KR20110053459A - Electroconductive particles and anisotropic electroconductive material using the same - Google Patents

Electroconductive particles and anisotropic electroconductive material using the same Download PDF

Info

Publication number
KR20110053459A
KR20110053459A KR1020117006494A KR20117006494A KR20110053459A KR 20110053459 A KR20110053459 A KR 20110053459A KR 1020117006494 A KR1020117006494 A KR 1020117006494A KR 20117006494 A KR20117006494 A KR 20117006494A KR 20110053459 A KR20110053459 A KR 20110053459A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
particles
particle
substrate
mass
fine particles
Prior art date
Application number
KR1020117006494A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101368836B1 (en
Inventor
요시쿠니 사사키
카즈아키 마츠모토
준코 기타
하야토 이케다
Original Assignee
니폰 쇼쿠바이 컴파니 리미티드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 니폰 쇼쿠바이 컴파니 리미티드 filed Critical 니폰 쇼쿠바이 컴파니 리미티드
Publication of KR20110053459A publication Critical patent/KR20110053459A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101368836B1 publication Critical patent/KR101368836B1/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/321Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by conductive adhesives
    • H05K3/323Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by conductive adhesives by applying an anisotropic conductive adhesive layer over an array of pads
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01BCABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B1/00Conductors or conductive bodies characterised by the conductive materials; Selection of materials as conductors
    • H01B1/20Conductive material dispersed in non-conductive organic material
    • H01B1/22Conductive material dispersed in non-conductive organic material the conductive material comprising metals or alloys
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/18Pretreatment of the material to be coated
    • C23C18/20Pretreatment of the material to be coated of organic surfaces, e.g. resins
    • C23C18/2006Pretreatment of the material to be coated of organic surfaces, e.g. resins by other methods than those of C23C18/22 - C23C18/30
    • C23C18/2046Pretreatment of the material to be coated of organic surfaces, e.g. resins by other methods than those of C23C18/22 - C23C18/30 by chemical pretreatment
    • C23C18/2073Multistep pretreatment
    • C23C18/2086Multistep pretreatment with use of organic or inorganic compounds other than metals, first
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01BCABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B5/00Non-insulated conductors or conductive bodies characterised by their form
    • H01B5/16Non-insulated conductors or conductive bodies characterised by their form comprising conductive material in insulating or poorly conductive material, e.g. conductive rubber
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01RELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R11/00Individual connecting elements providing two or more spaced connecting locations for conductive members which are, or may be, thereby interconnected, e.g. end pieces for wires or cables supported by the wire or cable and having means for facilitating electrical connection to some other wire, terminal, or conductive member, blocks of binding posts
    • H01R11/01Individual connecting elements providing two or more spaced connecting locations for conductive members which are, or may be, thereby interconnected, e.g. end pieces for wires or cables supported by the wire or cable and having means for facilitating electrical connection to some other wire, terminal, or conductive member, blocks of binding posts characterised by the form or arrangement of the conductive interconnection between the connecting locations
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01RELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R4/00Electrically-conductive connections between two or more conductive members in direct contact, i.e. touching one another; Means for effecting or maintaining such contact; Electrically-conductive connections having two or more spaced connecting locations for conductors and using contact members penetrating insulation
    • H01R4/04Electrically-conductive connections between two or more conductive members in direct contact, i.e. touching one another; Means for effecting or maintaining such contact; Electrically-conductive connections having two or more spaced connecting locations for conductors and using contact members penetrating insulation using electrically conductive adhesives
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/02Fillers; Particles; Fibers; Reinforcement materials
    • H05K2201/0203Fillers and particles
    • H05K2201/0206Materials
    • H05K2201/0221Insulating particles having an electrically conductive coating
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P20/00Technologies relating to chemical industry
    • Y02P20/50Improvements relating to the production of bulk chemicals
    • Y02P20/582Recycling of unreacted starting or intermediate materials

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Chemically Coating (AREA)
  • Non-Insulated Conductors (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

종래의 도전성 금속층 부여공정을 대폭 간략화할 수 있는 동시에, 기재입자의 표면에 균일하게 도전층을 피복할 수 있고, 기재입자와 도전성 금속층과의 밀착성이 뛰어나고, 도전성 금속층의 크랙 등의 결함이 매우 적은 도전성 미립자 및 이 도전성 미립자를 사용한 이방성 도전재료를 제공한다. X선 광전자 분광분석(ESCA)에 의해 측정되는 나트륨 흡착처리 후의 기재입자의 M/C(원자수비, M은 알칼리금속원소의 원자수와 질소원소의 원자수의 합계를 나타낸다.)가 0.5×10-2 이상이고, 소수화도 2%미만이며, 또한, 질량평균 입자경 1000㎛ 이하의 비닐계 중합체로 이루어지는 기재입자와, 기재입자의 표면을 피복하는 도전성 금속층을 가지는 도전성 미립자이고, 당해 도전성 미립자는 상기 기재입자의 표면에 무전해 도금법에 의해 도전성 금속층을 형성해서 수득되는 것이다.The conventional conductive metal layer applying process can be greatly simplified, the conductive layer can be uniformly coated on the surface of the substrate particles, the adhesion between the substrate particles and the conductive metal layer is excellent, and there are very few defects such as cracks in the conductive metal layer. Electroconductive fine particles and the anisotropic conductive material using these electroconductive fine particles are provided. M / C (atomic number ratio, M represents the sum of the atomic number of the alkali metal element and the atomic number of the nitrogen element) after the sodium adsorption treatment measured by X-ray photoelectron spectroscopy (ESCA) is 0.5 × 10. It is a conductive fine particle which has a substrate particle which consists of a vinyl polymer of more than -2 , hydrophobicity less than 2%, and a mass mean particle diameter of 1000 micrometers or less, and the conductive metal layer which coat | covers the surface of a substrate particle, The said electroconductive fine particle is the said It is obtained by forming a conductive metal layer on the surface of a substrate particle by an electroless plating method.

Description

도전성 미립자 및 그것을 사용한 이방성 도전재료{ELECTROCONDUCTIVE PARTICLES AND ANISOTROPIC ELECTROCONDUCTIVE MATERIAL USING THE SAME}ELECTROCONDUCTIVE PARTICLES AND ANISOTROPIC ELECTROCONDUCTIVE MATERIAL USING THE SAME

본 발명은 도전성 미립자 및 이 도전성 미립자를 사용한 이방성 도전재료에 관한 것이다. The present invention relates to conductive fine particles and an anisotropic conductive material using the conductive fine particles.

전자기기는 매년 소형화, 박형화와 함께 고기능화가 시도되고 있다. 예를 들면, 액정디스플레이 패널의 ITO 전극과 구동용 LSI의 접속, LSI칩과 회로기판과의 접속, 그리고 미세 패턴 전극 단자간의 접속 등 전자기기류의 미소 부위간의 전기적 접속을 위해서, 종래의 솔더(땜납)나 커넥터에 의한 접속에서, 도전성 미립자를 포함하는 이방성 도전재료를 사용한 전기적 접속의 적용이 확대되고 있다.Every year, electronic devices are being miniaturized and thinned and highly functionalized. For example, a conventional solder (solder) may be used for electrical connection between micro-sites of electronic equipment, such as the connection between the ITO electrode of the liquid crystal display panel and the driving LSI, the connection between the LSI chip and the circuit board, and the connection between the fine pattern electrode terminal. And the connection by the connector, the application of the electrical connection using the anisotropic conductive material containing electroconductive fine particles is expanded.

도전성 미립자는 이방성 도전재료의 주요한 구성재료로서 널리 사용되고 있고, 일반적으로는 바인더 수지 등에 혼합되고, 이방성 도전필름, 이방성 도전 페이스트, 도전성 접착제, 도전성 점착제 등의 형태로 가공되어 사용되고 있다.Electroconductive fine particles are widely used as a main constituent material of an anisotropic conductive material, and are generally mixed with binder resin etc., and processed into the form of an anisotropic conductive film, an anisotropic conductive paste, a conductive adhesive, and a conductive adhesive.

종래, 금, 은, 니켈 등의 금속입자가 도전성 미립자로서 사용되어 왔지만, 이들 금속입자는 비중이 크고, 형상도 일정하지 않기 때문에, 바인더 수지 중에 균일하게 분산하기 어려운 경우가 있어, 도전재료의 도전성에 불균일을 발생시키는 원인이 되고 있었다. Conventionally, although metal particles, such as gold, silver, and nickel, have been used as electroconductive fine particles, since these metal particles have a large specific gravity and are not uniform in shape, it may be difficult to disperse | distribute uniformly in binder resin, and electroconductivity of a conductive material It was the cause of causing nonuniformity.

또, 도전성 미립자로서는 입자경이 균일한 무기 미립자나 유기 수지 미립자를 기재입자로 하고, 이 기재입자의 표면을 무전해 도금법에 의해 니켈 등의 금속으로 피복한 도전성 미립자도 존재하고 있다(특허문헌 1∼4). Moreover, as electroconductive fine particles, the electroconductive microparticles | fine-particles which made inorganic fine particles and organic resin microparticles | fine-particles of uniform particle diameters as a base particle, and coat | covered the surface of this base particle with metals, such as nickel, by the electroless plating method exist (patent document 1- 4).

이들 도전성 미립자는 입자경이 균일하기 때문에 금속입자를 사용하는 경우와 같은 도전성의 문제는 발생하기 어렵지만, 기재입자로부터 도금층이 박리되거나, 도금크랙이 발생하기 쉽고, 기판이나 전극단자에 도전성 미립자를 압착하였을 때에, 도전성이 저하된다고 하는 문제가 있었다. Since these conductive fine particles have a uniform particle diameter, it is unlikely that problems of conductivity such as those of metal particles are used, but plating layers are peeled off from substrate particles or plating cracks are likely to occur, and conductive fine particles have been pressed onto substrates or electrode terminals. At the time, there existed a problem that electroconductivity fell.

일반적으로, 무전해 도금법에서는 기재입자와 도금층과의 밀착성을 향상시키기 위해서, 무전해 도금에 앞서, 기재입자의 탈지처리, 기재입자 표면에 미소한 요철을 형성하는 에칭처리, 기재입자 표면에 촉매를 담지시키는 촉매화 처리 등의 전처리공정을 실시하고 있다.In general, in the electroless plating method, in order to improve the adhesion between the substrate particles and the plating layer, prior to the electroless plating, degreasing treatment of the substrate particles, etching treatment to form minute irregularities on the surface of the substrate particles, and a catalyst on the surface of the substrate particles are performed. Pretreatment processes, such as catalyzed treatment, are carried out.

그렇지만, 상기 기재입자의 전처리로서의 탈지처리에서는 알칼리나 산을 사용하고, 또 에칭처리에서는 크롬산이나 황산 등의 산화제에 기재입자가 폭로되기 때문에, 이것에 의해 기재입자의 강도가 저하되어, 필요한 내압성능이 열화되어버린다. 또, 크롬을 포함하는 중금속 배수의 문제나, 기재입자 표면에 크롬성분이 잔존한다고 하는 문제가 있어, 환경에 대한 부하를 고려하면, 당해 프로세스의 개선이 요망되고 있었다. However, since the substrate particles are exposed to an oxidizing agent such as chromic acid or sulfuric acid in the degreasing treatment as the pretreatment of the substrate particles, and the etching treatment, the strength of the substrate particles is thereby lowered, and the required pressure resistance performance is achieved. This deteriorates. In addition, there is a problem of drainage of heavy metals containing chromium and a problem that chromium components remain on the surface of the substrate particles, and considering the load on the environment, improvement of the process has been desired.

도전성 금속층과 기재입자의 밀착성을 개선할 목적으로, 기재입자의 표면에 금속이온과의 결합능을 가지는 작용기를 함유하는 수지피복층을 형성하거나, 같은 목적으로, 기재입자의 중합 시에, 카르복시기 및 설폰기로부터 선택되는 적어도 1종류의 작용기를 가지는 분산안정제를 사용하거나, 혹은, 상기한 작용기를 가지는 중합성 단량체를 기재입자의 원료로 사용하는 기술도 제안되고 있다(특허문헌 5, 6).For the purpose of improving the adhesion between the conductive metal layer and the substrate particles, a resin coating layer containing a functional group having a binding ability with a metal ion is formed on the surface of the substrate particles, or for the same purpose, at the time of polymerization of the substrate particles, a carboxyl group and a sulfone group. The technique which uses the dispersion stabilizer which has at least 1 sort (s) of functional group chosen from, or uses the polymerizable monomer which has the said functional group as a raw material of a substrate particle is also proposed (patent document 5, 6).

상기 기술에 의해 수득되는 기재입자는 에칭처리를 실시하지 않아도 도금피막은 형성할 수 있지만, 기재입자와 금속층과의 밀착성의 점에서는 충분하다고 할 수 있는 것이 아니고, 도금피막의 크랙에 대해서도 완전하게 해소할 수 있는 것은 아니었다. Although the substrate particles obtained by the above technique can be formed without the etching treatment, the coating film can be formed, but it is not sufficient in terms of adhesion between the substrate particles and the metal layer, and the cracks of the plating film are completely eliminated. It wasn't possible.

또, 특허문헌 7에는 중합체 미립자의 표면에 도전성 금속층을 형성할 때에, 저온 플라즈마처리에 의해 중합체 미립자 표면에 퍼옥사이드기 및/또는 하이드록실기를 도입해서 선택적으로 친수화한 후, 도전성 금속의 피복층을 형성하는 방법이 개시되어 있다.Moreover, when forming a conductive metal layer on the surface of a polymer microparticle, Patent Document 7 discloses a coating layer of a conductive metal after introduction of a peroxide group and / or a hydroxyl group on the surface of the polymer microparticle by selective low temperature plasma treatment and selectively hydrophilized. A method of forming is disclosed.

일본국 특허공보 제H06-96771호Japanese Patent Publication No. H06-96771 일본 공개특허공보 제2000-243132호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2000-243132 일본 공개특허공보 제2003-64500호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2003-64500 일본 공개특허공보 제2003-68143호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2003-68143 일본 공개특허공보 제2003-208813호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2003-208813 일본 공개특허공보 제2005-325382호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2005-325382 일본 공개특허공보 제2007-184278호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2007-184278

특허문헌 7에 개시된 방법에 의하면, 도금처리 중의 기재입자의 응집을 어느 정도 방지할 수 있고, 기재입자의 응집에 유래하는 도금피막의 결함의 발생을 억제할 수 있다. 그렇지만, 중합체 미립자와 도전성 금속층의 밀착성 향상이라고 하는 점에서는, 입자표면에 도입되는 퍼옥사이드기 및/또는 하이드록실기 만의 효과로는 불충분하여, 추가로, 탈지처리나, 크롬산 등에 의해 에칭처리를 실시하고, 기재입자 표면에 앵커를 형성시킬 필요가 있었다.According to the method disclosed in Patent Document 7, the aggregation of the substrate particles in the plating treatment can be prevented to some extent, and the occurrence of defects in the plating film resulting from the aggregation of the substrate particles can be suppressed. However, in terms of improving the adhesion between the polymer fine particles and the conductive metal layer, the effect of only the peroxide group and / or the hydroxyl group introduced to the particle surface is insufficient, and further, the etching treatment is performed by degreasing treatment, chromic acid or the like. It was necessary to form an anchor on the substrate particle surface.

또, 최근의 전자기기의 급격한 진보에 따라, 이방성 도전재료 등의 도전재료에 있어서도 추가적인 신뢰성의 향상이 요구되고 있으며, 기재입자와 도전성 금속층 사이에서의 박리나 도금크랙에 기인하는 도통성 불량이나 도통 안정성 불량이 한층더 저감된 신뢰성이 높은 소재가 소망되고 있다. 전술한 바와 같이, 기재입자와 도전성 금속층의 밀착성을 향상시키는 기술은 여러 가지가 제안되고 있지만, 최근의 요구 레벨을 만족시키기 위해서는 거듭된 개선의 여지가 있었다.In addition, with recent rapid advances in electronic devices, further improvement in reliability is required in conductive materials such as anisotropic conductive materials, and poor conductivity or conduction caused by peeling or plating cracks between the substrate particles and the conductive metal layer. There is a desire for a highly reliable material having further reduced stability failures. As described above, various techniques for improving the adhesion between the substrate particles and the conductive metal layer have been proposed, but there has been room for further improvement in order to satisfy the recent demand level.

본 발명은 상술한 바와 같은 상황에 착안해서 이루어진 것으로, 종래의 도전성 금속층 부여공정을 대폭 간략화할 수 있는 동시에, 기재입자의 표면에 균일하게 도전층을 피복할 수 있고, 기재입자와 도전성 금속층의 밀착성이 뛰어나고, 도전성 금속층의 크랙 등의 결함이 매우 적은 도전성 미립자, 및, 이 도전성 미립자를 사용한 이방성 도전재료를 제공하는 것을 과제로 하였다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described situation, and it is possible to greatly simplify the conventional conductive metal layer applying process, and to uniformly coat the conductive layer on the surface of the substrate particles, and to adhere the adhesion between the substrate particles and the conductive metal layer. An object of the present invention is to provide conductive fine particles having very high defects and very few defects such as cracks in the conductive metal layer, and anisotropic conductive materials using the conductive fine particles.

본 발명의 도전성 미립자란 기재입자와, 기재입자의 표면을 피복하는 도전성 금속층을 가지는 도전성 미립자로서, 상기 기재입자가 질량평균 입자경 1000㎛ 이하의 비닐계 중합체로 이루어지는 기재입자이고, 하기 방법에 의해 기재입자를 나트륨 흡착처리한 후, X선 광전자 분광분석(ESCA)에 의해 측정되는 탄소의 원자수에 대한 알칼리금속 및 질소의 원자수의 합계량의 비M/C(원자수비)가 0.5 × 10-2 이상이며, 또한, 소수화도가 2% 미만인 것에 특징을 갖는다.The electroconductive fine particles of this invention are electroconductive fine particles which have a base particle and the electroconductive metal layer which coat | covers the surface of a base particle, The said base particle is a base particle which consists of a vinyl-type polymer with a mass mean particle diameter of 1000 micrometers or less, and is described by the following method After the particles were subjected to sodium adsorption, the ratio M / C (atomic ratio) of the total amount of the number of atoms of the alkali metal and the nitrogen to the number of atoms of carbon measured by X-ray photoelectron spectroscopy (ESCA) was 0.5 × 10 −2. The hydrophobicity is less than 2%.

[나트륨 흡착처리]Sodium adsorption treatment

물:메탄올이 질량비로 1:1의 혼합용액에, 농도가 0.1 질량%이 되도록 수산화 나트륨을 용해시킨 수용액 20질량부와, 입자 1질량부를 혼합하고, 이 현탁액을 25℃에서 1시간 교반한 후, 고액 분리하고, 용매 세정하고, 120℃에서 2시간 진공건조 한다. 20 mass parts of aqueous solution which melt | dissolved sodium hydroxide so that the density | concentration might be 0.1 mass%, and 1 mass part of particle | grains were mixed with the mixed solution of water: methanol in mass ratio 1: 1, and this suspension was stirred at 25 degreeC for 1 hour, , Solid-liquid separation, solvent washing and vacuum drying at 120 캜 for 2 hours.

본 발명의 도전성 미립자는 상기 범위의 알칼리 금속 함유량 및 소수화도를 나타내는 기재입자를 가지는 것으로, 당해 기재입자가 높은 친수성을 가지기 위해서, 기재입자와 그 표면을 피복하는 금속과의 밀착성이 뛰어나고, 또, 기재입자 상호간의 응집도 일어나기 어렵기 때문에, 도전성 금속층에 결함이 발생하기 어려운 것이다.The electroconductive fine particles of this invention have the base particle which shows the alkali metal content and hydrophobicity degree of the said range, In order to have the high hydrophilicity, the said base particle is excellent in adhesiveness of a base particle and the metal which coat | covers the surface, Since agglomeration between substrate particles is unlikely to occur, defects are less likely to occur in the conductive metal layer.

상기 기재입자는 나트륨 흡착처리 전의 M/C가 0.5×10-2 이상인 것이 바람직하다. 또 나트륨 흡착처리 전의 기재입자의 산가는 0.05 mgKOH/g 이상인 것도 바람직하다. 또, 상기 알칼리금속은 나트륨인 것이 바람직하다.It is preferable that the said base particle is 0.5x10 <-2> or more M / C before a sodium adsorption process. It is also preferable that the acid value of the substrate particles before the sodium adsorption treatment is 0.05 mgKOH / g or more. In addition, the alkali metal is preferably sodium.

상기 기재입자의 입자경의 변동계수는 15% 이하인 것이 바람직하고, 또 상기 기재입자는 표면에 카르복시기 및/또는 카르복시산염기(COOM, M은 알칼리금속 이온 또는 아민 양이온을 나타낸다)를 가지는 것인 것이 바람직하다.The coefficient of variation of the particle diameter of the substrate particles is preferably 15% or less, and the substrate particles preferably have a carboxyl group and / or carboxylate group (COOM, M represents an alkali metal ion or an amine cation) on the surface. .

본 발명의 도전성 미립자에는 그 표면의 적어도 일부에, 절연성 수지층을 가지는 것도 포함된다.The electroconductive fine particles of this invention also include what has an insulating resin layer in at least one part of the surface.

상기 도전성 미립자를 사용하여 이루어지는 이방성 도전재료는 본 발명의 추천되는 실시 형태이다.An anisotropic conductive material using the conductive fine particles is a preferred embodiment of the present invention.

본 발명에 의하면 탈지처리, 에칭처리라는 전처리공정을 실시하지 않아도, 기재입자와 도전성 금속층의 밀착성이 우수한 도전성 미립자가 수득되기 때문에, 종래의 도전성 금속부여공정을 대폭 간략화할 수 있고, 동시에, 기재입자와의 밀착성이 우수한 도전성 금속층을 기재입자의 표면에 균일하게 형성할 수 있다. 또, 본 발명의 도전성 미립자는 기재입자와 도전성 금속층과의 밀착성이 뛰어나는 것이므로, 도전성 금속층의 크랙이나 박리가 발생하기 어렵고, 그것을 사용한 이방성 도전재료는 장기에 걸쳐서 전극기판간의 전기적인 접속을 견지할 수 있는 신뢰성이 높은 것이다.According to the present invention, since conductive fine particles having excellent adhesion between the substrate particles and the conductive metal layer are obtained even without performing a pretreatment step of degreasing treatment and etching treatment, the conventional conductive metal applying step can be greatly simplified, and at the same time, the substrate particles. The electroconductive metal layer excellent in adhesiveness with can be formed uniformly on the surface of a substrate particle. In addition, since the conductive fine particles of the present invention have excellent adhesion between the substrate particles and the conductive metal layer, cracks or peeling of the conductive metal layer are less likely to occur, and the anisotropic conductive material using the same can maintain electrical connection between the electrode substrates over a long period of time. It is highly reliable.

도 1은 실시예 6에서 수득된 도전성 미립자의 SEM상이다.
도 2는 실시예 9에서 수득된 도전성 미립자의 SEM상이다.
도 3은 실시예 9에서 수득된 도전성 미립자의 FE-SEM상이다.
도 4는 실시예 9에서 수득된 도전성 미립자의 원소분석결과를 나타내는 그래프이다.
도 5는 실시예 9에서 수득된 도전성 미립자의 단면 FE-SEM상이다.
1 is an SEM image of the conductive fine particles obtained in Example 6. FIG.
2 is an SEM image of the conductive fine particles obtained in Example 9. FIG.
3 is an FE-SEM image of the conductive fine particles obtained in Example 9. FIG.
4 is a graph showing the results of elemental analysis of the conductive fine particles obtained in Example 9. FIG.
5 is a cross-sectional FE-SEM image of the conductive fine particles obtained in Example 9. FIG.

<도전성 미립자><Conductive Fine Particles>

본 발명의 도전성 미립자란 기재입자와, 기재입자의 표면을 피복하는 도전성 금속층을 가지는 도전성 미립자로서, 상기 기재입자가 질량평균 입자경 1000㎛ 이하의 비닐계 중합체로 이루어지는 기재입자이고, 기재입자를 나트륨 흡착처리한 후, X선 광전자 분광분석(ESCA)에 의해 측정되는 탄소의 원자수에 대한 알칼리금속 및 질소의 원자수의 비M/C(원자수비, M은 알칼리금속의 원자수와 질소의 원자수의 합계, C은 탄소의 원자수를 나타낸다)가 0.5×10- 2이상이며, 또한, 소수화도가 2%미만인 것에 특징을 가지는 것이다.The electroconductive fine particles of this invention are electroconductive fine particles which have a base particle and the electroconductive metal layer which coat | covers the surface of a base particle, The said base particle is a base particle which consists of a vinyl-type polymer with a mass mean particle diameter of 1000 micrometers or less, and adsorb | sucks a base particle with sodium After treatment, the ratio M / C of the number of atoms of the alkali metal and the nitrogen to the number of atoms of the carbon measured by X-ray photoelectron spectroscopy (ESCA) (atomic ratio, M is the number of atoms of the alkali metal and the number of nitrogen atoms) in total, C denotes the number of carbon atom) is 0.5 × 10 - not less than 2, and also, it has a feature that the hydrophobic degree is less than 2%.

본 발명자들은 기재입자 자체의 기계적 특성을 손상시키지 않고, 기재입자와 도전성 금속층과의 밀착성이 우수한 도전성 미립자를 제공하기 위해 예의 검토를 거듭한 결과, 기재입자의 표면이 특정한 산성 작용기에 의거하여 친수성을 나타내는 경우에, 기재입자와 도전성 금속층과의 밀착성이 양호해지고, 또, 도전성 금속층 피복전후에 있어서도 입자의 기계적 특성이 손상되지 않는 것을 발견하고, 본 발명을 완성하였다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM The present inventors earnestly examined in order to provide the electroconductive fine particle which is excellent in the adhesiveness of a base material particle and a conductive metal layer, without damaging the mechanical property of a base particle itself, As a result, the surface of a base particle is based on a specific acidic functional group. When it showed, the adhesiveness of a base material particle and a conductive metal layer became favorable, and it discovered that the mechanical property of a particle | grain is not impaired also before and after coating | covering a conductive metal layer, and completed this invention.

본 발명에 따른 기재입자는 하기 방법에 의해 나트륨 흡착처리를 실시한 후, X선 광전자 분광분석(ESCA)에 의해 측정되는 탄소원소의 존재량에 대한 알칼리금속원소 및 질소원소의 존재량의 비M/C가 0.5×10-2 이상이다. 후술하는 바와 같이, 본 발명에 따른 기재입자는 그 표면에, 산성 작용기의 하나로서 카르복시기를 가지는 것이고, 이것에 의해 기재입자 표면이 친수화되어, 기재입자와 도전성 금속층과의 밀착성이 양호한 것이 되고 있다. 그렇지만, 본 발명자들의 검토에 의해, 그 상세한 이유는 불분명하지만, 알칼리 금속원소가 기재입자에 흡착하고 있는 경우, 혹은 기재입자 표면에 존재하는 카르복시기와 알칼리 금속이온이나 아민양이온이 염을 형성하고 있는 경우에는, 기재입자와 도전성 금속층과의 밀착성이 한층더 양호하게 되는 것을 발견해냈다. M/C는 1.0×10-2 이상인 것이 바람직하고, 더 바람직하게는1.5×10-2 이상이다. 한편, M/C의 상한은 특별하게 한정되지 않지만, 바람직하게는 30×10-2 이하이고, 더 바람직하게는 20×10-2 이하, 더욱 바람직하게는 13×10-2 이하, 한층더 바람직하게는 10×10-2 이하, 가장 바람직하게는 8×10-2 이하이다.The base particles according to the present invention are subjected to sodium adsorption treatment by the following method, and then the ratio of the abundance of alkali metal elements and nitrogen elements to the abundance of carbon elements measured by X-ray photoelectron spectroscopy (ESCA) M / C is 0.5 × 10 −2 or more. As will be described later, the substrate particles according to the present invention have a carboxyl group as one of the acidic functional groups on the surface thereof, whereby the surface of the substrate particles is hydrophilized, and the adhesion between the substrate particles and the conductive metal layer is good. . However, according to the present inventors, the detailed reason is not clear, but when the alkali metal element is adsorbed to the substrate particles, or when the carboxyl group and alkali metal ions or amine cations present on the surface of the substrate particles form a salt. It has been found that the adhesion between the substrate particles and the conductive metal layer is further improved. It is preferable that M / C is 1.0 * 10 <-2> or more, More preferably, it is 1.5 * 10 <-2> or more. On the other hand, although the upper limit of M / C is not specifically limited, Preferably it is 30 * 10 <-2> or less, More preferably, it is 20 * 10 <-2> or less, More preferably, it is 13 * 10 <-2> or less, More preferably Preferably it is 10 * 10 <-2> or less, Most preferably, it is 8 * 10 <-2> or less.

[나트륨 흡착처리]Sodium adsorption treatment

물:메탄올의 비율이 질량비로 1:1의 혼합용액에, 농도가 0.1질량%가 되도록 수산화 나트륨을 용해시킨 수용액 20질량부와, 입자 1질량부를 혼합하고, 이 현탁액을, 25℃에서 1시간 교반한다. 단, 기재입자가 물에 젖기 어려운 경우에는, 미리 기재입자를 메탄올에 첨가한 후, 여기에 수산화 나트륨 수용액 및/또는 물을 첨가하고, 상기 현탁액과 동일한 조성이 되도록 조제한다. 20 mass parts of aqueous solution which melt | dissolved sodium hydroxide so that the density | concentration might be 0.1 mass%, and 1 mass part of particle | grains were mixed with the mixed solution of the water: methanol ratio of 1: 1 by mass ratio, and this suspension was mixed at 25 degreeC for 1 hour. Stir. However, when the substrate particles are hard to get wet with water, the substrate particles are added to methanol in advance, and then, an aqueous sodium hydroxide solution and / or water are added thereto to prepare the same composition as the suspension.

이어서, 현탁액을 고액분리하고, 이온 교환수 100질량부로 기재입자를 세정한 후, 추가로, 메탄올 33질량부로 세정하여, 기재입자를 세정한다. 세정 후, 수득된 기재입자를 120℃에서 2시간 진공건조한다. Subsequently, the suspension is subjected to solid-liquid separation, the substrate particles are washed with 100 parts by mass of ion-exchanged water, and then the substrate particles are washed with 33 parts by mass of methanol. After washing, the obtained substrate particles are vacuum dried at 120 캜 for 2 hours.

또, 상기 나트륨 흡착처리 전의 기재입자도 X선 광전자 분광분석(ESCA)에 의해 측정되는 M/C(원자수비)가 0.5×10-2 이상인 것이 바람직하다. 기재입자에 알칼리금속이 흡착하고 있는 형태나, 혹은, 기재입자 표면에 카르복시산의 알칼리금속염이나 아민염이 존재하고 있는 형태인 것이 바람직하다. 즉, 나트륨의 흡착처리의 유무에 관계없이, M/C가 상기 범위인 경우에는, 도전성 금속층의 밀착성(도금성)이 양호해진다. 따라서, 나트륨 흡착처리 전의 기재입자의 M/C의 바람직한 범위도, 나트륨 흡착처리 후의 기재입자 M/C와 동일한 범위이다. 또, M은, 측정된 기재입자 표면의 알칼리금속원자 및 질소원자의 존재량이고, C는 탄소원자의 존재량을 나타낸다. 또, 상기 질소원자는 아민염에 유래하는 성분이다. 또, 측정되는 알칼리금속에는 상기 나트륨 흡착처리에 사용할 수 있는 나트륨 이외에, 리튬, 칼륨, 루비듐 및 세슘 등도 포함되지만, 나트륨인 것이 바람직하다. Moreover, it is preferable that the substrate particle before the said sodium adsorption treatment also has M / C (atomic ratio) measured by X-ray photoelectron spectroscopy (ESCA) of 0.5x10 <-2> or more. It is preferable that it is the form in which the alkali metal adsorb | sucks to a substrate particle, or the form in which the alkali metal salt and amine salt of carboxylic acid exist in the surface of a substrate particle. That is, regardless of the presence or absence of sodium adsorption treatment, when M / C is in the above range, the adhesion (plating property) of the conductive metal layer is good. Therefore, the preferable range of M / C of the substrate particle before sodium adsorption treatment is also the same range as the substrate particle M / C after sodium adsorption treatment. In addition, M is the abundance of alkali metal atoms and nitrogen atoms on the measured substrate particle surface, and C represents the abundance of carbon atoms. The nitrogen atom is a component derived from an amine salt. The alkali metal to be measured includes lithium, potassium, rubidium, cesium and the like, in addition to sodium which can be used for the sodium adsorption treatment, but is preferably sodium.

또, 기재입자의 친수성의 정도는 소수화도나 후술하는 산가로 나타낼 수 있다. 본 발명에 따른 기재입자의 소수화도는 2% 미만인 것이 바람직하고, 더 바람직하게는1% 이하이고, 더욱 바람직하게는 0.5% 이하이고, 0%인 것이 가장 바람직하다. 소수화도는 아래와 같이 해서 산출할 수 있다.In addition, the degree of hydrophilicity of a substrate particle can be represented by the degree of hydrophobicity and the acid value mentioned later. The degree of hydrophobicity of the substrate particles according to the present invention is preferably less than 2%, more preferably 1% or less, still more preferably 0.5% or less, and most preferably 0%. The degree of hydrophobicity can be calculated as follows.

[소수화도][Hydrophobicity]

저부에 교반자를 둔 200cc의 유리 비이커에 이온 교환수 50cc를 투입하고, 수면에 입자 0.2g을 띄운 후, 교반자를 완만하게 회전시킨다. 그 후에 비이커 내의 수중에 뷰렛의 선단을 가라앉히고, 교반자를 완만하게 회전시키면서, 상기 입자첨가로부터 5분 후에, 뷰렛으로부터 메탄올을 서서히 도입한다. 수면의 입자의 전량이 완전하게 수중에 가라앉을 때까지 메탄올의 도입을 계속하고, 수중에 입자가 완전하게 가라앉았을 때의 메탄올의 도입량(cc)을 측정하고, 하기식에 의거해서 소수화도를 요구한다.50 cc of ion-exchanged water was put into a 200 cc glass beaker with a stirrer at the bottom, and 0.2 g of particles were placed on the water surface, and then the stirrer was slowly rotated. Thereafter, the tip of the burette is settled in the water in the beaker and methanol is slowly introduced from the burette 5 minutes after the addition of the particles while gently rotating the stirrer. The introduction of methanol was continued until the total amount of the particles in the water completely submerged in water, the amount of methanol introduced (cc) when the particles were completely submerged in water was measured, and the degree of hydrophobicity was required based on the following equation. do.

소수화도(%) = 메탄올 도입량(cc) × 100/{물의 량(cc) + 메탄올 도입량(cc)}Degree of Hydrophobicity (%) = Methanol Introduction (cc) × 100 / {Amount of Water (cc) + Methanol Introduction (cc)}

여기에서, 뷰렛으로부터 메탄올을 첨가하기 전에, 수면에 띄운 입자가 수중에 완전하게 가라앉은 경우에는 소수화도 0%으로 판정하였다.Here, before adding methanol from a burette, when the particle which floated on the surface completely submerged in water, it was determined as 0% of hydrophobicity.

본 발명의 도전성 미립자는 기재입자의 표면을 피복하는 도전성 금속층을 가지는 것이다. 상기 도전성 금속층을 구성하는 금속으로서는 특별하게 한정되지 않지만, 예를 들면 금, 은, 구리, 백금, 철, 납, 알루미늄, 크롬, 팔라듐, 니켈, 로듐, 루테늄, 안티몬, 비스머스, 게르마늄, 주석, 코발트, 인듐 및 니켈-인, 니켈-붕소 등의 금속이나 금속화합물, 및, 이것들의 합금 등을 들 수 있다. 이들 중에서도 니켈, 금, 은 및 구리가 도전성이 뛰어나고, 공업적으로도 저렴하기 때문에 바람직하다.The electroconductive fine particles of this invention have a conductive metal layer which coat | covers the surface of a substrate particle. Although it does not specifically limit as a metal which comprises the said conductive metal layer, For example, gold, silver, copper, platinum, iron, lead, aluminum, chromium, palladium, nickel, rhodium, ruthenium, antimony, bismuth, germanium, tin, And metals such as cobalt, indium and nickel-phosphorus, and nickel-boron, metal compounds, and alloys thereof. Among these, nickel, gold, silver, and copper are preferable because they are excellent in conductivity and inexpensive industrially.

상기 도전성 금속층의 두께는 10㎚∼500㎚인 것이 바람직하다. 더 바람직하게는 20㎚∼400㎚이고, 더욱 바람직하게는 50㎚∼300㎚이다. 도전성 금속층의 두께가 너무 얇은 경우에는, 도전성 미립자를 이방성 도전재료로 사용할 때에, 안정된 전기적 접속을 유지하기 어려워지는 경향이 있다. 한편, 도전성 금속층이 너무 두꺼운 경우에는, 도전성 미립자의 표면의 경도가 너무 높아져서, 회복율 등의 기재입자의 기계적 특성을 충분하게 살릴 수 없을 우려가 있다.It is preferable that the thickness of the said conductive metal layer is 10 nm-500 nm. More preferably, they are 20 nm-400 nm, More preferably, they are 50 nm-300 nm. When the thickness of the conductive metal layer is too thin, it is difficult to maintain stable electrical connection when the conductive fine particles are used as the anisotropic conductive material. On the other hand, when the conductive metal layer is too thick, the hardness of the surface of the conductive fine particles is too high, and there is a possibility that the mechanical properties of the substrate particles such as the recovery rate cannot be sufficiently utilized.

또, 도전성 금속층은 그 표면에 실질적인 크랙이나, 도전성 금속층이 형성되지 않는 면이 존재하지 않는 것인 것이 바람직하다. 여기에서, 「실질적인 크랙이나, 도전성 금속층이 형성되지 않는 면」이란, 전자현미경(배율 1000배)을 사용해서 임의의 10000개의 도전성 미립자의 표면을 관찰하였을 경우에, 도전성 금속층의 크랙, 및, 기재입자면의 노출이 실질적으로 육안으로 관찰되지 않는 것을 의미한다. 상세한 평가 방법은 후술한다. Moreover, it is preferable that a conductive crack does not exist in the surface, and the surface in which a conductive metal layer is not formed does not exist. Here, "a real crack and the surface in which a conductive metal layer is not formed" means the crack of a conductive metal layer, and a base material, when the surface of arbitrary 10000 electroconductive fine particles is observed using the electron microscope (1000 times magnification). It means that the exposure of the particle surface is substantially not observed visually. The detailed evaluation method is mentioned later.

