KR20110014910A - 니들 고정 지그 - Google Patents

Abstract

본 발명은 니들 고정 지그에 관한 것으로서, 중앙에 노출공이 형성되고, 하방이 개방되며, 내부에 설치공간이 형성되는 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트의 상면 중 상기 노출공을 둘러쌓도록 설치되고, 상면에 상기 니들의 일측이 지지되는 니들 고정블럭와, 상면에 안내공이 형성된 펀칭필름이 부착되고, 상기 안내공과 대응되는 위치에 삽입공이 형성되며, 상기 베이스 플레이트의 설치공간 일측에 설치되되, 상단부가 상기 노출공에 삽입되어 상면이 외부로 노출되는 승강블럭 및 상단부가 상기 승강블럭에 나사결합되고, 상기 승강블럭을 승강시키는 승강수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 니들 고정 지그를 제공한다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 베이스 플레이트의 일측에 노출공을 형성하고, 노출공을 통해 상면이 외부로 노출되며 베이스 플레이트 내부에 승강블럭을 승강가능하게 설치하여 니들 탈거시 승강블럭을 하강시킴으로써 사이드 블럭의 유동에 따른 니들의 유동을 미연에 방지하여 니들의 정렬을 유지할 수 있을 뿐 아니라 니들팁의 휨현상 또한 미연에 방지하여 검사공정의 작업시간이 현저하게 단축되면서도 프로브 카드의 불량률을 저하시킬 수 있는 니들 고정 지그를 제공함에 있다.

니들, 지그, 플레이트, 프로브 카드

Description

니들 고정 지그{Fixing Jig for needle}

본 발명은 니들 고정 지그에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 베이스 플레이트의 일측에 노출공을 형성하고, 노출공을 통해 상면이 외부로 노출되며 베이스 플레이트 내부에 승강블럭을 승강가능하게 설치하여 니들 탈거시 승강블럭을 하강시킴으로써 사이드 블럭의 유동에 따른 니들의 유동을 미연에 방지하여 니들의 정렬을 유지할 수 있을 뿐 아니라 니들팁의 휨현상 또한 미연에 방지하여 검사공정의 작업시간이 현저하게 단축되면서도 프로브 카드의 불량률을 저하시킬 수 있는 니들 고정 지그에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제작 공정은 웨이퍼(Wafer)상에 패턴(pattern)을 형성시키는 패브리케이션(fabrication)공정과, 웨이퍼를 구성하고 있는 각각의 칩의 전기적 특성을 감사하는 이디에스(Electrical Die Sorting:EDS)공정과, 패턴이 형성된 웨이퍼를 각각의 칩(chip)으로 조립하는 어셈블리(assembly)공정을 통해서 제조된다.

여기서 EDS공정은 웨이퍼를 구성하고 있는 칩들 중에서도 불량칩을 판별하기위해 수행하는 것으로 웨이퍼를 구성하는 칩들에 전기적 신호를 인가시켜 인가된 전기적 신호로부터 체크되는 신호에 의해서 불량을 판단하게 되는 프로브 카드라는 검사장치가 주로 사용되고 있다.

이러한 프로브 카드는 일반적으로 인쇄회로기판과, 인쇄회로기판의 상부면에 구비되는 보강판과, 인쇄회로기판의 하부면에 구비되는 고정판 및 고정판에 고정되는 다수의 니들을 포함하여 구성되는데, 여기서 니들은 상호대칭되게 절연필름에 의해 고정판에 고정된다.

이와 같이 다수의 니들을 고정판에 상호 정렬되게 고정하기 위해서 니들팁이 삽입되는 안내공이 형성된 펀칭필름과, 고정지그를 이용하는 방법이 주로 사용되고 있다.

도1은 종래의 니들 고정 지그의 사시도이다.

도1에서 보는 바와 같이 종래의 니들 고정 지그(100)는 베이스 플레이트(110)와, 베이스 플레이트(110) 상면에 설치되고 상면에 펀칭필름이 부착되는 필름고정블럭(120) 및 필름고정블럭(120)의 측면을 지지하도록 상기 베이스 플레이트(110) 상면에 설치되는 사이드블럭(130)을 포함하여 구성된다.

