KR20110056294A - Coating tool for applying a fluid film onto a substrate - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유체막 생산용 슬롯 노즐(1)의 제 2폭(B2)에 걸친 유체 분배용 분배 공간(7)이 코팅 도구의 제 1폭(B1)의 전체에 걸쳐 본질적으로 연속적으로 연재하는 슬롯 노즐(1)로부터 상부에 제공되며, 적어도 하나의 유체 공급용 채널(6)이 분배 공간(7)으로부터 상부에 제공되고, 상기 채널(6)은 제 2폭(B2)보다 작은 제 3폭(B3)을 가지는, 기판에 유체막을 도포하기 위한 코팅 도구에 관한 것이다. 슬롯의 폭에 걸쳐 물질의 균일하지 않은 처리량을 방지하기 위하여 본 발명은 흐름의 방향(S)으로 단면적이 증가하는 다수의 분배 채널(9)을 분배 공간(7) 내에 설치한다. The present invention relates to a slot in which a fluid distribution distribution space (7) over a second width (B2) of a slot nozzle (1) for fluid film production extends essentially continuously over the entire first width (B1) of the coating tool. Provided at the top from the nozzle 1, at least one fluid supply channel 6 is provided at the top from the distribution space 7, the channel 6 having a third width smaller than the second width B2. B3), a coating tool for applying a fluid film to a substrate. In order to prevent non-uniform throughput of the material over the width of the slot, the present invention installs in the distribution space 7 a number of distribution channels 9 which increase in cross-sectional area in the direction S of the flow.

Description

기판에 유체막을 도포하는 코팅 도구{COATING TOOL FOR APPLYING A FLUID FILM ONTO A SUBSTRATE}COATING TOOL FOR APPLYING A FLUID FILM ONTO A SUBSTRATE}

본 발명은 청구항 제 1항의 전문에 정의되었듯이 기판에 유체막을 도포하는 코팅 도구에 관한 것이다. The present invention relates to a coating tool for applying a fluid film to a substrate as defined in the preamble of claim 1.

본 발명은 전체적으로 유체를 이용하여 예를 들어 종이 등과 같은 기판을 코팅하는 구역에 관한 것이다. 이 점에 있어서, Durst, F. et al. "Stabilitat von Filmen in der Flieβer-Filmbeschichtung", Coating, 12/89, 1/90, 2/90 을 참고한다. 이로부터, 특히 소위 커튼 코팅(curtain coating)에 관하여는, 코팅에 사용되는 유체의 박막을 생성하는 슬롯 노즐을 갖는 마우스피스를 갖는 슬롯 플로우 툴(slot flow tool)이 알려져 있다. 슬롯 노즐의 최대 폭은 7m이다. 보통 두 개의 슬롯 노즐 요소는 서로 반대로 배열되어 장착된다. 슬롯 노즐의 슬롯 폭은 보통 50㎛ 내지 400㎛ 범위이다. The present invention generally relates to a zone for using a fluid to coat a substrate such as paper or the like. In this regard, Durst, F. et al. See "Stabilitat von Filmen in der Flieβer-Filmbeschichtung", Coating, 12/89, 1/90, 2/90. From this, in particular with regard to the so-called curtain coating, a slot flow tool with a mouthpiece having a slot nozzle for producing a thin film of fluid used for coating is known. The maximum width of the slot nozzle is 7 meters. Usually two slot nozzle elements are mounted arranged opposite to each other. Slot widths of slot nozzles usually range from 50 μm to 400 μm.

예를 들어 US 5,234,649의 코팅 도구는 특히 이를 이용하여 처리되는 유체를 위하여 디자인된다. 슬롯 노즐의 폭 전체에 걸쳐 유체의 질량 처리량 또는 질량 흐름률은 코팅 인자, 예를 들어 주변 조건 등에 유체의 점성의 변화와 같은 약간의 변화만 있어도 변한다. 즉, 유체의 질량 처리량은 슬롯 노즐의 폭에 걸쳐 더 이상 일정하지 않다. 이 때문에, 슬롯 노즐에 비례하여 일정 속도로 움직이는 코팅될 기판은 슬롯 노즐을 통한 질량 처리량이 증가할 때면 언제나 코팅 두께가 증가한다. 이와 같은 코팅 두께의 변화는 바람직하지 않다. 이러한 변화는 코팅된 기판의 차후 공정 과정 중 다양한 문제를 발생시킨다.The coating tool of US 5,234,649, for example, is especially designed for fluids that are processed using it. Throughout the width of the slot nozzle, the mass throughput or mass flow rate of the fluid changes with only minor changes, such as changes in viscosity of the fluid, such as coating factors, such as ambient conditions. That is, the mass throughput of the fluid is no longer constant over the width of the slot nozzle. Because of this, the substrate to be coated moving at a constant rate relative to the slot nozzle always increases in coating thickness as the mass throughput through the slot nozzle increases. Such a change in coating thickness is undesirable. This change causes various problems during subsequent processing of the coated substrate.