본 발명의 도전성 미립자는 도전성 금속층의 표면에, 추가로 절연성 수지층을 가지는 것일 수 있다. 상기 절연성 수지층으로서는 도전성 미립자의 입자간에 있어서의 절연성을 확보할 수 있고, 일정한 압력 및/또는 가열에 의해 용이하게 그 절연성 수지층이 붕해 혹은 박리하는 것이라면 특별하게 한정되지 않는다. 예를 들면 후술하는 비닐계 중합체 미립자와 동일한 수지 이외에, 폴리에틸렌, 에틸렌-아세트산비닐 공중합체, 에틸렌-아크릴산에스테르 공중합체 등의 폴리올레핀류; 폴리메틸(메타)아크릴레이트, 폴리에틸(메타)아크릴레이트, 폴리부틸(메타)아크릴레이트 등의 (메타)아크릴레이트 중합체 및 공중합체; 폴리스티렌, 스티렌-아크릴산에스테르 공중합체, SB형 스티렌-부타디엔 블록공중합체, SBS형 스티렌-부타디엔 블록공중합체 및 이것들의 수소 첨가 화합물 등의 블록폴리머; 비닐계 중합체 및 공중합체 등의 열가소성수지나 특히 그 가교물; 에폭시수지, 페놀수지, 멜라민수지 등의 열경화성수지; 폴리비닐알코올, 폴리아크릴산, 폴리아크릴아미드, 폴리비닐피롤리돈, 폴리에틸렌옥시드, 메틸셀룰로오스 등의 수용성수지 및 이것들의 혼합물 등을 들 수 있다.The electroconductive fine particles of this invention may have an insulating resin layer further on the surface of a conductive metal layer. The insulating resin layer is not particularly limited as long as it can ensure insulation between particles of the conductive fine particles and easily disintegrate or peel off the insulating resin layer by a constant pressure and / or heating. For example, polyolefins, such as polyethylene, an ethylene-vinyl acetate copolymer, an ethylene-acrylic acid ester copolymer, in addition to resin same as the vinyl polymer microparticles | fine-particles mentioned later; (Meth) acrylate polymers and copolymers such as polymethyl (meth) acrylate, polyethyl (meth) acrylate and polybutyl (meth) acrylate; Block polymers such as polystyrene, styrene-acrylic acid ester copolymers, SB type styrene-butadiene block copolymers, SBS type styrene-butadiene block copolymers, and hydrogenated compounds thereof; Thermoplastic resins such as vinyl polymers and copolymers, and particularly crosslinked products thereof; Thermosetting resins such as epoxy resins, phenol resins and melamine resins; Water-soluble resins such as polyvinyl alcohol, polyacrylic acid, polyacrylamide, polyvinylpyrrolidone, polyethylene oxide, methyl cellulose, and mixtures thereof.

단, 비닐계 중합체 미립자에 비해서 절연성 수지층이 너무 딱딱한 경우에는, 절연성 수지층의 파괴보다도 먼저 기재입자 자체가 파괴될 우려가 있다. 따라서 절연성 수지층에는 미가교 또는 비교적 가교도가 낮은 수지를 사용하는 것이 바람직하다.However, when an insulating resin layer is too hard compared with vinyl polymer microparticles | fine-particles, there exists a possibility that the substrate particle itself may be destroyed before destruction of an insulating resin layer. Therefore, it is preferable to use uncrosslinked or relatively low crosslinking resin for the insulating resin layer.

상기 절연성 수지층은 단층일 수도, 복수의 층으로 이루어지는 것일 수도 있다. 예를 들면 단일 또는 복수의 피막상의 층이 형성될 수 있고, 또는, 절연성을 가지는 입상, 구상, 괴상, 인편상 기타의 형상의 입자를 도전성 미립자의 표면에 부착된 것, 추가로, 도전성 미립자의 표면을 화학변경하는 것에 의해 형성된 것일 수도 있고, 또 이것들이 조합된 것일 수도 있다.The insulating resin layer may be a single layer or may be composed of a plurality of layers. For example, a single or a plurality of encapsulated layers may be formed, or particles having insulating, granular, spherical, blocky, flaky or other shapes attached to the surface of the conductive fine particles, and further, It may be formed by chemically changing the surface, or may be a combination thereof.

상기 절연성 수지층의 두께는 0.01㎛∼1㎛인 것이 바람직하다. 더 바람직하게는 0.1㎛∼0.5㎛이다. 절연성 수지층의 두께가 너무 얇으면, 전기절연성이 불충분하게 되고, 한편, 너무 두꺼우면, 도통 특성이 저하될 우려가 있다.It is preferable that the thickness of the said insulating resin layer is 0.01 micrometer-1 micrometer. More preferably, they are 0.1 micrometer-0.5 micrometer. If the thickness of the insulating resin layer is too thin, electrical insulation will be insufficient. On the other hand, if the thickness of the insulating resin layer is too thick, the conduction characteristics may be lowered.

[기재입자][Subscriber]

다음에, 본 발명에 따른 기재입자에 대해서 설명한다.Next, the substrate particle which concerns on this invention is demonstrated.

본 발명에 따른 기재입자는 비닐계 중합체 미립자에, 불소가스와 산소원자를 포함하는 화합물의 가스와를 필수적으로 포함하는 혼합가스를 접촉시키는 처리를 실시하고, 비닐계 중합체 미립자의 표면이 친수화된 것인 것이 바람직하다. 상기 처리에 의해, 기재입자의 표면이 친수화되어, 특정한 산가를 가지는 것이 된다. 상기 처리에 대해서는, 나중에 상세하게 설명한다.The substrate particle according to the present invention is subjected to a treatment of contacting the vinyl polymer fine particles with a mixed gas comprising essentially a fluorine gas and a gas of a compound containing an oxygen atom, thereby making the surface of the vinyl polymer fine particles hydrophilic. It is preferable that it is. By the said process, the surface of a substrate particle becomes hydrophilic and it becomes what has a specific acid value. The processing will be described later in detail.

본 발명에서는 산가를 기초로 기재입자 표면의 산성 작용기량을 파악하고, 이것을 친수성의 정도의 지표로 사용할 수 있다. 기재입자의 산가는 0.05 mgKOH/g 이상인 것이 바람직하고, 더 바람직하게는 0.1 mgKOH/g 이상이고, 더욱 바람직하게는 1.0 mgKOH/g 이상이다. 산가가 너무 낮은 경우에는, 입자의 친수성이 불충분하게 되고, 무전해 도금처리 등으로 도전성 금속층을 피복할 때에, 수계매체로의 입자의 분산성이 저하하고, 또 피복한 도전성 금속층과 기재입자의 밀착성도 저하될 우려가 있다. 또, 후술하는 알칼리 세정을 실시하였을 경우에는, 기재입자에 생성한 카르복시기의 수소원자가 알칼리금속원자로 치환되어 있다. 따라서 알칼리 세정후의 친수화 미립자에서는 산가에 의해 친수성의 정도를 평가할 수 없다.In the present invention, the amount of acidic functional groups on the surface of the substrate particle is determined based on the acid value, and this can be used as an index of the degree of hydrophilicity. The acid value of the substrate particles is preferably 0.05 mgKOH / g or more, more preferably 0.1 mgKOH / g or more, and more preferably 1.0 mgKOH / g or more. If the acid value is too low, the hydrophilicity of the particles becomes insufficient, and when the conductive metal layer is coated by electroless plating or the like, the dispersibility of the particles in the aqueous medium decreases, and the adhesion between the coated conductive metal layer and the substrate particles is reduced. There is a possibility of deterioration. In addition, when alkali washing mentioned later is performed, the hydrogen atom of the carboxy group produced | generated on the substrate particle is substituted by the alkali metal atom. Therefore, in hydrophilic microparticles | fine-particles after alkali washing, the degree of hydrophilicity cannot be evaluated by acid value.

상기 산가는 KOH 중화량의 측정결과에서 산출되는 값이다. KOH 중화량의 측정 방법은 후술한다.The acid value is a value calculated from the measurement result of KOH neutralization amount. The measuring method of KOH neutralization amount is mentioned later.

본 발명에 따른 기재입자는 그 표면에 카르복시기를 가지는 것인 것이 바람직하다. 카르복시기의 존재에 의해, 기재입자 표면이 친수화되어, 기재입자와 도전성 금속층과의 밀착성이 향상한다. 기재입자의 표면에 있어서의 카르복시기의 존재의 유무는 X선 광전자 분석장치(ESCA) 등에 의해 확인할 수 있다.It is preferable that the substrate particle which concerns on this invention has a carboxy group on the surface. By the presence of a carboxyl group, the surface of a substrate particle becomes hydrophilic and the adhesiveness of a substrate particle and an electroconductive metal layer improves. The presence or absence of a carboxyl group on the surface of a substrate particle can be confirmed by an X-ray photoelectron analyzer (ESCA) etc.

또, 본 발명에 따른 기재입자는 그 표면에, 카르복시기에 부가해서 -C(F)=O를 가질수 있고, 또, 입자표면 또는 내부에, 이들 기에 부가하여, 불소성분으로서 탄화수소의 탄소에 공유결합하고 있는 불소성분(공유결합 불소라고도 한다)을 가질 수 있다. 공유결합 불소는 -C(F)=O 및/또는 카르복시기와 공존하는 것에 의해, 입자 상호간의 2차 응집을 억제하는 등의 효과를 가지기 위해서, 미량이라도 존재하고 있는 것이 바람직하다.Further, the substrate particles according to the present invention may have -C (F) = O on the surface thereof in addition to the carboxyl group, and covalently bonded to the carbon of the hydrocarbon as a fluorine component in addition to these groups on the surface or inside of the particle. It may have a fluorine component (also called covalent fluorine). Covalently bonded fluorine is coexisted with —C (F) ═O and / or a carboxyl group, and in order to have an effect of suppressing secondary aggregation between the particles, it is preferable that even a small amount is present.

또, 본 발명의 기재입자에는 불소성분으로 불화수소(HF)가 부착되어 있는 경우가 있다. 이 HF는 본 발명의 기재미립자를 취급하는데 있어서 유해가 될 우려가 있기 때문에, 그 부착량은 적을수록 바람직하다. HF가 전혀 부착되어 있지 않은 것이 더 바람직하다.Moreover, hydrogen fluoride (HF) may be affixed to the base particle of this invention as a fluorine component. Since this HF may be harmful in handling the substrate fine particles of the present invention, the smaller the adhesion amount, the more preferable. More preferably, no HF is attached.

이들 불소성분은 용출성 불소 함유량과 비용출성 불소 함유량에 의해 구별할 수 있다. 즉, 후술하는 용출시험에 있어서, 이온화해서 용매 중에 용출하는 불소를 용출성 불소라고 부르고, 그 함유량을 용출성 불소 함유량이라고 한다. 용출성 불소에는, 상기 부착(유리) 불화수소에 유래하는 불소와, -C(F)=O에 유래하는 불소가 포함된다. These fluorine components can be distinguished by the content of elutable fluorine and non-elutable fluorine. That is, in the elution test mentioned later, the fluorine which ionizes and elutes in a solvent is called elutable fluorine, and its content is called elutable fluorine content. The elutable fluorine includes fluorine derived from the adherent (free) hydrogen fluoride and fluorine derived from -C (F) = O.

한편, 용출시험에 있어서, 용출하지 않는 불소는 비용출성 불소이고, 그 함유량이 비용출성 불소 함유량이다. 비용출성 불소는 통상, 상기한 공유결합 불소에 해당하지만, 입자내에 도입되어 용출할 수 없는 유리 불소성분이 포함되는 경우도 있다. On the other hand, in the dissolution test, fluorine which does not elute is non-elutable fluorine, and its content is non-elutable fluorine content. The non-elutable fluorine generally corresponds to the above-mentioned covalent fluorine, but in some cases, a free fluorine component may be contained in the particles and cannot be eluted.

용출성 불소 함유량 및 비용출성 불소 함유량은 입자 1g당에 포함되는 불소원자환산의 함유량(㎎/g)으로 나타난다.Elutable fluorine content and non-elutable fluorine content are represented by content (mg / g) of fluorine atom conversion contained in 1 g of particles.

기재입자의 안전성이나 특성을 검토한 결과, 비용출성 불소는 어느정도 존재하고 있는 것이 바람직하다. 구체적으로는 0.1㎎/g∼50㎎/g의 범위라면, 상기한 2차응집을 억제하는 효과가 발현되기 때문에 바람직하다. 단, 너무 많으면 친수성이 불충분하게 되거나, 입자의 기계적 특성이 저하될 우려가 있다. 더 바람직한 비용출성 불소 함유량은 1㎎/g∼40㎎/g이고, 더욱 바람직하게는 2㎎/g∼20㎎/g이다.As a result of examining the safety and characteristics of the substrate particles, it is preferable that some of the non-releasing fluorine is present. Specifically, the range of 0.1 mg / g to 50 mg / g is preferable because the above-described effect of suppressing secondary aggregation is expressed. However, when too much, hydrophilicity may become inadequate or the mechanical properties of a particle may fall. More preferable non-releasing fluorine content is 1 mg / g-40 mg / g, More preferably, it is 2 mg / g-20 mg / g.

이에 대해서 용출성 불소는 기재입자를 취급하는데 있어서는 그 함유량이 적거나, 혹은 존재하지 않는 것이 바람직하고, 구체적으로는 1㎎/g 미만인 것이 바람직하다. 0.5㎎/g 이하인 것이 더 바람직하고, 0.2㎎/g 이하인 것이 더욱 바람직하고, 0.1㎎/g이하인 것이 더한층 바람직하고, 0.01㎎/g 이하가 특히 바람직하다.On the other hand, in the case of handling the substrate particles, the content of the elutable fluorine is preferably small or does not exist, and more preferably, less than 1 mg / g. It is more preferable that it is 0.5 mg / g or less, It is further more preferable that it is 0.2 mg / g or less, It is still more preferable that it is 0.1 mg / g or less, It is especially preferable that it is 0.01 mg / g or less.

또, ESCA에 의해 측정되는 기재입자 표면에 존재하는 탄소원자에 대한 불소원자의 량 F/C(원자수비)는 0.5×10-2∼30×10-2인 것이 바람직하다. 더 바람직하게는 1×10-2∼20×10-2이다.Moreover, it is preferable that the amount F / C (atomic ratio) of the fluorine atom with respect to the carbon atom which exists in the surface of the substrate particle measured by ESCA is 0.5 * 10 <-2> -30 * 10 <-2> . More preferably, they are 1 * 10 <-2> -20 * 10 <-2> .

부가하여, 본 발명에 따른 기재입자는 알칼리 용액 중에 있어서의 분산성이 뛰어나는 것인 것이 바람직하다. 특히, 알칼리 용액 중에 있어서의 기재입자의 분산상태와, 분산제를 포함하는 이온 교환수 중에 있어서의 기재입자의 분산상태가 동등한 것이 바람직하다. 이렇게, 기재입자가 알칼리 용액 중에 있어서의 분산성이 뛰어난 경우, 후술하는 도금 처리공정에 있어서 기재입자의 응집이 발생하기 어려워 도금성이 양호하게 되기 때문이다.In addition, it is preferable that the substrate particle which concerns on this invention is excellent in the dispersibility in alkaline solution. In particular, it is preferable that the dispersion state of the substrate particles in the alkaline solution and the dispersion state of the substrate particles in ion-exchanged water containing a dispersant are equal. Thus, when a substrate particle is excellent in the dispersibility in alkaline solution, it is because agglomeration of a substrate particle is hard to generate | occur | produce in a plating process mentioned later, and plating property becomes favorable.

예를 들면, 기재입자의 알칼리 용액 중에 있어서의 분산성은 하기 식에 의해 산출되는 α(알칼리 용액 중에 있어서의 분산성)의 값이 3% 이하인 것이 바람직하다. 더 바람직하게는 2%이하이다.For example, it is preferable that the value of (alpha) (dispersibility in alkali solution) computed by the following formula for dispersibility in the alkali solution of a substrate particle is 3% or less. More preferably 2% or less.

α(%) = (|Da-Db|/Db) ×100α (%) = (| Da-Db | / Db) × 100

여기에서, Da는 알칼리 용액 중에 있어서의 기재입자의 평균 분산입경을 나타내고, 유는 분산제를 포함하는 이온 교환수 중에 있어서의 기재입자의 평균 분산입경을 나타낸다. 상기 Da는 0.1질량% 수산화나트륨 수용액 20부(물:메탄올이 질량비로 1:1의 혼합용액)에 기재입자 1부를 첨가하고, 25℃에서 20분간 교반한 후, Coulter Multisizer III형(벡크만코울터사, 측정범위 1㎛∼10㎛, 동시 통과 보정 있음)을 사용해서 측정한 체적기준의 평균 입자경이다.Here, Da represents the average dispersed particle diameter of the substrate particle in alkaline solution, and oil represents the average dispersed particle diameter of the substrate particle in ion-exchange water containing a dispersing agent. Da was added 1 part of substrate particles to 20 parts of 0.1 mass% sodium hydroxide aqueous solution (a mixed solution of water: methanol in a mass ratio of 1: 1), and stirred at 25 ° C. for 20 minutes, followed by Coulter Multisizer III (Beckman Coal). Average particle diameter based on the volume measurement measured using a micrometer, a measurement range of 1 µm to 10 µm, and simultaneous passage correction.

한편, 상기 Db는 1질량% 하이테놀(등록상표) N-08(다이이치공업제약주식회사) 수용액 4000부에 기재입자 1부를 첨가하고, 10분간 초음파처리해서 기재입자를 수용액 중에 분산시킨 후, 파워하이스코프(HiROX사, KH-2700)로 500배로 확대하고, 응집입자가 없는 것을 확인한 후, Coulter Multisizer III형(측정범위 1㎛∼10㎛, 동시통과 보정 있음)을 사용해서 측정한 체적기준의 평균경을 Db(평균 1차 입자경)라고 하였다. 즉, 유는 기재입자가 1차 입자로 분산한 상태를 근사하고 있다.On the other hand, Db was added 1 part of the substrate particles to 4000 parts of 1 mass% Hythenol® N-08 (Daiichi Kogyo Pharmaceutical Co., Ltd.) aqueous solution, sonicated for 10 minutes to disperse the substrate particles in the aqueous solution, and then After confirming that there were no coagulated particles by 500 times magnification with a Hiscope (KH-2700, HiROX Co., Ltd.), the volume standard measured using Coulter Multisizer Type III (measurement range 1 μm to 10 μm, with simultaneous passage correction) was used. The average diameter was called Db (average primary particle diameter). That is, the oil approximates the state in which the substrate particles are dispersed in the primary particles.

본 발명에 사용할 수 있는 기재입자의 형상은 특별히 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 구상, 회전타원체상, 컨페티(confeti)상, 박판상, 바늘상, 고치상의 어느 것일 수 있고, 입자표면의 형상도 평활상, 주름(pleat)상, 다공상의 어느 것일 수 있다. 그 중에서도 도전성 미립자로서 사용할 때에, 입자가 전극간에서 변형하였을 때에 양호한 면접촉 상태를 형성하는 점에서 구상이 바람직하다.The shape of the substrate particle which can be used for this invention is not specifically limited. For example, it may be a spherical shape, a spheroidal shape, a confeti shape, a thin plate shape, a needle shape, or a cocoon shape, and the shape of the particle surface may be any of a smooth shape, a pleat shape, and a porous shape. Especially, when used as electroconductive fine particles, spherical shape is preferable at the point which forms favorable surface contact state, when particle | grains deform | transform between electrodes.

기재입자의 크기는 질량평균 입자경으로 1㎜(1000㎛)이하로 한다. 1㎜를 넘는 기재입자는 도전성 입자로 가공하였을 때의 용도가 한정되고, 공업상의 이용분야가 적기 때문이다. 질량평균 입자경은 0.1㎛∼1000㎛이 바람직하고, 더 바람직하게는 0.5㎛∼500㎛이고, 더욱 바람직하게는 1㎛∼100㎛이다. 기재입자의 질량평균 입자경이 너무 작을 경우에는, 무전해 도금 등의 도전성 금속층을 피복할 때에 입자가 응집하기 쉬워, 균일한 도전성 금속층을 형성하기 어려운 경우가 있다. 또, 질량평균 입자경은 종래 공지의 입도분포 측정법에 있어서, 체적평균 입자경으로 산출되는 값을 의미하고, 구체적으로는 코울터 원리를 사용한 정밀입도분포 측정장치(예를 들면 상품명 「Coulter Multisizer III형」, 벡크만코울터주식회사)에 의해 측정되는 값으로 한다.The size of the substrate particle is 1 mm (1000 µm) or less in terms of the mass average particle diameter. It is because the use of the substrate particle | grains larger than 1 mm when processed with electroconductive particle is limited, and there are few industrial fields of use. As for a mass average particle diameter, 0.1 micrometer-1000 micrometers are preferable, More preferably, they are 0.5 micrometer-500 micrometers, More preferably, they are 1 micrometer-100 micrometers. When the mass average particle diameter of a substrate particle is too small, when coating a conductive metal layer, such as electroless plating, particle | grains tend to aggregate and it may be difficult to form a uniform conductive metal layer. In addition, a mass mean particle diameter means the value computed by volume average particle diameter in the conventionally well-known particle size distribution measuring method, and the precision particle size distribution measuring apparatus using the Coulter principle specifically (for example, a brand name "Coulter Multisizer III type"). , Beckman Coulter, Inc.).

또, 본 발명에 사용할 수 있는 기재입자의 입자경에 있어서의 변동계수(CV값)는15% 이하가 바람직하고, 10% 이하가 더 바람직하고, 8% 이하가 더욱 바람직하다. CV값이 작을수록, 입도분포가 작기 때문이다. 또, CV값은 코울터 원리를 사용한 정밀입도분포 측정장치에 의해 측정되는 기재입자의 평균 입자경과, 기재입자의 입자경의 표준편차를 하기식에 적용시켜서 산출되는 값이다.The coefficient of variation (CV value) in the particle size of the substrate particles which can be used in the present invention is preferably 15% or less, more preferably 10% or less, and even more preferably 8% or less. This is because the smaller the CV value, the smaller the particle size distribution. In addition, CV value is a value computed by applying the average particle diameter of the substrate particle and the standard deviation of the particle diameter of a substrate particle measured by the precision particle size distribution measuring apparatus using a Coulter principle to a following formula.

기재입자의 입자경의 변동계수(%) = 100 × 입자경의 표준편차/평균 입자경Coefficient of variation of particle size of substrate particles (%) = 100 × standard deviation / average particle size of particle size

후술하는 친수화 처리전의 비닐계 중합체 미립자의 질량평균 입자경이나 변동계수의 바람직범위도 기재입자와 동일범위이다.The preferable range of the mass mean particle diameter and the coefficient of variation of the vinyl polymer microparticles before hydrophilization treatment mentioned later is also the same range as the substrate particle.

후술하는 바와 같이, 기재입자는 바람직하게는 비닐계 중합체 미립자를 친수화 처리해서 수득되는 것이다. 기재입자와 비닐계 중합체 미립자의 분산성, 기계적 특성, 색상, 입도분포 특성(CV값)은 동일 정도인 것이 바람직하고, 친수화 처리 전후에서 변화되지 않는 것이 바람직하다. 또, 분산성이란 입자가 고착되거나 융착되거나 하는 경우가 없는 성질이다.As described later, the substrate particles are preferably obtained by hydrophilizing the vinyl polymer fine particles. It is preferable that the dispersibility, mechanical properties, color, and particle size distribution characteristics (CV value) of the substrate particles and the vinyl polymer microparticles are about the same, and do not change before and after the hydrophilization treatment. In addition, dispersibility is a property which particle | grains do not adhere or fuse.

기계적 특성은 예를 들면, 압축 탄성율, 압축 파괴 하중, 회복율 등으로 평가할 수 있다. 본 발명의 압축 탄성율은 입자에 부하를 가하여 10% 변형시켰을 때의 탄성율(N/㎟: MPa)이고, 압축 파괴 하중은 압축을 강화해서 파괴에 이르렀을 때의 하중(mN)이고, 회복율은 압축후의 회복율(%)이다. 기재입자, 비닐계 중합체 미립자 및 도전성 미립자 중 어느 것에 있어서도, 압축 탄성율은 1000N/㎟ 이상이 바람직하고, 2000N/㎟ 이상이 더 바람직하고, 3000N/㎟ 이상이 더욱 바람직하다. 마찬가지로, 압축 파괴 하중은 1mN 이상이 바람직하고, 3mN 이상이 더 바람직하고, 5mN 이상이 더욱 바람직하다. 또 회복율은 0.5% 이상이 바람직하고, 1% 이상이 더 바람직하고, 5% 이상이 더욱 바람직하다.Mechanical properties can be evaluated by, for example, compressive modulus, compressive fracture load, recovery rate, and the like. The compressive modulus of the present invention is the modulus of elasticity (N / mm 2: MPa) when deformed by 10% by applying a load to the particles, the compressive fracture load is the load (mN) when the compressive strength is reached and the fracture is reached, and the recovery rate is compression. % Recovery after. In any of the substrate particles, the vinyl polymer fine particles and the conductive fine particles, the compressive modulus is preferably 1000 N / mm 2 or more, more preferably 2000 N / mm 2 or more, and even more preferably 3000 N / mm 2 or more. Similarly, the compressive breaking load is preferably 1 mN or more, more preferably 3 mN or more, and even more preferably 5 mN or more. In addition, the recovery rate is preferably 0.5% or more, more preferably 1% or more, and even more preferably 5% or more.

상기 기계적 특성의 측정방법으로서는, 예를 들면 이하의 방법을 들 수 있다.As a measuring method of the said mechanical characteristic, the following method is mentioned, for example.

[10% 압축 탄성율(10%K값: 경도)][10% compressive modulus (10% K value: hardness)]

미소압축시험기(시마즈제작소사, 「MCTW-500」)에 의해, 실온(25℃)에 있어서, 시료대(재질: SKS평판) 상에 살포한 시료입자 1개에 대해서, 직경 50㎛의 원형평판압자(재질: 다이아몬드)를 사용하고, 입자의 중심방향으로 일정한 부하속도(2.275mN/초)로 하중을 걸고, 압축 변위가 입자경의 10%가 될때까지 입자를 변형시켰을 때의 하중과 변위량(㎜)을 측정한다. 측정한 압축하중, 입자의 압축 변위, 입자의 반경을 하기식에 대입하여 값을 산출한다. 이 조작을, 다른 3개의 입자에 대해서 실시하고, 그 평균값을 기재입자의 10% 압축 탄성율로 한다.Circular flat plate having a diameter of 50 µm for one sample particle sprayed on a sample stage (material: SKS flat plate) at room temperature (25 ° C) by a micro compression tester (Shimazu Corporation, "MCTW-500"). Load and displacement (mm) when indenter (material: diamond) is used, load is applied at a constant load speed (2.275mN / sec) in the direction of the particle's center, and the particles are deformed until the compression displacement becomes 10% of the particle diameter. Measure The value is calculated by substituting the measured compressive load, the compressive displacement of the particles, and the radius of the particles into the following equation. This operation is performed with respect to three other particles, and makes the average value 10% compressive elastic modulus of a substrate particle.

Figure pct00001
Figure pct00001

상기 식에서, E: 압축 탄성율(N/㎟), F: 압축하중(N), S: 압축 변위(㎜), R: 입자의 반경(㎜)이다. 이 조작을 다른 3개의 입자에 대해서 실시하고, 그 평균값을 기재입자의 10% 압축 탄성율로 한다.Wherein E is the compressive modulus (N / mm 2), F is the compressive load (N), S is the compression displacement (mm), and R is the radius of the particles (mm). This operation is performed on the other three particles, and the average value is 10% compressive modulus of the substrate particles.

[압축 파괴하중][Compression failure load]

압축 탄성율과 같은 방법으로 입자에 하중을 걸고, 입자가 변형에 의해 파괴되엇을 때의 하중(mN)을 압축 파괴 하중으로 한다.The load is applied to the particles in the same manner as the compressive elastic modulus, and the load (mN) when the particles are destroyed by deformation is referred to as the compression failure load.

[압축변형 회복율(회복율)]Compression strain recovery rate (recovery rate)

미소압축시험기(시마즈제작소: 「MCTW-500」)를 사용하고, 시료입자를 반전 하중 9.8mN까지 압축한 후, 하중을 감소시켜 갈 때의 하중값과 압축 변위와의 관계를 측정해서 수득되는 값으로, 하중을 제거할 때의 종점을 원점 하중값 0.098mN으로 하고, 부하 및 부하제거에 있어서의 압축(회복)속도를 1.486mN/초로 하여 측정하였을 때에, 반전의 점까지의 변위(L1)과, 반전의 점으로부터 원점 하중값을 취하는 점까지의 변위(L2)의 비(L1/L2)(%)로서 나타낸 값이다.A value obtained by measuring the relationship between the load value and the compression displacement when the load is reduced after compressing the sample particles to a reverse load of 9.8 mN using a micro compression tester (Shimazu Corporation: "MCTW-500"). When the end point at the time of removing the load was set to the origin load value of 0.098 mN, and the compression (recovery) speed at the load and the load removal was measured at 1.486 mN / sec, the displacement L1 to the point of inversion and It is a value shown as ratio (L1 / L2) (%) of the displacement L2 from the point of inversion to the point which takes the origin load value.

본 발명에 따른 기재입자의 원료가 되는 비닐계 중합체 미립자는 비닐계 중합체를 함유하는 입자라면 특별하게 한정되지 않고, 비닐계 중합체만으로 이루어지는 입자나, 유기질과 무기질이 복합된 재료로 이루어지는 유기질 무기질 복합입자의 어느 것이나 사용할 수 있다. 또, 본 발명에서 사용하는 「비닐」이라는 문언에는, (메타)아크릴로일도 포함된다. 비닐계 중합체 미립자로서는 구체적으로는, (메타)아크릴계 (공)중합체, (메타)아크릴계-스티렌계 공중합체 등의 비닐계 중합체만으로 이루어지는 입자나, 중합성(비닐기함유의 의미; 이하 동일) 알콕시실란의 래디컬 중합체 및/또는 축종합체, 중합성 알콕시실란과 비닐계 모노머와의 공중합체 등의 유기질 무기질 복합입자를 들 수 있다. 이하의 설명에서 「비닐 중합체」라고 말할 때는, 비닐계 모노머가 중합한 유기질만의 중합체를 의미한다. 또, 본 발명에서 말하는 「비닐계 중합체 미립자」는 「비닐 중합체」로 이루어지는 성분이나 골격을 포함하는 입자를 의미한다. 이것들의 비닐계 중합체 미립자의 제조방법의 상세한 것은 후술하지만, 유화중합, 현탁중합, 시드중합, 졸겔법 등을 채용할 수 있고, 그 중에서도, 시드중합이나 졸겔법은 입도분포를 작게 할 수 있기 때문에 바람직하다. 또, 미립자의 조성은 GC-MS 등으로 확인할 수 있다.The vinyl polymer fine particles as the raw material of the substrate particles according to the present invention are not particularly limited as long as the particles contain a vinyl polymer, and are organic inorganic composite particles composed of particles composed of vinyl polymers only or organic and inorganic materials. Any of can be used. Moreover, (meth) acryloyl is also contained in the word "vinyl" used by this invention. Specifically as vinyl polymer microparticles | fine-particles, the particle | grains which consist only of vinyl polymers, such as a (meth) acrylic-type (co) polymer and a (meth) acrylic- styrene type copolymer, and polymerizable (vinyl-group-containing meaning; the same below) alkoxy Organic inorganic composite particles, such as a silane radical polymer and / or a condensation copolymer, and a copolymer of a polymerizable alkoxysilane and a vinyl monomer, are mentioned. When referring to "vinyl polymer" in the following description, it means the polymer only of the organic material to which the vinylic monomer superposed | polymerized. In addition, the "vinyl-type polymer microparticles | fine-particles" said by this invention means the particle | grains containing the component and frame which consist of a "vinyl polymer." Although details of the production method of these vinyl polymer fine particles will be described later, emulsion polymerization, suspension polymerization, seed polymerization, sol-gel method and the like can be employed, and among them, seed polymerization and sol-gel method can reduce the particle size distribution. desirable. Moreover, the composition of microparticles | fine-particles can be confirmed by GC-MS etc.

[비닐 중합체 입자][Vinyl Polymer Particles]

비닐 중합체 입자는 비닐계 단량체를 함유하는 단량체 혼합물을 포함하는 단량체 조성물을 중합해서 수득된다. 단량체 혼합물에 함유시키는 비닐계 단량체로서는, 1분자 중에 1개의 비닐기를 가지는 비가교성 단량체, 1분자 중에 2개 이상의 비닐기를 가지는 가교성 단량체의 어느 것이나 사용할 수 있다.Vinyl polymer particle is obtained by superposing | polymerizing the monomer composition containing the monomer mixture containing a vinylic monomer. As the vinyl monomer to be contained in the monomer mixture, any of the non-crosslinkable monomer having one vinyl group in one molecule and the crosslinkable monomer having two or more vinyl groups in one molecule can be used.

상기 비가교성 단량체로서는 예를 들면, (메타)아크릴산; 메틸(메타)아크릴레이트, 에틸(메타)아크릴레이트, 프로필(메타)아크릴레이트, n-부틸(메타)아크릴레이트, 이소부틸(메타)아크릴레이트, 펜틸(메타)아크릴레이트, 헥실(메타)아크릴레이트, 헵틸(메타)아크릴레이트, 옥틸(메타)아크릴레이트, 노닐(메타)아크릴레이트, 데실(메타)아크릴레이트, 도데실(메타)아크릴레이트, 글리시딜(메타)아크릴레이트, 사이클로 헥실(메타)아크릴레이트, 스테아릴(메타)아크릴레이트, 2-에틸헥실(메타)아크릴레이트 등의 (메타)아크릴레이트류; 2-하이드록시에틸(메타)아크릴레이트, 2-하이드록시프로필(메타)아크릴레이트, 2-하이드록시부틸(메타)아크릴레이트 등의 하이드록시알킬(메타)아크릴레이트류 등의 (메타)아크릴계 단량체: 스티렌, o-메틸스티렌, m-메틸스티렌, p-메틸스티렌, 에틸비닐벤젠, α-메틸스티렌, p-메톡시스티렌, p-tert-부틸스티렌, p-페닐스티렌, o-클로로스티렌, m-클로로스티렌, p-클로로스티렌, 파라하이드록시스티렌 등의 스티렌계 단량체: 2-하이드록시에틸비닐에테르, 4-하이드록시부틸비닐에테르 등의 수산기 함유 비닐에테르류: 2-하이드록시에틸알릴에테르, 4-하이드록시부틸알릴에테르 등의 수산기 함유 알릴에테르류 등을 들 수 있다. 또, 상기 비가교성 단량체로서 (메타)아크릴산을 사용하는 경우에는, 부분적으로 알칼리금속으로 중화할 수 있다. 상기한 비가교성 단량체는 단독으로 사용할 수도, 2종 이상을 병용할 수도 있다. 이것들의 비가교성 단량체 중에서도 분자내에 에스테르 결합을 가지지 않는 단량체를 필수성분으로 사용하는 것이 바람직하고, 그 중에서도, 스티렌계 단량체가 바람직하고, 특히, 스티렌, α-메틸스티렌, 에틸비닐벤젠 등이 바람직하다. As said non-crosslinkable monomer, it is (meth) acrylic acid, for example; Methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, pentyl (meth) acrylate, hexyl (meth) acrylic Latex, heptyl (meth) acrylate, octyl (meth) acrylate, nonyl (meth) acrylate, decyl (meth) acrylate, dodecyl (meth) acrylate, glycidyl (meth) acrylate, cyclohexyl ( (Meth) acrylates, such as meta) acrylate, stearyl (meth) acrylate, and 2-ethylhexyl (meth) acrylate; (Meth) acrylic-type monomers, such as hydroxyalkyl (meth) acrylates, such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, and 2-hydroxybutyl (meth) acrylate : Styrene, o-methylstyrene, m-methylstyrene, p-methylstyrene, ethylvinylbenzene, α-methylstyrene, p-methoxystyrene, p-tert-butylstyrene, p-phenylstyrene, o-chlorostyrene, Styrene-based monomers, such as m-chloro styrene, p-chloro styrene, and parahydroxy styrene: Hydroxyl-containing vinyl ethers, such as 2-hydroxyethyl vinyl ether and 4-hydroxybutyl vinyl ether: 2-hydroxyethyl allyl ether And hydroxyl-containing allyl ethers such as 4-hydroxybutyl allyl ether. Moreover, when using (meth) acrylic acid as said non-crosslinkable monomer, it can partially neutralize with an alkali metal. Said non-crosslinkable monomer may be used independently and may use 2 or more types together. Among these non-crosslinkable monomers, monomers which do not have an ester bond in the molecule are preferably used as essential components, and among these, styrene-based monomers are preferable, and styrene, α-methylstyrene, ethylvinylbenzene and the like are particularly preferable. .

가교성 단량체로서는 예를 들면, 트리메틸올프로판트리아크릴레이트, 에틸렌글리콜디메타크릴레이트, 디에틸렌글리콜디메타크릴레이트, 트리에틸렌글리콜디메타크릴레이트, 데카에틸렌글리콜디메타크릴레이트, 펜타데카에틸렌글리콜디메타크릴레이트, 펜타콘타헥타에틸렌글리콜디메타크릴레이트, 1,3-부틸렌디메타크릴레이트, 알릴메타크릴레이트, 트리메틸올프로판트리메타크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라아크릴레이트 등의 다관능(메타)아크릴레이트; 1,4-부탄디올디(메타)아크릴레이트, 1,6-헥산디올디(메타)아크릴레이트, 1,9-노난디올디(메타)아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 포리테트라메치렝리코르 디(메타)아크릴레이트 등의 폴리알킬렌글리콜디(메타)아크릴레이트; 디비닐벤젠, 디비닐나프탈렌, 및, 이것들의 유도체 등의 방향족 디비닐 화합물; N,N-디비닐아닐린, 디비닐에테르, 디비닐설파이드, 디비닐설폰산 등의 가교제; 폴리부타디엔, 폴리이소프렌 불포화 폴리에스테르 등을 들 수 있다. 이것들의 가교성 단량체는 단독으로 사용할 수도, 2종 이상을 병용할 수도 있다. 이것들 중에서도, 분자 내에 에스테르 결합을 가지지 않는 단량체를 필수성분으로 사용하는 것이 바람직하고, 그 중에서도, 방향족 디비닐 화합물이 바람직하고, 특히, 디비닐벤젠이 바람직하다.As a crosslinkable monomer, for example, trimethylol propane triacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, diethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, decaethylene glycol dimethacrylate, pentadecaethylene glycol Multifunctional (meth) such as dimethacrylate, pentaconta hexethylene glycol dimethacrylate, 1,3-butylene dimethacrylate, allyl methacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, etc. Acrylates; 1,4-butanedioldi (meth) acrylate, 1,6-hexanedioldi (meth) acrylate, 1,9-nonanedioldi (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol Polyalkylene glycol di (meth) acrylates, such as di (meth) acrylate and polytetramethylene glycol di (meth) acrylate; Aromatic divinyl compounds such as divinylbenzene, divinyl naphthalene, and derivatives thereof; Crosslinking agents such as N, N-divinylaniline, divinyl ether, divinyl sulfide and divinyl sulfonic acid; Polybutadiene, polyisoprene unsaturated polyester, etc. are mentioned. These crosslinkable monomers may be used independently and may use 2 or more types together. Among these, it is preferable to use the monomer which does not have an ester bond in a molecule as an essential component, Especially, an aromatic divinyl compound is preferable and divinylbenzene is especially preferable.

