KR20110026318A - Flexible gas barrier film, method for preparing thereof and flexible display device using the same - Google Patents

Flexible gas barrier film, method for preparing thereof and flexible display device using the same Download PDF

Info

Publication number
KR20110026318A
KR20110026318A KR1020090084164A KR20090084164A KR20110026318A KR 20110026318 A KR20110026318 A KR 20110026318A KR 1020090084164 A KR1020090084164 A KR 1020090084164A KR 20090084164 A KR20090084164 A KR 20090084164A KR 20110026318 A KR20110026318 A KR 20110026318A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
gas barrier
barrier film
resin
layer
hydrophobic
Prior art date
Application number
KR1020090084164A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101148144B1 (en
Inventor
김철호
이진우
김성국
주병권
최진환
김영민
박영욱
박태현
동기영
Original Assignee
제일모직주식회사
고려대학교 산학협력단
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 제일모직주식회사, 고려대학교 산학협력단 filed Critical 제일모직주식회사
Priority to KR1020090084164A priority Critical patent/KR101148144B1/en
Publication of KR20110026318A publication Critical patent/KR20110026318A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101148144B1 publication Critical patent/KR101148144B1/en

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/06Layered products comprising a layer of synthetic resin as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
    • B32B27/08Layered products comprising a layer of synthetic resin as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of synthetic resin
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08JWORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J5/00Manufacture of articles or shaped materials containing macromolecular substances
    • C08J5/18Manufacture of films or sheets
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/70Other properties
    • B32B2307/724Permeability to gases, adsorption
    • B32B2307/7242Non-permeable
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/70Other properties
    • B32B2307/73Hydrophobic
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2457/00Electrical equipment
    • B32B2457/20Displays, e.g. liquid crystal displays, plasma displays
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00Electroluminescent light sources

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

PURPOSE: A flexible gas barrier film, a method for manufacturing the same, a flexible display device using the same are provided to reduce water permeation rate by controlling energy on the surface of the barrier film. CONSTITUTION: A hydrophobic pattern layer(2) is repetitively formed on a transparent base film. A pattern includes an embossed pattern. The width of the pattern is less than 10um. A gap of the centers of the patterns is 0.1 to 10 times of the width of the pattern. The thickness of the hydrophobic pattern layer is between 100 and 3000nm. The height of the pattern is between 50 and 2500nm.

Description

플렉시블 가스 배리어 필름, 그 제조방법 및 이를 이용한 플렉시블 디스플레이 소자{Flexible Gas Barrier Film, Method for Preparing Thereof and Flexible Display Device Using the Same}Flexible gas barrier film, its manufacturing method and flexible display device using the same {Flexible Gas Barrier Film, Method for Preparing Thereof and Flexible Display Device Using the Same}

본 발명은 플렉시블 디스플레이 기판에 사용할 수 있는 가스 배리어 필름 및 그 제조방법에 관한 것이다. 보다 구체적으로 본 발명은 투명 기재필름 및 상기 기재필름 상에 형성된 소수성 패턴층을 포함하여 이루어지며, 소수성층이 패턴화함으로서 소수성을 극대화할 수 있고 투습률을 효과적으로 낮출 수 있는 가스 배리어 필름 및 그 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to a gas barrier film that can be used for a flexible display substrate and a method of manufacturing the same. More specifically, the present invention comprises a transparent base film and a hydrophobic pattern layer formed on the base film, and by forming a hydrophobic layer can maximize the hydrophobicity and can effectively reduce the moisture permeability gas barrier film and its manufacture It is about a method.

플렉시블 디스플레이는 우수한 표시특성을 그대로 가지면서 접거나 구부리거나 두루마리 형태로 변형이 가능하기 때문에, 현재의 평판 디스플레이 시장의 차세대 기술로 평가되어 전세계적으로 급격한 연구가 이루어지고 있다. 플렉시블 디스플레이에 사용되는 기판은 기존의 딱딱한 유리기판을 가지고는 구현하기 어렵기 때문에 투명 플라스틱 기판이 사용되고 있다. 그런데 유리기판의 경우, 수분이나 산소의 침투를 충분히 막아주지만, 플라스틱 기판의 경우 수분이나 산소의 투과율이 유리기판보다 더 크기 때문에 가스배리어성이 떨어진다는 문제가 있다. 이와 같이 가스배리어성이 떨어지는 기재를 사용하면, 투습에 의해 유기물질이 반응하여 수명이 짧아지고, 수증기나 공기가 침투하여 소자를 열화시켜 표시결함이 되어 표시품위를 떨어뜨리는 요인이 된다. 이에 따라 플라스틱 기판이나 필름의 표면에 세라믹 등의 보호막을 코팅하는 기술이 사용되어 왔다. 그러나, 세라믹 계열 등의 층에서 작은 pin hole이나 crack 등에 의해 수분이 확산되는 문제점이 있다. 이를 방지하기 위해 세라믹 보호막 위에 고분자 계열의 아크릴, 멜라민 등의 재료를 코팅하거나 구조에 있어서도 다층 구조를 사용하여 수분의 투습을 차단하는 기술이 개발되고 있다. 도 1은 투명 기재필름상에 소수성층이 형성된 구조를 나타낸 것이다. The flexible display can be folded, bent or rolled while maintaining excellent display characteristics. Therefore, the flexible display has been evaluated as the next generation technology of the current flat panel display market, and the research is rapidly being conducted worldwide. Since the substrate used for the flexible display is difficult to realize with a conventional rigid glass substrate, a transparent plastic substrate is used. In the case of glass substrates, however, the penetration of moisture or oxygen is sufficiently prevented, but in the case of plastic substrates, there is a problem in that gas barrier properties are inferior because the transmittance of moisture or oxygen is larger than that of glass substrates. In this way, when a substrate having poor gas barrier properties is used, the organic material reacts due to moisture permeation, which shortens the lifespan, and water vapor or air penetrates, deteriorates the device, resulting in display defects, thereby degrading the display quality. Accordingly, a technique of coating a protective film such as ceramic on the surface of the plastic substrate or the film has been used. However, there is a problem in that moisture is diffused by small pin holes or cracks in the ceramic-based layer. In order to prevent this, a technology of coating a material such as polymer-based acrylic or melamine on a ceramic protective layer or using a multilayer structure in the structure has been developed to block moisture permeation. 1 illustrates a structure in which a hydrophobic layer is formed on a transparent base film.

일본 특허공보 소53-12953호에서는 플라스틱 필름 상에 산화규소를 증착한 가스배리어 필름을 개시하고 있으며, 일본특허공개공보 소58-217344호에는 산화알루미늄을 증착한 가스배리어 필름을 개시하고 있다. 또한 일본특허공개공보 2002-100469호에서는 플라스틱 필름 기판 상에 질화산화규소막을 형성한 가스배리어 필름을 개시하고 있다. Japanese Patent Laid-Open No. 53-12953 discloses a gas barrier film in which silicon oxide is deposited on a plastic film, and Japanese Patent Laid-Open No. 58-217344 discloses a gas barrier film in which aluminum oxide is deposited. In addition, Japanese Patent Laid-Open No. 2002-100469 discloses a gas barrier film in which a silicon nitride oxide film is formed on a plastic film substrate.

그러나, 종래에 개발된 가스배리어 필름의 경우 보호막 내에서의 수분의 확산 속도를 늦추거나 확산 경로를 늘리는 작용을 할뿐, 투습률이 0.1g/㎡ day 를 초과하여 충분한 가스배리어 성능을 얻을 수 없고, 경시적 변화에 의해 소자 내로 극미량의 물이 침입되는 것을 저지할 수 없는 단점이 있다. 한편, 충분한 가스배리어성능을 위해 가스차단층을 다층으로 형성하는 방법이 제시되었으나, 가스배리어 필름의 두께가 두꺼워져 생산성이 저하되거나 차단층 내의 장력 발생으로 균열이 발생할 수 있는 문제가 있다. However, in the case of the conventionally developed gas barrier film, it only serves to slow down the diffusion rate of the moisture in the protective film or to increase the diffusion path, and thus, sufficient moisture barrier performance cannot be obtained because the moisture permeability exceeds 0.1 g / m 2 day. However, there is a disadvantage that it is impossible to prevent the entry of a very small amount of water into the device by the change over time. On the other hand, a method of forming a gas barrier layer in multiple layers has been proposed for sufficient gas barrier performance, but the thickness of the gas barrier film becomes thick, resulting in a problem that cracking may occur due to a decrease in productivity or generation of tension in the barrier layer.

한국특허 제550377호에서는 하드코팅막으로 페릴렌을 사용한 구조를 개시하고 있으나, 충분한 가스배리어성을 얻기 위해서는 페릴렌층을 5 ㎛ 이상 으로 증착시켜야 하는 단점이 있다. Korean Patent No. 5537777 discloses a structure using perylene as a hard coat film. However, in order to obtain sufficient gas barrier properties, a perylene layer needs to be deposited to 5 μm or more.

본 발명의 목적은 소수성층을 패턴화함으로서 소수성을 극대화하여 수분 반발력을 증대시킬 수 있는 플렉시블 가스 배리어 필름을 제공하기 위한 것이다.An object of the present invention is to provide a flexible gas barrier film that can increase the water repellency by maximizing hydrophobicity by patterning the hydrophobic layer.

