JP2009028685A

JP2009028685A - Die coating device

Info

Publication number: JP2009028685A
Application number: JP2007197762A
Authority: JP
Inventors: Tomohiko Anazawa; 朝彦穴澤; Masayuki Nagashima; 正幸長島
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 2007-07-30
Filing date: 2007-07-30
Publication date: 2009-02-12

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a die coating device capable of securing the accuracy of film thickness with one die head even in a coating liquid having wide physical property or under a wide coating condition. SOLUTION: A manifold inlet is formed at one end of a manifold 17 forming a die head 11 and a manifold outlet is formed at another end. A pump 22 for supplying the coating liquid is connected to the manifold inlet and a flow rate control valve 23 for controlling the flow rate of the discharged coating liquid is connected to the manifold outlet. The coating liquid is supplied into the manifold 17 in a quantity larger than the quantity of the coating liquid discharged from a slit and a part of the coating liquid is discharged from the manifold outlet. As a result, the accuracy of the film thickness is improved by reducing the difference of the pressure between the manifold inlet side and the manifold outlet side in the manifold. COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明はフィルム等の基材に対して塗布液を膜状に塗布するためのダイコーティング装置に関する。 The present invention relates to a die coating apparatus for applying a coating liquid in a film form to a substrate such as a film.

従来より、反射防止用フィルム等の光学フィルムを製造する際、精密な膜厚精度が求められるため、ダイヘッドを用いたダイコーティング方式が採用される場合が多い。図６（ａ）、（ｂ）に示すように、従来通常に用いられているダイヘッド１は、マニホールド板２、平板３、側板４等を備えており、マニホールド板２と平板３の間に、塗布液を吐出するスリット６と、該スリット６に塗布液を供給するためのマニホールド７が形成されている。マニホールド７は塗布幅全域に渡って一定断面に形成されており、その両端は側板４で閉じられている。また、マニホールド７の塗布幅方向における中央に塗布液を供給するマニホールド入口８が接続されている。スリット６の間隙は塗布幅全域に渡って一定に定められている。 Conventionally, when an optical film such as an antireflection film is produced, a precise film thickness accuracy is required, and therefore, a die coating method using a die head is often employed. As shown in FIGS. 6 (a) and 6 (b), a conventionally used die head 1 includes a manifold plate 2, a flat plate 3, a side plate 4 and the like, and between the manifold plate 2 and the flat plate 3, A slit 6 for discharging the coating liquid and a manifold 7 for supplying the coating liquid to the slit 6 are formed. The manifold 7 is formed in a constant cross section over the entire coating width, and both ends thereof are closed by the side plates 4. Further, a manifold inlet 8 for supplying a coating solution is connected to the center of the manifold 7 in the coating width direction. The gap of the slit 6 is fixed over the entire coating width.

ところが、この構造のダイヘッド１では、マニホールド入口８からマニホールド７の中央に供給された塗布液がマニホールド７で分配されてスリット６の全域から吐出されるため、マニホールド７内をマニホールド７の端部に向かって流れてゆくにつれて流量が少なくなり、内圧も低下する。その結果、スリット６から吐出される塗布液量が、マニホールド入口の近傍では多く、マニホールド７の両端に向かうにつれて少なくなり、膜厚分布が生じていた。近年、膜厚精度の一層の精密化が要求されており、このような膜厚分布を更に小さくすることが望まれている。 However, in the die head 1 having this structure, the coating liquid supplied from the manifold inlet 8 to the center of the manifold 7 is distributed by the manifold 7 and discharged from the entire area of the slit 6. The flow rate decreases and the internal pressure also decreases as it flows toward it. As a result, the amount of the coating liquid discharged from the slit 6 is large in the vicinity of the manifold inlet, and decreases toward both ends of the manifold 7, resulting in a film thickness distribution. In recent years, there has been a demand for further refinement of film thickness accuracy, and it is desired to further reduce such a film thickness distribution.

