KR101458472B1 - Substrate attaching system - Google Patents

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Abstract

얇은 공정기판을 사용하더라도 공정기판의 운송과정에서 파손을 최소화할 수 있는 방법 및 시스템의 개발이 필요하다. 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 기판합착시스템은, 공정기판의 이송시에 공정기판의 파손방지를 위하여 공정기판과 운송용 기판을 합착하여 합착기판을 형성하는 기판합착시스템에 있어서, 외부로부터 공정기판 및 운송용 기판이 반입되어 적재되는 공정기판 투입유닛과, 진공 배기상태에서 공정기판과 운송용 기판을 서로 합착시키는 합착유닛 및 공정기판 투입유닛으로부터 공정기판 및 운송용 기판을 반출하여 합착유닛에 반입하는 이송유닛을 포함한다.It is necessary to develop a method and a system capable of minimizing damage during transportation of a process substrate even if a thin process substrate is used. According to an aspect of the present invention, there is provided a substrate adhering system for adhering a process substrate and a transport substrate together so as to prevent a damage to the process substrate during transport of the process substrate, A process unit substrate loading unit in which a substrate and a transporting substrate are carried and loaded, a bonding unit for attaching the process substrate and the transporting substrate together in a vacuum exhaust state, and a process unit for transporting the process substrate and the transporting substrate from the process substrate loading unit to the bonding unit Unit.

Figure R1020130157145
Figure R1020130157145

Description

기판합착시스템 {SUBSTRATE ATTACHING SYSTEM}[0001] SUBSTRATE ATTACHING SYSTEM [0002]

본 발명은 기판합착시스템에 관한 것으로서, 보다 자세하게는 공정기판과 운송용 기판의 합착시스템에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate cementing system, and more particularly, to a cementing system of a process substrate and a transportation substrate.

최근 LCD, OLED 등을 채용한 디스플레이 장치의 두께에 대한 슬림(slim)화가 요구되고 있다. 디스플레이 장치의 슬림화를 위해서는 컬러필터(CF) 기판, TFT 기판, OLED 기판 자체의 두께를 얇게 할 필요가 있다.Recently, there has been a demand for slimness of the thickness of a display device employing an LCD, an OLED, or the like. In order to make the display device slimmer, it is necessary to reduce the thickness of the color filter (CF) substrate, the TFT substrate, and the OLED substrate itself.

현재는 이러한 공정기판 자체의 유리기판 부분을 식각 공정을 통해서 소정 두께 만큼 제거하고 있다. 그러나, 이러한 식각 공정은 비용이 많이 소요되는 공정이어서 비용상승의 원인이 되고 있다(한국특허공개번호 10-2005-0076108).At present, the glass substrate portion of the process substrate itself is removed by a predetermined thickness through an etching process. However, such an etching process is a costly process and causes a rise in cost (Korean Patent Publication No. 10-2005-0076108).

반면, 처음부터 두께가 얇은 공정기판을 사용하게 되면 제조 및 운송과정에서 쉽게 파손되는 문제가 있다On the other hand, the use of a thin process substrate from the beginning has the problem of being easily damaged during manufacture and transportation

한국특허공개번호 10-2005-0076108Korean Patent Publication No. 10-2005-0076108

얇은 공정기판을 사용하더라도 공정기판의 운송과정에서 파손을 최소화할 수 있는 방법 및 시스템의 개발이 필요하다. It is necessary to develop a method and a system capable of minimizing damage during transportation of a process substrate even if a thin process substrate is used.