본 발명의 목적은 선행기술의 단점을 없애는 것이다. 특히, 코팅 도구는 주변 조건에 변화가 있더라도 슬롯 노즐의 전체 두께에 걸쳐 균일한 질량 처리량을 갖는다. 본 발명의 또 다른 목적에 따르면, 코팅 도구는 다른 유체, 특히 다른 점성의 유체도 슬롯 노즐의 전체 폭에 걸쳐 일정한 질량 처리량을 갖고 기판에 도포되게 할 수 있도록 어디에서나 사용될 수 있다.It is an object of the present invention to obviate the disadvantages of the prior art. In particular, the coating tool has a uniform mass throughput over the entire thickness of the slot nozzle even if there are variations in ambient conditions. According to another object of the invention, the coating tool can be used anywhere so that other fluids, especially other viscous fluids, can be applied to the substrate with a constant mass throughput over the entire width of the slot nozzle.

상기 목적은 청구항 제 1항의 특징에 의해 해결된다. 본 발명의 유용한 실시예는 청구항 제 2항 내지 12항의 특징의 결과이다.This object is solved by the features of claim 1. Useful embodiments of the invention are the result of the features of claims 2 to 12.

본 발명의 공급에 따르면, 분배 공간에 흐름의 방향으로 단면적이 커지는 다수의 분배 채널을 제공한다. 이는 주변 조건의 변화가 있을 때에도 매우 간단한 방법으로 전체 폭에 걸쳐 슬롯 노즐 또는 배출 개구부에 있는 유체의 압력을 대부분 일정하게 유지한다. 상기 코팅 도구는 다른 유체, 특히 다른 점성의 유체가 사용될 때에도 슬롯 노즐의 전체 폭에 걸쳐 일정한 질량 처리량을 항상 보장하기 위해 사용될 수 있다.According to the supply of the present invention, the distribution space is provided with a plurality of distribution channels having a large cross-sectional area in the direction of flow. This keeps the pressure of the fluid in the slot nozzle or outlet opening largely constant over the entire width, even in the event of changes in ambient conditions. The coating tool can be used to always ensure a constant mass throughput over the entire width of the slot nozzle, even when other fluids, in particular other viscous fluids, are used.

따라서, 상기 코팅 도구는 매우 보편적이다. 이는 각 특정 유체의 처리에 맞추어진 코팅 도구를 불필요하게 한다.Thus, the coating tool is very common. This eliminates the need for coating tools tailored to the processing of each particular fluid.

분배 채널의 단면적은 1.5 내지 30배, 바람직하게는 5 내지 20배, 특히 바람직하게는 8 내지 15배 증가할 수 있다. 상기 단면적의 각 확대 인자는 제 2폭에 걸쳐 변화할 수 있다. 이는 제조에 의해 야기되는 압력의 차이를 제 3폭을 통해 보상하기 위해 사용될 수 있다.The cross-sectional area of the distribution channel may increase by 1.5 to 30 times, preferably 5 to 20 times, particularly preferably 8 to 15 times. Each enlargement factor of the cross-sectional area may vary over a second width. This can be used to compensate for the difference in pressure caused by the manufacture through the third width.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 분배 채널은 채널에서 슬롯 노즐의 부근까지 연재한다. 상기 분배 채널은 슬롯 노즐까지 연재할 수 있거나 슬롯 노즐의 30㎚ 앞까지 연재할 수 있다. According to an embodiment of the invention, the distribution channel extends from the channel to the vicinity of the slot nozzle. The distribution channel may extend up to the slot nozzle or extend up to 30 nm in front of the slot nozzle.

특히 간단한 실시예에 따르면, 슬롯 노즐에 본질적으로 수직인 벽에 의해 한정되는 분배 채널이 제공된다. 따라서, 벽은 3 내지 50㎚의 높이를 가질 수 있다. 이 실시예에서 벽은 슬롯 노즐의 방향으로 채널로부터 팬(fan)과 같은 방식으로 이어진다. 벽은 이익적으로 분배 공간을 한정하는 앞면 슬롯 노즐 플레이트로부터 반대편에 배열된 뒷면 슬롯 노즐 플레이트까지 연재한다. 벽은 이익적으로 슬롯 노즐 플레이트에 수직으로 연재하며 채널 중앙을 통하여 이어지는 대칭면에 대하여 대칭으로 배열된다.According to a particularly simple embodiment, a distribution channel is provided which is defined by a wall essentially perpendicular to the slot nozzle. Thus, the wall may have a height of 3 to 50 nm. In this embodiment the wall runs in the same way as a fan from the channel in the direction of the slot nozzle. The wall extends from the front slot nozzle plate, which advantageously defines the distribution space, to the rear slot nozzle plates arranged opposite. The wall is advantageously extending perpendicular to the slot nozzle plate and arranged symmetrically with respect to the plane of symmetry running through the center of the channel.

