KR20110003807A - 첨가제가 코팅된 티탄산바륨 복합분말과 이의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 티탄산바륨 분말의 표면에 첨가제가 코팅된 복합분말에 관한 것으로서 이 분말을 이용하여 소결체를 제조하였을 때 티탄산바륨 분말과 첨가제 분말을 혼합하여 제조한 종래의 소결체에 비해 유전율이 크게 향상되어 초고용량 MLCC용에 적합한 복합분말을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 따른 복합분말은 티탄산바륨 입자의 표면에 코팅층이 형성된 것으로서, 상기 코팅층은 티탄산바륨 100몰 대비 1.25몰 ~ 2.5몰의 Zr을 포함하는 것을 특징으로 한다.
MLCC, 복합분말
Description
본 발명은 적층 세라믹 커패시터를 제조하는데 사용되는 티탄산바륨 분말에 첨가제를 코팅한 복합분말에 관한 것으로, 보다 상세하게는 티탄산바륨 분말 표면에 지르코늄을 적정량 포함시켜 코팅함으로써, 종래의 방법을 이용하여 제조한 동일한 조성의 유전체에 비해 유전율이 크게 향상될 수 있는 복합분말에 관한 것이다.
최근, 전자기술의 급격한 발전에 따라 전자부품의 소형화가 진행되면서 전자제품의 필수 수동소자로 사용되는 적층세라믹 커패시터(Multilayer Ceramic Capacitor, 이하 'MLCC')도 정전용량을 높이는 고용량화가 진행되고 있는데, MLCC의 고용량화를 위해서는 유전체의 유전율이 높고 유전체층이 박층화 및 다층화되어야 한다.
적층세라믹 콘덴서는 정전용량의 온도변화율(Temperature Characteristic Coefficient, TCC)에 따라 EIA 규격으로 Y5V( -50℃~50℃에서 ±15%), X5R( -55℃~85℃에서 ±15%이내), X7R( -55℃~125℃에서 ±15%)의 제품으로 구분한다. 현재 유전체층을 3㎛이하로 더욱 초박층화하는 경우에는 X5R의 특성제품이 일반적으로 사용된다.
한편, X5R의 특성의 MLCC를 제조하는데 있어서 현재 주로 사용되는 유전체는 페로브스카이트 (perovskite) 결정 구조를 가져 강유전체의 특성을 나타낼 뿐 아니라 가격도 비교적 저렴한 티탄산바륨(BaTiO3) 분말이다.
이러한 티탄산바륨의 분말을 이용한 박층의 고용량 MLCC을 얻기 위해서는 입성장이 억제되어야 하고, 고유전율의 특성을 구현할 수 있는 유전체 자기조성물이 요구되고 있으며, 이때, 유전체 자기조성물은 주성분인 BaTiO3 이외에 BaO, Y2O3, MgO, MnO와 같은 부성분과 SiO2와 같은 소결조제로 구성된다. 상기 부성분 및 소결조제는 MLCC의 유전율, 유전율의 온도 특성 제어 또는 소결성의 개선 등을 목적으로 첨가되며, 현재까지는 주로 분말형태로 혼합되고 있다. 그런데 MLCC의 박층화가 진행되면 될수록, 첨가되는 부성분 및 소결조제 성분의 균일성이 종래보다도 더욱 요구된다.
최근에는 MLCC의 초고용량화 요구에 대응하기 위하여, 200nm 이하의 초미세 티탄산바륨 분말이 사용되기 시작하고 있다. 그런데 첨가제 분말의 경우 현재 사용되고 있는 분쇄장비를 통해서는 500nm 이하의 분말로 만들기 어렵기 때문에, 도 1에 나타낸 바와 같이 주성분인 티탄산바륨 분말의 크기에 비해 첨가제 분말의 크기가 상대적으로 커져 소량 첨가되는 첨가제를 소결체에 균일하게 분산시키는 것이 더욱 어려워진다. 이와 같이 주 분말과 첨가제 분말 사이의 입자 크기 차이가 커 지게 되면, 첨가제 분말의 뭉침 등이 발생하여 MLCC의 유전특성과 신뢰성을 크게 저하시킬 수 있다.
최근 이를 개선하기 위해 나노 크기의 첨가제를 사용하는 시도가 있으나 이 경우에도 나노입자의 분산성을 확보하는 것이 매우 어려우며, 따라서, 첨가제 성분을 티탄산바륨의 표면에 나노 크기의 두께로 매우 얇게 코팅하여 복합 분말화하는 방법은 첨가제의 분산문제를 해결하는 대응방안이 될 수 있으나, 첨가제의 균일한 코팅이 문제가 된다.
또한, MLCC의 초고용량화에는 MLCC를 구성하는 유전체층의 박층화와 더불어 유전율을 높일 필요가 있으나, 새로운 첨가제의 첨가만으로는 유전율의 개선에 한계가 있다.
본 발명은 전술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 티탄산바륨 분말의 표면에 첨가제를 코팅함으로써 첨가제의 분산 문제를 해결하고 동시에 유전율이 종래에 비해 우수하여 초고용량 MLCC의 제조에 적합한 티탄산바륨 복합분말을 제공하는 것을 해결하고자 하는 과제로 한다.
또한 본 발명의 다른 과제는 티탄산바륨 분말의 표면에 다양한 종류의 첨가제를 균일하게 코팅할 수 있는 방법을 제공하는 것이다.
본 발명자들은 티탄산바륨 분말의 표면에 Zr이 티탄산바륨 100몰 대비 1.25몰 ~ 2.5몰의 비율이 되도록 Zr 산화물을 코팅하여 유전체를 제조하면, 티탄산바륨 분말과 ZrO2 분말을 혼합하여 동일한 조성으로 제조한 유전체에 비해 유전율이 크게 향상됨을 밝혀내고 본 발명을 완성하였다.
본 발명은 상기 과제를 해결하기 위한 수단으로, 표면에 첨가제 코팅층이 형성된 티탄산바륨 분말로서 상기 코팅층은 티탄산바륨 100몰 대비 1.25몰 ~ 2.5몰의 Zr을 함유하는 것을 특징으로 하는 티탄산바륨 복합분말을 제공한다.
또한, 본 발명에 있어서, 상기 Zr은 산화물의 형태로 티탄산바륨의 표면에 코팅된다. 이 때, Zr 산화물은 상전이 온도를 85℃ 부근으로 옮기는 역할을 하고, 상온 유전율을 향상시킬 수 있다. 또한, Si 산화물과 반응하여 소결조제 역할을 하여 소결온도를 30~50℃ 더욱 낮출 수 있는데, 소결온도의 감소는 초박층 유전층에서의 전극 끊김 등 구조적인 결함을 보다 효과적으로 줄일 수 있다. 상기 Zr의 함량은 티탄산바륨 100몰 대비 1.25몰 미만일 경우에는 유전율의 향상 정도가 미미하며 2.5몰을 초과할 경우에도 유전율의 향상 정도가 떨어지기 때문에 상기 범위 내로 포함하는 것이 바람직하며, 티탄산바륨 100몰 대비 Zr이 1.5몰 ~ 2몰의 범위로 포함되는 것이 보다 바람직하다.
또한, 상기 첨가제 코팅층은 Si 산화물을 추가로 포함할 수 있다. Si 산화물은 소결 조제로서 작용하며, 티탄산바륨 100몰 대비 0.5～12몰인 것이 바람직하다.
또한, 상기 첨가제 코팅층은 추가로 Mg, Ca, Ba, Sr, Re(Re=Y, Dy, Ho), Mn, Cr, V, W, Ta 및 Nb의 산화물로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있다.
이중 Mg 산화물은 소결체의 입자성장을 억제하는 역할을 하며 지나치게 많을 경우 유전율을 저하시키므로 티탄산바륨 100몰 대비 2몰 이하로 포함되는 것이 바람직하다.
또한, Ca, Ba 및 Sr의 산화물은 정전 용량의 온도 특성을 개선하는 효과를 나타내며, 특히 상기 Si와 복합첨가될 때 복합 산화물의 융점을 낮추기 때문에 소결성을 개선하나, 지나치게 많으면 유전율이 저하되므로 티탄산바륨 100몰 대비 5몰 이하로 포함되는 것이 바람직하다.
Re(Re=Y, Dy, Ho)의 산화물은 희토류 원소로 주로, 평균수명시간을 향상시키 는 효과를 나타내나, 지나치게 많으면 소결성이 악화되므로 티탄산바륨 100몰 대비 5몰 이하로 포함되는 것이 바람직하다.