본 발명의 다른 목적은 상기 패턴화된 소수성층 상에 패턴화된 친수성층을 형성함으로서 소수성을 띄는 표면에서 외곽의 친수성을 띄는 영역으로 수분을 배출시켜 투습률을 보다 더 낮출 수 있는 플렉시블 가스 배리어 필름을 제공하기 위한 것이다.Another object of the present invention is to form a patterned hydrophilic layer on the patterned hydrophobic layer to discharge moisture from the hydrophobic surface to the hydrophilic region of the outer surface to lower the moisture permeability of the flexible gas barrier film It is to provide.

본 발명의 또 다른 목적은 기존의 배리어 재료를 기반으로 하고 표면에서의 에너지를 제어함으로서 제조원가의 상승없이 투습률을 효과적으로 낮출 수 있는 플렉시블 가스 배리어 필름을 제공하기 위한 것이다.It is still another object of the present invention to provide a flexible gas barrier film that can effectively lower the moisture permeability without raising the manufacturing cost by controlling the energy at the surface based on existing barrier materials.

본 발명의 또 다른 목적은 가스 배리어 성능이 우수하여 플렉시블 디스플레이 소자, 터치패널, 태양전지, 각종 포장재 등에 적용할 수 있는 가스 배리어 필름을 제공하기 위한 것이다.Another object of the present invention is to provide a gas barrier film that can be applied to a flexible display device, a touch panel, a solar cell, various packaging materials and the like with excellent gas barrier performance.

본 발명의 또 다른 목적은 복잡한 공정을 부가하지 않고 용이하게 플렉시블 가스 배리어 필름을 제조할 수 있는 방법을 제공하기 위한 것이다.It is another object of the present invention to provide a method which can easily produce a flexible gas barrier film without adding complicated processes.

본 발명의 또 다른 목적은 상기 플렉시블 가스 배리어 필름을 기판으로 사용하여 우수한 내구성 및 신뢰성을 갖는 플렉시블 디스플레이 소자를 제공하기 위한 것이다. Still another object of the present invention is to provide a flexible display device having excellent durability and reliability by using the flexible gas barrier film as a substrate.

본 발명의 하나의 관점은 플렉시블 가스 배리어 필름에 관한 것이다. 상기 플렉시블 가스 배리어 필름은 투명 기재필름; 및 상기 기재필름 상에 형성된 소수성 패턴층을 포함하여 이루어진다. One aspect of the invention relates to a flexible gas barrier film. The flexible gas barrier film is a transparent base film; And a hydrophobic pattern layer formed on the base film.

구체예에서 상기 소수성 패턴층은 표면에너지가 1 mN/m 내지 40 mN/m인 고분자 물질일 수 있다. In embodiments, the hydrophobic pattern layer may be a polymer material having a surface energy of 1 mN / m to 40 mN / m.

구체예에서는 상기 소수성 패턴층은 양각 패턴을 가질 수 있다. In embodiments, the hydrophobic pattern layer may have an embossed pattern.

구체예에서는 상기 소수성 패턴층은 패턴의 너비가 1 내지 500 nm 이고, 패턴 중심간 간격은 패턴 너비의 0.1 내지 10 배이다. In embodiments, the hydrophobic pattern layer has a pattern width of 1 to 500 nm, and a spacing between pattern centers is 0.1 to 10 times the pattern width.

하나의 구체예에서, 상기 가스 배리어 필름의 투습률은 0.08 g/m2day 이하이다. In one embodiment, the gas barrier film has a water vapor transmission rate of 0.08 g / m 2 day or less.

다른 구체예에서는, 상기 소수성 패턴층 상에 친수성 패턴층이 형성될 수 있다. 구체예에서 상기 친수성 패턴층은 표면에너지가 70 mN/m 내지 100 mN/m일 수 있으며, Si 계 물질이다. In another embodiment, a hydrophilic pattern layer may be formed on the hydrophobic pattern layer. In embodiments, the hydrophilic pattern layer may have a surface energy of 70 mN / m to 100 mN / m, Si-based material.

구체예에서는 상기 친수성 패턴층은 양각 패턴을 가질 수 있다. 바람직하게는 상기 친수성 패턴층은 불연속적으로 형성될 수 있다. In embodiments, the hydrophilic pattern layer may have an embossed pattern. Preferably, the hydrophilic pattern layer may be formed discontinuously.

구체예에서 상기 친수성 패턴층은 패턴의 너비가 0.1 내지 1 mm 이고, 패턴 중심간 간격은 패턴 너비의 0.1 내지 10 배이다. In embodiments, the hydrophilic pattern layer has a pattern width of 0.1 to 1 mm, the spacing between the center of the pattern is 0.1 to 10 times the pattern width.

다른 구체예에서 상기 가스 배리어 필름의 투습률은 1 × 10-3 g/m2day 이하이다. In another embodiment the gas barrier film has a water vapor transmission rate of 1 × 10 −3 g / m 2 day or less.

또 다른 구체예에서, 상기 투명 기재필름의 적어도 하나의 표면에는 Si, Al, In, Sn, Zn, Ti, Cu, Ce 및 Ta 로 이루어진 군으로부터 선택되는 1 종 이상의 금속을 함유하는 산화물, 질화물, 탄화물, 산화질화물, 산화탄화물, 질화탄화물, 산화질화탄화물로 이루어진 무기층이 형성될 수 있다. In another embodiment, at least one surface of the transparent base film, oxides, nitrides, containing at least one metal selected from the group consisting of Si, Al, In, Sn, Zn, Ti, Cu, Ce and Ta, An inorganic layer made of carbide, oxynitride, oxidized carbide, nitride, oxynitride carbide may be formed.

상기 투명 기재필름은 폴리에틸렌나프탈레이트, (메타)아크릴레이트계 수지, 폴리에스테르계 수지, 스티렌계 수지, 투명 불소 수지, 폴리이미드계 수지, 폴리아미드계 수지, 폴리에테르이미드계 수지, 셀룰로스아실레이트계 수지, 폴리우레탄 수지, 폴리에테르에테르케톤 수지, 폴리카보네이트 수지, 지환식 폴리올레핀 수지, 폴리알릴레이트 수지, 폴리에테르술폰 수지, 폴리술폰 수지, 시클로올레핀 코폴리머, 플루오렌환 변성 폴리카보네이트 수지, 폴리에틸린, 지환 변성 폴리카보네이트 수지 등이 사용될 수 있다. The transparent base film is polyethylene naphthalate, (meth) acrylate resin, polyester resin, styrene resin, transparent fluorine resin, polyimide resin, polyamide resin, polyetherimide resin, cellulose acylate Resin, polyurethane resin, polyether ether ketone resin, polycarbonate resin, alicyclic polyolefin resin, polyallylate resin, polyether sulfone resin, polysulfone resin, cycloolefin copolymer, fluorene ring modified polycarbonate resin, polyethylenyl Lean, alicyclic modified polycarbonate resin and the like can be used.

상기 소수성 패턴층은 아크릴 레진, 페릴린, 멜라민 등이 사용될 수 있다. As the hydrophobic pattern layer, acrylic resin, perylene, melamine, or the like may be used.

상기 친수성 패턴층은 SiO2, SiO, TiO2 등이 사용될 수 있다. As the hydrophilic pattern layer, SiO 2 , SiO, TiO 2, or the like may be used.

본 발명의 다른 관점은 플렉시블 디스플레이 소자에 관한 것이다. 상기 플렉시블 디스플레이 소자는 상기 플렉시블 가스 배리어 필름을 기판으로 사용한 다.Another aspect of the invention relates to a flexible display element. The flexible display element uses the flexible gas barrier film as a substrate.

본 발명의 또 다른 관점은 플렉시블 가스 배리어 필름의 제조방법에 관한 것이다. 상기 방법은 투명 기재필름의 표면을 표면에너지가 1 mN/m 내지 40 mN/m인 고분자 물질로 코팅 또는 증착하여 소수성층을 형성하고; 그리고 상기 소수성층을 패터닝하여 소수성 패턴층을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진다. Another aspect of the invention relates to a method for producing a flexible gas barrier film. The method includes coating or depositing a surface of the transparent base film with a polymer material having a surface energy of 1 mN / m to 40 mN / m to form a hydrophobic layer; And patterning the hydrophobic layer to form a hydrophobic pattern layer.

구체예에서는 상기 소수성 패턴층상에 표면에너지가 70 mN/m 내지 100 mN/m인 친수성층을 패터닝하는 단계를 더 포함할 수 있다. In embodiments, the method may further include patterning a hydrophilic layer having a surface energy of 70 mN / m to 100 mN / m on the hydrophobic pattern layer.

구체예에서 상기 소수성층을 패터닝하는 방법은 자외선 임프린트, 포토 리쏘그래피, 마이크로 컨택 프리팅, 잉크젯 프린팅, 스크린 프린팅 등의 방법으로 패터닝할 수 있다. In embodiments, the method of patterning the hydrophobic layer may be patterned by UV imprint, photolithography, micro contact printing, inkjet printing, screen printing, or the like.

구체예에서 상기 친수성층을 패터닝하는 방법은 마스크를 이용한 전자빔 증착, 스퍼터링, 용액코팅, 열증착, 프린팅 등의 방법으로 패터닝할 수 있다. In embodiments, the method of patterning the hydrophilic layer may be patterned by a method such as electron beam deposition, sputtering, solution coating, thermal deposition, or printing using a mask.

본 발명의 플렉시블 가스 배리어 필름은 기존의 배리어 재료를 기반으로 표면에서의 에너지를 제어함으로서 제조원가의 상승없이 투습률을 획기적으로 낮출 수 있으며, 가스 배리어 성능이 우수하여 플렉시블 디스플레이 소자, 터치패널, 태양전지, 각종 포장재 등에 적용할 수 있는 가스 배리어 필름을 제공하는 효과를 갖는다. 또한 상기 플렉시블 가스 배리어 필름을 기판으로 사용하여 우수한 내구성 및 신뢰성을 갖는 플렉시블 디스플레이 소자를 제공할 수 있다. The flexible gas barrier film of the present invention can dramatically lower the moisture permeability without increasing the manufacturing cost by controlling energy on the surface based on the existing barrier material, and excellent gas barrier performance, flexible display device, touch panel, solar cell And the gas barrier film which can be applied to various packaging materials and the like. In addition, the flexible gas barrier film may be used as a substrate to provide a flexible display device having excellent durability and reliability.

아울러 복잡한 공정을 부가하지 않고도 용이하게 플렉시블 가스 배리어 필름을 제조할 수 있다. In addition, a flexible gas barrier film can be easily manufactured without adding a complicated process.

플렉시블 가스 배리어 필름Flexible gas barrier film

하나의 구체예에서 본 발명의 플렉시블 가스 배리어 필름은 투명 기재필름; 및 상기 기재필름 상에 형성된 소수성 패턴층을 포함하여 이루어진다. 구체예에서, 소수성 패턴층이 형성된 가스 배리어 필름의 투습률은 0.08 g/m2day 이하, 바람직하게는 0.065 g/m2day 이하일 수 있다. In one embodiment the flexible gas barrier film of the present invention; And a hydrophobic pattern layer formed on the base film. In an embodiment, the water vapor transmission rate of the gas barrier film on which the hydrophobic pattern layer is formed may be 0.08 g / m 2 day or less, preferably 0.065 g / m 2 day or less.

다른 구체예에서는, 상기 투명 기재필름과 소수성 패턴층 사이에는 무기층이 더 형성될 수 있다. In another embodiment, an inorganic layer may be further formed between the transparent base film and the hydrophobic pattern layer.

또 다른 구체예에서는 상기 투명 기재필름의 양 면에 무기층이 형성되어 있으며, 상기 무기층 상에 소수성 패턴층이 형성될 수 있다. In another embodiment, inorganic layers are formed on both sides of the transparent base film, and a hydrophobic pattern layer may be formed on the inorganic layer.

또 다른 구체예에서는 상기 소수성 패턴층 상에 친수성 패턴층이 더 형성될 수 있다. 소수성 패턴층과 친수성 패턴층이 모두 형성된 가스 배리어 필름의 투습률은 1 × 10-3 g/m2day 이하, 바람직하게는 1 × 10-4 g/m2day 이하, 더 바람직하게는 1 × 10-5 g/m2day 이하일 수 있다. In another embodiment, a hydrophilic pattern layer may be further formed on the hydrophobic pattern layer. The water vapor transmission rate of the gas barrier film in which both the hydrophobic pattern layer and the hydrophilic pattern layer are formed is 1 × 10 -3 g / m 2 day or less, preferably 1 × 10 -4 g / m 2 day or less, more preferably 1 × It may be up to 10 -5 g / m 2 day.

투명 기재필름Transparent base film

상기 투명 기재필름은 플렉시블 플라스틱 필름이 사용될 수 있으며, 재질이나 두께 등에 특별히 제한은 없고 사용 목적에 따라 적절히 선택할 수 있다.The transparent base film may be a flexible plastic film, there is no particular limitation on the material or thickness, and may be appropriately selected according to the purpose of use.

구체예에서는 폴리에틸렌나프탈레이트, (메타)아크릴레이트계 수지, 폴리에스테르계 수지, 스티렌계 수지, 투명 불소 수지, 폴리이미드계 수지, 폴리아미드계 수지, 폴리에테르이미드계 수지, 셀룰로스아실레이트계 수지, 폴리우레탄 수지, 폴리에테르에테르케톤 수지, 폴리카보네이트 수지, 지환식 폴리올레핀 수지, 폴리알 릴레이트 수지, 폴리에테르술폰 수지, 폴리술폰 수지, 시클로올레핀 코폴리머, 플루오렌환 변성 폴리카보네이트 수지, 폴리에틸린, 지환 변성 폴리카보네이트 수지 등이 사용될 수 있으며, 이들은 단독 또는 2종 이상 조합하여 사용될 수 있다. Specific examples include polyethylene naphthalate, (meth) acrylate resin, polyester resin, styrene resin, transparent fluorine resin, polyimide resin, polyamide resin, polyetherimide resin, cellulose acylate resin, Polyurethane resin, polyether ether ketone resin, polycarbonate resin, alicyclic polyolefin resin, polyalgal resin, polyether sulfone resin, polysulfone resin, cycloolefin copolymer, fluorene ring modified polycarbonate resin, polyethylene , Alicyclic modified polycarbonate resin, etc. may be used, and these may be used alone or in combination of two or more kinds.

상기 투명 기재필름을 유기 EL 소자 등의 디스플레이 기판으로 사용할 경우, 유리 전이 온도 (Tg) 가 100℃ 이상, 바람직하게는 150℃ 이상, 더욱 바람직하게는 200 ℃이상, 가장 바람직하게는 250 ℃이상인 내열성 소재가 선택될 수 있으며, 전광선 투과율이 80 % 이상, 바람직하게는 85 % 이상, 더욱 바람직하게는 90 %이상의 투명성을 갖는 소재가 적용될 수 있다. 구체예에서는 폴리에틸렌나프탈레이트 (PEN), 폴리카보네이트 (PC), 지환식 폴리올레핀, 폴리아릴레이트, 폴리에테르술폰 (PES), 폴리술폰 (PSF), 시클로올레핀 코폴리머 (COC), 폴리이미드, 플루오렌 고리 변성 폴리카보네이트 (BCF-PC), 지환 변성 폴리카보네이트 (IP-PC), 아크릴로일 화합물 등이 사용될 수 있다. When the transparent base film is used as a display substrate for an organic EL device or the like, the glass transition temperature (Tg) is 100 ° C or higher, preferably 150 ° C or higher, more preferably 200 ° C or higher, and most preferably 250 ° C or higher. A material may be selected, and a material having a total light transmittance of 80% or more, preferably 85% or more, more preferably 90% or more, may be applied. Specific examples include polyethylene naphthalate (PEN), polycarbonate (PC), alicyclic polyolefin, polyarylate, polyethersulfone (PES), polysulfone (PSF), cycloolefin copolymer (COC), polyimide, fluorene Ring modified polycarbonate (BCF-PC), alicyclic modified polycarbonate (IP-PC), acryloyl compound and the like can be used.

상기 투명 기재필름의 두께는 용도에 따라 선택될 수 있으며, 특별한 제한은 없으나 통상 1 내지 1,000 ㎛ 범위이다. 구체예에서는 10 내지 300 ㎛ 이 적용될 수 있다. 다른 구체예에서는 100 내지 400 ㎛ 이 사용될 수 있으며, 다른 구체예에서는 500 내지 800 ㎛ 이 사용될 수 있다. The thickness of the transparent base film may be selected according to the use, there is no particular limitation, but usually in the range of 1 to 1,000 ㎛. In embodiments, 10 to 300 μm may be applied. In other embodiments 100-400 μm may be used and in other embodiments 500-800 μm may be used.

소수성 패턴층Hydrophobic pattern layer

상기 소수성 패턴층에 사용되는 재료는 패턴 형성 전에도 고체 상태에서의 표면에너지가 물의 표면장력보다 그 값이 작으며, 기본적으로 소수성을 띄는 물질 을 사용한다. As the material used for the hydrophobic pattern layer, even before the pattern formation, the surface energy in the solid state is smaller than the surface tension of water, and basically a material having hydrophobicity is used.

구체예에서는 경화 후 표면에너지가 45 mN/m이하, 바람직하게는 0.1 mN/m 내지 40 mN/m, 더 바람직하게는 0.5 내지 35 mN/m, 가장 바람직하게는 1 내지 30 mN/m인 고분자 물질이 사용될 수 있다. In embodiments, the polymer has a surface energy of 45 mN / m or less, preferably 0.1 mN / m to 40 mN / m, more preferably 0.5 to 35 mN / m, and most preferably 1 to 30 mN / m after curing. Materials can be used.

또한 DI water의 표면접촉각이 50 ° 이상, 바람직하게는 70 내지 135 ° 이며, Formamide의 표면 접촉각이 65 ° 이상, 바람직하게는 70 내지 125 ° 인 것이 사용될 수 있다. In addition, the surface contact angle of DI water is 50 ° or more, preferably 70 to 135 °, the surface contact angle of Formamide is 65 ° or more, preferably 70 to 125 ° can be used.

구체예에서는 상기 고분자 물질은 용액 공정이 가능하며, 아크릴 레진, 페릴린, 멜라민 등이 사용될 수 있다. In embodiments, the polymer material may be a solution process, and acrylic resin, perylene, melamine, and the like may be used.

도 2는 투명 기재필름 상에 소수성 패턴층(2)이 형성된 플렉시블 가스 배리어 필름을 나타낸 하나의 구체예이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 소수성 패턴층(2)은 투명 기재필름(1) 상에 패턴이 반복적으로 형성되어 있다. 바람직하게는 상기 패턴은 양각 패턴을 갖는다. 상기 패턴의 형태는 특별한 제한은 없으며, 원형 또는 다각형(삼각형, 사각형, 오각형, 팔각형 등) 모두 가능하다.FIG. 2 is one specific example of a flexible gas barrier film having a hydrophobic pattern layer 2 formed on a transparent base film. As shown in FIG. 2, in the hydrophobic pattern layer 2 of the present invention, a pattern is repeatedly formed on the transparent base film 1. Preferably the pattern has an embossed pattern. The shape of the pattern is not particularly limited, and may be a circular or polygonal (triangle, square, pentagon, octagon, etc.).