흐름의 방향으로 면적이 증가하는 분배 채널의 단면적은 채널에서 슬롯 노즐까지 거리가 증가하는 인접한 벽 사이의 거리에 의해 쉽게 실행될 수 있다. The cross-sectional area of the distribution channel, which increases in area in the direction of flow, can be easily implemented by the distance between adjacent walls, which increases in distance from the channel to the slot nozzle.

또 다른 실시예에 따르면, 적어도 몇 개의 벽은 적어도 하나의 돌파구를 갖는다. 따라서, 상기 돌파구는 상기 벽의 채널 면을 가진 제 1단부의 구역 및/또는 슬롯 노즐 면을 가진 제 2단부의 구역의 각 벽에 제공될 수 있다. - 이러한 돌파구의 제공은 슬롯 노즐의 전체 폭에 걸쳐 존재하는 유체압의 균일성에 더욱 기여한다. According to another embodiment, at least some of the walls have at least one breakthrough. Thus, the breakthrough may be provided in each wall of the region of the first end with the channel face of the wall and / or the region of the second end with the slot nozzle face. The provision of this breakthrough further contributes to the uniformity of fluid pressure present over the entire width of the slot nozzle.

또 다른 실시예에 따르면, 각 분배 채널은 채널에 제공된 해당 공급 채널에 연결된다. 채널이 흐름의 방향으로 일정한 단면적을 갖는 범위에서, 공급 채널은 또한 일정한 단면적을 갖는다. 공급 채널을 제공함으로써, 채널 내에서 유체 스트림은 본질적으로 동일한 질량 처리량을 갖는 부분 스트림으로 이미 세분화된다. 이로 인하여, 분배 채널을 통한 질량 처리량 및 따라서 전체 슬롯 폭에 걸친 질량 처리량은 특히 균일하다.According to another embodiment, each distribution channel is connected to a corresponding feed channel provided in the channel. In the range in which the channel has a constant cross-sectional area in the direction of flow, the feed channel also has a constant cross-sectional area. By providing a feed channel, the fluid stream within the channel is already subdivided into partial streams having essentially the same mass throughput. Because of this, the mass throughput through the distribution channel and thus the mass throughput over the entire slot width is particularly uniform.

제조하기 특히 간단한 실시예에서, 공급 채널을 한정하는 벽은 채널까지 연재한다. 즉, 이 경우, 채널에서 분배 공간까지 이어지는 벽은 공급 채널 및 분배 채널을 한정한다.In a particularly simple embodiment to manufacture, the wall defining the feed channel extends up to the channel. That is, in this case, the wall leading from the channel to the distribution space defines the supply channel and the distribution channel.

또 다른 유리한 실시예에 따르면, 분배 공간으로 삽입될 수 있는 적어도 하나의 장착 요소의 부분인 분배 및/또는 공급 채널이 제공된다. 따라서, 장착 요소는 이에 장착된 공급 채널이 정확히 한 채널에서 슬롯 노즐까지 연재하는 방식으로 배치될 수 있다. 따라서, 다수의 장착 요소는 다수의 채널을 갖는 코팅 도구에서 서로의 옆에서 사용될 수 있다. According to another advantageous embodiment, a dispensing and / or feeding channel is provided which is part of at least one mounting element that can be inserted into the dispensing space. Thus, the mounting element can be arranged in such a way that the supply channel mounted thereto extends from exactly one channel to the slot nozzle. Thus, multiple mounting elements can be used next to each other in a coating tool having multiple channels.

또 다른 저비용 실시예에 따르면, 장착 요소는 플라스틱으로 형성된다. 이로 인하여, 코팅 도구는 본 발명이 제공하는 장점을 달성하기 위하여 매우 간단한 저비용의 방법으로 장착 또는 새로 장착될 수 있다. 그러나, 공급 및/또는 분배 채널을 한정하는 벽은 또한 스테인레스 스틸, Invar® 스틸 또는 알루미늄으로 형성될 수 있다. 특히, 공급 및/또는 분배 채널을 생산하는 벽을 제 2슬롯 노즐 플레이트를 이용하여 안전하게 만들 수 있다. 이를 제외하고라도, 공급 및/또는 분배 채널을 면하는 벽의 내부면을 세라믹, 예를 들어 탄화 탕스텐 또는 탄화 규소로 만들 수 있다. 플라스틱, 예를 들어 테트라플루오르에틸렌으로 벽을 코팅하는 것 또한 유리하게 간주된다. According to another low cost embodiment, the mounting element is formed of plastic. Due to this, the coating tool can be retrofitted or retrofitted in a very simple low cost way to achieve the advantages provided by the present invention. However, the walls defining the supply and / or distribution channels may also be formed of stainless steel, Invar® steel or aluminum. In particular, the walls producing the supply and / or distribution channels can be made secure using the second slot nozzle plate. Apart from this, the inner surface of the wall facing the supply and / or distribution channels can be made of ceramic, for example tansten carbide or silicon carbide. Coating the walls with plastics, for example tetrafluoroethylene, is also considered advantageous.