스티렌계 단량체 및/또는 방향족 디비닐 화합물의 사용량은 전체 비닐계 단량체 혼합물 100질량%에 대해서 1질량% 이상인 것이 바람직하고, 더 바람직하게는 10질량% 이상이고, 더욱 바람직하게는 30질량% 이상이다. 비가교성 단량체로서 스티렌계 단량체, 가교성 단량체로서 방향족 디비닐 화합물을 사용하였을 경우에는, 기재입자로의 도금성이 양호하게 되기 때문에 바람직하다.It is preferable that the usage-amount of a styrene-type monomer and / or an aromatic divinyl compound is 1 mass% or more with respect to 100 mass% of all vinyl monomer mixtures, More preferably, it is 10 mass% or more, More preferably, it is 30 mass% or more. . When an aromatic divinyl compound is used as a styrene type monomer and a crosslinkable monomer as a non-crosslinkable monomer, since the plating property to a base particle becomes favorable, it is preferable.

또, 상기 단량체 혼합물 중의 가교성 단량체의 함유율은 1질량% 이상으로 하는 것이 바람직하고, 더 바람직하게는 5질량% 이상, 더욱 바람직하게는 10질량% 이상이다. 상기 단량체 혼합물 중의 가교성 단량체의 함유율을 1질량% 이상으로 하는 것에 의해, 비닐 중합체 입자의 내용제성이나 내열성이 높아지고, 기계적 특성을 적정하게 제어할 수 있다. 또, 후술하는 유기 무기 복합입자에 있어서는, 예를 들면(메타)아크릴로일기를 가지는 실리콘 화합물(알콕시실란)을 원료로 사용한 경우에는, 이 화합물도 입자 중에서 가교제로서 작용하기 때문에, 이들 화합물에 대해서도 가교성 단량체로 간주한다. Moreover, it is preferable to make content rate of the crosslinkable monomer in the said monomer mixture into 1 mass% or more, More preferably, it is 5 mass% or more, More preferably, it is 10 mass% or more. By setting the content rate of the crosslinkable monomer in the said monomer mixture to 1 mass% or more, the solvent resistance and heat resistance of vinyl polymer particle become high, and a mechanical characteristic can be controlled suitably. Moreover, in the organic-inorganic composite particle | grains mentioned later, for example, when using the silicone compound (alkoxysilane) which has a (meth) acryloyl group as a raw material, since this compound also acts as a crosslinking agent in particle | grains, about these compounds, Considered as a crosslinkable monomer.

또 단량체 조성물을 중합할 때는, 필요에 따라서, 중합개시제나 분산안정제를 사용할 수 있다. 중합개시제로서는 통상, 중합에 사용할 수 있는 것은 어느 것이나 사용가능하다. 예를 들면, 과산화물계 개시제나, 아조계 개시제 등이 사용가능하다. 상기 과산화물계 개시제로서는 과산화 수소, 과아세트산, 과산화 벤조일, 과산화 라우로일, 과산화 옥타노일, 오르토클로로 과산화 벤조일, 오르토메톡시 과산화 벤조일, 3,5,5-트리메틸헥사노일퍼록사이드, t-부틸퍼옥시-2-에틸헥사노에이트, 디-t-부틸퍼록사이드, 1,1-비스(t-부틸퍼옥시)-3,3,5-트리메틸사이클로헥산, 메틸에틸케톤퍼록사이드, 디이소프로필퍼옥시디카보네이트, 큐멘하이드로퍼록사이드, 사이클로헥사논퍼록사이드, t-부틸하이드로퍼록사이드, 디이소프로필벤젠하이드로퍼옥사이드 등을 들 수 있다.Moreover, when superposing | polymerizing a monomer composition, a polymerization initiator and a dispersion stabilizer can be used as needed. As the polymerization initiator, any of those that can be used for polymerization can usually be used. For example, a peroxide initiator, an azo initiator, etc. can be used. Examples of the peroxide initiator include hydrogen peroxide, peracetic acid, benzoyl peroxide, lauroyl peroxide, octanoyl peroxide, benzoyl peroxide ortho benzoyl peroxide, orthomethoxy benzoyl peroxide, 3,5,5-trimethylhexanoyl peroxide, and t-butylperoxide. Oxy-2-ethylhexanoate, di-t-butylperoxide, 1,1-bis (t-butylperoxy) -3,3,5-trimethylcyclohexane, methylethylketone peroxide, diisopropylperox A dicarbonate, cumene hydroperoxide, cyclohexanone peroxide, t-butyl hydroperoxide, diisopropyl benzene hydroperoxide, etc. are mentioned.

아조계 개시제로서는 디메틸2,2-아조비스이소부티로니트릴, 아조비스사이클로헥사 카르보니트릴, 2,2'-아조비스이소부티로니트릴, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴), 2,2'-아조비스(2,3-디메틸 부티로니트릴), 2,2'-아조비스(2-메틸 부티로니트릴), 2,2'-아조비스(2,3,3-트리메틸부티로니트릴), 2,2'-아조비스(2-이소프로필부티로니트릴), 1,1'-아조비스(사이클로헥산-1-카르보니트릴), 2,2'-아조비스(4-메톡시-2,4-디메틸발레로니트릴), 2-(카르바모일 아조)이소부티로니트릴, 2,2'-아조비스(2-아미디노프로판)ㆍ디하이드로클로라이드, 4,4'-아조비스(4-시아노펜탄산), 4,4'-아조비스(4-시아노발레르산), 디메틸-2,2'-아조비스이소부티레이트 등을 들 수 있다.Examples of azo initiators include dimethyl 2,2-azobisisobutyronitrile, azobiscyclohexacarbonitrile, 2,2'-azobisisobutyronitrile and 2,2'-azobis (2,4-dimethylvalero Nitrile), 2,2'-azobis (2,3-dimethyl butyronitrile), 2,2'-azobis (2-methyl butyronitrile), 2,2'-azobis (2,3,3 -Trimethylbutyronitrile), 2,2'-azobis (2-isopropylbutyronitrile), 1,1'-azobis (cyclohexane-1-carbonitrile), 2,2'-azobis (4 -Methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile), 2- (carbamoyl azo) isobutyronitrile, 2,2'-azobis (2-amidinopropane) -dihydrochloride, 4,4 ' -Azobis (4-cyanopentanoic acid), 4,4'- azobis (4-cyano valeric acid), dimethyl-2,2'- azobisisobutyrate, etc. are mentioned.

이들 중합개시제는 단독일 수도, 2종 이상을 병용할 수도 있다. 또, 이것들의 중합개시제의 첨가량은 단량체 혼합물 100질량부에 대해서 0.1질량부 이상으로 하는 것이 바람직하고, 더 바람직하게는 1질량부 이상이고, 5질량부 이하로 하는 것이 바람직하고, 더 바람직하게는 3질량부 이하이다. These polymerization initiators may be individual or may use 2 or more types together. Moreover, it is preferable that the addition amount of these polymerization initiators shall be 0.1 mass part or more with respect to 100 mass parts of monomer mixtures, More preferably, it is 1 mass part or more, It is preferable to set it as 5 mass parts or less, More preferably, It is 3 mass parts or less.

분산안정제는 현탁중합법 등을 사용해서 단량체 조성물을 중합시킬 경우에, 중합반응시에 단량체 조성물의 액적경의 안정화를 꾀하기 위해서 사용되는 것이다. 또, 분산안정제는 단량체 조성물에 함유시키지 않고, 분산매체인 용매(예를 들면, 수계용매)에 용해 또는 분산시킬 수 있다. 분산안정제로서는 음이온성 계면활성제, 비이온성 계면활성제, 양이온성 계면활성제, 양성 계면활성제의 어느 것을 사용할 수 있다. 분산안정제는 단독으로 사용할 수도, 2종 이상을 병용할 수도 있다. 이것들 중에서도, 올레산 나트륨, 피마자유 칼륨 등의 지방산오일; 라우릴 황산나트륨, 라우릴 황산암모늄 등의 알킬 황산 에스테르 염; 폴리옥시에틸렌디스티릴페닐에테르 황산 에스테르 암모늄염, 폴리옥시에틸렌디스티릴 페닐에테르 황산 에스테르 나트륨염 등의 폴리옥시에틸렌디스티릴페닐에테르 황산 에스테르 염; 도데실벤젠설폰산 나트륨 등의 알킬벤젠설폰산염; 알킬나프탈렌설폰산염, 알칸설폰산염, 디알킬설포숙신산염, 알킬인산에스테르염, 나프탈렌설폰산포르말린 축합물, 폴리옥시에틸렌알킬페닐 에테르 황산 에스테르염, 폴리옥시에틸렌알킬 황산 에스테르염 등의 음이온성 계면활성제가 바람직하다.A dispersion stabilizer is used in order to stabilize the droplet diameter of a monomer composition at the time of a polymerization reaction, when polymerizing a monomer composition using suspension polymerization method or the like. In addition, the dispersion stabilizer can be dissolved or dispersed in a solvent (for example, an aqueous solvent) that is a dispersion medium without being contained in the monomer composition. As the dispersion stabilizer, any of anionic surfactants, nonionic surfactants, cationic surfactants and amphoteric surfactants can be used. A dispersion stabilizer may be used independently and may use 2 or more types together. Among these, fatty acid oils such as sodium oleate and castor oil potassium; Alkyl sulfate ester salts such as sodium lauryl sulfate and lauryl ammonium sulfate; Polyoxyethylene distyryl phenyl ether sulfate ester salts such as polyoxyethylene distyryl phenyl ether sulfate ammonium salt and polyoxyethylene distyryl phenyl ether sulfate ester sodium salt; Alkyl benzene sulfonates such as sodium dodecyl benzene sulfonate; Anionic surfactants such as alkyl naphthalene sulfonates, alkanesulfonates, dialkyl sulfosuccinates, alkyl phosphate ester salts, naphthalene sulfonic acid formalin condensates, polyoxyethylene alkylphenyl ether sulfate ester salts and polyoxyethylene alkyl sulfate ester salts Is preferred.

분산안정제는 소망하는 비닐 중합체 입자의 사이즈에 따라서 그 첨가량을 적당하게 조정할 수 있다. 예를 들면, 평균 입자경 3㎛이상 30㎛이하의 비닐계 중합체 미립자를 소망하는 경우라면, 분산안정제의 첨가량을 단량체 혼합물 100질량부에 대해서 0.1질량부 이상으로 하는 것이 바람직하고, 더 바람직하게는 0.5질량부 이상, 더욱 바람직하게는 1질량부 이상이고, 10질량부 이하로 하는 것이 바람직하고, 더 바람직하게는 5질량부 이하, 더욱 바람직하게는 3질량부 이하이다.A dispersion stabilizer can adjust the addition amount suitably according to the size of desired vinyl polymer particle. For example, when vinyl polymer microparticles | fine-particles of 3 micrometers-30 micrometers of average particle diameters are desired, it is preferable to make the addition amount of a dispersion stabilizer into 0.1 mass part or more with respect to 100 mass parts of monomer mixtures, More preferably, it is 0.5 It is more than a mass part, More preferably, it is 1 mass part or more, It is preferable to set it as 10 mass parts or less, More preferably, it is 5 mass parts or less, More preferably, it is 3 mass parts or less.

또, 단량체 조성물에는 안료, 가소제, 중합안정제, 형광 증백제, 자성분(磁性粉), 자외선흡수제, 대전방지제, 난연제 등을 첨가 할 수 있다. 이것들의 첨가제의 사용량은 단량체 혼합물 100질량부에 대해서 0.01질량부 이상으로 하는 것이 바람직하고, 더 바람직하게는 0.1질량부 이상, 더욱 바람직하게는 0.5질량부 이상이고, 10질량부 이하인 것이 바람직하고, 더 바람직하게는 5질량부 이하, 더욱 바람직하게는 3질량부 이하이다.Moreover, a pigment, a plasticizer, a polymerization stabilizer, a fluorescent brightener, a magnetic component, a ultraviolet absorber, an antistatic agent, a flame retardant, etc. can be added to a monomer composition. It is preferable that the usage-amount of these additives shall be 0.01 mass part or more with respect to 100 mass parts of monomer mixtures, More preferably, it is 0.1 mass part or more, More preferably, it is 0.5 mass part or more, It is preferable that it is 10 mass parts or less, More preferably, it is 5 mass parts or less, More preferably, it is 3 mass parts or less.

[비닐 중합체 입자의 제조방법][Production Method of Vinyl Polymer Particles]

비닐 중합체 입자의 제조방법은 상기한 바와 같은 단량체 혼합물을 포함하는 단량체 조성물을 중합시키는 것이다. 또, 중합방법으로서는 현탁중합, 시드중합, 유화중합 등의 공지의 중합방법을 채용할 수 있고, 이것들 중에서도 현탁중합, 시드중합이 바람직하다.The method for producing vinyl polymer particles is to polymerize a monomer composition comprising a monomer mixture as described above. Moreover, as a polymerization method, well-known polymerization methods, such as suspension polymerization, seed polymerization, and emulsion polymerization, can be employ | adopted, Among these, suspension polymerization and seed polymerization are preferable.

현탁중합법을 채용하는 경우, 사용할 수 있는 용매로서는 단량체 조성물을 완전하게 용해시키지 않는 것이라면 특별하게 한정되지 않지만, 바람직하게는 수계매체를 사용할 수 있다. 이것들의 용매는 단량체 조성물 100질량부에 대해서, 통상 20질량부 이상 10000질량부 이하의 범위내에서 적당하게 사용할 수 있다. 비닐 중합체 입자의 제조방법으로서는 단량체 혼합물과 중합개시제를 함유하는 단량체 조성물을 분산안정제를 용해 또는 분산시킨 수계용매에 현탁시켜서 중합시키는 방법이 바람직하다. In the case of employing the suspension polymerization method, any solvent that can be used is not particularly limited as long as the monomer composition is not completely dissolved. Preferably, an aqueous medium can be used. These solvents can be used suitably within the range of 20 mass parts or more and 10000 mass parts or less with respect to 100 mass parts of monomer compositions normally. As a manufacturing method of a vinyl polymer particle, the method of superposing | polymerizing by suspending the monomer composition containing a monomer mixture and a polymerization initiator in the aqueous solvent which melt | dissolved or disperse | distributed the dispersion stabilizer was polymerized.

현탁중합의 중합온도는 50℃ 이상으로 하는 것이 바람직하고, 더 바람직하게는55℃ 이상, 더욱 바람직하게는 60℃ 이상이고, 95℃ 이하로 하는 것이 바람직하고, 더 바람직하게는 90℃이하, 더욱 바람직하게는 85℃ 이하이다. 또 중합반응 시간은 1시간 이상으로 하는 것이 바람직하고, 더 바람직하게는 2시간 이상, 더욱 바람직하게는 3시간 이상이고, 10시간 이하로 하는 것이 바람직하고, 더 바람직하게는 8시간이하, 더욱 바람직하게는 5시간 이하이다. 또, 생성하는 비닐 중합체의 입자경을 컨트롤하기 위해서, 중합반응은 단량체 조성물의 액적경의 규제를 실시한 후 혹은 액적경의 규제를 실시하면서 반응을 실시하는 것이 바람직하다. 이 단량체 조성물의 액적경의 규제는 예를 들면, 단량체 조성물을 수성매체에 분산시킨 현탁액을, T.K. 호모믹서, 라인믹서 등의 고속교반기에 의해 교반하는 것에 의해 실시할 수 있다 .그리고 중합반응에 의해 생성한 비닐계 중합체 미립자는 건조, 또한 필요에 따라서 분급 등 공정에 적용할 수 있다. 또, 건조는 150℃ 이하에서 실시하는 것이 바람직하고, 더 바람직하게는 120℃이하, 더욱 바람직하게는 100℃이하이다.It is preferable that the polymerization temperature of suspension polymerization shall be 50 degreeC or more, More preferably, it is 55 degreeC or more, More preferably, it is 60 degreeC or more, It is preferable to set it as 95 degrees C or less, More preferably, it is 90 degrees C or less, More Preferably it is 85 degrees C or less. The polymerization reaction time is preferably 1 hour or more, more preferably 2 hours or more, more preferably 3 hours or more, preferably 10 hours or less, more preferably 8 hours or less, and even more preferably. It is less than five hours. Moreover, in order to control the particle diameter of the vinyl polymer to produce | generate, it is preferable to perform reaction in the polymerization reaction after regulating the droplet diameter of a monomer composition or regulating the droplet diameter. The droplet diameter of this monomer composition is regulated by, for example, a suspension prepared by dispersing the monomer composition in an aqueous medium. It can carry out by stirring with a high speed stirrer, such as a homomixer and a line mixer, and the vinyl polymer microparticles | fine-particles produced | generated by the polymerization reaction can be applied to a process, such as drying and classification as needed. Moreover, it is preferable to perform drying at 150 degrees C or less, More preferably, it is 120 degrees C or less, More preferably, it is 100 degrees C or less.

시드중합법을 채용하는 경우에는, 시드입자로서는 스티렌계, (메타)아크릴레이트계의 중합체를 사용하는 것이 바람직하고, 비가교형 또는 가교도가 작은 미립자인 것이 더 바람직하다. 또 시드입자의 평균 입자경은 0.1㎛∼10㎛이 바람직하고, 또한, 100×입자경 표준편차/평균 입자경으로 나타나는 값(CV값)이 10 이하인 것이 바람직하다. 이러한 시드입자의 제조방법은 종래 사용할 수 있는 방법을 채용할 수 있고, 예를 들면 무비누 유화중합, 분산중합 등을 들 수 있다.In the case of employing the seed polymerization method, it is preferable to use a styrene-based or (meth) acrylate-based polymer as the seed particles, and more preferably non-crosslinked or small particles having a low degree of crosslinking. In addition, the average particle diameter of the seed particles is preferably 0.1 µm to 10 µm, and the value (CV value) expressed by 100 × particle diameter standard deviation / average particle diameter is preferably 10 or less. As a method for producing such seed particles, a method that can be used conventionally may be employed, and examples thereof include an unsaturated emulsion polymerization and a dispersion polymerization.

시드중합에 있어서의 단량체 조성물의 투입,량은 시드입자 1질량부에 대해서 0.5질량부∼50질량부로 하는 것이 바람직하다. 단량체 조성물의 투입량이 너무 적으면 중합에 의한 입자경의 증가가 작아지고, 또, 너무 많으면 단량체 조성물이 완전하게 시드입자에 흡수되지 않고, 매체 중에서 독자적으로 중합해서 이상입자를 생성할 우려가 있다. 또, 중합온도나 수득된 입자의 건조조건에 대해서는 상기 현탁중합과 동일한 조건을 적용할 수 있다.It is preferable that the input and the quantity of the monomer composition in seed polymerization are 0.5 mass part-50 mass parts with respect to 1 mass part of seed particle | grains. If the amount of the monomer composition is too small, the increase in the particle size due to polymerization is small. If the amount of the monomer composition is too large, the monomer composition may not be completely absorbed by the seed particles, and may be polymerized independently in the medium to produce abnormal particles. In addition, the conditions similar to the suspension polymerization can be applied to the polymerization temperature and the drying conditions of the obtained particles.

[유기질 무기질 복합입자(유기 무기 복합입자)][Organic Inorganic Composite Particles]

유기 무기 복합입자는 비닐 중합체에 유래하는 유기질 부분과, 무기질 부분을 포함해서 이루어지는 입자이다. 상기 유기 무기 복합입자의 형태로서는 실리카, 알루미나, 티타니아 등의 금속산화물, 금속질화물, 금속황화물, 금속탄화물 등의 무기질미립자가 비닐 중합체 중에 분산 함유되어서 이루어지는 형태; (올가노)폴리실록산, 폴리티타녹산 등의 메탈록산쇄( 「금속-산소-금속」 결합을 포함하는 분자쇄)과 유기분자가 분자 레벨로 복합되어 이루어지는 형태; 비닐트리메톡시실란 등의 비닐계 중합체를 형성할 수 있는 비닐기를 가지는 올가노알콕시실란이 가수분해 축합반응이나 비닐기의 중합반응을 일으킴으로써, 수득되는 입자나 가수분해성 실릴기를 가지는 실란 화합물을 원료로 하는 폴리실록산과 비닐기를 가지는 중합성 단량체 등과 반응시켜서 수득되는 입자와 같이 , 비닐 중합체 골격과 폴리실록산 골격을 포함하는 유기질 무기질 복합입자로 이루어지는 형태 등을 들 수 있다. 이것들 중에서도, 특히 비닐 중합체 골격과 폴리실록산 골격을 포함하는 유기질 무기질 복합입자로 이루어지는 형태가 바람직하다.An organic inorganic composite particle is particle | grains which consist of the organic part derived from a vinyl polymer, and an inorganic part. Examples of the organic-inorganic composite particles include forms in which inorganic fine particles such as metal oxides such as silica, alumina and titania, metal nitrides, metal sulfides and metal carbides are dispersed and contained in the vinyl polymer; A form in which metal siloxane chains (molecular chains containing “metal-oxygen-metal” bonds) and organic molecules such as (organo) polysiloxane and polytitaoxane are combined at the molecular level; The organoalkoxysilane having a vinyl group capable of forming a vinyl polymer such as vinyltrimethoxysilane causes a hydrolysis condensation reaction or a polymerization reaction of a vinyl group to obtain a silane compound having particles or hydrolyzable silyl groups obtained. The form which consists of organic inorganic composite particle containing a vinyl polymer backbone and a polysiloxane backbone like the particle | grains obtained by making it react with the polysiloxane made into polymerizable monomer etc. which have a vinyl group, etc. are mentioned. Among these, the form which consists of organic inorganic composite grain | particles especially containing a vinyl polymer skeleton and a polysiloxane skeleton is preferable.

이하, 비닐 중합체 골격과 폴리실록산 골격을 포함하는 유기질 무기질 복합입자(이하, 단순하게 「복합입자」라고 언급하는 경우가 있다. )에 대해서 상세하게 설명한다. Hereinafter, the organic-inorganic composite particles (hereinafter, simply referred to as "composite particles") containing the vinyl polymer skeleton and the polysiloxane skeleton will be described in detail.

상기 비닐 중합체 골격은 하기 식(1)의 반복단위에 의해 구성되는 주쇄를 가지는 비닐 중합체이고, 측쇄를 가지는 것, 분기구조를 가지는 것, 게다가, 가교구조를 가지는 것일 수도 있다. 복합입자의 경도를 적당하게 제어할 수 있다.The said vinyl polymer backbone is a vinyl polymer which has a principal chain comprised by the repeating unit of following formula (1), may have a side chain, has a branched structure, and may have a crosslinked structure. The hardness of the composite particles can be appropriately controlled.

Figure pct00002
Figure pct00002

또, 폴리실록산 골격은 하기 식(2)의 실록산 단위가 연속적으로 화학 결합하고, 그물코구조의 네트워크를 구성한 부분으로 정의된다.Moreover, the polysiloxane skeleton is defined as the part which the siloxane unit of following formula (2) chemically couple | bonded continuously, and comprised the network of network structure.

Figure pct00003
Figure pct00003

폴리실록산 골격을 구성하는 SiO2의 양은 복합입자의 질량에 대해서 0.1질량% 이상인 것이 바람직하고, 더 바람직하게는 1질량%이상이고, 25질량% 이하인 것이 바람직하고, 더 바람직하게는 10질량%이하이다. 폴리실록산 골격 중의 SiO2의 량이 상기 범위이면 복합입자의 경도의 제어가 용이하게 된다. 또, 폴리실록산 골격을 구성하는 SiO2의 량은 입자를 공기 등의 산화성 분위기 중에서 800℃ 이상의 온도에서 소성한 전후의 질량을 측정하는 것에 의해 요구한 질량 백분률이다. The amount of SiO 2 constituting the polysiloxane skeleton is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 1% by mass or more, preferably 25% by mass or less, and more preferably 10% by mass or less with respect to the mass of the composite particles. . If the amount of SiO 2 in the polysiloxane skeleton is in the above range, the hardness of the composite particles can be easily controlled. The amount of SiO 2 constituting the polysiloxane skeleton is the mass percentage required by measuring the mass before and after the particles are calcined at a temperature of 800 ° C. or higher in an oxidizing atmosphere such as air.

복합입자는 그 경도나 파괴강도 등의 기계적 특성 각각에 대해서, 폴리실록산 골격부분이나 비닐 중합체 골격부분의 비율을 적당하게 변화시키는 것에 의해 임의로 조절할 수 있다. 복합입자에 있어서의 폴리실록산 골격은 가수분해성기를 가지는 실란 화합물을 가수분해 축합반응시켜서 얻는 것이 바람직하다.The composite particles can be arbitrarily adjusted by appropriately changing the ratio of the polysiloxane skeleton portion and the vinyl polymer skeleton portion with respect to each of mechanical properties such as hardness and fracture strength. It is preferable that the polysiloxane frame | skeleton in a composite particle is obtained by making hydrolysis condensation reaction of the silane compound which has a hydrolysable group.

가수분해성을 가지는 실란 화합물로서는 특별하게 한정은 되지 않지만, 예를 들면 하기 화학식(3)의 실란 화합물 및 그 유도체 등을 들 수 있다.Although it does not specifically limit as a silane compound which has hydrolyzability, For example, the silane compound of following General formula (3), its derivative (s), etc. are mentioned.

Figure pct00004
Figure pct00004

상기 식에서, R'은 치환기를 가질 수 있고, 알킬기, 아릴기, 아르알킬기 및 불포화지방족기으로 이루어지는 그룹에서 선택되는 적어도 1종의 기를 나타내고, X는 수산기, 알콕시기 및 아실옥시기로 이루어지는 그룹에서 선택되는 적어도 1종의 기를 나타내고, m은 0에서 3까지의 정수이다.Wherein R 'may have a substituent and represents at least one group selected from the group consisting of alkyl, aryl, aralkyl and unsaturated aliphatic groups, X is selected from the group consisting of hydroxyl, alkoxy and acyloxy groups At least one group is represented, and m is an integer of 0 to 3.

화학식(3)의 실란 화합물로서는 특별하게 한정은 되지 않지만, 예를 들면 m=0의 것으로서는 테트라메톡시실란, 테트라에톡시실란, 테트라이소프로폭시실란, 테트라부톡시실란 등의 4관능성 실란; m=1의 것으로서는 메틸트리메톡시실란, 메틸트리에톡시실란, 에틸트리메톡시실란, 에틸트리에톡시실란, 헥실트리메톡시실란, 데실트리메톡시실란, 페닐트리메톡시실란, 벤질트리메톡시실란, 나프틸트리메톡시실란, 메틸트리아세톡시실란, β-(3,4-에폭시사이클로헥실)에틸트리메톡시실란, 3-글리시독시프로필트리메톡시실란, 비닐트리메톡시실란, 3-(메타)아크릴로옥시프로필트리메톡시실란, 3,3,3-트리플루오로프로필트리메톡시실란 등의 3관능성 실란; m=2의 것으로서는 디메틸디메톡시실란, 디메틸디에톡시실란, 디아세톡시디메틸실란, 디페닐실란디올 등의 2관능성 실란; m=3의 것으로서는 트리메틸메톡시실란, 트리메틸에톡시실란, 트리메틸실란올 등의 1관능성 실란 등을 들 수 있다.Although it does not specifically limit as a silane compound of General formula (3), For example, tetrafunctional silane, such as tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, tetraisopropoxysilane, tetrabutoxysilane, as m = 0. ; As m = 1, methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, ethyltrimethoxysilane, ethyltriethoxysilane, hexyltrimethoxysilane, decyltrimethoxysilane, phenyltrimethoxysilane and benzyl tree Methoxysilane, naphthyltrimethoxysilane, methyltriacetoxysilane, β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, Trifunctional silanes such as 3- (meth) acrylooxypropyltrimethoxysilane and 3,3,3-trifluoropropyltrimethoxysilane; Examples of m = 2 include bifunctional silanes such as dimethyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, diacetoxydimethylsilane and diphenylsilanediol; Examples of m = 3 include monofunctional silanes such as trimethylmethoxysilane, trimethylethoxysilane, and trimethylsilanol.

화학식(3)의 실란 화합물의 유도체로서는 특별하게 한정은 되지 않지만, 예를 들면, X의 일부가 카르복시기, β-디카르보닐기 등의 킬레이트 화합물을 형성할 수 있는 기로 치환된 화합물이나, 상기 실란 화합물을 부분적으로 가수분해해서 수득되는 저축합물 등을 들 수 있다. The derivative of the silane compound of the formula (3) is not particularly limited, but for example, a part of X is a compound substituted with a group capable of forming a chelating compound such as a carboxyl group, β-dicarbonyl group, or the silane compound. And low condensates obtained by partial hydrolysis.

가수분해성을 가지는 실란 화합물은, 1종만을 사용해도, 2종 이상을 적당하게 조합시켜서 사용할 수 있다. 화학식(3)에 있어서, m=3인 실란 화합물 및 그 유도체만을 원료로 사용하는 경우에는, 복합입자는 수득되지 않는다. Even if only 1 type is used, the silane compound which has hydrolyzability can be used combining 2 or more types suitably. In the general formula (3), when only the silane compound having m = 3 and its derivatives are used as raw materials, the composite particles are not obtained.

복합입자의 폴리실록산 골격이 비닐계 중합체 골격 중의 적어도 1개의 탄소원자에 규소원자가 직접 결합한 유기 규소원자를 분자내에 가지는 형태인 경우에는, 상기 가수분해성을 가지는 실란 화합물로서는 비닐 결합을 함유하는 유기기를 가지는 것을 사용할 필요가 있다.In the case where the polysiloxane skeleton of the composite particle has an organic silicon atom in which a silicon atom is directly bonded to at least one carbon atom in the vinyl polymer skeleton in a molecule, the silane compound having a hydrolyzable compound having an organic group containing a vinyl bond Need to use

비닐 결합을 함유하는 유기기로서는 예를 들면 하기 화학식(4), (5) 및 (6)의 유기기 등을 들 수 있다.As an organic group containing a vinyl bond, the organic group of following formula (4), (5), and (6) etc. are mentioned, for example.

Figure pct00005
Figure pct00005

상기 식에서, Ra는 수소원자 또는 메틸기를 나타내고, Rb는 치환기를 가질 수 있는 탄소수 1∼20의 2가의 유기기를 나타낸다.In the above formula, R a represents a hydrogen atom or a methyl group, and R b represents a divalent organic group having 1 to 20 carbon atoms which may have a substituent.

Figure pct00006
Figure pct00006

상기 식에서, Rc는 수소원자 또는 메틸기를 나타낸다.In the formula, R c represents a hydrogen atom or a methyl group.

Figure pct00007
Figure pct00007

상기 식에서, Rd는 수소원자 또는 메틸기를 나타내고, Re는 치환기를 가질 수 있는 탄소수 1∼20의 2가의 유기기를 나타낸다.In the above formula, R d represents a hydrogen atom or a methyl group, and R e represents a divalent organic group having 1 to 20 carbon atoms which may have a substituent.

화학식(4)의 유기기로서는 예를 들면, (메타)아크릴옥시기 등을 들 수 있고, (메타)아크릴옥시기를 가지는 화학식(3)의 실란 화합물로서는 예를 들면, γ-메타크릴옥시프로필트리메톡시실란, γ-메타크릴옥시프로필트리에톡시실란, γ-아크릴로옥시프로필트리메톡시실란, γ-아크릴로옥시프로필트리에톡시실란, γ-메타크릴옥시프로필트리아세톡시실란, γ-메타크릴옥시에톡시프로필트리메톡시실란(또는, γ-트리메톡시실릴프로필-β-메타크릴옥시에틸에테르라고도 한다.), γ-메타크릴옥시프로필메틸디메톡시실란, γ-메타크릴옥시프로필메틸디에톡시실란, γ-아크릴로옥시프로필메틸디메톡시실란 등을 들 수 있다. 이것들은 1종만을 사용해도, 2종 이상을 병용해도 된다.As an organic group of General formula (4), a (meth) acryloxy group etc. are mentioned, for example, As a silane compound of General formula (3) which has a (meth) acryloxy group, it is a gamma-methacryloxypropyl tree, for example. Methoxysilane, γ-methacryloxypropyltriethoxysilane, γ-acrylooxypropyltrimethoxysilane, γ-acryloxypropyltriethoxysilane, γ-methacryloxypropyltriacetoxysilane, γ- Methacryloxyethoxypropyltrimethoxysilane (or it is also called (gamma) -trimethoxysilylpropyl- (beta)-methacryloxyethyl ether), (gamma)-methacryloxypropyl methyldimethoxysilane, and (gamma)-methacryloxypropyl) Methyl diethoxysilane, (gamma) -acrylooxypropyl methyldimethoxysilane, etc. are mentioned. These may use only 1 type or may use 2 or more types together.

상기 화학식(5)의 유기기로서는 예를 들면, 비닐기, 이소프로페닐기 등을 들 수 있고, 이것들의 유기기를 가지는 상기 화학식(3)의 실란 화합물로서는 예를 들면, 비닐트리메톡시실란, 비닐트리에톡시실란, 비닐트리아세톡시실란, 비닐메틸디메톡시실란, 비닐메틸디에톡시실란, 비닐메틸디아세톡시실란 등을 들 수 있다. 이것들은 1종만을 사용해도, 2종 이상을 병용해도 된다.As an organic group of the said General formula (5), a vinyl group, an isopropenyl group, etc. are mentioned, for example. As a silane compound of the said General formula (3) which has these organic groups, it is vinyl trimethoxysilane, vinyl, for example. Triethoxysilane, vinyltriacetoxysilane, vinylmethyldimethoxysilane, vinylmethyldiethoxysilane, vinylmethyldiacetoxysilane and the like. These may use only 1 type or may use 2 or more types together.

상기 화학식(6)의 유기기로서는 예를 들면, 1-알케닐기 혹은 비닐페닐기, 이소 알케닐기 혹은 이소프로페닐페닐기 등을 들 수 있고, 이것들의 유기기를 가지는 상기 화학식(3)의 실란 화합물로서는 예를 들면, 1-헥세닐트리메톡시실란, 1-헥세닐트리에톡시실란, 1-옥테닐트리메톡시실란, 1-데세닐트리메톡시실란, γ-트리메톡시실릴프로필비닐에테르, ω-트리메톡시실릴운데칸산비닐에스테르, p-트리메톡시실릴스티렌, 1-헥세닐메틸디메톡시실란, 1-헥세닐메틸디에톡시실란 등을 들 수 있다. 이것들은 1종만을 사용해도, 2종 이상을 병용해도 된다. As an organic group of the said General formula (6), a 1-alkenyl group or a vinylphenyl group, an iso alkenyl group, or isopropenyl phenyl group etc. are mentioned, for example, As a silane compound of the said General formula (3) which has these organic groups, it is an example. For example, 1-hexenyltrimethoxysilane, 1-hexenyltriethoxysilane, 1-octenyltrimethoxysilane, 1-decenyltrimethoxysilane, γ-trimethoxysilylpropyl vinyl ether, ω -Trimethoxy silyl undecanoic acid vinyl ester, p-trimethoxy silyl styrene, 1-hexenylmethyldimethoxysilane, 1-hexenylmethyl diethoxysilane, etc. are mentioned. These may use only 1 type or may use 2 or more types together.

복합입자에 포함되는 비닐 중합체 골격은 (I) 실란 화합물의 가수분해 축합반응에 의해 수득된 폴리실록산 골격을 가지는 입자에, 비닐계 단량체 성분을 흡수시킨 후, 중합시킴으로써 얻을 수 있다. 또 특히 상기 실란 화합물이 가수분해성기와 함께, 비닐 결합을 함유하는 유기기를 가지는 경우에는, (II) 실란 화합물의 가수분해 축합반응후 에, 이것을 중합함으로써도 얻을 수 있다.The vinyl polymer backbone contained in the composite particles can be obtained by absorbing a vinyl monomer component into particles having a polysiloxane backbone obtained by the hydrolysis condensation reaction of the (I) silane compound, followed by polymerization. Moreover, especially when the said silane compound has an organic group containing a vinyl bond with a hydrolysable group, it can also be obtained by superposing | polymerizing this after the hydrolysis condensation reaction of (II) silane compound.

상기 복합입자는 (i) 폴리실록산 골격이 비닐계 중합체 골격중의 적어도 1개의 탄소원자에 규소원자가 직접 화학결합한 유기 규소원자를 분자내에 가지고 있는 형태(화학결합 타입)일 수 있고, (ii) 이러한 유기 규소원자를 분자내에 가지고 있지 않은 형태(IPN타입)일 수 있고, 특별하게 한정은 되지 않지만, (i)의 형태가 바람직하다. 또, 상기 (I)의 방법에서 폴리실록산 골격과 함께 비닐 중합체 골격을 얻는 경우에는, (ii)의 형태를 가지는 복합입자가 수득되고, 특히 상기 실란 화합물이 가수분해성기와 함께, 비닐 결합을 함유하는 유기기를 가지고 있으면, 상기 (i)과 (ii)의 형태를 겸비한 복합입자가 수득된다. 또, 상기 (II)과 같이 해서 폴리실록산 골격과 함께 비닐 중합체 골격을 얻은 경우에는, (i)의 형태를 가지는 복합입자가 수득된다.The multiparticulates may be in a form (chemical bond type) in which (i) the polysiloxane skeleton has an organosilicon atom in which a silicon atom is directly chemically bonded to at least one carbon atom in the vinyl-based polymer skeleton, and (ii) such organic It may be a form (IPN type) having no silicon atom in the molecule, and is not particularly limited, but the form of (i) is preferable. In the case of obtaining a vinyl polymer skeleton together with the polysiloxane skeleton in the method of (I), a multiparticulate having the form of (ii) is obtained, and in particular, the silane compound contains a vinyl bond together with a hydrolyzable group. If it has a group, the multiparticulate which combines the form of said (i) and (ii) is obtained. In addition, when the vinyl polymer skeleton is obtained together with the polysiloxane skeleton as in the above (II), a multiparticulate having the form of (i) is obtained.

상기 (I)이나 (II)의 방법에 있어서, 폴리실록산 골격을 가지는 입자에 흡수시킬 있는 단량체로서는 상기한 비닐계 단량체를 들 수 있고, 소망하는 복합입자의 물성에 따라서 적당하게 선택할 수 있다. 이것들은 1종만을 사용해도, 2종 이상을 병용해도 된다.In the method of said (I) or (II), the above-mentioned vinyl-type monomer is mentioned as a monomer which can be absorbed by the particle | grains which have a polysiloxane skeleton, It can select suitably according to the physical property of desired composite particle | grains. These may use only 1 type or may use 2 or more types together.

예를 들면, 소수성의 비닐계 단량체는 폴리실록산 골격을 가지는 입자에 단량체 성분을 흡수시킬 때에, 단량체 성분을 유화 분산시킨 안정된 에멀션을 생성시킬 수 있으므로 바람직하다. 또, 상기한 가교성 단량체를 사용하면, 수득되는 복합입자의 기계적 특성의 조절을 용이하게 할 수 있고, 또 복합입자의 내용제성을 향상시킬 수도 있다. 가교성 단량체로서는 상기 비닐 중합체 입자에 사용할 수 있는 것으로서 예시한 것을 사용할 수 있다. 상기 비닐 중합체 입자의 경우와 같이 방향족 디비닐 화합물이 바람직하고, 특히, 디비닐벤젠이 바람직하다. 또, 폴리실록산 골격을 가지는 입자에 흡수시키는 단량체로서 상기 비닐 중합체 입자에 대해서 예시한 비가교성 단량체를 사용해도 된다. 그 중에서도, 스티렌계 단량체가 바람직하고, 특히, 스티렌, α-메틸스티렌, 에틸비닐벤젠 등이 바람직하다.For example, hydrophobic vinyl-based monomers are preferable because they can produce a stable emulsion in which the monomer component is emulsified and dispersed when the monomer component is absorbed into the particles having a polysiloxane skeleton. In addition, by using the above-mentioned crosslinkable monomer, it is possible to easily control the mechanical properties of the obtained composite particles and to improve the solvent resistance of the composite particles. As a crosslinkable monomer, what was illustrated as what can be used for the said vinyl polymer particle can be used. As in the case of the vinyl polymer particles, an aromatic divinyl compound is preferable, and divinylbenzene is particularly preferable. Moreover, you may use the non-crosslinkable monomer illustrated about the said vinyl polymer particle as a monomer absorbed into the particle which has a polysiloxane skeleton. Especially, a styrene monomer is preferable, and styrene, (alpha) -methylstyrene, ethylvinylbenzene, etc. are especially preferable.