여기서 니들팁을 펀칭필름의 안내공에 삽입하여 니들을 정렬하는 방법을 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 필름고정블럭(120)의 상면에 펀칭필름을 부착한 상태에서 필름고정블럭(120)을 베이스 플레이트(110)의 상면에 설치한다.

이후 필름고정블럭(120)이 유동되지 않도록 필름고정블럭(120)의 측부를 지지하도록 사이드블럭(130)을 베이스 플레이 상면에 설치한 상태에서 니들팁을 펀칭필름의 안내공에 삽입하여 니들을 정렬하고, 정렬된 니들을 고정하기 위해 에폭시 수지를 도포한다.

이후 니들 일측에 고정판을 부착하여 니들을 견고하게 부착하고, 별도의 도구를 사용하여 사이드 블럭 및 필름 고정블럭을 일측을 들어올려 사이드 블럭 및 고정블럭을 니들로부터 탈거한다.

이와 같이 종래의 니들 고정 지그(100)는 별도의 도구를 사용하여 사이드블럭(130) 및 필름 고정블럭(120)의 일측을 들어올려 니들로부터 사이드블럭(130) 및 필름 고정블럭(120)을 탈거함으로써 필름 고정블럭의 유동에 따라 펀칭필름이 동반 유동하여 안내공에 삽입된 니들의 정렬이 흩어지거나 니들팁이 휘어지는 문제점이 발생되어 프로브 카드의 검사공정의 작업시간이 현저하게 증대될 뿐 아니라 프로브 카드의 불량률이 상승하는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 베이스 플레이트의 일측에 노출공을 형성하고, 노출공을 통해 상면이 외부로 노출되며 베이스 플레이트 내부에 승강블럭을 승강가능하게 설치하여 니들 탈거시 승강블럭을 하강시킴으로써 사이드 블럭의 유동에 따른 니들의 유동을 미연에 방지하여 니들의 정렬을 유지할 수 있을 뿐 아니라 니들팁의 휨현상 또한 미연에 방지하여 검사공정의 작업시간이 현저하게 단축되면서도 프로브 카드의 불량률을 저하시킬 수 있는 니들 고정 지그를 제공함에 있다.

그리고, 베이스 플레이트의 저면에 가열부를 설치함으로써 니들블럭을 고정하기 위해 별도의 히터로 이동에 소용되는 시간을 줄일 수 있을 뿐 아니라 이동시 니들의 유동에 의해 정렬이 흩어지거나 니들팁의 휨현상과 같은 불량 위험을 저하시킬 수 있는 니들 고정 지그를 제공함에 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일측면에 따르면, 프로브 카드를 제조하기 위해 상면에 다수의 니들이 배치되는 니들 고정 지그에 있어서, 중앙에 노출공이 형성되고, 하방이 개방되며, 내부에 설치공간이 형성되는 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트의 상면 중 상기 노출공을 둘러쌓도록 설치되고, 상면에 상기 니들의 일측이 지지되는 니들 고정블럭와, 상면에 안내공이 형성된 펀칭 필름이 부착되고, 상기 안내공과 대응되는 위치에 삽입공이 형성되며, 상기 베이스 플레이트의 설치공간 일측에 설치되되, 상단부가 상기 노출공에 삽입되어 상면이 외부로 노출되는 승강블럭 및 상단부가 상기 승강블럭에 나사결합되고, 상기 승강블럭을 승강시키는 승강수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 니들 고정 지그를 제공한다.

그리고, 상기 베이스 플레이트는 측면에 그립공이 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 승강수단은 상기 승강블럭의 하단부를 덮도록 상기 베이스 플레이트 저면에 설치되되, 상면이 상기 승강블럭의 저면과 이격되게 설치되는 지지판 및 일단부가 상기 지지판을 관통하여 상기 승강블럭 일측에 나사결합되고, 타단부가 상기 지지판 일측에 지지되는 볼트부재를 포함할 수 있다.

아울러, 상기 지지판 일측에 승강이동가능하게 나사결합되고, 상승하는 경우 상기 승강블럭의 상면이 외부로 노출될 수 있도록 상기 승강블럭의 저면을 지지하는 블럭고정부재를 더 포함하는 것이 바람직하다.