본 발명은 슬롯 노즐 쪽의 버퍼 공간 개구부가 슬롯 노즐과 분배 공간 사이에 제공되고, 버퍼 공간은 제 2폭에 걸쳐 본질적으로 연재하는 슬롯과 같은 통로에 의해 분배 공간에 연결되는 종래의 2챔버 코팅 도구에도 적용될 수 있다. 본 발명에 의해 제공되는 분배 채널과 함께 제공되는 분배 공간으로부터 하부의 버퍼 공간의 공급은 슬롯 노즐에서 대기하는 유체의 특히 균일한 압력 분배에 기여한다. The present invention provides a conventional two-chamber coating tool in which a buffer space opening on the slot nozzle side is provided between the slot nozzle and the distribution space, the buffer space being connected to the distribution space by a slot-like passage essentially extending over the second width. Applicable to The supply of the lower buffer space from the distribution space provided with the distribution channel provided by the present invention contributes to a particularly uniform pressure distribution of the fluid waiting at the slot nozzles.

본 발명에 대하여 도면을 기반으로 더 자세하게 설명하기 위하여 실시예를 사용할 것이다. Embodiments will be used to describe the present invention in more detail based on the drawings.

도 1a,b는 본 발명이 제공하는 코팅 도구와 비교한, 종래의 코팅 도구에서의 점성이 다른 유체의 유입 개구부로부터의 거리에 따른 질량 흐름률의 변화를 나타낸다.
도 2는 본 발명이 제공하는 코팅 도구에서의 다른 점성의 유체의 유입 개구부로부터의 거리에 따른 질량 흐름률의 변화를 나타낸다.
도 3은 본 발명이 제공하는 제 1코팅 도구의 사시도이다.
도 4a-d는 본 발명이 제공하는 장착 요소를 여러 측면에서 본 도면이다.
도 5는 본 발명이 제공하는 제 2코팅 도구의 사시도이다.
도 6은 본 발명이 제공하는 제 3코팅 도구의 사시도이다.
도 7은 본 발명이 제공하는 제 4코팅 도구의 사시도이다.
1a, b show the change in mass flow rate with distance from the inlet opening of a fluid having a different viscosity in a conventional coating tool, compared to the coating tool provided by the present invention.
Figure 2 shows the change in mass flow rate with distance from the inlet opening of another viscous fluid in the coating tool provided by the present invention.
3 is a perspective view of a first coating tool provided by the present invention.
4A-D illustrate, in several views, a mounting element provided by the present invention.
5 is a perspective view of a second coating tool provided by the present invention.
6 is a perspective view of a third coating tool provided by the present invention.
7 is a perspective view of a fourth coating tool provided by the present invention.

도 1a 및 1b는 유입 개구부로부터의 거리 즉, 채널을 통하여 연재하는 중심면(M)의 거리에 따른에 따른 질량 처리량 또는 질량 흐름률

Figure pct00001
의 변화를 각각 도시한다. 도 1a는 뉴튼 유체의 거동을 도시한다. 도 1b는 비 뉴튼 유체의 거동을 도시한다. 도 1a 및 1b에서 나타나듯이, 종래의 코팅 도구가 사용되면, 질량 흐름률은 중심면(M)으로부터의 거리가 증가하면서, 즉 슬롯 노즐의 단부를 향하여 연속적으로 감소한다. "새로 개발된 노즐", 즉 본 발명에 의해 제공되는 코팅 도구의 경우, 반대로 질량 흐름률이 뉴튼 유체 및 비뉴튼 유체가 사용될 경우 슬롯 노즐의 전체 폭에 걸쳐 일정하게 유지된다. 1A and 1B show the mass throughput or mass flow rate depending on the distance from the inlet opening, that is, the distance of the central plane M extending through the channel.
Figure pct00001
Each change is shown. 1A shows the behavior of Newtonian fluids. 1B shows the behavior of non-Newtonian fluids. As shown in FIGS. 1A and 1B, when a conventional coating tool is used, the mass flow rate decreases continuously with increasing distance from the center plane M, ie towards the end of the slot nozzle. In the case of a "newly developed nozzle", ie the coating tool provided by the present invention, on the contrary, the mass flow rate remains constant over the full width of the slot nozzle when Newtonian fluids and non-Newtonian fluids are used.