구체예에서는 상기 소수성 패턴층은 패턴의 너비(w2)는 10 ㎛ 미만으로 한다. 상기 범위를 초과할 경우 가스 입자보다 더 커지기 때문에 효과적인 가스 차단이 어려울 수 있다. 바람직한 패턴의 너비(w2)는 1 내지 500 nm 이며, 더욱 바람직하게는 1 내지 350 nm, 가장 바람직하게는 1 내지 250 nm 이다. In the specific example, the hydrophobic pattern layer has a width w2 of less than 10 μm. If the above range is exceeded, it may be difficult to effectively block gas because it is larger than gas particles. The width w2 of the preferred pattern is 1 to 500 nm, more preferably 1 to 350 nm and most preferably 1 to 250 nm.

또한 상기 패턴 중심과 중심 간의 간격(d2)은 패턴 너비(w2)의 0.1 내지 10 배, 바람직하게는 1 내지 5 배, 더욱 바람직하게는 1.2 내지 3.5 배, 가장 바람직 하게는 1.5 내지 2.5 배로 한다. 상기 범위에서 가스 차단 효과를 극대화할 수 있다. In addition, the distance d2 between the center of the pattern is 0.1 to 10 times, preferably 1 to 5 times, more preferably 1.2 to 3.5 times, and most preferably 1.5 to 2.5 times the pattern width w2. Gas blocking effect can be maximized in the above range.

상기 소수성 패턴층의 두께는 특별한 제한은 없으나, 100 내지 3,000 nm, 바람직하게는 200 내지 2,000 nm, 더욱 바람직하게는 250 내지 1,500 nm로 한다. The thickness of the hydrophobic pattern layer is not particularly limited, but is 100 to 3,000 nm, preferably 200 to 2,000 nm, more preferably 250 to 1500 nm.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 소수성 패턴층(2)은 투명 기재필름(1)에 접하는 면은 연속적인 층이 형성되고, 그 반대편 면에 불연속적인 패턴이 형성될 수 있다. As shown in FIG. 2, the hydrophobic pattern layer 2 of the present invention may have a continuous layer formed on a surface thereof in contact with the transparent base film 1, and a discontinuous pattern may be formed on the opposite side thereof.

패턴 자체의 높이는 특별한 제한은 없으며, 50 내지 2,500 nm, 바람직하게는 100 내지 1,500 nm, 더욱 바람직하게는 150 내지 1,000 nm일 수 있다. 구체예에서는 200 내지 500 nm 이다. The height of the pattern itself is not particularly limited, and may be 50 to 2,500 nm, preferably 100 to 1,500 nm, more preferably 150 to 1,000 nm. In an embodiment 200-500 nm.

이와 같이, 소수성층에 패턴을 형성할 경우, 수분 반발력이 증대되어 표면에너지를 75-99 % 이상 낮출 수 있으며, 이에 따라 투습률을 현저히 낮출 수 있다. 구체예에서는 상기 패턴화된 소수성층의 표면에너지는 15 mN/m이하, 바람직하게는 0.01 mN/m 내지 10 mN/m, 더 바람직하게는 0.1 내지 7.5 mN/m이다. 또한 DI water의 표면접촉각은 100 ° 이상, 바람직하게는 110 내지 140 ° 이며, Formamide의 표면 접촉각은 90 ° 이상, 바람직하게는 100 내지 130 ° 이다.As such, when the pattern is formed on the hydrophobic layer, the moisture repelling force may be increased to lower the surface energy by 75-99% or more, thereby lowering the moisture permeability significantly. In embodiments, the surface energy of the patterned hydrophobic layer is 15 mN / m or less, preferably 0.01 mN / m to 10 mN / m, more preferably 0.1 to 7.5 mN / m. In addition, the surface contact angle of DI water is 100 ° or more, preferably 110 to 140 °, the surface contact angle of Formamide is 90 ° or more, preferably 100 to 130 °.

상기 소수성 패턴층을 형성하는 방법은 특별한 제한이 없다. 상온 공정, 공정 후 패턴의 불변, 화학적 불변 등을 고려하였을 때, 자외선을 이용하여 패턴을 형성하는 방법들을 포함할 수 있으며, 구체예에서는 자외선 임프린트, 포토 리쏘그래피 등이 사용될 수 있다. The method of forming the hydrophobic pattern layer is not particularly limited. Considering the normal temperature process, the invariance of the pattern after the process, the chemical invariance, and the like, it may include methods of forming a pattern using the ultraviolet, in particular, ultraviolet imprint, photo lithography and the like can be used.

친수성 패턴층Hydrophilic Pattern Layer

본 발명의 다른 구체예에서는 상기 소수성 패턴층 상에 친수성 패턴층이 더 형성될 수 있다. In another embodiment of the present invention, a hydrophilic pattern layer may be further formed on the hydrophobic pattern layer.

상기 친수성 패턴층에 사용되는 재료는 고체상태의 표면에너지가 물의 표면장력보다 크며, 기본적으로 친수성을 띄는 물질이 사용될 수 있다. As the material used for the hydrophilic pattern layer, a surface energy in a solid state is greater than the surface tension of water, and a material having a hydrophilic nature may be used.

구체예에서는 표면에너지가 60 mN/m 이상, 바람직하게는 65 mN/m 내지 120 mN/m, 더욱 바람직하게는 70 mN/m 내지 100 mN/m인 무기물질, 바람직하게는 Si 계 물질이 사용될 수 있다. In an embodiment an inorganic material, preferably Si-based material, having a surface energy of at least 60 mN / m, preferably 65 mN / m to 120 mN / m, more preferably 70 mN / m to 100 mN / m, is used. Can be.

또한 DI water의 표면접촉각이 15 ° 이하, 바람직하게는 0.01 내지 7 ° 이며, Formamide의 표면 접촉각이 10 ° 이하, 바람직하게는 0.01 내지 7 ° 인 것이 사용될 수 있다. In addition, a surface contact angle of DI water is 15 ° or less, preferably 0.01 to 7 °, and a surface contact angle of Formamide is 10 ° or less, preferably 0.01 to 7 °.

구체예에서는 상기 친수성 패턴층은 SiO2, SiO, TiO2 등이 사용될 수 있다. In specific embodiments, the hydrophilic pattern layer may be SiO 2 , SiO, TiO 2, or the like.

도 3은 소수성 패턴층(2)상에 친수성 패턴층(3)이 형성된 플렉시블 가스 배리어 필름을 나타낸 하나의 구체예이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 친수성 패턴층(3)은 소수성 패턴층(2)상에 반복적인 패턴으로 형성되어 있다. 바람직하게는 상기 패턴은 양각 패턴을 갖는다. 상기 패턴의 형태는 특별한 제한은 없으며, 원형 또는 다각형(삼각형, 사각형, 오각형, 팔각형 등) 모두 가능하다. 바람직하게는 상기 친수성 패턴층은 불연속적으로 형성될 수 있다. 여기서 "불연속"의 의미는 서로 연결이 되지 않은 상태를 말한다.FIG. 3 is one specific example of the flexible gas barrier film in which the hydrophilic pattern layer 3 is formed on the hydrophobic pattern layer 2. As shown in FIG. 3, the hydrophilic pattern layer 3 of the present invention is formed in a repeating pattern on the hydrophobic pattern layer 2. Preferably the pattern has an embossed pattern. The shape of the pattern is not particularly limited, and may be a circular or polygonal (triangle, square, pentagon, octagon, etc.). Preferably, the hydrophilic pattern layer may be formed discontinuously. The term "discontinuity" here means a state that is not connected to each other.

구체예에서는 상기 친수성 패턴층은 패턴의 너비(w3)는 10 ㎛ 미만으로 한다. 상기 범위를 초과할 경우 가스 입자보다 더 커지기 때문에 효과적인 가스 차단이 어려울 수 있다. 바람직한 패턴의 너비(w3)는 0.05 내지 2 mm, 바람직하게는 0.1 내지 1 mm 이며, 더욱 바람직하게는 0.2 내지 0.7 mm, 가장 바람직하게는 0.3 내지 0.6 mm 이다. 상기 범위에서 우수한 가스 차단효과를 발휘할 수 있다. In a specific embodiment, the hydrophilic pattern layer has a width w3 of less than 10 μm. If the above range is exceeded, it may be difficult to effectively block gas because it is larger than gas particles. The width w3 of the preferred pattern is 0.05 to 2 mm, preferably 0.1 to 1 mm, more preferably 0.2 to 0.7 mm, most preferably 0.3 to 0.6 mm. It is possible to exhibit an excellent gas barrier effect in the above range.

또한 상기 패턴 중심과 중심 간의 간격(d3)은 패턴 너비(w3)의 0.1 내지 10 배, 바람직하게는 1 내지 5 배, 더욱 바람직하게는 1.2 내지 3.5 배, 가장 바람직하게는 1.5 내지 2.5 배로 한다. 상기 범위에서 가스 차단 효과를 극대화할 수 있다. In addition, the distance d3 between the center of the pattern is 0.1 to 10 times, preferably 1 to 5 times, more preferably 1.2 to 3.5 times, and most preferably 1.5 to 2.5 times the pattern width w3. Gas blocking effect can be maximized in the above range.

상기 친수성 패턴층의 두께는 특별한 제한은 없으나, 100 내지 2,000 nm, 바람직하게는 200 내지 1,000 nm, 더욱 바람직하게는 250 내지 700 nm, 가장 바람직하게는 300 내지 600 nm로 한다. The thickness of the hydrophilic pattern layer is not particularly limited, but is 100 to 2,000 nm, preferably 200 to 1,000 nm, more preferably 250 to 700 nm, most preferably 300 to 600 nm.

이와 같이, 친수성층에 패턴을 형성할 경우, 친수성이 증대되어 표면에너지를 더욱 높일 수 있다. 또한 소수성 패턴층상에 친수성 패턴층을 형성함으로서, 소수성을 띄는 표면에서 외곽의 친수성을 띄는 영역으로 수분이 배출되고, 가스나 수분을 빨아들여 필름의 투습률을 현저히 낮출 수 있다. As such, when the pattern is formed on the hydrophilic layer, the hydrophilicity is increased, and the surface energy can be further increased. In addition, by forming a hydrophilic pattern layer on the hydrophobic pattern layer, water is discharged from the hydrophobic surface to the outer hydrophilic region, the gas or moisture can be absorbed to significantly lower the moisture permeability of the film.

상기 친수성 패턴층을 형성하는 방법은 특별한 제한이 없다. 상온 공정, 공정 후 패턴의 불변, 화학적 불변, 선택된 재료 특성, 패턴의 크기 등을 고려하였을 때, 쉐도우 마스크 공정이 포함될 수 있으며 마스크를 이용한 전자빔 증착법, 스퍼 터링 등의 진공증착법과 프린팅 등의 용액 코팅법이 사용될 수 있다. The method of forming the hydrophilic pattern layer is not particularly limited. In consideration of room temperature process, pattern invariant, chemical invariant, selected material properties, pattern size, shadow mask process can be included, and solution coating such as vacuum deposition method such as e-beam deposition using mask, sputtering and printing Law can be used.

무기층Inorganic layer

본 발명에서는 상기 투명 기재필름의 적어도 하나의 표면에 무기층이 더 형성될 수 있다. 도 4는 소수성 패턴층(2)과 투명 기재필름(1) 사이에 무기층(4)이 형성된 플렉시블 가스 배리어 필름을 나타낸 하나의 구체예이다. In the present invention, an inorganic layer may be further formed on at least one surface of the transparent base film. 4 is a specific example of the flexible gas barrier film in which the inorganic layer 4 is formed between the hydrophobic pattern layer 2 and the transparent base film 1.

다른 구체예에서는 상기 투명 기재필름의 양 면에 무기층이 형성될 수 있으며, 상기 무기층 상에 소수성 패턴층이 형성될 수 있다. In another embodiment, an inorganic layer may be formed on both sides of the transparent base film, and a hydrophobic pattern layer may be formed on the inorganic layer.

또 다른 구체예에서는 각각 다른 성분의 무기층을 2층 이상으로 적층할 수도 있다. In another specific example, two or more inorganic layers of different components may be laminated.

상기 무기층은 Si, Al, In, Sn, Zn, Ti, Cu, Ce 및 Ta 로 이루어진 군으로부터 선택되는 1 종 이상의 금속을 함유하는 산화물, 질화물, 탄화물, 산화질화물, 산화탄화물, 질화탄화물, 산화질화탄화물 등이 사용될 수 있으며, 반드시 이에 제한되는 것은 아니다. The inorganic layer is an oxide, nitride, carbide, oxynitride, oxidized carbide, nitride carbide or oxide containing at least one metal selected from the group consisting of Si, Al, In, Sn, Zn, Ti, Cu, Ce and Ta. Nitride carbide may be used, but is not necessarily limited thereto.

상기 무기층의 형성방법은 통상의 방법으로 형성할 수 있으며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 용이하게 실시될 수 있다. 구체예에서는 도포법, 스퍼터링법, 진공증착법, 이온 플레이팅법, 플라즈마 CVD 법 등이 사용될 수 있으며, 반드시 이에 제한되는 것은 아니다. The method of forming the inorganic layer can be formed by a conventional method, and can be easily carried out by those skilled in the art to which the present invention pertains. In embodiments, a coating method, a sputtering method, a vacuum deposition method, an ion plating method, a plasma CVD method, or the like may be used, but is not necessarily limited thereto.

상기 무기층의 두께는 특별한 제한은 없으나, 1 내지 1,000 nm, 바람직하게는 10 내지 500 nm, 더욱 바람직하게는 50 내지 350 nm의 범위로 한다. The thickness of the inorganic layer is not particularly limited, but is in the range of 1 to 1,000 nm, preferably 10 to 500 nm, more preferably 50 to 350 nm.

플렉시블 가스 배리어 필름의 제조방법Manufacturing Method of Flexible Gas Barrier Film

본 발명의 다른 관점은 플렉시블 가스 배리어 필름의 제조방법에 관한 것이다. 상기 방법은 투명 기재필름의 표면을 표면에너지가 1 mN/m 내지 40 mN/m인 고분자 물질로 코팅 또는 증착하여 소수성층을 형성하고; 그리고 상기 소수성층을 패터닝하여 소수성 패턴층을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진다. Another aspect of the invention relates to a method for producing a flexible gas barrier film. The method includes coating or depositing a surface of the transparent base film with a polymer material having a surface energy of 1 mN / m to 40 mN / m to form a hydrophobic layer; And patterning the hydrophobic layer to form a hydrophobic pattern layer.

구체예에서는 상기 소수성층은 고분자 물질을 드롭 캐스팅(drop casting)한 후 경화시켜 코팅하여 형성할 수 있다. 이와 같이 형성된 소수성 층은 투명 기재필름의 표면에 연속적인 층을 형성하며, 상기 소수성층을 패터닝함으로서 소수성 패턴층을 형성할 수 있다. In embodiments, the hydrophobic layer may be formed by drop casting and curing the polymer material. The hydrophobic layer formed as described above forms a continuous layer on the surface of the transparent base film, and may form a hydrophobic pattern layer by patterning the hydrophobic layer.

상기 소수성층을 패터닝하는 방법은 저온 공정, 3차원 패턴 가능 공정, 용액 공정 등을 포함할 수 있다. 바람직하게는 자외선 임프린트, 포토 리쏘그래피, 마이크로 컨택 프리팅, 잉크젯 프린팅, 스크린 프린팅 등의 방법으로 패터닝할 수 있다. The method of patterning the hydrophobic layer may include a low temperature process, a three-dimensional pattern capable process, a solution process, and the like. Preferably, the patterning may be performed by ultraviolet imprint, photolithography, micro contact printing, inkjet printing, screen printing, or the like.

구체예에서는 상기 소수성층을 형성하기 전에 투명 기재필름의 표면에 무기층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다. 상기 무기층은 투명 기재필름의 단면 혹은 양면에 형성할 수 있다. In an embodiment, the method may further include forming an inorganic layer on the surface of the transparent base film before forming the hydrophobic layer. The inorganic layer may be formed on one or both surfaces of the transparent base film.

또한 상기 소수성 패턴층상에 표면에너지가 70 mN/m 내지 100 mN/m인 친수성층을 패터닝하는 단계를 더 포함할 수 있다. The method may further include patterning a hydrophilic layer having a surface energy of 70 mN / m to 100 mN / m on the hydrophobic pattern layer.

구체예에서 상기 친수성층을 패터닝하는 방법은 마스크를 이용한 전자빔 증 착, 스퍼터링, 용액코팅, 열증착, 프린팅 등의 방법으로 패터닝할 수 있다. 상기 친수성 패턴층은 소수성 패턴층상에 불연속적으로 형성될 수 있다. In embodiments, the method of patterning the hydrophilic layer may be patterned by a method such as electron beam deposition, sputtering, solution coating, thermal deposition, or printing using a mask. The hydrophilic pattern layer may be formed discontinuously on the hydrophobic pattern layer.

플렉시블 디스플레이 소자Flexible display elements

본 발명의 다른 관점은 플렉시블 디스플레이 소자에 관한 것이다. 상기 플렉시블 디스플레이 소자는 본 발명의 플렉시블 가스 배리어 필름을 기판으로 사용한다. 본 발명에서 적용될 수 있는 플렉시블 디스플레이 소자로는 LCD 소자의 투명 전극 기판, 상부기판이나, 유기 EL 소자의 기판, 박막트랜지스터(TFT) 화상표시소자용 기판 등으로 사용될 수 있다. Another aspect of the invention relates to a flexible display element. The flexible display element uses the flexible gas barrier film of the present invention as a substrate. The flexible display device applicable to the present invention may be used as a transparent electrode substrate, an upper substrate of an LCD element, a substrate of an organic EL element, a substrate for a thin film transistor (TFT) image display element, and the like.

뿐만 아니라, 본 발명의 플렉시블 가스 배리어 필름은 터치패널이나 태양전지소자의 밀봉필름으로도 사용될 수 있다.In addition, the flexible gas barrier film of the present invention may be used as a sealing film of a touch panel or a solar cell device.