본 발명의 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자가 명확하게 이해할 수 있을 것이다.The technical problems of the present invention are not limited to the above-mentioned technical problems, and other technical problems which are not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 기판합착시스템은, 공정기판의 이송시에 상기 공정기판의 파손방지를 위하여 상기 공정기판과 운송용 기판을 합착하여 합착기판을 형성하는 기판합착시스템에 있어서,외부로부터 상기 공정기판 및 상기 운송용 기판이 반입되어 적재되는 공정기판 투입유닛; 진공 배기상태에서 상기 공정기판과 상기 운송용 기판을 접착재료 사용 없이 직접적으로 접하도록 서로 합착시키는 합착유닛; 상기 공정기판 투입유닛으로부터 상기 공정기판 및 상기 운송용 기판을 반출하여 상기 합착유닛에 반입하는 이송유닛; 상기 공정기판이 상기 합착유닛에 반입되기 이전에 상기 공정기판을 반전시킬 수 있도록 마련된 반전유닛; 및 상기 합착기판이 다른 기판과 결합되고 상기 운송용 기판을 상기 공정기판으로부터 분리하는 분리유닛;을 포함하며, 상기 합착유닛은 개별적으로 제어 가능한 복수개의 합착력 인가수단을 구비하여 기판의 위치별로 합착력을 상이하게 조절될 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a substrate adhesion system for bonding a process substrate and a transport substrate together to form a bonded substrate, in order to prevent breakage of the process substrate during transportation of the process substrate, A process substrate loading unit in which the process substrate and the transportation substrate are loaded and loaded; A bonding unit for bonding the process substrate and the transport substrate to each other so as to directly contact with each other without using an adhesive material in a vacuum exhaust state; A transfer unit for transferring the process substrate and the transfer substrate from the process substrate input unit to the bonding unit; An inversion unit arranged to invert the process substrate before the process substrate is brought into the cementing unit; And a separation unit for separating the transfer substrate from the process substrate, wherein the adhesion substrate is coupled to another substrate and the transfer substrate is separated from the process substrate, wherein the adhesion unit includes a plurality of individually controllable application force applying means, Can be adjusted differently.

또한, 상기 이송유닛은 제1이송유닛과 제2이송유닛을 포함하며, 상기 제1이송유닛은 상기 공정기판 투입유닛으로부터 상기 공정기판을 반출하여 상기 반전유닛에 전달하거나 상기 운송용 기판을 상기 공정기판 투입유닛으로부터 상기 제2이송유닛에 전달하며, 상기 제2이송유닛은 반전된 상기 공정기판을 상기 반전유닛으로부터 상기 합착유닛으로 전달하거나 상기 제1이송유닛으로부터 전달받은 상기 운송용 기판을 상기 합착유닛으로 반입할 수 있다. The transfer unit may include a first transfer unit and a second transfer unit. The first transfer unit transfers the process substrate from the process substrate input unit to the inverting unit, or transfers the transfer substrate to the process substrate And the second transfer unit transfers the inverted process substrate from the inverting unit to the bonding unit or transfers the transfer substrate from the first transfer unit to the bonding unit You can import it.

또한, 상기 합착유닛에서 형성된 상기 합착기판의 합착상태를 검사하기 위한 검사유닛을 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include an inspection unit for inspecting a state of the adhesion of the adhesion substrate formed in the adhesion unit.

또한, 상기 공정기판은 OLED 기판, 컬러필터(CF) 기판, TFT 기판 중에서 어느 하나일 수 있다. In addition, the process substrate may be any one of an OLED substrate, a color filter (CF) substrate, and a TFT substrate.

또한, 상기 공정기판 투입유닛은 반입된 상기 공정기판을 소정의 크기로 절단하는 절단유닛을 더 포함할 수 있다.In addition, the process substrate loading unit may further include a cutting unit for cutting the loaded process substrate to a predetermined size.

상기 공정기판 투입유닛은 상기 절단유닛에서 절단된 상기 공정기판을 세정하는 세정유닛을 더 포함할 수 있다.The process substrate input unit may further include a cleaning unit that cleans the process substrate cut at the cutting unit.

본 발명의 구성에 의하여 얇은 공정기판을 사용하더라도 공정기판의 운송과정에서 파손을 최소화할 수 있다. According to the structure of the present invention, even if a thin process substrate is used, breakage in the process of transporting the process substrate can be minimized.