도 2는 본 발명에 의해 제공되는 코팅 도구의 유입 개구부로부터의 정규화된 거리에 따른 질량 흐름률

Figure pct00002
의 변화를 도시한다. 질량 흐름률은 전체 슬롯 폭에 걸쳐 거의 동일한 값을 갖는 것을 볼 수 있다. 본 발명에 의한 코팅 도구의 질량 흐름률은 유체의 점성에 거의 상관없다는 것이 특히 주목할 만하다. 2 is the mass flow rate according to the normalized distance from the inlet opening of the coating tool provided by the present invention.
Figure pct00002
Shows the change. It can be seen that the mass flow rate has almost the same value over the entire slot width. It is particularly noteworthy that the mass flow rate of the coating tool according to the invention is almost independent of the viscosity of the fluid.

도 3은 본 발명에 따른 제 1코팅 도구의 사시도이다. 상기 코팅 도구는 제 1슬롯 노즐 플레이트(2) 및 제 2슬롯 노즐 플레이트(3) 사이에, 제 1슬롯 노즐 플레이트(2)에 본질적으로 평행하게 배열된 슬롯 노즐(1)을 갖는다. 부호 4는 슬롯 노즐 플레이트 (2,3)의 측면에 부착된 측면 플레이트를 가리킨다. 유체를 공급하기 위한 공급 튜브(5)는 제 2슬롯 노즐 플레이트(3)에 생성된 채널(6)로 이어진다. 채널(6)은 따라서 제 2슬롯 노즐 플레이트(3)에 채널(6)의 하부에 제공되며, 흐름의 방향으로 원뿔꼴로 확장하는 분배 공간(7)으로 이어진다. 3 is a perspective view of a first coating tool according to the invention. The coating tool has a slot nozzle 1 arranged essentially parallel to the first slot nozzle plate 2, between the first slot nozzle plate 2 and the second slot nozzle plate 3. Reference numeral 4 designates a side plate attached to the side of the slot nozzle plate 2, 3. The supply tube 5 for supplying the fluid leads to the channel 6 created in the second slot nozzle plate 3. The channel 6 is thus provided in the lower part of the channel 6 in the second slot nozzle plate 3, leading to a distribution space 7 which extends conically in the direction of flow.

채널(6) 뿐만 아니라 분배 공간(7)에서도, 벽(8)은 슬롯 노즐 플레이트(2,3)에 수직으로 연재한다. 슬롯 노즐 플레이트(2,3) 사이에 연재하는 벽(8)은 분배 채널(9)을 한정한다. 분배 공간(7)에서, 상기 분배 채널(9)은 흐름의 방향으로 측면이 확장한다. 분배 공간(7)의 하부에 슬롯 노즐(1)을 향한 흐름의 방향으로 폭이 가늘어지는 슬롯 노즐 공간(10)이 제공된다. In the distribution space 7 as well as the channel 6, the wall 8 extends perpendicular to the slot nozzle plates 2, 3. A wall 8 extending between the slot nozzle plates 2, 3 defines the distribution channel 9. In the distribution space 7 the distribution channel 9 extends laterally in the direction of flow. In the lower part of the dispensing space 7 there is provided a slot nozzle space 10 which is tapered in the direction of the flow towards the slot nozzle 1.

측면 플레이트(4)의 외부면 사이의 코팅 도구의 제 1폭을 B1으로 지정한다. 슬롯 노즐(1)의 제 2폭을 B2로 지정한다. 그리고 채널(6)의 제 3폭을 B3으로 지정한다. 도 3에서 도시하듯이, 제 3폭(B3)은 제 2폭(B2)보다 작다. 제 2폭(B2)은 제 1폭(B1)보다 작다. 제 2폭(B2)은 제 1폭(B1)과 본질적으로 일치한다. 즉, 제 1폭(B1)은 측면 플레이트(4)의 두께만큼만 제 2폭(B2)과 본질적으로 상이하다.The first width of the coating tool between the outer surface of the side plate 4 is designated B1. The second width of the slot nozzle 1 is designated as B2. Then, the third width of the channel 6 is designated as B3. As shown in FIG. 3, the third width B3 is smaller than the second width B2. The second width B2 is smaller than the first width B1. The second width B2 essentially coincides with the first width B1. That is, the first width B1 is essentially different from the second width B2 only by the thickness of the side plate 4.

