KR20110056839A - 열 반사 패드가 구비된 로드록 챔버 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (8)
- 로드록(Loadlock) 챔버에 있어서,상부에 기판이 안착되는 제1 안착부를 형성하며 상기 제1 안착부에 안착되는 기판에 열을 공급하는 히터와 연결되도록 구비되는 히팅 플레이트;상기 제1 안착부의 상방 또는 하방으로 소정거리 이격된 위치에 구비되며 상부에 기판이 안착되는 제2 안착부를 형성하여 상기 제2 안착부에 안착되는 기판을 냉각하는 쿨링 플레이트; 및상기 히팅 플레이트와 쿨링 플레이트 사이에 구비되며 상기 히팅 플레이트의 제1 안착부에 안착되는 기판이 상기 히터에서 공급되는 열에 의해 가열되는 동안 전달되는 열을 반사하도록 형성되는 열 반사 패드를 포함하는 로드록 챔버.
- 제1항에 있어서,상기 쿨링 플레이트는 상기 쿨링 풀레이트의 상부 또는 하부에 부착되어 상기 쿨링 플레이트로 전달되는 열을 차단하는 냉각 패드를 포함하는 것을 특징으로 하는 로드록 챔버.
- 제2항에 있어서,상기 냉각 패드는 상기 냉각 패드의 내부로 냉매가 흐를 수 있도록 냉매 유로가 형성되는 것을 특징으로 하는 로드록 챔버.
- 제2항에 있어서,상기 냉각 패드와 상기 열 반사 패드는 소정 거리 이격되어 형성되는 것을 특징으로 하는 로드록 챔버.
- 제1항에 있어서,상기 열 반사 패드는 금속 코팅되거나 라미네이트 필름이 부착되는 것을 특징으로 하는 로드록 챔버.
- 제5항에 있어서,상기 열 반사 패드는 상기 열 반사 패드로부터 반사된 열이 기판에 전달되는 양을 조절할 수 있도록 열 반사 패드의 일부에만 금속 코팅되거나 라미네이트 필름이 부착되는 것을 특징으로 하는 로드록 챔버.
- 제6항에 있어서,상기 열 반사 패드는 폴리싱 처리되는 것을 특징으로 하는 로드록 챔버.
- 제1항에 있어서,상기 히팅 플레이트와 상기 열 반사 패드 및 상기 로드록 챔버의 내부면으로 규정되는 내부 공간에 포함되는 상기 로드록 챔버의 내부면은 폴리싱 처리되는 것 을 특징으로 하는 로드록 챔버.
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