본 발명의 기술적 효과는 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical effects of the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other technical effects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판합착과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판합착장치의 블록도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판합착방법에 대한 순서도이다. FIG. 1 is a view for explaining a substrate bonding process according to an embodiment of the present invention.
2 is a block diagram of a substrate laminating apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a flow chart of a method of substrate bonding according to an embodiment of the present invention.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 실시예는 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 위하여 과장되게 표현된 부분이 있을 수 있으며, 도면상에서 동일 부호로 표시된 요소는 동일 요소를 의미한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, it should be understood that the present invention is not limited to the disclosed embodiments, but may be implemented in various forms, and the present embodiments are not intended to be exhaustive or to limit the scope of the invention to those skilled in the art. It is provided to let you know completely. The shape and the like of the elements in the drawings may be exaggerated for clarity, and the same reference numerals denote the same elements in the drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판합착과정을 설명하기 위한 도면이다. FIG. 1 is a view for explaining a substrate bonding process according to an embodiment of the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 공정기판(S1)은 운송용 기판(S2)와 합착되어 합착기판(S3)을 형성한다. 공정기판(S1)은 완제품의 구성요소인 반면, 운송용 기판(S2)은 완제품 제조 과정에서만 사용되는 임시 부재이며 완제품을 구성하지 않는다.As shown in FIG. 1, the process substrate S1 is bonded to the transport substrate S2 to form a bonded substrate S3. The process substrate S1 is a component of the finished product, while the transport substrate S2 is a temporary member used only in the final product manufacturing process and does not constitute the finished product.

공정기판(S1)은 OLED 기판, LCD 디스플레이 장치의 컬러필터 기판 또는 TFT 기판일 수 있다. 최근 디스플레이 장치의 슬림(slim)화 요구가 커짐에 따라 컬러필터 기판 또는 TFT 기판의 두께를 보다 얇게 하기 위한 연구가 진행되고 있다. 그러나, 문제는 컬러필터 기판 또는 TFT 기판의 두께가 얇아짐에 따라 완제품 제조 과정이 더 까다로와진다는 점이다. 기판의 두께가 너무 얇아서 이송과정이나 합착과정에서 기판의 파손 또는 변형이 발생하고 있다.The process substrate S1 may be an OLED substrate, a color filter substrate of an LCD display device, or a TFT substrate. In recent years, as the demand for sliming display devices has increased, studies have been made to reduce the thickness of color filter substrates or TFT substrates. However, the problem is that as the thickness of the color filter substrate or the TFT substrate becomes thinner, the manufacturing process of the finished product becomes more difficult. The thickness of the substrate is too small to cause breakage or deformation of the substrate during the transfer process or the cementation process.

이러한 문제를 해결하기 위하여 제품제조 과정에서 공정기판(S1)에 덧대어 사용하고 제조완료 이후에는 제거할 수 있는 운송용 기판(S2)을 사용하게 되었다. 공정기판(S1)은 OLED 기판, 컬러필터(CF) 기판 또는 TFT 기판에 국한되는 것은 아니며, 얇은 두께의 기판으로서 이송과정에서 파손 위험이 있는 다양한 종류의 기판일 수 있다. In order to solve this problem, a transport substrate S2, which can be removed from the process substrate S1 after the manufacturing process, is used in the manufacturing process of the product. The process substrate S1 is not limited to the OLED substrate, the color filter (CF) substrate, or the TFT substrate, but may be a thin substrate having various types of substrates which may be damaged during transportation.

공정기판(S1)이 컬러필터(CF) 기판 또는 TFT 기판인 경우에 공정기판(S1)은 0.2~0.5밀리미터일 수 있다. 컬러필터(CF) 기판은 유리기판의 표면에 컬러필터 패턴이 형성된 기판일 수 있으며, TFT(Thin Film Transistor) 기판은 유리기판의 표면에 TFT 어레이 패턴이 형성된 기판일 수 있다.When the process substrate S1 is a color filter (CF) substrate or a TFT substrate, the process substrate S1 may be 0.2 to 0.5 millimeter. The color filter (CF) substrate may be a substrate having a color filter pattern formed on a surface of a glass substrate, and a TFT (Thin Film Transistor) substrate may be a substrate having a TFT array pattern formed on a surface of a glass substrate.

이러한 두께의 기판은 이송과정 및 제조과정에서 파손위험이 커진다. 공정기판(S1)에 임시로 덧대어지는 운송용 기판(S2)은 대략 0.5~0.7밀리미터 또는 그 이상일 수 있다. Substrates of this thickness have a greater risk of breakage during transport and fabrication. The transport substrate S2 temporarily bonded to the process substrate S1 may be approximately 0.5 to 0.7 millimeters or more.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판합착장치의 블록도이다. 2 is a block diagram of a substrate laminating apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2에서 보듯이, 본 기판합착장치(100)는 공정기판 투입유닛(110), 공정기판 합착유닛(120) 및 검사유닛(130)을 포함한다.As shown in FIG. 2, the substrate laminating apparatus 100 includes a process substrate input unit 110, a process substrate fixation unit 120, and an inspection unit 130.

