된 기판 건조 장치(100)를 구비한다.
도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 기판 건조부에 제공되는 기판 건조 장치의 구성을 도시한 단면도이고, 도 4는 도 3에 도시된 하부 챔버의 구성을 나타내는 평면도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 기판 건조 장치(100)는 습식 처리된 기판(102)을 초임계 유체를 이용하여 건조한다. 기판 건조 장치(100)는 상부 챔버(110)와, 하부 챔버(120) 및 결합부재(140)를 포함한다. 또 기판 건조 장치(100)는 기판(102)를 처리하기 위한 처리액들 각각을 하부 챔버(120) 내부로 공급하는 복수 개의 공급 라인(150, 152)과, 하부 챔버(120)로부터 처리액들 각각을 배출하는 복수 개의 배출 라인(160, 162)을 포함한다.
하부 챔버(120)는 습식 처리된 기판(102)을 내부에 수용한다. 예를 들어, 하부 챔버(120)는 상부가 개방된 원통 형상으로 제공된다. 하부 챔버(120)는 내부 바닥면(130)이 경사진 형상을 갖는다. 즉, 내부 바닥면(130)은 가장자리 부분으로부터 중심 부분으로 하향 경사지게 제공된다. 그리고 하부 챔버(120)는 상단면에 상부 챔버(110)가 결합되어, 내부에 공정을 처리하는 공간을 제공한다. 또 하부 챔버(120)는 하단이 내부 바닥면(130)에 설치되고, 상단에 기판(102)을 지지하는 지지부재(104)를 구비한다. 지지부재(104)는 상단에 기판(102)을 지지하는 복수 개의 지지핀(또는 가이드핀)들을 구비한다. 따라서 기판(102)은 지지부재(104)의 지지핀들 상에 로딩된다.
하부 챔버(120)는 기판 이송 장치로부터 기판(102) 이송 및 로딩 도중 즉, 건조 공정 이전에 기판(102)이 자연 건조되는 것을 방지하기 위하여, 기판(102)의 자연 건조를 방지하는 제 1 처리액을 공급받아서 내부 공간에 수용한다. 또 하부 챔버(120)는 기판(102)을 건조하는 제 2 처리액을 공급받는다. 예를 들어, 제 1 처리액은 이소프로필 알코올(IPA) 용액을 포함하고, 제 2 처리액은 초임계 유체(SCCO2, SCF)를 포함한다.
이를 위해 하부 챔버(120)는 내부 바닥면(130)의 중심 부분에 근접하게 배치되어 제 1 및 제 2 처리액 각각을 받아들이는 제 1 및 제 2 유입구(132, 134)와, 내부 바닥면(130)의 중심 부분에 근접하게 배치되어 제 1 및 제 2 처리액 각각을 배출하는 제 1 및 제 2 배출구(136, 138)를 제공한다. 제 1 및 제 2 유입구(132, 134)들과 제 1 및 제 2 배출구(136, 138)들은 상호 이격되게 배치된다. 또 하부 챔버(120)는 하부벽의 내부에 복수 개의 유로(122 ~ 128)가 제공된다. 즉, 하부 챔버(120)는 하부벽의 내부에 형성되어 제 1 및 제 2 유입구(136, 138)와, 제 1 및 제 2 유입구(136, 138)에 각각 연결되는 제 1 내지 제 4 유로(122 ~ 128)를 제공한다. 제 1 내지 제 4 유로(122 ~ 128)는 하부벽의 내부에서 상호 분리되게 제공된다.
제 1 유로(122)는 일단이 제 1 공급 라인(150)에 연결되고, 타단이 제 1 유입구(132)에 연결된다. 제 2 유로(124)는 일단이 제 2 공급 라인(152)에 연결되고, 타단이 제 2 유입구(134)에 연결된다. 제 3 유로(126)는 제 1 배출 라인(160)에 연결되고, 타단이 제 1 배출구(136)에 연결된다. 제 4 유로(128)는 제 2 배출 라 인(162)에 연결되고, 타단이 제 2 배출구(138)에 연결된다.
제 1 공급 라인(150)에는 제 1 처리액의 공급(IPA_IN)을 조절하는 제 1 (154)가 설치된다. 제 2 공급 라인(152)에는 제 2 처리액의 공급(SCCO2_IN)을 조절하는 제 2 밸브(156)가 설치된다. 또 제 1 배출 라인(160)에는 제 1 처리액의 배출(IPA_OUT)을 조절하는 제 3 밸브(164)가 설치된다. 제 2 배출 라인(162)에는 제 2 처리액의 배출(SCCO2_OUT)을 조절하는 제 4 밸브(166)가 설치된다.
상부 챔버(110)는 구동 장치(미도시됨)에 의해 상하로 이동되고, 하부 챔버(120)의 상단면에 결합되어, 하부 챔버(120)에 기판(102)을 건조하는 내부 공간을 형성한다.
그리고 결합부재(140)는 건조 공정 시, 하부 챔버(120)와 상부 챔버(110)를 결합하여 내부 공간을 밀폐한다. 예를 들어, 결합부재(140)는 잠금 장치, 볼트류 등 다양한 장치들을 이용하여 작업자에 의해 또는 자동으로 결합될 수 있다.