복합입자의 제조방법은 가수분해 축합공정과, 중합공정을 포함하는 것이 바람직하고, 가수분해, 축합공정 후, 중합공정 전에, 중합성 단량체를 흡수시키는 흡수공정을 포함시키는 것이 더 바람직하다. 흡수공정을 포함시키는 것에 의해, 복합입자 중의 비닐 중합체 골격성분의 함유량이나 함유되는 비닐 중합체 골격의 굴절율을 조정할 수 있다. 또, 가수분해 축합공정에 사용하는 실란 화합물이 폴리실록산 골격구조를 구성할 수 있는 요소와 함께 비닐 중합체 골격을 구성하는 요소를 더불어 가진 것이 아닌 경우에는, 상기 흡수공정을 필수로 하고, 이 흡수공정에 계속되는 중합공정에 있어서 비닐 중합체 골격이 형성된다.It is preferable that the manufacturing method of a composite particle includes a hydrolysis condensation process and a superposition | polymerization process, and it is more preferable to include the absorption process which absorbs a polymerizable monomer after a hydrolysis and condensation process and before a polymerization process. By including an absorption step, the content of the vinyl polymer skeleton component in the composite particles and the refractive index of the contained vinyl polymer skeleton can be adjusted. Moreover, when the silane compound used for a hydrolysis-condensation process does not have the element which comprises a vinyl polymer skeleton together with the element which can comprise a polysiloxane skeleton structure, the said absorption process is essential, and this absorption process is essential for this absorption process. In the subsequent polymerization step, a vinyl polymer backbone is formed.

상기 가수분해 축합공정이란 실란 화합물을, 물을 포함하는 용매 중에서 가수분해해서 축종합시키는 반응을 실시하는 공정이다. 가수분해 축합공정에 의해, 폴리실록산 골격을 가지는 입자(폴리실록산 입자)을 얻을 수 있다. 가수분해와 축종합은 일괄, 분할, 연속 등, 임의의 방법을 채용할 수 있다. 가수분해하고, 축종합시킬 때에는 촉매로서 암모니아, 요소, 에탄올아민, 테트라메틸암모늄 하이드로옥사이드, 알칼리금속 수산화물, 알칼리토금속 수산화물 등의 염기성촉매를 바람직하게 사용할 수 있다.The said hydrolysis condensation process is a process of carrying out the reaction which hydrolyzes and condenses a silane compound in the solvent containing water. By the hydrolysis condensation step, particles (polysiloxane particles) having a polysiloxane skeleton can be obtained. Hydrolysis and axial synthesis can employ | adopt arbitrary methods, such as batch, division | segmentation, and continuous. When hydrolysis and condensation are carried out, basic catalysts such as ammonia, urea, ethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, alkali metal hydroxides and alkaline earth metal hydroxides can be preferably used as catalysts.

상기 물을 포함하는 용매 중에는 물이나 촉매 이외에 유기용제를 포함시킬 수 있다. 유기용제로서는 예를 들면, 메탄올, 에탄올, 이소프로판올, n-부탄올, 이소부탄올, sec-부탄올, t-부탄올, 펜탄올, 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 1,4-부탄디올 등의 알코올류; 아세톤, 메틸에틸케톤 등의 케톤류; 에틸아세테이트 등의 에스테르류; 이소옥탄, 사이클로헥산 등의 (사이클로)파라핀류; 벤젠, 톨루엔 등의 방향족탄화수소류 등을 들 수 있다. 이것들은 단독으로 사용할 수도, 2종이상을 병용할 수도 있다.The solvent containing water may contain an organic solvent in addition to water or a catalyst. As an organic solvent, For example, Alcohol, such as methanol, ethanol, isopropanol, n-butanol, isobutanol, sec-butanol, t-butanol, pentanol, ethylene glycol, propylene glycol, 1, 4- butanediol; Ketones such as acetone and methyl ethyl ketone; Esters such as ethyl acetate; (Cyclo) paraffins such as isooctane and cyclohexane; Aromatic hydrocarbons, such as benzene and toluene, are mentioned. These may be used independently or may use 2 or more types together.

가수분해 축합공정에서는 또 음이온성, 양이온성, 비이온성의 계면활성제나, 폴리비닐알코올, 폴리비닐피롤리돈 등의 고분자분산제를 병용할 수도 있다. 이것들은 단독으로 사용할 수도 2종이상을 병용할 수도 있다.In the hydrolysis-condensation step, anionic, cationic or nonionic surfactants and polymer dispersants such as polyvinyl alcohol and polyvinylpyrrolidone may also be used in combination. These may be used independently or may use 2 or more types together.

가수분해 축합은 원료가 되는 상기 실란 화합물과, 촉매나 물 및 유기용제를 포함하는 용매를 혼합한 후, 온도 0℃이상 100℃이하, 바람직하게는 0℃이상 70℃이하에서, 30분이상 100시간 이하 교반하는 것에 의해 실시할 수 있다. 이것에 의해 폴리실록산 입자가 수득된다. 또, 소망하는 정도까지 가수분해 축합반응을 실시해서 입자를 제조한 후, 이것을 종입자로 하여, 반응계에 또한 실란 화합물을 첨가해서 종입자를 성장시킬 수 있다.Hydrolysis condensation is a mixture of the silane compound as a raw material and a solvent containing a catalyst, water, and an organic solvent, and then at a temperature of 0 ° C. to 100 ° C., preferably at 0 ° C. to 70 ° C., for 30 minutes or more. It can carry out by stirring for time or less. This yields polysiloxane particles. Further, after the hydrolysis condensation reaction is carried out to a desired degree to produce particles, the seed particles can be grown by further adding a silane compound to the reaction system as a seed particle.

흡수공정은 폴리실록산 입자의 존재 하에, 단량체 성분을 존재시킨 상태에서 진행하는 것이라면 특별하게 한정되지 않는다. 따라서, 폴리실록산 입자를 분산시킨 용매 중에 단량체 성분을 첨가할 수 있고, 단량체 성분을 포함하는 용매 중에 폴리실록산 입자를 첨가해도 된다. 그 중에서도 전자와 같이, 미리 폴리실록산 입자를 분산시킨 용매 중에, 단량체 성분을 첨가하는 것이 바람직하다. 특히, 가수분해, 축합공정에서 수득된 폴리실록산 입자를 반응액(폴리실록산 입자 분산액)로부터 꺼내지 않고, 이 반응액에 단량체 성분을 첨가하는 방법은 공정이 복잡해지지 않아, 생산성이 뛰어나기 때문에 바람직하다.The absorption step is not particularly limited as long as it proceeds in the presence of the monomer component in the presence of the polysiloxane particles. Therefore, a monomer component can be added in the solvent which disperse | distributed polysiloxane particle | grains, and polysiloxane particle | grains may be added to the solvent containing a monomer component. Especially, it is preferable to add a monomer component in the solvent which disperse | distributed polysiloxane particle previously like the former. In particular, the method of adding a monomer component to the reaction solution without removing the polysiloxane particles obtained in the hydrolysis and condensation step from the reaction solution (polysiloxane particle dispersion) is preferable because the process is not complicated and the productivity is excellent.

또, 흡수공정에 있어서는 폴리실록산 입자의 구조 중에 단량체 성분을 흡수시키지만, 단량체 성분의 흡수가 조속히 진행되도록, 폴리실록산 입자 및 단량체 성분 각각의 농도나, 폴리실록산과 단량체 성분의 혼합비, 혼합의 처리방법, 수단, 혼합시의 온도나 시간, 혼합 후의 처리방법, 수단 등을 적당하게 설정하고, 그 조건하에서 실시하는 것이 바람직하다.In the absorption step, the monomer component is absorbed in the structure of the polysiloxane particles, but the concentration of each of the polysiloxane particles and the monomer component, the mixing ratio of the polysiloxane and the monomer component, the processing method, the method of mixing, and the like so that the absorption of the monomer component proceeds as soon as possible. It is preferable to set the temperature and time at the time of mixing, the processing method, means, etc. after mixing suitably, and to carry out on the conditions.

이들 조건은 사용하는 폴리실록산 입자나 단량체 성분의 종류 등에 의해, 적당하게 그 필요성을 고려할 수 있다. 또 이것들 조건은 1종만을 적용해도, 적용해도 2종 이상을 합쳐서 적용해도 된다.These conditions can consider the necessity suitably according to the kind of polysiloxane particle | grains and monomer components used, etc. Moreover, these conditions may apply only 1 type, or may apply and it may apply in combination of 2 or more type.

상기 흡수공정에 있어서의 단량체 성분의 첨가량은 폴리실록산 입자의 원료로서 사용한 실란 화합물의 질량에 대해서, 질량에서 0.01배이상 100배이하로 하는 것이 바람직하다. 더 바람직하게는 0.1배이상 50배이하이고, 더욱 바람직하게는 0.3배이상 30배이하이다. 첨가량이 상기 범위에 이르지 않는 경우에는, 폴리실록산 입자의 단량체 성분의 흡수량이 적어지고, 생성하는 복합입자의 기계적 특성이 불충분하게 되는 경우가 있고, 상기 범위를 넘는 경우에는 첨가한 단량체 성분을 폴리실록산 입자에 완전하게 흡수시키기 곤란하게 될 경향이 있고, 미흡수의 단량체 성분이 잔존하기 때문에, 나중의 중합단계에 있어서 입자간의 응집이 발생하기 쉬워질 우려가 있다.It is preferable to make the addition amount of the monomer component in the said absorption process into 0.01 times or more and 100 times or less with respect to the mass of the silane compound used as a raw material of a polysiloxane particle. More preferably, they are 0.1 times or more and 50 times or less, More preferably, they are 0.3 times or more and 30 times or less. When the addition amount does not reach the above range, the absorption amount of the monomer component of the polysiloxane particles decreases, and the mechanical properties of the resultant composite particles may be insufficient. When the addition amount exceeds the above range, the added monomer component is added to the polysiloxane particles. It tends to be difficult to completely absorb it, and there is a fear that aggregation between particles is likely to occur in a later polymerization step because unabsorbed monomer components remain.

상기 흡수공정에 있어서, 단량체 성분의 첨가의 타이밍은 특별하게 한정되지 않고, 일괄에서 첨가할 수도 있고, 수회로 나누어서 첨가할 수도 있고, 임의의 속도로 공급할 수 있다. 또, 단량체 성분을 첨가할 때에는 단량체 성분만을 첨가할 수도, 단량체 성분의 용액을 첨가할 수도 있지만, 단량체 성분을 미리 유화제로 물 또는 수성매체에 유화 분산시킨 유화액을 폴리실록산 입자에 혼합하는 것이, 폴리실록산 입자로의 흡수가 보다 효율적으로 이루어지기 때문에 바람직하다.In the said absorption process, the timing of addition of a monomer component is not specifically limited, It can add in batch, can add in several times, and can supply at arbitrary speed. In addition, when adding a monomer component, only a monomer component may be added and the solution of a monomer component may be added, However, it is polysiloxane particle which mixes the emulsion liquid which emulsified and disperse | distributed the monomer component to water or an aqueous medium with emulsifier previously, to polysiloxane particle. It is preferable because the absorption of the furnace is made more efficient.

상기 유화제는 특별하게 한정되지 않지만, 예를 들면 상기 분산안정제로서 예시한 음이온성 계면활성제나, 폴리옥시에틸렌알킬에테르, 폴리옥시에틸렌알킬페닐에테르, 폴리옥시에틸렌 지방산 에스테르, 소르비탄 지방산 에스테르, 폴리옥시소르비탄 지방산 에스테르, 폴리옥시에틸렌알킬아민, 글리세린 지방산 에스테르, 옥시에틸렌-옥시프로필렌 블록폴리머 등의 비이온성 계면활성제가, 폴리실록산 입자, 단량체 성분을 흡수한 후의 폴리실록산 입자 및 복합입자의 분산상태를 안정화시킬 수도 있으므로 바람직하다.것들 유화제는, 1종만을 사용할 수도, 2종 이상을 병용할 수도 있다.Although the said emulsifier is not specifically limited, For example, the anionic surfactant illustrated as the said dispersion stabilizer, polyoxyethylene alkyl ether, polyoxyethylene alkyl phenyl ether, polyoxyethylene fatty acid ester, sorbitan fatty acid ester, polyoxy Nonionic surfactants such as sorbitan fatty acid esters, polyoxyethylene alkylamines, glycerin fatty acid esters, and oxyethylene-oxypropylene block polymers may stabilize the dispersion state of the polysiloxane particles and the composite particles after absorbing the polysiloxane particles and the monomer component. Since it may be sufficient, these emulsifiers may use only 1 type or may use 2 or more types together.

유화제의 사용량은 특별히 한정되는 것은 아니고, 구체적으로는, 유화해야 할 단량체 성분의 총질량 100질량부에 대해서 0.01질량부 이상으로 하는 것이 바람직하고, 더 바람직하게는 0.05질량부 이상, 더욱 바람직하게는 1질량부 이상이고, 10질량부 이하로 하는 것이 바람직하고, 더 바람직하게는 8질량부 이하, 더욱 바람직하게는 5질량부 이하이다. 0.01질량부 미만인 경우에는, 안정된 유화액이 수득되지 않을 경우가 있고, 10질량부를 넘을 경우에는, 유화중합 등이 부반응으로서 병발해버릴 우려가 있다. 유화액을 얻기 위해서는, 단량체 성분을 유화제와 함께 호모믹서나 초음파 호모게나이저 등을 사용해서 수중에서 유탁상태로 할 수 있다.The usage-amount of an emulsifier is not specifically limited, Specifically, it is preferable to set it as 0.01 mass part or more with respect to 100 mass parts of total mass of the monomer component to emulsify, More preferably, it is 0.05 mass part or more, More preferably, It is 1 mass part or more, It is preferable to set it as 10 mass parts or less, More preferably, it is 8 mass parts or less, More preferably, it is 5 mass parts or less. When it is less than 0.01 mass part, a stable emulsion may not be obtained, and when it exceeds 10 mass parts, there exists a possibility that emulsion polymerization etc. may coexist as a side reaction. In order to obtain an emulsion, a monomer component can be made into the emulsion state in water using a homomixer, an ultrasonic homogenizer, etc. with an emulsifier.

또, 단량체 성분을 유화제에서 유화 분산시킬 때는, 단량체 성분의 질량에 대해서 0.3배이상 10배이하의 물이나 수용성 유기용제를 사용하는 것이 바람직하다. 상기 수용성 유기용제로서는 메탄올, 에탄올, 이소프로판올, n-부탄올, 이소부탄올, sec-부탄올, t-부탄올, 펜탄올, 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 1,4-부탄디올 등의 알코올류; 아세톤, 메틸에틸케톤 등의 케톤류; 에틸아세테이트 등의 에스테르류 등을 들 수 있다.Moreover, when emulsion-dispersing a monomer component with an emulsifier, it is preferable to use 0.3 times or more and 10 times or less water or a water-soluble organic solvent with respect to the mass of a monomer component. As said water-soluble organic solvent, Alcohol, such as methanol, ethanol, isopropanol, n-butanol, isobutanol, sec-butanol, t-butanol, pentanol, ethylene glycol, propylene glycol, 1, 4- butanediol; Ketones such as acetone and methyl ethyl ketone; Ester, such as ethyl acetate, etc. are mentioned.

흡수공정은 0℃이상 60℃이하의 온도범위에서, 5분간이상 720분간이하, 교반하면서 실시하는 것이 바람직하다. 이들 조건은 사용하는 폴리실록산 입자나 단량체의 종류 등에 따라서, 적당하게 설정할 수 있고, 이것들의 조건은 1종만, 혹은 2종 이상을 합쳐서 채용할 수 있다. It is preferable to perform an absorption process, stirring, for 5 minutes or more and 720 minutes or less in the temperature range of 0 degreeC or more and 60 degrees C or less. These conditions can be set suitably according to the kind of polysiloxane particle | grains, monomer used, etc., These conditions can employ | adopt only 1 type or in combination of 2 or more types.

흡수공정에 있어서, 단량체 성분이 폴리실록산 입자에 흡수되었는지의 여부의 판단에 대해서는, 예를 들면 단량체 성분을 첨가하기 전 및 흡수단계 종료후에, 현미경에 의해 입자를 관찰하고, 단량체 성분의 흡수에 의해 입자경이 커지고 있는 것을 확인함으로써 용이하게 판단할 수 있다.In the absorption step, the determination of whether the monomer component is absorbed into the polysiloxane particles is carried out by observing the particles under a microscope, for example, before adding the monomer component and after completion of the absorption step. It can be judged easily by confirming that this is increasing.

중합공정은 단량체 성분을 중합반응시켜서, 비닐 중합체 골격을 가지는 입자를 얻는 공정이다. 구체적으로는 실란 화합물로서 비닐 결합을 가지는 유기기를 가지는 것을 사용하는 경우에는, 그 유기기의 비닐 결합을 중합시켜서 비닐 중합체 골격을 형성하는 공정이고, 흡수공정을 거친 경우에는, 흡수시킨 단량체 성분, 또는 흡수시킨 단량체 성분과 폴리실록산 골격이 가지는 비닐 결합을 중합시켜서 비닐(계) 중합체 골격을 형성하는 공정이지만, 양쪽에 해당하는 경우는 어느쪽의 반응에 의해서도 비닐(계) 중합체 골격을 형성하는 공정이 될 수 있다.The polymerization step is a step of polymerizing the monomer component to obtain particles having a vinyl polymer skeleton. Specifically, in the case of using a silane compound having an organic group having a vinyl bond, it is a step of polymerizing the vinyl bond of the organic group to form a vinyl polymer skeleton. Although it is a process of polymerizing the vinyl bond which a monomer component absorbed and a polysiloxane skeleton has, and forming a vinyl (system) polymer skeleton, in either case, it becomes a process of forming a vinyl (system) polymer skeleton by either reaction. Can be.

중합반응은 가수분해 축합공정이나 흡수공정 도중에 수행할 수 있고, 어느 한쪽 또는 양쪽의 공정후에 수행해도 되고, 특별하게 한정은 되지 않지만, 통상은 가수분해 축합공정 후(흡수공정을 실시한 경우에는 물론 흡수공정 후)에 개시하도록 한다. The polymerization reaction can be carried out during the hydrolysis condensation step or the absorption step, and may be carried out after either or both steps, and is not particularly limited, but usually after the hydrolysis condensation step (when the absorption step is performed, of course, absorption). After the process).

중합법은 특별하게 한정되지 않지만, 예를 들면 래디컬 중합개시제를 사용하는 방법, 자외선이나 방사선을 조사하는 방법, 열을 첨가하는 방법 등, 어느 것이나 채용가능하다. 상기 래디컬 중합개시제로서는 특별하게 한정되지 않지만, 예를 들면 상기 비닐 중합체 입자의 중합에 사용되는 것을 들 수 있다. 이것들 래디컬 중합개시제는 단독으로 사용할 수도, 2종 이상을 병용할 수도 있다.Although the polymerization method is not specifically limited, For example, the method of using a radical polymerization initiator, the method of irradiating an ultraviolet-ray or a radiation, the method of adding heat, etc. are employable. Although it does not specifically limit as said radical polymerization initiator, For example, what is used for superposition | polymerization of the said vinyl polymer particle is mentioned. These radical polymerization initiators may be used independently or may use 2 or more types together.

래디컬 중합개시제의 사용량은 단량체 성분의 총질량 100질량부에 대해서, 0.001질량부 이상으로 하는 것이 바람직하고, 더 바람직하게는 0.01질량부 이상, 더욱 바람직하게는 0.1질량부 이상이고, 20질량부 이하인 것이 바람직하고, 더 바람직하게는 10질량부 이하, 더욱 바람직하게는 5질량부 이하이다. 래디컬 중합개시제의 사용량이 0.001질량부 미만인 경우에는, 단량체 성분의 중합도가 올라가지 않는 경우가 있다. 래디컬 중합개시제의 용매에 대한 투입방법에 대해서는, 특별하게 한정은 없고, 최초(반응 개시전)에 전량 투입하는 방법(래디컬 중합개시제를 단량체 성분과 함께 유화 분산시켜 두는 형태, 단량체 성분이 흡수된 후에 래디컬 중합개시제를 투입하는 형태), 최초에 일부를 투입해 두고, 나머지를 연속 피드 첨가하는 방법, 또는, 단속적으로 펄스 첨가하는 방법, 혹은, 이것들을 조합시킨 수법 등, 종래 공지의 수법은 어느 것이나 채용할 수 있다.It is preferable that the usage-amount of radical polymerization initiator shall be 0.001 mass part or more with respect to 100 mass parts of total mass of a monomer component, More preferably, it is 0.01 mass part or more, More preferably, it is 0.1 mass part or more, and is 20 mass parts or less It is preferable, More preferably, it is 10 mass parts or less, More preferably, it is 5 mass parts or less. When the usage-amount of a radical polymerization initiator is less than 0.001 mass part, the polymerization degree of a monomer component may not rise. There is no restriction | limiting in particular about the addition method to the solvent of a radical polymerization initiator, The method of carrying out whole quantity in the beginning (before reaction start) (a form which emulsifies-disperses a radical polymerization initiator with a monomer component, and after a monomer component is absorbed) Any method known in the art, such as a method in which a polymerization initiator is added), a part is initially added and the remaining feed is continuously added, or an intermittent pulse addition method, or a combination method thereof is employed. can do.

래디컬 중합을 실시할 때의 반응온도는 40℃이상이 바람직하고, 더 바람직하게는 50℃이상이고, 100℃이하가 바람직하고, 더 바람직하게는 80℃이하이다. 반응온도가 너무 낮을 경우에는, 중합도가 충분하게 올라가지 않아, 복합입자의 기계적 특성이 불충분하게 되는 경향이 있고, 한편, 반응온도가 너무 높은 경우에는 중합 중에 입자간의 응집이 일어나기 쉬워지는 경향이 있다. 또, 래디컬 중합을 실시할 때의 반응시간은 사용하는 중합개시제의 종류에 따라 적당하게 변경할 수 있지만, 통상, 15분∼600분이 바람직하고, 더 바람직하게는 60분∼300분이다. 반응시간이 너무 짧은 경우에는, 중합도가 충분하게 올라가지 않을 경우가 있고, 반응시간이 너무 긴 경우에는 입자간에서 응집이 일어나기 쉬워지는 경향이 있다.The reaction temperature at the time of performing radical polymerization is preferably 40 ° C or higher, more preferably 50 ° C or higher, preferably 100 ° C or lower, and more preferably 80 ° C or lower. If the reaction temperature is too low, the degree of polymerization does not increase sufficiently, and the mechanical properties of the composite particles tend to be insufficient. On the other hand, if the reaction temperature is too high, aggregation between particles tends to occur during polymerization. Moreover, although reaction time at the time of radical polymerization can be suitably changed with the kind of polymerization initiator to be used, 15 minutes-600 minutes are preferable normally, More preferably, they are 60 minutes-300 minutes. If the reaction time is too short, the degree of polymerization may not sufficiently increase. If the reaction time is too long, aggregation tends to occur between particles.

상기한 제법에 의하면, 상기한 바람직한 특성(기계적 특성이나 입도분포특성 등)을 가지는 비닐계 중합체 미립자가 수득된다. According to the above production method, vinyl polymer microparticles having the above-described desirable characteristics (mechanical characteristics, particle size distribution characteristics, etc.) are obtained.

본 발명에 따른 기재입자는 전술한 바와 같이 해서 수득된 비닐계 중합체 미립자를 친수화 처리하여 이루어지는 것이다. 이하에, 비닐계 중합체 미립자의 친수화 처리에 대해서 설명한다.The substrate particles according to the present invention are obtained by hydrophilizing the vinyl polymer fine particles obtained as described above. Below, the hydrophilization treatment of vinyl polymer microparticles | fine-particles is demonstrated.

[비닐계 중합체 미립자의 친수화 처리][Hydrophilization Treatment of Vinyl Polymer Fine Particles]

친수화 처리방법은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 비닐계 중합체 미립자를 불소가스와 산소원자를 포함하는 화합물의 가스를 필수적으로 포함하는 혼합가스를 접촉시키는 것에 의해, 비닐계 중합체 미립자의 표면을 친수화하는 처리방법이 바람직하다. 이하, 이 친수화 처리방법에 대해서 설명한다. 친수화 처리는 비닐계 중합체 미립자와 혼합가스가 접촉하면 좋고, 그 방법은 특별하게 한정되지 않지만, 비닐계 중합체 미립자를 보유할 수 있는 용기 내에 혼합가스를 도입해서 밀봉상태에서 소정시간 처리하는 방법(밀봉 접촉법)이나, 비닐계 중합체 미립자를 보유할 수 있는 용기 내에, 혼합가스를 유통시켜, 연속적으로 공급하는 방법(연속 공급법)이 바람직하다.Although the hydrophilization treatment method is not particularly limited, the surface of the vinyl polymer microparticles is made hydrophilic by contacting the vinyl polymer microparticles with a mixed gas comprising essentially a gas of a compound containing a fluorine gas and an oxygen atom. The treatment method is preferred. Hereinafter, this hydrophilization treatment method will be described. The hydrophilization treatment may be such that the vinyl polymer fine particles and the mixed gas are in contact with each other, and the method is not particularly limited, but the mixed gas is introduced into a container capable of holding the vinyl polymer fine particles and treated for a predetermined time in a sealed state ( Sealed contact method) or a method of continuously supplying the mixed gas in a container capable of holding the vinyl polymer fine particles (continuous supply method) is preferable.

처리 시에는 혼합가스와 기재입자와의 접촉효율을 높이고, 단시간에 균일하게 친수화하는 것이 바람직하다. 접촉효율을 높이기 위해서는, 혼합가스를 처리 용기내에 확산하는 것이 바람직하고, 팬 등의 교반장치를 사용해서 혼합가스를 기류 교반하거나, 팔레트 등에 비닐계 중합체 미립자를 얇게 까는 방법 등을 들 수 있다. 또 비닐계 중합체 미립자를 교반할 수도 있고, 드럼 회전식 장치 등을 사용해서 처리용기를 회전시키거나, 교반장치로 비닐계 중합체 미립자를 유동시키는 방법 등을 들 수 있다. 이것들의 접촉 효율향상 수단은 복수를 조합시켜서 사용할 수 있다.At the time of treatment, it is preferable to increase the contact efficiency between the mixed gas and the substrate particles and to make the hydrophilic uniform in a short time. In order to increase the contact efficiency, it is preferable to diffuse the mixed gas into the processing vessel, and the mixed gas may be air-flow-stirred using a stirring device such as a fan, or a method of thinning vinyl polymer fine particles on a pallet or the like. Moreover, vinyl polymer microparticles | fine-particles can also be stirred, a method of rotating a process container using a drum rotary apparatus, etc., or the method of flowing vinyl polymer microparticles | fine-particles with a stirring apparatus, etc. are mentioned. These contact efficiency improvement means can be used in combination of plurality.

팔레트 등에 비닐계 중합체 입자를 얇게 까는 경우에는, 입자간에 편차없이 균일하게, 또한 단시간에 친수화 처리하기 위해서, 처리용기 내에는 비닐계 중합체 미립자층의 두께가 2㎜ 이하가 되도록, 장전하는 것이 바람직하다. 더 바람직한 입자층의 두께는 0.5㎜이하이다.When the vinyl polymer particles are thinly deposited on a pallet or the like, it is preferable to load them so that the thickness of the vinyl polymer fine particles layer is 2 mm or less in the processing container in order to uniformly and hydrophilize the particles without variation between the particles. Do. The thickness of the more preferable particle layer is 0.5 mm or less.

혼합가스에 있어서의 불소가스 농도는 0.01체적%∼1.0체적%으로 한다. 불소가스 농도가 0.01체적%보다 적으면, 친수화 처리가 불충분한 입자가 존재할 우려가 있다. 친수화 처리의 균일성이 우수한 점으로부터는, 불소가스 농도를 0.08체적% 이상으로 하는 것이 바람직하다. 불소가스 농도가 너무 높은 경우에는, 기재입자에 착색이 발생할 경우가 있지만, 불소가스 농도를 1.0체적% 이하로 하면, 백색 또는 착색되어도 약간이다. 0.3체적% 이하로 하는 것이 더 바람직하다.The concentration of fluorine gas in the mixed gas is 0.01% by volume to 1.0% by volume. If the fluorine gas concentration is less than 0.01% by volume, there is a fear that particles having insufficient hydrophilization treatment may exist. It is preferable to make fluorine gas concentration 0.08 volume% or more from the point which is excellent in the uniformity of a hydrophilization treatment. When the fluorine gas concentration is too high, coloration may occur in the substrate particles, but when the fluorine gas concentration is 1.0 vol% or less, it is slightly white or colored. It is more preferable to set it as 0.3 volume% or less.

혼합가스에 있어서는 불소가스와 함께, 산소원자를 포함하는 화합물의 가스도 필수성분이다. 산소원자를 포함하는 화합물의 가스로서는 산소, 이산화유황, 이산화탄소, 일산화탄소, 이산화질소 등이 바람직한 것으로서 들 수 있다. 이것들 중에서도, 마일드한 처리조건으로도 친수화 처리 효과가 높다는 점에서, 산소가스가 바람직하다. 혼합가스에는 불소가스 및 산소원자를 포함하는 화합물의 가스 이외에, 질소, 헬륨, 아르곤 등의 불활성가스도 사용가능하다. 또, 기상 중에서의 처리에 있어서의 분진폭발을 방지하고, 친수화 처리를 공업적 또한 안전하게 실시하는 관점으로부터는, 불활성가스로서 질소가스를 사용하는 것이 바람직하다. 따라서 혼합가스로서는 불소가스, 산소원자를 포함하는 화합물의 가스 및 불활성가스로 이루어지는 조성을 가지는 것이 바람직하고, 불소가스, 산소가스 및 질소가스를 포함하는 혼합가스가 더 바람직하다.In mixed gas, the gas of the compound containing an oxygen atom is also an essential component with fluorine gas. As a gas of a compound containing an oxygen atom, oxygen, sulfur dioxide, carbon dioxide, carbon monoxide, nitrogen dioxide, etc. are mentioned as a preferable thing. Among these, an oxygen gas is preferable at the point that the hydrophilization effect is high also in mild process conditions. In addition to the gas of the compound containing fluorine gas and oxygen atom, inert gas, such as nitrogen, helium, argon, can also be used for mixed gas. Moreover, it is preferable to use nitrogen gas as an inert gas from a viewpoint of preventing dust explosion in the process in a gaseous phase, and industrially and safely performing a hydrophilization process. Therefore, the mixed gas preferably has a composition consisting of fluorine gas, a gas of a compound containing oxygen atoms, and an inert gas, and more preferably a mixed gas containing fluorine gas, oxygen gas, and nitrogen gas.

혼합가스에 있어서의 산소원자를 포함하는 화합물의 가스의 농도는, 0.1체적%∼99.99체적%이라면 기재입자의 친수화를 실시할 수 있다. 산소원자를 포함하는 화합물의 가스의 농도가 0.1체적%보다 적으면, 친수화 처리가 불충분한 입자가 존재할 우려가 있다. 친수화의 정도가 균일한 입자(분체)를 얻기 위해서는, 또, 고도로 친수화된 입자를 단시간에 얻기 위해서는, 산소원자를 포함하는 화합물의 가스농도는 0.1체적% 이상인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 0.5체적% 이상이다. 한편, 산소원자를 포함하는 화합물의 가스의 농도가 높은 것은, 입자의 친수화에 악영향을 미치는 경우는 없지만, 친수화 처리에 있어서의 분진폭발의 발생을 억제하고, 안전하게 친수화 처리를 수행할 수 있다는 이유에서는 10체적% 이하가 바람직하고, 더 바람직하게는 5체적% 이하이다.If the concentration of the gas of the compound containing the oxygen atom in the mixed gas is 0.1% by volume to 99.99% by volume, the substrate particles can be hydrophilized. If the gas concentration of the compound containing the oxygen atom is less than 0.1% by volume, there is a fear that particles having insufficient hydrophilization treatment may be present. In order to obtain particles (powder) having a uniform degree of hydrophilization, and to obtain highly hydrophilized particles in a short time, the gas concentration of the compound containing oxygen atoms is preferably 0.1 vol% or more, more preferably. 0.5 volume% or more. On the other hand, the high concentration of the gas of the compound containing oxygen atoms does not adversely affect the hydrophilization of the particles, but suppresses the occurrence of dust explosion in the hydrophilization treatment, and can safely perform the hydrophilization treatment 10 vol% or less is preferable from the reason for being present, More preferably, it is 5 vol% or less.

혼합가스의 성분으로서 불활성가스를 사용하는 경우에는, 불활성가스의 농도는 특별하게 한정되지 않고, 불소가스와 산소원자를 포함하는 화합물의 가스에 의한 친수화 처리의 효과를 손상시키지 않는 범위에서 적당하게 선택할 수 있다. 통상, 99체적% 이하가 바람직하다. 99체적%을 넘으면, 친수화가 불충분한 입자가 존재하게 될 우려가 있다. 또 친수화 처리에 있어서의 분진폭발의 발생을 억제하고, 안전하게 친수화 처리를 수행할 수 있다는 이유에서는 불활성가스의 농도는 90체적% 이상인 것이 바람직하고, 94질량% 이상이 더 바람직하다.In the case of using an inert gas as a component of the mixed gas, the concentration of the inert gas is not particularly limited, and the concentration of the inert gas is suitably within a range that does not impair the effect of the hydrophilization treatment by the gas of the compound containing fluorine gas and oxygen atoms. You can choose. Usually, 99 volume% or less is preferable. When it exceeds 99 volume%, there exists a possibility that the particle with insufficient hydrophilization may exist. Moreover, it is preferable that the concentration of an inert gas is 90 volume% or more, and 94 mass% or more is more preferable for suppressing generation | occurrence | production of the dust explosion in a hydrophilization treatment, and performing hydrophilization treatment safely.

혼합가스 중의 불소가스의 분압은 8Pa(0.06Torr) 이상이면 친수화 처리의 균일성이 뛰어나고, 바람직하다. 더 바람직하게는 24Pa(0.18Torr) 이상, 더욱 바람직하게는 64Pa(0.48Torr) 이상이다. 친수화 처리에 의한 비닐계 중합체 골격의 분해나 착색을 억제한다는 관점으로부터는, 불소가스의 분압을 1000Pa(7.5Torr) 이하로 하는 것이 바람직하고, 700Pa(5.25Torr) 이하가 더 바람직하다.If the partial pressure of the fluorine gas in the mixed gas is 8 Pa (0.06 Torr) or more, the uniformity of the hydrophilization treatment is excellent and preferable. More preferably, it is 24 Pa (0.18 Torr) or more, More preferably, it is 64 Pa (0.48 Torr) or more. From the viewpoint of suppressing decomposition and coloring of the vinyl polymer skeleton by the hydrophilization treatment, the partial pressure of the fluorine gas is preferably 1000 Pa (7.5 Torr) or less, and more preferably 700 Pa (5.25 Torr) or less.

혼합가스의 성분으로서 산소가스를 사용하는 경우의 산소가스의 분압은 친수화 처리를 균일하게 실시하는 관점에서, 70Pa(0.53Torr)∼85000Pa(637.6Torr)가 바람직하다. 또, 공업적 또한 안전하게 친수화 처리를 실시하는 관점에서는 70Pa∼7998Pa(60Torr)이로 하는 것이 바람직하고, 더 바람직하게는 70Pa∼3999Pa(30Torr)이다. 산소원자를 포함하는 화합물의 가스의 분압에 대해서도 바람직한 범위는 동일하다. When the oxygen gas is used as a component of the mixed gas, the partial pressure of the oxygen gas is preferably 70 Pa (0.53 Torr) to 85000 Pa (637.6 Torr) from the viewpoint of uniformly performing the hydrophilization treatment. Further, from the viewpoint of industrially and safely performing a hydrophilization treatment, it is preferable to be 70 Pa to 7798 Pa (60 Torr), more preferably 70 Pa to 3999 Pa (30 Torr). The preferred range for the partial pressure of the gas of the compound containing the oxygen atom is also the same.

혼합가스의 성분으로서 질소가스를 사용하는 경우의 질소가스의 분압은 공업적 또한 안전하게 친수화 처리를 실시하는 관점에서 3199Pa(24Torr)∼79180Pa(594Torr)로 하는 것이 바람직하고, 더 바람직하게는 71918Pa(540Torr)∼79180Pa(594Torr)이다. 다른 불활성가스를 사용하는 경우에 대해서도 다른 불활성가스의 분압의 바람직한 범위는 동일하다.When using nitrogen gas as a component of the mixed gas, the partial pressure of nitrogen gas is preferably 3199 Pa (24 Torr) to 79180 Pa (594 Torr) from the viewpoint of industrially and safely performing hydrophilization treatment, more preferably 71918 Pa ( 540 Torr) to 79180 Pa (594 Torr). Also when using another inert gas, the preferable range of the partial pressure of another inert gas is the same.

혼합가스의 전체 압은 안전하게 친수화 처리를 실시하기 위해서는, 101.3kPa(760Torr) 이하가 바람직하다. 101.3kPa를 넘으면 혼합가스가 용기외로 누출될 우려가 있다.The total pressure of the mixed gas is preferably 101.3 kPa (760 Torr) or less in order to safely perform the hydrophilization treatment. If it exceeds 101.3 kPa, the mixed gas may leak out of the container.

혼합가스와 비닐계 중합체 미립자와의 비율은 밀봉 접촉식의 경우, 비닐계 중합체 미립자 1kg에 대해서, 상온상압 환산으로 혼합가스를 30ℓ∼4000 ℓ로 하는 것이 바람직하고, 1000ℓ∼3000ℓ가 되도록 공급하는 것이 더 바람직하다. 연속 공급식의 경우에는 기재입자 1kg에 대해서, 상온상압 환산으로 토털 유량이 30ℓ∼15000ℓ가 되도록 공급하는 것이 바람직하고, 1000ℓ∼10000ℓ가 되도록 공급하는 것이 바람직하다.In the case of the sealed contact type, the ratio of the mixed gas to the vinyl polymer fine particles is preferably 30 L to 4000 L in terms of normal temperature and normal pressure for 1 kg of the vinyl polymer fine particles, and the feed ratio is preferably 1000 L to 3000 L. More preferred. In the case of the continuous feed type, it is preferable to supply so that the total flow rate may be 30 L to 15000 L in terms of normal temperature and normal pressure with respect to 1 kg of substrate particles, and it is preferable to supply so that it becomes 1000 L to 10000 L.