공정기판 투입유닛(110)은 제1로더(111), 절단유닛(112), 세정유닛(113), 제1언로더(114), 제2언로더(115)를 포함한다.The process substrate input unit 110 includes a first loader 111, a cutting unit 112, a cleaning unit 113, a first unloader 114, and a second unloader 115.

제1로더(111)와 관련, 외부로부터 투입되는 공정기판(S1)이 제1로더(111)에 반입된다.The process substrate S1 that is input from the outside in relation to the first loader 111 is carried into the first loader 111. [

절단유닛(112)과 관련, 제1로더(111)에 반입된 공정기판(S1)이 절단유닛(112)으로 반입되고, 적절한 크기로 절단된다. 반입된 공정기판(S1)이 적절한 크기의 기판인 경우에는 절단유닛(112)이 불필요하다.The process substrate S1 brought into the first loader 111 with respect to the cutting unit 112 is carried into the cutting unit 112 and cut to an appropriate size. The cutting unit 112 is unnecessary if the loaded process substrate S1 is an appropriate size substrate.

세정유닛(113)과 관련, 절단유닛(112)에 의하여 절단된 공정기판(S1)이 세정유닛(113)에 반입되어 세정공정이 수행된다. 필요에 따라, 세정유닛(113)도 생략될 수 있다.The process substrate S1 cut by the cutting unit 112 in relation to the cleaning unit 113 is carried into the cleaning unit 113 and the cleaning process is performed. If necessary, the cleaning unit 113 may also be omitted.

제1언로더(114)와 관련, 세정유닛(113)에서 공정기판(S1)의 세정이 완료되면 세정유닛(113)에서 제1언로더(114)로 공정기판(S1)이 반출된다. When the process substrate S1 is cleaned in the cleaning unit 113 with respect to the first unloader 114, the process substrate S1 is carried out from the cleaning unit 113 to the first unloader 114. [

제2언로더(115)와 관련, 운송용 기판(S2)이 외부로부터 공정기판 투입유닛(110)에 반입되는 과정에서 제2언로더(115)에 운송용 기판(S2)이 반입 및 적재된다. The transporting board S2 is brought in and loaded into the second unloader 115 in the process of bringing the transporting board S2 into the process board loading unit 110 from the outside in relation to the second unloader 115. [

공정기판 합착유닛(120)은 제1이송유닛(121), 반전유닛(122), 제2이송유닛(123), 합착유닛(124), 제3언로더(125)를 포함한다. The process substrate bonding unit 120 includes a first transfer unit 121, an inversion unit 122, a second transfer unit 123, a bonding unit 124, and a third unloader 125.

제1이송유닛(121)은 제1언로더(114)에 적재된 공정기판(S1)을 반출하여 반전유닛(122)으로 이송한다. 제1이송유닛(121)은 로봇암으로 구성될 수 있다.The first transfer unit 121 takes out the process substrate S 1 loaded on the first unloader 114 and transfers it to the inversion unit 122. The first transfer unit 121 may be configured as a robot arm.

반전유닛(122)은 제1이송유닛(121)로부터 공정기판(S1)을 공급받은 다음에 공정기판(S1)을 뒤집는다. 공정기판(S1)의 일면에 OLED패턴, 컬러필터(CF) 패턴 또는 TFT패턴이 형성된다. 따라서, 그러한 패턴이 형성된 면이 운송용 기판(S2)을 마주 보는 방향으로 공정기판(S1)이 합착유닛(124)에 반입되면 공정기판(S1)을 반전시켜야 한다. 패턴이 형성된 면의 반대면이 운송용 기판(S2)을 마주 보도록 합착유닛(124)에 반입되는 경우에는 반전유닛(122)이 불필요할 수도 있으며, 공정기판(S1)은 반전유닛(122)을 건너뛰어 합착유닛(124)로 바로 반입될 수 있다. The inversion unit 122 receives the process substrate S1 from the first transfer unit 121 and then inverts the process substrate S1. An OLED pattern, a color filter (CF) pattern or a TFT pattern is formed on one surface of the process substrate S1. Therefore, when the process substrate S1 is brought into the lid unit 124 in the direction in which the patterned surface is facing the transport substrate S2, the process substrate S1 must be reversed. The reversing unit 122 may be unnecessary when the opposite surface of the patterned surface is brought into the cementing unit 124 so as to face the transporting substrate S2, It can be carried directly into the fastening unit 124. [