そこで、従来技術では、マニホールド７の終端側における吐出塗布液量の不足を補正すべく、終端側のスリット間隙を広げた形状（テーパダイ）、マニホールド７をハンガー状として終端側のスリット長さを短くした形状（ハンガーダイ）、終端側のマニホールド半径を小さくした形状（円錐ダイ）等が提案され、用いられている（特開２００１−９３４２号公報参照）。 Therefore, in the prior art, in order to correct the shortage of the discharge coating liquid amount on the end side of the manifold 7, the slit gap on the end side is widened (taper die), and the manifold 7 is hanger-like and the end side slit length is reduced. A shape (hanger die), a shape with a reduced manifold radius on the end side (conical die), and the like have been proposed and used (see JP 2001-9342 A).

しかし、いずれの形状であっても、塗布液の種類・塗布条件毎にダイヘッドを製作する必要があるため、多品種少量生産が求められる現在、一つのダイヘッドのみでは多品種のコーティングが困難であり、高コスト化を招くという問題を抱えていた。
特開２００１−９３４２号公報 However, in any shape, it is necessary to manufacture die heads for each type of coating solution and coating conditions, so a wide variety and small volume production is required. Currently, it is difficult to coat a variety of products with only one die head. , Had the problem of incurring high costs.
JP 2001-9342 A

本発明はかかる問題点を解決すべくなされたもので、一つのダイヘッドにて幅広い塗布液物性・塗布条件においても、精密な膜厚精度を確保しうるダイコーティング装置を提供することを課題とする。 The present invention has been made to solve such problems, and it is an object of the present invention to provide a die coating apparatus capable of ensuring accurate film thickness accuracy even with a wide range of coating liquid properties and coating conditions with a single die head. .

本発明は、ダイヘッドのスリットから吐出される塗布液量を均一とするため、マニホールドの端部にマニホールド出口を形成すると共にそのマニホールド出口に、排出される塗布液の流量を調整する流量調整手段を連結しておき、マニホールド入口からマニホールド内に、スリットから吐出する塗布液量よりも大量の塗布液を供給し、その一部をマニホールド出口から排出することで、マニホールド内におけるマニホールド入口側とマニホールド出口側との内圧の差を小さくする構成としたものである。 The present invention provides a flow rate adjusting means for forming a manifold outlet at the end of the manifold and adjusting the flow rate of the discharged coating liquid at the manifold outlet in order to make the amount of the coating liquid discharged from the slit of the die head uniform. Connect and supply a large amount of coating liquid from the manifold inlet to the manifold, and discharge a part of it from the manifold outlet. The difference in internal pressure from the side is reduced.

本発明は上記構成により、マニホールド内におけるマニホールド入口側とマニホールド出口側との圧力の差が小さくなるので、スリットから吐出する塗布液の吐出精度を高めることができ、精密な膜厚精度を確保できる。また、マニホールド内におけるマニホールド入口側とマニホールド出口側との圧力の差は、塗布液の物性、塗布条件、マニホールド出口から排出する塗布液量等によって変わるので、流量調整手段によってマニホールド出口から排出する塗布液量を調整することによって、塗布液物性・塗布条件を変更した際にも、内圧の差を所望の範囲内に調整することができ、同じダイヘッドを用いて、幅広い塗布液物性・塗布条件において精密な膜厚精度を確保することができる。 In the present invention, the difference in pressure between the manifold inlet side and the manifold outlet side in the manifold is reduced by the above configuration, so that the discharge accuracy of the coating liquid discharged from the slit can be increased, and a precise film thickness accuracy can be secured. . In addition, the pressure difference between the manifold inlet side and the manifold outlet side in the manifold varies depending on the physical properties of the coating liquid, coating conditions, the amount of coating liquid discharged from the manifold outlet, and so on. By adjusting the liquid volume, even when the coating liquid properties and coating conditions are changed, the difference in internal pressure can be adjusted within the desired range, and the same die head can be used for a wide range of coating liquid physical properties and coating conditions. Accurate film thickness accuracy can be ensured.