상술한 본 발명의 기판 건조 장치(100)는 습식 처리된 기판을 초임계 유체를 이용하여 건조하기 위하여, 기판 이송 및 로딩 중에 자연 건조되는 현상을 방지하고, 건조 공정 시, 잔류하는 이소프로필 알코올(IPA) 용액을 완전히 제거한다.
계속해서 본 발명에 따른 기판 건조 장치의 건조 동작을 설명한다.
도 5는 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 건조 공정 수순을 나타내는 흐름도이다. 여기서 도 6a 내지 도 6f를 이용하여 기판 처리 장치의 처리 과정을 상세히 설명한다. 또 제 1 및 제 2 처리액은 각각 이소프로필 알코올(IPA) 용액과, 초임계 유체(SCCO2, SCF)를 이용하여 설명하지만, 동일한 기능 및 효과를 얻을 수 있는 다 양한 처리액을 이용하는 것은 자명하다 하겠다.
도 5를 참조하면, 단계 S200에서 습식 처리부(12 또는 22)로부터 처리액을 이용하여, 현상 공정 후 기판(102)에 잔존하는 이물질을 제거하는 세정 공정이 완료되면, 단계 S210에서 기판 이송부(14, 24)에서 기판(102)이 이송되기 전에, 도 6a에 도시된 바와 같이, 기판 건조 장치(100)는 제 1 유로(122) 및 제 1 유입구(132)를 통해 하부 챔버(120)의 내부 공간으로 제 1 처리액을 공급(IPA_IN)하여 채운다. 즉, 습식 처리된 기판(102)이 하부 챔버(120)로 이송 및 로딩 전에 미리 제 1 처리액을 하부 챔버(120)의 내부 공간으로 공급(IPA_IN)한다.
단계 S220에서 기판 이송부(14, 24)로부터 기판 건조 장치(100)로 기판(102)을 이송하고, 하부 챔버(120)의 지지부재(104)에 기판(102)을 로딩한다. 즉, 기판 건조 장치(100)는 도 6b에 도시된 바와 같이, 제 1 처리액이 수용된 하부 챔버(120)에 기판(102)을 로딩한다. 따라서 기판(102)은 제 1 처리액에 의해 젖은(wetting) 상태를 유지한다. 이는 기판(102)이 이송 및 로딩 중에 자연 건조되어 패턴이 붕괴(leaning)되는 현상을 최소화할 수 있으며, 또 제 1 처리액을 공급하는데 필요한 시간을 줄일 수 있다.
단계 S230에서 상부 챔버(110)를 이동(DOWN)시켜서 하부 챔버(120)와 결합(locking)한다. 이 때, 상부 및 하부 챔버(110, 120)가 결합되는 동안에 하부 챔버(120)에 채워진 제 1 처리액은 내부 공간에 일부만 남기고 배출(IPA_OUT)된다. 즉, 기판 건조 장치(100)는 기판(102)을 건조하기 위해 제 2 처리액을 하부 챔버(120)의 내부 공간으로 공급하기 전에, 도 6c에 도시된 바와 같이, 제 1 배출 구(136)를 통해 제 1 처리액의 일부를 배출(IPA_OUT)한다. 그러므로, 제 1 처리액은 도 6d에 도시된 바와 같이, 하부 챔버(120)의 내부 공간에 일부가 남아있게 된다. 이 잔류하는 제 1 처리액은 기판(102)이 건조되지 않을 정도 예를 들어, 하부 챔버(120)의 지지부재(104)에 안착된 기판(102)의 하부면 또는 지지부재(104)의 하부면에 근접한 수위를 갖도록 잔류된다. 이 또한 상부 챔버(110)가 이동(DOWN) 및 하부 챔버(120)와 결합(locking)되는 시간 동안에 기판(102)이 자연 건조되어 패턴이 붕괴되는 현상을 방지하기 위함이다.
단계 S240에서 기판 건조 장치(100)는 상부 챔버(110)와 하부 챔버(120)가 결합되면, 기판(102)을 건조하기 위해 밀폐된 내부 공간으로 제 2 처리액을 공급(SCCO2_IN)한다. 이 때, 하부 챔버(120)의 내부 공간이 밀폐되면, 단계 S250에서 제 2 처리액을 공급(SCCO2_IN)하면서, 도 6e에 도시된 바와 같이, 내부 공간에 잔류하는 제 1 처리액을 제 1 배출구(136)를 통해 완전히 배출시킨다.
단계 S260에서 제 1 유입구(134)를 통해 공급되는 제 2 처리액을 이용하여 기판(102)을 건조한다. 단계 S270에서 기판(102)이 건조 완료되면, 제 2 처리액의 공급을 중지하고 단계 S280으로 진행하고, 그렇지 않으면 기판(102)이 건조 완료될 때까지 단계 S260으로 진행하여 기판(102)을 건조시킨다.