도 4a~d는 제 2슬롯 노즐 플레이트(3)에 생성된 코팅 도구의 분배 공간(7)으로 삽입될 수 있는 장착 요소(11)의 평면도, 제 1측면도, 제 2측면도 뿐만 아니라 사시도를 나타낸다. 도 4a 및 4d에 특히 도시되어 있듯이, 벽(8)은 채널(6)의 구역에서 우선 평행하게 이어지고 다수의 공급 채널(9a)을 여기에 생성한다. 분배 공간(7) 및/또는 장착 요소(11)를 통하여 유입하는 유체의 유입 방향(S)을 부호 S로 지정한다. 채널(6)의 하부에서 벽(8)은 회전하는데, 채널(6)을 통하여 이어지는 중심면(M) 또는 대칭면에서 먼 방향으로 회전한다. 장착 요소(11)는 베이스 플레이트(12)를 갖는데, 벽(8) 뿐만 아니라 측면 제한 요소(13)도 베이스 플레이트(12)로부터 연재한다. 측면 제한 요소(13)에, 나사형 홀(14)은 장착 요소(11)를 보장하기 위해 제공될 수 있다. 장착 요소(11)는 이익적으로 플라스틱, 바람직하게는 사출 성형된 플라스틱으로 형성된다. 4a-d show a plan view, a first side view, a second side view as well as a perspective view of the mounting element 11 which can be inserted into the dispensing space 7 of the coating tool created in the second slot nozzle plate 3. As shown in particular in FIGS. 4a and 4d, the wall 8 first runs in parallel in the region of the channel 6 and creates a number of feed channels 9a here. The inflow direction S of the fluid entering through the distribution space 7 and / or the mounting element 11 is designated by the symbol S. At the bottom of the channel 6 the wall 8 rotates, in a direction far from the central plane M or the plane of symmetry, which runs through the channel 6. The mounting element 11 has a base plate 12, in which not only the wall 8 but also the side limiting element 13 extends from the base plate 12. In the side limiting element 13, a threaded hole 14 can be provided to ensure the mounting element 11. The mounting element 11 is advantageously formed of plastic, preferably injection molded plastic.

도 4a~d에서 도시하는 장착 요소(11)와 함께, 정확히 한 개의 채널(6)이 제공된다. 그러나, 도시된 다수의 장착 요소(11)로부터 결합되는 장착 요소(11)가 제공될 수 있다. 즉, 다수의 채널(6)을 갖는 장착 요소(11)가 제공된다. With the mounting element 11 shown in FIGS. 4a-d, exactly one channel 6 is provided. However, mounting elements 11 can be provided which are coupled from the plurality of mounting elements 11 shown. In other words, a mounting element 11 having a plurality of channels 6 is provided.

도 5 및 6은 제 2코팅 도구 뿐만 아니라 제 3코팅 도구를 도시한다. 제 2코팅 도구에는, 장착 요소(11)를 갖는 2개의 분배 공간(7)이 제 2폭(B2)의 확대를 위하여 제공된다. 도 6에서 도시하는 제 3코팅 도구에는, 한 개의 장착 요소(11)를 각각 갖는 4개의 분배 공간(7)이 제 2폭(B2)의 추가 확대를 위해 제공된다.5 and 6 show a third coating tool as well as a second coating tool. In the second coating tool, two distribution spaces 7 with mounting elements 11 are provided for the expansion of the second width B2. In the third coating tool shown in FIG. 6, four distribution spaces 7 each with one mounting element 11 are provided for further enlargement of the second width B2.

도 7은 제 4코팅 도구의 사시도이다. 제 4코팅 도구는 하나가 다른 슬롯 노즐의 뒤에 배열된 세 개의 슬롯 노즐(1)을 갖는다. 제 2슬롯 노즐 플레이트(3)는 상승 계단과 같이 배열된다. 제 2슬롯 노즐 플레이트(3)의 각각에는, 한 개의 장착 요소(11)를 갖는 분배 공간(7)이 생성된다. 부호 15는 층이 있는 유체막이 "커튼"처럼 빠져나가게 하며, 기판에 도포되는(도시하지 않음) 탭을 가리키며, 상기 층이 있는 유체막은 슬롯 노즐(1)을 지나 다수의 유체막을 차례로 쌓아 형성된다.7 is a perspective view of a fourth coating tool. The fourth coating tool has three slot nozzles 1 arranged one behind the other slot nozzle. The second slot nozzle plate 3 is arranged like a rising staircase. In each of the second slot nozzle plates 3 a distribution space 7 with one mounting element 11 is created. Numeral 15 indicates a layered fluid film exits like a "curtain" and refers to a tab applied to a substrate (not shown), wherein the layered fluid film is formed by sequentially stacking a plurality of fluid films past the slot nozzle 1. .

본 발명이 제공하는 코팅 도구의 기능은 다음과 같다:The function of the coating tool provided by the present invention is as follows:

기판에 도포되는 유체 (도시하지 않음)는 공급 튜브(5)에 의해 공급된다. 공급된 유체는 채널(6)에서 공급 채널(9a)에 의해 부분 유체 스트림으로 나뉜다. 분배 채널(9) 뿐만 아니라 공급 채널(9a)에도 위치한 부분 유체 스트림은 슬롯 노즐(1)에서 또는 슬롯 노즐(1) 앞의 상부에 배열된 슬롯 노즐 공간(10)에서와 같은 기압으로 본질적으로 존재한다. 따라서, 슬롯 노즐(1) 위의 기압 분배는, 슬롯 노즐 공간(10)에서 적용가능하다면, 제 2폭(B2) 전체에 걸쳐 특히 균일하다. 따라서, 질량 처리량 또는 질량 흐름률은 제 2폭(B2)에 걸쳐 본질적으로 일정하다.The fluid (not shown) applied to the substrate is supplied by the supply tube 5. The supplied fluid is divided into partial fluid streams by the supply channel 9a in the channel 6. The partial fluid stream located in the feed channel 9a as well as the distribution channel 9 is essentially at the same atmospheric pressure as in the slot nozzle 1 or in the slot nozzle space 10 arranged in front of the slot nozzle 1 above. do. Thus, the air pressure distribution over the slot nozzle 1 is particularly uniform throughout the second width B2, if applicable in the slot nozzle space 10. Thus, the mass throughput or mass flow rate is essentially constant over the second width B2.