図１は本発明の実施の形態に係るダイコーティング装置の概略構成図、図２（ａ）、（ｂ）はそれぞれ、図１に示すダイコーティング装置のダイヘッドを、異なる断面で示す概略断面図である。ダイコーティング装置１０は、塗布液を所定幅で吐出するダイヘッド１１と、該ダイヘッド１１に塗布液を供給する塗布液供給手段を構成するタンク２１及びポンプ２２と、ダイヘッド１１から排出される塗布液の流量を調整する流量調整手段を構成する流量調整バルブ２３と、タンク２１、ポンプ２２、ダイヘッド１１、流量調整バルブ２３を連結する管２４等を備えている。ここで用いているダイヘッド１１は、従来と同様に、マニホールド板１２、平板１３、側板１４等を備えており、マニホールド板１２と平板１３の間に、塗布液を吐出するスリット１６と、該スリット１６に塗布液を供給するためのマニホールド１７が形成されているが、その両端に配置されている側板１４にはそれぞれ、マニホールド１７に通じるように孔１８Ａ、１８Ｂが開けられている。一方の側板１４に形成された孔１８Ａは、マニホールド１７に塗布液を供給するマニホールド入口として作用するもので管２４によってポンプ２２に連結されている。他方の側板１４に形成された孔１８Ｂは、マニホールド１７の端部から塗布液を排出するためのマニホールド出口として作用するもので、管２４によって流量調整バルブ２３に連結されている。マニホールド１７は塗布幅全域に渡って一定断面に形成されており、また、スリット１６の間隙及び長さも塗布幅全域に渡って一定に定められている。 FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a die coating apparatus according to an embodiment of the present invention. FIGS. 2A and 2B are schematic sectional views showing the die head of the die coating apparatus shown in FIG. is there. The die coating apparatus 10 includes a die head 11 that discharges a coating liquid at a predetermined width, a tank 21 and a pump 22 that constitute a coating liquid supply unit that supplies the coating liquid to the die head 11, and a coating liquid discharged from the die head 11. A flow rate adjusting valve 23 constituting a flow rate adjusting means for adjusting the flow rate, a tank 21, a pump 22, a die head 11, a pipe 24 connecting the flow rate adjusting valve 23, and the like are provided. The die head 11 used here includes a manifold plate 12, a flat plate 13, a side plate 14, and the like, as in the prior art, and a slit 16 for discharging a coating liquid between the manifold plate 12 and the flat plate 13, and the slit A manifold 17 for supplying a coating solution to 16 is formed, and holes 18A and 18B are formed in the side plates 14 arranged at both ends so as to communicate with the manifold 17, respectively. A hole 18 A formed in one side plate 14 functions as a manifold inlet for supplying the coating liquid to the manifold 17 and is connected to the pump 22 by a pipe 24. The hole 18 B formed in the other side plate 14 serves as a manifold outlet for discharging the coating liquid from the end of the manifold 17, and is connected to the flow rate adjusting valve 23 by a pipe 24. The manifold 17 is formed in a constant cross section over the entire application width, and the gap and length of the slit 16 are also fixed over the entire application width.