또한, Mn 산화물은 환원 분위기에서 주성분의 상온 및 고온 IR (Insulation Resistance)을 증가시키는 역할을 하며, 지나치게 많으면 용량의 시간에 따른 변화율(aging rate) 및 직류 바이어스를 계속 인가할 때의 용량변화가 커진다. 따라서, 티탄산바륨 100몰 대비 0.5몰 이하로 포함되는 것이 바람직하다.
또한, Cr, V, W, Ta 및 Nb의 산화물은 소결성, 절연저항, 평균수명시간을 개선하는 효과가 있으나, 지나치게 많으면 절연저항이 저하하므로 티탄산바륨 100몰 대비 0.1몰 이하로 포함되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 첨가제 코팅층에는 소결성을 개선하기 위하여 추가로 티탄산바륨 100몰 대비 3몰 이하의 Li 또는 B의 산화물을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명은 상기 복합분말을 사용하여 소결체를 형성하였을 때 그 유전상수가 3000 이상인 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 본 발명의 다른 과제를 해결하기 위해, (a) 초 순수와 아이소옥테인(isooctane)의 혼합물에 AOT(sodium bis(2-ethylhexyl)sulfosuccinate)를 투입하여 제 1 용액을 만드는 단계; (b) 상기 첨가제 성분이 포함된 수용성 화합물을 초 순수에 용해하여 첨가제 성분이 용해된 복수의 제 2 용액을 만드는 단계; (c) 상기 제 1 용액과 복수의 제 2 용액을 혼합하여 교반하는 단계; (d) 상기 (c)용액의 고형분을 분리하여 건조하는 단계; 및 (e) 건조물을 열처리하여 유기물을 분해제거하는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 복합분말의 제조방 법을 제공한다.
본 발명에 따른 복합분말로 제조된 유전체는 종래의 방법으로 제조된 동일한 조성의 유전체에 비해 유전율이 크게 향상되기 때문에, 초고용량 MLCC의 제조에 적합하다.
또한, 본 발명에 따른 복합분말은 첨가되는 부성분을 티탄산바륨의 표면에 코팅을 하였기 때문에 분산특성이 우수할 뿐 아니라, 분산용매로 유기용매를 사용하지 않고 수계용매를 사용할 수 있어 환경오염을 방지하는데도 유리하다.
이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 복합분말에 대해 상세하게 설명하나, 본 발명이 하기 실시예에 의해 제한되는 것은 아니며, 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 변경할 수 있음은 자명하다.
[실시예 1]
평균입경 300nm의 티탄산바륨 분말의 표면에 Y, Mg, Mn, Ba, Zr 및 Si를 코팅하였으며, 코팅은 역미셀방법에 기초하여 다음과 같이 실시하였다.
먼저, 초 순수와 아이소옥테인(isooctane)의 혼합물 50g (질량기준 초 순수:아이소옥테인=2:5)에 AOT(sodium bis(2-ethylhexyl)sulfosuccinate)를 0.65M 농도가 되도록 투입함으로써 제 1 용액을 제조하였으며, 5개의 용기에 상기 조건으로 제조된 제 1 용액을 각각 준비하였다.
그리고 도 3에 나타난 바와 같이 평균입경 300nm의 티탄산바륨 분말 10g을 준비하고, 티탄산바륨 10g에 대해 티탄산바륨 100몰 대비 1.2몰이 되도록 이트륨나이트레이트를 칭량 후 초 순수 10g에 용해한 용액을 만든 후, 상기 제 1 용액과 혼합하여 이트륨 코팅용액을 만들었다.
또한, 마그네슘아세테이트를 티탄산바륨 100몰 대비 1.2몰이 되도록 칭량하여 초 순수 10g에 용해한 후 준비된 제 1 용액과 혼합하여, 마그네슘 코팅용액을 만들었다.
또한, 망간아세테이트를 티탄산바륨 100몰 대비 0.2몰이 되도록 칭량하여 초 순수 10g에 용해한 후 준비된 제 1 용액과 혼합하여 망간 코팅용액을 만들었다.
또한, 바륨아세테이트를 티탄산바륨 100몰 대비 1.5몰이 되도록 칭량하여 초 순수 10g에 용해한 후 준비된 제 1 용액과 혼합하여 바륨 코팅용액을 만들었다.