제2이송유닛(123)은 반전유닛(122)에 반입된 공정기판(S1) 또는 운송용 기판(S2)을 합착유닛(124)으로 반입하고, 합착된 합착기판(S3)을 제3언로더(125)로 반출한다.The second transfer unit 123 transfers the process substrate S1 or the transport substrate S2 brought into the inverting unit 122 to the bonding unit 124 and transfers the bonded bonding substrate S3 to the third unloader 125).

합착유닛(124)와 관련, 제2이송유닛(123)이 공정기판(S1)과 운송용 기판(S2)을 합착유닛(124)로 반입한다. 합착유닛(124)은 진공챔버, 진공배기유닛, 기판 정렬유닛을 포함한다. 공정기판(S1)과 운송용 기판(S2)을 진공챔버 내부로 반입 및 기판정렬을 수행하고 진공배기유닛에 의하여 진공챔버 내부가 진공배기된다. 그리고, 공정기판(S1)과 운송용 기판(S2)을 진공배기 상태에서 서로 접근시켜서 합착력을 인가하면 별도 접착재료의 사용 없이도 서로 합착상태를 형성하게 된다. 이에 따라, 합착기판(S3)이 형성된다. 합착유닛은 기판의 위치별로 합착력을 상이하게 조절할 수 있다. 즉, 기판에 대하여 합착력을 인가함에 있어서 합착력 인가수단이 복수개로 형성되며 합착력 인가수단의 합착력은 개별적으로 제어될 수 있다. 이에 따라, 기판의 위치별로 합착력이 상이하게 조절될 수 있는 것이다. The second transfer unit 123 brings the process substrate S1 and the transport substrate S2 into the cementing unit 124 in association with the cementing unit 124. [ The adhesion unit 124 includes a vacuum chamber, a vacuum exhaust unit, and a substrate alignment unit. The process substrate S1 and the transport substrate S2 are brought into the vacuum chamber and substrate alignment is performed, and the inside of the vacuum chamber is evacuated by the vacuum evacuation unit. When the process substrate S1 and the transport substrate S2 are brought close to each other in a vacuum exhaust state and an assemble force is applied, a bonded state is formed without using another adhesive material. Thus, the adhesion substrate S3 is formed. The cementing unit can adjust the joining force differently according to the position of the substrate. That is, a plurality of combining force applying means are formed in applying the combining force to the substrate, and the combining force of the combining force applying means can be individually controlled. Accordingly, the combined force can be adjusted differently according to the position of the substrate.

제2이송유닛(123)은 진공챔버 내부의 합착기판(S3)을 제3언로더(125)로 반출한다. The second transfer unit 123 takes out the bonded substrate S3 in the vacuum chamber to the third unloader 125.

마지막으로 제3언로더(125)에 반출된 합착기판(S3)은 합착상태를 검사하기 위하여 검사유닛(130)으로 이송된다. 합착상태가 불량인 경우에는 이후 패턴형성과정에서 기판정렬과정에서 오차가 커질 수 있으며, 형성되는 패턴상태에 불량이 발생할 가능성이 커진다. 이후 공정에서 합착기판(S3)이 다른 기판과 결합되어 전체로서 소정의 강성이 확보되면 별도의 탈착기를 이용하여 운송용 기판(S2)을 공정기판(S1)으로부터 분리하게 된다.Finally, the bonded substrate S3 carried to the third unloader 125 is transferred to the inspection unit 130 to check the adhesion state. In the case where the adhesion state is poor, errors in the substrate alignment process may increase in the pattern formation process thereafter, and there is a high possibility that a defective pattern state is formed. In the subsequent process, when the bonded substrate S3 is bonded to the other substrate to secure a predetermined rigidity as a whole, the transport substrate S2 is separated from the process substrate S1 using a separate desiccator.

