KR20110036353A - 태양전지 및 이의 제조방법 - Google Patents
태양전지 및 이의 제조방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20110036353A KR20110036353A KR20090093967A KR20090093967A KR20110036353A KR 20110036353 A KR20110036353 A KR 20110036353A KR 20090093967 A KR20090093967 A KR 20090093967A KR 20090093967 A KR20090093967 A KR 20090093967A KR 20110036353 A KR20110036353 A KR 20110036353A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- cell
- electrode pattern
- layer
- cells
- back electrode
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Landscapes
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
실시예에 따른 태양전지는 기판 상에 형성되고, 후면전극 패턴, 광 흡수층, 버퍼층 및 전면전극층을 포함하는 다수개의 태양전지 셀들; 및 상기 태양전지 셀들 중 불량셀 영역의 후면전극 패턴을 전기적으로 연결하는 연결전극을 포함하며, 상기 태양전지 셀들 중 불량셀 영역의 후면전극 패턴은 노출되고, 상기 노출된 후면전극 패턴은 전기적으로 연결된 것을 포함한다.
실시예에 따른 태양전지의 제조방법은 기판 상에 형성되고, 후면전극 패턴, 광 흡수층, 버퍼층 및 전면전극층을 포함하는 다수개의 태양전지 셀들을 형성하는 단계; 상기 태양전지 셀들 중 불량셀을 체크하는 단계; 상기 불량셀이 체크된 불량셀 영역의 상기 전면전극층, 버퍼층 및 광 흡수층을 제거하여, 상기 후면전극 패턴을 노출시키는 단계; 상기 후면전극 패턴을 전기적으로 연결하는 단계를 포함한다.
태양전지, 불량셀
Description
실시예는 태양전지 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
최근 에너지 수요가 증가함에 따라서, 태양광 에너지를 전기에너지로 변환시키는 태양전지에 대한 개발이 진행되고 있다.
특히, 유리 기판, 금속 후면 전극층, p형 CIGS 계 광 흡수층, 고저항 버퍼층, n형 창층 등을 포함하는 기판 구조의 pn 헤테로 접합 장치인 CIGS계 태양전지가 널리 사용되고 있다.
이러한 태양전지는 하나의 패널(panel)에 복수개의 셀이 형성되어, 상기 셀을 직렬로 연결하여 사용하고 있다.
이러한 복수개의 셀 중 어느 하나의 셀에 불량이 발생하면, 이 패널은 사용하지 못하고 폐기하게 된다.
실시예는 불량셀이 발생하더라도 태양전지로 사용할 수 있는 태양전지 및 이의 제조방법을 제공한다.
실시예에 따른 태양전지는 기판 상에 형성되고, 후면전극 패턴, 광 흡수층, 버퍼층 및 전면전극층을 포함하는 다수개의 태양전지 셀들; 및 상기 태양전지 셀들 중 불량셀 영역의 후면전극 패턴을 전기적으로 연결하는 연결전극을 포함하며, 상기 태양전지 셀들 중 불량셀 영역의 후면전극 패턴은 노출되고, 상기 노출된 후면전극 패턴은 전기적으로 연결된 것을 포함한다.
실시예에 따른 태양전지의 제조방법은 기판 상에 형성되고, 후면전극 패턴, 광 흡수층, 버퍼층 및 전면전극층을 포함하는 다수개의 태양전지 셀들을 형성하는 단계; 상기 태양전지 셀들 중 불량셀을 체크하는 단계; 상기 불량셀이 체크된 불량셀 영역의 상기 전면전극층, 버퍼층 및 광 흡수층을 제거하여, 상기 후면전극 패턴을 노출시키는 단계; 상기 후면전극 패턴을 전기적으로 연결하는 단계를 포함한다.
실시예에 따른 태양전지 및 이의 제조방법은 불량셀 영역과 인접한 셀들을 서로 연결하여 사용함으로써, 불량셀이 발생하더라도 폐기하지 않고 태양전지로 사용할 수 있다.