次に、上記構成のダイコーティング装置による塗布動作を説明する。ポンプ２２が塗布液をダイヘッド１１のマニホールド入口１８Ａからマニホールド１７に供給する。マニホールド１７内に供給された塗布液はマニホールド１７内を通過しながらその一部がスリット１６から吐出されて基材（図示せず）に塗布され、残りはマニホールド１７を通り抜けてマニホールド出口１８Ｂから排出され、流量調整バルブ２３を経てタンク２１に還流する。ここで、平均塗布膜厚はスリット１６から吐出される全塗布液量で定まり、その全塗布液量は、ポンプ２２によって供給される流量から、マニホールド出口１８Ｂから排出される流量を差し引いて求めることができるので、ポンプ２２による供給流量及び流量調整バルブ２３による通過流量を適切に調整することで、所望の平均膜厚を得ることができる。スリット１６の単位幅当たりの吐出液量は、その領域におけるマニホールド内圧力に応じて定まるため、スリット１６の塗布幅方向における吐出精度は、マニホールド１７内の平均圧力に対するマニホールド１７での圧力低下量の比〔すなわち、（マニホールド入口圧力−マニホールド出口圧力）／平均圧力〕によって定まる。ところで、マニホールド１７内における圧力は、マニホールド入口１８Ａからマニホールド出口１８Ｂに向かうにつれて低下するが、その低下の割合はマニホールド１７内の流量を大きくすると小さくなる。すなわち、図３において、スリット１６からの全吐出液量を一定とした条件で、マニホールド１７内を通過する液量を少なくとすると、曲線ａに示すように圧力の低下が大きく且つ平均圧力が小さいが、マニホールド１７内を通過する液量を多くすると、曲線ｂに示すように圧力の低下が小さく且つ平均圧力が大きくなる。かくして、ポンプ２２による供給流量及び流量調整バルブ２３による通過流量を適切に調整することで、マニホールド１７内における平均圧力及び圧力低下量を調整することができ、所望の膜厚精度を得ることができる。ここで、ダイヘッド１１のスリット１６からの吐出液量に対するマニホールド出口１８Ｂからの排出液量の割合は、排出液量を大きくするほどマニホールド１７内の圧力低下を抑制して吐出精度を高めることができるが、あまり大きくすると、ポンプ２２、流量調整バルブ２３等を大型化する必要が生じ、コスト高となる。これらを考慮すると、吐出液量１に対して排出液量を１〜５程度に設定することが好ましい。 Next, the coating operation by the die coating apparatus having the above configuration will be described. The pump 22 supplies the coating liquid from the manifold inlet 18 A of the die head 11 to the manifold 17. A part of the coating liquid supplied into the manifold 17 is discharged from the slit 16 while passing through the manifold 17 and applied to the substrate (not shown), and the rest passes through the manifold 17 and is discharged from the manifold outlet 18B. Then, it returns to the tank 21 through the flow rate adjusting valve 23. Here, the average coating film thickness is determined by the total amount of coating liquid discharged from the slit 16, and the total coating liquid amount is obtained by subtracting the flow rate discharged from the manifold outlet 18B from the flow rate supplied by the pump 22. Therefore, a desired average film thickness can be obtained by appropriately adjusting the supply flow rate by the pump 22 and the passage flow rate by the flow rate adjustment valve 23. Since the discharge liquid amount per unit width of the slit 16 is determined according to the pressure in the manifold in that region, the discharge accuracy in the application width direction of the slit 16 is the pressure drop amount in the manifold 17 with respect to the average pressure in the manifold 17. The ratio [ie, (manifold inlet pressure−manifold outlet pressure) / average pressure]. By the way, the pressure in the manifold 17 decreases as it goes from the manifold inlet 18 A to the manifold outlet 18 B, but the rate of decrease decreases as the flow rate in the manifold 17 increases. That is, in FIG. 3, when the amount of liquid passing through the manifold 17 is reduced under the condition that the total amount of liquid discharged from the slit 16 is constant, the pressure drop is large and the average pressure is small as shown by the curve a. However, when the amount of liquid passing through the manifold 17 is increased, the pressure drop is small and the average pressure is large as shown by the curve b. Thus, by appropriately adjusting the supply flow rate by the pump 22 and the passage flow rate by the flow rate adjusting valve 23, the average pressure and the pressure drop amount in the manifold 17 can be adjusted, and a desired film thickness accuracy can be obtained. . Here, the ratio of the discharged liquid amount from the manifold outlet 18B to the discharged liquid amount from the slit 16 of the die head 11 can increase the discharge accuracy by suppressing the pressure drop in the manifold 17 as the discharged liquid amount is increased. However, if it is too large, it is necessary to increase the size of the pump 22, the flow rate adjusting valve 23, etc., resulting in an increase in cost. Considering these, it is preferable to set the discharged liquid amount to about 1 to 5 with respect to the discharged liquid amount 1.