그리고, 상기 베이스 플레이트의 저면 일측에 설치되어 상기 베이스 플레이트를 가열하는 가열부를 더 포함할 수 있다.

또한, 상기 베이스 플레이트의 저면 중 상기 승강블럭의 외주면을 지지하는 위치에 설치되는 승강블럭 가이드를 더 포함하는 것이 더욱 바람직하다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 베이스 플레이트의 일측에 노출공을 형성하고, 노출공을 통해 상면이 외부로 노출되며 베이스 플레이트 내부에 승강블럭을 승강가능하게 설치하여 니들 탈거시 승강블럭을 하강시킴으로써 사이드 블럭의 유동에 따른 니들의 유동을 미연에 방지하여 니들의 정렬을 유지할 수 있을 뿐 아니라 니들팁의 휨현상 또한 미연에 방지하여 검사공정의 작업시간이 현저하게 단축되면서도 프로브 카드의 불량률을 저하시킬 수 있는 니들 고정 지그를 제공함에 있다.

그리고, 베이스 플레이트의 저면에 가열부를 설치함으로써 니들블럭을 고정하기 위해 별도의 히터로 이동에 소용되는 시간을 줄일 수 있을 뿐 아니라 이동시 니들의 유동에 의해 정렬이 흩어지거나 니들팁의 휨현상과 같은 불량 위험을 저하시킬 수 있는 니들 고정 지그를 제공함에 있다.

이하에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일실시를 상세하게 설명하도록 한다.

도2는 본 발명의 일실시예에 따른 니들 고정 지그의 사시도이고, 도3은 본 발명의 일실시예에 따른 니들 고정 지그의 저면 분해사시도이며, 도4는 본 발명의 일실시예에 다른 니들 고정 지그의 단면도이다.

도2 내지 도4에서 보는 바와 같이 본 발명의 일실시예에 따른 니들 고정 지 그(1)는 베이스 플레이트(10)와, 니들 고정블럭(20)과, 승강블럭(30)과, 승강블럭 가이드(40)와, 승강수단(50)와, 승강블럭 고정부재(60) 및 가열부(70)를 포함하여 구성된다.

베이스 플레이트(10)는 중앙에 노출공(11a)이 형성되고 저면에 후술하는 구성이 결합되는 판형상의 설치플레이트(11)와, 설치플레이트(11)의 저면 중 모서리 부근에 볼트결합되는 측벽(12)을 포함하여 구성된다.

그리고, 측벽(12)은 앞서 설명한 바와 같이 설치플레이트(11)의 모서리를 따라 설치플레이트(11)의 저면에 볼트결합되어 설치플레이트(11)와, 베이스 플레이트(10)가 설치되는 설치대상지면(미도시) 사이에 내부공간(S)이 형성되도록 함으로써 후술하는 구성이 결합되는 결합공간을 제공하는 역할을 한다.

또한, 측벽(12)은 일측에 그립공(12a)이 형성되어 작업자가 그립공(12a)을 통해 베이스 플레이트(10)를 파지하여 베이스 플레이트(10)를 움직여 작업각도를 용이하게 조절할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.

니들 고정블럭(20)은 베이스 플레이트(10)의 노출공(11a) 주위를 따라 설치플레이트(11)의 상면에 설치되며, 상면이 상기 노출공(11a) 방향으로 경사지게 형성되어 펀칭필름(F)의 안내공(F1)에 니들팁 삽입을 용이하게 이루어질 수 있도록 함과 아울러 니들(N)의 일측을 지지하는 역할을 한다.

승강블럭(30)은 상단부가 설치플레이트(11)의 노출공(11a)에 삽입되는 제1 블럭(31)과, 제1 블럭(31)보다 넓은 폭을 갖고 제1 블럭(31)의 하부에 형성되는 제2 블럭(32)을 포함하여 구성되며, 후술하는 승강수단(50)에 의해 하강하면서 정렬된 니들(N)로부터 펀칭필름(F)을 탈거하는 역할을 한다.

제1 블럭(31)은 대략 육각형상으로 형성되고, 상면에는 펀칭필름(F)의 안내공(F1)을 통과한 니들팁(N1)이 삽입되는 삽입공(31a)이 형성되어 있다.

