KR20110054194A - Substrate assembly for flexible display device and method of manufacturing flexible display device using the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 연성 표시장치(Flexible Display Device)를 제조하기 위한 기판어셈블리(Substrate Assembly) 및 그를 이용한 연성 표시장치의 제조방법에 관한 것으로, 특히, 연성기판과 이송기판이 용이하게 합착 및 탈착되어, 생산수율을 향상시킬 수 있는 연성 표시장치용 기판어셈블리 및 그를 이용한 연성 표시장치의 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate assembly for manufacturing a flexible display device and a method of manufacturing a flexible display device using the same. In particular, the flexible substrate and the transfer substrate are easily bonded and detached to produce a flexible display device. The present invention relates to a substrate assembly for a flexible display device capable of improving yield and a method of manufacturing the flexible display device using the same.
최근, 본격적인 정보화 시대로 접어듦에 따라 전기적 정보신호를 시각적으로 표현하는 디스플레이(display)분야가 급속도로 발전해 왔고, 이에 부응하여 박형화, 경량화, 저소비전력화의 우수한 성능을 지닌 여러 가지 다양한 평판 표시장치(Flat Display Device)가 개발되어 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube: CRT)을 빠르게 대체하고 있다. 이 같은 평판 표시장치의 구체적인 예로는 액정표시장치(Liquid Crystal Display device: LCD), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device: PDP), 전계방출표시장치(Field Emission Display device: FED) 및 전기발 광표시장치(Electro luminescence Display Device: ELD) 등을 들 수 있다. In recent years, as the information age has entered, the display field for visually expressing electrical information signals has been rapidly developed, and various flat panel display devices having excellent performance of thinning, light weight, and low power consumption have been developed. Flat Display Device has been developed to quickly replace the existing Cathode Ray Tube (CRT). Specific examples of such a flat panel display include a liquid crystal display device (LCD), a plasma display panel device (PDP), a field emission display device (FED), and an electroluminescent display. Electro luminescence Display Device (ELD) etc. are mentioned.
이와 같은 평판 표시장치들은, 고유의 발광 또는 편광물질층을 사이에 두고 한 쌍의 절연기판을 대면 합착한 구성을 가짐으로써 화상을 구현하는 평판 표시패널을 필수적으로 구비한다. 이때, 절연기판은, 유리(Glass) 등과 같이, 표시패널에 포함되는 트랜지스터, 라인등을 형성하기 위한 반도체 또는 금속의 패턴공정에 대해 안정되고, 평평한 상태를 유지하는 단단한 물질로 마련되는 것이 일반적이다. 그러나, 유리로 마련된 절연기판(이하, "유리기판"으로 지칭함)은 유리의 물질적 특징상 외부로부터의 힘에 의해 파손되기 쉽다. 이에, 유리기판은 외부로부터의 힘에 의한 파손되지 않는 소정 두께 이상으로 두껍게 마련되어야 하고, 물성상 깨지기 쉽기 때문에 자유롭게 형태를 변형시키는 것이 사실상 불가능하다는 단점이 있으므로, 유리기판을 포함한 평판 표시장치는 경량화에 한계가 있고, 형태변형이 용이하지 않아서 휴대성이 낮아지는 문제점이 있다.Such flat panel displays essentially include a flat panel display panel that realizes an image by having a pair of insulating substrates faced to each other with a unique light emitting or polarizing material layer interposed therebetween. In this case, the insulating substrate is generally made of a rigid material that is stable to a semiconductor or metal pattern process for forming transistors, lines, etc. included in a display panel, such as glass, and maintains a flat state. . However, an insulating substrate made of glass (hereinafter, referred to as a "glass substrate") is likely to be broken by force from the outside due to the material characteristics of the glass. Therefore, the glass substrate should be thicker than a predetermined thickness that does not break due to external force, and since the glass substrate is fragile in nature, there is a disadvantage in that it is virtually impossible to change the shape freely. There is a limit to this, there is a problem that the portability is lowered because the shape deformation is not easy.