또한, 지르코늄아세테이트 용액을 티탄산바륨 100몰 대비 1.5몰이 되도록 칭량하여 초 순수 10g에 용해한 후 준비된 제 1 용액과 혼합하여 지르코늄 코팅용액을 만들었다.
마지막으로 초 순수와 아이소옥테인(isooctane)의 혼합물 50g (질량기준 초순수:아이소옥테인=2:5)에 AOT(sodium bis(2-ethylhexyl)sulfosuccinate)를 0.65M 농도가 되도록 투입하고 여기에 TEOS (tetraorthosilicate)를 티탄산바륨 100몰 대비 1.5몰이 되도록 칭량한 후 투입하여 실리콘 코팅용액을 만들었다.
이후 티탄산바륨 분말 10g을 초 순수 20g에 교반하면서 투입하여 티탄산바륨 슬러리를 만들고 여기에 교반을 유지하면서 앞에서 제조한 이트륨 코팅용액, 마그네슘 코팅용액, 망간 코팅용액, 바륨 코팅용액, 지르코늄 코팅용액, 실리콘 코팅용액을 하나씩 투입하고 다시 2시간 동안 교반하였다.
이후 고형분을 용액으로부터 분리하고 열풍건조기를 통해 건조한 후 열처리로에서 800℃에서 1시간 동안 유지하여 유기물을 분해제거함으로써, 이트륨, 마그네슘, 망간, 바륨, 지르코늄 및 실리콘 등의 산화물이 표면에 코팅된 티탄산바륨 분말을 얻을 수 있었다.
도 4는 상기 실시예에 따라 제조한 복합분말의 입자를 투과전자현미경(TEM)으로 관찰한 사진이며, 도 5는 도 4의 입자를 EDS로 맵핑한 결과를 나타낸 것이다.
도 5에서 확인되는 바와 같이 티탄산바륨 입자의 표면에 Y, Mn, Zr, Ba, Si이 고르게 형성되어 있음을 알 수 있다. 한편 Mg의 경우 EDS 맵핑에서 명확하게 드러나지는 않으나 입자 형태로 검출이 확인되고 있으며 이는 분석기 상의 문제로 보여지며, 본 복합입자에 대한 X-선 회절시험을 통해서 Mg가 검출됨을 확인하였다. 특히 본 발명의 타겟 성분인 Zr의 경우 입자 표면 전체에 고르게 코팅되어 있음을 알 수 있다.
이와 같이 만들어진 티탄산바륨 복합분말의 전기적 특성을 평가하기 위하여, 제조한 복합분말에 액상의 PVA(polyvinyl acetate)를 총 중량의 0.5%가 되도록 첨가한 후, 몰드와 프레스를 이용하여 두께 3.5mm, 직경 1cm 크기의 디스크를 3개 제작하였다.
제작된 3개의 디스크는 온도별 소결상태와 유전율의 변화를 확인하기 위하여 각각 1200℃, 1220℃ 및 1240℃에서 2시간 동안 소결하여 소결체를 얻었다.
[실시예 2]
지르코늄아세테이트 용액을 지르코늄이 티탄산바륨 100몰 대비 2몰이 되도록 첨가하고, 나머지 공정은 상기 실시예와 동일하게 하여 디스크를 3개 제작한 후, 각각 1200℃, 1220℃ 및 1240℃에서 2시간 동안 소결하여 소결체를 얻었다.
[실시예3]
지르코늄아세테이트 용액을 지르코늄이 티탄산바륨 100몰 대비 2.5몰이 되도록 첨가하고, 나머지 공정은 상기 실시예와 동일하게 하여 디스크를 3개 제작한 후, 각각 1200℃, 1220℃ 및 1240℃에서 2시간 동안 소결하여 소결체를 얻었다.
[비교예 1]
지르코늄아세테이트 용액을 지르코늄이 티탄산바륨 100몰 대비 0.5몰이 되도록 첨가하고, 나머지 공정은 상기 실시예와 동일하게 하여 디스크를 3개 제작한 후, 각각 1200℃, 1220℃ 및 1240℃에서 2시간 동안 소결하여 소결체를 얻었다.
[비교예 2]
지르코늄아세테이트 용액을 지르코늄이 티탄산바륨 100몰 대비 1몰이 되도록 첨가하고, 나머지 공정은 상기 실시예와 동일하게 하여 디스크를 3개 제작한 후, 각각 1200℃, 1220℃ 및 1240℃에서 2시간 동안 소결하여 소결체를 얻었다.