이하에서는, 본 발명의 실시예에 따른 기판합착방법을 설명한다. Hereinafter, a method of attaching a substrate according to an embodiment of the present invention will be described.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판합착방법에 대한 순서도이다. 일 실시례로서 각 단계를 순서를 정하여 나열하였으나, 청구항에서 명시적으로 각 단계 상호간의 순서가 한정되어 있지 않으면 아래에서 설명하는 순서와 달리 실시될 수 있다.3 is a flow chart of a method of substrate bonding according to an embodiment of the present invention. As an embodiment, each step is listed in order, but it can be performed differently from the procedure described below unless the order of each step is explicitly stated in the claims.

먼저, 공정기판(S1)이 공정기판 투입유닛(110)으로 반입된다(S01). 이어서, 공정기판(S1)은 소정의 크기로 절단된다(S02). 그리고, 세정유닛(113)으로 이송되어 세정작업이 수행된다(S03). 세정된 공정기판(S1)은 제1언로더(114)로 이송된다(S04).First, the process substrate S1 is transferred to the process substrate input unit 110 (S01). Subsequently, the process substrate S1 is cut to a predetermined size (S02). Then, the wafer W is transferred to the cleaning unit 113 to perform a cleaning operation (S03). The cleaned process substrate S1 is transferred to the first unloader 114 (S04).

한편, 운송용 기판(S2)은 공정기판 투입유닛(110)으로 반입되어 제2언로더(115)로 이송된다(S05). Meanwhile, the transport substrate S2 is carried into the process substrate input unit 110 and transferred to the second unloader 115 (S05).

다음으로, 제1이송유닛(121)이 제1언로더(114)의 공정기판(S1)을 반전유닛(122)으로 이송하여 공정기판(S1)을 반전시킨다(S06).Next, the first transfer unit 121 transfers the process substrate S1 of the first unloader 114 to the inversion unit 122 to invert the process substrate S1 (S06).

다음으로, 제2이송유닛(123)이 반전된 공정기판(S1)을 합착유닛(124)으로 반입한다(S07). Next, the second transfer unit 123 transfers the inverted process substrate S1 to the cementing unit 124 (S07).

다음으로, 제1이송유닛(121)이 운송용 기판(S2)을 제2이송유닛(123)으로 전달하고, 제2이송유닛(123)이 운송용 기판(S2)을 합착유닛(124) 내부로 반입한다(S08). Next, the first transfer unit 121 transfers the transfer substrate S2 to the second transfer unit 123, and the second transfer unit 123 transfers the transfer substrate S2 to the inside of the cement unit 124 (S08).

다른 실시예로서, S08단계가 S06 및 S07 단계보다 먼저 수행될 수도 있다.As another example, step S08 may be performed prior to steps S06 and S07.

다음으로, 합착유닛(124)에 반입된 공정기판(S1)과 운송용 기판(S2)을 서로 합착하여 합착기판(S3)을 형성하는 단계가 수행될 수 있다(S09).Next, a step of attaching the process substrate S1 and the transport substrate S2 brought into the lid unit 124 to each other to form a lid substrate S3 may be performed (S09).

다음으로, 합착기판(S3)을 제3언로더(125)로 반출하는 단계가 수행될 수 있다.(S10)Next, a step of taking out the adhesion substrate S3 to the third unloader 125 may be performed. (S10)

다음으로, 제3언로더(125)로 반출된 합착기판(S3)을 검사유닛(130)으로 이송하여 합착상태를 검사하는 단계가 수행될 수 있다(S11).Next, a step of transferring the bonded substrate S3 carried out by the third unloader 125 to the inspection unit 130 and inspecting the adhesion state may be performed (S11).

앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 일 실시예는, 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.One embodiment of the invention described above and shown in the drawings should not be construed as limiting the technical idea of the present invention. The scope of protection of the present invention is limited only by the matters described in the claims, and those skilled in the art will be able to modify the technical idea of the present invention in various forms. Accordingly, such improvements and modifications will fall within the scope of the present invention as long as they are obvious to those skilled in the art.