이와 같은 문제를 해결하기 위한 방안으로, 휴대성을 높일 수 있도록 가볍고 용이하게 휘어지는 형태 변형이 가능한 연성의 평판 표시장치(Flexible Flat Display Device, 이하 "연성 표시장치"로 지칭함)가 제시되면서, 연성 표시장치에 대한 기술개발이 계속되고 있다. 이러한 연성 표시장치는, 단단한 유리기판 대신, 외부로부터 인가된 힘에 따라 용이하게 휘어지는 연성의 절연기판(이하, "연성기판"으로 지칭함)을 이용한다. 즉, 연성 표시장치는 한 쌍의 연성기판이 고유의 발광층 또는 편광물질층을 사이에 두고 대면합착된 구조를 가지는 연성 표시패널을 구비한다. 이때, 연성기판은 필름(film) 형태의 플라스틱(plastic) 또는 금 속(metal foil: 금속박막) 등으로 마련된다.As a solution to this problem, a flexible flat display device (hereinafter, referred to as a "flexible display device") capable of lightly and easily bent shape deformation is proposed to increase portability. Technology development for the device continues. Such a flexible display device uses a flexible insulating substrate (hereinafter, referred to as a "flexible substrate") that is easily bent in accordance with a force applied from the outside, instead of a rigid glass substrate. That is, the flexible display device includes a flexible display panel having a structure in which a pair of flexible substrates are face-bonded with their light emitting layers or polarizing material layers interposed therebetween. In this case, the flexible substrate may be formed of plastic or metal foil in the form of a film.
그런데, 표시패널을 제조하는 기존의 제조설비는 평평한 상태를 유지하는 유리기판에 맞춰져서 설계되어 있으므로, 쉽게 휘어져서 평평한 상태가 유지되지 않는 연성기판에 그대로 적용되기가 어려운 문제점이 있다. 즉, 기존의 제조설비로 연성 표시패널을 제조하는 경우, 연성기판의 용이하게 휘어지는 특성 때문에, 이송되고 있는 연성기판이 접히거나 적절한 위치로 이송되지 못하고 빠지는 등의 문제가 발생될 수 있고, 휘어진 상태의 연성기판에 패턴이 형성될 수 있어 패턴이 적절히 형성되지 못하는 문제가 발생될 수 있다.However, the existing manufacturing equipment for manufacturing the display panel is designed to fit the glass substrate to maintain a flat state, there is a problem that it is difficult to be applied to a flexible substrate that is not easily bent to maintain a flat state. That is, when the flexible display panel is manufactured by the existing manufacturing equipment, the flexible substrate may be easily bent due to the property of the flexible substrate. A pattern may be formed on the flexible substrate, thereby causing a problem in that the pattern is not formed properly.
이에 따라, 기존의 제조설비를 이용하여 연성 표시패널을 제조하기 위한 방안으로, 연성기판을 유리와 같은 단단하고 평평한 이송기판에 합착한 기판어셈블리(Substrate Assembly)를 제조하고, 기존의 제조설비로 기판어셈블리에 대해 표시패널의 적층물을 형성하는 공정을 수행한 후, 연성기판에 표시패널의 적층물이 형성된 기판어셈블리로부터 이송기판을 제거함으로써, 연성 표시패널을 제조하는 방안이 있다. Accordingly, in order to manufacture a flexible display panel using existing manufacturing equipment, a substrate assembly in which a flexible substrate is bonded to a hard and flat transfer substrate such as glass is manufactured. After performing a process of forming a stack of display panels with respect to the assembly, there is a method of manufacturing a flexible display panel by removing the transfer substrate from a substrate assembly in which a stack of display panels is formed on the flexible substrate.
도 1은 종래기술에 따른 기판어셈블리를 나타낸 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a substrate assembly according to the prior art.
종래기술에 따른 기판어셈블리(10)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 유리 등과 같은 단단한 물질로 평평하게 마련되는 이송기판(11), 이송기판(11)의 일면에 형성되는 점착층(12) 및 점착층(12)위에 배치되는 연성기판(13)을 포함하여 구성된다. 여기서, 점착층(12)은 OCA(Optical Clear Adhesive)와 같은 양면접착제 또는 자외선(UV)에 반응하여 고체화되면서 접착력을 가지는 UV Resin 등으로 마련된다. 그리 고, 연성기판(13)은 필름형태의 플라스틱 또는 금속으로 마련된다. As shown in FIG. 1, the