상기 설명 예에서 보여진 코팅 도구에서, 벽(8)은 분배 공간(7)의 단부까지 연재한다. 그러나, 벽(8)은 슬롯 노즐 공간(10)으로까지 연재할 수도 있다. 또한, 벽(8)은 그 채널 면을 가진 단부의 구역 및/또는 그 슬롯 노즐 면을 가진 추가 단부의 구역에 돌파구를 갖는다. 여전히 발생하는 기압 변화는 이로 인해 동등해질 수 있다. In the coating tool shown in the illustrative example above, the wall 8 extends to the end of the dispensing space 7. However, the wall 8 may extend up to the slot nozzle space 10. The wall 8 also has a breakthrough in the region of the end with its channel face and / or the region of the further end with its slot nozzle face. The atmospheric pressure changes still occurring can thus be equalized.

상기 설명 예에서, 공급 채널(9a) 뿐만 아니라 분배 채널(9)은 직사각형의 단면적을 갖는다. 물론, 공급 채널(9a) 뿐만 아니라 분배 채널(9)의 단면적도 다른 기하형상을 가질 수도 있다.In the above description example, the distribution channel 9 as well as the supply channel 9a have a rectangular cross-sectional area. Of course, the cross-sectional area of the distribution channel 9 as well as the supply channel 9a may have different geometries.

분배 채널(9)의 개구부 단면적은 슬롯 노즐 면을 갖는 단부에서 달라질 수 있다. 예를 들어, 중심면(M)의 구역에서의 단면적은 분배 공간(7)의 양 단부에서의 분배 채널(9)의 개구부 단면적보다 작을 수 있다.The opening cross-sectional area of the distribution channel 9 can vary at the end with the slot nozzle face. For example, the cross-sectional area in the region of the central plane M may be smaller than the opening cross-sectional area of the distribution channel 9 at both ends of the distribution space 7.

본 발명은 코팅 도구의 다른 종류에 적용될 수 있다. 예를 들어, 제 2폭(B2)에 걸쳐 연재하는 버퍼 공간이 슬롯 노즐 공간(10)으로부터 하부에 제공된 2챔버 코팅 도구에도 적용될 수 있다. 또한, 본 발명은 슬라이딩막 제조 코팅 도구, 슬라이딩막 플라워 코팅 도구 뿐만 아니라 슬롯 노즐 플라워 코팅 도구 등에 적용될 수 있다.
The present invention can be applied to other kinds of coating tools. For example, a buffer space extending over the second width B2 may be applied to the two-chamber coating tool provided below from the slot nozzle space 10. In addition, the present invention can be applied to a sliding membrane manufacturing coating tool, a sliding membrane flower coating tool, as well as a slot nozzle flower coating tool.

1: 슬롯 노즐
2: 제 1슬롯 노즐 플레이트
3: 제 2슬롯 노즐 플레이트
4: 측면 플레이트
5: 공급 튜브
6: 채널
7: 분배 공간
8: 벽
9: 분배 채널
9a: 공급 채널
10: 슬롯 노즐 공간
11: 장착 요소
12: 베이스 플레이트
13: 제한 요소
14: 나사형 홀
15: 탭
B1: 제 1폭
B2: 제 1폭
B3: 제 3폭
M: 중심면
S: 흐름의 방향
1: slot nozzle
2: first slot nozzle plate
3: second slot nozzle plate
4: side plate
5: feeding tube
6: channel
7: distribution space
8: wall
9: distribution channel
9a: supply channel
10: slot nozzle space
11: mounting element
12: base plate
13: limiting factors
14: threaded hole
15: tab
B1: first width
B2: first width
B3: third width
M: center plane
S: direction of flow

Claims (12)