구체적으로는, 밀봉 접촉식의 경우에는 밀봉가능한 챔버에, 용기에 넣은 비닐계 중합체 미립자를 넣고, 감압한 후, 혼합가스를 도입하고, 소정의 시간처리를 실시한다. 수분이 잔존하면, HF가 발생해서 위험하므로, 감압 시에는 충분히 진공배기하는 것이 바람직하다. 연속 공급식의 경우에는 소정시간 혼합가스를 도입할 수 있다.Specifically, in the case of the sealed contact type, the vinyl polymer fine particles put in the container are put in a sealable chamber, and the pressure is reduced, a mixed gas is introduced, and a predetermined time treatment is performed. If moisture remains, HF is generated and dangerous. Therefore, it is preferable to evacuate sufficiently under reduced pressure. In the case of continuous feeding, a mixed gas can be introduced for a predetermined time.

밀봉 접촉식의 경우에는 혼합가스를 도입하기 전에, 미리 챔버내를 예열할 수 있다. 반응온도는 -20℃∼200℃ 정도가 바람직하고, 0℃∼100℃정도가 더 바람직하고, 10℃∼40℃가 더욱 바람직하다. 반응온도가 200℃를 넘으면 비닐 중합체 입자가 분해되어 버릴 우려가 있고, -20℃보다 낮아지면 친수화 처리가 불충분하게 될 경우가 있다. 또, 반응온도란 챔버내의 가스의 온도를 의미한다.In the case of hermetic contact, the chamber can be preheated in advance before introducing the mixed gas. About -20 degreeC-about 200 degreeC are preferable, about 0 degreeC-about 100 degreeC are more preferable, and 10 degreeC-40 degreeC are still more preferable. If the reaction temperature exceeds 200 ° C, the vinyl polymer particles may be decomposed. If the temperature is lower than -20 ° C, the hydrophilization may be insufficient. In addition, reaction temperature means the temperature of the gas in a chamber.

혼합가스의 도입 시에는 산소원자를 포함하는 화합물의 가스 혹은 그 밖의 불소가스 이외의 가스를 먼저 챔버에 도입하고, 그 나중에 불소가스를 도입할 수 있고, 미리 혼합한 가스를 도입할 수도 있다.At the time of introducing the mixed gas, a gas other than the gas of the compound containing oxygen atoms or other fluorine gas may be introduced into the chamber first, followed by the introduction of the fluorine gas, or a gas mixed in advance.

비닐계 중합체 미립자와 혼합가스의 접촉시간(처리시간)은 특별하게 한정되지 않고, 소망의 친수화 정도가 이루어질 때까지 처리할 수 있지만, 대체로 10분∼60분정도로 처리는 완료한다. 처리후는, 다시 0.13Pa(0.001Torr) 정도까지 감압하고, 그 후에 질소가스를 도입한다는 공정을 실시하는 것이 바람직하다. 이 공정이 끝나면, 대기압에 개방한다.The contact time (treatment time) of the vinyl polymer fine particles and the mixed gas is not particularly limited and can be processed until the desired degree of hydrophilization is achieved, but the treatment is generally completed in about 10 to 60 minutes. After the treatment, the pressure is reduced to about 0.13 Pa (0.001 Torr) again, and thereafter, a step of introducing nitrogen gas is preferably performed. At the end of this process, open to atmospheric pressure.

본 비닐계 중합체 미립자의 친수화 처리공정에 있어서는, 상기 가스에 의한 접촉 처리 후, 혼합가스 접촉 후의 입자를, 추가로 수분과 접촉시키는 처리를 실시하는 것이 바람직하다. 혼합가스와의 접촉에 의해 입자표면에 형성된 -C(F)=O가 수분과 접촉함으로써, 보다 효율적으로 카르복시기로 전환된다. 또, 이때 생성하는 HF나 입자표면에 흡착하고 있는 HF 혹은 F2를 유효하게 제거할 수도 있다. 상기 수분은 알칼리성 수용액, 및/또는, 물 및/또는 수증기인 것이 바람직하다.In the hydrophilization treatment step of the vinyl polymer fine particles, it is preferable to carry out a treatment of contacting the particles after the mixed gas contact with water after the contact treatment with the gas. By contact with the mixed gas, -C (F) = O formed on the surface of the particles comes into contact with moisture, thereby more efficiently converting to a carboxyl group. At this time, HF generated or HF or F 2 adsorbed on the particle surface can be effectively removed. It is preferable that the said moisture is alkaline aqueous solution, and / or water and / or water vapor.

혼합가스 접촉 후의 입자와 수분을 접촉시키는 형태로서는, 수분으로서 알칼리성 수용액을 사용하는 형태; 물 및/또는 수증기를 사용하는 형태; 알칼리성 수용액과, 물 및/또는 수증기를 사용하는 형태의 어느 것일 수 있다. 그 중에서도, 알칼리성 수용액과, 물 및/또는 수증기를 사용하는 형태가 바람직하다. 또, 접촉순서는 특별하게 한정되지 않지만, 입자표면에 흡착하고 있는 HF 혹은 F2 등을 효율적으로 제거하는 관점에서는 입자를 알칼리성 수용액과 접촉시킨 후, 물 및/또는 수증기와 접촉시키는 것이 바람직하다. 알칼리성 수용액과 접촉시키면, 입자표면에는 카르복시산의 알칼리 금속염이나 아민염(이하, ‘카르복시산염’이라고 언급하는 경우가 있다. )이 형성된다. 이 카르복시산염은 입자의 친수성을 한층더 높이기 때문에 바람직하고, 그 후에 입자를, 물 및/또는 수증기와 접촉시킴으로써 여분의 알칼리성 수용액을 세정할 수 있다. 또, 본 명세서에서는 이하, 입자와 알칼리성 수용액을 접촉시킬 경우를 알칼리처리라고 하고, 입자와 물과를 접촉시키는 경우를 온수세정이라고 하는 경우가 있다.As a form which makes particle and water contact after mixed gas contact, the form which uses alkaline aqueous solution as water; Forms using water and / or steam; It may be in any form using an alkaline aqueous solution and water and / or water vapor. Especially, the form using alkaline aqueous solution and water and / or water vapor is preferable. The order of contact is not particularly limited, but from the viewpoint of efficiently removing HF or F2 and the like adsorbed on the particle surface, it is preferable to contact the particles with an alkaline aqueous solution and then contact with water and / or water vapor. When contacted with an alkaline aqueous solution, an alkali metal salt or amine salt of carboxylic acid (hereinafter sometimes referred to as "carboxylate") is formed on the particle surface. This carboxylate is preferable because it further enhances the hydrophilicity of the particles. After that, the alkaline aqueous solution can be washed by contacting the particles with water and / or water vapor. In the present specification, the case where the particles and the alkaline aqueous solution are brought into contact with each other is referred to as alkali treatment, and the case where the particles and water are brought into contact with each other may be referred to as warm water washing.

카르복시기 또는 카르복시산염으로의 전환을 효율적으로 진행시키고, 또한 입자표면에 흡착하고 있는 HF나 F2를 유효하게 제거하고, 용출성 불소를 저감하기 위한 물과의 접촉 처리방법으로서는 특별하게 한정되지 않지만, 예를 들면 가스와의 접촉에 사용한 챔버를 대기압에 개방한 후, 챔버내에 수증기를 보내고, 입자와 물을 접촉시키는 방법; 가스와의 접촉에 사용한 챔버를 대기압에 개방한 후, 챔버내에 수증기를 보내고, 입자와 물을 접촉시킨 후, 또한, 입자를 꺼내서 수중으로 분산시켜서 물이나 물을 포함하는 용매로 세정하는 방법; 가스와의 접촉후, 챔버로부터 꺼낸 입자를, 별도 수증기 분위기 중에 담그거나, 물이나 물을 포함하는 용매로 세정하는 방법; 가스와의 접촉후, 챔버로부터 꺼낸 입자를 알칼리성 수용액 중에 분산시켜서 알칼리처리하는 방법; 가스와의 접촉후, 챔버로부터 꺼낸 입자를 알칼리성 수용액 중에 분산시켜서 알칼리처리한 후, 또한, 입자를 꺼내서 수 중으로 분산시켜서 물이나 물을 포함하는 용매로 세정하는 방법 등을 들 수 있다. 수분과의 접촉시간은 1분∼600분 정도가 바람직하다.Carboxyl or advances the conversion of carboxylic acid salts efficiently, and is not limited to effectively remove HF or F 2 that is adsorbed to the particle surface, and special As the contact treatment with the water to reduce the eluting fluorine, For example, after the chamber used for contact with the gas is opened to atmospheric pressure, water vapor is sent into the chamber and the particles are brought into contact with water; A method of opening the chamber used for contact with the gas to atmospheric pressure, sending water vapor into the chamber, contacting the particles with water, and further removing the particles, dispersing them in water, and washing with water or a solvent containing water; A method of immersing the particles taken out of the chamber after contact with the gas in a separate steam atmosphere or washing with water or a solvent containing water; A method in which the particles taken out of the chamber are dispersed in an alkaline aqueous solution and then subjected to alkali treatment after contact with the gas; The particle | grains taken out from the chamber after contact with gas are disperse | distributed in alkaline aqueous solution, and the alkali treatment is carried out, and also the method of taking out a particle | grain, disperse | distributing in water, and wash | cleaning with water or a solvent containing water, etc. are mentioned. The contact time with moisture is preferably about 1 minute to 600 minutes.

-C(F)=O의 카르복시기 또는 카르복시산염으로의 전환을 효율적으로 진행시키고, 또 이 때 생성되는 HF나 입자표면에 흡착하고 있는 HF 혹은 F2를 유효하게 제거하기 위해서, 수분(알칼리성 수용액, 및/또는, 물 및/또는 수증기)의 온도는, 20℃이상으로 하는 것이 바람직하고, 더 바람직하게는 40℃이상, 더욱 바람직하게는 60℃이상, 가장 바람직하게는 80℃이상이다.In order to efficiently advance the conversion of -C (F) = O to a carboxyl group or carboxylate, and to effectively remove HF or F2 adsorbed on the surface of HF and particles produced at this time, water (alkaline aqueous solution, and And / or the temperature of water and / or water vapor) is preferably 20 ° C or higher, more preferably 40 ° C or higher, still more preferably 60 ° C or higher, and most preferably 80 ° C or higher.

또, 알칼리성 수용액 및/또는 물이나 물을 포함하는 용매로 입자를 처리하는 경우에는, 용매와 입자의 합계 100질량% 중, 입자농도를 0.5질량%∼50질량%로 하는 것이 바람직하다. 입자농도가 0.5질량% 미만이면, 소정량의 입자를 세정할 때에 발생하는 불소화 배수의 량이 증대하기 때문에, 공업적으로 코스트가 상승할 우려가 있다. 입자농도가 50질량%을 넘으면, 세정이 불충분하게 될 우려가 있다. 입자의 세정을 효율적으로 실시하기 위해서, 용매에 입자를 넣은 상태에서 초음파분산을 실시하는 것도 바람직하다.Moreover, when treating particle | grains with the alkaline aqueous solution and / or the solvent containing water or water, it is preferable to make particle concentration into 0.5 mass%-50 mass% in 100 mass% of a total of a solvent and particle | grains. If the particle concentration is less than 0.5% by mass, the amount of fluorinated waste water generated when washing a predetermined amount of particles increases, which may increase the industrial cost. If the particle concentration exceeds 50% by mass, there is a fear that the washing will be insufficient. In order to perform the washing | cleaning of particle | grains efficiently, it is also preferable to perform ultrasonic dispersion in the state which put the particle | grains in the solvent.

전술한 바와 같이, 입자표면에 부착되고 있는 불소성분 등의 용출성 불소는, 입자의 안전성, 혹은 다른 재료와의 접촉에 의해 부식 등의 문제를 발생시킬 우려가 있기 때문에, 가능한한 저감시켜, 제거하는 것이 바람직하고, 상기 수분으로서 알칼리성 수용액을 사용하는 알칼리처리를 실시하면, 입자표면에 흡착한 용출성 불소를 한층더 효율적으로 제거할 수 있다. 또, 알칼리처리에 의해 기재입자 표면의 카르복시기가 카르복시산염으로 전환되기 때문에, 입자의 친수성이 높아지고, 나아가서는 기재입자의 도금성도 양호해진다.As described above, the elutable fluorine such as the fluorine component adhering to the surface of the particle may cause problems such as corrosion due to the safety of the particle or contact with other materials, and therefore, it is reduced and removed as much as possible. It is preferable to carry out an alkali treatment using an alkaline aqueous solution as the water, and the eluted fluorine adsorbed on the particle surface can be more efficiently removed. In addition, since the carboxyl groups on the surface of the substrate particles are converted to carboxylates by alkali treatment, the hydrophilicity of the particles is increased, and the plating properties of the substrate particles are also improved.

알칼리성 수용액으로서는 암모니아, 모노에탄올아민, 디에탄올아민 등의 수용성 아민류의 수용액, 수산화리튬, 수산화나트륨, 수산화칼륨, 수산화르비지움, 수산화세슘 등의 알칼리금속수산화물이나, 탄산리튬, 탄산나트륨, 탄산칼륨, 탄산르비지움, 탄산세슘 등의 알칼리금속탄산염 등의 알칼리금속화합물을 물에 용해한 알칼리금속원소 이온을 함유하는 수용액이 바람직하게 사용된다. 상기 알칼리성 수용액 중에서도 알칼리금속 원소이온을 함유하는 수용액이 바람직하고, 또한, 나트륨 이온을 가지는 것이 더 바람직하고, 특히, 수산화 나트륨 수용액이 바람직하다.As alkaline aqueous solution, aqueous solution of water-soluble amines, such as ammonia, monoethanolamine, and diethanolamine, alkali metal hydroxides, such as lithium hydroxide, sodium hydroxide, potassium hydroxide, a rhodium hydroxide, cesium hydroxide, lithium carbonate, sodium carbonate, potassium carbonate, potassium carbonate An aqueous solution containing alkali metal element ions in which alkali metal compounds such as alkali metal carbonates such as rubidium and cesium carbonate are dissolved in water is preferably used. Among the alkaline aqueous solutions, aqueous solutions containing alkali metal element ions are preferable, and further preferably have sodium ions, and particularly preferably aqueous sodium hydroxide solution.

알칼리성 수용액의 농도는 0.01N∼5N인 것이 바람직하다. 더 바람직하게는 0.05N∼2N이고, 더욱 바람직하게는 0.1N∼1N이다. 알칼리처리의 구체적인 방법은 특별하게 한정되지 않지만, 예를 들면 가스와의 접촉후, 챔버에서 꺼낸 입자를 상기 농도의 알칼리성 수용액에 분산시킨 후, 80℃이상의 온도에서, 1분∼600분간, 입자를 알칼리성 수용액과 접촉시키는 방법을 들 수 있다.It is preferable that the density | concentration of alkaline aqueous solution is 0.01N-5N. More preferably, they are 0.05N-2N, More preferably, they are 0.1N-1N. Although the specific method of alkali treatment is not specifically limited, For example, after contacting with a gas, the particle | grains taken out from the chamber are disperse | distributed to the alkaline aqueous solution of the said density | concentration, and a particle | grain is carried out for 1 minute-600 minutes at the temperature of 80 degreeC or more. The method of contacting with alkaline aqueous solution is mentioned.

수득된 기재입자에 함유되는 불소원자의 량(전체 불소량), 이온화해서 유리하는 불소원자의 량(용출성 불소 함유량) 및 비용출성 불소 함유량은 이하의 방법에 의해 측정할 수 있다. The amount of fluorine atoms (total amount of fluorine) contained in the obtained substrate particles, the amount of fluorine atoms that are ionized and liberated (elutable fluorine content), and the non-elutable fluorine content can be measured by the following method.

[전체 불소량: 산소 연소 플라스크법][Total Fluorine Amount: Oxygen Combustion Flask Method]

3cm×2cm의 여과지 상에 2mg의 입자를 칭량하고, 입자가 비산하지 않도록 감싼다. 산소 플라스크에 부속된 백금제 바스켓을 분젠버너로 가열하고, 적열상태를 5초 정도를 계속한다. 바스켓이 식으면, 입자를 감싼 여과지를 바스켓에 넣는다. 용량 500㎖의 산소 플라스크에 15㎖의 증류수를 넣고, 플라스크 내벽을 적시면, 플라스크내를 산소분위기로 치환된다. 이어서, 바스켓내의 여과지에 점화하고, 이것을 민첩하게 플라스크내로 삽입한다. 연소후, 플라스크를 2, 3회 진탕시키고, 30분간 방치한 후, 용량 100㎖의 폴리프로필렌제 비이커에 플라스크의 내용물을 옮기고, 추가로 증류수를 첨가해서 합계 50㎖로 조정한다. 완충액 5㎖을 첨가해서 pH를 일정하게 조정하고, 마그네틱 교반기로 교반하면서, 이온미터로 불소 이온농도를 측정하고, 전체 불소량(㎎/g)을 산출하였다. 여기에서, 이온미터는 「Orion 11150004-Star」(ThermoFisher Scientific사)를, 전극은 「Orion 9609BNWP」(동사)를 사용하였다. 2 mg of particles are weighed on a 3 cm × 2 cm filter paper and wrapped so that the particles do not scatter. The platinum basket attached to the oxygen flask is heated with a Bunsen burner and the glowing state is continued for about 5 seconds. When the basket cools, filter paper wrapped in particles is placed in the basket. 15 ml of distilled water is put into a 500 ml oxygen flask, and the inner wall of the flask is wetted to replace the flask with an oxygen atmosphere. Subsequently, the filter paper in the basket is ignited, and this is quickly inserted into the flask. After the combustion, the flask was shaken two or three times and left for 30 minutes, after which the contents of the flask were transferred to a 100-mL polypropylene beaker, and distilled water was further added to adjust the total amount to 50 ml. 5 ml of buffer was added, pH was adjusted uniformly, the fluorine ion concentration was measured by the ion meter, stirring with the magnetic stirrer, and the total amount of fluorine (mg / g) was computed. Here, the ion meter used "Orion 11150004-Star" (ThermoFisher Scientific) and the electrode "Orion 9609BNWP" (verb).

[용출성 불소 함유량: 불소 이온 전극법][Elutable Fluorine Content: Fluorine Ion Electrode Method]

용량 100㎖의 폴리프로필렌제 비이커에 50㎖의 증류수를 주입하고, 추가로 5㎖의 완충액을 첨가하였다. 이것을 마그네틱 교반기로 교반하면서, 액중에 불소 이온 전극을 침지시켰다. 0.2g의 입자를 투입하고, 투입후 360분의 불소 이온농도를 측정하고, 용출성 불소 함유량(㎎/g)으로 하였다. 이온미터 및 전극은 전체 불소량의 측정의 경우와 동일한 것을 사용하였다.50 mL of distilled water was injected into a 100 mL polypropylene beaker, and 5 mL of buffer solution was further added. While stirring this with a magnetic stirrer, the fluorine ion electrode was immersed in the liquid. 0.2 g of particles were added, and the concentration of fluorine ions for 360 minutes was measured after the addition, and the elution fluorine content (mg / g) was used. The ion meter and the electrode used the same thing as the case of the measurement of the total fluorine amount.

[비용출성 불소 함유량][Non-elutable fluorine content]

비용출성 불소 함유량(㎎/g)은 하기식에 의해 산출하였다.The non-elutable fluorine content (mg / g) was calculated by the following formula.

비용출성 불소 함유량 = (전체 불소량) - (용출성 불소 함유량)Non-elutable fluorine content = (total amount of fluorine)-(elutable fluorine content)

또, 상기한 친수화 처리에 의해 수득된 기재입자의 산가로서는 이하의 방법에 의해 측정되는 값을 사용하였다.In addition, the value measured by the following method was used as an acid value of the substrate particle obtained by the said hydrophilization treatment.

[산가의 측정][Measurement of Acid Value]

량한 0.5g의 기재입자에 초순수(ultrapure water)(Organo사, 「PURELITE」PRA-0015-000형으로 조제, 18.2MΩ·cm 이하)을 첨가해서 전량을 50g으로 조정한 후, 초음파처리를 10분간 실시하였다. 이어서, 기재입자의 분산액에 자동적정 장치(히라누마산업주식회사, COM-1600)을 사용해서 농도 0.005M의 KOH수용액(적정액)을 적하해서 중화 적정을 실시하고, 전위변화량이 최대가 이루어질 때의 적정액의 첨가량을 산출하고, 하기식에 의해 산가를 산출하였다.Ultrapure water (Organo Co., Ltd., formulated with "PURELITE" PRA-0015-000 type, 18.2 MΩ · cm or less) was added to a small amount of 0.5 g of substrate particles, and the total amount was adjusted to 50 g. Was carried out. Subsequently, a neutralizing titration was carried out by dropping a KOH aqueous solution (titration solution) having a concentration of 0.005M by using an automatic titrator (COM-1600, Hiranuma Industrial Co., Ltd.) to the dispersion of the substrate particles, and performing a neutralization titration. The addition amount of the titrant was calculated, and the acid value was calculated by the following formula.

Figure pct00008
Figure pct00008

[카르복시기 및 카르복시산염 생성 확인][Confirmation of Carboxylic Acid and Carboxylate Generation]

친수화 처리후의 입자표면에 있어서의 카르복시기 및 카르복시산염의 생성의 유무는 X선 광전자 분석장치(ESCA: 알박파이주식회사, 조작형 X선 광전자 분광장치 「PHI QuanteraSXM (Scanning X-ray Microprobe)」)을 사용하여, 288eV의 피크의 유무에 의해 판정하였다. The presence or absence of the formation of carboxyl groups and carboxylates on the surface of the particles after hydrophilization treatment is carried out by using an X-ray photoelectron analyzer (ESCA: Albacpie Co., Ltd., `` PHI QuanteraSXM (Scanning X-ray Microprobe) ''. It determined by the presence or absence of the peak of 288 eV.

<도전성 미립자의 제조방법><Method for producing conductive fine particles>

본 발명의 도전성 미립자의 제조방법은 상기 기재입자의 표면에 도전성 금속층을 형성하는 곳에 특징을 가진다. 바람직하게는 도전성 금속층의 형성이 무전해 도금법에 의해 수행되는 것이 바람직하다. 또, 전술한 바와 같이, 기재입자와 도전성 금속층의 밀착성은 기재입자 표면의 산성 작용기 등의 친수성 기초에 의거하는 친수화 정도에 큰 영향을 받는다. 따라서 기재입자는 표면의 친수성의 정도가 높은 것인 것이 바람직하고, 상기한 비닐계 중합체 미립자에 불소가스와 산소원자를 포함하는 화합물의 가스를 필수적으로 포함하는 혼합가스를 접촉시키는 처리( 「친수화 처리」)를 실시하는 것에 의해 수득된 것이 바람직하다.The method for producing conductive fine particles of the present invention has a feature of forming a conductive metal layer on the surface of the substrate particle. Preferably, the formation of the conductive metal layer is preferably performed by an electroless plating method. As described above, the adhesion between the substrate particles and the conductive metal layer is greatly influenced by the degree of hydrophilization based on the hydrophilic basis such as acidic functional groups on the surface of the substrate particles. Therefore, it is preferable that the substrate particles have a high degree of hydrophilicity on the surface, and the above-described treatment of bringing the vinyl polymer fine particles into contact with a mixed gas comprising essentially a gas of a compound containing fluorine gas and an oxygen atom (“hydrophilization” It is preferable that it is obtained by performing a process ").

상기 친수화 처리에 의해 기재입자와 도전성 금속층의 밀착성이 향상하는 상세한 이유는 분명하지는 않지만, 아래와 같이 추정된다.Although the detailed reason why the adhesiveness of a substrate particle and a conductive metal layer improves by the said hydrophilization process is not clear, it is estimated as follows.

비닐계 중합체 미립자가 불소가스와 산소원자를 포함하는 화합물의 가스를 필수적으로 포함하는 혼합가스와 접촉하는 것에 의해, 비닐계 중합체 미립자를 구성하는 탄소원자에 결합하고 있는 수소가 산소와 불소로 치환되어, -C(F)=O가 되고, 그 후에 그 일부 또는 전부가 카르복시기로 전환된다. 따라서 비닐계 중합체 미립자의 표면 근방에는 다수의 -C(F)=O 및/또는 카르복시기가 존재하게 되어, 비닐계 중합체 미립자의 친수성이 현저하게 높아지는 것이다. 또 이 때, 상기-C(F)=O나 카르복시기의 생성과 함께, 일부 입자골격 중의 CH결합이 CF결합으로 변환되는 반응도 일어난다. 그 결과, 이것들의 작용기와 금속이온 사이에 이온결합, 수소결합, 배위결합 등이 형성되기 때문에, 기재입자와 도전성 금속층의 밀착성이 향상하는 것으로 생각된다.By contacting the vinyl polymer microparticles with a mixed gas comprising essentially a gas of a compound containing fluorine gas and an oxygen atom, hydrogen bonded to the carbon atoms constituting the vinyl polymer microparticles is replaced with oxygen and fluorine. , -C (F) = O, after which a part or all is converted into a carboxyl group. Accordingly, a large number of —C (F) ═O and / or carboxyl groups are present in the vicinity of the surface of the vinyl polymer microparticles, so that the hydrophilicity of the vinyl polymer microparticles is significantly increased. At this time, the reaction of converting CH bonds in some particle skeletons into CF bonds also occurs with the formation of -C (F) = O or a carboxyl group. As a result, since an ionic bond, a hydrogen bond, a coordination bond, etc. are formed between these functional groups and a metal ion, it is thought that the adhesiveness of a base particle and an electroconductive metal layer improves.

특히, 후술하는 무전해 도금법에 의해 도전성 금속층을 형성하는 경우에는, 상기작용기에 의한 도금 촉매의 원료인 팔라듐 이온의 킬레이트 효과가 매우 높아지기 때문에, 도금 촉매가 고밀도 또한 견고하게 기재입자 표면에 고정화된다. 또, 촉매화 처리후도 입자표면에 잔존하는 친수성기의 영향으로 무전해 도금 처리중에 있어서의 기재입자의 응집이 방지된다. 이러한 이유에서, 수득되는 도전성 금속층과 기재표면의 결합력이 높아지고, 또 기재입자가 노출한다는 등의 결함(도금되지 않고 있는 부분)을 발생하지 않고, 균일하게 도전성 금속층이 형성되는 것으로 생각된다.In particular, in the case of forming the conductive metal layer by the electroless plating method described later, the chelate effect of palladium ions, which is a raw material of the plating catalyst by the functional group, becomes very high, so that the plating catalyst is immobilized on the surface of the substrate particle with high density and solidity. In addition, aggregation of the substrate particles during the electroless plating treatment is prevented by the influence of the hydrophilic groups remaining on the particle surface after the catalyzing treatment. For this reason, it is considered that the conductive metal layer is uniformly formed without causing defects (parts not plated) such as the bonding force between the obtained conductive metal layer and the surface of the substrate to increase and the substrate particles are exposed.

그리고, 카르복시기를 가지는 비닐 단량체나, 폴리카르복시산 등의 분산제를 사용하여, 카르복시기를 가지는 기재입자를 제조하는 방법에서도, 기재입자 표면에 카르복시기는 존재하지만, 본 발명과 동등한 기재입자/도전성 금속층 간의 밀착성을 얻을 수는 없다. 즉, 당해 방법에서는, 중합반응시에 카르복시기가 도입되기 때문에, 중합체 입자의 표면에 선택적으로 카르복시기를 도입할 수는 없다. 또, 분산 안정성 이 우수한 중합계라고 하여도, 응집입자가 약간 생성되는 것은 피할 수 없고, 이에 따라 개개의 중합체 입자간에 있어서 카르복시기 도입량에 차이가 발생하게 된다.And also in the method of manufacturing the base particle which has a carboxyl group using the dispersing agent, such as a vinyl monomer which has a carboxy group, and polycarboxylic acid, although the carboxyl group exists in the surface of a base particle, adhesiveness between the base particle / conductive metal layer equivalent to this invention is carried out. You can't get it. That is, in the said method, since a carboxy group is introduce | transduced at the time of a polymerization reaction, a carboxy group cannot be introduce | transduced selectively on the surface of a polymer particle. Moreover, even in the polymerization system excellent in dispersion stability, generation | occurrence | production of aggregated particles is inevitable, and a difference arises in the amount of carboxyl groups introduced between individual polymer particles by this.

이에 대해서, 상기의 바람직한 친수화 처리는 기상반응이기 때문에, 확산에 의해 가스가 미립자 표면전체에 골고루 미치기 때문에, 균일하고, 선택적인 친수화 처리가 가능하게 되어 그 결과, 기재입자와 도전성 금속층 간의 높은 밀착성이 수득되는 것으로 생각된다. 따라서 도전성 금속층의 크랙이나 박리가 발생하기 어렵고, 또한 압착처리를 실시해도 양호한 도통성을 유지할 수 있다.On the other hand, since the above preferred hydrophilization treatment is a gas phase reaction, since the gas spreads evenly over the entire surface of the fine particles by diffusion, a uniform and selective hydrophilization treatment is possible, resulting in high It is thought that adhesiveness is obtained. Therefore, cracks and peeling of the conductive metal layer are less likely to occur, and good conductivity can be maintained even when the crimping treatment is performed.

또, 통상, 도금처리를 채용해서 도전성 미립자를 제조하는 경우에는, 우선, 코어재료입자의 탈지처리를 실시한 후, 도금층의 밀착을 좋게 하기 위해서 수지 미립자의 표면에 미소한 요철을 형성하는 에칭처리가 이루어진다. 그렇지만, 본 발명에 있어서는 산가가 높은 기재입자를 사용하기 때문에, 기재입자와 도전성 금속층의 밀착성을 향상시킬 수 있다. 따라서 종래 필수적이었던 탈지, 에칭처리를 간략화할 수 있고, 저코스트 프로세스가 실현된다. 또, 에칭처리에서 사용할 수 있는 크롬산 등의 중금속을 포함하는 산성물질도 사용하지 않기 때문에 환경에로의 부하도 대폭 저감할 수 있는 프로세스를 제공할 수 있다. In general, in the case of producing electroconductive fine particles by employing a plating treatment, first, after performing degreasing treatment of the core material particles, an etching treatment for forming minute unevenness on the surface of the resin fine particles in order to improve adhesion of the plating layer is performed. Is done. However, in this invention, since the base particle with a high acid value is used, the adhesiveness of a base particle and a conductive metal layer can be improved. Therefore, the degreasing and etching processes which have been necessary in the past can be simplified, and a low cost process is realized. In addition, since no acidic substance containing heavy metals such as chromic acid which can be used in the etching treatment is used, a process can be provided that can greatly reduce the load on the environment.

기재입자 표면에 도전성 금속층을 피복하는 방법은 특별하게 한정되지 않고, 예를 들면 무전해 도금, 치환도금 등 도금에 의한 방법; 금속미분을 단독, 또는, 바인더에 혼합해서 수득되는 페이스트를 기재입자에 코팅하는 방법; 진공증착, 이온플레이팅, 이온스퍼터링 등의 물리적 증착방법을 들 수 있다. 이것들 중에서도, 무전해 도금법은 대규모의 장치를 필요로 하지 않고, 용이하게 도전성 금속층을 형성할 수 있기 때문에 바람직하다. 이하, 무전해 도금법에 의해 본 발명의 도전성 미립자를 제조하는 방법에 대해서 설명한다.The method of coating a conductive metal layer on the surface of a substrate particle is not specifically limited, For example, the method by plating, such as electroless plating and substitution plating; A method for coating a base particle with a paste obtained by mixing metal fine powder alone or in a binder; Physical vapor deposition methods, such as vacuum deposition, ion plating, and ion sputtering, are mentioned. Among these, the electroless plating method is preferable because it does not require a large-scale apparatus and can easily form a conductive metal layer. Hereinafter, the method of manufacturing the electroconductive fine particles of this invention by the electroless plating method is demonstrated.

즉, 추천되는 본 발명의 도전성 미립자의 제조방법과는, (i) 촉매화 공정, (ii) 무전해 도금공정을 가지는 것이다. 이하, 각각의 공정에 대해서 상세하게 설명한다.That is, the recommended manufacturing method of the conductive fine particles of the present invention includes (i) a catalyzing step and (ii) an electroless plating step. Hereinafter, each process is explained in full detail.

[(i) 촉매화 공정][(i) Catalysis Process]

촉매화 공정에서는 상기 친수화 처리 공정에서 친수화된 기재입자의 표면에, 다음 공정에서 실시하는 무전해 도금의 기점이 되는 촉매층을 형성한다. 촉매층을 형성하는 방법은 특별하게 한정되지 않고, 무전해 도금용으로 시판되고 있는 촉매화 시약을 사용해서 실시할 수 있다. 예를 들면, 촉매화 시약으로서 염화팔라듐과 염화 주석을 포함하는 용액에, 기재입자를 침지시켜서 기재입자 표면에 팔라듐 이온을 흡착시킨 후, 황산, 염산 등의 산이나 수산화 나트륨 등의 알칼리 용액으로 상기 팔라듐 이온을 환원하고, 기재입자 표면에 팔라듐을 석출시키는 방법; 황산 팔라듐 용액에 기재입자를 침지시키고, 기재입자 표면에 팔라듐 이온을 흡착시킨 후, 디메틸아민보란 등의 환원제를 포함하는 용액으로 팔라듐 이온을 환원해서 기재입자 표면에 팔라듐을 석출시키는 방법 등을 들 수 있다.In the catalysis step, a catalyst layer serving as a starting point for the electroless plating performed in the next step is formed on the surface of the substrate particles hydrophilized in the hydrophilization treatment step. The method of forming a catalyst layer is not specifically limited, It can carry out using the catalyzing reagent marketed for electroless plating. For example, the substrate particles are immersed in a solution containing palladium chloride and tin chloride as a catalyzing reagent to adsorb palladium ions on the surface of the substrate particles, and then the above-mentioned solution is dissolved in an acidic solution such as sulfuric acid, hydrochloric acid or sodium hydroxide. Reducing palladium ions and depositing palladium on the surface of the substrate particle; And a method of depositing palladium on the surface of the substrate particles by dipping the substrate particles in a palladium sulfate solution, adsorbing palladium ions on the surface of the substrate particles, and then reducing the palladium ions with a solution containing a reducing agent such as dimethylamine borane. have.

상기 촉매화 시약으로서는 염화팔라듐, 질산 팔라듐, 염화 주석 및 이것들의 혼합물 등을 들 수 있다. 촉매화 시약은 염산 등에 용해시켜서 사용한다. 상기 환원제로서는 디메틸아민보란, 차아인산 등을 들 수 있다.Examples of the catalyzing reagent include palladium chloride, palladium nitrate, tin chloride, mixtures thereof, and the like. The catalyzing reagent is used after being dissolved in hydrochloric acid or the like. Dimethylamine borane, hypophosphorous acid, etc. are mentioned as said reducing agent.

[(ii) 무전해 도금공정][(ii) Electroless Plating Process]

이어서, 촉매층을 형성한 기재입자 표면에 도전성 금속층을 형성하는 무전해 도금처리를 실시한다. 이 공정에서는 환원제와 소망하는 금속염을 용해한 도금액 중에 촉매층을 형성한 기재입자를 침지시키고, 촉매를 기점으로 하여, 도금액 중의 금속이온을 환원제로 환원하고, 기재입자 표면에 소망하는 금속을 석출시켜 도전성 금속층을 형성한다. Next, an electroless plating process is performed in which a conductive metal layer is formed on the surface of the substrate particle on which the catalyst layer is formed. In this step, the substrate particles in which the catalyst layer is formed are immersed in the plating solution in which the reducing agent and the desired metal salt are dissolved. The catalyst is used as a starting point, the metal ions in the plating solution are reduced with the reducing agent, and the desired metal is deposited on the surface of the substrate particles to form a conductive metal layer. To form.

우선, 촉매화 처리를 실시한 기재입자를 물에 충분하게 분산시키고, 기재입자의 수성 슬러리를 조제한다. 여기에서, 기재입자는 도금처리를 실시하는 수성매체에 충분히 분산시켜 둘 필요가 있다. 기재입자가 응집한 상태에서 무전해 도금처리를 실시하면, 기재입자 상호간의 접촉면에 미처리면(도전성 금속층이 존재하지 않는 면)이 발생하고, 이러한 경우에는, 안정한 도전특성이 수득되지 않기 때문이다.First, the substrate particles subjected to catalysis are sufficiently dispersed in water to prepare an aqueous slurry of the substrate particles. Here, the substrate particles need to be sufficiently dispersed in the aqueous medium to be plated. This is because when the electroless plating is performed in a state in which the substrate particles are agglomerated, an untreated surface (surface where no conductive metal layer is present) occurs on the contact surfaces between the substrate particles, and in this case, stable conductive characteristics are not obtained.

또, 본 발명에 따른 기재입자는 입자의 표면에 고밀도로 친수성 작용기가 도입되어 있기 때문에, 기재입자 자체의 도금액에 대한 분산성이 매우 높고, 무전해 도금처리 중의 기재입자의 응집이 발생하기 어려운 것이다. 그렇지만, 기재입자의 응집이 발생하지 않도록 충분히 조심하는 것이 바람직하고, 공지의 분산수단을 사용해서 기재입자를 수 분산시킬 수 있다. 종래 공지의 분산수단으로서는 통상 교반, 고속교반, 혹은, 콜로이드밀 또는 호모게나이저와 같은 전단 분산장치를 사용할 수 있다. 또 분산조작에는 초음파를 병용할 수도, 또, 필요에 따라서 계면활성제 등의 분산제를 첨가할 수 있다.In addition, since the substrate particles according to the present invention have a high density of hydrophilic functional groups introduced into the surface of the particles, the substrate particles themselves have a very high dispersibility in the plating solution, and are hard to cause aggregation of the substrate particles during the electroless plating treatment. . However, it is preferable to be careful enough so that aggregation of the substrate particles does not occur, and the substrate particles can be water-dispersed using a known dispersing means. As a conventionally known dispersing means, a shear dispersing device such as stirring, high speed stirring, or a colloid mill or homogenizer can be used. Ultrasonic waves may also be used in the dispersing operation, and dispersants such as surfactants may be added as necessary.

이어서, 소망하는 도전성 금속의 염, 환원제, 착화제 및 필요에 따라서 사용할 수 있는 주첨가제 등을 포함한 무전해 도금액에 기재입자의 수성 슬러리를 첨가하고, 무전해 도금처리를 실시한다.Subsequently, an aqueous slurry of base particles is added to an electroless plating solution containing a salt, a reducing agent, a complexing agent, and a main additive which can be used as necessary, for the desired conductive metal, and then subjected to electroless plating.

도전성 금속염으로서는 도전성 금속층으로서 앞에서 예시한 금속의 염화물, 황산염, 아세트산염 등을 들 수 있다. 예를 들면, 도전성 금속층으로서 니켈층을 형성하고 싶은 경우라면, 염화니켈, 황산니켈, 아세트산니켈 등의 니켈염 등을 들 수 있다. 무전해 도금액중에 있어서의 도전성 금속염의 농도는 소망하는 막두께의 도전성 금속층이 형성되도록, 기재입자의 사이즈(표면적)에 따라서 적당하게 결정할 수 있다. Examples of the conductive metal salts include chlorides, sulfates, acetates, and the like of the metals exemplified above as the conductive metal layer. For example, when it is desired to form a nickel layer as the conductive metal layer, nickel salts such as nickel chloride, nickel sulfate, and nickel acetate may be mentioned. The concentration of the conductive metal salt in the electroless plating solution can be appropriately determined according to the size (surface area) of the substrate particles so that a conductive metal layer having a desired film thickness is formed.