吐出精度の調整に当たっては、塗布した膜厚分布を測定して求め、製品に応じた所望の膜厚精度となるように、ポンプ２２による供給流量及び流量調整バルブ２３による通過流量を調整すればよい。本発明者らが実験した結果、ダイヘッド１１のマニホールド１７の終端（マニホールド出口１８Ｂを設けている側）を閉じた状態では膜厚精度±２０％以上あったが、マニホールド１７の終端を開いて塗布液を排出させることで±５％以下まで膜厚精度を高めることができた。 In adjusting the discharge accuracy, the applied film thickness distribution is measured and obtained, and the supply flow rate by the pump 22 and the passing flow rate by the flow rate adjustment valve 23 are adjusted so that the desired film thickness accuracy corresponding to the product is obtained. . As a result of experiments conducted by the present inventors, when the end of the manifold 17 of the die head 11 (the side where the manifold outlet 18B is provided) is closed, the film thickness accuracy is ± 20% or more. By discharging the liquid, the film thickness accuracy could be increased to ± 5% or less.

以上のように、上記実施の形態に係るダイコーティング装置では、ポンプ２２による供給流量及び流量調整バルブ２３による通過流量の調整によって、所望の平均膜厚で、所望の膜厚精度による塗布を行うことができる。塗布液の変更、塗布条件の変更等を行った場合においても、ポンプ２２による供給流量及び流量調整バルブ２３による通過流量の調整によって、スリットからの全吐出液量を所望のように調整し且つマニホールド内の圧力低下を所望のように調整することで対応でき、ダイヘッド１１を交換することなく、所望の平均膜厚で、所望の膜厚精度による塗布を行うことができる。 As described above, in the die coating apparatus according to the above-described embodiment, the application with the desired film thickness accuracy is performed with the desired average film thickness by adjusting the supply flow rate by the pump 22 and the passing flow rate by the flow rate adjusting valve 23. Can do. Even when the coating liquid is changed or the coating conditions are changed, the supply flow rate by the pump 22 and the passage flow rate by the flow rate adjustment valve 23 are adjusted so that the total discharge liquid amount from the slit is adjusted as desired and the manifold is adjusted. By adjusting the pressure drop in the desired manner, it is possible to perform application with a desired average film thickness with a desired average film thickness without replacing the die head 11.

なお、上記した実施の形態では、ダイヘッド１１のマニホールド１７が塗布幅全域に渡って一定断面であり、また、スリット１６の間隙及び長さも塗布幅全域に渡って一定であるが、本発明に用いるダイヘッドはこの構成に限らず、従来技術において膜厚精度を高めるために提案されている構造、例えば、マニホールドの断面積を終端に向かって小さくするとか、スリットの長さをマニホールド終端側が短くなるようにするとか、スリット間隔をマニホールド終端側が小さくなるようにする等の構造を採用してもよく、これによって一層膜厚精度を高めることができる。 In the above-described embodiment, the manifold 17 of the die head 11 has a constant cross section over the entire application width, and the gap and length of the slit 16 are also constant over the entire application width, but are used in the present invention. The die head is not limited to this configuration, and a structure proposed in the prior art for increasing the film thickness accuracy, for example, the manifold cross-sectional area is reduced toward the end, or the slit length is shortened at the end of the manifold. Alternatively, a structure in which the slit interval is made smaller on the manifold end side or the like may be adopted, and thereby the film thickness accuracy can be further improved.