종래기술에 따르면, 서로 대면합착되는 점착층(12)과 연성기판(13)은 열에 대한 팽창율이 서로 다른 물질로 마련되므로, 종래의 기판어셈블리(10)는, 패턴공정 중 하나인 열처리공정에 의해 점착층(12)과 연성기판(13)이 열에 의해 서로 다르게 팽창 또는 수축되어, 결국 기판어셈블리(10) 전체의 형태가 휘어짐과 같이 변형될 수 있다. 그리고, 열처리공정에 의해 점착층(12)에서 훈증(fume)이 발생되는 아웃개싱(Outgassing) 현상으로, 이송기판(11)과 점착층(12) 사이 또는 점착층(12)과 연성기판(13) 사이의 합착이 약해져서, 연성기판(13)이 울게 되거나, 연성기판(13) 또는 이송기판(11)이 점착층(12)에서 분리될 수 있다. 또한, 오정렬에 의해, 연성기판(13)이 점착층(12) 위에 평평하게 합착되지 못할 수도 있다. 이와 같이, 종래의 기판어셈블리(10)는 이송기판(11)과 연성기판(12)을 합착하기 위하여 점착층(12)을 이용함에 따라, 열처리공정동안 점착층(12)에 의해 형태가 변형될 수 있고, 연성기판(12)이 점착층(12)위에 오정렬되면 수정이 불가능하므로, 표시패널의 제조수율이 향상되기 어려운 문제점이 있다.According to the prior art, since the pressure-sensitive adhesive layer 12 and the
또한, 종래의 기판어셈블리(10)에 있어서, 표시패널의 제조공정이 종료되기 전까지, 이송기판(11)과 연성기판(12)의 합착이 견고하게 유지되도록, 이송기판(11)과 점착층(12)의 합착시 및 점착층(12)과 연성기판(13)의 합착시에 소정의 압력을 가한다. 이러한 2회의 가압공정에 의해, 이송기판(11)에 많은 양의 스트레스가 가해지게 된다. 그리고, 표시패널의 제조공정이 종료되면, 연성기판(13)에 표시패널의 적층물이 형성된 기판어셈블리(10)에서 이송기판(11)을 제거해야 한다. 이때, 이송기판(11)은, 연성기판(13)으로부터 분리되는 공정에 의해, 많은 양의 스트레스를 받게 된다. 이와 같이, 합착 및 분리 공정에 의해 많은 양의 스트레스를 받게 되는 이송기판(11)은 손상 또는 파손될 가능성이 높아져서, 이송기판(11)의 재사용 가능한 횟수가 작아지게 되므로, 표시패널의 제조비용이 상승하는 문제점이 있다.Further, in the
이에 따라, 본 발명은, 종래기술에 비해 이송기판과 연성기판의 합착공정 및 분리공정을 용이하게 하여, 그러므로, 연성 표시패널의 제조수율을 향상시킬 수 있고, 연성 표시패널의 제조비용을 감소시킬 수 있는 연성 표시장치용 기판어셈블리 및 그를 이용한 연성 표시장치의 제조방법을 제공한다.Accordingly, the present invention facilitates the bonding process and the separating process of the transfer substrate and the flexible substrate as compared with the prior art, and therefore can improve the manufacturing yield of the flexible display panel and reduce the manufacturing cost of the flexible display panel. A substrate assembly for a flexible display device and a method of manufacturing the flexible display device using the same are provided.
이와 같은 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은, 평평하게 마련되는 이송기판; 상기 이송기판의 일면에 자성을 보유하는 제1 물질을 코팅하여 형성되는 제1 코팅층; 연성을 갖도록 마련되는 연성기판; 및 상기 연성기판의 배면에 강자성의 제2 물질을 코팅하여 형성되고, 자기력에 의해 상기 제1 코팅층과 합착되는 제2 코팅층을 포함함을 특징으로 하는 연성 표시장치용 기판어셈블리를 제공한다.In order to solve this problem, the present invention, the transfer substrate is provided flat; A first coating layer formed by coating a first material having magnetic properties on one surface of the transfer substrate; A flexible substrate provided to be flexible; And a second coating layer formed by coating a ferromagnetic second material on a rear surface of the flexible substrate, and bonded to the first coating layer by a magnetic force.
또한, 본 발명은, 평평하게 마련되는 이송기판의 일면에 자성을 가지는 제1 물질을 코팅하여 제1 코팅층을 형성하는 단계; 연성을 갖도록 마련되는 연성기판의 배면에 강자성을 가지는 제2 물질을 코팅하여 제2 코팅층을 형성하는 단계; 상기 제1 코팅층의 자성에 의해 상기 이송기판과 상기 연성기판을 합착하여, 기판어셈블리를 생성하는 단계; 상기 기판어셈블리의 연성기판 상면에 표시패널의 적층물을 형성하는 단계; 및 상기 표시패널의 적층물이 형성된 기판어셈블리에서 상기 이송기판을 제거하는 단계를 포함함을 특징으로 하는 연성 표시장치의 제조방법을 제공한다.In addition, the present invention, the step of forming a first coating layer by coating a first material having a magnetic on one surface of the transfer substrate is provided flat; Forming a second coating layer by coating a ferromagnetic second material on a rear surface of the flexible substrate provided to be flexible; Bonding the transfer substrate and the flexible substrate by magnetization of the first coating layer to generate a substrate assembly; Forming a stack of display panels on an upper surface of the flexible substrate of the substrate assembly; And removing the transfer substrate from the substrate assembly on which the stack of the display panel is formed.