단계 S280에서 하부 챔버(120)의 내부 공간에 공급된 제 2 처리액을 제 2 배출구(138)를 통해 외부로 배출(SCCO2_OUT)한다. 이어서 단계 S290에서 상부 챔버(110)와 하부 챔버(120)를 분리시키고, 도 6f에 도시된 바와 같이, 상부 챔버(110)를 이동(UP)시켜서 기판(102)을 언로딩한다.
이상에서, 본 발명에 따른 기판 건조 장치의 구성 및 작용을 상세한 설명과 도면에 따라 도시하였지만, 이는 실시예를 들어 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 처리 장치의 개략적인 구성을 도시한 도면;
도 2는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 처리 장치의 개략적인 구성을 도시한 도면;
도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 기판 건조부의 구성을 도시한 단면도;
도 4는 도 3에 도시된 기판 건조부의 구성을 도시한 평면도;
도 5는 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 건조 공정 수순을 나타내는 흐름도; 그리고
도 6a 내지 도 6f는 도 1에 도시된 기판 처리 장치의 건조 공정 수순을 설명하기 위한 도면들이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
10, 20 : 기판 처리 장치 100 : 기판 건조 장치
102 : 기판 104 : 지지부재
110 : 상부 챔버 120 : 하부 챔버
122 ~ 128 : 유로 130 : 내부 바닥면
132, 134 : 유입구 136, 138 : 배출구

Claims (12)

  1. 기판 처리 장치에 있어서:
    상부가 개방되고 기판이 수용되는 내부 공간을 제공하며, 내부 바닥면이 가장자리 부분으로부터 중심 부분으로 하향 경사지게 제공되는 하부 챔버와;
    상하로 이동되고, 상기 하부 챔버와 결합되어 상기 내부 공간을 밀폐하는 상부 챔버 및;
    상기 하부 챔버와 상기 상부 챔버를 결합하는 결합부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 하부 챔버는;
    상기 내부 바닥면의 상기 중심 부분에 배치되어 제 1 처리액을 배출하는 제 1 배출구와;
    상기 제 1 배출구 일측에 배치되어 제 2 처리액을 배출하는 제 2 배출구를 제공하는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 하부 챔버는;
    상기 내부 바닥면의 상기 중심 부분에 배치되어 상기 제 1 처리액과 상기 제 2 처리액을 상기 내부 공간으로 각각 공급하는 제 1 및 제 2 유입구를 더 제공하는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 하부 챔버는;
    하부벽의 내부에 상기 제 1 및 상기 제 2 배출구와, 상기 제 1 및 상기 제 2 유입구에 각각 연결되는 제 1 내지 제 4 유로가 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 하부 챔버는;
    하단이 상기 내부 바닥면에 고정되고, 상단이 상기 기판을 지지하는 지지부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
  6. 기판 건조 방법에 있어서:
    습식 처리된 기판을 수용하고, 상기 기판의 자연 건조를 방지하는 제 1 처리액을 수용하는 내부 공간이 제공된 하부 챔버와, 상하로 이동되고, 상기 내부 공간이 밀폐되도록 상기 하부 챔버와 결합되는 상부 챔버를 구비하고, 상기 기판이 상기 내부 공간에 로딩되기 전에 상기 제 1 처리액을 상기 내부 공간에 채우고, 이어서 상기 기판을 상기 내부 공간에 로딩하는 것을 특징으로 하는 기판 건조 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 방법은;
    상기 기판이 상기 내부 공간에 로딩되면, 상기 상부 챔버를 이동시켜서 상기 하부 챔버와 결합되는 동안에 상기 제 1 처리액의 일부가 상기 내부 공간에 남도록 상기 제 1 처리액을 배출하고, 상기 기판을 건조하는 고압의 제 2 처리액을 상기 내부 공간으로 공급하는 것을 더 포함하는 기판 건조 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 방법은;
    상기 제 2 처리액이 공급되어 상기 기판을 건조하기 시작하면, 상기 제 1 처리액의 일부를 상기 내부 공간으로부터 완전 배출시키는 것을 더 포함하는 기판 건조 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제 1 처리액을 배출하는 것은;
    상기 하부 챔버의 내부 바닥면이 가장자리 부분으로부터 중심 부분으로 하향 경사지게 제공되고, 상기 내부 바닥면의 상기 중심 부분에 형성되는 배출구를 통해 상기 제 1 처리액을 배출하는 것을 특징으로 하는 기판 건조 방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 제 1 또는 상기 2 처리액을 공급하는 것은;
    상기 내부 바닥면의 상기 중심 부분에 형성되어 상기 제 1 및 상기 제 2 처리액을 각각 공급하는 유입구들을 통해 상기 내부 공간으로 상기 제 1 또는 상기 2 처리액을 공급하는 것을 특징으로 하는 기판 건조 방법.
  11. 제 8 항에 있어서,
    상기 방법은;
    상기 기판이 건조 완료되면, 상기 제 2 처리액을 배출하고, 이어서 상기 상부 및 상기 하부 챔버를 분리하여 상기 기판을 언로딩하는 것을 더 포함하는 기판 건조 방법.
  12. 제 6 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 처리액은 이소프로필 알코올을 포함하고, 상기 제 2 처리액은 초임계 유체를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 건조 방법.
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