[비교예 3]
BaO-ZrO2-SiO2(이하, BZS)계 글래스(glass)는 BaCO3, ZrO2, SiO2를 각각 무게비로 15%, 15%, 70%가 되로록 칭량하여 혼합한 후, 1300℃의 대기분위기에서 열처리 후에 글래스 상(form)으로 제조하였다. 제조된 글래스 50g을 직경 1mm의 지르코니아 볼 60g을 사용하여 플래너터리 밀 (Planetary mill) 에서 200rpm의 회전속도로 24시간 동안 밀링하여 최종 글래스 분말을 얻었다.
이와 같이 얻어진 글래스 분말의 조성실험을 위해 300nm 크기의 티탄산바륨 (BaTiO3) 분말에 제조된 글래스 프릿 (frit) 을 포함하여, 이트륨옥사이드(Y2O3), 마그네슘카보네이트(MgCO3), 망간옥사이드(MnO2), 바륨실리케이트(BaSiO3) 및 지르코니아(ZrO2)와 같은 다른 첨가제 산화물 분말들을, 상기 실시예 1과 동일한 조성이 되도록 칭량하여 20시간 동안 볼 밀을 통해 혼합하였으며, 이후 소결 공정은 코팅처리된 BaTiO3 분말의 경우와 동일한 조건으로 진행하였으며, 온도별 소결상태와 유전율의 변화를 확인하기 위하여 각각 1200℃, 1220℃ 및 1240℃에서 2시간 동안 소결하여 소결체를 얻었다.
이상과 같이 수득한 소결체의 미세조직을 주사전자현미경을 통해 관찰한 결 과, 도 6a(실시예 1, Zr 1.5몰), 6b(비교예 2, Zr 1몰) 및 6c(비교예 1, Zr 0.5몰)에 도시된 바와 같이, Zr의 함량이 높을수록 소결체에 미소 공공이 적고 밀도가 높아짐을 알 수 있다.
또한, 소결체를 Capacitance meter를 사용하여 1KHz와 1.0Vrms의 조건으로 용량과 유전손실을 측정하였으며, 유전상수는 소결체의 면적과 두께를 측정하여 계산하였다. 소결체의 밀도는 아르키메데스법을 이용하여 측정하였고, 그 결과는 하기 표 1과 같았다.
| Zr 함량 |
유전상수 | D.F.(%) | 밀도(g/㎤) | 비고 | ||||||
| 1200℃ | 1220℃ | 1240℃ | 1200℃ | 1220℃ | 1240℃ | 1200℃ | 1220℃ | 1240℃ | ||
| 0.5 | 1974 | 2015 | 2108 | 12.2 | 0.4 | 0.3 | 5.36 | 5.56 | 5.56 | 비교예1 |
| 1 | 2062 | 2266 | 2396 | 0.4 | 0.7 | 0.4 | 5.49 | 5.67 | 5.67 | 비교예2 |
| 1.5 | 2927 | 3043 | 3143 | 0.5 | 0.6 | 0.7 | 5.86 | 5.81 | 5.81 | 실시예1 |
| 2 | 2821 | 3164 | 3435 | 1.3 | 0.6 | 0.8 | 5.78 | 5.85 | 5.85 | 실시예2 |
| 2.5 | 2375 | 2674 | 2707 | 5.8 | 0.5 | 0.5 | 5.68 | 5.78 | 5.78 | 실시예3 |
| 1.5 | 2337 | 2575 | 2580 | 0.8 | 0.7 | 0.7 | 5.78 | 5.80 | 5.81 | 비교예3 |
먼저 본 발명의 실시예에 따른 소결체와 종래의 방법으로 제조된 비교예 3의 소결체의 밀도를 대비해 보면, 본 발명예나 비교예에 있어서 밀도에 있어서는 거의 유사한 결과를 보인다.