실시 예의 설명에 있어서, 각 기판, 층, 막 또는 전극 등이 각 기판, 층, 막, 또는 전극 등의 "상(on)"에 또는 "아래(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "상(on)"과 "아래(under)"는 "직접(directly)" 또는 "다른 구성요소를 개재하여 (indirectly)" 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 각 구성요소의 상 또는 아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다. 도면에서의 각 구성요소들의 크기는 설명을 위하여 과장될 수 있으며, 실제로 적용되는 크기를 의미하는 것은 아니다.
도 7은 실시예에 따른 태양전지를 도시한 단면도이다.
실시예에 따른 태양전지는 도 7에 도시된 바와 같이, 기판(100) 상에 형성된 다수개의 태양전지 셀인 제1셀(C1), 제3셀(C3) 및 연결전극(600)을 포함한다.
상기 다수개의 태양전지 셀들(C1, C3)은 후면전극 패턴(200), 광 흡수층(300), 버퍼층(400) 및 전면전극층(500)을 포함한다.
상기 연결전극(600)은 상기 제1셀(C1)과 제3셀(C3)을 전기적으로 연결하기 위해, 상기 제1셀(C1)과 제3셀(C3) 사이에 형성된 불량셀 영역(370)의 후면전극 패턴(200)을 전기적으로 연결한다.
상기 불량셀 영역(370)의 후면전극 패턴(200)은 노출되고, 상기 노출된 후면전극 패턴(200)의 사이를 상기 연결전극(600)이 연결한다.
상기 연결전극(600)으로 상기 불량셀 영역(370)의 상기 후면전극 패턴(200)은 불량셀과 인접한 셀들이 서로 전기적으로 연결된다.
상기 연결전극(600)은 도전성 물질로 형성되며, 상기 연결전극(600)의 일부는 상기 기판과 접하도록 형성된다.
이하, 태양전지 제조공정에 따라 상기 태양전지를 더 자세히 설명하도록 한다.
도 1 내지 도 7은 실시예에 따른 태양전지의 제조공정을 도시한 단면도이다.
우선, 도 1에 도시된 바와 같이, 기판(100) 상에 후면전극 패턴(200)을 형성한다.
상기 기판(100)은 유리(glass)가 사용되고 있으며, 알루미나와 같은 세라믹 기판, 스테인레스 스틸, 티타늄기판 또는 폴리머 기판 등도 사용될 수 있다.
유리 기판으로는 소다라임 유리(sodalime glass)를 사용할 수 있으며, 폴리머 기판으로는 폴리이미드(polyimide)를 사용할 수 있다.
또한, 상기 기판(100)은 리지드(rigid)하거나 플렉서블(flexible)할 수 있다.
상기 후면전극 패턴(200)은 금속 등의 도전체로 형성될 수 있으며, 도전성 물질을 형성한 후, 패터닝하여 형성될 수 있다.
예를 들어, 상기 후면전극 패턴(200)은 몰리브덴(Mo) 타겟을 사용하여, 스퍼터링(sputtering) 공정에 의해 형성될 수 있다.
이는, 몰리브덴(Mo)이 가진 높은 전기전도도, 광 흡수층과의 오믹(ohmic) 접합, Se 분위기 하에서의 고온 안정성 때문이다.
또한, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 후면전극 패턴(200)은 적어도 하나 이상의 층으로 형성될 수 있다.
상기 후면전극 패턴(200)이 복수개의 층으로 형성될 때, 상기 후면전극 패턴(200)을 이루는 층들은 서로 다른 물질로 형성될 수 있다.
또한, 상기 후면전극 패턴(200)은 스트라이프(stripe) 형태 또는 매트릭스(matrix) 형태로 배치될 수 있으며, 각각의 셀에 대응할 수 있다.
그러나, 상기 후면전극 패턴(200)은 상기의 형태에 한정되지 않고, 다양한 형태로 형성될 수 있다.
이어서, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 후면전극 패턴(200) 상에 광 흡수층(300) 및 버퍼층(400)을 형성한다.
상기 광 흡수층(300)은 Ⅰb-Ⅲb-Ⅵb계 화합물로 형성될 수 있다.
더 자세하게, 상기 광 흡수층(300)은 구리-인듐-갈륨-셀레나이드계(Cu(In, Ga)Se2, CIGS계) 화합물을 포함한다.