이상과 같이, 본 발명에 따른 연성 표시장치용 기판어셈블리는, 점착층의 점착력 대신 자기력을 이용하여 이송기판과 연성기판을 합착함에 따라, 연성기판이 이송기판에 평평하게 합착될 수 있고, 표시패널의 제조공정이 종료되기까지 연성기판이 평평한 상태를 유지할 수 있으며, 이송기판에 가해지는 스트레스가 종래기술에 비해 감소되어 이송기판의 재사용횟수가 증가될 수 있다. 그러므로, 연성 표시패널의 제조수율이 향상될 수 있고, 제조비용은 감소될 수 있다.As described above, in the substrate assembly for the flexible display device according to the present invention, as the transfer substrate and the flexible substrate are bonded to each other by using a magnetic force instead of the adhesive force of the adhesive layer, the flexible substrate may be flatly adhered to the transfer substrate, and the display panel The flexible substrate may remain flat until the end of the manufacturing process, and the stress applied to the transfer substrate is reduced compared to the prior art, thereby increasing the number of reuse of the transfer substrate. Therefore, the manufacturing yield of the flexible display panel can be improved, and the manufacturing cost can be reduced.
이하, 본 발명의 실시예에 따른 기판어셈블리 및 그를 이용한 연성 표시장치의 제조방법에 대해 첨부한 도면을 참고로 하여 설명한다.Hereinafter, a substrate assembly according to an exemplary embodiment of the present invention and a method of manufacturing a flexible display device using the same will be described with reference to the accompanying drawings.
이하에서 서술할 본 발명의 실시예에 따른 기판어셈블리는 고유의 발광 또는 편광물질층을 사이에 두고 한 쌍의 연성기판을 대면 합착한 구성을 가짐으로써 화상을 구현하는 평판 표시패널(이하, '연성 표시패널'이라 함)을 제조하기 위한 것이다. 이러한 연성 표시패널을 필수적으로 구비하는 연성 표시장치로는 능동 매트릭스 액정 표시장치(Active Matrix Liquid Crystal Display: AMLCD), 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diodes: OLED), 전기영동 표시장치(Electrophoretic Display), 전계방출 표시장치(Field Emission Display: FED), 박막 발광 폴리머 표시장치(Thin Film Transistor Light Emitting Polymer), 콜레스테릭 액정 표시장치(Cholesteric Liquid Crystal Display) 등이 있다.A substrate assembly according to an embodiment of the present invention described below has a configuration in which a pair of flexible substrates are bonded to each other with an inherent light emitting or polarizing material layer interposed therebetween to realize a flat panel display panel (hereinafter, referred to as 'flexible' Display panel '). Flexible display devices including the flexible display panel include active matrix liquid crystal display (AMLCD), organic light emitting diodes (OLED), electrophoretic display (Electrophoretic Display), Field Emission Display (FED), Thin Film Transistor Light Emitting Polymer, Cholesteric Liquid Crystal Display.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판어셈블리를 나타낸 단면도이다. 2 is a cross-sectional view illustrating a substrate assembly according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 기판어셈블리(100)는, 이송기판(110), 이송기판(110)의 일면에 자성(磁性, magnetism)을 보유하는 제1 물질로 형성되는 제1 코팅층(120), 연성을 갖도록 마련되는 연성기판(130) 및 연성기판(130)의 배면에 자기력(Magnetic force) 또는 전기력(Electric force)에 의해 자성을 갖는 강자성(强磁性, ferromagnetism)의 제2 물질을 코팅하여 형성되고, 상기 제1 물질과 상기 제2 물질 각각의 자성에 의해 발생되는 제1 코팅층과의 자기력에 의해 상기 제1 코팅층(12)과 합착되는 제2 코팅층을 포함하여 구성된다. As shown in FIG. 2, the