그리고, 앞서 설명한 바와 같이 제2 블럭(32)이 제1 블럭(31)보다 넓은 폭을 갖도록 형성되어 제1 블럭(31)과 제2 블럭(32)간 단턱(33)이 형성되며, 이와 같이 형성된 단턱(33)이 설치플레이트(11)의 저면에 지지되면서 제1 블럭(31)이 노출공(11a)을 통해 외부로 방출되는 것을 방지한다.

승강블럭 가이드(40)는 설치플레이트(11)의 저면 중 승강블럭(30)의 측면을 지지하는 위치에 설치되어 승강블럭(30)이 후술하는 승강수단(50)에 의해 승강하는 경우 유동되지 않도록 승강블럭(30)의 측면부를 지지하여 승강블럭(30)이 용이하게 승강되도록 하는 역할을 한다.

승강수단(50)은 승강블럭(30)의 저면으로부터 하방으로 이격된 베이스 플레이트(10)의 내부공간에 설치되는 지지판(51) 및 일단부가 지지판(51)의 일측을 관통하여 승강블럭(30)의 저면에 나사결합되며 타단부가 지지판(51)의 일측에 지지되는 승강부재(52)를 포함하여 구성된다.

이와 같은 승강수단(50)은 승강부재(52)를 회전시키면 승강부재(52)의 타단 부가 지지판(51)의 일측에 지지되며, 승강부재(52)의 나사선과 승강부재(52)의 나사선이 맞물리면서 승강부재(52)를 승강시키는 역할을 한다.

여기서 승강부재(52)는 통상의 볼트가 사용될 수 있으며, 본 발명의 승강부재(52)는 이에 한정하지 않으며, 승강블럭(30)을 승강시킬 수 있는 구성이면 어느 것이든 적용이 가능하다.

아울러, 지지판(51)은 도면에서 보는 바와 같이 설치플레이트(11)의 저면에 설치되는 받침부재(51a)와, 받침부재(51a)의 하부에 결합되고 상기한 승강부재(52)가 관통되는 고정플레이트(51b)를 포함하여 구성될 수 있다.

그리고, 고정플레이트(51b)는 일측에 후술하는 승강블럭 고정부재(60)가 나사결합되는 나사공(51ba)이 형성되어 있다.

상기한 바와 같이 본원발명은 종래와는 달리 니들 고정블럭(20)을 탈거시키지 않고 상면에 펀칭필름(F)이 부착된 승강블럭(30)을 하강시킴으로써 니들로부터 펀칭필름(F)을 탈거하여 니들 고정블럭(20) 및 사이드 블럭의 탈거에 의해 니들의 정렬이 흩어지거나 니틀팁(N1)이 휘어지는 휨현상을 미연에 방지하여 검사공정 시간을 현저하게 단축시킬 수 있으면서도 프로브 카드의 불량율을 현저하게 저하시킬 수 있는 효과가 있다.

승강블럭 고정부재(60)는 일단부가 고정플레이트(52a)의 나사공(52aa)에 나사결합되며, 나사결합된 일단부가 승강블럭(30)의 저면을 지지하여 펀칭필름(F)의 안내공(F1)에 니들팁 삽입공(31a)정시 승강블럭(30)이 하강하는 것을 방지하는 역 할을 하며, 승강블럭 고정부재(60) 또한 통상의 볼트부재(52)가 사용될 수 있다.

가열부(70)는 설치플레이트(11)의 저면에 설치되는 가열수단(71)과, 가열수단(71)에 전원을 인가하는 전원부(72)를 포함하여 구성되며, 니들 고정블록에 니들을 고정하기 위해 니들 고정블럭(20)을 가열하여 니들 고정블럭(20)에 도포되는 에폭시 수지가 열전도에 의해 유동성을 갖도록 하는 역할을 한다.

여기서 가열수단(71)은 설치플레이트(11)의 저면에 위치하는 저항체(71a)와, 저항체(71a)를 설치플레이트(11)에 고정하기 위한 브래킷(71b)을 포함하여 구성될 수 있다.