이와는 다르게, 상기 광 흡수층(300)은 구리-인듐-셀레나이드계(CuInSe2, CIS계) 화합물 또는 구리-갈륨-셀레나이드계(CuGaSe2, CIS계) 화합물을 포함할 수 있다.
예를 들어, 상기 광 흡수층(300)을 형성하기 위해서, 구리 타겟, 인듐 타겟 및 갈륨 타겟을 사용하여, 상기 후면전극 패턴(200) 상에 CIG계 금속 프리커서(precursor)막이 형성된다.
이후, 상기 금속 프리커서막은 셀레니제이션(selenization) 공정에 의해서, 셀레늄(Se)과 반응하여 CIGS계 광 흡수층(300)이 형성된다.
또한, 상기 금속 프리커서막을 형성하는 공정 및 셀레니제이션 공정 동안에, 상기 기판(100)에 포함된 알칼리(alkali) 성분이 상기 후면전극 패턴(200)을 통해서, 상기 금속 프리커서막 및 상기 광 흡수층(300)에 확산된다.
알칼리(alkali) 성분은 상기 광 흡수층(300)의 그레인(grain) 크기를 향상시키고, 결정성을 향상시킬 수 있다.
또한, 상기 광 흡수층(300)은 구리, 인듐, 갈륨, 셀레나이드(Cu, In, Ga, Se)를 동시증착법(co-evaporation)에 의해 형성할 수도 있다.
상기 광 흡수층(300)은 외부의 광을 입사받아, 전기 에너지로 변환시킨다. 상기 광 흡수층(300)은 광전효과에 의해서 광 기전력을 생성한다.
상기 버퍼층(400)은 적어도 하나의 층으로 형성되며, 상기 후면전극 패턴(200)이 형성된 상기 기판(100) 상에 황화 카드뮴(CdS), ITO, ZnO, i-ZnO 중 어느 하나 또는 이들의 적층으로 형성될 수 있다.
상기 버퍼층(400)은 투명한 전극으로 형성될 수 있다.
이때, 상기 버퍼층(400)은 n형 반도체 층이고, 상기 광 흡수층(300)은 p형 반도체 층이다. 따라서, 상기 광 흡수층(300) 및 버퍼층(400)은 pn 접합을 형성한다.
즉, 상기 광 흡수층(300)과 전면전극은 격자상수와 에너지 밴드 갭의 차이가 크기 때문에, 밴드갭이 두 물질의 중간에 위치하는 상기 버퍼층(400)을 삽입하여 양호한 접합을 형성할 수 있다.
본 실시예에서는 한 개의 버퍼층을 상기 광 흡수층(300) 상에 형성하였지만, 이에 한정되지 않고, 상기 버퍼층은 두 개 이상의 층으로 형성될 수도 있다.
그리고, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 광 흡수층(300) 및 버퍼층(400)을 관통하는 콘택패턴(310)을 형성한다.
상기 콘택패턴(310)은 기계적(Mechanical)인 방법으로 형성하거나, 레이저(laser)를 조사(irradiate)하여 형성할 수 있으며, 상기 콘택패턴(310)의 형성으로 상기 후면전극 패턴(200)의 일부가 노출된다.
이어서, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 버퍼층(400) 상에 투명한 도전물질을 적층하여 전면전극(500) 및 접속배선(350)을 형성한다.
상기 투명한 도전물질을 상기 버퍼층(400) 상에 적층시킬 때, 상기 투명한 도전물질이 상기 콘택패턴(310)의 내부에도 삽입되어, 상기 접속배선(350)을 형성할 수 있다.
상기 후면전극 패턴(200)과 상부전극(500)은 상기 접속배선(350)에 의해 전기적으로 연결된다.
상기 상부전극(500)은 상기 기판(100) 상에 스퍼터링 공정을 진행하여 알루미늄으로 도핑된 산화 아연으로 형성된다.
상기 상부전극(500)은 상기 광 흡수층(300)과 pn접합을 형성하는 윈도우(window)층으로서, 태양전지 전면의 투명전극의 기능을 하기 때문에 광투과율이 높고 전기 전도성이 좋은 산화 아연(ZnO)으로 형성된다.