이송기판(110)은 유리와 같이 화학물 또는 열 등에 안정되고 단단한 물질로 평평하게 마련되고, 연성기판(130)은 화학물 또는 열 등에 안정되고 필름(film) 형태의 플라스틱(plastic) 또는 금속(metal)로 마련된다.The
제1 코팅층(120)은 자석(磁石)과 같이 외부로부터 인가되는 전기장 또는 자기장 없이 오랜 시간 동안 자성을 보유하는 제1 물질로 마련되는데, 제1 물질은 상기 이송기판(110)의 일면에 박막(薄膜, Thin film) 형태로 코팅가능한 네오디움(Neodium: Nd) 계열의 금속 또는 네오디움(Nd) 계열의 금속을 포함하는 합금인 것일 수 있다. The
제2 코팅층(140)은 제1 물질의 자성 또는 외부로부터 인가되는 자기에너지에 의해 영향을 받아 자성이 발생되는 강자성의 제2 물질로 마련되는데, 제2 물질은 상기 연성기판(130)의 배면에 박막으로 코팅가능한 전이금속(transition metal) 또는 전이금속을 포함하는 합금인 것일 수 있다. The
여기서, 제1 코팅층(120)과 제2 코팅층(140)은 각각의 자성으로 인해 자기 력(magnetic force)가 발생되며, 이러한 자기력은 제1 코팅층(120)과 제2 코팅층(140) 사이에 서로를 끌어당기는 인력(attractive force)으로 작용하므로, 제1 코팅층(120)과 제2 코팅층(140) 사이의 자기력에 의해 제1 코팅층(120)과 제2 코팅층(140)은 서로 합착된다. 이와 같이, 제1 코팅층(120)과 제2 코팅층(140)이 합착됨에 따라, 제1 코팅층(120)이 형성된 이송기판(110)과 제2 코팅층(140)이 형성된 연성기판(130)이 합착된다.Here, the
그리고, 표시패널의 제조공정이 수행되는 동안, 제1 코팅층(120)이 자성을 상실하지 않도록, 제1 코팅층(120)은 표시패널의 제조공정에 포함되는 열처리공정의 공정온도보다 높은 퀴리온도(Curie temperature)를 갖는 제1 물질로 이루어진다. 일반적으로, 열처리공정의 공정온도는 섭씨 150도 정도이므로, 제1 코팅층(120)은 섭씨 150도 이상의 퀴리온도를 갖는 제1 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 제2 코팅층(140) 또한, 표시패널의 제조공정에 포함되는 열처리공정의 공정온도보다 높은 퀴리온도(Curie temperature)를 갖는 제2 물질로 이루어질 수 있다.During the manufacturing process of the display panel, the
또한, 제1 물질과 제2 물질의 자성은 열에 의해 약화되고, 전기력(electric force) 또는 자기력(magnetic force)에 의해 강화된다. 이에 따라, 본 발명의 실시예에 따르면, 제1 코팅층(120)에 열을 가하여 제1 물질의 자성을 약화시킨 후에, 제1 코팅층(120)과 제2 코팅층(140)을 사이에 두고 연성기판(130)이 이송기판(110) 위에 평평하게 위치하도록 정렬시켜서, 제1 코팅층(120)의 약한 자성에 의해 연성기판(130)의 정렬이 용이해지도록 한다. 그리고, 제1 코팅층(120)과 제2 코팅층(140)을 사이에 두고 정렬된 이송기판(110)과 연성기판(130)은, 전기력이 존재하 는 전기장(Electric field) 내에 위치된다. 이때, 제1 코팅층(120)과 제2 코팅층(140) 각각의 자성은 전기력에 의해 강화되어, 제1 코팅층(120)과 제2 코팅층(140) 사이의 자기력이 강해짐으로써, 이송기판(110)과 연성기판(130)이 견고하게 합착될 수 있다.In addition, the magnetism of the first material and the second material is weakened by heat and strengthened by electric force or magnetic force. Accordingly, according to an embodiment of the present invention, after applying heat to the
이상과 같이, 본 발명의 실시예에 따른 기판어셈블리(100)는, 점착층을 사이에 두고 이송기판과 연성기판을 대면합착한 구조를 가지는 종래의 기판어셈블리와 달리, 점착층의 점착력 대신, 제1 코팅층(120)과 제2 코팅층(140) 각각의 자성에 의해 발생되는 제1 코팅층(120)과 제2 코팅층(140) 사이의 자기력을 이용하여 이송기판(110)과 연성기판(130)을 대면합착한 구조를 갖는다. 이에 따라, 열처리 공정에 의해 변형되거나 훈증을 발생시키는 점착층을 배제시킬 수 있다. As described above, the
다음, 본 발명의 실시예에 따른 기판어셈블리(100)를 이용한 연성 표시장치의 제조방법에 대해 설명한다.Next, a method of manufacturing a flexible display device using the
도 3은 도 2에 도시된 기판어셈블리를 이용한 연성 표시장치의 제조방법을 나타낸 순서도이고, 도 4a 내지 도 4e는 도 3에 도시된 연성 표시장치의 제조방법을 개략적으로 나타낸 단면도이다.3 is a flowchart illustrating a method of manufacturing the flexible display device using the substrate assembly illustrated in FIG. 2, and FIGS. 4A to 4E are cross-sectional views schematically illustrating a method of manufacturing the flexible display device illustrated in FIG. 3.