본 발명은 하기의 실시예에 의하여 보다 더 잘 이해될 수 있으며, 하기의 실시예는 본 발명의 예시 목적을 위한 것이며 첨부된 특허청구범위에 의하여 한정되는 보호범위를 제한하고자 하는 것은 아니다.The invention can be better understood by the following examples, which are intended for the purpose of illustration of the invention and are not intended to limit the scope of protection defined by the appended claims.

실시예 1Example 1

두께 200 μm의 Polyethersulfone(PES) 기판(유리전이온도 223°C, (주)아이컴포넌트 제조) 표면에 가스 배리어로써 Al2O3 (순도: 99.99%)를 300nm 두께로 전자 빔 증착하고, Multi-cure 984-LVF(DYMAX Co. 제조)를 Drop casting 후 UV 경화 방법으로 1 μm 두께로 코팅하여 소수성 층을 형성하였다. UV 경화 시간은 1분이며 UV경화 장비는 Daeho Glue Tech. 사의 CURE ZONE HO2 이며 365 nm 파장에 120 mW/cm 의 전력을 사용하였다. 이때 소수성 표면의 표면 에너지는 25.8 mN/m 이며, DI water의 표면접촉각은 79.8°이며 Formamide의 표면 접촉각은 72.8° 이었다. 상기에서 형성된 소수성 층이 경화하기 전에 400 nm 크기 700 nm 간격의 Dot 들이 음각 패터닝된 Polydimethysiloxane (PDMS)를 접촉한 후 상기에 기술된 방법으로 자외선 경화하고, 경화 후 필름과 PDMS를 분리시켰다. 소수성 패터닝한 후의 패턴화된 소수성층의 표면 에너지는 7.29 mN/m이었으며, DI water의 경우 표면 접촉각이 122.6°이고, Formamide의 경우 표면 접촉각이 110.2° 이었다. 제조된 필름의 투습률은 0.0624 g/m2day이었다. 패터닝 공정은 도 5에 도시하였으며, 소수성 패턴층이 형성된 플렉시블 가스 배리어 필름의 모식도는 도 6에 나타내었다. A 200 nm thick Polyethersulfone (PES) substrate (glass transition temperature of 223 ° C, manufactured by i-Components Co., Ltd.) was subjected to electron beam deposition of 300 nm thick Al 2 O 3 (purity: 99.99%) as a gas barrier. cure 984-LVF (manufactured by DYMAX Co.) was coated with a 1 μm thickness by UV curing after drop casting to form a hydrophobic layer. The UV curing time is 1 minute and the UV curing equipment is Daeho Glue Tech. It is CURE ZONE HO2 of Co., Ltd. and used the power of 120 mW / cm at 365 nm wavelength. The surface energy of the hydrophobic surface was 25.8 mN / m, the surface contact angle of DI water was 79.8 °, and the surface contact angle of Formamide was 72.8 °. Before the hydrophobic layer formed above was cured by contacting the patterned polydimethysiloxane (PDMS) with 400 nm size 700 nm intervals, UV curing was performed by the method described above, and the film and PDMS were separated after curing. The surface energy of the patterned hydrophobic layer after hydrophobic patterning was 7.29 mN / m, the surface contact angle was 122.6 ° for DI water, and the surface contact angle was 110.2 ° for Formamide. The water vapor transmission rate of the produced film was 0.0624 g / m 2 day. The patterning process is shown in FIG. 5, and a schematic diagram of the flexible gas barrier film on which the hydrophobic pattern layer is formed is shown in FIG. 6.

실시예 2Example 2

Polyethersulfone(PES) 기판 상에 Al2O3 (순도: 99.99%)를 300nm 두께로 양면 증착한 것을 제외하고는 상기 실시예 1과 동일하게 수행하였다. 제조된 필름의 투습률은 0.00208 g/m2day이었다. The same procedure as in Example 1 was carried out except that Al 2 O 3 (purity: 99.99%) was deposited on both sides of a polyethersulfone (PES) substrate at a thickness of 300 nm. The water vapor transmission rate of the produced film was 0.00208 g / m 2 day.

실시예 3Example 3

소수성 패턴층 상에 SiO2 (99.99%)를 스테인리스 쉐도우마스크를 이용하여 450 nm 두께로 전자빔 증착한 것을 제외하고는 상기 실시예 2와 동일하게 수행하였다. 이때 Dot의 크기는 0.5 mm이고 중심간 간격은 1mm으로 하였다. 친수성 패턴층의 표면에너지는 73.12 mN/m이었으며, DI water 및 Formamide의 표면접촉각이 모두 5°이하였다. 제조된 필름의 투습률은 0.000534 g/m2day이었다. 패터닝 공정은 도 7에 도시하였으며, 친수성 패턴층이 형성된 플렉시블 가스 배리어 필름의 모식도는 도 8에 나타내었다. 실시예 2와 실시예 3의 시간에 따른 투습률은 도 10에서 비교하였다. SiO2 (99.99%) on the hydrophobic pattern layer was carried out in the same manner as in Example 2 except that the electron beam deposition to a 450 nm thickness using a stainless shadow mask. At this time, the size of Dot was 0.5 mm and the distance between centers was 1 mm. The surface energy of the hydrophilic pattern layer was 73.12 mN / m, and the surface contact angles of DI water and Formamide were less than 5 °. The water vapor transmission rate of the produced film was 0.000534 g / m 2 day. The patterning process is shown in FIG. 7, and the schematic diagram of the flexible gas barrier film in which the hydrophilic pattern layer was formed is shown in FIG. Moisture permeability according to time of Example 2 and Example 3 was compared in FIG.

비교실시예 1Comparative Example 1

Multi-cure 984-LVF(DYMAX Co. 제조) 소수성층을 패턴화하지 않은 것을 제외하고는 상기 실시예 1과 동일하게 수행하였다. 제조된 필름의 투습률은 0.306 g/m2day이었다. 상기 실시예 1과 비교예 1의 시간에 따른 투습률은 도 9에서 비교하였다. Multi-cure 984-LVF (manufactured by DYMAX Co.) The same procedure as in Example 1 except that the hydrophobic layer was not patterned. The water vapor transmission rate of the produced film was 0.306 g / m 2 day. Moisture permeability according to time of Example 1 and Comparative Example 1 was compared in FIG.

비교실시예 2Comparative Example 2

Multi-cure 984-LVF(DYMAX Co. 제조) 소수성층을 패턴화하지 않은 것을 제외하고는 상기 실시예 2와 동일하게 수행하였다. 제조된 필름의 투습률은 0.0098 g/m2day이었다. Multi-cure 984-LVF (manufactured by DYMAX Co.) was the same as in Example 2 except that the hydrophobic layer was not patterned. The water vapor transmission rate of the produced film was 0.0098 g / m 2 day.

비교실시예 3Comparative Example 3

소수성층 표면에 CF4 기체를 이용하여 플라즈마 처리하여 더욱 소수성화한 것을 제외하고는 상기 비교예 1과 동일하게 수행하였다. 표면처리에 의한 소수성 효과는 지속적이지 못하였다.The hydrophobic layer was carried out in the same manner as in Comparative Example 1 except that the surface of the hydrophobic layer was further hydrophobized by plasma treatment with CF4 gas. The hydrophobic effect by surface treatment was not sustained.

구조rescue 투습률(g/m2day)Moisture permeability (g / m 2 day) 실시예 1Example 1 PES (200 μm)/ Al2O3 (300 nm) / 소수성 패턴층PES (200 μm) / Al2O3 (300 nm) / hydrophobic pattern layer 0.0624 0.0624 실시예 2Example 2 Al2O3 (300 nm) / PES (200 μm)/ Al2O3 (300 nm) / 소수성 패턴층Al2O3 (300 nm) / PES (200 μm) / Al2O3 (300 nm) / hydrophobic pattern layer 0.00208 0.00208 실시예 3Example 3 Al2O3 (300 nm) / PES (200 μm)/ Al2O3 (300 nm) / 소수성 패턴층 / 친수성 패턴층 (450 nm)Al2O3 (300 nm) / PES (200 μm) / Al2O3 (300 nm) / hydrophobic pattern layer / hydrophilic pattern layer (450 nm) 0.000534 0.000534 비교예 1Comparative Example 1 PES (200 μm)/ Al2O3 (300 nm) / 소수성층 (1 μm)PES (200 μm) / Al2O3 (300 nm) / hydrophobic layer (1 μm) 0.3060.306 비교예 2Comparative Example 2 Al2O3 (300 nm) / PES (200 μm)/ Al2O3 (300 nm) / 소수성층(1 μm)Al2O3 (300 nm) / PES (200 μm) / Al2O3 (300 nm) / hydrophobic layer (1 μm) 0.0098 0.0098 비교예 3Comparative Example 3 PES (200 μm)/ Al2O3 (300 nm) / 플라즈마 처리된 소수성층(1 μm)PES (200 μm) / Al2O3 (300 nm) / plasma treated hydrophobic layer (1 μm) --

상기 표 1에 나타난 바와 같이, 소수성 패턴층을 형성한 실시예 1의 경우 패턴화되지 않은 비교예 1에 비해 가스배리어성이 현저히 우수함을 확인할 수 있다. 이는 실시예 2와 비교예 2에서도 소수성층이 패턴화될 경우 투습률이 현저히 낮아짐을 확인할 수 있다. 또한 친수성 패턴층을 형성한 실시예 3의 경우, 소수성 패턴층만을 형성한 경우보다 보다 우수한 가스배리어 효과를 갖는 것을 알 수 있다. 한편 소수성 층을 플라즈마 처리하여 소수성을 증대시킬 경우 소수성 효과가 지속적이지 못한 것으로 나타났다. As shown in Table 1, in the case of Example 1 in which the hydrophobic pattern layer is formed, it can be seen that the gas barrier properties are remarkably superior to Comparative Example 1, which is not patterned. This can be seen that even in Example 2 and Comparative Example 2, the water vapor transmission rate is significantly lowered when the hydrophobic layer is patterned. In addition, in the case of Example 3 in which the hydrophilic pattern layer is formed, it can be seen that the gas barrier effect is better than that in the case of forming only the hydrophobic pattern layer. On the other hand, the hydrophobic effect was not sustained when the hydrophobic layer was increased by plasma treatment.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 실시될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다. Simple modifications and variations of the present invention can be easily made by those skilled in the art, and all such modifications or changes can be seen to be included in the scope of the present invention.