更に、上記の実施の形態では、ダイヘッド１１のマニホールド１７の一端から塗布液を供給し、他端に排出する構成としているが、本発明はこの構成に限らず、マニホールドの中央に塗布液を供給し、両端から排出する構成とすることも可能である。図４はその場合の実施の形態に係るダイコーティング装置１０Ａを示す概略構成図、図５（ａ）、（ｂ）はそれぞれ、図４に示すダイコーティング装置のダイヘッドを、異なる断面で示す概略断面図である。ダイコーティング装置１０Ａは、塗布液を所定幅で吐出するダイヘッド１１Ａと、該ダイヘッド１１Ａに塗布液を供給する塗布液供給手段を構成するタンク２１及びポンプ２２と、ダイヘッド１１Ａから排出される塗布液の流量を調整する流量調整手段を構成する流量調整バルブ２３と、タンク２１、ポンプ２２、ダイヘッド１１、流量調整バルブ２３を連結する管２４等を備えている。ここで用いているダイヘッド１１Ａも、マニホールド板１２、平板１３、側板１４等を備えており、マニホールド板１２と平板１３の間に、塗布液を吐出するスリット１６と、該スリット１６に塗布液を供給するためのマニホールド１７が形成されているが、その両端に配置されている側板１４にはそれぞれ、マニホールド１７に通じるように孔１８Ａ、１８Ｂが開けられている。両方の側板１４に形成された孔１８Ａ、１８Ｂは共に、マニホールド１７の端部から塗布液を排出するためのマニホールド出口として作用するもので、それぞれ管２４によって流量調整バルブ２３に連結されている。マニホールド板１２の中央部には、マニホールド１７の中央に開口するようにマニホールド入口１９が形成されており、管２４によってポンプ２２に連結されている。マニホールド１７は塗布幅の全域に渡って一定断面に形成されており、また、スリット１６の間隙及び長さも塗布幅全域に渡って一定に定められている。 Furthermore, in the above embodiment, the coating liquid is supplied from one end of the manifold 17 of the die head 11 and discharged to the other end. However, the present invention is not limited to this configuration, and the coating liquid is supplied to the center of the manifold. However, it is also possible to adopt a configuration that discharges from both ends. 4 is a schematic configuration diagram showing a die coating apparatus 10A according to the embodiment in that case, and FIGS. 5A and 5B are schematic cross sections showing the die head of the die coating apparatus shown in FIG. 4 in different cross sections. FIG. The die coating apparatus 10A includes a die head 11A that discharges a coating liquid at a predetermined width, a tank 21 and a pump 22 that constitute a coating liquid supply unit that supplies the coating liquid to the die head 11A, and a coating liquid discharged from the die head 11A. A flow rate adjusting valve 23 constituting a flow rate adjusting means for adjusting the flow rate, a tank 21, a pump 22, a die head 11, a pipe 24 connecting the flow rate adjusting valve 23, and the like are provided. The die head 11 A used here also includes a manifold plate 12, a flat plate 13, a side plate 14, and the like. Between the manifold plate 12 and the flat plate 13, a slit 16 that discharges a coating solution, and a coating solution into the slit 16. A manifold 17 for supply is formed, and holes 18 A and 18 B are formed in the side plates 14 arranged at both ends so as to communicate with the manifold 17. Both holes 18A and 18B formed in both side plates 14 act as manifold outlets for discharging the coating liquid from the end of the manifold 17, and are connected to the flow rate adjusting valve 23 by pipes 24, respectively. A manifold inlet 19 is formed at the center of the manifold plate 12 so as to open to the center of the manifold 17, and is connected to the pump 22 by a pipe 24. The manifold 17 is formed in a constant cross section over the entire application width, and the gap and length of the slit 16 are also fixed over the entire application width.