본 발명의 실시예에 따른 연성 표시장치의 제조방법은, 도 3에 도시된 바와 같이, 이송기판(110)의 일면에 제1 코팅층(120)을 형성하는 단계(S100), 연성기판(130)의 배면에 제2 코팅층(140)을 형성하는 단계(S110), 제1 코팅층(120)과 제2 코팅층(140)을 대면한 상태에서 이송기판(110)과 연성기판(130)을 합착하여 기판어셈블리(100)를 생성하는 단계(S120), 기판어셈블리(100)의 연성기판(130)의 상면에 반도체층 또는 금속층 등이 패턴화되는 적층물을 형성하는 단계(S130) 및 연성기판(130) 위에 적층물이 형성된 기판어셈블리(100)에서 이송기판(110)을 제거하는 단계(S140)를 포함한다. In the method of manufacturing the flexible display device according to the exemplary embodiment of the present invention, as shown in FIG. 3, forming the
이송기판(110)의 일면에 제1 코팅층(120)을 형성하는 단계(S100)에서, 이송기판(110)은 유리와 같이 화학물 또는 열 등에 안정되고 단단한 물질로 마련된다. 이와 같이 마련된 이송기판(110)의 일면에, 도 4a에 도시된 바와 같이, 자성을 보유하는 제1 물질을 코팅하여 제1 코팅층(120)을 형성한다. 이때, 제1 물질은 외부 전기장 또는 외부 자기장이 인가되지 않더라도 오랜 기간동안 자성을 보유가능한 자석과 같은 물질이며, 박막형태로 이송기판(110)에 코팅될 수 있는 네오디움(Nd) 계열의 금속 또는 네오디움(Nd) 계열의 금속을 포함하는 합금인 것일 수 있다. 또한, 제1 코팅층(120)은, 적층물을 형성하는 단계(S130)가 종료되기 전까지 자성을 상실하지 않기 위하여, 적층물을 형성하는 단계(S130)에서의 공정온도보다 높은 퀴리온도를 갖는 제1 물질로 마련된다.In the step (S100) of forming the
그리고, 이송기판(110)에 형성된 제1 코팅층(120)을 가열하여, 제1 코팅층(120)의 자성을 약화시킨다(S101). 이와 같이 제1 코팅층(120)의 자성을 약화시키면, 기판어셈블리(100)를 생성하는 단계(S120)에서, 이송기판(110) 위에 연성기판(130)을 정렬할 시에, 연성기판(130)이 평평한 상태가 되도록 용이하게 조절할 수 있다.Then, the
연성기판(130)의 배면에 제2 코팅층(140)을 형성하는 단계(S110)에서, 연성기판(130)은 필름 형태의 플라스틱 또는 금속으로 마련된다. 이와 같이 마련된 연 성기판(130)의 배면에, 도 4b에 도시된 바와 같이, 강자성의 제2 물질을 코팅하여 제2 코팅층(140)을 형성한다. 이때, 제2 물질은 외부 전기장 또는 외부 자기장의 인가여부에 따라 자성의 보유여부가 결정될 수 있고, 외부 전기장 또는 외부 자기장에 의해 발생된 자성이 외부 전기장 또는 외부 자기장을 제거한 후에도 일정 시간동안 유지되는 강자성을 가진다. 이러한 제2 물질은 박막 형태로 연성기판(130)에 코팅될 수 있는 전이금속(transition metal) 또는 전이금속을 포함하는 합금인 것일 수 있다. 또한, 제2 코팅층(140)은 제1 코팅층(120)과 마찬가지로, 적층물을 형성하는 단계(S130)가 종료되기 전까지 자성을 상실하지 않기 위하여, 적층물을 형성하는 단계(S130)에서의 공정온도보다 높은 퀴리온도를 갖는 제2 물질로 마련될 수 있다.In the step (S110) of forming the
기판어셈블리(100)를 생성하는 단계(S120)에서, 연성기판(130)은 제1 코팅층(120)과 제2 코팅층(140)을 사이에 두고 이송기판(110) 위에 평평하게 펼쳐지도록 정렬된다(S121). 이때, 1차 가열단계(S101)에 의해 제1 코팅층(120)의 자성이 약화되어, 제1 코팅층(120)과 제2 코팅층(140) 사이의 자기력이 약화된 상태이므로, 연성기판(130)을 이송기판(110) 위에 평평한 상태로 정렬시키는 공정은 용이하게 수행될 수 있다. In the step of generating the substrate assembly 100 (S120), the
다음, 제1 코팅층(120)과 제2 코팅층(140)을 사이에 두고 마주보도록 정렬된 이송기판(110)과 연성기판(130)은 전기력이 존재하는 전기장(electric field) 내에 위치되도록 하여, 이송기판(110)과 연성기판(130)을 합착(S122)함으로써, 기판어셈블리(100)를 생성(S120)한다. 이때, 전기장은 제1 코팅층(120)의 자성과 동일한 방 향을 갖도록 형성하여, 제1 코팅층(120)과 제2 코팅층(140) 동일한 방향의 자성을 갖도록 한다. 즉, 전기장 내에 위치한 제1 코팅층(120)과 제2 코팅층(140)은 전기력에 의해 각각의 자성이 강해지게 되고, 이에 제1 코팅층(120)과 제2 코팅층(140) 사이의 자기력이 강해지게 되어, 제1 코팅층(120)과 제2 코팅층(140)이 합착된다. 이러한 제1 코팅층(120)과 제2 코팅층(140)의 합착에 의해, 이송기판(110)과 연성기판(130)이 합착된다. 그러므로, 제1 코팅층(120)과 제2 코팅층(140) 사이의 자기력에 의해, 이송기판(110), 제1 코팅층(120), 제2 코팅층(140) 및 연성기판(130)이 합착된 구조의 기판어셈블리(100)가 생성된다.Next, the