이때, 상기 산화 아연에 알루미늄을 도핑함으로써 낮은 저항값을 갖는 전극을 형성할 수 있다.
상기 상부전극(500)인 산화 아연 박막은 RF 스퍼터링방법으로 ZnO 타겟을 사용하여 증착하는 방법과 Zn 타겟을 이용한 반응성 스퍼터링, 그리고 유기금속화학증착법 등으로 형성될 수 있다.
또한, 전기광학적 특성이 뛰어난 ITO(Indium tin Oxide) 박막을 산화 아연 박막 상에 층착한 2중 구조를 형성할 수도 있다.
그리고, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 광 흡수층(300) 및 버퍼층(400)을 관통하는 분리패턴(320)을 형성한다.
상기 분리패턴(320)은 기계적(Mechanical)인 방법으로 형성하거나, 레이저(laser)를 조사(irradiate)하여 형성할 수 있으며, 상기 후면전극 패턴(200)의 상면이 노출되도록 형성될 수 있다.
상기 버퍼층(400) 및 상부전극(500)은 상기 분리패턴(320)에 의해 구분될 수 있으며, 상기 분리패턴(320)에 의해 각각의 셀(C1, C2, C3)은 서로 분리될 수 있다.
상기 분리패턴(320)에 의해 상기 버퍼층(400) 및 광 흡수층(300)은 스트라이프 형태 또는 매트릭스 형태로 배치될 수 있다.
상기 분리 패턴(320)은 상기의 형태에 한정되지 않고, 다양한 형태로 형성될 수 있다.
상기 분리패턴(320)에 의해 상기 후면전극 패턴(200), 광 흡수층(300), 버퍼 층(400) 및 상부전극(500)을 포함하는 셀(C1, C2, C3)이 형성된다.
이때, 상기 접속배선(350)에 의해 각각의 셀(C1, C2, C3)은 서로 연결될 수 있다.
즉, 상기 접속배선(350)은 제2셀(C2)의 후면전극 패턴(200)과 상기 제2셀(C2)에 인접하는 상기 제1셀(C1)의 상부전극(500)을 전기적으로 연결한다.
또한, 상기 접속배선(350)은 제3셀(C3)의 후면전극 패턴(200)과 상기 제3셀(C3)에 인접하는 상기 제2셀(C2)의 상부전극(500)을 전기적으로 연결한다.
그리고, 상기 분리패턴(320)에 의해 분리된 다수개의 태양전지 셀들(C1, C2, C3)에 대해 불량셀이 발생했는지 체크를 한다.
상기 불량셀 체크는 상기 태양전지 셀들(C1, C2, C3)이 형성된 패널에 열 화상 카메라 등을 이용하여 불량셀을 찾아낼 수 있다.
상기 제2셀(C2)이 불량셀이라면, 직렬 연결된 상기 제1셀(C1)과 제3셀(C3)은 서로 연결이 되지 않게 된다.
이에, 본 실시예에서는 상기 제1셀(C1)과 제3셀(C3)을 연결시켜, 태양전지 셀에 불량이 발생하더라도 폐기하지 않고 태양전지로 사용할 수 있다.
이어서, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 제2셀(C2)의 상부전극(500), 버퍼층(400) 및 광 흡수층(300)을 제거하여, 상기 제2셀(C2)인 불량셀 영역(370)의 하부전극 패턴(200)을 노출시킨다.
이때, 상기 제2셀(C2)의 상부전극(500), 버퍼층(400) 및 광 흡수층(300)은 스크라이빙(scribing) 공정으로 진행될 수 있으며, 이에 한정되지 않고, 식각공정 으로도 제거될 수 있다.
상기 제2셀(C2)의 상부전극(500), 버퍼층(400) 및 광 흡수층(300)을 제거하여 노출된 상기 하부전극 패턴(200)은 인접하는 상기 제1셀(C1)과 전기적으로 연결되어 있고, 또한 상기 하부전극 패턴(200)은 상기 제3셀(C3)과 전기적으로 연결되어 있다.