この構成のダイコーティング装置１０Ａにおいては、ポンプ２２が塗布液をダイヘッド１１Ａのマニホールド入口１９からマニホールド１７の中央に供給する。マニホールド１７の中央に供給された塗布液は両側に分かれてマニホールド１７内を両端に向かって流れながらその一部がスリット１６から吐出されて基材（図示せず）に塗布され、残りはマニホールド１７を通り抜けてマニホールド出口１８Ａ、１８Ｂから排出され、流量調整バルブ２３を経てタンク２１に還流する。この実施の形態においても、ポンプ２２による供給流量及び流量調整バルブ２３による通過流量の調整によって、スリットからの全吐出液量を所望のように調整し且つマニホールド内の圧力低下を所望のように調整することができ、所望の平均膜厚で、所望の膜厚精度による塗布を行うことができる。なお、この実施の形態においても、ダイヘッド１１Ａとして、従来用いられているテーパダイ、ハンガーダイ、円錐ダイ等を用いることができ、これによって膜厚精度を一層高めることができる。 In the die coating apparatus 10A having this configuration, the pump 22 supplies the coating liquid from the manifold inlet 19 of the die head 11A to the center of the manifold 17. The coating liquid supplied to the center of the manifold 17 is divided into both sides, and a part of the coating liquid is discharged from the slit 16 while flowing toward the both ends in the manifold 17 and applied to a base material (not shown), and the rest is applied to the manifold 17. Is discharged from the manifold outlets 18 A and 18 B, and returns to the tank 21 through the flow rate adjusting valve 23. Also in this embodiment, by adjusting the supply flow rate by the pump 22 and the passage flow rate by the flow rate adjustment valve 23, the total discharge liquid amount from the slit is adjusted as desired and the pressure drop in the manifold is adjusted as desired. Application with desired film thickness accuracy can be performed with a desired average film thickness. Also in this embodiment, a conventionally used taper die, hanger die, conical die or the like can be used as the die head 11A, which can further increase the film thickness accuracy.

以上に本発明の好適な実施の形態を説明したが、本発明はこれらの実施の形態に限定されるものでなく、特許請求の範囲の記載範囲内で適宜変更可能であることは言うまでもない。 The preferred embodiments of the present invention have been described above, but the present invention is not limited to these embodiments, and it is needless to say that the embodiments can be appropriately changed within the scope of the claims.

本発明の実施の形態に係るダイコーティング装置の概略構成図Schematic configuration diagram of a die coating apparatus according to an embodiment of the present invention （ａ）、（ｂ）はそれぞれ、図１に示すダイコーティング装置のダイヘッドを、異なる断面で示す概略断面図(A), (b) is each schematic sectional drawing which shows the die head of the die coating apparatus shown in FIG. 1 in a different cross section. ダイヘッドのマニホールド内の圧力分布を示すグラフGraph showing the pressure distribution in the die head manifold 本発明の他の実施の形態に係るダイコーティング装置の概略構成図The schematic block diagram of the die coating apparatus which concerns on other embodiment of this invention. （ａ）、（ｂ）はそれぞれ、図４に示すダイコーティング装置のダイヘッドを、異なる断面で示す概略断面図(A), (b) is each schematic sectional drawing which shows the die head of the die coating apparatus shown in FIG. 4 in a different cross section. （ａ）は従来のダイヘッドの部分断面概略側面図、（ｂ）はそのダイヘッドの概略断面図(A) is a partial sectional schematic side view of a conventional die head, and (b) is a schematic sectional view of the die head.

Explanation of symbols

１０、１０Ａダイコーティング装置
１、１１、１１Ａダイヘッド
２、１２マニホールド板
３、１３平板
４、１４側板
６、１６スリット
７、１７マニホールド
８、１９マニホールド入口
１８Ａ、１８Ｂ孔
２１タンク
２２ポンプ
２３流量調整バルブ
２４管 10, 10A Die coating device 1, 11, 11A Die head 2, 12 Manifold plate 3, 13 Flat plate 4, 14 Side plate 6, 16 Slit 7, 17 Manifold 8, 19 Manifold inlet 18A, 18B Hole 21 Tank 22 Pump 23 Flow control valve 24 tubes

Claims

A slit for discharging the coating liquid, a manifold for supplying the coating liquid to the slit, a manifold inlet for supplying the coating liquid to the manifold, and a manifold formed to discharge the coating liquid from the end of the manifold Die coating having a die head having an outlet, a coating liquid supply means for supplying a coating liquid to the manifold inlet of the die head, and a flow rate adjusting means connected to the manifold outlet of the die head to adjust the flow rate of the discharged coating liquid apparatus.

A manifold inlet of the die head is connected to a center of the manifold, the manifold outlets are formed at both ends of the manifold, and a flow rate adjusting unit is connected to the manifold outlets at both ends of the manifold. The die coating apparatus according to claim 1.