이와 같이 본원 발명은 설치플레이트(11)의 저면에 가열수단(71)을 설치함으로써 니들 고정블럭(20)에 니들을 고정하기 위해 니들 고정블럭(20)을 별도의 히팅수단으로 이동하여 가열하지 않아도 되므로 이동에 소요되는 시간이 절약될 뿐 아니라 이동시 외부요인에 의해 정렬된 니들(N)의 흩어짐 또는 니들팁(N1)의 휨현상을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있는 것이다.

도5 내지 도8은 본 발명의 일실시예에 따른 니들 고정 지그의 동작을 도시한 도면이다.

이와 같은 구성을 갖는 본 발명의 일실시예에 따른 니들 고정 지그(1)의 동작을 첨부된 도5 내지 도7을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

먼저, 니들의 정렬작업이 완료되어 에폭시 수지를 도포하여 니들을 니들 고 정블럭(20)에 고정한 후 도5에서 보는 바와 같이 승강블럭 고정부재(60)를 회전시키면 승강블럭 고정부재(60)가 하강하면서 도6에서 보는 바와 같이 승강수단(50)이 하강할 수 있는 이동공간이 확보된다.

다음 도7에서 보는 바와 같이 승강수단(50)의 승강부재(52)를 회전시키면 도8에서 보는 바와 같이 승강블럭(30)이 하강하고, 니들은 니들 고정블록에 지지되면서 니들이 승강블럭(30) 및 펀칭필름(F)으로부터 탈거된다.

비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위는 본 발명의 요지에서 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.

도1은 종래의 니들 고정 지그의 사시도,

도2는 본 발명의 일실시예에 따른 니들 고정 지그의 사시도,

도3은 본 발명의 일실시예에 따른 니들 고정 지그의 분해사시도,

도4는 본 발명의 일실시예에 다른 니들 고정 지그의 단면도,

도5 내지 도8은 본 발명의 일실시예에 따른 니들 고정 지그의 동작을 도시한 도면.

<주요도면부호에 관한 설명>

1 : 니들 고정 지그 10 : 베이스 플레이트

20 : 니들 고정 블럭 30 : 승강블럭

40 : 승강블럭 가이드 50 : 승강수단

60 : 승강블럭 고정부재 70 : 가열부

Claims (6)

1. 프로브 카드를 제조하기 위해 상면에 다수의 니들이 배치되는 니들 고정 지그에 있어서,

   중앙에 노출공이 형성되고, 하방이 개방되어 내부에 설치공간이 형성되는 베이스 플레이트와;

   상기 베이스 플레이트의 상면 중 상기 노출공을 둘러쌓도록 설치되고, 상면에 상기 니들의 일측이 지지되는 니들 고정블럭과;

   상면에 안내공이 형성된 펀칭필름이 부착되고, 상기 안내공과 대응되는 위치에 삽입공이 형성되며, 상기 베이스 플레이트의 설치공간 일측에 설치되되, 상단부가 상기 노출공에 삽입되어 상면이 외부로 노출되는 승강블럭; 및

   상단부가 상기 승강블럭에 결합되고, 상기 승강블럭을 승강시키는 승강수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 니들 고정 지그.
2. 제1항에 있어서,

   상기 베이스 플레이트는 측면에 그립공이 형성되는 것을 특징으로 하는 니들 고정 지그.
3. 제1항에 있어서,

   상기 승강수단은

   상기 승강블럭의 하단부를 덮도록 상기 베이스 플레이트 저면에 설치되되, 상면이 상기 승강블럭의 저면과 이격되게 설치되는 지지판; 및

   일단부가 상기 지지판을 관통하여 상기 승강블럭 일측에 나사결합되고, 타단부가 상기 지지판 일측에 지지되는 볼트부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 니들 고정 지그.
4. 제3항에 있어서,

   상기 지지판 일측에 승강이동가능하게 나사결합되고, 상승하는 경우 상기 승강블럭의 상면이 외부로 노출될 수 있도록 상기 승강블럭의 저면을 지지하는 블럭고정부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 니들 고정 지그.
5. 제1항에 있어서,

   상기 베이스 플레이트의 저면 일측에 설치되어 상기 베이스 플레이트를 가열하는 가열부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 니들 고정 지그.
6. 제1항에 있어서,

   상기 베이스 플레이트의 저면 중 상기 승강블럭의 외주면을 지지하는 위치에 설치되는 승강블럭 가이드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 니들 고정 지그.

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