그러나, 상기 제1셀(C1)과 연결된 하부전극 패턴과 상기 제3셀(C3)과 연결된 하부전극 패턴은 서로 분리되어 있어, 상기 제1셀(C1)과 제3셀(C3)은 서로 전기적으로 연결된 상태는 아니다.
따라서, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 하부전극 패턴(200)을 전기적으로 연결하는 연결전극(600)을 형성한다.
상기 연결전극(600)은 상기 제2셀(C2)인 불량셀 영역 내부를 도전성 물질로 채운 후, 스크라이빙(scribing) 공정을 진행하여 이웃하는 셀들과 접하지 않도록 형성할 수 있다.
그러나, 상기 연결전극(600)을 형성하는 방법은 이에 한정되지 않고, 알루미늄(Al) 페이스트(paste) 또는 구리(Cu) 페이스트를 이용하여 형성할 수 있으며, 또한, 마스크를 이용하여 백금(Pt)을 상기 제2셀(C2) 영역의 하부전극 패턴(200)에만 형성할 수도 있다.
상기 연결전극(600)은 알루미늄(Al), 구리(Cu), 백금(Pt)과 같은 물질로 형성될 수 있으나, 상기의 물질로만 한정되는 것은 아니다.
상기 연결전극(600)은 상기 제2셀(C2)인 불량셀 영역의 상기 하부전극 패 턴(200)을 서로 전기적으로 연결시킨다.
즉, 상기 연결전극(600)은 불량셀인 상기 제2셀(C2)과 인접한 상기 제1셀(C1)과 제3셀(C3)을 전기적으로 연결시킬 수 있다.
상기 제1셀(C1)과 제3셀(C3)을 전기적으로 연결시킴으로써, 직렬 연결을 유지시킬 수 있다.
또한, 상기 연결전극(600)은 상기 하부전극 패턴(200)을 서로 연결시키면서, 상기 기판(100)과 접하도록 형성된다.
따라서, 상기 연결전극(600)이 상기 불량셀 영역의 하부전극 패턴을 서로 연결함으로써, 불량이 나지 않은 다른 셀들은 모두 사용할 수 있게 되며, 불량셀이 발생하더라도 폐기하지 않고 태양전지로 사용할 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 실시예에 따른 태양전지 및 이의 제조방법은 불량셀 영역과 인접한 셀들을 서로 연결하여 사용함으로써, 불량셀이 발생하더라도 폐기하지 않고 태양전지로 사용할 수 있다.
이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
도 1 내지 도 7은 실시예에 따른 태양전지의 제조공정을 도시한 단면도 및 평면도이다.
Claims (8)
- 기판 상에 형성되고, 후면전극 패턴, 광 흡수층, 버퍼층 및 전면전극층을 포함하는 다수개의 태양전지 셀들; 및상기 태양전지 셀들 중 불량셀 영역의 후면전극 패턴을 전기적으로 연결하는 연결전극을 포함하며,상기 태양전지 셀들 중 불량셀 영역의 후면전극 패턴은 노출되고,상기 노출된 후면전극 패턴은 전기적으로 연결된 것을 포함하는 태양전지.
- 제 1항에 있어서,상기 불량셀 영역의 상기 후면전극 패턴은 상기 불량셀과 인접한 셀들이 서로 연결되며, 상기 불량셀과 인접한 셀들은 연결전극으로 연결된 것을 포함하는 태양전지.
- 제 2항에 있어서,상기 연결전극은 도전성 물질로 형성되며,상기 연결전극의 일부는 상기 기판과 접하며,상기 연결전극은 알루미늄(Al), 구리(Cu), 백금(Pt) 중 어느 하나로 형성된 것을 포함하는 태양전지.
- 기판 상에 형성되고, 후면전극 패턴, 광 흡수층, 버퍼층 및 전면전극층을 포함하는 다수개의 태양전지 셀들을 형성하는 단계;상기 태양전지 셀들 중 불량셀을 체크하는 단계;상기 불량셀이 체크된 불량셀 영역의 상기 전면전극층, 버퍼층 및 광 흡수층을 제거하여, 상기 후면전극 패턴을 노출시키는 단계;상기 후면전극 패턴을 전기적으로 연결하는 단계를 포함하는 태양전지의 제조방법.