Claims (6)

공정기판의 이송시에 상기 공정기판의 파손방지를 위하여 상기 공정기판과 운송용 기판을 합착하여 합착기판을 형성하는 기판합착시스템에 있어서,
외부로부터 상기 공정기판 및 상기 운송용 기판이 반입되어 적재되는 공정기판 투입유닛;
진공 배기상태에서 상기 공정기판과 상기 운송용 기판을 접착재료 사용 없이 직접적으로 접하도록 서로 합착시키는 합착유닛;
상기 공정기판 투입유닛으로부터 상기 공정기판 및 상기 운송용 기판을 반출하여 상기 합착유닛에 반입하는 이송유닛;
상기 공정기판이 상기 합착유닛에 반입되기 이전에 상기 공정기판을 반전시킬 수 있도록 마련된 반전유닛; 및
상기 합착기판이 다른 기판과 결합되고 상기 운송용 기판을 상기 공정기판으로부터 분리하는 분리유닛;을 포함하며,
상기 합착유닛은 개별적으로 제어 가능한 복수개의 합착력 인가수단을 구비하여 기판의 위치별로 합착력을 상이하게 조절될 수 있고,
상기 이송유닛은 제 1이송유닛과 제 2이송유닛을 포함하며,
상기 제 1이송유닛은 상기 공정기판 투입유닛으로부터 상기 공정기판을 반출하여 상기 반전유닛에 전달하거나 상기 운송용 기판을 상기 공정기판 투입유닛으로부터 상기 제 2이송유닛에 전달하며,
상기 제 2이송유닛은 반전된 상기 공정기판을 상기 반전유닛으로부터 상기 합착유닛으로 전달하거나 상기 제 1이송유닛으로부터 전달받은 상기 운송용 기판을 상기 합착유닛으로 반입하는 것을 특징으로 하는 기판합착시스템.
A substrate adhesion system for bonding a process substrate and a transport substrate together to form a bond substrate for preventing breakage of the process substrate during transfer of the process substrate,
A process substrate loading unit in which the process substrate and the transportation substrate are carried and loaded from the outside;
A bonding unit for bonding the process substrate and the transport substrate to each other so as to directly contact with each other without using an adhesive material in a vacuum exhaust state;
A transfer unit for transferring the process substrate and the transfer substrate from the process substrate input unit to the bonding unit;
An inversion unit arranged to invert the process substrate before the process substrate is brought into the cementing unit; And
And a separating unit that couples the adhesion substrate to another substrate and separates the transport substrate from the process substrate,
The joining unit may include a plurality of joining force applying means that can be controlled individually, so that the joining force can be adjusted differently for each position of the substrate,
Wherein the transfer unit includes a first transfer unit and a second transfer unit,
Wherein the first transfer unit transfers the process substrate from the process substrate input unit to the inverting unit or transfers the transfer substrate from the process substrate input unit to the second transfer unit,
Wherein the second transfer unit transfers the inverted process substrate from the inverting unit to the cementing unit or transfers the transfer substrate transferred from the first transfer unit to the cementing unit.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 합착유닛에서 형성된 상기 합착기판의 합착상태를 검사하기 위한 검사유닛을 더 포함하는 기판합착시스템.
The method according to claim 1,
And an inspection unit for inspecting a state of adhesion of the adhesion substrate formed in the adhesion unit.
제1항에 있어서,
상기 공정기판은 OLED 기판, 컬러필터(CF) 기판, TFT 기판 중에서 어느 하나인 것을 특징으로 하는 기판합착시스템.
The method according to claim 1,
Wherein the process substrate is any one of an OLED substrate, a color filter (CF) substrate, and a TFT substrate.
제1항에 있어서,
상기 공정기판 투입유닛은 반입된 상기 공정기판을 소정의 크기로 절단하는 절단유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판합착시스템.
The method according to claim 1,
Wherein the process substrate inserting unit further comprises a cutting unit for cutting the process substrate into a predetermined size.
제5항에 있어서,
상기 공정기판 투입유닛은 상기 절단유닛에서 절단된 상기 공정기판을 세정하는 세정유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판합착시스템.6. The method of claim 5,
Wherein the process substrate input unit further comprises a cleaning unit for cleaning the process substrate cut at the cutting unit.
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