적층물을 형성하는 단계(S130)에서, 적층물은 박막 트랜지스터, 라인, 전극, 블랙매트릭스, 컬러필터 등의 표시패널을 구성하는 요소를 의미한다. 이때, 기판어셈블리(100)를 이용하여 금속층 또는 반도체층을 증착하는 공정, 열처리 공정, 증착된 금속층 또는 반도체층을 패턴화하는 공정, 진공 공정 등에 의해, 연성기판(130) 위에 적층물이 형성된다. In the forming of the stack (S130), the stack refers to elements constituting a display panel such as a thin film transistor, a line, an electrode, a black matrix, and a color filter. In this case, a laminate is formed on the
적층물이 형성된 기판어셈블리(100)에서 이송기판(110)을 제거하는 단계(S140)에서, 기판어셈블리(100)는 가열되어, 제1 코팅층(120)과 제2 코팅층(140) 각각의 자성을 약화시킨다(S141). 이때, 제1 코팅층(120)과 제2 코팅층(140) 사이의 자기력이 약화됨에 따라, 제1 코팅층(120)과 제2 코팅층(140)이 서로를 끌어당기는 인력이 약해지게 된다. 이와 같이 약해진 제1 코팅층(120)과 제2 코팅층(140) 사이의 자기력을 이용하여, 제1 코팅층(120)과 제2 코팅층(140)을 서로 분리(S142)함으로써, 기판어셈블리(100)에서 이송기판(110)을 제거한다. In step S140, in which the
한편, 본 발명의 실시예에 따르면, 연성기판(130)이 이송기판(110) 위에 정렬되기 전에 제1 코팅층(120) 각각의 자성을 약화시키기 위한 가열단계(S101)와, 제1 코팅층(120)과 제2 코팅층(140)을 분리하기 전에 제1 코팅층(120)과 제2 코팅층(140) 각각의 자성을 약화시키기 위한 가열단계(S141)을 제외하면, 이송기판(110)은 많은 양의 스트레스(stress)를 받지 않게 된다. 이에 따라, 기판어셈블리(100)에서 제거된 이송기판(110)은 손상도가 높지 않게 되어, 복수 횟수로 재사용이 가능해진다. 그러므로, 기판어셈블리(100)에서 제거된 이송기판(110) 중 재사용이 가능한 것으로 판단되는 이송기판(110)은 재사용된다(S150). 즉, 재사용되는 이송기판(110)은 도 4a와 도시된 바와 동일한 구조를 가지고, 기판어셈블리(100)에서 제거되기 위하여 제1 코팅층(120)의 자성도 약화시킨 상태이므로, 기판어셈블리(100)를 생성하는 단계(S120)로 투입된다. On the other hand, according to an embodiment of the present invention, the heating step (S101) and the
이상에서, 제1 코팅층(120)과 제2 코팅층(140)은 이송기판(110)과 연성기판(130)에 각각 코팅되는 것으로 설명하였다. 그러나, 연성기판(130)의 정렬이 용이하게 되고, 이송기판(110)과 연성기판(130)의 합착이 견고하게 유지되도록 하며, 기판어셈블리(100)에서 이송기판(110)의 제거가 용이해지도록, 제1 코팅층(120)과 제2 코팅층(140)은 패턴화될 수 있다.In the above, the
도 5a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송기판 위에 형성되는 제1 코팅층의 패턴을 나타낸 평면도이고, 도 5b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 연성기판 위에 형성되는 제2 코팅층의 패턴을 나타낸 평면도이다.5A is a plan view showing a pattern of a first coating layer formed on a transfer substrate according to another embodiment of the present invention, and FIG. 5B is a plan view showing a pattern of a second coating layer formed on a flexible substrate according to another embodiment of the present invention. to be.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 도 5a에 도시된 바와 같이, 제1 코팅 층(120)은 제1 물질이 제1 방향으로 배열되는 패턴을 갖도록 형성된다. 즉, 이송기판(110)의 일면에 제1 코팅층(120)을 형성하는 단계(S100)에서, 이송기판(110)의 일면에 제1 물질을 코팅한 후, 제1 방향의 패턴을 갖도록 제1 물질을 패턴화하여 제1 코팅층(120)을 형성한다. According to another embodiment of the present invention, as shown in FIG. 5A, the
그리고, 제2 코팅층(140)은 도 5b에 도시된 바와 같이, 제2 물질이 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 배열되는 패턴을 갖도록 형성된다. 즉, 연성기판(130)의 배면에 제2 코팅층(140)을 형성하는 단계(S110)에서, 연성기판(130)의 배면에 제2 물질을 코팅한 후, 제2 방향의 패턴을 갖도록 제2 물질을 패턴화하여 제2 코팅층(140)을 형성한다.The
그러나, 도 5a 및 도 5b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 제1 코팅층(120)과 제2 코팅층(140)의 패턴을 예시적으로 도시한 것이며, 연성기판(130)의 정렬이 용이하게 되고, 이송기판(110)과 연성기판(130)의 합착이 견고하게 유지되도록 하며, 기판어셈블리(100)에서 이송기판(110)의 제거가 용이하게 될 수 있는 패턴이라면 어느 것이든 본 발명의 다른 실시예에 적용될 수 있다.However, FIGS. 5A and 5B exemplarily illustrate patterns of the
이상과 같이, 본 발명의 실시예에 따른 기판어셈블리(100)는 점착층의 점착력 대신, 제1 코팅층(120)과 제2 코팅층(140) 사이의 자기력을 이용하여 이송기판(110)과 연성기판(130)을 합착함으로서, 이송기판(110)과 연성기판(130)의 합착 및 분리가 용이해짐에 따라 이송기판(110)에 가해지는 스트레스를 줄여 이송기판(110)의 재사용 횟수가 증가되므로, 제조비용을 감소시킬 수 있게 된다.As described above, the
그리고, 제1 코팅층(120)과 제2 코팅층(140) 사이의 자기력을 약화시킨 상태 에서 연성기판(130)을 이송기판(110) 위에 평평하게 펼쳐지도록 정렬시키고, 전기력을 인가하여 제1 코팅층(120)과 제2 코팅층(140) 사이의 자기력을 강화시켜 이송기판(110)과 연성기판(130)의 합착을 견고히 함으로써, 기판어셈블리(100)의 형태가 변형되는 것을 방지할 수 있고, 기판어셈블리(100)의 연성기판(130)이 평평한 상태를 유지할 수 있게 되므로, 표시패널의 적층물을 형성하는 공정에 대한 신뢰도가 높아지게 되어, 제조수율이 향상될 수 있다. In addition, the
이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiment and the accompanying drawings, and various substitutions, modifications, and changes may be made without departing from the technical spirit of the present invention.
도 1은 종래기술에 따른 기판어셈블리를 나타낸 단면도이다. 1 is a cross-sectional view showing a substrate assembly according to the prior art.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판어셈블리를 나타낸 단면도이다. 2 is a cross-sectional view illustrating a substrate assembly according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 3은 도 2에 도시된 기판어셈블리를 이용한 연성 표시장치의 제조방법을 나타낸 순서도이다.3 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a flexible display device using the substrate assembly shown in FIG. 2.
도 4a 내지 도 4e는 도 3에 도시된 연성 표시장치의 제조방법을 개략적으로 나타낸 단면도이다.4A through 4E are cross-sectional views schematically illustrating a method of manufacturing the flexible display device illustrated in FIG. 3.
도 5a는 본 발명의 실시예에 따른 이송기판 위에 형성되는 제1 코팅층의 패턴을 나타낸 평면도이다.Figure 5a is a plan view showing a pattern of the first coating layer formed on the transfer substrate according to an embodiment of the present invention.
도 5b는 본 발명의 실시예에 따른 연성기판 위에 형성되는 제2 코팅층의 패턴을 나타낸 평면도이다.5B is a plan view illustrating a pattern of a second coating layer formed on a flexible substrate according to an exemplary embodiment of the present invention.
<도면의 주요부분에 대한 식별번호 설명><Description of identification numbers for the main parts of the drawings>
100: 기판어셈블리 110: 이송기판100: substrate assembly 110: transfer substrate
120: 제1 코팅층 130: 연성기판120: first coating layer 130: flexible substrate
140: 제2 코팅층 200: 표시패널의 적층물140: second coating layer 200: laminate of display panel
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