도 1은 투명 기재필름상에 소수성층이 형성된 구조를 나타낸 것이다. 1 illustrates a structure in which a hydrophobic layer is formed on a transparent base film.

도 2는 투명 기재필름상에 소수성 패턴층이 형성된 플렉시블 가스 배리어 필름의 개략적인 단면도이다. 2 is a schematic cross-sectional view of a flexible gas barrier film having a hydrophobic pattern layer formed on a transparent base film.

도 3은 소수성 패턴층상이 친수성 패턴층이 형성된 플렉시블 가스 배리어 필름의 개략적인 단면도이다. 3 is a schematic cross-sectional view of a flexible gas barrier film having a hydrophilic pattern layer formed on a hydrophobic pattern layer.

도 4는 소수성 패턴층과 투명 기재필름 사이에 무기층이 형성된 플렉시블 가스 배리어 필름을 나타낸 하나의 구체예이다. 4 is one specific example of a flexible gas barrier film having an inorganic layer formed between a hydrophobic pattern layer and a transparent base film.

도 5는 실시예 1의 소수성 패턴층을 형성하는 공정을 나타낸 것이다. 5 shows a step of forming a hydrophobic pattern layer of Example 1. FIG.

도 6은 실시예 1의 소수성 패턴층이 형성된 플렉시블 가스 배리어 필름의 모식도이다. It is a schematic diagram of the flexible gas barrier film in which the hydrophobic pattern layer of Example 1 was formed.

도 7은 실시예 3의 친수성 패턴층을 형성하는 공정을 나타낸 것이다. FIG. 7 shows a step of forming a hydrophilic pattern layer of Example 3. FIG.

도 8은 실시예 3의 친수성 패턴층이 형성된 플렉시블 가스 배리어 필름의 모식도이다. It is a schematic diagram of the flexible gas barrier film in which the hydrophilic pattern layer of Example 3 was formed.

도 9는 실시예 1과 비교예 1의 시간에 따른 투습률을 비교한 그래프이다. 9 is a graph comparing moisture permeability according to time of Example 1 and Comparative Example 1.

도 10은 실시예 2와 실시예 3의 시간에 따른 투습률을 비교한 그래프이다.10 is a graph comparing moisture permeability according to time of Example 2 and Example 3.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

1 : 투명 기재필름 2 : 소수성 패턴층1: transparent base film 2: hydrophobic pattern layer

3 : 친수성 패턴층 4 : 무기층3: hydrophilic pattern layer 4: inorganic layer

Claims (20)

투명 기재필름; 및Transparent base film; And 상기 기재필름 상에 형성된 소수성 패턴층;A hydrophobic pattern layer formed on the base film; 을 포함하여 이루어지는 플렉시블 가스 배리어 필름.Flexible gas barrier film comprising a. 제1항에 있어서, 상기 소수성 패턴층은 표면에너지가 1 mN/m 내지 40 mN/m인 고분자 물질인 것을 특징으로 하는 플렉시블 가스 배리어 필름.The flexible gas barrier film of claim 1, wherein the hydrophobic pattern layer is a polymer material having a surface energy of 1 mN / m to 40 mN / m. 제1항에 있어서, 상기 소수성 패턴층은 양각 패턴인 것을 특징으로 하는 플렉시블 가스 배리어 필름.The flexible gas barrier film of claim 1, wherein the hydrophobic pattern layer is an embossed pattern. 제3항에 있어서, 상기 소수성 패턴층은 패턴의 너비가 1 내지 500 nm 이고, 패턴 중심간 간격은 패턴 너비의 0.1 내지 10 배인 것을 특징으로 하는 플렉시블 가스 배리어 필름. The flexible gas barrier film of claim 3, wherein the hydrophobic pattern layer has a pattern width of 1 to 500 nm, and a spacing between pattern centers is 0.1 to 10 times the pattern width. 제1항에 있어서, 상기 가스 배리어 필름의 투습률은 0.08 g/m2day 이하인 것을 특징으로 하는 플렉시블 가스 배리어 필름. The flexible gas barrier film of claim 1, wherein a water vapor transmission rate of the gas barrier film is 0.08 g / m 2 day or less. 제1항에 있어서, 상기 소수성 패턴층 상에 친수성 패턴층이 형성된 것을 특징으로 하는 플렉시블 가스 배리어 필름. The flexible gas barrier film of claim 1, wherein a hydrophilic pattern layer is formed on the hydrophobic pattern layer. 제6항에 있어서, 상기 친수성 패턴층은 표면에너지가 70 mN/m 내지 100 mN/m인 Si 계 물질인 것을 특징으로 하는 플렉시블 가스 배리어 필름.The flexible gas barrier film of claim 6, wherein the hydrophilic pattern layer is a Si-based material having a surface energy of 70 mN / m to 100 mN / m. 제6항에 있어서, 상기 친수성 패턴층은 양각 패턴인 것을 특징으로 하는 플렉시블 가스 배리어 필름.The flexible gas barrier film of claim 6, wherein the hydrophilic pattern layer is an embossed pattern. 제8항에 있어서, 상기 친수성 패턴층은 불연속적으로 형성된 것을 특징으로 하는 플렉시블 가스 배리어 필름.The flexible gas barrier film of claim 8, wherein the hydrophilic pattern layer is formed discontinuously. 제8항에 있어서, 상기 친수성 패턴층은 패턴의 너비가 0.1 내지 1 mm 이고, 패턴 중심간 간격은 패턴 너비의 0.1 내지 10 배인 것을 특징으로 하는 플렉시블 가스 배리어 필름. The flexible gas barrier film of claim 8, wherein the hydrophilic pattern layer has a pattern width of 0.1 to 1 mm, and a spacing between pattern centers is 0.1 to 10 times the pattern width. 제6항에 있어서, 상기 가스 배리어 필름의 투습률은 1 × 10-3 g/m2day 이하인 것을 특징으로 하는 플렉시블 가스 배리어 필름. 7. The flexible gas barrier film according to claim 6, wherein the gas barrier film has a water vapor transmission rate of 1 × 10 −3 g / m 2 day or less. 제1항에 있어서, 상기 투명 기재필름의 적어도 하나의 표면에는 Si, Al, In, Sn, Zn, Ti, Cu, Ce 및 Ta 로 이루어진 군으로부터 선택되는 1 종 이상의 금속을 함유하는 산화물, 질화물, 탄화물, 산화질화물, 산화탄화물, 질화탄화물, 산화질화탄화물로 이루어진 무기층이 형성된 것을 특징으로 하는 플렉시블 가스 배리어 필름. According to claim 1, At least one surface of the transparent substrate film, oxides, nitrides, containing at least one metal selected from the group consisting of Si, Al, In, Sn, Zn, Ti, Cu, Ce and Ta, A flexible gas barrier film, characterized in that an inorganic layer consisting of carbide, oxynitride, oxidized carbide, nitride, oxynitride carbide is formed. 제1항에 있어서, 상기 투명 기재필름은 폴리에틸렌나프탈레이트, (메타)아크릴레이트계 수지, 폴리에스테르계 수지, 스티렌계 수지, 투명 불소 수지, 폴리이미드계 수지, 폴리아미드계 수지, 폴리에테르이미드계 수지, 셀룰로스아실레이트계 수지, 폴리우레탄 수지, 폴리에테르에테르케톤 수지, 폴리카보네이트 수지, 지환식 폴리올레핀 수지, 폴리알릴레이트 수지, 폴리에테르술폰 수지, 폴리술폰 수지, 시클로올레핀 코폴리머, 플루오렌환 변성 폴리카보네이트 수지, 폴리에틸린 및 지환 변성 폴리카보네이트 수지로 이루어진 군으로부터 1종 이상 선택되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 가스 배리어 필름. The method of claim 1, wherein the transparent base film is polyethylene naphthalate, (meth) acrylate resin, polyester resin, styrene resin, transparent fluorine resin, polyimide resin, polyamide resin, polyetherimide Resin, cellulose acylate resin, polyurethane resin, polyether ether ketone resin, polycarbonate resin, alicyclic polyolefin resin, polyallylate resin, polyether sulfone resin, polysulfone resin, cycloolefin copolymer, fluorene ring modified Flexible gas barrier film, characterized in that at least one selected from the group consisting of polycarbonate resin, polyethylene and alicyclic modified polycarbonate resin. 제2항에 있어서, 상기 소수성 패턴층은 아크릴 레진, 페릴린 및 멜라민으로 이루어진 군으로부터 하나 이상 선택되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 가스 배리어 필름. The flexible gas barrier film of claim 2, wherein the hydrophobic pattern layer is selected from the group consisting of acrylic resin, perylene, and melamine. 제6항에 있어서, 상기 친수성 패턴층은 SiO2, SiO, TiO2로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 가스 배리어 필름. The flexible gas barrier film of claim 6, wherein the hydrophilic pattern layer is selected from the group consisting of SiO 2 , SiO, and TiO 2 . 제1항 내지 제14항중 어느 한 항의 플렉시블 가스 배리어 필름을 기판으로 사용한 플렉시블 디스플레이 소자.The flexible display element which used the flexible gas barrier film of any one of Claims 1-14 as a board | substrate. 투명 기재필름의 표면을 표면에너지가 1 mN/m 내지 40 mN/m인 고분자 물질로 코팅 또는 증착하여 소수성층을 형성하고; 그리고Coating or depositing a surface of the transparent base film with a polymer material having a surface energy of 1 mN / m to 40 mN / m to form a hydrophobic layer; And 상기 소수성층을 패터닝하여 소수성 패턴층을 형성하는; Patterning the hydrophobic layer to form a hydrophobic pattern layer; 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 플렉시블 가스 배리어 필름의 제조방법.Method for producing a flexible gas barrier film comprising the step of. 제17항에 있어서, 상기 소수성 패턴층상에 표면에너지가 70 mN/m 내지 100 mN/m인 친수성층을 패터닝하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.18. The method of claim 17, further comprising patterning a hydrophilic layer having a surface energy of 70 mN / m to 100 mN / m on the hydrophobic pattern layer. 제17항에 있어서, 상기 소수성층을 패터닝하는 방법은 자외선 임프린트, 포토 리쏘그래피, 마이크로 컨택 프리팅, 잉크젯 프린팅 또는 스크린 프린팅 방법으로 패터닝하는 것을 특징으로 하는 방법.18. The method of claim 17, wherein the method of patterning the hydrophobic layer is patterned by ultraviolet imprint, photolithography, micro contact printing, inkjet printing or screen printing. 제18항에 있어서, 상기 친수성층을 패터닝하는 방법은 마스크를 이용한 전자빔 증착, 스퍼터링, 용액코팅, 열증착 또는 프린팅 방법으로 패터닝하는 것을 특징으로 하는 방법.19. The method of claim 18, wherein the method for patterning the hydrophilic layer is characterized by patterning by electron beam deposition, sputtering, solution coating, thermal deposition or printing using a mask.
KR1020090084164A 2009-09-07 2009-09-07 Flexible Gas Barrier Film, Method for Preparing Thereof and Flexible Display Device Using the Same KR101148144B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090084164A KR101148144B1 (en) 2009-09-07 2009-09-07 Flexible Gas Barrier Film, Method for Preparing Thereof and Flexible Display Device Using the Same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090084164A KR101148144B1 (en) 2009-09-07 2009-09-07 Flexible Gas Barrier Film, Method for Preparing Thereof and Flexible Display Device Using the Same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20110026318A true KR20110026318A (en) 2011-03-15
KR101148144B1 KR101148144B1 (en) 2012-05-23