유체막 생산용 슬롯 노즐(1)의 제 2폭(B2)에 걸친 유체 분배용 분배 공간(7)이 코팅 도구의 제 1폭(B1)의 전체에 걸쳐 본질적으로 연속적으로 연재하는 슬롯 노즐(1)로부터 상부에 제공되며, 적어도 하나의 유체 공급용 채널(6)이 분배 공간(7)으로부터 상부에 제공되고, 상기 채널(6)은 제 2폭(B2)보다 작은 제 3폭(B3)을 가지고, 흐름의 방향(S)으로 단면적이 증가하는 다수의 분배 채널(9)이 분배 공간(7)에 제공되는 것을 특징으로 하는, 기판에 유체막을 도포하기 위한 코팅 도구.A slot nozzle 1 which extends essentially continuously throughout the first width B1 of the coating tool with a distribution space 7 for fluid distribution over the second width B2 of the slot nozzle 1 for fluid film production. ) Is provided at the top, and at least one fluid supply channel 6 is provided at the top from the distribution space 7, the channel 6 having a third width B3 which is smaller than the second width B2. And a plurality of distribution channels (9) having a cross sectional area increasing in the direction (S) of the flow, in the distribution space (7). 제 1항에 있어서, 상기 분배 채널(9)은 상기 슬롯 노즐(1)에 본질적으로 수직으로 이어지는 벽(8)에 의해 한정되는 것을 특징으로 하는 코팅 도구.Coating tool according to claim 1, characterized in that the distribution channel (9) is defined by a wall (8) running essentially perpendicular to the slot nozzle (1). 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 분배 채널(9)은 채널(6)로부터 상기 슬롯 노즐(1)의 인근까지 연재하는 것을 특징으로 하는 코팅 도구.The coating tool according to claim 1 or 2, characterized in that the distribution channel (9) extends from the channel (6) to the vicinity of the slot nozzle (1). 제 1항 내지 제 3항 중 한 항에 있어서, 인접한 벽(8) 사이의 거리는 채널(6)에서 슬롯 노즐(1)의 방향으로 증가하는 것을 특징으로 하는 코팅 도구.4. Coating tool according to one of the preceding claims, characterized in that the distance between adjacent walls (8) increases in the direction of the slot nozzle (1) in the channel (6). 제 1항 내지 제 4항 중 한 항에 있어서, 적어도 몇 개의 벽(8)은 적어도 하나의 돌파구를 갖는 것을 특징으로 하는 코팅 도구.5. The coating tool according to claim 1, wherein at least some of the walls have at least one breakthrough. 6. 제 1항 내지 제 5항 중 한 항에 있어서, 상기 돌파구는 상기 벽(8)의 채널 면을 가진 제 1단부의 구역 및/또는 벽의 슬롯 노즐 면을 가진 제 2단부의 구역의 각 벽에 제공되는 것을 특징으로 하는 코팅 도구.6. The breakthrough according to claim 1, wherein the breakthrough is in each wall of the region of the first end with the channel face of the wall 8 and / or the region of the second end with the slot nozzle face of the wall. Coating tool, characterized in that provided. 제 1항 내지 제 6항 중 한 항에 있어서, 상기 각 분배 채널(9)은 상기 채널(6)에 제공된 해당 공급 채널(9a)에 연결되는 것을 특징으로 하는 코팅 도구.Coating tool according to one of the preceding claims, characterized in that each said distribution channel (9) is connected to a corresponding feed channel (9a) provided in said channel (6). 제 1항 내지 제 7항 중 한 항에 있어서, 상기 공급 채널(9a)을 한정하는 상기 벽(8)은 채널(6)까지 연재하는 것을 특징으로 하는 코팅 도구.8. Coating tool according to one of the preceding claims, characterized in that the wall (8) defining the feed channel (9a) extends up to the channel (6). 제 1항 내지 제 8항 중 한 항에 있어서, 상기 분배 채널(9) 및/또는 상기 공급 채널(9a)은 분배 공간(7)으로 삽입될 수 있는 적어도 하나의 장착 요소(11)의 일부인 것을 특징으로 하는 코팅 도구.9. The distribution channel 9 and / or the supply channel 9a is part of at least one mounting element 11 which can be inserted into the distribution space 7. A coating tool characterized by the above. 제 1항 내지 제 9항 중 한 항에 있어서, 상기 장착 요소(11)는 플라스틱으로 형성되는 것을 특징으로 하는 코팅 도구.10. Coating tool according to one of the preceding claims, characterized in that the mounting element (11) is formed of plastic. 제 1항 내지 제 10항 중 한 항에 있어서, 슬롯 노즐(1) 쪽의 버퍼 공간(10) 개구부는 상기 슬롯 노즐(1) 및 상기 분배 공간(7) 사이에 제공되는 것을 특징으로 하는 코팅 도구.Coating tool according to one of the preceding claims, characterized in that an opening of the buffer space (10) towards the slot nozzle (1) is provided between the slot nozzle (1) and the distribution space (7). . 제 1항 내지 제 11항 중 한 항에 있어서, 상기 버퍼 공간(10)은 제 2폭(B2)에 걸쳐 본질적으로 연재하는 슬롯과 같은 통로를 통하여 분배 공간(7)에 연결되는 것을 특징으로 하는 코팅 도구.12. The buffer space (10) according to one of the preceding claims, characterized in that the buffer space (10) is connected to the distribution space (7) via a passage such as a slot that extends essentially over the second width (B2). Coating tools.
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