환원제로서는 차아인산 나트륨, 디메틸아민보란, 수소화붕소나트륨, 수소화 붕소 칼륨, 히드라진 등을 사용할 수 있다.As the reducing agent, sodium hypophosphite, dimethylamine borane, sodium borohydride, potassium borohydride, hydrazine and the like can be used.

착화제로서는 사용하는 도전성 금속의 이온에 대해서 착화작용이 있는 화합물을 사용할 수 있다. 예를 들면 니켈에 대해서 착화작용이 있는 화합물로서는 시트르산, 하이드록시아세트산, 타르타르산, 말릭산, 락트산, 글루콘산 또는 그 알칼리 금속염이나 암모늄염 등의 카르복시산(염), 글리신 등의 아미노산, 에틸렌디아민, 알킬아민 등의 아민 산, 그 밖의 암모늄, EDTA, 피롤린선(염) 등을 들 수 있다. 이것들은 1종을 단독으로 사용할 수도, 또 2종 이상을 조합시켜서 사용할 수도 있다.As a complexing agent, the compound which has a complexing effect with respect to the ion of the conductive metal to be used can be used. For example, compounds which have a complexing effect on nickel include citric acid, hydroxyacetic acid, tartaric acid, malic acid, lactic acid, gluconic acid or carboxylic acids such as alkali metal salts and ammonium salts, amino acids such as glycine, ethylenediamine and alkylamines. Amine acids, other ammonium, EDTA, a pyrroline wire (salt), etc. are mentioned. These may be used individually by 1 type and may be used in combination of 2 or more type.

무전해 도금 처리공정에 있어서의 바람직한 무전해 도금액의 pH는 4∼14이다.The pH of the preferable electroless plating liquid in an electroless plating process is 4-14.

무전해 도금 반응은 기재입자 슬러리를 첨가하면 신속하게 개시된다. 또 이 반응에는 수소가스의 발생을 동반한다. 따라서 무전해 도금 처리공정은 수소가스의 발생이 완전하게 인정되지 않게 된 시점을 가지고 종료라고 한다. 반응 종료후, 반응계내에서 도전성 금속층이 형성된 도전성 미립자를 꺼내서, 필요에 따라서 세정, 건조한다. The electroless plating reaction is started quickly by adding the substrate particle slurry. This reaction is accompanied by the generation of hydrogen gas. Therefore, the electroless plating process is said to be completed with the time when hydrogen gas generation was not fully recognized. After completion | finish of reaction, the electroconductive fine particle in which the electroconductive metal layer was formed in the reaction system is taken out, and it wash | cleans and dries as needed.

본 발명의 도전성 미립자는 전술한 바와 같이 해서 수득되지만, 상기 무전해 도금 처리공정을 반복함으로써, 도전성 미립자의 표면에, 이종금속을 몇 층으로도 피복할 수도 있다. 예를 들면, 기재입자에 니켈도금을 실시한 후(니켈 피복 입자), 또한, 무전해 금도금액에 니켈 피복입자를 투입해서 금치환 도금을 실시하는 것에 의해, 최외층에 금의 피복층을 가지는 도전성 미립자가 수득된다. Although the electroconductive fine particle of this invention is obtained as mentioned above, by repeating the said electroless-plating process process, you may coat | cover a heterogeneous metal with several layers on the surface of electroconductive fine particle. For example, electroconductive fine particles having a coating layer of gold in the outermost layer by subjecting the substrate particles to nickel plating (nickel coated particles) and then adding nickel coated particles to the electroless gold plating solution and performing gold substitution plating. Is obtained.

[(iii) 기타의 공정][(iii) other processes]

본 발명의 도전성 미립자가 절연성 수지층을 가지는 것인 경우, 상기 무전해 도금 공정의 후에, 도전성 금속층의 표면에 수지 등에 의한 절연처리를 실시한다. When the electroconductive fine particles of this invention have an insulating resin layer, after the said electroless plating process, the surface of an electroconductive metal layer is insulated by resin etc. by the surface.

절연성 수지층을 형성하는 방법으로서는 특별하게 한정되지 않고, 예를 들면 무전해 도금처리 후의 도전성 미립자의 존재하에서, 절연성 수지층의 원료의 계면중합, 현탁중합, 유화중합을 실시하고, 절연성 수지에 의해 도전성 미립자를 마이크로캡슐화하는 방법; 절연성 수지를 유기용매에 용해한 절연성 수지용액 중에 도전성 미립자를 분산시킨 후, 건조시키는 디핑법; 스프레이드라이법, 하이브리다이제이션에 의한 방법 등, 종래 공지의 방법은 어느 것이나 사용할 수 있다.It does not specifically limit as a method of forming an insulating resin layer, For example, in the presence of electroconductive fine particles after an electroless-plating process, interfacial polymerization, suspension polymerization, and emulsion polymerization of the raw material of an insulating resin layer are performed, A method of microencapsulating conductive fine particles; A dipping method of dispersing the conductive fine particles in the insulating resin solution in which the insulating resin is dissolved in an organic solvent, followed by drying; Any conventionally known method such as a spray dry method or a hybridization method can be used.

<이방성 도전재료><Anisotropic Conductive Material>

본 발명의 도전성 미립자는 이방성 도전재료의 구성재료로서도 바람직하고, 본 발명의 도전성 미립자를 사용하여 이루어지는 이방성 도전재료도 또한 본 발명의 바람직한 실시 형태의 하나이다. 상기 이방성 도전재료는 본 발명의 도전성 미립자를 사용하여 이루어지는 것이라면 그 형태는 특별하게 한정되지 않고, 예를 들면 이방성 도전필름, 이방성 도전 페이스트, 이방성 도전접착제, 이방성 도전 잉크 등, 여러가지 형태를 들 수 있다. 즉, 이것들의 이방성 도전재료를 서로 대향하는 기재 상호간이나 전극 단자간에 설치함으로써 전기적으로 접속할 수 있다. The electroconductive fine particles of this invention are also preferable as a constituent material of an anisotropic conductive material, and the anisotropic conductive material which uses the electroconductive fine particles of this invention is also one of the preferable embodiment of this invention. If the anisotropic conductive material is formed using the conductive fine particles of the present invention, the form is not particularly limited, and examples thereof include various forms such as an anisotropic conductive film, an anisotropic conductive paste, an anisotropic conductive adhesive, and an anisotropic conductive ink. . That is, these anisotropic conductive materials can be electrically connected to each other by providing the substrates opposed to each other or between the electrode terminals.

상기 이방성 도전필름은 예를 들면, 본 발명의 도전성 미립자와 바인더 수지 등을 포함하는 필름 형성용 조성물에 용매를 첨가해서 용액상으로 하고, 이 용액을 폴리에틸렌테레프탈레이트제의 필름 상에 도포한 후, 용매를 증발시키는 것에 의해 얻을 수 있다. 수득된 이방성 도전필름은 예를 들면 전극 상에 배치되고, 이 이방성 도전필름 상에 대향전극을 중첩하고, 가열 압축하는 것에 의해 전극간의 접속에 사용된다.After the said anisotropic conductive film adds a solvent to the film forming composition containing electroconductive fine particles of this invention, binder resin, etc., and makes it a solution form, after apply | coating this solution on the film made of polyethylene terephthalate, It can be obtained by evaporating the solvent. The obtained anisotropic conductive film is disposed on an electrode, for example, and is used for connection between electrodes by superposing an opposing electrode on the anisotropic conductive film and heating and compressing it.

상기 이방성 도전 페이스트는 예를 들면, 본 발명의 도전성 미립자와 바인더 수지 등을 포함하는 수지조성물을 페이스트상으로 하는 것에 의해 수득된다. 수득된 이방성도전 페이스트는 예를 들면, 적당한 디스펜서에 들어가 접속해야 할 전극 상에 소망하는 두께로 코팅되고, 코팅된 이방성 도전 페이스트 상에 대향전극을 중첩시키고, 가열하는 동시에 가압해서 수지를 경화시키는 것에 의해, 전극간의 접속에 사용된다. The anisotropic conductive paste is obtained by, for example, making a resin composition containing the conductive fine particles of the present invention, a binder resin, and the like into a paste. The obtained anisotropic conductive paste is coated with a desired thickness on the electrode to be connected to, for example, a suitable dispenser, and the counter electrode is superimposed on the coated anisotropic conductive paste, heated and pressurized to cure the resin. This is used for the connection between the electrodes.

상기 이방성 도전접착제는 예를 들면, 본 발명의 도전성 미립자와 바인더 수지 등을 포함하는 수지조성물을 소망하는 점도로 조정하는 것에 의해 수득된다. 수득된 이방성 도전접착제는 이방성도전 페이스트와 동일하게, 전극 상에 소망하는 두께로 코팅한 후, 대향전극을 중첩시켜서, 양자를 접착하는 것에 의해 전극간의 접속에 사용된다.The said anisotropic electrically conductive adhesive agent is obtained by adjusting the resin composition containing the electroconductive fine particles of this invention, binder resin, etc. to desired viscosity, for example. The obtained anisotropic conductive adhesive is used for connection between electrodes by coating the electrode with a desired thickness in the same manner as the anisotropic conductive paste, and then superposing the opposite electrodes and bonding them together.

상기 이방성 도전 잉크는 예를 들면, 본 발명의 도전성 미립자와 바인더 수지 등을 포함하는 수지조성물에 용매를 첨가해서 인쇄에 적합한 점도로 조정하는 것에 의해 수득된다. 수득된 이방성 도전 잉크는 예를 들면, 접착해야 할 전극상으로 스크린인쇄하고, 용매를 증발시킨 후, 이방성 도전 잉크에 의한 인쇄면에 대향전극을 중첩시키고, 가열 압축하는 것에 의해 전극간의 접속에 사용된다. The anisotropic conductive ink is obtained by, for example, adding a solvent to a resin composition containing the conductive fine particles of the present invention, a binder resin and the like to adjust the viscosity to a viscosity suitable for printing. The obtained anisotropic conductive ink is used for connection between electrodes, for example, by screen printing onto an electrode to be bonded, evaporating the solvent, superposing the counter electrode on the printing surface by the anisotropic conductive ink, and heating and compressing the counter electrode. do.

상기 이방성 도전재료는 절연성의 바인더 수지 중에, 본원발명의 도전성 미립자를 분산시키고, 소망하는 형태로 함으로써 제조되지만, 물론, 절연성의 바인더 수지와 도전성 미립자를 각각 사용하여 기재간 혹은 전극 단자간을 접속하여도 상관없다. The anisotropic conductive material is produced by dispersing the conductive fine particles of the present invention in an insulating binder resin to a desired form, but of course, the insulating binder resin and the conductive fine particles are respectively used to connect between substrates or between electrode terminals. It does not matter.

상기 바인더 수지로서는 특별하게 한정되지 않고, 예를 들면 아크릴수지, 에틸렌-아세트산 비닐 수지, 스티렌-부타디엔 블록공중합체 등의 열가소성수지; 글리시딜기를 가지는 모노머나 올리고머 및 이소시아네이트 등의 경화제와의 반응에 의해 경화하는 경화성 수지조성물이나, 광이나 열에 의해 경화하는 경화성 수지조성물 등을 들 수 있다.It does not specifically limit as said binder resin, For example, Thermoplastic resin, such as an acrylic resin, ethylene-vinyl acetate resin, a styrene- butadiene block copolymer; Curable resin composition hardened | cured by reaction with hardening | curing agents, such as a monomer, an oligomer, and isocyanate which have glycidyl group, curable resin composition hardened | cured by light or heat, etc. are mentioned.

본 발명의 이방성 도전재료 중에 있어서의 상기 도전성 미립자의 함유비율은 용도에 따라서 적당하게 결정할 수 있지만, 예를 들면 이방성 도전재료 중에 차지하는 도전성 미립자의 비율은 2체적%∼70체적%이 바람직하고, 5체적%∼50체적%이 더 바람직하고, 10체적%∼40체적%이 더욱 바람직하다. 도전성 미립자의 함유량이 너무 적으면, 충분한 전기적 도통이 수득되기 어려운 경우가 있고, 한편, 도전성 미립자의 함유량이 너무 많으면, 도전성 입자 상호간이 접촉하게 되어, 이방성 도전재료로서의 기능이 발휘되기 어려운 경우가 있다.Although the content rate of the said electroconductive fine particle in the anisotropic conductive material of this invention can be suitably determined according to a use, For example, the ratio of the electroconductive fine particle which occupies in an anisotropic conductive material is 2 volume%-70 volume%, and 5 is preferable. More preferably, the volume% to 50 volume% is more preferably 10 volume% to 40 volume%. When the content of the conductive fine particles is too small, sufficient electrical conduction may be difficult to be obtained. On the other hand, when the content of the conductive fine particles is too large, the conductive particles may come into contact with each other and the function as an anisotropic conductive material may be difficult to be exhibited. .

상기 이방성 도전재료에 있어서의 필름 막두께, 페이스트 및 접착제의 코팅막 두께 및 인쇄막 두께는 사용하는 도전성 미립자의 평균 입자경과, 접속해야 할 전극의 사양으로부터 계산하고, 접속해야 할 전극간에 도전성 미립자가 협지되어, 접속해야 할 전극이 형성된 접합기판 상호간의 공극이 바인더 수지층에 의해 충분하게 만족시켜지도록 설정하는 것이 바람직하다.The film thickness of the anisotropic conductive material, the coating film thickness of the paste and the adhesive, and the printed film thickness are calculated from the average particle diameter of the conductive fine particles to be used and the specifications of the electrode to be connected, and the conductive fine particles are sandwiched between the electrodes to be connected. It is preferable to set such that the gaps between the bonded substrates on which the electrodes to be connected are formed are sufficiently satisfied by the binder resin layer.

본 발명의 이방성 도전재료는 높은 도전성을 나타낼 뿐만 아니라, 가중 압축하였을 때에도 도전성 금속층에 박리나 파괴가 발생하지 않고, 서로 대향하는 전극기판간의 전기적인 접속을 확보할 수 있다. 또, 경시 안정성에도 뛰어나므로, 장기간의 사용에 있어서도 도금크랙 등에 의한 도전성의 저하를 초래하는 않아, 전극기판간의 전기적인 접속을 견지하여, 신뢰성의 향상을 도모할 수 있다.
The anisotropic conductive material of the present invention not only exhibits high conductivity but also does not cause peeling or breakage of the conductive metal layer even under weight compression, and can secure electrical connection between the electrode substrates facing each other. In addition, it is excellent in stability over time, so that even in long-term use, the electrical conductivity between the electrode substrates can be reduced, and the reliability can be improved while maintaining the electrical connection between the electrode substrates.

실시예Example

이하, 실시예에 의해 본 발명을 더 상세하게 설명한다. 또, 본 발명은 하기 실시예에 의해 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 변경 실시하는 한, 본 발명의 범위에 포함된다. 또, 이하에 있어서는 특별히 언급하지 않는 한 「부」는 「질량부」를, 「%」은 「질량%」을 의미한다.
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples. In addition, this invention is not limited by the following Example, and is included in the scope of the present invention, as long as it changes in the range which does not deviate from the meaning of this invention. In addition, unless otherwise indicated, "part" means a "mass part" and "%" means the "mass%."

실시예Example 1 One

냉각관, 온도계, 적하구를 구비한 4구 플라스크에, 이온 교환수 526부와, 25%암모니아수 1.6부, 메탄올 118부를 넣고, 교반하, 적하구로부터 3-메타크릴옥시프로필트리메톡시실란 30부를 첨가하고, 3-메타크릴옥시프로필트리메톡시실란의 가수분해, 축합반응을 실시하고, 폴리실록산 입자의 유탁액을 조제하였다. 반응 개시로부터 2시간후, 수득된 폴리실록산 입자의 유탁액을 샘플링하고, Coulter Multisizer III형(벡크만코울터사)에 의해 입자경을 측정한 바, 질량평균 입자경은 1.95㎛이었다.Into a four-necked flask equipped with a cooling tube, a thermometer and a dropping port, 526 parts of ion-exchanged water, 1.6 parts of 25% ammonia water, and 118 parts of methanol were added, and 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane 30 was added from the dropping port under stirring. Part was added, hydrolysis and condensation reaction of 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane was carried out, and an emulsion of polysiloxane particles was prepared. After 2 hours from the start of the reaction, an emulsion of the obtained polysiloxane particles was sampled, and the particle diameter was measured by Coulter Multisizer III (Beckman Coulter). The mass average particle diameter was 1.95 µm.

이어서, 유화제로서 폴리옥시에틸렌 스티렌화 페닐에테르 황산 에스테르암모늄염(다이이치공업제약사: 「하이테놀(등록상표) NF-08」) 2.5부를 이온교환수 175부로 용해한 용액에, 스티렌 90부, 디비닐벤젠 10부, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴)(와코쥰야쿠공업사: 「V-65」) 2부를 용해한 용액을 첨가하고, TK 호모믹서(특수기화공업사)에 의해 6000rpm으로 5분간, 유화 분산시켜서 단량체 성분의 유화액을 조제하였다.Subsequently, 90 parts of styrene and divinylbenzene in the solution which melt | dissolved 2.5 parts of polyoxyethylene styrenated phenyl ether sulfate ammonium salt (Daiichi Kogyo Co., Ltd .: "Hytenol (trademark) NF-08") as 175 parts of ion-exchange water as an emulsifier. A solution obtained by dissolving 10 parts, 2 parts of 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) (Wako Pure Chemical Industries, Ltd .: "V-65") is added, and a TK homomixer (special vaporization company) is used. Emulsion dispersion was carried out at 6000 rpm for 5 minutes, and the emulsion liquid of the monomer component was prepared.

수득된 유화액을 폴리실록산 입자의 유탁액중에 첨가하고, 추가로 교반을 실시하였다. 유화액의 첨가로부터 2시간후, 혼합액을 샘플링해서 현미경으로 관찰을 실시한 바, 폴리실록산 입자가 단량체를 흡수해서 비대화하고 있는 것이 확인되었다.The obtained emulsion was added to the emulsion of polysiloxane particles, and further stirred. After 2 hours from the addition of the emulsion, the mixed solution was sampled and observed under a microscope. As a result, it was confirmed that the polysiloxane particles absorbed and enlarged the monomers.

이어서, 질소분위기 하에서 반응액을 65℃까지 승온시키고, 65℃에서 2시간 유지하고, 단량체 성분의 래디컬 중합을 실시하였다. 래디컬 중합후의 유탁액을 고액분리하고, 수득된 케이크를 이온 교환수, 메탄올로 세정한 후, 80℃에서 12시간 진공건조시켜서 유기질 무기질 복합체입자를 얻었다. 이 유기질 무기질 복합체입자의 입자경을 Coulter Multisizer III형(벡크만코울터사)로 측정한 바, 질량평균 입자경은 3.7㎛, 변동계수(CV값)은 2.9%이었다. 또, 입자의 질량평균 입자경 및 입자경의 CV값(변동계수)의 측정 및 산출방법은 후술하는 방법에 따라서 산출한 값이다.Subsequently, the reaction solution was heated to 65 ° C. under a nitrogen atmosphere, held at 65 ° C. for 2 hours, and radical polymerization of the monomer components was carried out. The emulsion after radical polymerization was solid-liquid separated, the cake obtained was washed with ion-exchanged water and methanol, and then vacuum dried at 80 캜 for 12 hours to obtain organic inorganic composite particles. The particle size of the organic inorganic composite particles was measured by Coulter Multisizer Type III (Beckman Coulter, Inc.). The mass average particle diameter was 3.7 µm and the coefficient of variation (CV value) was 2.9%. In addition, the measurement and calculation method of the mass mean particle diameter of a particle | grain and CV value (variation coefficient) of a particle diameter are the values computed according to the method mentioned later.

<친수화 처리><Hydrophilization treatment>

수득된 유기질 무기질 복합체입자 120부를, 용량 500ℓ의 챔버식 처리용기에 넣었다. 입자층의 두께는 0.5㎜이었다. 챔버내를 1Pa로 감압한 후, 불소(F2)가스 및 산소(O2)가스를 F2: 0.67Pa(5Torr), O2: 80kPa(600Torr)가 되도록 도입하였다. F2는 0.83체적%, 잔부는 O2이었다. 그 후에 30℃에서 60분간 처리를 실시한 후, 챔버내를 질소로 치환하고, 대기압으로 되돌렸다.120 parts of obtained organic-inorganic composite particle | grains were put into the chamber type processing container of the capacity of 500L. The thickness of the particle layer was 0.5 mm. After depressurizing the inside of the chamber to 1 Pa, fluorine (F 2 ) gas and oxygen (O 2 ) gas were introduced such that F 2 : 0.67 Pa (5 Torr) and O 2 : 80 kPa (600 Torr). F 2 was 0.83% by volume, and the balance was O 2 . Thereafter, the treatment was carried out at 30 ° C. for 60 minutes, and then the inside of the chamber was replaced with nitrogen to return to atmospheric pressure.

다음에, 수득된 가스처리입자 100부를 5㎖의 분리가능한 플라스크에 넣고, 이온 교환수를 첨가해서 전량을 5000부(입자농도 2질량%)로 하고, 상온(25℃)에서 10분간 초음파분산을 실시하였다. 이어서, 85℃로 가온하고, 3시간 열처리를 실시하고, 입자의 세정(수분과의 접촉)을 실시하였다. 그 후에 실온까지 냉각한 후, 입자를 여과하고, 수득된 케이크를 이온 교환수, 메탄올의 순서로 세정을 실시한 후, 80℃에서 12시간 진공건조시켜서 기재입자(1)를 얻었다. 수득된 기재입자(1)의 XPS(ESCA)분석에 의해, 288eV에 카르복시기에 상당하는 탄소의 피크가 관측되었다. 또 하기 방법으로 특성평가를 실시하고, 평가결과를 표 1에 나타냈다. 또, 기재입자(1)의 알칼리 분산성은 1.3%이었다.Next, 100 parts of the obtained gas-treated particles were placed in a 5 ml separable flask, ion-exchanged water was added to make the total amount 5000 parts (particle concentration 2% by mass), and ultrasonic dispersion was performed at room temperature (25 ° C) for 10 minutes. Was carried out. Subsequently, it heated to 85 degreeC, heat-processed for 3 hours, and wash | cleaned the particle | grains (contact with moisture). After cooling to room temperature after that, the particle | grains were filtered and the cake obtained was wash | cleaned in order of ion-exchange water and methanol, and then vacuum-dried at 80 degreeC for 12 hours, and obtained the substrate particle (1). By XPS (ESCA) analysis of the obtained substrate particle 1, a peak of carbon corresponding to a carboxy group was observed at 288 eV. Moreover, the characteristic evaluation was performed by the following method, and the evaluation result was shown in Table 1. Moreover, alkali dispersibility of the substrate particle 1 was 1.3%.

<촉매화 처리, 무전해 도금처리><Catalyzed, electroless plating>

비이커에 「핑크슈머(일본카니젠주식회사)」 50부와 이온 교환수 400부를 넣어 혼합하였다. 별도로, 이온 교환수 50부에 기재입자(1) 10부를 초음파 분산시킨 것을 준비하고, 이것을 상기 혼합액에 투입하여 30℃에서 10분간 교반해서 현탁액으로 해서 이것을 고액분리해서 수득된 케이크를, 이온 교환수, 메탄올의 순서로 세정하고, 질소분위기 하 100℃에서 2시간 진공건조를 실시하였다. In a beaker, 50 parts of "pink shimmer" (Kanizen Co., Ltd.) and 400 parts of ion-exchange water were put, and it mixed. Separately, 10 parts of substrate particles (1) were ultrasonically dispersed in 50 parts of ion-exchanged water, and this was added to the mixed solution, stirred at 30 ° C for 10 minutes to prepare a suspension, and the cake obtained by solid-liquid separation was obtained. And methanol were washed in this order, and vacuum-drying was performed at 100 degreeC under nitrogen atmosphere for 2 hours.

다음에 이온 교환수 50부에, 상기 건조입자 10부를 초음파 분산시키고, 이것을, 「레드슈머(일본카니젠주식회사)」 100부와 이온 교환수 350부를 혼합한 용액에 투입하고, 30℃에서 10분간 교반해서 현탁액으로 하였다. 이 현탁액을 고액분리하고, 수득된 케이크를 이온 교환수, 메탄올의 순서로 세정하고, 질소분위기 하 100℃에서 2시간 진공건조를 실시하고, 기재입자(1) 표면에 팔라듐이 흡착되었다.Next, 10 parts of the dried particles were ultrasonically dispersed in 50 parts of ion-exchanged water, and this was added to a solution in which 100 parts of `` Red Schumer (Kanizen Co., Ltd.) '' and 350 parts of ion-exchanged water were mixed. It stirred to make a suspension. The suspension was solid-liquid separated, the cake obtained was washed in the order of ion exchanged water and methanol, vacuum dried at 100 DEG C for 2 hours under nitrogen atmosphere, and palladium was adsorbed onto the surface of the substrate particle (1).

팔라듐에 의해 활성화된 기재입자를 이온 교환수 500부에 첨가하고, 초음파처리를 30분간 수행하여, 입자를 충분하게 분산시켜서 미립자 현탁액을 얻었다. 이 미립 현탁액을 50℃에서 교반하면서, 황산 니켈 6수화물 50g/ℓ, 차아인산 나트륨 1수화물 20g/ℓ, 디메틸아민보란 2.5g/ℓ, 시트르산 50g/ℓ로 이루어지는 무전해 도금액(pH7.5)을 서서히 미립자 현탁액에 첨가하고, 기재입자의 무전해 니켈도금을 실시하였다. 도금처리 중의 입자를 경시적으로 샘플링해서 주사전자 현미경(SEM, HITACHI사: 「S-3500N」)에 의한 관찰을 실시하면서, 임의의 10개의 입자경을 측정하고, 도금처리 전의 기재입자의 측정 결과와의 차이로부터 도금 두께를 산출하고, 도금 두께가 0.1㎛가 된 시점에서 무전해 도금액의 첨가를 중지하였다. 수득된 도전성 미립자를 여과 분리하고, 이온 교환수로 세정한 후, 추가로 메탄올에서 세정하고, 60℃에서 12시간 진공건조를 실시하고, 도전성 미립자(1)를 얻었다.
Substrate particles activated by palladium were added to 500 parts of ion-exchanged water, and sonication was performed for 30 minutes to sufficiently disperse the particles to obtain a fine particle suspension. While stirring this fine suspension at 50 degreeC, the electroless plating liquid (pH7.5) consisting of 50 g / L nickel sulfate hexahydrate, 20 g / L sodium hypophosphite monohydrate, 2.5 g / L dimethylamine borane, and 50 g / L citric acid It was gradually added to the fine particle suspension, and electroless nickel plating of the base particle was performed. Particles in the plating treatment were sampled over time and observed by a scanning electron microscope (SEM, HITACHI Co., Ltd .: "S-3500N"), measuring ten arbitrary particle diameters, and measuring results of the substrate particles before the plating treatment. The plating thickness was calculated from the difference of and the addition of the electroless plating solution was stopped when the plating thickness became 0.1 µm. The obtained conductive fine particles were separated by filtration, washed with ion-exchanged water, further washed with methanol, and vacuum dried at 60 ° C. for 12 hours to obtain conductive fine particles (1).

실시예Example 2 2

냉각관, 온도계, 적하구를 구비한 4구 플라스크에, 분산제로서 상기 「하이테놀 NF-08」을 2부 용해한 이온 교환수 용액 150부를 투입하였다. 다음에 디비닐벤젠 100부에 중합개시제로서 상기 「V-65」을 용해한 것을 첨가하고, TK 호모믹서(특수기화공업사)에 의해 5000rpm으로 5분간, 유화 분산시켜서 현탁액을 조정하였다. 150 parts of ion-exchange water which melt | dissolved 2 parts of said "Hytenol NF-08" as a dispersing agent was thrown into the four neck flask provided with the cooling tube, the thermometer, and the dropping-out port. Next, what melt | dissolved the said "V-65" as a polymerization initiator was added to 100 parts of divinylbenzene, and it emulsified-dispersed at 5000 rpm for 5 minutes by TK homomixer (special vaporization company), and adjusted suspension.

이 현탁액에 이온교환수 250부를 첨가하고, 질소분위기 하에서 65℃까지 승온시키고, 65℃에서 2시간 지니고, 래디컬 중합을 실시하였다. 래디컬 중합후의 유탁액을 고액분리하고, 수득된 케이크를 이온 교환수, 메탄올로 세정하고, 추가로 분급조작을 실시하였다. 분급후의 입자를 80℃에서 12시간 건조시키는 것에 의해, 비닐계 중합체 미립자를 얻었다. 이 비닐계 중합체 미립자의 질량평균 입자경은 2.1㎛, 변동계수(CV값)은 25.0%이었다.250 parts of ion-exchange water was added to this suspension, it heated up to 65 degreeC under nitrogen atmosphere, it carried out at 65 degreeC for 2 hours, and performed radical polymerization. The emulsion after radical polymerization was solid-liquid separated, the cake obtained was washed with ion-exchanged water and methanol, and the classification operation was further performed. Vinyl polymer fine particles were obtained by drying the particle | grains after classification at 80 degreeC for 12 hours. The mass average particle diameter of this vinyl polymer microparticle was 2.1 micrometers, and the coefficient of variation (CV value) was 25.0%.

수득된 비닐계 중합체 미립자 120부를, 실시예 1과 동일한 방법으로 친수화 처리하고, 정밀분급을 실시하여 기재입자(2)를 얻었다. 기재입자의 질량평균 입자경은 3.0㎛, 변동계수(CV값)은 4.0%이었다. 또, 수득된 기재입자(2)의 XPS(ESCA)분석에 의해 288eV에 카르복시기에 상당하는 탄소의 피크가 관측되었다. 기재입자(2)의 알칼리 분산성은 0.6%이었다.120 parts of obtained vinyl polymer microparticles | fine-particles were hydrophilized by the method similar to Example 1, and precision classification was performed, and the base material particle 2 was obtained. The mass average particle diameter of the substrate particles was 3.0 µm, and the variation coefficient (CV value) was 4.0%. Moreover, the peak of the carbon corresponding to a carboxy group was observed by 288 eV by XPS (ESCA) analysis of the obtained base particle (2). The alkali dispersibility of the substrate particle 2 was 0.6%.

수득된 기재입자(2) 10부를, 실시예 1과 동일한 방법으로, 촉매화 처리, 무전해 도금처리를 실시하고, 니켈의 도전성 금속층을 가지는 도전성 미립자(2)를 얻었다.
10 parts of the obtained substrate particles (2) were subjected to catalysis treatment and electroless plating treatment in the same manner as in Example 1 to obtain conductive fine particles (2) having a conductive metal layer of nickel.

실시예Example 3 3

실시예 1에서 수득된 도전성 미립자(1) 30부와, 무비누 유화중합으로 수득된 질량평균 입자경 약 0.3㎛의 메틸메타크릴레이트/스티렌/디비닐벤젠 가교수지 미립자 3부를 혼합하고, 하이브리다이제이션 시스템(나라기계제작소): 「하이브리다이제이션 시스템 NHS-0형」)을 사용하고, 고속기류 중 충격법에 의해(처리조건: 13000rpm, 10분), 도전성 미립자(1)의 절연피복을 실시하고, 도전성 미립자(3)를 얻었다.
30 parts of the conductive fine particles (1) obtained in Example 1 and 3 parts of methyl methacrylate / styrene / divinylbenzene crosslinked resin fine particles having a mass average particle size of about 0.3 μm obtained by elongation emulsion polymerization were mixed and hybridized. System (Nara Machinery Co., Ltd.): "Hybridization System NHS-0 Type" is used, and the insulating coating of the conductive fine particles (1) is performed by the impact method (high-speed airflow) (processing condition: 13000 rpm, 10 minutes). , Electroconductive fine particles (3) were obtained.

비교예Comparative example 1 One

디비닐벤젠 80부, 2-하이드록시에틸메타크릴레이트 20부로 이루어지는 단량체 혼합물을 현탁 중합시켰다. 수득된 중합물을 분급하는 것에 의해, 입자표면에 하이드록실기를 가지는 비닐 중합체 입자 10부(질량평균 입자경3.5㎛, 입자경의 변동계수4.9%)를 얻었다. 이어서, 수득된 비닐 중합체 미립자 10부를 테트라하이드로푸란(THF) 100부 중에 첨가하고, 초음파분산기를 사용해서 균일하게 분산시켰다.The monomer mixture consisting of 80 parts of divinylbenzene and 20 parts of 2-hydroxyethyl methacrylates was suspension-polymerized. By classifying the obtained polymer, 10 parts of vinyl polymer particles (3.5 micrometers of mass average particle diameters, 4.9% of particle diameters of particle diameters) which have a hydroxyl group on the particle surface were obtained. Next, 10 parts of obtained vinyl polymer microparticles | fine-particles were added in 100 parts of tetrahydrofuran (THF), and it disperse | distributed uniformly using the ultrasonic disperser.

중합체 입자의 분산액에, 트리에틸아민 10부를 첨가해서 60℃까지 승온시키고, 여기에 메타크릴산클로라이드 10부를 적하한 후, 3시간 반응시켰다. 반응 종료후, 중합체 입자를 여과 분리하고, THF와 메탄올로 충분하게 세정해서 표면에 에틸렌성 불포화기를 도입한 미립자를 얻었다.10 parts of triethylamines were added to the dispersion liquid of a polymer particle, it heated up to 60 degreeC, 10 parts of methacrylic acid chlorides were dripped here, and it was made to react for 3 hours. After completion | finish of reaction, the polymer particle was isolate | separated by filtration, and it wash | cleaned enough with THF and methanol, and obtained microparticles | fine-particles which introduced the ethylenically unsaturated group on the surface.

수득된 미립자 10부를 이소프로판올(IPA) 100부 중에 분산시키고, 추가로, 메타크릴산 20부, 에틸메타크릴레이트 20부 및, 중합개시제(일본유지사: 「퍼옥타(등록상표) O」) 0.8부를 첨가하고, 질소분위기 하, 70℃에서 3시간 중합반응을 실시하고, 두께 0.04㎛의 수지피복층을 가지는 기재입자(3)를 얻었다. 수득된 기재입자(3)의 질량평균 입자경은 3.0㎛, 입자경의 변동계수(CV값)은 4.0%이었다. 또, 수득된 기재입자(3)를 XPS(ESCA) 분석한 바, 288eV에 카르복시기에 상당하는 탄소의 피크가 관측되었다. 기재입자(3)의 알칼리 분산성은 1.4%이었다.10 parts of obtained microparticles | fine-particles are disperse | distributed in 100 parts of isopropanol (IPA), Furthermore, 20 parts of methacrylic acid, 20 parts of ethyl methacrylates, and a polymerization initiator (Japan oil company: "Perocta (trademark) O") 0.8 Part was added, and polymerization reaction was carried out at 70 ° C. for 3 hours under nitrogen atmosphere to obtain the substrate particles (3) having a resin coating layer having a thickness of 0.04 μm. The mass average particle diameter of the obtained substrate particle 3 was 3.0 micrometers, and the variation coefficient (CV value) of the particle diameter was 4.0%. Moreover, when the obtained base particle 3 was analyzed by XPS (ESCA), the peak of carbon corresponding to a carboxy group was observed at 288 eV. The alkali dispersibility of the substrate particle 3 was 1.4%.

수득된 기재입자(3) 10부를 사용하여 실시예 1과 동일한 방법으로, 촉매화 처리 및 무전해 도금처리를 실시하고, 니켈의 피복층을 가지는 비교 도전성 미립자(1)를 얻었다.
Catalytic treatment and electroless plating were carried out in the same manner as in Example 1 using 10 parts of the obtained substrate particles (3) to obtain comparative conductive fine particles (1) having a nickel coating layer.

비교예Comparative example 2 2

시드입자로서 질량평균 입자경 0.8㎛의 폴리스티렌 입자 5부를 사용하고, 이것을, 이온 교환수 500부 및 5질량%의 폴리비닐알코올 수용액 100부와 혼합하고, 분리가능한 플라스크에 넣고 교반하고, 초음파를 첨가해서 균일하게 분산시켰다. 5 parts of polystyrene particles having a mass mean particle diameter of 0.8 mu m are used as seed particles, which are mixed with 500 parts of ion-exchanged water and 100 parts of 5 mass% polyvinyl alcohol aqueous solution, placed in a detachable flask, stirred, Disperse evenly.

다음에, 라우릴황산 트리에탄올아민 9부, 에탄올 118부 및 과산화 벤조일 12부를 이온 교환수 1035부로 용해한 용액에, 폴리테트라메틸렌글리콜디아크릴레이트 128부, 디비닐벤젠 32부를 첨가해서 단량체 성분의 유화액을 조제하고, 이 유화액을 수회로 나누어 분리가능한 플라스크에 첨가하고, 12시간 교반을 실시하고, 시드입자에 단량체 성분을 흡수시켰다.Next, 128 parts of polytetramethylene glycol diacrylate and 32 parts of divinylbenzene were added to the solution which melt | dissolved 9 parts of lauryl sulfate triethanolamine, 118 parts of ethanol, and 12 parts of benzoyl peroxide with 1035 parts of ion-exchange water, and added the emulsion component of the monomer component The emulsion was divided into several portions, added to a detachable flask, stirred for 12 hours, and the monomer particles were absorbed into the seed particles.

그 후에, 분산안정제로서, 5질량%의 폴리비닐알코올 수용액 250부와, 30질량%의 폴리아크릴산수용액 250부를 첨가하고, 질소가스를 도입하고, 90℃에서 9시간 반응시킨 후, 수득된 유탁액을 고액분리하고, 수득된 케이크를 이온 교환수, 메탄올로 세정하고, 추가로 분급조작을 실시하였다. 분급후의 입자를 80℃에서 12시간 건조시키는 것에 의해, 기재입자(4)를 얻었다. 수득된 기재입자(4)의 질량평균 입자경은 3.0㎛, 입자경의 변동계수(CV값)은 4.3%이었다. Thereafter, as a dispersion stabilizer, 250 parts of 5 mass% polyvinyl alcohol aqueous solution and 250 parts of 30 mass% polyacrylic acid aqueous solution were added, nitrogen gas was introduced and reacted at 90 ° C. for 9 hours. The liquid was separated, the cake obtained was washed with ion-exchanged water and methanol, and a classification operation was further performed. The substrate particle (4) was obtained by drying the particle | grains after classification at 80 degreeC for 12 hours. The mass average particle diameter of the obtained substrate particle 4 was 3.0 µm, and the variation coefficient (CV value) of the particle diameter was 4.3%.

수득된 기재입자(4) 10부를 사용하여, 실시예 1과 동일한 방법으로 촉매화 처리 및 무전해 도금처리를 실시하고, 니켈의 피복층을 가지는 비교 도전성 미립자(2)를 얻었다.
Using 10 parts of the obtained substrate particles (4), catalysis treatment and electroless plating treatment were carried out in the same manner as in Example 1 to obtain comparative conductive fine particles (2) having a nickel coating layer.