- 제 4항에 있어서,상기 불량셀 영역의 상기 전면전극층, 버퍼층 및 광 흡수층은 스크라이빙(scribing) 공정으로 제거되는 것을 포함하는 태양전지의 제조방법.
- 제 4항에 있어서,상기 후면전극 패턴은 연결전극에 의해 전기적으로 연결된 것을 포함하는 태양전지의 제조방법.
- 제 6항에 있어서,상기 불량셀 영역의 상기 후면전극 패턴은 상기 불량셀과 인접한 셀들이 서로 연결되며, 상기 불량셀과 인접한 셀들은 상기 연결전극으로 연결된 것을 포함하는 태양전지의 제조방법.
- 제 6항에 있어서,상기 연결전극은 도전성 물질로 형성되며,상기 연결전극의 일부는 상기 기판과 접하며,상기 연결전극은 알루미늄(Al), 구리(Cu), 백금(Pt) 중 어느 하나로 형성된 것을 포함하는 태양전지의 제조방법.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR20090093967A KR20110036353A (ko) | 2009-10-01 | 2009-10-01 | 태양전지 및 이의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR20090093967A KR20110036353A (ko) | 2009-10-01 | 2009-10-01 | 태양전지 및 이의 제조방법 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20110036353A true KR20110036353A (ko) | 2011-04-07 |
Family
ID=44044324
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR20090093967A KR20110036353A (ko) | 2009-10-01 | 2009-10-01 | 태양전지 및 이의 제조방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR20110036353A (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101305619B1 (ko) * | 2011-10-31 | 2013-09-09 | 엘지이노텍 주식회사 | 태양전지 및 이의 제조방법 |
-
2009
- 2009-10-01 KR KR20090093967A patent/KR20110036353A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101305619B1 (ko) * | 2011-10-31 | 2013-09-09 | 엘지이노텍 주식회사 | 태양전지 및 이의 제조방법 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101173344B1 (ko) | 태양전지 및 이의 제조방법 | |
KR101144570B1 (ko) | 태양전지 및 이의 제조방법 | |
KR101125322B1 (ko) | 태양전지 및 이의 제조방법 | |
KR101072089B1 (ko) | 태양전지 및 이의 제조방법 | |
KR101091475B1 (ko) | 태양전지 및 이의 제조방법 | |
KR101034150B1 (ko) | 태양전지 및 이의 제조방법 | |
KR101091253B1 (ko) | 태양전지 및 이의 제조방법 | |
KR101114018B1 (ko) | 태양전지 및 이의 제조방법 | |
KR101081143B1 (ko) | 태양전지 및 이의 제조방법 | |
KR101091505B1 (ko) | 태양전지 및 이의 제조방법 | |
KR101592582B1 (ko) | 태양전지 및 이의 제조방법 | |
KR101028310B1 (ko) | 태양전지 및 이의 제조방법 | |
KR101091359B1 (ko) | 태양전지 및 이의 제조방법 | |
KR20110036173A (ko) | 태양전지 및 이의 제조방법 | |
KR101231284B1 (ko) | 태양전지 및 이의 제조방법 | |
KR101063721B1 (ko) | 태양전지 및 이의 제조방법 | |
KR101072170B1 (ko) | 태양전지 및 이의 제조방법 | |
KR20110036353A (ko) | 태양전지 및 이의 제조방법 | |
KR101209982B1 (ko) | 태양전지 및 이의 제조방법 | |
KR20120090396A (ko) | 태양전지 및 이의 제조방법 | |
KR101543034B1 (ko) | 팁 및 이를 이용한 태양전지의 제조방법 | |
KR101072067B1 (ko) | 팁, 태양전지 및 이를 이용한 태양전지 제조방법 | |
KR101091499B1 (ko) | 팁, 태양전지 및 팁을 이용한 태양전지의 제조방법 | |
KR101072116B1 (ko) | 태양전지 및 이의 제조방법 | |
KR20120090397A (ko) | 태양전지 및 이의 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E601 | Decision to refuse application |