그런데, 본 발명의 실시예 1과 동일한 조성을 가지며 다만 제조방법만 종래의 방법으로 제조된 비교예 3을 대비해 보면, 상기 표 1 및 도 7에서 알 수 있는 바와 같이, 실시예 1 및 비교예 3 모두 소결온도가 높아짐에 따라 유전상수도 다소 증가하나 비교예 3의 경우 유전상수는 약 2500 정도를 나타내었다. 이에 비해 본 발명의 실시예 1의 경우 각 소결온도별 유전상수가 비교예 3에 비해 약 500 정도 높음을 알 수 있다. 즉, Zr을 티탄산바륨의 표면에 코팅함에 따라 코팅하지 않은 상태에 비해 유전율을 크게 향상시킬 수 있으며, 이는 초고용량 MLCC의 제조에 유용하게 이용될 수 있는 특성이다.
또한, 지르코늄의 함량에 따른 유전특성의 변화를 살펴보면, 상기 표 1과 도 8에서 확인되는 바와 같이, Zr함량이 티탄산바륨 100몰 대비 1몰 이하인 경우에는 유전상수가 최대 2000 ~ 2400에 불과하나, 1.5몰과 2몰에서는 소결온도에 따라 3000 이상이 되며, 2.5몰의 경우에는 유전상수가 저하되기 시작하며 1240℃에서 소결하였을 때, 최대 2700를 나타낸다. 따라서 Zr의 함량은 티탄산바륨 100몰 대비 1.25몰 ~ 2.5몰의 범위로 첨가되는 것이 바람직하며, 1.5 ~ 2몰의 범위로 첨가되는 것이 보다 바람직함을 알 수 있다.
도 1은 종래의 방법에 따라 200nm 이하의 초미세 티탄산바륨 분말에 500nm 이상의 첨가제 분말을 혼합한 상태를 나타내는 개략도이다.
도 2는 도 1의 방법으로 혼합한 분말로 MLCC를 제조한 후의 미세조직의 사진이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 사용한 평균 입경 300nm의 티탄산바륨 분말의 주사전자현미경 사진이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따라 상기 티탄산바륨 분말의 표면에 Mg, Mn, Y, Zr의 산화물을 코팅한 분말의 투과전자현미경 사진이다.
도 5는 도 4의 입자를 TEM-EDS를 이용하여 각 성분별로 맵핑한 결과를 나타내는 도면이다.
도 6a 내지 6c는 1220℃에서 2시간 동안 소결한 실시예 1, 비교예 2 및 비교예 3의 소결체의 미세조직 사진이다.
도 7은 동일한 조성을 갖도록 제조된 실시예 1과 비교예 3의 소결온도의 변화에 따른 유전상수의 변화를 측정한 결과를 나타내는 그래프이다.
도 8은 티탄산바륨 표면에 코팅된 Zr 산화물의 함량의 변화에 따른 유전상수의 변화를 측정한 결과를 나타내는 그래프이다.
Claims (6)
- 티탄산바륨 입자의 표면에 첨가제 코팅층이 형성된 복합분말로서,상기 첨가제 코팅층은 티탄산바륨 100몰 대비 1.25몰 ~ 2.5몰의 Zr을 포함하는 티탄산바륨 복합분말.
- 제 1 항에 있어서, 상기 첨가제 코팅층은 추가로 티탄산바륨 100몰 대비 0.5 ~ 12몰의 SiO2를 포함하는 것을 특징으로 하는 티탄산바륨 복합분말.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 첨가제 코팅층은 추가로 Mg, Ca, Ba, Sr, Y, V, Cr, Mo, W의 산화물로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 티탄산바륨 복합분말.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 첨가제 코팅층은 추가로 Li 또는 B의 산화물을 포함하는 것을 특징으로 하는 티탄산바륨 복합분말.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 복합분말로 제조한 적층 세라믹 커패시터.
- 티탄산바륨 분말의 표면에 복수의 첨가제를 코팅하여 복합분말을 제조하는 방법으로서,(a) 초 순수와 아이소옥테인(isooctane)의 혼합물에 AOT(sodium bis(2-ethylhexyl)sulfosuccinate)를 투입하여 제 1 용액을 만드는 단계;(b) 상기 첨가제 성분이 포함된 수용성 화합물을 초 순수에 용해하여 첨가제 성분이 용해된 복수의 제 2 용액을 만드는 단계;(c) 상기 제 1 용액과 복수의 제 2 용액을 혼합하여 교반하는 단계;(d) 상기 (c)용액의 고형분을 분리하여 건조하는 단계; 및(e) 건조물을 열처리하여 유기물을 분해제거하는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 방법.
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