비교예Comparative example 3 3

냉각관, 온도계, 적하구를 구비한 4구 플라스크에, 메탄올 200부, 초순수 15부, 스티렌 25부, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 5부, 폴리비닐피롤리돈(분자량 40,000) 18.7부(분산안정제로서)를 투입하였다. 그 후에 혼합용액을 60℃에까지 승온시키고, 질소분위기 하에서 24시간 중합반응을 실시하였다.In a four-necked flask equipped with a cooling tube, a thermometer and a dropping port, 200 parts of methanol, 15 parts of ultrapure water, 25 parts of styrene, 5 parts of 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile), polyvinyl blood 18.7 parts (as a dispersion stabilizer) of ralidone (molecular weight 40,000) was added. Thereafter, the mixed solution was heated up to 60 ° C, and polymerization reaction was carried out for 24 hours under nitrogen atmosphere.

그 후에, 수득된 중합체를 고액분리하고, 초순수와 메탄올로 완전하게 세정한 후, 50℃에서 12시간 진공건조시켜서 분말형태의 중합체 시드입자를 얻었다. 수득된 중합체 시드입자의 질량 평균입경은 1.13㎛, 입자경의 변동계수(CV값)은 2.5%이었다.Thereafter, the obtained polymer was solid-liquid separated, thoroughly washed with ultrapure water and methanol, and then vacuum dried at 50 ° C. for 12 hours to obtain polymer seed particles in powder form. The mass average particle diameter of the obtained polymer seed particles was 1.13 µm, and the coefficient of variation (CV value) of the particle diameter was 2.5%.

다음에, 중합체 시드입자 2부를, 0.2부의 라우릴 황산나트륨 수용액 450부에 균일하게 분산시키고, 중합체 시드입자의 분산액을 조제하였다.Next, 2 parts of polymer seed particles were uniformly dispersed in 450 parts of 0.2 parts of an aqueous solution of sodium lauryl sulfate, to prepare a dispersion liquid of polymer seed particles.

다음에, 0.2질량%의 라우릴 황산나트륨 수용액 300부에 과산화 벤조일 1.5부(개시제)를 용해한 용액에, 스티렌 60부, 디비닐벤젠 40부의 단량체 혼합물을 첨가하고, TK호모믹서(특수기화공업사)에 의해 6000rpm으로 5분간 유화 분산시켜서 단량체 성분의 유화액을 조제하였다. 수득된 단량체 성분의 유화액을 중합체 시드입자의 분산액에 첨가하고, 상온에서, 중합체 시드입자에 단량체 성분을 흡수시켰다. Next, a monomer mixture of 60 parts of styrene and 40 parts of divinylbenzene was added to a solution obtained by dissolving 1.5 parts of benzoyl peroxide (initiator) in 300 parts of a 0.2% by mass aqueous solution of sodium lauryl sulfate, and then added to a TK homomixer (special vaporization company). The emulsion was dispersed for 5 minutes at 6000 rpm to prepare an emulsion of monomer components. The emulsion of the obtained monomer component was added to the dispersion of the polymer seed particles, and the monomer seed was absorbed into the polymer seed particles at room temperature.

단량체 성분의 흡수가 종료된 것을 육안으로 확인한 후, 폴리비닐알코올(5질량%의 수용액 500부를 첨가하고, 반응기의 온도를 80℃로 승온시켜서, 5시간, 중합반응을 실시하였다. 수득된 가교중합체 미립자를 초순수와 에탄올로 수회 세정한 후, 상온에서 진공건조하였다. 수득된 가교중합체 미립자의 질량평균 입자경은 3.5㎛, 입자경의 변동계수(CV값)은 2.6%이었다.After visually confirming that the absorption of the monomer component was completed, polyvinyl alcohol (500 parts of 5 mass% aqueous solution was added, the temperature of the reactor was raised to 80 ° C., and the polymerization reaction was carried out for 5 hours. The microparticles were washed several times with ultrapure water and ethanol and then vacuum dried at room temperature The mass average particle diameter of the obtained crosslinked polymer microparticles was 3.5 µm, and the coefficient of variation (CV value) of the particle diameter was 2.6%.

<표면친수화 처리>Surface hydrophilization treatment

유동층 반응기(Fluidized bed type)에, 가교중합체 미립자 150부를 채우고, 반응기내를 진공상태로 유지하였다. 이어서, 반응기 내에, 아르곤가스를 투입한 후, 반응기내의 압력을 0.5Torr로 고정하였다. 이 때의 가교중합체 미립자의 유동화 속도는 18.7cm/s이었다. 출력 100W로 10분간 플라즈마처리를 실시한 후, 미립자를 공기에 10분간 노출시켜서 가교 중합체 미립자의 표면을 친수화 처리하고, 기재입자(5)를 얻었다. 이 기재입자(5)의 질량평균 입자경은 3.5㎛, 입자경의 변동계수(CV값)은 2.6%이었다.In a fluidized bed reactor (Fluidized bed type), 150 parts of crosslinked polymer fine particles were charged and the inside of the reactor was kept in a vacuum state. Subsequently, after argon gas was introduced into the reactor, the pressure in the reactor was fixed at 0.5 Torr. The fluidization rate of the crosslinked polymer microparticles at this time was 18.7 cm / s. After the plasma treatment was performed for 10 minutes at an output of 100 W, the fine particles were exposed to air for 10 minutes to hydrophilize the surface of the crosslinked polymer fine particles, thereby obtaining the substrate particles (5). The mass mean particle diameter of this base particle (5) was 3.5 µm, and the variation coefficient (CV value) of the particle diameter was 2.6%.

기재입자(5) 10부에, 실시예 1과 동일한 방법으로, 촉매화 처리 및 무전해 도금처리를 실시하고, 니켈의 도금층을 가지는 비교 도전성 미립자(3)를 얻었다.
Catalytic treatment and electroless plating treatment were performed on 10 parts of the substrate particles 5 in the same manner as in Example 1 to obtain comparative conductive fine particles 3 having a plating layer of nickel.

비교예Comparative example 4 4

비교예 3에서 수득된 비교 도전성 미립자(3)10부를 사용하고, 실시예 3과 동일한 방법에 의해 절연피복 처리를 실시하고, 비교 도전성 미립자(4)를 얻었다.
Using 10 parts of the comparative conductive fine particles (3) obtained in Comparative Example 3, an insulating coating treatment was carried out in the same manner as in Example 3 to obtain comparative conductive fine particles (4).

비교예Comparative example 5 5

실시예 1에서 수득된 기재입자(1) 0.5부를, 미리 200㎖/ℓ, 크롬산 400g/ℓ이 되도록 조정한 산화처리 혼합액 100㎖에 첨가하고, 70℃에서 5분간 가열처리를 실시하였다. 실온까지 냉각한 후, 여과하고, 수득된 미립자를 물로 세정하였다. 80℃에서 12시간진공건조를 실시하고, 기재입자(6)를 얻었다. 수득된 기재입자(3)를 XPS(ESCA) 분석한 바, 288eV에 카르복시기에 상당하는 탄소의 피크가 관측되었다. 기재입자(6)의 알칼리 분산성은 0.8%이었다.0.5 part of the substrate particles (1) obtained in Example 1 were added to 100 ml of an oxidation treatment liquid adjusted to be 200 ml / l and 400 g / l of chromic acid in advance, and heat-treated at 70 ° C. for 5 minutes. After cooling to room temperature, it was filtered and the obtained fine particles were washed with water. Vacuum drying was carried out at 80 ° C. for 12 hours to obtain substrate particles (6). XPS (ESCA) analysis of the obtained base particle (3) revealed a peak of carbon corresponding to the carboxy group at 288 eV. The alkali dispersibility of the substrate particle 6 was 0.8%.

수득된 기재입자(6)를 사용하여, 실시예 1과 동일한 방법으로, 촉매화 처리 및 무전해 도금처리를 실시하고, 니켈의 도금층을 가지는 비교 도전성 미립자(5)를 얻었다. Using the obtained base particle 6, the catalytic treatment and the electroless plating process were performed by the method similar to Example 1, and the comparative electroconductive fine particles 5 which have a nickel plating layer were obtained.

[평균 입자경, 입자경의 변동계수(CV값)][Average particle diameter, coefficient of variation of particle diameter (CV value)]

입자의 평균 입자경은 Coulter Multisizer III형(벡크만코울터사)에 의해, 30000개 입자의 입자경을 특정하고, 체적 평균 입자경을 산출하고, 그 값을 질량 평균 입자경으로 하였다. 입자경의 CV값(변동계수)은 하기식에 따라서 산출하였다.The average particle diameter of the particles was determined by Coulter Multisizer Type III (Beckman Coulter, Inc.), the particle diameter of 30000 particles was determined, the volume average particle diameter was calculated, and the value was defined as the mass average particle diameter. CV value (variation coefficient) of particle diameter was computed according to the following formula.

Figure pct00009
Figure pct00009

σ 입자경ㅇ의 표준편자,

Figure pct00010
는 평균입자경을 나타낸다.σ standard deviation of particle size,
Figure pct00010
Represents the average particle diameter.

[전체 불소량, 용출성 및 비용출성 불소 함유량][Total Fluorine Content, Elution and Non-Elution Fluorine Content]

상기한 방법에 의해 전체 불소량과 용출성 불소 함유량을 산출하고, 그 차이를 비용출성 불소 함유량으로 하였다.By the method described above, the total amount of fluorine and the content of elutable fluorine were calculated, and the difference was regarded as the non-elutable fluorine content.

[산가의 측정(KOH중화량)][Measurement of Acid Value (KOH Neutralization)]

상기 실시예 및 비교예에서 수득된 기재입자 0.5g을 칭량하고, 이것을 초순수(Organo사 「PURELITE」PRA-0015-000형으로 조제, 18.2MΩㆍcm 이하)에 첨가해서 전량을 50g로 조정한 후, 초음파처리를 10분간 실시하였다. 이어서, 자동 적정장치(히라누마사, COM-1600)을 사용해서 중화적정을 실시하고, 전위변화량이 최대가 될 때의 적정액의 첨가량을 산출하고, 하기식에 의해 산가를 산출하였다. 또, 적정액에는 농도 0.005M의 KOH수용액을 사용하였다.0.5 g of the substrate particles obtained in the above Examples and Comparative Examples were weighed, and this was added to ultrapure water (prepared as an "Organo company" PURELITE "PRA-0015-000 type, 18.2 MΩcm or less), and the total amount was adjusted to 50 g. , Sonication was performed for 10 minutes. Subsequently, neutralization titration was performed using an automatic titrator (COM-1600, Hiranuma Co., Ltd.), and the addition amount of the titrant when the amount of potential change was maximum was calculated, and the acid value was calculated by the following equation. In addition, a KOH aqueous solution having a concentration of 0.005M was used as the titration solution.

Figure pct00011
Figure pct00011

[카르복시기 및 카르복시산염의 확인][Identification of carboxyl group and carboxylate]

X선 광전자 분광분석장치(ESCA: 알박ㆍ파이주식회사, 주사형 X선 광전자 분광장치 「PHI quantera SXM (Scanning X-ray Microprobe)」)을 사용하고, 친수화 처리후의 기재입자 표면에 있어서의 카르복시기 및 카르복시산염의 생성의 유무를 확인하였다.Carboxy groups on the surface of the substrate particle after hydrophilization treatment using an X-ray photoelectron spectroscopy apparatus (ESCA: Albakh Pi Co., Ltd., Scanning X-ray photoelectron spectrometer "PHI quantera SXM (Scanning X-ray Microprobe)"). The presence or absence of the formation of carboxylate was confirmed.

[C, O, F, N, Na 및 Si 원자의 표면 존재율][Surface abundance of C, O, F, N, Na and Si atoms]

X선 광전자 분광분석장치(ESCA; JEOL사제; JPS-9000MC)를 사용하고, 기재입자 및 친수화미립자 표면에 있어서의 C, N, O, F, Na 및 Si 원자의 존재율(몰%)을 측정하고, 하기 식에 의해 각 원자의 상대 표면 존재율(%), 탄소원자의 존재량에 대한 M(나트륨 원자 등) 및 불소원자의 존재량(원자수비)을 산출하였다.Using X-ray photoelectron spectroscopy (ESCA; manufactured by JEOL; JPS-9000MC), the abundance (mol%) of C, N, O, F, Na, and Si atoms on the surface of the substrate particles and the hydrophilized fine particles was determined. The relative surface abundance (%) of each atom, M (sodium atom, etc.) and abundance (atom ratio) of the fluorine atoms were calculated by the following formula.

C원자의 상대 표면 존재율(%)=100×[C원자의 존재율(몰%)/(C원자의 존재율(몰%)+N원자의 존재율(몰%)+O원자의 존재율(몰%)+F원자의 존재율(몰%)+Na원자의 존재율(몰%)+Si원자의 존재율(몰%))]Relative surface abundance (%) of C atom = 100 × [abundance of C atom (mol%) / (abundance of C atom (mol%)) + abundance of N atom (mol%) + abundance of O atom (Mol%) + F atom abundance (mol%) + Na atom (mol%) + Si atom (mol%))]

O원자의 상대 표면존재율(%)=100×[O원자의 존재율(몰%)/(C원자의 존재율(몰%)+N원자의 존재율(몰%)+O원자의 존재율(몰%)+F원자의 존재율(몰%)+Na원자의 존재율(몰%)+Si원자의 존재율(몰%))]Relative surface existence rate (%) of O atom = 100 x [abundance of O atom (mol%) / (abundance of C atom (mol%)) + abundance of N atom (mol%) + abundance of O atom (Mol%) + F atom abundance (mol%) + Na atom (mol%) + Si atom (mol%))]

F원자의 상대 표면존재율(%)=100×[F원자의 존재율(몰%)/(C원자의 존재율(몰%)+N원자의 존재율(몰%)+O원자의 존재율(몰%)+F원자의 존재율(몰%)+Na원자의 존재율(몰%)+Si원자의 존재율(몰%))]Relative surface abundance (%) of F atoms = 100 x [abundance of F atoms (mol%) / (abundance of C atoms (mol%)) + abundance of N atoms (mol%) + abundance of O atoms (Mol%) + F atom abundance (mol%) + Na atom (mol%) + Si atom (mol%))]

Na원자의 상대 표면존재율(%)=100×[Na원자의 존재율(몰%)/(C원자의 존재율(몰%)+N원자의 존재율(몰%)+O원자의 존재율(몰%)+F원자의 존재율(몰%)+Na원자의 존재율(몰%)+Si원자의 존재율(몰%))]Relative surface abundance (%) of Na atom = 100 x [abundance of Na atom (mol%) / (abundance of C atom (mol%)) + abundance of N atom (mol%) + abundance of O atom (Mol%) + F atom abundance (mol%) + Na atom (mol%) + Si atom (mol%))]

Si원자의 상대 표면존재율(%)=100×[Si원자의 존재율(몰%)/(C원자의 존재율(몰%)+N원자의 존재율(몰%)+O원자의 존재율(몰%)+F원자의 존재율(몰%)+Na원자의 존재율(몰%)+Si원자의 존재율(몰%))]Relative Surface Presence (%) of Si Atom = 100 × [Abundance of Si Atoms (mol%) / (Abundance of C Atoms (mol%)) + N Abundance (mol%) + O Atoms (Mol%) + F atom abundance (mol%) + Na atom (mol%) + Si atom (mol%))]

N원자의 상대 표면존재율(%)=100×[N원자의 존재율(몰%)/(C원자의 존재율(몰%)+N원자의 존재율(몰%)+O원자의 존재율(몰%)+F원자의 존재율(몰%)+Na원자의 존재율(몰%)+Si원자의 존재율(몰%))]Relative surface abundance (%) of N atoms = 100 x [abundance of N atoms (mol%) / (abundance of C atoms (mol%)) + abundance of N atoms (mol%) + abundance of O atoms (Mol%) + F atom abundance (mol%) + Na atom (mol%) + Si atom (mol%))]

M/C=[Na 원자의 존재율(몰%)/C원자의 존재율(몰%)]M / C = [Abundance of Na atom (mol%) / C atom of abundance (mol%)]

F/C=[F 원자의 존재율(몰%)/C원자의 존재율(몰%)]F / C = [Abundance of F atoms (mol%) / C atom of abundance (mol%)]

[소수화도][Hydrophobicity]

상기한 방법에 의해, 기재입자의 소수화도를 산출하였다.By the method described above, the degree of hydrophobicity of the substrate particles was calculated.

[압축 파괴하중][Compression failure load]

상기한 방법에 의해, 기재입자 및 도전성 미립자의 압축 파괴하중(mN)을 산출하였다. 결과를 표 1, 2에 각각 나타냈다.By the above method, the compressive fracture load (mN) of the substrate particles and the conductive fine particles was calculated. The results are shown in Tables 1 and 2, respectively.

[알칼리 분산성][Alkali dispersibility]

기재입자 1부를, 0.1질량% 수산화 나트륨 수용액 20부(물:메탄올이 질량비로 1:1의 혼합용액)에 첨가하고, 25℃에서 20분간 교반한 후, Coulter Multisizer III형(벡크만코울터사, 측정범위 1㎛∼10㎛, 동시통과 보정 있음)을 사용해서 체적기준의 평균 입자경(Da)을 측정한다. One part of the substrate particles was added to 20 parts of a 0.1 mass% sodium hydroxide aqueous solution (a mixed solution of water: methanol in a mass ratio of 1: 1) and stirred at 25 ° C. for 20 minutes, followed by Coulter Multisizer III type (Beckman Coulter, The average particle diameter Da of the volume basis is measured using a measurement range of 1 µm to 10 µm, with simultaneous passage correction.

이어서, 기재입자 1부를, 1질량% 하이테놀(등록상표) N-08(다이이치공업제약주식회사)수용액 4000부에 첨가하고, 10분간 초음파처리해서 기재입자를 수용액 중에 분산시킨 후, 마이크로스코프(HiROX사, KH-2700)로 500배로 확대하고, 응집입자가 없는 것을 확인하고, Coulter Multisizer III형(측정범위 1㎛∼10㎛, 동시통과 보정 있음)을 사용해서 체적기준의 평균경(Db)(평균 1차 입자경)을 측정한다.Subsequently, one part of the substrate particles was added to 4000 parts of 1 mass% Hythenol® N-08 (Daiichi Kogyo Pharmaceutical Co., Ltd.) aqueous solution, sonicated for 10 minutes, and the substrate particles were dispersed in an aqueous solution. Enlarged by 500 times with HiROX, KH-2700), and confirmed that there were no aggregated particles, using the Coulter Multisizer Type III (measurement range of 1 µm to 10 µm, with simultaneous passage correction), and the average diameter (Db) based on volume. (Average primary particle diameter) is measured.

수득된 Da 및 Db의 값을 하기 식에 도입하고, 알칼리 용액 중에 있어서의 분산성α(%)을 산출한다.The values of Da and Db obtained are introduced into the following formulas to calculate the dispersibility α (%) in the alkaline solution.

α(%)=(|Da-Db|/Db) ×100α (%) = (| Da-Db | / Db) × 100

Figure pct00012
Figure pct00012

[도전성 미립자의 도금크랙 관찰][Observation of Plating Cracks of Conductive Particulates]

수득된 도전성 미립자에 대해서, 주사전자 현미경(SEM, HITACH사: 「S-3500N」)에 의해 측정배율 1000배로 도전성 미립자의 표면을 관찰하고, 도전성 금속층의 크랙이 관찰 개수가 0.1% 이하이면 「0(양호)」, 도전성 금속층의 크랙이 관찰 개수가 0.1%를 넘은 경우에는 「×(불량)」으로 평가하였다. 한편, 관찰 개수는 10000개로 하였다. About the obtained electroconductive fine particle, the surface of electroconductive fine particle is observed by the scanning electron microscope (SEM, HITACH company: "S-3500N") by 1000 times the measurement magnification, and if the crack of an electroconductive metal layer is 0.1% or less, it will be "0. (Good) "and when the number of cracks of an electroconductive metal layer exceeded 0.1%, it evaluated as" (defect). " In addition, the number of observations was made into 10000 pieces.

[도전성 미립자의 도금결함 평가][Evaluation of Plating Defects of Conductive Fine Particles]

수득된 도전성 미립자에 대해서, 주사전자 현미경(SEM)에 의해, 측정배율 1000배로 도전성 미립자의 표면을 관찰하고, 일부에서라도 금속층이 피복되어 있지 않은 부분이 존재하는 도전성 미립자를 「×」, 존재하지 않는 것을 「0」으로 하였다. 결과를 표 2에 나타낸다. 한편, 관찰 개수는 10000개로 하였다. About the obtained electroconductive fine particle, the surface of electroconductive fine particle was observed by the scanning electron microscope (SEM) at 1000 times the measurement magnification, and even if it is a part, the electroconductive fine particle in which the part in which the metal layer is not coat | cover exists does not exist. The thing was made into "0". The results are shown in Table 2. In addition, the number of observations was made into 10000 pieces.

Figure pct00013
Figure pct00013

표 2에서, 기재입자의 산가가 0.05mgKOH/g 이상인 실시예 1, 2의 도전성 미립자에는, 도금크랙도 도금결함도 관찰되지 않았다. 이것으로 실시예 1, 2에 있어서는, 무전해 도금처리 시에 기재입자 간의 응집 등이 발생하지 않았거나, 혹은, 기재입자와 도전성 금속층과의 친화성이 높은 것이었기 때문에, 기재표면에 연속한 도전성 금속층이 형성된 것으로 생각된다. 또, 이 도전성 미립자를 사용함으로 신뢰성이 높은 전기적 접속을 확보할 수 있다고 생각된다.In Table 2, neither the plating crack nor the plating defect was observed in the electroconductive fine particles of Examples 1 and 2 whose acid value of a substrate particle is 0.05 mgKOH / g or more. As a result, in Examples 1 and 2, agglomeration and the like between the substrate particles did not occur during the electroless plating treatment, or because the affinity between the substrate particles and the conductive metal layer was high, the conductivity continued on the substrate surface. It is thought that a metal layer was formed. Moreover, it is thought that reliable electrical connection can be ensured by using these electroconductive fine particles.

한편, 친수화 처리를 실시하지 않은 비교예 1, 2의 도전성 미립자에는 도금크랙이나 도금결함이 발생하고 있었다. 따라서 이것들의 예에서는 무전해 도금처리시에, 기재입자의 응집이 발생하고 있었거나, 혹은, 기재입자와 도전성 금속층과의 친화성이 낮았던, 또는 이 양쪽의 이유에 의한 것으로 생각된다. 또, 비교예 3, 4에 있어서는 플라즈마처리, 비교예 5에 있어서는, 크롬산을 사용하여 가교중합체 미립자의 표면친수화 처리를 실시하였지만, 어느쪽의 미립자에도 도금크랙이나 도금결함이 발생하고 있어, 기재입자와 도전성 금속층의 밀착성이 불충분한 것임을 알 수 있었다. 또, 비교예 5의 크롬산처리를 실시한 기재입자는 특히 도금후의 압축 파괴하중의 저하가 현저하여, 산처리에 의해 기재입자가 대미지(damage)를 받고 있는 것으로 생각된다.On the other hand, plating cracks and plating defects were generated in the conductive fine particles of Comparative Examples 1 and 2 that were not subjected to the hydrophilization treatment. Therefore, in these examples, it is considered that the aggregation of the substrate particles occurred during the electroless plating treatment, or the affinity between the substrate particles and the conductive metal layer was low, or for both reasons. In Comparative Examples 3 and 4, in the plasma treatment and Comparative Example 5, the surface hydrophilization treatment of the crosslinked polymer fine particles was carried out using chromic acid, but plating cracks and plating defects were generated in either of the fine particles. It was found that the adhesion between the particles and the conductive metal layer was insufficient. In addition, the substrate particles subjected to the chromic acid treatment of Comparative Example 5 are particularly markedly lowered in the compressive fracture load after plating, and it is considered that the substrate particles are subjected to damage by the acid treatment.

[이방성 도전재료의 평가][Evaluation of Anisotropic Conductive Material]

실시예 1∼3 및 비교예 1∼5에서 수득된 도전성 미립자를 사용하여 이방성 도전재료를 제작하고, 전극간의 저항값을 평가하였다. The anisotropic conductive material was produced using the electroconductive fine particles obtained in Examples 1-3 and Comparative Examples 1-5, and the resistance value between electrodes was evaluated.

도전성 미립자 1g을 에폭시 수지(미츠이화학사: 「스트랙트본드(등록상표) XN-5A」) 100g에 섞어서 분산시키고, 도전성 접착 페이스트를 제작하였다. 그 후에 이 페이스트 0.1mg을, 내면에 ITO투명 전극막이 형성된 2장의 유리 기판에 사이에 끼우고, 프레스기에 의해 13.7MPa의 압력을 걸면서, 150℃에서 30분간 열압착하여 시험편을 제작하였다.1 g of conductive fine particles was mixed and dispersed in 100 g of an epoxy resin (Mitsui Chemical Co., Ltd .: "Stract Bond (registered trademark) XN-5A"), to prepare a conductive adhesive paste. Thereafter, 0.1 mg of the paste was sandwiched between two glass substrates on which an ITO transparent electrode film was formed on the inner surface, and thermally press-bonded at 150 ° C. for 30 minutes while applying a pressure of 13.7 MPa by a press to prepare a test piece.

제작한 시험편에 대해서 PC시험(프레셔쿠커시험: 120℃、2기압, 24시간)을 실시하고, PC 시험 전후의 전극간의 저항값 및 그 변화를 측정하였다. 결과를 표 3에 나타낸다.PC test (Pressure cooker test: 120 degreeC, 2 atmospheres, 24 hours) was performed about the produced test piece, and the resistance value between electrodes before and behind a PC test, and its change were measured. The results are shown in Table 3.

Figure pct00014
Figure pct00014

표 3에서, 기재입자의 산가가 0.05mgKOH/g 이상인 실시예 1∼3의 도전성 미립자로 제작한 이방성 도전재료를 사용하였을 경우에는, PC시험 전후에 있어서의 저항값의 상승률이 낮아, 신뢰성의 높은 전기적 도통이 수득되고 있다. 따라서 실시예 1∼3의 도전성 미립자에서는 기재입자와 도전성 금속층간의 밀착성이 양호한 것임을 알 수 있었다.In Table 3, when the anisotropic conductive material produced from the conductive fine particles of Examples 1 to 3 having an acid value of 0.05 mgKOH / g or more was used, the rate of increase of the resistance value before and after the PC test was low, resulting in high reliability. Electrical conduction is obtained. Therefore, in the electroconductive fine particles of Examples 1-3, it turned out that adhesiveness between a substrate particle and a conductive metal layer is favorable.

이에 대해서, 기재입자의 산가가 0.05mgKOH/g에 만족시키지 않는 비교예 1∼5의 도전성 미립자로 제작한 이방성 도전재료의 경우에는, PCT시험 전후에 있어서의 저항값의 상승률이 높아, 이것들의 도전성 미립자에 있어서의 기재입자와 도전성 금속층간의 밀착성이 떨어지는 것임을 알 수 있었다.On the other hand, in the case of the anisotropic conductive material produced by the electroconductive fine particles of Comparative Examples 1-5 which the acid value of a substrate particle does not satisfy 0.05 mgKOH / g, the increase rate of the resistance value before and behind a PCT test is high, and these electroconductivity It was found that the adhesion between the substrate particles in the fine particles and the conductive metal layer was inferior.

이상의 결과에서, 기재입자와 도전성 금속층 사이의 밀착성이 우수한 본 발명의 도전성 미립자를 사용한 이방성 도전재료는, 가중 압축할 때에도 도전성 금속층에 박리나 파괴가 발생하지 않고, 서로 대향하는 전극기판간의 전기적인 접속을 확보할 수 있다. 또, 경시안정성도 뛰어나므로, 장기간의 사용에 있어서도 도금크랙 등에 의한 도전성의 저하를 초래하는 경우가 없고, 또, 전극기판간의 전기적인 접속을 견지할 수 있는 신뢰성이 높은 것임을 알 수 있었다.
As a result, the anisotropic conductive material using the conductive fine particles of the present invention having excellent adhesion between the substrate particles and the conductive metal layer does not cause peeling or breakage of the conductive metal layer even when weighted compression, and electrically connects the electrode substrates facing each other. Can be secured. In addition, since the time-lapse stability is excellent, it has been found that even in long-term use, there is no deterioration in conductivity due to plating cracks, and the reliability that can maintain electrical connection between electrode substrates is high.

실시예Example 4 4

냉각관, 온도계, 적하구를 구비한 4구 플라스크에, 이온 교환수 135부와, 25%암모니아수 0.2부, 메탄올 67부를 넣고, 교반하, 적하구로부터 3-메타크릴옥시프로필트리메톡시실란 12부를 첨가하고, 3-메타크릴옥시프로필트리메톡시실란의 가수분해, 축합반응을 실시하고, 폴리실록산 입자의 유탁액을 조제하였다. 반응 개시로부터 2시간후, 수득된 폴리실록산 입자의 유탁액을 샘플링하고, Coulter Multisizer III형(벡크만코울터사)에 의해 입자경을 측정한 바, 질량평균 입자경은 2.38㎛이었다.In a four-necked flask equipped with a cooling tube, a thermometer, and a dropping port, 135 parts of ion-exchanged water, 0.2 part of 25% ammonia water, and 67 parts of methanol were added, and 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane 12 was added from the dropping port under stirring. Part was added, hydrolysis and condensation reaction of 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane was carried out, and an emulsion of polysiloxane particles was prepared. After 2 hours from the start of the reaction, the emulsion of the obtained polysiloxane particles was sampled, and the particle diameter was measured by Coulter Multisizer III (Beckman Coulter, Inc.). The mass average particle diameter was 2.38 µm.

이어서, 유화제로서 폴리옥시에틸렌 스티렌화 페닐에테르 황산 에스테르 암모늄염(다이이치공업제약사: 「하이테놀(등록상표) NF-08」) 1.25부를 이온 교환수 10부로 용해한 용액에, 디비닐벤젠 960(신일본제철화학사) 8.4부, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴)(와코쥰야쿠공업사: 「V-65」) 0.2부를 용해한 용액을 첨가하고, TK 호모믹서(특수기화공업사)에 의해 6000rpm으로 5분간, 유화 분산시켜서 단량체 성분의 유화액을 조제하였다.Subsequently, divinylbenzene 960 (New Japan) was dissolved in a solution obtained by dissolving 1.25 parts of polyoxyethylene styrenated phenylether sulfate ammonium salt (Daiichi Kogyo Co., Ltd .: `` Hytenol® NF-08 '') as 10 parts of ion-exchanged water as an emulsifier. Steel chemical company) 8.4 parts, 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) (wako Pure Chemical Industries, Ltd .: "V-65") was added, the solution which melt | dissolved, TK homomixer (special vaporization company) Was emulsified and dispersed at 6000 rpm for 5 minutes to prepare an emulsion of monomer components.

수득된 유화액을 폴리실록산 입자의 유탁액 중에 첨가하고, 추가로 교반을 실시하였다. 유화액의 첨가로부터 2시간후, 혼합액을 샘플링해서 현미경으로 관찰을 실시한 바, 폴리실록산 입자가 단량체를 흡수해서 비대화하고 있는 것이 확인되었다.The obtained emulsion was added to an emulsion of polysiloxane particles, and further stirred. After 2 hours from the addition of the emulsion, the mixed solution was sampled and observed under a microscope. As a result, it was confirmed that the polysiloxane particles absorbed and enlarged the monomers.

이어서, 질소분위기 하에서 반응액을 65℃까지 승온시키고, 65℃에서 2시간 유지하고, 단량체 성분의 래디컬 중합을 실시하였다. 래디컬 중합후의 유탁액을 고액분리하고, 수득된 케이크를 이온 교환수, 메탄올로 세정한 후, 80℃에서 12시간 진공건조 시켜서 유기질 무기질 복합체입자를 얻었다. 이 유기질 무기질 복합체입자의 입자경을 Coulter Multisizer III형(벡크만코울터사)로 측정한 바, 질량평균 입자경은 3.0㎛, 변동계수(CV값)은 3.3%이었다.Subsequently, the reaction solution was heated to 65 ° C. under a nitrogen atmosphere, held at 65 ° C. for 2 hours, and radical polymerization of the monomer components was carried out. The emulsion after radical polymerization was solid-liquid separated, the cake obtained was washed with ion-exchanged water and methanol, and then vacuum dried at 80 ° C for 12 hours to obtain organic inorganic composite particles. The particle size of the organic inorganic composite particles was measured by Coulter Multisizer Type III (Beckman Coulter, Inc.). The mass average particle size was 3.0 µm and the coefficient of variation (CV value) was 3.3%.

혼합가스의 조성 및 챔버내의 가스 온도를 표 4에 나타내는 조건으로 한 것 이외는, 실시예 1과 동일한 방법으로 친수화 처리를 실시하고, 기재입자(7)를 얻었다. 수득된 기재입자(7)의 XPS(ESCA) 분석에 의해, 288eV에 카르복시기에 상당하는 탄소의 피크가 관측되었다. 또 상기 방법으로 특성평가를 실시하고, 평가결과를 표 4에 나타냈다.
Except having made the composition gas and the gas temperature in a chamber into the conditions shown in Table 4, the hydrophilization process was performed by the method similar to Example 1, and the base material particle 7 was obtained. By XPS (ESCA) analysis of the obtained substrate particle 7, a peak of carbon corresponding to a carboxy group was observed at 288 eV. Moreover, the characteristic evaluation was performed by the said method, and the evaluation result was shown in Table 4.

실시예Example 5 5

혼합가스의 조성 및 챔버내의 가스 온도를 표 4에 나타내는 조건으로 하여 친수화 처리를 실시하였다. 이어서, 친수화 처리후의 입자 7g을 0.25N의 수산화 나트륨 수용액에 침지시키고(입자농도 2질량%), 교반하, 85℃에서 3시간 알칼리처리를 실시하였다. 입자를 여과한 후, 85℃의 이온 교환수에 침지시키고(입자농도 6.3질량%), 동온도에서 3시간 세정처리를 실시하였다. 실온까지 냉각한 후, 입자를 여과하고, 이온 교환수, 메탄올의 순서로 세정을 실시하고, 추가로, 80℃에서 12시간 진공건조를 실시하고, 기재입자(8)를 얻었다. 수득된 기재입자(8)의 XPS(ESCA) 분석에 의해, 288eV에 카르복시산염에 상당하는 탄소의 피크가 관측된 Na의 존재도 확인되었다.
The hydrophilization treatment was performed under the conditions shown in Table 4 of the composition of the mixed gas and the gas temperature in the chamber. Subsequently, 7 g of the particles after the hydrophilization treatment was immersed in a 0.25 N sodium hydroxide aqueous solution (particle concentration 2% by mass) and subjected to alkali treatment at 85 ° C. for 3 hours under stirring. The particles were filtered and then immersed in 85 ° C. ion-exchanged water (particle concentration 6.3% by mass), and washed at the same temperature for 3 hours. After cooling to room temperature, the particles were filtered, washed in the order of ion exchanged water and methanol, and further vacuum dried at 80 ° C. for 12 hours to obtain the substrate particles (8). XPS (ESCA) analysis of the obtained substrate particles (8) also confirmed the presence of Na in which carbon peaks corresponding to carboxylates were observed at 288 eV.

실시예Example 6 6

혼합가스의 조성 및 챔버내의 가스 온도를 표 4에 나타내는 조건으로 한 것 이외는, 실시예 5와 동일한 방법으로 친수화 처리, 알칼리처리를 실시하고, 기재입자(9)를 얻었다. 수득된 기재입자(9)의 XPS(ESCA) 분석에 의해, 288eV에 카르복시산염에 상당하는 탄소의 피크가 관측되고, Na 존재도 확인되었다.
Except having made the composition gas and the gas temperature in a chamber into the conditions shown in Table 4, hydrophilization treatment and alkali treatment were performed by the method similar to Example 5, and the base material particle 9 was obtained. By XPS (ESCA) analysis of the obtained substrate particle 9, a peak of carbon corresponding to carboxylate was observed at 288 eV, and the presence of Na was also confirmed.

실시예Example 7 7

냉각관, 온도계, 적하구를 구비한 4구 플라스크에, 이온 교환수 135부와, 25%암모니아수 0.2부, 메탄올 67부를 넣고, 교반하, 적하구로부터 3-메타크릴옥시프로필트리메톡시실란 10부를 첨가하고, 3-메타크릴옥시프로필트리메톡시실란의 가수분해, 축합반응을 실시하고, 폴리실록산 입자의 유탁액을 조제하였다. 반응 개시로부터 2시간후, 수득된 폴리실록산 입자의 유탁액을 샘플링하고, Coulter Multisizer III형(벡크만코울터사)에 의해 입자경을 측정한 바, 질량평균 입자경은 2.15㎛이었다.Into a four-necked flask equipped with a cooling tube, a thermometer, and a dropping port, 135 parts of ion-exchanged water, 0.2 part of 25% ammonia water, and 67 parts of methanol were added, and 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane 10 was added from the dropping port under stirring. Part was added, hydrolysis and condensation reaction of 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane was carried out, and an emulsion of polysiloxane particles was prepared. After 2 hours from the start of the reaction, an emulsion of the obtained polysiloxane particles was sampled, and the particle diameter was measured by Coulter Multisizer III (Beckman Coulter). The mass average particle diameter was 2.15 mu m.

이어서, 유화제로서 폴리옥시에틸렌 스티렌화 페닐에테르 황산 에스테르암모늄염(다이이치공업제약사: 「하이테놀(등록상표) NF-08」) 1.25부를 이온 교환수 10부로 용해한 용액에, 1,6-헥산디올디메타크릴레이트 10부, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴)(와코쥰야쿠공업사: 「V-65」 )0.2부를 용해한 용액을 첨가하고, TK 호모믹서(특수기화공업사)에 의해 6000rpm으로 5분간, 유화 분산시켜서 단량체 성분의 유화액을 조제하였다.Subsequently, 1,6-hexanediol di 10 parts of methacrylate, the solution which melt | dissolved 0.2 parts of 2,2'- azobis (2, 4- dimethylvaleronitrile) (wako Pure Chemical Industries: "V-65") were added, and TK homomixer (special vaporization company) Was emulsified and dispersed at 6000 rpm for 5 minutes to prepare an emulsion of monomer components.

수득된 유화액을 폴리실록산 입자의 유탁액 중에 첨가하고, 추가로 교반을 실시하였다. 유화액의 첨가로부터 2시간후, 혼합액을 샘플링해서 현미경으로 관찰을 실시한 바, 폴리실록산 입자가 단량체를 흡수해서 비대화하고 있는 것이 확인되었다.The obtained emulsion was added to an emulsion of polysiloxane particles, and further stirred. After 2 hours from the addition of the emulsion, the mixed solution was sampled and observed under a microscope. As a result, it was confirmed that the polysiloxane particles absorbed and enlarged the monomers.

이어서, 질소분위기 하에서 반응액을 65℃까지 승온시켜서, 65℃에서 2시간 유지하고, 단량체 성분의 래디컬 중합을 실시하였다. 래디컬 중합후의 유탁액을 고액분리하고, 수득된 케이크를 이온 교환수, 메탄올로 세정한 후, 80℃에서 12시간 진공건조 시켜서 유기질 무기질 복합체입자를 얻었다. 이 유기질 무기질 복합체입자의 입자경을 Coulter Multisizer III형(벡크만코울터사)로 측정한 바, 질량평균 입자경은 2.9㎛, 변동계수(CV값)은 3.6%이었다.Subsequently, the reaction solution was heated to 65 ° C. under a nitrogen atmosphere, held at 65 ° C. for 2 hours, and radical polymerization of the monomer components was carried out. The emulsion after radical polymerization was solid-liquid separated, the cake obtained was washed with ion-exchanged water and methanol, and then vacuum dried at 80 ° C for 12 hours to obtain organic inorganic composite particles. The particle diameter of this organic-inorganic composite particle was measured by Coulter Multisizer Type III (Beckman Coulter, Inc.). The mass average particle diameter was 2.9 µm and the coefficient of variation (CV value) was 3.6%.