Family

ID=43933431

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090084164A KR101148144B1 (en) 2009-09-07 2009-09-07 Flexible Gas Barrier Film, Method for Preparing Thereof and Flexible Display Device Using the Same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101148144B1 (en)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013077694A1 (en) * 2011-11-25 2013-05-30 주식회사 엘지화학 Resin mixture
WO2013077695A1 (en) * 2011-11-25 2013-05-30 주식회사 엘지화학 Resin mixture
WO2013077696A1 (en) * 2011-11-25 2013-05-30 주식회사 엘지화학 Resin mixture
KR101357284B1 (en) * 2013-05-21 2014-01-29 한국기계연구원 Transparent conductive film manufacturing method, apparatus thereof and transparent conductive film thereof
WO2015016677A1 (en) * 2013-08-02 2015-02-05 주식회사 엘지화학 Resin
KR20150043791A (en) * 2013-10-15 2015-04-23 삼성디스플레이 주식회사 Organic light emitting display device and method of manufacturing the same
WO2016024799A1 (en) * 2014-08-14 2016-02-18 주식회사 엘지화학 Hydrophobic substrate and method for manufacturing same
KR20160082011A (en) 2014-12-30 2016-07-08 코오롱글로텍주식회사 Flexible Fabric Substrate with conductivity and manufacturing method thereof
US9406905B2 (en) 2013-05-24 2016-08-02 Samsung Display Co., Ltd. Organic light-emitting display apparatus having a flexible substrate

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102134845B1 (en) 2013-07-12 2020-07-17 삼성디스플레이 주식회사 organic light emitting display device and the fabrication method thereof
KR20160074245A (en) 2014-12-18 2016-06-28 한화첨단소재 주식회사 Transparent gas barrier film and method for manufacturing transparent gas barrier film
KR102246585B1 (en) * 2019-12-30 2021-04-30 이화여자대학교 산학협력단 Optoelectronic device, and method of preparing the same

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100550377B1 (en) 2002-12-02 2006-02-09 전자부품연구원 Passivation and Gas Barrier Layer Structure for Flexible Flat Panel Display and its manufacturing methods
JP4536417B2 (en) 2004-04-30 2010-09-01 大日本印刷株式会社 Gas barrier film
JP2007194265A (en) * 2006-01-17 2007-08-02 Dainippon Printing Co Ltd Flexible printed wiring board, and its manufacturing method

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013077694A1 (en) * 2011-11-25 2013-05-30 주식회사 엘지화학 Resin mixture
WO2013077695A1 (en) * 2011-11-25 2013-05-30 주식회사 엘지화학 Resin mixture
WO2013077696A1 (en) * 2011-11-25 2013-05-30 주식회사 엘지화학 Resin mixture
US8883924B2 (en) 2011-11-25 2014-11-11 Lg Chem, Ltd. Resin blend
US9650510B2 (en) 2011-11-25 2017-05-16 Lg Chem, Ltd. Resin blend
US9650511B2 (en) 2011-11-25 2017-05-16 Lg Chem, Ltd. Resin blend
US9493644B2 (en) 2011-11-25 2016-11-15 Lg Chem, Ltd. Resin blend
KR101357284B1 (en) * 2013-05-21 2014-01-29 한국기계연구원 Transparent conductive film manufacturing method, apparatus thereof and transparent conductive film thereof
US9406905B2 (en) 2013-05-24 2016-08-02 Samsung Display Co., Ltd. Organic light-emitting display apparatus having a flexible substrate
WO2015016677A1 (en) * 2013-08-02 2015-02-05 주식회사 엘지화학 Resin
KR20150043791A (en) * 2013-10-15 2015-04-23 삼성디스플레이 주식회사 Organic light emitting display device and method of manufacturing the same
WO2016024799A1 (en) * 2014-08-14 2016-02-18 주식회사 엘지화학 Hydrophobic substrate and method for manufacturing same
CN106573449A (en) * 2014-08-14 2017-04-19 株式会社Lg化学 Hydrophobic substrate and method for manufacturing same
US10603874B2 (en) 2014-08-14 2020-03-31 Lg Chem, Ltd. Hydrophobic substrate and method for manufacturing same
KR20160082011A (en) 2014-12-30 2016-07-08 코오롱글로텍주식회사 Flexible Fabric Substrate with conductivity and manufacturing method thereof

Also Published As

Publication number Publication date
KR101148144B1 (en) 2012-05-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101148144B1 (en) Flexible Gas Barrier Film, Method for Preparing Thereof and Flexible Display Device Using the Same
US9957362B2 (en) Printable process for forming a multi-layered gas barrier laminate film
KR100926030B1 (en) Organic/inorganic hybrid passivation layer for blocking moisture/oxygen transmission and improving gas barrier property
US7527541B2 (en) OLED structures with barrier layer and strain relief
EP2535764B1 (en) Substrate tray and manufacturing method of a flexible electronic display device with said substrate tray
US20140242354A1 (en) Encapsulation film with thin layer composed of graphene oxide and reduced graphene oxide and method for forming the same
JP2009255040A (en) Flexible gas barrier film and method for manufacturing the same
JP6181984B2 (en) Polymer film laminated substrate
TWI765904B (en) Laminate, method for manufacturing electronic device, and method for manufacturing laminate
KR101995096B1 (en) Transparent electrode using belt-shaped metal line embedded colorless transparent polyimide for OLED Display and process for manufacturing the same
JP2015178237A (en) Laminated inorganic substrate, laminate, method of producing laminate and method of producing flexible electronic device
KR102085976B1 (en) Multi-functional transparent photomask with preventing electrostatic discharge damage and anti-fouling and Manufacturing method of the Same
CN113396468B (en) Breathable cover sheet and method of using the same
JP2015038001A (en) Flexible electronic device manufacturing method
JP2005288851A (en) Transparent gas barrier film, display substrate using the same and display
KR101261456B1 (en) Protective thin film and electronic devices comprising the same
US20120114910A1 (en) Flexible gas barrier film, method for preparing the same, and flexible display device using the same
TWI477642B (en) Gas barrier substrate
EP2881423B1 (en) Film having water repellency and oil repellency and electric/electronic device
JP4451213B2 (en) Display substrate
CN108962023B (en) Flexible display device and preparation method thereof
JP2013205482A (en) Color filter
JP2007180471A (en) Thin-film transistor and manufacturing method therefor
KR101808756B1 (en) Water and oil repellent film and electrical and electronic device
KR20220082203A (en) Organic/inorganic multilayer thin film encapsulation using organic monomer thin film and a preparing method of the same

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160426

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170328

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190502

Year of fee payment: 8