혼합가스의 조성 및 챔버내의 가스 온도를 표 4에 나타내는 조건으로 한 것 이외는, 실시예 5와 동일한 방법으로 친수화 처리, 알칼리처리를 실시하고, 기재입자(10)를 얻었다. 수득된 기재입자(10)의 XPS(ESCA) 분석에 의해, 288eV에 카르복시산염에 상당하는 탄소의 피크가 관측되고, Na의 존재도 확인되었다. 또, 상기 방법으로 특성평가를 실시하고, 평가 결과를 표 4에 나타냈다.
Except having made the composition gas and the gas temperature in a chamber into the conditions shown in Table 4, hydrophilization treatment and alkali treatment were performed by the method similar to Example 5, and the base material particle 10 was obtained. By XPS (ESCA) analysis of the obtained substrate particle 10, a peak of carbon corresponding to carboxylate was observed at 288 eV, and the presence of Na was also confirmed. Moreover, the characteristic evaluation was performed by the said method, and the evaluation result was shown in Table 4.

실시예Example 8 8

혼합가스의 조성 및 챔버내의 가스 온도를 표 4에 나타내는 조건으로 한 것 이외는, 실시예 5와 동일한 방법으로 친수화 처리, 온수세정을 실시하고, 기재입자(11)를 얻었다. 수득된 기재입자(11)의 XPS(ESCA) 분석에 의해, 288eV에 카르복시기에 상당하는 탄소의 피크가 관측되었다.
Except having made the composition gas and the gas temperature in a chamber into the conditions shown in Table 4, hydrophilization treatment and warm water washing were performed by the method similar to Example 5, and the base material particle 11 was obtained. By XPS (ESCA) analysis of the obtained substrate particle 11, the peak of carbon corresponding to a carboxy group was observed at 288 eV.

실시예Example 9 9

혼합가스의 조성 및 챔버내의 가스 온도를 표 4에 나타내는 조건으로 한 것 이외는 실시예 5와 동일한 방법으로 친수화 처리, 알칼리처리를 실시하고, 기재입자(12)를 얻었다. 수득된 기재입자(12)의 XPS(ESCA) 분석에 의해, 288eV에 카르복시산염에 상당하는 탄소의 피크가 관측되었다.
Except having made the composition gas and the gas temperature in a chamber into the conditions shown in Table 4, hydrophilization treatment and alkali treatment were performed by the method similar to Example 5, and the base material particle 12 was obtained. By XPS (ESCA) analysis of the obtained substrate particle 12, a peak of carbon corresponding to carboxylate was observed at 288 eV.

실시예Example 10 10

실시예 7의 단량체 성분의 유화액에 있어서, 1,6-헥산디올디메타크릴레이트 10부를, 스티렌 3부 및 디비닐벤젠 960(신일본제철화학사) 7부로 변경한 이외는, 실시예 7과 동일한 방법으로 유기무기 복합체입자를 얻었다. 이 유기질 무기질 복합체입자의 평균 입자경은 3.1㎛, 변동계수(CV값)은 3.5%이었다.The emulsion of the monomer component of Example 7 was the same as in Example 7, except that 10 parts of 1,6-hexanediol dimethacrylate were changed to 3 parts of styrene and 7 parts of divinylbenzene 960 (New Nippon Steel Chemical Co., Ltd.). Organic inorganic composite particles were obtained by the method. The organic inorganic composite particles had an average particle diameter of 3.1 mu m and a coefficient of variation (CV value) of 3.5%.

이어서, 실시예 9와 동일한 조건으로, 친수화 처리 및 알칼리처리를 실시하고, 기재입자(13)를 얻었다. 수득된 기재입자(13)의 XPS(ESCA) 분석에 의해, 288eV에 카르복시산염에 상당하는 탄소의 피크가 관측되었다.
Subsequently, hydrophilization treatment and alkali treatment were performed under the same conditions as in Example 9 to obtain the substrate particles 13. By XPS (ESCA) analysis of the obtained substrate particle 13, a peak of carbon corresponding to carboxylate was observed at 288 eV.

실시예Example 11 11

실시예 7의 단량체 성분의 유화액에 있어서, 1,6-헥산디올디메타크릴레이트 10부를, 메타크릴산메틸 7부 및 에틸렌글리콜디메타크릴레이트 3부로 변경한 이외는, 실시예 7과 동일한 방법으로 유기무기 복합체입자를 얻었다. 이 유기질 무기질 복합체입자의 평균 입자경은 3.1㎛, 변동계수(CV값)은 3.5%이었다.In the emulsion of the monomer component of Example 7, the same method as in Example 7, except that 10 parts of 1,6-hexanediol dimethacrylate was changed to 7 parts of methyl methacrylate and 3 parts of ethylene glycol dimethacrylate. As a result, organic-inorganic composite particles were obtained. The organic inorganic composite particles had an average particle diameter of 3.1 mu m and a coefficient of variation (CV value) of 3.5%.

이어서, 실시예 4와 동일한 조건으로, 친수화 처리 및 온수세정을 실시하고, 기재입자(14)를 얻었다. 수득된 기재입자(14)의 XPS(ESCA) 분석에 의해, 288eV에 카르복시산염에 상당하는 탄소의 피크가 관측되었다.
Subsequently, hydrophilization treatment and warm water washing were performed under the same conditions as in Example 4 to obtain the substrate particles 14. By XPS (ESCA) analysis of the obtained substrate particles 14, a peak of carbon corresponding to carboxylate was observed at 288 eV.

비교예Comparative example 6 6

냉각관, 온도계, 적하구를 구비한 4구 플라스크에, 이온 교환수 900부와, 25%암모니아수 1.2부, 메탄올 225부를 넣고, 교반하, 적하구로부터 미리 조정한 3-메타크릴옥시프로필트리메톡시실란 50부와 메탄올 75부의 혼합용액을 첨가하고, 3-메타크릴옥시프로필트리메톡시실란의 가수분해, 축합반응을 실시하고, 폴리실록산 입자의 유탁액을 조제하였다.In a four-necked flask equipped with a cooling tube, a thermometer, and a dropping port, 900 parts of ion-exchanged water, 1.2 parts of 25% ammonia water, and 225 parts of methanol were added, and 3-methacryloxypropyltrime, previously adjusted from the dropping port, was stirred. A mixed solution of 50 parts of methoxysilane and 75 parts of methanol was added, and hydrolysis and condensation reaction of 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane was carried out to prepare an emulsion of polysiloxane particles.

반응 개시로부터 2시간후, 수득된 폴리실록산 입자의 유탁액을 샘플링하고, Coulter Multisizer III형(벡크만코울터사)에 의해 입자경을 측정한 바, 질량평균 입자경은 1.41㎛이었다.After 2 hours from the start of the reaction, the emulsion of the obtained polysiloxane particles was sampled, and the particle diameter was measured by Coulter Multisizer III (Beckman Coulter, Inc.). The mass average particle diameter was 1.41 µm.

이어서, 유화제로서 폴리옥시에틸렌 스티렌화 페닐에테르 황산 에스테르암모늄염(다이이치공업제약사: 「하이테놀(등록상표) NF-08」) 6.25부를 이온 교환수 250부에 용해한 용액에, 스티렌 87.5부, 디비닐벤젠 960(신일본제철화학사) 87.5부, 메타크릴산 75부, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴)(와코쥰야쿠공업사: 「V-65」) 3부를 용해한 용액을 첨가하고, TK 호모믹서(특수기화공업사)에 의해 6000rpm으로 5분간, 유화 분산시켜서 단량체 성분의 유화액을 조제하였다.Subsequently, 67.5 parts of styrene and divinyl in the solution which melt | dissolved 6.25 parts of polyoxyethylene styrenated phenyl ether sulfate ammonium salt (Daiichi Kogyo Co., Ltd .: "Hytenol (trademark) NF-08") as 250 parts of ion-exchange water as an emulsifier. A solution in which 87.5 parts of benzene 960 (New Nippon Steel Chemical Co., Ltd.), 75 parts of methacrylic acid, and 3 parts of 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) (Wako Pure Chemical Industries, Ltd .: `` V-65 '') are dissolved. Was added, and the emulsion of the monomer component was prepared by emulsifying and dispersing at 6000 rpm for 5 minutes by a TK homomixer (special vaporization company).

수득된 유화액을, 폴리실록산 입자의 유탁액 중에 첨가하고, 추가로 교반을 실시하였다. 유화액의 첨가로부터 2시간후, 혼합액을 샘플링해서 현미경으로 관찰을 실시한 바, 폴리실록산 입자가 단량체를 흡수해서 비대화하고 있는 것이 확인되었다.The obtained emulsion was added to the emulsion of polysiloxane particles, and further stirred. After 2 hours from the addition of the emulsion, the mixed solution was sampled and observed under a microscope. As a result, it was confirmed that the polysiloxane particles absorbed and enlarged the monomers.

이어서, 폴리실록산 입자의 유탁액에 폴리스탑 7010(하쿠토주식회사) 7.5부를 첨가하고, 질소분위기 하에서 반응액을 65℃까지 승온시켜서, 65℃에서 2시간 유지하고, 단량체 성분의 래디컬 중합을 실시하였다. 래디컬 중합후의 유탁액을 고액분리 하고, 수득된 케이크를 이온 교환수, 메탄올로 세정한 후, 질소분위기 하 120℃에서 2시간 진공건조를 실시하고 기재입자(15)를 얻었다. 수득된 기재입자(15)의 XPS(ESCA) 분석을 한 바, 288eV에 카르복시기에 상당하는 탄소의 피크는 확인되었지만, Na의 존재는 확인되지 않았다.
Subsequently, 7.5 parts of polytops 7010 (Hakuto Co., Ltd.) were added to the emulsion of polysiloxane particles, the reaction solution was heated up to 65 ° C under a nitrogen atmosphere, held at 65 ° C for 2 hours, and the radical polymerization of the monomer components was carried out. The emulsion after radical polymerization was solid-liquid separated, the cake obtained was washed with ion-exchanged water and methanol, and then vacuum-dried at 120 캜 under a nitrogen atmosphere for 2 hours to obtain substrate particles (15). XPS (ESCA) analysis of the obtained substrate particle 15 showed a peak of carbon corresponding to a carboxy group at 288 eV, but the presence of Na was not confirmed.

비교예Comparative example 7 7

단량체 성분의 유화액의 조성을, 스티렌 112.5부, 디비닐벤젠 960(신일본제철화학사) 112.5부 및 메타크릴산 25부로 변경한 이외는 비교예 6과 동일한 방법으로 기재입자(16)를 얻었다. 수득된 기재입자(16)의 XPS(ESCA) 분석을 한 바, 288eV에 카르복시기에 상당하는 탄소의 피크는 확인되었지만, Na의 존재는 확인되지 않았다.
The base material particle 16 was obtained by the method similar to the comparative example 6 except having changed the composition of the emulsion component of the monomer component into 112.5 parts of styrene, 112.5 parts of divinylbenzene 960 (New Nippon Steel Chemical Co., Ltd.), and 25 parts of methacrylic acid. XPS (ESCA) analysis of the obtained substrate particle 16 showed a peak of carbon corresponding to a carboxy group at 288 eV, but the presence of Na was not confirmed.

비교예Comparative example 8 8

친수화 처리를 실시하지 않은 것 이외는 실시예 1과 동일한 방법으로 기재입자(17)를 얻었다. 수득된 기재입자(17)의 XPS(ESCA) 분석을 실시하였지만, 카르복시기에 상당하는 탄소의 피크는 확인되지 않았다.The substrate particle 17 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the hydrophilization treatment was not performed. Although XPS (ESCA) analysis of the obtained substrate particle 17 was carried out, the peak of carbon corresponding to a carboxy group was not confirmed.

Figure pct00015
Figure pct00015

표 4에서, 실시예 1∼11에서 수득된 기재입자는 친수화 처리에 의해 소수화도가 0가 되어 있었다. 또, 실시예 5∼10의 결과로부터, 혼합가스가 불활성가스를 포함하는 경우에 있어서도 마찬가지로 친수화 처리가 진행하고, 친수화 미립자를 수득되는 것임을 알 수 있었다.In Table 4, the substrate particles obtained in Examples 1 to 11 had a degree of hydrophobicity of 0 by hydrophilization treatment. In addition, the results of Examples 5 to 10 show that hydrophilization treatment proceeds in the same manner when the mixed gas contains an inert gas, thereby obtaining hydrophilized fine particles.

이어서, 실시예 1∼11 및 비교예 1∼8에서 수득된 기재입자에 나트륨 흡착처리를 실시한 후, 상기 방법에 따라서, X선 광전자 분광분석장치(JEOL사; JPS-9000MC)를 사용하고, 입자표면에 있어서의 C, O, F, Na 및 Si 원자의 존재량을 측정하였다. 결과를 표5 에 나타낸다.Subsequently, after performing the sodium adsorption treatment on the substrate particles obtained in Examples 1 to 11 and Comparative Examples 1 to 8, the particles were prepared using an X-ray photoelectron spectroscopy apparatus (JEOL; JPS-9000MC) according to the above method. The abundance of C, O, F, Na, and Si atoms in the surface was measured. The results are shown in Table 5.

[나트륨 흡착처리]Sodium adsorption treatment

물:메탄올의 비율이 질량비로 1:1의 혼합용액에, 농도가 0.1질량%가 되도록 수산화 나트륨을 용해시킨 수용액 20질량부와, 입자 1질량부를 혼합하고, 이 현탁액을 25℃에서 1시간 교반하였다.20 mass parts of aqueous solution which melt | dissolved sodium hydroxide so that the density | concentration might be 0.1 mass%, and 1 mass part of particle | grains were mixed with the mixed solution of the water: methanol ratio of 1: 1 by mass ratio, and this suspension was stirred at 25 degreeC for 1 hour. It was.

이어서, 현탁액을 고액분리하고, 이온 교환수 100질량부로 기재입자를 세정한 후, 추가로 메탄올 33질량부로 세정하고, 기재입자를 세정한 후, 120℃에서 2시간 진공건조하였다.Subsequently, the suspension was solid-liquid separated, the substrate particles were washed with 100 parts by mass of ion-exchanged water, then washed with 33 parts by mass of methanol, and the substrate particles were washed, followed by vacuum drying at 120 ° C. for 2 hours.

Figure pct00016
Figure pct00016

표 5에서, 실시예 1∼9의 기재입자에 있어서의 각 원자의 상대 표면존재율(%)의 결과로부터, 친수화 처리후의 기재입자는 친수화 처리 전과 비교해서 상대적으로 나트륨 원자량이 증가하고 있고, 이것에 의해 카르복시기(카르복시산염)가 생성하고 있는 것임을 확인할 수 있었다. In Table 5, as a result of the relative surface existence rate (%) of each atom in the substrate particles of Examples 1 to 9, the amount of sodium atoms in the substrate particles after the hydrophilization treatment was relatively increased as compared with before the hydrophilization treatment. It was confirmed that carboxyl group (carboxylate) was produced by this.

실시예 4∼11 및 비교예 6∼8에서 수득된 기재입자(7)∼(17)을 사용하고, 하기 팔라듐 흡착처리, 촉매화 처리 및 무전해 도금처리를 실시해서 도전성 미립자(4)∼(11), 비교 도전성 미립자(6)∼(8)을 제조하였다. 또, 상기 방법에 따라서, 도전성 미립자의 도금성의 평가를 실시하였다.Using the substrate particles (7) to (17) obtained in Examples 4 to 11 and Comparative Examples 6 to 8, the following palladium adsorption treatment, catalysis treatment, and electroless plating treatment were performed to conduct conductive fine particles (4) to ( 11) and Comparative Electroconductive Fine Particles 6 to 8 were manufactured. Moreover, the plating property of electroconductive fine particles was evaluated in accordance with the said method.

<팔라듐 흡착처리><Palladium adsorption treatment>

비이커에 「핑크슈머(일본카니젠주식회사)」 10부와 이온 교환수 70부를 넣어 혼합하였다. 별도, 이온 교환수 10부에 기재입자 2부를 초음파 분산시킨 것을 준비하고, 이것을 상기 혼합액에 투입하고, 비이커내를 세정한 이온 교환수 10부도, 상기 혼합액에 투입하였다. 혼합액을 30℃에서 10분간 교반해서 현탁액으로 하고, 이것을 고액분리해서 수득된 케이크를, 이온 교환수 30부로 세정하였다.In a beaker, 10 parts of "pink shimmer" (Kanizen Co., Ltd.) and 70 parts of ion-exchanged water were put and mixed. Separately, an ultrasonic dispersion of 2 parts of substrate particles was prepared in 10 parts of ion exchanged water, and this was added to the mixed solution, and 10 parts of ion exchanged water washed in the beaker was also added to the mixed solution. The mixed solution was stirred at 30 ° C for 10 minutes to give a suspension, and the cake obtained by solid-liquid separation was washed with 30 parts of ion-exchanged water.

수득된 케이크를 비이커에 옮기고, 이온 교환수 80부에 초음파 분산시키고, 여기에, 「레드슈머(일본카니젠주식회사)」 20부를 첨가하고, 30℃에서 10분간 교반해서 현탁액으로 하였다. 이 현탁액을 고액분리하고, 수득된 케이크를 이온 교환수 20부로 세정하고, 질소분위기 하 100℃에서 2시간 진공건조를 실시하고, 표면에 팔라듐이 흡착된 기재입자를 얻었다.The obtained cake was transferred to a beaker, ultrasonically dispersed in 80 parts of ion-exchanged water, and 20 parts of "Red Shimmer" (Japan Kanizen Co., Ltd.) was added thereto, and stirred at 30 ° C for 10 minutes to obtain a suspension. This suspension was solid-liquid separated, the cake obtained was washed with 20 parts of ion-exchanged water, vacuum-dried at 100 degreeC under nitrogen atmosphere for 2 hours, and the base particle which palladium adsorb | sucked to the surface was obtained.

<촉매화 처리><Catalyzed treatment>

비이커에 「핑크슈머(일본카니젠주식회사)」 10부와 이온 교환수 70부를 넣어 혼합하였다. 별도, 비이커에, 이온 교환수 10부에 기재입자 2부를 초음파 분산시킨 것을 준비하고, 이것을 상기 혼합액에 투입하고, 이어서, 비이커내를 세정한 이온 교환수 10부도, 상기 혼합액에 투입하였다. 혼합액을 30℃에서 10분간 교반해서 현탁액으로 하고, 이것을 고액분리해서 수득된 케이크를 이온 교환수 30부로 세정하였다.In a beaker, 10 parts of "pink shimmer" (Kanizen Co., Ltd.) and 70 parts of ion-exchanged water were put and mixed. Separately, a beaker was prepared by ultrasonically dispersing 2 parts of the substrate particles in 10 parts of ion-exchanged water, and this was added to the mixed solution, followed by 10 parts of ion-exchanged water washed in the beaker. The mixed solution was stirred at 30 ° C for 10 minutes to give a suspension, and the cake obtained by solid-liquid separation was washed with 30 parts of ion-exchanged water.

수득된 케이크를 비이커에 옮기고, 이온 교환수 80부를 첨가해서 초음파 분산시키고, 여기에, 「레드슈머(일본카니젠주식회사)」 20부를 첨가하고, 30℃에서 10분간 교반해서 현탁액으로 하였다. 이 현탁액을 고액분리하고, 수득된 케이크를 이온 교환수 20부로 세정하고, 질소분위기 하 100℃에서 2시간 진공건조를 실시하고, 표면에 팔라듐이 흡착된 기재입자를 얻었다.The obtained cake was transferred to a beaker, 80 parts of ion-exchanged water was added, ultrasonic dispersion was carried out, and 20 parts of "Red Schumer (Kanizen Co., Ltd.)" were added here, it stirred at 30 degreeC for 10 minutes, and it was set as suspension. This suspension was solid-liquid separated, the cake obtained was washed with 20 parts of ion-exchanged water, vacuum-dried at 100 degreeC under nitrogen atmosphere for 2 hours, and the base particle which palladium adsorb | sucked to the surface was obtained.

<무전해 도금처리><Electroless Plating>

팔라듐에 의해 활성화된 기재입자 0.2부를 이온 교환수 8부에 첨가하고, 초음파처리한 후, 70℃의 수조에서 미립자 현탁액을 가온하였다. 이 현탁액을 교반하면서, 별도 70℃에서 가온한 「슈머S680(일본카니젠주식회사)」 12부를 첨가하고, 무전해 니켈도금을 실시하였다. 수소가스의 발생이 종료한 것임을 확인한 후, 고액분리를 실시하고, 이온 교환수, 메탄올의 차례로 세정하고, 100℃에서 2시간 진공건조를 실시하고, 도전성 미립자를 얻었다.0.2 parts of substrate particles activated by palladium were added to 8 parts of ion-exchanged water, and after sonication, the particulate suspension was warmed in a 70 ° C water bath. While stirring this suspension, 12 parts of "Summer S680 (Kanizen Co., Ltd.)) heated at 70 degreeC was added separately, and electroless nickel plating was performed. After confirming that the generation of hydrogen gas had been completed, solid-liquid separation was performed, ion-exchanged water and methanol were washed sequentially, and vacuum drying was performed at 100 ° C for 2 hours to obtain conductive fine particles.

[도전성 미립자의 관찰][Observation of conductive fine particles]

수득된 도전성 미립자(6), (9)에 대해서, 주사전자 현미경(SEM, HITACHI사; 「S-3500N」)에 의해, 입자의 관찰을 실시하였다. 또, 도전성 미립자(9)에 대해서, 에너지 분산형 X선 분광장치(EDS, EDAX사제; 「Genesis2000」)을 장착한 초고분해 가능 전계방출형 주사전자 현미경(FE-SEM, HITACHI사; 「S-4800」)을 사용하고, 도전성 미립자 표면의 관찰 및 원소분석을 실시하였다.About the obtained electroconductive fine particles 6 and 9, particle | grains were observed with the scanning electron microscope (SEM, HITACHI company "S-3500N"). Further, for the conductive fine particles 9, an ultra-high resolution field emission scanning electron microscope (FE-SEM, HITACHI Corporation; "S-", equipped with an energy dispersive X-ray spectrometer (EDS, manufactured by EDAX; "Genesis2000"). 4800 '), and the surface of electroconductive fine particles was observed and elemental analysis was performed.

표 6에, 기재입자의 소수화도 및 알칼리 분산성과 도금처리후의 도전성 미립자의 도금크랙 및 도금결함을 관찰평가한 결과를 나타낸다. 또, 실시예 6, 9의 기재입자로부터 수득된 도전성 미립자(6), (9)의 SEM상을 도 1, 2에, 도전성 미립자(9)의 FE-SEM상을 도 3에, 원소분포도를 도 4에, 추가로, 도전성 미립자(9)의 단면 FE-SEM상을 도 5에 나타낸다.Table 6 shows the results of observation and evaluation of the hydrophobicity and alkali dispersibility of the substrate particles and the plating cracks and plating defects of the conductive fine particles after the plating treatment. The SEM images of the conductive fine particles (6) and (9) obtained from the substrate particles of Examples 6 and 9 are shown in FIGS. 1 and 2, and the FE-SEM images of the conductive fine particles (9) are shown in FIG. 4, the cross-sectional FE-SEM image of the electroconductive fine particle 9 is shown in FIG.

Figure pct00017
Figure pct00017

또, 표 6 중 「M/C(×10-2)」는 기재입자에 나트륨 흡착처리를 실시한 후의 값을 나타낸다.In addition, in Table 6, "M / C (x10 <-2>)" shows the value after giving a sodium adsorption process to a substrate particle.

표 6에서, M/C가 0.5×10-2 이상이고, 소수화도가 2% 미만의 기재입자를 사용한 본 발명의 도전성 미립자는 도금크랙, 도금결함이 발생하고 있지 않아, 도금성이 우수한 것임을 알 수 있었다.In Table 6, it was found that the electroconductive fine particles of the present invention using base particles having a M / C of 0.5 × 10 −2 or more and a hydrophobicity of less than 2% do not generate plating cracks or plating defects, and thus exhibit excellent plating properties. Could.

또, 도 1, 2에서, 단량체 성분으로서 스티렌계 단량체 및 방향족 디비닐계 화합물을 사용한 기재입자를 가지는 도전성 미립자(실시예 6)는 기재입자가 아크릴계 단량체로 이루어지는 도전성 미립자(실시예 9)에 비해서, 도금성이 뛰어난 것임을 알 수 있었다. 또 도 3은 실시예 9에서 수득된 도전성 미립자(9)의 FE-SEM상이고, 도 4는 도 3의 입자표면에 있어서 백색테두리로 둘러싼 부분을 EDS에 의해 원소분석 한 결과를 나타내는 그래프이고, 도 5는 실시예 9에서 수득된 도전성 미립자(9)의 단면을 나타내는 FE-SEM상이지만, 이것들의 도면에서, 도전성 미립자(9)는 기재입자(12)의 표면이 니켈로 피복되어 있는 것을 확인할 수 있었다. 또, 도 4중, P는 도금액중의 환원제에 유래하는 성분이다.1 and 2, the conductive fine particles (Example 6) having a substrate particle using a styrene-based monomer and an aromatic divinyl compound as the monomer component are more conductive particles (Example 9) in which the substrate particles are made of an acrylic monomer. It turned out that it is excellent in plating property. FIG. 3 is an FE-SEM image of the conductive fine particles 9 obtained in Example 9, and FIG. 4 is a graph showing the results of elemental analysis by EDS on the portion surrounded by white borders on the particle surface of FIG. 5 is an FE-SEM image showing a cross section of the conductive fine particles 9 obtained in Example 9, but in these drawings, it can be confirmed that the conductive fine particles 9 are coated with nickel on the surface of the substrate particles 12. there was. 4, P is a component derived from the reducing agent in a plating liquid.

또, 실시예 7, 8에서 수득된 도전성 미립자(7), (8)을 SEM 관찰한 바, 기재입자에 알칼리처리를 실시한 도전성 미립자(7)는 양호한 표면성상을 나타내고 있었지만, 기재입자를 온수세정하고, 알칼리처리를 실시하지 않은 도전성 미립자(8)에서는 니켈의 이상석출이 확인되었다. In addition, SEM observation of the conductive fine particles (7) and (8) obtained in Examples 7 and 8 showed that the conductive fine particles (7) subjected to alkali treatment to the substrate particles showed good surface properties, but the substrate particles were washed with warm water. In the conductive fine particles 8 not subjected to alkali treatment, abnormal deposition of nickel was confirmed.

(산업상의 이용 가능성)(Industrial availability)

본 발명의 도전성 미립자는 기재입자와 도전성 금속층간의 밀착성이 뛰어나는 것으로, 장기간의 사용에 있어서도 도금크랙 등에 의한 도전성의 저하를 초래하는 경우가 없고, 전극기판간의 전기적인 접속을 견지할 수 있는 신뢰성이 높은 것이므로, 이방성 도전필름, 이방성 도전 페이스트, 도전성 접착제 및 도전성 점착제등, 전극간을 접속하는 도전성 재료로서 적합하게 사용할 수 있다. The conductive fine particles of the present invention are excellent in adhesion between the substrate particles and the conductive metal layer, and do not cause deterioration of conductivity due to plating cracks even in long-term use, and can maintain electrical connection between electrode substrates. Since this is a high thing, it can be used suitably as an electroconductive material which connects between electrodes, such as an anisotropic conductive film, an anisotropic conductive paste, a conductive adhesive, and a conductive adhesive.

Claims (8)

기재입자와, 기재입자의 표면을 피복하는 도전성 금속층을 가지는 도전성 미립자로서,
상기 기재입자가 질량평균 입자경 1000㎛ 이하의 비닐계 중합체로 이루어지는 기재입자이고,
하기 방법에 의해 기재입자를 나트륨 흡착처리한 후, X선 광전자 분광분석(ESCA)에 의해 측정되는 탄소의 원자수에 대한 알칼리금속 및 질소의 원자수의 합계량의 비M/C(원자수비)가 0.5×10-2 이상이며, 또한,
소수화도가 2% 미만인 것을 특징으로 하는 도전성 미립자:
[나트륨 흡착처리]
물:메탄올이 질량비로 1:1의 혼합용액에, 농도가 0.1질량%가 되도록 수산화 나트륨을 용해시킨 수용액 20질량부와, 입자 1질량부를 혼합하고, 이 현탁액을 25℃에서 1시간 교반한 후, 고액분리하고, 용매세정하고, 120℃에서 2시간 진공건조시킴.
As electroconductive fine particles which have a substrate particle and the conductive metal layer which coat | covers the surface of a substrate particle,
The said substrate particle is a substrate particle which consists of a vinyl polymer with a mass mean particle diameter of 1000 micrometers or less,
After the substrate particles were subjected to sodium adsorption by the following method, the ratio M / C (atomic ratio) of the total amount of the number of atoms of the alkali metal and nitrogen to the number of atoms of carbon to the number of atoms of carbon measured by X-ray photoelectron spectroscopy (ESCA) was 0.5 × 10 −2 or more, and
Conductive fine particles, characterized in that the degree of hydrophobicity is less than 2%:
Sodium adsorption treatment
20 mass parts of aqueous solution which melt | dissolved sodium hydroxide so that the concentration might be 0.1 mass%, and 1 mass part of particle | grains were mixed with the mixed solution of water: methanol in mass ratio 1: 1, and this suspension was stirred at 25 degreeC for 1 hour, , Solid-liquid separation, solvent washing, vacuum drying at 120 ° C. for 2 hours.
제 1 항에 있어서, 나트륨 흡착처리 전의 기재입자의 M/C(원자수비)가 0.5×10-2 이상인 도전성 미립자.Electroconductive fine particle of Claim 1 whose M / C (atomic ratio) of the substrate particle before a sodium adsorption process is 0.5x10 <-2> or more. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 나트륨 흡착처리 전의 기재입자의 산가가 0.05mgKOH/g 이상인 도전성 미립자.Electroconductive fine particle of Claim 1 or 2 whose acid value of the substrate particle before sodium adsorption treatment is 0.05 mgKOH / g or more. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 알칼리금속이 나트륨인 도전성 미립자. Electroconductive fine particle of any one of Claims 1-3 whose said alkali metal is sodium. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기재입자의 입자경의 변동계수가 15% 이하인 도전성 미립자.Electroconductive fine particle of any one of Claims 1-4 whose variation coefficient of the particle diameter of the said substrate particle is 15% or less. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기재입자는 표면에 카르복시기 및/또는 카르복시산염기 COOM(M은 알칼리금속 이온 또는 아민 양이온을 나타낸다)을 가지는 것인 도전성 미립자.The conductive fine particles according to any one of claims 1 to 5, wherein the substrate particle has a carboxyl group and / or carboxylate group COOM (M represents an alkali metal ion or an amine cation) on its surface. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 도전성 미립자의 표면의 적어도 일부에, 절연성 수지층을 가지는 도전성 미립자. Electroconductive fine particle of any one of Claims 1-6 which has an insulating resin layer in at least one part of the surface of electroconductive fine particle. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 기재된 도전성 미립자를 사용하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 이방성 도전재료.It uses the electroconductive fine particle in any one of Claims 1-7, The anisotropic conductive material characterized by the above-mentioned.
KR1020117006494A 2008-09-19 2009-09-18 Electroconductive particles and anisotropic electroconductive material using the same KR101368836B1 (en)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2008-241782 2008-09-19
JP2008241782 2008-09-19
PCT/JP2009/066455 WO2010032854A1 (en) 2008-09-19 2009-09-18 Electroconductive particles and anisotropic electroconductive material using the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20110053459A true KR20110053459A (en) 2011-05-23
KR101368836B1 KR101368836B1 (en) 2014-02-28

Family

ID=42039672

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020117006494A KR101368836B1 (en) 2008-09-19 2009-09-18 Electroconductive particles and anisotropic electroconductive material using the same

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP5539887B2 (en)
KR (1) KR101368836B1 (en)
CN (1) CN102160125B (en)
WO (1) WO2010032854A1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013120293A (en) * 2011-12-07 2013-06-17 Nippon Shokubai Co Ltd Spacer particle, conductive spacer particle and anisotropic conductive material
KR20210013869A (en) * 2019-07-29 2021-02-08 한국조폐공사 Magnetic particles for security ink and security ink including the same

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5670133B2 (en) * 2010-09-17 2015-02-18 株式会社日本触媒 Resin particles, insulated conductive particles and anisotropic conductive materials using the same
JP5581166B2 (en) * 2010-10-05 2014-08-27 株式会社日本触媒 Conductive fine particles, insulating resin-coated conductive fine particles, and anisotropic conductive materials
JP5856379B2 (en) * 2011-03-03 2016-02-09 株式会社日本触媒 Conductive fine particles and anisotropic conductive material using the same
JP5629641B2 (en) * 2011-05-19 2014-11-26 株式会社日本触媒 Conductive fine particles and method for producing the same
JP6228297B2 (en) * 2013-10-04 2017-11-08 ワンス コーポレーション リミテッド Electrode having excellent light transmittance, method for producing electrode having excellent light transmittance, and electronic device including electrode having excellent light transmittance
KR20160125344A (en) * 2014-02-24 2016-10-31 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 Conductive paste, connection structure, and connection structure manufacturing method
ES2759268T3 (en) 2014-07-08 2020-05-08 Techno Umg Co Ltd Thermoplastic resin composition and molded article thereof
JP6457255B2 (en) * 2014-12-10 2019-01-23 デクセリアルズ株式会社 Inspection method for connection body, connection body, conductive particles, anisotropic conductive adhesive, and method for manufacturing connection body
CN105002783A (en) * 2015-06-30 2015-10-28 复旦大学 Preparation method of nickel base magnetic conducting paper
EP3378915A4 (en) 2015-11-20 2019-07-03 Sekisui Chemical Co., Ltd. Connecting material and connection structure
EP3378916A4 (en) * 2015-11-20 2019-07-03 Sekisui Chemical Co., Ltd. Particles, connecting material and connection structure
US11027374B2 (en) 2015-11-20 2021-06-08 Sekisui Chemical Co., Ltd. Particles, connecting material and connection structure
JP2020095941A (en) * 2018-10-03 2020-06-18 デクセリアルズ株式会社 Anisotropic conductive film, connection structure, and method for manufacturing connection structure
WO2020071271A1 (en) * 2018-10-03 2020-04-09 デクセリアルズ株式会社 Anisotropic conductive film, connection structure, and method for manufacturing connection structure
CN111380999B (en) * 2020-05-15 2022-09-13 上海电气电站设备有限公司 Analysis method for measuring high-content molybdenum element in metal material by adopting potentiometric titration

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6088044A (en) * 1983-10-21 1985-05-17 Mitsubishi Rayon Co Ltd Treatment to make plastic capillary tube hydrophilic
JPH0676668B2 (en) * 1986-10-17 1994-09-28 三菱マテリアル株式会社 Plastic sticking method
JPH03126734A (en) * 1989-10-13 1991-05-29 Nobuatsu Watanabe Surface-modified synthetic high polymer-molded article and surface modification method
JPH0750104A (en) * 1993-08-05 1995-02-21 Hitachi Chem Co Ltd Conductive particle and connection member using conductive particle
JP3696429B2 (en) * 1999-02-22 2005-09-21 日本化学工業株式会社 Conductive electroless plating powder, method for producing the same, and conductive material comprising the plating powder
JP4026812B2 (en) * 2002-07-15 2007-12-26 宇部日東化成株式会社 Conductive particles and method for producing the same
JP4113403B2 (en) * 2002-09-17 2008-07-09 積水化学工業株式会社 Conductive fine particles, anisotropic conductive material, and method for producing conductive fine particles
JP3725859B2 (en) * 2002-11-14 2005-12-14 ソニーケミカル株式会社 Method for producing conductive particles
JP3871649B2 (en) * 2003-03-24 2007-01-24 株式会社東芝 Composite member, composite member manufacturing method, and composite member forming material
JP2005325382A (en) * 2004-05-12 2005-11-24 Sekisui Chem Co Ltd Method for producing electroconductive fine particle, electroconductive fine particle and anisotropic electroconductive material
JP4962706B2 (en) * 2006-09-29 2012-06-27 日本化学工業株式会社 Conductive particles and method for producing the same

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013120293A (en) * 2011-12-07 2013-06-17 Nippon Shokubai Co Ltd Spacer particle, conductive spacer particle and anisotropic conductive material
KR20210013869A (en) * 2019-07-29 2021-02-08 한국조폐공사 Magnetic particles for security ink and security ink including the same

Also Published As

Publication number Publication date
WO2010032854A1 (en) 2010-03-25
CN102160125B (en) 2013-07-03
JPWO2010032854A1 (en) 2012-02-16
CN102160125A (en) 2011-08-17
JP5539887B2 (en) 2014-07-02
KR101368836B1 (en) 2014-02-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101368836B1 (en) Electroconductive particles and anisotropic electroconductive material using the same
KR100766205B1 (en) Coated conductive particle, anisotropic conductive material, and conductive connection structure
KR102076066B1 (en) Conductive particles with insulating particles, conductive material, and connection structure
JP5563232B2 (en) Core-shell type organic-inorganic composite particle production method, core-shell type organic-inorganic composite particle, and conductive fine particle
JP5427437B2 (en) Polymer fine particles, production method thereof, conductive fine particles, and anisotropic conductive material
WO2013042785A1 (en) Electroconductive fine particles and anisotropic conductive material containing same
EP3121207A1 (en) Resin particles, conductive microparticles, and anistropic conductive material using same
TW201841170A (en) Conductive particles, conductive material, and connection structure
JP6641406B2 (en) Base particles, conductive particles, conductive material and connection structure
JP5340686B2 (en) Polymer fine particles, method for producing polymer fine particles, and conductive fine particles
JP2013214511A (en) Conductive particle, conductive material, and connection structure
JP5581166B2 (en) Conductive fine particles, insulating resin-coated conductive fine particles, and anisotropic conductive materials
JP5711105B2 (en) Conductive fine particles and anisotropic conductive materials
JP5629641B2 (en) Conductive fine particles and method for producing the same
JP2019046801A (en) Base material particle, conductive particle, conductive material and connection structure
JP5750342B2 (en) Insulating fine particles, insulating fine particle-coated conductive fine particles, anisotropic conductive adhesive composition, and anisotropic conductive molded body
TW202044283A (en) Conductive particles, conductive material, and connection structure
JP2013125645A (en) Conductive fine particle and anisotropic conductive material
JP5952553B2 (en) Conductive fine particles and anisotropic conductive material containing the same
KR20110069785A (en) Method for producing hydrophilized microparticles, and hydrophilized microparticles produced by the method
JP2011150802A (en) Conductive particle, anisotropic conductive adhesive composition, and anisotropic conductive molding
JP5694671B2 (en) Method for producing metal-coated particles
JP2011065750A (en) Insulating fine particle-coated conductive particle, anisotropic conductive adhesive composition, and anisotropic conductive molding
JP5883283B2 (en) Conductive particles and anisotropic conductive materials
JP5667555B2 (en) Conductive fine particles and anisotropic conductive material containing the same

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee